JP2001059928A - Device for adjusting optical element angle of optical instrument - Google Patents
Device for adjusting optical element angle of optical instrumentInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ発振器等の光
学機器に具備されている光学素子の角度位置を調整する
ために用いる角度調整装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an angle adjusting device used for adjusting an angular position of an optical element provided in an optical device such as a laser oscillator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光学機器の一つであるレーザ発振器は、
図５にその一例の概略を示す如く、レーザ媒質ガスを封
入した容器１内に一対の放電電極２を配置し、該放電電
極２の放電によりレーザ媒質ガスを励起させて発生させ
たレーザ光３を、容器の長手方向に対峙させて配置した
共振器ミラーとしての半反射ミラー４、全反射ミラー
５，６，７の間でＺ字状に繰り返し反射させて共振さ
せ、該レーザ光３の一部をレーザ発振器の前面側にある
レーザ光取出口部の半反射ミラー４から誘導放出させる
ようにしてある。2. Description of the Related Art A laser oscillator, which is one of optical devices, is:
As schematically shown in FIG. 5, a pair of discharge electrodes 2 are arranged in a container 1 in which a laser medium gas is sealed, and a laser beam 3 generated by exciting the laser medium gas by the discharge of the discharge electrodes 2. Are repeatedly reflected in a Z-shape between the semi-reflective mirror 4 as a resonator mirror and the total reflection mirrors 5, 6, and 7 arranged to face each other in the longitudinal direction of the container, and resonated. The part is stimulated to be emitted from the semi-reflective mirror 4 of the laser light outlet on the front side of the laser oscillator.
【０００３】上記レーザ発振器において、レーザ光３の
位置精度（ポインテイング）を安定させることは重要で
あり、そのため、従来より、ミラーの角度を角度調整装
置により調整できるようにしてある。In the above-mentioned laser oscillator, it is important to stabilize the position accuracy (pointing) of the laser beam 3, and therefore, conventionally, the angle of the mirror can be adjusted by an angle adjusting device.
【０００４】従来の角度調整装置としては、レーザ発振
器の後方へ向いている上記全反射ミラー６の部分につい
て図６（イ）（ロ）に一例を示す如く、ベースプレート
８の後面側に、表面に全反射ミラー６を取り付けた煽り
プレート９を、後方へ向けて引張りばね１０を介しほぼ
平行に配置して、該引張りばね１０により煽りプレート
９を常時ベースプレート８側へ引き付けているような力
が付与されているようにし、且つ上記ベースプレート８
と煽りプレート９との重合部において、上記全反射ミラ
ー６を取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支点部Ｏ1
と第２支点部Ｏ 2 と第３支点部Ｏ3 とを定め、第１支点
部Ｏ1 には、先端を球面状に形成した支点軸１１をベー
スプレート８の後面部に突設して、該支点軸１１の先端
を、煽りプレート９の前面に取り付けた受け部１２ａに
当接させ、更に、第２支点部Ｏ2と第３支点部Ｏ3 に
は、先端を球面状に形成した調整ねじ１３を、ベースプ
レート８の前面側より後面側へ突出するようにそれぞれ
貫通螺合させて、該各調整ねじ１３の先端を、煽りプレ
ート９の前面に取り付けた受け部１２ｂに当接させ、第
２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 のいずれか一方又は両方
の調整ねじ１３の煽りプレート側への突出量を変化させ
ることで、煽りプレート９の煽り角度を支点軸１１の先
端を支点として変化させることにより、全反射ミラー６
の角度を調整できるようにした、所謂キネマティックマ
ウント方式としたものがある（特開平５−８２８６７号
公報）。As a conventional angle adjusting device, a laser oscillation is used.
The part of the total reflection mirror 6 facing the rear of the
As shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b), the base plate
8 with a total reflection mirror 6 attached to the rear side
The plate 9 is moved rearward through a tension spring 10
It is arranged in parallel, and the plate is lifted by the tension spring 10.
Force that always attracts 9 to base plate 8 side
And the base plate 8
In the overlapping portion between the mirror and the tilting plate 9, the above total reflection mirror
The first fulcrum part O is placed at each vertex position of the triangle surrounding -6.1
And second fulcrum O TwoAnd third fulcrum OThreeAnd the first fulcrum
Department O1The fulcrum shaft 11 whose tip is formed in a spherical shape is
The tip of the fulcrum shaft 11 projects from the rear surface of the plate 8
To the receiving part 12a attached to the front of the fan plate 9.
Contact, and the second fulcrum OTwoAnd third fulcrum OThreeTo
Adjusts the adjustment screw 13 having a spherical tip at the base
So that it protrudes from the front side of the rate 8 to the rear side
Then, screw the end of each adjustment screw 13 into
Abuts on the receiving portion 12b attached to the front surface of the
2 fulcrum OTwoAnd third fulcrum OThreeEither or both
Change the amount of adjustment screw 13
By setting the tilt angle of the tilt plate 9 to the tip of the fulcrum shaft 11
By changing the end as a fulcrum, the total reflection mirror 6
So-called kinematic machine that can adjust the angle of
There is an unt system (Japanese Patent Laid-Open No. 5-82867)
Gazette).
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記キネマ
ティックマウント方式を採用した角度調整装置の場合、
その構造上、実装できる引張りばね１０が小さいため、
支点軸１１と受け部１２ａあるいは調整ねじ１３と受け
部１２ｂの接点が少しでも浮いてしまうと、見かけの接
触状態は同じでも（調整ねじ１３を回していなくて
も）、微小な角度精度の差が発生するため、レーザ発振
器の機能、性能に支障を来す問題がある。特に、煽りプ
レート９に冷却水流路を通し、該冷却水流路に配管を接
続するようにしてある冷却構造付きのものでは、煽りプ
レート９を動かすときに配管も動かすことになって外力
が加わるので、煽りプレート８の角度精度に影響を与え
る場合がある。However, in the case of the angle adjusting device adopting the kinematic mount method,
Due to its structure, the tension spring 10 that can be mounted is small,
If the contact point between the fulcrum shaft 11 and the receiving portion 12a or between the adjusting screw 13 and the receiving portion 12b floats even a little, even if the apparent contact state is the same (even if the adjusting screw 13 is not turned), there is a slight difference in angular accuracy. This causes a problem that the function and performance of the laser oscillator are hindered. In particular, with a cooling structure in which a cooling water flow path is passed through the fanning plate 9 and a pipe is connected to the cooling water flow path, when the fanning plate 9 is moved, the pipe is also moved, and an external force is applied. In some cases, the angle accuracy of the tilting plate 8 may be affected.
