JP2001320163A - Reflow device and its board heating method - Google Patents
Reflow device and its board heating methodInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント回路基板
に電子部品を半田付けするためのリフロー装置の基板加
熱方法及びその構造に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for heating a substrate of a reflow apparatus for soldering electronic components to a printed circuit board and its structure.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、プリント回路基板に電子部品を半
田付けして実装するためのリフロー装置の基板加熱方法
には、基板を一定の速度でリフロー装置の入り口から出
口まで連続搬送しながら加熱炉体部を通過させて基板の
全体を加熱する方法や、この基板全体の加熱で昇温し難
い部品は、後付け工程において直接かつ局所的な熱風を
吹き付けて後付けする方法、例えば熱容量の大きなQF
Pなどの部品で他の表面実装部品と同時に基板全体の加
熱により一括リフローできない部品を熱風を使って局所
的に後付けする方法が知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, a substrate heating method of a reflow apparatus for soldering and mounting electronic components on a printed circuit board includes a heating furnace while continuously transporting a substrate at a constant speed from an entrance to an exit of the reflow apparatus. The method of heating the entire board by passing through the body part, or the method of directly and locally blowing hot air in the post-attachment step for post-installation of parts that are difficult to raise the temperature by heating the entire board, for example, QF having a large heat capacity
There is known a method in which a component such as P, which cannot be reflowed collectively by heating the entire board at the same time as other surface-mounted components, is locally retrofitted using hot air.
【0003】図5は、この一括リフローできない部品を
後付けする方法を示し、1はプリント回路の基板、1a
は基板1に実装された各種電子部品、1cは各種電子部
品1aの内で後付けする後付け電子部品(例えばQF
P)、2aは後付け電子部品1cに局所的に熱風を吹き
つけるようにした熱風吹き出しノズル、3は熱風吹き出
しノズル2aへ空気を送る経路2の途中に設けたヒータ
である。FIG. 5 shows a method of retrofitting a component which cannot be reflowed at one time, 1 is a printed circuit board, 1a
Denotes various electronic components mounted on the substrate 1 and 1c denotes a retrofit electronic component (for example, QF
P), 2a are hot air blowing nozzles for locally blowing hot air to the retrofit electronic component 1c, and 3 is a heater provided in the middle of the path 2 for sending air to the hot air blowing nozzle 2a.
【0004】このような構成において、一括リフローで
きない基板1における後付け電子部品1cのリード部1
bを、熱風吹き出しノズル2aからの熱風により局所的
に加熱して半田付けするようにしている。[0004] In such a configuration, the lead portion 1 of the retrofit electronic component 1c on the substrate 1 that cannot be reflowed collectively.
b is locally heated by hot air from the hot air blowing nozzle 2a and soldered.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の後付け熱風局所加熱方法では、後付け作業による工
程増、ヒータによる常温エアーの再加熱によるエネルギ
ーロス増という問題がある。However, the above-described conventional hot air local heating method has a problem in that the number of steps increases due to the retrofitting operation, and energy loss increases due to reheating of room temperature air by a heater.
【0006】また、通常の基板全体加熱方法では、実装
基板上には様々な電子部品が搭載され、この基板上の部
品配置により熱容量差が生じ、それと共に電子部品のそ
れぞれに耐熱温度と耐熱保証時間が規定されているた
め、一定時間内に基板上の温度ばらつきを最小にする必
要があるが、このような基板を、全体に均一加熱してい
ては、基板上の温度差を所定の時間内に所定の範囲内に
納めることができない基板が出てくるという問題があ
る。[0006] In the usual method of heating the whole substrate, various electronic components are mounted on the mounting substrate, and a difference in heat capacity occurs due to the disposition of the components on the substrate. Since the time is specified, it is necessary to minimize the temperature variation on the substrate within a certain period of time. There is a problem that a substrate that cannot be accommodated within a predetermined range comes out.
