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JP2002151566A - 基板搬送装置 - Google Patents

基板搬送装置

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Publication number
JP2002151566A
JP2002151566A JP2000332486A JP2000332486A JP2002151566A JP 2002151566 A JP2002151566 A JP 2002151566A JP 2000332486 A JP2000332486 A JP 2000332486A JP 2000332486 A JP2000332486 A JP 2000332486A JP 2002151566 A JP2002151566 A JP 2002151566A
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Japan
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substrate
substrates
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unloading
vertical state
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JP2000332486A
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Masashi Ichikawa
雅司 市川
Yoshio Sawara
良夫 佐原
Takao Matsumoto
隆夫 松本
Eiji Taguchi
英治 田口
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Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 全体として基板搬送装置を小型化するととも
に、設置面積を小さくし、しかもコストダウンを達成す
る。 【解決手段】 基板搬送用第1ロボット3を動作させて
カセット7から基板8を1枚だけ水平状態で搬出し、こ
の基板8を垂直状態に姿勢変換するとともに、所定位置
まで搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、基板搬送装置に
関し、さらに詳細にいえば、カセット内に水平状態で収
容されている基板を垂直状態にするとともに、垂直状態
で整列させるための基板搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、基板搬送装置は種々の分野
(例えば、半導体ウエハ洗浄分野)で汎用されている。
なお、以下においては、半導体ウエハ洗浄分野に基づい
て説明するが、他の分野についても同様である。
【0003】半導体ウエハ洗浄装置においては、カセッ
ト内に水平状態(表面が水平な状態)で収容された複数
枚の半導体ウエハを、全て垂直状態(表面が垂直な状
態)にして洗浄槽に収容し、この状態で洗浄液を供給す
ることによって半導体ウエハの洗浄効率を高める構成が
一般的に採用される。
【0004】ここで、カセットとしては、SEMI規格
で定められたものが用いられるので、1つのカセットに
n枚(nは正の整数)の半導体ウエハが所定のピッチで
水平状態で収容される。
【0005】したがって、一度に洗浄できる半導体ウエ
ハの枚数を増加させるために、2つのカセットに収容さ
れている2n枚の半導体ウエハを全て垂直状態にすると
ともに、表面どうし、裏面どうしが対向する状態にして
洗浄槽に収容することにより、同時に洗浄できる半導体
ウエハ枚数を増加させることが一般化してきている。
【0006】このような半導体ウエハ洗浄装置において
は、カセットから水平状態のウエハを取り出して垂直状
態にするロボットと、ウエハの間隔を所定のピッチから
1/2のピッチ(いわゆるハーフピッチ)に変換する間
隔変換装置(例えば、特開平5−175179号公報、
特開平9−69503号公報参照)と、ウエハの配置を
表面どうし、裏面どうしを対向させる配置状態にする配
置状態設定装置(例えば、特開平6−163501号公
報、特開平7−307319号公報参照)とを設けるこ
とによって、2つのキャリアから複数枚のウエハを取り
出して第1のウエハ群と第2のウエハ群とを形成し、第
2のウエハ群のウエハを第1のウエハ群の各ウエハの隙
間に挿入して第3のウエハ群を生成し、第3のウエハ群
を一括して洗浄することができる。そして、表面どう
し、裏面どうしを互いに対向させることによって、洗浄
の品質を高めることができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の構成の
半導体ウエハ洗浄装置を採用した場合には、カセットと
洗浄槽との間におけるウエハの搬送を行うために、ロボ
ット、間隔変換装置、配置状態設定装置が必要であるの
みならず、これらの間におけるウエハ受け渡しのための
仮置きスペースが複数バッチ分必要であり、ウエハ搬送
