JP2001076683A - トーラス運動を与える誘導性無電極ランプ - Google Patents
トーラス運動を与える誘導性無電極ランプInfo
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- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 誘導結合型無電極ランプにおけるコールド領
域の温度を増加させる装置及び方法を提供する。 【解決手段】 誘導結合型無電極ランプは被包体即ちバ
ルブ内部に位置させた一対の励起コイルを有している。
該一対の励起コイルは、被包体内に少なくとも1つの移
動リング形状電界を発生させるような態様で位置決めさ
れ且つ駆動される。該移動リング電界は被包体内におい
て対応するプラズマ放電の移動リングを形成する。該電
界の移動によって被包体内により一様に高温の体積を形
成し、それによりホトンのエミッション(射出)又は再
放出を容易なものとさせる。
域の温度を増加させる装置及び方法を提供する。 【解決手段】 誘導結合型無電極ランプは被包体即ちバ
ルブ内部に位置させた一対の励起コイルを有している。
該一対の励起コイルは、被包体内に少なくとも1つの移
動リング形状電界を発生させるような態様で位置決めさ
れ且つ駆動される。該移動リング電界は被包体内におい
て対応するプラズマ放電の移動リングを形成する。該電
界の移動によって被包体内により一様に高温の体積を形
成し、それによりホトンのエミッション(射出)又は再
放出を容易なものとさせる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は放電ランプに関する
ものであって、更に詳細には、誘導性無電極ランプの動
作及び構成に関するものである。
ものであって、更に詳細には、誘導性無電極ランプの動
作及び構成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】無電極ランプは交換することなしに1
0,000動作時間を超えて高輝度レベルの光を発生す
ることが可能である。無電極ランプは内部電極を有して
おらず、可視光を射出するための充填物物質のブレーク
ダウン及び励起を発生させるために外部的な構成に依存
する。典型的に、無電極ランプは誘導結合型(H放
電)、容量結合型(E放電)、マイクロ放電、及び進行
波放電に分類される。無電極ランプのある基本原理及び
これらの分類の各々については、例えば、D.O. W
harmby著「照明用無電極ランプ:レビュー(El
ectrodelessLapmps For Lig
hting: A Review)」、IEEE・プロ
シーディングズA、Vol.140、No.6、199
3年11月、465−473頁の文献に記載されてい
る。
0,000動作時間を超えて高輝度レベルの光を発生す
ることが可能である。無電極ランプは内部電極を有して
おらず、可視光を射出するための充填物物質のブレーク
ダウン及び励起を発生させるために外部的な構成に依存
する。典型的に、無電極ランプは誘導結合型(H放
電)、容量結合型(E放電)、マイクロ放電、及び進行
波放電に分類される。無電極ランプのある基本原理及び
これらの分類の各々については、例えば、D.O. W
harmby著「照明用無電極ランプ:レビュー(El
ectrodelessLapmps For Lig
hting: A Review)」、IEEE・プロ
シーディングズA、Vol.140、No.6、199
3年11月、465−473頁の文献に記載されてい
る。
【0003】誘導結合型無電極ランプは変圧器に譬える
ことが可能である。誘導結合型無電極ランプにおいて
は、放電容器(バルブ)内の充填物質(例えば、プラズ
マ)が単一巻線二次コイルとして作用し、一方一次(励
起体)コイルが適宜のインピーダンスマッチングを介し
て電源へ接続している。種々の形態の誘導結合型無電極
ランプが存在しており、一次(励起体)コイルは放電容
器外側とするか、放電容器内側とするか、凹角即ち凹部
内とするか、又はトーラス即ち円環体を形成する筒状ラ
ンプの周りに巻着させることが可能である。磁界は空気
コア又は磁気コアを有するコイルによって供給すること
が可能である。
ことが可能である。誘導結合型無電極ランプにおいて
は、放電容器(バルブ)内の充填物質(例えば、プラズ
マ)が単一巻線二次コイルとして作用し、一方一次(励
起体)コイルが適宜のインピーダンスマッチングを介し
て電源へ接続している。種々の形態の誘導結合型無電極
ランプが存在しており、一次(励起体)コイルは放電容
器外側とするか、放電容器内側とするか、凹角即ち凹部
内とするか、又はトーラス即ち円環体を形成する筒状ラ
ンプの周りに巻着させることが可能である。磁界は空気
コア又は磁気コアを有するコイルによって供給すること
が可能である。
【0004】誘導結合型無電極ランプにおいては、コイ
ル内の交流が変化する磁界を発生し、それがプラズマ内
の電流を駆動する電界を誘起する。誘導結合型無電極ラ
ンプに関与するある電気的特性及び現象は、例えば、
R.B. Piejak etal.著「誘導性RF放
電の簡単な解析(A Simple Analysis
of An Inductive RF Disch
arge)」、プラズマ・ソーシズ・サイエンス・テク
ノロジィ1(1992)、179−186頁に記載され
ている。
ル内の交流が変化する磁界を発生し、それがプラズマ内
の電流を駆動する電界を誘起する。誘導結合型無電極ラ
ンプに関与するある電気的特性及び現象は、例えば、
R.B. Piejak etal.著「誘導性RF放
電の簡単な解析(A Simple Analysis
of An Inductive RF Disch
arge)」、プラズマ・ソーシズ・サイエンス・テク
ノロジィ1(1992)、179−186頁に記載され
ている。
【0005】誘導結合型無電極ランプ用の構造及び動作
技術の例は「高周波数誘導性ランプ及び電力オシレータ
(High Frequency Inductive
Lamp and Power Oscillato
r)」という名称の1999年1月11日付で出願した
米国特許出願第09/228,230号及び米国特許第
5,798,611号に記載されており、それら両者は
引用によってその全体を本明細書に取込む。
技術の例は「高周波数誘導性ランプ及び電力オシレータ
(High Frequency Inductive
Lamp and Power Oscillato
r)」という名称の1999年1月11日付で出願した
米国特許出願第09/228,230号及び米国特許第
5,798,611号に記載されており、それら両者は
引用によってその全体を本明細書に取込む。
【0006】米国特許第4,712,046号において
記載されているように、無電極ランプにおいてのインピ
ーダンスマッチングのために直交(例えば、90゜位相
ずれ)駆動技術が使用されている。楕円偏光又は円偏光
電界を発生するために直交(直角)方法を使用すること
は複数個の平行な導体を使用する誘導結合型プラズマ発
生装置において公知である(例えば米国特許第5,61
9,103号を参照すると良い)。
記載されているように、無電極ランプにおいてのインピ
ーダンスマッチングのために直交(例えば、90゜位相
ずれ)駆動技術が使用されている。楕円偏光又は円偏光
電界を発生するために直交(直角)方法を使用すること
は複数個の平行な導体を使用する誘導結合型プラズマ発
生装置において公知である(例えば米国特許第5,61
9,103号を参照すると良い)。
【0007】更に、直交技術(直角技術とも言う)は、
無電極ランプのバルブ内においてより一様な電界、従っ
て、より一様な放射性放電を与えるために使用されてい
る。この点に関して、マイクロ波無電極ランプの場合に
は、米国特許第5,227,698号では、マイクロ波
エネルギを無電極ランプ空胴へ結合させて該空胴内にお
いて回転フィールドを発生している。米国特許第5,2
27,698号の1実施例においては、90゜だけ変位
されており、90゜だけ位相がずれており、且つ振幅が
等しい2つのフィールドが与えられ、円偏光を有する複
合回転フィールドを空胴内において発生している。
無電極ランプのバルブ内においてより一様な電界、従っ
て、より一様な放射性放電を与えるために使用されてい
る。この点に関して、マイクロ波無電極ランプの場合に
は、米国特許第5,227,698号では、マイクロ波
エネルギを無電極ランプ空胴へ結合させて該空胴内にお
いて回転フィールドを発生している。米国特許第5,2
27,698号の1実施例においては、90゜だけ変位
されており、90゜だけ位相がずれており、且つ振幅が
等しい2つのフィールドが与えられ、円偏光を有する複
合回転フィールドを空胴内において発生している。
【0008】電界の回転は無電極におけるその他の目的
にために使用されており、例えばランプバルブ又はカプ
セルの壁にホットスポットを発生させる可能性のある
「アーク取付き」現象を回避するために使用されてい
る。米国特許第5,498,928号はランプカプセル
周りの励起面内に90゜の位置において4個の電界付与
器を位置させ、且つこれらの電界付与器を90゜オフセ
ットした位相で且つ等しい振幅で駆動することによって
該励起面内において回転する電界ベクトルを有する回転
フィールドを発生させることによってホットスポットを
減少させることを提案している。
にために使用されており、例えばランプバルブ又はカプ
セルの壁にホットスポットを発生させる可能性のある
「アーク取付き」現象を回避するために使用されてい
る。米国特許第5,498,928号はランプカプセル
周りの励起面内に90゜の位置において4個の電界付与
器を位置させ、且つこれらの電界付与器を90゜オフセ
ットした位相で且つ等しい振幅で駆動することによって
該励起面内において回転する電界ベクトルを有する回転
フィールドを発生させることによってホットスポットを
減少させることを提案している。
【0009】典型的に、誘導結合型無電極ランプは、ア
ークがそれ自身を維持するのに充分に安定なものである
限り、「アーク取付き」現象によって影響されることは
ない。更に、容量結合型及びマイクロ波無電極ランプは
バルブを横断する電界を使用するものであるが、誘導結
合型無電極ランプの一次(励起体)コイルによって発生
される磁界は主にバルブの内側において発生するプラズ
マ内に電界を誘起させる。
ークがそれ自身を維持するのに充分に安定なものである
限り、「アーク取付き」現象によって影響されることは
ない。更に、容量結合型及びマイクロ波無電極ランプは
バルブを横断する電界を使用するものであるが、誘導結
合型無電極ランプの一次(励起体)コイルによって発生
される磁界は主にバルブの内側において発生するプラズ
マ内に電界を誘起させる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】誘導結合型無電極ラン
プを単一の誘導コイルで駆動することは、典型的に、両
方のポール即ち極においてコールド(低温)領域を有す
るトロイダル(環状体)形状放電を発生する。一般的
に、その放電体積のより高温の領域はホトンを放射する
傾向があり、一方該放電体積のより低い温度の領域はホ
トンを吸収する傾向がある。該ポールにおけるコールド
領域はプラズマ温度を制限し、その際に可視光を放射す
るのに充分にホット即ち高温の放電体積を制限する。
プを単一の誘導コイルで駆動することは、典型的に、両
方のポール即ち極においてコールド(低温)領域を有す
るトロイダル(環状体)形状放電を発生する。一般的
に、その放電体積のより高温の領域はホトンを放射する
傾向があり、一方該放電体積のより低い温度の領域はホ
トンを吸収する傾向がある。該ポールにおけるコールド
領域はプラズマ温度を制限し、その際に可視光を放射す
るのに充分にホット即ち高温の放電体積を制限する。
【0011】本発明は、以上の点に鑑みなされたもので
あって、誘導結合型無電極ランプにおけるコールド領域
の温度を増加させる方法及び装置を提供することを目的
とする。
あって、誘導結合型無電極ランプにおけるコールド領域
の温度を増加させる方法及び装置を提供することを目的
とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の第一の側面によ
