JP2002150612A - Surface reading type optical recording medium - Google Patents
Surface reading type optical recording mediumInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板上に少なくとも反射層、記録層および保
護層をこの順に積層して成り、膜形成面側からレーザー
光を照射して記録再生を行なう表面読み出し型光記録媒
体において、連続記録特性、ヘッド浮上特性に優れた表
面読み出し型光記録媒体を提供する。
【解決手段】 反射層を、基板側の第一反射層と記録層
側の第二反射層の2層から成る2層構造とし、第一反射
層の熱伝導率を第二反射層の熱伝導率よりも小さくす
る。
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface reading type optical recording medium in which at least a reflective layer, a recording layer and a protective layer are laminated on a substrate in this order, and recording / reproducing is performed by irradiating a laser beam from a film forming surface side. And a surface readout type optical recording medium having excellent continuous recording characteristics and head flying characteristics. SOLUTION: The reflecting layer has a two-layer structure composed of a first reflecting layer on the substrate side and a second reflecting layer on the recording layer side, and the heat conductivity of the first reflecting layer is set to the heat conductivity of the second reflecting layer. Smaller than the rate.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は書き換えが可能な表
面読み出し型光記録媒体、特に、レーザービームと磁界
によって情報の記録、再生及び消去を行なう表面読み出
し型光磁気記録媒体、あるいはレーザービームのみによ
って情報の記録、再生及び消去を行なう表面読み出し型
相変化型記録媒体に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rewritable surface-reading type optical recording medium, in particular, a surface-reading type magneto-optical recording medium for recording, reproducing and erasing information by using a laser beam and a magnetic field, or a laser beam alone. The present invention relates to a surface reading type phase change type recording medium for recording, reproducing and erasing information.
【0002】[0002]
【従来の技術】光記録媒体は大容量・高密度記録が可能
な可搬型記録媒体であり、近年のマルチメディア化に伴
なうコンピュータの大容量ファイルや動画を記録する書
き換え型メディアとして需要が急増しつつある。2. Description of the Related Art An optical recording medium is a portable recording medium capable of large-capacity and high-density recording. It is increasing rapidly.
【0003】光磁気記録媒体は一般にプラスチック等の
透明な円盤状の基板に記録層を含む多層膜を形成し、磁
界を加えながらレーザーを照射して記録、消去を行い、
レーザーの反射光で再生する。記録方式は、従来、固定
磁界を加えて消去した後、反対方向の固定磁界を加えて
記録するいわゆる光変調記録が中心であったが、近年、
レーザーを照射しながら、磁界を記録パターンに従って
変調させる磁界変調方式が、1回転で記録(ダイレクト
オーバーライト)可能でしかも高記録密度になっても正
確に記録できる方式として注目を浴びている。A magneto-optical recording medium generally forms a multilayer film including a recording layer on a transparent disc-shaped substrate such as plastic, and performs recording and erasing by irradiating a laser while applying a magnetic field.
Reproduce with laser reflected light. Conventionally, the recording method has mainly been a so-called optical modulation recording in which a fixed magnetic field is applied and erased, and then a fixed magnetic field in the opposite direction is applied for recording.
A magnetic field modulation method that modulates a magnetic field according to a recording pattern while irradiating a laser is attracting attention as a method that can perform recording (direct overwrite) in one rotation and can accurately record even at a high recording density.
【0004】また、結晶相とアモルファス相との間の可
逆的相変化を利用した相変化記録方式もダイレクトオー
バーライトが可能であり、書換型DVD等として実用化
されている。A phase change recording method using a reversible phase change between a crystalline phase and an amorphous phase also enables direct overwrite, and has been put to practical use as a rewritable DVD or the like.
【0005】記録再生のためのレーザーは従来、基板を
通して記録膜に照射されているが、光学ヘッドを記録膜
に近付けて記録再生する、いわゆる、近接場光記録が高
密度化の手段として注目されている(Appl.Phy
s.Lett.68,p.141(1996))。この
記録方法ではSolid Immersion Len
s(以下SILと略す)ヘッドを使用しレーザービーム
スポットサイズを縮小することにより、光源のレーザー
波長(λ)によって決まる従来の記録限界(〜λ/2N
A:NAは対物レンズの開口数)より短いマークでの再
生が可能であり、超高記録密度の記録再生が実現でき
る。この近接場光記録では光学ヘッドを記録媒体に近付
ける必要があるために(〜100nm)、従来の光磁気
記録媒体のように基板を通して記録膜にレーザービーム
を照射するのではなく、基板を通さずに直接記録膜にレ
ーザービームを照射する方法を用いる。すなわち、記録
膜の構成が従来の光記録媒体では基板/第1保護層/記
録層/第2保護層/反射層としているのが一般的である
のに対して、近接場光記録では基板/反射層/第1保護
層/記録層/第2保護層という逆構成の膜構造として膜
表面側からレーザービームを照射し、記録再生を行なう
(表面読み出し型記録)。また、最近では、レンズNA
を1以下として薄膜上の保護コート層を通してレーザー
を照射し、記録再生を行なう表面読み出し型記録方式も
提案されている(J.Magn.Soc.Jpn.6
8,S1,p.269(1999))。Conventionally, a laser for recording / reproducing has been irradiated onto a recording film through a substrate, and so-called near-field optical recording, in which an optical head is brought close to the recording film for recording / reproducing, has attracted attention as means for increasing the density. (Appl. Phy
s. Lett. 68, p. 141 (1996)). In this recording method, Solid Image Len is used.
By reducing the laser beam spot size using an s (hereinafter abbreviated as SIL) head, the conventional recording limit ((λ / 2N) determined by the laser wavelength (λ) of the light source is used.
