JP2001200399A - 流体動圧軸受部材の表面加工方法 - Google Patents
流体動圧軸受部材の表面加工方法Info
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- JP2001200399A JP2001200399A JP2000009185A JP2000009185A JP2001200399A JP 2001200399 A JP2001200399 A JP 2001200399A JP 2000009185 A JP2000009185 A JP 2000009185A JP 2000009185 A JP2000009185 A JP 2000009185A JP 2001200399 A JP2001200399 A JP 2001200399A
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 流体動圧軸受部材の動圧溝加工前の表面仕上
げを定コストで高品質に行えるようにする。 【解決手段】 流体動圧軸受部材の動圧溝加工前の表面
加工方法であって、被加工材１の表面１Ａをまず切削で
荒加工した後、被加工材１を目的寸法とするための所要
の表面加工量ΔＳを算出し、被加工材１を電解液２１を
介して加工用電極２３の滑らかな円周面２３Ａと対向さ
せ、被加工材１と加工用電極２３との間にパルス電流を
流し、これにより被加工材１の表面１Ａを所要の表面加
工量ΔＳだけ電解エッチングにより加工すると共に所要
の面粗さ状態とする。
げを定コストで高品質に行えるようにする。 【解決手段】 流体動圧軸受部材の動圧溝加工前の表面
加工方法であって、被加工材１の表面１Ａをまず切削で
荒加工した後、被加工材１を目的寸法とするための所要
の表面加工量ΔＳを算出し、被加工材１を電解液２１を
介して加工用電極２３の滑らかな円周面２３Ａと対向さ
せ、被加工材１と加工用電極２３との間にパルス電流を
流し、これにより被加工材１の表面１Ａを所要の表面加
工量ΔＳだけ電解エッチングにより加工すると共に所要
の面粗さ状態とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体動圧軸受のシ
ャフト、スリーブ等の流体動圧軸受部材の溝加工前の表
面加工方法に関するものである。
ャフト、スリーブ等の流体動圧軸受部材の溝加工前の表
面加工方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】潤滑油等を用いた流体動圧軸受には動圧
発生用の微小な動圧溝を形成する必要がある。このた
め、従来においては、シャフト、スリーブ等の如き流体
動圧軸受部材を加工する場合、金属の塑性変形を利用し
た転造、化学エッチング、電解エッチングなどの方法が
採用されてきている。
発生用の微小な動圧溝を形成する必要がある。このた
め、従来においては、シャフト、スリーブ等の如き流体
動圧軸受部材を加工する場合、金属の塑性変形を利用し
た転造、化学エッチング、電解エッチングなどの方法が
採用されてきている。
【０００３】このうち、特に電解エッチングを用いた微
小溝の加工方法は、高速で溝形成が可能であること、加
工面が滑らかで高品質の加工が可能であること、エッチ
ング液が人体に安全な中性塩を用いることができ安全性
に優れていることなどから近年特に注目を集めてきてい
る。
小溝の加工方法は、高速で溝形成が可能であること、加
工面が滑らかで高品質の加工が可能であること、エッチ
ング液が人体に安全な中性塩を用いることができ安全性
に優れていることなどから近年特に注目を集めてきてい
る。
【０００４】例えば、特開平９−１９２９３２号公報に
は、所定の微小溝形状が電解加工される被加工物と、当
該被加工物に加工される微小溝形状に対応した微小溝形
状の電極露出部を有する電極工具と、を互いに近接して
