Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP2001266758A - Plasma display unit and its manufacturing method - Google Patents

Plasma display unit and its manufacturing method

Info

Publication number
JP2001266758A
JP2001266758A JP2000208720A JP2000208720A JP2001266758A JP 2001266758 A JP2001266758 A JP 2001266758A JP 2000208720 A JP2000208720 A JP 2000208720A JP 2000208720 A JP2000208720 A JP 2000208720A JP 2001266758 A JP2001266758 A JP 2001266758A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
dielectric layer
bus
plasma display
bus electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000208720A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoshi Nakada
諭 中田
Ichiro Uchiumi
一郎 内海
Hiroshi Mori
啓 森
Eitaro Yoshikawa
英太郎 吉川
Tomohiro Kimura
友廣 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2000208720A priority Critical patent/JP2001266758A/en
Priority to US09/755,167 priority patent/US6657396B2/en
Priority to KR1020010001294A priority patent/KR20010083103A/en
Priority to CNA031457967A priority patent/CN1476039A/en
Priority to CN01104586A priority patent/CN1304157A/en
Priority to EP01400073A priority patent/EP1130620A2/en
Publication of JP2001266758A publication Critical patent/JP2001266758A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma display unit that can narrow discharge gap between paired discharge sustaining electrodes and reduce the thickness of dielectric layer. SOLUTION: The AC drive type plasma display unit is composed of the first panel, equipped with a plurality of the first electrodes and the second panel. Each of the first electrodes consists of the first bus electrode 13A, the first discharge-sustaining electrode 12A, the second bus electrode 13B that extends in parallel to first bus electrode 13A, and the second discharge sustaining electrode 12B facing the first discharge-sustaining electrode 12A. The first portion of a dielectric layer, that coats the first and second bus electrodes 13A and 13B, respectively, consists of the first and second dielectric layer 14A and 14B, respectively, while the second portion of the dielectric layer that coats the first and second discharge sustaining electrodes 12A and 12B is composed of the first dielectric layer 14A.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、交流駆動型のプラ
ズマ表示装置及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an AC-driven plasma display device and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在主流の陰極線管(CRT)に代わる
画像表示装置として、平面型(フラットパネル形式)の
表示装置が種々検討されている。このような平面型の表
示装置として、液晶表示装置(LCD)、エレクトロル
ミネッセンス表示装置(ELD)、プラズマ表示装置
(PDP:プラズマ・ディスプレイ)を例示することが
できる。中でも、プラズマ表示装置は、大画面化や広視
野角化が比較的容易であること、温度、磁気、振動等の
環境要因に対する耐性に優れること、長寿命であること
等の長所を有し、家庭用の壁掛けテレビの他、公共用の
大型情報端末機器への適用が期待されている。
2. Description of the Related Art Various types of flat-panel (flat-panel) display devices have been studied as image display devices to replace the current mainstream cathode ray tube (CRT). Examples of such a flat display device include a liquid crystal display device (LCD), an electroluminescence display device (ELD), and a plasma display device (PDP: plasma display). Above all, the plasma display device has advantages such as relatively easy enlargement of the screen and wide viewing angle, excellent resistance to environmental factors such as temperature, magnetism and vibration, and long life. It is expected to be applied not only to home wall-mounted TVs but also to large public information terminals.

【0003】プラズマ表示装置は、希ガスを封入した放
電セルに電圧を印加して、希ガス中でのグロー放電に基
づき発生した真空紫外線で放電セル内の蛍光体層を励起
することによって発光を得る表示装置である。つまり、
個々の放電セルは蛍光灯に類似した原理で駆動され、放
電セルが、通常、数十万個から数百万個のオーダーで集
合して1つの表示画面が構成されている。プラズマ表示
装置は、放電セルへの電圧の印加方式によって直流駆動
型(DC型)と交流駆動型(AC型)とに大別され、そ
れぞれ一長一短を有する。交流駆動型プラズマ表示装置
は、表示画面内で個々の放電セルを仕切る役割を果たす
隔壁を例えばストライプ状に形成すればよいので、高精
細化に適している。しかも、電極の表面が誘電体材料で
覆われているので、電極が磨耗し難く、長寿命であると
いった長所を有する。
A plasma display device emits light by applying a voltage to a discharge cell containing a rare gas and exciting a phosphor layer in the discharge cell with vacuum ultraviolet rays generated based on a glow discharge in the rare gas. It is a display device to obtain. That is,
The individual discharge cells are driven according to a principle similar to a fluorescent lamp, and the discharge cells are generally assembled in the order of several hundred thousand to several million to form one display screen. Plasma display devices are roughly classified into a direct current drive type (DC type) and an alternating current drive type (AC type) according to a method of applying a voltage to a discharge cell, and each has advantages and disadvantages. The AC-driven plasma display device is suitable for high definition, since partition walls that serve to partition individual discharge cells in a display screen may be formed in a stripe shape, for example. In addition, since the surface of the electrode is covered with the dielectric material, the electrode is less likely to be worn and has a long life.

【0004】交流駆動型プラズマ表示装置の典型例の一
部分の模式的な分解斜視図を図2に示す。この交流駆動
型プラズマ表示装置は所謂3電極型に属し、対になった
放電維持電極12A,12Bの間で主にグロー放電が生
じる。図2に示す交流駆動型プラズマ表示装置は、第1
のパネル(フロントパネル)10と第2のパネル(リア
パネル)20とが周縁部で貼り合わされて成る。第2の
パネル20上の蛍光体層24の発光は、第1のパネル1
0を通して観察される。
FIG. 2 is a schematic exploded perspective view of a part of a typical example of an AC drive type plasma display device. This AC drive type plasma display device belongs to a so-called three-electrode type, and a glow discharge mainly occurs between a pair of discharge sustaining electrodes 12A and 12B. The AC-driven plasma display device shown in FIG.
(Front panel) 10 and a second panel (rear panel) 20 are bonded together at the periphery. The light emission of the phosphor layer 24 on the second panel 20
Observed through 0.

【0005】第1のパネル10は、透明な第1の基板1
1と、第1の基板11上にストライプ状に設けられ、透
明導電材料から成る対になった放電維持電極(第1の放
電維持電極12A及び第2の放電維持電極12B)と、
放電維持電極12A,12Bのインピーダンスを低下さ
せるために設けられ、放電維持電極12A,12Bより
も電気抵抗率の低い材料から成るバス電極(第1のバス
電極13A及び第2のバス電極13B)と、バス電極1
3A,13B上及び放電維持電極12A,12B上を含
む第1の基板11上に形成された誘電体層14と、誘電
体層14上に形成された保護層15とから構成されてい
る。通常、誘電体層14は、例えば低融点ガラスペース
トの焼成体から構成され、保護層15は、酸化マグネシ
ウム(MgO)から構成されている。
[0005] The first panel 10 comprises a transparent first substrate 1.
1, a pair of discharge sustaining electrodes (first and second discharge sustaining electrodes 12A and 12B) provided in stripes on the first substrate 11 and made of a transparent conductive material;
A bus electrode (a first bus electrode 13A and a second bus electrode 13B) which is provided for lowering the impedance of the discharge sustaining electrodes 12A and 12B and is made of a material having a lower electric resistivity than the discharge sustaining electrodes 12A and 12B; , Bus electrode 1
It comprises a dielectric layer 14 formed on the first substrate 11 including on 3A and 13B and on the sustain electrodes 12A and 12B, and a protective layer 15 formed on the dielectric layer 14. Usually, the dielectric layer 14 is made of, for example, a fired body of a low-melting glass paste, and the protective layer 15 is made of magnesium oxide (MgO).

【0006】一方、第2のパネル20は、第2の基板2
1と、第2の基板21上にストライプ状に設けられた第
2の電極(アドレス電極あるいはデータ電極とも呼ばれ
る)22と、第2の電極22上を含む第2の基板21上
に形成された誘電体膜23と、誘電体膜23上であって
隣り合う第2の電極22の間の領域に第2の電極22と
平行に延びる絶縁性の隔壁25と、誘電体膜23上から
隔壁25の側壁面上に亙って設けられた蛍光体層24と
から構成されている。蛍光体層24は、赤色蛍光体層2
4R、緑色蛍光体層24G、及び、青色蛍光体層24B
から構成されており、これらの各色の蛍光体層24R,
24G,24Bが所定の順序に従って設けられている。
図2は分解斜視図であり、実際には第2のパネル20側
の隔壁25の頂部が第1のパネル10側の保護層15に
当接している。対になった放電維持電極12A,12B
と、2つの隔壁25の間に位置する第2の電極22とが
重複する領域が、放電セルに相当する。そして、隣り合
う隔壁25と蛍光体層24と保護層15とによって囲ま
れた空間内には、希ガスが封入されている。
On the other hand, the second panel 20 is a second substrate 2
1, a second electrode (also referred to as an address electrode or a data electrode) 22 provided in a stripe shape on the second substrate 21, and a second electrode 21 formed on the second substrate 21 including the second electrode 22. A dielectric film 23, an insulating partition wall 25 extending in parallel with the second electrode 22 in a region between the adjacent second electrodes 22 on the dielectric film 23, and a partition wall 25 extending from the dielectric film 23 And a phosphor layer 24 provided on the side wall surface of the phosphor layer. The phosphor layer 24 includes the red phosphor layer 2
4R, green phosphor layer 24G, and blue phosphor layer 24B
And the phosphor layers 24R, 24R,
24G and 24B are provided in a predetermined order.
FIG. 2 is an exploded perspective view. In fact, the top of the partition 25 on the second panel 20 side is in contact with the protective layer 15 on the first panel 10 side. Discharge sustaining electrodes 12A and 12B which are paired
The area where the second electrode 22 located between the two partition walls 25 overlaps corresponds to a discharge cell. A rare gas is sealed in a space surrounded by the adjacent partition wall 25, the phosphor layer 24, and the protective layer 15.

【0007】バス電極13A,13Bが延びる方向と第
2の電極22が延びる方向とは90度の角度を成してお
り、対になった放電維持電極12A,12Bと、3原色
を発光する蛍光体層24R,24G,24Bの1組とが
重複する領域が1画素に相当する。グロー放電が対にな
った放電維持電極12A,12B間で生じることから、
このタイプのプラズマ表示装置は「面放電型」と称され
る。放電セルにおいては、希ガス中でのグロー放電に基
づき発生した真空紫外線の照射によって励起された蛍光
体層が、蛍光体材料の種類に応じた特有の発光色を呈す
る。尚、封入された希ガスの種類に応じた波長を有する
真空紫外線が発生する。
The direction in which the bus electrodes 13A and 13B extend and the direction in which the second electrode 22 extends form an angle of 90 degrees, and a pair of the discharge sustaining electrodes 12A and 12B and the fluorescent light emitting the three primary colors are used. A region where one set of the body layers 24R, 24G, and 24B overlaps corresponds to one pixel. Since the glow discharge occurs between the paired discharge sustaining electrodes 12A and 12B,
This type of plasma display device is called a "surface discharge type". In the discharge cell, the phosphor layer excited by the irradiation of the vacuum ultraviolet ray generated based on the glow discharge in the rare gas emits a specific emission color according to the type of the phosphor material. Incidentally, vacuum ultraviolet rays having a wavelength corresponding to the type of the rare gas enclosed are generated.

【0008】図2に示したプラズマ表示装置における、
放電維持電極12A,12Bとバス電極13A,13B
と隔壁25の配置関係を、図1に模式的に示す。尚、点
線で囲まれた領域が1画素に相当する。各構成要素を明
確にするために、図1において斜線を付した。1画素の
外形は、概ね正方形である。1画素は隔壁25によって
3つの区画(放電セル)に区切られており、各区画か
ら、3原色(R,G,B)の内のいずれかが発光する。
このような構造を有する第1のパネル10を図1の矢印
B−Bに沿って切断したときの模式的な一部端面図を、
図17に示す。
In the plasma display device shown in FIG.
Discharge sustaining electrodes 12A, 12B and bus electrodes 13A, 13B
FIG. 1 schematically shows the positional relationship between the partition 25 and the partition wall 25. Note that a region surrounded by a dotted line corresponds to one pixel. For clarity of each component, it is hatched in FIG. The outer shape of one pixel is substantially square. One pixel is divided into three sections (discharge cells) by a partition 25, and each of the sections emits one of the three primary colors (R, G, B).
A schematic partial end view when the first panel 10 having such a structure is cut along the arrow BB in FIG.
As shown in FIG.

【0009】また、プラズマ表示装置において、放電維
持電極12A,12Bとバス電極13A,13Bと隔壁
25の配置関係を変形した例を、図8に模式的に示す。
この変形例は、特開平9−167565号公報に開示さ
れている。この変形例においては、対になったバス電極
13A,13Bのそれぞれから放電維持電極12A,1
2Bが他のバス電極に向かって延びている構造を有す
る。このような構造を有する第1のパネル10を図1の
矢印B−Bと同様の方向に沿って切断したときの模式的
な一部端面図は図17に示したと同様である。
FIG. 8 schematically shows an example in which the arrangement of the sustain electrodes 12A and 12B, the bus electrodes 13A and 13B, and the partition wall 25 is modified in the plasma display device.
This modification is disclosed in JP-A-9-167565. In this modification, the pair of bus electrodes 13A and 13B respectively receive the discharge sustaining electrodes 12A and 1B.
2B has a structure extending toward another bus electrode. A schematic partial end view when the first panel 10 having such a structure is cut along the same direction as the arrow BB in FIG. 1 is the same as that shown in FIG.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで、プラズマ表
示装置においても、益々、画素の高密度化、高精細化、
低電圧駆動の要求が高まっている。画素の高密度化及び
低電圧駆動化を達成するためには、対になった放電維持
電極12A,12Bの間の距離(放電ギャップ)を狭め
る必要がある。放電ギャップを狭めると、誘電体層14
の厚さも必然的に薄くせざるを得ない。放電ギャップに
対して誘電体層14の厚さが厚いと、電気力線の多くが
誘電体層14内を通過する結果、放電ギャップの上方の
空間においてグロー放電が生じ難くなるからである。
By the way, even in a plasma display device, the density of pixels, the definition of pixels, and the like are increasing.
The demand for low-voltage driving is increasing. In order to achieve high-density pixels and low-voltage driving, it is necessary to reduce the distance (discharge gap) between the paired discharge sustaining electrodes 12A and 12B. When the discharge gap is reduced, the dielectric layer 14
It is inevitably thinner. This is because if the thickness of the dielectric layer 14 is larger than the discharge gap, most of the lines of electric force pass through the dielectric layer 14, so that glow discharge hardly occurs in the space above the discharge gap.

【0011】ところで、誘電体層14の厚さを薄くする
と、当然のことながら、耐電圧が低下する。しかも、バ
ス電極13A,13Bの厚さは放電維持電極12A,1
2Bの厚さよりも厚く、バス電極13A,13Bの頂面
から第2の電極22の頂面までの距離は、放電維持電極
12A,12Bの頂面から第2の電極22までの距離よ
りも短い。従って、誘電体層14の厚さを薄くすると、
バス電極13A,13Bの特に頂面縁部と第2の電極2
2との間で異常放電が発生し易くなり、最悪の場合、バ
ス電極13A,13Bの損傷が生じる。
When the thickness of the dielectric layer 14 is reduced, the withstand voltage naturally decreases. Moreover, the thickness of the bus electrodes 13A, 13B is the same as that of the sustain electrodes 12A, 1A.
2B, the distance from the top surface of the bus electrodes 13A, 13B to the top surface of the second electrode 22 is shorter than the distance from the top surface of the discharge sustaining electrodes 12A, 12B to the second electrode 22. . Therefore, when the thickness of the dielectric layer 14 is reduced,
In particular, the top electrodes of the bus electrodes 13A and 13B and the second electrode 2
2, an abnormal discharge is likely to occur, and in the worst case, the bus electrodes 13A and 13B are damaged.

【0012】従って、本発明の目的は、画素の高密度
化、低電圧駆動の要求に対処するために、対になった放
電維持電極の間の放電ギャップを狭め、誘電体層の厚さ
を薄くした場合であっても、バス電極とアドレス電極で
ある第2の電極との間で異常放電が生じ難い構造を有す
るプラズマ表示装置及びその製造方法を提供することに
ある。
Accordingly, an object of the present invention is to reduce the discharge gap between a pair of sustain electrodes and to reduce the thickness of a dielectric layer in order to meet the demands for higher pixel density and lower voltage driving. It is an object of the present invention to provide a plasma display device having a structure in which abnormal discharge hardly occurs between a bus electrode and a second electrode serving as an address electrode even when the thickness is reduced, and a method for manufacturing the same.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明のプラズマ表示装置は、(イ)第1の基板
と、第1の基板上に設けられた複数の第1の電極から構
成された第1電極群と、第1の電極を被覆し、第1の誘
電体層と第2の誘電体層とから構成された誘電体層とか
ら成る第1のパネル、及び、(ロ)第2の基板と、第1
の電極の延びる方向と所定の角度を成して延びる複数の
第2の電極から構成された第2電極群と、隣接する第2
の電極の間に設けられた隔壁と、第2の電極の上方に設
けられた蛍光体層とから成る第2のパネル、を有する交
流駆動型のプラズマ表示装置であって、各第1の電極
は、(A)第1のバス電極と、(B)第1のバス電極と
接する第1の放電維持電極と、(C)第1のバス電極と
平行に延びる第2のバス電極と、(D)第2のバス電極
と接し、第1の放電維持電極と対向した第2の放電維持
電極、から成り、第1の放電維持電極と第2の放電維持
電極との間で放電が生じるプラズマ表示装置であって、
第1のバス電極及び第2のバス電極を被覆する誘電体層
の第1の部分は、第1の誘電体層及び第2の誘電体層か
ら成り、第1の放電維持電極及び第2の放電維持電極を
被覆する誘電体層の第2の部分は、第1の誘電体層から
成ることを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a plasma display apparatus comprising: a first substrate and a plurality of first electrodes provided on the first substrate; A first panel composed of a first electrode group and a dielectric layer covering the first electrode and including a dielectric layer composed of a first dielectric layer and a second dielectric layer; and ) A second substrate;
A second electrode group including a plurality of second electrodes extending at a predetermined angle with respect to the direction in which the
An AC-driven plasma display device comprising: a partition provided between the electrodes; and a second panel including a phosphor layer provided above the second electrode. (A) a first bus electrode, (B) a first sustain electrode in contact with the first bus electrode, (C) a second bus electrode extending in parallel with the first bus electrode, D) a second discharge sustaining electrode which is in contact with the second bus electrode and faces the first discharge sustaining electrode, wherein plasma is generated between the first discharge sustaining electrode and the second discharge sustaining electrode. A display device,
A first portion of the dielectric layer covering the first bus electrode and the second bus electrode includes a first dielectric layer and a second dielectric layer, and includes a first discharge sustain electrode and a second discharge electrode. The second portion of the dielectric layer covering the discharge sustaining electrode is made of the first dielectric layer.

【0014】本発明のプラズマ表示装置においては、第
1のバス電極の構成要素と、かかる第1のバス電極に隣
接する第1の電極の構成要素とを独立とする構成とする
こともできるし、第1の電極を構成する第1のバス電極
と、かかる第1の電極に隣接する第1の電極を構成する
第2のバス電極が共通である構成(即ち、例えば、同一
のストライプ状の導電材料層から成る構成)とすること
もできる。尚、前者の構成を本発明の第1の構成に係る
プラズマ表示装置と呼び、後者の構成を本発明の第2の
構成に係るプラズマ表示装置と呼ぶ。本発明の第2の構
成に係るプラズマ表示装置においては、第1の電極を構
成する第1のバス電極を被覆する誘電体層の第1の部分
と、かかる第1の電極に隣接する第1の電極を構成する
第2のバス電極を被覆する誘電体層の第1の部分は共通
とされている。尚、以下、単に本発明のプラズマ表示装
置と表現する場合には、本発明の第1の構成及び第2の
構成に係るプラズマ表示装置を包含する。また、本発明
の第2の構成に係るプラズマ表示装置において、共通な
第1のバス電極と第2のバス電極とを共通バス電極と呼
ぶ場合があり、共通バス電極に関しては、以下の説明に
おいて、第1のバス電極と第2のバス電極を説明すると
き、必要に応じて、これらを共通バス電極と読み替えれ
ばよい。
In the plasma display device of the present invention, the components of the first bus electrode and the components of the first electrode adjacent to the first bus electrode can be made independent. , A configuration in which a first bus electrode forming a first electrode and a second bus electrode forming a first electrode adjacent to the first electrode are common (that is, for example, the same stripe shape). (Consisting of a conductive material layer). Note that the former configuration is called a plasma display device according to the first configuration of the present invention, and the latter configuration is called a plasma display device according to the second configuration of the present invention. In the plasma display device according to the second configuration of the present invention, the first portion of the dielectric layer covering the first bus electrode forming the first electrode and the first portion adjacent to the first electrode are formed. The first portion of the dielectric layer covering the second bus electrode constituting the above-mentioned electrode is common. Hereinafter, when simply referred to as the plasma display device of the present invention, the plasma display devices according to the first and second configurations of the present invention are included. In the plasma display device according to the second configuration of the present invention, a common first bus electrode and a common second bus electrode may be referred to as a common bus electrode, and the common bus electrode will be described in the following description. When describing the first bus electrode and the second bus electrode, these may be replaced with a common bus electrode as necessary.

