JP2002214155A - 被検査物の欠陥検査装置 - Google Patents
被検査物の欠陥検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】被検査物の外形形状、大きさの如何に拘らず、
安定かつ正確に表面欠陥を検出できるように検査装置の
機構構造を工夫すること。 【解決手段】被検査物の表面を撮像装置で撮像し、そこ
で得られた画像データを演算装置で処理することにより
被検査物の良否を判定する欠陥装置について、撮像装置
と被検査物の距離を調整する駆動機構と、撮像装置に対
し所定の位置に設置し、撮像装置と被検査物の距離を測
定する距離計を備え、距離計により得られた撮像装置と
被検査物の距離をもとに駆動装置により撮像装置と被検
査物の距離を所定の範囲に調整して被検査物を検査する
ようにしたこと。
安定かつ正確に表面欠陥を検出できるように検査装置の
機構構造を工夫すること。 【解決手段】被検査物の表面を撮像装置で撮像し、そこ
で得られた画像データを演算装置で処理することにより
被検査物の良否を判定する欠陥装置について、撮像装置
と被検査物の距離を調整する駆動機構と、撮像装置に対
し所定の位置に設置し、撮像装置と被検査物の距離を測
定する距離計を備え、距離計により得られた撮像装置と
被検査物の距離をもとに駆動装置により撮像装置と被検
査物の距離を所定の範囲に調整して被検査物を検査する
ようにしたこと。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被検査物の円筒表面に
検査光を照射し、その反射光を検出することにより、被
検査物の表面欠陥を検出する欠陥検査装置に関するもの
であり、被検査物の外形形状、大きさの如何に関わら
ず、安定かつ正確に表面欠陥を検出することができるも
のである。
検査光を照射し、その反射光を検出することにより、被
検査物の表面欠陥を検出する欠陥検査装置に関するもの
であり、被検査物の外形形状、大きさの如何に関わら
ず、安定かつ正確に表面欠陥を検出することができるも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来の欠陥検査装置としては特開平６−
１１８００７号公報に開示されたものがある。この公開
公報のものは、円筒体の被検査物にスリット光を照射
し、そのスリット像を撮像することにより、被検査物表
面欠陥、いわゆる「しみ」や「むら」を検出するという
ものである。しかしながら、被検査物自体の大きさのば
らつきなどにより照明装置および撮像装置と被検査物表
面の位置関係にずれが生じた場合に正確な検査ができな
いという問題があった。また、外形の異なる複数種の被
検査物を検査する場合に段取り替えが非常に困難であっ
た。
１１８００７号公報に開示されたものがある。この公開
公報のものは、円筒体の被検査物にスリット光を照射
し、そのスリット像を撮像することにより、被検査物表
面欠陥、いわゆる「しみ」や「むら」を検出するという
ものである。しかしながら、被検査物自体の大きさのば
らつきなどにより照明装置および撮像装置と被検査物表
面の位置関係にずれが生じた場合に正確な検査ができな
いという問題があった。また、外形の異なる複数種の被
検査物を検査する場合に段取り替えが非常に困難であっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、被検
査物の外形形状、大きさの如何に拘らず、安定かつ正確
に表面欠陥を検出できるように検査装置の機構構造を工
夫することをその課題とする。
査物の外形形状、大きさの如何に拘らず、安定かつ正確
に表面欠陥を検出できるように検査装置の機構構造を工
夫することをその課題とする。
【０００４】
【課題解決のために講じた手段】上記課題解決のために
講じた手段は、被検査物の表面を撮像装置で撮像し、そ
こで得られた画像データを演算装置で処理することによ
り被検査物の良否を判定する欠陥装置について、撮像装
置と被検査物の距離を調整する駆動機構と、撮像装置に
対し所定の位置に設置し、撮像装置と被検査物の距離を
測定する距離計を備え、距離計により得られた撮像装置
と被検査物の距離をもとに駆動装置により撮像装置と被
検査物の距離を所定の範囲に調整して被検査物を検査す
るようにしたことである。また、照明装置と被検査物の
距離を調整する駆動機構と、照明装置に対し所定の位置
に設置し、照明装置と被検査物の距離を測定する距離計
を備え、距離計により得られた照明装置と被検査物の距
