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JP2002307365A - スカラロボットのアーム - Google Patents

スカラロボットのアーム

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Publication number
JP2002307365A
JP2002307365A JP2001112242A JP2001112242A JP2002307365A JP 2002307365 A JP2002307365 A JP 2002307365A JP 2001112242 A JP2001112242 A JP 2001112242A JP 2001112242 A JP2001112242 A JP 2001112242A JP 2002307365 A JP2002307365 A JP 2002307365A
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JP
Japan
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arm
fixed
frame
pulley
scara robot
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2001112242A
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English (en)
Inventor
Kazuo Kimata
一夫 木全
Takao Nakamori
孝雄 中森
Katsuhiko Kato
克彦 加藤
Kiyonori Nakano
清憲 中野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Aitec Co Ltd
Original Assignee
Aitec Co Ltd
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Publication date
Application filed by Aitec Co Ltd filed Critical Aitec Co Ltd
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Priority to KR1020020015603A priority patent/KR20020080242A/ko
Priority to TW091105684A priority patent/TW544388B/zh
Priority to US10/117,200 priority patent/US20020148320A1/en
Priority to CN02105802A priority patent/CN1380238A/zh
Publication of JP2002307365A publication Critical patent/JP2002307365A/ja
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    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J17/00Joints
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/0009Constructional details, e.g. manipulator supports, bases
    • B25J9/0012Constructional details, e.g. manipulator supports, bases making use of synthetic construction materials, e.g. plastics, composites
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041Cylindrical coordinate type
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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    • Y10T74/20Control lever and linkage systems
