JP2000298011A - 形状測定方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ヘッド形状等の測定に適した形状測定方法お
よび装置を提供する。 【解決手段】 ２つの非接触の変位計を用い、一方の変
位計による測定点を被測定物の表面に、他方の変位計に
よる測定点を平滑な基準面にそれぞれ設定し、被測定物
と基準面とを同時に移動させてそれぞれの変位を測定
し、両者の測定値の差分により被測定物の表面形状を測
定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば磁気テープ
装置に用いられる固定ヘッドの摺動面などの形状を測定
する方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、データバックアップ用の磁気テ
ープ装置には、磁気テープに対してデータを記録したり
記録されたデータを読み出したりするための固定ヘッド
が備えられる。この種の固定ヘッドの多くは、複数の記
録・再生ヘッドと摺動部とを組み合わせて一体化した構
成で、少なくとも一対の対向する辺の寸法がテープ幅
（約3.８〜１2.６mm）以上に設定されている。

【０００３】このような固定ヘッドにおいては、テープ
と摺動する面全体の形状がテープの走行性を始めとする
各種性能に影響を及ぼすことが知られているが、これま
でのところ、このような固定ヘッドのテープと摺動する
面（摺動面）全体の領域における形状を高精度に測定で
きる装置は提供されていない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】物品の表面形状を測定
する場合には変位計を使用することが多い。変位計に
は、被測定物にピックアップ（検出針）等を接触させて
表面をなぞることで測定を行うもの（いわゆる接触式）
と、光学的手段等を用いて被測定物表面に接触すること
なく測定を行うもの（いわゆる非接触式）とがある。固
定ヘッドの摺動面を測定する場合には、摺動面への接触
を回避しなければならないため、後者の非接触の変位計
を使用する必要がある。

【０００５】ところが、非接触の変位計を使用しても先
に述べたような固定ヘッドの摺動面全体の領域における
形状を測定する場合には、ヘッド摺動面に測定点を設定
した状態で固定ヘッドあるいは変位計を少なくとも数mm
以上移動させる必要があり、この固定ヘッドあるいは変
位計の移動に伴う位置変動誤差（例えば、移動機構の動
作時に生じる機械的振動等による測定誤差）が変位の測
定値に加算される結果、測定の高精度化を図るのが難し
いという問題があった。なお、従来から非接触の変位計
を用いて被測定物の表面の形状を測定する装置はある
が、その場合の形状測定は比較的狭い範囲に限られてお
り、固定ヘッド摺動面全体の領域のような比較的広い範
囲（例えば数mm〜二十数mm）にわたって形状を測定でき
るものは知られていない。

【０００６】本発明は、変位計を用いて被測定物の表面
の形状を測定する際に当該変位計または被測定物の一方
を相対的に移動させる必要のある場合において、その移
動に伴う位置変動誤差の影響を少なくして、被測定物の
表面の形状、例えば固定ヘッド摺動面全体の領域におけ
る形状を高精度に測定できる方法および装置を提供する
ことを目的とする。

【０００７】

【問題を解決するための手段】上記目的達成のため、本
発明の形状測定方法は、２つの非接触の変位計を用い、
一方の変位計による測定点を被測定物の表面に、他方の
変位計による測定点を平滑な基準面にそれぞれ設定し、
被測定物と基準面とを同時に移動させてそれぞれの変位
を測定し、両者の測定値の差分により被測定物の表面形
状を測定することを特徴とする。

【０００８】また、本発明の形状測定装置は、被測定物
の表面を測定点とする非接触の変位計と、平滑な基準面
を測定点とする非接触の変位計と、被測定物および基準
面を移動させる手段と、前記両変位計による測定値の差
分を求める手段とを有することを特徴とする。非接触の
変位計としては、例えば三角法やドップラー効果を利用
して変位を測定するレーザー変位計、あるいはレーザー
フォーカス変位計、さらにはフォトミックセンサを用い
て反射率から変位を測定する変位計等の各種の変位計を
用いることができる。平滑な基準面としては、表面が平
滑なミラーを使用することができる。

【０００９】本発明の形状測定方法および装置では、被
測定物および基準面の移動に伴う傾斜変動による誤差の
影響を低減するために、被測定物の測定点と基準面の測
定点とを結ぶ直線を、被測定物の移動面に対して垂直に
設定する。また、被測定物および基準面の移動面上の２
軸をＸ軸、Ｙ軸とし、移動面に垂直な軸をＺ軸として、
被測定物の測定点と基準面の測定点のＺ軸からの距離の
差を１０mm以内に設定してもよい。