離をもとに駆動装置により照明装置と被検査物の距離を
所定の範囲に調整して被検査物を検査するようにしたこ
とである。また、被検査物を照明する照明装置と、照明
装置および撮像装置を所定の位置関係で配置した撮像ユ
ニットと、撮像ユニットと被検査物の距離を調整する駆
動機構と、撮像ユニットに対し所定の位置に設置し、照
明装置と被検査物の距離を測定する複数の距離計を備
え、複数の距離計により得られた撮像ユニットと被検査
物の距離をもとに駆動装置により撮像ユニットと被検査
物の距離を所定の範囲に調整して被検査物を検査するよ
うにしたことである。また、撮像装置と被検査物の傾き
を調整する駆動機構と、撮像装置に対し所定の位置に設
置し、撮像装置と被検査物の距離を測定する複数の距離
計を備え、複数の距離計により得られた撮像装置と被検
査物の距離をもとに駆動装置により撮像装置と被検査物
の距離および傾きを所定の範囲に調整して被検査物を検
査するようにした。また、被検査物を照明する照明装置
と、照明装置と被検査物の傾きを調整する駆動機構と、
照明装置に対し所定の位置に設置し、照明装置と被検査
物の距離を測定する複数の距離計を備え、複数の距離計
により得られた照明装置と被検査物の距離をもとに駆動
装置により照明装置と被検査物の傾きを所定の範囲に調
整し被検査物を検査するようにしたことである。また、
被検査物を照明する照明装置と、照明装置および撮像装
置を所定の位置関係で配置した撮像ユニットと、撮像ユ
ニットと被検査物の傾きを調整する駆動機構と、撮像ユ
ニットに対し所定の位置に設置し、撮像ユニットと被検
査物の距離を測定する複数の距離計を備え、複数の距離
計により得られた撮像ユニットと被検査物の距離をもと
に駆動装置により撮像ユニットと被検査物の傾きを所定
の範囲に調整して被検査物を検査するようにしたことで
ある。また、撮像装置の撮像する被検査物上の位置を調
整する撮像装置の駆動機構と、撮像装置に対し所定の位
置に設置し、撮像装置と被検査物の距離を測定する複数
の距離計を備え、複数の距離計により得られた撮像装置
と被検査物の距離をもとに駆動装置により撮像装置の撮
像する被検査物上の位置を所定の範囲に調整して被検査
物を検査するようにしたことである。また、被検査物を
照明する照明装置と、照明装置の照明する被検査物上の
位置を調整する撮像装置の駆動機構と、照明装置に対し
所定の位置に設置し、照明装置と被検査物の距離を測定
する複数の距離計を備え、複数の距離計により得られた
照明装置と被検査物の距離をもとに駆動装置により照明
装置の照明する被検査物上の位置を所定の範囲に調整し
て被検査物を検査するようにしたことである。また、被
検査物を照明する照明装置と、照明装置および撮像装置
を所定の位置関係で配置した撮像ユニットと、撮像装置
の撮像する被検査物上の位置を調整する撮像ユニットの
駆動機構と、撮像ユニットに対し所定の位置に設置し、
撮像ユニットと被検査物の距離を測定する複数の距離計
を備え、複数の距離計により得られた撮像ユニットと被
検査物の距離をもとに駆動装置により撮像装置の撮像す
る被検査物上の位置を所定の範囲に調整して被検査物を
検査するようにしたことである。さらに、距離計より得
られた距離情報と駆動機構に指示した移動量をもとに被
検査物の外形の良否を判定するようにしたことである。
講じた手段は、被検査物の表面を撮像装置で撮像し、そ
こで得られた画像データを演算装置で処理することによ
り被検査物の良否を判定する欠陥装置について、撮像装
置と被検査物の距離を調整する駆動機構と、撮像装置に
対し所定の位置に設置し、撮像装置と被検査物の距離を
測定する距離計を備え、距離計により得られた撮像装置
と被検査物の距離をもとに駆動装置により撮像装置と被
検査物の距離を所定の範囲に調整して被検査物を検査す
るようにしたことである。また、照明装置と被検査物の
距離を調整する駆動機構と、照明装置に対し所定の位置
に設置し、照明装置と被検査物の距離を測定する距離計
を備え、距離計により得られた照明装置と被検査物の距
離をもとに駆動装置により照明装置と被検査物の距離を
所定の範囲に調整して被検査物を検査するようにしたこ
とである。また、被検査物を照明する照明装置と、照明
装置および撮像装置を所定の位置関係で配置した撮像ユ
ニットと、撮像ユニットと被検査物の距離を調整する駆
動機構と、撮像ユニットに対し所定の位置に設置し、照
明装置と被検査物の距離を測定する複数の距離計を備
え、複数の距離計により得られた撮像ユニットと被検査