れば、誘導結合型無電極ランプが被包体即ちバルブ外部
に位置されている一対の励起コイルを有している。該一
対の励起コイルは被包体内に少なくとも1つの移動リン
グ形状電界を発生する態様で位置され且つ駆動される。
該移動電界は被包体内に対応するプラズマ放電を形成さ
せる。該放電はバルブ体積のより大きな部分にわたって
発生し、且つコールド領域の温度は上昇される。電界の
移動は被包体内においてより一様なホット即ち高温のプ
ラズマ励起体積を発生し、それによりホトンの射出又は
再放射を容易なものとさせる。
れば、誘導結合型無電極ランプが被包体即ちバルブ外部
に位置されている一対の励起コイルを有している。該一
対の励起コイルは被包体内に少なくとも1つの移動リン
グ形状電界を発生する態様で位置され且つ駆動される。
該移動電界は被包体内に対応するプラズマ放電を形成さ
せる。該放電はバルブ体積のより大きな部分にわたって
発生し、且つコールド領域の温度は上昇される。電界の
移動は被包体内においてより一様なホット即ち高温のプ
ラズマ励起体積を発生し、それによりホトンの射出又は
再放射を容易なものとさせる。
【0013】リング形状電界(及びそれに対応するプラ
ズマ放電)の移動は回転型、振動型、揺動型、又はスイ
ッチング型とすることが可能である。該移動の特性は、
コイルの幾何学的形状及び配向状態及びコイル励起(駆
動)技術等のファクタに依存する。幾つかの実施例にお
いては、一対の励起コイルは直交(直角)技術(例え
ば、位相直交、周波数直交又は振幅直交)によって駆動
される。
ズマ放電)の移動は回転型、振動型、揺動型、又はスイ
ッチング型とすることが可能である。該移動の特性は、
コイルの幾何学的形状及び配向状態及びコイル励起(駆
動)技術等のファクタに依存する。幾つかの実施例にお
いては、一対の励起コイルは直交(直角)技術(例え
ば、位相直交、周波数直交又は振幅直交)によって駆動
される。
【0014】本発明の1つの側面によれば、誘導結合型
無電極ランプが、励起された場合にプラズマ放電を形成
する充填物を封入している被包体、該被包体外部に位置
されている一対の励起コイルであって、該被包体内のプ
ラズマ放電を励起する移動リング電界を該被包体内部に
発生させる態様で位置されており且つ駆動される一対の
励起コイル、該一対の励起コイルへ交流を印加するドラ
イバを有しており、該一対の励起コイルの第一のものへ
印加される交流と該一対の励起コイルの第二のものへ印
加される交流との間に位相差が存在している。好適に
は、該位相差は実質的に90゜である。例えば、該ドラ
イバは、単一信号供給源及び該一対の励起コイルのうち
の第一のものへ印加される交流と該一対の励起コイルの
うちの第二のものへ印加される交流との間に位相差を与
える位相調節用遅延要素を有している。一方、該ドライ
バは第一信号供給源と第二信号供給源とを有しており、
該第一信号供給源は該一対の励起コイルのうちの第一の
ものへ第一位相を有する信号を印加すべく接続されてお
り且つ該第二信号供給源は該一対の励起コイルのうちの
第二のものへ第二位相を有する信号を印加すべく接続さ
れている。一般的に、該一対の励起コイルは、該一対の
励起コイルの夫々の中心を一致させ且つ夫々のコイル軸
を所定の角度で配向させるように位置決めされている。
殆どの実施例においては、該所定の角度は90゜であ
る。幾つかの実施例においては、一方のコイルの軸を垂
直から約10゜乃至15゜の間だけ他方のコイルの軸に
関して傾斜させることが有益的である。殆どの実施例に
おいて、該一対の励起コイルの各々はウェディングリン
グ(結婚指輪)形状を有している。幾つかの実施例にお
いては、該一対のウェディングリング形状励起コイルの
各々は、コイルが互いに交差する区域において幅が減少
されている。
無電極ランプが、励起された場合にプラズマ放電を形成
する充填物を封入している被包体、該被包体外部に位置
されている一対の励起コイルであって、該被包体内のプ
ラズマ放電を励起する移動リング電界を該被包体内部に
発生させる態様で位置されており且つ駆動される一対の
励起コイル、該一対の励起コイルへ交流を印加するドラ
イバを有しており、該一対の励起コイルの第一のものへ
印加される交流と該一対の励起コイルの第二のものへ印
加される交流との間に位相差が存在している。好適に
は、該位相差は実質的に90゜である。例えば、該ドラ
イバは、単一信号供給源及び該一対の励起コイルのうち
の第一のものへ印加される交流と該一対の励起コイルの
うちの第二のものへ印加される交流との間に位相差を与
える位相調節用遅延要素を有している。一方、該ドライ
バは第一信号供給源と第二信号供給源とを有しており、
該第一信号供給源は該一対の励起コイルのうちの第一の
ものへ第一位相を有する信号を印加すべく接続されてお
り且つ該第二信号供給源は該一対の励起コイルのうちの
第二のものへ第二位相を有する信号を印加すべく接続さ
れている。一般的に、該一対の励起コイルは、該一対の
励起コイルの夫々の中心を一致させ且つ夫々のコイル軸
を所定の角度で配向させるように位置決めされている。
殆どの実施例においては、該所定の角度は90゜であ
る。幾つかの実施例においては、一方のコイルの軸を垂
直から約10゜乃至15゜の間だけ他方のコイルの軸に
関して傾斜させることが有益的である。殆どの実施例に
おいて、該一対の励起コイルの各々はウェディングリン
グ(結婚指輪)形状を有している。幾つかの実施例にお
いては、該一対のウェディングリング形状励起コイルの
各々は、コイルが互いに交差する区域において幅が減少
されている。
【0015】本発明の別の側面によれば、誘導結合型無
電極ランプが、励起された場合にプラズマ放電を形成す
る充填物を封入している被包体、該被包体外部に位置さ
れている一対の励起コイルであって、前記被包体内のプ
ラズマ放電を励起する移動リング電界を該被包体内部に
発生させる態様で位置決めされており且つ駆動される一
対の励起コイル、及び該一対の励起コイルへ交流を印加
するドライバを有しており、該ドライバは、該一対の励
起コイルのうちの第一のものへの交流の印加と該一対の
励起コイルのうちの第二のものへの交流の印加との間で
スイッチ動作する。例えば、該スイッチ動作は所定の時
定数で発生する。好適には、該時定数はプラズマの減衰
時間と関連している。例えば、該所定の時定数はミリ秒
の程度であり、特に17ミリ秒程度である。該ドライバ
は、単一信号供給源及び該一対の励起コイルのうちの第
一のものへの交流の印加と該一対の励起コイルのうちの
第二のものへの交流の印加との間でスイッチングを行う
スイッチング要素を有することが可能である。該一対の
励起コイルは、該一対の励起コイルの夫々の中心を一致
させ且つ夫々のコイル軸を所定の角度(例えば、90
゜)に配向させるべく位置決めさせることが可能であ
る。一方、該一対の励起コイルは互いに平行且つ離隔し
た状態で位置決めさせることが可能である。
電極ランプが、励起された場合にプラズマ放電を形成す
る充填物を封入している被包体、該被包体外部に位置さ
れている一対の励起コイルであって、前記被包体内のプ
ラズマ放電を励起する移動リング電界を該被包体内部に
発生させる態様で位置決めされており且つ駆動される一
対の励起コイル、及び該一対の励起コイルへ交流を印加
するドライバを有しており、該ドライバは、該一対の励
起コイルのうちの第一のものへの交流の印加と該一対の
励起コイルのうちの第二のものへの交流の印加との間で
スイッチ動作する。例えば、該スイッチ動作は所定の時
定数で発生する。好適には、該時定数はプラズマの減衰
時間と関連している。例えば、該所定の時定数はミリ秒
の程度であり、特に17ミリ秒程度である。該ドライバ
は、単一信号供給源及び該一対の励起コイルのうちの第
一のものへの交流の印加と該一対の励起コイルのうちの
第二のものへの交流の印加との間でスイッチングを行う
スイッチング要素を有することが可能である。該一対の
励起コイルは、該一対の励起コイルの夫々の中心を一致
させ且つ夫々のコイル軸を所定の角度(例えば、90
゜)に配向させるべく位置決めさせることが可能であ
る。一方、該一対の励起コイルは互いに平行且つ離隔し
た状態で位置決めさせることが可能である。
【0016】好適には、該交流即ち交番電流は少なくと
も300MHzの駆動周波数で印加され、且つ該一対の
励起コイルのうちの各々は該駆動周波数の半波長未満の
実効電気長を有している。より好適には、該駆動周波数
は少なくとも900MHzであり、且つ一対の励起コイ
ルの各々は該駆動周波数の4分の1波長未満の実効電気
長を有している。本明細書において記載する駆動技術
は、光射出用のアパーチャ(開口)の領域以外において
反射性物質で被包体が被覆されている場合に特に有益的
である場合がある。
も300MHzの駆動周波数で印加され、且つ該一対の
励起コイルのうちの各々は該駆動周波数の半波長未満の
実効電気長を有している。より好適には、該駆動周波数
は少なくとも900MHzであり、且つ一対の励起コイ
ルの各々は該駆動周波数の4分の1波長未満の実効電気
長を有している。本明細書において記載する駆動技術
は、光射出用のアパーチャ(開口)の領域以外において
反射性物質で被包体が被覆されている場合に特に有益的
である場合がある。
【0017】
【発明の実施の形態】以下の記載においては、制限を意
図するものではなく説明の目的のために、例えば、特定
のアーキテクチャ、インターフェース、技術等を本発明
の完全なる理解を与えるために特定の詳細について記載
する。然しながら、当業者にとって明らかなように、本
発明は、これらの特定の詳細から逸脱するその他の実施
例においても実施することが可能なものである。その他
の場合においては、不必要な詳細で本発明の記載がぼや
けることがないように、公知の装置、回路、方法の詳細
な説明については割愛する。
図するものではなく説明の目的のために、例えば、特定
のアーキテクチャ、インターフェース、技術等を本発明
の完全なる理解を与えるために特定の詳細について記載
する。然しながら、当業者にとって明らかなように、本
発明は、これらの特定の詳細から逸脱するその他の実施
例においても実施することが可能なものである。その他
の場合においては、不必要な詳細で本発明の記載がぼや
けることがないように、公知の装置、回路、方法の詳細
な説明については割愛する。
【0018】図1は本発明に基づいて構成され且つ動作
される誘導結合型無電極ランプ20の第一実施例を示し
ている。誘導結合型無電極ランプ20は静止光透過性包
囲体即ちバルブであって、ここにおいては被包体22と
して呼称する被包体を有しており、該被包体はプラズマ
形成用充填物24を収容している。一対の単巻励起コイ
ル32,34が被包体22外部に位置されている。後述
するように、該一対の励起コイル32,34は、プラズ
マ中に電流を駆動することによって充填物24を励起
し、それによって可視光を射出することとなるプラズマ
放電を発生させる移動リング電界を発生するような態様
に位置決めされており且つ駆動される。
される誘導結合型無電極ランプ20の第一実施例を示し
ている。誘導結合型無電極ランプ20は静止光透過性包
囲体即ちバルブであって、ここにおいては被包体22と
して呼称する被包体を有しており、該被包体はプラズマ
形成用充填物24を収容している。一対の単巻励起コイ
ル32,34が被包体22外部に位置されている。後述
するように、該一対の励起コイル32,34は、プラズ
マ中に電流を駆動することによって充填物24を励起
し、それによって可視光を射出することとなるプラズマ
放電を発生させる移動リング電界を発生するような態様
に位置決めされており且つ駆動される。
【0019】図1の誘導結合型無電極ランプ20は矩形
状のベース40を有しており、その上に2つのC形状ブ
ロック42,44が並進運動可能に装着されている。各
ブロック42,44は夫々のコイル32,34と関連し
ている容量プレート(後述する)を包含している一対の
励起コイル32,34のうちの夫々の1つを担持してい
る。ベース40の後部から真っ直ぐ上方へ延在している
ペデスタル46が被包体22を支持している。特に、被
包体ステム48がペデスタル46によって上方に保持さ
れており且つベース40の上表面に対して平行に保持さ
れている。ステム48の先端に形成されている被包体2
