JP2001298160A - 集積回路 - Google Patents
集積回路Info
- Publication number
- JP2001298160A JP2001298160A JP2000114913A JP2000114913A JP2001298160A JP 2001298160 A JP2001298160 A JP 2001298160A JP 2000114913 A JP2000114913 A JP 2000114913A JP 2000114913 A JP2000114913 A JP 2000114913A JP 2001298160 A JP2001298160 A JP 2001298160A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- circuit
- lsi
- integrated circuit
- correction value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/01—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using semiconducting elements having PN junctions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K15/00—Testing or calibrating of thermometers
- G01K15/005—Calibration
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 LSI製造時に温度校正データをLSI内に
保存し、電子装置に組み込まれた後でも、人手介入なし
で、高精度のチップ温度測定を可能にする。 【解決手段】 電圧測定回路3は感熱素子2に定電流回路
4から電流を流し、電圧測定回路5で感熱素子2の両極間
の電圧を測定し、測定結果をAD変換回路7に出力し、
演算回路8では、AD変換回路7から出力される電圧デー
タと、不揮発生補正値保持回路6から出力される温度校
正データを入力し、校正された温度データを演算し、読
出インタフェース9を介して制御手段10に出力する。制
御手段10は冷却機構制御装置12を制御し冷却能力を上
げ、LSI1の温度を動作保証温度以内に制御し、ま
た、LSIを焼損等から保護するため、電源制御装置11
を制御し、電源を切る。保持回路6に格納する温度校正
データはLSI1に電源を供給する前に、感熱素子2の特
性を検査することにより取得しておく。
保存し、電子装置に組み込まれた後でも、人手介入なし
で、高精度のチップ温度測定を可能にする。 【解決手段】 電圧測定回路3は感熱素子2に定電流回路
4から電流を流し、電圧測定回路5で感熱素子2の両極間
の電圧を測定し、測定結果をAD変換回路7に出力し、
演算回路8では、AD変換回路7から出力される電圧デー
タと、不揮発生補正値保持回路6から出力される温度校
正データを入力し、校正された温度データを演算し、読
出インタフェース9を介して制御手段10に出力する。制
御手段10は冷却機構制御装置12を制御し冷却能力を上
げ、LSI1の温度を動作保証温度以内に制御し、ま
た、LSIを焼損等から保護するため、電源制御装置11
を制御し、電源を切る。保持回路6に格納する温度校正
データはLSI1に電源を供給する前に、感熱素子2の特
性を検査することにより取得しておく。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プロセッサユニッ
トやプロセッサモジュールなど電子装置内の集積回路
(以下、LSIと呼ぶ)内に設けた感熱素子の温度依存
性を利用して、LSIのチップ温度を測定し、該チップ
温度の測定データに基づき、例えば冷却ファンの回転を
制御する電子装置の温度測定系に関する。
トやプロセッサモジュールなど電子装置内の集積回路
(以下、LSIと呼ぶ)内に設けた感熱素子の温度依存
性を利用して、LSIのチップ温度を測定し、該チップ
温度の測定データに基づき、例えば冷却ファンの回転を
制御する電子装置の温度測定系に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の技術は、LSIを電子装置内に組
み込んだ後で、チップ温度測定を高精度に行いたい場
合、ユーザーが、LSI個々のバラツキに対する補正値
を与え、測定精度を向上していた。
み込んだ後で、チップ温度測定を高精度に行いたい場
合、ユーザーが、LSI個々のバラツキに対する補正値
を与え、測定精度を向上していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、ユ
ーザーが温度補正値を与えなければ高精度のチップ温度
測定が出来ないという問題があった。本発明の目的は、
LSI製造時に温度補正値をLSI内に保存し、電子装
置に組み込まれた後でも、人手介入なしで、高精度のチ
ップ温度測定を可能にすることにある。
ーザーが温度補正値を与えなければ高精度のチップ温度
測定が出来ないという問題があった。本発明の目的は、
LSI製造時に温度補正値をLSI内に保存し、電子装
置に組み込まれた後でも、人手介入なしで、高精度のチ
ップ温度測定を可能にすることにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、集積回路内に設けた感熱素子の電極間に
発生する電圧を測定し、感熱素子の温度依存性を利用し
て集積回路のチップ温度を測定する集積回路において、
前記感熱素子の電極間に発生する電圧を測定する測定手
段と、前記感熱素子の温度校正データを保持しデータの
書き込み可能な不揮発性補正値保持回路と、前記測定手
段の出力である電圧値と、前記不揮発性補正値保持回路
から出力される温度校正データを入力し、前記集積回路
の校正された温度データを算出し出力する演算回路を備