物の距離をもとに駆動装置により撮像ユニットと被検査
物の距離を所定の範囲に調整して被検査物を検査するよ
うにしたことである。また、撮像装置と被検査物の傾き
を調整する駆動機構と、撮像装置に対し所定の位置に設
置し、撮像装置と被検査物の距離を測定する複数の距離
計を備え、複数の距離計により得られた撮像装置と被検
査物の距離をもとに駆動装置により撮像装置と被検査物
の距離および傾きを所定の範囲に調整して被検査物を検
査するようにした。また、被検査物を照明する照明装置
と、照明装置と被検査物の傾きを調整する駆動機構と、
照明装置に対し所定の位置に設置し、照明装置と被検査
物の距離を測定する複数の距離計を備え、複数の距離計
により得られた照明装置と被検査物の距離をもとに駆動
装置により照明装置と被検査物の傾きを所定の範囲に調
整し被検査物を検査するようにしたことである。また、
被検査物を照明する照明装置と、照明装置および撮像装
置を所定の位置関係で配置した撮像ユニットと、撮像ユ
ニットと被検査物の傾きを調整する駆動機構と、撮像ユ
ニットに対し所定の位置に設置し、撮像ユニットと被検
査物の距離を測定する複数の距離計を備え、複数の距離
計により得られた撮像ユニットと被検査物の距離をもと
に駆動装置により撮像ユニットと被検査物の傾きを所定
の範囲に調整して被検査物を検査するようにしたことで
ある。また、撮像装置の撮像する被検査物上の位置を調
整する撮像装置の駆動機構と、撮像装置に対し所定の位
置に設置し、撮像装置と被検査物の距離を測定する複数
の距離計を備え、複数の距離計により得られた撮像装置
と被検査物の距離をもとに駆動装置により撮像装置の撮
像する被検査物上の位置を所定の範囲に調整して被検査
物を検査するようにしたことである。また、被検査物を
照明する照明装置と、照明装置の照明する被検査物上の
位置を調整する撮像装置の駆動機構と、照明装置に対し
所定の位置に設置し、照明装置と被検査物の距離を測定
する複数の距離計を備え、複数の距離計により得られた
照明装置と被検査物の距離をもとに駆動装置により照明
装置の照明する被検査物上の位置を所定の範囲に調整し
て被検査物を検査するようにしたことである。また、被
検査物を照明する照明装置と、照明装置および撮像装置
を所定の位置関係で配置した撮像ユニットと、撮像装置
の撮像する被検査物上の位置を調整する撮像ユニットの
駆動機構と、撮像ユニットに対し所定の位置に設置し、
撮像ユニットと被検査物の距離を測定する複数の距離計
を備え、複数の距離計により得られた撮像ユニットと被
検査物の距離をもとに駆動装置により撮像装置の撮像す
る被検査物上の位置を所定の範囲に調整して被検査物を
検査するようにしたことである。さらに、距離計より得
られた距離情報と駆動機構に指示した移動量をもとに被
検査物の外形の良否を判定するようにしたことである。
【０００５】
【作用】上記構成によれば、撮像装置と被検査物の距離
を所定の範囲に調整することができる。この機能によ
り、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更による外
形形状の変化に影響されない安定した欠陥の検出が可能
となる。また照明装置と被検査物の距離を所定の範囲に
調整する機能を持つことにより、被検査物個々のばらつ
きや検査品種の変更による外形形状の変化に影響されず
に安定して欠陥を検出することができる。また、照明装
置および撮像装置を所定の位置関係で配置した撮像ユニ
ットと被検査物の距離を所定の範囲に調整する機能を持
つことにより、被検査物個々のばらつきや検査品種の変
更による外形形状の変化に影響されずに安定して欠陥を
検出することができる。また、撮像装置と被検査物の傾
きを所定の範囲に調整する機能を持つことにより、被検
査物個々のばらつきや検査品種の変更による外形形状の
変化に影響されずに安定して欠陥を検出することができ
る。また、照明装置と被検査物の傾きを所定の範囲に調
整する機能を持つことにより、被検査物個々のばらつき
や検査品種の変更による外形形状の変化に影響されずに
安定して欠陥を検出することができる。また、照明装置
および撮像装置を所定の位置関係で配置した撮像ユニッ
トと被検査物の傾きを所定の範囲に調整する機能を持つ
ことにより、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更
による外形形状の変化に影響されずに安定して欠陥を検
出することができる。また、撮像装置の撮像する被検査
物上の位置を所定の範囲に調整する機能を持つことによ