2は一対の励起コイル32,34の単巻内に位置されて
いる。実際に、励起コイル32,34の単巻は、好適に
は、それらの中心を実質的に被包体22の中心と一致さ
せている。
状のベース40を有しており、その上に2つのC形状ブ
ロック42,44が並進運動可能に装着されている。各
ブロック42,44は夫々のコイル32,34と関連し
ている容量プレート(後述する)を包含している一対の
励起コイル32,34のうちの夫々の1つを担持してい
る。ベース40の後部から真っ直ぐ上方へ延在している
ペデスタル46が被包体22を支持している。特に、被
包体ステム48がペデスタル46によって上方に保持さ
れており且つベース40の上表面に対して平行に保持さ
れている。ステム48の先端に形成されている被包体2
2は一対の励起コイル32,34の単巻内に位置されて
いる。実際に、励起コイル32,34の単巻は、好適に
は、それらの中心を実質的に被包体22の中心と一致さ
せている。
【0020】図1の特定の実施例においては、図2及び
図2A−2Dに示したように、励起コイル32,34の
各々は「ウェディングリング(結婚指輪)」形態を有し
ており、コイル32の単巻即ち半円形セグメントはコイ
ル34の単巻即ち半円形セグメントよりも多少大きい半
径を有している。「ウェディングリング」形態について
は、「高周波数誘導性ランプ及び電力オシレータ(Hi
gh Frequency Inductive La
mpand Power Oscillator)」と
いう名称の1999年1月11日付で出願した米国特許
出願第09/228,230号に記載されており、尚、
それを引用によって本明細書に取込む。更に、該一対の
励起コイル32,34は、コイル32の単巻が存在する
面がコイル34の単巻が存在する面に対して所定の角度
(例えば、90゜)で傾斜しているように配向されてい
る。然しながら、後述するように、コイル形態及び配向
状態の変形例は本発明範囲内のものである。
図2A−2Dに示したように、励起コイル32,34の
各々は「ウェディングリング(結婚指輪)」形態を有し
ており、コイル32の単巻即ち半円形セグメントはコイ
ル34の単巻即ち半円形セグメントよりも多少大きい半
径を有している。「ウェディングリング」形態について
は、「高周波数誘導性ランプ及び電力オシレータ(Hi
gh Frequency Inductive La
mpand Power Oscillator)」と
いう名称の1999年1月11日付で出願した米国特許
出願第09/228,230号に記載されており、尚、
それを引用によって本明細書に取込む。更に、該一対の
励起コイル32,34は、コイル32の単巻が存在する
面がコイル34の単巻が存在する面に対して所定の角度
(例えば、90゜)で傾斜しているように配向されてい
る。然しながら、後述するように、コイル形態及び配向
状態の変形例は本発明範囲内のものである。
【0021】単巻即ち半円形セグメントを有することに
加えて、各コイル32,34は、両方とも、上部直線セ
グメント即ちリードと下部直線セグメント即ちリードと
を有している。コイル32は上部セグメント32t及び
下部セグメント32bを有しており、コイル34は上部
セグメント34t及び下部セグメント34bを有してい
る。各コイル32,34に対して、該上部セグメント及
び下部セグメントはコイル単巻の両側の端部に形成され
ている線形即ち直線の延長部である。各コイルに対し
て、上部セグメント及び下部セグメントは互いに平行で
あり且つベース40の上部に対して平行である。各コイ
ルに対する上部セグメントと下部セグメントとの間には
小さな垂直方向のギャップが存在しており、そのギャッ
プは該コイルの単巻の円形上不連続部に対応する大きさ
を有している。
加えて、各コイル32,34は、両方とも、上部直線セ
グメント即ちリードと下部直線セグメント即ちリードと
を有している。コイル32は上部セグメント32t及び
下部セグメント32bを有しており、コイル34は上部
セグメント34t及び下部セグメント34bを有してい
る。各コイル32,34に対して、該上部セグメント及
び下部セグメントはコイル単巻の両側の端部に形成され
ている線形即ち直線の延長部である。各コイルに対し
て、上部セグメント及び下部セグメントは互いに平行で
あり且つベース40の上部に対して平行である。各コイ
ルに対する上部セグメントと下部セグメントとの間には
小さな垂直方向のギャップが存在しており、そのギャッ
プは該コイルの単巻の円形上不連続部に対応する大きさ
を有している。
【0022】各コイル32,34の上部セグメント及び
下部セグメントはブロック42,44によって担持され
ている夫々上部及び接地面容量プレートへ接続してお
り、且つ、好適には、それらは一体的である。コイル3
2の上部セグメント32tはブロック42に装着されて
いる容量プレート52tと接続しており、コイル32の
下部セグメント32bはブロック42に装着されている
容量プレート52bへ接続している。同様に、コイル3
4の上部セグメント34tはブロック44に装着されて
いる容量プレート54tへ接続しており、コイル34の
下部セグメント34はブロック44に装着されている容
量プレート54bへ接続している。これらの容量プレー
トは誘電体ポストによって位置決めされ又は支持されて
おり、プレート52t及び52bは誘電体ポスト56t
及び56bの間に位置決めされており且つプレート54
t及び54bは誘電体ポスト58t及び58bの間に位
置決めされている。該誘電体ポストは、夫々のプレート
上の圧力を維持し且つそれにより該プレートを所定の位
置に維持するような寸法とされており且つ位置決めされ
ている。該誘電体ポストの高さは、それらの間の要素の
厚さ及び該コイルの所望の位置決め等のファクタに依存
する。
下部セグメントはブロック42,44によって担持され
ている夫々上部及び接地面容量プレートへ接続してお
り、且つ、好適には、それらは一体的である。コイル3
2の上部セグメント32tはブロック42に装着されて
いる容量プレート52tと接続しており、コイル32の
下部セグメント32bはブロック42に装着されている
容量プレート52bへ接続している。同様に、コイル3
4の上部セグメント34tはブロック44に装着されて
いる容量プレート54tへ接続しており、コイル34の
下部セグメント34はブロック44に装着されている容
量プレート54bへ接続している。これらの容量プレー
トは誘電体ポストによって位置決めされ又は支持されて
おり、プレート52t及び52bは誘電体ポスト56t
及び56bの間に位置決めされており且つプレート54
t及び54bは誘電体ポスト58t及び58bの間に位
置決めされている。該誘電体ポストは、夫々のプレート
上の圧力を維持し且つそれにより該プレートを所定の位
置に維持するような寸法とされており且つ位置決めされ
ている。該誘電体ポストの高さは、それらの間の要素の
厚さ及び該コイルの所望の位置決め等のファクタに依存
する。
【0023】図3は図1の容量結合型無電極ランプ20
に対するより詳細な容量構造を示している。容量52c
1及び52c2はコイル32に対して与えられており、
容量54c1及び54c2はコイル34に対して与えら
れている。容量52c1は容量プレート52t(好適に
は、コイル32の上部セグメント32tと一体的)、電
力供給プレート又はブレード53、誘電体52d1を有
している。コイル32の場合にはコンデンサ即ち容量5
2c2は容量プレート52b(好適にはコイル32の下
部セグメント32bと一体的)、ブレード53、誘電体
52d2を有している。コンデンサ54c1は、容量プ
レート54t(好適にはコイル34の上部セグメント3
4tと一体的)、電力供給プレート又はブレード55、
誘電体54d1を有している。コイル34の場合には、
コンデンサ54c2は容量プレート54b(好適には、
コイル32の下部セグメント32bと一体的)、プレー
ト又はブレード55、誘電体54d2を有している。従
って、容量52c1及び52c2は互いに積層形成され
ており、一方コンデンサ54c1及び54c2は互いに
積層形成されている(図3参照)。
に対するより詳細な容量構造を示している。容量52c
1及び52c2はコイル32に対して与えられており、
容量54c1及び54c2はコイル34に対して与えら
れている。容量52c1は容量プレート52t(好適に
は、コイル32の上部セグメント32tと一体的)、電
力供給プレート又はブレード53、誘電体52d1を有
している。コイル32の場合にはコンデンサ即ち容量5
2c2は容量プレート52b(好適にはコイル32の下
部セグメント32bと一体的)、ブレード53、誘電体
52d2を有している。コンデンサ54c1は、容量プ
レート54t(好適にはコイル34の上部セグメント3
4tと一体的)、電力供給プレート又はブレード55、
誘電体54d1を有している。コイル34の場合には、
コンデンサ54c2は容量プレート54b(好適には、
コイル32の下部セグメント32bと一体的)、プレー
ト又はブレード55、誘電体54d2を有している。従
って、容量52c1及び52c2は互いに積層形成され
ており、一方コンデンサ54c1及び54c2は互いに
積層形成されている(図3参照)。
【0024】図4A、図4B、図4Cは図1の誘導結合
型無電極ランプ20を駆動するための異なる技術を示し
ている。図4Aは位相直交(直角)駆動技術を示してお
り、図4Bは位相直交又は周波数直交駆動技術のいずれ
かを示しており、図4Cは振幅直交駆動技術を示してい
る。
型無電極ランプ20を駆動するための異なる技術を示し
ている。図4Aは位相直交(直角)駆動技術を示してお
り、図4Bは位相直交又は周波数直交駆動技術のいずれ
かを示しており、図4Cは振幅直交駆動技術を示してい
る。
【0025】図4Aのドライバは、1つの信号供給源8
0Aを有しており、それは一対の励起コイル32,34
に対して交流即ち交番電流を供給する。図4Aのドライ
バは供給源80Aとコイル32との間に設けられている
位相調節用遅延要素82を介してコイル32へ印加され
る交流とコイル34へ印加される交流との間に所定の位
相差を導入する。図3から理解されるように、交流即ち
交番電流はブレード55を介してコイル34へ印加さ
れ、ブレード55は図4A−図4Cに示したように容量
プレート54tの下側に位置されている。同様に、交流
がブレード53を介してコイル32へ印加され(位相調
節用遅延要素82によって遅延された後に)、ブレード
53は図4A−図4Cに示したように容量プレート52
tの下側に位置されている。信号供給源80Aに対する
例示的な値は915MHzである。位相調節用遅延要素
82の1例は伝送線1/4インチ(0.635cm)×
1及び3/8インチ(3.369cm)(λ/4より僅
かに小さい)である。
0Aを有しており、それは一対の励起コイル32,34
に対して交流即ち交番電流を供給する。図4Aのドライ
バは供給源80Aとコイル32との間に設けられている
位相調節用遅延要素82を介してコイル32へ印加され
る交流とコイル34へ印加される交流との間に所定の位
相差を導入する。図3から理解されるように、交流即ち
交番電流はブレード55を介してコイル34へ印加さ
れ、ブレード55は図4A−図4Cに示したように容量
プレート54tの下側に位置されている。同様に、交流
がブレード53を介してコイル32へ印加され(位相調
節用遅延要素82によって遅延された後に)、ブレード
53は図4A−図4Cに示したように容量プレート52
tの下側に位置されている。信号供給源80Aに対する
例示的な値は915MHzである。位相調節用遅延要素
82の1例は伝送線1/4インチ(0.635cm)×
1及び3/8インチ(3.369cm)(λ/4より僅
かに小さい)である。
【0026】図4Bのドライバは2つの交流信号供給源
80B及び80B′を有している。図4Bのドライバは
2つのモードのうちのいずれかで動作させることが可能
である。両方のモードにおいて、供給源80Bからの信
号はコイル34へ印加され且つ供給源80B′からの信
号はコイル32へ印加される。第一モードにおいては、
2つの供給源80B及び80B′からの信号は同一の周
波数であるが位相が異なっている。従って、図4Bによ
って表される第一モードは、基本的には、図4Aのドラ
イバと同一の結果(位相が異なる)を達成する。第二モ