えるようにしている。また、前記不揮発性補正値保持回
路は、さらに温度閾値を保持し、前記演算回路は、前記
不揮発性補正値保持回路から出力される温度閾値をさら
に入力し、算出した校正された温度データが該温度閾値
より大きいとき一方の値を、大きくないとき他方の値を
出力するようにしている。また、前記演算回路は、前記
不揮発性補正値保持回路を内蔵するようにしている。
め、本発明は、集積回路内に設けた感熱素子の電極間に
発生する電圧を測定し、感熱素子の温度依存性を利用し
て集積回路のチップ温度を測定する集積回路において、
前記感熱素子の電極間に発生する電圧を測定する測定手
段と、前記感熱素子の温度校正データを保持しデータの
書き込み可能な不揮発性補正値保持回路と、前記測定手
段の出力である電圧値と、前記不揮発性補正値保持回路
から出力される温度校正データを入力し、前記集積回路
の校正された温度データを算出し出力する演算回路を備
えるようにしている。また、前記不揮発性補正値保持回
路は、さらに温度閾値を保持し、前記演算回路は、前記
不揮発性補正値保持回路から出力される温度閾値をさら
に入力し、算出した校正された温度データが該温度閾値
より大きいとき一方の値を、大きくないとき他方の値を
出力するようにしている。また、前記演算回路は、前記
不揮発性補正値保持回路を内蔵するようにしている。
【0005】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を説明す
る。図1は本発明に係る集積回路(LSI)の実施例の
構成図である。図1に示すLSIは、LSI1内に設け
られた感熱素子2の順方向電圧を測定するための定電流
回路4及び電圧測定回路5を有する電圧測定手段3と、
感熱素子2の順方向電圧を事前に、温度校正のため、2
温度点以上で測定したデータまたは該測定したデータを
基に求めた補正用パラメータを温度校正用データとして
保持する不揮発性補正値保持回路6と、前記電圧測定手
段3にて測定された電圧値と前記不揮発性補正値保持回
路6に保持された温度校正用データに基づき温度を算出
する演算回路8と、前記演算回路8にて、算出された温
度データをLSI外部に出力するための読出しインタフ
ェース9をLSI内部に備えている。電子装置全体の制
御手段10は、前記LSIの読出インタフェース9より
出力されたデータをもとに、プロセッサユニット用電源
制御装置11や冷却機構制御装置12を制御する。
る。図1は本発明に係る集積回路(LSI)の実施例の
構成図である。図1に示すLSIは、LSI1内に設け
られた感熱素子2の順方向電圧を測定するための定電流
回路4及び電圧測定回路5を有する電圧測定手段3と、
感熱素子2の順方向電圧を事前に、温度校正のため、2
温度点以上で測定したデータまたは該測定したデータを
基に求めた補正用パラメータを温度校正用データとして
保持する不揮発性補正値保持回路6と、前記電圧測定手
段3にて測定された電圧値と前記不揮発性補正値保持回
路6に保持された温度校正用データに基づき温度を算出
する演算回路8と、前記演算回路8にて、算出された温
度データをLSI外部に出力するための読出しインタフ
ェース9をLSI内部に備えている。電子装置全体の制
御手段10は、前記LSIの読出インタフェース9より
出力されたデータをもとに、プロセッサユニット用電源
制御装置11や冷却機構制御装置12を制御する。
【0006】本実施例によれば、LSIの温度が、LS
Iの動作保証温度以上になった場合、冷却機構制御装置
12を制御し冷却能力を上げ、LSIの温度を動作保証
温度以内に制御することができる。また、最終手段とし
て、LSIを焼損等から保護するため、プロセッサユニ
ット用電源制御装置11を制御し、電源を切ることがで
きる。このように常時、チップの温度を監視できるた
め、電子装置の信頼性を向上することができる。
Iの動作保証温度以上になった場合、冷却機構制御装置
12を制御し冷却能力を上げ、LSIの温度を動作保証
温度以内に制御することができる。また、最終手段とし
て、LSIを焼損等から保護するため、プロセッサユニ
ット用電源制御装置11を制御し、電源を切ることがで
きる。このように常時、チップの温度を監視できるた
め、電子装置の信頼性を向上することができる。
【0007】次に、前記不揮発性補正値保持回路6に保
持される温度校正用データの取得と、該保持回路6への
温度校正用データの格納と、前記演算回路における温度
校正について詳細に説明する。図2は本発明に係るLS
Iの温度補正用データの取得および不揮発性補正値保持
回路への補正値の格納を説明するための図である。図3
は本発明に係るLSIの温度算出方法を示す図である。
温度校正のためには、まず、温度校正のために必要なデ
ータを求める。このデータを求めるために、LSI1に
電源を供給する前に、温度制御装置15及び温度測定器
16を用いて、低温にLSI1の温度を安定させ、LS
I1の端子から感熱素子2のみに一定量の電流を流し、
電極間に発生する電圧をLSI1の端子から読み出し装
置13により読み出し、測定する。このときの温度と電
圧は、図3のに示すように、TLowとVLowにな
る。次に、温度制御装置15及び温度測定器16を用い
て、高温にLSI1の温度を安定させ、LSI1の端子
から感熱素子2のみに一定量の電流を流し、電極間に発
生する電圧をLSI1の端子から読み出し装置13によ
り読み出し、測定する。このときの温度と電圧は、図3
のに示すように、THighとVHighになる。L
SI1に電源を供給する前に測定するためLSI1自身
の発熱はなく、測定結果にLSI1自身の発熱の影響は
ない。この4つの値が求まることにより、図3に示すよ
うに、(VLow,TLow)の点と(VHigh,T
High)の点を通るV−Tjの直線が求まり、感熱素
子2の電極間の電圧がVMeasのときのLSI1の温
度は、この直線からTMeasとして求まる。また、こ