り、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更による外
形形状の変化に影響されずに安定して欠陥を検出するこ
とができる。また、照明装置の照明する被検査物上の位
置を所定の範囲に調整する機能を持つことにより、被検
査物個々のばらつきや検査品種の変更による外形形状の
変化に影響されずに安定して欠陥を検出することができ
る。また、照明装置および撮像装置を所定の位置関係で
配置した撮像ユニットを駆動して、撮像装置の撮像する
被検査物上の位置を所定の範囲に調整する機能を持つこ
とにより、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更に
よる外形形状の変化に影響されずに安定して欠陥を検出
することができる。さらに、距離計より得られた距離情
報と駆動機構に指示した移動量をもとに被検査物の外形
を算出することにより、被検査物の外形の不良を容易に
検出することができる。
を所定の範囲に調整することができる。この機能によ
り、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更による外
形形状の変化に影響されない安定した欠陥の検出が可能
となる。また照明装置と被検査物の距離を所定の範囲に
調整する機能を持つことにより、被検査物個々のばらつ
きや検査品種の変更による外形形状の変化に影響されず
に安定して欠陥を検出することができる。また、照明装
置および撮像装置を所定の位置関係で配置した撮像ユニ
ットと被検査物の距離を所定の範囲に調整する機能を持
つことにより、被検査物個々のばらつきや検査品種の変
更による外形形状の変化に影響されずに安定して欠陥を
検出することができる。また、撮像装置と被検査物の傾
きを所定の範囲に調整する機能を持つことにより、被検
査物個々のばらつきや検査品種の変更による外形形状の
変化に影響されずに安定して欠陥を検出することができ
る。また、照明装置と被検査物の傾きを所定の範囲に調
整する機能を持つことにより、被検査物個々のばらつき
や検査品種の変更による外形形状の変化に影響されずに
安定して欠陥を検出することができる。また、照明装置
および撮像装置を所定の位置関係で配置した撮像ユニッ
トと被検査物の傾きを所定の範囲に調整する機能を持つ
ことにより、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更
による外形形状の変化に影響されずに安定して欠陥を検
出することができる。また、撮像装置の撮像する被検査
物上の位置を所定の範囲に調整する機能を持つことによ
り、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更による外
形形状の変化に影響されずに安定して欠陥を検出するこ
とができる。また、照明装置の照明する被検査物上の位
置を所定の範囲に調整する機能を持つことにより、被検
査物個々のばらつきや検査品種の変更による外形形状の
変化に影響されずに安定して欠陥を検出することができ
る。また、照明装置および撮像装置を所定の位置関係で
配置した撮像ユニットを駆動して、撮像装置の撮像する
被検査物上の位置を所定の範囲に調整する機能を持つこ
とにより、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更に
よる外形形状の変化に影響されずに安定して欠陥を検出
することができる。さらに、距離計より得られた距離情
報と駆動機構に指示した移動量をもとに被検査物の外形
を算出することにより、被検査物の外形の不良を容易に
検出することができる。
【０００６】
【実施例】まず図１に基づいて実施例１を説明する。図
１に示した実施例では、同一の撮像ユニット５（ベー
ス）に撮像装置２、照明装置３および距離計４が配置さ
れている。被検査物の表面欠陥検査をする前に、まず距
離計４により円筒状の被検査物１との距離を測定し、そ
の測定された距離を基に駆動装置（図示なし）により矢
印方向に撮像ユニット５の位置を初期調整することによ
り、撮像装置２又は／及び照明装置３と被検査物１の距
離を所定の位置に設定する。これにより、被検査物の種
類が変わっても容易に調整が可能となる。尚、調整する
際の基準は、撮像装置２、照明装置３又は撮像ユニット
５のいずれか１つとし、この基準と被検査物１との距離
を測定し調整する。
１に示した実施例では、同一の撮像ユニット５（ベー
ス）に撮像装置２、照明装置３および距離計４が配置さ
