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JP2001344842A - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Magneto-optical recording medium

Info

Publication number
JP2001344842A
JP2001344842A JP2000160766A JP2000160766A JP2001344842A JP 2001344842 A JP2001344842 A JP 2001344842A JP 2000160766 A JP2000160766 A JP 2000160766A JP 2000160766 A JP2000160766 A JP 2000160766A JP 2001344842 A JP2001344842 A JP 2001344842A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magneto
optical recording
recording medium
layer
birefringence
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000160766A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Koizumi
剛 小泉
Norio Adachi
則夫 安達
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2000160766A priority Critical patent/JP2001344842A/en
Priority to US09/838,515 priority patent/US6501728B2/en
Priority to EP01109764A priority patent/EP1152403A2/en
Publication of JP2001344842A publication Critical patent/JP2001344842A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve jitter characteristics and signal quality in an overwritable magneto-optical recording medium. SOLUTION: In the magneto-optical recording medium 1 in which a first dielectrics layer 3, a magneto-optical recording layer 4, a second dielectrics layer 5, a reflecting layer 7 and a protective layer 8 are succeedingly formed on a light transparent substrate 2, the double refractivity in the intra-plane direction is defined as -40 [nm] to 25 [nm], and the vertical double refractivity is specified within the range of 200 [nm] to 300 [nm].

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光磁気記録媒体に
係わる。
[0001] The present invention relates to a magneto-optical recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、情報記録媒体開発の分野において
は、光記録方式に関する研究が各所で進められている。
この光記録方式は、レーザ光を用いて情報の記録再生を
行うものであり、この方式を利用した光学記録媒体とし
て、再生専用型のディジタルオーディオディスク(いわ
ゆるコンパクトディスク)や、光学方式ビデオディスク
(いわゆるレーザディスク)等が広く普及している。
2. Description of the Related Art In recent years, in the field of information recording medium development, researches on optical recording systems have been conducted in various places.
This optical recording system uses a laser beam to record and reproduce information. As an optical recording medium using this system, a read-only digital audio disk (so-called compact disk) and an optical video disk ( So-called laser disks) are widely used.

【0003】一方、使用者が、繰り返して情報の記録、
および消去を行うことができる、書き込み可能型の光学
記録媒体として、光磁気記録媒体の開発が進められてお
り、商品化されている。このような光磁気記録媒体とし
て、ミニディスク(MD)が広く普及している。
On the other hand, a user repeatedly records information,
As a writable optical recording medium capable of performing erasing and erasing, a magneto-optical recording medium is being developed and commercialized. As such a magneto-optical recording medium, a mini disk (MD) is widely used.

【0004】このような光磁気記録媒体においては、例
えばポリカーボネート等よりなる光透過性基板上に、こ
の光透過性基板面と垂直方向に磁化容易軸を有しかつ磁
気光学効果の大きな磁性薄膜よりなる光磁気記録層が成
膜されて成り、この光磁気記録層上に、誘電体層と、金
属反射層とが積層され、これら光磁気記録層と、誘電体
層と、金属反射層とで記録層を構成している。そしてこ
の記録層上に、例えば紫外線硬化性樹脂よりなる保護層
が積層形成された構成を有するものである。
In such a magneto-optical recording medium, a magnetic thin film having an easy axis of magnetization in a direction perpendicular to the surface of the light transmitting substrate and having a large magneto-optical effect is formed on a light transmitting substrate made of, for example, polycarbonate. A dielectric layer and a metal reflective layer are laminated on the magneto-optical recording layer, and the magneto-optical recording layer, the dielectric layer, and the metal reflective layer It constitutes a recording layer. On this recording layer, a protective layer made of, for example, an ultraviolet curable resin is laminated.

【0005】ミニディスク(MD)のような光磁気記録
媒体は、民生用録音機器として手軽に音楽等を記録でき
ることから、ホームユースから自動車に搭載しての利用
等、種々の場面に応じた利用方法が可能となっている。
このように、利用方法の幅が広がると、この光磁気記録
媒体から信号の再生を行う再生装置、すなわちドライブ
も多種に拡がり、その光学的性能もまちまちになってく
る。
[0005] A magneto-optical recording medium such as a mini disk (MD) can easily record music and the like as a consumer recording device, and thus can be used in various situations, such as home use or use in a car. The way is possible.
As described above, when the range of usage is widened, a variety of reproducing apparatuses, that is, drives for reproducing signals from this magneto-optical recording medium are also widespread, and their optical performances are also various.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、多岐に
渡る種類の再生装置(ドライブ)は、それぞれの固有の
性能によって光ピックアップの光学特性に違いが生じる
ため、ある再生装置においては良好な再生信号が得られ
るが、他の再生装置においてはジッター値(時間軸変動
値)が上昇し、エラーレートが悪化してしまう場合が生
じ、安定した信号特性が得られなくなってしまうという
問題がある。
However, in a wide variety of types of reproducing devices (drives), the optical characteristics of the optical pickup differ depending on their specific performances. However, in other reproduction apparatuses, the jitter value (time-axis fluctuation value) increases, the error rate may deteriorate, and a stable signal characteristic may not be obtained.

