JP2002131439A - 半導体検出器劣化診断装置 - Google Patents
半導体検出器劣化診断装置Info
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- JP2002131439A JP2002131439A JP2000318308A JP2000318308A JP2002131439A JP 2002131439 A JP2002131439 A JP 2002131439A JP 2000318308 A JP2000318308 A JP 2000318308A JP 2000318308 A JP2000318308 A JP 2000318308A JP 2002131439 A JP2002131439 A JP 2002131439A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体検出器の劣化を検出する。
【解決手段】 半導体検出器（不図示）からの出力電圧
波形をＡ／Ｄ変換し、変換した信号（Ｙi ）を、短時間
フーリエ変換して、各周波数１，２，・・・，ｊ毎の変
換結果を平均値演算器３０，３１，３２で求め、求めた
各平均値と設定器３３，３５，３７で予め設定されてい
る半導体検出器が正常に電圧波形を出力したときに得ら
れる平均値（正常値）とを比較器３４，３６，３８で比
較し、例えば、いずれかの比較結果が正常値の３倍を超
えると、比較器４０に出力する。この出力と設定器３９
の設定値とを比較器４０で比較して半導体検出器の正常
・異常を判断し、異常であれば警報出力３０を発生す
る。
波形をＡ／Ｄ変換し、変換した信号（Ｙi ）を、短時間
フーリエ変換して、各周波数１，２，・・・，ｊ毎の変
換結果を平均値演算器３０，３１，３２で求め、求めた
各平均値と設定器３３，３５，３７で予め設定されてい
る半導体検出器が正常に電圧波形を出力したときに得ら
れる平均値（正常値）とを比較器３４，３６，３８で比
較し、例えば、いずれかの比較結果が正常値の３倍を超
えると、比較器４０に出力する。この出力と設定器３９
の設定値とを比較器４０で比較して半導体検出器の正常
・異常を判断し、異常であれば警報出力３０を発生す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体検出器の
出力雑音波形の短時間フーリエ変換結果から半導体検出
器の劣化状態を評価する半導体検出器劣化診断装置に関
するものである。
出力雑音波形の短時間フーリエ変換結果から半導体検出
器の劣化状態を評価する半導体検出器劣化診断装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体検出器状態の判断を行うための手
段としての半導体検出器に流れる電流の絶対値や、出力
端で観測される電圧の絶対値の測定評価が実施される。
測定された電流値や電圧値は、既定値とコンピュータ等
で比較する判定手法であった。従来の半導体検出器劣化
診断装置の診断手法について説明する。図６は例えば放
射線計測ハンドブック、日刊工業新聞社発行第２版、１
９９１年に示された、従来の半導体検出器診断する手法
を構成図にしたものである。
段としての半導体検出器に流れる電流の絶対値や、出力
端で観測される電圧の絶対値の測定評価が実施される。
測定された電流値や電圧値は、既定値とコンピュータ等
で比較する判定手法であった。従来の半導体検出器劣化
診断装置の診断手法について説明する。図６は例えば放
射線計測ハンドブック、日刊工業新聞社発行第２版、１
９９１年に示された、従来の半導体検出器診断する手法
を構成図にしたものである。
【０００３】図において、１は半導体検出器、２は電池
１、３は電池Ｎ、４は抵抗、５はコンデンサ、６はコネ
クタ、７は電圧計、８は電圧信号波形、９は電圧信号波
形の実効値を演算する演算器、１０は電圧設定器、１１
は電圧比較器、１２は電圧信号の警報、１３はカウン
タ、１４は表示器、１５は電流計、１６は電流信号波
形、１７は電流信号波形の実効値演算器、１８は電流比
較器、１９は電流設定器、２０は電流信号の警報であ
る。
１、３は電池Ｎ、４は抵抗、５はコンデンサ、６はコネ
クタ、７は電圧計、８は電圧信号波形、９は電圧信号波
形の実効値を演算する演算器、１０は電圧設定器、１１
は電圧比較器、１２は電圧信号の警報、１３はカウン
タ、１４は表示器、１５は電流計、１６は電流信号波
形、１７は電流信号波形の実効値演算器、１８は電流比
較器、１９は電流設定器、２０は電流信号の警報であ
る。
【０００４】従来の半導体検出器劣化診断装置は、図６
に示したように、半導体検出器１に流れる電流の絶対値
や、出力端で観測される電圧の絶対値の測定評価が実施
される。測定された電流値や電圧値は、既定値とコンピ
ュータ等で比較することを判定条件に設定している。
に示したように、半導体検出器１に流れる電流の絶対値
や、出力端で観測される電圧の絶対値の測定評価が実施
される。測定された電流値や電圧値は、既定値とコンピ
ュータ等で比較することを判定条件に設定している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体検出器劣
化診断装置は以上のように構成されているので、半導体
検出器の出力電圧に含まれる出力雑音波形の情報は判定
条件外であった。このため、微少な電圧変化の情報は使
われないという問題点があった。このため、微少な劣化
に起因する検出感度が悪いという問題点を生じている。
化診断装置は以上のように構成されているので、半導体
検出器の出力電圧に含まれる出力雑音波形の情報は判定
条件外であった。このため、微少な電圧変化の情報は使
われないという問題点があった。このため、微少な劣化
に起因する検出感度が悪いという問題点を生じている。
【０００６】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、検出された出力雑音波形変化を
パターン化して、自動判別をする半導体検出器劣化診断
装置を得ることを目的とする。
ためになされたもので、検出された出力雑音波形変化を
パターン化して、自動判別をする半導体検出器劣化診断
装置を得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】（１）この発明の請求項
１に係る半導体検出器劣化診断装置は、半導体検出器の
出力信号波形を検出する検出手段と、検出された信号波
形をサンプリングして、複数個の時系列データを出力す
るサンプリング手段と、サンプリングされた信号波形を
短時間フーリエ変換する演算手段と、上記演算結果の周
波数別の平均値と、上記半導体検出器が正常時の上記周
波数別の平均値とを比較し、この比較結果に基づいて上
記半導体検出器の良否を判断する比較手段を備えたもの
である。
１に係る半導体検出器劣化診断装置は、半導体検出器の
出力信号波形を検出する検出手段と、検出された信号波
形をサンプリングして、複数個の時系列データを出力す
るサンプリング手段と、サンプリングされた信号波形を
短時間フーリエ変換する演算手段と、上記演算結果の周
波数別の平均値と、上記半導体検出器が正常時の上記周
波数別の平均値とを比較し、この比較結果に基づいて上
記半導体検出器の良否を判断する比較手段を備えたもの
である。
【０００８】（２）この発明の請求項２に係る半導体検
出器劣化診断装置は、半導体検出器の出力信号波形を検
出する検出手段と、検出された信号波形をサンプリング
して、複数個の時系列データを出力するサンプリング手
段と、サンプリングされた信号波形を短時間フーリエ変
換する演算手段と、上記演算結果の周波数別の分散値
と、上記半導体検出器が正常時の上記周波数別の分散値
とを比較し、この比較結果に基づいて上記半導体検出器
の良否を判断する比較手段を備えたものである。
出器劣化診断装置は、半導体検出器の出力信号波形を検
出する検出手段と、検出された信号波形をサンプリング
して、複数個の時系列データを出力するサンプリング手
段と、サンプリングされた信号波形を短時間フーリエ変
換する演算手段と、上記演算結果の周波数別の分散値
と、上記半導体検出器が正常時の上記周波数別の分散値
とを比較し、この比較結果に基づいて上記半導体検出器
の良否を判断する比較手段を備えたものである。
【０００９】（３）この発明の請求項３に係る半導体検
出器劣化診断装置は、半導体検出器の出力信号波形を検
出する検出手段と、検出された信号波形をサンプリング
して、複数個の時系列データを出力するサンプリング手
段と、サンプリングされた信号波形を短時間フーリエ変
換する演算手段と、上記演算結果の周波数別の歪度と、
上記半導体検出器が正常時の上記周波数別の歪度とを比
較し、この比較結果に基づいて上記半導体検出器の良否
を判断する比較手段を備えたものである。
出器劣化診断装置は、半導体検出器の出力信号波形を検
出する検出手段と、検出された信号波形をサンプリング
して、複数個の時系列データを出力するサンプリング手
段と、サンプリングされた信号波形を短時間フーリエ変
換する演算手段と、上記演算結果の周波数別の歪度と、
上記半導体検出器が正常時の上記周波数別の歪度とを比
較し、この比較結果に基づいて上記半導体検出器の良否
を判断する比較手段を備えたものである。
【００１０】（４）この発明の請求項４に係る半導体検
出器劣化診断装置は、半導体検出器の出力信号波形を検
出する検出手段と、検出された信号波形をサンプリング
して、複数個の時系列データを出力するサンプリング手
段と、サンプリングされた信号波形を短時間フーリエ変
換する演算手段と、上記演算結果の周波数別の尖度と、
上記半導体検出器が正常時の上記周波数別の尖度とを比
較し、この比較結果に基づいて上記半導体検出器の良否
を判断する比較手段を備えたものである。
出器劣化診断装置は、半導体検出器の出力信号波形を検
