JP2002228764A - 透光性シート体検出装置 - Google Patents
透光性シート体検出装置Info
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 36
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 57
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract
(57)【要約】
【課題】透光性シート体の有無やエッジ部分を安定して
高精度に検出することのできる透光性シート体検出装置
を提供する。 【解決手段】光源３４から出力された照明光Ｌは、集光
レンズ３６、光ファイバ２４、ハーフミラー３８および
集光レンズ４０を介して反射体２８に導かれた後、反射
され、テレセントリック光学系を構成する集光レンズ４
０、ハーフミラー３８およびアパーチャ部材４２を介し
てＣＣＤ素子２９に導かれる。この場合、照明光Ｌは、
透光性シート体３２を２回透過することにより大きく減
光される。従って、透過率の高い透光性シート体３２で
あっても、その有無やエッジ部を高精度に検出すること
ができる。
高精度に検出することのできる透光性シート体検出装置
を提供する。 【解決手段】光源３４から出力された照明光Ｌは、集光
レンズ３６、光ファイバ２４、ハーフミラー３８および
集光レンズ４０を介して反射体２８に導かれた後、反射
され、テレセントリック光学系を構成する集光レンズ４
０、ハーフミラー３８およびアパーチャ部材４２を介し
てＣＣＤ素子２９に導かれる。この場合、照明光Ｌは、
透光性シート体３２を２回透過することにより大きく減
光される。従って、透過率の高い透光性シート体３２で
あっても、その有無やエッジ部を高精度に検出すること
ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、透過率の高い透光
性シート体の有無やエッジ部等を高精度に検出すること
のできる透光性シート体検出装置に関する。
性シート体の有無やエッジ部等を高精度に検出すること
のできる透光性シート体検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラス等の透光性基板中における微細な
欠陥を検出する装置として、図１に示すように構成した
ものがある（特開２０００−９７８６７号参照）。この
装置は、光源２から出力された照明光４をテレセントリ
ック光学系を構成する集光レンズ６およびアパーチャ部
材８を介してＣＣＤカメラ１０に導くように構成されて
いる。光源２と集光レンズ６との間に欠陥を有する透光
性基板１２が配置されると、照明光４が欠陥によって散
乱され透過光量が変化する。そして、透光性基板１２を
透過した照明光４は、テレセントリック光学系を介して
ＣＣＤカメラに導かれ、コントラストの高い欠陥の画像
が得られる。
欠陥を検出する装置として、図１に示すように構成した
ものがある（特開２０００−９７８６７号参照）。この
装置は、光源２から出力された照明光４をテレセントリ
ック光学系を構成する集光レンズ６およびアパーチャ部
材８を介してＣＣＤカメラ１０に導くように構成されて
いる。光源２と集光レンズ６との間に欠陥を有する透光
性基板１２が配置されると、照明光４が欠陥によって散
乱され透過光量が変化する。そして、透光性基板１２を
透過した照明光４は、テレセントリック光学系を介して
ＣＣＤカメラに導かれ、コントラストの高い欠陥の画像
が得られる。
【０００３】しかしながら、この従来技術では、透光性
基板１２に形成された欠陥を効果的に検出することは可
能であるが、欠陥以外の部分、例えば、透光性基板１２
のエッジ部分１４や、透光性基板１２そのものの有無を
高精度に検出することは困難である。
基板１２に形成された欠陥を効果的に検出することは可
能であるが、欠陥以外の部分、例えば、透光性基板１２
のエッジ部分１４や、透光性基板１２そのものの有無を
高精度に検出することは困難である。
【０００４】すなわち、透光性基板１２の透過率が大き
い場合には、画像の陰影の差が極めて小さく、例えば、
検出中において透光性基板１２が振動したり、透光性基
板１２の透過率にばらつきがあると、検出精度が著しく
低下するという不具合が生じてしまう。
い場合には、画像の陰影の差が極めて小さく、例えば、
検出中において透光性基板１２が振動したり、透光性基
板１２の透過率にばらつきがあると、検出精度が著しく
低下するという不具合が生じてしまう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記の不具