ードにおいては、コイル34へ印加される供給源80B
からの信号はコイル32へ印加される供給源80B′か
らの信号よりも不相応な周波数のものである。換言する
と、供給源80B及び80B′は相互に異なる周波数で
動作する。例えば、900MHzの通常の動作範囲にお
けるランプの定常状態動作期間中に、供給源80Bから
の信号と供給源80B′からの信号との間の周波数の不
相応の程度(即ち、差)は、被包体22内に揺動電界を
与えるために約20MHzと40MHz(例えば、動作
周波数範囲の約2%乃至4%)の間とすることが可能で
あり、約30MHzが好適である。
80B及び80B′を有している。図4Bのドライバは
2つのモードのうちのいずれかで動作させることが可能
である。両方のモードにおいて、供給源80Bからの信
号はコイル34へ印加され且つ供給源80B′からの信
号はコイル32へ印加される。第一モードにおいては、
2つの供給源80B及び80B′からの信号は同一の周
波数であるが位相が異なっている。従って、図4Bによ
って表される第一モードは、基本的には、図4Aのドラ
イバと同一の結果(位相が異なる)を達成する。第二モ
ードにおいては、コイル34へ印加される供給源80B
からの信号はコイル32へ印加される供給源80B′か
らの信号よりも不相応な周波数のものである。換言する
と、供給源80B及び80B′は相互に異なる周波数で
動作する。例えば、900MHzの通常の動作範囲にお
けるランプの定常状態動作期間中に、供給源80Bから
の信号と供給源80B′からの信号との間の周波数の不
相応の程度(即ち、差)は、被包体22内に揺動電界を
与えるために約20MHzと40MHz(例えば、動作
周波数範囲の約2%乃至4%)の間とすることが可能で
あり、約30MHzが好適である。
【0027】図4Cのドライバは単一の信号供給源80
Cを有しており、それは一対の励起コイル32,34に
対する同一の交流の印加をスイッチ動作する。このスイ
ッチ動作は、供給源80Cとコイル32,34の各々と
の間に位置されているスイッチSWによって達成され
る。当業者は、例えばオペアンプ等を有するスイッチン
グ回路として適宜のスイッチSWを容易に入手又は製造
することが可能である。
Cを有しており、それは一対の励起コイル32,34に
対する同一の交流の印加をスイッチ動作する。このスイ
ッチ動作は、供給源80Cとコイル32,34の各々と
の間に位置されているスイッチSWによって達成され
る。当業者は、例えばオペアンプ等を有するスイッチン
グ回路として適宜のスイッチSWを容易に入手又は製造
することが可能である。
【0028】一対の励起コイル32,34の位置決め及
び図4A、図4B(両モード)、図4Cのドライバを使
用することは、被包体22内に移動リング形状電界を形
成するために直交(直角)原理を使用する。更に、以下
に説明するように、リング形状電界はコイル32,34
のうちの少なくとも1つの軸に関して移動する(例え
ば、回転又はスピン、揺動、又は信号)。移動リング電
界は被包体22内のプラズマ放電の対応する励起を発生
する。
び図4A、図4B(両モード)、図4Cのドライバを使
用することは、被包体22内に移動リング形状電界を形
成するために直交(直角)原理を使用する。更に、以下
に説明するように、リング形状電界はコイル32,34
のうちの少なくとも1つの軸に関して移動する(例え
ば、回転又はスピン、揺動、又は信号)。移動リング電
界は被包体22内のプラズマ放電の対応する励起を発生
する。
【0029】移動リング電界R及びその派生は図5から
理解される。図5は直交するx,y,z軸と相対的な一
対の励起コイル32,34の巻線部(この場合は、単
巻)を示しており、コイル32はy軸周りのコイルとし
て説明し且つコイル34はx軸周りのコイルとして説明
する。コイル32の巻線部はxz面内に存在しており且
つx=y=0を中心としており、且つコイル34の巻線
部はyz面内に存在しており且つx=y=0を中心とし
ている。軸a−bはz軸と一致して示してある。コイル
32は電流Ioxcos(ωt)を有しており、コイル3
4は電流Ioysin(ωt)を有している。
理解される。図5は直交するx,y,z軸と相対的な一
対の励起コイル32,34の巻線部(この場合は、単
巻)を示しており、コイル32はy軸周りのコイルとし
て説明し且つコイル34はx軸周りのコイルとして説明
する。コイル32の巻線部はxz面内に存在しており且
つx=y=0を中心としており、且つコイル34の巻線
部はyz面内に存在しており且つx=y=0を中心とし
ている。軸a−bはz軸と一致して示してある。コイル
32は電流Ioxcos(ωt)を有しており、コイル3
4は電流Ioysin(ωt)を有している。
【0030】図5に示してあり且つ以下の式に示される
ように、各コイル32,34と関連する磁界はコイル3
2,34内側に夫々電界Ey及びExを発生する。以下
の式においては、アクサンシルコンフレックスを付けた
x及びyは単位ベクトルであり、且つBo=Bxo=Byo
である。
ように、各コイル32,34と関連する磁界はコイル3
2,34内側に夫々電界Ey及びExを発生する。以下
の式においては、アクサンシルコンフレックスを付けた
x及びyは単位ベクトルであり、且つBo=Bxo=Byo
である。
【0031】
【数1】
【0032】
【数2】
【0033】次いで、通常の定数を無視すると、次式が
得られる。
得られる。
【0034】
【数3】
【0035】従って、図5、図5A、図5Bは結果的に
得られる移動リング形状電界Rが軸a−bの周り(即
ち、矢印Sで示した方向)に移動(例えば、回転又はス
ピン、揺動、又は振動)することを示している。使用さ
れた特定の駆動技術に従って、電界Rの移動(即ち運
動)は軸a−b周りの回転又はスピン(図5Aに示して
ある)又は軸a−bの周りの揺動又は振動(図5Cに示
してある)とすることが可能である。図5の幾何学的形
状の全ての場合において、移動リング形状電界は軸a−
bの周りに被包体内で移動し、軸a−b及び励起コイル
のうちの一方の巻線部(この場合は単巻)は同一の面内
に存在している(即ち、軸a−b及びコイル32の巻線
部は図5のxz面内に存在している)。被包体内部に存
在する電界Rは対応する励起されたプラズマ放電Pを発
生する。励起されたプラズマ放電Pは電界Rに対応する
繁茂したトロイダル又はドーナツ形状を有している。プ
ラズマP自身は対流等の影響によるものを除いて、分子
の物質移動の意味において移動するものではない。然し
ながら、放電リングは、プラズマPの異なる部分が励起
されるので移動しているように見える場合がある。異な
るコイルの幾何学的形状又はコイル電流等のファクタに
鑑み、電界R、従って励起されたプラズマ放電Pは、図
5Dに示したように、半径方向に収縮及び拡大するよう
に見える場合がある。又、プラズマPはその減衰時間に
関連した持続性を有しているので、励起された放電区域
は、電界Rがこれらの区域と一致するものでない場合に
おいても光を射出し続ける場合がある。
得られる移動リング形状電界Rが軸a−bの周り(即
ち、矢印Sで示した方向)に移動(例えば、回転又はス
ピン、揺動、又は振動)することを示している。使用さ
れた特定の駆動技術に従って、電界Rの移動(即ち運
動)は軸a−b周りの回転又はスピン(図5Aに示して
ある)又は軸a−bの周りの揺動又は振動(図5Cに示
してある)とすることが可能である。図5の幾何学的形
状の全ての場合において、移動リング形状電界は軸a−
bの周りに被包体内で移動し、軸a−b及び励起コイル
のうちの一方の巻線部(この場合は単巻)は同一の面内
に存在している(即ち、軸a−b及びコイル32の巻線
部は図5のxz面内に存在している)。被包体内部に存
在する電界Rは対応する励起されたプラズマ放電Pを発
生する。励起されたプラズマ放電Pは電界Rに対応する
繁茂したトロイダル又はドーナツ形状を有している。プ
ラズマP自身は対流等の影響によるものを除いて、分子
の物質移動の意味において移動するものではない。然し
ながら、放電リングは、プラズマPの異なる部分が励起
されるので移動しているように見える場合がある。異な
るコイルの幾何学的形状又はコイル電流等のファクタに
鑑み、電界R、従って励起されたプラズマ放電Pは、図
5Dに示したように、半径方向に収縮及び拡大するよう
に見える場合がある。又、プラズマPはその減衰時間に
関連した持続性を有しているので、励起された放電区域
は、電界Rがこれらの区域と一致するものでない場合に
おいても光を射出し続ける場合がある。
【0036】誘導結合型無電極ランプ20が位相直交を
使用して駆動される場合には(図4Aのドライバ又は図
4Bのドライバの第一モードによって示されるよう
に)、リング形状電界R(及び被包体22内の誘導性励
起Pのリング)は図5Aに矢印500Aで示したように
励起周波数(ω/2π)で軸a−bの周りを実質的に3
60度回転する。図5Aに示した時刻において、励起プ
ラズマPのリングは図5Aにおける軸a−b周りの角度
位置に鑑み図5Bにおいて上から見た場合に楕円形状を
有している。
使用して駆動される場合には(図4Aのドライバ又は図
4Bのドライバの第一モードによって示されるよう
に)、リング形状電界R(及び被包体22内の誘導性励
起Pのリング)は図5Aに矢印500Aで示したように
励起周波数(ω/2π)で軸a−bの周りを実質的に3
60度回転する。図5Aに示した時刻において、励起プ
ラズマPのリングは図5Aにおける軸a−b周りの角度
位置に鑑み図5Bにおいて上から見た場合に楕円形状を
有している。
【0037】誘導結合型無電極ランプ20が周波数直交
を使用して駆動される場合には(図4Bのドライバによ
って示されるように)、リング形状電界Rは図5Aに示
した態様で軸a−bの周りに回転するが、差周波数にお
いて、即ち2つのコイルを駆動する夫々の周波数の間の
差である周波数において回転する。位相直交(直角)又
は周波数直交(直角)のいずれが使用されるかに拘わら
ず、リング形状電界R、従って被包体22内のプラズマ
放電リングは、通常、少なくとも30MHzの周波数で
回転する。振幅変調スイッチングは、後述するように、
好適には位相又は周波数変調の場合(例えば、マイクロ
秒又はナノ秒)と比較して、かなり遅い時間フレーム上
にある(例えば、ミリ秒)。好適には、この時間フレー
ムはスイッチ動作の間において放電が活性状態に止まり
且つ光を射出するようなものである。一般的には、スイ
ッチングがあまりにも遅い場合には放電を消灯させ、一
方スイッチングがあまりにも速い場合には、特定のプラ
ズマ特性に依存して予測性を持ってプラズマの移動(運
動)を制御することが不可能な場合がある。
を使用して駆動される場合には(図4Bのドライバによ
って示されるように)、リング形状電界Rは図5Aに示
した態様で軸a−bの周りに回転するが、差周波数にお
いて、即ち2つのコイルを駆動する夫々の周波数の間の
差である周波数において回転する。位相直交(直角)又
は周波数直交(直角)のいずれが使用されるかに拘わら
ず、リング形状電界R、従って被包体22内のプラズマ
放電リングは、通常、少なくとも30MHzの周波数で
回転する。振幅変調スイッチングは、後述するように、
好適には位相又は周波数変調の場合(例えば、マイクロ
秒又はナノ秒)と比較して、かなり遅い時間フレーム上
にある(例えば、ミリ秒)。好適には、この時間フレー
ムはスイッチ動作の間において放電が活性状態に止まり
且つ光を射出するようなものである。一般的には、スイ
ッチングがあまりにも遅い場合には放電を消灯させ、一
方スイッチングがあまりにも速い場合には、特定のプラ
ズマ特性に依存して予測性を持ってプラズマの移動(運
動)を制御することが不可能な場合がある。
【0038】図4Cの振幅直交(直角)ドライバにおい
ては、所定の時定数で信号がコイル32,34の間でス
イッチングされる。即ち、図4Cのドライバは、一対の
励起コイル32,34へ交互に電流を印加し、即ち、一
対の励起コイル32,34は所定の時定数を使用してタ
ーンオン及びターンオフされる。このような図4Cのド
ライバを使用して交互に(スイッチングして)電流を印
加することは、図5Cに示した位置PとP′との間で励
起プラズマの揺動又はスイッチングを発生させる。これ