出する検出手段と、検出された信号波形をサンプリング
して、複数個の時系列データを出力するサンプリング手
段と、サンプリングされた信号波形を短時間フーリエ変
換する演算手段と、上記演算結果の周波数別の尖度と、
上記半導体検出器が正常時の上記周波数別の尖度とを比
較し、この比較結果に基づいて上記半導体検出器の良否
を判断する比較手段を備えたものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
実施の形態１を図について説明する。図１はこの発明の
実施の形態１による半導体検出器劣化診断装置を示す構
成図である。図１において、２１は半導体検出器（不図
示）が出力する電圧波形（信号波形）、２２は半導体検
出器の出力信号としての電圧波形２１を適当な周波数帯
域成分のみ通過させるフィルタ、２３はフィルタ２２を
通過した電圧波形を適当な増幅率で増幅する増幅器、２
４は増幅器２３で増幅された電圧波形を指定時間ごとに
サンプリングしてアナログ・ディジタル変換し、複数個
の時系列データＹi （ｉ＝１，２，・・・，Ｎ）を出力
するＡ／Ｄ変換器（サンプリング手段）、２５は時系列
データＹi に基づいて警報を出力する診断器である。
実施の形態１を図について説明する。図１はこの発明の
実施の形態１による半導体検出器劣化診断装置を示す構
成図である。図１において、２１は半導体検出器（不図
示）が出力する電圧波形（信号波形）、２２は半導体検
出器の出力信号としての電圧波形２１を適当な周波数帯
域成分のみ通過させるフィルタ、２３はフィルタ２２を
通過した電圧波形を適当な増幅率で増幅する増幅器、２
４は増幅器２３で増幅された電圧波形を指定時間ごとに
サンプリングしてアナログ・ディジタル変換し、複数個
の時系列データＹi （ｉ＝１，２，・・・，Ｎ）を出力
するＡ／Ｄ変換器（サンプリング手段）、２５は時系列
データＹi に基づいて警報を出力する診断器である。
【００１２】図２は診断器２５の詳細な構成を示す構成
図である。図２において、２６は図１のＡ／Ｄ変換器２
４から出力された時系列データＹiに基づいて電圧波形
の短時間フーリエ変換する演算器、３０は短時間フーリ
エ変換演算器２６から出力された周波数１（２７）の平
均値を演算する平均演算器１、３１は短時間フーリエ変
換演算器２６から出力された周波数２（２８）の平均値
を演算する平均演算器２、３２は短時間フーリエ変換演
算器２６から出力された周波数ｊ（２９）の平均値を演
算する平均演算器ｊ、なおこの平均演算器はｊ個設定し
ておく。
図である。図２において、２６は図１のＡ／Ｄ変換器２
４から出力された時系列データＹiに基づいて電圧波形
の短時間フーリエ変換する演算器、３０は短時間フーリ
エ変換演算器２６から出力された周波数１（２７）の平
均値を演算する平均演算器１、３１は短時間フーリエ変
換演算器２６から出力された周波数２（２８）の平均値
を演算する平均演算器２、３２は短時間フーリエ変換演
算器２６から出力された周波数ｊ（２９）の平均値を演
算する平均演算器ｊ、なおこの平均演算器はｊ個設定し
ておく。
【００１３】３３は正常電圧の場合の短時間フーリエ変
換の周波数１（２７）の平均値を記憶する設定器１、３
４は平均演算器１（３０）により演算された電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数１（２７）の平均値と、設
定器１（３３）に記憶された正常時の短時間フーリエ変
換の周波数１（２７）の平均値とを比較する比較器１で
ある。
換の周波数１（２７）の平均値を記憶する設定器１、３
４は平均演算器１（３０）により演算された電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数１（２７）の平均値と、設
定器１（３３）に記憶された正常時の短時間フーリエ変
換の周波数１（２７）の平均値とを比較する比較器１で
ある。
【００１４】３５は正常電圧の場合の短時間フーリエ変
換の周波数２（２８）の平均値を記憶する設定器２、３
６は平均演算器２（３１）により演算された電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数２（２８）の平均値と、設
定器２（３５）に記憶された正常時の短時間フーリエ変
換の周波数２（２８）の平均値とを比較する比較器２で
ある。
換の周波数２（２８）の平均値を記憶する設定器２、３
６は平均演算器２（３１）により演算された電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数２（２８）の平均値と、設
定器２（３５）に記憶された正常時の短時間フーリエ変
換の周波数２（２８）の平均値とを比較する比較器２で
ある。
【００１５】３７は正常電圧の場合の短時間フーリエ変
換の周波数ｊ（２９）の平均値を記憶する設定器ｊ、３
８は平均演算器ｊ（３２）により演算された電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数ｊ（２９）の平均値と、設
定器ｊ（３７）に記憶された正常時の短時間フーリエ変
換の周波数ｊ（２９）の平均値とを比較する比較器ｊで
ある。
換の周波数ｊ（２９）の平均値を記憶する設定器ｊ、３
８は平均演算器ｊ（３２）により演算された電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数ｊ（２９）の平均値と、設
定器ｊ（３７）に記憶された正常時の短時間フーリエ変
換の周波数ｊ（２９）の平均値とを比較する比較器ｊで
ある。
【００１６】なお、図では周波数１（２７）、周波数２
（２８），周波数ｊ（２９）という具合に３個で代表し
て表記しているが、実際にはｊ個の周波数が得られる。
同様に、比較器１（３４）、比較器２（３６）、比較器
ｊ（３８）という具合に３個で代表して表記している
が、実際にはｊ個の比較器が設けられている。また、設
定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３７）
という具合に３個で代表して表記しているが、実際には
ｊ個の設定器が設けられている。
（２８），周波数ｊ（２９）という具合に３個で代表し
て表記しているが、実際にはｊ個の周波数が得られる。
同様に、比較器１（３４）、比較器２（３６）、比較器
ｊ（３８）という具合に３個で代表して表記している
が、実際にはｊ個の比較器が設けられている。また、設
定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３７）
という具合に３個で代表して表記しているが、実際には
ｊ個の設定器が設けられている。
【００１７】３９は比較器１（３４）、比較器２（３
６），・・・，比較器ｊ（３８）において正常電圧の場
合の許容パターンを記憶する設定器Ｍである。４０は比
較器１（３４）、比較器２（３６），・・・，比較器ｊ
（３８）の比較結果と、設定器Ｍに記憶された正常時の
許容パターンとを比較する比較器、４１は比較器４０の
比較結果に基づいて警報を出力する警報発生器である。
６），・・・，比較器ｊ（３８）において正常電圧の場
合の許容パターンを記憶する設定器Ｍである。４０は比
較器１（３４）、比較器２（３６），・・・，比較器ｊ
（３８）の比較結果と、設定器Ｍに記憶された正常時の
許容パターンとを比較する比較器、４１は比較器４０の
比較結果に基づいて警報を出力する警報発生器である。
【００１８】次に動作について説明する。まず、半導体
検出器で測定された電圧波形をＡ／Ｄ変換器２４が所定
時間ごとにサンプリングしてアナログ・ディジタル変換
し、複数個の時系列データＹi （ｉ＝１，２，・・・，
Ｎ）を出力する。
検出器で測定された電圧波形をＡ／Ｄ変換器２４が所定
時間ごとにサンプリングしてアナログ・ディジタル変換
し、複数個の時系列データＹi （ｉ＝１，２，・・・，
Ｎ）を出力する。
【００１９】そして、複数個の時系列データＹi が診断
器２５に入力されると、診断器２５における短時間フー
リエ変換演算器２６が以下に示すように、時系列データ
Ｙiから短時間区間に分割する。
器２５に入力されると、診断器２５における短時間フー
リエ変換演算器２６が以下に示すように、時系列データ
Ｙiから短時間区間に分割する。
【００２０】次に観測信号Ｙi （ｘ）を適当な個数に分
割する。この分割した観測信号を短時間区間
割する。この分割した観測信号を短時間区間
【００２１】
【数１】
【００２２】と呼ぶ。短時間区間の長さをウインド幅と
呼びＲ（個）とする。分割する際に時間軸に沿ってずら
す幅を時間シフトと呼びＬ（個）とする。時系列データ
Ｙi の個数はＮであり、分割された短時間区間の数Ｍ
は、 Ｍ＝Ｎ／Ｌ＋１ とする。そして下記の式（１）が得られる。
呼びＲ（個）とする。分割する際に時間軸に沿ってずら
す幅を時間シフトと呼びＬ（個）とする。時系列データ
Ｙi の個数はＮであり、分割された短時間区間の数Ｍ
は、 Ｍ＝Ｎ／Ｌ＋１ とする。そして下記の式（１）が得られる。
【００２３】
【数２】
【００２４】但し、ｎ＝０，１，・・・，Ｍ−１ 例えば、Ｎ＝４０９６、Ｒ＝１０２４、Ｌ＝５１２とす
ると、Ｍ＝９となる。従って、短時間区間は９個でき
て、
ると、Ｍ＝９となる。従って、短時間区間は９個でき
て、
【００２５】
【数３】
【００２６】が得られる。
【００２７】
【数４】
【００２８】したがって、どのような値を定義してもか
まわない。適当な数値定義をしておく。そこで、Ｙ
i （−５１２）〜Ｙi （−１），Ｙi （４０９６）〜Ｙ
i （４６０７）は、例えば次のように定義する。Ｙ
i （−５１２）〜Ｙi （−１）＝０，Ｙi （４０９６）
〜Ｙi （４６０７）＝０
まわない。適当な数値定義をしておく。そこで、Ｙ
i （−５１２）〜Ｙi （−１），Ｙi （４０９６）〜Ｙ
i （４６０７）は、例えば次のように定義する。Ｙ