合を解消するためになされたものであって、透光性シー
ト体の有無やエッジ部分を安定して高精度に検出するこ
とのできる透光性シート体検出装置を提供することを目
的とする。
合を解消するためになされたものであって、透光性シー
ト体の有無やエッジ部分を安定して高精度に検出するこ
とのできる透光性シート体検出装置を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めに、本発明は、照明光を出力する光源と、前記照明光
を反射する反射体と、前記反射体によって反射された前
記照明光を受光する受光手段と、を備え、前記受光手段
によって受光された前記照明光の情報に基づき、前記光
源と前記反射体との間に配設される透光性シート体を検
出することを特徴とする。
めに、本発明は、照明光を出力する光源と、前記照明光
を反射する反射体と、前記反射体によって反射された前
記照明光を受光する受光手段と、を備え、前記受光手段
によって受光された前記照明光の情報に基づき、前記光
源と前記反射体との間に配設される透光性シート体を検
出することを特徴とする。
【０００７】この場合、照明光は、透光性シート体を２
回透過して受光手段に導かれるため、透過率の大きな透
光性シート体であっても、照明光が大きく減光されて受
光手段に導かれる。これにより、透光性シート体の有無
やエッジ部を高精度に検出することができる。
回透過して受光手段に導かれるため、透過率の大きな透
光性シート体であっても、照明光が大きく減光されて受
光手段に導かれる。これにより、透光性シート体の有無
やエッジ部を高精度に検出することができる。
【０００８】なお、受光手段の前段に配置される光学系
をテレセントリック光学系とすることにより、エッジ部
を強調した状態で検出することができる。また、透光性
シート体の位置ずれ等の影響を受けることがなく、エッ
ジ部の位置を高精度に検出することができる。
をテレセントリック光学系とすることにより、エッジ部
を強調した状態で検出することができる。また、透光性
シート体の位置ずれ等の影響を受けることがなく、エッ
ジ部の位置を高精度に検出することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図２は、本実施形態の透光性シー
ト体検出装置２０の基本構成を示す。透光性シート体検
出装置２０は、照明光Ｌを出力する光源ユニット２２
と、光ファイバ２４を介して光源ユニット２２に接続さ
れる光学ユニット２６と、照明光Ｌを反射する反射体２
８と、反射体２８によって反射された照明光ＬをＣＣＤ
素子２９（受光手段）で受光し、照明光Ｌに係る情報を
得るＣＣＤカメラ３０とから基本的に構成される。な
お、検出対象である透光性シート体３２は、反射体２８
と光学ユニット２６との間に配設される。
ト体検出装置２０の基本構成を示す。透光性シート体検
出装置２０は、照明光Ｌを出力する光源ユニット２２
と、光ファイバ２４を介して光源ユニット２２に接続さ
れる光学ユニット２６と、照明光Ｌを反射する反射体２
８と、反射体２８によって反射された照明光ＬをＣＣＤ
素子２９（受光手段）で受光し、照明光Ｌに係る情報を
得るＣＣＤカメラ３０とから基本的に構成される。な
お、検出対象である透光性シート体３２は、反射体２８
と光学ユニット２６との間に配設される。
【００１０】光源ユニット２２は、光源３４と、光源３
４から出力された照明光Ｌを光ファイバ２４の一端部に
集光する集光レンズ３６とを備える。
４から出力された照明光Ｌを光ファイバ２４の一端部に
集光する集光レンズ３６とを備える。
【００１１】光学ユニット２６は、光ファイバ２４の他
端部から出力された照明光Ｌを反射するハーフミラー３
８と、ハーフミラー３８によって反射された照明光Ｌを
集光し、平行光束として反射体２８に導く集光レンズ４
０と、集光レンズ４０の像側焦点位置に配置されるアパ
ーチャ部材４２とを備える。この場合、光学ユニット２
６は、テレセントリック光学系を構成する。
端部から出力された照明光Ｌを反射するハーフミラー３
８と、ハーフミラー３８によって反射された照明光Ｌを
集光し、平行光束として反射体２８に導く集光レンズ４
０と、集光レンズ４０の像側焦点位置に配置されるアパ
ーチャ部材４２とを備える。この場合、光学ユニット２
６は、テレセントリック光学系を構成する。
【００１２】本実施形態の透光性シート体検出装置２０
は、基本的には以上のように構成されるものであり、次
に、その作用効果について説明する。
は、基本的には以上のように構成されるものであり、次
に、その作用効果について説明する。
【００１３】光源ユニット２２の光源３４から出力され
た照明光Ｌは、集光レンズ３６によって集光された後、