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Abstract

(57)【要約】 【課題】アームの軽量化、搬送速度の向上、動的振れの
抑制などを図ること。 【解決手段】第1アーム2は、ハンド1に組付固定され
る可動プーリ18と、第2アーム3に組付固定される固
定プーリ16と、可動プーリ18、固定プーリ16間に
掛け渡されるタイミングベルト22とを備える。フレー
ム19は、タイミングベルト22で囲まれる仮想平面領
域に応じた平面形状を有する。フレーム19には、可動
プーリ18を回動自在に保持する第1固定軸21、及
び、第2アーム3から延出し固定プーリ16が組付固定
される第2固定軸17が、それぞれ組付固定される。外
観カバー60は、軽重量でありフレーム19を覆う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、スカラロボットの
アーム、詳しくは、半導体基板又はガラス基板等薄型基
板を搬送するスカラロボットのアームに関する。
【0002】
【従来の技術】図8〜図14は、従来例に係るスカラロ
ボットのアームの構造を示し、図8は、第1、第2アー
ムのアーム長方向に沿った垂直断面図、図9は、第1ア
ームの平面図、図10は、第1アームの底面図であって
底カバーを取り外した状態の底面図、図11は、第1ア
ームの垂直断面図であってアーム幅方向に沿った垂直断
面図、図12は、第2アームの平面図、図13は、第2
アームの底面図であって底カバーを取り外した状態の底
面図、図14は、第2アームの垂直断面図であってアー
ム幅方向に沿った垂直断面図である。
【0003】図8〜図14において、1はハンド、2は
第1アーム、3は第2アーム、4は機台をそれぞれ表し
ている。機台は、図示しない駆動装置によって水平回転
可能である。
【0004】第2アーム3は元部に固定プーリ5を有し
ており、固定プーリ5は取付金具6によって機台4に組
付固定されている。固定プーリ5の中央穴には、機台4
から上方へ延出した回転軸7が回転自在に挿通されてい
る。回転軸7は、図示しない駆動装置によって正転、逆
転される。第2アーム3のフレーム8は、取付金具9に
よって回転軸7に組付固定されている。第2アーム3は
先端部に可動プーリ10を有している。可動プーリ10
は、フレーム8に取付金具11によって組付固定された
固定軸12によって回動自在に保持されている。固定プ
ーリ5、可動プーリ10間にはタイミングベルト13が
掛け渡されており、タイミングベルト13の張力は、フ
レーム8に組付金具14によって組付固定されたテンシ
ョンプーリ15によって調整される。
【0005】第1アーム2は元部に固定プーリ16を有
している。固定プーリ16は、第2アーム3の先端部か
ら上方へ延出した固定軸(第2固定軸)17に組付固定
されている。第1アーム2は先端部に可動プーリ18を
有している。可動プーリ18は、フレーム19に組付金
具20によって組付固定された固定軸(第1固定軸)2
1によって回動自在に保持されている。可動プーリ18
には、ハンド1が組付固定される。固定プーリ16、可
動プーリ18間にはタイミングベルト22が掛け渡され
ており、タイミングベルト22の張力は、フレーム19
に組付金具23によって組付固定されたテンションプー
リ24によって調整される。なお、図中の符号25は、
真空吸着用のエアーチューブ及びセンサの電気配線を表
している。
【0006】そして、上記の如きアーム2、3を有する
スカラロボットは、周知のように、機台4の内部の駆動
装置(図示せず。)のモータを正転、逆転させることに
よって第2アーム3及び第1アーム2がそれぞれ水平揺
動しハンド1が水平直線軌道上を往復動する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
アーム2、3は、フレーム8、19が外観カバーを兼用
しているため、フレーム8、19は、各種部品を組付固
定可能なフレームとして機能するよう十分な肉厚をもた
せるとともに、各種部品を覆う外観カバーとして機能す
るよう側面全周及び上面全域(但し、先端部と元部を除
く。)にわたって形成されており、重量が大きくなるた
め、アームひいてはロボット全体の重量の増大を招いて
いた。このため、搬送速度が制限を受けるとともにイナ
ーシャが大きいことから動的振れが発生し易いなどの問
題があった。
【0008】本発明は、斬新な着想の下、上記のような
