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JP2002202348A - 論理集積回路のテスト回路およびその方法 - Google Patents

論理集積回路のテスト回路およびその方法

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Publication number
JP2002202348A
JP2002202348A JP2000399886A JP2000399886A JP2002202348A JP 2002202348 A JP2002202348 A JP 2002202348A JP 2000399886 A JP2000399886 A JP 2000399886A JP 2000399886 A JP2000399886 A JP 2000399886A JP 2002202348 A JP2002202348 A JP 2002202348A
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JP
Japan
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flip
scan
flop
input terminal
output terminal
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2000399886A
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English (en)
Inventor
Ryoichiro Nagamine
良一郎 永峯
Yasumitsu Makita
泰光 牧田
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Renesas Micro Systems Co Ltd
Original Assignee
Renesas Micro Systems Co Ltd
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Publication date
Application filed by Renesas Micro Systems Co Ltd filed Critical Renesas Micro Systems Co Ltd
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Priority to US10/026,532 priority patent/US7069486B2/en
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/3185Reconfiguring for testing, e.g. LSSD, partitioning
    • G01R31/318533Reconfiguring for testing, e.g. LSSD, partitioning using scanning techniques, e.g. LSSD, Boundary Scan, JTAG
    • G01R31/318577AC testing, e.g. current testing, burn-in

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  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 入出力端子それぞれのAC特性を最短時間で
測定することができる。 【解決手段】 入力端子側にある最前段から出力端子
側にある最後段までの各フリップフロップ群内のスキャ
ンパスは、最先頭FF11xから最後尾FF1mxまで
を順次シリアル接続している。スキャンパスは、スキャ
ン専用入力端子SINを最後段の先頭FF11nの入力
端子に接続し、各フリップフロップ群では、最後段に次
いで入力端子側の第2段から最後段の前段までを順次シ
リアル接続する。更に最後段の前段のフリップフロップ
群にある最後のFF1m(n−1)(図示されず)は最
前段フリップフロップ群とシリアル接続され、最前段フ
リップフロップ群に含まれる最後尾のFF1m1の出力
端子Qがスキャン専用出力端子SOTと接続している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、対象とする複数の
論理回路それぞれに対してスキャン型フリップフロップ
を設け入力端子側から出力端子側にシリアル接続したス
キャンパスを用いる、いわゆるスキャンパス手法で交流
(AC)特性を測定する論理集積回路のテスト回路およ
びその方法に関し、特に、複数の入出力端子の交流特性
(以後、AC特性と呼称する)を測定する際のテストタ
イムの削減を図ることができる論理集積回路のテスト回
路およびその方法に関する。
【0002】