A: NA can be reproduced with a mark shorter than the numerical aperture of the objective lens), and recording and reproduction with an ultra-high recording density can be realized. In this near-field optical recording, it is necessary to bring the optical head close to the recording medium (〜100 nm). Therefore, instead of irradiating the recording film with the laser beam through the substrate as in the conventional magneto-optical recording medium, the recording head does not pass through the substrate. A method of directly irradiating the recording film with a laser beam. In other words, the structure of the recording film is generally substrate / first protective layer / recording layer / second protective layer / reflective layer in a conventional optical recording medium, whereas in the near-field optical recording, the substrate / first protective layer / recording layer / second protective layer / reflective layer is used. A recording / reproducing operation is performed by irradiating a laser beam from the film surface side as a film structure having a reverse structure of a reflective layer / first protective layer / recording layer / second protective layer (surface reading type recording). Recently, lens NA
Is set to 1 or less, and a laser is irradiated through a protective coat layer on the thin film to perform recording and reproduction, and a surface read type recording method has been proposed (J. Magn. Soc. Jpn. 6).
8, S1, p. 269 (1999)).
【0006】近接場光記録では、記録膜とSILヘッド
を近付けるために浮上式のスライダーヘッドを利用する
ことが多い。また、記録に関しては、レーザービームを
照射して記録層をキュリー温度以上に上げながら、スラ
イダーヘッドに形成された薄膜コイルなどにより磁界を
変調させながら記録する磁界変調記録が近接場光磁気記
録には適していると言われている。In near-field optical recording, a floating slider head is often used to bring a recording film and an SIL head close to each other. As for recording, near-field magneto-optical recording is a magnetic field modulation recording in which recording is performed by irradiating a laser beam to raise the recording layer above the Curie temperature and modulating the magnetic field with a thin-film coil formed on the slider head. It is said to be suitable.
【0007】近接場光記録では、記録膜とSILヘッド
を近付けるために浮上式のスライダーヘッドを利用する
ことが多いが、逆構成の膜構造であることからヘッドと
記録媒体の距離が非常に近くなっており(〜0.1μ
m)、ハードディスクドライブと同様なヘッドと記録媒
体のインターフェイスの問題(ヘッドクラッシュ等)が
ある。また、レーザー光を用いて記録するため連続記録
中に異物等へのレーザー照射などにより光学的な信号が
乱れて(トラッキングが乱れて)連続記録が停止する現
象がみられる。In the near-field optical recording, a floating slider head is often used to bring the recording film and the SIL head close to each other. However, the distance between the head and the recording medium is very short due to the reversed film structure. (~ 0.1μ
m), there is the same problem of the interface between the head and the recording medium as the hard disk drive (head crash etc.). In addition, since recording is performed using laser light, a phenomenon is observed in which continuous recording is stopped due to disturbance of an optical signal (tracking is disturbed) due to laser irradiation on a foreign substance or the like during continuous recording.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、表面
読み出し型光記録媒体において上述した連続記録に伴う
問題現象を抑制し、容易に高密度の連続記録が可能で、
さらに、ヘッド浮上特性が良好な表面読み出し型光記録
媒体を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to suppress the above-mentioned problem associated with continuous recording in a surface-reading type optical recording medium and to easily perform high-density continuous recording.
Another object of the present invention is to provide a surface read type optical recording medium having good head flying characteristics.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明者らは上述のよう
な現状に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、基板上に少なく
とも反射層、記録層および保護層をこの順に積層してあ
り、膜形成面側からレーザー等により記録再生を行なう
表面読み出し型光記録媒体において、反射層を第一反射
層と第二反射層の2層構造とし、第一反射層の熱伝導率
を第二反射層の熱伝導率よりも小さくすることにより高
密度の連続記録特性が改善され、さらに、反射層を構成
する金属材料を最適化することにより、連続記録特性だ
けでなく、ヘッド浮上特性も向上させることができるこ
とを見出し本発明を完成した。Means for Solving the Problems The present inventors have made intensive studies in view of the above-mentioned situation, and as a result, at least a reflective layer, a recording layer and a protective layer are laminated on a substrate in this order. In a surface-reading type optical recording medium in which recording and reproduction are performed by a laser or the like from the formation surface side, the reflection layer has a two-layer structure of a first reflection layer and a second reflection layer, and the thermal conductivity of the first reflection layer is controlled by the second reflection layer. That the thermal conductivity of the recording layer is lower than that of the recording layer, thereby improving the high-density continuous recording characteristics. In addition, by optimizing the metal material that constitutes the reflective layer, not only the continuous recording characteristics but also the head flying characteristics can be improved. It has been found that the present invention has been completed and the present invention has been completed.
【0010】すなわち、本発明の表面読み出し型光記録
媒体は、基板上に少なくとも反射層、記録層および保護
層をこの順に積層して成り、膜形成面側からレーザー光
を照射して記録再生を行なう表面読み出し型光記録媒体
において、前記反射層が基板側の第一反射層と記録層側
の第二反射層の2層から成る2層構造として構成され、
前記第一反射層の熱伝導率が前記第二反射層の熱伝導率
よりも小さいことを特徴とする表面読み出し型光記録媒
体である。That is, the surface-reading type optical recording medium of the present invention comprises at least a reflective layer, a recording layer, and a protective layer laminated on a substrate in this order, and irradiates a laser beam from a film forming surface side to perform recording / reproducing. In the surface reading type optical recording medium to be performed, the reflection layer is configured as a two-layer structure including a first reflection layer on the substrate side and a second reflection layer on the recording layer side,
A surface-reading type optical recording medium, wherein the thermal conductivity of the first reflective layer is smaller than the thermal conductivity of the second reflective layer.