装置が全体として大型化するのみならず、設置面積も大
きくなり、しかも著しいコストアップを招いてしまうと
いう不都合がある。
【0008】
【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、全体として小型化できるとともに、設置
面積を小さくすることができ、しかもコストダウンを達
成することができる基板搬送装置を提供することを第1
の目的とし、さらに所要時間を短縮することができる基
板搬送装置を提供することを第2の目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1の基板搬送装置
は、カセットに対して複数枚の基板を1枚づつ水平状態
で搬入、搬出する搬入出手段と、搬入出手段により保持
された基板を水平状態と垂直状態との間で姿勢変換を行
わせるべく搬入出手段の姿勢を制御する姿勢制御手段
と、垂直状態の基板を所定の整列部に対して搬入、搬出
を行わせるべく姿勢が制御された搬入出手段を移動させ
る移動手段とを含むものである。
【0010】請求項2の基板搬送装置は、前記移動手段
により移動させられた垂直状態の基板を垂直状態のまま
受け取って支承するとともに、次の基板の受け取りのた
めに基板の面に垂直な方向に所定距離移動する整列支承
手段をさらに含むものである。
【0011】請求項3の基板搬送装置は、前記姿勢制御
手段として、搬入出手段により保持された基板を垂直状
態にするに当たって、基板の表面の向きを1枚ごとに1
80°反転させるものを採用するものである。
【0012】請求項4の基板搬送装置は、前記整列支承
手段として、複数枚の基板を垂直状態で所定の間隔に整
列支承する固定ホルダーと、前記固定ホルダーと同じ向
きに基板を支承する可動ホルダーと、可動ホルダーを固
定ホルダーの所定位置に正対させるべく移動させる位置
決め機構と、位置決めされた可動ホルダーと固定ホルダ
ーとの間で基板の授受を行わせるべく可動ホルダーを昇
降させる昇降機構とを含むものを採用するものである。
【0013】請求項5の基板搬送装置は、カセットに対
して、複数枚の基板をより少ない複数枚づつ水平状態で
搬出、搬入を行う搬入出手段と、搬入出手段により保持
された基板を水平状態と垂直状態との間で姿勢変換を行
わせるべく搬入出手段の姿勢を制御する姿勢制御手段
と、垂直状態の基板を所定の整列部に対して搬入、搬出
を行わせるべく姿勢が制御された搬入出手段を移動させ
る移動手段とを含むものである。
【0014】請求項6の基板搬送装置は、前記姿勢制御
手段として、搬入出手段により保持された基板を垂直状
態にするに当たって、基板の表面の向きを1回ごとに1
80°反転させるものを採用するものである。
【0015】請求項7の基板搬送装置は、前記移動手段
として、より少ない複数枚の垂直状態の基板により形成
された基板間隙に対応させて垂直状態の基板の搬入、搬
出を行わせるべく姿勢が制御された搬入出手段を移動さ
せる動作と、より少ない複数枚の垂直状態の基板に続く
所定位置に対する垂直状態の基板の搬入、搬出を行わせ
るべく姿勢が制御された搬入出手段を移動させる動作と
を選択するものを採用するものである。
【0016】請求項8の基板搬送装置は、カセットに対
して、複数枚の基板を1枚おきにより少ない複数枚づつ
水平状態で搬出、搬入を行う搬入出手段と、搬入出手段
により保持された基板を水平状態と垂直状態との間で姿
勢変換を行わせるべく搬入出手段の姿勢を制御する姿勢
制御手段と、垂直状態の基板を所定の整列部に対して搬
入、搬出を行わせるべく姿勢が制御された搬入出手段を
移動させる移動手段とを含むものである。
【0017】請求項9の基板搬送装置は、前記姿勢制御
手段として、搬入出手段により保持された基板を垂直状
態にするに当たって、基板の表面の向きを1回ごとに1
80°反転させるものを採用するものである。
【0018】請求項10の基板搬送装置は、前記移動手
段として、より少ない複数枚の垂直状態の基板により形
成された基板間隙に対応させて、かつ基板の表面どうし
の間隔が裏面どうしの間隔よりも小さくなるように、垂
直状態の基板の搬入、搬出を行わせるべく姿勢が制御さ
れた搬入出手段を移動させる動作を行うものを採用する
ものである。
【0019】請求項11の基板搬送装置は、前記整列部
として、表面同士の間隔と裏面同士の間隔とが異なる状
態で垂直状態の基板を支持する第1整列部と表面同士の
間隔と裏面同士の間隔とが等しい状態で垂直状態の基板
を支持する第2整列部とを含むものを採用し、表面どう
しが対向する2枚の基板を単位として第1整列部と第2
整列部との間で基板を移動させる間隔調整手段をさらに
含むものである。
【0020】
【作用】請求項1の基板搬送装置であれば、カセット内
に水平状態で収容されている複数枚の基板を搬入出手段
によって1枚づつ水平状態で取り出し、搬入出手段によ
り取り出された基板を垂直状態にすべく姿勢制御手段に
よって搬入出手段の姿勢を制御し、垂直状態の基板を整
列させるべく姿勢が制御された搬入出手段を移動手段に
よって整列部まで移動させる。そして、逆の動作を行わ
せることによって、基板を整列部からカセットまで搬送
することができる。
【0021】したがって、搬入出手段、姿勢制御手段お
よび移動手段は1台のロボットで実現することができる
