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JP2000316858A - 脈波検出装置、その製造方法、および腕携帯機器 - Google Patents

脈波検出装置、その製造方法、および腕携帯機器

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JP2000316858A
JP2000316858A JP11361706A JP36170699A JP2000316858A JP 2000316858 A JP2000316858 A JP 2000316858A JP 11361706 A JP11361706 A JP 11361706A JP 36170699 A JP36170699 A JP 36170699A JP 2000316858 A JP2000316858 A JP 2000316858A
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JP
Japan
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pulse wave
substrate
pulse
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transmitting
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JP11361706A
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English (en)
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Masataka Araogi
正隆 新荻
Takashi Kamimoto
隆志 紙本
Hiroyuki Muramatsu
博之 村松
Hiroyuki Odagiri
博之 小田切
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Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 超音波を利用し脈を検出する脈波検出装置
で、脈波検出装置と皮膚との隙間で超音波が減衰してし
まう問題があった。 【解決手段】 超音波を発生する発信器、受信器を支持
基板から突出する構成とした。そのため、表皮にあたる
部分が送受信器となり、表皮と脈波検出装置の間に隙間
が生じない。このような構成により検出精度の高い脈波
検出装置が実現できた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、脈波検出装置に係
り、詳細には、動脈に対する超音波の送受信により脈波
を検出する脈波検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】動脈を流れる血流による脈波を検出する
ことは、医療現場や健康管理を行う際に広く行われてい
る。この脈波検出は、触診により所定時間の脈拍数とし
て検出する場合の他、脈波検出装置を使用して電子的に
脈拍数等を自動検出することも広く行われている。
【0003】電子的に脈波を検出して脈拍数を得る装置
として、ピエゾ型の圧電素子をセンサとして動脈上に配
置し、動脈内部の圧力変化に伴う表皮の圧力変化(圧力
による表皮の変位)から脈拍数を検出するものや、超音
波を利用して脈拍数を検出するものが存在する。超音波
を利用する脈波検出装置としては、血流によるドップラ
効果を利用したものがあり、例えば、特開平1−214
335号公報や、USP4086916で提案されてい
る。すなわち、動脈に向けて超音波を発信し、その反射
波を受信素子で受信すると、反射波の周波数や位相の変
化を検出することができる。すなわち、血流により動脈
が拡大している間は動脈表面が発信源と受信素子に近く
なるためドップラ効果により周波数が高くなり、逆に動
脈が縮小している間は周波数が低くなる。この周波数や
位相の変化を検出することで脈波を検出し、さらに脈拍
数を検出したり、血流速を検出したりすることができ
る。
【0004】従来の脈波検出装置25を図2に示す。動
脈に向けて超音波を発信する発振素子と、その反射波を
受信する受信素子は圧電材料2で形成されており、その
圧電材料2が樹脂6で覆われる構成となっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような構
成の従来の脈波検出装置では、超音波の発信器および受
信器が樹脂等で封止された構成であるため、皮膚表皮に
