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JP2001133791A - 液晶表示装置 - Google Patents

液晶表示装置

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Publication number
JP2001133791A
JP2001133791A JP31882099A JP31882099A JP2001133791A JP 2001133791 A JP2001133791 A JP 2001133791A JP 31882099 A JP31882099 A JP 31882099A JP 31882099 A JP31882099 A JP 31882099A JP 2001133791 A JP2001133791 A JP 2001133791A
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JP
Japan
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liquid crystal
substrate
display device
crystal display
columnar spacer
Prior art date
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Pending
Application number
JP31882099A
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English (en)
Inventor
Kazuyuki Haruhara
一之 春原
Atsuyuki Manabe
敦行 真鍋
Hiroyuki Osada
洋之 長田
Natsuko Maya
奈津子 磨矢
Akiko Toriyama
亜希子 鳥山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Priority to TW089123127A priority patent/TW526376B/zh
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Priority to US09/708,592 priority patent/US6724457B1/en
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Pending legal-status Critical Current

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    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
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Abstract

(57)【要約】 【課題】表示性能がよく、製造歩留まりの低下を防止す
ることが可能な液晶表示装置を提供することを目的とす
る。 【解決手段】一主面上に形成された配線部を有するアレ
イ基板100と、アレイ基板100に対向配置された対
向基板200と、アレイ基板100と対向基板200と
の間に所定のギャップを形成する柱状スペーサ140
と、柱状スペーサ140によって形成された所定のギャ
ップに配置された液晶層300と、を備えた液晶表示装
置において、柱状スペーサ140は、その側面にくびれ
141を有するとともに、くびれ141より高さ方向上
部の最大径部分142は、先端位置より下部に位置して
いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示装置に
係り、特に、一対の基板間に所定のギャップを形成する
ための柱状スペーサの構造に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶表示装置は、電極を有する一対のア
レイ基板と対向基板との間に挟持された液晶組成物を備
えている。この一対の基板間の距離を一定に保持するた
めに、粒径の均一なプラスティックビーズをスペーサと
して基板間に散在させている。
【0003】このような液晶表示装置では、スペーサを
基板上に散布して製造するため、スペーサが製造ライン
を汚染するパーティクルとなり、不良発生の原因とな
る。また、画素部に存在するスペーサは、配向不良発生
の原因となる。さらに、凝集したスペーサ塊または散布
密度の不均一は、一対の基板間に形成されるギャップを
不均一化する不具合を生じさせる。
【0004】このため、アレイ基板上の所定位置に柱状
のスペーサをフォトリソグラフィ工程によって形成する