【0011】なお、第一反射層の熱伝導率を20W/m
・K以上100W/m・K未満、第二反射層の熱伝導率
を100W/m・K以上とすることが好ましく、また、
第一反射層の膜厚を10nm以上100nm以下、第二
反射層の膜厚を3nm以上50nm以下とすることが好
ましい。さらに、第一反射層をAlを主成分とする合金
で構成し、第二反射層を貴金属やCu、あるいはこれら
の合金膜や、貴金属、Cu、あるいはこれらの合金を主
成分とする金属膜で構成することが好ましい。また、第
一反射層を貴金属、Cu、あるいはこれらの合金を主成
分とする金属膜で構成し、第二反射層を貴金属やCu、
あるいはこれらの合金膜や、貴金属、Cu、あるいはこ
れらの合金を主成分とする金属膜で構成することが好ま
しい。ここで、貴金属、Cu、あるいはこれらの合金を
主成分とする金属膜とは、貴金属若しくはCuを90%
以上含む金属膜、又は、貴金属どうしの合金若しくは貴
金属とCuとの合金を90%以上含む金属膜を意味す
る。同様に、Alを主成分とする合金とは、Alを90
%以上含む合金を意味し、Xを主成分とする膜とはXを
90%以上含む材料からなる膜を意味する。The thermal conductivity of the first reflective layer is set to 20 W / m.
It is preferable that the thermal conductivity of the second reflective layer is 100 W / m · K or more, and the thermal conductivity of the second reflective layer is 100 W / m · K or more.
It is preferable that the thickness of the first reflective layer is 10 nm or more and 100 nm or less, and the thickness of the second reflective layer is 3 nm or more and 50 nm or less. Further, the first reflective layer is composed of an alloy containing Al as a main component, and the second reflective layer is made of a noble metal, Cu, or an alloy film of these, or a noble metal, Cu, or a metal film containing these alloys as a main component. It is preferable to configure. Further, the first reflective layer is formed of a noble metal, Cu, or a metal film mainly containing an alloy thereof, and the second reflective layer is formed of a noble metal or Cu,
Alternatively, it is preferable to use an alloy film of these materials, a noble metal, Cu, or a metal film mainly containing these alloys. Here, a metal film containing a noble metal, Cu, or an alloy thereof as a main component means that the noble metal or Cu is 90%
It means a metal film containing the above or an alloy of noble metals or an alloy of a noble metal and Cu at 90% or more. Similarly, an alloy containing Al as a main component means that Al is 90%.
% Means an alloy containing X or more, and a film containing X as a main component means a film made of a material containing 90% or more of X.
【0012】以下に本発明を更に詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
【0013】図1に本発明の表面読み出し型光記録媒体
の一実施態様の部分断面図を示す。FIG. 1 is a partial sectional view of one embodiment of a surface read type optical recording medium according to the present invention.
【0014】基板11としては機械特性などの媒体基板
としての特性を満たすものであれば特に限定されず、ガ
ラス、ポリカーボネート、アモルファスポリオレフィ
ン、エンジニアリングプラスチック等を用いることがで
きるが、基板の表面粗さは十分に平滑であることが好ま
しい。The substrate 11 is not particularly limited as long as it satisfies the characteristics of a medium substrate such as mechanical characteristics, and glass, polycarbonate, amorphous polyolefin, engineering plastic, or the like can be used. Preferably, it is sufficiently smooth.
【0015】反射層は、第一反射層12と第二反射層1
3の2層構造とし、第一反射層12の熱伝導率を第二反
射層13の熱伝導率よりも小さくする。The reflecting layers include a first reflecting layer 12 and a second reflecting layer 1.
3, and the thermal conductivity of the first reflective layer 12 is made smaller than the thermal conductivity of the second reflective layer 13.
【0016】第一反射層12は20W/m・K以上10
0W/m・K未満の熱伝導率を有する金属膜で構成され
るのが好ましく、10nm以上100nm以下、より好
ましくは20nm以上60nm以下の厚みに形成する。
膜を構成する材料は上記熱伝導率範囲を満たすものなら
特に限定されないが、Al合金や、貴金属、Cu、
あるいはこれらの合金を主成分とする金属膜等とするこ
とが反射率の点で好ましい。また、この第一反射層を構
成する材料は、耐久性の観点からSc、Y、V、Ti、
Zr、Hf、Nb、Ta、Mo、W、Re、Ru、およ
びCrから選ばれる一種以上の元素を添加したものであ
ることがより好ましい。また、反射層の密着性、耐食性
向上のためにCr、Ti、Zr、NbまたはTaなどの
金属膜を基板11と第一反射層12との間に形成しても
よい。The first reflective layer 12 has a thickness of 20 W / m · K or more and 10
It is preferably formed of a metal film having a thermal conductivity of less than 0 W / m · K, and has a thickness of 10 nm or more and 100 nm or less, more preferably 20 nm or more and 60 nm or less.
The material constituting the film is not particularly limited as long as it satisfies the above-mentioned thermal conductivity range, but Al alloy, noble metal, Cu,
Alternatively, a metal film or the like containing these alloys as a main component is preferable in terms of reflectance. Further, the material constituting the first reflective layer is Sc, Y, V, Ti,
It is more preferable that one or more elements selected from Zr, Hf, Nb, Ta, Mo, W, Re, Ru, and Cr are added. Further, a metal film such as Cr, Ti, Zr, Nb, or Ta may be formed between the substrate 11 and the first reflective layer 12 to improve the adhesion and corrosion resistance of the reflective layer.