れている。被検査物の表面欠陥検査をする前に、まず距
離計４により円筒状の被検査物１との距離を測定し、そ
の測定された距離を基に駆動装置（図示なし）により矢
印方向に撮像ユニット５の位置を初期調整することによ
り、撮像装置２又は／及び照明装置３と被検査物１の距
離を所定の位置に設定する。これにより、被検査物の種
類が変わっても容易に調整が可能となる。尚、調整する
際の基準は、撮像装置２、照明装置３又は撮像ユニット
５のいずれか１つとし、この基準と被検査物１との距離
を測定し調整する。
【０００７】表面欠陥検査をする際には、被検査物１を
円周方向に回転させながら被検査物１の全周を撮像す
る。しかし被検査物１の回転ブレが大きい場合には、距
離計４の距離データに変化が生じてしまい精度の高い検
査ができなくなる。そのため表面欠陥検査の前に回転ブ
レに基づく距離計４と被検査物１との距離の変化を予め
測定してこのデータを記憶し、検査に際し該データに基
づき駆動機構にて矢印方向にベースの位置を調整しなが
ら全周にわたって検査を行う。これにより、安定して被
検査物１の画像を撮像することができ、高精度な検査が
可能となる。また、距離計４の距離データ、駆動装置に
与える移動指示情報に基づき被検査物１の外形が算出で
きるので、被検査物１の外形自体の欠陥も検出可能であ
る。
円周方向に回転させながら被検査物１の全周を撮像す
る。しかし被検査物１の回転ブレが大きい場合には、距
離計４の距離データに変化が生じてしまい精度の高い検
査ができなくなる。そのため表面欠陥検査の前に回転ブ
レに基づく距離計４と被検査物１との距離の変化を予め
測定してこのデータを記憶し、検査に際し該データに基
づき駆動機構にて矢印方向にベースの位置を調整しなが
ら全周にわたって検査を行う。これにより、安定して被
検査物１の画像を撮像することができ、高精度な検査が
可能となる。また、距離計４の距離データ、駆動装置に
与える移動指示情報に基づき被検査物１の外形が算出で
きるので、被検査物１の外形自体の欠陥も検出可能であ
る。
【０００８】図２の実施例２では、距離計４により得ら
れた距離データを基に被検査物１に対する撮像装置２、
照明装置３の傾きを調整する機能を有している。この構
成により被検査物の表面欠陥及び外形の欠陥検査がより
安定かつ高精度に行うことができる。
れた距離データを基に被検査物１に対する撮像装置２、
照明装置３の傾きを調整する機能を有している。この構
成により被検査物の表面欠陥及び外形の欠陥検査がより
安定かつ高精度に行うことができる。
【０００９】図３の実施例３では、距離計４により得ら
れた距離データをもとに撮像装置２の撮像する被検査物
１上の位置、および照明装置３の照明する被検査物１上
の位置を調整する機能を有したものである。撮像装置２
又は照明装置３と被検査物１との傾きや、撮像装置２の
撮像する被検査物１上の位置および照明装置の照明する
被検査物１上の位置は被検査物１上の凹凸を検出する際
には影響が大きく、これらパラメータを調整することに
より表面欠陥の検出を高精度に行うことができる。また
上記実施例と同様に外形の欠陥も検出可能である。
れた距離データをもとに撮像装置２の撮像する被検査物
１上の位置、および照明装置３の照明する被検査物１上
の位置を調整する機能を有したものである。撮像装置２
又は照明装置３と被検査物１との傾きや、撮像装置２の
撮像する被検査物１上の位置および照明装置の照明する
被検査物１上の位置は被検査物１上の凹凸を検出する際
には影響が大きく、これらパラメータを調整することに
より表面欠陥の検出を高精度に行うことができる。また
上記実施例と同様に外形の欠陥も検出可能である。
【００１０】なお、実施例は以上の例に限られず、種々
の変更及び組み合わせが可能であり、例えば、実施例
１、実施例２、実施例３の組み合わせ、実施例１、実施
例２のみの組み合わせ等、これらを適宜組み合わせて実
施することも可能である。
の変更及び組み合わせが可能であり、例えば、実施例
１、実施例２、実施例３の組み合わせ、実施例１、実施
例２のみの組み合わせ等、これらを適宜組み合わせて実
施することも可能である。
【００１１】
【発明の効果】請求項１の構成によれば、撮像装置と被
検査物の距離を所定の範囲に調整できるので、被検査物
個々のばらつきや検査品種の変更による外形形状の変化
に影響されることなく、安定かつ高精度で表面欠陥を検
出することができる。請求項２の構成によれば、照明装
置と被検査物の距離を所定の範囲に調整できるので、被