【0015】本発明のプラズマ表示装置において、誘電
体層の第1の部分は、第1の基板側から、第1の誘電体
層、第2の誘電体層の順に積層されていてもよいし、第
2の誘電体層、第1の誘電体層の順に積層されていても
よい。
In the plasma display device of the present invention, the first portion of the dielectric layer may be laminated in the order of the first dielectric layer and the second dielectric layer from the first substrate side. , A second dielectric layer, and a first dielectric layer.

【0016】本発明の交流駆動型のプラズマ表示装置
は、所謂、3電極型であって面放電型のプラズマ表示装
置である。ここで、本発明におけるプラズマ表示装置
は、第1のパネルと第2のパネルとが誘電体層と蛍光体
層とが対面するごとく対向して配置され、各第1の電極
(より具体的には、各バス電極)が延びる方向と各第2
の電極が延びる方向とは所定の角度(例えば、90度)
を成し、誘電体層と蛍光体層と一対の隔壁によって囲ま
れた空間には希ガスが封入されており、蛍光体層は、対
向する対になった放電維持電極の間で生じた希ガス中で
の交流グロー放電に基づき発生した真空紫外線に照射さ
れて発光する構造を有する。1つの第1の電極(対にな
った第1の放電維持電極と第2の放電維持電極、及び、
対になった第1のバス電極及び第2のバス電極の組合
せ)と一対の隔壁とが重複する領域が、1つの放電セル
(1サブピクセル)に相当する。尚、以下、各第1の電
極(より具体的には、各バス電極)が延びる方向を第1
の方向と呼び、各第2の電極が延びる方向を第2の方向
と呼ぶ。
The AC-driven plasma display device of the present invention is a so-called three-electrode type surface-discharge type plasma display device. Here, in the plasma display device according to the present invention, the first panel and the second panel are arranged so as to face each other so that the dielectric layer and the phosphor layer face each other, and each first electrode (more specifically, Is the direction in which each bus electrode extends and the second
A predetermined angle (eg, 90 degrees) with the direction in which the electrodes extend
A rare gas is sealed in a space surrounded by the dielectric layer, the phosphor layer, and the pair of partition walls, and the phosphor layer is formed by a rare gas generated between the pair of discharge sustaining electrodes facing each other. It has a structure that emits light when irradiated with vacuum ultraviolet rays generated based on AC glow discharge in gas. One first electrode (a pair of a first sustaining electrode and a second sustaining electrode, and
A region where the paired first bus electrode and second bus electrode are combined) and a pair of partition walls correspond to one discharge cell (one subpixel). Hereinafter, the direction in which each first electrode (more specifically, each bus electrode) extends is referred to as a first direction.
And the direction in which each second electrode extends is referred to as a second direction.

【0017】上記の目的を達成するための本発明のプラ
ズマ表示装置の製造方法は、本発明の第1の構成若しく
は第2の構成に係るプラズマ表示装置を含む本発明のプ
ラズマ表示装置を製造する方法である。即ち、(イ)第
1の基板と、第1の基板上に設けられた複数の第1の電
極から構成された第1電極群と、第1の電極を被覆し、
第1の誘電体層と第2の誘電体層とから構成された誘電
体層とから成る第1のパネル、及び、(ロ)第2の基板
と、第1の電極の延びる方向と所定の角度を成して延び
る複数の第2の電極から構成された第2電極群と、隣接
する第2の電極の間に設けられた隔壁と、第2の電極の
上方に設けられた蛍光体層とから成る第2のパネル、を
有し、各第1の電極は、(A)第1のバス電極と、
(B)第1のバス電極と接する第1の放電維持電極と、
(C)第1のバス電極と平行に延びる第2のバス電極
と、(D)第2のバス電極と接し、第1の放電維持電極
と対向した第2の放電維持電極、から成り、第1の放電
維持電極と第2の放電維持電極との間で放電が生じる交
流駆動型のプラズマ表示装置の製造方法であって、
(a)第1の基板上に第1電極群を形成する工程と、
(b)第1の誘電体層によって第1の電極を被覆した後
に第1のバス電極及び第2のバス電極上の第1の誘電体
層の部分の上に第2の誘電体層を形成し、若しくは、第
2の誘電体層によって第1のバス電極及び第2のバス電
極を被覆した後に第1の電極を第1の誘電体層によって
被覆する工程、を含むことを特徴とする。
According to a method of manufacturing a plasma display device of the present invention for achieving the above object, a plasma display device of the present invention including the plasma display device according to the first or second configuration of the present invention is manufactured. Is the way. That is, (a) a first substrate, a first electrode group including a plurality of first electrodes provided on the first substrate, and the first electrode,
A first panel composed of a dielectric layer composed of a first dielectric layer and a second dielectric layer, and (b) a second substrate, a direction in which the first electrode extends, and a predetermined direction. A second electrode group including a plurality of second electrodes extending at an angle; a partition wall provided between adjacent second electrodes; and a phosphor layer provided above the second electrodes A first panel comprising: (A) a first bus electrode; and
(B) a first discharge sustaining electrode in contact with the first bus electrode;
(C) a second bus electrode extending in parallel with the first bus electrode; and (D) a second discharge sustain electrode in contact with the second bus electrode and facing the first discharge sustain electrode. A method for manufacturing an AC-driven plasma display device in which discharge occurs between a first sustaining electrode and a second sustaining electrode,
(A) forming a first electrode group on a first substrate;
(B) forming a second dielectric layer on the portion of the first dielectric layer on the first bus electrode and the second bus electrode after covering the first electrode with the first dielectric layer; Or a step of coating the first electrode with the first dielectric layer after covering the first bus electrode and the second bus electrode with the second dielectric layer.

【0018】本発明のプラズマ表示装置の製造方法にお
ける工程(b)において、第1の誘電体層によって第1
の電極を被覆した後、第1のバス電極及び第2のバス電
極上の第1の誘電体層の部分の上に第2の誘電体層を形
成すれば、誘電体層の第1の部分は、第1の基板側か
ら、第1の誘電体層、第2の誘電体層の順に積層された
構成となる。ここで、第1の誘電体層によって第1の電
極を被覆するとは、第1の電極を構成する第1の放電維
持電極、第1のバス電極、第2の放電維持電極及び第2
のバス電極の上(側面を含む)に第1の誘電体層を形成
することを意味する。また、第1のバス電極及び第2の
バス電極上の第1の誘電体層の部分の上に第2の誘電体
層を形成するとは、第1のバス電極及び第2のバス電極
の頂面上及び側面上に第1の誘電体層を介して第2の誘
電体層を形成することを意味する。
In the step (b) of the method for manufacturing a plasma display device according to the present invention, the first dielectric layer is used for the first dielectric layer.
Forming a second dielectric layer on the first bus electrode and the second dielectric layer on the second bus electrode, the first portion of the dielectric layer Has a configuration in which a first dielectric layer and a second dielectric layer are stacked in this order from the first substrate side. Here, covering the first electrode with the first dielectric layer means that the first sustain electrode, the first bus electrode, the second discharge sustain electrode, and the second
Means forming a first dielectric layer on the bus electrodes (including side surfaces). Further, forming a second dielectric layer on a portion of the first dielectric layer on the first bus electrode and the second bus electrode means that the first bus electrode and the second bus electrode have a top surface. This means that the second dielectric layer is formed on the surface and the side surface via the first dielectric layer.

【0019】また、本発明のプラズマ表示装置の製造方
法における工程(b)において、第2の誘電体層によっ
て第1のバス電極及び第2のバス電極を被覆した後、第
1の電極を第1の誘電体層によって被覆すれば、誘電体
層の第1の部分は、第2の誘電体層、第1の誘電体層の
順に積層された構成となる。ここで、第2の誘電体層に
よって第1のバス電極及び第2のバス電極を被覆すると
は、第1のバス電極及び第2のバス電極の頂面上及び側
面上に第2の誘電体層を形成することを意味する。ま
た、第1の電極を第1の誘電体層によって被覆すると
は、第2の誘電体層上、並びに、第1の放電維持電極及
び第2の放電維持電極の頂面及び側面上に第1の誘電体
層を形成することを意味する。
In the step (b) of the method for manufacturing a plasma display device according to the present invention, after the first bus electrode and the second bus electrode are covered with the second dielectric layer, the first electrode is connected to the first bus electrode. If covered with one dielectric layer, the first portion of the dielectric layer has a configuration in which a second dielectric layer and a first dielectric layer are stacked in this order. Here, covering the first bus electrode and the second bus electrode with the second dielectric layer means that the second dielectric layer is formed on the top surface and the side surface of the first bus electrode and the second bus electrode. It means forming a layer. Further, covering the first electrode with the first dielectric layer means that the first electrode is formed on the second dielectric layer and on the top surface and side surface of the first and second discharge sustaining electrodes. Is formed.

【0020】本発明のプラズマ表示装置あるいはその製
造方法(以下、これらを総称して、本発明と呼ぶ場合が
ある)においては、第1及び第2の放電維持電極を被覆
する誘電体層の第2の部分の厚さは10μm以下である
ことが、画素の高密度化、低電圧駆動の要求に対処する
ために好ましい。尚、第1及び第2の放電維持電極を被
覆する誘電体層の第2の部分の厚さは、第1及び第2の
放電維持電極の頂面における厚さを指す。誘電体層の第
2の部分の厚さの下限は、第1の放電維持電極と第2の
放電維持電極との間で異常放電が発生しないような厚さ
とすればよく、例えば、1μm、好ましくは2μmとす
ることが望ましい。
In the plasma display device or the method of manufacturing the same according to the present invention (hereinafter, these may be collectively referred to as the present invention), the first and second discharge sustaining electrodes may be formed of a dielectric layer. The thickness of the portion 2 is preferably 10 μm or less in order to cope with demands for higher pixel density and low voltage driving. In addition, the thickness of the second portion of the dielectric layer covering the first and second discharge sustaining electrodes indicates the thickness at the top surface of the first and second discharge sustaining electrodes. The lower limit of the thickness of the second portion of the dielectric layer may be a thickness that does not cause abnormal discharge between the first discharge sustaining electrode and the second discharge sustaining electrode, for example, 1 μm, preferably Is preferably 2 μm.

【0021】本発明においては、第1のバス電極及び第
2のバス電極の頂面における第2の誘電体層の厚さ(t
2)を、5μm乃至30μm、好ましくは10μm乃至
20μmとすることが、バス電極と第2の電極との間で
の異常放電の防止の観点から望ましい。
In the present invention, the thickness (t) of the second dielectric layer on the top surface of the first bus electrode and the second bus electrode
2 ) is desirably 5 μm to 30 μm, preferably 10 μm to 20 μm, from the viewpoint of preventing abnormal discharge between the bus electrode and the second electrode.

【0022】本発明の第1の構成に係るプラズマ表示装
置あるいはその製造方法において、第1の電極を構成す
る第1のバス電極と、該第1の電極に隣接した第1の電
極を構成する第2のバス電極との間の第1の基板上に
は、第1の誘電体層及び第2の誘電体層を形成してもよ
い。これによって、第1の電極を構成する第1のバス電
極と、該第1の電極に隣接した第1の電極を構成する第
2のバス電極との間での異常放電の発生を効果的に防止
することができる。また、本発明において、第2の誘電
体層を、第2のパネルに設けられた隔壁に対応する第1
のパネルの領域の上方にも形成してもよく、これによっ
て、グロー放電が隣接する放電セルに影響を及ぼす所謂
光学的クロストークの発生を確実に防止することが可能
となる。
In the plasma display device or the method of manufacturing the same according to the first structure of the present invention, the first bus electrode forming the first electrode and the first electrode adjacent to the first electrode are formed. A first dielectric layer and a second dielectric layer may be formed on the first substrate between the second bus electrode. This effectively prevents abnormal discharge from occurring between the first bus electrode forming the first electrode and the second bus electrode forming the first electrode adjacent to the first electrode. Can be prevented. Further, in the present invention, the second dielectric layer may be formed by a first dielectric layer corresponding to a partition wall provided on the second panel.
May be formed above the area of the panel, whereby it is possible to reliably prevent the occurrence of so-called optical crosstalk in which the glow discharge affects adjacent discharge cells.

【0023】本発明において、第1の誘電体層を構成す
る材料は、第2の誘電体層を構成する材料と異なること
が好ましい。尚、第1の誘電体層を構成する材料を酸化
シリコン(SiO2)とし、第2の誘電体層を構成する
材料をガラスペースト(より具体的には、低融点ガラス
ペースト)の焼成体とすることができる。この場合、第
1の誘電体層を化学的気相成長法(CVD法)や、スパ
ッタ法、蒸着法といった物理的気相成長法(PVD法)
にて形成し、第2の誘電体層を印刷法(スクリーン印刷
法)にて形成することが好適であるが、特に、第1の誘
電体層をCVD法によって形成すれば、コンフォーマル
であって、段差被覆性、膜厚均一性に優れた第1の誘電
体層を確実に形成することができる。
In the present invention, the material forming the first dielectric layer is preferably different from the material forming the second dielectric layer. The material constituting the first dielectric layer is silicon oxide (SiO 2 ), and the material constituting the second dielectric layer is a sintered body of a glass paste (more specifically, a low melting glass paste). can do. In this case, the first dielectric layer is formed by physical vapor deposition (PVD) such as chemical vapor deposition (CVD), sputtering, or vapor deposition.
And the second dielectric layer is preferably formed by a printing method (screen printing method). In particular, if the first dielectric layer is formed by a CVD method, it is conformal. As a result, the first dielectric layer excellent in step coverage and film thickness uniformity can be reliably formed.

【0024】本発明においては、第2の誘電体層に着色
を施してもよい。これによって、第2の誘電体層はブラ
ック・マトリックスとしての機能を発揮することがで
き、第2の方向に沿った画素間におけるコントラストの
向上を図ることができる。
In the present invention, the second dielectric layer may be colored. Thus, the second dielectric layer can exhibit a function as a black matrix, and the contrast between pixels in the second direction can be improved.

【0025】本発明において、第1のバス電極及び第2
のバス電極は、第1方向に沿って隣接する放電セルで共
通である。第1の放電維持電極及び第2の放電維持電極
は、第1方向に沿って隣接する放電セルで共通であって
もよいし(即ち、第1の放電維持電極は第1のバス電極
と平行に延び、第2の放電維持電極は第2のバス電極と
平行に延びていてもよいし)、一対の隔壁の間に形成さ
れていてもよい(即ち、各放電セル毎に形成されていて
もよい)。第2の放電維持電極と対向する第1の放電維
持電極の部分、及び、第1の放電維持電極と対向する第
2の放電維持電極の部分は、直線状であってもよいし、
ジグザグ状(例えば、「く」の字の組合せ、「S」字の
組合せや弧の組合せ、任意の曲線の組合せ)とすること
もできる。尚、第1の放電維持電極及び第2の放電維持
電極が一対の隔壁の間に形成されている場合、第1の放
電維持電極及び第2の放電維持電極の平面形状は、図8
に示すように、第1のバス電極から第1の放電維持電極
が第2のバス電極に向かって延びており、第2のバス電
極から第2の放電維持電極が第1のバス電極に向かっ
て、第2の方向と平行に延びており、第1の放電維持電
極の先端部と第2の放電維持電極の先端部との間でグロ
ー放電が生じる構成とすることができる。あるいは又、
図9あるいは図10に示すように、第1の放電維持電極
は、第1のバス電極から、第2のバス電極に向かって、
且つ、第2のバス電極の手前まで、第2の方向と平行に
延び、第2の放電維持電極は、第2のバス電極から、第
1のバス電極に向かって、且つ、第1のバス電極の手前
まで、第2の方向と平行に、第1の放電維持電極と向か
い合って(あるいは又、第1の放電維持電極に沿って)
延び、第2の放電維持電極と対向する第1の放電維持電
極の部分と、第1の放電維持電極と対向する第2の放電
維持電極の部分との間でグロー放電が生じる構成とする
ことができる。
In the present invention, the first bus electrode and the second bus electrode
Are common to the discharge cells adjacent to each other along the first direction. The first sustain electrode and the second sustain electrode may be common to adjacent discharge cells along the first direction (ie, the first sustain electrode is parallel to the first bus electrode). And the second discharge sustaining electrode may extend in parallel with the second bus electrode), or may be formed between a pair of partition walls (that is, formed for each discharge cell). Good). A portion of the first sustaining electrode facing the second sustaining electrode and a portion of the second sustaining electrode facing the first sustaining electrode may be linear,
A zigzag shape (for example, a combination of "-" characters, a combination of "S" characters, a combination of arcs, and a combination of arbitrary curves) can also be used. When the first sustaining electrode and the second sustaining electrode are formed between a pair of partition walls, the planar shapes of the first sustaining electrode and the second sustaining electrode are as shown in FIG.
As shown in FIG. 5, a first sustain electrode extends from the first bus electrode toward the second bus electrode, and a second sustain electrode extends from the second bus electrode toward the first bus electrode. Thus, the glow discharge can be configured to extend in parallel with the second direction and generate a glow discharge between the tip of the first sustaining electrode and the tip of the second sustaining electrode. Alternatively,
As shown in FIG. 9 or FIG. 10, the first discharge sustaining electrode extends from the first bus electrode toward the second bus electrode.
In addition, the second sustain electrode extends from the second bus electrode to the first bus electrode, and extends in parallel with the second direction to a position before the second bus electrode. Until the electrode, in parallel with the second direction, facing the first sustaining electrode (or alternatively, along the first sustaining electrode).
A structure in which a glow discharge is generated between a portion of the first sustaining electrode that extends and faces the second sustaining electrode and a portion of the second sustaining electrode that faces the first sustaining electrode. Can be.

【0026】本発明において、第1の放電維持電極と第
2の放電維持電極との間の間隔(L 1)は本質的には任
意の値とすることができるが、1×10-4m以下、好ま
しくは5×10-5m未満、一層好ましくは4×10-5
以下、更に一層好ましくは2.5×10-5m以下である
ことが望ましい。第1の放電維持電極と第2の放電維持
電極の間隔(L1)の最小値は、誘電体層等の厚さを考
慮して、第1の放電維持電極と第2の放電維持電極との
間に絶縁破壊が生じない間隔とすればよい。
In the present invention, the first discharge sustaining electrode and the
2 (L) 1) Is essentially a task
Can be any value, but 1 × 10-Fourm or less, preferred
Or 5 × 10-Fivem, more preferably 4 × 10-Fivem
Hereinafter, still more preferably 2.5 × 10-Fivem or less
It is desirable. First discharge sustain electrode and second discharge sustain
Electrode spacing (L1The minimum value of) takes into account the thickness of the dielectric layer, etc.
In consideration of the above, the first sustaining electrode and the second sustaining electrode
The interval may be set so that dielectric breakdown does not occur between them.

【0027】本発明のプラズマ表示装置において、誘電
体層と蛍光体層と一対の隔壁によって囲まれた空間に封
入された希ガスの圧力は、1×102Pa(0.001
気圧)乃至5×105Pa(5気圧)、好ましくは1×
103Pa(0.01気圧)乃至4×105(4気圧)と
することが望ましい。尚、第1の放電維持電極と第2の
放電維持電極との間の間隔L1を5×10-5m未満とす
る場合には、空間内における希ガスの圧力を1.0×1
2Pa(0.001気圧)以上3.0×105Pa(3
気圧)以下、好ましくは1.0×103Pa(0.01
気圧)以上2.0×105Pa(2気圧)以下、更に好
ましくは1.0×104Pa(0.1気圧)以上1.0
×105Pa(1気圧)以下とすることが望ましく、こ
のような圧力範囲とすることによって、希ガス中での陰
極グローに主に基づき発生した真空紫外線に照射されて
蛍光体層が発光するし、このような圧力範囲内では、圧
力が高いほどプラズマ表示装置を構成する各種部材のス
パッタリング率が低減する結果、プラズマ表示装置を長
寿命化することができる。
In the plasma display device of the present invention, the pressure of the rare gas sealed in the space surrounded by the dielectric layer, the phosphor layer, and the pair of partition walls is 1 × 10 2 Pa (0.001
Atm) to 5 × 10 5 Pa (5 atm), preferably 1 ×
It is desirable that the pressure be 10 3 Pa (0.01 atm) to 4 × 10 5 (4 atm). When the distance L1 between the first and second discharge sustaining electrodes is less than 5 × 10 −5 m, the pressure of the rare gas in the space is set to 1.0 × 1 −5.
0 2 Pa (0.001 atm) or more and 3.0 × 10 5 Pa (3
Pressure) or less, preferably 1.0 × 10 3 Pa (0.01
Pressure) to 2.0 × 10 5 Pa (2 atm), more preferably 1.0 × 10 4 Pa (0.1 atm) to 1.0
It is desirable that the pressure be not more than × 10 5 Pa (1 atm). By setting the pressure in such a range, the phosphor layer emits light when irradiated with vacuum ultraviolet rays mainly generated based on the cathode glow in a rare gas. However, within such a pressure range, the higher the pressure, the lower the sputtering rate of the various members constituting the plasma display device, so that the life of the plasma display device can be extended.

