JP2002160769A

JP2002160769A - 容器の緩衝体

Info

Publication number: JP2002160769A
Application number: JP2000354804A
Authority: JP
Inventors: Kazuya Okada; 一也岡田
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 2000-11-21
Filing date: 2000-11-21
Publication date: 2002-06-04
Anticipated expiration: 2020-11-21
Also published as: JP3755580B2

Abstract

(57)【要約】【課題】肉厚が厚くなったり、梱包形態が嵩高くなる
のを抑制し、容器の使用場所を汚染したり、環境に悪影
響を及ぼすおそれが少なく、リユースして使用でき、衝
撃吸収度の低下を解消できる容器の緩衝体を提供する。【解決手段】包装箱１に精密基板収納容器１０を収納
し、包装箱１と精密基板収納容器１０の間に、精密基板
Ｗや精密基板収納容器１０に加わる衝撃を和らげる緩衝
体２０を介在する。緩衝体２０を、包装箱１の内部下方
に収納されて精密基板収納容器１０の下部に係合する第
一の緩衝体２３と、包装箱１の上部に配置されて精密基
板収納容器１０の上部に係合する第二の緩衝体２４とか
ら構成し、第一、第二の緩衝体２３・２４を形成する外
周壁２５と内壁２７を連結壁３１で連結し、かつ連結壁
３１を屈曲形成して衝撃に伴う歪みを吸収するベローズ
３２とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薄い精密基板や大
口径の精密基板の輸送中に発生する精密基板やその収納
容器の損傷を低減することのできる容器の緩衝体に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、精密基板収納容器１０を輸送する
場合には、図７に示すように、包装箱１の内部下方に第
一の緩衝体２３Ａを敷き、この第一の緩衝体２３Ａの複
数の収納凹部３０に精密基板収納容器１０を並べて嵌合
収納し、包装箱１の内部上方を第二の緩衝体２４Ａで被
覆してその複数の収納凹部３０と精密基板収納容器１０
の上部とを嵌合し、その後、包装箱１の開いた複数枚の
フラップ２をステープラーや粘着テープ等で封緘して梱
包し、精密基板収納容器１０を輸送するようにしてい
る。

【０００３】精密基板収納容器１０は、図８や図９に示
すように、有底筒形の容器本体１１と、この容器本体１
１に着脱自在に収納され、複数枚のウェーハからなる精
密基板Ｗを断面Ｖ字の支持溝１２を介して所定のピッチ
で整列状態に収納するカセット１３と、容器本体１１の
開口面をエンドレスのパッキン１４を介し開閉する蓋体
１５と、この蓋体１５の内面に選択的に装着される精密
基板抑え１６とから構成されている。また、第一、第二
の緩衝体２３Ａ・２４Ａは、厚い発泡スチロール、発泡
ポリプロピレン、ポリプロピレンシート等を用いて形成
され、精密基板Ｗや精密基板収納容器１０に加わる衝撃
を和らげる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来における第一、第
二の緩衝体２３Ａ・２４Ａは、以上のように発泡スチロ
ール等を用いて形成されるので、衝撃の吸収能力を高め
るために肉厚が厚くなり、梱包形態が嵩高くなるという
大きな問題がある。また、第一、第二の緩衝体２３Ａ・
２４Ａは、材料が脆いので、衝撃で細かく砕けて飛散し
易く、精密基板Ｗや精密基板収納容器１０を使用するク
リーンルームを汚染したり、環境衛生に悪影響を及ぼす
おそれがあり、しかも、リユースして使用することも困
難である。このような問題を解消する手段として、ＰＰ
シートを屈曲して第一、第二の緩衝体２３Ａ・２４Ａを
形成する方法が提案されている。しかしながら、精密基
板Ｗが大型化して精密基板収納容器１０の重量が増す
と、外部から加わる衝撃強度も増す傾向にあるので、Ｐ
Ｐシート製の第一、第二の緩衝体２３Ａ・２４Ａでは、
衝撃が集中する部分で容易に破損し易く、衝撃吸収が困
難になるおそれが考えられる。

