JP2001197378A - Solid-state image pickup element - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は固体撮像素子に係
り、特に、MOS(CMOSを含む)回路を集積化して
構成される固体撮像素子の電流源アレイ部の改良に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state imaging device, and more particularly to an improvement in a current source array of a solid-state imaging device formed by integrating MOS (including CMOS) circuits.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、イメージセンサ(固体撮像素子)
のS/Nを改善するために、イメージセンサ内部で信号
を増幅して出力する技術が知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, an image sensor (solid-state image sensor)
In order to improve the S / N ratio, a technique of amplifying and outputting a signal inside an image sensor is known.
【0003】例えば、特公平8−24352号公報に開
示されているように、画素から出力された電荷を垂直信
号線毎に設けられたアンプ(以下ラインアンプと呼ぶ)
により増幅した信号として出力することにより、S/N
を改善し、かつ固定パターンノイズ(FPN)を抑圧す
る方法がある。[0003] For example, as disclosed in Japanese Patent Publication No. H8-24352, an electric charge output from a pixel is converted into an amplifier provided for each vertical signal line (hereinafter referred to as a line amplifier).
Output as a signal amplified by S / N
There is a method for improving fixed pattern noise (FPN).
【0004】以下、この特公平8−24352号公報に
開示されているイメージセンサを例にとって従来技術に
ついて説明する。[0004] The prior art will be described below by taking the image sensor disclosed in Japanese Patent Publication No. H8-24352 as an example.
【0005】図2は、従来のラインアンプを有するイメ
ージセンサの構成を簡略し、図示したものである。FIG. 2 is a simplified illustration of a conventional image sensor having a line amplifier.
【0006】図2において、参照符号2−1は、フォト
ダイオードD1,D2,…,DjとスイッチS1,S
2,…,Sjより構成される画素を2次元的に配列し構
成した画素アレイである。In FIG. 2, reference numeral 2-1 denotes photodiodes D1, D2,..., Dj and switches S1, S2.
2,..., Sj in a two-dimensional array.
【0007】また、参照符号2−2は、画素アレイ2−
1の読み出し行を選択する垂直走査回路である。Reference numeral 2-2 denotes a pixel array 2-.
This is a vertical scanning circuit that selects one readout row.
【0008】また、参照符号2−3は、画素から出力さ
れた信号電荷を列並列に信号増幅するラインアンプ列で
あり、アナログアンプによる複数のアンプ回路2−3−
1,2−3−2,…,2−3−jを並列に設けて構成さ
れている。Reference numeral 2-3 denotes a line amplifier array for amplifying signal charges output from the pixels in a column-parallel manner, and a plurality of amplifier circuits 2-3 by analog amplifiers.
.., 2-3-3-j are provided in parallel.
【0009】また、参照符号2−4は、ラインアンプ列
2−3の各出力を出力信号線2−5に出力するための水
平選択スイッチアレイである。Reference numeral 2-4 denotes a horizontal selection switch array for outputting each output of the line amplifier array 2-3 to the output signal line 2-5.
【0010】また、参照符号2−6は、水平選択スイッ
チアレイ2−4を順次選択し走査するための水平走査回
路である。Reference numeral 2-6 denotes a horizontal scanning circuit for sequentially selecting and scanning the horizontal selection switch array 2-4.
【0011】次に、このように構成されるイメージセン
サの動作について説明する。Next, the operation of the image sensor thus configured will be described.
【0012】画素アレイ2−1のフォトダイオードD
1,D2,…,Djに蓄積された信号電荷は、走査回路
2−2から出力される行選択パルスφROW iにより画素
アレイ2−1の第i行の画素のスイッチS1,S2,
…,Sjがオンされることにより、ラインアンプ列2−
3に送られて列並列に増幅される。The photodiode D of the pixel array 2-1
1, D2,..., Dj are switched by the row selection pulse φ ROW i output from the scanning circuit 2-2 to the switches S1, S2, S2 of the pixels in the i-th row of the pixel array 2-1.
, Sj are turned on, so that the line amplifier row 2-
3 and amplified in column parallel.
【0013】その後、水平走査回路2−6が走査パルス
φCOL 1,φCOL 2,…,φCOL jを発生し、水平選択
スイッチアレイ2−4を順次オンオフすることにより、
選択したラインアンプ列2−3の出力を出力信号線2−
5より出力する。Thereafter, the horizontal scanning circuit 2-6 generates scanning pulses φ COL1 , φCOL2 ,..., ΦCOLj , and sequentially turns on and off the horizontal selection switch array 2-4.
The output of the selected line amplifier array 2-3 is connected to the output signal line 2-
5 is output.
【0014】このように画素の垂直水平(XY)方向の
アドレスを選択しながら画素アレイ2ー1の各画素の信
号を順次読み出すことによって2次元画像を出力させる
ことができる。As described above, a two-dimensional image can be output by sequentially reading out the signals of the respective pixels of the pixel array 2-1 while selecting the addresses in the vertical and horizontal (XY) directions of the pixels.
【0015】ところで、ラインアンプ列2−3を動作さ
せるためには、バイアス電流を供給する必要がある。Incidentally, in order to operate the line amplifier array 2-3, it is necessary to supply a bias current.
【0016】一般的に、このようなMOSアナログ回路
において、バイアス電流はP型MOSトランジスタの飽
和特性を利用して発生させる。Generally, in such a MOS analog circuit, a bias current is generated by utilizing the saturation characteristics of a P-type MOS transistor.
【0017】図2に示したイメージセンサの構成で説明
したように、イメージセンサで用いられるラインアンプ
列2−3はそれぞれアナログアンプによる複数のアンプ
回路2−3−1,2−3−2,…,2−3−jを並列に
設けて構成されている。As described in the configuration of the image sensor shown in FIG. 2, the line amplifier array 2-3 used in the image sensor includes a plurality of amplifier circuits 2-3-1, 2-3-2, and .., 2-3-j are provided in parallel.