【００１０】用いる変位計の測定範囲が比較的狭く且つ
被測定物の表面にその測定範囲をこえる凹凸があるよう
な場合には、被測定物の表面（測定面）に沿って変位を
測定している途中で、被測定物の表面が変位計の測定範
囲内に位置するように被測定物または変位計をＺ軸方向
（移動面と垂直な方向）に移動させる必要が生じる。こ
れに対処するため、本発明の形状測定装置には、被測定
物と基準面と変位計とをＺ軸方向に移動させる手段（後
述する実施例ではＺ軸ステージおよびＸＹＺ軸電動パル
スステージ）と、その移動距離を認識する手段（後述す
る実施例ではコンピュータ）とを備える。

【００１１】例えば、断面弧状の頂部を有する突条が表
面に形成されている被測定物において、突条の頂部に沿
って形状を測定する必要がある場合には、変位計による
測定点を常に前記突条の頂部の表面に位置させた状態
で、被測定物または変位計の一方を相対的に移動させな
ければならない。このため、本発明の形状測定装置に
は、被測定物の測定面を１０倍以上の倍率でモニタ画面
に映す手段（後述する実施例ではカメラ）と、被測定物
をＺ軸回りに回転させる手段（後述する実施例では回転
ステージ）と、モニタ画面に目盛りやマーカー等の位置
の基準を示す手段とを備える。

【００１２】被測定物の表面の形状を測定する場合に、
被測定物（または基準面）がその移動面に対して傾斜し
ていると、被測定物の表面形状が正確に測定できないお
それがある。そこで、このような事態に対処するため、
本発明の形状測定装置には、被測定物および基準面の傾
斜を調整する手段（後述する実施例では２軸傾斜ステー
ジ）を備える。

【００１３】本発明は、磁気テープ装置用の固定ヘッド
の摺動面全体における領域の形状を測定する手段として
好適である。

【００１４】

【作用】本発明では、被測定物と基準面とを同時に移動
させて変位を測定し、両者の測定値の差分を取るように
したので、移動に伴う位置変動誤差を相殺することがで
きる。すなわち、上記のように被測定物と基準面とを同
時に移動させて変位を測定すると、その移動に伴う位置
変動誤差は被測定物と基準面の両測定値に同様に現れる
から、両測定値の差分を取ればそれらの位置変動誤差が
相殺されて、被測定物の測定値から移動に伴う位置変動
誤差が取り除かれることになる。こうして被測定物の表
面の形状を高精度に測定できる。また、被測定物の測定
点と基準面の測定点とを結ぶ直線を、被測定物の移動面
に対して垂直に設定した場合には、移動に伴う傾斜変動
による誤差の影響も少なくすることができる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。な
お、この実施例は、磁気テープ装置に備えられる固定ヘ
ッド（以下の例では試料ヘッド）を被測定物として用
い、その摺動面全体の領域における形状（ヘッド形状）
を測定する場合に関する。

【００１６】＜形状測定装置＞図１に、この実施例で使
用した形状測定装置の構成を示す。図１では、左右方向
をＸ軸方向、紙面を貫く方向をＹ軸方向、上下方向をＺ
軸方向とし、測定時に試料ヘッド（この実施例で試料と
して用いた固定ヘッド）６を移動させる方向をＸ軸方向
およびＹ軸方向としている。

【００１７】図１に示すように、この実施例に係る形状
測定装置は、基盤１の上に、レーザー変位計２・３（こ
の実施例では三角測距方式によるもの）をそれぞれ保持
するＺ軸ステージ４・５と、試料ヘッド６を回転ステー
ジ１４および２軸傾斜ステージ８を介し、また基準ミラ
ー７を２軸傾斜ステージ９を介してそれぞれ保持するＸ
ＹＺ軸電動パルスステージ１０とを取り付けた構成であ
る。

【００１８】レーザー変位計２・３は、試料ヘッド６の
測定点と基準ミラー７による基準面の測定点とを結ぶ直
線が試料ヘッド６の移動面（Ｘ−Ｙ平面）に対して垂直
となるように設置されている。基準ミラー７は、本発明
でいう基準面を構成するもので、この実施例では面精度
が７００ｎｍ以下のものが使用されている。これらのレ
ーザー変位計２・３をそれそれ保持するＺ軸ステージ４
・５は、例えばパルスモータからなる駆動源４ａ・５ａ
をそれぞれ有し、当該駆動源４ａ・５ａによってレーザ
ー変位計２・３をＺ軸方向に移動させうるようになって
いる。