【０００５】一方、直径２００ｍｍ以上の大型の精密基
板Ｗ、あるいは背面が研磨されて厚さが通常の精密基板
Ｗの２０％〜７０％と薄く加工された精密基板Ｗをカセ
ット１３に整列収納して精密基板Ｗが水平状態となるよ
う横置きする場合には、精密基板Ｗはその自重で中央部
が撓んでしまう(この点に関し、図１０参照)。特に、直
径３００ｍｍ以上の大型の精密基板Ｗや厚さ４００μｍ
以下の精密基板Ｗを収納すると、精密基板Ｗの中央部が
さらに撓むこととなる。このため、外部から衝撃が加わ
ると、精密基板Ｗが支持溝１２から外れ易く、精密基板
Ｗ同士が接触して破損する可能性が少なくない。

【０００６】本発明は、上記に鑑みなされたもので、肉
厚が厚くなったり、梱包形態が嵩高くなるのを抑制し、
精密基板収納容器の使用場所を汚染したり、環境に悪影
響を及ぼすおそれが少なく、リユースして使用すること
もでき、しかも、衝撃吸収度の低下を解消することので
きる容器の緩衝体を提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明にお
いては、上記課題を達成するため、包装箱に容器を収納
し、これら包装箱と容器の間に、該容器に加わる衝撃を
和らげる緩衝体を介在したものであって、上記緩衝体
を、上記包装箱の一端部に収納されて上記容器の一端部
と係合(係わり合うこと)する第一の緩衝体と、該包装箱
の他端部に配置されて該容器の他端部と係合する第二の
緩衝体とから構成し、これら第一、第二の緩衝体の少な
くともいずれか一方に、上記衝撃に伴う歪みを吸収する
ベローズを設けたことを特徴としている。

【０００８】なお、上記第一、第二の緩衝体を、上記容
器の外周に位置する外周壁と、この外周壁の内部に位置
して該容器の端部又は他端部と係合する断面略Ｕ字の内
壁と、これら外周壁と内壁の自由端部を連結する連結壁
とから構成し、この連結壁を屈曲形成してベローズとす
ることが好ましい。また、少なくとも上記第一の緩衝体
の内壁の平坦部に、ベローズ体を設けることができる。

【０００９】ここで、特許請求の範囲における容器は単
数複数枚の精密基板を収納するが、この精密基板には、
半導体ウェーハの他、マスクガラス、液晶セル、記録媒
体等が含まれる。この精密基板の材質や口径サイズにつ
いては、シリコン、３″、６″、８″、１２″等、必要
に応じて適宜変更することができる。容器は単数複数の
精密基板収納容器が主であるが、なんらこれに限定され
るものではなく、他の各種物品を収納する容器でも良
い。また、係合は、実質的に理解されなければならず、
嵌合(嵌め合わせ)や密嵌等が含まれる。ベローズは、第
一の緩衝体だけに設けることもできるし、第二の緩衝体
だけに設けることもできる。好ましくは、第一、第二の
緩衝体の両方にベローズを設けるのが良い。さらに、内
壁は、断面Ｕ字やコ字状に形成することもできるし、お
およそ断面Ｕ字やコ字状に形成することも可能である。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
ましい実施形態を説明すると、本実施形態における容器
の緩衝体は、図１ないし図３に示すように、梱包箱から
なる包装箱１に精密基板収納容器１０を収納し、これら
包装箱１と精密基板収納容器１０の間に、精密基板Ｗや
精密基板収納容器１０に加わる衝撃を和らげる緩衝体２
０を介在し、この緩衝体２０を、包装箱１の内部下方に
収納されて精密基板収納容器１０の下部に係合する第一
の緩衝体２３と、包装箱１の上部に配置されて精密基板
収納容器１０の上部に係合する第二の緩衝体２４とから
構成するとともに、これら第一、第二の緩衝体２３・２
４に、衝撃に伴う歪みを吸収する可撓性のベローズ３２
をそれぞれ設けるようにしている。

【００１１】包装箱１は、図１に示すように、ダンボー
ル、ポリプロピレン樹脂、発泡原料等を使用して複数個
の精密基板収納容器１０を並べて収納可能な大きさに形
成され、上部が開口したフラップ２付きの直方体に形成
されている。この包装箱１は、クリーンルーム内に搬入
した場合に紙粉や塵埃等の発生が少なく、リサイクル可
能なポリプロピレン等からなる樹脂ケースが好適に使用
される。

