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JP2001144334A - 光半導体装置及び形成方法 - Google Patents

光半導体装置及び形成方法

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Publication number
JP2001144334A
JP2001144334A JP32623699A JP32623699A JP2001144334A JP 2001144334 A JP2001144334 A JP 2001144334A JP 32623699 A JP32623699 A JP 32623699A JP 32623699 A JP32623699 A JP 32623699A JP 2001144334 A JP2001144334 A JP 2001144334A
Authority
JP
Japan
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optical semiconductor
semiconductor device
electrode
die
package
Prior art date
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Pending
Application number
JP32623699A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroaki Tamemoto
広昭 為本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nichia Chemical Industries Ltd
Original Assignee
Nichia Chemical Industries Ltd
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Publication date
Application filed by Nichia Chemical Industries Ltd filed Critical Nichia Chemical Industries Ltd
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Publication of JP2001144334A publication Critical patent/JP2001144334A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16245Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic

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  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 LEDダイ実装時の不良が生じにくい光半導
体装置及びその形成方法を提供する。 【解決手段】 正及び負のリード電極2、3と成形樹脂
10とから形成されてなるパッケージ1と、正及び負の
ダイ電極5、6が一つの主面側に共に形成されてなる光
半導体ダイ4とを備え、該光半導体ダイ4が導電性接着
部材7、8を介して上記リード電極上にフリップチップ
実装された光半導体装置であって、上記パッケージ1
は、上記リード電極の正極2と負極3の間に凹部9を有
し、該凹部9の少なくとも一部が上記光半導体ダイ4と
対向する位置に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種インジケータ
ー、ディスプレイ、光プリンターの書き込み光源及び液
晶のバックライト等に利用可能な光半導体ダイを用いた
光半導体装置に関し、特に、LEDダイがフリップチッ
プ実装された光半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】今日、LEDダイを用いた光半導体装置
が、種々の光源として広く利用されている。LEDダイ
は小型で効率が良く、鮮やかな色の発光をする。また、
低消費電力であるほか、半導体発光素子であるので玉切
れなどの心配がない。さらに、初期駆動特性が優れ、振
動やON/OFF点灯の繰り返しに強いという特性を有
していることから、今後更に広く用いられるものと考え
られる。LEDダイは約300μm角程度と極めて小さ
いものであり、通常、リード電極に接続された後、樹脂