【0007】このような問題に鑑みて、レーザ光が、光
磁気記録媒体を構成する光磁気記録層を正確にトレース
することができるように、光透過性基板に形成するグル
ーブ溝の特性を向上させたり、あるいは光透過性基板の
屈折率よりも高い屈折率を有する誘電体層の膜厚の調整
を行って、多重反射と干渉の効果を得て見かけのカー回
転角を増強することができる、いわゆるエンハンスト効
果により信号特性の向上を図ったりした。
In view of such a problem, the characteristics of the groove formed in the light-transmitting substrate are improved so that the laser light can accurately trace the magneto-optical recording layer constituting the magneto-optical recording medium. By adjusting the thickness of the dielectric layer having a higher refractive index than the refractive index of the light-transmitting substrate, the apparent Kerr rotation angle can be enhanced by obtaining the effects of multiple reflection and interference. In other words, the signal characteristics have been improved by the so-called enhanced effect.

【0008】しかしながら、上述したことにおいても、
各種の多種多用な再生装置に応じて実用上充分な信号特
性を得ることは困難であった。そこで本発明者等は鋭意
研究を重ねた結果、光磁気記録媒体のジッター特性の向
上を図り、信号品質を向上させ、多種多用な再生装置に
応じて、優れた信号特性が得られる磁界変調オーバーラ
イトが可能な光磁気記録媒体を提供することとした。
However, in the above,
It has been difficult to obtain practically sufficient signal characteristics according to various kinds of reproducing apparatuses. Accordingly, the present inventors have conducted intensive studies, and as a result, improved the jitter characteristics of the magneto-optical recording medium, improved the signal quality, and obtained an excellent magnetic field modulation that can obtain excellent signal characteristics according to various types of reproducing devices. A writable magneto-optical recording medium is provided.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明においては、光透
過性基板上に、第1の誘電体層、光磁気記録層、第2の
誘電体層、反射層、および保護層が、順次形成されて成
る光磁気記録媒体であるものとし、面内方向の複屈折
を、−40〔nm〕〜25〔nm〕の範囲になるように
し、垂直方向の複屈折を、200〔nm〕〜300〔n
m〕の範囲となるようにしたものである。
According to the present invention, a first dielectric layer, a magneto-optical recording layer, a second dielectric layer, a reflective layer, and a protective layer are sequentially formed on a light transmitting substrate. The birefringence in the in-plane direction is in the range of -40 [nm] to 25 [nm], and the birefringence in the vertical direction is 200 [nm] to 300 [nm]. [N
m].

【0010】本発明によれば、光透過性基板の面内方向
の複屈折、および垂直方向の複屈折を上記のように、所
定の数値範囲に特定することによって、ジッター特性の
向上が図られ、これにより信号品質が向上し、多種多用
な信号再生装置に応じて正確な光磁気記録層のトレース
を行うことができる光磁気記録媒体が得られる。
According to the present invention, the birefringence in the in-plane direction and the birefringence in the vertical direction of the light-transmitting substrate are specified within the predetermined numerical ranges as described above, thereby improving the jitter characteristics. Thus, a magneto-optical recording medium with improved signal quality and capable of accurately tracing the magneto-optical recording layer according to various signal reproducing devices can be obtained.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本発明の光磁気記録媒体は、光透
過性基板上に、第1の誘電体層、光磁気記録層、第2の
誘電体層、反射層、および保護層が、順次形成されて成
る光磁気記録媒体であるものとし、面内方向の複屈折
を、−40〔nm〕〜25〔nm〕の範囲になるように
し、垂直方向の複屈折を、200〔nm〕〜300〔n
m〕の範囲となるようにしたものである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the magneto-optical recording medium of the present invention, a first dielectric layer, a magneto-optical recording layer, a second dielectric layer, a reflective layer, and a protective layer are formed on a light-transmitting substrate. It is assumed that the magneto-optical recording medium is formed sequentially, the birefringence in the in-plane direction is in the range of -40 [nm] to 25 [nm], and the birefringence in the vertical direction is 200 [nm]. ~ 300 [n
m].

【0012】以下、発明の光磁気記録媒体について、そ
の一例を挙げて説明するが、本発明の光磁気記録媒体
は、以下に示す例に限定されるものではない。
Hereinafter, the magneto-optical recording medium of the present invention will be described by way of an example, but the magneto-optical recording medium of the present invention is not limited to the following examples.

【0013】図1に、本発明の光磁気記録媒体1の一例
の概略断面図を示す。本発明の光磁気記録媒体1は、熱
可塑性樹脂からなる光透過性基板2上に、第1の誘電体
層3、光磁気記録層4、および第2の誘電体層5が順次
積層されて成る記録層6が形成されており、この記録層
6上に、反射層7および保護層8が形成された構成を有
するものである。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of the magneto-optical recording medium 1 according to the present invention. In the magneto-optical recording medium 1 of the present invention, a first dielectric layer 3, a magneto-optical recording layer 4, and a second dielectric layer 5 are sequentially laminated on a light-transmitting substrate 2 made of a thermoplastic resin. A recording layer 6 is formed, and a reflective layer 7 and a protective layer 8 are formed on the recording layer 6.

【0014】この図1に示す光磁気記録媒体1に対して
情報の記録あるいは再生を行う場合には、光透過性基板
2側から、所定の波長のレーザ光、例えば780nmの
波長のレーザ光Lを、対物レンズ11により集光し照射
することによって行う。
When recording or reproducing information on or from the magneto-optical recording medium 1 shown in FIG. 1, a laser beam having a predetermined wavelength, for example, a laser beam L having a wavelength of 780 nm is transmitted from the light transmitting substrate 2 side. Is performed by condensing and irradiating with the objective lens 11.