検査物個々のばらつきや検査品種の変更による外形形状
の変化に影響されることなく、安定かつ高精度で表面欠
陥を検出することができる。請求項３の構成によれば、
照明装置および撮像装置を所定の位置関係で配置した撮
像ユニットと被検査物の距離を所定の範囲に調整できる
ので、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更による
外形形状の変化に影響されることなく、安定かつ高精度
で表面欠陥を検出することができる。請求項４の構成に
よれば、撮像装置と被検査物の傾きを所定の範囲に調整
できるので、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更
による外形形状の変化に影響されることなく、安定かつ
高精度で表面欠陥を検出することができる。請求項５の
構成によれば、照明装置と被検査物の傾きを所定の範囲
に調整できるので、被検査物個々のばらつきや検査品種
の変更による外形形状の変化に影響されることなく、安
定かつ高精度で表面欠陥を検出することができる。請求
項６の構成によれば、照明装置および撮像装置を所定の
位置関係で配置した撮像ユニットと被検査物の傾きを所
定の範囲に調整できるので、被検査物個々のばらつきや
検査品種の変更による外形形状の変化に影響されること
なく、安定かつ高精度で表面欠陥を検出することができ
る。請求項７の構成によれば、撮像装置の撮像する被検
査物上の位置を所定の範囲に調整できるので、被検査物
個々のばらつきや検査品種の変更による外形形状の変化
に影響されることなく、安定かつ高精度で表面欠陥を検
出することができる。請求項８の構成によれば、照明装
置の照明する被検査物上の位置を所定の範囲に調整でき
るので、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更によ
る外形形状の変化に影響されることなく、安定かつ高精
度で表面欠陥を検出することができる。請求項９の構成
によれば、照明装置および撮像装置を所定の位置関係で
配置した撮像ユニットを駆動して、撮像装置の撮像する
被検査物上の位置を所定の範囲に調整できるので、被検
査物個々のばらつきや検査品種の変更による外形形状の
変化に影響されることなく、安定かつ高精度で表面欠陥
を検出することができる。請求項１０の構成によれば、
距離情報と駆動機構に指示した移動量をもとに被検査物
の外形の良否が容易に検出でき、より高精度かつ信頼性
の高い欠陥検出が可能となる。
検査物の距離を所定の範囲に調整できるので、被検査物
個々のばらつきや検査品種の変更による外形形状の変化
に影響されることなく、安定かつ高精度で表面欠陥を検
出することができる。請求項２の構成によれば、照明装
置と被検査物の距離を所定の範囲に調整できるので、被
検査物個々のばらつきや検査品種の変更による外形形状
の変化に影響されることなく、安定かつ高精度で表面欠
陥を検出することができる。請求項３の構成によれば、
照明装置および撮像装置を所定の位置関係で配置した撮
像ユニットと被検査物の距離を所定の範囲に調整できる
ので、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更による
外形形状の変化に影響されることなく、安定かつ高精度
で表面欠陥を検出することができる。請求項４の構成に
よれば、撮像装置と被検査物の傾きを所定の範囲に調整
できるので、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更
による外形形状の変化に影響されることなく、安定かつ
高精度で表面欠陥を検出することができる。請求項５の
構成によれば、照明装置と被検査物の傾きを所定の範囲
に調整できるので、被検査物個々のばらつきや検査品種
の変更による外形形状の変化に影響されることなく、安
定かつ高精度で表面欠陥を検出することができる。請求
項６の構成によれば、照明装置および撮像装置を所定の
位置関係で配置した撮像ユニットと被検査物の傾きを所
定の範囲に調整できるので、被検査物個々のばらつきや
検査品種の変更による外形形状の変化に影響されること
なく、安定かつ高精度で表面欠陥を検出することができ
る。請求項７の構成によれば、撮像装置の撮像する被検
査物上の位置を所定の範囲に調整できるので、被検査物
個々のばらつきや検査品種の変更による外形形状の変化
に影響されることなく、安定かつ高精度で表面欠陥を検
出することができる。請求項８の構成によれば、照明装
置の照明する被検査物上の位置を所定の範囲に調整でき