光ファイバ２４を介して光学ユニット２６に導かれる。
次いで、照明光Ｌは、ハーフミラー３８によって反射さ
れ、集光レンズ４０により平行光束とされた後、透光性
シート体３２に導かれる。透光性シート体３２に導かれ
た照明光Ｌは、透光性シート体３２を透過し、反射体２
８によって反射された後、再び透光性シート体３２を透
過して光学ユニット２６に再入射する。光学ユニット２
６に再入射した照明光Ｌは、ハーフミラー３８およびア
パーチャ部材４２を介してＣＣＤカメラ３０のＣＣＤ素
子２９に入射し、その受光光量が電気信号として検出さ
れる。
た照明光Ｌは、集光レンズ３６によって集光された後、
光ファイバ２４を介して光学ユニット２６に導かれる。
次いで、照明光Ｌは、ハーフミラー３８によって反射さ
れ、集光レンズ４０により平行光束とされた後、透光性
シート体３２に導かれる。透光性シート体３２に導かれ
た照明光Ｌは、透光性シート体３２を透過し、反射体２
８によって反射された後、再び透光性シート体３２を透
過して光学ユニット２６に再入射する。光学ユニット２
６に再入射した照明光Ｌは、ハーフミラー３８およびア
パーチャ部材４２を介してＣＣＤカメラ３０のＣＣＤ素
子２９に入射し、その受光光量が電気信号として検出さ
れる。
【００１４】ここで、透光性シート体３２を介して得ら
れた照明光Ｌは、透光性シート体３２を２回透過してい
るため、大きく減光されてＣＣＤ素子２９に導かれる。
例えば、透光性シート体３２の表面反射の影響等を無視
するものとすると、照明光Ｌは、透光性シート体３２の
透過率の２乗の割合で減光されＣＣＤ素子２９に導かれ
る。一方、透光性シート体３２を介することなく直接反
射体２８に導かれた照明光Ｌは、減光されることなくＣ
ＣＤ素子２９に導かれる。従って、ＣＣＤ素子２９の受
光光量から透光性シート体３２の有無を高精度に検出す
ることができる。
れた照明光Ｌは、透光性シート体３２を２回透過してい
るため、大きく減光されてＣＣＤ素子２９に導かれる。
例えば、透光性シート体３２の表面反射の影響等を無視
するものとすると、照明光Ｌは、透光性シート体３２の
透過率の２乗の割合で減光されＣＣＤ素子２９に導かれ
る。一方、透光性シート体３２を介することなく直接反
射体２８に導かれた照明光Ｌは、減光されることなくＣ
ＣＤ素子２９に導かれる。従って、ＣＣＤ素子２９の受
光光量から透光性シート体３２の有無を高精度に検出す
ることができる。
【００１５】図３は、透過率が７０％である１枚の透光
性シート体３２に対して照明光Ｌを入射角θで入射させ
た場合の透過光量の割合（％）と、透過率が７０％であ
る２枚の透光性シート体３２に対して照明光Ｌを入射角
θで入射させた場合の透過光量の割合（％）とを比較し
て表したものである。この場合、透光性シート体３２を
１回だけ透過させて照明光４を得る従来の装置（図１参
照）に比較して、透光性シート体３２を２回透過させて
照明光Ｌを得る本実施形態の透光性シート体検出装置２
０の方が大きな減光効果が得られる。従って、透光性シ
ート体３２の有無を効果的に検出できることは明らかで
ある。
性シート体３２に対して照明光Ｌを入射角θで入射させ
た場合の透過光量の割合（％）と、透過率が７０％であ
る２枚の透光性シート体３２に対して照明光Ｌを入射角
θで入射させた場合の透過光量の割合（％）とを比較し
て表したものである。この場合、透光性シート体３２を
１回だけ透過させて照明光４を得る従来の装置（図１参
照）に比較して、透光性シート体３２を２回透過させて
照明光Ｌを得る本実施形態の透光性シート体検出装置２
０の方が大きな減光効果が得られる。従って、透光性シ
ート体３２の有無を効果的に検出できることは明らかで
ある。
【００１６】また、本実施形態の透光性シート体検出装
置２０では、テレセントリック光学系を採用しているた
め、表１に示すように、透光性シート体３２の有無によ
って照明光Ｌの光量に大きな差が生じる。すなわち、表
１は、光量の最大値に対してＣＣＤカメラ３０が出力す
る信号を２５５、光量の最小値（照明光Ｌが全くないと
した場合）に対してＣＣＤカメラ３０が出力する信号を
０とし、透光性シート体３２を透過した照明光Ｌを直接
ＣＣＤカメラ３０で受光して得られた結果（一般光学系
＋透過照明）と、透光性シート体３２を透過した照明光
Ｌをテレセントリック光学系を介してＣＣＤカメラ３０
で受光して得られた結果（テレセントリック光学系＋透
過照明、図１参照）と、透光性シート体３２を介して反
射体２８により反射された照明光Ｌをテレセントリック
光学系を介してＣＣＤカメラ３０で受光して得られた結
果（テレセントリック光学系＋同軸落射照明、本実施形
態）とを比較したものである。