らの位置P及びP′は角度500Cだけ分離されてい
る。励起コイル32,34のターンオン及びターンオフ
のために使用される所定の時定数は、プラズマの測定し
た減衰時間と相対的に選択され、且つ、好適には、プラ
ズマの減衰時間よりも著しく速いものである(例えば、
図示例においては10-3秒の程度)。この減衰時間は、
プラズマへエネルギが印加されることなしにプラズマが
点灯状態を維持する(即ち、消灯することがない)時間
期間に対応している。このような駆動動作は誘導結合型
無電極ランプ20の被包体22内の誘導性励起リングを
して強制的に極性を振動させ、誘導励起リングを強制的
に直交極性とさせ且つ減衰を経験する前に再度復帰させ
る。
ては、所定の時定数で信号がコイル32,34の間でス
イッチングされる。即ち、図4Cのドライバは、一対の
励起コイル32,34へ交互に電流を印加し、即ち、一
対の励起コイル32,34は所定の時定数を使用してタ
ーンオン及びターンオフされる。このような図4Cのド
ライバを使用して交互に(スイッチングして)電流を印
加することは、図5Cに示した位置PとP′との間で励
起プラズマの揺動又はスイッチングを発生させる。これ
らの位置P及びP′は角度500Cだけ分離されてい
る。励起コイル32,34のターンオン及びターンオフ
のために使用される所定の時定数は、プラズマの測定し
た減衰時間と相対的に選択され、且つ、好適には、プラ
ズマの減衰時間よりも著しく速いものである(例えば、
図示例においては10-3秒の程度)。この減衰時間は、
プラズマへエネルギが印加されることなしにプラズマが
点灯状態を維持する(即ち、消灯することがない)時間
期間に対応している。このような駆動動作は誘導結合型
無電極ランプ20の被包体22内の誘導性励起リングを
して強制的に極性を振動させ、誘導励起リングを強制的
に直交極性とさせ且つ減衰を経験する前に再度復帰させ
る。
【0039】2つのコイル23,24は同一の直径を有
するものでない場合があるので(例えば、幾何学的な干
渉を回避するため)、振幅直交駆動を使用するその他の
実施例においては、一対の励起コイル32,34の夫々
の励起時間が多少異なるように選択することが可能であ
る。即ち、各コイルの励起時間は、該コイルとプラズマ
との間の異なる結合定数を調節するために選択すること
が可能である。
するものでない場合があるので(例えば、幾何学的な干
渉を回避するため)、振幅直交駆動を使用するその他の
実施例においては、一対の励起コイル32,34の夫々
の励起時間が多少異なるように選択することが可能であ
る。即ち、各コイルの励起時間は、該コイルとプラズマ
との間の異なる結合定数を調節するために選択すること
が可能である。
【0040】図4Cの振幅変調ドライバは、能動コイル
と受動コイルとの間においてクロストーク信号が発生す
る可能性がある例示的な状態である。コイル32,34
が精密に幾何学的に互いに直交即ち直角である場合に
は、それらの相互インダクタンスは非常に小さくなる。
然しながら、コイル32,34の間の容量結合(それら
の巻線がオーバーラップする箇所)は接地への短絡を発
生させる。この容量結合はかなりのパワー即ち電力が駆
動されたコイルから出て受動コイルへ結合されることと
なり、パワー及び良好に定義された励起面を失うことと
なる。コイル32,34を、例えば、図4Dに示した態
様で互いに向かって傾斜させることによって、その結果
得られる相互インダクタンスを使用してコイル32,3
4の間のクロストークを最小とさせることが可能であ
る。従って、クロストークを回避するためには、一対の
励起コイルのうちの第一のものの巻線部の面を該一対の
励起コイルのうちの第二のものの巻線部の面に関して多
少直交でない即ち直角でない角度で傾斜されるように一
対の励起コイル32,34を被包体外部に位置決めさせ
る。この僅かに非直交である角度は、好適には、10゜
と15゜との間の範囲であり、且つコールドテスト又は
ホットテストのいずれかにおいてネットワークアナライ
ザを使用して選択することが可能である。この傾斜され
る形態は周波数直交等の振幅直交以外の直交駆動技術に
対して有益的なものであり、より高いパワーレベルで動
作することを可能とさせる。
と受動コイルとの間においてクロストーク信号が発生す
る可能性がある例示的な状態である。コイル32,34
が精密に幾何学的に互いに直交即ち直角である場合に
は、それらの相互インダクタンスは非常に小さくなる。
然しながら、コイル32,34の間の容量結合(それら
の巻線がオーバーラップする箇所)は接地への短絡を発
生させる。この容量結合はかなりのパワー即ち電力が駆
動されたコイルから出て受動コイルへ結合されることと
なり、パワー及び良好に定義された励起面を失うことと
なる。コイル32,34を、例えば、図4Dに示した態
様で互いに向かって傾斜させることによって、その結果
得られる相互インダクタンスを使用してコイル32,3
4の間のクロストークを最小とさせることが可能であ
る。従って、クロストークを回避するためには、一対の
励起コイルのうちの第一のものの巻線部の面を該一対の
励起コイルのうちの第二のものの巻線部の面に関して多
少直交でない即ち直角でない角度で傾斜されるように一
対の励起コイル32,34を被包体外部に位置決めさせ
る。この僅かに非直交である角度は、好適には、10゜
と15゜との間の範囲であり、且つコールドテスト又は
ホットテストのいずれかにおいてネットワークアナライ
ザを使用して選択することが可能である。この傾斜され
る形態は周波数直交等の振幅直交以外の直交駆動技術に
対して有益的なものであり、より高いパワーレベルで動
作することを可能とさせる。
【0041】上述した全ての場合に対して、移動リング
形状電界Rが軸a−b上の中間点におけるよりも軸a−
bのポール(極)においてより多くのパワーを結合させ
るという事実に鑑み、プラズマ放電体積は、従来の単一
コイル誘導性ランプの場合におけるよりもより高温(即
ち、より高い最小温度を有している)且つより一様であ
る。移動リング形状電界Rはバルブ即ち被包体22の表
面を横断するものではなく、且つその他の結合技術より
もバルブを介してより一様にパワーを分布させる傾向が
ある。上述した全ての場合において、励起されたプラズ
マ放電Pはそれが軸a−bの周りを移動するに従い繁茂
したトロイダル即ちドーナツ形状を有しているように見
える。
形状電界Rが軸a−b上の中間点におけるよりも軸a−
bのポール(極)においてより多くのパワーを結合させ
るという事実に鑑み、プラズマ放電体積は、従来の単一
コイル誘導性ランプの場合におけるよりもより高温(即
ち、より高い最小温度を有している)且つより一様であ
る。移動リング形状電界Rはバルブ即ち被包体22の表
面を横断するものではなく、且つその他の結合技術より
もバルブを介してより一様にパワーを分布させる傾向が
ある。上述した全ての場合において、励起されたプラズ
マ放電Pはそれが軸a−bの周りを移動するに従い繁茂
したトロイダル即ちドーナツ形状を有しているように見
える。
【0042】上述したように、コイル32,34はその
他の多数の形態及び配向状態をとることが可能である。
例えば、図6A及び図6Bに示したように、コイル32
6及び346はそれらがオーバーラップする領域において
幅が減少されている。コイル326及び346の減少され
たコイル幅はコイル326とコイル346との間の容量結
合を減少させる傾向がある。
他の多数の形態及び配向状態をとることが可能である。
例えば、図6A及び図6Bに示したように、コイル32
6及び346はそれらがオーバーラップする領域において
幅が減少されている。コイル326及び346の減少され
たコイル幅はコイル326とコイル346との間の容量結
合を減少させる傾向がある。
【0043】図7に示した別の例として、該一対の励起
コイルは正確に円形である巻線部を有することが必要な
ものではなく、その代わりに、コイル327によって示
されるような基本的に楕円形状の巻線部を有することが
可能である。図1の実施例は中心を同じくするコイル3
4の巻線部よりもコイル32の巻線部がより大きな半径
を有しているものであったが、図8及び図9の実施例は
一対のコイルの巻線部に対して基本的に同一の半径とす
ることを可能としている。図8において、コイル328
及び348の巻線部の半径は実質的に同一であり、何故
ならば、各コイルの巻線部が他のコイルの巻線部の円形
状の不連続部(上部及び下部コイルセグメントにおい
て)を介して延在するように各コイルを位置決めしてい
るからである。図8の実施例においては、コイル328
の上部及び下部セグメント32t8及び32b8は、夫
々、コイル348の夫々の上部及び下部セグメント34
t8及び34b8に関して被包体22の周りに直交して配
向されているものではなく、その代わりに、被包体22
の周りに180゜配向されている。図9の実施例におい
ては、各コイルの巻線部が他方のコイルの巻線部が存在
する創造的球面の部分的に外側及び部分的に内側にある
ようにコイルの巻線部の中心を互いにオフセットして位
置させることによりコイル329及び349に対して同一
の半径を達成している。
コイルは正確に円形である巻線部を有することが必要な
ものではなく、その代わりに、コイル327によって示
されるような基本的に楕円形状の巻線部を有することが
可能である。図1の実施例は中心を同じくするコイル3
4の巻線部よりもコイル32の巻線部がより大きな半径
を有しているものであったが、図8及び図9の実施例は
一対のコイルの巻線部に対して基本的に同一の半径とす
ることを可能としている。図8において、コイル328
及び348の巻線部の半径は実質的に同一であり、何故
ならば、各コイルの巻線部が他のコイルの巻線部の円形
状の不連続部(上部及び下部コイルセグメントにおい
て)を介して延在するように各コイルを位置決めしてい
るからである。図8の実施例においては、コイル328
の上部及び下部セグメント32t8及び32b8は、夫
々、コイル348の夫々の上部及び下部セグメント34
t8及び34b8に関して被包体22の周りに直交して配
向されているものではなく、その代わりに、被包体22
の周りに180゜配向されている。図9の実施例におい
ては、各コイルの巻線部が他方のコイルの巻線部が存在
する創造的球面の部分的に外側及び部分的に内側にある
ようにコイルの巻線部の中心を互いにオフセットして位
置させることによりコイル329及び349に対して同一
の半径を達成している。
【0044】図10は、コイル3210及びコイル3410
が互いに直交している「分割」ウェディングリングとし
て形成した場合の例を示している。図10の「分割」ウ
ェディングリングコイル3210及び3410においては、
各コイルの中間セクションは除去されている。何故なら
ば、ある場合においては、該コイルの中間セクションの
除去は実効的に性能を変化させるものではないからであ
る。従って、コイル3210及びコイル3410の各々は、
構成的には、除去された中間セクション即ちギャップに
関して密接して離隔されている2つのコイルコンポーネ
ントである。有益なことであるが、コイル3210及びコ
イル3410の表面積が減少されるので、図2の対応する
コイルと比較してコイル間容量が減少される。然しなが
ら、機能的には、各コイルの2つのコイルコンポーネン
トは基本的には図2の対応するコイルと同一の性能を達
成する。
が互いに直交している「分割」ウェディングリングとし
て形成した場合の例を示している。図10の「分割」ウ
ェディングリングコイル3210及び3410においては、
各コイルの中間セクションは除去されている。何故なら
ば、ある場合においては、該コイルの中間セクションの
除去は実効的に性能を変化させるものではないからであ
る。従って、コイル3210及びコイル3410の各々は、
構成的には、除去された中間セクション即ちギャップに
関して密接して離隔されている2つのコイルコンポーネ
ントである。有益なことであるが、コイル3210及びコ
イル3410の表面積が減少されるので、図2の対応する
コイルと比較してコイル間容量が減少される。然しなが
ら、機能的には、各コイルの2つのコイルコンポーネン
トは基本的には図2の対応するコイルと同一の性能を達
成する。
【0045】図17A−17Bは、コイル3217が図1
0に示したコイルよりもより大きな距離だけ離隔されて
