JP2002066976A - 基板搬送用真空ロボット - Google Patents
基板搬送用真空ロボットInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】マグネットカップリングを使用してタクトタイ
ムを短縮できる基板搬送用真空ロボットを提供するこ
と。 【解決手段】真空容器３内に搬送部１０が収納され、大
気側の機台５内には駆動部３０が収納されている。真空
容器３には駆動部３０側に突出する隔壁４が形成され、
隔壁４内に二重の駆動軸（第１の駆動軸１１と第２の駆
動軸１２）が同心上に配置されている。第１の駆動軸１
１は、第１のモータ３１に外輪マグネット６１、内輪マ
グネット６２からなるマグネットカップリング６を介し
て連結され、第１のモータ３１の駆動を第１のアーム１
４に伝達する。第２の駆動軸１２は、第２のモータ３２
に外輪マグネット７１、内輪マグネット７２からなるマ
グネットカップリング７を介して連結され、第２のモー
タ３２の駆動をプーリ１７を介して第２のアーム１５に
伝達している。
ムを短縮できる基板搬送用真空ロボットを提供するこ
と。 【解決手段】真空容器３内に搬送部１０が収納され、大
気側の機台５内には駆動部３０が収納されている。真空
容器３には駆動部３０側に突出する隔壁４が形成され、
隔壁４内に二重の駆動軸（第１の駆動軸１１と第２の駆
動軸１２）が同心上に配置されている。第１の駆動軸１
１は、第１のモータ３１に外輪マグネット６１、内輪マ
グネット６２からなるマグネットカップリング６を介し
て連結され、第１のモータ３１の駆動を第１のアーム１
４に伝達する。第２の駆動軸１２は、第２のモータ３２
に外輪マグネット７１、内輪マグネット７２からなるマ
グネットカップリング７を介して連結され、第２のモー
タ３２の駆動をプーリ１７を介して第２のアーム１５に
伝達している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、真空室内で加工
処理される基板を搬送する基板搬送用真空ロボットに関
し、さらに、マグネットカップリングで駆動される基板
搬送用真空ロボットに関する。
処理される基板を搬送する基板搬送用真空ロボットに関
し、さらに、マグネットカップリングで駆動される基板
搬送用真空ロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空容器内で加工処理するため
に、あるいは加工処理された基板を搬送するロボット
は、大気側と真空側とを隔てるために、シール性と耐圧
性を有する磁性流体シールが使用されていた。例えば、
磁性流体シールを軸受として構成される一般的なロボッ
ト４１は、図３に示すように、第１アーム４２を駆動す
る第１駆動軸４３と、第１アーム４２内のプーリ４４を
駆動する第２駆動軸４５が、真空容器４６の挿入口４６
ａに支持されて、真空容器４６内と大気側の機台４７内
を挿通するように配置されていた。第１駆動軸４３は第
２駆動軸４５内を挿通するとともに機台４７内の第１モ
ータ４８に回動駆動されて第１アーム４２に連結され、
第２駆動軸４５は第１駆動軸４３と同心上に配置され、
かつ機台４７内の第２モータ４９に回動駆動されて第１
アーム４２内に配置されたプーリ４４に連結され、さら
に第２アーム５０に第２モータ４９の回転を伝達するよ
うに構成されていた。
に、あるいは加工処理された基板を搬送するロボット
は、大気側と真空側とを隔てるために、シール性と耐圧
性を有する磁性流体シールが使用されていた。例えば、
磁性流体シールを軸受として構成される一般的なロボッ
ト４１は、図３に示すように、第１アーム４２を駆動す
る第１駆動軸４３と、第１アーム４２内のプーリ４４を
駆動する第２駆動軸４５が、真空容器４６の挿入口４６
ａに支持されて、真空容器４６内と大気側の機台４７内
を挿通するように配置されていた。第１駆動軸４３は第
２駆動軸４５内を挿通するとともに機台４７内の第１モ
ータ４８に回動駆動されて第１アーム４２に連結され、
第２駆動軸４５は第１駆動軸４３と同心上に配置され、
かつ機台４７内の第２モータ４９に回動駆動されて第１
アーム４２内に配置されたプーリ４４に連結され、さら
に第２アーム５０に第２モータ４９の回転を伝達するよ
うに構成されていた。
【０００３】第２駆動軸４５の外周面は、真空容器４６
の挿入口４６ａに装着された磁性流体シール５１に回動
可能に支持され、第１駆動軸４３の外周面と第２駆動軸
４５の内周面との間には磁性流体シール５２が嵌合され
ることによって、大気圧に形成される機台４７内の第１
モータ４８と第２モータ４９の駆動を、真空容器４６内
の第１アーム４２と第２アーム５０を駆動するととも
に、大気が真空容器４６内に入り込まないように構成し
ていた。
の挿入口４６ａに装着された磁性流体シール５１に回動
可能に支持され、第１駆動軸４３の外周面と第２駆動軸
４５の内周面との間には磁性流体シール５２が嵌合され
ることによって、大気圧に形成される機台４７内の第１
モータ４８と第２モータ４９の駆動を、真空容器４６内
の第１アーム４２と第２アーム５０を駆動するととも
に、大気が真空容器４６内に入り込まないように構成し
ていた。
【０００４】しかし、磁性流体シールを使用するロボッ