置２０では、テレセントリック光学系を採用しているた
め、表１に示すように、透光性シート体３２の有無によ
って照明光Ｌの光量に大きな差が生じる。すなわち、表
１は、光量の最大値に対してＣＣＤカメラ３０が出力す
る信号を２５５、光量の最小値（照明光Ｌが全くないと
した場合）に対してＣＣＤカメラ３０が出力する信号を
０とし、透光性シート体３２を透過した照明光Ｌを直接
ＣＣＤカメラ３０で受光して得られた結果（一般光学系
＋透過照明）と、透光性シート体３２を透過した照明光
Ｌをテレセントリック光学系を介してＣＣＤカメラ３０
で受光して得られた結果（テレセントリック光学系＋透
過照明、図１参照）と、透光性シート体３２を介して反
射体２８により反射された照明光Ｌをテレセントリック
光学系を介してＣＣＤカメラ３０で受光して得られた結
果（テレセントリック光学系＋同軸落射照明、本実施形
態）とを比較したものである。
【００１７】この場合、一般光学系＋透過照明では、透
光性シート体３２が有るときと無いときとの信号の差
（濃淡値差）が２５であるのに対して、テレセントリッ
ク光学系＋透過照明では、信号の差が４２となってお
り、テレセントリック光学系による画像の明瞭化の効果
が現れている。そして、テレセントリック光学系＋同軸
落射照明とした本実施形態においては、同軸落射照明に
よる大きな減光作用により、信号の差が１１５と飛躍的
に増大していることが了解される。このことから、テレ
セントリック光学系＋同軸落射照明の構成を採用するこ
とにより、透過率の大きい透光性シート体３２であって
も、その有無を確実に検出可能であることが理解でき
る。
光性シート体３２が有るときと無いときとの信号の差
（濃淡値差）が２５であるのに対して、テレセントリッ
ク光学系＋透過照明では、信号の差が４２となってお
り、テレセントリック光学系による画像の明瞭化の効果
が現れている。そして、テレセントリック光学系＋同軸
落射照明とした本実施形態においては、同軸落射照明に
よる大きな減光作用により、信号の差が１１５と飛躍的
に増大していることが了解される。このことから、テレ
セントリック光学系＋同軸落射照明の構成を採用するこ
とにより、透過率の大きい透光性シート体３２であって
も、その有無を確実に検出可能であることが理解でき
る。
【００１８】
【表１】
【００１９】さらに、本実施形態の透光性シート体検出
装置２０では、透光性シート体３２の有無だけでなく、
透光性シート体３２のエッジ部４４を高精度に検出する
ことができる。図４は、透光性シート体３２が図２の位
置にあるときに、ＣＣＤ素子２９によって得られた２次
元画像を模式的に示したものである。画像４６は、透光
性シート体３２を２回透過した照明光Ｌによって形成さ
れたものを表し、画像４８は、透光性シート体３２を介
することなく反射体２８によって反射された照明光Ｌに
よって形成されたものを表す。そして、画像４９は、透
光性シート体３２のエッジ部４４によって形成されたも
のを表す。
装置２０では、透光性シート体３２の有無だけでなく、
透光性シート体３２のエッジ部４４を高精度に検出する
ことができる。図４は、透光性シート体３２が図２の位
置にあるときに、ＣＣＤ素子２９によって得られた２次
元画像を模式的に示したものである。画像４６は、透光
性シート体３２を２回透過した照明光Ｌによって形成さ
れたものを表し、画像４８は、透光性シート体３２を介
することなく反射体２８によって反射された照明光Ｌに
よって形成されたものを表す。そして、画像４９は、透
光性シート体３２のエッジ部４４によって形成されたも
のを表す。
【００２０】エッジ部４４では、照明光Ｌが屈折および
散乱されるため、より大きな減光効果が得られる。しか
も、光学ユニット２６は、テレセントリック光学系を構
成しており、ＣＣＤ素子２９に導入される照明光Ｌは、
主光線のみに限られている。従って、エッジ部４４に対
応する画像４９は、画像４６よりも一層減光されるた
め、エッジ部４４を高精度に検出することができる。
散乱されるため、より大きな減光効果が得られる。しか
も、光学ユニット２６は、テレセントリック光学系を構
成しており、ＣＣＤ素子２９に導入される照明光Ｌは、
主光線のみに限られている。従って、エッジ部４４に対
応する画像４９は、画像４６よりも一層減光されるた
め、エッジ部４４を高精度に検出することができる。
【００２１】図５は、他の実施形態の透光性シート体検
出装置５０の構成を示す。なお、図２に示す透光性シー
ト体検出装置２０と同一の構成要素には、同一の参照符
号を付し、その詳細な説明は省略する。
出装置５０の構成を示す。なお、図２に示す透光性シー
ト体検出装置２０と同一の構成要素には、同一の参照符