【０００６】又、従来、上記３つの支点部に皿ばねを配
置し、各皿ばねにねじを挿入することにより、ベースプ
レートに対して煽りプレートを引張り勝手又は離し勝手
にねじを保持させるようにした皿ばね３点支持方式もあ
るが、この方式の場合、荷重については大きなものが掛
かっていることから、よほど大きな外力が加わらない限
り動くことはないが、構造上、煽りプレートには、各支
点部に煽り角度分以上の逃げ孔を大きく設けることにな
って、プレート面方向に若干のがたを許容できるように
しなければならないので、微小な角度調節をする際に、
調整ターゲット位置近傍で、煽り角度の往復動作を行う
と、同じ調整ねじ位相に対して、煽りプレートの角度の
再現精度が得にくいという問題がある。Conventionally, disc springs are arranged at the above-mentioned three fulcrum portions, and screws are inserted into each of the disc springs so that the screws can be held by pulling or releasing the lifting plate with respect to the base plate. There is also a disc spring three-point support method, but in this method, since a large load is applied, it does not move unless a very large external force is applied. When a small angle adjustment is required, it is necessary to allow a slight play in the direction of the plate surface by providing a large escape hole larger than the tilt angle in the part.
If the reciprocating motion of the tilt angle is performed in the vicinity of the adjustment target position, there is a problem that it is difficult to obtain the reproducibility of the tilt angle of the tilt plate for the same adjustment screw phase.
【０００７】そこで、本発明は、ベースプレートに対し
煽りプレートを押し付けるような拘束力を作用させた状
態で通常の外力が加わっても煽りプレートの位置安定性
を高く保つことができるような皿ばね３点支持方式にお
いて、調整ねじの操作により煽りプレートの角度を調整
ターゲット位置付近で往復動作による微調整を行って
も、煽りプレートの角度再現性を得ることができるよう
にしようとするものである。Accordingly, the present invention provides a disc spring 3 which can maintain a high positional stability of the fan plate even when a normal external force is applied in a state where a restraining force for pressing the fan plate against the base plate is applied. In the point support method, the angle of the tilting plate is adjusted by operating the adjusting screw. Even if fine adjustment is performed by reciprocating motion near the target position, it is possible to obtain the angle reproducibility of the tilting plate.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、片面側に光学素子を取り付けた煽りプレ
ートの反対側の面をベースプレートに向け対峙させて配
置し、該両プレートの重なり部における上記光学素子を
取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支点部と第２支点
部と第３支点部とを設定し、上記第１支点部には、煽り
プレートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベース
プレートの貫通孔を、該煽りプレートの貫通孔よりも大
径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を
煽りプレートに当接させるようにしたセンター孔付きの
球面軸受と、該球面軸受に当接させる球面軸受支持用の
リングナットとを配置して、該リングナットをベースプ
レートに固定し、更に、皿ばねを煽りプレートの上記片
面側に配してその外側から締め付けボルトを、該皿ば
ね、煽りプレートの貫通孔、上記球面軸受のセンター孔
に挿通させてからリングナットに螺合させて煽りプレー
トをベースプレート側に押し付ける方向に締め付けて固
定するようにしてなる定圧支持機構を組み付け、又、上
記第２支点部及び第３支点部には、煽りプレートとベー
スプレートに貫通孔を設けて、該ベースプレートの貫通
孔を該煽りプレートの貫通孔よりも大径とし、且つ該ベ
ースプレートの貫通孔内に、後端部を煽りプレートに当
接させるようにしたセンター孔付き球面軸受と、該球面
軸受の前端側に後端側を当接させるようにしたブッシュ
と、該ブッシュの前端側に当接させる雌ねじブロックと
を順に配置して、該雌ねじブロックをベースプレートに
対して回転を規制して軸方向にのみ動けるようにすると
共に、且つ上記煽りプレートの片面側に皿ばねとその外
側に止めナットを配置して、該止めナットをベースプレ
ート側に固定し、更に、煽りプレートをベースプレート
側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部
を有する調整ねじを、上記ブッシュ及び球面軸受のセン
ター孔、皿ばねに通して、一方の差動ねじ部を上記雌ね
じブロックに、又、他方の差動ねじ部を止めナットにそ
れぞれ螺合させ、該調整ねじを回転させて雌ねじブロッ
クを軸方向に変位させることにより上記第１支点部の球
面軸受部を支点に煽りプレートの煽り角度を調整できる
ようにしてなる煽り調整機構を組み付けた構成とする。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is arranged such that an opposite surface of a tilting plate having an optical element attached to one surface thereof is opposed to a base plate, and the two plates are arranged to face each other. A first fulcrum, a second fulcrum, and a third fulcrum are set at each vertex position of a triangle surrounding the optical element in the overlapping portion, and the first fulcrum has a through hole in a fan plate and a base plate. A spherical bearing with a center hole in which the through hole of the base plate is larger in diameter than the through hole of the fan plate, and the rear end of which is brought into contact with the fan plate in the through hole of the base plate. And a ring nut for supporting the spherical bearing to be brought into contact with the spherical bearing, fixing the ring nut to the base plate, and further disposing a disc spring on the one surface side of the fan plate. From the side, the tightening bolt is passed through the disc spring, the through hole of the tilting plate, the center hole of the spherical bearing, and then screwed to the ring nut to tighten and fix in the direction of pressing the tilting plate against the base plate side. The second and third fulcrum portions are provided with through-holes in the tilting plate and the base plate, and the through-hole in the base plate is made larger in diameter than the through-hole in the tilting plate. And, in the through hole of the base plate, a spherical bearing with a center hole, the rear end of which is brought into contact with the lifting plate, and a bush whose rear end is brought into contact with the front end of the spherical bearing, A female screw block to be brought into contact with the front end side of the bush is arranged in order, and the female screw block is restricted in rotation with respect to the base plate and moves only in the axial direction. In addition, a disc spring and a lock nut are arranged on one side of the tilt plate, and the lock nut is fixed to the base plate side, and further, the tip portion is pressed so that the tilt plate is pressed against the base plate side. An adjustment screw having a differential screw part on the side and the base end side is passed through the bush, the center hole of the spherical bearing, and a disc spring, and one differential screw part is passed through the female screw block and the other differential screw is driven. The screw portion is screwed into the lock nut, and the adjusting screw is rotated to displace the female screw block in the axial direction so that the tilt angle of the plate can be adjusted with the spherical bearing portion of the first fulcrum portion as the fulcrum. It is configured to incorporate a fanning adjustment mechanism.
【０００９】光学素子の角度調整を行う場合には、第２
支点部と第３支点部の少なくとも一方の煽り調整機構の
差動ねじ部付き調整ねじを操作して煽りプレートの煽り
角度を調整するようにする。この際、ベースプレートと
煽りプレートは球面軸受部で強く押し付けられた状態と
なっているため、位置保持能力が高く、調整時の繰り返
し動作再現性を高いものとすることができ、しかも調整
ねじが差動ねじであることから、微調整を容易に行うこ
とができる。When adjusting the angle of the optical element, the second
The tilting angle of the tilting plate is adjusted by operating an adjusting screw with a differential screw portion of at least one of the fulcrum and the third fulcrum. At this time, since the base plate and the tilting plate are strongly pressed by the spherical bearings, the position holding ability is high, the reproducibility of the repetitive operation at the time of adjustment can be high, and the adjustment screw is different. Since the screw is a dynamic screw, fine adjustment can be easily performed.