の直線から温度換算式は、図3に示すように、 TMeas=a×(VMeas−VLow)+TLow となり、傾きaは、 a=(THigh−TLow)/(VHigh−VLow) となる。不揮発性補正値保持回路6に書き込む温度校正
用データは、例えば、上記のVLow、TLow、VH
igh、THighの組、あるいは、上記の傾きa、V
Low、TLowの組などである。次に、不揮発性補正
値保持回路6に温度校正用データを書き込み装置14を
用いてLSI1の端子から書き込む。
持される温度校正用データの取得と、該保持回路6への
温度校正用データの格納と、前記演算回路における温度
校正について詳細に説明する。図2は本発明に係るLS
Iの温度補正用データの取得および不揮発性補正値保持
回路への補正値の格納を説明するための図である。図3
は本発明に係るLSIの温度算出方法を示す図である。
温度校正のためには、まず、温度校正のために必要なデ
ータを求める。このデータを求めるために、LSI1に
電源を供給する前に、温度制御装置15及び温度測定器
16を用いて、低温にLSI1の温度を安定させ、LS
I1の端子から感熱素子2のみに一定量の電流を流し、
電極間に発生する電圧をLSI1の端子から読み出し装
置13により読み出し、測定する。このときの温度と電
圧は、図3のに示すように、TLowとVLowにな
る。次に、温度制御装置15及び温度測定器16を用い
て、高温にLSI1の温度を安定させ、LSI1の端子
から感熱素子2のみに一定量の電流を流し、電極間に発
生する電圧をLSI1の端子から読み出し装置13によ
り読み出し、測定する。このときの温度と電圧は、図3
のに示すように、THighとVHighになる。L
SI1に電源を供給する前に測定するためLSI1自身
の発熱はなく、測定結果にLSI1自身の発熱の影響は
ない。この4つの値が求まることにより、図3に示すよ
うに、(VLow,TLow)の点と(VHigh,T
High)の点を通るV−Tjの直線が求まり、感熱素
子2の電極間の電圧がVMeasのときのLSI1の温
度は、この直線からTMeasとして求まる。また、こ
の直線から温度換算式は、図3に示すように、 TMeas=a×(VMeas−VLow)+TLow となり、傾きaは、 a=(THigh−TLow)/(VHigh−VLow) となる。不揮発性補正値保持回路6に書き込む温度校正
用データは、例えば、上記のVLow、TLow、VH
igh、THighの組、あるいは、上記の傾きa、V
Low、TLowの組などである。次に、不揮発性補正
値保持回路6に温度校正用データを書き込み装置14を
用いてLSI1の端子から書き込む。
【0008】上記の実施例では、演算回路8の出力は温
度データであるが、演算回路8の出力が、LSI1の温
度が予め定めた閾値以上の場合に一方の値(例えば、
‘1’)を取り、予め定めた閾値以上でない場合に他方
の値(例えば、‘0’)を取るようにしてもよい。この
場合には、不揮発性補正値保持回路6に、さらに閾値を
書き込み、保存しておき、演算回路8には算出された温
度データと閾値を比較し、比較結果として前記一方の値
または他方の値を出力する回路を設けるようにする。ま
た、不揮発性補正値保持回路6と演算回路8はそれぞれ
別々に設けられているが、演算回路8に不揮発性補正値
保持回路6が内蔵される構成にしてもよい。
度データであるが、演算回路8の出力が、LSI1の温
度が予め定めた閾値以上の場合に一方の値(例えば、
‘1’)を取り、予め定めた閾値以上でない場合に他方
の値(例えば、‘0’)を取るようにしてもよい。この
場合には、不揮発性補正値保持回路6に、さらに閾値を
書き込み、保存しておき、演算回路8には算出された温
度データと閾値を比較し、比較結果として前記一方の値
または他方の値を出力する回路を設けるようにする。ま
た、不揮発性補正値保持回路6と演算回路8はそれぞれ
別々に設けられているが、演算回路8に不揮発性補正値
保持回路6が内蔵される構成にしてもよい。
【0009】
【発明の効果】本発明によるLSIは、電子装置に組み
込まれた後でも、人手介入なしで、高精度にチップ温度
測定が行える。さらに、高精度の温度データをもとに各
種処理の実行を可能にできるため、電子装置の信頼性を
向上することができる。
込まれた後でも、人手介入なしで、高精度にチップ温度
測定が行える。さらに、高精度の温度データをもとに各
種処理の実行を可能にできるため、電子装置の信頼性を
向上することができる。
【図1】本発明に係るLSIの実施例の構成を示す図で
ある。
ある。
【図2】本発明に係るLSIの温度補正用データの取得
および不揮発性補正値保持回路への補正値の格納を説明
するための図である。
および不揮発性補正値保持回路への補正値の格納を説明
するための図である。
【図3】本発明に係るLSIの温度算出方法を示す図で
ある。
ある。
1 LSI 2 感熱素子 3 電圧測定手段 4 定電流回路 5 電圧測定回路 6 不揮発性補正値保持回路 7 AD変換回路 8 演算回路 9 読出インタフェース 10 電子装置全体の制御手段 11 プロセッサユニット用電源制御装置 12 冷却機構制御装置 13 読み出し装置 14 書き込み装置 15 温度制御装置 16 温度測定器
Claims (3)
- 【請求項1】 集積回路内に設けた感熱素子の電極間に
発生する電圧を測定し、感熱素子の温度依存性を利用し
て集積回路のチップ温度を測定する集積回路において、 前記感熱素子の電極間に発生する電圧を測定する測定手
段と、 前記感熱素子の温度校正データを保持しデータの書き込
み可能な不揮発性補正値保持回路と、 前記測定手段の出力である電圧値と、前記不揮発性補正
値保持回路から出力される温度校正データを入力し、前
記集積回路の校正された温度データを算出し出力する演
算回路を備えることを特徴とする集積回路。 - 【請求項2】 請求項1記載の集積回路において、 前記不揮発性補正値保持回路は、さらに温度閾値を保持
し、 前記演算回路は、前記不揮発性補正値保持回路から出力