で封止されて用いられるが、最近では、外部との導通が
可能なリード電極が埋め込まれたパッケージ内部にLE
Dダイを配置させた光半導体装置が多く使用されるよう
になってきている。
【0003】そのような光半導体装置の一般的な構造
は、LEDダイを収納することが可能な大きさの凹部を
有するパッケージと、そのパッケージに埋め込まれたリ
ード電極とを有しており、そのリード電極は、LEDダ
イと接続するために、凹部の底面で一部が露出されてい
る。
【0004】このように作製されたパッケージに、LE
Dダイをダイボンド樹脂等で固定して、露出されたリー
ド電極とLEDダイの電極とを、例えば金属ワイヤによ
って接続した後、LEDダイを保護するために透明性エ
ポキシ樹脂で被覆することにより、光半導体装置が作製
される。こうして作製された光半導体装置は、他ののチ
ップタイプ部品と同様の方法で表面実装される。リード
電極を介して電流が供給されるとLEDダイが発光し、
発光された光はLEDダイから直接又は凹部の側面で反
射してパッケージの外部へ放出される。
【0005】近年、LEDダイが様々な用途に使われる
ようになるにつれ、ダイ・ボンディングの方法も多様化
し、電気的接続や取り扱いを容易にするために様々な工
夫がなされている。そのなかで、一方の主面側に正負の
電極(ダイ電極)が形成されたLEDダイを、その電極
形成面を下にして、パッケージに形成された正負のリー
ド電極上に設置し、それぞれの電極の接合には、接着剤
として例えばはんだのような導電性の部材を用いて導通
するようになされた、いわゆるフリップチップ実装タイ
プのものは、ワイヤ・ボンディングが不要であるため、
断線等の問題が生じず、取り扱いが容易である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、LED
ダイを実装する際にその搭載位置がズレる場合がある。
これは、LEDダイの大きさが約300μmと極めて小
さいために起こる問題で、LEDダイ搭載機の精度を上
げるにも現時点では限度がある。LEDダイの搭載位置
がずれると、ショート不良を起こしたり、また、リード
電極とダイ電極が接合しなかったりする不良を起こす原
因になる。ここで、ワイヤ・ボンディングタイプの光半
導体装置は、LEDダイ搭載位置のズレを補正すること
ができるという利点があるが、工程に要する時間を考慮
に入れると、やはりフリップチップ実装タイプのものが
望ましい。
【0007】フリップチップ実装タイプの光半導体装置
で、ダイ電極とリード電極を確実に接合させるために、
パッケージにダイ電極が嵌入できるような凹部を設け、
この凹部内にリード電極を形成させる等の方法を用いれ
ば、LEDダイを正確にかつ確実に所定の位置に搭載す
ることができる。しかし、この方法では、ダイ電極とパ
ッケージ凹部の位置がその形成時点でズレていた場合に
は、接合時に補正することは不可能であるので、LED
ダイ搭載位置を嵌合により決めてしまう方法は、結局不
良を減らすことはできない。
【0008】そこで、上記のようにリード電極をLED
ダイ実装面を窪ませた凹部内に形成させるのでなく、L
EDダイ実装面と同一面上にリード電極を形成させ、こ
のリード電極上にLEDダイをフリップチップ実装させ
るタイプのものを考えてみる。パッケージとしては、成
形樹脂とリード電極とを一体成形してなる形式のものが
成形が容易であり、後で形成させる工程を設ける必要が
ないので、時間的にも短縮でき好都合であるので、よく
用いられている。しかし、通常この一体成形の方法は、
パッケージ成形時に金型内にリード電極となる金属片を
設置し、そこに溶融した成形樹脂を充填するだけなの
で、リード電極の位置は固定されていない。リード電極
は金属片なので、大きくは変形しないものの、成形樹脂
充填時にその充填圧等により位置がズレてしまい、正極
と負極の間の間隔にはバラツキが生じてしまう。このバ
ラツキもLEDダイ搭載時にカバーしなければならず、
LEDダイ搭載機にはやはり極めて高精度なものが必要
であった。
【0009】さらにこのタイプの場合、たとえリード電
極上にLEDダイが正確に配置されたとしても、接合時
に均等な押力が加わらなかったり、あるいは導電性接着
部材の量が正極側と負極側とで違っていたりすると、L
EDダイが動いて所定の位置からズレてしまう。このよ
うな場合、隣接する電極にまで導電性接着部材が広が
り、ショート不良を起こすという問題が起こるので、実
装作業には細心の注意が必要であった。
【0010】そこで、本発明は、フリップチップ実装型
の光半導体装置において、LEDダイ実装時の不良が生
じにくい光半導体装置及びその形成方法を提供すること