ことが提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アレイ
基板の製造工程では、基板上に柱状スペーサを形成した
後、配向膜を成膜し、配向処理を行うため、成膜された
配向膜とともに柱状スペーサが削れ易いといった問題が
生じる。配向膜が剥がれた場合、柱状スペーサ近傍の液
晶の配向が乱れ、表示性能の劣化、製造歩留まりの低下
を招く原因となる。
【0006】この発明は、上述した問題点に鑑みなされ
たものであって、その目的は、表示性能がよく、製造歩
留まりの低下を防止することが可能な液晶表示装置を提
供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、請求項1に記載の液晶表示装置は、第
1基板と、前記第1基板に対向配置された第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板との間に所定のギャップを
形成する柱状スペーサと、前記柱状スペーサは、その側
面にくびれを有するとともに、前記くびれより高さ方向
上部の最大径部分は、先端位置より下部に位置すること
を特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、この発明の液晶表示装置の
一実施の形態について図面を参照して説明する。
【0009】図1乃至図3に示すように、第1の実施の
形態にかかる液晶表示装置は、第1基板としてのアレイ
基板100と、アレイ基板100に対して所定の間隔を
おいて対向配置された第2基板としての対向基板200
と、アレイ基板100と対向基板200との間の所定の
ギャップに保持された液晶組成物を含む液晶層300と
を有している。
【0010】アレイ基板100は、透明な絶縁性基板、
すなわちガラス基板101上に配置された複数の走査線
103、これらの走査線103に直交するように配置さ
れた信号線105、走査線103と信号線105との交
差部近傍に配置されたスイッチング素子としての薄膜ト
ランジスタすなわちTFT110などの配線部を備えて
いる。また、アレイ基板100は、走査線103及び信
号線105等の配線部によって区画された画素領域に設
けられているとともに、TFT110を介して信号線1
05に接続された透明導電性部材としてのITOによっ
て形成された画素電極120を備えている。
【0011】走査線103及び信号線の配線部は、アル
ミニウムやモリブデン−タングステンなどの遮光性を有
する低抵抗材料によって形成されている。
【0012】TFT110は、ガラス基板101上に配
置された、チャネル領域112C、ソース領域112
S、及び、ドレイン領域112Dを有するポリシリコン
薄膜112と、ゲート絶縁膜113を介して走査線10
3からチャネル領域112C上に延出されたゲート電極
114と、ゲート絶縁膜113及び層間絶縁膜115を
貫通してポリシリコン薄膜112のソース領域112S
にコンタクトするとともに信号線105と一体に形成さ
れたソース電極116Sと、ゲート絶縁膜113及び層
間絶縁膜115を貫通してポリシリコン薄膜112のド
レイン領域112Dにコンタクトするドレイン電極11
6Dと、を備えている。
【0013】アレイ基板100は、さらに、層間絶縁膜
115上、及びTFT110などの配線部上に、各画素
領域毎に、赤(R)、緑(G)、青(B)にそれぞれ着
色されたカラーフィルタ層130(R、G、B)を備え
ている。
【0014】ドレイン電極116Dは、カラーフィルタ
層130に形成されたスルーホール118を介して画素
電極120に電気的に接続されている。アレイ基板の表
面には、TFT110や画素電極120を覆うように配
向膜160が設けられている。
【0015】図2及び図3に示すように、対向基板20
0は、透明な絶縁性基板、すなわちガラス基板201上
に配置された透明導電性部材としてのITOによって形
成された対向電極203を備えている。対向電極203
の表面は、液晶分子310を基板に対して垂直な方向に
配向する配向膜207によって覆われている。
【0016】これらのアレイ基板100及び対向基板2
00は、柱状のスペーサ140によって所定の間隙を形
成した状態で図示しないシール材によって貼り合わされ
る。液晶層300は、このアレイ基板100と対向基板
200との間に形成された所定のギャップに封入され
る。
【0017】また、アレイ基板100及び対向基板20
0の外表面には、偏光方向が互いに直交するように配置
された偏光板170、210がそれぞれ配置されてい
る。
【0018】図1及び図3に示すように、遮光性を有す
る配線部上には、顔料を含有する感光性のカーボンレス
黒色樹脂によって形成された柱状のスペーサ140が設
けられている。
【0019】柱状スペーサ140は、図3に示すよう
に、その側面にくびれ141を有し、さらに、くびれ1
41より柱の高さ方向上部の最大径部分142が柱の先