対向配置するとともに、これら被加工物及び電極工具を
電極加工用電源の負極及び正極にそれぞれ接続し、電極
工具と被加工物との間に所定の電解液を流動させながら
通電することによって上記被加工物を前記微小溝形状に
対応して溶出させ微小溝の電解加工を行う場合に、上記
電極工具及び被加工物を所定の加工間隙をもって相対的
に不動状態に固定するとともに、前記電極加工用電源か
ら所定の時間間隔でパルス状電圧を出力し、当該電解加
工用電源から与えられた総電気量を制御することによっ
て、被加工物における微小溝形状の電解加工量を制御
し、これによって、電解微小溝加工を行う方法が開示さ
れている。
は、所定の微小溝形状が電解加工される被加工物と、当
該被加工物に加工される微小溝形状に対応した微小溝形
状の電極露出部を有する電極工具と、を互いに近接して
対向配置するとともに、これら被加工物及び電極工具を
電極加工用電源の負極及び正極にそれぞれ接続し、電極
工具と被加工物との間に所定の電解液を流動させながら
通電することによって上記被加工物を前記微小溝形状に
対応して溶出させ微小溝の電解加工を行う場合に、上記
電極工具及び被加工物を所定の加工間隙をもって相対的
に不動状態に固定するとともに、前記電極加工用電源か
ら所定の時間間隔でパルス状電圧を出力し、当該電解加
工用電源から与えられた総電気量を制御することによっ
て、被加工物における微小溝形状の電解加工量を制御
し、これによって、電解微小溝加工を行う方法が開示さ
れている。
【０００５】ところで、流体動圧軸受のシャフト、スリ
ーブ等の加工においては、動圧溝そのものが微小である
から、その溝深さ等も非常に小さいものとなる。このた
め、従来においては、動圧溝加工前に被加工材の表面を
仕上げ加工する場合、仕上げ面がその後に行われる溝加
工のための加工深さに比べて充分な面粗度となるように
機械加工により表面仕上げを行うのが一般的である。
ーブ等の加工においては、動圧溝そのものが微小である
から、その溝深さ等も非常に小さいものとなる。このた
め、従来においては、動圧溝加工前に被加工材の表面を
仕上げ加工する場合、仕上げ面がその後に行われる溝加
工のための加工深さに比べて充分な面粗度となるように
機械加工により表面仕上げを行うのが一般的である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の加工方法によると、所定の加工仕上げ面精度を
実現するためには、切削、研削、場合によっては研磨工
程を要するため、加工時間がかかると同時に加工不良も
多くなり、結果的には加工コストが高くなるという問題
点を有していた。
た従来の加工方法によると、所定の加工仕上げ面精度を
実現するためには、切削、研削、場合によっては研磨工
程を要するため、加工時間がかかると同時に加工不良も
多くなり、結果的には加工コストが高くなるという問題
点を有していた。
【０００７】本発明の目的は、従来技術における上述の
問題点を解決することができるようにした、流体動圧軸
受部材の動圧溝加工前の表面加工方法を提供することに
ある。
問題点を解決することができるようにした、流体動圧軸
受部材の動圧溝加工前の表面加工方法を提供することに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、流体動圧軸受部材の動圧溝加工前
の表面加工方法であって、所与の被加工材をまず切削で
荒加工した後、前記被加工材を目的寸法とするための所
要の加工量を算出し、前記被加工材を電解液を介して加
工電極の滑らかな表面と対向させ、前記被加工材と前記
加工電極との間にパルス電流を流し、これにより前記被
加工材の表面を前記所要の表面加工量だけ電解エッチン
グにより加工すると共に所要の面粗さ状態とするように
した方法が提案される。
め、本発明によれば、流体動圧軸受部材の動圧溝加工前
の表面加工方法であって、所与の被加工材をまず切削で