【0028】第1の放電維持電極及び第2の放電維持電
極を構成する導電性材料と、第1のバス電極及び第2の
バス電極を構成する導電性材料とを、異なる構成とする
ことが好ましい。第1のバス電極及び第2のバス電極
は、典型的には、金属材料、例えば、Ag、Au、A
l、Ni、Cu、Mo、Cr、Cr/Cu/Cr積層膜
から構成することができる。かかる金属材料から成る第
1のバス電極及び第2のバス電極は、反射型のプラズマ
表示装置においては、蛍光体層から放射されて第1の基
板を通過する可視光の透過光量を低減させ、表示画面の
輝度を低下させる要因となり得るので、バス電極に必要
な電気抵抗値が得られる範囲内で出来る限り細く形成す
ることが好ましい。第1のバス電極及び第2のバス電極
の形成方法として、使用する導電性材料に応じて、例え
ば、蒸着法、スパッタリング法、印刷法(スクリーン印
刷法)を適宜選択すればよい。即ち、適当なマスクやス
クリーンを使用して最初から所定のパターンを有する第
1のバス電極及び第2のバス電極を形成してもよいし、
導電性材料層を全面に形成した後に、導電性材料層をパ
ターニングして第1のバス電極及び第2のバス電極を形
成してもよい。
The conductive material forming the first sustaining electrode and the second sustaining electrode may be different from the conductive material forming the first bus electrode and the second bus electrode. preferable. The first bus electrode and the second bus electrode are typically made of a metal material such as Ag, Au, A
1, Ni, Cu, Mo, Cr, and a Cr / Cu / Cr laminated film. In the reflective plasma display device, the first bus electrode and the second bus electrode made of such a metal material reduce the amount of visible light transmitted from the phosphor layer and passing through the first substrate, Since it can be a factor in lowering the brightness of the display screen, it is preferable to form the bus electrode as thin as possible within a range in which the necessary electric resistance value can be obtained. As a method for forming the first bus electrode and the second bus electrode, for example, an evaporation method, a sputtering method, or a printing method (screen printing method) may be appropriately selected depending on a conductive material to be used. That is, the first bus electrode and the second bus electrode having a predetermined pattern may be formed from the beginning using an appropriate mask or screen,
After forming the conductive material layer over the entire surface, the first bus electrode and the second bus electrode may be formed by patterning the conductive material layer.

【0029】第1の放電維持電極及び第2の放電維持電
極を構成する導電性材料は、プラズマ表示装置が透過型
であるか、反射型であるかによって異なる。透過型のプ
ラズマ表示装置では、蛍光体層の発光は第2の基板を通
して観察されるので、第1の放電維持電極及び第2の放
電維持電極を構成する導電性材料に関して透明/不透明
の別は問わないが、第2の電極を第2の基板上に設ける
ので、第2の電極が透明であることが望まれる。反射型
のプラズマ表示装置では、蛍光体層の発光は第1の基板
を通して観察されるので、第2の電極を構成する導電性
材料に関して透明/不透明の別は問わないが、第1の放
電維持電極及び第2の放電維持電極が透明であることが
望まれる。尚、ここで述べる透明/不透明とは、蛍光体
材料に固有の発光波長(可視光域)における導電性材料
の光透過性に基づく。即ち、蛍光体層から射出される光
に対して透明であれば、第1の放電維持電極及び第2の
放電維持電極を構成する導電性材料は透明であると云え
る。不透明な導電性材料として、Ni、Al、Au、A
g、Al、Pd/Ag、Cr、Ta、Cu、Ba、La
6、Ca0.2La0.8CrO3等の材料を単独又は適宜組
み合わせて用いることができる。透明な導電性材料とし
て、ITO(インジウム・錫酸化物)やSnO2を挙げ
ることができる。第1の放電維持電極及び第2の放電維
持電極の形成方法として、使用する導電性材料に応じ
て、例えば、蒸着法、スパッタリング法、印刷法(スク
リーン印刷法)を適宜選択すればよい。即ち、適当なマ
スクやスクリーンを使用して最初から所定のパターンを
有する第1の放電維持電極及び第2の放電維持電極を形
成してもよいし、導電性材料層を全面に形成した後に、
導電性材料層をパターニングして第1の放電維持電極及
び第2の放電維持電極を形成してもよい。
The conductive material forming the first and second discharge sustaining electrodes differs depending on whether the plasma display device is of a transmission type or a reflection type. In the transmission type plasma display device, since the light emission of the phosphor layer is observed through the second substrate, the transparent / opaque conductive material constituting the first and second discharge sustaining electrodes is different. It does not matter, however, since the second electrode is provided on the second substrate, it is desirable that the second electrode be transparent. In the reflection type plasma display device, since the light emission of the phosphor layer is observed through the first substrate, it does not matter whether the conductive material constituting the second electrode is transparent or opaque. It is desired that the electrode and the second sustaining electrode are transparent. The transparency / opacity described here is based on the light transmittance of the conductive material at an emission wavelength (visible light region) specific to the phosphor material. That is, if it is transparent to the light emitted from the phosphor layer, it can be said that the conductive material forming the first and second sustain electrodes is transparent. Ni, Al, Au, A as opaque conductive materials
g, Al, Pd / Ag, Cr, Ta, Cu, Ba, La
Materials such as B 6 and Ca 0.2 La 0.8 CrO 3 can be used alone or in appropriate combination. Examples of the transparent conductive material include ITO (indium tin oxide) and SnO 2 . As a method for forming the first and second discharge sustaining electrodes, for example, an evaporation method, a sputtering method, and a printing method (screen printing method) may be appropriately selected depending on a conductive material to be used. That is, the first sustaining electrode and the second sustaining electrode having a predetermined pattern may be formed from the beginning using an appropriate mask or screen, or after the conductive material layer is formed on the entire surface,
The first sustaining electrode and the second sustaining electrode may be formed by patterning the conductive material layer.

【0030】本発明において、少なくとも、第1の放電
維持電極及び第2の放電維持電極を被覆する誘電体層の
第2の部分の表面には、保護層が形成されていることが
望ましい。保護層は第2の部分だけでなく、第1のバス
電極及び第2のバス電極を被覆する誘電体層の第1の部
分の表面に設けられていてもよい。保護層は単層構造あ
るいは積層構造とすることができる。本発明のプラズマ
表示装置の製造方法においては、工程(b)の後に保護
層を形成してもよいし、工程(b)において、第1の誘
電体層によって第1の電極を被覆した後、保護層を形成
し、次いで、第1のバス電極及び第2のバス電極上の第
1の誘電体層の部分の上(より具体的には、保護層の
上)に第2の誘電体層を形成してもよい。単層構造の保
護層を構成する材料として、酸化マグネシウム(Mg
O)、フッ化マグネシウム(MgF2)、フッ化カルシ
ウム(CaF2)、酸化アルミニウム(Al23)を例
示することができる。中でも酸化マグネシウムは、化学
的に安定であり、スパッタリング率が低く、蛍光体層の
発光波長における光透過率が高く、放電開始電圧が低い
等の特色を有する好適な材料である。尚、保護層を、酸
化マグネシウム、フッ化マグネシウム及び酸化アルミニ
ウムから成る群から選択された少なくとも2種類の材料
から構成された積層構造としてもよい。保護層を形成す
ることにより、イオンや電子と第1の電極群との直接接
触を防止することができる結果、第1の電極群の磨耗を
防ぐことができる。保護層は、この他にも、グロー放電
に必要な2次電子を放出する機能を有する。
In the present invention, it is preferable that a protective layer is formed on at least the surface of the second portion of the dielectric layer covering the first and second discharge sustaining electrodes. The protective layer may be provided not only on the second portion but also on the surface of the first portion of the dielectric layer covering the first bus electrode and the second bus electrode. The protective layer can have a single-layer structure or a laminated structure. In the method for manufacturing a plasma display device according to the present invention, a protective layer may be formed after step (b), or after covering the first electrode with the first dielectric layer in step (b), Forming a protective layer, and then forming a second dielectric layer on portions of the first dielectric layer on the first bus electrode and the second bus electrode (more specifically, on the protective layer) May be formed. Magnesium oxide (Mg) is used as a material for forming the protective layer having a single-layer structure.
O), magnesium fluoride (MgF 2 ), calcium fluoride (CaF 2 ), and aluminum oxide (Al 2 O 3 ). Among them, magnesium oxide is a suitable material having characteristics such as being chemically stable, having a low sputtering rate, having a high light transmittance at the emission wavelength of the phosphor layer, and having a low discharge starting voltage. Incidentally, the protective layer may have a laminated structure composed of at least two kinds of materials selected from the group consisting of magnesium oxide, magnesium fluoride and aluminum oxide. By forming the protective layer, direct contact between ions and electrons and the first electrode group can be prevented, so that abrasion of the first electrode group can be prevented. The protective layer also has a function of emitting secondary electrons required for glow discharge.

【0031】第2の電極を第2の基板上に設けるが、蛍
光体層の誘電体層としての機能が不十分である場合に
は、第2の電極群と蛍光体層との間に誘電体膜を設けて
もよい。誘電体膜の構成材料として、低融点ガラスやS
iO2を挙げることができる。
Although the second electrode is provided on the second substrate, if the function of the phosphor layer as a dielectric layer is insufficient, a dielectric is provided between the second electrode group and the phosphor layer. A body membrane may be provided. Low melting point glass or S
iO 2 can be mentioned.

【0032】蛍光体層は、赤色を発光する蛍光体材料、
緑色を発光する蛍光体材料及び青色を発光する蛍光体材
料から成る群から選択された蛍光体材料から構成され、
第2の基板の上方に設けられている。具体的には、例え
ば、赤色を発光する蛍光体材料から構成された蛍光体層
(赤色蛍光体層)が第2の電極の上方に設けられ、緑色
を発光する蛍光体材料から構成された蛍光体層(緑色蛍
光体層)が別の第2の電極の上方に設けられ、青色を発
光する蛍光体材料から構成された蛍光体層(青色蛍光体
層)が更に別の第2の電極の上方に設けられており、こ
れらの3原色を発光する蛍光体層が1組となり、所定の
順序に従って設けられている。そして、1つの第1の電
極(対になった第1のバス電極と第2のバス電極、及
び、対になった第1の放電維持電極及び第2の放電維持
電極の組合せ)とこれらの3原色を発光する1組の蛍光
体層が重複する領域が、1画素に相当する。赤色蛍光体
層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層は、ストライプ状に
形成されていてもよいし、格子状に形成されていてもよ
い。赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層がス
トライプ状に形成されている場合、1つの赤色蛍光体層
が1つの第2の電極の上方に形成され、1つの緑色蛍光
体層が1つの第2の電極の上方に形成され、1つの青色
蛍光体層が1つの第2の電極の上方に形成されている。
一方、赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層が
格子状に形成されている場合には、1つの第2の電極の
上方に、赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層
が所定の順に形成されている。
The phosphor layer includes a phosphor material that emits red light,
It is composed of a phosphor material selected from the group consisting of a phosphor material that emits green light and a phosphor material that emits blue light,
It is provided above the second substrate. Specifically, for example, a phosphor layer (red phosphor layer) made of a phosphor material that emits red light is provided above the second electrode, and a phosphor layer made of the phosphor material that emits green light is provided. A body layer (green phosphor layer) is provided above another second electrode, and a phosphor layer (blue phosphor layer) made of a phosphor material that emits blue light is used as a further second electrode. The phosphor layers that emit light of these three primary colors are provided as a set and are provided in a predetermined order. Then, one first electrode (a paired first bus electrode and a second bus electrode, and a combination of a paired first sustaining electrode and a second sustaining electrode) and a combination thereof. A region where one set of phosphor layers emitting three primary colors overlaps corresponds to one pixel. The red phosphor layer, the green phosphor layer, and the blue phosphor layer may be formed in a stripe shape or in a lattice shape. When the red phosphor layer, the green phosphor layer, and the blue phosphor layer are formed in a stripe shape, one red phosphor layer is formed above one second electrode, and one green phosphor layer is formed. One blue phosphor layer is formed above one second electrode, and one blue phosphor layer is formed above one second electrode.
On the other hand, when the red phosphor layer, the green phosphor layer, and the blue phosphor layer are formed in a lattice, the red phosphor layer, the green phosphor layer, and the blue phosphor layer are provided above one second electrode. The body layers are formed in a predetermined order.

【0033】尚、蛍光体層は第2の電極の上に直接形成
されていてもよいし、第2の電極上から隔壁の側面に懸
けて形成されていてもよい。あるいは又、蛍光体層は、
第2の電極上に設けられた誘電体膜上に形成されていて
もよいし、第2の電極上に設けられた誘電体膜上から隔
壁の側面に懸けて形成されていてもよい。更には、蛍光
体層は、隔壁の側面にのみ形成されていてもよい。「蛍
光体層が第2の電極の上方に設けられている」とは、以
上に述べた各種の形態を全て包含する概念である。場合
によっては、蛍光体層や隔壁の表面に、酸化マグネシウ
ム(MgO)、フッ化マグネシウム(MgF2)、フッ
化カルシウム(CaF2)等から成る保護膜を形成して
もよい。
Note that the phosphor layer may be formed directly on the second electrode, or may be formed so as to extend from above the second electrode to the side surface of the partition. Alternatively, the phosphor layer
It may be formed on a dielectric film provided on the second electrode, or may be formed so as to hang from the dielectric film provided on the second electrode to the side surface of the partition. Further, the phosphor layer may be formed only on the side surface of the partition. “The phosphor layer is provided above the second electrode” is a concept that encompasses all of the various forms described above. In some cases, a protective film made of magnesium oxide (MgO), magnesium fluoride (MgF 2 ), calcium fluoride (CaF 2 ), or the like may be formed on the surface of the phosphor layer or the partition.

【0034】蛍光体層を構成する蛍光体材料としては、
従来公知の蛍光体材料の中から、量子効率が高く、真空
紫外線に対する飽和が少ない蛍光体材料を適宜選択して
用いることができる。カラー表示を想定しているので、
色純度がNTSCで規定される3原色に近く、3原色を
混合した際の白バランスがとれ、残光時間が短く、3原
色の残光時間がほぼ等しくなる蛍光体材料を組み合わせ
ることが好ましい。真空紫外線の照射により赤色に発光
する蛍光体材料として、(Y23:Eu)、(YBO3
Eu)、(YVO4:Eu)、(Y0.960.60
0.404:Eu0.04)、[(Y,Gd)BO3:Eu]、
(GdBO3:Eu)、(ScBO3:Eu)、(3.5
MgO・0.5MgF2・GeO2:Mn)を例示するこ
とができる。真空紫外線の照射により緑色に発光する蛍
光体材料として、(ZnSiO2:Mn)、(BaAl
1219:Mn)、(BaMg2Al1627:Mn)、
(MgGa24:Mn)、(YBO3:Tb)、(Lu
BO3:Tb)、(Sr4Si38Cl 4:Eu)を例示
することができる。真空紫外線の照射により青色に発光
する蛍光体材料として、(Y2SiO5:Ce)、(Ca
WO4:Pb)、CaWO4、YP0.850.154、(B
aMgAl1423:Eu)、(Sr227:Eu)、
(Sr227:Sn)を例示することができる。蛍光
体層の形成方法として、厚膜印刷法、蛍光体粒子をスプ
レーする方法、蛍光体層の形成予定部位に予め粘着性物
質を付けておき、蛍光体粒子を付着させる方法、感光性
の蛍光体ペーストを使用し、露光及び現像によって蛍光
体層をパターニングする方法、全面に蛍光体層を形成し
た後に不要部をサンドブラスト法により除去する方法を
挙げることができる。
As the phosphor material constituting the phosphor layer,
Among the known phosphor materials, high quantum efficiency, vacuum
Select a phosphor material that is less saturated with ultraviolet light
Can be used. Because color display is assumed,
Color purity is close to the three primary colors specified by NTSC.
White balance when mixed, short afterglow time,
Combination of phosphor materials with almost equal afterglow time
Preferably. Emits red light when irradiated with vacuum ultraviolet light
(Y)TwoOThree: Eu), (YBO)Three
Eu), (YVOFour: Eu), (Y0.96P0.60V
0.40OFour: Eu0.04), [(Y, Gd) BOThree: Eu],
(GdBOThree: Eu), (ScBO)Three: Eu), (3.5
MgO ・ 0.5MgFTwo・ GeOTwo: Mn)
Can be. Fireflies that emit green light when irradiated with vacuum ultraviolet light
As the optical material, (ZnSiOTwo: Mn), (BaAl)
12O19: Mn), (BaMg)TwoAl16O27: Mn),
(MgGaTwoOFour: Mn), (YBO)Three: Tb), (Lu
BOThree: Tb), (SrFourSiThreeO8Cl Four: Eu)
can do. Emits blue light when irradiated with vacuum ultraviolet light
(Y)TwoSiOFive: Ce), (Ca)
WOFour: Pb), CaWOFour, YP0.85V0.15OFour, (B
aMgAl14Otwenty three: Eu), (SrTwoPTwoO7: Eu),
(SrTwoPTwoO7: Sn). fluorescence
As a method of forming a body layer, a thick film printing method,
Laying method, adhesive material in advance on the phosphor layer
Method to attach phosphor particles to the surface, photosensitivity
Fluorescent light by exposure and development using phosphor paste
Method of patterning body layer, forming phosphor layer on the entire surface
To remove unnecessary parts by sandblasting after
Can be mentioned.

【0035】隔壁は、隣り合う第2の電極の間の領域に
おいて第2の電極と平行に延びている構成とすることが
できる。即ち、一対の隔壁の間を1つの第2の電極が延
びる構造とすることができる。場合によっては、隔壁
は、隣り合うバス電極の間の領域においてバス電極と平
行に延びる第1隔壁と、隣り合う第2の電極の間の領域
において第2の電極と平行に延びる第2隔壁とから構成
されている(即ち、格子状とされている)構成とするこ
ともできる。かかる格子状(井桁状)の隔壁は、従来よ
り直流駆動型プラズマ表示装置に採用されているが、交
流駆動型の本発明のプラズマ表示装置にも適用すること
ができる。
The partition may be configured to extend in parallel with the second electrode in a region between the adjacent second electrodes. That is, a structure in which one second electrode extends between a pair of partition walls can be employed. In some cases, the partition wall includes a first partition wall extending parallel to the bus electrode in a region between the adjacent bus electrodes, and a second partition wall extending parallel to the second electrode in a region between the adjacent second electrodes. (That is, a lattice shape). Such a lattice-shaped (cross-girder) partition wall has conventionally been employed in a DC-driven plasma display device, but can also be applied to an AC-driven plasma display device of the present invention.

【0036】隔壁の構成材料としては、従来公知の絶縁
材料を使用することができ、例えば、広く用いられてい
る低融点ガラスにアルミナ等の金属酸化物を混合した材
料を用いることができる。隔壁の形成方法として、スク
リーン印刷法、サンドブラスト形成法、ドライフィルム
法、感光法を例示することができる。ここで、スクリー
ン印刷法とは、隔壁を形成すべき部分に対応するスクリ
ーンの部分に開口部が形成されており、スクリーン上の
隔壁形成用材料をスキージを用いて開口部を通過させ、
第2の基板上若しくは誘電体層上(以下、これらを総称
して、第2の基板等上と呼ぶ)に隔壁形成用材料層を形
成した後、かかる隔壁形成用材料層を焼成する方法であ
る。また、サンドブラスト形成法とは、例えば、スクリ
ーン印刷やロールコーター、ドクターブレード、ノズル
吐出式コーター等を用いて、第2の基板等上に隔壁形成
用材料層を形成し、乾燥させた後、隔壁を形成すべき隔
壁形成用材料層をマスク層で被覆し、次いで、露出した
隔壁形成用材料層の部分をサンドブラスト法によって除
去する方法である。ドライフィルム法とは、第2の基板
等上に感光性フィルムをラミネートし、露光及び現像に
よって隔壁形成予定部位の感光性フィルムを除去し、除
去によって生じた開口部に隔壁形成用の材料を埋め込
み、焼成する方法である。感光性フィルムは焼成によっ
て燃焼、除去され、開口部に埋め込まれた隔壁形成用の
材料が残り、隔壁となる。感光法とは、第2の基板等上
に感光性を有する隔壁形成用の材料層を形成し、露光及
び現像によってこの材料層をパターニングした後、焼成
を行う方法である。尚、隔壁を黒くすることにより、所
謂ブラック・マトリックスを形成し、表示画面の高コン
トラスト化を図ることができる。隔壁を黒くする方法と
して、隔壁の頂部に感光性銀ペースト層や低反射クロム
層等の光吸収層を設ける方法や、黒色に着色されたカラ
ーレジスト材料を用いて隔壁を形成する方法を例示する
ことができる。
As the constituent material of the partition, a conventionally known insulating material can be used. For example, a material obtained by mixing a metal oxide such as alumina with a widely used low melting glass can be used. Examples of the method for forming the partition include a screen printing method, a sand blast forming method, a dry film method, and a photosensitive method. Here, with the screen printing method, an opening is formed in a portion of the screen corresponding to a portion where a partition is to be formed, and a material for forming a partition on the screen is passed through the opening using a squeegee,
After forming a partition-forming material layer on a second substrate or a dielectric layer (hereinafter, collectively referred to as a second substrate or the like), the partition-forming material layer is fired. is there. In addition, the sandblasting method is, for example, using a screen printing or a roll coater, a doctor blade, a nozzle discharge type coater, or the like, forming a material layer for forming a partition on a second substrate or the like, drying the material layer, and then drying the material. Is covered with a mask layer, and then the exposed portion of the partition-forming material layer is removed by sandblasting. The dry film method is a method of laminating a photosensitive film on a second substrate or the like, removing the photosensitive film at a portion where a partition is to be formed by exposure and development, and embedding a material for forming a partition into an opening formed by the removal. And firing. The photosensitive film is burned and removed by baking, and the material for forming the partition embedded in the opening remains, thereby forming a partition. The photosensitive method is a method of forming a photosensitive material layer for forming a partition on a second substrate or the like, patterning this material layer by exposure and development, and then performing baking. Note that by making the partition walls black, a so-called black matrix can be formed, and the display screen can have high contrast. Examples of a method of blackening the partition include a method of providing a light absorbing layer such as a photosensitive silver paste layer and a low reflection chromium layer on the top of the partition, and a method of forming the partition using a black colored color resist material. be able to.