いる部材32A17及び37B17を有する「分割」ウェデ
ィングリングとして形成されている場合の例を示してい
る。一方、コイル3417は分割されておらず、コイル部
材32A17及び32B17に対して直交している。一般的
にウェディングリングタイプのコイルの場合には、コイ
ルの幅はバルブの内径よりも僅かに小さいものからバル
ブの内径の約半分の範囲内のものであることが好適であ
る。例えば、バルブが6mmの内径を有しており且つコ
イルが9mmの内径を有している場合には、該コイル
は、好適には、約2.5mm乃至5.5mmの範囲内の
幅と約1/6mm乃至2/3mmの厚さを有するべきで
ある。図17A−17Bに示した特定の形態の場合に
は、コイル部材32A17及び32B17の各々はこの範囲
の下側端部における幅を有しており(例えば、図17B
における32W17で示したように2.5mm)、一方コ
イル3417はこの範囲の上側端部における幅34W17を
有している(例えば、5.5mm)。
0に示したコイルよりもより大きな距離だけ離隔されて
いる部材32A17及び37B17を有する「分割」ウェデ
ィングリングとして形成されている場合の例を示してい
る。一方、コイル3417は分割されておらず、コイル部
材32A17及び32B17に対して直交している。一般的
にウェディングリングタイプのコイルの場合には、コイ
ルの幅はバルブの内径よりも僅かに小さいものからバル
ブの内径の約半分の範囲内のものであることが好適であ
る。例えば、バルブが6mmの内径を有しており且つコ
イルが9mmの内径を有している場合には、該コイル
は、好適には、約2.5mm乃至5.5mmの範囲内の
幅と約1/6mm乃至2/3mmの厚さを有するべきで
ある。図17A−17Bに示した特定の形態の場合に
は、コイル部材32A17及び32B17の各々はこの範囲
の下側端部における幅を有しており(例えば、図17B
における32W17で示したように2.5mm)、一方コ
イル3417はこの範囲の上側端部における幅34W17を
有している(例えば、5.5mm)。
【0046】図11は鉄アレイに似た断面形状を有する
コイル3211を示している。換言すると、図11のコイ
ル3211のリング端部はコイルのより薄い中間部即ち中
間セクションと比較して幾分球根状である。前述した実
施例のうちの適宜のものにおける両方のコイル23及び
34は、図11に示したコイルの鉄アレイ断面を有する
ことが可能である。
コイル3211を示している。換言すると、図11のコイ
ル3211のリング端部はコイルのより薄い中間部即ち中
間セクションと比較して幾分球根状である。前述した実
施例のうちの適宜のものにおける両方のコイル23及び
34は、図11に示したコイルの鉄アレイ断面を有する
ことが可能である。
【0047】図12A及び12Bはコイルが平行な面内
に存在している実施例を例示している(種々の前述した
実施例の態様において互いに直交しているものと異な
る)。図12Aにおいては、コイル3212A及びコイル
3412Aは平行な面、例えば両方とも軸1200Aに対
して垂直な面内に存在しており、コイル3212A及び3
41 2Aの平坦な即ち直線的な部分は軸1200Aに対し
て同一の方向に配向している。図12Bにおいては、コ
イル3212B及びコイル3412Bは平行な面内に存在して
いるが、コイル3212A及び3412Aの平坦な即ち直線的
な部分は軸1200Bに関してゼロでない角度に配向さ
れている(例えば、軸1200Bに関して180゜の角
度で配向されている)。図12Aの実施例及び図12B
の実施例は、両方とも、好適には、直交(直角)技術を
使用して駆動される。例えば、図4Cの振幅直交駆動技
術を使用することが可能であり、交流(供給源80から
供給される)がスイッチSWを介してコイル32と34
との間でスイッチされる。
に存在している実施例を例示している(種々の前述した
実施例の態様において互いに直交しているものと異な
る)。図12Aにおいては、コイル3212A及びコイル
3412Aは平行な面、例えば両方とも軸1200Aに対
して垂直な面内に存在しており、コイル3212A及び3
41 2Aの平坦な即ち直線的な部分は軸1200Aに対し
て同一の方向に配向している。図12Bにおいては、コ
イル3212B及びコイル3412Bは平行な面内に存在して
いるが、コイル3212A及び3412Aの平坦な即ち直線的
な部分は軸1200Bに関してゼロでない角度に配向さ
れている(例えば、軸1200Bに関して180゜の角
度で配向されている)。図12Aの実施例及び図12B
の実施例は、両方とも、好適には、直交(直角)技術を
使用して駆動される。例えば、図4Cの振幅直交駆動技
術を使用することが可能であり、交流(供給源80から
供給される)がスイッチSWを介してコイル32と34
との間でスイッチされる。
【0048】例えば図12A及び図12Bに示したよう
な本発明の実施例の場合には、コイルが平行な面内に存
在しており、図13から理解されるような態様でコイル
の面の間でスイッチする移動リング電界Rを発生する。
図13は位置P13TとP13Bとの間でスイッチングする繁
茂なトロイダル即ちドーナツ形状をした励起プラズマ放
電を示している(側部から)。プラズマの緩和時間に依
存して、励起されたプラズマ放電は位置P13TとP13Bと
の間で跳ね返るか又は連続体として往復運動するように
見える場合がある。このような跳ね返り運動の様相は、
コイル間でのスイッチングにおいて、コイル間の領域を
加熱する傾向が存在するという事実から発生する。
な本発明の実施例の場合には、コイルが平行な面内に存
在しており、図13から理解されるような態様でコイル
の面の間でスイッチする移動リング電界Rを発生する。
図13は位置P13TとP13Bとの間でスイッチングする繁
茂なトロイダル即ちドーナツ形状をした励起プラズマ放
電を示している(側部から)。プラズマの緩和時間に依
存して、励起されたプラズマ放電は位置P13TとP13Bと
の間で跳ね返るか又は連続体として往復運動するように
見える場合がある。このような跳ね返り運動の様相は、
コイル間でのスイッチングにおいて、コイル間の領域を
加熱する傾向が存在するという事実から発生する。
【0049】図14は誘導結合型無電極ランプ、特にラ
ンプ120の別の実施例を示している。図1の実施例の
場合におけるように、誘導結合型無電極ランプ120は
被包体122と一対の単巻励起コイル132,134と
を有している。図1の実施例におけるように、誘導結合
型無電極ランプ120のコイル132,134の巻線部
は被包体122の中心に一致する曲率中心を有してい
る。コイル132及び134はそれらの軸を90゜離し
て配向されている。被包体122は支持体146上に静
止状に支持されており、支持体146はベース140に
固定されている。
ンプ120の別の実施例を示している。図1の実施例の
場合におけるように、誘導結合型無電極ランプ120は
被包体122と一対の単巻励起コイル132,134と
を有している。図1の実施例におけるように、誘導結合
型無電極ランプ120のコイル132,134の巻線部
は被包体122の中心に一致する曲率中心を有してい
る。コイル132及び134はそれらの軸を90゜離し
て配向されている。被包体122は支持体146上に静
止状に支持されており、支持体146はベース140に
固定されている。
【0050】誘導結合型無電極ランプ120の場合に
は、コンデンサ152及び154が夫々のコイル13
2,134と関連している。コンデンサ152及び15
4は同心状であり且つ離隔されている導電性円筒152
c,154c及び160によって構成されている。円筒
152cはコイル132の一端へ接続しており、円筒1
54cはコイル134の一端へ接続している。コイル1
32及び134の残りの端部は導電性ロッド164によ
って接地接続されている。従って、コンデンサ152は
円筒152cと円筒160とによって形成されており、
それらの間に空気誘電体が存在しており、コンデンサ1
54は円筒154cと円筒160とによって形成されて
おり、それらの間に空気誘電体が存在している。
は、コンデンサ152及び154が夫々のコイル13
2,134と関連している。コンデンサ152及び15
4は同心状であり且つ離隔されている導電性円筒152
c,154c及び160によって構成されている。円筒
152cはコイル132の一端へ接続しており、円筒1
54cはコイル134の一端へ接続している。コイル1
32及び134の残りの端部は導電性ロッド164によ
って接地接続されている。従って、コンデンサ152は
円筒152cと円筒160とによって形成されており、
それらの間に空気誘電体が存在しており、コンデンサ1
54は円筒154cと円筒160とによって形成されて
おり、それらの間に空気誘電体が存在している。
【0051】インダクタ164が直列入力インダクタン
スとして示されており、それはRF入力端子165の中
央端子と円筒160との間に接続されているブレードと
することも可能である。円筒160はコンデンサ152
及び154に対する共通プレートを形成している。コン
デンサ166は円筒160と接地との間に接続されてい
る。コンデンサ166は大きな容量値を有するディスク
リート即ち個別のコンデンサとすることが可能であり且
つコイル132と134とを包含する共振回路に対する
インピーダンスマッチングを与える。この点に関して、
コンデンサ152及び154はコイル132及び134
と共に並列共振回路を形成している(コンデンサ166
の著しくより高い値を無視する)。
スとして示されており、それはRF入力端子165の中
央端子と円筒160との間に接続されているブレードと
することも可能である。円筒160はコンデンサ152
及び154に対する共通プレートを形成している。コン
デンサ166は円筒160と接地との間に接続されてい
る。コンデンサ166は大きな容量値を有するディスク
リート即ち個別のコンデンサとすることが可能であり且
つコイル132と134とを包含する共振回路に対する
インピーダンスマッチングを与える。この点に関して、
コンデンサ152及び154はコイル132及び134
と共に並列共振回路を形成している(コンデンサ166
の著しくより高い値を無視する)。
【0052】図14の誘導結合型無電極ランプ120に
対する等価な結合回路170を図15に示してある。図
15は、特に、夫々のコンデンサ152及び154へ直
列接続されている単巻コイル132及び134を示して
いる。コネクタ165の50Ω入力に対するインピーダ
ンスマッチングは、インダクタンス164とコンデンサ
166とによって与えられている。上述したように、コ
ンデンサ16の容量はコンデンサ152又は154のい
ずれの容量よりも著しく大きい。コンデンサ152及び
154の容量は正確に等しいものではないがほぼ等し
い。
対する等価な結合回路170を図15に示してある。図
15は、特に、夫々のコンデンサ152及び154へ直
列接続されている単巻コイル132及び134を示して
いる。コネクタ165の50Ω入力に対するインピーダ
ンスマッチングは、インダクタンス164とコンデンサ
166とによって与えられている。上述したように、コ
ンデンサ16の容量はコンデンサ152又は154のい
ずれの容量よりも著しく大きい。コンデンサ152及び
154の容量は正確に等しいものではないがほぼ等し
い。
【0053】図15は、更に、容量結合型無電極ランプ
120をテストし且つ解析するのみならず電力を供給す
るために使用することが可能な電力回路の1例を示して
いる。端子165が指向性結合器180及び182を介
して、更に、線形RF増幅器184を介してRFオシレ
ータ185へ接続している。指向性結合器182はネッ
トワークアナライザ186とインターフェースし、指向
性結合器は該RF信号を前方電力メータ187及び逆電
力メータ188へ印加する。当業者によって理解される
ように、該電力供給源は図15に示した回路以外の形態
をとることが可能である。
120をテストし且つ解析するのみならず電力を供給す
るために使用することが可能な電力回路の1例を示して
いる。端子165が指向性結合器180及び182を介
して、更に、線形RF増幅器184を介してRFオシレ
ータ185へ接続している。指向性結合器182はネッ