i （−５１２）〜Ｙi （−１）＝０，Ｙi （４０９６）
〜Ｙi （４６０７）＝０
【００２９】
【数５】
【００３０】ここで、フーリエ変換はナイキスト周波数
１／（２Ｔ）［Ｈｚ］をＳ個に離散的サンプルした分解
能を持つフーリエ変換である。
１／（２Ｔ）［Ｈｚ］をＳ個に離散的サンプルした分解
能を持つフーリエ変換である。
【００３１】次に、短時間フーリエ変換演算器は分割さ
れた短時間区間のデータに対して、短時間フーリエ変換
を演算する。短時間フーリエ変換結果は周波数１，２，
・・・，ｊで示される。
れた短時間区間のデータに対して、短時間フーリエ変換
を演算する。短時間フーリエ変換結果は周波数１，２，
・・・，ｊで示される。
【００３２】ＦＦＴによるフーリエ変換計算は式（３）
で計算される。
で計算される。
【００３３】
【数６】
【００３４】ただし、ｋ＝０〜Ｓ−１，Ｓ＝Ｒ／２ ω（ｘ）はウィンドウ関数で、例えば以下に示すＨａｍ
ｍｉｎｇウィンドウを用いる ω（ｘ）＝０．５４−０．４６ｃｏｓ（２πｘ／（Ｒ−
１）） ただし、ｘ＝０〜Ｒ−１ 以上のように、時間軸と周波数軸で囲まれた空間を形成
することができる。上記式（１）、式（２）の例題で展
開すると
ｍｉｎｇウィンドウを用いる ω（ｘ）＝０．５４−０．４６ｃｏｓ（２πｘ／（Ｒ−
１）） ただし、ｘ＝０〜Ｒ−１ 以上のように、時間軸と周波数軸で囲まれた空間を形成
することができる。上記式（１）、式（２）の例題で展
開すると
【００３５】
【数７】
【００３６】短時間フーリエ変換結果は周波数１，２，
・・・，ｊで求められると、診断器２５における平均演
算器１（３０）、平均演算器２（３１）、平均演算器ｊ
（３２）が、以下に示すように、周波数１，２，・・
・，ｊの各平均値
・・・，ｊで求められると、診断器２５における平均演
算器１（３０）、平均演算器２（３１）、平均演算器ｊ
（３２）が、以下に示すように、周波数１，２，・・
・，ｊの各平均値
【００３７】
【数８】
【００３８】を次式（４）により求める。
【００３９】
【数９】
【００４０】そして、平均演算器１（３０）、平均演算
器２（３１）、平均演算器ｊ（３２）により各平均値が
演算されると、比較器１（３４）、比較器２（３６）、
比較器ｊ（３８）の電圧波形が正常であるときの、短時
間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの平均値を
設定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３
７）から入力し、その演算された各平均値と正常時の各
周波数１，２，・・・，ｊの平均値と比較する。
器２（３１）、平均演算器ｊ（３２）により各平均値が
演算されると、比較器１（３４）、比較器２（３６）、
比較器ｊ（３８）の電圧波形が正常であるときの、短時
間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの平均値を
設定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３
７）から入力し、その演算された各平均値と正常時の各
周波数１，２，・・・，ｊの平均値と比較する。
【００４１】ここで、設定器１（３３）、設定器２（３
５）、設定器ｊ（３７）には、電圧波形が正常であると
きの、短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊ
の平均値が記憶されているが、外部装置（図示せず）が
演算した正常時の平均値を記憶するようにしてもよいこ
とは言うまでもない。
５）、設定器ｊ（３７）には、電圧波形が正常であると
きの、短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊ
の平均値が記憶されているが、外部装置（図示せず）が
演算した正常時の平均値を記憶するようにしてもよいこ
とは言うまでもない。
【００４２】そして、比較器１（３４）、比較器２（３
６）、比較器ｊ（３８）は演算された各平均値と正常時
の平均値とを比較した結果、例えば、演算された各平均
値が正常時の平均値の３倍を超えた時、異常と判定し、
比較器Ｍ（４０）に出力する。
６）、比較器ｊ（３８）は演算された各平均値と正常時
の平均値とを比較した結果、例えば、演算された各平均
値が正常時の平均値の３倍を超えた時、異常と判定し、
比較器Ｍ（４０）に出力する。
【００４３】ここで、電圧波形の短時間フーリエ変換の
周波数１，２，・・・，ｊの平均値が、電圧状態の正常
・異常が区別できる理由を簡単に説明すると、電圧波形
の短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊは相
当周波数ごとのフィルタになっており、フィルタをかけ
た時系列データの平均値は、正常の場合ある値のまわり
に分布する。異常になると、特定の周波数あるいは、全
部の周波数の平均値が正常の場合の平均値からずれる。
このずれ方は、異常な電圧に依存するので、平均値を比
較することで正常・異常の判別することができる。
周波数１，２，・・・，ｊの平均値が、電圧状態の正常
・異常が区別できる理由を簡単に説明すると、電圧波形
の短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊは相
当周波数ごとのフィルタになっており、フィルタをかけ
た時系列データの平均値は、正常の場合ある値のまわり
に分布する。異常になると、特定の周波数あるいは、全
部の周波数の平均値が正常の場合の平均値からずれる。
このずれ方は、異常な電圧に依存するので、平均値を比
較することで正常・異常の判別することができる。
【００４４】そして、比較器Ｍ（４０）は、比較器１
（３４）、比較器２（３６）、比較器ｊ（３８）の判定
結果と正常時にあらかじめ定められた各周波数ごとの正
常・異常パターンと比較して最終的な判定を決定する。
この判定は、対象に応じて、設定器Ｍ（３９）に格納し
ておく。例えば、一番単純な設定基準は、各周波数が一
つでも異常なら、最終判断は異常であるという設定であ
る。
（３４）、比較器２（３６）、比較器ｊ（３８）の判定
結果と正常時にあらかじめ定められた各周波数ごとの正
常・異常パターンと比較して最終的な判定を決定する。
この判定は、対象に応じて、設定器Ｍ（３９）に格納し
ておく。例えば、一番単純な設定基準は、各周波数が一
つでも異常なら、最終判断は異常であるという設定であ
る。
【００４５】そして、最後に、比較器Ｍ１（４０）が異
常と判断すると、警報発生器４１が、異常電圧発生され
たことを明らかにすべく、表示装置（図示せず）に異常
が発生した旨を表示し、あるいは、プラントを監視する
監視装置（図示せず）等に異常が発生した旨を示す信号
等を出力し、一連の処理を終了する。
常と判断すると、警報発生器４１が、異常電圧発生され
たことを明らかにすべく、表示装置（図示せず）に異常
が発生した旨を表示し、あるいは、プラントを監視する
監視装置（図示せず）等に異常が発生した旨を示す信号
等を出力し、一連の処理を終了する。
【００４６】以上により、この実施の形態１によれば正
常・異常を判断する指標と成り得る電圧波形の短時間フ
ーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの平均値に基づ
いて、半導体検出器の正常・異常を判断するように構成
したので、短時間に判定できる。
常・異常を判断する指標と成り得る電圧波形の短時間フ
ーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの平均値に基づ
いて、半導体検出器の正常・異常を判断するように構成
したので、短時間に判定できる。
【００４７】実施の形態２．以下、この発明の実施の形
態２を図について説明する。図１はこの発明の実施の形
態２による半導体劣化診断装置の構成図であり、構成は
実施の形態１と同様であるので説明を省略するが、診断
器２５の内容が異なり、この診断器２５の内容について
は図３の構成図で説明する。
態２を図について説明する。図１はこの発明の実施の形
態２による半導体劣化診断装置の構成図であり、構成は
実施の形態１と同様であるので説明を省略するが、診断
器２５の内容が異なり、この診断器２５の内容について
は図３の構成図で説明する。
【００４８】図３において、２６は図１のＡ／Ｄ変換器
２４から出力された時系列データＹ i に基づいて電圧波
形の短時間フーリエ変換、４２は短時間フーリエ変換演
算器２６から出力された周波数１（２７）の分散値を演
算する分散演算器１（演算手段）、４３は短時間フーリ
エ変換演算器２６から出力された周波数２（２８）の分
散値を演算する分散演算器２（演算手段）、４４は短時
間フーリエ変換演算器２６から出力された周波数ｊ（２
９）の分散値を演算する分散演算器ｊ（演算手段）、な
おこの分散演算器はｊ個設定しておく。
２４から出力された時系列データＹ i に基づいて電圧波
形の短時間フーリエ変換、４２は短時間フーリエ変換演
算器２６から出力された周波数１（２７）の分散値を演
算する分散演算器１（演算手段）、４３は短時間フーリ
エ変換演算器２６から出力された周波数２（２８）の分
散値を演算する分散演算器２（演算手段）、４４は短時
間フーリエ変換演算器２６から出力された周波数ｊ（２
９）の分散値を演算する分散演算器ｊ（演算手段）、な
おこの分散演算器はｊ個設定しておく。
【００４９】３３は正常電圧の場合の短時間フーリエ変
換の周波数１（２７）の分散値を記憶する設定器１、３
４は分散演算器１（４２）により演算された電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数１（２７）の分散値と、設
定器１（３３）に記憶された正常時の短時間フーリエ変
換の周波数１（２７）の分散値とを比較する比較器１
（比較手段）である。