【0017】第二反射層13は100W/m・K以上の
熱伝導率を有する金属膜で構成されるのが好ましく、3
nm以上50nm以下、より好ましくは5nm以上30
nm以下の厚みに形成する。膜を構成する材料は上記熱
伝導率範囲を満たすものなら特に限定されないが、反射
率の観点から、貴金属若しくはCuの金属膜、又は、
貴金属どうしの合金膜若しくは貴金属とCuとの合金
膜、又は、貴金属、Cu、あるいはこれらの合金を主
成分とする金属膜等が好ましい。また、この第二反射層
を構成する材料は、耐久性の観点からSc、Y、V、T
i、Zr、Hf、Nb、Ta、Mo、W、Re、Ru、
およびCrから選ばれる一種以上の元素を添加したもの
であることがより好ましい。The second reflective layer 13 is preferably made of a metal film having a thermal conductivity of 100 W / mK or more.
nm or more and 50 nm or less, more preferably 5 nm or more and 30 or less.
It is formed to a thickness of nm or less. The material constituting the film is not particularly limited as long as it satisfies the above thermal conductivity range, but from the viewpoint of reflectance, a metal film of a noble metal or Cu, or
An alloy film of noble metals, an alloy film of noble metal and Cu, a noble metal, Cu, or a metal film containing these alloys as main components is preferable. The material constituting the second reflective layer is Sc, Y, V, T from the viewpoint of durability.
i, Zr, Hf, Nb, Ta, Mo, W, Re, Ru,
It is more preferable that one or more elements selected from Cr and Cr are added.
【0018】近接場光記録におけるSILヘッドの下面
では通常の光ディスク基板のレーザー入射面に比べて著
しくレーザーのパワー密度が高いと考えられ、このこと
がトラッキングの乱れの原因と考えられる。本発明者ら
は高パワー密度を避けるために反射層の熱伝導率を下げ
るなどの試みをしたが、熱伝導率を下げると反射率が下
がるなどの弊害があり記録感度とCNRとのバランスの
良い特性を得るのが困難であった。そこで、検討を重ね
た結果、反射層を熱伝導率の異なる2層構造とすること
によってこれらのバランスの良い特性を得ることができ
た。また、反射層を上記2層構造とすることによりヘッ
ド浮上特性も向上することも確かめられた。The lower surface of the SIL head in near-field optical recording is considered to have a significantly higher laser power density than the laser incident surface of a normal optical disk substrate, which is considered to be the cause of tracking disturbance. The present inventors have tried to reduce the thermal conductivity of the reflective layer in order to avoid high power density. However, if the thermal conductivity is reduced, there are adverse effects such as a decrease in the reflectance, and the balance between the recording sensitivity and the CNR is reduced. It was difficult to obtain good characteristics. Therefore, as a result of repeated studies, it was possible to obtain a well-balanced characteristic by using a reflective layer having a two-layer structure having different thermal conductivity. It was also confirmed that the flying height of the head was improved by forming the reflective layer in the above two-layer structure.
【0019】熱伝導率の異なる2層反射層を得る方法と
しては、熱伝導率のそれぞれ異なる金属を主成分とした
膜からなる2層構成としたり、同じ主成分の金属に異種
の元素を添加させた膜からなる2層構成としたり、ま
た、同種合金の組成を変化させた2層構成とすることな
どが利用できる。As a method for obtaining a two-layer reflecting layer having different thermal conductivities, a two-layer structure composed of films mainly composed of metals having different thermal conductivities or a different element added to a metal having the same main component is used. It is possible to use a two-layer structure composed of the films formed as described above, or a two-layer structure in which the composition of the same alloy is changed.
【0020】記録層14は垂直磁化で保磁力が大きい材
料であれば良いが、TbFeCoを主体とした材料は特
に保磁力が大きいので好ましい。記録層の保磁力は、記
録された情報を安定に保持するため大きいほど好ましい
が、近接場光磁気記録用の光磁気記録媒体としては5k
Oe以上であることが好ましい。このTbFeCoには
耐食性を高めるためにCr、Ti、Zr、Nb、Taな
どの耐食性元素を添加したり、短波長でのカー回転角を
高めるために数原子%のNdなどを添加したものであっ
てもよい。また、記録層として結晶相とアモルファス相
との間の可逆的相変化を利用した相変化記録媒体も使用
することができる。この場合は記録層で発生する熱が大
きいため反射層12と記録層13の間に保護層を形成す
ることが好ましい。The recording layer 14 may be made of any material as long as it has perpendicular magnetization and a large coercive force, but a material mainly composed of TbFeCo is preferable because it has a particularly large coercive force. The coercive force of the recording layer is preferably as large as possible in order to stably retain recorded information. However, as a magneto-optical recording medium for near-field magneto-optical recording, 5 k
It is preferably Oe or more. This TbFeCo is added with corrosion-resistant elements such as Cr, Ti, Zr, Nb and Ta in order to increase the corrosion resistance, or added with several atomic% of Nd in order to increase the Kerr rotation angle at a short wavelength. You may. Further, a phase change recording medium utilizing a reversible phase change between a crystalline phase and an amorphous phase can be used as the recording layer. In this case, since heat generated in the recording layer is large, it is preferable to form a protective layer between the reflective layer 12 and the recording layer 13.