【0037】第1の基板及び第2の基板の構成材料とし
て、高歪点ガラス、ソーダガラス(Na2O・CaO・
SiO2)、硼珪酸ガラス(Na2O・B23・Si
2)、フォルステライト(2MgO・SiO2)、鉛ガ
ラス(Na2O・PbO・SiO2)を例示することがで
きる。第1の基板と第2の基板の構成材料は、同じであ
っても異なっていてもよい。
As the constituent materials of the first substrate and the second substrate, high strain point glass, soda glass (Na 2 O.CaO.
SiO 2 ), borosilicate glass (Na 2 O.B 2 O 3 .Si
O 2 ), forsterite (2MgO.SiO 2 ), and lead glass (Na 2 O.PbO.SiO 2 ). The constituent materials of the first substrate and the second substrate may be the same or different.

【0038】空間に封入される希ガスには、以下の点が
要求される。 プラズマ表示装置の長寿命化の観点から、化学的に
安定であり、且つ、ガス圧力を高く設定し得ること 表示画面の高輝度化の観点から、真空紫外線の放射
強度が大きいこと 真空紫外線から可視光線へのエネルギー変換効率を
高める観点から、放射される真空紫外線の波長が長いこ
と 消費電力低減の観点から、放電開始電圧の低いこと
The following points are required for the rare gas sealed in the space. It is chemically stable from the viewpoint of extending the life of the plasma display device and the gas pressure can be set high. From the viewpoint of increasing the brightness of the display screen, the emission intensity of vacuum ultraviolet rays is large. Visible from vacuum ultraviolet rays. The wavelength of the emitted vacuum ultraviolet rays is long from the viewpoint of increasing the energy conversion efficiency to light rays. The discharge starting voltage is low from the viewpoint of reducing power consumption.

【0039】希ガスとして、He(共鳴線の波長=5
8.4nm)、Ne(同74.4nm)、Ar(同10
7nm)、Kr(同124nm)、Xe(同147n
m)を単独で用いるか、又は混合して用いることが可能
であるが、ペニング効果による放電開始電圧の低下が期
待できる混合ガスが特に有用である。かかる混合ガスと
しては、Ne−Ar混合ガス、He−Xe混合ガス、N
e−Xe混合ガス、He−Kr混合ガス、Ne−Kr混
合ガスを挙げることができる。尚、これらの希ガスの中
でも最も長い共鳴線波長を有するXeは、波長172n
mの強い真空紫外線も放射するので、好適な希ガスであ
る。
As a rare gas, He (resonance line wavelength = 5)
8.4 nm), Ne (74.4 nm), Ar (10
7 nm), Kr (124 nm), Xe (147 n)
It is possible to use m) alone or to mix them, but a mixed gas which is expected to lower the firing voltage due to the Penning effect is particularly useful. As such a mixed gas, a Ne—Ar mixed gas, a He—Xe mixed gas, a N
An e-Xe mixed gas, a He-Kr mixed gas, and a Ne-Kr mixed gas can be exemplified. Xe having the longest resonance line wavelength among these rare gases is 172n in wavelength.
Since it also radiates vacuum ultraviolet light having a strong m, it is a suitable rare gas.

【0040】ここで、放電セル内におけるグロー放電の
発光状態を、図15及び図16を参照して説明する。図
15の(A)に、希ガスを封入した放電管内で直流グロ
ー放電を行った場合の発光状態を模式的に示す。陰極か
ら陽極に向かって、アストン暗部A、陰極グローB、陰
極暗部(クルックス暗部)C、負グローD、ファラデー
暗部E、陽光柱F及び陽極グローGが順に現れる。交流
グロー放電では、陰極と陽極が所定の周波数にて反転を
繰り返すため、電極間の中央部に陽光柱Fが位置し、陽
光柱Fの両側にファラデー暗部E、負グローD、陰極暗
部C、陰極グローB及びアストン暗部Aがこの順に対称
に現れると考えられる。図15の(B)に示す状態は、
蛍光灯のように電極間の距離が十分に長い場合にみられ
る。
Here, the light emission state of the glow discharge in the discharge cell will be described with reference to FIGS. FIG. 15A schematically shows a light emitting state when DC glow discharge is performed in a discharge tube in which a rare gas is sealed. From the cathode to the anode, an Aston dark part A, a cathode glow B, a cathode dark part (Crooks dark part) C, a negative glow D, a Faraday dark part E, a positive column F, and an anode glow G appear in this order. In the AC glow discharge, since the cathode and the anode repeat inversion at a predetermined frequency, the positive column F is located at the center between the electrodes, and the Faraday dark portion E, the negative glow D, the negative dark portion C, It is considered that the cathode glow B and the aston dark part A appear symmetrically in this order. The state shown in FIG.
This occurs when the distance between the electrodes is sufficiently long, such as a fluorescent lamp.

【0041】電極間の距離を縮めてゆくと陽光柱Fの長
さが減少する。更に電極間の距離を縮めると、図16の
(A)に示すように陽光柱Fが消失し、電極間の中央部
に負グローDが位置し、負グローDの両側に陰極暗部
C、陰極グローB及びアストン暗部Aがこの順に対称に
現れると考えられる。図16の(A)に示した状態は、
電極の間隔が1×10-4m前後の場合に生じる状態であ
る。但し、本発明のプラズマ表示装置においては、グロ
ー放電を維持するための対になった第1の放電維持電極
と第2の放電維持電極が並列配置となっているので、負
グローは、陰極に相当する第1の放電維持電極を被覆す
る第1の誘電体層の表面部分若しくは第2の放電維持電
極を被覆する第1の誘電体層の表面部分の近傍の空間領
域に形成される。
As the distance between the electrodes is reduced, the length of the positive column F is reduced. When the distance between the electrodes is further reduced, the positive column F disappears as shown in FIG. 16A, the negative glow D is located at the center between the electrodes, and the cathode dark portion C and the cathode It is considered that the glow B and the aston dark part A appear symmetrically in this order. The state shown in FIG.
This is a state that occurs when the distance between the electrodes is about 1 × 10 −4 m. However, in the plasma display device of the present invention, the first glow discharge electrode and the second glow discharge electrode are arranged in parallel to maintain a glow discharge. It is formed in a space region near the surface portion of the first dielectric layer covering the corresponding first discharge sustain electrode or the surface portion of the first dielectric layer covering the second discharge sustain electrode.

【0042】一方、電極の間隔が5×10-5m未満にな
ると、模式的に図16の(B)に示すように、電極の間
の中央部に陰極グローBが位置し、陰極グローBの両側
にアストン暗部Aが現れると考えられる。尚、場合によ
っては、負グローが一部存在し得る。但し、本発明のプ
ラズマ表示装置においては、グロー放電を維持するため
の対になった第1の放電維持電極と第2の放電維持電極
が並列配置となっているので、陰極グローは、陰極に相
当する第1の放電維持電極を被覆する第1の誘電体層の
表面部分若しくは第2の放電維持電極を被覆する第1の
誘電体層の表面部分の近傍の空間領域に形成される。こ
のように、第1の放電維持電極と第2の放電維持電極と
の間の間隔を5×10-5m未満とし、しかも、空間内の
圧力を1.0×102Pa(0.001気圧)以上3.
0×105Pa(3気圧)以下とすることによって、放
電モードとして陰極グローを利用することが可能とな
る。それ故、高い交流グロー放電効率を達成できる結
果、プラズマ表示装置において高い発光効率と輝度を得
ることができる。
On the other hand, when the distance between the electrodes is less than 5 × 10 −5 m, the cathode glow B is located at the center between the electrodes as schematically shown in FIG. Is considered to appear on both sides of Aston. In some cases, some negative glows may exist. However, in the plasma display device of the present invention, the pair of the first sustaining electrode and the second sustaining electrode for maintaining the glow discharge are arranged in parallel. It is formed in a space region near the surface portion of the first dielectric layer covering the corresponding first discharge sustain electrode or the surface portion of the first dielectric layer covering the second discharge sustain electrode. As described above, the distance between the first discharge sustaining electrode and the second discharge sustaining electrode is set to less than 5 × 10 −5 m, and the pressure in the space is set to 1.0 × 10 2 Pa (0.001 Pressure) or more 3.
By setting the pressure to 0 × 10 5 Pa (3 atm) or less, it is possible to use the cathode glow as the discharge mode. Therefore, as a result of achieving high AC glow discharge efficiency, high luminous efficiency and luminance can be obtained in the plasma display device.

【0043】本発明においては、第1のバス電極及び第
2のバス電極を被覆する誘電体層の第1の部分は第1の
誘電体層及び第2の誘電体層から成るので、例えば、バ
ス電極の頂面縁部と第2の電極との間で異常放電が発生
することを確実に防止することができる。尚、誘電体層
全体としては、その他、アドレス期間に発生する壁電荷
を蓄積する機能、過剰な放電電流を制限する抵抗体とし
ての機能、放電状態を維持するメモリ機能を有する。
In the present invention, the first portion of the dielectric layer covering the first bus electrode and the second bus electrode is composed of the first dielectric layer and the second dielectric layer. It is possible to reliably prevent abnormal discharge from occurring between the edge of the top surface of the bus electrode and the second electrode. The dielectric layer as a whole has a function of accumulating wall charges generated during the address period, a function as a resistor for limiting an excessive discharge current, and a memory function for maintaining a discharge state.

【0044】[0044]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、発明の実
施の形態(以下、実施の形態と略称する)に基づき本発
明を説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings based on embodiments of the present invention (hereinafter, abbreviated as embodiments).

【0045】(実施の形態1)実施の形態1は、本発明
の第1の構成に係る交流駆動型のプラズマ表示装置に関
する。この交流駆動型プラズマ表示装置は、所謂3電極
型であって面放電型に属する。実施の形態1のプラズマ
表示装置の一部分の模式的な分解斜視図を図2に示す。
このプラズマ表示装置は、第1のパネル10と第2のパ
ネル20を有する。第1のパネル(フロントパネル)1
0は、例えばガラスから成る第1の基板11と、第1の
基板11上に設けられた複数の第1の電極から構成され
た第1電極群と、第1の電極を被覆し、第1の誘電体層
14Aと第2の誘電体層14Bとから構成された誘電体
層と、誘電体層上に形成された酸化マグネシウム((M
gO)から成る保護層15とから成る。
Embodiment 1 Embodiment 1 relates to an AC-driven plasma display device according to the first configuration of the present invention. This AC drive type plasma display device is a so-called three-electrode type and belongs to a surface discharge type. FIG. 2 is a schematic exploded perspective view of a part of the plasma display device according to the first embodiment.
This plasma display device has a first panel 10 and a second panel 20. First panel (front panel) 1
Numeral 0 covers a first substrate 11 made of, for example, glass, a first electrode group including a plurality of first electrodes provided on the first substrate 11, and the first electrode. A dielectric layer composed of a dielectric layer 14A and a second dielectric layer 14B, and magnesium oxide ((M
gO).

【0046】図2に示したプラズマ表示装置における、
放電維持電極12A,12Bとバス電極13A,13B
と隔壁25の配置関係を、図1に模式的に示す。尚、点
線で囲まれた領域が1画素に相当する。各構成要素を明
確にするために、図1において斜線を付した。1画素の
外形は、概ね正方形である。1画素は隔壁25によって
3つの区画(放電セル)に区切られており、各区画か
ら、3原色(R,G,B)の内のいずれかが発光する。
In the plasma display device shown in FIG.
Discharge sustaining electrodes 12A, 12B and bus electrodes 13A, 13B
FIG. 1 schematically shows the positional relationship between the partition 25 and the partition wall 25. Note that a region surrounded by a dotted line corresponds to one pixel. For clarity of each component, it is hatched in FIG. The outer shape of one pixel is substantially square. One pixel is divided into three sections (discharge cells) by a partition 25, and each of the sections emits one of the three primary colors (R, G, B).

【0047】各第1の電極は、第1のバス電極13A
と、第1のバス電極13Aと接する第1の放電維持電極
12Aと、第1のバス電極13Aと平行に延びる第2の
バス電極13Bと、第2のバス電極13Bと接し、第1
の放電維持電極12Aと対向した第2の放電維持電極1
2Bから構成されている。尚、ストライプ状の第1の放
電維持電極12Aが、ストライプ状の第1のバス電極1
3Aと平行に延び、ストライプ状の第2の放電維持電極
12Bが、ストライプ状の第2のバス電極13Bと平行
に、第1の方向に延びている。具体的には、第1のバス
電極13Aは第1の放電維持電極12Aの縁部近傍の第
1の放電維持電極12A上に形成されている。一方、第
2のバス電極13Bは第2の放電維持電極12Bの縁部
近傍の第2の放電維持電極12B上に形成されている。
更には、第1のバス電極13A及び第2のバス電極13
Bは、第1の方向に沿って隣接する放電セルで共通であ
り、第1の放電維持電極12A及び第2の放電維持電極
12Bも第1の方向に沿って隣接する放電セルで共通で
ある。バス電極13A,13Bは、放電維持電極12
A,12Bのインピーダンスを低下させるために設けら
れており、放電維持電極12A,12Bよりも電気抵抗
率の低い材料から成る。放電維持電極12A,12B
は、例えばITOといった透明な導電性材料から形成す
ればよい。一方、バス電極13A,13Bは、ITOよ
りも電気抵抗率の低い材料、例えばクロム/銅/クロム
積層膜から構成すればよい。尚、第1及び第2のバス電
極13A,13Bの線幅は、表示画面(ここでは、第1
の基板11の図中上側の面)の輝度を損なわないよう
に、出来る限り狭く(例えば、50μm幅)することが
好ましい。ここで、第1の放電維持電極12Aと第2の
放電維持電極12Bとの間の間隔(側面12aと側面1
2bとの間の間隔L1)を5×10-5m未満(例えば2
0μm)とした。第1の放電維持電極12Aと第2の放
電維持電極12Bとの間でグロー放電が生じる。
Each first electrode is connected to a first bus electrode 13A.
A first discharge sustaining electrode 12A in contact with the first bus electrode 13A; a second bus electrode 13B extending in parallel with the first bus electrode 13A;
Discharge sustaining electrode 1 facing discharge sustaining electrode 12A
2B. Note that the stripe-shaped first discharge sustaining electrode 12A is formed of the stripe-shaped first bus electrode 1.
A second discharge sustaining electrode 12B extending in parallel with 3A and extending in a first direction extends in parallel with the second bus electrode 13B having a stripe shape. Specifically, the first bus electrode 13A is formed on the first discharge sustaining electrode 12A near the edge of the first discharge sustaining electrode 12A. On the other hand, the second bus electrode 13B is formed on the second discharge sustaining electrode 12B near the edge of the second discharge sustaining electrode 12B.
Further, the first bus electrode 13A and the second bus electrode 13A
B is common to the discharge cells adjacent along the first direction, and the first and second discharge sustaining electrodes 12A and 12B are also common to the discharge cells adjacent to each other along the first direction. . The bus electrodes 13A and 13B are
It is provided to lower the impedance of A and 12B, and is made of a material having lower electric resistivity than the discharge sustaining electrodes 12A and 12B. Discharge sustaining electrodes 12A, 12B
May be formed from a transparent conductive material such as ITO. On the other hand, the bus electrodes 13A and 13B may be made of a material having a lower electrical resistivity than ITO, for example, a chromium / copper / chrome laminated film. Note that the line width of the first and second bus electrodes 13A and 13B corresponds to the display screen (here, the first and second bus electrodes 13A and 13B).
It is preferable to make the width as small as possible (for example, 50 μm width) so as not to impair the luminance of the upper surface of the substrate 11 in FIG. Here, the distance between the first discharge sustaining electrode 12A and the second discharge sustaining electrode 12B (the side surface 12a and the side surface 1A).
The distance L 1) between the 2b 5 × less than 10 -5 m (e.g. 2
0 μm). A glow discharge is generated between the first sustaining electrode 12A and the second sustaining electrode 12B.

【0048】第1のパネル10を図1の矢印B−Bに沿
って切断したときの模式的な一部端面図を、図3の
(A)に示す。誘電体層は、第1の部分と第2の部分か
ら構成されている。即ち、第1のバス電極13A及び第
2のバス電極13Bを被覆する誘電体層の第1の部分
は、第1の誘電体層14A及び第2の誘電体層14Bか
ら成り、第1の放電維持電極12A及び第2の放電維持
電極12Bを被覆する誘電体層の第2の部分は、第1の
誘電体層14Aから成る。ここで、誘電体層の第1の部
分は、第1の基板11側から、第1の誘電体層14A、
第2の誘電体層14Bの順に積層されている。酸化シリ
コン(SiO2)から構成された第1の誘電体層14A
は、第1の放電維持電極12A、第2の放電維持電極1
2Bのそれぞれの側面及び頂面を被覆している。一方、
低融点ガラスペーストの焼成体から構成された第2の誘
電体層14Bは、第1のバス電極13A、第2のバス電
極13Bを被覆している第1の誘電体層14Aの部分の
上に形成されている。第1の放電維持電極12Aの頂面
上、及び、第2の放電維持電極12Bの頂面上における
第1の誘電体層14Aの厚さを3μmとした。また、第
1のバス電極13Aの頂面上、及び、第2のバス電極1
3Bの頂面上における第2の誘電体層14Bの厚さを1
0μmとした。尚、第1の電極を構成する第1のバス電
極13Aと、この第1の電極に隣接した第1の電極を構
成する第2のバス電極13Bとの間の第1の基板11上
には、第1の誘電体層14Aが形成されている。
FIG. 3A is a schematic partial end view when the first panel 10 is cut along the arrow BB in FIG. The dielectric layer includes a first portion and a second portion. That is, the first part of the dielectric layer covering the first bus electrode 13A and the second bus electrode 13B is composed of the first dielectric layer 14A and the second dielectric layer 14B, and the first discharge is performed. The second part of the dielectric layer covering the sustain electrode 12A and the second discharge sustain electrode 12B is composed of the first dielectric layer 14A. Here, the first portion of the dielectric layer is formed from the first substrate 11 side to the first dielectric layer 14A,
The second dielectric layers 14B are stacked in this order. First dielectric layer 14A made of silicon oxide (SiO 2 )
Are the first sustaining electrode 12A, the second sustaining electrode 1
Each side and top surface of 2B is coated. on the other hand,
The second dielectric layer 14B made of a fired body of a low-melting glass paste is placed on the first dielectric layer 14A covering the first bus electrode 13A and the second bus electrode 13B. Is formed. The thickness of the first dielectric layer 14A on the top surface of the first discharge sustaining electrode 12A and on the top surface of the second discharge sustaining electrode 12B was 3 μm. Also, on the top surface of the first bus electrode 13A, and on the second bus electrode 1A.
The thickness of the second dielectric layer 14B on the top surface of 3B is 1
It was set to 0 μm. In addition, on the first substrate 11 between the first bus electrode 13A constituting the first electrode and the second bus electrode 13B constituting the first electrode adjacent to the first electrode. , A first dielectric layer 14A is formed.