【００１０】又、第２支点部のベースプレートの貫通孔
を、第１支点部方向へ延びる長孔とし、第３支点部のベ
ースプレートの貫通孔を、ブッシュ部分が３６０°の方
向に動ける大きさに設定した構成とすることにより、第
１支点部の球面軸受部分に対し、第２支点部の球面軸受
部分は一方向の自由度を持ち、第３支点部の球面軸受部
分は３６０°方向の自由度を持つため、調整ねじの移動
量に追従して煽りプレートの角度が決められる。The through hole of the base plate at the second fulcrum is a long hole extending in the direction of the first fulcrum, and the through hole of the base plate at the third fulcrum is sized so that the bush can move in the direction of 360 °. With the set configuration, the spherical bearing portion of the second fulcrum portion has one degree of freedom with respect to the spherical bearing portion of the first fulcrum portion, and the spherical bearing portion of the third fulcrum portion has a freedom of 360 ° direction. Because of the degree, the angle of the tilting plate is determined according to the amount of movement of the adjusting screw.
【００１１】一方、第１支点部に定圧支持機構を組み付
けることに代えて、第１支点部に、煽りプレートをベー
スプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側に
差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組
み付けて、各支点部を、センター孔付きの球面軸受にブ
ッシュを当接させる構成とすると、煽りプレートをベー
スプレートに対して並進移動させることが可能となる。On the other hand, instead of assembling the constant pressure support mechanism to the first fulcrum, the first fulcrum has a differential screw portion at the distal end portion and the proximal end portion so as to press the fan plate against the base plate. If the fulcrum portion is brought into contact with a spherical bearing having a center hole by assembling a tilt adjustment mechanism using an adjustment screw, the tilt plate can be translated with respect to the base plate.
【００１２】更に、第１支点部に定圧支持機構を組み付
け、第２支点部と第３支点部に煽り調整機構を組み付け
ることに代えて、いずれか１つの支点部のみに、煽りプ
レートをベースプレート側に押し付けるように先端部側
と基端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り
調整機構を組み付け、且つ残りの支点部に定圧支持機構
を組み付けた構成とした場合は、煽りプレートを一方向
にのみ角度調整することができる。Further, instead of assembling the constant pressure support mechanism at the first fulcrum and assembling the sway adjustment mechanism at the second fulcrum and the third fulcrum, the swaying plate is attached to only one of the fulcrums at the base plate side. When a tilting adjustment mechanism using an adjusting screw having differential screw parts on the distal end side and the base end side so as to be pressed against it is assembled, and a constant pressure support mechanism is assembled on the remaining fulcrum, Can be adjusted only in one direction.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１４】図１乃至図３は本発明の実施の一形態を示
すもので、図５に示したレーザ発振器の前面側にあるレ
ーザ光取出口部に位置する半反射ミラー４の角度を調整
する角度調整装置について示す。FIGS. 1 to 3 show an embodiment of the present invention, in which the angle of a semi-reflective mirror 4 located at a laser light outlet on the front side of the laser oscillator shown in FIG. 5 is adjusted. The angle adjusting device will be described.
【００１５】すなわち、半反射ミラー４を保持するミラ
ープレート１４を後面側となる片面側に取り付けた煽り
プレート１５の反対面側をベースプレート１６の後面側
に所要間隔を隔てて平行に対峙させて配置して、該両プ
レート１５，１６の光路孔１７と１８が一致するように
すると共に、両プレート１５，１６の重なり部における
上記半反射ミラー４を取り囲む三角形の各頂点位置に、
第１支点部Ｏ1 と第２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 とを
定め、第１支点部Ｏ1 に定圧支持機構１９を組み付け、
又、第２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 に煽り調整機構２
０と２１を組み付ける。That is, the mirror plate 14 for holding the semi-reflective mirror 4 is mounted on one side, which is the rear side, and the opposite side of the tilting plate 15 is arranged to face the rear side of the base plate 16 in parallel at a required distance. Then, the optical path holes 17 and 18 of the plates 15 and 16 are made to coincide with each other, and the vertices of the triangle surrounding the semi-reflective mirror 4 at the overlapping portion of the plates 15 and 16 are
It defines first fulcrum portion O 1 and the second fulcrum portion O 2 and a third fulcrum O 3, assembled pressure supporting mechanism 19 in the first fulcrum portion O 1,
In addition, the second supporting point O 2 and the third supporting point O 3 are provided with a tilt adjusting mechanism 2.
Assemble 0 and 21.
【００１６】上記第１支点部Ｏ1 の定圧支持機構１９
は、煽りプレート１５に貫通孔２２を設けると共に、該
貫通孔２２よりも大径の貫通孔２３をベースプレート１
６に設け、該ベースプレート１６の貫通孔２３内に、煽
りプレート１５の貫通孔２２よりも大径としたセンター
孔付きの球面軸受２４を、後端側中心部が煽りプレート
１５の貫通孔２２に圧入されるように配置すると共に、
該球面軸受２４と対応する円錐状凹部を後端に有する所
要長さの軸受支持用リングナット２６を挿入してベース
プレート１６にフランジ部２６ａを固定し、一方、上記
煽りプレート１５の貫通孔２２の後面側には皿ばね２８
を配置して、該皿ばね２８の外側に座金２７を配置し、
煽りプレート１５の後面側より締め付けボルト２５を座
金１７、皿ばね２８、球面軸受２４のセンター孔に挿通
させてからその先端部をリングナット２６に螺合させ、
該締め付けボルト２５で締め付けることにより、該締め
付けボルト２５の頭部２５ａで押される座金２７を介し
て圧縮される皿ばね２８により煽りプレート１５がベー
スプレート１６側に押し付けられるようにして固定され
るような構成としてある。The constant pressure support mechanism 19 of the first fulcrum O 1.
Provides a through hole 22 in the tilting plate 15 and a through hole 23 having a larger diameter than the through hole 22.
6, a spherical bearing 24 having a center hole having a larger diameter than the through hole 22 of the tilting plate 15 is provided in the through hole 23 of the base plate 16, and the center of the rear end side is formed in the through hole 22 of the tilting plate 15. While being arranged to be pressed in,
A flange nut 26 a of a required length having a conical concave portion at the rear end corresponding to the spherical bearing 24 is inserted to fix the flange portion 26 a to the base plate 16. Disc spring 28 on the rear side
Is arranged, and the washer 27 is arranged outside the disc spring 28,
A tightening bolt 25 is inserted through the center hole of the washer 17, the disc spring 28, and the spherical bearing 24 from the rear side of the lifting plate 15, and the tip is screwed into a ring nut 26.
By tightening with the tightening bolt 25, the fan plate 15 is fixed by being pressed against the base plate 16 side by a disc spring 28 compressed through a washer 27 pressed by the head 25a of the tightening bolt 25. There is a configuration.