脈波検出装置を固定し脈を検出する際に微妙な隙間が生
じ、表皮と脈検出装置の間に空気が入りこみ、超音波が
減衰してしまう課題があった。そこで、表皮と脈検出装
置の間にゲルを塗布し、超音波の減衰を防いでいた。し
かし、このようにゲルを表皮と脈検出装置の間に塗る方
法では、超音波が減衰してきた時、再度塗布するなど手
間が生じてしまう。
【0006】そこで、本発明は、超音波の減衰によるノ
イズが発生しにくい脈波検出装置を提供することを目的
とする。また、従来の脈波検出装置は、周囲が樹脂等で
封止された発信器および受信器は、それぞれ1枚の平板
状のPZT圧電板で構成されていた。そのため、発信器
と受信器との角度による影響があり、受信感度の低下を
生じていた。
【0007】そこで、本発明は、脈波検出装置にいて、
受信感度を向上させる構成を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明では、動脈に向け
て超音波を発信する発信手段と、この発信手段から発信
された超音波を受信する受信手段とを具備した脈波検出
装置において、発信手段、受信手段が発信手段、受信手
段の支持基板より突出する構成とする。すなわち、発信
手段と受信手段を支持する支持基板より発信手段及び受
信手段を突出させる構成とすることにより、腕等の表皮
に発信手段および受信手段がより表皮に密着良くあたる
こととなり、微小な隙間を与えず、ノイズの影響の少な
い脈検出装置を実現できる。このため、日常的な生活を
営みながらであっても、常時携帯しながら継続的に脈波
を検出することができる。
【0009】さらに、発振手段、受信手段の少なくとも
一方を樹脂等で形成される整合層で覆う構成とした。こ
れにより、音響インピーダンスのマッチングのよい超音
波の減衰のない脈波検出装置が実現できる。また、樹脂
基板に導電パターンが形成された可撓性基板をこの整合
層の代りに用いる構成にした。すなわち、樹脂基板によ
り音響インピーダンスのマッチングをとること、導電パ
ターンを発振手段または受信手段と電気的に接続するこ
とにより発振手段または受信手段に電界をかけること、
が可撓性基板により同時に実現できることとなる。
【0010】また、受信手段、発振手段が搭載される基
板を分離して構成することにより、発振手段で生成され
る超音波を受信手段に伝達しない構成とした。また、基
板に超音波を減衰しやすい材料を用いることにより、動
脈側により効率的な超音波の伝播ができるようにした。
さらに、発振手段、あるいはまた受信手段を円弧形状と
した。これにより、発信手段、受信手段の相互の平行度
を厳密に調整する必要がなくなるため、容易に作製する
ことができる。
【0011】このように、本発明による脈波検出装置は
簡単な構成であるため、例えば、脈波検出装置を時計に
組み込むことで、日常的に使用することが可能になる。
この場合、時計で使用する発信手段の少なくとも一部を
脈波検出装置の発信手段として共用することができ、更
に簡単な構成とすることができる。また、本発明では発
信手段、受信手段が一対を構成し、複数対支持基板に具
備する構成とした。すなわち、一対の構成においても脈
波の検出可能であるが、複数対検出手段を有する構成に
することにより、脈の検出可能性を高めるものである。
【0012】また、受信手段から、脈波に関する情報と
して脈拍数を取得し、脈拍数を出力する出力手段を具備
する構成とした。すなわち、脈拍を日常的に確認するこ
とができる。さらに、本発明による脈波検出装置の製造
方法は、基板上に電極を形成する工程と、電極上に選択
的に超微粒子の圧電材料を吹き付けて発信器または受信
器を形成する工程と、を備えることとした。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の脈波検出装置にお
ける好適な実施の形態について、図を参照して詳細に説
明する。 (1)実施形態の概要 脈波検出装置の構成は、電極(下部電極)が形成された
基板上に圧電材料を接合手段により接合し、さらに圧電
材料の上部に電極(上部電極)が形成されている。すな
わち、基板上に圧電材料より構成された発信・受信手段
が接合され、この発信・受信手段が基板面よりも突出し
た構成となっている。突出した発信、受信手段は腕等の
皮膚と接触し、皮下の血管の血流を検出する。突出した
発信、受信手段は、より皮膚に接触しやすい構成である
ため、空気による減衰をさけることができる。
【0014】前述した上下電極間に電圧を印加すること
により、圧電材料(発信手段)に超音波を発生させる。
発生させた超音波は血管に向かって照射され、血管内の
血流によるドップラー効果による周波数シフトを測定す
る。このような構造や製造方法を採用することにより、
より検出感度が高い脈検出を実現できる。