るので、被検査物個々のばらつきや検査品種の変更によ
る外形形状の変化に影響されることなく、安定かつ高精
度で表面欠陥を検出することができる。請求項９の構成
によれば、照明装置および撮像装置を所定の位置関係で
配置した撮像ユニットを駆動して、撮像装置の撮像する
被検査物上の位置を所定の範囲に調整できるので、被検
査物個々のばらつきや検査品種の変更による外形形状の
変化に影響されることなく、安定かつ高精度で表面欠陥
を検出することができる。請求項１０の構成によれば、
距離情報と駆動機構に指示した移動量をもとに被検査物
の外形の良否が容易に検出でき、より高精度かつ信頼性
の高い欠陥検出が可能となる。
【図１】は実施例１の欠陥検出装置の概略構成図であ
る。
る。
【図２】は実施例２の欠陥検出装置の概略構成図であ
る。
る。
【図３】は実施例３の欠陥検出装置の概略構成図であ
る。
る。
１・・・・被検査物 ２・・・・撮像装置 ３・・・・照明装置 ４・・・・距離計 ５・・・・撮像ユニット（ベース）
Claims (10)
- 【請求項１】被検査物の表面を撮像装置で撮像し、そこ
で得られた画像データを演算装置で処理することにより
被検査物の良否を判定する欠陥装置において、 撮像装置と被検査物の距離を調整する駆動機構と、撮像
装置に対し所定の位置に設置され、撮像装置と被検査物
の距離を測定する距離計を備え、距離計により得られた
撮像装置と被検査物の距離をもとに駆動装置により撮像
装置と被検査物の距離を所定の範囲に調整して被検査物
を検査することを特徴とする欠陥検査装置。 - 【請求項２】請求項１の欠陥検査装置において、 照明装置と被検査物の距離を調整する駆動機構と、照明
装置に対し所定の位置に設置され、照明装置と被検査物
の距離を測定する距離計を備え、距離計により得られた
照明装置と被検査物の距離をもとに駆動装置により照明
装置と被検査物の距離を所定の範囲に調整して被検査物
を検査することを特徴とする欠陥検査装置。 - 【請求項３】請求項１の欠陥検査装置において、 被検査物を照明する照明装置と、照明装置および撮像装
置を所定の位置関係で配置した撮像ユニットと、撮像ユ
ニットと被検査物の距離を調整する駆動機構と、撮像ユ
ニットに対し所定の位置に設置し、撮像ユニットと被検
査物の距離を測定する複数の距離計を備え、複数の距離
計により得られた撮像ユニットと被検査物の距離をもと
に駆動装置により撮像ユニットと被検査物の距離を所定
の範囲に調整して被検査物を検査することを特徴とする
欠陥検査装置。 - 【請求項４】請求項１の欠陥検査装置において、 撮像装置と被検査物の傾きを調整する駆動機構と、撮像
装置に対し所定の位置に設置し、撮像装置と被検査物の
距離を測定する複数の距離計を備え、複数の距離計によ
り得られた撮像装置と被検査物の距離をもとに駆動装置
により撮像装置と被検査物の距離および傾きを所定の範
囲に調整して被検査物を検査することを特徴とする欠陥
検査装置。 - 【請求項５】請求項１の欠陥検査装置において、 被検査物を照明する照明装置と、照明装置と被検査物の
傾きを調整する駆動機構と、照明装置に対し所定の位置
に設置し、照明装置と被検査物の距離を測定する複数の
距離計を備え、複数の距離計により得られた照明装置と
被検査物の距離をもとに駆動装置により照明装置と被検
査物の傾きを所定の範囲に調整して被検査物を検査する
ことを特徴とする欠陥検査装置。 - 【請求項６】請求項１の欠陥検査装置において、 被検査物を照明する照明装置と、照明装置および撮像装
置を所定の位置関係で配置した撮像ユニットと、撮像ユ
ニットと被検査物の傾きを調整する駆動機構と、撮像ユ
ニットに対し所定の位置に設置し、撮像ユニットと被検
査物の距離を測定する複数の距離計を備え、複数の距離
計により得られた撮像ユニットと被検査物の距離をもと
に駆動装置により撮像ユニットと被検査物の傾きを所定
の範囲に調整して被検査物を検査することを特徴とする
欠陥検査装置。 - 【請求項７】請求項１の欠陥検査装置において、 撮像装置の撮像する被検査物上の位置を調整する撮像装
置の駆動機構と、撮像装置に対し所定の位置に設置し、
撮像装置と被検査物の距離を測定する複数の距離計を備
え、複数の距離計により得られた撮像装置と被検査物の
距離をもとに駆動装置により撮像装置の撮像する被検査
物上の位置を所定の範囲に調整して被検査物を検査する
ことを特徴とする欠陥検査装置。 - 【請求項８】請求項１の欠陥検査装置において、 被検査物を照明する照明装置と、照明装置の照明する被