【００１７】一方、上記第２支点部Ｏ2 の煽り調整機構
２０は、次の如き構成としてある。すなわち、煽りプレ
ート１５に貫通孔２９を設けると共に、該貫通孔２９よ
りも大径として第１支点部Ｏ1 方向へ向けて延びる長孔
状の貫通孔３０をベースプレート１６に設け、該ベース
プレート１６の貫通孔３０内に、上記貫通孔２９よりも
大径として後端側中心部を貫通孔２９に圧入させるよう
にしたセンター孔付きの球面軸受３１と、該球面軸受３
１と対応する円錐状凹部を後端面に有するセンター孔付
きの軸受支持用ブッシュ３２と、該ブッシュ３２の前端
面に当接させるようにした雌ねじブロック３３とを順に
挿入して配置し、該雌ねじブロック３３をベースプレー
ト１６に対して前後方向（軸方向）へのみ移動できるよ
うにして、回転は規制されるようにする。なお、雌ねじ
ブロック３３の回転の規制の仕方は、たとえば、該雌ね
じブロック３３の前端面部に形成したフランジ部３３ａ
の一部に切り欠き３４を設け、該切り欠き３４に係合さ
せるピン３５をベースプレート１６の前面部に固定し
て、フランジ部３３ａがピン３５の軸方向には摺動でき
るが回転方向にはピン３５で制限されて雌ねじブロック
３３の回転を拘束させるようにしてある。更に、煽りプ
レート１５の貫通孔２９の後面側に、皿ばね４１と座金
４０と止めナット３９を順に配置して、該止めナット３
９に形成したフランジ部３９ａを、ベースプレート１６
の後面に突設したリング状のスペーサケーシング３８に
ボルト４６で固定し、先端部側と基端部側に互いにピッ
チを異ならせた差動ねじ部３６ａと３６ｂを有し且つ基
端につまみ３７を有する差動ねじ部付き調整ねじ３６
を、上記ベースプレート１６の前面側から雌ねじブロッ
ク３３に基端部側の差動ねじ部３６ｂを螺合させてか
ら、ブッシュ３２、球面軸受３１の各センター孔、皿ば
ね４１、座金４０に通して先端部側の差動ねじ部３６ａ
を止めナット３９に螺合させて、煽りプレート１５をベ
ースプレート１６側へ押し付けるようにして球面軸受３
１とブッシュ３２を当接させるようにした構成とし、か
かる状態で差動ねじ部３６ａ，３６ｂを有する調整ねじ
３６を回転させることにより雌ねじブロック３３を前後
方向に移動させ、該雌ねじブロック３３の移動で煽りプ
レート１５を第１支点部Ｏ1 の球面軸受２４部を支点に
煽って、煽り角度を調整できるようにしてある。なお、
上記スペーサケーシング３８の壁部所要位置には切り欠
き３８ａが設けてあって、煽りプレート１５とは干渉し
ないようにしてある。又、スペーサケーシング３８に止
めナット３９を固定するためのボルト４６及びそのボル
ト穴には、調整ねじ３６の差動ねじ部３６ａよりもピッ
チの小さいねじが切ってある。On the other hand, the tilt adjusting mechanism 20 for the second fulcrum O 2 has the following configuration. That is, a through hole 29 is provided in the tilting plate 15, and a long through hole 30 having a diameter larger than that of the through hole 29 and extending in the direction of the first fulcrum O 1 is provided in the base plate 16. A spherical bearing 31 having a center hole having a diameter larger than that of the through hole 29 and having a central portion on the rear end side press-fit into the through hole 29;
A bearing support bush 32 having a center hole having a conical concave portion corresponding to 1 at the rear end face, and a female screw block 33 adapted to abut on the front end face of the bush 32 are sequentially inserted and arranged. The rotation of the block 33 is restricted by allowing the block 33 to move only in the front-rear direction (axial direction) with respect to the base plate 16. The rotation of the female screw block 33 is regulated, for example, by a flange portion 33a formed on the front end surface of the female screw block 33.
A notch 34 is provided at a part of the base plate 16 and a pin 35 to be engaged with the notch 34 is fixed to the front surface of the base plate 16 so that the flange portion 33a can slide in the axial direction of the pin 35 but in the rotational direction. The rotation of the female screw block 33 is restricted by the pin 35. Further, a disc spring 41, a washer 40, and a lock nut 39 are arranged in this order on the rear surface side of the through hole 29 of the lift plate 15, and the lock nut 3
9 and the base plate 16
Are fixed with bolts 46 to a ring-shaped spacer casing 38 protruding from the rear surface, and have differential screw portions 36a and 36b having different pitches on the distal end side and the proximal end side, and a knob 37 on the proximal end. Adjusting screw 36 with differential thread
Is screwed into the female screw block 33 from the front side of the base plate 16 with the base end side differential screw portion 36b, and then passed through the bush 32, the respective center holes of the spherical bearing 31, the disc spring 41, and the washer 40. Differential screw part 36a on the tip side
Is screwed into a lock nut 39 so that the lifting plate 15 is pressed against the base plate 16 side.
1 and the bush 32 are brought into contact with each other. In this state, the female screw block 33 is moved in the front-rear direction by rotating the adjusting screw 36 having the differential screw portions 36a and 36b, and the female screw block 33 is moved. in the tilting plate 15 fueled first spherical bearing 24 parts of fulcrum O 1 as the fulcrum, are also available adjust tilt angle. In addition,
A notch 38 a is provided at a required position on the wall of the spacer casing 38 so as not to interfere with the fan plate 15. Further, a bolt having a smaller pitch than the differential screw portion 36a of the adjusting screw 36 is cut in a bolt 46 for fixing the lock nut 39 to the spacer casing 38 and its bolt hole.
【００１８】又、上記第３支点部Ｏ3 の煽り調整機構２
１は、図１に破線で示す如く、ベースプレート１６に設
けた貫通孔４２の直径を、ブッシュ３２及び雌ねじブロ
ック３３の部分が３６０°の方向に動ける大きさに設定
している点を除いて、上記第２支点部Ｏ2 の煽り調整機
構２０と同様な構成としてあり、詳細説明は省略してあ
る。Further, the tilt adjusting mechanism 2 for the third fulcrum portion O 3 is provided.
1, except that the diameter of the through hole 42 provided in the base plate 16 is set to a size that allows the bush 32 and the female screw block 33 to move in the direction of 360 ° as shown by the broken line in FIG. There a similar configuration as the tilt adjusting mechanism 20 of the second fulcrum portion O 2, detailed description is omitted.
【００１９】なお、上記調整ねじ３６のつまみ３７や締
め付けボルト２５の頭部２５ａには、六角レンチを挿入
するための六角穴が形成されている。図中、４３はベー
スプレート１６の固定台、４４はミラープレート１４内
に形成した冷却水流路を示す。A hexagonal hole for inserting a hexagonal wrench is formed in the knob 37 of the adjusting screw 36 and the head 25a of the tightening bolt 25. In the figure, reference numeral 43 denotes a fixed base of the base plate 16, and reference numeral 44 denotes a cooling water flow path formed in the mirror plate 14.