端位置より下部に位置し、好ましくは柱の高さの3/4
以下に位置している。すなわち、最大径部分142は、
図3に示すような高さ方向に沿った断面において、1以
上の曲率半径を組み合わせることによって規定される、
丸みを有する形状を成している。これにより、配向膜を
形成する際のラビング処理に耐え、アレイ基板100と
対向基板200との間のギャップを均一に、且つ良好な
配向を実現することができる。
【0020】すなわち、柱状スペーサ140は、上部に
角がある場合、ラビング処理によって削られてしまうお
それがある。そのため、柱状スペーサ140の先端部が
丸いことが望ましい。しかし、単純な山型形状の場合、
柱底面が大きく、裾野が広くなり、また、基板を支える
支持面積が小さくなるため、柱の大きさが大きくなり、
開口率の減少防止と均一なギャップ保持との両立が困難
となる。
【0021】これに対して、図3に示したような形状の
場合、ラビング処理に対する耐性を十分に確保しつつ、
開口率の向上とギャップ保持との両立を可能とすること
ができる。また、くびれ141より上部の最大形部分1
42が柱の高さの3/4以下に位置することで、柱の先
端部がより丸みを増し、ラビング処理に対する耐性を十
分に確保することができる。
【0022】次に、この液晶表示装置の製造方法につい
て説明する。
【0023】すなわち、厚さ0.7mmのガラス基板1
01上に、成膜とパターニングとを繰り返し、走査線1
03と、信号線105と、ポリシリコン薄膜112の半
導体層を有するTFT110と、を形成する。
【0024】続いて、スピンナーにより、赤色の顔料を
分散させた紫外線硬化性アクリル樹脂レジストを基板全
面に塗布し、赤色画素に対応した部分に光が照射される
ようなフォトマスクを介して365nmの波長で100
mJ/cm照射し、所定の現像液によって50秒間現
像し、赤色のカラーフィルタ層130Rを形成する。
【0025】続いて、同様に、緑色のカラーフィルタ層
130G、青色のカラーフィルタ層130Bを形成し、
それぞれ230℃で1時間焼成する。このときのカラー
フィルタ層130(R、G、B)の膜厚は、それぞれ3
μmである。このカラーフィルタ層130の形成工程で
は、TFT110と画素電極120とをコンタクトする
スルーホール118も同時に形成する。
【0026】続いて、スパッタリング法により、ITO
を成膜し、所定の画素パターンにパターニングすること
により、TFT110にコンタクトした画素電極120
を形成する。
【0027】続いて、スピンナーにより、この基板表面
に、0.05乃至0.2μmの粒径の顔料粒子を35重
量%含有する感光性のカーボンレス黒色樹脂を6μmの
厚さに塗布する。そして、90℃で10分間乾燥した
後、所定のパターン形状フォトマスクを用いて、365
nmの波長で、500mJ/cmの露光量で露光す
る。そして、pH11.5のアルカリ水溶液により現像
することによって、柱形状を形成する。そして、200
℃に昇温することで、柱をメルトさせ、さらにこの温度
を60分間維持することによって完全に硬化させる。こ
れにより、遮光性の配線部上の所定位置に、高さ5μm
の遮光性の柱状スペーサ140を形成する。柱を硬化さ
せる際に、例えば、昇温速度を制御することにより、柱
のメルト性を制御することが可能となる。この実施の形
態では、昇温速度を200℃/minとすることによ
り、柱の側面の略中央部にくびれ141が形成され、最
大径部分142が柱の高さの約3/4の位置に形成され
た。
【0028】続いて、基板全面に、配向膜材料を500
オングストロームの膜厚で塗布し、焼成した後、ラビン
グ処理を行い、配向膜160を形成する。
【0029】一方、厚さ0.7μmのガラス基板201
上に、対向電極203と、配向膜207とを備えた対向
基板200を形成する。
【0030】続いて、対向基板200の配向膜207の
周辺に沿って接着剤を注入口を除いて印刷し、アレイ基
板100から対向電極203に電圧を印加するための電
極転移材を接着剤の周辺の電極転移電極上に形成する。
【0031】続いて、それぞれの配向膜160及び20
7が対向するように、且つ、それぞれのラビング方向が
90度となるように、アレイ基板100及び対向基板2
00を配置し、加熱して接着剤を硬化させ、両基板を貼
り合わせる。
【0032】続いて、注入口から液晶組成物を注入し、
この注入口を紫外線硬化樹脂によって封止する。
【0033】上述したような構造の液晶表示装置によれ
ば、柱状スペーサ140の側面にくびれ141を形成
し、且つ、くびれ141の上部の最大径部分142が先
端より下部に位置していることにより、ラビング処理に
対する十分な耐性を確保しつつ、良好な配向を実現する
ことが可能となる。また、例え柱状スペーサ140近傍
の配向が乱れた場合であっても、柱状スペーサ140自
体が遮光性である、または、柱状スペーサ140が遮光