トは、磁性流体シールそのものを大きく構成する必要が
あることから、真空容器内の真空状態が遅れる問題が発
生していた。また、磁性流体シールは、油が充填されて
いることから、ガスが発生したり、また急激な圧力差が
生じると膜が破れて、油が飛散することがあり、塵埃の
発生のもとになっていた。
トは、磁性流体シールそのものを大きく構成する必要が
あることから、真空容器内の真空状態が遅れる問題が発
生していた。また、磁性流体シールは、油が充填されて
いることから、ガスが発生したり、また急激な圧力差が
生じると膜が破れて、油が飛散することがあり、塵埃の
発生のもとになっていた。
【０００５】そのために、上記の課題を解決するため
に、磁性流体シールをなくしてコンパクトに構成すると
ともに塵埃をなくすように構成された技術が、特開平８
−１７２１２１号によって、提案されていた。
に、磁性流体シールをなくしてコンパクトに構成すると
ともに塵埃をなくすように構成された技術が、特開平８
−１７２１２１号によって、提案されていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の公報に
示されるロボットには、大気側に配置された１個のモー
タから、真空側に配置された第１アーム及びプーリに駆
動連結する各駆動軸は、クラッチ機構によって切り替え
られながら、第１アーム又はプーリに伝達するように構
成されていることから、クラッチ機構を装着する構成が
複雑になるとともに、クラッチ機構による切替伝達時間
が長くなり、基板搬送におけるタクトタイムの損失とな
っていた。
示されるロボットには、大気側に配置された１個のモー
タから、真空側に配置された第１アーム及びプーリに駆
動連結する各駆動軸は、クラッチ機構によって切り替え
られながら、第１アーム又はプーリに伝達するように構
成されていることから、クラッチ機構を装着する構成が
複雑になるとともに、クラッチ機構による切替伝達時間
が長くなり、基板搬送におけるタクトタイムの損失とな
っていた。
【０００７】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、タクトタイムを短くして搬送時間を短縮し、しか
も塵埃の発生を少なくできる基板搬送用真空ロボットを
提供することを目的とする。
あり、タクトタイムを短くして搬送時間を短縮し、しか
も塵埃の発生を少なくできる基板搬送用真空ロボットを
提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明にかかわる基板
搬送用真空ロボットでは、上記の課題を解決するため
に、以下のように構成するものである。すなわち、基板
を保持して搬送する搬送部と、前記基板を直線的に移動
するＸ軸移動及び前記基板を回動中心に沿って回動する
θ回転移動を行なわせる駆動部と、を有し、前記搬送部
が真空容器内に配設され、前記駆動部が大気側に配設さ
れている基板搬送用真空ロボットであって、前記真空容
器は、大気側と隔てるために下方に突出する隔壁部を有
し、前記基板をＸ軸移動又はθ回転移動するために前記
搬送部に連結された駆動軸が、前記隔壁部内に配設され
るとともにマグネットカップリングに連結され、前記マ
グネットカップリングが、前記駆動軸に装着されて永久
磁石を有する内輪マグネットと、前記隔壁部の外側で支
持されて永久磁石を有する外輪マグネットと、を有して
構成されていることを特徴とするものである。
搬送用真空ロボットでは、上記の課題を解決するため
に、以下のように構成するものである。すなわち、基板
を保持して搬送する搬送部と、前記基板を直線的に移動
するＸ軸移動及び前記基板を回動中心に沿って回動する
θ回転移動を行なわせる駆動部と、を有し、前記搬送部
が真空容器内に配設され、前記駆動部が大気側に配設さ
れている基板搬送用真空ロボットであって、前記真空容
器は、大気側と隔てるために下方に突出する隔壁部を有
し、前記基板をＸ軸移動又はθ回転移動するために前記
搬送部に連結された駆動軸が、前記隔壁部内に配設され
るとともにマグネットカップリングに連結され、前記マ
グネットカップリングが、前記駆動軸に装着されて永久
磁石を有する内輪マグネットと、前記隔壁部の外側で支
持されて永久磁石を有する外輪マグネットと、を有して
構成されていることを特徴とするものである。
【０００９】また好ましくは、前記駆動軸が、少なくと
もＸ軸移動するために前記搬送部に連結された第１の駆
動軸と、少なくともθ回転するために前記搬送部に連結
された第２の駆動軸と、を有し、前記第１の駆動軸が前
記駆動部内の第１のモータで駆動され、前記第２の駆動
軸が前記駆動部内の第２のモータで駆動されていればよ
い。
もＸ軸移動するために前記搬送部に連結された第１の駆
動軸と、少なくともθ回転するために前記搬送部に連結
された第２の駆動軸と、を有し、前記第１の駆動軸が前
記駆動部内の第１のモータで駆動され、前記第２の駆動
軸が前記駆動部内の第２のモータで駆動されていればよ
い。
【００１０】また、この発明に係わる基板搬送用真空ロ
ボットは、基板を保持して搬送する搬送部と、前記基板
を直線的に移動するＸ軸移動及び前記基板を回動中心に
沿って回動するθ回転移動を行なわせる駆動部と、を有