ので、全体として小型化できるとともに、設置面積を小
さくすることができ、しかもコストダウンを達成するこ
とができる。
【0022】請求項2の基板搬送装置であれば、前記移
動手段により移動させられた垂直状態の基板を垂直状態
のまま受け取って支承するとともに、次の基板の受け取
りのために基板の面に垂直な方向に所定距離移動する整
列支承手段をさらに含むのであるから、請求項1の作用
に加え、整列支承手段の移動距離を制御することにより
基板どうしの間隔を制御することができる。
【0023】請求項3の基板搬送装置であれば前記姿勢
制御手段として、搬入出手段により保持された基板を垂
直状態にするに当たって、基板の表面の向きを1枚ごと
に180°反転させるものを採用するのであるから、請
求項1または請求項2の作用に加え、表面どうし、裏面
どうしを対向させた状態で基板を整列させることができ
る。
【0024】請求項4の基板搬送装置であれば、前記整
列支承手段として、複数枚の基板を垂直状態で所定の間
隔に整列支承する固定ホルダーと、前記固定ホルダーと
同じ向きに基板を支承する可動ホルダーと、可動ホルダ
ーを固定ホルダーの所定位置に正対させるべく移動させ
る位置決め機構と、位置決めされた可動ホルダーと固定
ホルダーとの間で基板の授受を行わせるべく可動ホルダ
ーを昇降させる昇降機構とを含むものを採用するのであ
るから、請求項2または請求項3の作用に加え、移動可
能かつ走行可能な可動ホルダーおよび固定ホルダーによ
って、基板を所定の間隔に整列させることができる。
【0025】請求項5の基板搬送装置であれば、カセッ
ト内に水平状態で収容されている複数枚の基板を搬入出
手段によって、より少ない複数枚づつ水平状態で取り出
し、搬入出手段により取り出された基板を垂直状態にす
べく姿勢制御手段によって搬入出手段の姿勢を制御し、
垂直状態の基板を整列させるべく姿勢が制御された搬入
出手段を移動手段によって整列部まで移動させる。そし
て、逆の動作を行わせることによって、基板を整列部か
らカセットまで搬送することができる。
【0026】したがって、搬入出手段、姿勢制御手段お
よび移動手段は1台のロボットで実現することができる
ので、全体として小型化できるとともに、設置面積を小
さくすることができ、しかもコストダウンを達成するこ
とができる。また、請求項1の基板搬送装置と比較し
て、基板1枚当たりに換算した搬送速度を高めることが
できる。
【0027】請求項6の基板搬送装置であれば、前記姿
勢制御手段として、搬入出手段により保持された基板を
垂直状態にするに当たって、基板の表面の向きを1回ご
とに180°反転させるものを採用するのであるから、
請求項5の作用に加え、表面どうし、裏面どうしを対向
させた状態で基板を整列させることができる。
【0028】請求項7の基板搬送装置であれば、前記移
動手段として、より少ない複数枚の垂直状態の基板によ
り形成された基板間隙に対応させて垂直状態の基板の搬
入、搬出を行わせるべく姿勢が制御された搬入出手段を
移動させる動作と、より少ない複数枚の垂直状態の基板
に続く所定位置に対する垂直状態の基板の搬入、搬出を
行わせるべく姿勢が制御された搬入出手段を移動させる
動作とを選択するものを採用するのであるから、請求項
5または請求項6の作用に加え、より少ない複数枚の基
板単位で、表面どうし、裏面どうしを対向させた状態で
基板を整列させることができる。
【0029】請求項8の基板搬送装置であれば、カセッ
ト内に水平状態で収容されている複数枚の基板を搬入出
手段によって、1枚おきにより少ない複数枚づつ水平状
態で取り出し、搬入出手段により取り出された基板を垂
直状態にすべく姿勢制御手段によって搬入出手段の姿勢
を制御し、垂直状態の基板を整列させるべく姿勢が制御
された搬入出手段を移動手段によって整列部まで移動さ
せる。そして、逆の動作を行わせることによって、基板
を整列部からカセットまで搬送することができる。
【0030】したがって、搬入出手段、姿勢制御手段お
よび移動手段は1台のロボットで実現することができる
ので、全体として小型化できるとともに、設置面積を小
さくすることができ、しかもコストダウンを達成するこ
とができる。また、請求項1の基板搬送装置と比較し
て、基板1枚当たりに換算した搬送速度を高めることが
でき、しかも一度に搬送される基板どうしの間隙を大き
くすることができる。
【0031】請求項9の基板搬送装置であれば、前記姿
勢制御手段として、搬入出手段により保持された基板を
垂直状態にするに当たって、基板の表面の向きを1回ご
とに180°反転させるものを採用するのであるから、
請求項8の作用に加え、表面どうし、裏面どうしを対向
させた状態で基板を整列させることができる。
【0032】請求項10の基板搬送装置であれば、前記
移動手段として、より少ない複数枚の垂直状態の基板に
より形成された基板間隙に対応させて、かつ基板の表面
どうしの間隔が裏面どうしの間隔よりも小さくなるよう
に、垂直状態の基板の搬入、搬出を行わせるべく姿勢が
制御された搬入出手段を移動させる動作を行うものを採
用するのであるから、請求項9の作用に加え、より少な
い複数枚の基板単位で、表面どうし、裏面どうしを対向
させた状態で基板を整列させることができる。
【0033】請求項11の基板搬送装置であれば、前記