【0007】そこで本発明は上記問題点に鑑み、耐熱温
度の低い電子部品を保護しつつ、熱容量の大きな電子部
品も同時に一括リフロー半田付けすることができるよう
にしたリフロー装置およびその基板加熱方法を提供する
ことを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, the present invention provides a reflow apparatus and a substrate heating method for protecting an electronic component having a low heat-resistant temperature and simultaneously reflow soldering an electronic component having a large heat capacity. The purpose is to provide.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のリフロー装置の基板加熱方法では、電子
部品が搭載されかつ接合箇所にクリーム半田が付与され
たプリント回路の基板を、炉体部内の所定の場所に保持
して熱風を吹き付けることにより加熱するリフロー装置
の基板加熱方法において、基板の被加熱面全体を略均一
な状態で熱風を吹きつけることにより加熱すると共に、
基板の特定部分に局所的に熱風を吹きつけることで他の
部分より多くの熱風エネルギーを供給するようにしたこ
とを特徴としている。In order to achieve the above object, a substrate heating method for a reflow apparatus according to the present invention comprises the steps of: (a) mounting a printed circuit board on which electronic components are mounted and cream solder is applied to joints; In the substrate heating method of the reflow apparatus, in which the substrate is heated by blowing hot air while being held at a predetermined position in the furnace body portion, the entire heated surface of the substrate is heated by blowing hot air in a substantially uniform state,
It is characterized in that hot air is blown locally to a specific portion of the substrate to supply more hot air energy than other portions.
【0009】また、本発明のリフロー装置は、電子部品
が搭載されかつ接合箇所にクリーム半田が付与されたプ
リント回路の基板を搬送する搬送部と、基板を加熱する
炉体部と、加熱される基板を所定の場所に保持する基板
保持部と、所定の場所に保持された基板の被加熱面全体
を略均一な状態で熱風を吹き付けることにより加熱する
熱風吹き出し構成部と、この熱風吹き出し構成部と保持
された基板との間に配置された基板の特定部分に局所的
に熱風を吹きつけて他の部分より多くの熱風エネルギー
を供給するようにしたノズル構成部とを備えたことを特
徴としている。Further, the reflow apparatus of the present invention has a transfer section for transferring a printed circuit board on which electronic components are mounted and cream solder is applied to a joint, a furnace section for heating the board, and a heating section. A substrate holding portion for holding the substrate at a predetermined location, a hot air blowing component for heating the entire heated surface of the substrate held at the predetermined location by blowing hot air in a substantially uniform state, and a hot air blowing component And a nozzle component configured to locally blow hot air to a specific portion of the substrate disposed between the held substrate and to supply more hot air energy to other portions. I have.
【0010】このような方法および装置では、基板の被
加熱面積全体を略均一な状態で熱風を吹きつけること
で、耐熱温度の低い電子部品の昇温に基板全体の加熱を
合わせこみ、熱容量の大きなQFP等の電子部品につい
ては、この基板全体の加熱だけでは昇温温度が不足する
ことを補うように、局所的に熱風を吹きつけることで他
の部分より多くの熱風エネルギーを供給し加熱を促進さ
せることができる。このように熱容量の大きなQFP等
の電子部品における被加熱部分に与える熱風エネルギー
を増加させることにより熱容量の小さな耐熱温度の低い
弱耐熱電子部品(例えばアルミ電解コンデンサー) を保
護しつつ熱容量の大きな電子部品も同時に全体加熱によ
り一括リフロー半田付けすることができるので、後付け
工程が不要となって半田付け工程が簡略化され、それと
相俟って後付けする際の再加熱も行なう必要がなくなり
省エネ化が達成される。[0010] In such a method and apparatus, hot air is blown over the entire heated area of the substrate in a substantially uniform state, so that the heating of the entire substrate is matched with the temperature rise of the electronic component having a low heat-resistant temperature, and the heat capacity is reduced. For electronic components such as large QFPs, by supplying hot air more locally than by other parts, heating is performed by blowing hot air locally so as to compensate for insufficient heating temperature by heating the entire substrate. Can be promoted. In this way, by increasing the hot air energy applied to a heated part of an electronic component such as a QFP having a large heat capacity, an electronic component having a large heat capacity while protecting a weak heat-resistant electronic component having a small heat capacity and a low heat resistance temperature (for example, an aluminum electrolytic capacitor). In addition, simultaneous reflow soldering can be performed by heating the entire unit, eliminating the need for a post-installation process, simplifying the soldering process, and eliminating the need for reheating during post-installation. Is done.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明におけるいくつかの
好適な実施の形態について図1〜図4を参照しながら説
明し、本発明の理解に供する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Some preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 4 to provide an understanding of the present invention.