荒加工した後、前記被加工材を目的寸法とするための所
要の加工量を算出し、前記被加工材を電解液を介して加
工電極の滑らかな表面と対向させ、前記被加工材と前記
加工電極との間にパルス電流を流し、これにより前記被
加工材の表面を前記所要の表面加工量だけ電解エッチン
グにより加工すると共に所要の面粗さ状態とするように
した方法が提案される。
【０００９】荒加工により得られた被加工材の実測寸法
と目的とする寸法との差分を算出し、この差分に相当す
る加工を電解液を用いた電解エッチングにより行うの
で、被加工材を精度よく所要の寸法値に加工することが
できる上に、被加工材の表面粗さも同時に所要の値とす
ることができる。このように、シャフト、スリーブ等の
軸受部材の仕上げ寸法と仕上げ面粗度とを同時に制御し
ながら加工できるので、軸受部材を高品質で安定に加工
することができる。
と目的とする寸法との差分を算出し、この差分に相当す
る加工を電解液を用いた電解エッチングにより行うの
で、被加工材を精度よく所要の寸法値に加工することが
できる上に、被加工材の表面粗さも同時に所要の値とす
ることができる。このように、シャフト、スリーブ等の
軸受部材の仕上げ寸法と仕上げ面粗度とを同時に制御し
ながら加工できるので、軸受部材を高品質で安定に加工
することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態の一例につき詳細に説明する。
施の形態の一例につき詳細に説明する。
【００１１】図１は、本発明による流体動圧軸受のシャ
フトの加工工程を説明するため、その加工工程の一部を
示した工程図である。
フトの加工工程を説明するため、その加工工程の一部を
示した工程図である。
【００１２】図１の（Ａ）に示すように、シャフトとし
て加工すべきステンレス鋼材から成る円柱状の被加工材
１を用意する。被加工材１の外径寸法Ｓ１は、目的外径
寸法Ｓ０よりも充分に大きく、その表面１Ａの面粗度
は、例えば１０μｍ乃至１００μｍ程度のものとするこ
とができる。
て加工すべきステンレス鋼材から成る円柱状の被加工材
１を用意する。被加工材１の外径寸法Ｓ１は、目的外径
寸法Ｓ０よりも充分に大きく、その表面１Ａの面粗度
は、例えば１０μｍ乃至１００μｍ程度のものとするこ
とができる。
【００１３】次に、図１の（Ｂ）に示すように、切削加
工装置１１を用い、被加工材１の表面１Ａを切削加工
し、所定の同軸度及び同芯度であり、且つその外径寸法
が目的外径寸法Ｓ０に対して５〜１０μｍ程度大きくな
るように荒加工する。この荒加工により得られた被加工
材１の表面粗さは山谷間で約２．５μｍ程度にする。す
なわち、このときの表面粗さは、目的外径寸法Ｓ０に対
する削り代よりも大きくならないことが必要である。
工装置１１を用い、被加工材１の表面１Ａを切削加工
し、所定の同軸度及び同芯度であり、且つその外径寸法
が目的外径寸法Ｓ０に対して５〜１０μｍ程度大きくな
るように荒加工する。この荒加工により得られた被加工
材１の表面粗さは山谷間で約２．５μｍ程度にする。す
なわち、このときの表面粗さは、目的外径寸法Ｓ０に対
する削り代よりも大きくならないことが必要である。
【００１４】このように、図１の（Ａ）〜（Ｂ）に示し
た工程によって、原材料である被加工材１を切削加工し
て、外径寸法が最終目標寸法値に近いがそれよりは若干
大きい値のＳ２であり、表面粗さが数μｍオーダーのシ
ャフト用の被加工材１が得られる。
た工程によって、原材料である被加工材１を切削加工し
て、外径寸法が最終目標寸法値に近いがそれよりは若干
大きい値のＳ２であり、表面粗さが数μｍオーダーのシ
ャフト用の被加工材１が得られる。
【００１５】しかる後、図１の（Ｃ）に示すように被加
工材１の表面１Ａを充分に洗浄し、図１の（Ｄ）に示す
ように触針式の外径測定器１２を用いて荒加工後の被加
工材１の外径寸法Ｓ２を測定する。そして、被加工材１