【００２０】煽りプレート１５は、皿ばねの圧力によっ
てベースプレート１６側に押し付けられるが、その初期
設定は、第２、第３支点部Ｏ2 ，Ｏ3 における調整ねじ
３６のつまみ３７に六角レンチを差し込んで調整ねじ３
６の回転を規制しつつ、差動ねじ部３６ａに螺合させて
ある止めナット３９をスパナで回転させることにより、
規定荷重及び支点突出状態（＝並進および煽り状態）を
決めるようにするが、更にこの際、調整ねじ３６の差動
ねじ部３６ａよりもピッチの小さいボルト４６の締め込
み調整を段階的に行うようにすると、初期設定を細かく
行うことができる。The lifting plate 15 is pressed against the base plate 16 by the pressure of the disc spring. The initial setting is that a hexagon wrench is inserted into the knob 37 of the adjusting screw 36 at the second and third fulcrum portions O 2 and O 3 . Adjustment screw 3
By rotating the lock nut 39 screwed to the differential screw portion 36a with a spanner while restricting the rotation of
The prescribed load and the fulcrum projecting state (= translation and tilting state) are determined. At this time, the tightening adjustment of the bolt 46 having a smaller pitch than the differential screw portion 36a of the adjusting screw 36 is performed stepwise. By doing so, the initial settings can be made finely.
【００２１】半反射ミラー４の角度を調整する場合に
は、第２支点部Ｏ2 の煽り調整機構２０と第３支点部Ｏ
3 の煽り調整機構２１の一方もしくは双方の調整ねじ３
６を回して雌ねじブロック３３を軸方向に移動させるこ
とにより煽りプレート１５の煽り角度を調整するように
する。When adjusting the angle of the semi-reflective mirror 4, the tilt adjusting mechanism 20 for the second fulcrum O 2 and the third fulcrum O are adjusted.
3 of one or both of the adjusting screw 3 swing adjusting mechanism 21
By turning 6 to move the female screw block 33 in the axial direction, the tilting angle of the tilting plate 15 is adjusted.
【００２２】この場合、たとえば、第２支点部Ｏ2 の煽
り調整機構２０の調整ねじ３６を回転させると、回転が
規制されている雌ねじブロック３３が、異なるピッチの
差動ねじ部３６ａ，３６ｂによる差動ねじの原理により
軸方向へ移動させられるため、この移動力で、当接した
状態のブッシュ３２、球面軸受３１を介して煽りプレー
ト１５が変位させられ、煽りプレート１５は、第１支点
部Ｏ1 の球面軸受２４部と第３支点部Ｏ3 の球面軸受３
１部を支点として傾動させられることになる。又、同様
に、第３支点部Ｏ3 の煽り調整機構２１を操作すると、
煽りプレート１５は、第１支点部Ｏ1 の球面軸受２４部
と第２支点部Ｏ2 の球面軸受３１部を支点として傾動さ
せられることになる。In this case, for example, when the adjusting screw 36 of the tilt adjusting mechanism 20 of the second fulcrum O 2 is rotated, the female screw block 33 whose rotation is restricted is driven by the differential screw portions 36 a and 36 b having different pitches. Since the moving plate is moved in the axial direction by the principle of the differential screw, the moving force displaces the lifting plate 15 via the abutting bush 32 and the spherical bearing 31, and the lifting plate 15 is moved to the first fulcrum portion. 24 spherical bearings of O 1 and spherical bearings 3 of third fulcrum O 3
It can be tilted with one part as a fulcrum. Similarly, when the tilt adjustment mechanism 21 of the third fulcrum O 3 is operated,
Tilting plate 15 will be caused to tilt spherical bearing 24 parts of the first fulcrum portion O 1 and the spherical bearing 31 parts of the second fulcrum portion O 2 as a fulcrum.
【００２３】上記において、第２支点部Ｏ2 の煽り調整
機構２０にけるベースプレート１６の貫通孔３０は第１
支点部Ｏ1 の方向へ向け延びる長孔としてあるため、煽
りプレート１５の煽り角度の調整時には、一方向の自由
度をもち、又、第３支点部Ｏ 3 の煽り調整機構２１にお
けるベースプレート１６の貫通孔４２は、ブッシュ３２
の部分が３６０°動けるようにしてあるため、煽りプレ
ート１５の煽り角度の調整時には、プレート面方向の自
由度をもつため、煽りプレート１５は、各調整ねじ３６
の移動に追従することができる。In the above, the second fulcrum OTwoAdjustment
The through hole 30 of the base plate 16 in the mechanism 20 is the first hole.
Fulcrum O1Because it is a long hole extending in the direction of
When adjusting the tilting angle of the plate 15
The third fulcrum O ThreeTo the fan adjustment mechanism 21
The through hole 42 of the base plate 16
Can be moved 360 °,
When adjusting the tilt angle of the plate 15,
Because of the flexibility, the tilting plate 15 is attached to each adjusting screw 36.
Can follow the movement of
【００２４】又、各煽り支点は球面軸受によって構成さ
れていて、第１支点部Ｏ1 、第２支点部Ｏ2 、第３支点
部Ｏ3 の順で位置エネルギーが安定する系となっている
こと、更に、煽りプレート１５には、皿ばね２８や４１
によりベースプレート１６側へ向けて大きな押付荷重を
掛けることができることから、ベースプレート１６に対
する煽りプレート１５の位置関係を一意に決めることが
できて、高い位置安定性を得ることができると共に、調
整ねじ３６の操作により煽りプレート１５の角度を調整
ターゲット位置近傍で往復動作させても位置再現性の高
い系を実現することができる。Further, each tilting fulcrum is formed of a spherical bearing, and the potential energy is stabilized in the order of the first fulcrum O 1 , the second fulcrum O 2 , and the third fulcrum O 3 . In addition, the plate springs 28 and 41
As a result, a large pressing load can be applied toward the base plate 16 side, so that the positional relationship of the tilting plate 15 with respect to the base plate 16 can be uniquely determined, and high positional stability can be obtained. Even if the angle of the tilting plate 15 is reciprocated in the vicinity of the adjustment target position by operation, a system with high position reproducibility can be realized.
【００２５】次に、図４は本発明の実施の他の形態を示
すもので、図１乃至図３に示したものと同様な構成にお
いて、第１支点部Ｏ1 に定圧支持機構を組み付けること
に代えて、第１支点部Ｏ1 に、第２支点部Ｏ2 や第３支
点部Ｏ3 と同様な構成の煽り調整機構４５を組み付けた
ものである。なお、図２と同一部分には同一符号が付し
てある。Next, FIG. 4 shows another embodiment of the present invention, in a similar configuration to that shown in FIGS. 1 to 3, assembling the pressure support mechanism to the first fulcrum portion O 1 instead, the first fulcrum portion O 1, in which assembled the tilt adjustment mechanism 45 of the same construction as the second fulcrum portion O 2 or the third fulcrum O 3. The same parts as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals.