整列部として、表面同士の間隔と裏面同士の間隔とが異
なる状態で垂直状態の基板を支持する第1整列部と表面
同士の間隔と裏面同士の間隔とが等しい状態で垂直状態
の基板を支持する第2整列部とを含むものを採用し、表
面どうしが対向する2枚の基板を単位として第1整列部
と第2整列部との間で基板を移動させる間隔調整手段を
さらに含むのであるから、請求項10の作用に加え、表
面同士の間隔と裏面同士の間隔とが異なる状態と表面同
士の間隔と裏面同士の間隔とが等しい状態との間での基
板の配列状態の変更を簡単に達成することができる。
【0034】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、この
発明の基板搬送装置の実施の態様を詳細に説明する。
【0035】図1はこの発明の基板搬送装置が組み込ま
れた基板洗浄装置を示す概略平面図、図2は同上の透視
斜視図である。
【0036】この基板洗浄装置は、外ハウジング1の外
部所定位置にカセット載置台2を設けている。そして、
外ハウジング1の内部に基板搬送用第1ロボット3と、
基板整列支承装置4と、洗浄槽5と、基板搬送用第2ロ
ボット6とを設けている。また、カセット載置台に対応
させて外ハウジング1の所定位置に開閉扉部材(図示せ
ず)を設けている。
【0037】前記基板搬送用第1ロボット3は、開閉扉
部材を通してカセット7に対する基板8の水平状態(基
板の表面が水平な状態)での搬入、搬出動作、基板8の
姿勢を水平状態と垂直状態(基板の表面が垂直な状態)
との間で変換させる姿勢変換動作、および垂直状態の基
板8の基板整列支承装置4に対する搬入、搬出動作を行
うことができる軸構成を有するものである。そして、前
記姿勢変換動作としては、基板を水平状態から垂直状態
に変換するに当たって、基板の表面の向きを1枚ごとに
180°反転させるものであることが好ましい。また、
基板8を把持するロボットハンド31としては、例え
ば、図3中(a)(b)に示すように、U字状のアーム
31aの基部に可動係合部31bを、先端部に1対の固
定係合部31cを、それぞれ有し、基板8の外周部のみ
を3点把持するものが採用される。ここで、可動係合部
31bおよび固定係合部31cは、互いに対向する端部
がテーパ面を有し、しかもテーパ面に続く中央部がアー
ム31aに対して直交する係合面を有し、基板8をアー
ム31aから離した状態で把持することができる{図3
中(b)参照}。
【0038】前記基板整列支承装置4は、例えば、図4
に示すように、互いに平行な1対の固定ホルダー41
と、基板搬送用第1ロボット3との間で1枚づつの基板
8の授受が行われる可動ホルダー42と、可動ホルダー
42を固定ホルダー41の所定位置に正対させるべく往
復動作させる位置決め駆動機構43と、位置決めされた
可動ホルダー42と固定ホルダー41との間で基板8の
授受を行わせるべく可動ホルダー42を昇降させる昇降
機構44とを有している。
【0039】前記基板搬送用第2ロボット6は、基板整
列支承装置4と従来公知の洗浄槽5との間で複数枚の基
板8を一括して搬送するものであり、水平方向における
往復動作、および往復動作の任意の位置における昇降動
作を行うことができる軸構成を有するものである。
【0040】上記の構成の基板洗浄装置の作用を図5か
ら図9を参照して説明する。
【0041】基板搬送用第1ロボット3を動作させてカ
セット7から基板8を1枚だけ水平状態で搬出し{図5
中(a)参照}、この基板8を垂直状態に姿勢変換する
とともに、可動ホルダー42の近辺まで移動させ{図5
中(b)参照}、昇降機構44によって可動ホルダー4
2を上昇させて基板8を可動ホルダー42に供給する
{図6中(a)参照}。次いで、位置決め駆動機構43
によって可動ホルダー42と共に基板8を水平方向に移
動させ、昇降機構44によって可動ホルダー42を下降
させることにより基板8を1対の固定ホルダー41に移
行させる{図6中(b)参照}。
【0042】その後、下降した可動ホルダー42を位置
決め駆動機構43によって元の位置まで水平方向に移動
させ{図7中(a)参照}、昇降機構44によって可動
ホルダー42を上昇させることにより次の基板受け取り
に備える。
【0043】次に、基板搬送用第1ロボット3を動作さ
せてカセット7から基板8を1枚だけ水平状態で搬出し
{図8中(a)参照}、この基板8を垂直状態に姿勢変
換する{この場合における垂直状態の姿勢は、図5中
(b)の姿勢とは180°異なる}とともに、可動ホル
ダー42まで移動させ{図8中(b)参照}、基板8を
供給する{図9中(a)参照}。次いで、位置決め駆動
機構43によって可動ホルダー42と共に基板8を水平
方向に移動させ、昇降機構44によって可動ホルダー4
2を下降させることにより基板8を1対の固定ホルダー
41に移行させる{図9中(b)参照}。したがって、
先行する基板8と今回の基板8とは表面どうしが対向す
る状態である。
【0044】その後は、可動ホルダー42の動作、基板
搬送用第1ロボット3の動作を反復することにより、カ
セット7に収容されている全ての基板を基板整列支承装
置4に搬送することができる。
【0045】カセット7に収容されている全ての基板を
基板整列支承装置4に搬送した後は、基板搬送用第2ロ