【００１２】緩衝体２０は、図１に示すように、１．０
ｍｍ〜１．２ｍｍ程度の肉厚を有する所定のシートを使
用して成形され、周囲に凹部２１と凸部２２とが交互に
形成されている。所定のシートとしては、公知の真空成
形に使用されるポリプロピレン、ポリエチレン、ポリプ
ロピレンとポリエチレンとのコポリマー、ポリスチレ
ン、ポリブタジエン等があげられるが、静電気による埃
の付着を防ぐために上記樹脂に帯電防止性を付与したも
のでも良く、衝撃に対する耐久性と緩衝性に優れ、しか
も、成形が容易なポリプロピレンが最適である。

【００１３】第一、第二の緩衝体２３・２４は、図２や
図３に示すように、精密基板収納容器１０を囲む外周壁
２５と、この外周壁２５の内側に位置して容器本体１１
の下部又は蓋体１５に係合する断面略Ｕ字又はすり鉢形
の内壁２７と、これら外周壁２５と内壁２７の下端部又
は上端部同士を略水平に連結する連結壁３１とから構成
され、この連結壁３１が水平方向に連続して屈曲形成さ
れてベローズ３２を形成する。第一、第二の緩衝体２３
・２４は、図３に示すように、不使用時や保管時には上
下に重ねて積層されるので、保管スペースが小さくて良
く、リユースするにあたって緩衝体単品を運搬したりす
るときにも小容積とすることができ、リユースのコスト
ダウンに貢献することができる。

【００１４】外周壁２５は、強度が増すよう傾斜し、下
端部又は上端部からフランジ２６が水平外方向に突出し
ており、このフランジ２６が包装箱１の内周面下部又は
内周面上部に当接して収納時の精密基板収納容器１０の
ずれを有効に防止する。また、内壁２７は、外周壁２５
に隙間を介し傾斜状態で対向する内周壁２８と、この内
周壁２８の開口下部又は開口上部を閉塞する基本的には
平坦な底板部２９とから構成されている。第一、第二の
緩衝体２３・２４それぞれに形成される内周壁２８に囲
まれる一又は複数箇所は、精密基板収納容器の一端部又
は他端部と係合する収納凹部３０とされる。また、底板
部２９の中央部には、収納時の空気抵抗を減少させる貫
通孔３３が必要に応じて平面円形等に形成される。この
底板部２９には、強度確保のため段差が設けられること
が好ましい。

【００１５】ベローズ３２は、３本の連続した三角形状
の屈曲片から形成され、各屈曲片の直角を形成する二辺
の長さＬが５ｍｍとされている。各屈曲片の角度αは、
６０〜１２０°の範囲から選択されるが、衝撃に対する
耐久性と緩衝性の観点から９０°が好ましい。ベローズ
３２は、あらゆる方向からの衝撃に耐えるため、精密基
板収納容器の周囲を取り囲むよう配置されるとともに、
緩衝体２０の周囲に設けられた凹部２１と凸部２２に沿
って異なる高さ位置に配置されるとなお好ましい。な
お、ベローズ３２の大きさや屈曲片の本数については、
なんら本実施形態に限定されるものではなく、包装箱１
や精密基板収納容器１０の大きさ、入れ数等を考慮して
適宜選択される。その他の部分については、従来例と同
様であるので説明を省略する。

【００１６】上記構成において、精密基板収納容器１０
を輸送する場合には、包装箱１の内部下方に第一の緩衝
体２３を敷き、この第一の緩衝体２３の複数の収納凹部
３０に精密基板収納容器１０を間隔を開けて並べて係合
させ、包装箱１の内部上方を第二の緩衝体２４で被覆し
てその複数の収納凹部３０と精密基板収納容器１０の上
部とを係合し、その後、包装箱１の開いた複数枚のフラ
ップ２をステープラーや粘着テープ等で封緘して梱包す
れば、精密基板収納容器１０を固定状態で輸送すること
ができる。

【００１７】この輸送の際、精密基板収納容器１０は、
第一、第二の緩衝体２３・２４に挟持され、この第一、
第二の緩衝体２３・２４の周囲には屈曲して衝撃を緩和
するベローズ３２が位置するので、破損が著しく抑制防
止される。また、緩衝体２０の周囲に凹部２１と凸部２
２とが交互に配設されているので、精密基板収納容器１
０の稜方向に対する緩衝能力を大幅に向上させることが
可能になる。すなわち、精密基板収納容器１０の側面に
対しては緩衝体２０の凸部２２のベローズ３２が位置
し、精密基板収納容器１０の稜線部に対しては緩衝体２
０の凹部２１のベローズ３２が位置するので、輸送時に
精密基板収納容器１０に作用する外力を大幅に緩和する
ことができる。