換の周波数１（２７）の分散値を記憶する設定器１、３
４は分散演算器１（４２）により演算された電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数１（２７）の分散値と、設
定器１（３３）に記憶された正常時の短時間フーリエ変
換の周波数１（２７）の分散値とを比較する比較器１
（比較手段）である。
【００５０】３５は正常電圧の場合の短時間フーリエ変
換の周波数２（２８）の分散値を記憶する設定器２、３
６は分散演算器２（４３）により演算された電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数２（２８）の分散値と、設
定器２（３５）に記憶された正常時の短時間フーリエ変
換の周波数２（２８）の分散値とを比較する比較器２
（比較手段）である。
換の周波数２（２８）の分散値を記憶する設定器２、３
６は分散演算器２（４３）により演算された電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数２（２８）の分散値と、設
定器２（３５）に記憶された正常時の短時間フーリエ変
換の周波数２（２８）の分散値とを比較する比較器２
（比較手段）である。
【００５１】３７は正常電圧の場合の短時間フーリエ変
換の周波数ｊ（２９）の分散値を記憶する設定器ｊ、３
８は分散演算器ｊ（４４）により演算された電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数ｊ（２９）の分散値と、設
定器ｊ（３７）に記憶された正常時の短時間フーリエ変
換の周波数ｊ（２９）の分散値とを比較する比較器１
（比較手段）である。
換の周波数ｊ（２９）の分散値を記憶する設定器ｊ、３
８は分散演算器ｊ（４４）により演算された電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数ｊ（２９）の分散値と、設
定器ｊ（３７）に記憶された正常時の短時間フーリエ変
換の周波数ｊ（２９）の分散値とを比較する比較器１
（比較手段）である。
【００５２】なお、図では周波数１（２７）、周波数２
（２８）、周波数ｊ（２９）という具合に３個で代表し
て表記しているが、実際にはｊ個の周波数が得られる。
同様に、比較器１（３４）、比較器２（３６）、比較器
ｊ（３８）いう具合に３個で代表して表記しているが。
実際にはｊ個の比較器が設けられている。また、設定器
１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３７）とい
う具合に３個で代表して表記しているが、実際にはｊ個
の設定器が設けられている。
（２８）、周波数ｊ（２９）という具合に３個で代表し
て表記しているが、実際にはｊ個の周波数が得られる。
同様に、比較器１（３４）、比較器２（３６）、比較器
ｊ（３８）いう具合に３個で代表して表記しているが。
実際にはｊ個の比較器が設けられている。また、設定器
１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３７）とい
う具合に３個で代表して表記しているが、実際にはｊ個
の設定器が設けられている。
【００５３】３９は比較器１（３４）、比較器２（３
６），・・・，比較器ｊ（３８）において正常電圧の場
合の許容パターンを記憶する設定器Ｍである。４０は比
較器１（３４）、比較器２（３６），・・・，比較器ｊ
（３８）の比較結果と、設定器Ｍに記憶された正常の許
容パターンとを比較する比較器（比較手段）、４１は比
較器４０の比較結果に基づいて警報を出力する警報発生
器である。
６），・・・，比較器ｊ（３８）において正常電圧の場
合の許容パターンを記憶する設定器Ｍである。４０は比
較器１（３４）、比較器２（３６），・・・，比較器ｊ
（３８）の比較結果と、設定器Ｍに記憶された正常の許
容パターンとを比較する比較器（比較手段）、４１は比
較器４０の比較結果に基づいて警報を出力する警報発生
器である。
【００５４】次に動作について説明する。図１におい
て、半導体検出器で測定された電圧波形をＡ／Ｄ変換器
２４が所定時間ごとにサンプリングしてアナログ・ディ
ジタル変換し、複数個の時系列データＹi （ｉ＝１，
２，・・・，Ｎ）を出力するのは、実施の形態１と同様
である。
て、半導体検出器で測定された電圧波形をＡ／Ｄ変換器
２４が所定時間ごとにサンプリングしてアナログ・ディ
ジタル変換し、複数個の時系列データＹi （ｉ＝１，
２，・・・，Ｎ）を出力するのは、実施の形態１と同様
である。
【００５５】そして、図３のように複数個の時系列デー
タＹi が診断器２５の短時間フーリエ変換演算器２６に
入力されて短時間フーリエ変換演算され、演算結果が分
散演算器１（４２）、分散演算器２（４３）、分散演算
器ｊ（４４）に入力される迄は、実施の形態１と同様で
あるので説明を省略する。
タＹi が診断器２５の短時間フーリエ変換演算器２６に
入力されて短時間フーリエ変換演算され、演算結果が分
散演算器１（４２）、分散演算器２（４３）、分散演算
器ｊ（４４）に入力される迄は、実施の形態１と同様で
あるので説明を省略する。
【００５６】短時間フーリエ変換結果が周波数１，２，
・・・，ｊで求められると、診断器２５における分散演
算器１（４２）、分散演算器２（４３）、分散演算器ｊ
（４４）が、以下に示すように、周波数１，２，・・
・，ｊの各分散値
・・・，ｊで求められると、診断器２５における分散演
算器１（４２）、分散演算器２（４３）、分散演算器ｊ
（４４）が、以下に示すように、周波数１，２，・・
・，ｊの各分散値
【００５７】
【数１０】
【００５８】を次式（５）により求める。
【００５９】
【数１１】
【００６０】そして、分散演算器１（４２）、分散演算
器２（４３）、分散演算器ｊ（４４）により各分散値が
演算されると、比較器１（３４）、比較器２（３６）、
比較器ｊ（３８）の電圧波形が正常であるときの、短時
間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの分散値を
設定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３
７）から入力し、その演算された各分散値と正常時の各
周波数１，２，・・・，ｊの分散値と比較する。
器２（４３）、分散演算器ｊ（４４）により各分散値が
演算されると、比較器１（３４）、比較器２（３６）、
比較器ｊ（３８）の電圧波形が正常であるときの、短時
間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの分散値を
設定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３
７）から入力し、その演算された各分散値と正常時の各
周波数１，２，・・・，ｊの分散値と比較する。
【００６１】ここで、設定器１（３３）、設定器２（３
５）、設定器ｊ（３７）には、電圧波形が正常であると
きの、短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊ
の分散値が記憶されているが、外部の装置（図示せず）
が演算した正常時の分散値を記憶するようにしてもよい
ことは言うまでもない。
５）、設定器ｊ（３７）には、電圧波形が正常であると
きの、短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊ
の分散値が記憶されているが、外部の装置（図示せず）
が演算した正常時の分散値を記憶するようにしてもよい
ことは言うまでもない。
【００６２】そして、比較器１（３４）、比較器２（３
６）、比較器ｊ（３８）は演算された各分散値と正常時
の分散値とを比較した結果、例えば、演算された各分散
値が正常時の分散値の３倍を超えた時、異常と判定し、
比較器Ｍ（４０）に出力する。
６）、比較器ｊ（３８）は演算された各分散値と正常時
の分散値とを比較した結果、例えば、演算された各分散
値が正常時の分散値の３倍を超えた時、異常と判定し、
比較器Ｍ（４０）に出力する。
【００６３】ここで、電圧波形の短時間フーリエ変換の
周波数１，２，・・・，ｊの分散値が、電圧状態の正常
・異常が区別できる理由を簡単に説明すると、電圧波形
の短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊは相
当周波数ごとのフィルタになっており、フィルタをかけ
た時系列データの分散値は、正常の場合ある値のまわり
に分布する。異常になると、特定の周波数あるいは、全
部の周波数の分散値が正常の場合の分散値からずれる。
このずれ方は、異常な電圧に依存するので、分散値を比
較することで正常・異常の判別することができる。
周波数１，２，・・・，ｊの分散値が、電圧状態の正常
・異常が区別できる理由を簡単に説明すると、電圧波形
の短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊは相
当周波数ごとのフィルタになっており、フィルタをかけ
た時系列データの分散値は、正常の場合ある値のまわり
に分布する。異常になると、特定の周波数あるいは、全
部の周波数の分散値が正常の場合の分散値からずれる。
このずれ方は、異常な電圧に依存するので、分散値を比
較することで正常・異常の判別することができる。
【００６４】そして、比較器Ｍ（４０）、比較器１（３
４）、比較器２（３６）、比較器ｊ（３８）の判定結果
と正常時にあらかじめ定められた各周波数ごとの正常・
異常パターンと比較して最終的な判定を決定する。この
判定は、対象に応じて、設定器Ｍ（３９）に格納してお
く。例えば、一番単純な設定基準は、各周波数が一つで
も異常なら、最終判断は異常であるという設定である。
４）、比較器２（３６）、比較器ｊ（３８）の判定結果
と正常時にあらかじめ定められた各周波数ごとの正常・