【００２６】図４に示すような構成とすると、煽りプレ
ート１５の煽り角度調整は勿論のこと、煽りプレート１
５をベースプレート１６に対して並進移動調整すること
もできるようになり、半反射ミラー４の位置調整範囲を
拡大することができる。With the configuration shown in FIG. 4, the tilting angle of the tilting plate 15 can be adjusted, and the tilting plate 1 can be adjusted.
5 can also be translated and adjusted with respect to the base plate 16, and the position adjustment range of the semi-reflective mirror 4 can be expanded.
【００２７】又、いずれか一つの支点部Ｏ1 、Ｏ2 又は
Ｏ3 のみに、煽り調整機構４５、２０又は２１を組み付
けた構成としても、煽りプレート１５の一方向のみの煽
り角度調整を、高い位置安定性と再現性をもって実現す
ることができる。Further, even if the tilt adjusting mechanism 45, 20 or 21 is attached to only one of the fulcrum portions O 1 , O 2 or O 3 , the tilt angle of the tilt plate 15 in only one direction can be adjusted. It can be realized with high positional stability and reproducibility.
【００２８】なお、上記実施の形態では、煽りプレート
１５の煽り角度を調整する際にベースプレート１６の前
側でつまみ３７を回すようにした場合を示したが、図２
や図４において、調整ねじ３６を左右勝手反対に配置構
成して、煽りプレート１５の後側でつまみ３７を回すよ
うにしてもよいこと、又、実施の形態では、煽りプレー
ト１５に、ミラープレート１４を介して半反射ミラー４
を取り付けた場合を示したが、煽りプレート１５にミラ
ーを直接取り付けるようにしてもよいこと、更に、実施
の形態では、図５のレーザ発振器の半反射ミラー４の部
分への適用例について示したが、他の全反射ミラーの部
分についても同様に適用できること、更に又、レーザ発
振器以外の光学機器による光ビームの指向角度を調整す
る部分についても同様に適用できること、すなわち、ミ
ラーに限らず、レンズやプリズム等の光学素子を用いた
部分であれば適宜採用できること、その他本発明の要旨
を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは
勿論である。In the above embodiment, the case where the knob 37 is turned on the front side of the base plate 16 when adjusting the tilting angle of the tilting plate 15 has been described.
In FIG. 4 and FIG. 4, the adjusting screw 36 may be arranged to be opposite to the right and left, and the knob 37 may be turned on the rear side of the tilting plate 15. 14 through the semi-reflective mirror 4
Although the case where the mirror is attached has been shown, the mirror may be directly attached to the tilting plate 15, and in the embodiment, an example in which the laser oscillator shown in FIG. 5 is applied to the semi-reflective mirror 4 is shown. However, it can be similarly applied to other parts of the total reflection mirror, and also can be similarly applied to a part for adjusting the directivity angle of the light beam by an optical device other than the laser oscillator. That is, not only the mirror but also the lens It is needless to say that any part using an optical element such as a prism or a prism can be appropriately adopted, and that various changes can be made without departing from the gist of the present invention.
【００２９】[0029]
【発明の効果】以上述べた如く、本発明の光学機器の光
学素子角度調整装置によれば、片面側に光学素子を取り
付けた煽りプレートの反対側の面をベースプレートに向
け対峙させて配置し、該両プレートの重なり部における
上記光学素子を取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支
点部と第２支点部と第３支点部とを設定し、上記第１支
点部には、煽りプレートとベースプレートに貫通孔を設
けて、該ベースプレートの貫通孔を、該煽りプレートの
貫通孔よりも大径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔
内に、後端部を煽りプレートに当接させるようにしたセ
ンター孔付きの球面軸受と、該球面軸受に当接させる球
面軸受支持用のリングナットとを配置して、該リングナ
ットをベースプレートに固定し、更に、皿ばねを煽りプ
レートの上記片面側に配してその外側から締め付けボル
トを、該皿ばね、煽りプレートの貫通孔、上記球面軸受
のセンター孔に挿通させてからリングナットに螺合させ
て煽りプレートをベースプレート側に押し付ける方向に
締め付けて固定するようにしてなる定圧支持機構を組み
付け、又、上記第２支点部及び第３支点部には、煽りプ
レートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベースプ
レートの貫通孔を該煽りプレートの貫通孔よりも大径と
し、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を煽り
プレートに当接させるようにしたセンター孔付き球面軸
受と、該球面軸受の前端側に後端側を当接させるように
したブッシュと、該ブッシュの前端側に当接させる雌ね
じブロックとを順に配置して、該雌ねじブロックをベー
スプレートに対して回転を規制して軸方向にのみ動ける
ようにすると共に、且つ上記煽りプレートの片面側に皿
ばねとその外側に止めナットを配置して、該止めナット
をベースプレート側に固定し、更に、煽りプレートをベ
ースプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側
に差動ねじ部を有する調整ねじを、上記ブッシュ及び球
面軸受のセンター孔、皿ばねに通して、一方の差動ねじ
部を上記雌ねじブロックに、又、他方の差動ねじ部を止
めナットにそれぞれ螺合させ、該調整ねじを回転させて
雌ねじブロックを軸方向に変位させることにより上記第
１支点部の球面軸受部を支点に煽りプレートの煽り角度
を調整できるようにしてなる煽り調整機構を組み付けた
構成としてあるので、煽りプレートの角度調整時の支点
を皿ばねによる大きな押し付け荷重で保持することがで
きて、高い位置安定性と位置再現性及び高剛性を得るこ
とができると共に、球面軸受と差動ねじ部を有する調整
ねじの組み合わせにより、微調整を簡単に行うことがで
き、したがって、産業用大出力レーザ発振器等の精度の
要求される光学機器の光学素子の位置、角度を正確に調
整することができ、たとえば、振動や冷却水ホース（配
管）の引き回しにより外力の加わる可能性が高い系にお
いても、安定した位置保持力、位置再現性を実現するこ
とができる。又、第２支点部のベースプレートの貫通孔
を、第１支点部方向へ延びる長孔とし、第３支点部のベ
ースプレートの貫通孔を、ブッシュ部分が３６０°の方
向に動ける大きさに設定した構成とすることにより、調
整ねじに煽りプレートを正確に追従させることができ
る。更に、第１支点部に定圧支持機構を組み付けること
に代えて、第１支点部に、煽りプレートをベースプレー
ト側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ
部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付け
て、各支点部を、センター孔付きの球面軸受にブッシュ
を当接させる構成とすることにより、煽りプレートをベ
ースプレートに対し並進移動調整することができて、位
置調整範囲を拡大することができ、更に又、第１支点部
に定圧支持機構を組み付け、第２支点部と第３支点部に
煽り調整機構を組み付けることに代えて、いずれか１つ
の支点部のみに、煽りプレートをベースプレート側に押
し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部を有す
る調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付け、且つ残り
の支点部に定圧支持機構を組み付けた構成とすることに
よって、煽りプレートの一方向のみの煽り角度調整を安