【0015】(実施例1)図1に本発明の脈波検出装置
5の構成を示す。基板1上に設けられた電極3の上にP
ZTの圧電材料2を接合する。さらに、圧電材料2上に
図示しない上部電極を形成する。電極3と上部電極との
間に電圧を印加することにより超音波を発生させる構成
である。
【0016】本実施例では、電極をフォトリソグラフィ
で作成した。また、電極の材料として白金を用いた。圧
電材料2を支持する基板1の大きさは、横10mm、縦
5mm、厚さ0.5mmのものを用いた。PZTの圧電
材料2は、横2mm、縦1.5mm、厚さ0.2mmの
ものを用いた。本発明における検出原理は、動脈に向け
て超音波を発信し、その反射波を受信素子で受信する
と、反射波の周波数や位相の変化を検出することができ
る。すなわち、ドップラ効果により周波数の微小変化を
捉えることにより脈拍を検出するものである。この脈波
波形から、脈波に関する情報として脈拍数を取得し、表
示部に取得した脈拍数を表示することができる。また、
脈波に関する情報の取得処理として、脈波波形をA/D
変換してメモリに記憶し、表示部に波形を画像表示した
り、又は、パーソナルコンピュータや、医療用の診断装
置等の各種外部装置に出力することもできる。
【0017】本実施例の脈波検出装置の特徴について図
6、図7を基に説明する。本実施例の検出部器(脈波検
出装置)は、支持基板上に発信器12および受信器14
が突出した構成である。この構成をとるためには大別し
て以下の二つの方法がある。すなわち、基板1に予め突
出部4を形成して、この突出部上に発信器及び受信器と
なる圧電材料2を接合する方法と、圧電材料2そのもの
の厚みを利用して基板万から突出させる方法である。本
実施例においては、突出部の厚みを1mm程度突出させ
たいため、支持基板に予め厚み0.8mmの突出部を設
け、この突出部に0.2mmのPZT圧電材料を接合す
ることとした。この構成の検出部を用いた脈波検出装置
の実施例を図3を用いて説明する。図3は、脈波検出装
置(検出器)を腕にあて、動脈31に向けて超音波を発
信した場合を表す図である。本実施例の場合、発信器1
2、受信器14の表面が腕に直接あたるため、隙間が生
じ難く、空気による減衰が少ない。しかし、図2で示し
た従来の脈波検出装置を用いた場合には、図4に示すよ
うに、腕に接触する面積が大きいため、隙間が生じる可
能性が大きくなる。そのため、隙間に存在する空気によ
り超音波が減衰しやすくなり、これを防ぐためにゲルな
どを皮膚と検出装置の間に塗る必要があり、手間がかか
った。本実施例では、発信器と受信器は腕に密着しやす
いため、空気による超音波の減衰が生じ難く、良好な特
性が得られる。なお、発信器および受信器を樹脂コート
等の被覆材で覆った構成でも良好な結果が得られる。被
覆材は発信器および受信器である圧電材料の保護に有用
である。
【0018】以上説明したように、本発明を用いること
により、容易に脈拍を検出でき、運動時の生体の状態、
健康管理等に用いられる小型携帯機器を実現できる。 (実施例2)発信手段と受信手段のうち少なくとも一方
が円弧形状である構成の実施例を以下に示す。本実施例
による脈波検出装置の外観図を図5に、その断面を図6
に示す。本発明による脈波検出装置5の構成は、基板に
は円弧状の突起部(円弧状突起40)が設けられ、基板
の平面部及び突起部に電極3が設けられ、さらに、この
突起部上に超微粒子の圧電材料が形成されている。この
ように、基板に設ける突出部位を円弧状の凸部にし、そ
こに圧電材料を形成してもよいし、また、基板の平面上
に圧電材料を円弧状に凸に形成してもよい。あるいは、
突出部位または圧電材料を凹形状にしても良い。
【0019】ここでは、さらに、圧電材料2上に図示し
ない上部電極が形成されている。電極3と上部電極との
間に電圧を印加することにより超音波を発生させる構成
である。本実施例では、電極3をフォトリソグラフィで
作製し、また、支持する基板1の大きさは、横10m
m、縦5mm、厚さ0.5mmのものを用いた。基板に
は樹脂基板を用いた。本実施例の脈波検出装置を用い
て、超音波を発生させ脈波検出を行う。
【0020】本実施例の検出部(脈波検出装置)の特徴
を図6を基に説明する。本実施例の検出部(脈波検出装
置)の構成では、基板1の円弧状突起部40に圧電材料
2を形成し、電極間に電圧を印加することにより超音波
を発生させる構成を取った。本実施例では、受信器およ
び発信器においても円弧状突起40に圧電材料2を形成
する構成を取った。もちろん受信器のみ円弧状にしても
よい。
【0021】円弧状突起に圧電材料を有する構成とする
ことにより、受信可能性を高め、受信感度の向上およ
び、脈波検出装置付きの腕携帯機器装着時の検出可能性
の向上および、体動による影響の受け難い脈波検出装置