トワークアナライザ186とインターフェースし、指向
性結合器は該RF信号を前方電力メータ187及び逆電
力メータ188へ印加する。当業者によって理解される
ように、該電力供給源は図15に示した回路以外の形態
をとることが可能である。
【0054】動作について説明すると、誘導結合型無電
極ランプ120は2つの並列共振回路を見る。第一共振
回路は、コンデンサ162と並列なコイル132とコン
デンサ152との直列接続によって形成されている。第
二共振回路は、コンデンサ162と並列なコイル134
とコンデンサ154との直列接続によって形成されてい
る。これら2つの共振回路は、それらの共振周波数が僅
かに離れており、従って、印加電力(インダクタ164
への端子165において)が2つの共振周波数の間の半
分である場合には、コイル132における電流とコイル
134における電流との間には90゜の位相差が存在し
ている。
極ランプ120は2つの並列共振回路を見る。第一共振
回路は、コンデンサ162と並列なコイル132とコン
デンサ152との直列接続によって形成されている。第
二共振回路は、コンデンサ162と並列なコイル134
とコンデンサ154との直列接続によって形成されてい
る。これら2つの共振回路は、それらの共振周波数が僅
かに離れており、従って、印加電力(インダクタ164
への端子165において)が2つの共振周波数の間の半
分である場合には、コイル132における電流とコイル
134における電流との間には90゜の位相差が存在し
ている。
【0055】上述したような態様で誘導結合型無電極ラ
ンプ120のコイル132と134との直交即ち直角動
作が与えられると、ランプ120用の被包体122内部
において回転リング形状電界Rが発生される。従って、
図5における移動リング形状電界Rの形態及びそれに関
連して説明した原理は、図14の実施例に対して適用可
能であるのみならず、図1の実施例のようなその他の実
施例に対しても適用可能である。
ンプ120のコイル132と134との直交即ち直角動
作が与えられると、ランプ120用の被包体122内部
において回転リング形状電界Rが発生される。従って、
図5における移動リング形状電界Rの形態及びそれに関
連して説明した原理は、図14の実施例に対して適用可
能であるのみならず、図1の実施例のようなその他の実
施例に対しても適用可能である。
【0056】本明細書に記載したランプ及び本発明の範
囲内のランプは低、中間、高パワー(電力)範囲におい
て動作することが可能である。本明細書に例示したラン
プに適用可能な信号は、好適には、200MHz乃至2
000MHz帯域内のものであり、300MHz乃至9
00MHzの帯域が最も好適な周波数帯域である。
囲内のランプは低、中間、高パワー(電力)範囲におい
て動作することが可能である。本明細書に例示したラン
プに適用可能な信号は、好適には、200MHz乃至2
000MHz帯域内のものであり、300MHz乃至9
00MHzの帯域が最も好適な周波数帯域である。
【0057】本発明は充填物に依存するものではない。
この点に関して、本明細書に記載したランプに対しては
種々のタイプの充填物を使用することが可能である。例
えば、図1の誘導結合型無電極ランプ20の被包体22
は内径が6mmで外径が7mmのバルブであって、0.
05mgのセレン及び0.01mg未満の臭化セシウム
(CsBr)を500トールのXeで収容するバルブと
することが可能である。その他の充填物物質及び充填物
物質の組合せも可能であり、例えば、硫黄、セレン、テ
ルル、臭化インジウム等の高インピーダンス電気的陰性
充填物、及びそれらの組合せ等がある。水銀をベースと
したもの及びその他のハロゲン化金属を使用することも
可能である。
この点に関して、本明細書に記載したランプに対しては
種々のタイプの充填物を使用することが可能である。例
えば、図1の誘導結合型無電極ランプ20の被包体22
は内径が6mmで外径が7mmのバルブであって、0.
05mgのセレン及び0.01mg未満の臭化セシウム
(CsBr)を500トールのXeで収容するバルブと
することが可能である。その他の充填物物質及び充填物
物質の組合せも可能であり、例えば、硫黄、セレン、テ
ルル、臭化インジウム等の高インピーダンス電気的陰性
充填物、及びそれらの組合せ等がある。水銀をベースと
したもの及びその他のハロゲン化金属を使用することも
可能である。
【0058】理解すべきことであるが、上述した容量構
造を構成する物質は本発明にとって臨界的なものではな
く、且つ当業者は適宜の物質を選択することが可能なも
のである。例えば、絶縁層物質として、例えばポリイミ
ド又はカプトン(Kapton)(商標)を使用するこ
とが可能である。
造を構成する物質は本発明にとって臨界的なものではな
く、且つ当業者は適宜の物質を選択することが可能なも
のである。例えば、絶縁層物質として、例えばポリイミ
ド又はカプトン(Kapton)(商標)を使用するこ
とが可能である。
【0059】被包体22は例えば石英等の任意の適宜の
物質から形成することが可能である。被包体22は図示
例においては球状形状を有しているが、被包体22に対
してその他の形状のものとすることが可能であり、例え
ば円筒形状及びピルボックス型形状とすることが可能で
ある。
物質から形成することが可能である。被包体22は図示
例においては球状形状を有しているが、被包体22に対
してその他の形状のものとすることが可能であり、例え
ば円筒形状及びピルボックス型形状とすることが可能で
ある。
【0060】図示例においては、コイル(例えば、3
2,34及び132,134)は単巻を有するものとし
て例示してある。然しながら、理解すべきことである
が、本明細書に記載した現象及び本発明原理は複数巻を
有するコイルに同様に適用可能なものである。更に、有
益的なものである場合には異なるタイプの幾何学的形状
を有するコイルを使用することが可能である(例えば、
アークを最小とさせるため、直交駆動に対して寸法を最
適化させるため等)。好適には、各励起コイルの実効電
気長は印加される励起周波数の半波長未満のものであり
且つ最も好適には所望のフィールド/プラズマ運動に関
する悪影響を回避するためには励起周波数の4分の1波
長未満である。
2,34及び132,134)は単巻を有するものとし
て例示してある。然しながら、理解すべきことである
が、本明細書に記載した現象及び本発明原理は複数巻を
有するコイルに同様に適用可能なものである。更に、有
益的なものである場合には異なるタイプの幾何学的形状
を有するコイルを使用することが可能である(例えば、
アークを最小とさせるため、直交駆動に対して寸法を最
適化させるため等)。好適には、各励起コイルの実効電
気長は印加される励起周波数の半波長未満のものであり
且つ最も好適には所望のフィールド/プラズマ運動に関
する悪影響を回避するためには励起周波数の4分の1波
長未満である。
【0061】有益的なことであるが、本発明実施例は、
例えば図5における軸a−b等の軸のポールにおいて
も、従来の誘導性ランプと比較して、被包体即ちバルブ
内においてより一様であり且つより高温の励起プラズマ
放電体積を与えるものである。プラズマ放電体積がより
一様に高温であればある程、該体積は一様にホトンを射
出し且つより多くの光を供給するものと考えられる。更
に、プラズマ放電体積がより高温であればある程、該体
積のコールド領域がホトンを吸収する可能性はより低く
且つホトンが再放出される可能性がより高くなる。換言
すると、より一様で高温のプラズマは、吸収されたホト
ンが失われるのではなくプラズマの温度によって支配さ
れて再放出を行う可能性を増加させる。
例えば図5における軸a−b等の軸のポールにおいて
も、従来の誘導性ランプと比較して、被包体即ちバルブ
内においてより一様であり且つより高温の励起プラズマ
放電体積を与えるものである。プラズマ放電体積がより
一様に高温であればある程、該体積は一様にホトンを射
出し且つより多くの光を供給するものと考えられる。更
に、プラズマ放電体積がより高温であればある程、該体
積のコールド領域がホトンを吸収する可能性はより低く
且つホトンが再放出される可能性がより高くなる。換言
すると、より一様で高温のプラズマは、吸収されたホト
ンが失われるのではなくプラズマの温度によって支配さ
れて再放出を行う可能性を増加させる。
【0062】このように向上された再放出は、光がアパ
ーチャ即ち開口を介して射出される本発明の実施例にと
っては特に重要である。アパーチャバルブ形態において
は、射出されたホトンはアパーチャを介して外部に射出
される前に、プラズマを介して多数回通過する。本発明
のアパーチャランプ実施例の1つの例を図16に示して
ある。図16のランプは図1のランプ20に類似してい
るが、被包体22(図16においては見えない)が反射
性ジャケット1600によって包囲されている点が異な
っている。ジャケット1600は光透過性のアパーチャ
(開口)1602を有しており、それを介して光が外部
へ射出される。アパーチャ無電極ランプのその他の例
は、例えば、米国特許第5,903,091号に記載さ
れており、それを引用によって本明細書に取込む。
ーチャ即ち開口を介して射出される本発明の実施例にと
っては特に重要である。アパーチャバルブ形態において
は、射出されたホトンはアパーチャを介して外部に射出
される前に、プラズマを介して多数回通過する。本発明
のアパーチャランプ実施例の1つの例を図16に示して
ある。図16のランプは図1のランプ20に類似してい
るが、被包体22(図16においては見えない)が反射
性ジャケット1600によって包囲されている点が異な
っている。ジャケット1600は光透過性のアパーチャ
(開口)1602を有しており、それを介して光が外部
へ射出される。アパーチャ無電極ランプのその他の例
は、例えば、米国特許第5,903,091号に記載さ
れており、それを引用によって本明細書に取込む。
【0063】本発明の実施例においては、移動リング電
界及び励起されたプラズマ体積は収縮及び拡大(トロイ
ドの半径方向において)するように見える場合がある。
このような収縮及び拡大(即ち励起されたプラズマ体積
の変動する半径)は、例えば、コイルにおける対称性の
欠如及び/又はコイル内を流れる電流が異なること等の
種々の理由によって発生する。
界及び励起されたプラズマ体積は収縮及び拡大(トロイ
ドの半径方向において)するように見える場合がある。
このような収縮及び拡大(即ち励起されたプラズマ体積
の変動する半径)は、例えば、コイルにおける対称性の
欠如及び/又はコイル内を流れる電流が異なること等の
種々の理由によって発生する。
【0064】以上、本発明の具体的実施の態様について
詳細に説明したが、本発明は、これら具体例にのみ制限
されるべきものではなく、本発明の技術的範囲を逸脱す
ることなしに種々の変形が可能であることは勿論であ
る。
詳細に説明したが、本発明は、これら具体例にのみ制限
されるべきものではなく、本発明の技術的範囲を逸脱す
ることなしに種々の変形が可能であることは勿論であ
る。
【図1】 本発明の第一実施例に基づく誘導結合型無電
極ランプの斜視図。
極ランプの斜視図。
【図2】 図1のランプのコイル及びバルブコンポーネ
ントの概略斜視図。
ントの概略斜視図。
【図2A】 図2に示したコイル及びランプコンポーネ
ントの概略平面図。
ントの概略平面図。
【図2B】 図2に示したコイル及びランプコンポーネ
ントの概略正面図。
ントの概略正面図。
【図2C】 図2に示したコイル及びランプコンポーネ
ントの概略右側面図。
ントの概略右側面図。
【図3】 図1のランプのコイル及びリングコンポーネ
ント及び容量を示した一部断面概略側面図。
ント及び容量を示した一部断面概略側面図。
【図4】 (A),(B),(C),(D)は図1のラ
ンプに対する異なる直交駆動技術又はコイル配向状態を
示した各概略図。
ンプに対する異なる直交駆動技術又はコイル配向状態を
示した各概略図。
【図5】 図1のランプによって形成される移動リング
電界を示した概略図。
電界を示した概略図。
【図5A】 励起されたプラズマ充填物の回転を示した
概略図。
概略図。
【図5B】 図5Aの概略平面図。
【図5C】 励起されたプラズマ充填物の揺動を示した
概略側面図。
概略側面図。