【0018】従って、ラインアンプ列2−3を構成する
各々のアンプ回路2−3−1,2−3−2,…,2−3
−jに対して独立にバイアス電流を供給するバイアス電
流発生回路が必要となる。Accordingly, each of the amplifier circuits 2-3-1, 2-3-2,..., 2-3 constituting the line amplifier array 2-3 is provided.
A bias current generating circuit for independently supplying a bias current to −j is required.
【0019】以下、ラインアンプ列2−3を構成する各
々のアンプ回路2−3−1,2−3−2,…,2−3−
jにバイアス電流を供給するために配置されたバイアス
トランジスタ列を電流源アレイと呼ぶものとする。Hereinafter, each of the amplifier circuits 2-3-1, 2-3-2,..., 2-3-3 constituting the line amplifier array 2-3 will be described.
A bias transistor array arranged to supply a bias current to j is referred to as a current source array.
【0020】以下に従来の固体撮像素子に使われている
電流源アレイについて説明する。Hereinafter, a current source array used in a conventional solid-state imaging device will be described.
【0021】図3は、一般的に用いられるバイアス電流
源アレイの構成を示している。FIG. 3 shows the configuration of a commonly used bias current source array.
【0022】図3において、参照符号3−3は、水平画
素数分だけあるバイアス用MOSトランジスタQ1,Q
2,…,Qnで構成される電流源アレイである。In FIG. 3, reference numerals 3-3 denote bias MOS transistors Q1 and Q corresponding to the number of horizontal pixels.
, Qn.
【0023】また、参照符号3−1は、電流源アレイ3
−3を構成するバイアス用MOSトランジスタQ1,Q
2,…,Qnの各ソースに電源電圧を供給する電源バス
配線である。Reference numeral 3-1 denotes the current source array 3
-3 constituting bias MOS transistors Q1, Q
Power supply bus wiring for supplying a power supply voltage to each source of 2,.
【0024】また、参照符号3−2は、バイアス用MO
SトランジスタQ1,Q2,…,Qnの各ゲートにバイ
アス電圧を供給するバイアス電圧供給配線である。Reference numeral 3-2 denotes a bias MO.
A bias voltage supply line for supplying a bias voltage to each gate of the S transistors Q1, Q2,..., Qn.
【0025】そして、バイアス用MOSトランジスタQ
1,Q2,…,Qnの各ドレインからラインアンプ列2
−3を構成する各々のアンプ回路2−3−1,2−3−
2,…,2−3−jに対して独立にバイアス電流を供給
するように接続している。The bias MOS transistor Q
, Q2,..., Qn to line amplifier train 2
-3, each amplifier circuit 2-3-1, 2-3-3-
2,..., 2-3-3-j are connected so as to independently supply a bias current.
【0026】近似的にMOSトランジスタの飽和特性は
式(1)で表される。Approximately, the saturation characteristic of a MOS transistor is expressed by equation (1).
【0027】 ID =α(VGS−VT )2 …(1) ここで、ID はバイアス電流、αはデバイスのサイズや
易動度による係数、V GSはゲ一ト・ソース間電圧、VT
はしきい電圧である。ID= Α (VGS-VT)Two ... (1) where IDIs the bias current, α is the device size and
Coefficient of mobility, V GSIs the gate-source voltage, VT
This is the threshold voltage.
【0028】MOSトランジスタの飽和特性において、
出力電流は近似的にドレイン電圧によらないため、ゲー
ト・ソース間に一定の電圧を供給することによってMO
Sトランジスタを飽和領域で動作させてドレインより一
定のバイアス電流を発生させることができる。In the saturation characteristics of the MOS transistor,
Since the output current does not depend on the drain voltage approximately, the MO is obtained by supplying a constant voltage between the gate and the source.
By operating the S transistor in the saturation region, a constant bias current can be generated from the drain.
【0029】そして、バイアス用MOSトランジスタQ
1,Q2,…,Qnで発生させた各々のバイアス電流は
それぞれラインアンプ列2−3を構成するアンプ回路2
−3−1,2−3−2,…,2−3−jへ供給される。The bias MOS transistor Q
, Q2,..., Qn are respectively supplied to the amplifier circuits 2 constituting the line amplifier rows 2-3.
-3-1, 2-3-2, ..., 2-3-j.
【0030】これによりラインアンプ列2ー3を構成す
る各々のアンプ回路2−3−1,2−3−2,…,2−
3−jを独立に動作させることが可能になる。Thus, each of the amplifier circuits 2-3-1, 2-3-2,..., 2-
3-j can be operated independently.
【0031】[0031]
【発明が解決しようとする課題】ところが、図3に示し
た従来のバイアス電流源アレイでは、実際には、以下に
示す原因によりバイアス電流の均一性を確保することが
難しい。However, in the conventional bias current source array shown in FIG. 3, it is actually difficult to ensure the uniformity of the bias current due to the following reasons.
【0032】すなわち、図3に示した従来のバイアス電
流源アレイでは、複数のバイアス用MOSトランジスタ
Q1,Q2,…,Qnが同時に並列的に動作するため、
その電流を供給するために電源バス配線3−1には、電
流が大量に流れる。That is, in the conventional bias current source array shown in FIG. 3, a plurality of bias MOS transistors Q1, Q2,...
In order to supply the current, a large amount of current flows through the power supply bus line 3-1.
【0033】ここで、電源バス配線3−1に配線抵抗が
存在すると、大量に流れる電流によって電源バス配線3
−1に電位勾配が生じ、各々のバイアス用MOSトラン
ジスタQ1,Q2,…,Qnの各ソース電極の電圧に不
均一性が発生する。Here, if there is a wiring resistance in the power supply bus line 3-1, a large amount of current flows to the power supply bus line 3-1.