を目的外径寸法Ｓ０とするために必要である表面１Ａの
表面加工量Ｓ２−Ｓ０（＝ΔＳ）を計算する。ここで、
外径測定器１２としては触針式のもの以外にも、レーザ
方式のもの、静電容量方式のものなどを用いることが出
来る。また、測定箇所としては１箇所ではなく、被加工
材１の軸方向に沿った複数点を同時に計測できるように
するのが好ましい。
工材１の表面１Ａを充分に洗浄し、図１の（Ｄ）に示す
ように触針式の外径測定器１２を用いて荒加工後の被加
工材１の外径寸法Ｓ２を測定する。そして、被加工材１
を目的外径寸法Ｓ０とするために必要である表面１Ａの
表面加工量Ｓ２−Ｓ０（＝ΔＳ）を計算する。ここで、
外径測定器１２としては触針式のもの以外にも、レーザ
方式のもの、静電容量方式のものなどを用いることが出
来る。また、測定箇所としては１箇所ではなく、被加工
材１の軸方向に沿った複数点を同時に計測できるように
するのが好ましい。
【００１６】図２には、上述の如くして得られた荒加工
後の被加工材１の表面１Ａを電界エッチングにより表面
加工量ΔＳだけ加工し、その外径寸法を目的外径寸法Ｓ
０とすると共に、表面１Ａの面粗さを所定の値に仕上げ
るための仕上げ加工装置が示されている。
後の被加工材１の表面１Ａを電界エッチングにより表面
加工量ΔＳだけ加工し、その外径寸法を目的外径寸法Ｓ
０とすると共に、表面１Ａの面粗さを所定の値に仕上げ
るための仕上げ加工装置が示されている。
【００１７】仕上げ加工装置２０は、電解液２１が満た
されている加工タンク２２を有しており、加工タンク２
２内に設けられている円筒状の加工用電極２３内に被加
工材１がセットされている。加工用電極２３は内周面２
３Ａが円筒面となっており、被加工材１の表面１Ａは加
工用電極２３の内周面２３Ａに囲まれ、且つ表面１Ａと
内周面２３Ａとの間に形成される加工間隙Ｇの間隙幅Ｗ
が全周に亘って均一となるよう、図示しない固定用治具
を用いて被加工材１が加工用電極２３内に同軸配置され
ている。
されている加工タンク２２を有しており、加工タンク２
２内に設けられている円筒状の加工用電極２３内に被加
工材１がセットされている。加工用電極２３は内周面２
３Ａが円筒面となっており、被加工材１の表面１Ａは加
工用電極２３の内周面２３Ａに囲まれ、且つ表面１Ａと
内周面２３Ａとの間に形成される加工間隙Ｇの間隙幅Ｗ
が全周に亘って均一となるよう、図示しない固定用治具
を用いて被加工材１が加工用電極２３内に同軸配置され
ている。
【００１８】被加工材１及び加工用電極２３は電解液２
１内に浸漬されているので、加工間隙Ｇ内も電解液２１
によって満たされている。
１内に浸漬されているので、加工間隙Ｇ内も電解液２１
によって満たされている。
【００１９】加工間隙Ｇに加工のために必要な加工用パ
ルス電圧を与えるため、直流電源２４がスイッチ２５を
介して図２に示す如く電気的に接続されている。すなわ
ち、直流電源２４の負極は加工用電極２３に直接接続さ
れ、直流電源２４の正極は被加工材１にスイッチ２５を
介して接続されている。
ルス電圧を与えるため、直流電源２４がスイッチ２５を
介して図２に示す如く電気的に接続されている。すなわ
ち、直流電源２４の負極は加工用電極２３に直接接続さ
れ、直流電源２４の正極は被加工材１にスイッチ２５を
介して接続されている。
【００２０】スイッチ２５を周期的にオン、オフ動作さ
せるため、オン／オフコントローラ２６が設けられてお
り、オン／オフコントローラ２６からのオン／オフ制御
信号Ｓに応答してスイッチ２５がオン／オフを繰り返
し、これにより加工間隙Ｇに加工用パルス電圧が繰り返
し印加される構成である。ここで、スイッチ２５は、例
えばトランジスタの如き半導体スイッチング素子とする
ことができる。
せるため、オン／オフコントローラ２６が設けられてお
り、オン／オフコントローラ２６からのオン／オフ制御
信号Ｓに応答してスイッチ２５がオン／オフを繰り返