検査物上の位置を調整する撮像装置の駆動機構と、照明
装置に対し所定の位置に設置し、照明装置と被検査物の
距離を測定する複数の距離計を備え、複数の距離計によ
り得られた照明装置と被検査物の距離をもとに駆動装置
により照明装置の照明する被検査物上の位置を所定の範
囲に調整して被検査物を検査することを特徴とする欠陥
検査装置。 - 【請求項９】請求項１の欠陥検査装置において、 被検査物を照明する照明装置と、照明装置および撮像装
置を所定の位置関係で配置した撮像ユニットと、撮像装
置の撮像する被検査物上の位置を調整する撮像ユニット
の駆動機構と、撮像ユニットに対し所定の位置に設置
し、撮像ユニットと被検査物の距離を測定する複数の距
離計を備え、複数の距離計により得られた撮像ユニット
と被検査物の距離をもとに駆動装置により撮像装置の撮
像する被検査物上の位置を所定の範囲に調整して被検査
物を検査することを特徴とする欠陥検査装置。 - 【請求項１０】請求項１乃至請求項９の欠陥検査装置に
おいて、 距離計より得られた距離情報と駆動機構に指示した移動
量をもとに被検査物の外形の良否を判定することを特徴
とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001009428A JP2002214155A (ja) | 2001-01-17 | 2001-01-17 | 被検査物の欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001009428A JP2002214155A (ja) | 2001-01-17 | 2001-01-17 | 被検査物の欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002214155A true JP2002214155A (ja) | 2002-07-31 |
Family
ID=18876917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001009428A Pending JP2002214155A (ja) | 2001-01-17 | 2001-01-17 | 被検査物の欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002214155A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007071731A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 撮像方法及び撮像装置 |
| JP2007205926A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Ricoh Co Ltd | 表面欠陥検査装置、表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査プログラム |
| JP2008058050A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Ricoh Co Ltd | 表面欠陥検査装置及びその方法 |
| CN105445285A (zh) * | 2014-09-26 | 2016-03-30 | 宝山钢铁股份有限公司 | 用于无张力约束下线材视觉检测装置及方法 |
-
2001
- 2001-01-17 JP JP2001009428A patent/JP2002214155A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007071731A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 撮像方法及び撮像装置 |
| JP4694923B2 (ja) * | 2005-09-07 | 2011-06-08 | 大日本印刷株式会社 | 撮像方法及び撮像装置 |
| JP2007205926A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Ricoh Co Ltd | 表面欠陥検査装置、表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査プログラム |
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