し、前記搬送部が真空容器内に配設され、前記駆動部が
大気側に配設されている基板搬送用真空ロボットであっ
て、前記真空容器は、大気側と隔てるために前記駆動部
側に突出する隔壁部を有し、前記搬送部が、前記基板を
直線的に移動させるために、それぞれ一端で軸支された
一対のアームと、前記基板を保持するハンドと、一方の
アーム内に配設されて他方のアームを回動駆動する伝達
部材と、を有して構成され、前記一方のアームは、前記
隔壁内に配設された第１の駆動軸の一端に連結され、前
記伝達部材が、前記第１の駆動軸と同心上に配置された
第２の駆動軸の一端に連結され、前記第１の駆動軸の他
端には、前記隔壁の内部に配設されて永久磁石を有する
第１の内輪マグネットが装着され、前記第１の内輪マグ
ネットは、前記隔壁の外部に配設されて第１のモータに
より回動駆動された永久磁石を有する第１の外輪マグネ
ットとともに回動駆動され、前記第２の駆動軸の他端に
は、前記隔壁の内部に配設されて永久磁石を有する第２
の内輪マグネットが装着され、前記第２の内輪マグネッ
トは、前記隔壁の外部に配設されて第２のモータにより
回動駆動された永久磁石を有する第２の外輪マグネット
とともに回動駆動されていることを特徴とするものであ
る。
ボットは、基板を保持して搬送する搬送部と、前記基板
を直線的に移動するＸ軸移動及び前記基板を回動中心に
沿って回動するθ回転移動を行なわせる駆動部と、を有
し、前記搬送部が真空容器内に配設され、前記駆動部が
大気側に配設されている基板搬送用真空ロボットであっ
て、前記真空容器は、大気側と隔てるために前記駆動部
側に突出する隔壁部を有し、前記搬送部が、前記基板を
直線的に移動させるために、それぞれ一端で軸支された
一対のアームと、前記基板を保持するハンドと、一方の
アーム内に配設されて他方のアームを回動駆動する伝達
部材と、を有して構成され、前記一方のアームは、前記
隔壁内に配設された第１の駆動軸の一端に連結され、前
記伝達部材が、前記第１の駆動軸と同心上に配置された
第２の駆動軸の一端に連結され、前記第１の駆動軸の他
端には、前記隔壁の内部に配設されて永久磁石を有する
第１の内輪マグネットが装着され、前記第１の内輪マグ
ネットは、前記隔壁の外部に配設されて第１のモータに
より回動駆動された永久磁石を有する第１の外輪マグネ
ットとともに回動駆動され、前記第２の駆動軸の他端に
は、前記隔壁の内部に配設されて永久磁石を有する第２
の内輪マグネットが装着され、前記第２の内輪マグネッ
トは、前記隔壁の外部に配設されて第２のモータにより
回動駆動された永久磁石を有する第２の外輪マグネット
とともに回動駆動されていることを特徴とするものであ
る。
【００１１】
【発明の効果】本発明の基板搬送用真空ロボットは、大
気側に配置された駆動部が外輪マグネットを回転させる
ことによって、隔壁を挟んで真空容器内に配置される内
輪マグネットを回転させ、内輪マグネットに連結される
搬送部を駆動させることによって基板をＸ軸移動させた
りθ回転させることができることから、磁性流体シール
を装着することによって生じていた装置の大型化や油の
飛散やガスの発生、又は真空状態の遅れの課題を解決す
ることができる。
気側に配置された駆動部が外輪マグネットを回転させる
ことによって、隔壁を挟んで真空容器内に配置される内
輪マグネットを回転させ、内輪マグネットに連結される
搬送部を駆動させることによって基板をＸ軸移動させた
りθ回転させることができることから、磁性流体シール
を装着することによって生じていた装置の大型化や油の
飛散やガスの発生、又は真空状態の遅れの課題を解決す
ることができる。
【００１２】また、この基板搬送用真空ロボットは、第
１のモータの駆動によって第１の外輪マグネットが回転
すると、隔壁内に配置された第１の駆動軸が、第１の外
輪マグネットの回転に追随されて回転される第１の内輪
マグネットを介して、回転駆動されてハンド手段に保持
された基板をＸ軸移動させる。また、少なくとも第２の
モータの駆動によって第２の外輪マグネットが回転する
と、隔壁内に配置された第２の駆動軸とが、第２の外輪
マグネットとの回転に追随されて回転されると第２の内
輪マグネットとを介して、回動駆動されてハンド手段に
保持された基板をθ回転させる。
１のモータの駆動によって第１の外輪マグネットが回転
すると、隔壁内に配置された第１の駆動軸が、第１の外
輪マグネットの回転に追随されて回転される第１の内輪
マグネットを介して、回転駆動されてハンド手段に保持
された基板をＸ軸移動させる。また、少なくとも第２の
モータの駆動によって第２の外輪マグネットが回転する
と、隔壁内に配置された第２の駆動軸とが、第２の外輪
マグネットとの回転に追随されて回転されると第２の内
輪マグネットとを介して、回動駆動されてハンド手段に
保持された基板をθ回転させる。
【００１３】従って、基板のＸ軸移動とθ回転が、隔壁
の外側の配置されている外輪マグネットから隔壁の内側
に配置されている内輪マグネットに伝達されて駆動され
ることから、磁性流体シールを装着することによって生
じていた油の飛散やガスの発生、又は真空状態の遅れの
課題を解決することができる。さらに、基板のＸ軸移動
とθ回転が、少なくとも第２のモータによってそれぞれ