-1, a potential gradient is generated, and non-uniformity occurs in the voltage of each source electrode of each bias MOS transistor Q1, Q2,..., Qn.
【0034】一方、バイアス電圧供給配線3−2には電
流が流れないため、バイアス用MOSトランジスタQ
1,Q2,…,Qnの各ゲート電極の電位は一定に保た
れることになる。On the other hand, since no current flows through the bias voltage supply line 3-2, the bias MOS transistor Q
The potential of each gate electrode of Q1,..., Qn is kept constant.
【0035】その結果、バイアス用MOSトランジスタ
Q1,Q2,…,Qnの各ゲート・ソース間の電位差が
変化し、式(1)に従って発生するバイアス電流ID が
変化する。As a result, the potential difference between the gate and source of each of the bias MOS transistors Q1, Q2,..., Qn changes, and the bias current ID generated according to the equation (1) changes.
【0036】この現象によるバイアス電流ID の不均一
性は、配線のレイアウトにも依存し、例えば、電源バス
配線3−1と電源電圧AVDDを与える電源端子とをバ
イアス電流源アレイの両端部で接続する場合では、バイ
アス電流源アレイの端の電流が大きく、中央部では逆に
少なくなってしまう。The non-uniformity of the bias current ID due to this phenomenon also depends on the wiring layout. For example, the power supply bus wiring 3-1 and the power supply terminal for supplying the power supply voltage AVDD are connected at both ends of the bias current source array. In the case of connection, the current at the end of the bias current source array is large, and decreases at the center.
【0037】このような不均一性を抑圧するためには、
電源配線抵抗を十分に小さくする必要性がある。In order to suppress such non-uniformity,
There is a need to reduce the power supply wiring resistance sufficiently.
【0038】ところが、昨今の傾向として、特にディジ
タルスチルカメラ用途などでは固体撮像素子の多画素化
の要求が強まっており、画素数を増やすことは同時にア
ンプ回路の数を増やす必要があるとともに、電源バス配
線長が長くなり、電源バス配線内での電源電圧の低下が
深刻になる。However, as a recent trend, particularly in digital still cameras and the like, there is an increasing demand for a solid-state image pickup device having a large number of pixels. The bus wiring length becomes longer, and the power supply voltage inside the power supply bus wiring is seriously reduced.
【0039】そのため、ラインアンプ列2−3に入力さ
れるバイアス電流の不均一性が強くなり、アンプ動作の
均一性を得ることが困難になってしまう。Therefore, the non-uniformity of the bias current input to the line amplifier array 2-3 becomes strong, and it becomes difficult to obtain the uniform operation of the amplifier.
【0040】また、基板端子の電圧が、バイアス用MO
SトランジスタQ1,Q2,…,Qnで独立に取られて
いた場合、以下の式(2)で表されるしきい電圧の変動
ΔV T が生じる。Also, when the voltage of the substrate terminal is
Independently taken by S transistors Q1, Q2,..., Qn
The threshold voltage fluctuation represented by the following equation (2)
ΔV TOccurs.
【0041】 ΔVT =β{(2φB +VBS)1/2 −(2φB )1/2 } …(2) ここで、βは定数、φB はショットキー障壁電圧、VBS
はバイアス用MOSトランジスタの基板・ソース端子間
電圧である。ΔV T = β {(2φ B + V BS ) 1/2 − (2φ B ) 1/ 2… (2) where β is a constant, φ B is a Schottky barrier voltage, V BS
Is a voltage between the substrate and the source terminal of the bias MOS transistor.
【0042】そして、しきい電圧VT に、式(2)に示
すような基板・ソース端子間電圧VBSに依存した変動
が生じると、結果として式(1)から分かるようにバイ
アス電流ID に不均一性を生じてしまう。[0042] Then, the threshold voltage V T, the variation depending on the substrate and source terminal voltage VBS as shown in equation (2) occurs, resulting in the bias current I D as can be seen from equation (1) This causes non-uniformity.
【0043】本発明は、この点に着目して、電源バスラ
インの配線抵抗の影響を抑圧し、安定なラインアンプの
アンプ動作を可能にする電流源アレイを備えた固体撮像
素子を提供することを課題とする。In view of this point, the present invention provides a solid-state imaging device having a current source array which suppresses the influence of wiring resistance of a power supply bus line and enables a stable line amplifier operation. As an issue.
【0044】[0044]
【課題を解決するための手段】本発明によると、上記課
題を解決するために、(1) 光電変換が可能な画素を
2次元的に配置してなる画素アレイと、該画素アレイの
読み出し行を選択する垂直走査回路と、該選択された1
行分の画素の信号を並列に増幅する、アナログアンプを
含む複数の増幅回路と、該アナログアンプの各々に対応
して設けられ、各アナログアンプにバイアス電流を供給
するバイアス電流供給用のMOSトランジスタを含む、
複数のバイアス電流供給回路と、該増幅回路の出力を順
次選択し走査する走査回路とを有する固体撮像素子にお
いて、該MOSトランジスタのソース端子は電源電圧供
給線に接続され、該MOSトランジスタの基板端子は該
MOSトランジスタのソース端子に接続され、該MOS
トランジスタのゲート端子は該電源電圧供給線に容量素
子を介して接続されるとともにスイッチ素子を介してバ
イアス電圧供給線に接続されていることを特徴とする固
体撮像素子が提供される。According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, (1) a pixel array in which photoelectrically convertible pixels are two-dimensionally arranged, and a readout row of the pixel array And a vertical scanning circuit for selecting
A plurality of amplifying circuits including an analog amplifier for amplifying signals of pixels in a row in parallel, and a MOS transistor for bias current supply which is provided corresponding to each of the analog amplifiers and supplies a bias current to each analog amplifier including,
In a solid-state imaging device having a plurality of bias current supply circuits and a scanning circuit for sequentially selecting and scanning the output of the amplification circuit, a source terminal of the MOS transistor is connected to a power supply voltage line, and a substrate terminal of the MOS transistor Is connected to the source terminal of the MOS transistor,
A solid-state imaging device is provided, wherein a gate terminal of the transistor is connected to the power supply voltage supply line via a capacitor, and connected to a bias voltage supply line via a switch element.