【従来の技術】スキャンパス手法とは、大規模化の一途
を辿る集積回路のテストパタン生成プロセスを容易化す
るためのテスト容易化設計(DFT)手法の一つで、集
積回路中のフリップ・フロップをスキャンのためのスキ
ャン型フリップフロップに置き換えて制御・観測可能に
するものである。スキャンパス手法を用いることによっ
て順序回路を組合せ回路として扱えるようになるため、
ATPG(Automatic Test Patte
rn Genarator)をスキャンパス手法と組み
合わせて使用することにより、従来人手で作成していた
テストパタンを自動で作成でき、大幅なテストパタン作
成期間の短縮が可能となる。
【0003】ATPGでは、例えば、任意のフリップフ
ロップ間などのように、所望の状態にデータ値を設定し
たい箇所のみを対象としたテストパタンを作成すること
が可能である。これを利用して外部端子とフリップフロ
ップ間とを対象としたテストパタンを作成し、LSI
(大規模集積回路)テスタ上で集積回路の出力波形の遷
移時間、セットアップ時間、ホールド時間などのAC特
性を測定している。
【0004】スキャンパス手法の発達によって、スキャ
ンパスを使用してAC特性測定用のテストパタンを生成
することが可能となった。これによって、従来の機能検
証用パタンでのAC特性測定方法と比較するとテストパ
タン数は短くなり、テストタイムを短縮することができ
た。しかし、デバイスのコスト低減のためには更なるテ
ストタイム短縮が要求されているのが現状である。
【0005】スキャンパスを使用したテストパタンの場
合、テストパタンの大部分は、シフトレジスタ構成であ
るスキャンパス上を信号が順次移行している状態であ
る。これは通常モードでデータ捕捉した値を、スキャン
シフトモードでスキャンパス上を順次移行させて外部出
力端子へ伝搬させるためであるが、大規模な集積回路で
はスキャンパスが長いためにこのスキャンシフト状態が
長くなり、テストパタン数増およびテストタイム増を招
くこととなる。
【0006】例えば、図4に示されるように、最前段と
なる入力端子側のm個のフリップフロップ(以後、FF
と略称する)411、421、〜4m1から最後段とな
る出力端子側のm個のFF41n、42n、〜4mnま
でn段のフリップフロップが設けられている。
【0007】従来の論理集積回路のテスト回路では、図
4で示されるように、スキャンパスは、スキャン専用の
入力端子SINを最前段に位置するフリップフロップ群
における先頭フリップフロップのFF411の入力端子
に接続し、以降、後尾のFF4m1までのフリップフロ
ップをシリアル接続している。次いで、スキャンパス
は、次の段に位置するフリップフロップ群におけるFF
412からFF4m2までをシリアル接続し、順次、各
段のフリップフロップをシリアル接続して最後段の最後
尾に位置するFF4mnの出力端子Qをスキャン専用の
出力端子SOTに接続して形成される。
【0008】この状態のスキャンパスを例として入力端
子のAC特性測定用パタンを生成する場合を考える。フ
リップフロップに取り込まれた信号をスキャンパス上で
順次移行させてスキャン専用出力端子SOTに伝搬させ
るので、スキャンパス上で最前段、最先頭にあるFF4
11が入力端子IN1からの信号を取り込む場合、スキ
ャンパス上に、例えば(m×n=)50,000個のフ
リップフロップがあるとすると、入力端子から取り込ん
だ信号をスキャン専用の出力端子SOTまで伝搬させる
には50,000回のスキャンシフトを行わなければな
らない。
【0009】他方、出力端子OT1〜OTmのAC特性
測定用パタンを生成する場合には、スキャン専用の出力
端子SOTに信号を送り出すため、上述同様、スキャン
パス上で最後段、最後尾にあるFF4mnまで50,0
00個のフリップフロップがあるので、50,000回
のスキャンシフトが必要となる。
【0010】フリップフロップのスキャンパス上での接
続順番は、スキャンパス構築ツールによって図4に示さ
れるようなフリップフロップのインスタンス名の順に接
続されるのが一般的である。このため、前述のように場
合によっては多くのスキャンシフトが必要となり、テス
トパタン数増およびテスト時間増を招いてしまうという
問題点が生じる。
【0011】このようなに、大規模集積回路において、
テストパタンの発生にかかる時間が増大し、またボード
レベルでのテスト時間が増大するという問題点を解決す
ることを目的とするして、例えば、特許第309204
号公報に開示された集積回路およびそのテスト方法があ
る。
【0012】この回路によれば、図5に示されるよう
に、スキャンパスがスキャン専用の入力端子SINを最
前段に位置する先頭フリップフロップのFF511の入
力端子に接続し、以降、後尾のFF5m1までのフリッ
プフロップをシリアル接続することは図4を参照した説
明と同一である。しかし、最前段、最後尾のFF5m1
の出力端子は、最後段、最先頭に位置するFF51nの
入力端子に接続し、以降最後段、最後尾に位置するFF
5mnの出力端子がセレクタ501の一方の入力端子に
