JP2002081929A - ユニット型リニアスケール - Google Patents
ユニット型リニアスケールInfo
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Abstract
きい場合でも、スケール精度の直線性が低下することを
防止できるようにする。 【解決手段】 メインスケールが収容されている測長方
向に延びるアルミ枠10を、測長方向両端部に配した固
定ブロック14、20をそれぞれねじ止めして対象物に
固定するユニット型リニアスケールにおいて、前記右側
部が、前記固定ブロックに直結され、該固定ブロックを
介して不動状態に固定され、左側端部が、前記固定ブロ
ック20に対して、測長方向のみに自由度を有した、前
記アルミ枠10の伸びを吸収する滑り軸24と軸受26
からなる熱膨張吸収機構を介して係止されるようにし
た。
Description
収容されている枠体に対して、該スケールに沿って移動
するインデックススケールの相対移動量から長さ方向の
移動量を検出する検出ヘッドが一体的に形成されている
ユニット型リニアスケールに関する。
位を検出する装置として、メインスケールが収容されて
いる長尺状の枠体と、該枠体に対して相対移動可能なイ
ンデックススケール等の検出部が収容されている検出ヘ
ッドが一体的に形成されているユニット型リニアスケー
ルが一般に用いられている。
なユニット型リニアスケールの一例を一方の対象物に固
定した状態の平面図、左側面図、正面図をそれぞれ示し
たものである。この図に示されるように、このユニット
型リニアスケールは、前記メインスケール(図示せず)
が収容されているアルミ枠(枠体)10と、前記検出部
(図示せず)が収容されている検出ヘッド12とが一体
的に形成され、該検出ヘッド12がアルミ枠10の長手
方向である測長方向に沿って移動可能になっている。
ミ枠10がその測長方向の両端部に取付けられた固定ブ
ロック14の固定位置にあたるねじ孔14Aを介して、
一方の対象物(図中、相手面)にねじ止めすることによ
り不動状態に固定されると共に、前記検出ヘッド12が
図示しない他方の対象物に固定され、両対象物の相対移
動量をアルミ枠10と検出ヘッド12の相対移動量から
検出するようになっている。
ては、前記図4に相当する図5に示すように、アルミ枠
10の対象物に対する固定を、測長方向両端部の固定ブ
ロック14だけでなく、測長方向の途中(例えば、中心
位置である中央部)に取付けた固定部材16の固定位置
16Aをねじ止めして、同様に相手面に3点で固定する
ものもある。
たアルミ枠10の両端部に取付けられた固定用ブロック
による2点固定や、それと測長方向途中の固定部材によ
る3点固定を行うユニット型リニアスケールには、該ア
ルミ枠10を固定する対象物が鉄をベースとする構造体
であることが多いため、測定環境の温度が変化すると鉄
よりもアルミの方が線膨張係数が大きいため、アルミ枠
が変形し、結果として収容されているメインスケールに
曲がりやうねり等の変形が生じるため、該スケールの精
度の直線性が低下するという問題がある。
くなされたもので、アルミ枠等の枠体と該枠体を固定す
る対象物との線膨張係数の差が大きい場合でも、メイン
スケールの精度の直線性が低下することを防止できるユ
ニット型リニアスケールを提供することを課題とする。
ルが収容されている測長方向に延びる枠体を、測長方向
両端部に配した固定ブロックをそれぞれねじ止めして、
対象物に固定するユニット型リニアスケールにおいて、
前記両端部のいずれか一方が、前記固定ブロックに直結
され、該固定ブロックを介して不動状態に固定され、他
方の端部が、前記固定ブロックに対して、測長方向のみ
に自由度を有した、前記枠体の伸びを吸収する熱膨張吸
収機構を介して係止されているようにしたことにより、
前記課題を解決したものである。
両端部のいずれか一方を不動状態に固定し、他方を固定
ブロックに対して、測長方向のみの伸びを吸収できる熱
膨張吸収機構を介して係止するようにしたので、温度変
化により枠体が熱膨張したとしても、該枠体に変形が生
じることを防止できる。
ている測長方向に延びる枠体を、測長方向両端部に配し
た固定ブロックと、測長方向途中に配した固定部材をそ
れぞれねじ止めして、対象物に固定するユニット型リニ
アスケールにおいて、前記測長方向途中が、前記固定部
材に直結され、該固定部材を介して不動状態に固定さ
れ、前記両端部が、前記固定ブロックに対して、測長方
向のみに自由度を有した、前記枠体の伸びを吸収する熱
膨張吸収機構を介してそれぞれ係止されているようにし
ないことにより、同様に前記課題を解決したものであ
る。
途中で不動状態に固定するとともに、測長方向途中で不
動状態に固定するとともに、測長方向両端部ではいずれ
も前記熱膨張吸収機構により、温度変化による伸びを吸
収できるようにしたので、同様に枠体に変形が生じるこ
とを防止できる。
実施の形態について詳細に説明する。
ット型リニアスケールが備えているアルミ枠10を、前
記図4(C)と同じ方向から見た測長方向両端部の近傍
を拡大して示したものである。但し、相手面(対象物)
は図示を省略してある。
ル10を構成するアルミ枠(枠体)の右側の測長方向端
部が、従来と同様の固定ブロック14にねじ18により
直結され、該固定ブロック14を固定位置(ねじ孔)1
4Aを介して対象物(図示せず)にねじ止めして固定す
ると、測長方向、これに直交する相手面に垂直な方向及
び相手面に平行な方向の3軸方向の全ての方向に対して
アルミ枠10の動きが規制されるため、この右側端部は
完全に不動状態の固定端になっている。
して従来と異なる方法で取付けられている。図2には、
アルミ枠10の内側壁に板ばね22が固定され、該板ば
ね22に測長方向に延びる丸棒形状の滑り軸24が支持
され、該滑り軸24が前記固定ブロック20に形成され
ている穴からなる軸受26に滑動可能になっている。即
ち、この端部は、ねじ孔20Aでねじ止めされる固定ブ
ロック20に対して、測長方向のみの伸びを吸収するこ
とができる滑り軸24と軸受26からなる滑り軸受機構