駆動されることから、クラッチを介在することなく、基
板を搬送するタクトタイムを短縮することが可能とな
る。
の外側の配置されている外輪マグネットから隔壁の内側
に配置されている内輪マグネットに伝達されて駆動され
ることから、磁性流体シールを装着することによって生
じていた油の飛散やガスの発生、又は真空状態の遅れの
課題を解決することができる。さらに、基板のＸ軸移動
とθ回転が、少なくとも第２のモータによってそれぞれ
駆動されることから、クラッチを介在することなく、基
板を搬送するタクトタイムを短縮することが可能とな
る。
【００１４】さらに、この基板搬送用真空ロボットが、
一対のアームを有してハンドに保持された基板を直線的
に移動するように構成されたロボットであれば、第１の
駆動軸を、大気側に配置された第１の外輪マグネットか
ら伝達されて真空側に配置された第１の内輪マグネット
を介して駆動することによって、一方のアームにその駆
動を伝達してハンドに保持された基板をＸ軸移動させる
ことができ、また、第２の駆動軸を、大気側に配置され
た第２の外輪マグネットから伝達されて真空側に配置さ
れた第２の内輪マグネットを介して駆動することによっ
て、他方のアームにその駆動を伝達して、第１の駆動軸
で一方のアームを同時に駆動させることも合わせて、基
板をθ回転させることができることから、磁性流体シー
ルを装着することによって生じていた油の飛散やガスの
発生、又は真空状態の遅れの課題を解決することができ
る。さらに、基板のＸ軸移動とθ回転が、第１のモータ
と第２のモータによってそれぞれ駆動されることから、
クラッチを介在することなく、基板を搬送するタクトタ
イムを短縮することが可能となる。
一対のアームを有してハンドに保持された基板を直線的
に移動するように構成されたロボットであれば、第１の
駆動軸を、大気側に配置された第１の外輪マグネットか
ら伝達されて真空側に配置された第１の内輪マグネット
を介して駆動することによって、一方のアームにその駆
動を伝達してハンドに保持された基板をＸ軸移動させる
ことができ、また、第２の駆動軸を、大気側に配置され
た第２の外輪マグネットから伝達されて真空側に配置さ
れた第２の内輪マグネットを介して駆動することによっ
て、他方のアームにその駆動を伝達して、第１の駆動軸
で一方のアームを同時に駆動させることも合わせて、基
板をθ回転させることができることから、磁性流体シー
ルを装着することによって生じていた油の飛散やガスの
発生、又は真空状態の遅れの課題を解決することができ
る。さらに、基板のＸ軸移動とθ回転が、第１のモータ
と第２のモータによってそれぞれ駆動されることから、
クラッチを介在することなく、基板を搬送するタクトタ
イムを短縮することが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。実施形態の基板搬送用真空ロボッ
ト（以下、ロボットという）１は、図１〜２に示すよう
に、真空容器３内に収納される搬送部１０と、機台５内
に収納される駆動部３０とを有して構成されている。真
空容器３は機台５の上方に配置されて、駆動軸を真空室
内に収納するために、真空容器３から機台５側に突出す
る隔壁４を備えている。そして、隔壁４を挟んで、一対
の外輪マグネット６１、７１と内輪マグネット６２、７
２で構成されたマグネットカップリング６、７が配置さ
れている。
に基づいて説明する。実施形態の基板搬送用真空ロボッ
ト（以下、ロボットという）１は、図１〜２に示すよう
に、真空容器３内に収納される搬送部１０と、機台５内
に収納される駆動部３０とを有して構成されている。真
空容器３は機台５の上方に配置されて、駆動軸を真空室
内に収納するために、真空容器３から機台５側に突出す
る隔壁４を備えている。そして、隔壁４を挟んで、一対
の外輪マグネット６１、７１と内輪マグネット６２、７
２で構成されたマグネットカップリング６、７が配置さ
れている。
【００１６】真空容器３内に収納される搬送部１０は、
基板Ｗを保持して直線的に移動するＸ軸移動と、基板Ｗ
を回動中心に対して回動させるθ回転移動とを行なうよ
うに構成されていれば、特にその構成に限定されるもの
ではない。
基板Ｗを保持して直線的に移動するＸ軸移動と、基板Ｗ
を回動中心に対して回動させるθ回転移動とを行なうよ
うに構成されていれば、特にその構成に限定されるもの
ではない。
【００１７】実施形態においては、搬送部１０は、一端
どうしで枢着された一対のアーム１４、１５と、アーム
１５の先端に回動可能に配置されるハンド１６と、アー
ム１４のもと部で連結された駆動軸１１、１２とを備え
て構成されている。
どうしで枢着された一対のアーム１４、１５と、アーム
１５の先端に回動可能に配置されるハンド１６と、アー
ム１４のもと部で連結された駆動軸１１、１２とを備え
て構成されている。
【００１８】さらに詳細に説明すれば、隔壁４内に同心
上に配置された二重の駆動軸（第１の駆動軸１１と第２
の駆動軸１２）と、第１の駆動軸１１又は第２の駆動軸
１２の軸心に沿って回動可能に配置される第１のアーム
１４と、第１のアーム１４の先端部で第１のアーム１４
に対して回動可能に配置される第２のアーム１５と、第
２のアーム１５の先端部で第２のアーム１５に対して回