【0049】一方、第2のパネル(リアパネル)20
は、例えばガラスから成る第2の基板21と、第1の電
極の延びる方向と所定の角度(例えば、90度)を成し
て、第2の方向に延びるストライプ状の銀やアルミニウ
ムから構成された複数の第2の電極(アドレス電極ある
いはデータ電極とも呼ばれる)22から構成された第2
電極群と、隣接する第2の電極22の間に設けられた隔
壁25と、第2の電極22の上方に設けられた蛍光体層
24とから成る。尚、第2の電極22上を含む第2の基
板21上には誘電体膜23が形成されている。絶縁材料
から成る隔壁25は、誘電体膜23上であって隣り合う
第2の電極22の間の領域に形成されており、第2の電
極22と平行に延びている。蛍光体層24は、誘電体膜
23上から隔壁25の側壁面上に亙って設けられてい
る。蛍光体層24は、赤色蛍光体層24R、緑色蛍光体
層24G、及び、青色蛍光体層24Bから構成されてお
り、これらの3原色を発光する蛍光体層24R,24
G,24Bが1組となり、且つ、所定の順序に従って第
2の電極22上に設けられている。第2の電極22は、
第1及び第2の放電維持電極12A,12Bと共にグロ
ー放電の開始に寄与する他、蛍光体層24から生ずる発
光を表示画面側へ反射させ、表示画面の輝度を向上させ
ることにも寄与する。
On the other hand, the second panel (rear panel) 20
Is formed of a striped silver or aluminum extending in the second direction at a predetermined angle (for example, 90 degrees) with the direction in which the first electrode extends with respect to the second substrate 21 made of, for example, glass. A second electrode (also referred to as an address electrode or a data electrode) 22
It comprises an electrode group, a partition wall 25 provided between adjacent second electrodes 22, and a phosphor layer 24 provided above the second electrodes 22. Note that a dielectric film 23 is formed on the second substrate 21 including the second electrode 22. The partition wall 25 made of an insulating material is formed in a region between the adjacent second electrodes 22 on the dielectric film 23, and extends in parallel with the second electrode 22. The phosphor layer 24 is provided over the dielectric film 23 and on the side wall surface of the partition 25. The phosphor layer 24 is composed of a red phosphor layer 24R, a green phosphor layer 24G, and a blue phosphor layer 24B, and the phosphor layers 24R, 24 emitting the three primary colors are used.
G and 24B constitute one set and are provided on the second electrode 22 in a predetermined order. The second electrode 22 is
In addition to contributing to the initiation of glow discharge together with the first and second discharge sustaining electrodes 12A and 12B, the light emission generated from the phosphor layer 24 is reflected to the display screen side, thereby contributing to improving the luminance of the display screen.

【0050】図2は模式的な分解斜視図であり、実際に
は第2のパネル20側の隔壁25の頂部が第1のパネル
10側の保護層15に当接している。また、第1のパネ
ル10と第2のパネル20とは、保護層15と蛍光体層
24とが対面するごとく対向して配置され、周縁部にお
いて図示しないシール層を介して接着されている。対に
なった第1のバス電極13A,13B、これらのバス電
極13A,13Bから延びる対になった放電維持電極1
2A,12Bと、2つの隔壁25の間に位置する第2の
電極22とが重複する領域が、放電セルに相当する。ま
た、対になった第1のバス電極13A、第2のバス電極
13B、対になった第1の放電維持電極12A及び第2
の放電維持電極12Bと、3原色の蛍光体層24R,2
4G,24Bの1組とが重複する領域が1画素に相当す
る。第1のパネル10と第2のパネル20とによって形
成された空間内には、例えばNe−Xe混合ガス(例え
ば、Ne50%−Xe50%混合ガス)が圧力8×10
4Pa(0.8気圧)にて封入されている。即ち、隣り
合う隔壁25と蛍光体層24と保護層15とによって囲
まれた空間内には、希ガスが封入されている。
FIG. 2 is a schematic exploded perspective view. In practice, the top of the partition 25 on the second panel 20 is in contact with the protective layer 15 on the first panel 10. The first panel 10 and the second panel 20 are disposed so as to face each other so that the protective layer 15 and the phosphor layer 24 face each other, and are bonded to each other at a peripheral portion thereof via a seal layer (not shown). The paired first bus electrodes 13A, 13B, and the paired sustain electrodes 1 extending from these bus electrodes 13A, 13B.
A region where 2A, 12B and the second electrode 22 located between the two partition walls 25 overlap corresponds to a discharge cell. Also, a pair of the first bus electrode 13A and the second bus electrode 13B, a pair of the first sustain electrode 12A and the second
And the three primary color phosphor layers 24R, 2B.
An area where one set of 4G and 24B overlaps corresponds to one pixel. In a space formed by the first panel 10 and the second panel 20, for example, a Ne—Xe mixed gas (for example, a Ne50% -Xe50% mixed gas) has a pressure of 8 × 10.
It is sealed at 4 Pa (0.8 atm). That is, a rare gas is sealed in a space surrounded by the adjacent partition wall 25, the phosphor layer 24, and the protective layer 15.

【0051】次に、かかる構成を有するプラズマ表示装
置の交流グロー放電動作の一例を説明する。先ず、例え
ば全ての第1のバス電極13Aに、放電開始電圧Vbd
りも高いパルス電圧を短時間印加する。これによってグ
ロー放電が生じ、一方の放電維持電極の近傍の第1の誘
電体層14の表面に誘電分極に起因して壁電荷が発生
し、壁電荷が蓄積し、見掛けの放電開始電圧が低下す
る。その後、第2の電極(アドレス電極)22に電圧を
印加しながら、表示をさせないセルに含まれる一方のバ
ス電極に電圧を印加することによって、第2の電極22
と一方の放電維持電極との間にグロー放電を生じさせ、
蓄積された壁電荷を消去する。この消去放電を各第2の
電極22において順次実行する。一方、表示をさせるセ
ルに含まれる一方のバス電極には電圧を印加しない。こ
れによって、壁電荷の蓄積を維持する。その後、再び、
全ての対になったバス電極13A,13B間に所定のパ
ルス電圧を印加することによって、壁電荷が蓄積されて
いたセルにおいては対になった放電維持電極12A,1
2Bの間でグロー放電が開始し、放電セルにおいては、
希ガス中でのグロー放電に基づき発生した真空紫外線の
照射によって励起された蛍光体層が、蛍光体材料の種類
に応じた特有の発光色を呈する。尚、一方のバス電極と
他方のバス電極に印加される放電維持電圧の位相は半周
期ずれており、放電維持電極の極性は交流の周波数に応
じて反転する。
Next, an example of the AC glow discharge operation of the plasma display device having such a configuration will be described. First, for example, a pulse voltage higher than the discharge start voltage V bd is applied to all the first bus electrodes 13A for a short time. As a result, a glow discharge occurs, and wall charges are generated on the surface of the first dielectric layer 14 near one of the sustain electrodes due to dielectric polarization. I do. After that, while applying a voltage to the second electrode (address electrode) 22, a voltage is applied to one of the bus electrodes included in the cell where the display is not performed.
And a glow discharge is generated between one of the sustain electrodes and
Erase the accumulated wall charges. This erasing discharge is sequentially performed on each second electrode 22. On the other hand, no voltage is applied to one bus electrode included in the cell for displaying. This maintains the accumulation of wall charges. Then again,
By applying a predetermined pulse voltage between all the paired bus electrodes 13A and 13B, the paired discharge sustaining electrodes 12A and 1A in the cell in which the wall charges have been accumulated.
Glow discharge starts between 2B, and in the discharge cell,
The phosphor layer excited by the irradiation of the vacuum ultraviolet light generated based on the glow discharge in the rare gas exhibits a specific emission color according to the type of the phosphor material. Note that the phases of the sustaining voltage applied to one bus electrode and the other bus electrode are shifted by half a cycle, and the polarity of the sustaining electrode is inverted according to the frequency of the alternating current.

【0052】あるいは又、かかる構成を有するプラズマ
表示装置の交流グロー放電動作の別の例を説明する。先
ず、全画素を初期化するために全画素に対して消去放電
を行い、次いで、放電動作を行う。放電動作は、初期放
電によって第1の誘電体層14の表面に壁電荷を発生さ
せるアドレス期間と、グロー放電を維持する放電維持期
間とに分けて行われる。アドレス期間では、選択された
一方のバス電極と選択された第2の電極22に、放電開
始電圧Vbdよりも低いパルス電圧を短時間印加する。パ
ルス電圧が印加された一方のバス電極と第2の電極22
との重複領域が表示画素として選択され、この重複領域
において第1の誘電体層14の表面に誘電分極に起因し
て壁電荷が発生し、壁電荷が蓄積される。続く放電維持
期間では、対になったバス電極13A,13BにVbd
りも低い放電維持電圧Vsusを印加する。壁電荷が誘起
する壁電圧Vwと放電維持電圧Vsusとの和が放電開始電
圧Vbdよりも大きくなれば(即ち、Vw+Vsus
bd)、グロー放電が開始される。一方のバス電極と他
方のバス電極に印加される放電維持電圧Vsusの位相は
半周期ずれており、放電維持電極の極性は交流の周波数
に応じて反転する。
Alternatively, another example of the AC glow discharge operation of the plasma display device having such a configuration will be described. First, an erasing discharge is performed on all the pixels to initialize all the pixels, and then a discharging operation is performed. The discharge operation is performed by dividing into an address period in which wall charges are generated on the surface of the first dielectric layer 14 by an initial discharge and a discharge maintenance period in which glow discharge is maintained. In the address period, a pulse voltage lower than the discharge start voltage V bd is applied to one of the selected bus electrodes and the selected second electrode 22 for a short time. One of the bus electrodes to which the pulse voltage is applied and the second electrode 22
Is selected as a display pixel, and in this overlap region, wall charges are generated on the surface of the first dielectric layer 14 due to dielectric polarization, and the wall charges are accumulated. In the subsequent sustain period, a sustain voltage V sus lower than V bd is applied to the paired bus electrodes 13A and 13B. If the sum of the wall voltage V w induced by the wall charge and the sustaining voltage V sus becomes greater than the firing voltage V bd (ie, V w + V sus >)
V bd ), glow discharge is started. The phases of the sustaining voltage V sus applied to one bus electrode and the other bus electrode are shifted by half a cycle, and the polarity of the sustaining electrode is inverted according to the frequency of the alternating current.

【0053】交流グロー放電が維持された画素では、空
間内に生じた希ガスの励起に基づき放射された真空紫外
線に照射されて蛍光体層24が励起され、蛍光体材料の
種類に応じた特有の色の発光が得られる。
In the pixel in which the AC glow discharge is maintained, the phosphor layer 24 is excited by irradiating vacuum ultraviolet rays radiated based on the excitation of the rare gas generated in the space, and a characteristic corresponding to the kind of the phosphor material is used. Light emission of the following colors is obtained.

【0054】実施の形態1のプラズマ表示装置の製造方
法の概要を、以下、説明する。
The outline of the method of manufacturing the plasma display device according to the first embodiment will be described below.

【0055】第1のパネル10は、以下のようにして製
造することができる。先ず、第1の基板11の全面に例
えばスパッタリング法によりITO層を形成し、フォト
リソグラフィ技術及びエッチング技術によりITO層を
ストライプ状にパターニングすることによって、第1及
び第2の放電維持電極12A,12Bを形成することが
できる。次に、全面に例えばスパッタリング法によりク
ロム/銅/クロム積層膜を形成し、フォトリソグラフィ
技術及びエッチング技術によりクロム/銅/クロム積層
膜をパターニングすることによって、第1及び第2のバ
ス電極13A,13Bを形成することができる。
The first panel 10 can be manufactured as follows. First, an ITO layer is formed on the entire surface of the first substrate 11 by, for example, a sputtering method, and the ITO layer is patterned into stripes by a photolithography technique and an etching technique, thereby forming the first and second discharge sustaining electrodes 12A and 12B. Can be formed. Next, a chromium / copper / chromium laminated film is formed on the entire surface by, for example, a sputtering method, and the chromium / copper / chromium laminated film is patterned by a photolithography technique and an etching technique, thereby forming the first and second bus electrodes 13A, 13B can be formed.

【0056】その後、第1の誘電体層14Aによって第
1の電極(12A,13A,12B,13B)を被覆し
た後、第1のバス電極13A及び第2のバス電極13B
上の第1の誘電体層14Aの部分の上に第2の誘電体層
14Bを形成する。具体的には、CVD法に基づき、S
iO2から成り、厚さ3μmの第1の誘電体層14Aを
全面に形成する。その後、スクリーン印刷法にて、スト
ライプ状に低融点ガラスペーストを第1の誘電体層14
A上に形成し、低融点ガラスペーストを仮焼成、本焼成
することによって、低融点ガラスペーストの焼成体から
構成された第2の誘電体層14Bを得ることができる。
その後、電子ビーム蒸着法によって、全面に厚さ約0.
6μmのMgOから成る保護層15を形成する。以上の
工程により第1のパネル10を完成することができる。
Then, after the first electrodes (12A, 13A, 12B, 13B) are covered with the first dielectric layer 14A, the first bus electrode 13A and the second bus electrode 13B are covered.
The second dielectric layer 14B is formed on the upper portion of the first dielectric layer 14A. Specifically, based on the CVD method, S
A first dielectric layer 14A made of iO 2 and having a thickness of 3 μm is formed on the entire surface. Thereafter, a low-melting glass paste is applied to the first dielectric layer 14 in a stripe shape by screen printing.
A second dielectric layer 14B composed of a fired body of a low-melting glass paste can be obtained by forming the low-melting glass paste on A and temporarily firing the low-melting glass paste.
After that, a thickness of about 0.
A protective layer 15 made of 6 μm MgO is formed. Through the above steps, the first panel 10 can be completed.

【0057】第2のパネル20は、以下のようにして製
造することができる。先ず、第2の基板21上に例えば
スクリーン印刷法により銀ペーストをストライプ状に印
刷し、焼成を経て、第2の電極22を形成することがで
きる。次に、スクリーン印刷法により全面に低融点ガラ
スペースト層を形成し、この低融点ガラスペースト層を
焼成することによって、誘電体膜23を形成する。その
後、隣り合う第2の電極22の間の領域の上方の誘電体
膜23上に、例えばスクリーン印刷法により低融点ガラ
スペーストを印刷し、焼成を経て、隔壁25を形成す
る。隔壁25の高さは、例えば1×10-4m(100μ
m)乃至2×10-4m(200μm)とすればよい。次
に、3原色の蛍光体スラリーを順次印刷し、焼成を経
て、蛍光体層24R,24G,24Bを形成する。以上
の工程により第2のパネル20を完成することができ
る。
The second panel 20 can be manufactured as follows. First, a silver paste is printed in a stripe shape on the second substrate 21 by, for example, a screen printing method, and the second electrode 22 can be formed through firing. Next, a low-melting glass paste layer is formed on the entire surface by a screen printing method, and the low-melting glass paste layer is baked to form the dielectric film 23. After that, a low-melting glass paste is printed on the dielectric film 23 above the region between the adjacent second electrodes 22 by, for example, a screen printing method, and the partition 25 is formed through firing. The height of the partition 25 is, for example, 1 × 10 −4 m (100 μm).
m) to 2 × 10 −4 m (200 μm). Next, phosphor slurries of the three primary colors are sequentially printed and fired to form phosphor layers 24R, 24G, and 24B. Through the above steps, the second panel 20 can be completed.

【0058】次に、プラズマ表示装置の組み立てを行
う。先ず、例えばスクリーン印刷により、第2のパネル
20の周縁部にフリットガラスから成るシール層(図示
せず)を形成する。次に、第1のパネル10と第2のパ
ネル20とを貼り合わせ、焼成してシール層を硬化させ
る。次に、第1のパネル10と第2のパネル20との間
に形成された空間を排気した後、Ne−Xe混合ガス
(例えば、Ne50%−Xe50%混合ガス)を圧力8
×104Pa(0.8気圧)にて封入し、空間を封止
し、プラズマ表示装置を完成させる。尚、第1のパネル
10と第2のパネル20との貼り合わせを圧力8×10
4Pa(0.8気圧)のNe−Xe混合ガスを満たした
チャンバ内で行えば、排気工程とNe−Xe混合ガスの
封入工程を省略することも可能である。
Next, the plasma display device is assembled. First, a seal layer (not shown) made of frit glass is formed on the periphery of the second panel 20 by, for example, screen printing. Next, the first panel 10 and the second panel 20 are bonded together and fired to cure the seal layer. Next, after the space formed between the first panel 10 and the second panel 20 is evacuated, a Ne-Xe mixed gas (for example, a Ne50% -Xe50% mixed gas) is applied at a pressure of 8.
Sealing is performed at × 10 4 Pa (0.8 atm) to seal the space and complete the plasma display device. The bonding of the first panel 10 and the second panel 20 was performed at a pressure of 8 × 10
If the process is performed in a chamber filled with a Ne—Xe mixed gas of 4 Pa (0.8 atm), the evacuation step and the sealing step of the Ne—Xe mixed gas can be omitted.

【0059】尚、図3の(B)に、第1のパネル10を
図1の矢印B−Bに沿ったと同様に切断したときの模式
的な一部端面図を示すように、第1の電極を構成する第
1のバス電極13Aと、この第1の電極に隣接した第1
の電極を構成する第2のバス電極13Bとの間の第1の
基板11上に、第1の基板11側から、第1の誘電体層
14A、第2の誘電体層14Bが形成されていてもよ
い。このような構成は、スクリーン印刷法にて、ストラ
イプ状に低融点ガラスペーストを第1の誘電体層14A
上に形成する際、適切なパターンを低融点ガラスペース
トに付与することによって得ることができる。
As shown in FIG. 3B, the first panel 10 is cut in the same manner as along the arrow BB in FIG. A first bus electrode 13A constituting an electrode and a first bus electrode 13A adjacent to the first electrode
A first dielectric layer 14A and a second dielectric layer 14B are formed from the first substrate 11 side on the first substrate 11 between the second bus electrode 13B and the second bus electrode 13B. You may. In such a configuration, a low-melting glass paste is applied in a stripe shape to the first dielectric layer 14A by screen printing.
When forming on it, it can be obtained by giving an appropriate pattern to the low melting glass paste.

【0060】また、図3の(A)及び図3の(B)に示
した例において、第2の誘電体層14Bを、第2のパネ
ル20に設けられた隔壁25に対応する第1のパネル1
0の領域の上方にも形成してもよい。即ち、第2の誘電
体層14Bの平面形状を格子状(井桁状)とすることも
できる。この場合、具体的には、第2のパネル20に設
けられた隔壁25に対応する第1のパネル10の領域に
は、第1の電極(12A,13A,12B,13B)、
第1の誘電体層14A、第2の誘電体層14Bが形成さ
れている。このような構造にすることによって、グロー
放電が隣接する放電セルに影響を及ぼす所謂光学的クロ
ストークの発生を確実に防止することが可能となる。
Further, in the example shown in FIGS. 3A and 3B, the second dielectric layer 14B is formed by forming the first dielectric layer 14B corresponding to the first partition wall 25 provided on the second panel 20. Panel 1
It may be formed above the zero region. That is, the planar shape of the second dielectric layer 14B can be a lattice shape (cross-girder shape). In this case, specifically, the first electrode (12A, 13A, 12B, 13B) is provided in a region of the first panel 10 corresponding to the partition wall 25 provided in the second panel 20.
A first dielectric layer 14A and a second dielectric layer 14B are formed. With such a structure, it is possible to reliably prevent the occurrence of so-called optical crosstalk in which the glow discharge affects adjacent discharge cells.

【0061】(実施の形態2)実施の形態2は、実施の
形態1のプラズマ表示装置の変形である。実施の形態2
のプラズマ表示装置が実施の形態1のプラズマ表示装置
と相違する点は、図4の(A)及び(B)に、第1のパ
ネル10を図1の矢印B−Bに沿ったと同様に切断した
ときの模式的な一部端面図を示すように、誘電体層の第
1の部分が、第1の基板11側から、第2の誘電体層1
4B、第1の誘電体層14Aの順に積層されている点に
ある。この点を除き、実施の形態2のプラズマ表示装置
は、実施の形態1のプラズマ表示装置と同様の構成を有
する。
(Embodiment 2) Embodiment 2 is a modification of the plasma display device of Embodiment 1. Embodiment 2
The difference between the plasma display device of the first embodiment and the plasma display device of the first embodiment is that the first panel 10 is cut in the same manner as shown in FIGS. As shown in the schematic partial end view at the time, the first portion of the dielectric layer is
4B and the first dielectric layer 14A. Except for this point, the plasma display device of the second embodiment has the same configuration as the plasma display device of the first embodiment.

【0062】実施の形態2のプラズマ表示装置におい
て、低融点ガラスペーストの焼成体から構成された第2
の誘電体層14Bは、第1のバス電極13A及び第2の
バス電極13Bの側面及び頂面を被覆している。また、
酸化シリコン(SiO2)から構成された第1の誘電体
層14Aは、第1のバス電極13A、第2のバス電極1
3Bを被覆している第2の誘電体層14B上、並びに、
第1の放電維持電極12A及び第2の放電維持電極12
Bの頂面及び側面上に形成されている。尚、図4の
(A)に示した例では、第1の電極を構成する第1のバ
ス電極13Aと、この第1の電極に隣接した第1の電極
を構成する第2のバス電極13Bとの間の第1の基板1
1上に、第1の誘電体層14Aが形成されている。
In the plasma display device according to the second embodiment, the second display device made of a fired body of a low-melting glass paste is used.
The dielectric layer 14B covers the side and top surfaces of the first bus electrode 13A and the second bus electrode 13B. Also,
The first dielectric layer 14A made of silicon oxide (SiO 2 ) has a first bus electrode 13A and a second bus electrode 1A.
On the second dielectric layer 14B covering 3B, and
First discharge sustaining electrode 12A and second discharge sustaining electrode 12
B are formed on the top and side surfaces. In the example shown in FIG. 4A, a first bus electrode 13A constituting the first electrode and a second bus electrode 13B constituting the first electrode adjacent to the first electrode are provided. The first substrate 1 between
On 1, a first dielectric layer 14 </ b> A is formed.