【0045】また、本発明によると、上記課題を解決す
るために、(2) 前記バイアス電流発生回路の出力電
流を切断する手段と、前記バイアス電流発生回路の出力
電流を切断した状態で、前記スイッチ素子をオンして前
記バイアス電圧供給線の電圧を前記MOSトランジスタ
のゲート端子に記憶させる手段とをさらに有することを
特徴とする(1)記載の固体撮像素子が提供される。According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, (2) means for cutting off the output current of the bias current generating circuit, and Means for turning on a switch element to store the voltage of the bias voltage supply line in the gate terminal of the MOS transistor, the solid-state imaging device according to (1), being provided.
【0046】また、本発明によると、上記課題を解決す
るために、(3) 光電変換が可能な画素を2次元的に
配置してなる画素アレイと、該画素アレイの読み出し行
を選択する垂直走査回路と、該選択された1行分の画素
の信号を並列に増幅する、アナログアンプを含む複数の
増幅回路と、該アナログアンプの各々に対応して設けら
れ、各アナログアンプにバイアス電流を供給するバイア
ス電流供給用のMOSトランジスタを含む、複数のバイ
アス電流供給回路と、該増幅回路の出力を順次選択し走
査する走査回路とを有する固体撮像子において、該MO
Sトランジスタのソース端子に電源電圧を供給する電源
電圧供給線と、該MOSトランジスタのゲート端子に第
1のスイッチ手段を介してバイアス電圧を供給するバイ
アス電圧供給線と、該MOSトランジスタのゲート端子
とソース端子間を接続する容量素子と、該MOSトラン
ジスタのドレインより第2のスイッチ手段を介して該ア
ナログアンプにバイアス電流を供給する出力線と、該第
1のスイッチ手段と該第2のスイッチ手段を排他的にオ
ン状態にする手段とをさらに有し、該MOSトランジス
タの基板端子は該MOSトランジスタのソース端子に接
続されていることを特徴とする固体撮像素子が提供され
る。According to the present invention, in order to solve the above problems, (3) a pixel array in which pixels capable of photoelectric conversion are two-dimensionally arranged, and a vertical array for selecting a readout row of the pixel array. A scanning circuit, a plurality of amplifier circuits including an analog amplifier for amplifying signals of the selected one row of pixels in parallel, including an analog amplifier, and a bias current provided to each of the analog amplifiers. In a solid-state image pickup device having a plurality of bias current supply circuits including MOS transistors for supplying a bias current to be supplied and a scanning circuit for sequentially selecting and scanning the output of the amplifier circuit,
A power supply voltage supply line for supplying a power supply voltage to the source terminal of the S transistor, a bias voltage supply line for supplying a bias voltage to the gate terminal of the MOS transistor via a first switch, and a gate terminal of the MOS transistor. A capacitance element connecting between the source terminals, an output line for supplying a bias current from the drain of the MOS transistor to the analog amplifier via the second switch means, the first switch means and the second switch means Means for exclusively turning on the MOS transistor, wherein the substrate terminal of the MOS transistor is connected to the source terminal of the MOS transistor.
【0047】ここで、排他的にオン状態にするとは、第
1のスイッチ手段と第2のスイッチ手段とが両方同時に
はオン状態にはならないことを意味しており、第1のス
イッチ手段と第2のスイッチ手段の片方のみがオン状態
になる場合と、両方ともオフ状態になる場合とがあり得
る。Here, to be exclusively turned on means that the first switch means and the second switch means are not simultaneously turned on, and the first switch means and the second switch means are not simultaneously turned on. There may be a case where only one of the two switch means is turned on and a case where both are turned off.
【0048】[0048]
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態について説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0049】図1は、本発明の一実施の形態による固体
撮像素子の電流源アレイの構成を示している。FIG. 1 shows a configuration of a current source array of a solid-state imaging device according to an embodiment of the present invention.
【0050】なお、本発明の一実施の形態による固体撮
像素子自体の構成は、図2に示した従来技術による固体
撮像素子のそれと同様である。The configuration of the solid-state imaging device according to one embodiment of the present invention is the same as that of the conventional solid-state imaging device shown in FIG.
【0051】この発明の一実施の形態による固体撮像素
子の電流源アレイは次のように構成されている。The current source array of the solid-state imaging device according to one embodiment of the present invention is configured as follows.
【0052】図1において、参照符号1−0は、バイア
ス電流を発生させる単位回路であり、この単位回路1−
0をラインアンプ列2−3のアンプの数だけ並列に設け
ることによってバイアス電流源アレイを構成する。In FIG. 1, reference numeral 1-0 denotes a unit circuit for generating a bias current.
By providing 0 in parallel by the number of amplifiers in the line amplifier array 2-3, a bias current source array is formed.
【0053】そして、この単位回路1−0は、P型MO
Sトランジスタにより構成されたバイアス電流発生トラ
ンジスタ1−1−1,1−1−2,…,1−1−jと、
このバイアス電流発生トランジスタ1−1−1,1−1
−2,…,1−1−jの各ゲート電極と電源バス配線1
−6との間に設けられた容量素子1−2−1,1−2−
2,…,1−2−jと、前記バイアス電流発生トランジ
スタ1−1−1,1−1−2,…,1−1−jの各ゲー
ト電極とバイアス電圧供給配線1−8との間に設けられ
たスイッチ素子1−3−1,1−3−2,…,1−3−
jと、第1のスイッチ制御パルス供給配線1−7へ入力
されるパルスを反転するために設けられたインバータ1
−4と、前記バイアス電流発生トランジスタ1−1−
1,1−1−2,…,1−1−jの各ドレイン電極とラ
インアンプ列2−3の各アンプ回路2−3−1,2−3
−2,…,2−3−jとの間に設けられたスイッチ素子
1−5−1,1−5−2,…,1−5−jとから構成さ
れている。The unit circuit 1-0 is a P-type MO
.., 1-1-j formed by bias current generating transistors 1-1-1, 1-1-2,...