を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明に係る光半
導体装置は、正及び負のリード電極と成形樹脂とから形
成されてなるパッケージと、正及び負のダイ電極が一つ
の主面側に共に形成されてなる光半導体ダイとを備え、
該光半導体ダイが導電性接着部材を介して上記リード電
極上にフリップチップ実装された光半導体装置であっ
て、上記パッケージは、上記リード電極の正極と負極の
間に凹部を有し、該凹部の少なくとも一部が上記光半導
体ダイと対向する位置に形成されていることを特徴とす
る。このように構成することにより、LEDダイを実装
する際に、導電性接着部材パッケージ成形時に生じたリ
ード電極の位置ズレや、LEDダイ搭載時に不均等な押
圧が掛かって生じたLEDダイの位置ズレにともなう導
電性接着部材のはみ出しによる電極間のショート不良を
防ぐことができる。
【0012】また、本発明に係る光半導体装置では、上
記光半導体ダイは、透光性の封止部材で覆うことができ
る。
【0013】さらに、本発明に係る光半導体装置では、
上記パッケージの成形樹脂は、液晶ポリマー樹脂、ポリ
ブチレンテレフタレート樹脂、及びセラミックスからな
る群から選択される1つを用いて構成することができ
る。
【0014】またさらに、本発明に係る光半導体装置で
は、上記凹部は、その底部において、凹部底面を正極側
と負極側とに分断する遮断壁が形成されていてもよい。
【0015】また、本発明に係る光半導体装置の形成方
法は、金型に成形上型と正及び負のリード電極とを設置
し、該金型中に成形樹脂を射出してパッケージを一体形
成し、正及び負のダイ電極が一つの主面側に共に形成さ
れてなる光半導体ダイを、導電性接着部材を介して上記
リード電極上にフリップチップ実装する光半導体装置の
形成方法であって、上記一体成形は、成形上型として、
パッケージに凹部を形成可能な突起を有した突起付成形
上型を用いて行われ、該突起は、リード電極の正極と負
極の間と対向し、かつ少なくとも一部が光半導体ダイが
実装される位置と対向していることを特徴とする。この
ように形成させることにより、リード電極の正極と負極
の間に、導電性接着部材が広がっていくことができる凹
部を、パッケージ成形時に同時に形成させることができ
る。また、成形上型の突起にリード電極を突き当てなが
ら成形することで成形樹脂充填時にリード電極の位置が
対極側にずれてショート不良を起こすこと、及びリード
電極が前記とは逆方向にズレて電極間隙間が広がること
を防ぐことができる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る実施の形態のチップタイプ光半導体装置について説明
する。本発明の光半導体装置は、図1に示すように、パ
ッケージ1に正及び負のリード電極2、3が設けられ、
その上にLEDダイ4がフリップチップ実装されてい
る。ダイ電極7、8は導電性接着部材7、8によってリ
ード電極2、3と導通するようになっている。ここで、
本発明の実施の形態の光半導体装置においては、正のリ
ード電極2と負のリード電極3の間に凹部9を有し、該
凹部の少なくとも一部がLEDダイ4と対向する位置に
形成されている。これによって、本実施の形態の光半導
体装置は、LEDダイ4実装時に接着剤及びLEDダイ
とリード電極間の電気的導通を得るために用いる導電性
接着部材7、8が、LEDダイ4実装時に押圧されて広
がっていく際に容量の大きな凹部9内に導入されていく
ので、ショート不良を防ぐことができるものである。
【0017】以下、本実施の形態の光半導体装置の各構
成について詳述する。尚、図1は本実施の形態の光半導
体装置の模式的平面図であり、図2は図1のX−X’線
についての模式的断面図であり、図3及び図4は本実施
の一実施例を示す光半導体装置の模式的断面図である。
また、図5は、本実施の形態の光半導体装置の形成方法
を説明するための模式的断面図であり、図6は図5と比
較するための、従来の光半導体装置の形成方法を説明す
るための模式的断面図である。
【0018】(パッケージ1)パッケージ1は、成形樹
脂として、液晶ポリマーやポリブチレンテレフタレート
(PBT)樹脂、ポリアミド樹脂、ABS樹脂、メラミ
ン樹脂等の絶縁性支持部材を用いることができる。図5
に示す金型16内に成形上型14及び正負のリード電極
2、3を所定の位置に設置し、更に成形上型14を設置
した後、下方すなわち符号Aを付して示す矢印の方向か
ら溶融した成形樹脂10を射出することにより作製され
る。金型16内に射出された溶融成形樹脂10は、冷却
後金型16から取り出され、成形上型14を取り外すこ
とによってリード電極2、3がそれぞれ所定の形状に加