【0012】図1に示すリフロー装置において、電子部
品1aが搭載されかつ接合箇所にクリーム半田が付与さ
れたプリント回路の基板1と、この基板1を搬送する搬
送部4と、搬送される基板1を加熱する炉体部5とを備
え、この基板1を加熱する炉体部5は、第一予熱部5
a、第二予熱部5b、リフロー部5cより構成されてい
る。In the reflow apparatus shown in FIG. 1, a printed circuit board 1 on which electronic components 1a are mounted and cream solder is applied to joints, a transfer section 4 for transferring the board 1, and a transferred board 1 And a furnace body 5 for heating the substrate 1. The furnace body 5 for heating the substrate 1 is provided with a first preheating section 5
a, a second preheating section 5b, and a reflow section 5c.
【0013】この炉体部5に搬送された基板1は、第1
予熱部5a、第2予熱部5bで予備加熱された後、リフ
ロー部5cで本加熱されリフロー半田付けがなされる。
図2に示すリフロー部5cにおいて、加熱される基板1
を所定の場所に保持する基板保持部としてのストッパー
6を設けている。第2予熱部5bで予備加熱された基板
1は、このストッパー6によりこのリフロー部5cにお
ける炉体内の所定の位置に一定時間停止される。The substrate 1 transferred to the furnace body 5 is
After being preheated by the preheating section 5a and the second preheating section 5b, the preheating is performed by the reflow section 5c to perform reflow soldering.
In the reflow section 5c shown in FIG.
A stopper 6 is provided as a substrate holding unit for holding the substrate 6 in a predetermined place. The substrate 1 preheated by the second preheating section 5b is stopped by the stopper 6 at a predetermined position in the furnace inside the reflow section 5c for a predetermined time.
【0014】このリフロー部5cは、基板1の被加熱面
積全体を略均一な状態で熱風を吹きつける熱風吹き出し
構成部Aと、ストッパー6により保持された基板1との
間に所定の温度に達しない基板1の特定部分に局所的に
熱風を吹きつけて他の部分より多くの熱風エネルギーを
供給するようにしたノズル構成部Bとを備えている。The reflow unit 5 c reaches a predetermined temperature between the hot air blow-out component A for blowing hot air in a substantially uniform state over the entire heated area of the substrate 1 and the substrate 1 held by the stopper 6. And a nozzle component B configured to blow hot air locally onto a specific portion of the substrate 1 not to supply more hot air energy than other portions.
【0015】熱風吹き出し構成部Aは、熱源である赤外
線ヒータ9と、この赤外線ヒータ9の上方に配置されて
駆動モータ7で回転駆動されるファン8と、この赤外線
ヒータ9の下方に配置された熱風送風チャンバー10
と、この熱風送風チャンバー10に保持されるとともに
多数の熱風吹き出し口11を有するマスク板12と、熱
風を一定温度に保つための温度検出センサ13を備えて
いる。The hot air blow-out component A is provided with an infrared heater 9 as a heat source, a fan 8 disposed above the infrared heater 9 and rotated by a drive motor 7, and disposed below the infrared heater 9. Hot air blowing chamber 10
And a mask plate 12 held in the hot air blowing chamber 10 and having a large number of hot air outlets 11, and a temperature detection sensor 13 for keeping the hot air at a constant temperature.
【0016】このリフロー部5cにおいては、ファン8
からの送風がヒータ9にて加熱されることにより熱風と
なり、この熱風が熱風吹き出し口11から基板1の被加
熱面積全体に向け略均一な状態で吹き出され、その後炉
体内を循環する。In the reflow section 5c, the fan 8
The air blown from the heater 9 is heated by the heater 9 to become hot air, and this hot air is blown out from the hot air blowing port 11 in a substantially uniform state toward the entire heated area of the substrate 1 and thereafter circulates in the furnace.
【0017】前記熱風吹き出し構成部Aは、図2に示す
ように基板1の上方及び下方にそれぞれ配設している。
このように基板1の上下から基板1の面積以上の面積に
亘ってほぼ均一に熱風を吹きつけることにより、基板1
の被加熱面積全体を所定温度まで均一に短時間で昇温さ
せることができる。As shown in FIG. 2, the hot air blow-out components A are disposed above and below the substrate 1, respectively.
By blowing hot air substantially uniformly over the area equal to or larger than the area of the substrate 1 from above and below the substrate 1,
Can be uniformly heated to a predetermined temperature in a short time.