を実現できる。上述した円弧状突起の製造方法につい
て、図7を用いて説明する。まず、第1の工程(図7
(a))で、基板1を用意する。本実施例においては樹
脂基板を用いた。第2の工程(図7(b))で、切削等
により円弧状突起40を形成した。第3の工程(図7
(c))で、マスク41を基板上の円弧状突起40にあ
わせて設置し、超微粒子51の圧電材料をノズル50か
ら照射し、円弧状突起40上に圧電材料を形成する。こ
こでは、0.3mm径の超微粒子を用いた。このように
して、図7(d)に示すように、円弧状突起40に超微
粒子からなる圧電材料2が形成される。上述した方法
は、圧電材料を円弧状等の特殊な形状に形成する場合、
平面でない基板上に圧電材料を形成する場合に特に有効
である。もちろん、図1で示した構成の脈波検出装置の
圧電材料を作成する場合に用いることもできる。
【0022】さらに、この圧電材料2を覆うように樹脂
コートすることにより、発信器および受信器である圧電
材料が保護される。このような構成によっても、良好な
脈波検出結果が得られる。なお、凸形状の円弧状突起に
圧電材料を形成する方法で脈波検出装置を実現したが、
凹形状においても同様の効果がある。
【0023】(実施例3)前述した実施例の構成の検出
部を複数個搭載した場合の実施例を図8に示す。すなわ
ち、樹脂の支持基板1上に送受信を行うための対の圧電
材料が複数対搭載されている。この構成によれば、脈波
の強度が強い部分を抽出して、選択的に送受信を使うこ
とより、最適な脈波信号をとることができる。また、安
易に装着しても、容易に脈波を検出できる効果がある。
【0024】(実施例4)図9に、発信手段と受信手段
の間の基板に、超音波の振動を伝達しないためのセパレ
ータ層を設けた構成を示す。すなわち、発信手段と受信
手段の間に溝35が形成されている。この溝35を形成
することにより、発信手段からの超音波が基板を通じて
受信手段に伝播することがなく、受信手段はSNのよい
信号を抽出することができる。
【0025】本発明では、ダイシングなどの切削手段に
より、支持基板を作製したが、もちろん他の手段で溝3
5を形成してもよい。また、溝部に振動を吸収するため
の吸収材を形成することにより、伝播を抑えることがで
きる。本発明の構成を行うことにより、さらにドップラ
効果による周波数シフトを検知することができる。ま
た、この溝35の間に、伝播した振動を吸収するための
材料、たとえば、ゲル素材を注入することによって、さ
らなる効果を得ることができる。
【0026】(実施例5)圧電材料2の上に整合層45
を形成して、圧電材料と腕との間の音響インピーダンス
マッチングを図ることにより、超音波の減衰を防止でき
る。圧電材料からなる発信手段及び受信手段のいずれか
一方に整合層45を設けてもよい。図10には、腕との
間の音響インピーダンスマッチングを図るための整合層
45を発信手段及び受信手段の上に形成した構成を示
す。整合層45を形成することにより、減衰特性の少な
い脈波検出装置を実現できる。
【0027】なお、本実施例においては、圧電材料に電
界をかけるために、上部電極と基板上に設けられた取り
出し電極(配線)との電気的接続をワイヤーボンディン
グ36を用いて行った。ワイヤーボンディング後、整合
層45を形成して脈波検出装置を実現した。なお、整合
層は、樹脂を用いてモールドすることにより行った。ま
た、図11に示すように、樹脂層に導電パターンが形成
されたフレキシブル基板37などの導電材を用いて圧電
材料2上の上部電極と基板上の配線との接続を実現させ
ても、同等の効果を得ることができる。すなわち、整合
層の機能をフレキシブル基板の樹脂層が担い、ワイヤー
の機能を導電パターンが担うこととなる。また、このよ
うなフレキシブル基板を用いる場合には、圧電材料に上
部電極を形成しなくても、導電パターンにより圧電材料
の上面と基板上の配線を電気的に接続させることもでき
る。このように、樹脂層に導電パターンが形成されたフ
レキシブル基板を用いることにより、よりコンパクトな
薄型の脈波検出装置が実現できる。
【0028】(実施例6)本発明に用いる基板1は、縦
振動を動脈に向けて発振する圧電材料が形成されてお
り、この振動を基板側には伝播しない特性が必要であ
る。そのため、基板の材料には、より超音波を減衰する
特性を有することが好ましく、本実施例においては、樹
脂基板、より詳しくは、ポーラスな材料であるプラスチ
ックを用いた。もちろん、多孔質な基板を用いてもよ
い。このように、基板に超音波を減衰する特性の材質を
用いることにより、感度の高い脈波検出装置を実現でき
る。
【0029】(実施例7)以下に、これらの実施例によ
る脈波検出装置を用いた腕携帯機器を図12〜14に基
づいて説明する。図12に示すように、脈波検出装置を