定して行うことができる、等の優れた効果を発揮する。As described above, according to the optical element angle adjusting apparatus of the optical apparatus of the present invention, the opposite side of the tilt plate having the optical element attached to one side is arranged so as to face the base plate, A first fulcrum, a second fulcrum, and a third fulcrum are set at respective apexes of a triangle surrounding the optical element in the overlapping portion of the two plates, and the first fulcrum has a tilt plate and a base plate. A center hole in which a through hole is provided in the base plate, the through hole of the base plate is made larger in diameter than the through hole of the tilt plate, and a rear end portion of the through hole of the base plate is brought into contact with the tilt plate. A spherical bearing with a bearing and a ring nut for supporting the spherical bearing to be brought into contact with the spherical bearing are arranged, the ring nut is fixed to the base plate, and further, a disc spring is lifted on one side of the plate. And from the outside thereof, a tightening bolt is inserted through the disc spring, the through hole of the tilting plate, and the center hole of the spherical bearing, and then screwed into a ring nut to tighten the tilting plate in a direction of pressing the tilting plate against the base plate side. A fixed-pressure support mechanism to be fixed is assembled. Further, through holes are provided in the second supporting point portion and the third supporting point portion in the fan plate and the base plate, and the through holes in the base plate are connected to the through holes in the fan plate. A spherical bearing with a center hole having a diameter larger than that of the base plate and having a rear end portion to be in contact with the lifting plate in a through hole of the base plate, and a rear end portion to be brought into contact with a front end side of the spherical bearing. The bush and the female screw block to be brought into contact with the front end side of the bush are arranged in order, and the rotation of the female screw block with respect to the base plate is regulated. In the same direction as above, and a disc spring and a lock nut are arranged on one side of the lift plate, the lock nut is fixed to the base plate side, and the lift plate is pressed against the base plate side. An adjustment screw having a differential screw portion on the distal end side and the proximal end side is passed through the center hole of the bush and the spherical bearing, a disc spring, and one differential screw portion is inserted into the female screw block and the other. Screwing each of the differential screw portions into the lock nut, and rotating the adjusting screw to displace the female screw block in the axial direction, thereby adjusting the tilting angle of the tilting plate with the spherical bearing portion of the first fulcrum portion as the fulcrum. It is possible to hold the fulcrum at the time of adjusting the angle of the tilting plate with a large pressing load by the disc spring. As a result, high positional stability, high positional repeatability and high rigidity can be obtained, and fine adjustment can be easily performed by a combination of a spherical bearing and an adjusting screw having a differential screw portion. A system that can accurately adjust the position and angle of the optical element of an optical device requiring high precision, such as a high-power laser oscillator. For example, there is a high possibility that an external force will be applied due to vibration or wiring of a cooling water hose (piping). Also, stable position holding force and position reproducibility can be realized. Further, the through hole of the base plate of the second fulcrum portion is an elongated hole extending in the direction of the first fulcrum portion, and the through hole of the base plate of the third fulcrum portion is set to a size such that the bush portion can move in the direction of 360 °. By doing so, it is possible to cause the adjusting plate to follow the adjusting screw accurately. Further, instead of assembling the constant pressure support mechanism to the first fulcrum, an adjusting screw having a differential screw portion on the distal end side and the proximal end side so as to press the tilting plate against the base plate side is provided on the first fulcrum portion. By assembling the tilting adjustment mechanism used and making each fulcrum abut the bushing on a spherical bearing with a center hole, the tilting plate can be translated and adjusted with respect to the base plate, and the position adjustment range In addition, instead of assembling the constant pressure support mechanism at the first fulcrum and assembling the tilt adjustment mechanism at the second fulcrum and the third fulcrum, only one of the fulcrums, A lifting adjustment mechanism using an adjustment screw having a differential screw portion on the distal end side and the base end side so as to press the lifting plate against the base plate side, and a constant pressure support mechanism on the remaining fulcrum portion By assembling configuration that can perform tilt angle adjustment of only one-way tilt plate stably exhibits excellent effects and the like.
【図１】本発明の光学機器の光学素子角度調整装置の実
施の一形態を示す正面図である。FIG. 1 is a front view showing an embodiment of an optical element angle adjusting device for an optical apparatus according to the present invention.
【図２】図１のＡ−Ａ方向矢視図である。FIG. 2 is a view in the direction of arrows AA in FIG. 1;
【図３】図１の背面図である。FIG. 3 is a rear view of FIG. 1;
【図４】本発明の実施の他の形態を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing another embodiment of the present invention.
【図５】レーザ発振器の一例を示す概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram illustrating an example of a laser oscillator.
【図６】従来の角度調整装置の一例を示すもので、
（イ）は正面図、（ロ）は（イ）の切断側面図である。FIG. 6 shows an example of a conventional angle adjusting device.
(A) is a front view, (B) is a cut side view of (A).