【0063】図4の(A)に示した構成は、第2の誘電
体層14Bによって第1のバス電極13A及び第2のバ
ス電極13Bを被覆した後、第1の電極を第1の誘電体
層14Aによって被覆することによって得ることができ
る。具体的には、スクリーン印刷法にて、ストライプ状
に低融点ガラスペーストを第1及び第2のバス電極13
A,13B上に形成し、低融点ガラスペーストを仮焼
成、本焼成することによって、低融点ガラスペーストの
焼成体から構成された第2の誘電体層14Bを得ること
ができる。次いで、CVD法に基づきSiO2から成
り、厚さ3μmの第1の誘電体層14Aを全面に形成す
ればよい。
In the structure shown in FIG. 4A, after the first bus electrode 13A and the second bus electrode 13B are covered with the second dielectric layer 14B, the first electrode is connected to the first dielectric layer. It can be obtained by coating with the body layer 14A. Specifically, a low-melting glass paste is applied in a stripe shape to the first and second bus electrodes 13 by screen printing.
The second dielectric layer 14B made of a fired body of the low-melting glass paste can be obtained by forming the low-melting glass paste on the A, 13B and temporarily firing and finally firing the low-melting glass paste. Next, a first dielectric layer 14A made of SiO 2 and having a thickness of 3 μm may be formed on the entire surface based on the CVD method.

【0064】一方、図4の(B)に示すように、第1の
電極を構成する第1のバス電極13Aと、この第1の電
極に隣接した第1の電極を構成する第2のバス電極13
Bとの間の第1の基板11上に、第1の基板11側か
ら、第2の誘電体層14B、第1の誘電体層14Aが形
成されていてもよい。このような構成は、スクリーン印
刷法にて、ストライプ状に低融点ガラスペーストを第1
及び第2のバス電極13A,13B上に形成する際、適
切なパターンを低融点ガラスペーストに付与することに
よって得ることができる。
On the other hand, as shown in FIG. 4B, a first bus electrode 13A constituting the first electrode and a second bus electrode constituting the first electrode adjacent to the first electrode are formed. Electrode 13
B, a second dielectric layer 14B and a first dielectric layer 14A may be formed on the first substrate 11 from the first substrate 11 side. In such a configuration, a low-melting glass paste is firstly applied in a stripe shape by a screen printing method.
When forming on the second bus electrodes 13A and 13B, it can be obtained by giving an appropriate pattern to the low-melting glass paste.

【0065】尚、図4の(A)及び(B)に示した例に
おいて、第2の誘電体層14Bを、第2のパネル20に
設けられた隔壁25に対応する第1のパネル10の領域
の上方にも形成してもよい。即ち、第2の誘電体層14
Bの平面形状を格子状(井桁状)とすることもできる。
この場合、具体的には、第2のパネル20に設けられた
隔壁25に対応する第1のパネル10の領域には、第1
の電極(12A,13A,12B,13B)、第2の誘
電体層14B、第1の誘電体層14Aが形成されてい
る。このような構造にすることによって、グロー放電が
隣接する放電セルに影響を及ぼす所謂光学的クロストー
クの発生を確実に防止することが可能となる。
In the examples shown in FIGS. 4A and 4B, the second dielectric layer 14B is formed by forming the first panel 10 corresponding to the partition wall 25 provided on the second panel 20. It may be formed above the region. That is, the second dielectric layer 14
The plane shape of B may be a lattice shape (cross-girder shape).
In this case, specifically, in the region of the first panel 10 corresponding to the partition wall 25 provided in the second panel 20, the first panel
(12A, 13A, 12B, 13B), a second dielectric layer 14B, and a first dielectric layer 14A. With such a structure, it is possible to reliably prevent the occurrence of so-called optical crosstalk in which the glow discharge affects adjacent discharge cells.

【0066】(実施の形態3)実施の形態3は、本発明
の第2の構成に係るプラズマ表示装置に関する。この交
流駆動型プラズマ表示装置も、所謂3電極型であって面
放電型に属する。また、実施の形態3のプラズマ表示装
置は、ALIS(Alternate Lighting of Surfaces)方
式のプラズマ表示装置とも呼ばれる。実施の形態3のプ
ラズマ表示装置における、放電維持電極12A,12B
とバス電極13A,13Bと隔壁25の配置関係を、図
5に模式的に示す。尚、点線で囲まれた領域が1画素に
相当する。各構成要素を明確にするために、図5におい
て斜線を付した。図5では長方形で表示したが、実際に
は、1画素の外形は概ね正方形である。1画素は隔壁2
5によって3つの区画(放電セル)に区切られており、
各区画から、3原色(R,G,B)の内のいずれかが発
光する。実施の形態3のプラズマ表示装置の一部分の模
式的な分解斜視図を図6に示す。このプラズマ表示装置
は、第1のパネル10と第2のパネル20を有する。第
1のパネル(フロントパネル)10は、例えばガラスか
ら成る第1の基板11と、第1の基板11上に設けられ
た複数の第1の電極から構成された第1電極群と、第1
の電極を被覆し、第1の誘電体層14Aと第2の誘電体
層14Bとから構成された誘電体層と、誘電体層上に形
成された酸化マグネシウム((MgO)から成る保護層
15とから成る。
Embodiment 3 Embodiment 3 relates to a plasma display device according to the second configuration of the present invention. This AC drive type plasma display device is also a so-called three-electrode type and belongs to a surface discharge type. The plasma display device according to the third embodiment is also called an ALIS (Alternate Lighting of Surfaces) type plasma display device. Discharge sustaining electrodes 12A and 12B in the plasma display device according to the third embodiment.
FIG. 5 schematically shows an arrangement relationship between the bus electrodes 13A and 13B and the partition wall 25. Note that a region surrounded by a dotted line corresponds to one pixel. In FIG. 5, hatching is used to clarify each component. Although shown as a rectangle in FIG. 5, the outer shape of one pixel is actually a square. One pixel is a partition 2
5, divided into three sections (discharge cells),
From each section, one of the three primary colors (R, G, B) emits light. FIG. 6 is a schematic exploded perspective view of a part of the plasma display device according to the third embodiment. This plasma display device has a first panel 10 and a second panel 20. The first panel (front panel) 10 includes, for example, a first substrate 11 made of glass, a first electrode group including a plurality of first electrodes provided on the first substrate 11,
And a dielectric layer composed of a first dielectric layer 14A and a second dielectric layer 14B, and a protective layer 15 made of magnesium oxide ((MgO)) formed on the dielectric layer. Consisting of

【0067】実施の形態3のプラズマ表示装置において
は、第1の電極を構成する第1のバス電極と、この第1
の電極に隣接する第1の電極を構成する第2のバス電極
は共通である。即ち、これらのバス電極は、ストライプ
状の1つの導電性材料層(バス電極構成導電材料層と呼
ぶ)から構成されている。かかる共通の第1のバス電極
と第2のバス電極とを、共通バス電極13で表示する。
各第1の電極は、第1のバス電極(共通バス電極)13
と、共通バス電極13と接する第1の放電維持電極12
Aと、かかる共通バス電極13と平行に延びる第2のバ
ス電極(隣接する共通バス電極13)と、かかる共通バ
ス電極13と接し、第1の放電維持電極12Aと対向し
た第2の放電維持電極12Bから構成されている。尚、
第1の電極を構成する第1の放電維持電極12Aと、こ
の第1の電極に隣接する第1の電極を構成する第2の放
電維持電極12Bとは、ストライプ状の1つの導電性材
料層(放電維持電極構成導電材料層と呼ぶ)から構成さ
れている。そして、共通バス電極13は、放電維持電極
構成導電材料層の中央部に形成されている。バス電極構
成導電材料層及び放電維持電極構成導電材料層は、第1
の方向に延びている。更には、共通バス電極13は、第
1の方向に沿って隣接する放電セルで共通であり、第1
の放電維持電極12A及び第2の放電維持電極12Bも
第1の方向に沿って隣接する放電セルで共通である。バ
ス電極構成導電材料層及び放電維持電極構成導電材料層
は、実施の形態1と同様に、それぞれ、例えば、クロム
/銅/クロム積層膜、ITOから形成すればよい。尚、
第1の放電維持電極12Aと第2の放電維持電極12B
との間の間隔(側面12aと側面12bとの間の間隔L
1)を5×10-5m未満(例えば20μm)とした。第
1の放電維持電極12Aと第2の放電維持電極12Bと
の間でグロー放電が生じる。
In the plasma display device according to the third embodiment,
Comprises: a first bus electrode forming a first electrode;
Bus electrode forming a first electrode adjacent to the first electrode
Are common. That is, these bus electrodes are striped
One conductive material layer (referred to as a bus electrode forming conductive material layer)
). Such a common first bus electrode
And the second bus electrode are indicated by a common bus electrode 13.
Each first electrode is provided with a first bus electrode (common bus electrode) 13.
And the first sustaining electrode 12 in contact with the common bus electrode 13
A and a second bus extending in parallel with the common bus electrode 13.
Electrode (adjacent common bus electrode 13) and the common bus
Contact with the first electrode 13 and the first sustaining electrode 12A.
And a second discharge sustaining electrode 12B. still,
A first sustaining electrode 12A constituting the first electrode;
Of the second electrode constituting the first electrode adjacent to the first electrode of
The sustaining electrode 12B is a stripe-shaped conductive material.
Layer (referred to as the conductive material layer that constitutes the sustaining electrode)
Have been. The common bus electrode 13 is a discharge sustaining electrode.
It is formed at the center of the constituent conductive material layer. Bus electrode structure
The formed conductive material layer and the conductive material layer constituting the discharge sustaining electrode are the first conductive material layer.
Extending in the direction of Further, the common bus electrode 13 is
1 is common to adjacent discharge cells along the direction
Of the second sustaining electrode 12A and the second sustaining electrode 12B
It is common to the discharge cells adjacent along the first direction. Ba
Electrode forming conductive material layer and discharge sustaining electrode forming conductive material layer
Is, for example, chromium, as in the first embodiment.
/ Copper / chromium laminated film, ITO. still,
First sustaining electrode 12A and second sustaining electrode 12B
(A distance L between the side surface 12a and the side surface 12b)
1) Is 5 × 10-Fivem (for example, 20 μm). No.
The first sustaining electrode 12A and the second sustaining electrode 12B
Glow discharge occurs between the two.

【0068】図5の線B−B−に沿って第1のパネル1
0を切断したときの模式的な一部端面図を、図7の
(A)に示す。誘電体層は、第1の部分と第2の部分か
ら構成されている。即ち、共通バス電極13を被覆する
誘電体層の第1の部分は、第1の誘電体層14A及び第
2の誘電体層14Bから成り、第1の放電維持電極12
A及び第2の放電維持電極12Bを被覆する誘電体層の
第2の部分は、第1の誘電体層14Aから成る。ここ
で、誘電体層の第1の部分は、第1の基板11側から、
第1の誘電体層14A、第2の誘電体層14Bの順に積
層されている。酸化シリコン(SiO2)から構成され
た第1の誘電体層14Aは、第1の放電維持電極12
A、第2の放電維持電極12Bのそれぞれの側面及び頂
面を被覆している。一方、低融点ガラスペーストの焼成
体から構成された第2の誘電体層14Bは、共通バス電
極13を被覆している第1の誘電体層14Aの部分の上
に形成されている。第1の放電維持電極12Aの頂面
上、及び、第2の放電維持電極12Bの頂面上における
第1の誘電体層14Aの厚さを3μmとした。また、共
通バス電極13の頂面上における第2の誘電体層14B
の厚さを10μmとした。
The first panel 1 along the line BB- in FIG.
FIG. 7 (A) shows a schematic partial end view when the 0 is cut. The dielectric layer includes a first portion and a second portion. That is, the first portion of the dielectric layer covering the common bus electrode 13 is composed of the first dielectric layer 14A and the second dielectric layer 14B,
A and a second portion of the dielectric layer covering the second sustaining electrode 12B is composed of the first dielectric layer 14A. Here, the first portion of the dielectric layer is formed from the first substrate 11 side.
The first dielectric layer 14A and the second dielectric layer 14B are stacked in this order. The first dielectric layer 14A made of silicon oxide (SiO 2 )
A, each side surface and top surface of the second sustaining electrode 12B are covered. On the other hand, the second dielectric layer 14B made of a fired body of the low-melting glass paste is formed on a portion of the first dielectric layer 14A covering the common bus electrode 13. The thickness of the first dielectric layer 14A on the top surface of the first discharge sustaining electrode 12A and on the top surface of the second discharge sustaining electrode 12B was 3 μm. The second dielectric layer 14B on the top surface of the common bus electrode 13
Was 10 μm in thickness.

【0069】第2のパネル20、及び、プラズマ表示装
置のその他の構成は、実施の形態1と同様の構成とすれ
ばよいので、詳細な説明は省略する。ここで、対になっ
た共通バス電極13、これらの共通バス電極13から延
びる対になった放電維持電極12A,12Bと、2つの
隔壁25の間に位置する第2の電極22とが重複する領
域が、放電セルに相当する。また、対になった共通バス
電極13、対になった第1の放電維持電極12A及び第
2の放電維持電極12Bと、3原色の蛍光体層24R,
24G,24Bの1組とが重複する領域が1画素に相当
する。
The other configurations of the second panel 20 and the plasma display device may be the same as those of the first embodiment, and thus detailed description is omitted. Here, the paired common bus electrodes 13, the paired discharge sustaining electrodes 12 </ b> A and 12 </ b> B extending from these common bus electrodes 13, and the second electrode 22 located between the two partition walls 25 overlap. The region corresponds to a discharge cell. Further, the paired common bus electrodes 13, the paired first and second discharge sustaining electrodes 12A and 12B, and the three primary color phosphor layers 24R,
An area where one set of 24G and 24B overlaps corresponds to one pixel.

【0070】実施の形態3のプラズマ表示装置の製造方
法は、実質的には、実施の形態1にて説明したプラズマ
表示装置の製造方法と同様とすることができるので、詳
細な説明は省略する。
Since the method of manufacturing the plasma display device according to the third embodiment can be substantially the same as the method of manufacturing the plasma display device described in the first embodiment, a detailed description is omitted. .

【0071】尚、かかる構成を有するプラズマ表示装置
の駆動にあっては、1本の放電維持電極構成導電材料層
が、上下2つの放電維持電極に相当する。そして、奇数
の表示ラインと偶数の表示ラインを別々のフィールドに
分けて表示し、これを交互に繰り返すことで、プラズマ
表示装置の全画面を表示する。尚、より詳細は、例え
ば、特開平9−160525号公報に開示されている。
In driving the plasma display device having such a configuration, one discharge sustaining electrode forming conductive material layer corresponds to two upper and lower discharge sustaining electrodes. Then, the odd display lines and the even display lines are displayed separately in different fields, and this is alternately repeated to display the entire screen of the plasma display device. The details are disclosed in, for example, JP-A-9-160525.

【0072】尚、実施の形態2と同様に、誘電体層の第
1の部分が、第1の基板11側から、第2の誘電体層1
4B、第1の誘電体層14Aの順に積層されている構成
とすることもできる。かかる構成のプラズマ表示装置の
第1のパネルを、図5の線B−Bに沿って切断したとき
の模式的な一部端面図を、図7の(B)に示す。このプ
ラズマ表示装置においては、低融点ガラスペーストの焼
成体から構成された第2の誘電体層14Bは、共通バス
電極13の側面及び頂面を被覆している。また、酸化シ
リコン(SiO2)から構成された第1の誘電体層14
Aは、共通バス電極13を被覆している第2の誘電体層
14B上、並びに、第1の放電維持電極12A及び第2
の放電維持電極12Bの頂面及び側面上に形成されてい
る。
As in the second embodiment, the first portion of the dielectric layer is moved from the first substrate 11 side to the second dielectric layer 1.
4B and the first dielectric layer 14A may be laminated in this order. FIG. 7B is a schematic partial end view when the first panel of the plasma display device having such a configuration is cut along the line BB in FIG. In this plasma display device, the second dielectric layer 14B made of a fired body of a low-melting glass paste covers the side surface and the top surface of the common bus electrode 13. The first dielectric layer 14 made of silicon oxide (SiO 2 )
A is on the second dielectric layer 14B covering the common bus electrode 13, and the first discharge sustaining electrode 12A and the second
Are formed on the top and side surfaces of the discharge sustaining electrode 12B.

【0073】図7の(B)に示した構成は、第2の誘電
体層14Bによって共通バス電極13を被覆した後、第
1の電極を第1の誘電体層14Aによって被覆すること
によって得ることができる。具体的には、スクリーン印
刷法にて、ストライプ状に低融点ガラスペーストを共通
バス電極13上に形成し、低融点ガラスペーストを仮焼
成、本焼成することによって、低融点ガラスペーストの
焼成体から構成された第2の誘電体層14Bを得ること
ができる。次いで、CVD法に基づきSiO2から成
り、厚さ3μmの第1の誘電体層14Aを全面に形成す
ればよい。
The structure shown in FIG. 7B is obtained by covering the common bus electrode 13 with the second dielectric layer 14B and then covering the first electrode with the first dielectric layer 14A. be able to. Specifically, a low-melting glass paste is formed in a stripe shape on the common bus electrode 13 by a screen printing method, and the low-melting glass paste is temporarily baked and finally baked to obtain a sintered body of the low-melting glass paste. The configured second dielectric layer 14B can be obtained. Next, a first dielectric layer 14A made of SiO 2 and having a thickness of 3 μm may be formed on the entire surface based on the CVD method.

【0074】尚、図7の(A)及び(B)に示した例に
おいて、第2の誘電体層14Bを、第2のパネル20に
設けられた隔壁25に対応する第1のパネル10の領域
の上方にも形成してもよい。即ち、第2の誘電体層14
Bの平面形状を格子状(井桁状)とすることもできる。
この場合、具体的には、第2のパネル20に設けられた
隔壁25に対応する第1のパネル10の領域には、第1
の電極(12A,12B,13)、第2の誘電体層14
B、第1の誘電体層14Aが形成されている。このよう
な構造にすることによって、グロー放電が隣接する放電
セルに影響を及ぼす所謂光学的クロストークの発生を確
実に防止することが可能となる。
In the example shown in FIGS. 7A and 7B, the second dielectric layer 14B is formed by forming the first panel 10 corresponding to the partition wall 25 provided on the second panel 20. It may be formed above the region. That is, the second dielectric layer 14
The plane shape of B may be a lattice shape (cross-girder shape).
In this case, specifically, in the region of the first panel 10 corresponding to the partition wall 25 provided in the second panel 20, the first panel
Electrodes (12A, 12B, 13), second dielectric layer 14
B, a first dielectric layer 14A is formed. With such a structure, it is possible to reliably prevent the occurrence of so-called optical crosstalk in which the glow discharge affects adjacent discharge cells.

【0075】以上、本発明を、発明の実施の形態に基づ
き説明したが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。第1の放電維持電極12A及び第2の放電維持電極
12Bは、第1の方向に沿って隣接する放電セルで共通
でなく、一対の隔壁の間に形成されていてもよい(即
ち、各放電セル毎に形成されていてもよい)。
Although the present invention has been described based on the embodiments of the present invention, the present invention is not limited to these embodiments. The first discharge sustaining electrode 12A and the second discharge sustaining electrode 12B are not common to adjacent discharge cells along the first direction, and may be formed between a pair of partition walls (that is, each discharge sustaining electrode 12B). It may be formed for each cell).

【0076】具体的な放電維持電極12A,12Bとバ
ス電極13A,13Bと隔壁25の配置関係を、図8に
模式的に示す。この例においては、隔壁25と隔壁25
の間で、第1のバス電極13Aから第1の放電維持電極
12Aが第2のバス電極13Bに向かって、第2の方向
と平行に延びており、隔壁25と隔壁25の間で、第2
のバス電極13Bから第2の放電維持電極12Bが第1
のバス電極13Aに向かって、第2の方向と平行に延び
ており、第1の放電維持電極12Aの先端部12a’と
第2の放電維持電極12Bの先端部12b’との間でグ
ロー放電が生じる。尚、第1の放電維持電極12Aの先
端部12a’及び第2の放電維持電極12Bの先端部1
2b’の形状は、直線状、あるいは、ジグザグ状(例え
ば、「く」の字の組合せ、「S」字の組合せや弧の組合
せ、任意の曲線の組合せ)とすることができる。尚、こ
のような構成にすることによって、放電維持電極の面積
を縮小することができる結果、電極容量を小さくするこ
とができ、消費電力の低減を図ることができる。
FIG. 8 schematically shows a specific arrangement of the discharge sustaining electrodes 12A and 12B, the bus electrodes 13A and 13B, and the partition wall 25. In this example, the partition 25 and the partition 25
Between the first bus electrode 13A and the second bus electrode 13B, the first discharge sustaining electrode 12A extends in parallel with the second direction, and 2
From the bus electrode 13B to the second discharge sustaining electrode 12B.
Glow discharge extends between the front end 12a 'of the first discharge sustaining electrode 12A and the front end 12b' of the second discharge sustaining electrode 12B. Occurs. In addition, the tip 12a 'of the first discharge sustaining electrode 12A and the tip 1 of the second discharge sustaining electrode 12B.
The shape of 2b 'can be a straight line or a zigzag shape (for example, a combination of "-", a combination of "S" or a combination of arcs, and a combination of arbitrary curves). With this configuration, the area of the discharge sustaining electrode can be reduced, so that the electrode capacity can be reduced and power consumption can be reduced.