搭載した腕携帯機器は検出部(脈波検出装置)13と出
力部15とを備えている。検出部13は、体表面に配置
される発信器12及び、発信器12近傍の体表面動脈上
に配置される受信器14を備えている。また、発信器1
2を駆動して超音波を発信させる駆動回路10が設けら
れる。発信器12は動脈上に配置され、動脈に向けて9
MHzの超音波を発信するようになっている。9MHz
の発振は生体とのマッチング性もよく。容易に脈波を検
出することができる。
【0030】受信器14は発信器12から発信され動脈
を含む体内を伝搬してきた超音波を受信し、受信した信
号を脈拍計数部11に供給する。脈拍計数部11からの
出力を出力部である表示部が表示する。なお、発信器1
2と受信器14とは、脈波検出装置(脈波センサ)とし
て同一部品内にパッケージされ、動脈上の体表面に配置
されるようになっている。
【0031】出力部15は表示部16を備えており、脈
拍計数部から供給される脈拍数を表示するようになって
いる。表示部16は、液晶表示装置で構成することで脈
拍数を画像表示し、又は、パネルに脈拍数を電光表示す
るようにしてもよい。本発明による脈波検出装置を搭載
した腕携帯機器を腕30に装着した様子を図13に示
す。ここで、腕携帯機器には脈拍数を脈拍表示部16で
表示できる機能が搭載されている。
【0032】図14は、時計に組み込んだ脈波検出装置
により脈波を検出する状態を表したものである。この図
に示すように時計(腕携帯機器)は、時計本体とベルト
21を備えており、ベルトの内側にはセンサである脈波
検出装置5が取り付けられている。一般的な時計と同様
に、時計本体を手の甲側にして左(又は右)手首に取り
付けるようになっている。その際、脈波検出装置(セン
サ)の位置は、図示しないが、とう骨動脈上に位置する
ようにセンサをベルトの長さ方向に移動して位置調整で
きるようになっている。
【0033】脈波検出装置(センサ)5には、発信器1
2と受信器14とが、とう骨動脈に沿って配置されるよ
うに、ベルトの長さ方向と直交する方向に並べられ、手
先側に発信器が肩側に受信器が配置されている。なお、
発信器12と受信器14の配置位置は、この逆であって
もよい。センサと、時計本体の駆動回路、検波回路と
は、ベルト内に組み込まれた図示しない配線によって接
続されている。
【0034】時計本体の表示面(文字盤)20は、時計
としての時刻(や日、曜日等)が表示される時計表示部
と、脈拍数および脈拍が表示される脈拍表示部16を備
えている。脈拍計数部11は、脈波波形のピークを検出
する毎にパルス信号を表示部に供給するようになってお
り、このパルス信号の出力に応じて脈拍表示部が緑色点
滅するようになっている。この脈拍表示部16の点滅を
みることで、ユーザは自分の脈波を視覚的に認識するこ
とができる。
【0035】なお、脈拍表示部16の点滅色を脈拍数に
応じて変えるようにしてもよい。例えば、69以下を黄
色点滅、脈拍数が70〜90の間は青色点滅、91〜1
10の間を緑色点滅、の間を橙色点滅、131以上を赤
色点滅とする。
【0036】
【発明の効果】本発明の脈波検出装置によれば、脈拍を
検出するための超音波発信部、受信部を腕に密着性よく
あてることができ、空気による超音波の減衰をさけるこ
とができ、さらに容易に脈拍を検出することができる。
また、脈拍を検出するための超音波発信部、受信部の形
状を円弧状にすることにり受信率の向上と、体動ノイズ
につよい脈拍を検出する手段を提供することができる。
【0037】以上説明したように、本発明を用いること
により、容易に脈拍を検出でき、運動時の生体の状態、
健康管理等に用いられる小型携帯機器を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による脈波検出装置の概要を示す外観図
である。
【図2】従来の脈波検出装置の構成を示す外観図であ
る。
【図3】本発明による脈波検出装置を用いた脈波検出を
模式的に表す概要図である。
【図4】従来の脈波検出装置を用いた検出部を模式的に
表す概要図である。
【図5】本発明の他の実施例による脈波検出装置の構成
を表す斜視図である。
【図6】本発明の他の実施例による脈波検出装置の縦断
面の構成を表す断面図である。
【図7】本発明の脈波検出装置の製造方法を示す工程図
である。
【図8】検出部を複数個搭載した脈波検出装置を表す斜
視図である。
【図9】支持基板に溝が形成された脈波検出装置を表す
斜視図である。
【図10】本発明における脈波検出装置の断面図であ
る。
【図11】本発明における脈波検出装置の断面図であ
る。
【図12】本発明の脈拍検出用腕携帯機器の構成を示す
ブロック図である。
【図13】本発明の腕携帯機器を腕に装着した状態を示
す外観図である。