動可能に配置されるハンド１６とを有している。
上に配置された二重の駆動軸（第１の駆動軸１１と第２
の駆動軸１２）と、第１の駆動軸１１又は第２の駆動軸
１２の軸心に沿って回動可能に配置される第１のアーム
１４と、第１のアーム１４の先端部で第１のアーム１４
に対して回動可能に配置される第２のアーム１５と、第
２のアーム１５の先端部で第２のアーム１５に対して回
動可能に配置されるハンド１６とを有している。
【００１９】第１のアーム１４は第１の駆動軸１１に連
結され、第１のアーム１４内には第２の駆動軸１２に連
結される第１プーリ１７と、第２のアーム１５の回動中
心位置に配置される第２プーリ１８と、第１プーリ１７
の回転を第２プーリ１８に伝達するためのベルト１９と
が配置されている。
結され、第１のアーム１４内には第２の駆動軸１２に連
結される第１プーリ１７と、第２のアーム１５の回動中
心位置に配置される第２プーリ１８と、第１プーリ１７
の回転を第２プーリ１８に伝達するためのベルト１９と
が配置されている。
【００２０】第２のアーム１５内には、第１のアーム１
４の第２プーリと同心上に配置される第３プーリ２０
と、ハンド１６の回動中心位置に配置される第４プーリ
２１と、第３プーリ２０の回転を第４プーリ２１に伝達
するためのベルト２２とが配置されている。
４の第２プーリと同心上に配置される第３プーリ２０
と、ハンド１６の回動中心位置に配置される第４プーリ
２１と、第３プーリ２０の回転を第４プーリ２１に伝達
するためのベルト２２とが配置されている。
【００２１】第１の駆動軸１１は第２の駆動軸１２を挿
通して配置されるとともに第１の駆動軸１１の外周面と
第２の駆動軸１２の内周面との間に軸受を介して支持さ
れている。さらに第１の駆動軸１１の一端（下端部）外
周面には、第１のマグネットカップリング６の内輪マグ
ネット６２が装着され、他端（上端部）は第１のアーム
１４に連結されて第１駆動軸１１の回転を第１のアーム
１４に伝達している。
通して配置されるとともに第１の駆動軸１１の外周面と
第２の駆動軸１２の内周面との間に軸受を介して支持さ
れている。さらに第１の駆動軸１１の一端（下端部）外
周面には、第１のマグネットカップリング６の内輪マグ
ネット６２が装着され、他端（上端部）は第１のアーム
１４に連結されて第１駆動軸１１の回転を第１のアーム
１４に伝達している。
【００２２】第２の駆動軸１２は隔壁４に軸受で支持さ
れ、一端（下端部）外周面に第２のマグネットカップリ
ング７の内輪マグネット７２が装着され、他端（上端
部）が第１のアーム１４に軸受で支持されて第１プーリ
１７に連結されている。そして、第２の駆動軸１２の回
転が第１プーリ１７に伝達される。
れ、一端（下端部）外周面に第２のマグネットカップリ
ング７の内輪マグネット７２が装着され、他端（上端
部）が第１のアーム１４に軸受で支持されて第１プーリ
１７に連結されている。そして、第２の駆動軸１２の回
転が第１プーリ１７に伝達される。
【００２３】第２プーリ１８は第１のアーム１４から一
体的に突出した軸部１４１に軸受で支持されるととも
に、上面が第２のアーム１５に連結されている。従っ
て、第１プーリ１７の回転は第２プーリ１８を介して第
２のアーム１５に伝達されることとなる。
体的に突出した軸部１４１に軸受で支持されるととも
に、上面が第２のアーム１５に連結されている。従っ
て、第１プーリ１７の回転は第２プーリ１８を介して第
２のアーム１５に伝達されることとなる。
【００２４】第３プーリ２０は、第２プーリ１８と同心
上に配置されるとともに、第１のアーム１４の軸部１４
１の上面に一体的に連結されている。従って、第３プー
リ２０は、第１のアーム１４の回転によって駆動が伝達
されて回転されることとなる。
上に配置されるとともに、第１のアーム１４の軸部１４
１の上面に一体的に連結されている。従って、第３プー
リ２０は、第１のアーム１４の回転によって駆動が伝達
されて回転されることとなる。
【００２５】第４プーリ２１は、第２のアーム１５から
一体的に突出した軸部１５１に軸受で支持されるととも
に、上面がハンド１６の基端部１６１に一体的に連結さ
れている。そのため、第３プーリ２０の回転が第４プー
リ２１を介してハンド１６に伝達され、ハンド１６は基
端部１６１の回転中心（第４プーリ２１の回転中心）に
対して回転可能に配置されることとなる。
一体的に突出した軸部１５１に軸受で支持されるととも
に、上面がハンド１６の基端部１６１に一体的に連結さ
れている。そのため、第３プーリ２０の回転が第４プー
リ２１を介してハンド１６に伝達され、ハンド１６は基
端部１６１の回転中心（第４プーリ２１の回転中心）に
対して回転可能に配置されることとなる。
【００２６】また、第１プーリ１７と第２プーリ１８と
の回転比が１：２で第３プーリ２０と第４プーリ２１と
の回転比が２：１、さらに第２プーリ１８と第３プーリ
２０とが同心上に配置され、かつ第１プーリ１７と第２
プーリ１８との軸心間距離と、第３プーリ２０と第４プ
ーリ２１との軸心間距離が同一長さに形成されていれ
ば、周知のごとくハンド１６に保持された基板Ｗは、第
１の駆動軸１１の回転により直線的に移動（Ｘ軸移動）
されることとなる。
の回転比が１：２で第３プーリ２０と第４プーリ２１と