【0077】あるいは又、放電維持電極12A,12B
とバス電極13A,13Bと隔壁25の配置関係を図9
に模式的に示し、一部分の模式的な分解斜視図を図11
に示すように、各第1の電極を、(A)第1の方向に延
びる第1のバス電極13A、(B)該第1のバス電極1
3Aと平行に延びる第2のバス電極13B、(C)隔壁
25と隔壁25の間で、第1のバス電極13Aから、第
2のバス電極13Bに向かって、且つ、第2のバス電極
13Bの手前まで、第2の方向と平行に延びる第1の放
電維持電極12A、並びに、(D)隔壁25と隔壁25
の間で、第2のバス電極13Bから、第1のバス電極1
3Aに向かって、且つ、第1のバス電極13Aの手前ま
で、第1の放電維持電極12Aと向かい合って、第2の
方向と平行に延びる第2の放電維持電極12Bから構成
してもよい。そして、第2の放電維持電極12Bと対向
する第1の放電維持電極12Aの部分12a”と、第1
の放電維持電極12Aと対向する第2の放電維持電極1
2Bの部分12b”との間でグロー放電が生じる。
Alternatively, the discharge sustaining electrodes 12A, 12B
FIG. 9 shows an arrangement relationship between the bus electrodes 13A and 13B and the partition 25.
FIG. 11 is a schematic exploded perspective view of a part of FIG.
As shown in (1), each first electrode is divided into (A) a first bus electrode 13A extending in a first direction and (B) a first bus electrode 1A.
A second bus electrode 13B extending in parallel with 3A, (C) between the partition 25 and the partition 25, from the first bus electrode 13A toward the second bus electrode 13B, and the second bus electrode 13B; , The first sustaining electrode 12A extending in parallel with the second direction, and (D) the partition 25 and the partition 25
Between the second bus electrode 13B and the first bus electrode 1
A second discharge sustaining electrode 12B extending in parallel with the second direction, facing the first discharge sustaining electrode 12A, toward 3A and before the first bus electrode 13A may be used. Then, a portion 12a ″ of the first discharge sustaining electrode 12A facing the second discharge sustaining electrode 12B,
Second sustaining electrode 1 facing the second sustaining electrode 12A
A glow discharge is generated between the portion 12b ″ of 2B and the portion 12b ″.

【0078】尚、一対の隔壁25によって挟まれた領域
における、第1のバス電極13Aから延びる第1の放電
維持電極12Aの数をN1、第2のバス電極13Bから
延びる第2の放電維持電極12Bの数をN2としたと
き、N1=N2=1としてもよいし、nを1以上の整数と
したとき、N1=2n−1、N2=2nとしてもよいし、
1=N2=2nとしてもよい。
The number of the first discharge sustaining electrodes 12A extending from the first bus electrode 13A in the region sandwiched by the pair of partition walls 25 is N 1 , and the second discharge sustaining electrode extending from the second bus electrode 13B is N 2. when the number of electrodes 12B and a n 2, may be n 1 = n 2 = 1, where n is an integer of 1 or more, may be used as the n 1 = 2n-1, n 2 = 2n,
N 1 = N 2 = 2n.

【0079】図9に示した構成のプラズマ表示装置にお
いては、第1の放電維持電極12Aと第2の放電維持電
極12Bとは、互いに向かい合って延びているが、第1
の放電維持電極12Aと第2の放電維持電極12Bの間
隔は、所定の間隔であることが好ましく、更には、一定
の間隔であることが一層好ましい。第1の放電維持電極
12A及び第2の放電維持電極12Bの平面形状を概ね
矩形とする(即ち、第1の放電維持電極12Aと第2の
放電維持電極12Bとを直線状の形状とする)こともで
きるし(図9参照)、ジグザグ状(例えば、「く」の字
の組合せ、「S」字の組合せや弧の組合せ、任意の曲線
の組合せ)とすることもできる。後者の場合、第1の放
電維持電極12Aと第2の放電維持電極12Bとの間の
異常放電の発生を防止するために、第1の放電維持電極
12A及び第2の放電維持電極12Bの対向部分12
a”,12b”には角部が無いことが好ましい。あるい
は又、第1の放電維持電極12Aの先端部の角部(コー
ナー部)あるいは第2の放電維持電極12Bの先端部の
角部(コーナー部)からの異常放電の発生を防止するた
めに、第1の放電維持電極12Aの先端部及び第2の放
電維持電極12Bの先端部は、角が取られ、あるいは、
角が丸められていることが望ましい。即ち、図10に示
すように、第1の放電維持電極12Aの先端部及び第2
の放電維持電極12Bの先端部は、角が取られ、あるい
は、角が丸められていることが好ましい。
In the plasma display device having the configuration shown in FIG. 9, the first sustaining electrode 12A and the second sustaining electrode 12B extend to face each other.
The interval between the sustaining electrode 12A and the second sustaining electrode 12B is preferably a predetermined interval, and more preferably a constant interval. The planar shape of the first sustaining electrode 12A and the second sustaining electrode 12B is substantially rectangular (that is, the first sustaining electrode 12A and the second sustaining electrode 12B are linear). It can also be in a zigzag shape (for example, a combination of "-", a combination of "S" or an arc, or a combination of arbitrary curves) (see FIG. 9). In the latter case, the first and second discharge sustaining electrodes 12A and 12B are opposed to each other in order to prevent the occurrence of abnormal discharge between the first and second discharge sustaining electrodes 12A and 12B. Part 12
It is preferable that a "and 12b" have no corners. Alternatively, in order to prevent the occurrence of abnormal discharge from the corner (corner) of the tip of the first discharge sustaining electrode 12A or the corner (corner) of the tip of the second discharge sustaining electrode 12B, The tip of the first discharge sustaining electrode 12A and the tip of the second discharge sustaining electrode 12B are rounded or
Preferably, the corners are rounded. That is, as shown in FIG. 10, the tip of the first discharge sustaining electrode 12A and the second
It is preferable that the tip of the discharge sustaining electrode 12B is rounded or rounded.

【0080】また、第1の放電維持電極12Aの先端部
と第2のバス電極13Bとの間の異常放電を防止し、あ
るいは、第2の放電維持電極12Bの先端部と第1のバ
ス電極13Aとの間の異常放電を防止するために、第1
の放電維持電極12Aと第2の放電維持電極12Bとの
間の間隔をL1、第1のバス電極13Aと第2の放電維
持電極12Bの先端部との間の間隔、若しくは第2のバ
ス電極13Bと第1の放電維持電極12Aの先端部との
間の間隔をL2としたとき、L1<L2を満足することが
好ましい。具体的には、例えば、L1=5×10-5
(50μm)、L2=8×10-5m(80μm)とすれ
ばよい。
Further, abnormal discharge between the tip of the first sustaining electrode 12A and the second bus electrode 13B is prevented, or the tip of the second discharge sustaining electrode 12B and the first bus electrode 13B are prevented. 13A to prevent abnormal discharge between
The distance between the sustain electrode 12A and the second sustain electrode 12B is L 1 , the distance between the first bus electrode 13A and the tip of the second sustain electrode 12B, or the second bus. when the distance between the electrode 13B and the front end portion of the first discharge sustaining electrodes 12A was L 2, it is preferable to satisfy L 1 <L 2. Specifically, for example, L 1 = 5 × 10 −5 m
(50 μm) and L 2 = 8 × 10 −5 m (80 μm).

【0081】図9あるいは図10に示した構成において
は、第1の放電維持電極12Aと第2の放電維持電極1
2Bとは、互いに向かい合ってバス電極13A,13B
から、第2の方向と平行に延びている。1画素の外形は
概ね正方形であり、1画素は隔壁によって3つの区画
(セル)に区切られており、各区画から3原色(R,
G,B)の内の1色が発光するが、1画素の外形寸法を
0としたとき、各区画の寸法は(L0/3)×(L0
よりも若干小さな寸法である。従って、対になった放電
維持電極12A,12Bにおいて、グロー放電に寄与す
る放電維持電極12A,12Bの部分の長さは(L0
に近い値である。即ち、図1〜図7に示したプラズマ表
示装置と比較して、グロー放電に寄与する部分の長さを
約3倍とすることができる結果、放電領域を拡大するこ
とができる。従って、プラズマ表示装置の輝度の一層の
向上を図ることが可能となる。また、このような構成に
することによって、放電維持電極の面積を縮小すること
ができる結果、電極容量を小さくすることができ、消費
電力の低減を図ることができる。
In the configuration shown in FIG. 9 or FIG. 10, the first discharge sustaining electrode 12A and the second discharge
2B means bus electrodes 13A, 13B facing each other.
And extends in parallel with the second direction. The outer shape of one pixel is substantially square, and one pixel is divided into three sections (cells) by partitions, and three primary colors (R,
G, and one color out of B) emits light, when the external dimensions of one pixel was set to L 0, the dimension of each compartment (L 0/3) × ( L 0)
Slightly smaller than Therefore, in the pair of discharge sustaining electrodes 12A and 12B, the length of the portion of the discharge sustaining electrodes 12A and 12B that contributes to the glow discharge is (L 0 ).
It is a value close to. That is, as compared with the plasma display device shown in FIGS. 1 to 7, the length of the portion contributing to the glow discharge can be made about three times, so that the discharge region can be enlarged. Therefore, it is possible to further improve the brightness of the plasma display device. In addition, with such a configuration, the area of the discharge sustaining electrode can be reduced, so that the electrode capacity can be reduced and power consumption can be reduced.

【0082】尚、図8〜図10に示した例に対して、実
施の形態1〜実施の形態3にて説明した誘電体層を適用
することができる。また、図8〜図10に示した例に対
して、実施の形態3にて説明した共通バス電極の構成を
適用することができる。図8に示した放電維持電極を、
実施の形態3にて説明した共通バス電極13と組み合わ
せたときの、放電維持電極12A,12Bと共通バス電
極13と隔壁25の配置関係を、図12に模式的に示
す。また、図9に示した放電維持電極を、実施の形態3
にて説明した共通バス電極13と組み合わせたときの、
放電維持電極12A,12Bと共通バス電極13と隔壁
25の配置関係を、図13及び図14に模式的に示す。
The dielectric layers described in the first to third embodiments can be applied to the examples shown in FIGS. Further, the configuration of the common bus electrode described in the third embodiment can be applied to the examples shown in FIGS. The discharge sustaining electrode shown in FIG.
FIG. 12 schematically shows an arrangement relationship between the sustain electrodes 12A and 12B, the common bus electrode 13, and the partition 25 when combined with the common bus electrode 13 described in the third embodiment. Further, the discharge sustaining electrode shown in FIG.
When combined with the common bus electrode 13 described in
FIG. 13 and FIG. 14 schematically show the arrangement of the discharge sustaining electrodes 12A and 12B, the common bus electrode 13, and the partition 25.

【0083】あるいは又、図8〜図14に示した例にお
いて、第2の誘電体層14Bを、第2のパネル20に設
けられた隔壁25に対応する第1のパネル10の領域の
上方にも形成してもよい。即ち、第2の誘電体層14B
の平面形状を格子状(井桁状)とすることもできる。こ
の場合、具体的には、第2のパネル20に設けられた隔
壁25に対応する第1のパネル10の領域には、第1の
電極(より具体的には、バス電極13A,13Bや共通
バス電極13)、第2の誘電体層14B、第1の誘電体
層14Aがこの順に形成され、あるいは又、第1の電極
(より具体的には、バス電極13A,13Bや共通バス
電極13)、第1の誘電体層14A、第2の誘電体層1
4Bがこの順に形成されている。このような構造にする
ことによって、グロー放電が隣接する放電セルに影響を
及ぼす所謂光学的クロストークの発生を確実に防止する
ことが可能となる。
Alternatively, in the example shown in FIGS. 8 to 14, the second dielectric layer 14B is placed above the region of the first panel 10 corresponding to the partition wall 25 provided on the second panel 20. May also be formed. That is, the second dielectric layer 14B
Can be made into a lattice shape (cross-girder shape). In this case, specifically, a region of the first panel 10 corresponding to the partition wall 25 provided on the second panel 20 has a first electrode (more specifically, a bus electrode 13A, 13B or a common electrode). The bus electrode 13), the second dielectric layer 14B, and the first dielectric layer 14A are formed in this order, or alternatively, the first electrode (more specifically, the bus electrodes 13A and 13B and the common bus electrode 13). ), First dielectric layer 14A, second dielectric layer 1
4B are formed in this order. With such a structure, it is possible to reliably prevent the occurrence of so-called optical crosstalk in which the glow discharge affects adjacent discharge cells.

【0084】[0084]

【発明の効果】本発明においては、第1のバス電極及び
第2のバス電極を被覆する誘電体層の第1の部分が第1
の誘電体層及び第2の誘電体層から成るので、例えば、
バス電極の頂面縁部と第2の電極との間で異常放電が発
生することを確実に防止することができる。しかも、第
1の放電維持電極及び第2の放電維持電極を被覆する第
1の誘電体層の厚さを薄くすることができるので、対に
なった放電維持電極の間の距離(放電ギャップ)を狭く
することができる結果、画素の高密度化、低電圧駆動を
達成することができる。また、光の透過率が高くなるた
め、発光効率が改善され、明るい画面が実現できる。
According to the present invention, the first portion of the dielectric layer covering the first bus electrode and the second bus electrode is the first portion.
Of the dielectric layer and the second dielectric layer, for example,
It is possible to reliably prevent abnormal discharge from occurring between the edge of the top surface of the bus electrode and the second electrode. In addition, since the thickness of the first dielectric layer covering the first and second discharge sustaining electrodes can be reduced, the distance (discharge gap) between the paired discharge sustaining electrodes can be reduced. As a result, it is possible to achieve higher pixel density and lower voltage driving. Further, since the light transmittance is increased, the luminous efficiency is improved, and a bright screen can be realized.

【0085】更には、本発明においては、第1のバス電
極及び第2のバス電極を被覆する誘電体層の第1の部分
が第1の誘電体層及び第2の誘電体層から成るが故に、
放電領域が第2の方向に沿って隣接する放電セルまで拡
がることを抑制でき、第2の方向に沿って隣接する放電
セル間の光学的クロストークの発生、画素間の輝度分布
の劣化を防止することが可能であり、安定した動作を得
ることができ、画像の品質を向上させることができる。
しかも、第1のバス電極及び第2のバス電極が比較的厚
い第2の誘電体層によって覆われているので、電極容量
が低下し、消費電力の低減を達成することができる。
Further, in the present invention, the first portion of the dielectric layer covering the first bus electrode and the second bus electrode comprises the first dielectric layer and the second dielectric layer. Therefore,
It is possible to suppress the discharge area from spreading to adjacent discharge cells along the second direction, thereby preventing occurrence of optical crosstalk between adjacent discharge cells along the second direction and deterioration of luminance distribution between pixels. Can be performed, a stable operation can be obtained, and image quality can be improved.
In addition, since the first bus electrode and the second bus electrode are covered by the relatively thick second dielectric layer, the capacitance of the electrodes is reduced, and power consumption can be reduced.

【0086】また、第1の電極を構成する第1のバス電
極と、この第1の電極に隣接した第1の電極を構成する
第2のバス電極との間の第1の基板上に第1の誘電体層
及び第2の誘電体層を形成すれば、これらのバス電極の
間での異常放電の発生を確実に防止することができる。
Further, a first bus electrode constituting a first electrode and a second bus electrode constituting a first electrode adjacent to the first electrode are provided on a first substrate. By forming the first dielectric layer and the second dielectric layer, it is possible to reliably prevent abnormal discharge from occurring between these bus electrodes.

【0087】更には、第1の放電維持電極が、第1のバ
ス電極から、第2のバス電極に向かって、且つ、第2の
バス電極の手前まで延び、第2の放電維持電極が、第2
のバス電極から、第1のバス電極に向かって、且つ、第
1のバス電極の手前まで、第1の放電維持電極と向かい
合って延び、第2の放電維持電極と対向する第1の放電
維持電極の部分と、第1の放電維持電極と対向する第2
の放電維持電極の部分との間でグロー放電が生じる構成
とすれば、グロー放電に寄与する放電維持電極の部分の
長さを十分に長くすることができるので、放電領域を拡
大することができ、簡素な構成にも拘わらず、プラズマ
表示装置の輝度の向上を図ることができる。
Further, the first discharge sustaining electrode extends from the first bus electrode toward the second bus electrode and shortly before the second bus electrode, and the second discharge sustaining electrode is Second
The first discharge sustaining electrode extends from the first bus electrode to the first bus electrode and before the first bus electrode so as to face the first discharge sustain electrode and face the second discharge sustain electrode. An electrode portion and a second electrode facing the first discharge sustaining electrode.
If a configuration in which glow discharge is generated between the discharge sustaining electrode portion and the discharge sustaining electrode portion, the length of the discharge maintaining electrode portion contributing to the glow discharge can be made sufficiently long, so that the discharge region can be enlarged. In spite of the simple configuration, the brightness of the plasma display device can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】発明の実施の形態1のプラズマ表示装置におけ
る放電維持電極とバス電極と隔壁の配置関係を模式的に
示す図である。
FIG. 1 is a diagram schematically showing an arrangement relationship among a sustain electrode, a bus electrode, and a partition in a plasma display device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】発明の実施の形態1の交流駆動型プラズマ表示
装置の一部分の模式的な分解斜視図である。
FIG. 2 is a schematic exploded perspective view of a part of the AC-driven plasma display device according to the first embodiment of the present invention.

【図3】発明の実施の形態1のプラズマ表示装置及びそ
の変形例において、図1の矢印B−Bに沿ったと同様に
切断したときの第1のパネルの模式的な一部端面図であ
る。
FIG. 3 is a schematic partial end view of the first panel when cut in the same manner as along the arrow BB in FIG. 1 in the plasma display device according to the first embodiment of the invention and its modification. .

【図4】発明の実施の形態2のプラズマ表示装置及びそ
の変形例において、図1の矢印B−Bに沿ったと同様に
切断したときの第1のパネルの模式的な一部端面図であ
る。
FIG. 4 is a schematic partial end view of the first panel when cut in the same manner as along the arrow BB in FIG. 1 in the plasma display device according to the second embodiment of the invention and its modification. .

【図5】発明の実施の形態3のプラズマ表示装置におけ
る放電維持電極とバス電極と隔壁の配置関係を模式的に
示す図である。
FIG. 5 is a diagram schematically showing an arrangement relationship between a sustain electrode, a bus electrode, and a partition in a plasma display device according to a third embodiment of the present invention.

【図6】発明の実施の形態3の交流駆動型プラズマ表示
装置の一部分の模式的な分解斜視図である。
FIG. 6 is a schematic exploded perspective view of a part of an AC-driven plasma display device according to Embodiment 3 of the present invention.

【図7】発明の実施の形態3のプラズマ表示装置におけ
る第1のパネルの模式的な一部端面図である。
FIG. 7 is a schematic partial end view of a first panel in a plasma display device according to Embodiment 3 of the present invention.

【図8】本発明のプラズマ表示装置における放電維持電
極とバス電極と隔壁の配置関係の変形例を模式的に示す
図である。
FIG. 8 is a view schematically showing a modification of the arrangement of the sustain electrodes, the bus electrodes, and the partitions in the plasma display device of the present invention.

【図9】本発明のプラズマ表示装置における放電維持電
極とバス電極と隔壁の配置関係の別の変形例を模式的に
示す図である。
FIG. 9 is a diagram schematically showing another modified example of the arrangement relationship between the sustain electrodes, the bus electrodes, and the partitions in the plasma display device of the present invention.

【図10】本発明のプラズマ表示装置における放電維持
電極とバス電極と隔壁の配置関係の更に別の変形例を模
式的に示す図である。
FIG. 10 is a view schematically showing still another modified example of the arrangement of the sustain electrodes, the bus electrodes, and the partitions in the plasma display device of the present invention.

【図11】図9に示した配置関係を有する交流駆動型プ
ラズマ表示装置の一部分の模式的な分解斜視図である。
11 is a schematic exploded perspective view of a part of the AC-driven plasma display device having the arrangement shown in FIG. 9;

【図12】図8に示した放電維持電極を、発明の実施の
形態3にて説明したバス電極と組み合わせたときの、放
電維持電極とバス電極と隔壁の配置関係を模式的に示す
図である。
FIG. 12 is a diagram schematically showing an arrangement relationship between a discharge sustaining electrode, a bus electrode, and a partition wall when the discharge sustaining electrode shown in FIG. 8 is combined with the bus electrode described in the third embodiment of the present invention; is there.

【図13】図9に示した放電維持電極を、発明の実施の
形態3にて説明したバス電極と組み合わせたときの、放
電維持電極とバス電極と隔壁の配置関係を模式的に示す
図である。
FIG. 13 is a diagram schematically showing an arrangement relationship between a discharge sustaining electrode, a bus electrode, and a partition when the discharge sustaining electrode shown in FIG. 9 is combined with the bus electrode described in the third embodiment of the present invention; is there.