される温度閾値をさらに入力し、算出した校正された温
度データが該温度閾値より大きいとき一方の値を、大き
くないとき他方の値を出力することを特徴とする集積回
路。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2記載の集積回路
において、 前記演算回路は、前記不揮発性補正値保持回路を内蔵す
ることを特徴とする集積回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000114913A JP2001298160A (ja) | 2000-04-17 | 2000-04-17 | 集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000114913A JP2001298160A (ja) | 2000-04-17 | 2000-04-17 | 集積回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001298160A true JP2001298160A (ja) | 2001-10-26 |
Family
ID=18626642
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000114913A Pending JP2001298160A (ja) | 2000-04-17 | 2000-04-17 | 集積回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001298160A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004080142A1 (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 冷却装置 |
JP2008187726A (ja) * | 2008-02-21 | 2008-08-14 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体集積回路装置及びその製造方法 |
JP2008197011A (ja) * | 2007-02-14 | 2008-08-28 | Denso Corp | センサ内蔵装置用較正装置 |
US7731417B2 (en) | 2007-03-29 | 2010-06-08 | Mitsubishi Electric Corporation | Temperature detection circuit |
EP2511682A2 (en) | 2011-04-13 | 2012-10-17 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and temperature data generation method |
US8449173B1 (en) * | 2008-04-10 | 2013-05-28 | Google Inc. | Method and system for thermal testing of computing system components |
JP2014153232A (ja) * | 2013-02-11 | 2014-08-25 | Denso Corp | 検出温度誤差補正方法、及び検出温度誤差補正システム |
CN107314828A (zh) * | 2016-04-27 | 2017-11-03 | 瑞萨电子株式会社 | 半导体器件、温度传感器和电源电压监测器 |
JP2019134318A (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置およびキャリブレーション方法 |
CN110275103A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-09-24 | 浙江华仪电子股份有限公司 | 一种目标板功耗及电平时序检测系统 |
-
2000
- 2000-04-17 JP JP2000114913A patent/JP2001298160A/ja active Pending
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004080142A1 (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 冷却装置 |
JP2008197011A (ja) * | 2007-02-14 | 2008-08-28 | Denso Corp | センサ内蔵装置用較正装置 |
US7731417B2 (en) | 2007-03-29 | 2010-06-08 | Mitsubishi Electric Corporation | Temperature detection circuit |
JP2008187726A (ja) * | 2008-02-21 | 2008-08-14 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体集積回路装置及びその製造方法 |
US8449173B1 (en) * | 2008-04-10 | 2013-05-28 | Google Inc. | Method and system for thermal testing of computing system components |
EP2511682A2 (en) | 2011-04-13 | 2012-10-17 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and temperature data generation method |
US9360381B2 (en) | 2011-04-13 | 2016-06-07 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and data generation method |