異常パターンと比較して最終的な判定を決定する。この
判定は、対象に応じて、設定器Ｍ（３９）に格納してお
く。例えば、一番単純な設定基準は、各周波数が一つで
も異常なら、最終判断は異常であるという設定である。
【００６５】そして、最後に、比較器Ｍ（４０）が異常
と判断すると、警報発生器４１が異常電圧発生されたこ
とを明らかにすべく、表示装置（図示せず）に異常が発
生した旨を表示し、あるいは、プラントを監視する監視
装置（図示せず）等に異常が発生した旨を示す信号等を
出力し、一連の処理を終了する。
と判断すると、警報発生器４１が異常電圧発生されたこ
とを明らかにすべく、表示装置（図示せず）に異常が発
生した旨を表示し、あるいは、プラントを監視する監視
装置（図示せず）等に異常が発生した旨を示す信号等を
出力し、一連の処理を終了する。
【００６６】以上により、この実施の形態２によれば正
常・異常を判断する指標と成り得る電圧波形の短時間フ
ーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの分散値に基づ
いて、半導体検出器の正常・異常を判断するように構成
したので、短時間に判定できる。
常・異常を判断する指標と成り得る電圧波形の短時間フ
ーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの分散値に基づ
いて、半導体検出器の正常・異常を判断するように構成
したので、短時間に判定できる。
【００６７】実施の形態３．以下、この発明の実施の形
態３を図について説明する。図１はこの発明の実施の形
態３による半導体劣化診断装置の構成図であり、構成は
実施の形態１と同様であるので説明を省略するが、診断
器２５の内容が異なり、この診断器２５の内容について
は図４の構成図で説明する。
態３を図について説明する。図１はこの発明の実施の形
態３による半導体劣化診断装置の構成図であり、構成は
実施の形態１と同様であるので説明を省略するが、診断
器２５の内容が異なり、この診断器２５の内容について
は図４の構成図で説明する。
【００６８】図４において、２６は図１のＡ／Ｄ変換器
２４から出力された時系列データＹ i に基づいて電圧波
形の短時間フーリエ変換、４５は短時間フーリエ変換演
算器２６から出力された周波数１（２７）の歪度を演算
する歪度演算器１（演算手段）、４６は短時間フーリエ
変換演算器２６から出力された周波数２（２８）の歪度
を演算する歪度演算器２（演算手段）、４７は短時間フ
ーリエ変換演算器２６から出力された周波数ｊ（２９）
の歪度を演算する歪度演算器ｊ（演算手段）、なおこの
歪度演算器はｊ個設定しておく。
２４から出力された時系列データＹ i に基づいて電圧波
形の短時間フーリエ変換、４５は短時間フーリエ変換演
算器２６から出力された周波数１（２７）の歪度を演算
する歪度演算器１（演算手段）、４６は短時間フーリエ
変換演算器２６から出力された周波数２（２８）の歪度
を演算する歪度演算器２（演算手段）、４７は短時間フ
ーリエ変換演算器２６から出力された周波数ｊ（２９）
の歪度を演算する歪度演算器ｊ（演算手段）、なおこの
歪度演算器はｊ個設定しておく。
【００６９】３３は正常電圧の場合の短時間フーリエ変
換の周波数１（２７）の歪度を記憶する設定器１、３４
は歪度演算器１（４５）により演算された電圧波形の短
時間フーリエ変換の周波数１（２７）の歪度と、設定器
１（３３）に記憶された正常時の短時間フーリエ変換の
周波数１（２７）の歪度とを比較する比較器１（比較手
段）である。
換の周波数１（２７）の歪度を記憶する設定器１、３４
は歪度演算器１（４５）により演算された電圧波形の短
時間フーリエ変換の周波数１（２７）の歪度と、設定器
１（３３）に記憶された正常時の短時間フーリエ変換の
周波数１（２７）の歪度とを比較する比較器１（比較手
段）である。
【００７０】３５は正常電圧の場合の短時間フーリエ変
換の周波数２（２８）の歪度を記憶する設定器２、３６
は歪度演算器２（４６）により演算された電圧波形の短
時間フーリエ変換の周波数２（２８）の歪度と、設定器
２（３５）に記憶された正常時の短時間フーリエ変換の
周波数２（２８）の歪度とを比較する比較器２（比較手
段）である。
換の周波数２（２８）の歪度を記憶する設定器２、３６
は歪度演算器２（４６）により演算された電圧波形の短
時間フーリエ変換の周波数２（２８）の歪度と、設定器
２（３５）に記憶された正常時の短時間フーリエ変換の
周波数２（２８）の歪度とを比較する比較器２（比較手
段）である。
【００７１】３７は正常電圧の場合の短時間フーリエ変
換の周波数ｊ（２９）の歪度を記憶する設定器ｊ、３８
は歪度演算器ｊ（４７）により演算された電圧波形の短
時間フーリエ変換の周波数ｊ（２９）の歪度と、設定器
ｊ（３７）に記憶された正常時の短時間フーリエ変換の
周波数ｊ（２９）の歪度とを比較する比較器ｊ（比較手
段）である。
換の周波数ｊ（２９）の歪度を記憶する設定器ｊ、３８
は歪度演算器ｊ（４７）により演算された電圧波形の短
時間フーリエ変換の周波数ｊ（２９）の歪度と、設定器
ｊ（３７）に記憶された正常時の短時間フーリエ変換の
周波数ｊ（２９）の歪度とを比較する比較器ｊ（比較手
段）である。
【００７２】なお、図では周波数１（２７）、周波数２
（２８），周波数ｊ（２９）という具合に３個で代表し
て表記しているが、実際にはｊ個の周波数が得られる。
同様に、比較器１（３４）、比較器２（３６）、比較器
ｊ（３８）という具合に３個で代表して表記している
が、実際にはｊ個の比較器が設けられている。また、設
定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３７）
という具合に３個で代表して表記しているが、実際には
ｊ個の設定器が設けられている。
（２８），周波数ｊ（２９）という具合に３個で代表し
て表記しているが、実際にはｊ個の周波数が得られる。
同様に、比較器１（３４）、比較器２（３６）、比較器
ｊ（３８）という具合に３個で代表して表記している
が、実際にはｊ個の比較器が設けられている。また、設
定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３７）
という具合に３個で代表して表記しているが、実際には
ｊ個の設定器が設けられている。
【００７３】３９は比較器１（３４）、比較器２（３
６），・・・，比較器ｊ（３８）において正常電圧の場
合の許容パターンを記憶する設定器Ｍである。４０は比
較器１（３４）、比較器２（３６），・・・，比較器ｊ
（３８）の比較結果と、設定器Ｍに記憶された正常時の
許容パターンとを比較する比較器、４１は比較器４０の
比較結果に基づいて警報を出力する警報発生器である。
６），・・・，比較器ｊ（３８）において正常電圧の場
合の許容パターンを記憶する設定器Ｍである。４０は比
較器１（３４）、比較器２（３６），・・・，比較器ｊ
（３８）の比較結果と、設定器Ｍに記憶された正常時の
許容パターンとを比較する比較器、４１は比較器４０の
比較結果に基づいて警報を出力する警報発生器である。
【００７４】次に動作について説明する。図１におい
て、半導体検出器で測定された電圧波形をＡ／Ｄ変換器
２４が所定時間ごとにサンプリングしてアナログ・ディ
ジタル変換し、複数個の時系列データＹi （ｉ＝１，
２，・・・，Ｎ）を出力するのは、実施の形態１と同様
である。
て、半導体検出器で測定された電圧波形をＡ／Ｄ変換器
２４が所定時間ごとにサンプリングしてアナログ・ディ
ジタル変換し、複数個の時系列データＹi （ｉ＝１，
２，・・・，Ｎ）を出力するのは、実施の形態１と同様
である。
【００７５】そして、図４のように複数個の時系列デー
タＹi が診断器２５の短時間フーリエ変換演算器２６に
入力されて短時間フーリエ変換演算され、演算結果が歪
度演算器１（４５）、歪度演算器２（４６）、歪度演算
器ｊ（４７）に入力される迄は、実施の形態１と同様で
あるので説明を省略する。
タＹi が診断器２５の短時間フーリエ変換演算器２６に
入力されて短時間フーリエ変換演算され、演算結果が歪
度演算器１（４５）、歪度演算器２（４６）、歪度演算
器ｊ（４７）に入力される迄は、実施の形態１と同様で
あるので説明を省略する。
【００７６】短時間フーリエ変換結果が周波数１，２，
・・・，ｊで求められると、診断器２５における歪度演
算器１（４５）、歪度演算器２（４６）、歪度演算器ｊ
（４７）が、以下に示すように、周波数１，２，・・
・，ｊの各歪度
・・・，ｊで求められると、診断器２５における歪度演
算器１（４５）、歪度演算器２（４６）、歪度演算器ｊ
（４７）が、以下に示すように、周波数１，２，・・
・，ｊの各歪度
【００７７】
【数１２】
【００７８】を次式（６）により求める。
【００７９】
【数１３】
【００８０】そして、歪度演算器１（４５）、歪度演算
器２（４６）、歪度演算器ｊ（４７）により各歪度が演
算されると、比較器１（３４）、比較器２（３６）、比
較器ｊ（３８）の電圧波形が正常であるときの、短時間
フーリエ変換の周波数１、２，・・・，ｊの分散値を設
定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３７）
から入力し、その演算された各歪度と正常時の各周波数
１，２，・・・，ｊの歪度と比較する。
器２（４６）、歪度演算器ｊ（４７）により各歪度が演
算されると、比較器１（３４）、比較器２（３６）、比
較器ｊ（３８）の電圧波形が正常であるときの、短時間
フーリエ変換の周波数１、２，・・・，ｊの分散値を設
定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３７）
から入力し、その演算された各歪度と正常時の各周波数
１，２，・・・，ｊの歪度と比較する。
【００８１】ここで、設定器１（３３）、設定器２（３
５）、設定器ｊ（３７）には、電圧波形が正常であると