【0021】保護層15はSiN、AlN、SiAlO
N、Ta2O5、ZnSとSiO2の混合材料などの透明
な誘電体で構成される。スライダーヘッドの浮上特性を
良好なものとするために保護層15は透明な誘電体層と
カーボンに水素や窒素を添加させたダイヤモンドライク
カーボン(DLC)固体潤滑層との積層であっても良
い。また、さらにこの上に、極薄いパーフルオロポリエ
ーテルなどの液体の潤滑層をディップ引き上げ法等の方
法で形成することによりスライダーヘッドの浮上特性が
更に良好となる。The protective layer 15 is made of SiN, AlN, SiAlO
It is made of a transparent dielectric such as N, Ta 2 O 5 , or a mixed material of ZnS and SiO 2 . In order to improve the flying characteristics of the slider head, the protective layer 15 may be a laminate of a transparent dielectric layer and a diamond-like carbon (DLC) solid lubricating layer obtained by adding hydrogen or nitrogen to carbon. Further, by forming a lubricating layer of a liquid such as ultra-thin perfluoropolyether by a method such as a dip pulling method, the flying characteristics of the slider head are further improved.
【0022】本発明の表面読み出し型光記録媒体は上述
した構造以外に第二反射層13上に誘電体を形成してそ
の上に記録層を形成したり、あるいは第二反射層13上
に誘電体、反射層を積層してその上に記録層を形成して
使用することもできる。In the surface read type optical recording medium of the present invention, in addition to the above-described structure, a dielectric is formed on the second reflective layer 13 to form a recording layer thereon, or a dielectric is formed on the second reflective layer 13. It is also possible to laminate a body and a reflective layer and form a recording layer thereon to use.
【0023】以上の反射層、記録層、保護層、固体潤滑
層の形成には真空蒸着法やスパッタ法などの真空薄膜形
成技術を使用することができる。For forming the above-mentioned reflective layer, recording layer, protective layer and solid lubricating layer, a vacuum thin film forming technique such as a vacuum deposition method or a sputtering method can be used.
【0024】また、本発明の表面読み出し型光記録媒体
は、保護層14の形成後にアクリル系紫外線硬化樹脂な
どからなる保護コート層を形成することによって、NA
が1以下の光学系に対する高記録感度型の表面読み出し
型光記録媒体としても利用することが出来る。保護コー
ト層の形成には真空薄膜形成技術やディップ引き上げ
法、スピンコート法などが利用できる。Further, the surface-reading type optical recording medium of the present invention is formed by forming a protective coat layer made of an acrylic ultraviolet curable resin or the like after forming the protective layer 14 so that the NA is improved.
Can also be used as a high recording sensitivity type surface readout type optical recording medium for an optical system having 1 or less. For forming the protective coating layer, a vacuum thin film forming technique, a dip pulling method, a spin coating method, or the like can be used.
【0025】[0025]
【実施例】以下、本発明を実施例に基づき更に詳細に説
明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるも
のではない。EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to only these Examples.
【0026】(実施例1)図2に示すような構造の表面
読み出し型光磁気記録用の媒体を製造した。トラックピ
ッチ0.45μmの案内溝の付いたポリカーボネート製
の基板21上にAl0.98Ti0.02からなる第一反射層2
2をDCスパッタ法で30nmの膜厚に形成した。この
上にAuからなる第二反射層23をDCスパッタ法で1
0nmの膜厚に形成した。この上にTb0.20(Fe0.77
Co0.20Ta0.03)0.80からなる記録層24を20nm
の厚みにDCスパッタ法により形成した。さらにその上
に、SiNからなる保護層25をArとN2の混合雰囲
気中でSiターゲットを使用した反応性DCスパッタ法
で230nm、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)
からなる固体潤滑層26をArとH2の混合雰囲気中で
Cターゲットを使用した反応性RFスパッタ法で15n
m形成した。DLC層を形成した後、パーフルオロポリ
エーテル系の潤滑層27を引き上げ法で1nm塗布して
表面読み出し型光磁気記録媒体を完成させた。(Example 1) A medium for surface reading type magneto-optical recording having a structure as shown in FIG. 2 was manufactured. First reflective layer 2 made of Al 0.98 Ti 0.02 on a polycarbonate substrate 21 having a guide groove with a track pitch of 0.45 μm
2 was formed to a thickness of 30 nm by DC sputtering. On this, a second reflective layer 23 made of Au is applied by DC sputtering to form a first reflective layer 23.
It was formed to a thickness of 0 nm. On top of this, Tb 0.20 (Fe 0.77
The recording layer 24 made of Co 0.20 Ta 0.03 ) 0.80 has a thickness of 20 nm.
Formed by a DC sputtering method. Further, a protective layer 25 made of SiN is further formed thereon by a reactive DC sputtering method using a Si target in a mixed atmosphere of Ar and N 2 at 230 nm, diamond-like carbon (DLC).
The solid lubricating layer 26 made of a reactive RF sputtering method using a C target in a mixed atmosphere of Ar and H 2 15n
m was formed. After forming the DLC layer, a perfluoropolyether-based lubricating layer 27 was applied to a thickness of 1 nm by a pull-up method to complete a surface read type magneto-optical recording medium.
【0027】(実施例2)実施例1と同じ構造の光磁気
記録媒体を同じ方法で作製した。ただし、本実施例の場
合、第一反射層をAl0.98Ta0.02として表面読み出し
型光磁気記録媒体を完成させた。(Example 2) A magneto-optical recording medium having the same structure as in Example 1 was produced by the same method. However, in the case of this example, the surface-reading type magneto-optical recording medium was completed with the first reflective layer being Al 0.98 Ta 0.02 .