【0015】光透過性基板2は、上記波長のレーザ光L
に対して、透過性を有する材料により形成されるものと
し、例えば、ポリカーボネート、アクリル樹脂、非晶質
ポリオレフィン、スチレン系の樹脂を用いて射出成形に
より作製することができる。また、光透過性基板の材料
として樹脂の他、ガラスも適用することができる。光透
過性基板2の面上には、ピットやグルーブを構成する所
定の微細凹凸が形成されていてもよい。光透過性基板2
の表面に、グルーブを形成した場合には、これを案内溝
としてレーザ光Lを、光磁気記録媒体1上の任意の位置
へ移動させることができ、ピットを形成した場合には、
これが情報信号となってレーザ光の照射により記録情報
を読み取りを行うことができる。所定の微細凹凸は、射
出成形や、フォトポリマリゼイション法(2P法)によ
って形成することができる。
The light transmitting substrate 2 is provided with a laser beam L having the above wavelength.
On the other hand, it can be formed by a material having transparency, for example, by injection molding using polycarbonate, acrylic resin, amorphous polyolefin, or styrene resin. Glass as well as resin can be used as the material of the light-transmitting substrate. On the surface of the light-transmitting substrate 2, predetermined fine irregularities forming pits or grooves may be formed. Light transmitting substrate 2
When a groove is formed on the surface of the optical recording medium 1, the laser light L can be moved to an arbitrary position on the magneto-optical recording medium 1 by using the groove as a guide groove.
This becomes an information signal, and the recorded information can be read by irradiating the laser beam. The predetermined fine irregularities can be formed by injection molding or a photopolymerization method (2P method).

【0016】第1の誘電体層3および第2の誘電体層5
は、C/N特性を向上させ、光磁気記録層4の腐食を防
止することを目的として形成される。すなわち、光透過
性基板2や、保護層8中には、塩素イオン等、金属を腐
食させる成分が含まれている場合が多いので、第1の誘
電体層3および第2の誘電体層5を、中間に光磁気記録
層4を挟み込むようにして形成することにより、金属を
腐食させる成分に直接影響されることを回避することが
でき、光磁気記録媒体の特性の向上が図られる。上記第
1の誘電体層3は、通常30〜100〔nm〕程度の厚
さに形成され、第2の誘電体層5は、通常5〜100
〔nm〕の厚さに形成する。
First dielectric layer 3 and second dielectric layer 5
Is formed for the purpose of improving C / N characteristics and preventing corrosion of the magneto-optical recording layer 4. That is, since the light transmissive substrate 2 and the protective layer 8 often contain components that corrode metals, such as chlorine ions, the first dielectric layer 3 and the second dielectric layer 5 Is formed so as to sandwich the magneto-optical recording layer 4 in the middle, it is possible to avoid being directly affected by components that corrode the metal, and to improve the characteristics of the magneto-optical recording medium. The first dielectric layer 3 is usually formed to a thickness of about 30 to 100 [nm], and the second dielectric layer 5 is usually formed to a thickness of 5 to 100 [nm].
[Nm] thickness.

【0017】なお、第1の誘電体層3および第2の誘電
体層5は、記録再生用のレーザ光の適用波長に対して、
吸収能の低い材料により形成することが必要である。例
えば、ZnS−SiO2 混合体や、Al,Si,Ta,
Ti,Zr,Mg,B,Zn,Pd,La,Ge等の金
属および半金属の元素の窒化物、酸化物、炭化物、フッ
化物、窒酸化物、窒炭化物、酸炭化物、SiAlON等
からなる層、およびこれらを主成分とする材料を適用す
ることができる。
The first dielectric layer 3 and the second dielectric layer 5 are different from each other with respect to the applied wavelength of the recording / reproducing laser beam.
It is necessary to be formed of a material having low absorption capacity. For example, a ZnS—SiO 2 mixture, Al, Si, Ta,
Layers composed of nitrides, oxides, carbides, fluorides, nitrides, nitrocarbides, oxycarbides, SiAlON, etc. of metals and metalloids such as Ti, Zr, Mg, B, Zn, Pd, La, and Ge , And a material containing these as main components can be used.

【0018】反射層7は、例えば、Al,Ag,Au,
Cu,Ni,Cr,Ti.Pd,Co,Si,Ta,
W,Mo,Ge等の金属単体、あるいはこれらを主成分
とする合金により形成することができる。例えば、Al
−Ti,Al−Cr,Al−Co,Al−Mg−Si,
Ag−Pd−Cu,Ag−Pd−Ti−,Si−B等を
適用することができる。特に、Al系やAg系の材料
は、短波長領域においても、レーザ光に対して高反射率
を有するので、反射層7を形成する材料として好適であ
る。なお、この反射層7は、単層構造であってもよく2
層以上の多層構造とすることもできる。
The reflection layer 7 is made of, for example, Al, Ag, Au,
Cu, Ni, Cr, Ti. Pd, Co, Si, Ta,
It can be formed of a simple metal such as W, Mo, Ge or the like, or an alloy containing these as a main component. For example, Al
-Ti, Al-Cr, Al-Co, Al-Mg-Si,
Ag-Pd-Cu, Ag-Pd-Ti-, Si-B and the like can be applied. In particular, an Al-based or Ag-based material has a high reflectance to laser light even in a short wavelength region, and is therefore suitable as a material for forming the reflective layer 7. The reflection layer 7 may have a single-layer structure.
A multilayer structure having more than two layers can also be used.