きの、短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊ
の歪度が記憶されているが、外部の装置（図示せず）が
演算した正常時の歪度を記憶するようにしてもよいこと
は言うまでもない。
５）、設定器ｊ（３７）には、電圧波形が正常であると
きの、短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊ
の歪度が記憶されているが、外部の装置（図示せず）が
演算した正常時の歪度を記憶するようにしてもよいこと
は言うまでもない。
【００８２】そして、比較器１（３４）、比較器２（３
６）、比較器ｊ（３８）は演算された各歪度と正常時の
歪度を比較した結果、例えば、演算された各歪度が正常
時の歪度の３倍を超えた時、異常と判定し、比較器Ｍ
（４０）に出力する。
６）、比較器ｊ（３８）は演算された各歪度と正常時の
歪度を比較した結果、例えば、演算された各歪度が正常
時の歪度の３倍を超えた時、異常と判定し、比較器Ｍ
（４０）に出力する。
【００８３】ここで、電圧波形の短時間フーリエ変換の
周波数１，２，・・・，ｊの歪度が、電圧状態の正常・
異常が区別できる理由を簡単に説明すると、電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊは相当
周波数ごとのフィルタになっており、フィルタをかけた
時系列データの歪度は、正常の場合ある値のまわりに分
布する。異常になると、特定の周波数あるいは、全部の
周波数の歪度が正常の場合の歪度からずれる。このずれ
方は、異常な電圧に依存するので、歪度を比較すること
で正常・異常の判別することができる。
周波数１，２，・・・，ｊの歪度が、電圧状態の正常・
異常が区別できる理由を簡単に説明すると、電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊは相当
周波数ごとのフィルタになっており、フィルタをかけた
時系列データの歪度は、正常の場合ある値のまわりに分
布する。異常になると、特定の周波数あるいは、全部の
周波数の歪度が正常の場合の歪度からずれる。このずれ
方は、異常な電圧に依存するので、歪度を比較すること
で正常・異常の判別することができる。
【００８４】そして、比較器Ｍ（４０）、比較器１（３
４）、比較器２（３６）、比較器ｊ（３８）の判定結果
と正常時にあらかじめ定められた各周波数ごとの正常・
異常パターンと比較して最終的な判定を決定する。この
判定は、対象に応じて、設定器Ｍ（３９）に格納してお
く。例えば、一番単純な設定基準は、各周波数が一つで
も異常なら、最終判断は異常であるという設定である。
４）、比較器２（３６）、比較器ｊ（３８）の判定結果
と正常時にあらかじめ定められた各周波数ごとの正常・
異常パターンと比較して最終的な判定を決定する。この
判定は、対象に応じて、設定器Ｍ（３９）に格納してお
く。例えば、一番単純な設定基準は、各周波数が一つで
も異常なら、最終判断は異常であるという設定である。
【００８５】そして、最後に、比較器Ｍ（４０）が異常
と判断すると、警報発生器４１が異常電圧発生されたこ
とを明らかにすべく、表示装置（図示せず）に異常が発
生した旨を表示し、あるいは、プラントを監視する監視
装置（図示せず）等に異常が発生した旨を示す信号等を
出力し、一連の処理を終了する。
と判断すると、警報発生器４１が異常電圧発生されたこ
とを明らかにすべく、表示装置（図示せず）に異常が発
生した旨を表示し、あるいは、プラントを監視する監視
装置（図示せず）等に異常が発生した旨を示す信号等を
出力し、一連の処理を終了する。
【００８６】以上により、この実施の形態３によれば正
常・異常を判断する指標と成り得る電圧波形の短時間フ
ーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの歪度に基づい
て半導体検出器の正常・異常を判断するように構成した
ので、短時間に判定できる。
常・異常を判断する指標と成り得る電圧波形の短時間フ
ーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの歪度に基づい
て半導体検出器の正常・異常を判断するように構成した
ので、短時間に判定できる。
【００８７】実施の形態４．以下、この発明の実施の形
態４を図について説明する。図１はこの発明の実施の形
態４による半導体劣化診断装置の構成図であり、構成は
実施の形態１と同様であるので説明を省略するが、診断
器２５の内容が異なり、この診断器２５の内容について
は図５の構成図で説明する。以下、この発明の一実施の
形態を図について説明する。
態４を図について説明する。図１はこの発明の実施の形
態４による半導体劣化診断装置の構成図であり、構成は
実施の形態１と同様であるので説明を省略するが、診断
器２５の内容が異なり、この診断器２５の内容について
は図５の構成図で説明する。以下、この発明の一実施の
形態を図について説明する。
【００８８】図５において、２６は図１のＡ／Ｄ変換器
２４から出力された時系列データＹ i に基づいて電圧波
形の短時間フーリエ変換、４５は短時間フーリエ変換演
算器２６から出力された周波数１（２７）の尖度を演算
する尖度演算器１（演算手段）、４６は短時間フーリエ
変換演算器２６から出力された周波数２（２８）の尖度
を演算する尖度演算器２（演算手段）、４７は短時間フ
ーリエ変換演算器２６から出力された周波数ｊ（２９）
の尖度を演算する尖度演算器ｊ（演算手段）、なおこの
尖度演算器はｊ個設定しておく。
２４から出力された時系列データＹ i に基づいて電圧波
形の短時間フーリエ変換、４５は短時間フーリエ変換演
算器２６から出力された周波数１（２７）の尖度を演算
する尖度演算器１（演算手段）、４６は短時間フーリエ
変換演算器２６から出力された周波数２（２８）の尖度
を演算する尖度演算器２（演算手段）、４７は短時間フ
ーリエ変換演算器２６から出力された周波数ｊ（２９）
の尖度を演算する尖度演算器ｊ（演算手段）、なおこの
尖度演算器はｊ個設定しておく。
【００８９】３３は正常電圧の場合の短時間フーリエ変
換の周波数１（２７）の尖度を記憶する設定器１、３４
は尖度演算器１（４８）により演算された電圧波形の短
時間フーリエ変換の周波数１（２７）の尖度と、設定器
１（３３）に記憶された正常時の短時間フーリエ変換の
周波数１（２７）の尖度とを比較する比較器１（比較手
段）である。
換の周波数１（２７）の尖度を記憶する設定器１、３４
は尖度演算器１（４８）により演算された電圧波形の短
時間フーリエ変換の周波数１（２７）の尖度と、設定器
１（３３）に記憶された正常時の短時間フーリエ変換の
周波数１（２７）の尖度とを比較する比較器１（比較手
段）である。
【００９０】３５は正常電圧の場合の短時間フーリエ変
換の周波数２（２８）の尖度を記憶する設定器２、３６
は尖度演算器２（４９）により演算された電圧波形の短
時間フーリエ変換の周波数２（２８）の尖度と、設定器
２（３５）に記憶された正常時の短時間フーリエ変換の
周波数２（２８）の尖度とを比較する比較器２（比較手
段）である。
換の周波数２（２８）の尖度を記憶する設定器２、３６
は尖度演算器２（４９）により演算された電圧波形の短
時間フーリエ変換の周波数２（２８）の尖度と、設定器
２（３５）に記憶された正常時の短時間フーリエ変換の
周波数２（２８）の尖度とを比較する比較器２（比較手
段）である。
【００９１】３７は正常電圧の場合の短時間フーリエ変
換の周波数ｊ（２９）の尖度を記憶する設定器ｊ、３８
は尖度演算器ｊ（５０）により演算された電圧波形の短
時間フーリエ変換の周波数ｊ（２９）の尖度と、設定器
ｊ（３７）に記憶された正常時の短時間フーリエ変換の
周波数ｊ（２９）の尖度とを比較する比較器ｊ（比較手
段）である。
換の周波数ｊ（２９）の尖度を記憶する設定器ｊ、３８
は尖度演算器ｊ（５０）により演算された電圧波形の短
時間フーリエ変換の周波数ｊ（２９）の尖度と、設定器
ｊ（３７）に記憶された正常時の短時間フーリエ変換の
周波数ｊ（２９）の尖度とを比較する比較器ｊ（比較手
段）である。
【００９２】なお、図では周波数１（２７）、周波数２
（２８），周波数ｊ（２９）という具合に３個で代表し
て表記しているが、実際にはｊ個の周波数が得られる。
同様に、比較器１（３４）、比較器２（３６）、比較器
ｊ（３８）という具合に３個で代表して表記している
が、実際にはｊ個の比較器が設けられている。また、設
定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３７）
という具合に３個で代表して表記しているが、実際には
ｊ個の設定器が設けられている。
（２８），周波数ｊ（２９）という具合に３個で代表し
て表記しているが、実際にはｊ個の周波数が得られる。
同様に、比較器１（３４）、比較器２（３６）、比較器
ｊ（３８）という具合に３個で代表して表記している
が、実際にはｊ個の比較器が設けられている。また、設
定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３７）
という具合に３個で代表して表記しているが、実際には
ｊ個の設定器が設けられている。
【００９３】３９は比較器１（３４）、比較器２（３
６），・・・，比較器ｊ（３８）において正常電圧の場
合の許容パターンを記憶する設定器Ｍである。４０は比
較器１（３４）、比較器２（３６），・・・，比較器ｊ
（３８）の比較結果と、設定器Ｍに記憶された正常時の
許容パターンとを比較する比較器、４１は比較器４０の
比較結果に基づいて警報を出力する警報発生器（警報出
力手段）である。
６），・・・，比較器ｊ（３８）において正常電圧の場
合の許容パターンを記憶する設定器Ｍである。４０は比
較器１（３４）、比較器２（３６），・・・，比較器ｊ