【００１８】上記構成によれば、ポリプロピレン等の樹
脂シートを用いてベローズ３２付きの第一、第二の緩衝
体２３・２４を成形するので、衝撃の吸収能力を高める
ために肉厚を厚くする必要性がなく、簡易な構成で梱包
形態が嵩高くなるのを有効に抑制防止することができ
る。また、第一、第二の緩衝体２３・２４の材料が発泡
スチロールのように脆くないので、衝撃で細かく砕けて
飛散することがない。したがって、精密基板Ｗや精密基
板収納容器１０を使用するクリーンルームをパーティク
ル等で汚染したり、環境衛生に悪影響を及ぼすおそれが
なく、しかも、リユースして使用することも可能とな
る。また、繰り返し落下における復元性の著しい向上も
期待できる。

【００１９】また、精密基板Ｗが大型化して精密基板収
納容器１０の重量が増し、外部から加わる衝撃強度が増
大しても、第一、第二の緩衝体２３・２４が衝撃が集中
する部分で容易に破損することがなく、衝撃を容易に吸
収することができる。また、直径２００ｍｍ以上の大型
の精密基板Ｗ、あるいは背面が研磨されて厚さが通常の
精密基板Ｗの２０％〜７０％と薄く加工された精密基板
Ｗをカセット１３に整列収納して横置きする場合、精密
基板Ｗの中央部が撓むが、外部から加わる衝撃を大幅に
緩和できるので、精密基板Ｗが支持溝１２から簡単に外
れることがない。よって、精密基板Ｗ同士が接触して破
損するおそれを簡単に排除することが可能となる。

【００２０】さらに、保管時には同種の第一、第二の緩
衝体２３・２４を重ねて積層することができるので、保
管に必要な占有スペースの縮小が大いに期待できる。さ
らにまた、異種の第一、第二の緩衝体２３・２４を過誤
により重ねて積層しようとしても、凹部２１と凸部２２
の寸法が異なるから、適切に重なることがない。よっ
て、異種の緩衝体２０の混入をきわめて有効に防止する
ことができる。

【００２１】次に、図４や図５は本発明の第２の実施形
態を示すもので、この場合には、第一の緩衝体２３にお
ける内壁２７の底板部２９の裏面に、ベローズ３２とは
略直角方向に位置する別のベローズ体４０を一体的に装
着し、水平方向だけではなく、垂直方向に対する耐久性
と緩衝性をも向上させるようにしている。ベローズ体４
０は、底板部２９の裏面に熱溶着、凹凸嵌合等の嵌合、
接着等の各種方法で外れないよう取り付けられる枠板４
１を供え、この枠板４１の裏面には、伸縮可能なベロー
ズ４２が上下方向に向けて装着されている。このベロー
ズ４２は、真空成形、圧空成形、ブロー成形等で形成す
ることができるが、製造方法については特に限定される
ものではない。その他の部分については、上記実施形態
と同様であるので説明を省略する。

【００２２】なお、上記実施形態ではトップオープンボ
ックスタイプの精密基板収納容器１０を示したが、フロ
ントオープンボックスタイプの精密基板収納容器１０で
も良い。また、精密基板収納容器１０を第一、第二の緩
衝体２３・２４に単に挟持させたが、アルミニウム製の
シートで包んだ精密基板収納容器１０を第一、第二の緩
衝体２３・２４に挟持させても良い。また、第一の緩衝
体２３における内壁２７の底板部２９の裏面にベローズ
体４０を一体的に装着したが、第二の緩衝体２４におけ
る内壁２７の底板部(平坦部)２９の裏面にベローズ体４
０を一体的に装着し、緩衝体の周囲に設けたベローズ体
の伸縮方向に対して垂直方向に対する耐久性と緩衝性を
さらに向上させることもできる。