【００１９】２軸傾斜ステージ８・９は、試料ヘッド６
および基準ミラー７のＸ軸回りおよびＹ軸回りの傾斜を
調整して試料ヘッド６および基準ミラー７を所定の状態
にセットするためのもので、試料ヘッド６および基準ミ
ラー７の装着される側においてＸ軸回りおよびＹ軸回り
の角度が手動で微調整可能とされている。

【００２０】ＸＹＺ軸電動パルスステージ１０は、回転
ステージ１４および２軸傾斜ステージ８を介して試料ヘ
ッド６を保持し且つ２軸傾斜ステージ９を介して基準ミ
ラー７を保持するアーム部１０ａと、駆動源としての３
つのパルスモータ１０ｂ・１０ｃ・１０ｄとを有する。
そして、これらのパルスモータ１０ｂ・１０ｃ・１０ｄ
によってアーム部１０ａをＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ
軸方向の各方向に移動させうるようになっている。

【００２１】さらに、この形状測定装置には、ＸＹＺ軸
電動パルスステージ１０の動作制御とレーザー変位計２
・３から出力されるデータの処理とを行うコンピュータ
１１と、試料ヘッド６の測定面をモニタリングするため
のカメラ１２およびモニタ１３とが備えられている。

【００２２】このうち、コンピュータ１１は、測定時に
レーザー変位計２・３に対して所定の位置関係にセット
された試料ヘッド６および基準ミラー７がＸ軸方向ある
いはＹ軸方向に沿って同時に移動するように、ＸＹＺ軸
電動パルスステージ１０におけるパルスモータ１０ｂ・
１０ｃ・１０ｄとを制御する。また、このコンピュータ
１１は、測定時に一方のレーザー変位計２から出力され
る試料ヘッド６の測定値を示す信号と、他方のレーザー
変位計３から出力される基準ミラー７の測定値を示す信
号とに基づいて、両者の差分を求め、得られた結果を試
料ヘッド６の形状を示すデータとして図示しない内蔵ま
たは外部の記憶装置に書き込むか或いは出力装置を介し
て外部に出力するようになっている。なお、図示例で
は、試料ヘッド６と基準ミラー７は互いに逆向きにセッ
トされた状態で測定されるので、両者の測定値の差分を
求めるには、両測定値を単に足し合わせればよい。

【００２３】また、カメラ１２は、レーザー変位計２と
並設状態でＺ軸ステージ４に保持されており、測定時に
試料ヘッド６の測定面の撮像をモニタ１３に送って、そ
の画面に試料ヘッド６の測定面を１０倍以上の倍率（こ
の例では１００倍）で映し出す。その場合、モニタ１３
の画面には、映っている試料ヘッド６の測定面の位置や
大きさのレベルが認識できるように、目盛りあるいはマ
ーカー等が試料ヘッド６の測定面の映像とともに示され
るようになっている。

【００２４】＜測定方法＞次に、このような形状測定装
置を用いて試料ヘッド６の摺動面全体の領域における形
状を測定する方法について説明する。まず、図１に示し
たように、ＸＹＺ軸電動パルスステージ１０のアーム部
１０ａに２軸傾斜ステージ８・９をそれぞれ介して試料
ヘッド６および基準ミラー７を取り付けたうえで、レー
ザー変位計２・３を所定の高さ位置にセットする。そし
て、このうちの一方の変位計２による測定点を試料ヘッ
ド６の表面つまり摺動面に、他方の変位計３による測定
点を基準ミラー（基準面）７にそれぞれ設定する。ま
た、２軸傾斜ステージ８・９を手動操作して、試料ヘッ
ド６および基準ミラー７が水平状態となるように調整す
る。この状態において、試料ヘッド６の測定点と基準ミ
ラー７の測定点とを結ぶ直線は図中のＸ−Ｙ平面に対し
て垂直となっている。なお、断面弧状の頂部を測定する
場合（後述する測定例）は、頂部を結ぶ線と試料ヘッ
ド６の移動方向が平行になるように、モニター１３のマ
ーカーを見ながら回転ステージ１４による試料ヘッド６
の回転と、ＸＹＺ軸電動パルスステージ１０による移動
とを繰り返し行い平行になるまで調整する。