【0019】保護層8は、反射層7上に積層形成される
ものとし、これは、紫外線硬化性樹脂によって形成する
ことができる。保護層8は、5〜20〔μm〕程度の膜
厚にすることができる。
The protective layer 8 is formed on the reflective layer 7 by lamination, and can be formed of an ultraviolet curable resin. The protective layer 8 can have a thickness of about 5 to 20 [μm].

【0020】本発明の光磁気記録媒体1を構成する光磁
気記録層4は、低い印加磁界で磁界反転を行うことがで
きる材料により形成する。例えば、アモルファスTb−
Fe−Co合金膜や。アモルファスGd−Dy−Fe−
Co合金膜等を適用することができる。
The magneto-optical recording layer 4 constituting the magneto-optical recording medium 1 of the present invention is formed of a material capable of performing a magnetic field reversal with a low applied magnetic field. For example, amorphous Tb-
Fe-Co alloy film or. Amorphous Gd-Dy-Fe-
A Co alloy film or the like can be used.

【0021】図1に示した光磁気記録媒体1へ情報の記
録を行う場合には、対物レンズ11により集光したレー
ザ光Lを連続照射して、光磁気記録媒体の記録層6部分
をキュリー温度Tc以上に加熱しつつ、所望の情報と同
期させて磁気ヘッド20により印加される磁界を高速で
変調させて、光磁気記録層4の所定の部分の磁界の向き
を変えることによって情報の書き込みを行う。
When information is recorded on the magneto-optical recording medium 1 shown in FIG. 1, the laser beam L condensed by the objective lens 11 is continuously irradiated to cure the recording layer 6 of the magneto-optical recording medium. While heating to a temperature equal to or higher than Tc, the magnetic field applied by the magnetic head 20 is modulated at high speed in synchronization with desired information, and the direction of the magnetic field in a predetermined portion of the magneto-optical recording layer 4 is changed to write information. I do.

【0022】また、図1に示した光磁気記録媒体1に対
して、情報の再生を行う場合は、光透過性基板2側か
ら、所定の波長のレーサ光、例えば780nmの波長の
レーザ光を、対物レンズ11によって集光し、照射する
ことによって行う。なお、情報の再生を行う場合には、
レーザパワーは、上述したような記録層6の部分が磁化
反転を起こさないように、加熱されない程度とする。
When reproducing information from the magneto-optical recording medium 1 shown in FIG. 1, a laser beam having a predetermined wavelength, for example, a laser beam having a wavelength of 780 nm, is applied from the light transmitting substrate 2 side. The light is condensed by the objective lens 11 and irradiated. When playing back information,
The laser power is set so that the portion of the recording layer 6 is not heated so that the magnetization reversal does not occur.

【0023】次に、本発明の光磁気記録媒体について、
以下に具体的な〔実施例〕および〔比較例〕を挙げて説
明するが、本発明は、以下に示す例に限定されるもので
はない。
Next, regarding the magneto-optical recording medium of the present invention,
Hereinafter, specific examples and comparative examples will be described, but the present invention is not limited to the examples described below.

【0024】〔実施例1〕以下のようにして、図1に示
した構造の光磁気記録媒体を作製した。光透過性基板2
として、ポリカーボネート樹脂により、外径64〔m
m〕、厚さ1.2〔mm〕のディスク状基板を作製す
る。続いて、Ar雰囲気中において、Siをターゲット
として、スパッタ法により光透過性基板2上に窒化ケイ
素膜を成膜して第1の誘電体層3を形成した。次に、A
r雰囲気中でスパッタ法により、アモルファスGd−D
y−Fe−Co合金より成る光磁気記録膜4を形成し
た。続いて、Ar雰囲気中において、Siをターゲット
として、スパッタ法により窒化ケイ素膜を成膜して第2
の誘電体層5を形成した。第2の誘電体層5上に、Al
−Ti合金をターゲットとして、スパッタ法により金属
層を成膜して反射層7を形成した。次に、反射層7上
に、紫外線硬化性樹脂をスピンコートすることにことに
より、保護層8を形成し、目的とする光磁気記録媒体1
を作製した。上記のようにして作製された光磁気記録媒
体1の光透過性基板2の面内方向の複屈折を−10〔n
m〕、垂直方向の複屈折を220〔nm〕とした。
Example 1 A magneto-optical recording medium having the structure shown in FIG. 1 was manufactured as follows. Light transmitting substrate 2
The outer diameter is 64 [m
m] and a disk-shaped substrate having a thickness of 1.2 [mm] is manufactured. Subsequently, in an Ar atmosphere, a silicon nitride film was formed on the light-transmitting substrate 2 by sputtering using Si as a target to form a first dielectric layer 3. Next, A
amorphous Gd-D by sputtering in an atmosphere of
A magneto-optical recording film 4 made of a y-Fe-Co alloy was formed. Subsequently, in an Ar atmosphere, a silicon nitride film is formed by sputtering using Si as a target to form a second silicon nitride film.
Was formed. On the second dielectric layer 5, Al
A reflective layer 7 was formed by forming a metal layer by sputtering using a Ti alloy as a target. Next, a protective layer 8 is formed by spin-coating an ultraviolet-curable resin on the reflective layer 7 to form the target magneto-optical recording medium 1.
Was prepared. The birefringence in the in-plane direction of the light transmitting substrate 2 of the magneto-optical recording medium 1 manufactured as described above is -10 [n
m], and the vertical birefringence was 220 [nm].