The bias current generating transistors 1-1-1 and 1-1
−2,..., 1-1-j and power supply bus wiring 1
-6, and capacitive elements 1-2-1 and 1-2 provided between
, 1-2-j, between each gate electrode of the bias current generating transistors 1-1-1, 1-1-2, ..., 1-1-j and the bias voltage supply wiring 1-8. , 1-3-1,..., 1-3-3-
j and an inverter 1 provided for inverting a pulse input to the first switch control pulse supply line 1-7.
-4, and the bias current generating transistor 1-1-
, 1-1-j, and the respective amplifier circuits 2-3-1, 2-3 in the line amplifier array 2-3.
,..., 2-3-j, and switch elements 1-5-1, 1-5-2,..., 1-5-j.
【0054】ここで、バイアス電流発生トランジスタ1
−1−1,1−1−2,…,1−1−jの各基板端子
は、それらの各ソース端子に接続されている。Here, the bias current generating transistor 1
.., 1-1-j are connected to their respective source terminals.
【0055】また、スイッチ素子1−3−1,1−3−
2,…,1−3−jの各制御電極は、スイッチ制御パル
ス供給配線1−7により共通に接続され、制御パルスφ
MEMがそれぞれ入力される。Further, the switching elements 1-3-1 and 1-3-3-
,..., 1-3-j are commonly connected by a switch control pulse supply line 1-7, and control pulses φ
MEM is input respectively.
【0056】また、スイッチ素子1−5−1,1−5−
2,…,1−5−jの各制御電極は第2のスイッチ制御
パルス供給配線1−9により共通に接続され、φMEM の
反転パルスがそれぞれ入力される。The switch elements 1-5-1 and 1-5-
Each of the control electrodes 2,..., 1-5-j is commonly connected by a second switch control pulse supply line 1-9, and an inverted pulse of φMEM is input.
【0057】すなわち、それぞれのスイッチ素子1−3
−1,1−3−2,…,1−3−jと1−5−1,1−
5−2,…,1−5−jの動作は、オンオフが正反対に
動作するように構成されている。That is, each switching element 1-3
-1, 1-3-2, ..., 1-3-j and 1-5-1, 1-
The operations of 5-2,..., 1-5-j are configured such that the on / off operations are performed in opposite directions.
【0058】次に、このように構成される電流源アレイ
の動作を説明する。Next, the operation of the thus configured current source array will be described.
【0059】まず、φMEM からのパルス電圧をハイレベ
ルにし、スイッチ素子1−3−1,1−3−2,…,1
−3−jをオンにしてバイアス電圧供給配線1−8に印
加された電位VREF をバイアス電流発生トランジスタ1
−1−1,1−1−2,…,1−1−jの各ゲート電極
に保持させる。First, the pulse voltage from φ MEM is set to the high level, and the switching elements 1-3-1, 1-3-2,.
-3-j is turned on, and the potential V REF applied to the bias voltage supply wiring 1-8 is applied to the bias current generating transistor 1
.., 1-1-j are held by the respective gate electrodes.
【0060】このとき、スイッチ素子1−5−1,1−
5−2,…,1−5−jには、インバータ1−4により
φMEM が反転されたパルスが印加されているので、スイ
ッチ素子1−5−1,1−5−2,…,1−5−jはオ
フになっている。At this time, the switching elements 1-5-1, 1-
5-2,..., 1-5-j are applied with the pulse whose [phi] MEM is inverted by the inverter 1-4, so that the switch elements 1-5-1, 1-5-2,. -5-j is off.
【0061】この後、φMEM からのパルス電圧をローレ
ベルにしてスイッチ素子1−5−1,1−5−2,…,
1−5−jをオンにし、バイアス発生トランジスタ1−
1−1,1−1−2,…,1−1−jによりラインアン
プ列2−3の各アンプ回路2−3−1,2−3−2,
…,2−3−jにバイアス電流を供給する。Thereafter, the pulse voltage from φ MEM is changed to a low level, and the switch elements 1-5-1, 1-5-2,.
1-5-j is turned on, and the bias generating transistor 1-
.., 1-1-j, each amplifier circuit 2-3-1, 2-3-2,.
..., 2-3-3-j is supplied with a bias current.
【0062】これにより、電源バス配線1−6の配線抵
抗により電源電圧AVDDが降下しても、この状態では
スイッチ1−3−1,1−3−2,…,1−3−jがオ
フになっているため、電源バス配線1−6の電圧降下は
電源バス配線1−6とバイアス電流発生トランジスタ1
−1−1,1−1−2,…,1−1−jの各ゲート電極
との間に設けられた容量1−2−1,1−2−2,…,
1−2−jを介して、その降下分がバイアス電流発生ト
ランジスタ1−1−1,1−1−2,…,1−1−jの
各ゲート電極に伝えられる。Thus, even if the power supply voltage AVDD drops due to the wiring resistance of the power supply bus wiring 1-6, the switches 1-3-1, 1-3-2,..., 1-3-j are turned off in this state. , The voltage drop of the power supply bus line 1-6 is caused by the power supply bus line 1-6 and the bias current generating transistor 1
, 1-1-1, 1-2-2,..., 1-1-j provided between the respective gate electrodes.
.., 1-1-j is transmitted to each gate electrode of the bias current generating transistors 1-1-1, 1-1-2,..., 1-1-j.