接続する。
【0013】内部のフリップフロップは、最後段の最後
尾に位置するFF5mnの出力端子Qから順次シリアル
接続されてセレクタ501の他方の入力端子に接続され
る。図4にはないセレクタ501は、入出力端子に対応
するフリップフロップのみにより形成されるスキャンパ
スと集積回路内部のフリップフロップ全てにより形成さ
れるスキャンパスとのいずれかを選択して、スキャン専
用の出力端子SOTに接続している。従って、入出力端
子それぞれのテスト時間は、入出力端子に対応するフリ
ップフロップのみにより形成されるスキャンパスのスキ
ャンシフト数のみに限定される。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】上述した特許公報によ
り開示された従来の論理集積回路のテスト回路では、な
お、テストタイムの削減を図る余地があるという問題点
がある。
【0015】すなわち、入力端子INxからテストパタ
ンを入力した場合、出力端子側のシリアル接続されたフ
リップフロップまでをスキャンシフトしなければスキャ
ン専用出力端子にデータが送出されないからである。
【0016】本発明の課題は、このような問題点を解決
し、入出力端子のAC特性を測定する際のテストタイム
の更なる削減を図ることができる論理集積回路のテスト
回路およびその方法を提供することである。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明による論理集積回
路のテスト回路は、対象とする複数の論理回路それぞれ
に対してスキャン型フリップフロップを設け入力端子側
から出力端子側にシリアル接続したスキャンパスを用い
て交流特性を測定する論理集積回路のテスト回路であっ
て、一つのスキャンパスは、スキャン専用入力端子を前
記出力端子側に配置される最後段フリップフロップ群に
おける最先頭フリップフロップの入力端子に接続するこ
とを特徴としている。また、別のスキャンパスは、スキ
ャン専用出力端子を前記入力端子側に配置される最前段
フリップフロップ群における最後尾フリップフロップの
出力端子に接続することを特徴としている。
【0018】更に、上記二つのスキャンパスを一つに形
成して備える構成であってもよい。この場合、前記スキ
ャンパスは、スキャン専用入力端子を前記出力端子側に
配置される最後段フリップフロップ群における最先頭フ
リップフロップの入力端子に接続し、前記最後段フリッ
プフロップ群における最後尾フリップフロップの出力端
子から内部のフリップフロップを順次接続して前記入力
端子側に配置される最前段フリップフロップ群における
最先頭フリップフロップの入力端子に接続し最後に前記
最前段フリップフロップ群における最後尾フリップフロ
ップの出力端子をスキャン専用出力端子に接続してい
る。
【0019】このような構成により、入力端子からの入
力データを入力端子側フリップフロップのみのスキャン
シフトによりスキャン専用の出力端子から取出すことが
できる一方、スキャン専用の入力端子から入力したテス
トデータを出力端子側フリップフロップのみのスキャン
シフトにより各出力端子から取出すことができる。
【0020】また、本発明による論理集積回路のテスト
方法は、上記テスト回路におけるスキャンパスを用い、
クロック信号を入力すると共に複数の入力端子それぞれ
に所定のデータを入力して前記スキャン専用出力端子の
出力を得ることにより前記入力端子の交流特性を測定す
ること、およびクロック信号を入力すると共に前記スキ
ャン専用入力端子から所定のデータを入力して複数の出
力端子それぞれからの出力を得ることにより出力端子の
交流特性を測定することである。
【0021】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
【0022】図1は本発明の実施の一形態を示す機能ブ
ロック図である。図1に示された論理集積回路のテスト
回路100では、入力端子IN1,IN2,〜INi,
INj、クロック入力端子CLK、出力端子OT1,O
T2,〜OTm、スキャン専用入力端子SIN、スキャ
ン専用出力端子SOT、およびスキャン専用イネーブル
端子SEを有している。また、スキャン型フリップフロ
ップは、最前段のフリップフロップ群となる入力端子側
のm個のフリップフロップ(以後、FFと略称する)1
11、121、〜1m1から最後段のフリップフロップ
群となる出力端子側のm個のFF11n、12n、〜1
mnまで、n段のフリップフロップ群が設けられている
ものとする。
【0023】それぞれのスキャン型FFは二つの入力端
子の一方にスキャンパス、他方に論理回路の出力それぞ
れを接続し、スキャン専用イネーブル端子SEの制御に
より何れか一方を選択してFFに取り込む。FFの出力
端子Qは、一方で後段のフリップフロップ群に接続する
論理回路と接続し、他方でスキャンパスを形成するリン
クで次に位置するFFの入力端子に接続している。
【0024】また、入力端子側のFF111は論理回路
を介して入力端子IN1,IN2から入力されたデータ