【図14】本発明の脈波検出装置を備えた腕携帯機器の
外観図である。
【符号の説明】
1 基板 2 圧電材料 3 電極 6 樹脂 10 駆動回路 11 脈拍計数部 12 発信器 14 受信器 15 出力部 35 溝 36 ワイヤボンディング 37 フレキシブル基板 40 円弧状突起 41 マスク 50 ノズル 51 超微粒子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村松 博之 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 小田切 博之 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 Fターム(参考) 4C017 AA09 AB02 AC03 FF15 FF18 4C301 AA03 DD10 EE04 EE11 GB20 GB21 GB33 GB34

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 動脈に向けて超音波を発信する発信手段
    と、 前記発信手段から発信された超音波を受信する受信手段
    と、 前記発信手段と前記受信手段を搭載する基板と、を備え
    るとともに、 前記発信手段と前記受信手段が前記基板より突出して設
    けられたことを特徴とする脈波検出装置。
  2. 【請求項2】 前記発信手段及び前記受信手段が圧電材
    料より構成されることを特徴とする請求項1記載の脈波
    検出装置。
  3. 【請求項3】 前記支持基板に突出部位が設けられると
    ともに、前記突出部位に、前記発信手段と前記受信手段
    のうち少なくとも一方が設けられたことを特徴とする請
    求項1記載の脈波検出装置。
  4. 【請求項4】 前記発信手段と前記受信手段のうち少な
    くとも一方が円弧形状であることを特徴とする請求項1
    〜3のいずれか1項に記載の脈波検出装置。
  5. 【請求項5】 前記発信手段と前記受信手段のうち少な
    くとも一方が、超音波が減衰しないための整合層で覆わ
    れたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記
    載の脈波検出装置。
  6. 【請求項6】 樹脂上に導電パターンが形成された可撓
    性基板を有するとともに、 前記発信手段または前記受信手段の前記基板とは反対側
    の面と前記導電パターンが電気的に接続されたことを特
    徴とする請求項1に記載の脈波検出装置。
  7. 【請求項7】 前記発信手段と前記受信手段の間の前記
    基板に、超音波の振動を伝達しないためのセパレータ層
    が設けられたことを特徴とする請求項1記載の脈波検出
    装置。
  8. 【請求項8】 前記基板が超音波を減衰する材質で形成
    されたことを特徴とする請求項1記載の脈波検出装置。
  9. 【請求項9】 前記発信手段と前記受信手段を覆うよう
    に被覆材料が設けられたことを特徴とする請求項1〜8
    のいずれか1項に記載の脈波検出装置。
  10. 【請求項10】 前記発信手段と前記受信手段が一対を
    構成し、複数対支持基板に具備したことを特徴とする請
    求項1〜9のいずれか1項に記載の脈波検出装置。
  11. 【請求項11】 基板に突起部を形成する工程と、前記
    突起部に電極を形成する工程と、前記突起部に選択的に
    超微粒子の圧電材料を吹き付けて供給する工程と、を備
    えることを特徴とする脈波検出装置の製造方法。
  12. 【請求項12】 基板上に電極を形成する工程と、前記
    電極上に選択的に超微粒子の圧電材料を吹き付けて発信
    器または受信器を形成する工程と、を備えることを特徴
    とする脈波検出装置の製造方法。
  13. 【請求項13】 動脈に向けて超音波を発信する発信手
    段と、前記発信手段から発信された超音波を受信する受
    信手段と、前記発信手段と前記受信手段を搭載する支持
    基板と、を備え、前記発信手段と前記受信手段が前記支
    持基板より突出して設けられた脈波検出装置と、 前記脈波検出装置からの信号を取得する脈波情報取得手
    段と、 前記脈波情報取得手段からの情報を出力する出力手段
    と、を有することを特徴とする腕携帯機器。
  14. 【請求項14】 前記脈波情報取得手段が前記受信手段
    から脈波に関する情報として脈拍数を取得し、前記出力
    手段が脈拍数を出力することを特徴とする請求項13に
    記載の腕携帯機器。
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