【0018】ノズル構成Bは、図2、図3に示すよう
に、上側の熱風吹き出し構成部Aと基板1との間に、圧
送されてくる空気を受入れるパイプ14を配置し、この
パイプ14に所定の温度に達しない基板1の特定部分の
略直上に相当する位置に熱風を吹きつけるための吹き出
し孔15を複数穿設している。As shown in FIGS. 2 and 3, the nozzle structure B is provided with a pipe 14 for receiving the pressure-fed air between the upper hot-air blow-out component A and the substrate 1. A plurality of blowout holes 15 for blowing hot air are provided at positions corresponding to positions immediately above a specific portion of the substrate 1 which does not reach a predetermined temperature.
【0019】図3に示す例のパイプ14は、温度の上が
りにくい熱容量の大きい電子部品(例えばQFP)1c
の四辺に設けたリード部1bに対向するように正方形状
に折り曲げられて形成され、このパイプ14の下面にリ
ード部1bに向かって熱風を吹き出すように前記吹き出
し孔15を形成している。The pipe 14 in the example shown in FIG. 3 is an electronic component (for example, QFP) 1c having a large heat capacity that is unlikely to rise in temperature.
The pipe 14 is formed by being bent into a square shape so as to face the lead portions 1b provided on the four sides, and the outlet hole 15 is formed on the lower surface of the pipe 14 so as to blow hot air toward the lead portion 1b.
【0020】この前記吹き出し孔15から吹き出される
熱風は、炉体内の雰囲気温度とほぼ同等かそれより若干
高い温度に設定され、またその風速は前記熱風吹き出し
口11から吹き出される熱風の風速より高速に設定され
ている。前記吹き出し孔15から吹き出される熱風を上
記のように高温にするための手段としては、炉体内の空
気を受入れて循環使用したり(この場合循環路にヒータ
を配することが好適である。)、後述のようにパイプ長
を長くしたり、他の箇所から導いた空気をヒータで加熱
したりする手段を採用することができる。The temperature of the hot air blown from the outlet 15 is set to a temperature substantially equal to or slightly higher than the ambient temperature in the furnace, and the wind speed is higher than the speed of the hot air blown from the hot air outlet 11. It is set to high speed. As means for raising the temperature of the hot air blown out from the blowout holes 15 as described above, the air inside the furnace is received and circulated for use (in this case, it is preferable to arrange a heater in the circulation path). And means for increasing the length of the pipe or heating the air introduced from another location with a heater, as described later.
【0021】それによって、この吹き出し孔15から噴
出されたエアーは、基板1の被加熱面積全体を略均一な
状態で加熱している前記熱風吹き出し構成部Aからの熱
風よりも速い風速で基板1の特定部分、具体的には熱容
量の大きい電子部品1cのリード部1bに衝突すること
で、リード部1bの熱伝速効率が上がり所定の昇温が確
保される。このように、熱伝速効率の差を利用して熱容
量の大きい電子部品1cについては昇温を促進し、熱容
量の小さな弱耐熱部品1aについては全体加熱で昇温を
決定している。Accordingly, the air blown out from the blowout holes 15 is heated at a higher speed than the hot air blown from the hot air blowout component A, which heats the entire heated area of the substrate 1 in a substantially uniform state. Of the electronic component 1c having a large heat capacity, the heat transfer efficiency of the lead 1b is increased, and a predetermined temperature rise is secured. As described above, the temperature rise is promoted for the electronic component 1c having a large heat capacity by utilizing the difference in the heat transfer efficiency, and the temperature rise is determined by heating the entire weakly heat-resistant component 1a having a small heat capacity.
【0022】図4に示す本発明の他の実施形態において
は、前記パイプ14は、リフロー部5cの炉体内にてそ
のパイプ経路が長くなるように形成され、パイプ14内
の空気が炉体内の雰囲気で加熱されるようになってい
る。In another embodiment of the present invention shown in FIG. 4, the pipe 14 is formed so that its pipe path becomes longer in the furnace of the reflow section 5c, and the air in the pipe 14 is It is designed to be heated in an atmosphere.
【0023】また前記パイプ14へ空気を導入する導入
経路2に、加熱ヒータ3を設置すると共にその下流位置
に温度検出センサ16を設けて、前記パイプ14から吹
き出される空気の温度を、所定の温度となるようにコン
トロールしている。A heater 3 is provided in the introduction path 2 for introducing air into the pipe 14, and a temperature detection sensor 16 is provided downstream of the heater 3 so that the temperature of air blown out of the pipe 14 can be controlled by a predetermined value. It is controlled so that it becomes temperature.