（３８）の比較結果と、設定器Ｍに記憶された正常時の
許容パターンとを比較する比較器、４１は比較器４０の
比較結果に基づいて警報を出力する警報発生器（警報出
力手段）である。
【００９４】次に動作について説明する。図１におい
て、半導体検出器で測定された電圧波形をＡ／Ｄ変換器
２４が所定時間ごとにサンプリングしてアナログ・ディ
ジタル変換し、複数個の時系列データＹi （ｉ＝１，
２，・・・，Ｎ）を出力するのは、実施の形態１と同様
である。
て、半導体検出器で測定された電圧波形をＡ／Ｄ変換器
２４が所定時間ごとにサンプリングしてアナログ・ディ
ジタル変換し、複数個の時系列データＹi （ｉ＝１，
２，・・・，Ｎ）を出力するのは、実施の形態１と同様
である。
【００９５】そして、図５のように複数個の時系列デー
タＹi が診断器２５の短時間フーリエ変換演算器２６に
入力されて短時間フーリエ変換演算され、演算結果が尖
度演算器１（４５）、尖度演算器２（４６）、尖度演算
器ｊ（４７）に入力される迄は、実施の形態１と同様で
あるので説明を省略する。
タＹi が診断器２５の短時間フーリエ変換演算器２６に
入力されて短時間フーリエ変換演算され、演算結果が尖
度演算器１（４５）、尖度演算器２（４６）、尖度演算
器ｊ（４７）に入力される迄は、実施の形態１と同様で
あるので説明を省略する。
【００９６】短時間フーリエ変換結果が周波数１，２，
・・・，ｊで求められると、診断器２５における尖度演
算器１（４５）、尖度演算器２（４６）、尖度演算器ｊ
（４７）が、以下に示すように、周波数１，２，・・
・，ｊの各尖度
・・・，ｊで求められると、診断器２５における尖度演
算器１（４５）、尖度演算器２（４６）、尖度演算器ｊ
（４７）が、以下に示すように、周波数１，２，・・
・，ｊの各尖度
【００９７】
【数１４】
【００９８】を次式（７）により求める。
【００９９】
【数１５】
【０１００】そして、尖度演算器１（４８）、尖度演算
器２（４９）、尖度演算器ｊ（５０）により各尖度が演
算されると、比較器１（３４）、比較器２（３６）、比
較器ｊ（３８）の電圧波形が正常であるときの、短時間
フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの分散値を設
定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３７）
から入力し、その演算された各尖度と正常時の各周波数
１，２，・・・，ｊの尖度と比較する。
器２（４９）、尖度演算器ｊ（５０）により各尖度が演
算されると、比較器１（３４）、比較器２（３６）、比
較器ｊ（３８）の電圧波形が正常であるときの、短時間
フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの分散値を設
定器１（３３）、設定器２（３５）、設定器ｊ（３７）
から入力し、その演算された各尖度と正常時の各周波数
１，２，・・・，ｊの尖度と比較する。
【０１０１】ここで、設定器１（３３）、設定器２（３
５）、設定器ｊ（３７）には、電圧波形が正常であると
きの、短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊ
の尖度が記憶されているが、外部の装置（図示せず）が
演算した正常時の尖度を記憶するようにしてもよいこと
は言うまでもない。
５）、設定器ｊ（３７）には、電圧波形が正常であると
きの、短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊ
の尖度が記憶されているが、外部の装置（図示せず）が
演算した正常時の尖度を記憶するようにしてもよいこと
は言うまでもない。
【０１０２】そして、比較器１（３４）、比較器２（３
６）、比較器ｊ（３８）は演算された各尖度と正常時の
尖度を比較した結果、例えば、演算された各尖度が正常
時の尖度の３倍を超えた時、異常と判定し、比較器Ｍ
（４０）に出力する。
６）、比較器ｊ（３８）は演算された各尖度と正常時の
尖度を比較した結果、例えば、演算された各尖度が正常
時の尖度の３倍を超えた時、異常と判定し、比較器Ｍ
（４０）に出力する。
【０１０３】ここで、電圧波形の短時間フーリエ変換の
周波数１，２，・・・，ｊの尖度が、電圧状態の正常・
異常が区別できる理由を簡単に説明すると、電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊは相当
周波数ごとのフィルタになっており、フィルタをかけた
時系列データの尖度は、正常の場合ある値のまわりに分
布する。異常になると、特定の周波数あるいは、全部の
周波数の尖度が正常の場合の尖度からずれる。このずれ
方は、異常な電圧に依存するので、尖度を比較すること
で正常・異常の判別することができる。
周波数１，２，・・・，ｊの尖度が、電圧状態の正常・
異常が区別できる理由を簡単に説明すると、電圧波形の
短時間フーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊは相当
周波数ごとのフィルタになっており、フィルタをかけた
時系列データの尖度は、正常の場合ある値のまわりに分
布する。異常になると、特定の周波数あるいは、全部の
周波数の尖度が正常の場合の尖度からずれる。このずれ
方は、異常な電圧に依存するので、尖度を比較すること
で正常・異常の判別することができる。
【０１０４】そして、比較器Ｍ（４０）、比較器１（３
４）、比較器２（３６）、比較器ｊ（３８）の判定結果
と正常時にあらかじめ定められた各周波数ごとの正常・
異常パターンと比較して最終的な判定を決定する。この
判定は、対象に応じて、設定器Ｍ（３９）に格納してお
く。例えば、一番単純な設定基準は、各周波数が一つで
も異常なら、最終判断は異常であるという設定である。
４）、比較器２（３６）、比較器ｊ（３８）の判定結果
と正常時にあらかじめ定められた各周波数ごとの正常・
異常パターンと比較して最終的な判定を決定する。この
判定は、対象に応じて、設定器Ｍ（３９）に格納してお
く。例えば、一番単純な設定基準は、各周波数が一つで
も異常なら、最終判断は異常であるという設定である。
【０１０５】そして、最後に、比較器Ｍ（４０）が異常
と判断すると、警報発生器４１が異常電圧発生されたこ
とを明らかにすべく、表示装置（図示せず）に異常が発
生した旨を表示し、あるいは、プラントを監視する監視
装置（図示せず）等に異常が発生した旨を示す信号等を
出力し、一連の処理を終了する。
と判断すると、警報発生器４１が異常電圧発生されたこ
とを明らかにすべく、表示装置（図示せず）に異常が発
生した旨を表示し、あるいは、プラントを監視する監視
装置（図示せず）等に異常が発生した旨を示す信号等を
出力し、一連の処理を終了する。
【０１０６】以上により、この実施の形態４によれば正
常・異常を判断する指標と成り得る電圧波形の短時間フ
ーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの尖度に基づい
て半導体検出器の正常・異常を判断するように構成した
ので、短時間に判定できる。
常・異常を判断する指標と成り得る電圧波形の短時間フ
ーリエ変換の周波数１，２，・・・，ｊの尖度に基づい
て半導体検出器の正常・異常を判断するように構成した
ので、短時間に判定できる。
【０１０７】
【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれ
ば、半導体検出器の出力信号波形をサンプリングして短
時間フーリエ変換し、周波数別の平均値を求め、出力電
圧の正常時の平均値との比較に応じて半導体検出器の良
否を判断するようにしたので、従来に比較して高速に判
断でき、また、平均値を採用することで、計算時間を短
縮することができる。
ば、半導体検出器の出力信号波形をサンプリングして短
時間フーリエ変換し、周波数別の平均値を求め、出力電
圧の正常時の平均値との比較に応じて半導体検出器の良
否を判断するようにしたので、従来に比較して高速に判
断でき、また、平均値を採用することで、計算時間を短
縮することができる。
【０１０８】請求項２の発明によれば、半導体検出器の
出力信号波形をサンプリングして短時間フーリエ変換
し、周波数別の分散値を求め、出力電圧の正常時の分散
値との比較に応じて半導体検出器の良否を判断するよう
にしたので、従来に比較して高速に判断でき、また、分
散値を採用することで、ばらつきに異常が現れる現象の
感度向上もできる。
出力信号波形をサンプリングして短時間フーリエ変換
し、周波数別の分散値を求め、出力電圧の正常時の分散
値との比較に応じて半導体検出器の良否を判断するよう
にしたので、従来に比較して高速に判断でき、また、分
散値を採用することで、ばらつきに異常が現れる現象の
感度向上もできる。
【０１０９】請求項３の発明によれば、半導体検出器の
出力信号波形をサンプリングして短時間フーリエ変換
し、周波数別の歪度値を求め、出力電圧の正常時の歪度
値との比較に応じて半導体検出器の良否を判断するよう
にしたので、従来に比較して高速に判断でき、また、歪
度を採用することで、偏りに異常が現れる現象の感度の
向上もできる。
出力信号波形をサンプリングして短時間フーリエ変換
し、周波数別の歪度値を求め、出力電圧の正常時の歪度
値との比較に応じて半導体検出器の良否を判断するよう
にしたので、従来に比較して高速に判断でき、また、歪
度を採用することで、偏りに異常が現れる現象の感度の
向上もできる。
【０１１０】請求項４の発明によれば、半導体検出器の
出力信号波形をサンプリングして短時間フーリエ変換
し、周波数別の尖度値を求め、出力電圧の正常時の尖度
値との比較に応じて半導体検出器の良否を判断するよう
にしたので、従来に比較して高速に判断でき、また、尖
度を採用することで、ひろがりに異常が現れる現象の感
度の向上もできる。