【0028】(実施例3)実施例1と同じ構造の光磁気
記録媒体を同じ方法で作製した。ただし、本実施例の場
合、第一反射層/第二反射層をAu0.98V0.02/Au、
Ag0.98Ti0.02/Au、Au0.98V0.02/Agの組み
合わせとして表面読み出し型光磁気記録媒体を完成させ
た。Example 3 A magneto-optical recording medium having the same structure as in Example 1 was manufactured by the same method. However, in the case of the present embodiment, the first reflective layer / second reflective layer was formed by Au 0.98 V 0.02 / Au,
A surface readout type magneto-optical recording medium was completed as a combination of Ag 0.98 Ti 0.02 / Au and Au 0.98 V 0.02 / Ag.
【0029】(実施例4)実施例1と同じ構造の光磁気
記録媒体を同じ方法で作製した。ただし、本実施例の場
合、第一反射層/第二反射層をAg0.85Pd0.15/Ag
0.92Au0.08、Ag0.85Au0.55/Ag0.92Au0.08の
組み合わせとして表面読み出し型光磁気記録媒体を完成
させた。Example 4 A magneto-optical recording medium having the same structure as in Example 1 was manufactured by the same method. However, in the case of the present embodiment, the first reflective layer / second reflective layer was formed of Ag 0.85 Pd 0.15 / Ag.
A surface read type magneto-optical recording medium was completed with a combination of 0.92 Au 0.08 and Ag 0.85 Au 0.55 / Ag 0.92 Au 0.08 .
【0030】(実施例5)実施例1と同様の方法で表面
読み出し型光磁気記録媒体を作製した。ただし、本実施
例では、トラックピッチ0.55μmの基板を使用し、
DLC層の形成後アクリル系紫外線硬化樹脂からなる保
護コート層をスピンコート法で10μmの厚みに形成
し、この後で、パーフルオロポリエーテル系の潤滑層2
7を引き上げ法で1nm塗布して表面読み出し型光磁気
記録媒体を完成させた。Example 5 A surface read type magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1. However, in this embodiment, a substrate having a track pitch of 0.55 μm is used,
After the formation of the DLC layer, a protective coating layer made of an acrylic ultraviolet curable resin is formed to a thickness of 10 μm by spin coating, and thereafter, a perfluoropolyether lubricating layer 2 is formed.
7 was applied by a pull-up method to a thickness of 1 nm to complete a surface reading type magneto-optical recording medium.
【0031】(比較例1)図3に示すような構造の表面
読み出し型光磁気記録用の媒体を製造した。トラックピ
ッチ0.45μmの案内溝の付いたポリカーボネート製
の基板31上にAuからなる反射層32をDCスパッタ
法で40nmの膜厚に形成した。この上にTb0.20(F
e0.77Co0.20Ta0.03)0.80からなる記録層33を2
0nmの厚みにDCスパッタ法により形成した。さらに
その上に、SiNからなる保護層34をArとN2の混
合雰囲気中でSiターゲットを使用した反応性DCスパ
ッタ法で230nm、ダイヤモンドライクカーボン(D
LC)からなる固体潤滑層35をArとH2の混合雰囲
気中でCターゲットを使用した反応性RFスパッタ法で
15nm形成した。DLC層を形成した後、パーフルオ
ロポリエーテル系の潤滑層36を引き上げ法で1nm塗
布して表面読み出し型光磁気記録媒体を完成させた。Comparative Example 1 A medium for surface reading type magneto-optical recording having a structure as shown in FIG. 3 was manufactured. On a polycarbonate substrate 31 provided with a guide groove having a track pitch of 0.45 μm, a reflective layer 32 made of Au was formed to a thickness of 40 nm by DC sputtering. On top of this, Tb 0.20 (F
e 0.77 Co 0.20 Ta 0.03 ) 0.80 recording layer 33
It was formed to a thickness of 0 nm by DC sputtering. Further, a protective layer 34 made of SiN was formed thereon by a reactive DC sputtering method using a Si target in a mixed atmosphere of Ar and N 2 at 230 nm to form diamond-like carbon (D).
A solid lubricating layer 35 made of LC) was formed to a thickness of 15 nm by a reactive RF sputtering method using a C target in a mixed atmosphere of Ar and H 2 . After forming the DLC layer, a perfluoropolyether-based lubricating layer 36 was applied by 1 nm by a pull-up method to complete a surface read type magneto-optical recording medium.
【0032】(比較例2)比較例1と同じ構造の光磁気
記録媒体を同じ方法で作製した。ただし、本比較例の場
合、反射層の厚さを20nmとし、より高感度の表面読
み出し型光磁気記録媒体として完成させた。Comparative Example 2 A magneto-optical recording medium having the same structure as that of Comparative Example 1 was manufactured by the same method. However, in the case of this comparative example, the thickness of the reflective layer was set to 20 nm, and a more highly sensitive surface readout type magneto-optical recording medium was completed.
【0033】(比較例3)比較例1と同じ構造の光磁気
記録媒体を同じ方法で作製した。ただし、本比較例の場
合、反射層をAl0.98Ta0.02、Au0.98V0.02とし、
厚さを50nmとして表面読み出し型光磁気記録媒体を
完成させた。Comparative Example 3 A magneto-optical recording medium having the same structure as that of Comparative Example 1 was manufactured by the same method. However, in the case of this comparative example, the reflection layer was set to Al 0.98 Ta 0.02 and Au 0.98 V 0.02 ,
A surface readout type magneto-optical recording medium having a thickness of 50 nm was completed.
【0034】実施例1〜4、比較例1〜3の表面読み出
し型光磁気記録媒体に対して以下に示すような連続記録
テストを行なった。The following continuous recording tests were performed on the surface readout type magneto-optical recording media of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3.