JP2014153232A (ja) * | 2013-02-11 | 2014-08-25 | Denso Corp | 検出温度誤差補正方法、及び検出温度誤差補正システム |
CN107314828B (zh) * | 2016-04-27 | 2020-11-27 | 瑞萨电子株式会社 | 半导体器件、温度传感器和电源电压监测器 |
CN107314828A (zh) * | 2016-04-27 | 2017-11-03 | 瑞萨电子株式会社 | 半导体器件、温度传感器和电源电压监测器 |
CN112345104B (zh) * | 2016-04-27 | 2022-12-02 | 瑞萨电子株式会社 | 半导体器件、温度传感器和电源电压监测器 |
CN112345104A (zh) * | 2016-04-27 | 2021-02-09 | 瑞萨电子株式会社 | 半导体器件、温度传感器和电源电压监测器 |
WO2019151065A1 (en) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Imaging device and calibration method |
CN111630846A (zh) * | 2018-01-31 | 2020-09-04 | 索尼半导体解决方案公司 | 摄像装置和校准方法 |
JP7078818B2 (ja) | 2018-01-31 | 2022-06-01 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置およびキャリブレーション方法 |
JP2019134318A (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置およびキャリブレーション方法 |
US11686630B2 (en) | 2018-01-31 | 2023-06-27 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Imaging device and calibration method |
CN111630846B (zh) * | 2018-01-31 | 2023-09-15 | 索尼半导体解决方案公司 | 摄像装置和校准方法 |
CN110275103A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-09-24 | 浙江华仪电子股份有限公司 | 一种目标板功耗及电平时序检测系统 |
CN110275103B (zh) * | 2019-06-24 | 2022-03-15 | 浙江华仪电子股份有限公司 | 一种目标板功耗及电平时序检测系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4406405B2 (ja) | 温度感知システム | |
US7565258B2 (en) | Thermal sensor and method | |
JP4279825B2 (ja) | 温度検出回路を備える集積回路のダイと温度検出回路の校正システムおよび方法 | |
US7417448B2 (en) | System to calibrate on-die temperature sensor | |
EP3152538B1 (en) | Low power low cost temperature sensor | |
JP4942990B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
US7535020B2 (en) | Systems and methods for thermal sensing | |
CN107305147B (zh) | 温度传感器和具有高准确度的温度传感器校准方法 | |
JP6818919B1 (ja) | 温度センサモジュール | |
US7325449B2 (en) | Thermal flow sensor having an amplifier section for adjusting the temperature of the heating element | |
EP1751511B1 (en) | Pn-junction temperature sensing apparatus | |
JP2001298160A (ja) | 集積回路 | |
US20040086008A1 (en) | Method and system for providing thermal control of superluminescent diodes | |
JP2000162066A (ja) | センサ装置 | |
JP2007527990A (ja) | 温度較正の方法および構成 | |
JP3272633B2 (ja) | 恒温槽型圧電発振器 | |
JP2005274372A (ja) | 温度検出装置 | |
JP2010216906A (ja) | 自動車用流量計 | |
JP2012198037A (ja) | 温度ドリフト補正装置 | |
JP2006105870A (ja) | 温度センサおよび温度センサの補正方法 | |
KR100337622B1 (ko) | 감열식 유량계 | |
JP2006201077A (ja) | 熱式空気流量計 | |
JP4295896B2 (ja) | Cmos集積回路及びこれを用いたタイミング信号発生装置 | |
JP2004340936A (ja) | 流量センサ | |
EP4036541A1 (en) | Calibration and temperature sensing on integrated circuit chip |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040317 |