【0025】なお、光透過性基板2の面内方向の複屈折
および垂直方向の複屈折は、例えば、Dr.Schen
k製、PROmetenusMT−136等の複屈折測
定機を用いて測定することができる。
The birefringence in the in-plane direction and the birefringence in the vertical direction of the light transmissive substrate 2 are determined, for example, by Dr. Schen
It can be measured using a birefringence measuring instrument such as PROmetenus MT-136 manufactured by K.

【0026】〔実施例2〕光磁気記録媒体1の光透過性
基板2の面内方向の複屈折を25〔nm〕、垂直方向の
複屈折を200〔nm〕とした。その他、第1の誘電体
層3、光磁気記録層4、第2の誘電体層5、反射層7お
よび保護層8については、上記〔実施例1〕と同様にし
て成膜するものとし、各成膜順についても〔実施例1〕
と同様として光磁気記録媒体を作製した。
Example 2 The birefringence in the in-plane direction of the light transmitting substrate 2 of the magneto-optical recording medium 1 was 25 [nm], and the birefringence in the vertical direction was 200 [nm]. In addition, the first dielectric layer 3, the magneto-optical recording layer 4, the second dielectric layer 5, the reflective layer 7, and the protective layer 8 are formed in the same manner as in [Example 1]. Regarding each film forming order [Example 1]
A magneto-optical recording medium was produced in the same manner as in the above.

【0027】〔実施例3〕光磁気記録媒体1の光透過性
基板2の面内方向の複屈折を−7〔nm〕、垂直方向の
複屈折を300〔nm〕とした。その他、第1の誘電体
層3、光磁気記録層4、第2の誘電体層5、反射層7お
よび保護層8については、上記〔実施例1〕と同様にし
て成膜するものとし、各成膜順についても〔実施例1〕
と同様として光磁気記録媒体を作製した。
Example 3 The birefringence in the in-plane direction of the light transmitting substrate 2 of the magneto-optical recording medium 1 was -7 [nm], and the birefringence in the vertical direction was 300 [nm]. In addition, the first dielectric layer 3, the magneto-optical recording layer 4, the second dielectric layer 5, the reflective layer 7, and the protective layer 8 are formed in the same manner as in [Example 1]. Regarding each film forming order [Example 1]
A magneto-optical recording medium was produced in the same manner as in the above.

【0028】〔実施例4〕光磁気記録媒体1の光透過性
基板2の面内方向の複屈折を−40〔nm〕、垂直方向
の複屈折を250〔nm〕とした。その他、第1の誘電
体層3、光磁気記録層4、第2の誘電体層5、反射層7
および保護層8については、上記〔実施例1〕と同様に
して成膜するものとし、各成膜順についても〔実施例
1〕と同様として光磁気記録媒体を作製した。
Example 4 The birefringence in the in-plane direction of the light transmitting substrate 2 of the magneto-optical recording medium 1 was -40 [nm], and the birefringence in the vertical direction was 250 [nm]. In addition, the first dielectric layer 3, the magneto-optical recording layer 4, the second dielectric layer 5, the reflection layer 7
The protective layer 8 was formed in the same manner as in [Example 1], and a magneto-optical recording medium was manufactured in the same order as in [Example 1].

【0029】次に、本発明の光磁気記録媒体と比較する
ための〔比較例〕について説明する。
Next, a comparative example for comparison with the magneto-optical recording medium of the present invention will be described.

【0030】〔比較例1〕光磁気記録媒体1の光透過性
基板2の面内方向の複屈折を5〔nm〕、垂直方向の複
屈折を190〔nm〕とした。その他、第1の誘電体層
3、光磁気記録層4、第2の誘電体層5、反射層7およ
び保護層8については、上記〔実施例1〕と同様にして
成膜するものとし、各成膜順についても〔実施例1〕と
同様として光磁気記録媒体を作製した。
Comparative Example 1 The birefringence in the in-plane direction of the light transmitting substrate 2 of the magneto-optical recording medium 1 was 5 [nm], and the birefringence in the vertical direction was 190 [nm]. In addition, the first dielectric layer 3, the magneto-optical recording layer 4, the second dielectric layer 5, the reflective layer 7, and the protective layer 8 are formed in the same manner as in [Example 1]. A magneto-optical recording medium was prepared in the same manner as in [Example 1] for each film formation order.

【0031】〔比較例2〕光磁気記録媒体1の光透過性
基板2の面内方向の複屈折を−50〔nm〕、垂直方向
の複屈折を310〔nm〕とした。その他、第1の誘電
体層3、光磁気記録層4、第2の誘電体層5、反射層7
および保護層8については、上記〔実施例1〕と同様に
して成膜するものとし、各成膜順についても〔実施例
1〕と同様として光磁気記録媒体を作製した。
Comparative Example 2 The birefringence in the in-plane direction of the light transmitting substrate 2 of the magneto-optical recording medium 1 was -50 [nm], and the birefringence in the vertical direction was 310 [nm]. In addition, the first dielectric layer 3, the magneto-optical recording layer 4, the second dielectric layer 5, the reflection layer 7
The protective layer 8 was formed in the same manner as in [Example 1], and a magneto-optical recording medium was manufactured in the same order as in [Example 1].