の回転比が２：１、さらに第２プーリ１８と第３プーリ
２０とが同心上に配置され、かつ第１プーリ１７と第２
プーリ１８との軸心間距離と、第３プーリ２０と第４プ
ーリ２１との軸心間距離が同一長さに形成されていれ
ば、周知のごとくハンド１６に保持された基板Ｗは、第
１の駆動軸１１の回転により直線的に移動（Ｘ軸移動）
されることとなる。
【００２７】駆動部３０は、機台５内に配置された第１
のモータ３１と第２のモータ３２と、第１のモータ３１
の駆動で回動可能に配置されて隔壁４の外周面に軸受で
支持された第１のハウジング３３と、第１のモータ３１
の上方に配置されるとともに第２のモータ３２の駆動で
回動可能に配置されて隔壁４の外周面で軸受で支持され
た第２のハウジング３４とを有して構成されている。
のモータ３１と第２のモータ３２と、第１のモータ３１
の駆動で回動可能に配置されて隔壁４の外周面に軸受で
支持された第１のハウジング３３と、第１のモータ３１
の上方に配置されるとともに第２のモータ３２の駆動で
回動可能に配置されて隔壁４の外周面で軸受で支持され
た第２のハウジング３４とを有して構成されている。
【００２８】第１のハウジング３３は、第１のモータ３
１の出力軸３１１にプーリ３５とベルト３６を介して連
結されるプーリ部３３１を有するとともに、内部に、第
１のマグネットカップリング６の外輪マグネット６１が
装着され、外輪マグネット６１が隔壁４内に配置されて
いる内輪マグネット６２と隔壁４を隔てて対向するよう
に構成されている。
１の出力軸３１１にプーリ３５とベルト３６を介して連
結されるプーリ部３３１を有するとともに、内部に、第
１のマグネットカップリング６の外輪マグネット６１が
装着され、外輪マグネット６１が隔壁４内に配置されて
いる内輪マグネット６２と隔壁４を隔てて対向するよう
に構成されている。
【００２９】第２のハウジング３４は、第２のモータ３
２の出力軸３２１にプーリ３７とベルト３８を介して連
結されるプーリ部３４１を有するとともに、内部に、第
２のマグネットカップリング７の外輪マグネット７１が
装着され、外輪マグネット７１が隔壁４内に配置されて
いる内輪マグネット７２と隔壁４を隔てて対向するよう
に構成されている。
２の出力軸３２１にプーリ３７とベルト３８を介して連
結されるプーリ部３４１を有するとともに、内部に、第
２のマグネットカップリング７の外輪マグネット７１が
装着され、外輪マグネット７１が隔壁４内に配置されて
いる内輪マグネット７２と隔壁４を隔てて対向するよう
に構成されている。
【００３０】隔壁４は、真空容器３内の真空室と機台５
側の大気とを遮断して、大気が真空室に侵入しないよう
に十分な密閉がされて形成されている。
側の大気とを遮断して、大気が真空室に侵入しないよう
に十分な密閉がされて形成されている。
【００３１】真空室と大気とを隔てて構成されるマグネ
ットカップリング６、７においては、それぞれ外輪マグ
ネット６１、７１と内輪マグネット６２、７２に永久磁
石が備えられていて、外輪マグネット６１、７１の回転
に追随されて内輪マグネット６２、７２が回転される。
ットカップリング６、７においては、それぞれ外輪マグ
ネット６１、７１と内輪マグネット６２、７２に永久磁
石が備えられていて、外輪マグネット６１、７１の回転
に追随されて内輪マグネット６２、７２が回転される。
【００３２】上記のように構成されたロボット１におい
て、ハンド１６に保持された基板ＷをＸ軸移動させる場
合には、第１のモータ３１を駆動させて、第１の駆動軸
１１を回転させることによって第１のアーム１４を回転
させる。この際、第１のモータ３１の駆動は大気側に配
置されている第１のハウジング３３を回転させ、第１の
ハウジング３３の回転に伴って外輪マグネット６１が回
転される。外輪マグネット６１の回転は、隔壁４を通じ
て磁束が流れ、外輪マグネット６１と内輪マグネット６
２との間に磁力が発生することから、隔壁４を隔てて配
置される内輪マグネット６２に伝達されて内輪マグネッ
ト６２を回転させることになる。そして、内輪マグネッ
ト６２を装着した第１の駆動軸１１が回転されて第１の
アーム１４を回転させることとなる。
て、ハンド１６に保持された基板ＷをＸ軸移動させる場
合には、第１のモータ３１を駆動させて、第１の駆動軸
１１を回転させることによって第１のアーム１４を回転
させる。この際、第１のモータ３１の駆動は大気側に配
置されている第１のハウジング３３を回転させ、第１の
ハウジング３３の回転に伴って外輪マグネット６１が回
転される。外輪マグネット６１の回転は、隔壁４を通じ
て磁束が流れ、外輪マグネット６１と内輪マグネット６
２との間に磁力が発生することから、隔壁４を隔てて配
置される内輪マグネット６２に伝達されて内輪マグネッ
ト６２を回転させることになる。そして、内輪マグネッ
ト６２を装着した第１の駆動軸１１が回転されて第１の
アーム１４を回転させることとなる。
【００３３】また、基板Ｗをθ回転移動させる場合に
は、第１のアーム１４と第２のアーム１５とを同時に同
じ回転で回転させることによって行なう。第１のアーム
１４と第２のアーム１５とを駆動させるには、第１のモ
ータ３１と第２のモータ３２を同時に回転させて、第１
のマグネットカップリング６及び第２のマグネットカッ