を取り込み、FF121は入力端子IN2,IN3、ま
た更にFF1m1は入力端子INi,INj、それぞれ
から入力されたデータを取り込むものとする。出力側の
FF11nは出力端子OT1、FF12nは出力端子O
T2、またFF1mnは出力端子OTm、それぞれへデ
ータを送出するものとする。
【0025】最前段から最後段までの各フリップフロッ
プ群内のスキャンパスは、最先頭FF11xから最後尾
FF1mxまでを順次シリアル接続しているものとす
る。
【0026】図1に示されるスキャンパスは、スキャン
専用入力端子SINを出力端子側にある最後段の先頭F
F11nの入力端子に接続し、各フリップフロップ群で
は、最後段に次いで入力端子側の第2段目から第(n−
1)段目(図示省略)までを順次シリアル接続する。更
に、第(n−1)段目のフリップフロップ群にある最後
尾のFF1m(n−1)は入力端子側の最前段フリップ
フロップ群とシリアル接続され、最前段フリップフロッ
プ群に含まれる最後尾のFF1m1の出力端子Qがスキ
ャン専用出力端子SOTと接続している。
【0027】次に、図1におけるテスト方法について図
面を参照して説明する。
【0028】まず、入力端子IN1が「0」から「1」
にデータの変化がある際のAC特性を測定するテストパ
タンを生成する場合であり、入力端子IN2がデータ
「1」であるとする。従って、入力端子IN1,入力端
子IN2がデータ「0,1」および入力端子IN1,入
力端子IN2がデータ「1,1」それぞれの際にFF1
11にデータ「0,1」が取り込まれるものとする。
【0029】従って、初めに、入力端子IN1,入力端
子IN2がデータ「0,1」を入力した際には、FF1
11にはデータ「0」が取り込まれる。テスト回路1で
はFF111〜1m1のフリップフロップ群がスキャン
パス上の最後段に配置接続されているため、FF111
に取り込まれたデータ「0」は、以降のシフトレジスタ
構成のスキャンパス上をFF121からFF1m1まで
順次移行させるだけでスキャン専用出力端子SOTから
送出され、観測される。
【0030】次に、入力端子IN1,入力端子IN2が
データ「1,1」を入力し、同様にしてFF111に取
り込まれたデータ「1」をスキャン専用出力端子SOT
において観測することができる。
【0031】このようにして生成されたテストパタンに
より、LSIテスタ上で入力端子IN1が「0」から
「1」に変化するデータを入力する時間を前後に変化さ
せ、入力した値が正しくフリップフロップに取り込まれ
るか否かの結果に基づいてデータ信号とクロック信号と
の遅延時間の関係を判定し、これによって入力端子IN
1のAC特性を把握することができる。
【0032】他方、出力端子OTmが「0」から「1」
にデータを変化する際のAC特性を測定するテストパタ
ンを生成する場合には、FF1mnに設定されるデータ
値が「0」から「1」に変化すればよいので、初めにス
キャン専用入力端子SINからデータ「0」を入力す
る。この場合、FF11nにはデータ「0」が取り込ま
れる。テスト回路1ではFF11nからFF1mnまで
がスキャンパス上に配置接続されているため、スキャン
専用入力端子SINから入力されたデータ「0」はシリ
アルにシフトレジスタ構成されるスキャンパス上のFF
12n〜FF1mnと順次移行させるだけでFF1mn
にデータ「0」を設定できる。こうしてFF1mnに設
定されたデータ「0」を出力端子OTmにて観測する。
【0033】次にスキャン専用入力端子SINからデー
タ「1」を入力し、同様にしてスキャンパス上を順次移
行させることにより、FF11nに設定されたデータ
「1」を出力端子OTmで観測できる。このようにして
生成されたテストパタンにより出力端子OTmのAC特
性を把握することができる。
【0034】上記説明では、テスト回路内のFFを入力
端子側から出力端子側に対してn段のシリアル接続され
るフリップフロップ群を設け、各フリップフロップ群に
はm個のFFがシリアル接続されてスキャンパスを構成
するとしたが、各フリップフロップ群が有するFFの数
は限定されず、何個でもよい。また、フリップフロップ
群も、入力端子側および出力端子側それぞれに設ける以
外は限定されず、内部でシリアル接続されるFFについ
ては構成される論理回路およびその組合せに従って備え
られるものであり、本発明は上記説明により限定される
ものではない。
【0035】
【実施例】次に、上記図1とは異なる実施の形態につい
て図2を参照して説明する。
【0036】図2に示されるテスト回路200は、入出
力端子INx,OTxおよびフリップフロップFF2m
nの配置は上記図1と同様であり、その説明は省略す
る。上記図1と異なる点はスキャンパスの経路のみであ
る。
【0037】すなわち、図2に示されるスキャンパスで
は、スキャン専用入力端子SINが入力端子側の第2段
目に配置されるフリップフロップ群の先頭FF212に
接続し、出力端子側で最後段の最後尾FF2mnの出力
端子Qが入力端子側のフリップフロップ群の先頭FF2