ボット6によって全ての基板8を一括して洗浄槽5に供
給し、基板8の洗浄を行うことができる。
【0046】基板8の洗浄が終了した後は、洗浄液の排
出、基板8の乾燥処理を行ってから、基板搬送用第2ロ
ボット6によって全ての基板8を一括して洗浄槽5から
取り出し、基板整列支承装置4に搬送する。その後は、
基板搬送用第1ロボット3および基板整列支承装置4を
上記と逆に動作させることによって基板8を1枚づつ基
板整列支承装置4からカセット7に戻すことができる。
【0047】以上の説明から分かるように、カセット7
との間で基板8を搬送しつつ姿勢を変換し、しかも整列
させるための装置として、基板搬送用第1ロボット3お
よび基板整列支承装置4を採用するだけでよいから、全
体として小型化できるとともに、設置面積を小さくする
ことができ、しかもコストダウンを達成することができ
る。また、基板整列支承装置4における固定ホルダー4
1の基板支承間隔を、ロボットハンドの厚みよりも小さ
い間隔に設定することができるので、基板整列支承装置
4を小型化することができ、ひいては洗浄槽5をも小型
化することができる。さらに、基板8を仮置きするため
のスペースが基板1枚分のみでよいから、この面からも
省スペース化を達成することができる。
【0048】図10は基板整列支承装置の他の構成例を
示す要部概略図である。
【0049】この基板整列支承装置が図4の基板整列支
承装置と異なる点は、可動ホルダー42の所定位置に基
板8の有無を検出するための基板センサ9を設けた点の
みである。
【0050】なお、基板センサ9としては、透過型光セ
ンサであってもよいが、反射型光センサであってもよ
い。そして、この基板センサ9は、可動ホルダー42に
支承されている基板8の下部、固定ホルダー41に支承
されている基板8の下部を検出できるように取り付け位
置が設定されている。
【0051】したがって、この構成の基板整列支承装置
を採用した場合には、可動ホルダー42が基板8を支承
しているか否かを検出することができるので、基板8の
授受が行われたか否かを確実に検出することができる。
【0052】また、図11に示すように、基板センサ9
が取り付けられた可動ホルダー42を下降状態において
水平方向に移動させることによって、固定ホルダー41
の何れの位置に基板8が支承されているかを検出するこ
とができる。
【0053】以上には、2つのカセット7内の全ての基
板8を基板整列支承装置4に搬送する場合について説明
した。これは、少品種大量生産を行う場合に好適であ
る。
【0054】しかし、近年は、多品種少量生産を行う要
求が強くなってきている。このような状況においては、
カセット内に基板8が間欠状態で収容されていることが
考えられるが、このような場合にも、カセット7から基
板8を1枚づつ取り出して所定の間隔で整列させること
ができ、しかも表面どうし、裏面どうしを互いに対向さ
せることができ、洗浄などの品質を保つことができる。
もちろん、カセット7に収容されている基板8のうち、
任意の基板8のみを選択して洗浄処理などを行う枚葉処
理に簡単に対処することができる。これらの場合には、
基板8が局部的にのみ存在することになるので、基板整
列支承装置4の中央部のみ、もしくは端部のみに存在さ
せることができる。
【0055】また、基板支承間隔を任意に設定した固定
ホルダー41を採用することによって、基板8の支承間
隔を任意に設定することができるので、最適な洗浄効果
を達成できる基板間隔を実現することができる。具体的
には、基板の支承間隔を大きく、もしくは小さく設定
し、表面どうし、裏面どうしを互いに対向させ、表面と
裏面とを対向させ、表面どうしの間隔と裏面同士の間隔
とを互いに異ならせることができる。
【0056】以上の実施態様においては、基板搬送用第
1ロボット3および基板整列支承装置4を用いて基板
を、姿勢変換を伴って搬送するようにしているが、用途
によっては、基板整列支承装置を省略することが可能で
ある。
【0057】図12はこの発明の基板搬送装置のさらに
他の実施態様が組み込まれた基板洗浄装置の要部(基板
搬送用第1ロボット)を示す概略図である。
【0058】この基板搬送用第1ロボット3が図3の基
板搬送用第1ロボットと異なる点は、複数枚(この実施
態様では4枚)のU字状のアーム31aを所定間隔毎
(例えば、カセット7に収容された基板8のピッチの2
倍のピッチ)に配置し、各アーム31aに可動係合部3
1bおよび固定係合部31cを設けた点のみである。
【0059】図13はこの発明の基板搬送装置のさらに
他の実施態様が組み込まれた基板洗浄装置の他の要部
(基板整列支承装置)を示す概略図である。
【0060】この基板整列支承装置4が図4の基板整列
支承装置と異なる点は、互いに平行な1対の固定ホルダ
ー41の長さを長くして、表面同士の間隔と裏面同士の
間隔とが異なる状態で垂直状態の基板を支持する第1整
列部41aと表面同士の間隔と裏面同士の間隔とが等し
い状態で垂直状態の基板を支持する第2整列部41bと
を形成した点、可動ホルダー42に代えて、表面どうし
が互いに対向した2枚の基板8を同時に、第1整列部4
1aと第2整列部41bとの間で搬送する間隔調整部4
2’を採用した点のみである。なお、間隔調整部42’
を第1整列部41aの任意の所定位置、第2整列部41