【0063】また、この状態では、基板電位も基板端子
がバイアス電流発生トランジスタ1−1−1,1−1−
2,…,1−1−jの各ソース端子に接続されているこ
とにより、ソース電位に等しく保たれているので、バイ
アス電流発生トランジスタ1−1−1,1−1−2,
…,1−1−jの各ゲート・ソース間電圧は一定に保持
される。In this state, the substrate potential and the substrate terminal are also the bias current generating transistors 1-1-1 and 1-1-1.
2,..., 1-1-j are connected to the respective source terminals, so that they are kept equal to the source potential, so that the bias current generating transistors 1-1-1, 1-1-2,
, 1-1-j are kept constant.
【0064】これにより、ラインアンプ列2−3の各ア
ンプ回路2−3−1,2−3−2,…,2−3−jに供
給されるバイアス電流の変化を抑圧することが可能にな
り、安定したバイアス電流をラインアンプ列2−3に供
給し、ラインアンプ列2−3の動作均一性を確保でき
る。Thus, it is possible to suppress a change in the bias current supplied to each of the amplifier circuits 2-3-1, 2-3-2,..., 2-3-j of the line amplifier array 2-3. Thus, a stable bias current is supplied to the line amplifier array 2-3, and the operation uniformity of the line amplifier array 2-3 can be ensured.
【0065】ちなみに、本実施の形態では、説明の簡単
のために、φMEM の反転パルスをインバータ1−4によ
り生成してスイッチ素子1−5−1,1−5−2,…,
1−5−jに供給することにより、バイアス電圧を記憶
するときにバイアス電流を流さない構成となっている
が、バイアス電圧の記憶タイミングとバイアス電流を供
給するタイミングが重ならない限り、バイアス電圧の記
憶タイミングとバイアス電流を供給するタイミングを独
立に設定するようにしてもよい。[0065] Incidentally, in this embodiment, for simplicity of explanation, the inversion pulse phi MEM generated by the inverter 1-4 switching element 1-5-1,1-5-2, ...,
1-5-j, the bias current is not supplied when the bias voltage is stored. However, as long as the bias voltage storage timing and the bias current supply timing do not overlap, the bias voltage is not supplied. The storage timing and the timing for supplying the bias current may be set independently.
【0066】すなわち、スイッチ素子1−3−nとスイ
ッチ素子1−5−nとは、排他的にオン状態になる。That is, the switching elements 1-3-n and 1-5-n are exclusively turned on.
【0067】ここで、排他的にオン状態にするとは、ス
イッチ素子1−3−nとスイッチ素子1−5−nとが両
方同時にはオン状態にはならないことを意味している。Here, being exclusively turned on means that both the switch element 1-3-n and the switch element 1-5-n are not simultaneously turned on.
【0068】すなわち、スイッチ素子1−3−nとスイ
ッチ素子1−5−nとの片方のみがオン状態になる場合
と、両方ともオフ状態になる場合とがあり得る。That is, there is a case where only one of the switch elements 1-3-n and the switch elements 1-5-n is turned on, and a case where both are turned off.
【0069】また、バイアス電圧を記憶するタイミング
として、例えば、映像信号出力シーケンス中のブランキ
ング期間を利用することにより、映像信号出力に支障を
与えずにバイアス電圧を設定することができる。As the timing for storing the bias voltage, for example, by utilizing a blanking period in the video signal output sequence, the bias voltage can be set without affecting the video signal output.
【0070】さらに、自明ではあるが、MOSトランジ
スタはCMOSトランジスタを含むものとし、さらに、
本実施の形態による電流源アレイのバイアス電流発生ト
ランジスタに用いるP型MOSトランジスタをN型MO
Sトランジスタとしても、単に、極性を変更するだけで
同様な効果を得ることができる。Further, it is obvious that the MOS transistor includes a CMOS transistor, and furthermore,
The P-type MOS transistor used for the bias current generating transistor of the current source array according to the present embodiment is an N-type MOS transistor.
The same effect can be obtained by simply changing the polarity of the S transistor.
【0071】そして、上述したような実施の形態で示し
た本明細書には、特許請求の範囲に示した請求項1乃至
3以外にも、以下に付記1乃至2付記として示すような
発明が含まれている。Further, in the present specification described in the above embodiments, in addition to claims 1 to 3 described in the claims, the inventions described as additional notes 1 and 2 below are described. include.
【0072】(付記1)光電変換が可能な画素を2次元
的に配列してなる画素アレイと、該画素アレイの読み出
す行を選択する垂直走査回路と、同時に選択された少な
くとも一行分の画素の信号を並列に増幅する複数の増幅
回路と、該増幅回路の出力を順次選択し走査する走査回
路と、前記画素の信号を並列に増幅する増幅回路は複数
のアナログアンプにより構成されるとともに、該複数の
アナログアンプに各々バイアス電流を供給するための複
数のバイアス電流発生回路とを有し、前記バイアス電流
発生回路はバイアス電流発生用MOSトランジスタで構
成され、該バイアス電流発生用MOSトランジスタのソ
ース端子は電源電圧供給配線に接続され、該バイアス電
流発生用MOSトランジスタの基板端子は該バイアス電
流発生用MOSトランジスタのソース端子に接続され、
該バイアス電流発生用MOSトランジスタのゲート端子
は前記電源電圧供給配線と容量素子を介して接続される
とともに、スイッチを介してバイアス電圧供給配線に接
続されるように構成されたことを特徴とする固体撮像素
子。(Supplementary Note 1) A pixel array formed by two-dimensionally arranging pixels capable of photoelectric conversion, a vertical scanning circuit for selecting a row to be read out from the pixel array, and A plurality of amplifying circuits for amplifying signals in parallel, a scanning circuit for sequentially selecting and scanning the output of the amplifying circuit, and an amplifying circuit for amplifying the signal of the pixel in parallel are constituted by a plurality of analog amplifiers. A plurality of bias current generating circuits for supplying a bias current to the plurality of analog amplifiers, wherein the bias current generating circuit is constituted by a bias current generating MOS transistor, and a source terminal of the bias current generating MOS transistor is provided. Is connected to a power supply voltage supply line, and the substrate terminal of the bias current generating MOS transistor is connected to the bias current generating MOS transistor. Is connected to the source terminal of Njisuta,
A solid-state device characterized in that a gate terminal of the bias current generating MOS transistor is connected to the power supply voltage supply line via a capacitor, and is connected to the bias voltage supply line via a switch. Imaging device.
