JP2002054822A - クリーンルーム用空調機 - Google Patents
クリーンルーム用空調機Info
- Publication number
- JP2002054822A JP2002054822A JP2000240906A JP2000240906A JP2002054822A JP 2002054822 A JP2002054822 A JP 2002054822A JP 2000240906 A JP2000240906 A JP 2000240906A JP 2000240906 A JP2000240906 A JP 2000240906A JP 2002054822 A JP2002054822 A JP 2002054822A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating coil
- air
- clean room
- humidifying
- condensed water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F6/00—Air-humidification, e.g. cooling by humidification
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
- Air Humidification (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加熱コイルに供給される熱量の全てを有効に
利用し、効率のよい加湿を行うことができるクリーンル
ーム用空調機を提供すること。 【解決手段】 クリーンルームの温湿度条件を満たすよ
う供給空気を処理する空調機において、外気を加熱する
加熱コイル２と外気中のケミカル成分を除去する加湿モ
ジュール３を具備し、前記加熱コイル２が加湿モジュー
ル３の前段に配置されており、前記加熱コイル２の凝縮
水及び余剰蒸気を凝縮水槽５に貯留し、後段の加湿モジ
ュール３への供給水としたクリーンルーム用空調機であ
る。
利用し、効率のよい加湿を行うことができるクリーンル
ーム用空調機を提供すること。 【解決手段】 クリーンルームの温湿度条件を満たすよ
う供給空気を処理する空調機において、外気を加熱する
加熱コイル２と外気中のケミカル成分を除去する加湿モ
ジュール３を具備し、前記加熱コイル２が加湿モジュー
ル３の前段に配置されており、前記加熱コイル２の凝縮
水及び余剰蒸気を凝縮水槽５に貯留し、後段の加湿モジ
ュール３への供給水としたクリーンルーム用空調機であ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加湿モジュールを
用いたクリーンルーム用空調機に関する。
用いたクリーンルーム用空調機に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーンルーム内への外気の取り
入れには、温湿度のコントロールが必要であり、湿度の
高い夏期には冷却コイルで除湿冷却し、湿度の低い冬期
には加熱コイルと加湿器により加熱・加湿し、コントロ
ールしている。この時、夏期の除湿時には、水分凝縮に
より有害なケミカル成分が除去されるが、冬期には除去
されないという問題があり、我々は年間を通じて除湿に
よりケミカル成分が除去できるシステムを提案した。一
般的に、冬期の加湿には蒸気または加湿モジュールが用
いられており、加湿モジュールを用いる場合は、加湿量
に応じて加湿モジュールを多段に設置する方法が取られ
ている。
入れには、温湿度のコントロールが必要であり、湿度の
高い夏期には冷却コイルで除湿冷却し、湿度の低い冬期
には加熱コイルと加湿器により加熱・加湿し、コントロ
ールしている。この時、夏期の除湿時には、水分凝縮に
より有害なケミカル成分が除去されるが、冬期には除去
されないという問題があり、我々は年間を通じて除湿に
よりケミカル成分が除去できるシステムを提案した。一
般的に、冬期の加湿には蒸気または加湿モジュールが用
いられており、加湿モジュールを用いる場合は、加湿量
に応じて加湿モジュールを多段に設置する方法が取られ
ている。
【０００３】従来公知の一般的な加湿モジュールは、ケ
ーシング内に多数の加湿フアイバーが垂直にならべて設
置されており、給水口から流入した水が上部から加湿フ
ァイバーを伝わって均一に流れた後、利用されなかった
水は加湿ファイバー下部の排水受に溜まり、排水口から
排水されるように構成されている。加湿は、加湿ファイ
バーが吸水しているときに、空気がファン等で加湿ファ
イバーと強制的に接触させられて行われる。
ーシング内に多数の加湿フアイバーが垂直にならべて設
置されており、給水口から流入した水が上部から加湿フ
ァイバーを伝わって均一に流れた後、利用されなかった
水は加湿ファイバー下部の排水受に溜まり、排水口から
排水されるように構成されている。加湿は、加湿ファイ
バーが吸水しているときに、空気がファン等で加湿ファ
イバーと強制的に接触させられて行われる。
【０００４】外調機用の加湿モジュールを空調機内に多
段に設置することも知られている。加湿モジュールは空
調機内に配置され、加湿のため、市水、一次純水又は超
純水が給水されている。また、冬期、外気温度が低い場
合には、空気の飽和絶対水分量が小さいため、図３に示
したように、予め加熱コイル２で外気を暖め、飽和絶対
水分量を大きくしてから、加湿モジュール３で加湿して