プリング７を介して第１の駆動軸１１と第２の駆動軸１
２とを駆動させる。
は、第１のアーム１４と第２のアーム１５とを同時に同
じ回転で回転させることによって行なう。第１のアーム
１４と第２のアーム１５とを駆動させるには、第１のモ
ータ３１と第２のモータ３２を同時に回転させて、第１
のマグネットカップリング６及び第２のマグネットカッ
プリング７を介して第１の駆動軸１１と第２の駆動軸１
２とを駆動させる。
【００３４】但し、実施形態の場合、真空容器３は、搬
送部１０のθ回転を行なう本体室３ａと、本体室３ａか
ら突出されて基板Ｗの処理が行なわれる処理室３ｂとが
形成されているため、ハンド１６が伸長された位置にあ
れば、第１の駆動軸１１を回転させてハンド１６を本体
室にＸ軸移動させてから、第１の駆動軸１１と第２の駆
動軸１２とを駆動させてθ回転を行なうことになる。
送部１０のθ回転を行なう本体室３ａと、本体室３ａか
ら突出されて基板Ｗの処理が行なわれる処理室３ｂとが
形成されているため、ハンド１６が伸長された位置にあ
れば、第１の駆動軸１１を回転させてハンド１６を本体
室にＸ軸移動させてから、第１の駆動軸１１と第２の駆
動軸１２とを駆動させてθ回転を行なうことになる。
【００３５】上記のロボット１は、伸縮可能な一対のア
ームを有してＸ軸移動又はθ回転移動させるように構成
されているものであるが、例えば、１個のアームが回転
軸に対して、一方の方向に進退可能に構成されているロ
ボットでも、マグネットカップリングを介して駆動させ
ることができる。
ームを有してＸ軸移動又はθ回転移動させるように構成
されているものであるが、例えば、１個のアームが回転
軸に対して、一方の方向に進退可能に構成されているロ
ボットでも、マグネットカップリングを介して駆動させ
ることができる。
【００３６】例えば、第１のモータに駆動されるマグネ
ットカップリングを介して第１の駆動軸を、回転運動を
直線運動に変換する機構を介してアームに連結させて、
アームを進退可能に配置する。そして第２のモータで駆
動されるマグネットカップリングで第２の駆動軸として
の回転軸を回転させるように構成する。マグネットカッ
プリングは、隔壁を隔てて、真空室内の第１の駆動軸及
び回転軸にそれぞれ内輪マグネットを装着して、隔壁の
外部に配置されるそれぞれの外輪マグネットを第１のモ
ータ又は第２のモータで駆動すれば、１個のアームに保
持された基板はＸ軸移動及びθ回転移動を行なうことが
できる。
ットカップリングを介して第１の駆動軸を、回転運動を
直線運動に変換する機構を介してアームに連結させて、
アームを進退可能に配置する。そして第２のモータで駆
動されるマグネットカップリングで第２の駆動軸として
の回転軸を回転させるように構成する。マグネットカッ
プリングは、隔壁を隔てて、真空室内の第１の駆動軸及
び回転軸にそれぞれ内輪マグネットを装着して、隔壁の
外部に配置されるそれぞれの外輪マグネットを第１のモ
ータ又は第２のモータで駆動すれば、１個のアームに保
持された基板はＸ軸移動及びθ回転移動を行なうことが
できる。
【００３７】上述のように、ロボット１は、一対のアー
ム１４、１５を有してハンド１６に保持された基板Ｗを
直線的に移動するように構成されていることから、第１
の駆動軸１１を、大気側に配置された第１の外輪マグネ
ット６１から伝達されて真空側に配置された第１の内輪
マグネット６２を介して駆動することによって、一方の
アーム１４にその駆動を伝達してハンド１６に保持され
た基板をＸ軸移動させることができ、また、第２の駆動
軸１２を、大気側に配置された第２の外輪マグネット７
１から伝達されて真空側に配置された第２の内輪マグネ
ット７２を介して駆動することによって、他方のアーム
１５にその駆動を伝達して、第１の駆動軸１１で一方の
アーム１４を同時に駆動させることを合わせて、基板Ｗ
をθ回転させることができることから、磁性流体シール
を装着することによって生じていた油の飛散やガスの発
生、又は真空状態の遅れの課題を解決することができ
る。さらに、基板ＷのＸ軸移動とθ回転が、第１のモー
タ３１と第２のモータ３２によってそれぞれ駆動される
ことから、クラッチを介在することなく、基板Ｗを搬送
するタクトタイムを短縮することが可能となる。
ム１４、１５を有してハンド１６に保持された基板Ｗを
直線的に移動するように構成されていることから、第１
の駆動軸１１を、大気側に配置された第１の外輪マグネ
ット６１から伝達されて真空側に配置された第１の内輪
マグネット６２を介して駆動することによって、一方の
アーム１４にその駆動を伝達してハンド１６に保持され
た基板をＸ軸移動させることができ、また、第２の駆動
軸１２を、大気側に配置された第２の外輪マグネット７
１から伝達されて真空側に配置された第２の内輪マグネ
ット７２を介して駆動することによって、他方のアーム
１５にその駆動を伝達して、第１の駆動軸１１で一方の
アーム１４を同時に駆動させることを合わせて、基板Ｗ
をθ回転させることができることから、磁性流体シール
を装着することによって生じていた油の飛散やガスの発
生、又は真空状態の遅れの課題を解決することができ
る。さらに、基板ＷのＸ軸移動とθ回転が、第１のモー
タ３１と第２のモータ３２によってそれぞれ駆動される