【００２５】次いで、ＸＹＺ軸電動パルスステージ１０
を操作して、試料ヘッド６および基準ミラー７をＸ軸方
向（またはＹ軸方向）に同時に移動させながら、試料ヘ
ッド６の摺動面に設定した一方のレーザー変位計２の測
定点と、基準ミラー７つまり基準面に設定した他方のレ
ーザー変位計３の測定点の各Ｚ軸方向の変位、つまり試
料ヘッド６の摺動面および基準ミラー７による基準面の
それぞれＸ軸方向（またはＹ軸方向）に沿った各点にお
けるＺ軸方向の変位を測定する。

【００２６】このようにして得られた試料ヘッド６の摺
動面の各点における測定値と、基準ミラー７による基準
面の各点における測定値は、レーザー変位計２・３から
の各出力としてコンピュータ１１に入力される。コンピ
ュータ１１は、入力された試料ヘッド６に関する測定値
と基準面に関する測定値の両者の差分を、試料ヘッド６
および基準面において同時に測定された各点ごとに求め
る。このようにして両測定値の差分を取ることによって
試料ヘッド６の移動に伴う位置変動誤差が相殺され、そ
の結果、試料ヘッド６の摺動面の形状が精度良く測定さ
れることとなる。

【００２７】＜形状測定例＞次に、試料ヘッド６に関す
る実際の形状測定例について説明する。図２は、この測
定例で用いた試料ヘッド６を示したもので、同図には、
試料ヘッド６の摺動面に対するレーザー変位計２の走査
方向（相対的な移動方向）も併せて示してある。

【００２８】図２に示した試料ヘッド６には、これの摺
動面上に第１〜第５の５本の突条６１〜６５が形成され
ており、このうちの第２〜第４の３本の突条６２〜６４
には第１チャンネル用および第２チャンネル用の２つの
ギャップ部ＣＨ１・ＣＨ２がそれぞれ設けられている。
ここで、例えば、両端に位置する第１および第５の各突
条６１・６５はそれぞれアウトリガー部であり、中央に
位置する第３の突条６３はリード用のヘッド部であり、
その他の第２および第４の突条６２・６４はそれぞれラ
イト用のヘッド部である。第３の突条６３と第２および
第４の突条６２・６４との間隔はそれぞれ7.５mm、各突
条６１〜６５の延びる方向における試料ヘッド６の幅寸
法は２３mmである。

【００２９】このような試料ヘッド６の摺動面に対し、
図１の形状測定装置を用いて先に述べた方法により形状
を測定した。測定したのは、以下に示す形状である。 第１チャンネル用のギャップ部ＣＨ１を通過して各
突条６１〜６５と直交する方向の形状（この場合のレー
ザー変位計２の走査方向を図２の矢印Ａで示す）。 第２チャンネル用のギャップ部ＣＨ２を通過して各
突条６１〜６５と直交する方向の形状（レーザー変位計
２の走査方向はギャップ部ＣＨ１の場合と同じ）。 各突条６１〜６５の頂部に沿った形状（この場合の
レーザー変位計２の走査方向を図２の矢印Ｂで示す）。

【００３０】〜の大まかな形状は、図３および図４
に示す通りである。このうち、図３は（の場合もほ
ぼ同様）の形状の概略を示したもの、図４はの形状の
概略を示したものである。図４に示した第２〜第４の突
条の頂部形状において中央部が窪んでいるのは、この部
分がテープ走行によって磨耗した部分であることを示
す。

【００３１】＜測定結果＞図５〜図１１に実際の測定結
果を示す。このうち、図５は、図６はの測定結果を
それぞれ示す。また、図７〜図１１はの測定結果を示
すもので、図７は第１の突条６１、図８は第２の突条６
２、図９は第３の突条６３、図１０は第４の突条６４、
図１１は第５の突条６５の各頂部に沿った形状の測定結
果をそれぞれ示す。これらの図において、実線部分と点
線部分とがあるのは、レーザー変位計２を所定方向に往
復させて走査（実際には試料ヘッド６を移動）したこと
によるもので、実線部分は往きの測定結果を示し、点線
部分は帰りの測定結果を示す。