bの任意の所定位置に正対させるべく往復動作させる位
置決め駆動機構43と、位置決めされた間隔調整部4
2’と第1整列部41a、第2整列部41bとの間で2
枚の基板8の授受を行わせるべく間隔調整部42’を昇
降させる昇降機構44とを有している。
【0061】上記の構成の基板洗浄装置の作用を図14
から図19を参照して説明する。
【0062】先ず、基板搬送用第1ロボット3を動作さ
せてカセット7から奇数番目の4枚の基板8を水平状態
で搬出し(図14参照)、これらの基板8を垂直状態に
姿勢変換するとともに、基板整列支承装置4の第1整列
部41aの直上まで移動させ、次いで下降させることに
よって、4枚の基板8を第1整列部41aに供給する
(図15参照)。
【0063】そして、基板搬送用第1ロボット3を動作
させてカセット7から偶数番目の4枚の基板8を水平状
態で搬出し(図16参照)、これらの基板8を垂直状態
に姿勢変換するとともに、基板整列支承装置4の第1整
列部41aの直上まで移動させ、次いで下降させること
によって、4枚の基板8を、既に供給された基板8と交
互に位置するように、かつ基板8の表面どうし、裏面ど
うしが互いに対向するように、第1整列部41aに供給
する(図17参照)。
【0064】したがって、この状態においては、基板8
の表面どうしの間隔が裏面どうしの間隔よりも小さくな
っている(例えば、カセット7内における基板どうしの
間隔が10mmであり、表面どうしの間隔が5mmであ
れば、裏面どうしの間隔が15mmになる)。換言すれ
ば、基板8の裏面どうしの間隔が大きく設定されている
のであるから、他の基板8に接触することなくロボット
ハンド31を侵入させることができる。
【0065】その後、間隔調整部42’によって、第2
整列部41bに最も近い2枚の基板8を第1整列部41
aから持ち上げ{図18中(A)参照}、間隔調整部4
2’によって、持ち上げられた2枚の基板8を第2整列
部41bに向かって移動させ{図18中(B)参照}、
間隔調整部42’によって、2枚の基板8を下降させて
第2整列部41bに支承させる{図18中(C)参
照}。
【0066】次に、間隔調整部42’を上記と同様に動
作させることによって、次の2枚の基板8を第2整列部
41bに支承させる{図18中(A)(B)(C)参
照}。
【0067】同様にして、残りの2枚づつの基板8を第
2整列部41bに支承させることができる。
【0068】その後は、上記の一連の処理を反復するこ
とによって、カセット7内の全ての基板8を第2整列部
41bに支承させることができる。
【0069】そして、間隔調整部42’による基板8の
搬送においては、ロボットハンドを用いる搬送と異な
り、基板8どうしの間隔を十分に小さくすることができ
る。換言すれば、基板8の裏面どうしの間隔を表面どう
しの間隔まで小さくすることができる。
【0070】その後は、図1、図2の基板洗浄装置と同
様にして基板の洗浄を行うことができる。
【0071】もちろん、上記と逆の動作を行うことによ
り、洗浄後の基板8をカセット7に戻すことができる。
【0072】この実施態様を採用すれば、第1整列部4
1aとして前記の実施態様よりも多い枚数の基板8を支
承させることが必要であるから、基板整列支承装置4が
多少大型化するが、カセット7と第1整列部41aとの
間における基板8の搬送を、複数枚単位で行うととも
に、第1整列部41aと第2整列部41bとの間におけ
る基板8の搬送を2枚単位で行うのであるから、前記の
実施態様と比較して基板搬送の所要時間を短縮すること
ができる。
【0073】図12、図13の実施態様は、基板8どう
しの間隔を5mmに設定した場合にはロボットハンド3
1と基板8との接触を回避できない場合(ロボットハン
ド31の厚みが大きい場合)に好適であり、ロボットハ
ンド31により基板8を搬送するに当たって、第1整列
部41aに支承された状態における基板8の裏面どうし
の間隔を15mmにすることができ、ロボットハンド3
1と基板8との干渉を確実に回避することができる。
【0074】ただし、ロボットハンド31の厚みが十分
に小さい場合には、基板8どうしの間隔を5mmに設定
してもロボットハンド31と基板8との干渉を回避する
ことができる。
【0075】したがって、このような場合には、ロボッ
トハンド31の複数のU字状のアーム31aを、カセッ
ト7に収容された基板8のピッチと同じピッチに配置
し、カセット7に対して連続的に複数枚の基板8を水平
状態で搬入、もしくは搬出し、ロボットハンド31によ
り保持された基板を水平状態と垂直状態との間で姿勢変
換を行わせ、第1整列部41aおよび間隔調整部42’
を介在させることなく、直接に第2整列部41bに対す
る供給、取り出しを行わせることにより基板8の搬送を
達成することができる。もちろん、垂直状態の基板8を
表面どうし、裏面どうしが正対する状態にすることがで
きる。
【0076】この結果、基板搬送の高速化および構成の
簡単化、小型化を両立させることができる。
【0077】
【発明の効果】請求項1の発明は、搬入出手段、姿勢制
御手段および移動手段は1台のロボットで実現すること
ができるので、全体として小型化できるとともに、設置
面積を小さくすることができ、しかもコストダウンを達
成することができるという特有の効果を奏する。