【0073】(付記2)光電変換が可能な画素を2次元
的に配列してなる画素アレイと、該画素アレイの読み出
す行を選択する垂直走査回路と、同時に選択された少な
くとも一行分の画素の信号を並列に増幅する複数の増幅
回路と、該増幅回路の出力を順次選択し走査する走査回
路とを有し、前記画素の信号を並列に増幅する増幅回路
は複数のアナログアンプにより構成されるとともに、該
複数のアナログアンプに各々バイアス電流を供給するた
めの複数のバイアス電流発生回路とを有し、前記バイア
ス電流発生回路はバイアス電流発生用MOSトランジス
タで構成され、該バイアス電流発生用MOSトランジス
タのソース端子は電源電圧供給配線に接続され、該バイ
アス電流発生用MOSトランジスタの基板端子は該バイ
アス電流発生用MOSトランジスタのソース端子に接続
され、該バイアス電流発生用MOSトランジスタのゲー
ト端子は前記電源電圧供給配線と容量素子を介して接続
されるとともに、スイッチを介してバイアス電圧供給配
線に接続されるように構成され、前記バイアス電流発生
回路の出力電流をカットする手段を有するとともに、前
記バイアス電流発生回路の出力電流をカットした状態で
前記スイッチをオンし前記バイアス電圧供給配線の電圧
を前記MOSトランジスタのゲート端子に記憶させる手
段とを有することを特徴とする固体撮像素子。(Supplementary Note 2) A pixel array in which photoelectrically convertible pixels are two-dimensionally arranged, a vertical scanning circuit for selecting a row to be read out from the pixel array, and a pixel for at least one row of pixels simultaneously selected. It has a plurality of amplifier circuits for amplifying signals in parallel, and a scanning circuit for sequentially selecting and scanning the output of the amplifier circuit. The amplifier circuit for amplifying the signal of the pixel in parallel is constituted by a plurality of analog amplifiers. And a plurality of bias current generating circuits for respectively supplying a bias current to the plurality of analog amplifiers, wherein the bias current generating circuit is constituted by a bias current generating MOS transistor, and the bias current generating MOS transistor Is connected to a power supply voltage supply line, and the substrate terminal of the bias current generating MOS transistor is connected to the bias current generating M transistor. The MOS transistor for generating a bias current is connected to the source terminal of the S transistor, and the gate terminal of the MOS transistor for generating the bias current is connected to the power supply voltage supply line via a capacitor, and is connected to the bias voltage supply line via a switch. Means for cutting the output current of the bias current generation circuit, and turning on the switch in a state where the output current of the bias current generation circuit is cut to change the voltage of the bias voltage supply line to the gate of the MOS transistor. A solid-state imaging device having means for storing data in a terminal.
【0074】これにより、バイアス電流が流れて電源バ
ス配線の電圧が降下しても、該電源バス配線の電圧降下
は電源バス配線とバイアス電流発生トランジスタのゲー
ト電極との間に設けられた容量を介して、その降下分が
バイアス電流発生トランジスタのゲート電極に伝えら
れ、基板電位も基板端子がソース端子に接続されてソー
ス電位に等しく保たれているので、パイアス電流発生ト
ランジスタのゲート・ソース間電圧は一定に保持され
る。Thus, even if the bias current flows and the voltage of the power supply bus line drops, the voltage drop of the power supply bus line reduces the capacitance provided between the power supply bus line and the gate electrode of the bias current generating transistor. Through the gate electrode of the bias current generating transistor, and the substrate potential is also kept equal to the source potential by connecting the substrate terminal to the source terminal. Is kept constant.
【0075】その結果、式(1)に示すVGS,VBSとも
ソース端子の電圧降下の影響がキャンセルされてバイア
ス電流の変化を抑圧することが可能になり、ラインアン
プ列の動作均一性を確保することができる。As a result, the influence of the voltage drop at the source terminal is canceled out for both V GS and V BS shown in the equation (1), and it becomes possible to suppress the change in the bias current. Can be secured.
【0076】[0076]
【発明の効果】従って、以上説明したように、本発明に
よれば、電源バスラインの配線抵抗の影響を抑圧し、安
定なラインアンプのアンプ動作を可能にする電流源アレ
イを備えた固体撮像素子を提供することができる。Therefore, as described above, according to the present invention, the solid-state imaging device having the current source array which suppresses the influence of the wiring resistance of the power supply bus line and enables the stable operation of the line amplifier. An element can be provided.
【図1】図1は、本発明の一実施の形態による固体撮像
素子に用いられる電流源アレイの構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a current source array used in a solid-state imaging device according to an embodiment of the present invention.
【図2】図2は、従来のラインアンプを有するイメージ
センサを簡略化して示した構成図である。FIG. 2 is a simplified configuration diagram of an image sensor having a conventional line amplifier.