号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００２２】透光性シート体検出装置５０は、照明光Ｌ
を出力する光源ユニット２２と、光ファイバ５２ａおよ
び５２ｂを介して光源ユニット２２から導入される照明
光Ｌを反射体２８に導く光学ユニット５４ａおよび５４
ｂと、反射体２８によって反射された照明光Ｌを光学ユ
ニット５４ａおよび５４ｂを介して受光することにより
画像を撮像するＣＣＤカメラ５６ａおよび５６ｂと、Ｃ
ＣＤカメラ５６ａおよび５６ｂによって撮像された画像
の処理を行う画像処理装置５８と、画像処理装置５８に
よって処理された画像を表示するモニタ６０とを備え
る。
を出力する光源ユニット２２と、光ファイバ５２ａおよ
び５２ｂを介して光源ユニット２２から導入される照明
光Ｌを反射体２８に導く光学ユニット５４ａおよび５４
ｂと、反射体２８によって反射された照明光Ｌを光学ユ
ニット５４ａおよび５４ｂを介して受光することにより
画像を撮像するＣＣＤカメラ５６ａおよび５６ｂと、Ｃ
ＣＤカメラ５６ａおよび５６ｂによって撮像された画像
の処理を行う画像処理装置５８と、画像処理装置５８に
よって処理された画像を表示するモニタ６０とを備え
る。
【００２３】このように構成される透光性シート体検出
装置５０は、反射体２８と光学ユニット５４ａおよび５
４ｂとの間に配設され、矢印方向に搬送される透光性シ
ート体３２の長さを高精度に測定することができる。
装置５０は、反射体２８と光学ユニット５４ａおよび５
４ｂとの間に配設され、矢印方向に搬送される透光性シ
ート体３２の長さを高精度に測定することができる。
【００２４】すなわち、ＣＣＤカメラ５６ａおよび５６
ｂは、透光性シート体３２の一端部のエッジ部４４およ
び他端部のエッジ部６２の画像を撮像し、画像処理装置
５８に供給する。画像処理装置５８は、各ＣＣＤカメラ
５６ａおよび５６ｂによって撮像された画像をモニタ６
０に表示するとともに、各画像からエッジ部４４および
６２の位置を算出し、それから透光性シート体３２の長
さを求める。その求め方につき、図６および図７に基づ
いて説明する。
ｂは、透光性シート体３２の一端部のエッジ部４４およ
び他端部のエッジ部６２の画像を撮像し、画像処理装置
５８に供給する。画像処理装置５８は、各ＣＣＤカメラ
５６ａおよび５６ｂによって撮像された画像をモニタ６
０に表示するとともに、各画像からエッジ部４４および
６２の位置を算出し、それから透光性シート体３２の長
さを求める。その求め方につき、図６および図７に基づ
いて説明する。
【００２５】先ず、透光性シート体３２が所定の測長範
囲に搬入され、測長トリガ信号が発生されると（ステッ
プＳ１）、画像処理装置５８は、エッジ部４４および６
２の検出作業を開始する（ステップＳ２）。すなわち、
画像処理装置５８は、ＣＣＤカメラ５６ａおよび５６ｂ
によって取り込んだ各画像を透光性シート体３２の搬送
方向に対してスキャンし、画像の濃淡が所定量変化する
部分をエッジ部４４および６２として検出する。
囲に搬入され、測長トリガ信号が発生されると（ステッ
プＳ１）、画像処理装置５８は、エッジ部４４および６
２の検出作業を開始する（ステップＳ２）。すなわち、
画像処理装置５８は、ＣＣＤカメラ５６ａおよび５６ｂ
によって取り込んだ各画像を透光性シート体３２の搬送
方向に対してスキャンし、画像の濃淡が所定量変化する
部分をエッジ部４４および６２として検出する。
【００２６】次に、エッジ部４４および６２の座標値を
算出する（ステップＳ３）。この座標値は、例えば、Ｃ
ＣＤカメラ５６ａおよび５６ｂの上流側端部の座標値を
０と設定しておき、そこからエッジ部４４および６２が
検出された画素までの座標値をＷ１およびＷ２として求
める。
算出する（ステップＳ３）。この座標値は、例えば、Ｃ
ＣＤカメラ５６ａおよび５６ｂの上流側端部の座標値を
０と設定しておき、そこからエッジ部４４および６２が
検出された画素までの座標値をＷ１およびＷ２として求
める。
【００２７】前記のようにして求めたエッジ部４４およ
び６２の座標値Ｗ１、Ｗ２を用いて透光性シート体３２
の長さＸを演算する（ステップＳ４）。この場合、ＣＣ
Ｄカメラ５６ａおよび５６ｂによって撮像される画像範
囲の間隔をＸ０とし、各画像の下流側端部の座標値をＷ
０とすると、透光性シート体３２の長さＸは、 Ｘ＝Ｗ０−Ｗ１＋Ｗ２＋Ｘ０ として求めることができる。なお、Ｗ０、Ｗ１、Ｗ２、
Ｘ０の各値が画素数換算値である場合には、各画素の大
きさをＸに乗算することで、長さを求めることができ
る。
び６２の座標値Ｗ１、Ｗ２を用いて透光性シート体３２
の長さＸを演算する（ステップＳ４）。この場合、ＣＣ