性の配線部上に配置されているため、光漏れによる画質
の低下を抑えることができる。
【0034】次に、第2の実施の形態に係る液晶表示装
置について説明する。なお、上述した第1の実施の形態
と同一の構成要素については、同一の参照符号を付して
詳細な説明を省略する。
【0035】図1、図4及び図5に示すように、第2の
実施の形態にかかる液晶表示装置は、アレイ基板100
と、対向基板200と、アレイ基板100と対向基板2
00との間の所定のギャップに保持された液晶層300
とを有している。
【0036】アレイ基板100は、透明な絶縁性基板、
すなわちガラス基板101上に配置された複数の走査線
103、信号線105、TFT110などの配線部を備
えている。また、アレイ基板100は、配線部によって
区画された画素領域に設けられた画素電極120を備え
ている。走査線103及び信号線の配線部は、アルミニ
ウムやモリブデン−タングステンなどの遮光性を有する
低抵抗材料によって形成されている。画素電極120
は、TFT110のドレイン電極116Dに直接電気的
に接続されている。アレイ基板の表面は、配向膜160
によって覆われている。
【0037】図4及び図5に示すように、対向基板20
0は、ガラス基板201上の各画素領域毎に配置され
た、赤(R)、緑(G)、青(B)にそれぞれ着色され
たカラーフィルタ層230(R、G、B)と、対向電極
203とを備えている。対向電極203の表面は、液晶
分子310を基板に対して垂直な方向に配向する配向膜
207によって覆われている。
【0038】これらのアレイ基板100及び対向基板2
00は、柱状のスペーサ140によって所定の間隙を形
成した状態で図示しないシール材によって貼り合わされ
る。液晶層300は、このアレイ基板100と対向基板
200との間に形成された所定のギャップに封入され
る。
【0039】図1及び図5に示すように、遮光性を有す
る配線部上には、遮光性を有する配線部上には、顔料を
含有する感光性のカーボンレス黒色樹脂によって形成さ
れた柱状のスペーサ150が設けられている。
【0040】柱状スペーサ150は、図5に示すよう
に、その側面にくびれ151を有し、さらに、くびれ1
51より柱の高さ方向上部の最大径部分152が柱の先
端位置より下部に位置し、好ましくは柱の高さの3/4
以下に位置している。すなわち、最大径部分152は、
図5に示すような高さ方向に沿った断面において、1以
上の曲率半径を組み合わせることによって規定される、
丸みを有する形状を成している。これにより、配向膜を
形成する際のラビング処理に耐え、アレイ基板100と
対向基板200との間のギャップを均一に、且つ良好な
配向を実現することができる。
【0041】次に、この液晶表示装置の製造方法につい
て説明する。
【0042】すなわち、厚さ0.7mmのガラス基板1
01上に、成膜とパターニングとを繰り返し、走査線1
03と、信号線105と、ポリシリコン薄膜112の半
導体層を有するTFT110と、画素電極120とを形
成する。
【0043】続いて、スピンナーにより、この基板表面
に、0.05乃至0.2μmの粒径の顔料粒子を35重
量%含有する感光性のカーボンレス黒色樹脂を6μmの
厚さに塗布する。そして、90℃で10分間乾燥した
後、所定のパターン形状フォトマスクを用いて、365
nmの波長で、500mJ/cmの露光量で露光す
る。そして、pH11.5のアルカリ水溶液により現像
することによって、柱形状を形成する。そして、200
℃に昇温することで、柱をメルトさせ、さらにこの温度
を60分間維持することによって完全に硬化させる。こ
れにより、遮光性の配線部上の所定位置に、高さ5μm
の遮光性の柱状スペーサ140を形成する。柱を硬化さ
せる際に、昇温速度を200℃/minとすることによ
り、柱の側面の略中央部にくびれ151が形成され、最
大径部分152が柱の高さの約3/4の位置に形成され
た。
【0044】続いて、基板全面に、配向膜材料を500
オングストロームの膜厚で塗布し、焼成した後、ラビン
グ処理を行い、配向膜160を形成する。
【0045】一方、厚さ0.7μmのガラス基板201
上に、カラーフィルタ層230(R、G、B)と、対向
電極203と、配向膜207とを備えた対向基板200
を形成する。
【0046】続いて、対向基板200の配向膜207の
周辺に沿って接着剤を注入口を除いて印刷し、アレイ基
板100から対向電極203に電圧を印加するための電
極転移材を接着剤の周辺の電極転移電極上に形成する。
【0047】続いて、それぞれの配向膜160及び20
7が対向するように、且つ、それぞれのラビング方向が
90度となるように、アレイ基板100及び対向基板2
00を配置し、加熱して接着剤を硬化させ、両基板を貼
り合わせる。
【0048】続いて、注入口から液晶組成物を注入し、
この注入口を紫外線硬化樹脂によって封止する。
【0049】上述したような構造の液晶表示装置によれ