従来のアームの問題点を解決し、アームの軽量化、搬送
速度の向上、動的振れの抑制などを図ることができるア
ームを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明によるスカラロボ
ットの第1アームは、ハンドと第2アームとの間に配さ
れるスカラロボットの第1アームであって、前記ハンド
に組付固定される可動プーリと、前記第2アームに組付
固定される固定プーリと、前記可動プーリ、固定プーリ
間に掛け渡されるタイミングベルトとを備える第1アー
ムにおいて、前記タイミングベルトで囲まれる仮想平面
領域に応じた平面形状を有するフレームであって、前記
可動プーリを回動自在に保持する第1固定軸、及び、前
記第2アームから延出し前記固定プーリが組付固定され
る第2固定軸が、それぞれ組付固定されるフレームと、
前記フレームを覆う軽重量の外観カバーとを備えること
を特徴とする。
【0010】本発明によるスカラロボットの第2アーム
は、第1アームと機台との間に配されるスカラロボット
の第2アームであって、前記第1アームに組付固定され
る可動プーリと、前記機台に組付固定される固定プーリ
と、前記可動プーリ、固定プーリ間に掛け渡されるタイ
ミングベルトとを備える第2アームにおいて、前記タイ
ミングベルトで囲まれる仮想平面領域に応じた平面形状
を有するフレームであって、前記可動プーリを回動自在
に保持する固定軸、及び、前記機台から延出し前記固定
プーリの中央穴に回動自在に挿通される回転軸が、それ
ぞれ組付固定されるフレームと、前記フレームを覆う軽
重量の外観カバーとを備えることを特徴とする。
【0011】ここで、前記フレームに、テンションプー
リ取付部が一体成形されている。
【0012】また、前記外観カバーは合成樹脂材料ある
いは薄肉の金属材料からなる。
【0013】前記フレーム及び前記外観カバーは、それ
ぞれ、アーム長方向へ向かって分割結合されている。
【0014】あるいは、前記フレーム及び前記外観カバ
ーは、それぞれ、アーム長方向へ向かって一体化されて
いる。
【0015】本発明によるスカラロボットのアームは、
各種部品が組み付けられるフレームと、前記各種部品が
組みつけられたフレームを覆う軽重量の外観カバーとを
備えることを特徴とする。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。
【0017】図1〜図7は一実施形態に係るスカラロボ
ットのアームの構造を示し、図1は、第1、第2アーム
のアーム長方向に沿った垂直断面図、図2は、第1アー
ムの平面図であって上カバーを取り外した状態の平面
図、図3は、第1アームの底面図であって底カバーを取
り外した状態の底面図、図4は、第1アームの垂直断面
図であってアーム幅方向に沿った垂直断面図、図5は、
第2アームの平面図であって上カバーを取り外した状態
の平面図、図6は、第2アームの底面図であって底カバ
ーを取り外した状態の底面図、図7は、第2アームの垂
直断面図であってアーム幅方向に沿った垂直断面図であ
る。
【0018】図1〜図7において、1はハンド、2は第
1アーム、3は第2アーム、4は機台をそれぞれ表して
いる。機台は、図示しない駆動装置によって水平回転可
能である。
【0019】第2アーム3について 第2アーム3は元部に固定プーリ5を有しており、固定
プーリ5は取付金具6によって機台4に組付固定されて
いる。固定プーリ5の中央穴には、機台4から上方へ延
出した回転軸7が回転自在に挿通されている。回転軸7
は、図示しない駆動装置によって正転、逆転される。第
2アーム3は先端部に可動プーリ10を有している。可
動プーリ10は、フレーム8に取付金具11によって組
付固定された固定軸12によって回動自在に保持されて
いる。固定プーリ5、可動プーリ10間にはタイミング
ベルト13が掛け渡されており、タイミングベルト13
の張力は、フレーム8に組付金具14によって組付固定
されたテンションプーリ15によって調整される。
【0020】フレーム8は、図5及び図6に示すよう
に、タイミングベルト13で囲まれる仮想平面領域に応
じた平面形状を有する。フレーム8は、アーム長方向に
おける中央部に位置する基フレーム31と、基フレーム
31の機台4側端部の上面に組付固定された機台側上フ
レーム32と、基フレーム31の第1アーム2側端部の
上面に組付固定された第1アーム側上フレーム33と、
基フレーム31の第1アーム2側端部の下面に組付固定
された第1アーム側下フレーム34とに分割され結合さ
れている。基フレーム31は、底板部35と天板部36