いる。しかし、従来の加湿モジュールを用いた外調機用
ケミカル除去装置では、冬期に外気温度が低い場合、ま
ず、加熱コイルで外気を暖める必要があるが、加熱コイ
ルで消費される熱量の全てが外気側に移行するわけでは
なく、熱量の一部は凝縮水とともに蒸気として加熱コイ
ルから排出され、熱量が完全には利用されないという欠
点がある。
段に設置することも知られている。加湿モジュールは空
調機内に配置され、加湿のため、市水、一次純水又は超
純水が給水されている。また、冬期、外気温度が低い場
合には、空気の飽和絶対水分量が小さいため、図３に示
したように、予め加熱コイル２で外気を暖め、飽和絶対
水分量を大きくしてから、加湿モジュール３で加湿して
いる。しかし、従来の加湿モジュールを用いた外調機用
ケミカル除去装置では、冬期に外気温度が低い場合、ま
ず、加熱コイルで外気を暖める必要があるが、加熱コイ
ルで消費される熱量の全てが外気側に移行するわけでは
なく、熱量の一部は凝縮水とともに蒸気として加熱コイ
ルから排出され、熱量が完全には利用されないという欠
点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の従来
技術の欠点を解消し、加熱コイルに供給される熱量の全
てを有効に利用し、効率のよい加湿を行うことができる
クリーンルーム用空調機を提供することを目的とする。
技術の欠点を解消し、加熱コイルに供給される熱量の全
てを有効に利用し、効率のよい加湿を行うことができる
クリーンルーム用空調機を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、加熱コイルに
供給される蒸気が加熱コイルを通過した後、蒸気が冷却
されてできた凝縮水及び利用されなかった蒸気を貯溜す
る凝縮水槽を設け、貯溜した凝縮水を、加熱コイルの後
段の加湿モジュールに供給できるように構成することに
よって上記の課題を達成したものである。すなわち、本
発明は、クリーンルームの温湿度条件を満たすよう供給
空気を処理する空調機において、外気を加熱する加熱コ
イルと外気中のケミカル成分を除去する加湿モジュール
を具備し、前記加熱コイルが加湿モジュールの前段に配
置されており、前記加熱コイルの凝縮水を後段の加湿モ
ジュールの供給水として使用できるように構成したこと
を特徴とするクリーンルーム用空調機を提供するもので
ある。
供給される蒸気が加熱コイルを通過した後、蒸気が冷却
されてできた凝縮水及び利用されなかった蒸気を貯溜す
る凝縮水槽を設け、貯溜した凝縮水を、加熱コイルの後
段の加湿モジュールに供給できるように構成することに
よって上記の課題を達成したものである。すなわち、本
発明は、クリーンルームの温湿度条件を満たすよう供給
空気を処理する空調機において、外気を加熱する加熱コ
イルと外気中のケミカル成分を除去する加湿モジュール
を具備し、前記加熱コイルが加湿モジュールの前段に配
置されており、前記加熱コイルの凝縮水を後段の加湿モ
ジュールの供給水として使用できるように構成したこと
を特徴とするクリーンルーム用空調機を提供するもので
ある。
【０００７】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら本発明
の空調機を説明する。図1は、本発明の一実施例を示す
説明図である。この空調機は、ダクト１内に設けられた
加熱コイル２、加湿モジュール３、冷却コイル４及び凝
縮水槽５から成る。加熱コイル２を通過した蒸気は、大
部分の熱量を加熱コイル２で奪われることにより凝縮水
となり、余剰蒸気及び凝縮水となって加熱コイル２から
排出される。排出された余剰蒸気及び凝縮水は、凝縮水
槽５に貯溜され、そこから配管を通り加湿モジュール３
に供給されて加湿水として利用される。この実施例によ
れば、従来技術に比べて、加熱コイル２に供給された蒸
気が持つ熱量を有効に利用できるとともに、加湿モジュ
ール３に供給する加湿水として凝縮水を利用できること
から市水等の水量削減ができる。また、市水に比べ、凝
縮水の温度が高いことから、加湿効率が著しく向上す
る。
の空調機を説明する。図1は、本発明の一実施例を示す
説明図である。この空調機は、ダクト１内に設けられた
加熱コイル２、加湿モジュール３、冷却コイル４及び凝
縮水槽５から成る。加熱コイル２を通過した蒸気は、大
部分の熱量を加熱コイル２で奪われることにより凝縮水
となり、余剰蒸気及び凝縮水となって加熱コイル２から
排出される。排出された余剰蒸気及び凝縮水は、凝縮水
槽５に貯溜され、そこから配管を通り加湿モジュール３
に供給されて加湿水として利用される。この実施例によ
れば、従来技術に比べて、加熱コイル２に供給された蒸
気が持つ熱量を有効に利用できるとともに、加湿モジュ
ール３に供給する加湿水として凝縮水を利用できること
から市水等の水量削減ができる。また、市水に比べ、凝
縮水の温度が高いことから、加湿効率が著しく向上す
る。
【０００８】図2は、本発明の別の実施例を示す説明図
である。図１に示した実施例と異なる点は、凝縮水槽５
と加湿モジュール３の間に定流量ポンプ６を設けたこと
である。これにより、加湿モジュール３に一定量で凝縮
水を供給できる効果を得ることができ、ケミカル除去も
常に充分に行われることとなる。
である。図１に示した実施例と異なる点は、凝縮水槽５
と加湿モジュール３の間に定流量ポンプ６を設けたこと
である。これにより、加湿モジュール３に一定量で凝縮
水を供給できる効果を得ることができ、ケミカル除去も