Ｄカメラ５６ａおよび５６ｂによって撮像される画像範
囲の間隔をＸ０とし、各画像の下流側端部の座標値をＷ
０とすると、透光性シート体３２の長さＸは、 Ｘ＝Ｗ０−Ｗ１＋Ｗ２＋Ｘ０ として求めることができる。なお、Ｗ０、Ｗ１、Ｗ２、
Ｘ０の各値が画素数換算値である場合には、各画素の大
きさをＸに乗算することで、長さを求めることができ
る。
【００２８】透光性シート体３２の長さＸを求めた後、
この長さＸの良否の判定を行い（ステップＳ５）、処理
を終了する。
この長さＸの良否の判定を行い（ステップＳ５）、処理
を終了する。
【００２９】なお、光学ユニット５４ａおよび５４ｂ
は、物体側にテレセントリックであるテレセントリック
光学系を構成しているため、透光性シート体３２の位置
が光軸方向に変動しても、その変動の影響を受けること
なく、エッジ部４４の位置を高精度に検出することがで
きる。従って、透光性シート体３２の長さＸも高精度に
検出されることになる。
は、物体側にテレセントリックであるテレセントリック
光学系を構成しているため、透光性シート体３２の位置
が光軸方向に変動しても、その変動の影響を受けること
なく、エッジ部４４の位置を高精度に検出することがで
きる。従って、透光性シート体３２の長さＸも高精度に
検出されることになる。
【００３０】図８は、図５に示す透光性シート体検出装
置５０が適用されるフイルム製造システム７０の構成を
示す。
置５０が適用されるフイルム製造システム７０の構成を
示す。
【００３１】フイルム製造システム７０では、フイルム
供給装置７４から供給されるロール状に巻回された感光
材料であるロールフイルム７２を、フイルム切断部７６
において所定長毎に切断してフイルムＦを形成する。切
断されたフイルムＦは、フイルム搬送ライン７８によっ
て搬送された後、上部搬送ライン８０ａおよび下部搬送
ライン８０ｂに分別され、各冊製造装置８２ａおよび８
２ｂに供給される。
供給装置７４から供給されるロール状に巻回された感光
材料であるロールフイルム７２を、フイルム切断部７６
において所定長毎に切断してフイルムＦを形成する。切
断されたフイルムＦは、フイルム搬送ライン７８によっ
て搬送された後、上部搬送ライン８０ａおよび下部搬送
ライン８０ｂに分別され、各冊製造装置８２ａおよび８
２ｂに供給される。
【００３２】冊製造装置８２ａおよび８２ｂでは、保護
カバー供給装置８４から保護カバー搬送機構８６を介し
て供給された保護カバー８８に対して、フイルムＦが積
層され冊が製造される。製造された冊は、冊反転装置９
０に供給されて上下が反転された後、包装体製造装置９
２において、遮光袋９４に収納され包装体９６が製造さ
れる。包装体９６は、次いで、包装体積み込み装置９８
において積層され、出荷される。
カバー供給装置８４から保護カバー搬送機構８６を介し
て供給された保護カバー８８に対して、フイルムＦが積
層され冊が製造される。製造された冊は、冊反転装置９
０に供給されて上下が反転された後、包装体製造装置９
２において、遮光袋９４に収納され包装体９６が製造さ
れる。包装体９６は、次いで、包装体積み込み装置９８
において積層され、出荷される。
【００３３】以上のように構成されるフイルム製造シス
テム７０において、透光性シート体検出装置５０は、フ
イルム搬送ライン７８に配置される。この場合、フイル
ム搬送ライン７８は、反射体２８として機能する。ま
た、光源ユニット２２から出力される照明光Ｌは、フイ
ルムＦが可視光によって感光する感光材料であるため
に、波長が８５０ｎｍ以上のものが選択されている。
テム７０において、透光性シート体検出装置５０は、フ
イルム搬送ライン７８に配置される。この場合、フイル
ム搬送ライン７８は、反射体２８として機能する。ま
た、光源ユニット２２から出力される照明光Ｌは、フイ
ルムＦが可視光によって感光する感光材料であるため
に、波長が８５０ｎｍ以上のものが選択されている。
【００３４】そこで、フイルム搬送ライン７８に供給さ
れたフイルムＦは、透光性シート体検出装置５０によっ
て長さが求められ、例えば、その長さが不適切な場合に
は、不良品として排出する処理を行うことができる。ま
た、求めた長さに基づき、フイルムＦを所定の上部搬送
ライン８０ａまたは下部搬送ライン８０ｂに選別して供
給する処理を行うこともできる。
れたフイルムＦは、透光性シート体検出装置５０によっ
て長さが求められ、例えば、その長さが不適切な場合に
は、不良品として排出する処理を行うことができる。ま
た、求めた長さに基づき、フイルムＦを所定の上部搬送
ライン８０ａまたは下部搬送ライン８０ｂに選別して供
給する処理を行うこともできる。