【００３２】図５および図６から、試料ヘッド６の摺動
面における各突条の形状が精度良く測定されていること
が分かる。また、この種のヘッドにおいて性能に影響を
及ぼすのはヘッド部の形状であるから、試料ヘッド６に
おいて重要なのは第２〜第４の各突条の頂部の形状であ
るが、図５および図６を見ると、それらの頂部形状につ
いてレーザー変位計２による走査の往き（実線）と帰り
（点線）とで測定結果が一致しており、この点でも測定
の精度が優れていることが分かる。なお、図５および図
６において、レーザー変位計２による走査の往き（実
線）と帰り（点線）とで測定結果が異なる部分が存在す
るのは、次の理由による。すなわち、本例では測定範囲
の比較的小さいレーザー変位計２を用いたために、例え
ば第２の突条６２から第３の突条６３まで走査する際は
レーザー変位計２または試料ヘッド６の一方を突条の高
さ方向（図５および図６では上下方向）に所定量だけ移
動させて測定している。ここで、一つの突条を測定する
場合、変位の低い部分は測定範囲から外れてしまい、測
定値がホールドされる。このホールドされる値が走査の
往きと帰りとでタイミングによって異なるために、前記
の測定結果の相違が生じたものである。ただし、このよ
うな相違が重要でないことは上述した通りである。

【００３３】図７〜図１１を見ても各部の形状が精度良
く測定されていることが分かる。図８や図１１ではレー
ザー変位計２の走査の往きと帰りとで若干の差が存在す
るが、その差はたかだか１〜２μｍの程度のものに過ぎ
ない。なお、第２〜第４の各突条６２〜６４の頂部形状
の測定結果を示した図８〜図１０において、左右方向の
中央寄りに位置する２つの凸部は、第１チャンネル用お
よび第２チャンネル用の各ギャップ部ＣＨ１・ＣＨ２の
ものである。

【００３４】＜参考例＞図１２は、試料ヘッド６に代え
てオプティカルフラットガラスの表面の形状を上記と同
様の形状測定装置および方法により測定したものであ
る。この図１２に示した結果から、レーザー変位計２で
２×１０⁴ μｍの範囲を走査した場合でも測定誤差は僅
か0.５μｍ程度しか生じないことが確認できる。

【００３５】＜比較例＞図１３〜図１７は、図１の形状
測定装置において、一方のレーザー変位計２による試料
ヘッド６の摺動面の形状測定のみ行い、他方のレーザー
変位計３による基準ミラー７の形状測定を行わなかった
場合の測定結果を示すものである。このうち、図１３は
図７に対応するもので第１の突条６１の頂部に関するも
の、図１４は図８に対応するもので第２の突条６２の頂
部に関するもの、図１５は図９に対応するもので第３の
突条６３の頂部に関するもの、図１６は図１０に対応す
るもので第４の突条６４の頂部に関するもの、図１７は
図１１に対応するもので第５の突条６５の頂部に関する
ものである。これら図１３〜図１７を見ると、すべての
測定範囲において変位の測定値が上下に比較的大きく変
動していることが分かる。これは、レーザー変位計２で
所定範囲を走査すべく試料ヘッド６を所定方向に移動さ
せるときに振動等が加わるために生じたものと思われ
る。このような試料ヘッド６（またはレーザー変位計
２）の移動に伴う位置変動誤差があるために、図１３〜
図１７では、測定結果から各突条６１〜６５の頂部の形
状を認識することが不可能に近いものとなっている。

【００３６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、被測定物
の表面の形状を測定する場合において２つの非接触の変
位計を用い、被測定物と基準面とを同時に移動させて、
一方の変位計で被測定物の表面の変位を、他方の変位計
で基準面の変位をそれぞれ測定し、両者の測定値の差分
を取るようにしたので、被測定物等の移動に伴う位置変
動誤差を相殺することができ、その結果、被測定物の表
面の形状を高精度に測定できることとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例で使用した形状測定装置の構成
を示すシステム図である。