【0024】図2に示すように構成したリフロー装置を
用いた加熱方法(本発明法)と、従来の全体加熱方法
(従来法)とで、アルミ電解コンデンサーおよびQFP
を搭載した基板を加熱して、その温度プロファイルの測
定を行ったところ、(表1)に示す結果が得られた。An aluminum electrolytic capacitor and a QFP are obtained by a heating method using the reflow apparatus configured as shown in FIG. 2 (the method of the present invention) and a conventional overall heating method (the conventional method).
The substrate on which was mounted was heated, and its temperature profile was measured. The results shown in (Table 1) were obtained.
【0025】[0025]
【表1】 (表1)から明らかなように、従来法ではリフローピー
ク値の温度差が35℃あったが、本発明法では温度差を
11℃にまで縮小することができた。[Table 1] As is clear from Table 1, the temperature difference of the reflow peak value was 35 ° C. in the conventional method, but the temperature difference could be reduced to 11 ° C. in the method of the present invention.
【0026】本発明は上記実施形態に示す外、種々の態
様に構成することができる。例えば、基板1の特定部分
の配置に応じて熱風吹き出し孔15が形成されている複
数種類のパイプ14を備え、これらが取り替え可能に構
成されているようにすれば、種々なプリント回路の基板
1に対応することができる。また前記第一予熱部5aや
第二予熱部5bの基板加熱のための構成を、リフロー部
5cにおける上記実施の形態に示す基板加熱のための構
成と同様なものとすることができる。The present invention can be configured in various modes in addition to the embodiments described above. For example, if a plurality of types of pipes 14 having hot air blowing holes 15 formed in accordance with the arrangement of a specific portion of the substrate 1 are provided, and these are configured to be replaceable, various types of printed circuit boards 1 may be provided. Can be handled. The configuration for heating the substrate in the first preheating section 5a and the second preheating section 5b can be the same as the configuration for heating the substrate in the reflow section 5c described in the above embodiment.
【0027】[0027]
【発明の効果】本発明によれば、熱容量の大きなQFP
等の電子部品における特定部分の熱伝達率を増加させる
ことにより熱容量の小さな耐熱温度の低い弱耐熱電子部
品( 例えばアルミ電解コンデンサー) を保護しつつ熱容
量の大きな部品も同時に全体加熱により同時に一括リフ
ロー半田付けすることができるので、後付け工程が不要
となって半田付け工程が簡略化され、それと相俟って後
付けする際の再加熱も必要がなくなり省エネ化が達成さ
れる。According to the present invention, a QFP having a large heat capacity is provided.
By increasing the heat transfer coefficient of specific parts of electronic components such as, it protects weak heat-resistant electronic components with small heat capacity and low heat resistance (for example, aluminum electrolytic capacitors), and also simultaneously heats components with large heat capacity simultaneously by whole heating and batch reflow soldering Since it can be attached, a post-attachment step is not required, and the soldering step is simplified. In addition, reheating at the time of post-attachment is not required, and energy saving is achieved.
【図1】本発明の実施形態に係るリフロー装置の概略図
である。FIG. 1 is a schematic diagram of a reflow device according to an embodiment of the present invention.
【図2】リフロー部の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a reflow unit.
【図3】ノズル構成部の要部を示し、(a)はその平面
図、(b)はその正面図である。FIGS. 3A and 3B show a main part of a nozzle constituting part, wherein FIG. 3A is a plan view and FIG.
【図4】ノズル構成部の他の例を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing another example of the nozzle component.
【図5】従来の後付け熱風局所加熱構成を示す概略図で
ある。FIG. 5 is a schematic diagram showing a conventional hot air local heating configuration in the past.