常に充分に行われることとなる。
【０００９】なお、図１〜図３において、破線で示す矢
印は、外気の流動方向を示し、実線で示す矢印は、蒸
気、加湿水及び冷却水の流動方向を示す。
印は、外気の流動方向を示し、実線で示す矢印は、蒸
気、加湿水及び冷却水の流動方向を示す。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、加熱コイルに供給され
る蒸気が持つ熱量を全て有効に活用できるとともに、加
湿モジュールに供給する加湿水に凝縮水を利用できるこ
とから市水等の水量を低減でき、また、市水に比べて、
凝縮水の温度が高いことから、加湿効率が著しく向上す
る。
る蒸気が持つ熱量を全て有効に活用できるとともに、加
湿モジュールに供給する加湿水に凝縮水を利用できるこ
とから市水等の水量を低減でき、また、市水に比べて、
凝縮水の温度が高いことから、加湿効率が著しく向上す
る。
【図１】本発明の一実施例を示す空調機の説明図であ
る。
る。
【図２】本発明の別の実施例を示す空調機の説明図であ
る。
る。
【図３】従来の空調機の説明図である。
１ ダクト ２ 加熱コイル ３ 加湿モジュール ４ 冷却コイル ５ 凝縮水槽 ６ 定流量ポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平田 順太 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 Ｆターム(参考） 3L053 BC05 3L055 AA10 BA01 DA01 3L058 BF09
Claims (2)
- 【請求項１】 クリーンルームの温湿度条件を満たすよ
う供給空気を処理する空調機において、外気を加熱する
加熱コイルと外気中のケミカル成分を除去する加湿モジ
ュールを具備し、前記加熱コイルが加湿モジュールの前
段に配置されており、前記加熱コイルの凝縮水を後段の
加湿モジュールの供給水として使用できるように構成し
たことを特徴とするクリーンルーム用空調機。 - 【請求項２】 加熱コイルを通過した余剰蒸気及び凝縮
水を貯留する凝縮水槽を設け、その凝縮水を加湿モジュ
ールに供給水として導入する請求項１記載のクリーンル
ーム用空調機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000240906A JP2002054822A (ja) | 2000-08-09 | 2000-08-09 | クリーンルーム用空調機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000240906A JP2002054822A (ja) | 2000-08-09 | 2000-08-09 | クリーンルーム用空調機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002054822A true JP2002054822A (ja) | 2002-02-20 |
Family
ID=18732187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000240906A Pending JP2002054822A (ja) | 2000-08-09 | 2000-08-09 | クリーンルーム用空調機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002054822A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009243791A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調機および空調方法 |
| KR101272522B1 (ko) | 2011-09-02 | 2013-06-10 | 현대자동차주식회사 | 응축수 열원 재활용 공조장치 |
| CN116576565A (zh) * | 2023-07-12 | 2023-08-11 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种空调器清洁装置、空调器及控制方法 |
-
2000
- 2000-08-09 JP JP2000240906A patent/JP2002054822A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009243791A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調機および空調方法 |
| KR101272522B1 (ko) | 2011-09-02 | 2013-06-10 | 현대자동차주식회사 | 응축수 열원 재활용 공조장치 |
| CN116576565A (zh) * | 2023-07-12 | 2023-08-11 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种空调器清洁装置、空调器及控制方法 |
| CN116576565B (zh) * | 2023-07-12 | 2023-09-29 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种空调器清洁装置、空调器及控制方法 |
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