【図２】本発明の実施例で使用した試料ヘッド（被測定
物）の斜視図である。

【図３】図２の試料ヘッドの摺動面について各突条と直
交する方向の大まかな表面形状を示すために使用した説
明図である。

【図４】図２の試料ヘッドの摺動面について各突条の頂
部に沿った大まかな表面形状を示すために使用した説明
図である。

【図５】図２の試料ヘッドの摺動面において第１チャン
ネル用のギャップ部の位置で各突条と直交する方向に沿
って表面の形状を測定した結果を示す図表である。

【図６】同じく第２チャンネル用のギャップ部の位置で
各突条と直交する方向に沿って表面の形状を測定した結
果を示す図表である。

【図７】図２の試料ヘッドの摺動面において第１の突条
の頂部に沿った表面形状を測定した結果を示す図表であ
る。

【図８】同じく第２の突条の頂部に沿った表面形状を測
定した結果を示す図表である。

【図９】同じく第３の突条の頂部に沿った表面形状を測
定した結果を示す図表である。

【図１０】同じく第４の突条の頂部に沿った表面形状を
測定した結果を示す図表である。

【図１１】同じく第５の突条の頂部に沿った表面形状を
測定した結果を示す図表である。

【図１２】参考例として、本発明実施例中の試料ヘッド
に代えてオプティカルフラットガラスの表面の形状を測
定した結果を示す図表である。

【図１３】比較例として、一つのレーザー変位計で図２
の試料ヘッドの摺動面の形状のみを測定した場合（基準
面の測定を同時に行わない場合）のもので、試料ヘッド
摺動面における第１の突条の頂部に沿った表面形状を測
定した結果を示す図表である。

【図１４】同じく試料ヘッド摺動面における第２の突条
の頂部に沿った表面形状を測定した結果を示す図表であ
る。

【図１５】同じく試料ヘッド摺動面における第３の突条
の頂部に沿った表面形状を測定した結果を示す図表であ
る。

【図１６】同じく試料ヘッド摺動面における第４の突条
の頂部に沿った表面形状を測定した結果を示す図表であ
る。

【図１７】同じく試料ヘッド摺動面における第５の突条
の頂部に沿った表面形状を測定した結果を示す図表であ
る。

【符号の説明】

２・３ レーザー変位計（非接触の変位計） ４・５ Ｚ軸ステージ（変位計をＺ軸方向に移動させる
手段） ６ 試料ヘッド（被測定物である固定ヘッド） ７ 基準ミラー（基準面） ８・９ ２軸傾斜ステージ（被測定物および基準面の傾
斜を調整する手段） １０ ＸＹＺ軸電動パルスステージ（被測定物および基
準面を移動させる手段） １１ コンピュータ（両測定値の差分を求める手段、移
動量を認識する手段） １２ カメラ（被測定物の測定面を１０倍以上の倍率で
モニタ画面に映す手段、モニタ画面に目盛りやマーカー
等の位置の基準を示す手段） １３ モニタ １４ 回転ステージ（被測定物をＺ軸回りに回転させる
手段）

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２つの非接触の変位計を用い、一方の変
   位計による測定点を被測定物の表面に、他方の変位計に
   よる測定点を平滑な基準面にそれぞれ設定し、被測定物
   と基準面とを同時に移動させてそれぞれの変位を測定
   し、両者の測定値の差分により被測定物の表面形状を測
   定することを特徴とする形状測定方法。
2. 【請求項２】 被測定物の表面を測定点とする非接触の
   変位計と、平滑な基準面を測定点とする非接触の変位計
   と、被測定物および基準面を移動させる手段と、前記両
   変位計による測定値の差分を求める手段とを有すること
   を特徴とする形状測定装置。
3. 【請求項３】 被測定物の測定点と基準面の測定点とを
   結ぶ直線が被測定物の移動面に対して垂直に設定されて
   いる請求項２記載の形状測定装置。
4. 【請求項４】 被測定物および基準面の移動面上の２軸
   をＸ軸、Ｙ軸とし、移動面に垂直な軸をＺ軸として、被
   測定物の測定点と基準面の測定点のＺ軸からの距離の差
   が１０mm以内に設定されている請求項２記載の形状測定
   装置。
5. 【請求項５】 被測定物と基準面と変位計とをＺ軸方向
   に移動させる手段と、その移動距離を認識する手段とを
   有する請求項４記載の形状測定装置。
6. 【請求項６】 被測定物の測定面を１０倍以上の倍率で
   モニタ画面に映す手段と、被測定物をＺ軸回りに回転さ
   せる手段と、モニタ画面に目盛りやマーカー等の位置の
   基準を示す手段とを有する請求項４または５記載の形状
   測定装置。
7. 【請求項７】 被測定物および基準面の傾斜を調整する
   手段を有する請求項２ないし６のいずれかに記載の形状
   測定装置。
8. 【請求項８】 被測定物の表面は磁気ヘッドの摺動面で
   ある請求項２ないし７のいずれかに記載の形状測定装
   置。
9. 【請求項９】 磁気ヘッドは磁気テープ装置用の固定ヘ
   ッドである請求項８記載の形状測定装置。