11に接続している。従って、図4において、入力端子
側である最前段のフリップフロップ群をスキャン専用出
力端子SOTに接続したスキャンパスが形成されている
点が相違している。
【0038】上記図1を参照して説明したと同様に、テ
スト回路2において、入力端子IN1のAC特性を測定
するテストパタンを生成する場合、入力端子IN1・I
N2にデータ信号、またクロック入力端子CLKからク
ロック信号それぞれを入力し、FF211が入力端子I
N1・IN2から入力されたデータ信号を取り込む。こ
うしてFF211に取り込まれたデータ信号は、スキャ
ンパス手法を用いることによって、以降に配置されるF
F221〜FF2m1をシリアル接続するスキャンパス
上を順次移行させるだけでスキャン専用出力端子SOT
から送出され、観測される。
【0039】このようにして生成されたテストパタンに
より、LSIテスタ上で入力端子IN1からデータ信号
を入力する時間を前後に変化させ、入力したデータ信号
が正しくフリップフロップに取り込まれるか否かの結果
に基づいてデータ信号とクロック信号との遅延時間の関
係を判定し、これによって入力端子IN1のAC特性を
把握するようにしている。
【0040】次に、上記図1および図2とは異なる実施
の形態について図3を参照して説明する。
【0041】図3に示されるテスト回路300は、入出
力端子INx,OTxおよびフリップフロップFF2m
nの配置は上記図1と同様であり、その説明は省略す
る。上記図1と異なる点はスキャンパスの経路のみであ
る。
【0042】すなわち、図3に示されるスキャンパスで
は、スキャン専用出力端子SOTが出力端子側の直前第
2段目に配置されるフリップフロップ群の最後尾FF3
m(n−1)(図示省略)の出力端子Qに接続し、入力
端子側で最前段の最後尾FF3m1の出力端子Qが次の
第2段目に配置されるフリップフロップ群の先頭FF3
12の入力端子に接続している。従って、図4におい
て、出力端子側である最後段のフリップフロップ群をス
キャン専用入力端子SINに接続したスキャンパスが形
成されている点が相違している。
【0043】上記図1を参照して説明したと同様に、テ
スト回路3において、出力端子OTmがデータ変化する
際のAC特性を測定するテストパタンを生成する場合に
は、FF3mnに設定されるデータ値が変化すればよい
ので、初めにスキャン専用入力端子SINからデータを
入力する。この場合、FF31nにはデータが取り込ま
れる。テスト回路3ではFF31nからFF3mnまで
がスキャンパス上に配置接続されているため、スキャン
専用入力端子SINから入力されたデータはシリアルに
シフトレジスタ構成されるスキャンパス上のFF32n
〜FF3mnと順次移行させるだけでFF3mnにデー
タを設定できる。こうしてFF3mnに設定されたデー
タを出力端子OTmにて観測している。
【0044】次にスキャン専用入力端子SINから別の
データを入力し、同様にしてFF31nに設定されたデ
ータを出力端子OTmで観測できる。このようにして生
成されたテストパタンにより出力端子OTmのAC特性
を把握することができる。
【0045】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、入
力端子および出力端子それぞれのAC特性を最短時間で
測定することができるという効果が得られる。
【0046】その理由は、入力端子を入力端子側のフリ
ップフロップ群のみのスキャンパスを介してスキャン専
用出力端子、また出力端子を出力端子側のフリップフロ
ップ群のみのスキャンパスを介してスキャン専用入力端
子それぞれに接続しているので、上記公報で開示され
た、入力端子側および出力端子側両者のフリップフロッ
プ群をシリアル接続したスキャンパスより分割した分だ
け完全に少ないスキャンシフト数でテストできるからで
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の一形態を示す機能ブロック図で
ある。
【図2】図1の一部分による本発明の実施の一形態を示
す機能ブロック図である。
【図3】図2とは別の図1の一部分による本発明の実施
の一形態を示す機能ブロック図である。
【図4】従来の一例を示す機能ブロック図である。
【図5】図4と異なる従来の一例を示す機能ブロック図
である。
【符号の説明】
100、200、300 テスト回路 111、112、11n、121、122、12n、1
m1、1m2、1mn、211、212、21n、22
1、222、22n、2m1、2m2、2mn、31
1、312、31n、321、322、32n、3m
1、3m2、3mnFF(フリップフロップ)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 牧田 泰光 神奈川県川崎市中原区小杉町一丁目403番 53 日本電気アイシーマイコンシステム株 式会社内 Fターム(参考) 2G032 AA01 AB01 AC10 AG07 AG10 AK16 5B048 AA01 CC18 DD05 EE02 5F038 DT04 DT06 DT07 DT15 EZ20