【００２３】

【実施例】以下、図５に基づいて本発明に係る容器の緩
衝体の実施例を比較例と共に説明する。実施例先ず、包装箱１の内部下方に実施形態の第一の緩衝体２
３を敷き、この第一の緩衝体２３の内周壁に囲まれた複
数の収納凹部３０に精密基板収納容器１０を間隔を開け
て並べて係合させ、包装箱１の内部上方を実施形態の第
二の緩衝体２４で被覆してその複数の収納凹部３０に精
密基板収納容器１０の上部を係合した後、包装箱１の開
いた複数枚のフラップ２を封緘して梱包した。第一、第
二の緩衝体２３・２４はポリプロピレン製とし、精密基
板収納容器１０には複数枚の精密基板Ｗを整列収納し
た。

【００２４】こうして包装箱１に精密基板収納容器１０
を梱包したら、日本工業規格の〔包装貨物及び容器の落
下試験方法(ＪＩＳＺ０２０２)〕、〔包装貨物の落
下試験(ＪＩＳＺ０２００)〕に従い、図５に示すよ
うに、地上高さ８０ｃｍの箇所からコンクリート床に向
け８方向に落下させ、精密基板収納容器１０と精密基板
Ｗの状態を確認し、表１に結果をまとめた。

【００２５】比較例第一、第二の緩衝体２３・２４を従来例２３Ａ・２４Ａ
とし、実施例同様の試験を実施してその結果を表２にま
とめた。

【００２６】

【表１】 ○：異常なし ×：カセット１３の支持溝１２から精密基板Ｗが外れた ‐：不実施

【００２７】

【表２】 ○：異常なし ×：カセット１３の支持溝１２から精密基板Ｗが外れた ‐：不実施

【００２８】表１、表２の結果から明らかなように、実
施例の容器の緩衝体は、比較例の容器の緩衝体に比べ、
優れた耐久性、緩衝性、繰り返し落下の復元性を得るこ
とができた。

【００２９】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、肉厚が厚
くなったり、梱包形態が嵩高くなるのを有効に抑制し、
飛散して容器の使用場所を汚染したり、環境に悪影響を
及ぼすおそれを抑制することができるという効果があ
る。また、リユースして使用することができ、しかも、
衝撃の吸収度を高めることも可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る容器の緩衝体の実施形態を示す分
解斜視図である。

【図２】図１のＩＩ―ＩＩ線断面図である。

【図３】本発明に係る容器の緩衝体の実施形態における
第一、第二の緩衝体の積層状態を示す断面説明図であ
る。

【図４】本発明に係る容器の緩衝体の第２の実施形態を
示す分解斜視図である。

【図５】図４の要部断面図である。

【図６】本発明に係る容器の緩衝体の実施例を示す斜視
説明図である。

【図７】従来における容器の緩衝体を示す分解斜視図で
ある。

【図８】精密基板収納容器を示す分解斜視図である。

【図９】精密基板収納容器のカセットと精密基板とを示
す斜視説明図である。

【図１０】従来における容器の緩衝体の問題点を示す説
明図である。

【符号の説明】１包装箱１０精密基板収納容器(容器) １１容器本体１２支持溝１３カセット１５蓋体２０緩衝体２１凹部２２凸部２３第一の緩衝体２３Ａ従来の第一の緩衝体２４第二の緩衝体２４Ａ従来の第二の緩衝体２５外周壁２７内壁２８内周壁２９底板部(平坦部) ３１連結壁３２ベローズ４０ベローズ体４１枠板４２ベローズＷ精密基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】包装箱に容器を収納し、これら包装箱と
容器の間に、該容器に加わる衝撃を和らげる緩衝体を介
在した容器の緩衝体であって、上記緩衝体を、上記包装箱の一端部に収納されて上記容
器の一端部と係合する第一の緩衝体と、該包装箱の他端
部に配置されて該容器の他端部と係合する第二の緩衝体
とから構成し、これら第一、第二の緩衝体の少なくとも
いずれか一方に、上記衝撃に伴う歪みを吸収するベロー
ズを設けたことを特徴とする容器の緩衝体。
【請求項２】上記第一、第二の緩衝体を、上記容器の
外周に位置する外周壁と、この外周壁の内部に位置して
該容器の端部又は他端部と係合する断面略Ｕ字の内壁
と、これら外周壁と内壁の自由端部を連結する連結壁と
から構成し、この連結壁を屈曲形成してベローズとした
請求項１記載の容器の緩衝体。
【請求項３】少なくとも上記第一の緩衝体の内壁の平
坦部に、ベローズ体を設けた請求項１又は２記載の容器
の緩衝体。