【0078】請求項2の発明は、請求項1の効果に加
え、整列支承手段の移動距離を制御することにより基板
どうしの間隔を容易に変更することができるという特有
の効果を奏する。
【0079】請求項3の発明は、請求項1または請求項
2の効果に加え、表面どうし、裏面どうしを対向させた
状態で基板を整列させることができるという特有の効果
を奏する。
【0080】請求項4の発明は、請求項2または請求項
3の効果に加え、移動可能かつ走行可能な可動ホルダー
および固定ホルダーによって、基板を所定の間隔に整列
させることができるという特有の効果を奏する。
【0081】請求項5の発明は、搬入出手段、姿勢制御
手段および移動手段は1台のロボットで実現することが
できるので、全体としての小型化、設置面積の狭小化、
コストダウンを達成することができるとともに、請求項
1の発明と比較して、基板1枚当たりに換算した搬送速
度を高めることができるという特有の効果を奏する。
【0082】請求項6の発明は、請求項5の効果に加
え、表面どうし、裏面どうしを対向させた状態で基板を
整列させることができるという特有の効果を奏する。
【0083】請求項7の発明は、請求項5または請求項
6の効果に加え、より少ない複数枚の基板単位で、表面
どうし、裏面どうしを対向させた状態で基板を整列させ
ることができるという特有の効果を奏する。
【0084】請求項8の発明は、搬入出手段、姿勢制御
手段および移動手段は1台のロボットで実現することが
できるので、全体としての小型化、設置面積の狭小化、
コストダウンを達成することができるとともに、請求項
1の発明と比較して、基板1枚当たりに換算した搬送速
度を高めることができ、しかも一度に搬送される基板ど
うしの間隙を大きくすることができるという特有の効果
を奏する。
【0085】請求項9の発明は、請求項8の効果に加
え、表面どうし、裏面どうしを対向させた状態で基板を
整列させることができるという特有の効果を奏する。
【0086】請求項10の発明は、請求項9の効果に加
え、より少ない複数枚の基板単位で、表面どうし、裏面
どうしを対向させた状態で基板を整列させることができ
るという特有の効果を奏する。
【0087】請求項11の発明は、請求項10の効果に
加え、表面同士の間隔と裏面同士の間隔とが異なる状態
と表面同士の間隔と裏面同士の間隔とが等しい状態との
間での基板の配列状態の変更を簡単に達成することがで
きるという特有の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の基板搬送装置が組み込まれた基板洗
浄装置を示す概略平面図である。
【図2】同上の透視斜視図である。
【図3】基板搬送用第1ロボットのロボットハンドを示
す概略図である。
【図4】基板整列支承装置の構成を示す斜視図である。
【図5】基板搬送用第1ロボットによる基板の搬送を説
明する概略図である。
【図6】可動ホルダーから固定ホルダーへの基板の搬送
を説明する概略図である。
【図7】可動ホルダーの復帰動作を説明する概略図であ
る。
【図8】基板搬送用第1ロボットによる基板の搬送を説
明する概略図である。
【図9】可動ホルダーから固定ホルダーへの基板の搬送
を説明する概略図である。
【図10】基板整列支承装置の他の構成例を示す要部概
略図である。
【図11】基板整列支承装置の他の機能を説明する概略
図である。
【図12】この発明の基板搬送装置のさらに他の実施態
様が組み込まれた基板洗浄装置の要部(基板搬送用第1
ロボット)を示す概略図である。
【図13】この発明の基板搬送装置のさらに他の実施態
様が組み込まれた基板洗浄装置の他の要部(基板整列支
承装置)を示す概略図である。
【図14】カセットから奇数番目の基板を取り出す処理
を説明する概略図である。
【図15】カセットから取り出した基板を第1整列部に
供給する処理を説明する概略図である。
【図16】カセットから偶数番目の基板を取り出す処理
を説明する概略図である。
【図17】カセットから取り出した基板を第1整列部に
供給する処理を説明する概略図である。
【図18】第1整列部から第2整列部に最初の2枚の基
板を搬送する処理を説明する概略図である。
【図19】第1整列部から第2整列部に次の2枚の基板
を搬送する処理を説明する概略図である。
【符号の説明】
3 基板搬送用第1ロボット 4 基板整列支承装置 7 カセット 8 基板 41a 第1整列部 41b 第2整列部 42’ 間隔調整部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松本 隆夫 大阪府堺市金岡町1304番地 ダイキン工業 株式会社金岡工場内 (72)発明者 田口 英治 大阪府堺市築港新町3丁12番地 ダイキン 工業株式会社臨海工場内 Fターム(参考) 5F031 CA02 FA01 FA07 FA11 FA12 FA14 FA18 FA20 FA21 GA03 GA06 GA43 GA47 GA50 HA72 JA05 JA06 JA22 KA15 MA23

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 カセット(7)に対して、複数枚の基板
    (8)を1枚づつ水平状態で搬出、搬入を行う搬入出手