【0032】〔比較例3〕光磁気記録媒体1の光透過性
基板2の面内方向の複屈折を−12〔nm〕、垂直方向
の複屈折を400〔nm〕とした。その他、第1の誘電
体層3、光磁気記録層4、第2の誘電体層5、反射層7
および保護層8については、上記〔実施例1〕と同様に
して成膜するものとし、各成膜順についても〔実施例
1〕と同様として光磁気記録媒体を作製した。
Comparative Example 3 The birefringence in the in-plane direction of the light transmitting substrate 2 of the magneto-optical recording medium 1 was -12 nm, and the birefringence in the vertical direction was 400 nm. In addition, the first dielectric layer 3, the magneto-optical recording layer 4, the second dielectric layer 5, the reflection layer 7
The protective layer 8 was formed in the same manner as in [Example 1], and a magneto-optical recording medium was manufactured in the same order as in [Example 1].

【0033】〔比較例4〕光磁気記録媒体1の光透過性
基板2の面内方向の複屈折を28〔nm〕、垂直方向の
複屈折を400〔nm〕とした。その他、第1の誘電体
層3、光磁気記録層4、第2の誘電体層5、反射層7お
よび保護層8については、上記〔実施例1〕と同様にし
て成膜するものとし、各成膜順についても〔実施例1〕
と同様として光磁気記録媒体を作製した。
Comparative Example 4 The birefringence in the in-plane direction of the light transmitting substrate 2 of the magneto-optical recording medium 1 was set to 28 [nm], and the birefringence in the vertical direction was set to 400 [nm]. In addition, the first dielectric layer 3, the magneto-optical recording layer 4, the second dielectric layer 5, the reflective layer 7, and the protective layer 8 are formed in the same manner as in [Example 1]. Regarding each film forming order [Example 1]
A magneto-optical recording medium was produced in the same manner as in the above.

【0034】上述のようにして作製した〔実施例1〕〜
〔実施例4〕および〔比較例1〕〜〔比較例4〕の光磁
気記録媒体のサンプルについてのジッター値を測定し
た。ジッター値は、光ディスクエラーレート評価機から
取り出した信号をジッターメーター(KENWOOD
DB−8260)を用いて特性の評価を行うことにより
得られる。なお、この場合、ジッター値は、波長の短い
レーザ光に対応した3Tジッター値とする。ジッターレ
ベルは、20〔ns〕以下の値が得られれば、実用上充
分な特性が得られたものと評価した。
Example 1 produced as described above
The jitter values of the samples of the magneto-optical recording media of [Example 4] and [Comparative Examples 1] to [Comparative Example 4] were measured. The jitter value is obtained by measuring the signal extracted from the optical disk error rate evaluator using a jitter meter (KENWOOD).
(DB-8260). In this case, the jitter value is a 3T jitter value corresponding to a laser beam having a short wavelength. As for the jitter level, if a value of 20 [ns] or less was obtained, it was evaluated that practically sufficient characteristics were obtained.

【0035】さらに、上述のようにして作製した〔実施
例1〕〜〔実施例4〕および〔比較例1〕〜〔比較例
4〕の、光磁気記録媒体の各サンプルに対して、光学特
性が異なる3種類の再生装置(第1〜第3のドライブ)
を用いて、信号の読み取りを行い、これを評価した。各
ドライブの選定は、デフォーカストレランスが標準的な
ブランクドライブを第1のドライブとし、デフォーカス
トレランスが、上記第1のドライブに比してNear側
で狭い、すなわちNear側で裕度の低いドライブを第
2のドライブとし、デフォーカストレランスが第1のド
ライブに比してFar側で狭い、すなわち、Far側で
裕度の低いドライブを第3のドライブとするものとし
た。
Further, the optical characteristics of each sample of the magneto-optical recording medium of [Example 1] to [Example 4] and [Comparative Example 1] to [Comparative Example 4] manufactured as described above were obtained. Types of playback devices (first to third drives) differing from each other
Was used to read a signal, which was evaluated. In selecting each drive, a blank drive having a standard defocus tolerance is used as the first drive, and a drive having a narrower defocus tolerance on the Near side than the first drive, that is, a drive having a lower tolerance on the Near side. Is a second drive, and a drive whose defocus tolerance is narrower on the Far side than the first drive, that is, a drive with a lower margin on the Far side, is a third drive.

【0036】ここで、Near側とは、光ピックアップ
を光磁気記録媒体に近づけた場合であり、Far側と
は、光ピックアップを光磁気記録媒体から遠ざけた場合
であるものとし、Near側、Far側におけるエラー
レートレベルを測定することにより、デフォーカストレ
ランスが特定される。
Here, the near side is when the optical pickup is brought close to the magneto-optical recording medium, the far side is when the optical pickup is moved away from the magneto-optical recording medium, and the near side and the far side are By measuring the error rate level on the side, the defocus tolerance is specified.