1 基板 1a 電子部品 1b リード部 1c 熱容量の大きな電子部品 2 導入経路 3 ヒータ 4 搬送部 5 炉体部 5a 第一予熱部 5b 第二予熱部 5c リフロー部 6 基板ストッパー 7 駆動モータ 8 ファン 9 ヒータ 11 熱風吹き出し口 13 温度検出センサ 14 パイプ 15 吹き出し孔 16 温度検出センサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 1a Electronic component 1b Lead part 1c Electronic component with large heat capacity 2 Introduction path 3 Heater 4 Transport part 5 Furnace part 5a First preheating part 5b Second preheating part 5c Reflow part 6 Substrate stopper 7 Drive motor 8 Fan 9 Heater 11 Hot air outlet 13 Temperature detection sensor 14 Pipe 15 Air outlet 16 Temperature detection sensor
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // B23K 101:42 B23K 101:42 (72)発明者 平野 正人 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 山口 敦史 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5E319 AC01 BB05 CC36 CC49 CC58 CD29 CD31 CD35 GG15 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) // B23K 101: 42 B23K 101: 42 (72) Inventor Masato Hirano 1006 Kazuma Kazuma, Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Within Sangyo Co., Ltd. (72) Inventor Atsushi Yamaguchi 1006 Kadoma, Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. F-term (reference) 5E319 AC01 BB05 CC36 CC49 CC58 CD29 CD31 CD35 GG15
Claims (7)
ーム半田が付与されたプリント回路の基板を、炉体部内
の所定の場所に保持して熱風を吹き付けることにより加
熱するリフロー装置の基板加熱方法において、基板の被
加熱面全体を略均一な状態で熱風を吹きつけることによ
り加熱すると共に、基板の特定部分に局所的に熱風を吹
きつけることで他の部分より多くの熱風エネルギーを供
給するようにしたことを特徴とするリフロー装置の基板
加熱方法。1. A substrate heating method for a reflow apparatus in which a printed circuit board on which electronic components are mounted and cream solder is applied to a joint portion is heated at a predetermined position in a furnace body by blowing hot air. In the method, the entire heated surface of the substrate is heated by blowing hot air in a substantially uniform state, and at the same time, more hot air energy is supplied to other portions by locally blowing hot air to a specific portion of the substrate. A method for heating a substrate in a reflow apparatus, comprising:
ーム半田が付与されたプリント回路の基板を搬送する搬
送部と、基板を加熱する炉体部と、加熱される基板を所
定の場所に保持する基板保持部と、所定の場所に保持さ
れた基板の被加熱面全体を略均一な状態で熱風を吹き付
けることにより加熱する熱風吹き出し構成部と、この熱
風吹き出し構成部と保持された基板との間に配置された
基板の特定部分に局所的に熱風を吹きつけて他の部分よ
り多くの熱風エネルギーを供給するようにしたノズル構
成部とを備えたことを特徴とするリフロー装置。2. A transport section for transporting a printed circuit board on which electronic components are mounted and cream solder is applied to a joint portion, a furnace body section for heating the board, and a substrate to be heated held at a predetermined location. A substrate holding portion to be heated, a hot air blowing component for heating the entire heated surface of the substrate held in a predetermined location by blowing hot air in a substantially uniform state, and a substrate holding the hot air blowing component and the hot air blowing component. A reflow device comprising: a nozzle component configured to locally blow hot air to a specific portion of the substrate disposed therebetween to supply hot air energy more than other portions.
を設けたことを特徴とする請求項2記載のリフロー装
置。3. The reflow apparatus according to claim 2, wherein said hot-air blowing component is provided above and below the substrate.
基板の特定部分の略直上に相当する位置に熱風を吹きつ
けるための吹き出し孔を複数穿孔したパイプを備えてい
ることを特徴とする請求項2または3記載のリフロー装
置。4. A nozzle comprising a pipe having a plurality of blowout holes for blowing hot air at a position corresponding to a position substantially immediately above a specific portion of a substrate which does not reach a predetermined temperature. The reflow apparatus according to claim 2.
出し孔が形成されている複数種類のパイプを備え、これ
らが取り替え可能に構成されていることを特徴とする請
求項4記載のリフロー装置。5. The reflow apparatus according to claim 4, comprising a plurality of types of pipes in which the blowout holes are formed in accordance with the arrangement of a specific portion of the substrate, and these are configured to be replaceable. .
く形成して、炉体部内の雰囲気温度でパイプ内部を加熱
するようにしたことを特徴とする請求項4または5記載
のリフロー装置。6. The reflow apparatus according to claim 4, wherein the pipe has a long pipe path formed in the furnace body, and heats the inside of the pipe at an ambient temperature in the furnace body. .
ヒータを配したことを特徴とする請求項4〜6のいずれ
かに記載のリフロー装置。7. The reflow apparatus according to claim 4, wherein a heater is provided in an introduction path for introducing air into the pipe.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000136155A JP2001320163A (en) | 2000-05-09 | 2000-05-09 | Reflow device and its board heating method |
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