し、これにより加工間隙Ｇに加工用パルス電圧が繰り返
し印加される構成である。ここで、スイッチ２５は、例
えばトランジスタの如き半導体スイッチング素子とする
ことができる。
【００２１】符号２７で示されるのは、加工タンク２２
内の電解液２１を浄化処理し、浄化処理された電解液を
再び加工タンク２２内に戻すための電解液再処理装置で
ある。電解液再処理装置２７は、ドレインパイプ２７Ａ
を介して加工タンク内の電解液２１を取り込み、再生処
理された電解液を供給パイプ２７Ｂを介して加工タンク
２２内に戻す公知の構成の電解液のための再生処理装置
であるから、その詳細について説明するのを省略する。
内の電解液２１を浄化処理し、浄化処理された電解液を
再び加工タンク２２内に戻すための電解液再処理装置で
ある。電解液再処理装置２７は、ドレインパイプ２７Ａ
を介して加工タンク内の電解液２１を取り込み、再生処
理された電解液を供給パイプ２７Ｂを介して加工タンク
２２内に戻す公知の構成の電解液のための再生処理装置
であるから、その詳細について説明するのを省略する。
【００２２】符号２８で示されるのは、電解液２１を加
圧して加工間隙Ｇ内に送り込み、これにより加工間隙Ｇ
内に電解液２１の流れを作り、加工速度及び加工の安定
性を向上させるための電解液噴流装置である。電解液噴
流装置２８は、加工タンク２２内の電解液２１を取入パ
イプ２８Ａを介して取り込み、図示しない加圧ポンプに
よって電解液２１を加圧し、加圧された電解液２１を噴
射ノズル２８Ｂから加工間隙Ｇに向けて送り出す公知の
構成となっている。電解液２１の送出圧力は、送給パイ
プ２８Ｃに取り付けられている流量調整弁２８Ｄによっ
て調整することができ、圧力計２８Ｅによりその送出圧
力を知ることができる構成となっている。
圧して加工間隙Ｇ内に送り込み、これにより加工間隙Ｇ
内に電解液２１の流れを作り、加工速度及び加工の安定
性を向上させるための電解液噴流装置である。電解液噴
流装置２８は、加工タンク２２内の電解液２１を取入パ
イプ２８Ａを介して取り込み、図示しない加圧ポンプに
よって電解液２１を加圧し、加圧された電解液２１を噴
射ノズル２８Ｂから加工間隙Ｇに向けて送り出す公知の
構成となっている。電解液２１の送出圧力は、送給パイ
プ２８Ｃに取り付けられている流量調整弁２８Ｄによっ
て調整することができ、圧力計２８Ｅによりその送出圧
力を知ることができる構成となっている。
【００２３】なお、図２では、噴射ノズル２８Ｂが唯一
つだけ設けられている構成が示されているが、噴射ノズ
ル２８Ｂを加工間隙Ｇに沿って複数個配設し、加工間隙
Ｇの開口に対して均等に電解液２１を加工間隙Ｇ内に向
けて送り出すようにすることもできる。
つだけ設けられている構成が示されているが、噴射ノズ
ル２８Ｂを加工間隙Ｇに沿って複数個配設し、加工間隙
Ｇの開口に対して均等に電解液２１を加工間隙Ｇ内に向
けて送り出すようにすることもできる。
【００２４】次に、電解加工装置２０による具体的加工
例について説明する。本実施の形態では、電解液２１と
してＮａＣｌ水溶液が用いられており、加工用パルス電
圧の印加により加工間隙Ｇに電流を所定の時間流して被
加工材１の表面１Ａの加工を行った。
例について説明する。本実施の形態では、電解液２１と
してＮａＣｌ水溶液が用いられており、加工用パルス電
圧の印加により加工間隙Ｇに電流を所定の時間流して被
加工材１の表面１Ａの加工を行った。
【００２５】このときの電圧値と印加時間は、間隙幅
Ｗ、電解液２１の濃度および温度、加工溝の深さと加工
面積とに依存して決定される。
Ｗ、電解液２１の濃度および温度、加工溝の深さと加工
面積とに依存して決定される。
【００２６】例えば、３０°Ｃで３５％のＮａＣｌ水溶
液を電解液２１として用い、間隙幅Ｗの値を５００μｍ
としたとき、２Ｖ×１Ａでデューティー１／５のパルス
電圧を印加したところステンレス鋼材である被加工材１
を略毎秒２μｍの速さで加工できた。