とを有する。底板部35には、テンションプーリ15が
組付固定されるテンションプーリ取付部37が形成され
ている。底板部35と天板部36との間には垂直壁部3
8が一体に形成されている。垂直壁部38は、図5及び
図6に示すように、基フレーム31に対して機台側上フ
レーム32、第1アーム側上フレーム33及び第1アー
ム側下フレーム34をそれぞれ取付金具39、40、4
1によって上方及び下方から組付固定するに足りるだけ
の幅をもって形成されており、軽量化が図られている。
機台側上フレーム32は、垂直壁部38の機台4側の上
面に取付金具39によって組付固定されている。また、
機台側上フレーム32は、取付金具42によって回転軸
7の上面に組付固定されている。機台側上フレーム32
は上下方向に貫通穴を有しており、この貫通穴に、エア
ーチューブ及び電気配線を通す中空円筒部材43が固定
配置されている。なお、垂直壁部38の機台4側の下面
には、回転軸7等が挿通される上下方向の貫通穴を有す
るシール部材44が取付金具45によって組付固定され
ている。第1アーム側上フレーム33は、垂直壁部38
の第1アーム2側の上面に取付金具40によって組付固
定されている。第1アーム側上フレーム33は上下方向
の貫通穴を有しており、この貫通穴に可動プーリ10が
回動自在に挿通されている。第1アーム側下フレーム3
4は、垂直壁部38の第1アーム2側の下面に取付金具
41によって組付固定されている。第1アーム側下フレ
ーム34は、可動プーリ10を回動自在に保持しエアー
チューブ及び電気配線を通す中空円筒部材(固定軸)1
2と一体化されている。
【0021】上記のようにフレーム8はアーム長方向に
分割結合されている。このため、アーム長毎の長さの異
なる複数の基フレーム31を予め用意しておき、アーム
長に合った基フレーム31を選択することで、アーム長
の異なる複数の第2アーム3の組立に容易に対応するこ
とができるようになる。
【0022】フレーム8の上面には、フレーム8と同様
にアーム長方向に分割結合された上カバー(外観カバ
ー)46が取付金具47によって組付固定されている。
上カバー46は、上面全域(但し可動プーリの上方は除
く。)及び側面全周を覆っている。上カバー46は、合
成樹脂材料又は薄肉の金属材料からなり、軽量化が図ら
れている。
【0023】なお、フレーム8の下面には、底カバー4
8が組付固定されている。底カバー48は例えばアルミ
材からなる。
【0024】第1アーム2について 第1アーム2は元部に固定プーリ16を有しており、固
定プーリ16は取付金具49によって、第2アーム3か
ら延出した固定軸(第2固定軸)17に組付固定されて
いる。第1アーム2は先端部に可動プーリ18を有して
いる。可動プーリ18は、フレーム19に取付金具20
によって組付固定された固定軸(第1固定軸)21によ
って回動自在に保持されている。固定プーリ16、可動
プーリ18間にはタイミングベルト22が掛け渡されて
おり、タイミングベルト22の張力は、フレーム19に
組付金具23によって組付固定されたテンションプーリ
24によって調整される。
【0025】フレーム19は、図2及び図3に示すよう
に、タイミングベルト22で囲まれる仮想平面領域に応
じた平面形状を有する。フレーム19は、アーム長方向
における中央部から第2アーム寄りに位置する基フレー
ム51と、基フレーム51のハンド1側端部の上面に組
付固定されたハンド側上フレーム52と、基フレーム5
1のハンド1側端部の下面に組付固定されたハンド側下
フレーム53とに分割され結合されている。基フレーム
51は、底板部54と天板部55とを有する。底板部5
4には、テンションプーリ24が組付固定されるテンシ
ョンプーリ取付部56が形成されている。底板部54と
天板部55との間には垂直壁部57が一体に形成されて
いる。垂直壁部57は、図2及び図3に示すように、基
フレーム51に対してハンド側上フレーム52及びハン
ド側下フレーム53をそれぞれ取付金具58、59によ
って上方及び下方から組付固定するに足りるだけの幅を
もって形成されており、軽量化が図られている。ハンド
側上フレーム52は、垂直壁部57のハンド1側の上面
に取付金具58によって組付固定されている。ハンド側
上フレーム52は上下方向の貫通穴を有しており、この
貫通穴に可動プーリ18が回動自在に挿通されている。
ハンド側下フレーム53は、垂直壁部57のハンド1側
の下面に取付金具59によって組付固定されている。ハ
ンド側下フレーム53は、可動プーリ18を回動自在に