【図14】図9に示した放電維持電極を、発明の実施の
形態3にて説明したバス電極と組み合わせたときの、放
電維持電極とバス電極と隔壁の配置関係の変形例を模式
的に示す図である。
FIG. 14 schematically shows a modification of the arrangement relationship between the discharge sustaining electrodes, the bus electrodes, and the partition walls when the discharge sustaining electrodes shown in FIG. 9 are combined with the bus electrodes described in the third embodiment of the present invention. FIG.

【図15】放電セル内におけるグロー放電の発光状態を
模式的に示す図である。
FIG. 15 is a diagram schematically showing a light emitting state of a glow discharge in a discharge cell.

【図16】放電セル内におけるグロー放電の発光状態を
模式的に示す図である。
FIG. 16 is a diagram schematically showing a light emitting state of a glow discharge in a discharge cell.

【図17】従来のプラズマ表示装置において、図1の矢
印B−Bに沿ったと同様に切断したときの第1のパネル
の模式的な一部端面図である。
FIG. 17 is a schematic partial end view of the first panel when cut in a conventional plasma display device in the same manner as along the arrow BB in FIG. 1;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・第1のパネル(フロントパネル)、11・・
・第1の基板、12A,12B・・・放電維持電極、1
3A,13B・・・バス電極、13・・・共通バス電
極、14A・・・第1の誘電体層、14B・・・第2の
誘電体層、15・・・保護層、20・・・第2のパネル
(リアパネル)、21・・・第2の基板、22・・・第
2の電極(アドレス電極)、23・・・誘電体膜、2
4,24R,24G,24B・・・蛍光体層、25・・
・隔壁
10 first panel (front panel), 11
1st substrate, 12A, 12B ... discharge sustaining electrode, 1
3A, 13B: bus electrode, 13: common bus electrode, 14A: first dielectric layer, 14B: second dielectric layer, 15: protective layer, 20 ... 2nd panel (rear panel), 21 ... 2nd substrate, 22 ... 2nd electrode (address electrode), 23 ... dielectric film, 2
4, 24R, 24G, 24B ... phosphor layer, 25 ...
・ Partition

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森 啓 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 吉川 英太郎 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 木村 友廣 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 Fターム(参考) 5C027 AA01 AA05 5C040 FA01 GC05 GD02 JA07 JA12 MA03 MA12 MA20  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Hiroshi Mori 6-7-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation (72) Eitaro Yoshikawa 6-35-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation (72) Inventor Tomohiro Kimura 6-35 Kita Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation F-term (reference) 5C027 AA01 AA05 5C040 FA01 GC05 GD02 JA07 JA12 MA03 MA12 MA20

Claims (25)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】(イ)第1の基板と、第1の基板上に設け
られた複数の第1の電極から構成された第1電極群と、
第1の電極を被覆し、第1の誘電体層と第2の誘電体層
とから構成された誘電体層とから成る第1のパネル、及
び、 (ロ)第2の基板と、第1の電極の延びる方向と所定の
角度を成して延びる複数の第2の電極から構成された第
2電極群と、隣接する第2の電極の間に設けられた隔壁
と、第2の電極の上方に設けられた蛍光体層とから成る
第2のパネル、を有する交流駆動型のプラズマ表示装置
であって、各第1の電極は、 (A)第1のバス電極と、 (B)第1のバス電極と接する第1の放電維持電極と、 (C)第1のバス電極と平行に延びる第2のバス電極
と、 (D)第2のバス電極と接し、第1の放電維持電極と対
向した第2の放電維持電極、から成り、 第1の放電維持電極と第2の放電維持電極との間で放電
が生じるプラズマ表示装置であって、 第1のバス電極及び第2のバス電極を被覆する誘電体層
の第1の部分は、第1の誘電体層及び第2の誘電体層か
ら成り、 第1の放電維持電極及び第2の放電維持電極を被覆する
誘電体層の第2の部分は、第1の誘電体層から成ること
を特徴とするプラズマ表示装置。
(A) a first substrate, a first electrode group including a plurality of first electrodes provided on the first substrate,
A first panel covering a first electrode and including a dielectric layer composed of a first dielectric layer and a second dielectric layer; and (b) a second substrate; A second electrode group composed of a plurality of second electrodes extending at a predetermined angle with respect to the direction in which the second electrodes extend, a partition provided between adjacent second electrodes, An AC-driven plasma display device having a second panel comprising a phosphor layer provided above, wherein each of the first electrodes comprises: (A) a first bus electrode; and (B) a first bus electrode. (C) a second bus electrode extending in parallel with the first bus electrode, and (D) a first discharge sustain electrode in contact with the second bus electrode. And a second discharge sustaining electrode facing the plasma display, wherein a discharge occurs between the first discharge sustaining electrode and the second discharge sustaining electrode. A first portion of the dielectric layer covering the first bus electrode and the second bus electrode, the first portion comprising a first dielectric layer and a second dielectric layer; A plasma display device, wherein a second portion of the dielectric layer covering the electrode and the second sustaining electrode is formed of the first dielectric layer.
【請求項2】第1及び第2の放電維持電極を被覆する誘
電体層の第2の部分の厚さは10μm以下であることを
特徴とする請求項1に記載のプラズマ表示装置。
2. The plasma display device according to claim 1, wherein the thickness of the second portion of the dielectric layer covering the first and second sustain electrodes is 10 μm or less.
【請求項3】第1の電極を構成する第1のバス電極と、
該第1の電極に隣接した第1の電極を構成する第2のバ
ス電極との間の第1の基板上には、第1の誘電体層及び
第2の誘電体層が形成されていることを特徴とする請求
項1に記載のプラズマ表示装置。
3. A first bus electrode constituting a first electrode,
A first dielectric layer and a second dielectric layer are formed on a first substrate between the first electrode and a second bus electrode constituting a first electrode adjacent to the first electrode. The plasma display device according to claim 1, wherein:
【請求項4】第2の誘電体層は、第2のパネルに設けら
れた隔壁に対応する第1のパネルの領域の上方にも形成
されていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ
表示装置。
4. The device according to claim 1, wherein the second dielectric layer is also formed above a region of the first panel corresponding to a partition provided on the second panel. Plasma display device.
【請求項5】第1の誘電体層を構成する材料は、第2の
誘電体層を構成する材料と異なることを特徴とする請求
項1に記載のプラズマ表示装置。
5. The plasma display device according to claim 1, wherein a material forming the first dielectric layer is different from a material forming the second dielectric layer.
【請求項6】第1及び第2の放電維持電極を被覆する誘
電体層の第2の部分の厚さは10μm以下であることを
特徴とする請求項5に記載のプラズマ表示装置。
6. The plasma display device according to claim 5, wherein the thickness of the second portion of the dielectric layer covering the first and second sustain electrodes is 10 μm or less.
【請求項7】第1の誘電体層を構成する材料は酸化シリ
コンであり、第2の誘電体層を構成する材料はガラスペ
ーストの焼成体であることを特徴とする請求項5又は請
求項6に記載のプラズマ表示装置。
7. The material for forming the first dielectric layer is silicon oxide, and the material for forming the second dielectric layer is a fired body of glass paste. 7. The plasma display device according to 6.
【請求項8】第1の放電維持電極は第1のバス電極と平
行に延び、第2の放電維持電極は第2のバス電極と平行
に延びていることを特徴とする請求項1、請求項2及び
請求項5のいずれか1項に記載のプラズマ表示装置。
8. The semiconductor device according to claim 1, wherein the first sustain electrode extends in parallel with the first bus electrode, and the second sustain electrode extends in parallel with the second bus electrode. The plasma display device according to claim 2.
【請求項9】第1の放電維持電極及び第2の放電維持電
極は、一対の隔壁の間に形成されていることを特徴とす
る請求項1、請求項2及び請求項5のいずれか1項に記
載のプラズマ表示装置。
9. The method according to claim 1, wherein the first sustaining electrode and the second sustaining electrode are formed between a pair of partition walls. Item 6. The plasma display device according to Item 1.
【請求項10】第1のバス電極から第1の放電維持電極
が第2のバス電極に向かって延びており、第2のバス電
極から第2の放電維持電極が第1のバス電極に向かって
延びており、 第1の放電維持電極の先端部と第2の放電維持電極の先
端部との間で放電が生じることを特徴とする請求項9に
記載のプラズマ表示装置。
10. A first sustain electrode extends from a first bus electrode toward a second bus electrode, and a second discharge sustain electrode extends from the second bus electrode toward the first bus electrode. 10. The plasma display device according to claim 9, wherein a discharge is generated between the tip of the first sustaining electrode and the tip of the second sustaining electrode.
【請求項11】第1の放電維持電極は、第1のバス電極
から、第2のバス電極に向かって、且つ、第2のバス電
極の手前まで延び、 第2の放電維持電極は、第2のバス電極から、第1のバ
ス電極に向かって、且つ、第1のバス電極の手前まで、
第1の放電維持電極と向かい合って延び、 第2の放電維持電極と対向する第1の放電維持電極の部
分と、第1の放電維持電極と対向する第2の放電維持電
極の部分との間で放電が生じることを特徴とする請求項
9に記載のプラズマ表示装置。
11. A first sustaining electrode extends from a first bus electrode toward a second bus electrode and short of the second bus electrode. From the second bus electrode to the first bus electrode and before the first bus electrode.
A portion of the first sustaining electrode extending opposite to the first sustaining electrode and facing the second sustaining electrode, and a portion of the second sustaining electrode facing the first sustaining electrode; The plasma display device according to claim 9, wherein a discharge occurs in the plasma display device.
【請求項12】第1の電極を構成する第1のバス電極
と、該第1の電極に隣接する第1の電極を構成する第2
のバス電極は共通であることを特徴とする請求項1に記
載のプラズマ表示装置。
12. A first bus electrode forming a first electrode, and a second bus electrode forming a first electrode adjacent to the first electrode.
2. The plasma display device according to claim 1, wherein a common bus electrode is used.
【請求項13】第1及び第2の放電維持電極を被覆する
誘電体層の第2の部分の厚さは10μm以下であること
を特徴とする請求項12に記載のプラズマ表示装置。
13. The plasma display device according to claim 12, wherein the thickness of the second portion of the dielectric layer covering the first and second sustain electrodes is 10 μm or less.
【請求項14】第2の誘電体層は、第2のパネルに設け
られた隔壁に対応する第1のパネルの領域の上方にも形
成されていることを特徴とする請求項12に記載のプラ
ズマ表示装置。
14. The device according to claim 12, wherein the second dielectric layer is also formed above a region of the first panel corresponding to a partition provided in the second panel. Plasma display device.
【請求項15】第1の誘電体層を構成する材料は、第2
の誘電体層を構成する材料と異なることを特徴とする請
求項12に記載のプラズマ表示装置。
15. A material for forming the first dielectric layer is a second dielectric layer.
13. The plasma display device according to claim 12, wherein said material is different from a material constituting said dielectric layer.
【請求項16】第1及び第2の放電維持電極を被覆する
誘電体層の第2の部分の厚さは10μm以下であること
を特徴とする請求項15に記載のプラズマ表示装置。
16. The plasma display device according to claim 15, wherein the thickness of the second portion of the dielectric layer covering the first and second sustain electrodes is 10 μm or less.
【請求項17】第1の誘電体層を構成する材料は酸化シ
リコンであり、第2の誘電体層を構成する材料はガラス
ペーストの焼成体であることを特徴とする請求項15又
は請求項16に記載のプラズマ表示装置。
17. The method according to claim 15, wherein the material forming the first dielectric layer is silicon oxide, and the material forming the second dielectric layer is a fired body of a glass paste. 17. The plasma display device according to item 16.
【請求項18】第1の放電維持電極は第1のバス電極と
平行に延び、第2の放電維持電極は第2のバス電極と平
行に延びていることを特徴とする請求項12、請求項1
3及び請求項15のいずれか1項に記載のプラズマ表示
装置。
18. The device according to claim 12, wherein the first sustain electrode extends in parallel with the first bus electrode, and the second sustain electrode extends in parallel with the second bus electrode. Item 1
The plasma display device according to any one of claims 3 to 15.
【請求項19】第1の放電維持電極及び第2の放電維持
電極は、一対の隔壁の間に形成されていることを特徴と
する請求項12、請求項13及び請求項15のいずれか
1項に記載のプラズマ表示装置。
19. The method according to claim 12, wherein the first sustaining electrode and the second sustaining electrode are formed between a pair of partition walls. Item 6. The plasma display device according to Item 1.
【請求項20】第1のバス電極から第1の放電維持電極
が第2のバス電極に向かって延びており、第2のバス電
極から第2の放電維持電極が第1のバス電極に向かって
延びており、 第1の放電維持電極の先端部と第2の放電維持電極の先
端部との間で放電が生じることを特徴とする請求項19
に記載のプラズマ表示装置。
20. A first sustain electrode extends from a first bus electrode toward a second bus electrode, and a second sustain electrode extends from the second bus electrode toward the first bus electrode. 20. A discharge is generated between the tip of the first sustaining electrode and the tip of the second sustaining electrode.
3. The plasma display device according to 1.
【請求項21】第1の放電維持電極は、第1のバス電極
から、第2のバス電極に向かって、且つ、第2のバス電
極の手前まで延び、 第2の放電維持電極は、第2のバス電極から、第1のバ
ス電極に向かって、且つ、第1のバス電極の手前まで、
第1の放電維持電極と向かい合って延び、 第2の放電維持電極と対向する第1の放電維持電極の部
分と、第1の放電維持電極と対向する第2の放電維持電
極の部分との間で放電が生じることを特徴とする請求項
19に記載のプラズマ表示装置。
21. A first discharge sustaining electrode extends from the first bus electrode toward the second bus electrode and shortly before the second bus electrode. From the second bus electrode to the first bus electrode and before the first bus electrode.
A portion of the first sustaining electrode extending opposite to the first sustaining electrode and facing the second sustaining electrode, and a portion of the second sustaining electrode facing the first sustaining electrode; 20. The plasma display device according to claim 19, wherein a discharge is generated in the plasma display device.
【請求項22】(イ)第1の基板と、第1の基板上に設
けられた複数の第1の電極から構成された第1電極群
と、第1の電極を被覆し、第1の誘電体層と第2の誘電
体層とから構成された誘電体層とから成る第1のパネ
ル、及び、 (ロ)第2の基板と、第1の電極の延びる方向と所定の
角度を成して延びる複数の第2の電極から構成された第
2電極群と、隣接する第2の電極の間に設けられた隔壁
と、第2の電極の上方に設けられた蛍光体層とから成る
第2のパネル、を有し、 各第1の電極は、 (A)第1のバス電極と、 (B)第1のバス電極と接する第1の放電維持電極と、 (C)第1のバス電極と平行に延びる第2のバス電極
と、 (D)第2のバス電極と接し、第1の放電維持電極と対
向した第2の放電維持電極、から成り、第1の放電維持
電極と第2の放電維持電極との間で放電が生じる交流駆
動型のプラズマ表示装置の製造方法であって、 (a)第1の基板上に第1電極群を形成する工程と、 (b)第1の誘電体層によって第1の電極を被覆した後
に第1のバス電極及び第2のバス電極上の第1の誘電体
層の部分の上に第2の誘電体層を形成し、若しくは、第
2の誘電体層によって第1のバス電極及び第2のバス電
極を被覆した後に第1の電極を第1の誘電体層によって
被覆する工程、を含むことを特徴とするプラズマ表示装
置の製造方法。
22. (a) a first substrate, a first electrode group composed of a plurality of first electrodes provided on the first substrate, and a first electrode, A first panel formed of a dielectric layer composed of a dielectric layer and a second dielectric layer; and (b) forming a predetermined angle with a second substrate and a direction in which the first electrode extends. A second electrode group composed of a plurality of second electrodes extending in a row, a partition provided between adjacent second electrodes, and a phosphor layer provided above the second electrodes. A second panel, wherein each of the first electrodes comprises: (A) a first bus electrode; (B) a first sustain electrode in contact with the first bus electrode; and (C) a first discharge electrode. A second bus electrode extending in parallel with the bus electrode; and (D) a second discharge sustain electrode in contact with the second bus electrode and facing the first discharge sustain electrode. A method for manufacturing an AC-driven plasma display device in which a discharge is generated between a sustaining electrode and a second discharge sustaining electrode, comprising: (a) forming a first electrode group on a first substrate; (B) forming a second dielectric layer on the portion of the first dielectric layer on the first bus electrode and the second bus electrode after covering the first electrode with the first dielectric layer; Or a step of covering the first bus electrode and the second bus electrode with the second dielectric layer, and then covering the first electrode with the first dielectric layer. A method for manufacturing a display device.
【請求項23】工程(b)において、第2のパネルに設
けられた隔壁に対応する第1のパネルの領域の上方に
も、第2の誘電体層を形成することを特徴とする請求項
22に記載のプラズマ表示装置の製造方法。
23. In the step (b), a second dielectric layer is formed also above a region of the first panel corresponding to a partition provided on the second panel. 23. The method for manufacturing a plasma display device according to item 22.
【請求項24】第1の誘電体層を構成する材料は、第2
の誘電体層を構成する材料と異なることを特徴とする請
求項22に記載のプラズマ表示装置の製造方法。
24. A material forming the first dielectric layer is a second dielectric layer.
23. The method according to claim 22, wherein the material is different from the material constituting the dielectric layer.
【請求項25】第1の誘電体層を構成する材料は酸化シ
リコンであり、第1の誘電体層を化学的気相成長法にて
形成し、 第2の誘電体層を構成する材料はガラスペーストの焼成
体であり、第2の誘電体層をスクリーン印刷法にて形成
することを特徴とする請求項24に記載のプラズマ表示
装置の製造方法。
25. A material constituting the first dielectric layer is silicon oxide, the first dielectric layer is formed by a chemical vapor deposition method, and the material constituting the second dielectric layer is The method according to claim 24, wherein the second dielectric layer is formed by a screen printing method, wherein the second dielectric layer is a fired body of a glass paste.
JP2000208720A 2000-01-11 2000-07-10 Plasma display unit and its manufacturing method Pending JP2001266758A (en)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000208720A JP2001266758A (en) 2000-01-11 2000-07-10 Plasma display unit and its manufacturing method
US09/755,167 US6657396B2 (en) 2000-01-11 2001-01-08 Alternating current driven type plasma display device and method for production thereof
KR1020010001294A KR20010083103A (en) 2000-01-11 2001-01-10 Alternating current driven type plasma display device and method for production thereof
CNA031457967A CN1476039A (en) 2000-01-11 2001-01-11 AC driven plasma display device and producing method thereof
CN01104586A CN1304157A (en) 2000-01-11 2001-01-11 Alternating current driving type plasma display device and its producing method
EP01400073A EP1130620A2 (en) 2000-01-11 2001-01-11 AC plasma display device and method for production thereof

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000-2532 2000-01-11
JP2000002532 2000-01-11
JP2000208720A JP2001266758A (en) 2000-01-11 2000-07-10 Plasma display unit and its manufacturing method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001266758A true JP2001266758A (en) 2001-09-28

Family

ID=26583300

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000208720A Pending JP2001266758A (en) 2000-01-11 2000-07-10 Plasma display unit and its manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001266758A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007029295A1 (en) * 2005-09-02 2007-03-15 Fujitsu Hitachi Plasma Display Limited Plasma display panel
WO2007125600A1 (en) * 2006-04-28 2007-11-08 Hitachi Plasma Display Limited Process for producing plasma display panel and front plate thereof

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007029295A1 (en) * 2005-09-02 2007-03-15 Fujitsu Hitachi Plasma Display Limited Plasma display panel
WO2007125600A1 (en) * 2006-04-28 2007-11-08 Hitachi Plasma Display Limited Process for producing plasma display panel and front plate thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6965201B2 (en) Plasma display device having barrier ribs
US6541922B2 (en) Alternating current driven type plasma display device and method for the production thereof
KR20010083103A (en) Alternating current driven type plasma display device and method for production thereof
KR100838669B1 (en) Alternating current driven type plasma display device
JP2003132805A (en) Plasma display device
US6469451B2 (en) Alternating-current-driven-type plasma display
KR101128671B1 (en) Alternating current driven type plasma display device and production method therefor
JP2001110324A (en) Plasma display unit
JP4052050B2 (en) AC driven plasma display
JP2004071219A (en) Plasma display device
JP2001266758A (en) Plasma display unit and its manufacturing method
JP2002042663A (en) Ac drive plasma display device and method of manufacturing the same
JP2004186062A (en) Plasma display device
JP4114384B2 (en) Plasma display device
KR20020096015A (en) Plasma display device and method of producing the same
JP2004071220A (en) Plasma display
JP2002203486A (en) A.c. drive type plasma display device and its manufacturing device
JP2001076630A (en) Ac drive type plasma display device
JP2004071218A (en) Plasma display device
JP2001076628A (en) Plasma display device
JP2004178880A (en) Plasma display device
JP2003045341A (en) Plasma discharge display device
JP2004070134A (en) Plasma display device and driving method therefor
JP2003151441A (en) Plasma display device
JP2003151442A (en) Plasma display device