４ 半反射ミラー（光学素子） １５ 煽りプレート １６ ベースプレート １９ 定圧支持機構 ２０，２１ 煽り調整機構 ２２，２３ 貫通孔 ２４ 球面軸受 ２５ 締め付けボルト ２６ リングナット ２８ 皿ばね ２９，３０ 貫通孔 ３１ 球面軸受 ３２ ブッシュ ３３ 雌ねじブロック ３６ 調整ねじ ３６ａ，３６ｂ 差動ねじ部 ３９ 止めナット ４１ 皿ばね ４２ 貫通孔 ４５ 煽り調整機構 4 Semi-reflective mirror (optical element) 15 Fan plate 16 Base plate 19 Constant pressure support mechanism 20, 21 Fan adjustment mechanism 22, 23 Through hole 24 Spherical bearing 25 Tightening bolt 26 Ring nut 28 Disc spring 29, 30 Through hole 31 Spherical bearing 32 Bush 33 Internal thread block 36 Adjusting screw 36a, 36b Differential screw part 39 Lock nut 41 Disc spring 42 Through hole 45 Fan adjustment mechanism
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大野 俊孝 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 (72)発明者 中島 審也 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 (72)発明者 森 浩一 東京都江東区東陽７−２−14 石川島シス テムテクノロジー株式会社内 (72)発明者 菊地 一也 東京都江東区東陽７−２−14 石川島シス テムテクノロジー株式会社内 Ｆターム(参考） 2H043 AB02 AB09 AB23 AB30 BC04 5F072 AA00 KK02 KK06 MM11 MM16 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Toshitaka Ohno 3-1-1-15 Toyosu, Koto-ku, Tokyo Ishikawajima Harima Heavy Industries, Ltd. Tokyo Engineering Center (72) Inventor Kenya Nakajima 3-1-1 Toyosu, Koto-ku, Tokyo No. 15 Ishikawajima Harima Heavy Industries, Ltd. Tokyo Engineering Center (72) Inventor Koichi Mori 7-2-14 Toyo, Koto-ku, Tokyo Inside Ishikawajima System Technology Co., Ltd. (72) Inventor Kazuya Kikuchi 7, Toyo, Koto-ku, Tokyo -2-14 F term in Ishikawajima System Technology Co., Ltd. (reference) 2H043 AB02 AB09 AB23 AB30 BC04 5F072 AA00 KK02 KK06 MM11 MM16
Claims (4)
ートの反対側の面をベースプレートに向け対峙させて配
置し、該両プレートの重なり部における上記光学素子を
取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支点部と第２支点
部と第３支点部とを設定し、上記第１支点部には、煽り
プレートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベース
プレートの貫通孔を、該煽りプレートの貫通孔よりも大
径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を
煽りプレートに当接させるようにしたセンター孔付きの
球面軸受と、該球面軸受に当接させる球面軸受支持用の
リングナットとを配置して、該リングナットをベースプ
レートに固定し、更に、皿ばねを煽りプレートの上記片
面側に配してその外側から締め付けボルトを、該皿ば
ね、煽りプレートの貫通孔、上記球面軸受のセンター孔
に挿通させてからリングナットに螺合させて煽りプレー
トをベースプレート側に押し付ける方向に締め付けて固
定するようにしてなる定圧支持機構を組み付け、又、上
記第２支点部及び第３支点部には、煽りプレートとベー
スプレートに貫通孔を設けて、該ベースプレートの貫通
孔を該煽りプレートの貫通孔よりも大径とし、且つ該ベ
ースプレートの貫通孔内に、後端部を煽りプレートに当
接させるようにしたセンター孔付き球面軸受と、該球面
軸受の前端側に後端側を当接させるようにしたブッシュ
と、該ブッシュの前端側に当接させる雌ねじブロックと
を順に配置して、該雌ねじブロックをベースプレートに
対して回転を規制して軸方向にのみ動けるようにすると
共に、且つ上記煽りプレートの片面側に皿ばねとその外
側に止めナットを配置して、該止めナットをベースプレ
ート側に固定し、更に、煽りプレートをベースプレート
側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部
を有する調整ねじを、上記ブッシュ及び球面軸受のセン
ター孔、皿ばねに通して、一方の差動ねじ部を上記雌ね
じブロックに、又、他方の差動ねじ部を止めナットにそ
れぞれ螺合させ、該調整ねじを回転させて雌ねじブロッ
クを軸方向に変位させることにより上記第１支点部の球
面軸受部を支点に煽りプレートの煽り角度を調整できる
ようにしてなる煽り調整機構を組み付けた構成を有する
ことを特徴とする光学機器の光学素子角度調整装置。An opposite surface of a tilting plate having an optical element mounted on one side thereof is disposed so as to face a base plate, and a vertex position of a triangle surrounding the optical element in an overlapping portion of the two plates is provided. A first fulcrum, a second fulcrum, and a third fulcrum are set, and the first fulcrum is provided with through holes in the fan plate and the base plate, and the through holes in the base plate are connected to the through holes in the fan plate. A spherical bearing having a center hole having a diameter larger than that of the base plate and having a rear end portion in contact with the plate in a through hole of the base plate, and a ring nut for supporting the spherical bearing to be brought into contact with the spherical bearing And the ring nut is fixed to the base plate. Further, a disc spring is disposed on one side of the lifting plate, and a tightening bolt is applied from the outside thereof to the penetration of the disk spring and the lifting plate. A constant pressure support mechanism, which is inserted into the through hole and the center hole of the spherical bearing, is screwed to a ring nut, and is fastened and fixed in a direction of pressing the swaying plate against the base plate, and the second fulcrum is provided. A through hole is provided in the pivot plate and the base plate at the portion and the third fulcrum portion, the through hole of the base plate has a larger diameter than the through hole of the pivot plate, and a rear end portion is provided in the through hole of the base plate. A spherical bearing with a center hole configured to abut the plate, a bush configured to abut the rear end side to the front end side of the spherical bearing, and a female screw block configured to abut the front end side of the bush. The female screw block is arranged in order to restrict the rotation of the female screw block with respect to the base plate so that it can move only in the axial direction. An adjusting screw having a differential screw portion on a distal end portion and a proximal end portion so that a spring and a lock nut are arranged outside the spring, the lock nut is fixed to the base plate side, and the push plate is pressed against the base plate side. Through the bush, the center hole of the spherical bearing, and the disc spring to screw one differential screw portion into the female screw block, and the other differential screw portion into the lock nut, respectively. By rotating the female screw block in the axial direction and rotating the female screw block in the axial direction, a tilting adjustment mechanism that can adjust the tilting angle of the plate with the spherical bearing portion of the first fulcrum portion as a fulcrum is provided. Device angle adjustment device for optical equipment.
を、第１支点部方向へ延びる長孔とし、第３支点部のベ
ースプレートの貫通孔を、ブッシュ部分が３６０°の方
向に動ける大きさに設定した請求項１記載の光学機器の
光学素子角度調整装置。2. The through hole of the base plate at the second fulcrum portion is an elongated hole extending in the direction of the first fulcrum portion, and the through hole of the base plate at the third fulcrum portion is sized so that the bush portion can move in the direction of 360 °. 2. The optical element angle adjusting device for an optical apparatus according to claim 1, wherein the angle is set.
ことに代えて、第１支点部に、煽りプレートをベースプ
レート側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動
ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付
けて、各支点部を、センター孔付きの球面軸受にブッシ
ュを当接させる構成とする請求項１記載の光学機器の光
学素子角度調整装置。3. Instead of assembling the constant pressure support mechanism to the first fulcrum, the first fulcrum has a differential screw portion on the distal end side and the proximal end side so as to press the fan plate against the base plate. 2. The optical element angle adjusting device for an optical device according to claim 1, wherein a tilt adjusting mechanism using an adjusting screw is assembled so that each fulcrum is brought into contact with a bush on a spherical bearing having a center hole.
第２支点部と第３支点部に煽り調整機構を組み付けるこ
とに代えて、いずれか１つの支点部のみに、煽りプレー
トをベースプレート側に押し付けるように先端部側と基
端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り調整
機構を組み付け、且つ残りの支点部に定圧支持機構を組
み付けた請求項１記載の光学機器の光学素子角度調整装
置。4. A constant pressure support mechanism is assembled to the first fulcrum.
Instead of assembling the tilt adjusting mechanism on the second fulcrum and the third fulcrum, a differential screw is provided on the distal end side and the proximal end side so that the tilting plate is pressed against the base plate only on one of the fulcrum parts. 2. The optical element angle adjusting device for an optical device according to claim 1, wherein a tilt adjusting mechanism using an adjusting screw having a portion is assembled, and a constant pressure supporting mechanism is assembled to the remaining fulcrum portion.
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