出力信号波形をサンプリングして短時間フーリエ変換
し、周波数別の尖度値を求め、出力電圧の正常時の尖度
値との比較に応じて半導体検出器の良否を判断するよう
にしたので、従来に比較して高速に判断でき、また、尖
度を採用することで、ひろがりに異常が現れる現象の感
度の向上もできる。
【図１】 この発明の実施の形態１による半導体検出器
劣化診断装置の構成図である。
劣化診断装置の構成図である。
【図２】 この発明の実施の形態１による半導体検出器
劣化診断装置の診断器の構成図である。
劣化診断装置の診断器の構成図である。
【図３】 この発明の実施の形態２による半導体検出器
劣化診断装置の診断器の構成図である。
劣化診断装置の診断器の構成図である。
【図４】 この発明の実施の形態３による半導体検出器
劣化診断装置の診断器の構成図である。
劣化診断装置の診断器の構成図である。
【図５】 この発明の実施の形態４による半導体検出器
劣化診断装置の診断器の構成図である。
劣化診断装置の診断器の構成図である。
【図６】 従来の半導体検出器劣化診断装置の構成図で
ある。
ある。
２１ 電圧波形（信号波形） ２２ フィルタ ２３ 増幅器 ２４ Ａ／Ｄ変換
器 ２５ 診断器 ２６ 短時間フー
リエ変換演算器 ２７ 周波数１ ２８ 周波数２ ２９ 周波数ｊ ３０ 平均演算器
１ ３１ 平均演算器２ ３２ 平均演算器
ｊ ３３ 設定器１ ３４ 比較器１ ３５ 設定器２ ３６ 比較器２ ３７ 設定器ｊ ３８ 比較器ｊ ３９ 設定器Ｍ ４０ 比較器Ｍ ４１ 警報発生器 ４２ 分散演算器
１ ４３ 分散演算器２ ４４ 分散演算器
ｊ ４５ 歪度演算器１ ４６ 歪度演算器
２ ４７ 歪度演算器ｊ ４８ 尖度演算器
１ ４９ 尖度演算器２ ５０ 尖度演算器
ｊ
器 ２５ 診断器 ２６ 短時間フー
リエ変換演算器 ２７ 周波数１ ２８ 周波数２ ２９ 周波数ｊ ３０ 平均演算器
１ ３１ 平均演算器２ ３２ 平均演算器
ｊ ３３ 設定器１ ３４ 比較器１ ３５ 設定器２ ３６ 比較器２ ３７ 設定器ｊ ３８ 比較器ｊ ３９ 設定器Ｍ ４０ 比較器Ｍ ４１ 警報発生器 ４２ 分散演算器
１ ４３ 分散演算器２ ４４ 分散演算器
ｊ ４５ 歪度演算器１ ４６ 歪度演算器
２ ４７ 歪度演算器ｊ ４８ 尖度演算器
１ ４９ 尖度演算器２ ５０ 尖度演算器
ｊ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 郁夫 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 藤原 博次 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 犬島 浩 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2G088 GG21 KK24 LL26 5F088 BA20 LA07
Claims (4)
- 【請求項１】 半導体検出器の出力信号波形を検出する
検出手段と、検出された信号波形をサンプリングして、
複数個の時系列データを出力するサンプリング手段と、
サンプリングされた信号波形を短時間フーリエ変換する
演算手段と、上記演算結果の周波数別の平均値と、上記
半導体検出器が正常時の上記周波数別の平均値とを比較
し、この比較結果に基づいて上記半導体検出器の良否を
判断する比較手段を備えた半導体検出器劣化診断装置。 - 【請求項２】 半導体検出器の出力信号波形を検出する
検出手段と、検出された信号波形をサンプリングして、
複数個の時系列データを出力するサンプリング手段と、
サンプリングされた信号波形を短時間フーリエ変換する
演算手段と、上記演算結果の周波数別の分散値と、上記
半導体検出器が正常時の上記周波数別の分散値とを比較
し、この比較結果に基づいて上記半導体検出器の良否を
判断する比較手段を備えた半導体検出器劣化診断装置。 - 【請求項３】 半導体検出器の出力信号波形を検出する
検出手段と、検出された信号波形をサンプリングして、
複数個の時系列データを出力するサンプリング手段と、
サンプリングされた信号波形を短時間フーリエ変換する
演算手段と、上記演算結果の周波数別の歪度と、上記半
導体検出器が正常時の上記周波数別の歪度とを比較し、
この比較結果に基づいて上記半導体検出器の良否を判断
する比較手段を備えた半導体検出器劣化診断装置。 - 【請求項４】 半導体検出器の出力信号波形を検出する
検出手段と、検出された信号波形をサンプリングして、
複数個の時系列データを出力するサンプリング手段と、
サンプリングされた信号波形を短時間フーリエ変換する
演算手段と、上記演算結果の周波数別の尖度と、上記半
導体検出器が正常時の上記周波数別の尖度とを比較し、
この比較結果に基づいて上記半導体検出器の良否を判断
する比較手段を備えた半導体検出器劣化診断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000318308A JP2002131439A (ja) | 2000-10-18 | 2000-10-18 | 半導体検出器劣化診断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000318308A JP2002131439A (ja) | 2000-10-18 | 2000-10-18 | 半導体検出器劣化診断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002131439A true JP2002131439A (ja) | 2002-05-09 |
Family
ID=18796954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000318308A Pending JP2002131439A (ja) | 2000-10-18 | 2000-10-18 | 半導体検出器劣化診断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002131439A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004012322A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Japan Atom Power Co Ltd:The | 半導体検出器の劣化診断装置 |
| JP2004061210A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Seiko Instruments Inc | 放射能検出器の性能評価装置、性能評価方法および性能評価プログラム |
| JP2004280549A (ja) * | 2003-03-17 | 2004-10-07 | Kitakyushu Foundation For The Advancement Of Industry Science & Technology | 直流電源装置の劣化診断装置 |
| KR20190069435A (ko) * | 2016-10-20 | 2019-06-19 | 볼륨 그래픽스 게엠베하 | 워크피스의 컴퓨터 단층 촬영 검사를 위한 시스템의 기능 상태 모니터링 방법 |
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2000
- 2000-10-18 JP JP2000318308A patent/JP2002131439A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004012322A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Japan Atom Power Co Ltd:The | 半導体検出器の劣化診断装置 |
| JP2004061210A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Seiko Instruments Inc | 放射能検出器の性能評価装置、性能評価方法および性能評価プログラム |
| JP2004280549A (ja) * | 2003-03-17 | 2004-10-07 | Kitakyushu Foundation For The Advancement Of Industry Science & Technology | 直流電源装置の劣化診断装置 |
| KR20190069435A (ko) * | 2016-10-20 | 2019-06-19 | 볼륨 그래픽스 게엠베하 | 워크피스의 컴퓨터 단층 촬영 검사를 위한 시스템의 기능 상태 모니터링 방법 |
| JP2019533158A (ja) * | 2016-10-20 | 2019-11-14 | ボリュームグラフィックス ゲーエムベーハーＶｏｌｕｍｅ Ｇｒａｐｈｉｃｓ Ｇｍｂｈ | 加工物のコンピュータ断層撮影検査のためのシステムの機能状態を監視するための方法 |
| KR102224682B1 (ko) | 2016-10-20 | 2021-03-08 | 볼륨 그래픽스 게엠베하 | 워크피스의 컴퓨터 단층 촬영 검사를 위한 시스템의 기능 상태 모니터링 방법 |
| US11047810B2 (en) | 2016-10-20 | 2021-06-29 | Volume Graphics Gmbh | Method for monitoring the functional state of a system for computer-tomographic examination of workpieces |
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