工されたパッケージ1となる。
【0019】本実施の形態において、パッケージ1は、
リード電極の正極2と負極3の間に凹部を有し、この凹
部の少なくとも一部はLEDダイと対向する位置に形成
されている。このことにより、LEDダイ実装時に接着
剤として用いられる導電性接着部材7、8が押圧されて
広がった場合に起こるショート不良を防ぐことが可能と
なる。正極2と負極3の間に十分な間隔をとれば、ショ
ート不良を防ぐことはできるが、それではパッケージを
大きくするなどの対策が必要であり、光半導体装置を小
型化できなくなってしまうのに対し、本発明の実施の形
態のごとき凹部9を、正負のリード電極間に設けること
で、容易にショート不良を防ぐことができる。
【0020】凹部9は、リード電極の正極2と負極3の
間で、少なくとも一部がLEDダイと対向する位置に形
成されるが、さらに言えば、LEDダイ4の中央部と凹
部9の中央部が重なるような位置に形成されることが好
ましい。このように構成されることで、正極側から広が
ってきた導電性接着部材と、負極側から広がってきた導
電性接着部材は、同じようにLEDダイの中心方向に向
かうので、LEDダイがズレにくくなる。凹部9のすべ
てがLEDダイと対向していない、つまり、凹部とLE
Dダイの中心部がずれていても、そのうちの一部が対向
していれば、導電性接着部材は、凹部内に広がっていく
ことができるので、ショート不良を防ぐことができる。
【0021】また、凹部9は、正極2側及び負極3側か
ら広がった導電性接着部材7、8がくっつかないような
形状及び大きさでなければならないので、好ましくは、
図2のごときパッケージ表面に対してほぼ垂直な角度に
形成された側面と、パッケージ表面とほぼ水平な角度に
形成された底面とを有する形状で、かつ、その容量は導
電性接着部材の容積よりも大きく形成させるのがよい。
また、図3のように凹部内で導電性接着部材7、8がシ
ョート不良を起こさないように、凹部底部を正極側と負
極側に分断するような遮断壁11を形成させてもよい。
遮断壁11を図4のように高くして正負のリード電極間
に2つの凹部12、13が形成された形態にしてもよ
い。凹部9内に遮断壁11を形成させることにより、導
電性接着部材の広がりを凹部内部においても確実に遮断
でき、ショート不良を更に確実に防ぐことができる。凹
部の側面が傾斜を持っている場合、極端には底面を有し
ないような錐状であった場合は、かえって導電性接着部
材が凹部側面を滑って広がりやすくなり、ショート不良
を起こし易くなってしまうので好ましくないが、上記の
ように遮断壁11を形成させておけば、ショート不良を
防ぐことができる。要は、押圧された導電性接着部材の
広がり先(空間)を対極との間もしくは周辺に確保し、
この凹部内で導電性接着部材がショートしにくい形状に
形成させておけばよい。凹部の形状は、凹部形成方法に
応じて都合のよい形状に形成させればよい。
【0022】また、上記光半導体ダイは、例えば図5に
示すように透光性の封止部材14で覆われていてもよ
い。封止部材の具体的な材料としては、主としてエポキ
シ樹脂、ユリア樹脂等の耐候性に優れた透光性樹脂が好
適に用いられる。このように構成することで、外部から
保護することができる。また、パッケージに設けられた
リード電極2、3は、銅板、リン青銅板、鉄板等の電気
良導体金属板から形成することができる。リード電極
2、3は、上記パッケージ1の表面に、その一部が露出
するように成形され、LEDダイ4と導通可能となって
いる。
【0023】(成形上型15)本実施の形態において
は、上記パッケージ1成形時の成形上型として、電極間
に凹部9を形成できるような突起16が設けられた突起
付成形上型15を用いることが好ましい。このような突
起付成形上型15を用い、矢印Aで示すように成形樹脂
を射出することによって、リード電極の正極と負極の間
の凹部9を、パッケージ1成形と同時に形成させること
ができる。もちろん、凹部9は、パッケージ1成形後に
削り取る等の方法で形成させてもなんら問題はないが、
突起付成形上型15を用いることで、凹部形成工程を別
に設ける必要もなく、手間が省ける。
【0024】更に、この突起16があることで、パッケ
ージ1成形時のリード電極2、3のズレをも防ぐことが
できる。図7のような突起のない成形上型18を用いて
パッケージを一体成形する場合、リード電極2、3は金
属なので、形が崩れるようなことはまずないものの、溶
融した成形樹脂10が金型17内に矢印Aで示されるよ
うに射出される際の圧力で、多少は変形する。そのた
め、リード電極の正極2と負極3間の間隔にバラツキが
生じる。場合によっては、極端に間隔が狭くなりことも