【図6A】 本発明の別の実施例に基づくコイル形態を
示した概略平面図。
示した概略平面図。
【図6B】 図6Aのコイル形態の概略斜視図。
【図7】 図1のランプに使用するのに適した別のコイ
ル形態及び配向状態を示した概略斜視図。
ル形態及び配向状態を示した概略斜視図。
【図8】 図1のランプに使用するのに適した別のコイ
ル形態及び配向状態を示した概略斜視図。
ル形態及び配向状態を示した概略斜視図。
【図9】 図1のランプに使用するのに適した別のコイ
ル形態及び配向状態を示した概略斜視図。
ル形態及び配向状態を示した概略斜視図。
【図10】 コイルが「分割」ウェディングリング形態
を有している別の実施例のランプのコイル及びバルブコ
ンポーネントの後部概略斜視図。
を有している別の実施例のランプのコイル及びバルブコ
ンポーネントの後部概略斜視図。
【図11】 鉄アレイに類似した断面形状を有している
コイルの概略断面図。
コイルの概略断面図。
【図12】 (A)及び(B)はコイルが平行な面内に
存在しているランプの2つの実施例の一部を示した各概
略斜視図。
存在しているランプの2つの実施例の一部を示した各概
略斜視図。
【図13】 図12(A)又は(B)のランプによって
形成される跳ね返り又はスイッチングを行うリング電界
を示した概略図。
形成される跳ね返り又はスイッチングを行うリング電界
を示した概略図。
【図14】 本発明の別の実施例に基づく誘導結合型無
電極ランプの概略斜視図。
電極ランプの概略斜視図。
【図15】 図14に示したコンポーネントに対する電
気的等価回路を含む回路の概略図。
気的等価回路を含む回路の概略図。
【図16】 本発明の原理を使用するアパーチャ無電極
ランプのコイル及びバルブコンポーネントを示した後部
概略斜視図。
ランプのコイル及びバルブコンポーネントを示した後部
概略斜視図。
【図17A】 図1のランプに使用するのに適したコイ
ル形態及び配向状態の別の例を示した概略斜視図。
ル形態及び配向状態の別の例を示した概略斜視図。
【図17B】 図17Aのコイル形態及び配向状態の実
施例の概略平面図。
施例の概略平面図。
【図17C】 図17Aのコイル形態及び配向状態の実
施例の概略正面図。
施例の概略正面図。
【図17D】 図17Aのコイル形態及び配向状態の実
施例の概略右側面図。
施例の概略右側面図。
20 誘導結合型無電極ランプ 22 被包体(バルブ) 32,34 コイル 80 信号供給源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ブライアン ピー. ターナー アメリカ合衆国, メリーランド 20872, ダマスカス, クロスカット ウエイ 10235 (72)発明者 ゲイリー ケイ. バス アメリカ合衆国, メリーランド 21771, マウント エアリー, レキシントン ドライブ 13691 (72)発明者 ダグラス エイ. カークパトリック アメリカ合衆国, バージニア 22066, グレート フォールズ, ビーチ ミル ロード 10929 (72)発明者 ジェームズ イー. シンプソン アメリカ合衆国, メリーランド 20877, ゲチスバーグ, コットンウッド コー ト 8 (72)発明者 ウイリアム シー. トリンブル アメリカ合衆国, メリーランド 21044, コロンビア, イブニング ウィンド コート 10759 (72)発明者 マイケル ジー. ユーリー アメリカ合衆国, マサチューセッツ 01230, グレート バーリントン, シ ーコンク クロス ロード 5
Claims (24)
- 【請求項1】 誘導結合型無電極ランプにおいて、 励起された場合にプラズマ放電を形成する充填物を封入
している被包体、 前記被包体外部に位置されている一対の励起コイルであ
って、前記被包体内においてプラズマ放電を励起させる
移動リング電界を前記被包体内部に発生させる態様で位
置されており且つ駆動される一対の励起コイル、 前記一対の励起コイルへ交流電流を印加するドライバ、
を有しており、前記一対の励起コイルのうちの第一のも
の及び前記一対の励起コイルのうちの第二のものへ印加
される交流電流の間に位相差があることを特徴とする誘
導結合型無電極ランプ。 - 【請求項2】 請求項1において、前記位相差が実質的
に90゜であることを特徴とする誘導結合型無電極ラン
プ。 - 【請求項3】 請求項1において、前記ドライバが前記
一対の励起コイルのうちの第一のもの及び前記一対の励
起コイルのうちの第二のものへ印加される交流の間の位
相差を与える位相調節用遅延要素及び単一信号供給源を
有していることを特徴とする誘導結合型無電極ランプ。 - 【請求項4】 請求項1において、前記ドライバが第一
信号供給源及び第二信号供給源を有しており、前記第一
信号供給源が前記一対の励起コイルのうちの第一のもの
へ第一位相を持った信号を印加すべく接続されており且
つ前記第二信号供給源が前記一対の励起コイルのうちの
第二のものへ第二位相を有する信号を印加すべく接続さ
れていることを特徴とする誘導結合型無電極ランプ。 - 【請求項5】 請求項1において、前記一対の励起コイ
ルが前記一対の励起コイルの夫々の中心を一致させ且つ
夫々のコイルの軸を所定の角度に配向させるように位置
させていることを特徴とする誘導結合型無電極ランプ。 - 【請求項6】 請求項5において、前記所定の角度が9
0゜であることを特徴とする誘導結合型無電極ランプ。 - 【請求項7】 請求項5において、一方のコイルの軸が
垂直から約10゜乃至15゜の間だけ他方のコイルの軸
に関して傾斜されていることを特徴とする誘導結合型無
電極ランプ。 - 【請求項8】 請求項1において、前記一対の励起コイ
ルの各々がウェディングリング形状を有していることを
特徴とする誘導結合型無電極ランプ。 - 【請求項9】 請求項8において、前記一対のウェディ
ングリング形状励起コイルの各々が前記コイルが互いに
交差する区域において幅が減少されていることを特徴と
する誘導結合型無電極ランプ。 - 【請求項10】 請求項1において、前記交流が少なく
とも300MHzの駆動周波数で印加され、且つ前記一
対の励起コイルの各々が前記駆動周波数の半波長より小
さな実効電気長を有していることを特徴とする誘導結合
型無電極ランプ。 - 【請求項11】 請求項10において、前記駆動周波数
が少なくとも900MHzであり且つ前記一対の励起コ
イルの各々が前記駆動周波数の4分の1波長より小さな
実効電気長を有していることを特徴とする誘導結合型無
電極ランプ。 - 【請求項12】 請求項1において、前記被包体が光射
出用アパーチャの領域を除いて反射性物質で被覆されて
いることを特徴とする誘導結合型無電極ランプ。 - 【請求項13】 誘導結合型無電極ランプにおいて、 励起された場合にプラズマ放電を形成する充填物を封入
している被包体、 前記被包体外部に位置されている一対の励起コイルであ
って、前記被包体内にプラズマ放電を励起させる移動リ
ング電界を前記被包体内部に発生させる態様で位置され
ており且つ駆動される一対の励起コイル、 前記一対の励起コイルへ交流を印加するドライバ、を有
しており、前記ドライバが前記一対の励起コイルのうち
の第一のものへの交流の印加と前記一対の励起コイルの
うちの第二のものへの交流の印加との間でスイッチさせ
ることを特徴とする誘導結合型無電極ランプ。 - 【請求項14】 請求項13において、前記スイッチ動
作が所定の時定数に基づいて発生することを特徴とする
誘導結合型無電極ランプ。 - 【請求項15】 請求項14において、前記所定の時定
数がプラズマの減衰時間に関連していることを特徴とす
る誘導結合型無電極ランプ。 - 【請求項16】 請求項15において、前記所定の時定
数が数ミリ秒の程度であることを特徴とする誘導結合型
無電極ランプ。 - 【請求項17】 請求項13において、前記ドライバが
単一の信号供給源及び前記一対の励起コイルのうちの第
一のものへの交流の印加と前記一対の励起コイルのうち
の第二のものへの交流の印加との間でのスイッチ動作を
与えるスイッチング要素を有していることを特徴とする
誘導結合型無電極ランプ。 - 【請求項18】 請求項13において、前記一対の励起
コイルが前記一対の励起コイルの夫々の中心を一致させ
且つ夫々のコイルの軸を所定の角度で配向させるべく位
置決めされていることを特徴とする誘導結合型無電極ラ
ンプ。 - 【請求項19】 請求項18において、前記所定の角度
が90゜であることを特徴とする誘導結合型無電極ラン
プ。 - 【請求項20】 請求項13において、前記一対の励起
コイルが互いに平行であり且つ互いに離隔されて位置さ
れていることを特徴とする誘導結合型無電極ランプ。 - 【請求項21】 請求項13において、前記一対の励起
コイルの各々がウェディングリング形状を有しているこ
とを特徴とする誘導結合型無電極ランプ。 - 【請求項22】 請求項13において、前記交流が少な
くとも300MHzの駆動周波数で印加され、且つ前記
一対の励起コイルの各々が前記駆動周波数の半波長未満
の実効的電気長を有していることを特徴とする誘導結合
型無電極ランプ。 - 【請求項23】 請求項22において、前記駆動周波数
が少なくとも900MHzであり且つ前記一対の励起コ
イルの各々が前記駆動周波数の4分の1波長未満の実効
電気長を有していることを特徴とする誘導結合型無電極
ランプ。 - 【請求項24】 請求項23において、前記被包体が光
射出用アパーチャの領域を除いて反射性物質で被覆され
ていることを特徴とする誘導結合型無電極ランプ。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14187299P | 1999-07-02 | 1999-07-02 | |
US53150700A | 2000-03-21 | 2000-03-21 | |
US60/141872 | 2000-03-21 | ||
US09/531507 | 2000-03-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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JP2000195989A Pending JP2001076683A (ja) | 1999-07-02 | 2000-06-29 | トーラス運動を与える誘導性無電極ランプ |
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JP (1) | JP2001076683A (ja) |
KR (1) | KR20020019112A (ja) |
CN (1) | CN1360813A (ja) |
AU (1) | AU5898600A (ja) |
WO (1) | WO2001003476A1 (ja) |
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---|---|---|---|---|
GB2469187A (en) * | 2009-04-01 | 2010-10-06 | Osram Ges Mit Beschrankter | An electrodeless high intensity discharge lamp |
KR20220015602A (ko) | 2020-07-31 | 2022-02-08 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4910439A (en) * | 1987-12-17 | 1990-03-20 | General Electric Company | Luminaire configuration for electrodeless high intensity discharge lamp |
DE3910431A1 (de) * | 1988-04-05 | 1989-10-19 | Gen Electric | Anregungsspule mit reflektierendem ueberzug fuer elektrodenlose hochleistungs-entladungslampe |
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