【００３５】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、透光性
シート体の有無を高精度に検出することができる。ま
た、透光性シート体のエッジ部の位置を高精度に検出す
ることができる。さらに、透光性シート体の両端部のエ
ッジ部の位置を検出することにより、透光性シート体の
長さを高精度に検出することができる。
シート体の有無を高精度に検出することができる。ま
た、透光性シート体のエッジ部の位置を高精度に検出す
ることができる。さらに、透光性シート体の両端部のエ
ッジ部の位置を検出することにより、透光性シート体の
長さを高精度に検出することができる。
【図１】従来技術に係る透光性基板の欠陥検出装置の構
成図である。
成図である。
【図２】実施形態に係る透光性シート体検出装置の構成
図である。
図である。
【図３】透光性シート体に対する照明光の入射角と透過
光量との関係説明図である。
光量との関係説明図である。
【図４】実施形態に係る透光性シート体検出装置により
検出された透光性シート体の画像の説明図である。
検出された透光性シート体の画像の説明図である。
【図５】他の実施形態に係る透光性シート体検出装置の
構成図である。
構成図である。
【図６】他の実施形態に係る透光性シート体検出装置に
より透光性シート体の長さを求める場合の説明図であ
る。
より透光性シート体の長さを求める場合の説明図であ
る。
【図７】他の実施形態に係る透光性シート体検出装置に
よる透光性シート体の長さ演算のフローチャートであ
る。
よる透光性シート体の長さ演算のフローチャートであ
る。
【図８】他の実施形態に係る透光性シート体検出装置が
適用されるフイルム製造システムの構成図である。
適用されるフイルム製造システムの構成図である。
２０、５０…透光性シート体検出装置 ２２…光源ユニ
ット ２４、５２ａ、５２ｂ…光ファイバ ２６、５４ａ、
５４ｂ…光学ユニット ２８…反射体 ２９…ＣＣＤ素
子 ３０、５６ａ、５６ｂ…ＣＣＤカメラ ３２…透光性シ
ート体 ３４…光源 ３６、４０…集
光レンズ ３８…ハーフミラー ４２…アパーチ
ャ部材 ５８…画像処理装置 ６０…モニタ ７０…フイルム製造システム Ｆ…フイルム Ｌ…照明光
ット ２４、５２ａ、５２ｂ…光ファイバ ２６、５４ａ、
５４ｂ…光学ユニット ２８…反射体 ２９…ＣＣＤ素
子 ３０、５６ａ、５６ｂ…ＣＣＤカメラ ３２…透光性シ
ート体 ３４…光源 ３６、４０…集
光レンズ ３８…ハーフミラー ４２…アパーチ
ャ部材 ５８…画像処理装置 ６０…モニタ ７０…フイルム製造システム Ｆ…フイルム Ｌ…照明光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA07 AA11 AA12 BB13 BB22 CC02 DD03 FF02 FF46 GG22 HH03 JJ03 JJ05 JJ26 KK01 LL02 LL04 LL12 LL30 LL59 MM03 2G059 AA05 BB10 EE01 EE02 FF01 JJ11 JJ13 JJ17 JJ22 KK04 LL03 MM01 MM09 PP01
Claims (5)
- 【請求項１】照明光を出力する光源と、 前記照明光を反射する反射体と、 前記反射体によって反射された前記照明光を受光する受
光手段と、 を備え、前記受光手段によって受光された前記照明光の
情報に基づき、前記光源と前記反射体との間に配設され
る透光性シート体を検出することを特徴とする透光性シ
ート体検出装置。 - 【請求項２】請求項１記載の装置において、 テレセントリック光学系を備え、前記反射体によって反
射された前記照明光は、前記テレセントリック光学系を
介して前記受光手段に導かれることを特徴とする透光性
シート体検出装置。 - 【請求項３】請求項１または２記載の装置において、 前記受光手段は、前記照明光の２次元分布情報を得る２
次元エリアセンサであることを特徴とする透光性シート
体検出装置。 - 【請求項４】請求項１または２記載の装置において、 前記受光手段は、前記透光性シート体の長さ方向に対し
所定間隔離間して複数配設されることを特徴とする透光
性シート体検出装置。 - 【請求項５】請求項１または２記載の装置において、 前記透光性シート体は、可視光によって感光する感光材
料からなり、前記照明光は、波長が８５０ｎｍ以上であ
ることを特徴とする透光性シート体検出装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001027150A JP2002228764A (ja) | 2001-02-02 | 2001-02-02 | 透光性シート体検出装置 |