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 対象とする複数の論理回路それぞれに対
    してスキャン型フリップフロップを設け入力端子側から
    出力端子側にシリアル接続したスキャンパスを用いて交
    流特性を測定する論理集積回路のテスト回路において、
    前記スキャンパスは、スキャン専用入力端子を前記出力
    端子側に配置される最後段フリップフロップ群における
    最先頭フリップフロップの入力端子に接続し、前記最後
    段フリップフロップ群における最後尾フリップフロップ
    の出力端子から内部のフリップフロップを順次接続して
    前記入力端子側に配置される最前段フリップフロップ群
    における最先頭フリップフロップの入力端子に接続し最
    後に前記最前段フリップフロップ群における最後尾フリ
    ップフロップの出力端子をスキャン専用出力端子に接続
    することを特徴とする論理集積回路のテスト回路。
  2. 【請求項2】 対象とする複数の論理回路それぞれに対
    してスキャン型フリップフロップを設け入力端子側から
    出力端子側にシリアル接続したスキャンパスを用いて交
    流特性を測定する論理集積回路のテスト回路において、
    前記スキャンパスは、スキャン専用入力端子を前記出力
    端子側に配置される最後段フリップフロップ群における
    最先頭フリップフロップの入力端子に接続することを特
    徴とする論理集積回路のテスト回路。
  3. 【請求項3】 対象とする複数の論理回路それぞれに対
    してスキャン型フリップフロップを設け入力端子側から
    出力端子側にシリアル接続したスキャンパスを用いて交
    流特性を測定する論理集積回路のテスト回路において、
    前記スキャンパスは、スキャン専用出力端子を前記入力
    端子側に配置される最前段フリップフロップ群における
    最後尾フリップフロップの出力端子に接続することを特
    徴とする論理集積回路のテスト回路。
  4. 【請求項4】 対象とする複数の論理回路それぞれに対
    してスキャン型フリップフロップを設け入力端子側から
    出力端子側にシリアル接続したスキャンパスを用いて交
    流特性を測定する論理集積回路のテスト方法において、
    スキャン専用入力端子を前記出力端子側に配置される最
    後段フリップフロップ群における最先頭フリップフロッ
    プの入力端子に接続し、前記最後段フリップフロップ群
    における最後尾フリップフロップの出力端子から内部の
    フリップフロップを順次接続して前記入力端子側に配置
    される最前段フリップフロップ群における最先頭フリッ
    プフロップの入力端子に接続し最後に前記最前段フリッ
    プフロップ群における最後尾フリップフロップの出力端
    子をスキャン専用出力端子に接続するスキャンパスを備
    え、クロック信号を入力すると共に複数の前記入力端子
    それぞれに所定のデータを入力して前記スキャン専用出
    力端子の出力を得ることにより前記入力端子の交流特性
    を測定する一方、クロック信号を入力すると共に前記ス
    キャン専用入力端子から所定のデータを入力して複数の
    出力端子それぞれからの出力を得ることにより出力端子
    の交流特性を測定することを特徴とする論理集積回路の
    テスト方法。
  5. 【請求項5】 対象とする複数の論理回路それぞれに対
    してスキャン型フリップフロップを設け入力端子側から
    出力端子側にシリアル接続したスキャンパスを用いて交
    流特性を測定する論理集積回路のテスト方法において、
    スキャン専用出力端子を前記最前段のフリップフロップ
    群における最後尾フリップフロップの出力端子に接続
    し、クロック信号を入力すると共に複数の入力端子それ
    ぞれに所定のデータを入力して前記スキャン専用出力端
    子の出力を得ることにより前記入力端子の交流特性を測
    定することを特徴とする論理集積回路のテスト方法。
  6. 【請求項6】 対象とする複数の論理回路それぞれに対
    してスキャン型フリップフロップを設け入力端子側から
    出力端子側にシリアル接続したスキャンパスを用いて交
    流特性を測定する論理集積回路のテスト方法において、
    スキャン専用入力端子を前記最後段のフリップフロップ
    群における最先頭フリップフロップの入力端子に接続
    し、クロック信号を入力すると共に前記スキャン専用入
    力端子から所定のデータを入力して複数の出力端子それ
    ぞれからの出力を得ることにより出力端子の交流特性を
    測定することを特徴とする論理集積回路のテスト方法。
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