【0035】線速度10m/sで媒体を回転させて、薄
膜面上にレーザー波長680nm、有効開口数1.3の
SILを有するスライダーヘッドを100nmの高さに
浮上させ、レーザーを周波数25MHzでパルス的に照
射してマーク長0.3μmの信号を記録し、最適記録パ
ワー(Pw)およびCNRを測定した。By rotating the medium at a linear velocity of 10 m / s, a slider head having an SIL having a laser wavelength of 680 nm and an effective numerical aperture of 1.3 on the thin film surface was floated to a height of 100 nm, and the laser was pulsed at a frequency of 25 MHz. A signal having a mark length of 0.3 μm was recorded by irradiating the recording medium, and the optimum recording power (Pw) and CNR were measured.
【0036】各々の媒体の最適記録パワーで1万トラッ
クのスパイラル記録を10回試みた。連続記録試験の結
果、トラッキングがはずれることなく正常に終了できた
回数をAとし、トラッキングがはずれた回数をBとし
た。また、トラッキングははずれないがトラッキング信
号に乱れが生じた回数をCとした。The spiral recording of 10,000 tracks was tried 10 times with the optimum recording power of each medium. As a result of the continuous recording test, the number of times that tracking could be normally completed without deviating was defined as A, and the number of times that tracking was lost was defined as B. Also, the number of times that tracking did not deviate but the tracking signal was disturbed was designated as C.
【0037】また、以下に示すようなグライドテストを
行なった。Further, the following glide test was performed.
【0038】スピンドル上に光磁気記録媒体をセットし
て回転させる。はじめにワッフルバーニッシュヘッド
(グライドライト社製、フライングハイト:25nm)
を用いて半径20〜60mmの間を1回シークする。次
にピエゾ素子のついたグライドヘッド(グライドライト
社製、フライングハイト:50nm)でディスク上をシ
ークし、ピエゾ素子に誘起される電圧値をモニターす
る。この電圧値が500mV以上をヒットとしてカウン
トする。ヒットカウントが0〜2を非常に良好、3〜5
を良好、6〜9をやや良好、10以上を不良とする。A magneto-optical recording medium is set on a spindle and rotated. Introduction Waffle burnish head (Glidelight, flying height: 25 nm)
Is used to seek once between a radius of 20 to 60 mm. Next, the disk is sought by a glide head with a piezo element (Flying Height: 50 nm, manufactured by Glide Light Co., Ltd.), and the voltage value induced in the piezo element is monitored. Hits with a voltage value of 500 mV or more are counted as hits. Very good hit count 0-2, 3-5
Is good, 6 to 9 is slightly good, and 10 or more is bad.
【0039】表1に連続記録テストおよびグライドテス
トの結果を示す。グライドテスト結果の×は不良、△は
やや良好、○は良好、◎は非常に良好であることを示
す。Table 1 shows the results of the continuous recording test and the glide test. In the glide test results, x indicates poor, Δ indicates somewhat good, 、 indicates good, and ◎ indicates very good.
【0040】表1から反射層を熱伝導率の異なる2層構
造とすることによりトラッキングの乱れが激減し連続記
録特性が向上していることがわかる。また、反射層の2
層化によりグライド特性が良くなり、ヘッド浮上性が向
上することがわかる。From Table 1, it can be seen that when the reflective layer has a two-layer structure having different thermal conductivities, disturbance of tracking is drastically reduced and continuous recording characteristics are improved. Also, the reflection layer 2
It can be seen that the glide characteristics are improved by the layering, and the flying height of the head is improved.
【0041】[0041]
【表1】 [Table 1]
【0042】また、実施例5の表面読み出し型光磁気記
録媒体に対してレーザー波長680nm、有効開口数
0.8の光学系を有するスライダーヘッドを使用して記
録特性を測定したところ、マーク長0.4μmにおいて
45dBの良好なCNR値が得られ、オーバーコートを
施した表面読み出し型光磁気記録媒体としても使用可能
であることが確かめられた。The recording characteristics of the surface-reading type magneto-optical recording medium of Example 5 were measured using a slider head having an optical system with a laser wavelength of 680 nm and an effective numerical aperture of 0.8. A good CNR value of 45 dB was obtained at 0.4 μm, and it was confirmed that the medium could be used as an overcoated surface readout type magneto-optical recording medium.
【0043】[0043]
【発明の効果】本発明では、反射層を第一反射層と第二
反射層の2層構造とし、第一反射層の熱伝導率を第二反
射層の熱伝導率よりも小さくすること、特に、第一反射
層の熱伝導率を20W/m・K以上100W/m・K未
満、第二反射層の熱伝導率を100W/m・K以上とす
ることにより高密度の連続記録特性を改善することがで
き、さらに、第一反射層の膜厚を10nm以上100n
m以下、第二反射層の膜厚を3nm以上50nm以下と
したり、第一反射層をAlを主成分とする合金で形成
し、第二反射層を貴金属やCu、あるいはこれらの合金
膜や、貴金属、Cu、あるいはこれらの合金を主成分と
する金属膜で構成したり、あるいは、第一反射層を貴金
属、Cu、あるいはこれらの合金を主成分とする金属膜
で構成し、第二反射層を貴金属やCu、あるいはこれら
の合金膜や、貴金属、Cu、あるいはこれらの合金を主
成分とする金属膜で構成することにより連続記録特性だ
けでなく、ヘッド浮上特性も向上させることができ、連
続記録特性及びヘッド浮上性に優れた表面読み出し型光
記録媒体を得ることができる。According to the present invention, the reflective layer has a two-layer structure of a first reflective layer and a second reflective layer, and the thermal conductivity of the first reflective layer is smaller than the thermal conductivity of the second reflective layer. In particular, by setting the thermal conductivity of the first reflective layer to 20 W / m · K or more and less than 100 W / m · K, and setting the thermal conductivity of the second reflective layer to 100 W / m · K or more, high-density continuous recording characteristics can be obtained. And the thickness of the first reflective layer is set to 10 nm or more and 100 n or more.