保持しエアーチューブ及び電気配線を通す中空円筒部材
(第1固定軸)21と一体化されている。
【0026】上記のようにフレーム19はアーム長方向
に分割結合されている。このため、アーム長毎の長さの
異なる複数の基フレーム51を予め用意しておき、アー
ム長に合った基フレーム51を選択することで、アーム
長の異なる複数の第1アーム2の組立に容易に対応する
ことができるようになる。
【0027】フレーム19の上面には、フレーム19と
同様にアーム長方向に分割結合された上カバー(外観カ
バー)60が取付金具61によって組付固定されてい
る。上カバー60は、上面全域(但し可動プーリの上方
は除く。)及び側面全周を覆っている。上カバー60
は、合成樹脂材料又は薄肉の金属材料からなり、軽量化
が図られている。
【0028】なお、フレーム19の下面には、底カバー
62が組付固定されている。底カバー62は例えばアル
ミ材からなる。
【0029】そして、上記の如きアーム2、3を有する
スカラロボットは、周知のように、機台4の内部の駆動
装置(図示せず。)のモータを正転、逆転させることに
よって第2アーム3及び第1アーム2がそれぞれ水平揺
動しハンド1が水平直線軌道上を往復動する。
【0030】以上説明したように、本実施形態に係るス
カラロボットの第1アーム2は、ハンド1と第2アーム
3との間に配されるスカラロボットの第1アーム2であ
って、ハンド1に組付固定される可動プーリ18と、第
2アーム3に組付固定される固定プーリ16と、可動プ
ーリ18、固定プーリ16間に掛け渡されるタイミング
ベルト22とを備える第1アーム2において、タイミン
グベルト22で囲まれる仮想平面領域に応じた平面形状
を有するフレーム19であって、可動プーリ18を回動
自在に保持する第1固定軸21、及び、第2アーム3か
ら延出し固定プーリ16が組付固定される第2固定軸1
7が、それぞれ組付固定されるフレーム19と、フレー
ム19を覆う軽重量の外観カバー60とを備える。この
ため、第1アーム2の軽量化により、搬送速度の向上、
動的振れの抑制などを図ることができる。
【0031】また、本実施形態に係るスカラロボットの
第2アーム3は、第1アーム2と機台4との間に配され
るスカラロボットの第2アーム3であって、第1アーム
2に組付固定される可動プーリ10と、機台4に組付固
定される固定プーリ5と、可動プーリ10、固定プーリ
5間に掛け渡されるタイミングベルト13とを備える第
2アーム3において、タイミングベルト13で囲まれる
仮想平面領域に応じた平面形状を有するフレーム8であ
って、可動プーリ10を回動自在に保持する固定軸1
2、及び、機台4から延出し固定プーリ5の中央穴に回
動自在に挿通される回転軸7が、それぞれ組付固定され
るフレーム8と、フレーム8を覆う軽重量の外観カバー
46とを備える。このため、第2アーム3の軽量化によ
り、搬送速度の向上、動的振れの抑制などを図ることが
できる。
【0032】また、フレーム8、19にはテンションプ
ーリ取付部37、56が一体成形されているため、部品
点数を削減することができる。
【0033】また、外観カバー46、60は合成樹脂材
料又は薄肉の金属材料からなるため、容易に成形可能で
ある。
【0034】また、フレーム8、19及び外観カバー4
6、60は、それぞれ、アーム長方向へ向かって分割結
合されているため、アーム長の異なるアームに対して容
易に対応可能となる。
【0035】なお、フレーム8、19及び外観カバー4
6、60は、それぞれ、アーム長方向へ向かって一体化
されていてもよい。
【0036】
【発明の効果】本発明によると、アームの軽量化によ
り、搬送速度の向上、動的振れの抑制などを図ることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るスカラロボットの第
1、第2アームのアーム長方向に沿った垂直断面図であ
る。
【図2】第1アームの平面図であって上カバーを取り外
した状態の平面図である。
【図3】第1アームの底面図であって底カバーを取り外
した状態の底面図である。
【図4】第1アームの垂直断面図であってアーム幅方向
に沿った垂直断面図である。
【図5】第2アームの平面図であって上カバーを取り外
した状態の平面図である。
【図6】第2アームの底面図であって底カバーを取り外
した状態の底面図である。
【図7】第2アームの垂直断面図であってアーム幅方向
に沿った垂直断面図である。
【図8】従来例に係るスカラロボットの第1、第2アー
ムのアーム長方向に沿った垂直断面図である。