    段(3)と、搬入出手段(3)により保持された基板
    (8)を水平状態と垂直状態との間で姿勢変換を行わせ
    るべく搬入出手段(3)の姿勢を制御する姿勢制御手段
    (3)と、垂直状態の基板(8)を所定の整列部に対し
    て搬入、搬出を行わせるべく姿勢が制御された搬入出手
    段(3)を移動させる移動手段(3)とを含むことを特
    徴とする基板搬送装置。
  2. 【請求項2】 前記移動手段(3)により移動させられ
    た垂直状態の基板(8)を垂直状態のまま受け取って支
    承するとともに、次の基板(8)の受け取りのために基
    板(8)の面に垂直な方向に所定距離移動する整列支承
    手段(4)をさらに含む請求項1に記載の基板搬送装
    置。
  3. 【請求項3】 前記姿勢制御手段(3)は、搬入出手段
    (3)により保持された基板(8)を垂直状態にするに
    当たって、基板(8)の表面の向きを1枚ごとに180
    °反転させるものである請求項1または請求項2に記載
    の基板搬送装置。
  4. 【請求項4】 前記整列支承手段(4)は、複数枚の基
    板(8)を垂直状態で所定の間隔に整列支承する固定ホ
    ルダー(41)と、前記固定ホルダー(41)と同じ向
    きに基板(8)を支承する可動ホルダー(42)と、可
    動ホルダー(42)を固定ホルダー(41)の所定位置
    に正対させるべく移動させる位置決め機構(43)と、
    位置決めされた可動ホルダー(42)と固定ホルダー
    (41)との間で基板(8)の授受を行わせるべく可動
    ホルダー(42)を昇降させる昇降機構(44)とを含
    む請求項2または請求項3に記載の基板搬送装置。
  5. 【請求項5】 カセット(7)に対して、複数枚の基板
    (8)をより少ない複数枚づつ水平状態で搬出、搬入を
    行う搬入出手段(3)と、搬入出手段(3)により保持
    された基板(8)を水平状態と垂直状態との間で姿勢変
    換を行わせるべく搬入出手段(3)の姿勢を制御する姿
    勢制御手段(3)と、垂直状態の基板(8)を所定の整
    列部(4)に対して搬入、搬出を行わせるべく姿勢が制
    御された搬入出手段(3)を移動させる移動手段(3)
    とを含むことを特徴とする基板搬送装置。
  6. 【請求項6】 前記姿勢制御手段(3)は、搬入出手段
    (3)により保持された基板(8)を垂直状態にするに
    当たって、基板(8)の表面の向きを1回ごとに180
    °反転させるものである請求項5に記載の基板搬送装
    置。
  7. 【請求項7】 前記移動手段(3)は、より少ない複数
    枚の垂直状態の基板(8)により形成された基板間隙に
    対応させて垂直状態の基板(8)の搬入、搬出を行わせ
    るべく姿勢が制御された搬入出手段(3)を移動させる
    動作と、より少ない複数枚の垂直状態の基板(8)に続
    く所定位置に対する垂直状態の基板(8)の搬入、搬出
    を行わせるべく姿勢が制御された搬入出手段(3)を移
    動させる動作とを選択するものである請求項6に記載の
    基板搬送装置。
  8. 【請求項8】 カセット(7)に対して、複数枚の基板
    (8)を1枚おきにより少ない複数枚づつ水平状態で搬
    出、搬入を行う搬入出手段(3)と、搬入出手段(3)
    により保持された基板(8)を水平状態と垂直状態との
    間で姿勢変換を行わせるべく搬入出手段(3)の姿勢を
    制御する姿勢制御手段(3)と、垂直状態の基板(8)
    を所定の整列部(4)に対して搬入、搬出を行わせるべ
    く姿勢が制御された搬入出手段(3)を移動させる移動
    手段(3)とを含むことを特徴とする基板搬送装置。
  9. 【請求項9】 前記姿勢制御手段(3)は、搬入出手段
    (3)により保持された基板(8)を垂直状態にするに
    当たって、基板(8)の表面の向きを1回ごとに180
    °反転させるものである請求項8に記載の基板搬送装
    置。
  10. 【請求項10】 前記移動手段(3)は、より少ない複
    数枚の垂直状態の基板(8)により形成された基板間隙
    に対応させて、かつ基板(8)の表面どうしの間隔が裏
    面どうしの間隔よりも小さくなるように、垂直状態の基
    板(8)の搬入、搬出を行わせるべく姿勢が制御された
    搬入出手段(3)を移動させる動作を行うものである請
    求項9に記載の基板搬送装置。
  11. 【請求項11】 前記整列部(4)は、表面同士の間隔
    と裏面同士の間隔とが異なる状態で垂直状態の基板
    (8)を支持する第1整列部(41a)と表面同士の間
    隔と裏面同士の間隔とが等しい状態で垂直状態の基板
    (8)を支持する第2整列部(42b)とを含み、表面
    どうしが対向する2枚の基板(8)を単位として第1整
    列部と第2整列部との間で基板(8)を移動させる間隔
    調整手段(42’)をさらに含む請求項10に記載の基
    板搬送装置。
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