ば、柱状スペーサ150の側面にくびれ151を形成
し、且つ、くびれ151の上部の最大径部分152が先
端より下部に位置していることにより、ラビング処理に
対する十分な耐性を確保しつつ、良好な配向を実現する
ことが可能となる。また、例え柱状スペーサ150近傍
の配向が乱れた場合であっても、柱状スペーサ150自
体が遮光性である、または、柱状スペーサ150が遮光
性の配線部上に配置されているため、光漏れによる画質
の低下を抑えることができる。
【0050】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、表示性能がよく、製造歩留まりの低下を防止するこ
とが可能な液晶表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、この発明の液晶表示装置に適用される
アレイ基板の構造を概略的に示す平面図である。
【図2】図2は、この発明の第1の実施の形態に係る液
晶表示装置を図1に示したA−A線で切断したときの断
面図である。
【図3】図3は、この発明の第1の実施の形態に係る液
晶表示装置を図1に示したB−B線で切断したときの断
面図である。
【図4】図4は、この発明の第2の実施の形態に係る液
晶表示装置を図1に示したA−A線で切断したときの断
面図である。
【図5】図5は、この発明の第2の実施の形態に係る液
晶表示装置を図1に示したB−B線で切断したときの断
面図である。
【符号の説明】
100…アレイ基板 110…薄膜トランジスタ 118…スルーホール 120…画素電極 130(R、G、B)…カラーフィルタ層 140…柱状スペーサ 141…くびれ 142…最大径部分 150…柱状スペーサ 151…くびれ 152…最大径部分 160…配向膜 200…対向基板 203…対向電極 207…配向膜 230(R、G、B)…カラーフィルタ層 300…液晶層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長田 洋之 埼玉県深谷市幡羅町1丁目9番2号 株式 会社東芝深谷工場内 (72)発明者 磨矢 奈津子 埼玉県深谷市幡羅町1丁目9番2号 株式 会社東芝深谷工場内 (72)発明者 鳥山 亜希子 埼玉県深谷市幡羅町1丁目9番2号 株式 会社東芝深谷工場内 Fターム(参考) 2H089 LA09 LA10 MA04X NA05 NA14 NA24 PA05 QA12 QA14 QA15 SA07 SA13 TA04 TA09 TA12 2H091 FA02Y FB04 FC26 GA13 KA03 LA12 LA15 2H092 HA04 JA25 JA46 KA04 KB04 KB05 MA05 MA17 NA04 PA02 PA03 PA08

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1基板と、 前記第1基板に対向配置された第2基板と、 前記第1基板と前記第2基板との間に所定のギャップを
    形成する柱状スペーサと、 前記柱状スペーサによって形成された前記第1基板と前
    記第2基板との間の所定のギャップに配置された液晶組
    成物と、を備えた液晶表示装置において、 前記柱状スペーサは、その側面にくびれを有するととも
    に、前記くびれより高さ方向上部の最大径部分は、先端
    位置より下部に位置することを特徴とする液晶表示装
    置。
  2. 【請求項2】前記最大径部分は、高さ方向に沿った断面
    において、1以上の曲率半径を組み合わせることによっ
    て形成されたことを特徴とする請求項1に記載の液晶表
    示装置。
  3. 【請求項3】前記柱状スペーサは、遮光性の樹脂によっ
    て形成されたことを特徴とする請求項1に記載の液晶表
    示装置。
  4. 【請求項4】前記柱状スペーサは、顔料を含むことを特
    徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  5. 【請求項5】前記第1基板は、一主面上に形成された配
    線部と、スイッチング素子と、カラーフィルタと、前記
    カラーフィルタ上に形成された画素電極と、を備え、 前記画素電極は、前記カラーフィルタに形成されたスル
    ーホールを介して、前記スイッチング素子と電気的に接
    続されたことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装
    置。
  6. 【請求項6】前記配線部は、遮光性を有し、 前記柱状スペーサは、前記配線部上に配置されたことを
    特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
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