(熱膨張吸収機構)を介して係止されている。従って、
滑り軸24の軸方向、即ち測長方向に直交する方向には
動きが完全に規制されるが、移動方向には伸縮する自由
度が残されている自由端になっている。
(環境)温度の変化によるアルミ枠10の測長方向(長
手方向)への伸びは、軸受26に対する軸24の滑りと
ともに、板ばね22の撓みによっても吸収することがで
きるため、アルミ枠10の曲がりやうねり等の発生が有
効に防止できる。又、測長方向以外の方向に対するズレ
(伸び)が発生しないため、温度変化による測定精度の
低下(メインスケールの精度の直線性の低下等)を防止
することができる。
他方の片側を自由端とすることにより、アルミ枠10に
対する伸びの基準点の設定と、伸びの方向の設定が可能
となる。
れているため、図3に示すように、アルミ枠10を取付
けるときに、相手面の傾きを吸収できることから、該ア
ルミ枠10やこれに収容されているメインスケールに曲
がり等の無理な力が加わることを緩和できるという利点
もある。
図示は省略するが、前記図5を用いて説明したような、
測長方向両端部及びその中央部(測長方向途中)の3点
で固定する方式のユニット型リニアスケールであって、
中央部を従来と同様に不動状態に固定し、測長方向両端
部のいずれにも前記図2に示した自由端側と同様の熱膨
張吸収機構により係止されているブロック20を配置す
るものを挙げることができる。
部を固定端とすることにより、該中央部を伸びの基準点
に設定することが可能となり、アルミ枠10に左右に均
等な伸びを生じさせることが可能となることから、スケ
ール精度の直線性の低下を効果的に防止することができ
る。
が、本発明は、前記実施形態に示したものに限られるも
のでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
ある。
ねに支持されている場合を示したが、板ばね以外の支持
部材に支持されているようにしてもよい。
ミ枠10側に支持され、軸受26が固定ブロック20側
に形成されている場合を示したが、逆に滑り軸24が固
定ブロック20側に支持され、軸受26がアルミ枠10
側に形成されているようにしてもよい。
メインスケールが収容されている枠体と、該枠体を固定
する対象物との間の線膨張係数の差が大きい場合でも、
該スケールの精度の直線性が低下することを有効に防止
でき、結果として測定精度を向上することができる。
ケールが備えているアルミ枠の要部を示す概略部分正面
図
図
平面図、左側面図、正面図
示す平面図、左側面図、正面図
Claims (4)
- 【請求項1】メインスケールが収容されている測長方向
に延びる枠体を、測長方向両端部に配した固定ブロック
をそれぞれねじ止めして、対象物に固定するユニット型
リニアスケールにおいて、 前記両端部のいずれか一方が、前記固定ブロックに直結
され、該固定ブロックを介して不動状態に固定され、 他方の端部が、前記固定ブロックに対して、測長方向の
みに自由度を有した、前記枠体の伸びを吸収する熱膨張
吸収機構を介して係止されていることを特徴とするユニ
ット型リニアスケール。 - 【請求項2】メインスケールが収容されている測長方向
に延びる枠体を、測長方向両端部に配した固定ブロック
と、測長方向途中に配した固定部材をそれぞれねじ止め
して、対象物に固定するユニット型リニアスケールにお
いて、 前記測長方向途中が、前記固定部材に直結され、該固定
部材を介して不動状態に固定され、 前記両端部が、前記固定ブロックに対して、測長方向の
みに自由度を有した、前記枠体の伸びを吸収する熱膨張
吸収機構を介してそれぞれ係止されていることを特徴と
するユニット型リニアスケール。 - 【請求項3】前記熱膨張吸収機構が、測長方向に延びる
滑り軸と、該軸が滑動する軸受とを備えた滑り軸受機構
であることを特徴とする請求項1又は2に記載のユニッ
ト型リニアスケール。 - 【請求項4】前記滑り軸が、前記枠体に固定されている
板ばねにより支持され、前記軸受が前記固定ブロックに
形成されていることを特徴とする請求項3に記載のユニ
ット型リニアスケール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000271270A JP3619438B2 (ja) | 2000-09-07 | 2000-09-07 | ユニット型リニアスケール |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002081929A true JP2002081929A (ja) | 2002-03-22 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013024865A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 長さ測定装置 |
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DE102018100516A1 (de) * | 2018-01-11 | 2019-07-11 | Turck Holding Gmbh | Messgerät, insbesondere linearwegmessgerät |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2013024865A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 長さ測定装置 |
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---|---|
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 9 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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