液を電解液２１として用い、間隙幅Ｗの値を５００μｍ
としたとき、２Ｖ×１Ａでデューティー１／５のパルス
電圧を印加したところステンレス鋼材である被加工材１
を略毎秒２μｍの速さで加工できた。
【００２７】この実施例においても、加工時間はおよそ
５秒以内であった。また、加工後の被加工材１の目的と
する加工寸法との差は±０．３μｍ以内であった。さら
に、最初山谷間で約２．５μｍであった表面粗さも約
０．１μｍ程度となり研磨加工としての効果も得られ
た。
５秒以内であった。また、加工後の被加工材１の目的と
する加工寸法との差は±０．３μｍ以内であった。さら
に、最初山谷間で約２．５μｍであった表面粗さも約
０．１μｍ程度となり研磨加工としての効果も得られ
た。
【００２８】以上、図１及び図２を参照してシャフトの
加工の一例を説明したが、スリーブの加工及びスラスト
板の如き円盤状の部材の加工についてもこれと同様の方
法で加工することができる。そして、いずれの場合にお
いても次のような利点を得ることができる。
加工の一例を説明したが、スリーブの加工及びスラスト
板の如き円盤状の部材の加工についてもこれと同様の方
法で加工することができる。そして、いずれの場合にお
いても次のような利点を得ることができる。
【００２９】切削等の機械的加工により軸受部材をその
溝加工前に略目的とする寸法及び表面粗さに荒加工して
おき、その後の仕上げ加工を、滑らかな表面の加工電極
と前記被加工材とを対向させ、その間隙に電解液を介在
させてパルス電流を所定の時間流すことにより表面加工
することにより行い、これにより、溝加工前の被加工材
の目標加工寸法と目標表面粗さとを同時に実現するよう
にしたので、全ての工程を機械的な切削や研磨等により
行う従来の方法に比べ、動圧軸受部材の溝加工前の表面
加工を短時間で且つ高精度にて行うことが出来ると同時
に、加工面である被加工材の表面が均一で滑らかに加工
できるので、品質の安定した動圧軸受の提供が可能とな
る。
溝加工前に略目的とする寸法及び表面粗さに荒加工して
おき、その後の仕上げ加工を、滑らかな表面の加工電極
と前記被加工材とを対向させ、その間隙に電解液を介在
させてパルス電流を所定の時間流すことにより表面加工
することにより行い、これにより、溝加工前の被加工材
の目標加工寸法と目標表面粗さとを同時に実現するよう
にしたので、全ての工程を機械的な切削や研磨等により
行う従来の方法に比べ、動圧軸受部材の溝加工前の表面
加工を短時間で且つ高精度にて行うことが出来ると同時
に、加工面である被加工材の表面が均一で滑らかに加工
できるので、品質の安定した動圧軸受の提供が可能とな
る。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、 切削等の機械的加工
により軸受部材をその溝加工前に略目的とする寸法及び
表面粗さに荒加工しておき、その後の仕上げ加工を、滑
らかな表面の加工電極と前記被加工材とを対向させ、そ
の間隙に電解液を介在させてパルス電流を所定の時間流
すことにより表面加工することにより行い、これによ
り、溝加工前の被加工材の目標加工寸法と目標表面粗さ
とを同時に実現するようにしたので、全ての工程を機械
的な切削や研磨等により行う従来の方法に比べ、動圧軸
受部材の溝加工前の表面加工を短時間で且つ高精度にて
行うことが出来ると同時に、加工面である被加工材の表
面が均一で滑らかに加工できるので、品質の安定した動
圧軸受の提供が可能となる。
により軸受部材をその溝加工前に略目的とする寸法及び
表面粗さに荒加工しておき、その後の仕上げ加工を、滑
らかな表面の加工電極と前記被加工材とを対向させ、そ
の間隙に電解液を介在させてパルス電流を所定の時間流
すことにより表面加工することにより行い、これによ
り、溝加工前の被加工材の目標加工寸法と目標表面粗さ
とを同時に実現するようにしたので、全ての工程を機械