【図9】第1アームの平面図である。
【図10】第1アームの底面図であって底カバーを取り
外した状態の底面図である。
【図11】第1アームの垂直断面図であってアーム幅方
向に沿った垂直断面図である。
【図12】第2アームの平面図である。
【図13】第2アームの底面図であって底カバーを取り
外した状態の底面図である。
【図14】第2アームの垂直断面図であってアーム幅方
向に沿った垂直断面図である。
【符号の説明】
1 ハンド 2 第1アーム 3 第2アーム 4 機台 5 固定プーリ 7 回転軸 8 フレーム 10 可動プーリ 12 固定軸 13 タイミングベルト 16 固定プーリ 17 第2固定軸 18 可動プーリ 19 フレーム 21 第1固定軸 22 タイミングベルト 37 テンションプーリ取付部 46 外観カバー 56 テンションプーリ取付部 60 外観カバー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 克彦 愛知県一宮市多加木二丁目7番30号 株式 会社アイテック内 (72)発明者 中野 清憲 愛知県一宮市多加木二丁目7番30号 株式 会社アイテック内 Fターム(参考) 3C007 AS01 AS24 BS15 BT11 BT14 CT05 CV07 CW07 CY05 CY29 CY40 HT02 HT07 HT16 MT02 MT05 5F031 CA02 CA05 GA24 GA37 GA43 LA13

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ハンドと第2アームとの間に配されるス
    カラロボットの第1アームであって、前記ハンドに組付
    固定される可動プーリと、前記第2アームに組付固定さ
    れる固定プーリと、前記可動プーリ、固定プーリ間に掛
    け渡されるタイミングベルトとを備える第1アームにお
    いて、 前記タイミングベルトで囲まれる仮想平面領域に応じた
    平面形状を有するフレームであって、前記可動プーリを
    回動自在に保持する第1固定軸、及び、前記第2アーム
    から延出し前記固定プーリが組付固定される第2固定軸
    が、それぞれ組付固定されるフレームと、 前記フレームを覆う軽重量の外観カバーとを備えること
    を特徴とするスカラロボットの第1アーム。
  2. 【請求項2】 第1アームと機台との間に配されるスカ
    ラロボットの第2アームであって、前記第1アームに組
    付固定される可動プーリと、前記機台に組付固定される
    固定プーリと、前記可動プーリ、固定プーリ間に掛け渡
    されるタイミングベルトとを備える第2アームにおい
    て、 前記タイミングベルトで囲まれる仮想平面領域に応じた
    平面形状を有するフレームであって、前記可動プーリを
    回動自在に保持する固定軸、及び、前記機台から延出し
    前記固定プーリの中央穴に回動自在に挿通される回転軸
    が、それぞれ組付固定されるフレームと、 前記フレームを覆う軽重量の外観カバーとを備えること
    を特徴とするスカラロボットの第2アーム。
  3. 【請求項3】 前記フレームに、テンションプーリ取付
    部が一体成形されていることを特徴とする請求項1又は
    2記載のスカラロボットのアーム。
  4. 【請求項4】 前記外観カバーは合成樹脂材料からなる
    ことを特徴とする請求項1、2、3のいずれか記載のス
    カラロボットのアーム。
  5. 【請求項5】 前記外観カバーは薄肉の金属材料からな
    ることを特徴とする請求項1、2、3のいずれか記載の
    スカラロボットのアーム。
  6. 【請求項6】 前記フレーム及び前記外観カバーは、そ
    れぞれ、アーム長方向へ向かって分割結合されているこ
    とを特徴とする請求項1、2、3、4、5のいずれか記
    載のスカラロボットのアーム。
  7. 【請求項7】 前記フレーム及び前記外観カバーは、そ
    れぞれ、アーム長方向へ向かって一体化されていること
    を特徴とする請求項1、2、3、4、5のいずれか記載
    のスカラロボットのアーム。
  8. 【請求項8】 各種部品が組み付けられるフレームと、
    前記各種部品が組みつけられたフレームを覆う軽重量の
    外観カバーとを備えることを特徴とするスカラロボット
    のアーム。
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