| US10/060,148 US6943363B2 (en) | 2001-02-02 | 2002-02-01 | Apparatus for detecting light-transmissive sheet-like body |
| US11/199,194 US7145163B2 (en) | 2001-02-02 | 2005-08-09 | Apparatus for detecting light-transmissive sheet-like body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001027150A JP2002228764A (ja) | 2001-02-02 | 2001-02-02 | 透光性シート体検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002228764A true JP2002228764A (ja) | 2002-08-14 |
Family
ID=18891852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001027150A Pending JP2002228764A (ja) | 2001-02-02 | 2001-02-02 | 透光性シート体検出装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6943363B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002228764A (ja) |
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| KR101092069B1 (ko) * | 2008-11-14 | 2011-12-12 | 파나소닉 주식회사 | 플랫 패널 디스플레이의 제조 방법 |
| DE102009022316B3 (de) * | 2009-05-22 | 2010-08-19 | Eastman Kodak Company | Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung einer Substratkante in einer Druckmaschine |
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-
2001
- 2001-02-02 JP JP2001027150A patent/JP2002228764A/ja active Pending
-
2002
- 2002-02-01 US US10/060,148 patent/US6943363B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-08-09 US US11/199,194 patent/US7145163B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JP2017181513A (ja) * | 2017-05-09 | 2017-10-05 | 株式会社フジクラ | 間欠連結型光ファイバテープの検査方法、検査装置及び製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20050269531A1 (en) | 2005-12-08 |
| US20020134952A1 (en) | 2002-09-26 |
| US6943363B2 (en) | 2005-09-13 |
| US7145163B2 (en) | 2006-12-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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|
| A711 | Notification of change in applicant |
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|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Written amendment |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A02 | Decision of refusal |
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