【図3】図3は、図2のイメージセンサに、一般的に用
いられる従来のバイアス電流源アレイを簡略化して示し
た構成図である。FIG. 3 is a simplified configuration diagram showing a conventional bias current source array generally used in the image sensor of FIG. 2;
1−0…単位回路、 1−1−1,1−1−2,…,1−1−j…バイアス電
流発生トランジスタ、 1−6…電源バス配線、 容量素子…1−2−1,1−2−2,…,1−2−j、 1−8…バイアス電圧供給配線、 スイッチ素子…1−3−1,1−3−2,…,1−3−
j、 1−7…第1のスイッチ制御パルス供給配線、 1−4…インバータ、 1−5−1,1−5−2,…,1−5−j…スイッチ素
子、 2−1…画素アレイ、 D1,D2,…,Dj…フォトダイオード、 S1,S2,…,Sj…スイッチ、 2−2…垂直走査回路、 2−3…ラインアンプ列、 2−3−1,2−3−2,…,2−3−j…各アンプ回
路、 2−4…水平選択スイッチアレイ、 2−5…出力信号線、 2−6…水平走査回路。1-0: Unit circuit 1-1-1, 1-1-2,..., 1-1-j: Bias current generating transistor 1-6: Power bus wiring, Capacitance element: 1-2-1, 1 1-2-2,..., 1-2j, 1-8... Bias voltage supply wiring, switch elements 1-3-1, 1-3-2,.
j, 1-7: first switch control pulse supply wiring, 1-4: inverter, 1-5-1, 1-5-2, ..., 1-5-j: switch element, 2-1: pixel array D1, D2,..., Dj photodiode, S1, S2,..., Sj switch, 2-2 vertical scanning circuit, 2-3 line amplifier array, 2-3-1, 2-3-2, ..., 2-3-j ... each amplifier circuit, 2-4 ... horizontal selection switch array, 2-5 ... output signal line, 2-6 ... horizontal scanning circuit.
Claims (3)
してなる画素アレイと、 該画素アレイの読み出し行を選択する垂直走査回路と、 該選択された1行分の画素の信号を並列に増幅する、ア
ナログアンプを含む複数の増幅回路と、 該アナログアンプの各々に対応して設けられ、各アナロ
グアンプにバイアス電流を供給するバイアス電流供給用
のMOSトランジスタを含む、複数のバイアス電流供給
回路と、 該増幅回路の出力を順次選択し走査する走査回路とを有
する固体撮像素子において、 該MOSトランジスタのソース端子は電源電圧供給線に
接続され、該MOSトランジスタの基板端子は該MOS
トランジスタのソース端子に接続され、該MOSトラン
ジスタのゲート端子は該電源電圧供給線に容量素子を介
して接続されるとともにスイッチ素子を介してバイアス
電圧供給線に接続されていることを特徴とする固体撮像
素子。1. A pixel array in which pixels capable of photoelectric conversion are two-dimensionally arranged, a vertical scanning circuit for selecting a readout row of the pixel array, and a signal of the selected one row of pixels. A plurality of amplifier circuits including an analog amplifier that amplifies in parallel; and a plurality of bias currents including a MOS transistor for bias current supply provided for each of the analog amplifiers and supplying a bias current to each analog amplifier. In a solid-state imaging device having a supply circuit and a scanning circuit for sequentially selecting and scanning the output of the amplifier circuit, a source terminal of the MOS transistor is connected to a power supply voltage supply line, and a substrate terminal of the MOS transistor is connected to the MOS transistor.
A solid-state device characterized in that the source terminal of the transistor is connected to the source terminal of the MOS transistor, and the gate terminal of the MOS transistor is connected to the power supply voltage supply line via a capacitive element and connected to the bias voltage supply line via a switch element. Imaging device.
切断する手段と、 前記バイアス電流発生回路の出力電流を切断した状態
で、前記スイッチ素子をオンして前記バイアス電圧供給
線の電圧を前記MOSトランジスタのゲート端子に記憶
させる手段とをさらに有することを特徴とする請求項1
記載の固体撮像素子。2. A means for cutting off the output current of the bias current generation circuit, and in a state where the output current of the bias current generation circuit is cut off, turning on the switch element to change the voltage of the bias voltage supply line to the MOS. And means for storing data in a gate terminal of the transistor.
The solid-state imaging device according to any one of the preceding claims.
してなる画素アレイと、 該画素アレイの読み出し行を選択する垂直走査回路と、 該選択された1行分の画素の信号を並列に増幅する、ア
ナログアンプを含む複数の増幅回路と、 該アナログアンプの各々に対応して設けられ、各アナロ
グアンプにバイアス電流を供給するバイアス電流供給用
のMOSトランジスタを含む、複数のバイアス電流供給
回路と、 該増幅回路の出力を順次選択し走査する走査回路とを有
する固体撮像子において、 該MOSトランジスタのソース端子に電源電圧を供給す
る電源電圧供給線と、 該MOSトランジスタのゲート端子に第1のスイッチ手
段を介してバイアス電圧を供給するバイアス電圧供給線
と、 該MOSトランジスタのゲート端子とソース端子間を接
続する容量素子と、 該MOSトランジスタのドレインより第2のスイッチ手
段を介して該アナログアンプにバイアス電流を供給する
出力線と、 該第1のスイッチ手段と該第2のスイッチ手段を排他的
にオン状態にする手段とをさらに有し、 該MOSトランジスタの基板端子は該MOSトランジス
タのソース端子に接続されていることを特徴とする固体
撮像素子。3. A pixel array in which pixels capable of photoelectric conversion are arranged two-dimensionally, a vertical scanning circuit for selecting a readout row of the pixel array, and a signal of the selected one row of pixels. A plurality of amplifier circuits including an analog amplifier that amplifies in parallel; and a plurality of bias currents including a MOS transistor for bias current supply provided for each of the analog amplifiers and supplying a bias current to each analog amplifier. A power supply voltage supply line for supplying a power supply voltage to a source terminal of the MOS transistor, and a power supply voltage supply line for supplying a power supply voltage to a source terminal of the MOS transistor. A bias voltage supply line for supplying a bias voltage via the first switch means, and a gate line and a source terminal of the MOS transistor. An output line for supplying a bias current from the drain of the MOS transistor to the analog amplifier through a second switch means; and exclusively connecting the first switch means and the second switch means. Means for turning on the MOS transistor, wherein a substrate terminal of the MOS transistor is connected to a source terminal of the MOS transistor.
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