ことから、クラッチを介在することなく、基板Ｗを搬送
するタクトタイムを短縮することが可能となる。
【図１】本発明の一形態を示す基板搬送用真空ロボット
の断面図である。
の断面図である。
【図２】図１におけるII−II断面図である。
【図３】磁性流体シールを装着した従来の真空用ロボッ
トを示す断面図である。
トを示す断面図である。
１…ロボット（基板搬送用真空ロボット） ３…真空容器 ４…隔壁 ５…機台 ６、７…マグネットカップリング １０…搬送部 １１…第１の駆動軸 １２…第２の駆動軸 １４…第１のアーム １５…第２のアーム １６…ハンド １７…第１プーリ（伝達部材） ３０…駆動部 ３１…第１のモータ ３２…第２のモータ ６１、７１…外輪マグネット ６２、７２…内輪マグネット Ｗ…基板
Claims (3)
- 【請求項１】 基板を保持して搬送する搬送部と、前記
基板を直線的に移動するＸ軸移動及び前記基板を回動中
心に沿って回動するθ回転移動を行なわせる駆動部と、
を有し、前記搬送部が真空容器内に配設され、前記駆動
部が大気側に配設されている基板搬送用真空ロボットで
あって、 前記真空容器は、大気側と隔てるために前記駆動部側に
突出する隔壁部を有し、前記基板をＸ軸移動又はθ回転
移動するために前記搬送部に連結された駆動軸が、前記
隔壁部内に配設されるとともにマグネットカップリング
に連結され、 前記マグネットカップリングが、前記駆動軸に装着され
て永久磁石を有する内輪マグネットと、前記隔壁部の外
側で支持されて永久磁石を有する外輪マグネットと、を
有して構成されていることを特徴とする基板搬送用真空
ロボット。 - 【請求項２】 前記駆動軸が、少なくともＸ軸移動する
ために前記搬送部に連結された第１の駆動軸と、少なく
ともθ回転するために前記搬送部に連結された第２の駆
動軸と、を有し、前記第１の駆動軸が前記駆動部内の第
１のモータで駆動され、前記第２の駆動軸が前記駆動部
内の第２のモータで駆動されることを特徴とする請求項
１記載の基板搬送用真空ロボット。 - 【請求項３】 基板を保持して搬送する搬送部と、前記
基板を直線的に移動するＸ軸移動及び前記基板を回動中
心に沿って回動するθ回転移動を行なわせる駆動部と、
を有し、前記搬送部が真空容器内に配設され、前記駆動
部が大気側に配設されている基板搬送用真空ロボットで
あって、 前記真空容器は、大気側と隔てるために前記駆動部側に
突出する隔壁部を有し、 前記搬送部が、前記基板を直線的に移動させるために、
それぞれ一端で軸支された一対のアームと、前記基板を
保持するハンドと、一方のアーム内に配設されて他方の
アームを回動駆動する伝達部材と、を有して構成され、 前記一方のアームは、前記隔壁内に配設された第１の駆
動軸の一端に連結され、前記伝達部材が、前記第１の駆
動軸と同心上に配置された第２の駆動軸の一端に連結さ
れ、 前記第１の駆動軸の他端には、前記隔壁の内部に配設さ
れて永久磁石を有する第１の内輪マグネットが装着さ
れ、前記第１の内輪マグネットは、前記隔壁の外部に配
設されて第１のモータにより回動駆動された永久磁石を
有する第１の外輪マグネットとともに回動駆動され、 前記第２の駆動軸の他端には、前記隔壁の内部に配設さ
れて永久磁石を有する第２の内輪マグネットが装着さ
れ、前記第２の内輪マグネットは、前記隔壁の外部に配
設されて第２のモータにより回動駆動された永久磁石を
有する第２の外輪マグネットとともに回動駆動されてい
ることを特徴とする基板搬送用真空ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000257988A JP2002066976A (ja) | 2000-08-28 | 2000-08-28 | 基板搬送用真空ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000257988A JP2002066976A (ja) | 2000-08-28 | 2000-08-28 | 基板搬送用真空ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002066976A true JP2002066976A (ja) | 2002-03-05 |
Family
ID=18746363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000257988A Pending JP2002066976A (ja) | 2000-08-28 | 2000-08-28 | 基板搬送用真空ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002066976A (ja) |
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-
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- 2000-08-28 JP JP2000257988A patent/JP2002066976A/ja active Pending
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