【0037】読み取り信号の評価は、エラーレートが少
なく、実用上充分なC/Nが得られたものを○とし、エ
ラーが多すぎて、実用上充分なC/Nが得られなかった
ものを×として表した。
In the evaluation of the read signal, those having a low error rate and having a practically sufficient C / N were evaluated as ○, and those having too many errors and having a practically insufficient C / N were evaluated. Indicated as x.

【0038】測定条件は、以下の通りとする。 レーザ波長:780〔nm〕 対物レンズの開口率N.A.:0.45 記録時レーザパワー:4.55〔mW〕 再生レーザパワー:0.6〔mW〕 バイアス磁界:100〔Oe〕The measurement conditions are as follows. Laser wavelength: 780 [nm] A. : 0.45 Recording laser power: 4.55 [mW] Reproduction laser power: 0.6 [mW] Bias magnetic field: 100 [Oe]

【0039】上記〔実施例1〕〜〔実施例4〕および
〔比較例1〕〜〔比較例4〕の、それぞれの光磁気記録
媒体の面内方向の複屈折〔nm〕、垂直方向の複屈折
〔nm〕、ジッター値〔ns〕、および、上述した第1
のドライブ〜第3のドライブを適用した場合のそれぞれ
の光磁気記録媒体の読み取り信号の評価結果を、下記
〔表1〕に示す。
The birefringence [nm] in the in-plane direction and the birefringence in the vertical direction of each magneto-optical recording medium of [Example 1] to [Example 4] and [Comparative Example 1] to [Comparative Example 4]. Refraction [nm], jitter value [ns], and the first
The following Table 1 shows the evaluation results of the read signals of the respective magneto-optical recording media when the drives No. 1 to No. 3 are applied.

【0040】[0040]

【表1】 [Table 1]

【0041】〔表1〕に示すように、面内方向の複屈折
を、−40〔nm〕〜25〔nm〕の範囲とし、垂直方
向の複屈折を、200〔nm〕〜300〔nm〕の範囲
となるようにした〔実施例1〕〜〔実施例4〕の光磁気
記録媒体1においては、ジッター値がいずれも20〔n
s〕以下に抑えられており、ジッター特性の向上が図ら
れており、実用上充分な値となっている。また、〔実施
例1〕〜〔実施例4〕の光磁気記録媒体1においては、
光透過性基板2の面内方向の複屈折および垂直方向の複
屈折を上記の範囲に特定したことにより、光学的特性の
異なる3種類の再生装置(第1〜第3のドライブ)のい
ずれを用いて信号の読み取りを行った場合においてもそ
れぞれのドライブに応じて、正確な光磁気記録層のトレ
ースを行うことができ、エラーレートが少なく、実用上
充分なC/Nが得られた。
As shown in Table 1, the birefringence in the in-plane direction is in the range of -40 [nm] to 25 [nm], and the birefringence in the vertical direction is 200 [nm] to 300 [nm]. In each of the magneto-optical recording media 1 of [Example 1] to [Example 4], the jitter value was 20 [n].
s] or less, and the jitter characteristics are improved, which is a practically sufficient value. Further, in the magneto-optical recording medium 1 of [Example 1] to [Example 4],
By specifying the birefringence in the in-plane direction and the birefringence in the vertical direction of the light transmissive substrate 2 within the above ranges, any one of three types of reproducing devices (first to third drives) having different optical characteristics can be used. In the case where the signal was read by using the above method, accurate tracing of the magneto-optical recording layer could be performed according to each drive, the error rate was low, and a practically sufficient C / N was obtained.

【0042】〔比較例1〕は、垂直方向の複屈折を、2
00〔nm〕未満の190〔nm〕と した場合の例で
あるが、この光磁気記録媒体においては、ジッター値が
20〔ns〕よりも高くなってしまい、また、上記第3
のドライブを適用した場合に、エラーレートが上昇して
しまい、実用上、良好な再生信号が得られなかった。
[Comparative Example 1] shows that the birefringence in the vertical direction is 2
In this example, the jitter value is higher than 20 [ns], and the jitter value is higher than 20 [ns].
In the case of using the drive of (1), the error rate increased, and a good reproduction signal could not be obtained in practical use.

【0043】〔比較例2〕は、面内方向の複屈折を、−
40〔nm〕未満の−50〔nm〕とし、垂直方向の複
屈折を300〔nm〕よりも大きい310〔nm〕とし
た場合の例であるが、この光磁気記録媒体においては、
ジッター値が20〔ns〕よりも高くなってしまい、ま
た、上記第1のドライブを適用した場合に、エラーレー
トが上昇してしまい、実用上、良好な再生信号が得られ
なかった。
[Comparative Example 2] shows that the in-plane birefringence was-
This is an example of a case where -50 [nm] is less than 40 [nm] and the birefringence in the vertical direction is 310 [nm] which is larger than 300 [nm]. In this magneto-optical recording medium,
The jitter value was higher than 20 [ns], and when the first drive was applied, the error rate was increased, and a practically good reproduced signal could not be obtained.