m or less, the thickness of the second reflective layer is 3 nm or more and 50 nm or less, or the first reflective layer is formed of an alloy containing Al as a main component, and the second reflective layer is a noble metal or Cu, or an alloy film thereof, A first reflective layer composed of a noble metal, Cu, or a metal film mainly composed of a noble metal, Cu, or an alloy thereof; and a second reflective layer composed of a metal film mainly composed of a noble metal, Cu, or an alloy thereof. Is composed of a noble metal, Cu, or an alloy film thereof, or a metal film containing a noble metal, Cu, or an alloy thereof as a main component, not only the continuous recording characteristics but also the head floating characteristics can be improved. A surface-reading type optical recording medium having excellent recording characteristics and head flying properties can be obtained.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】本発明の表面読み出し型光記録媒体の一例の構
造を示す部分断面図である。FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing a structure of an example of a surface read type optical recording medium of the present invention.
【図2】実施例1〜4の表面読み出し型光磁気記録媒体
の構造を示す部分断面図である。FIG. 2 is a partial sectional view showing the structure of a surface read type magneto-optical recording medium of Examples 1 to 4.
【図3】比較例1〜3の表面読み出し型光磁気記録媒体
の構造を示す部分断面図である。FIG. 3 is a partial sectional view showing the structure of a surface read type magneto-optical recording medium of Comparative Examples 1 to 3.
11、21、31:基板 12、22 :第一反射層 13、23 :第二反射層 32:反射層 14、24、33:記録層 15、25、34:保護層 26、35:固体潤滑層 27、36:潤滑層 11, 21, 31: Substrate 12, 22: First reflective layer 13, 23: Second reflective layer 32: Reflective layer 14, 24, 33: Recording layer 15, 25, 34: Protective layer 26, 35: Solid lubricating layer 27, 36: Lubrication layer
Claims (5)
び保護層をこの順に積層して成り、膜形成面側からレー
ザー光を照射して記録再生を行なう表面読み出し型光記
録媒体において、前記反射層が基板側の第一反射層と記
録層側の第二反射層の2層から成る2層構造として構成
され、前記第一反射層の熱伝導率が前記第二反射層の熱
伝導率よりも小さいことを特徴とする表面読み出し型光
記録媒体。1. A surface-read type optical recording medium comprising a substrate and at least a reflective layer, a recording layer and a protective layer laminated in this order, and irradiating a laser beam from a film forming surface side to perform recording and reproduction. The layer is configured as a two-layer structure including a first reflective layer on the substrate side and a second reflective layer on the recording layer side, and the thermal conductivity of the first reflective layer is higher than the thermal conductivity of the second reflective layer. A surface-reading type optical recording medium characterized in that it is also small.
以上100W/m・K未満であり、第二反射層の熱伝導
率が100W/m・K以上であることを特徴とする請求
項1記載の表面読み出し型光記録媒体。2. The thermal conductivity of the first reflection layer is 20 W / m · K.
2. The surface-readable optical recording medium according to claim 1, wherein the optical recording medium has a thermal conductivity of at least 100 W / m.K and a thermal conductivity of the second reflective layer of at least 100 W / m.K.
nm以下、第二反射層の膜厚が3nm以上50nm以下
であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の表
面読み出し型光記録媒体。3. The film thickness of the first reflective layer is 10 nm or more and 100
3. The surface-readable optical recording medium according to claim 1, wherein the thickness of the second reflective layer is 3 nm or more and 50 nm or less.
構成し、第二反射層を貴金属やCu、あるいはこれらの
合金膜や、貴金属、Cu、あるいはこれらの合金を主成
分とする金属膜で構成したことを特徴とする請求項1〜
3のいずれか1項に記載の表面読み出し型光記録媒体。4. The first reflection layer is composed of an alloy mainly containing Al, and the second reflection layer is mainly composed of a noble metal, Cu, or an alloy film thereof, or a noble metal, Cu, or an alloy thereof. 3. A structure comprising a metal film.
4. The surface readout type optical recording medium according to any one of 3.
れらの合金を主成分とする金属膜で構成し、第二反射層
を貴金属やCu、あるいはこれらの合金膜や、貴金属、
Cu、あるいはこれらの合金を主成分とする金属膜で構
成したことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に
記載の表面読み出し型光記録媒体。5. The first reflection layer is composed of a metal film containing a noble metal, Cu, or an alloy thereof as a main component, and the second reflection layer is formed of a noble metal, Cu, or an alloy film thereof, a noble metal,
The surface-reading type optical recording medium according to any one of claims 1 to 3, wherein the surface-reading optical recording medium is formed of a metal film containing Cu or an alloy thereof as a main component.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000345481A JP2002150612A (en) | 2000-11-08 | 2000-11-08 | Surface reading type optical recording medium |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007083674A1 (en) * | 2006-01-18 | 2007-07-26 | Mitsubishi Kagaku Media Co., Ltd. | Optical recording medium |
-
2000
- 2000-11-08 JP JP2000345481A patent/JP2002150612A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2007083674A1 (en) * | 2006-01-18 | 2007-07-26 | Mitsubishi Kagaku Media Co., Ltd. | Optical recording medium |
US7910192B2 (en) | 2006-01-18 | 2011-03-22 | Mitsubishi Kagaku Media Co., Ltd. | Optical recording medium |
US8158234B2 (en) | 2006-01-18 | 2012-04-17 | Mitsubishi Kagaku Media Co., Ltd. | Optical recording medium |
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