的な切削や研磨等により行う従来の方法に比べ、動圧軸
受部材の溝加工前の表面加工を短時間で且つ高精度にて
行うことが出来ると同時に、加工面である被加工材の表
面が均一で滑らかに加工できるので、品質の安定した動
圧軸受の提供が可能となる。
【図１】本発明の方法によるシャフトの加工工程の一部
を説明するための工程図。
を説明するための工程図。
【図２】図１に示す工程により得られたシャフトを電解
エッチングによる表面仕上げ加工するための工程で使用
する仕上げ加工装置の一例を一部断面して示す概略構成
図。
エッチングによる表面仕上げ加工するための工程で使用
する仕上げ加工装置の一例を一部断面して示す概略構成
図。
１ 被加工材 １Ａ 表面 １１ 切削加工装置 １２ 外径測定器 ２０ 仕上げ加工装置 ２１ 電解液 ２３ 加工用電極 ２３Ａ 内周面 ２４ 直流電源 ２６ オン／オフコントローラ ２７ 電解液再処理装置 ２８ 電解液噴流装置 Ｓ０ 目的外径寸法 Ｓ１ 外径寸法 Ｓ２ 外径寸法
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ１６Ｃ 33/14 Ｆ１６Ｃ 33/14 Ｚ
Claims (2)
- 【請求項１】 流体動圧軸受部材の動圧溝加工前の表面
加工方法であって、 所与の被加工材の表面をまず切削で荒加工した後、前記
被加工材を目的寸法とするための所要の表面加工量を算
出し、前記被加工材を電解液を介して加工電極の滑らか
な表面と対向させ、前記被加工材と前記加工電極との間
にパルス電流を流し、これにより前記被加工材の表面を
前記所要の表面加工量だけ電解エッチングにより加工す
ると共に所要の面粗さ状態とすることを特徴とする流体
動圧軸受部材の表面加工方法。 - 【請求項２】 前記被加工材が流体動圧軸受を構成する
シャフトであることを特徴とする流体動圧軸受部材の表
面加工方法。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009148873A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-07-09 | Denso Corp | 流体機器の加工方法 |
| JP2012112534A (ja) * | 2012-03-16 | 2012-06-14 | Alphana Technology Co Ltd | 流体動圧軸受の製造方法、流体動圧軸受、モータおよびディスク駆動装置 |
| US8776377B2 (en) | 2009-02-04 | 2014-07-15 | Samsung Electro-Mechanics Japan Advanced Technology Co., Ltd. | Method for manufacturing a fluid dynamic bearing, a fluid dynamic bearing, a motor, and a disk drive device |
-
2000
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4502046B2 (ja) * | 2007-11-28 | 2010-07-14 | 株式会社デンソー | 流体機器の加工方法 |
| US8776377B2 (en) | 2009-02-04 | 2014-07-15 | Samsung Electro-Mechanics Japan Advanced Technology Co., Ltd. | Method for manufacturing a fluid dynamic bearing, a fluid dynamic bearing, a motor, and a disk drive device |
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