【0044】〔比較例3〕は、垂直方向の複屈折を30
0〔nm〕よりも大きい400〔nm〕とした場合の例
であるが、この光磁気記録媒体においては、ジッター値
が20〔ns〕よりも高くなってしまい、また、上記第
2のドライブ、および第3のドライブを適用した場合
に、エラーレートが上昇してしまい、実用上、良好な再
生信号が得られなかった。
In Comparative Example 3, the birefringence in the vertical direction was 30
This is an example in the case of 400 [nm] larger than 0 [nm]. However, in this magneto-optical recording medium, the jitter value becomes higher than 20 [ns], and the second drive, Also, when the third drive was applied, the error rate increased, and a practically good reproduction signal could not be obtained.

【0045】〔比較例4〕は、面内方向の複屈折を、2
5〔nm〕よりも大きい28〔nm〕とし、垂直方向の
複屈折を300〔nm〕よりも大きい330〔nm〕と
した場合の例であるが、この光磁気記録媒体において
は、ジッター値が20〔ns〕よりも高くなってしま
い、また、上記第1のドライブを適用した場合に、エラ
ーレートが上昇してしまい、実用上、良好な再生信号が
得られなかった。
[Comparative Example 4] shows that the birefringence in the in-plane direction was 2
This is an example in which 28 [nm] is larger than 5 [nm] and the birefringence in the vertical direction is 330 [nm] larger than 300 [nm]. In this magneto-optical recording medium, the jitter value is 20 [ns], and when the first drive was applied, the error rate increased, and a practically good reproduced signal could not be obtained.

【0046】上述したように、本発明によれば、光磁気
記録媒体1を構成する光透過性基板2の面内方向の複屈
折および垂直方向の複屈折を、所定の範囲に特定するこ
とによって、ジッター特性を向上させることができ、多
種多用な信号再生装置に応じて正確な光磁気記録層のト
レースを行うことができ、信号品質の向上が図られた。
As described above, according to the present invention, the birefringence in the in-plane direction and the birefringence in the vertical direction of the light-transmitting substrate 2 constituting the magneto-optical recording medium 1 are specified within a predetermined range. In addition, the jitter characteristics can be improved, and accurate tracing of the magneto-optical recording layer can be performed in accordance with various types of signal reproducing devices, thereby improving the signal quality.

【0047】本発明の光磁気記録媒体によれば、ジッタ
ー特性の向上が図ることができるので、エラーレートの
マージンも向上し、外乱の影響を受けにくくなり、レー
ザを照射して得られる信号の品質の向上を図ることがで
き、安定した信号特性を得ることができた。
According to the magneto-optical recording medium of the present invention, the jitter characteristic can be improved, so that the margin of the error rate can be improved, the influence of disturbance can be reduced, and the signal obtained by irradiating the laser can be improved. The quality could be improved and stable signal characteristics could be obtained.

【0048】[0048]

【発明の効果】本発明によれば、光磁気記録媒体を構成
する光透過性基板の面内方向の複屈折および垂直方向の
複屈折を、所定の範囲に特定したことにより、ジッター
特性を向上させることができ、これにより信号品質が向
上し、多種多用な信号再生装置に応じて正確な光磁気記
録層のトレースを行うことができる光磁気記録媒体が得
られた。
According to the present invention, the birefringence in the in-plane direction and the birefringence in the vertical direction of the light transmitting substrate constituting the magneto-optical recording medium are specified within a predetermined range, thereby improving the jitter characteristic. As a result, a magneto-optical recording medium having improved signal quality and capable of accurately tracing the magneto-optical recording layer in accordance with various types of signal reproducing devices was obtained.

【0049】本発明の光磁気記録媒体においては、ジッ
ター特性の向上が図ることができるので、エラーレート
のマージンも向上し、外乱の影響を受けにくくなり、レ
ーザを照射して得られる信号の品質の向上を図ることが
でき、安定した信号特性を得ることができた。
In the magneto-optical recording medium of the present invention, since the jitter characteristics can be improved, the margin of the error rate is also improved, the influence of disturbance is reduced, and the quality of the signal obtained by irradiating the laser is improved. And stable signal characteristics could be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の光磁気記録媒体の一例の概略断面図を
示す。
FIG. 1 is a schematic sectional view of an example of a magneto-optical recording medium according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光磁気記録媒体、2 光透過性基板、3 第1の誘
電体層、4 光磁気記録層、5 第2の記録層、6 記
録層、7 反射層、8 保護層、11 対物レンズ、2
0 磁気ヘッド
REFERENCE SIGNS LIST 1 magneto-optical recording medium, 2 light-transmitting substrate, 3 first dielectric layer, 4 magneto-optical recording layer, 5 second recording layer, 6 recording layer, 7 reflective layer, 8 protective layer, 11 objective lens, 2
0 Magnetic head

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光透過性基板上に、第1の誘電体層、光
磁気記録層、第2の誘電体層、反射層、および保護層
が、順次形成されて成る光磁気記録媒体であって、 面内方向の複屈折が、−40〔nm〕〜25〔nm〕で
あり、 垂直方向の複屈折が、200〔nm〕〜300〔nm〕
であることを特徴とする光磁気記録媒体。
1. A magneto-optical recording medium in which a first dielectric layer, a magneto-optical recording layer, a second dielectric layer, a reflective layer, and a protective layer are sequentially formed on a light-transmitting substrate. The birefringence in the in-plane direction is -40 [nm] to 25 [nm], and the birefringence in the vertical direction is 200 [nm] to 300 [nm].
A magneto-optical recording medium, characterized in that:
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