あり、ショート不良を起こし易くなる。本実施の形態の
ような突起付成形上型15を用いることで、パッケージ
1に凹部9を形成させると共に、電極間に突き出た突起
がリード電極2、3を固定し、電極間に一定の間隔を設
ける働きをするので、LEDダイ実装時の不良も起こり
にくく、安定して光半導体装置を形成することができ
る。
【0025】本実施の形態の突起付成形上型15を用い
て一体成形する場合、突起16の形状が、成形上型を取
り外す際に都合の良い形状にしておくことが好ましい。
さらに前述したように、凹部の側面が傾斜を有し、傾斜
を利用して導電性接着部材が対極側に広がるのを加速す
るようでは意味がないので、パッケージ表面とほぼ垂直
な角度を持った壁面と、パッケージ表面とほぼ水平な角
度を持った面を突起部の先端に有することが好ましい。
あるいは、凹部9の底面を正極側と負極側に分断するよ
うな遮断壁が形成されるような形状の突起にすることも
できる。遮断壁が形成去れるならば、凹部の壁面は傾斜
を有していても問題はない。
【0026】(LEDダイ4)本実施の形態において、
LEDダイ4は一方の主面に正電極5と負電極6とがい
ずれも形成されている光半導体素子であって、パッケー
ジ1に設けられたリード電極2、3上に、フリップチッ
プ実装される。
【0027】
【発明の効果】本発明は、リード電極がショート不良を
起こすのを防ぐことができ、信頼性の高い光半導体装置
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る実施の形態の光半導体装置の模式
的平面図である。
【図2】図1のX−X’線についての模式的断面図であ
る。
【図3】本発明の一実施例を示す模式的断面図である。
【図4】本発明の一実施例を示す模式的断面図である。
【図5】本発明の第2の実施の形態を示す模式的断面図
である。
【図6】本発明の実施の形態の光半導体装置の形成方法
を説明する模式的断面図である。
【図7】本発明の実施の形態の光半導体装置の形成方法
を説明する模式的断面図である。
【符号の説明】
1・・・・パッケージ 2・・・・リード電極(正極) 3・・・・リード電極(負極) 4・・・・LEDダイ 5・・・・LEDダイ電極(正極) 6・・・・LEDダイ電極(負極) 7、8・・・・導電性接着部材 9・・・・凹部 10・・・・成形樹脂 11・・・・凹部内遮断壁 12、13・・・・凹部 14・・・・透光性封止部材 15・・・・突起付成形上型 16・・・・突起 17・・・・金型 18・・・・成形上型

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 正及び負のリード電極と成形樹脂とから
    形成されてなるパッケージと、正及び負のダイ電極が一
    つの主面側に共に形成されてなる光半導体ダイとを備
    え、該光半導体ダイが導電性接着部材を介して上記リー
    ド電極上にフリップチップ実装された光半導体装置であ
    って、 上記パッケージは、上記リード電極の正極と負極の間に
    凹部を有し、該凹部の少なくとも一部が上記光半導体ダ
    イと対向する位置に形成されていることを特徴とする光
    半導体装置。
  2. 【請求項2】 上記光半導体ダイは、透光性の封止部材
    で覆われている請求項1記載の光半導体装置。
  3. 【請求項3】 上記パッケージの成形樹脂は、液晶ポリ
    マー樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、及びセラ
    ミックスからなる群から選択される1つからなる請求項
    1記載の光半導体装置。
  4. 【請求項4】 上記凹部は、その底部において、凹部底
    面を正極側と負極側とに分断する遮断壁が形成されてい
    る請求項1記載の光半導体装置。
  5. 【請求項5】 金型に成形上型と正及び負のリード電極
    とを設置し、該金型中に成形樹脂を射出してパッケージ
    を一体形成し、正及び負のダイ電極が一つの主面側に共
    に形成されてなる光半導体ダイを、導電性接着部材を介
    して上記リード電極上にフリップチップ実装する光半導
    体装置の形成方法であって、 上記一体成形は、成形上型として、パッケージに凹部を
    形成可能な突起を有した突起付成形上型を用いて行わ
    れ、該突起は、リード電極の正極と負極の間と対向し、
    かつ少なくとも一部が光半導体ダイが実装される位置と
    対向していることを特徴とする光半導体装置の形成方
    法。
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