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JP2000186699A - Piezoelectric bimorph fan - Google Patents

Piezoelectric bimorph fan

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Publication number
JP2000186699A
JP2000186699A JP10361779A JP36177998A JP2000186699A JP 2000186699 A JP2000186699 A JP 2000186699A JP 10361779 A JP10361779 A JP 10361779A JP 36177998 A JP36177998 A JP 36177998A JP 2000186699 A JP2000186699 A JP 2000186699A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric bimorph
sub
vibration plate
bimorph fan
fan according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10361779A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Junichi Toyoda
準一 豊田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP10361779A priority Critical patent/JP2000186699A/en
Publication of JP2000186699A publication Critical patent/JP2000186699A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D33/00Non-positive-displacement pumps with other than pure rotation, e.g. of oscillating type

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric bimorph fan in which the deterioration of blowing rate and velocity caused by contraflow is prevented, and blowing efficiency is improved. SOLUTION: One end of a metal plate 1 as a bimorph elastic part is interposed between a pair of piezoelectric ceramics 2a and 2b fixed by a fixing jig 3 oppositely to each other. A main vibration plate 4 is connected to the other end of the metal plate 1. Sub-vibration plates 14a, 14b are attached to the metal plate 1 near the connection part to the vibration plate 4, for attenuating contraflow component generated at least by the vibration plate 4. Resonance frequency of the sub-vibration plates 14a, 14b is agreed with that of a piezoelectric bimorph fan. When the metal plate 1 performs bending vibration and the amplitude is increased by the vibration plate 4 for the driving as a fan, the contraflow component is pushed fronward (in a positive direction) by the sub- vibration plats 14a, 14b and remarkably reduced. It is thus possible to increase a blowing rate and velocity, for improving blowing effect and efficiency.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は圧電セラミックス等
の圧電材料の屈曲振動を利用した圧電バイモルフファン
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric bimorph fan utilizing bending vibration of a piezoelectric material such as piezoelectric ceramics.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器内で部分的に配置されているL
SIあるいはCPU等は局所的な発熱源となっている。
このような局所的発熱源を冷却する場合、従来の電子機
器内全体を強制風冷する方式では、非常に効率が悪く装
置が大型化する等の欠点がある。そのため、このような
局所発熱源を個別に冷却する方法が望まれているが、目
的に合致するものは存在していないのが現状である。
2. Description of the Related Art L partially arranged in an electronic device
The SI or the CPU is a local heat source.
In the case of cooling such a local heat source, the conventional method of forcibly cooling the entire electronic device has disadvantages such as extremely low efficiency and an increase in the size of the device. Therefore, there is a demand for a method of individually cooling such local heat sources, but at present there is no method that meets the purpose.

【0003】圧電バイモルフを用いた圧電ファンは、電
磁障害がなく発熱源に近接して使用することができ、小
型、低消費電力、構造が簡単である等の利点を持ってい
る。従来の圧電バイモルフファンは例えば図4のように
構成されていた。図4において、1はバイモルフ素子の
弾性板である金属板であり、例えばリン青銅板で構成さ
れている。この金属板1の上下面にはPZTと呼ばれる
圧電セラミックス2a,2bが接着されている。このバ
イモルフ素子の一端は固定治具3によって固定され、他
端には図4(b)のようにプラスチックフィルム等の振
動板4が接合されている。
A piezoelectric fan using a piezoelectric bimorph has no electromagnetic interference, can be used near a heat source, and has advantages such as small size, low power consumption and simple structure. A conventional piezoelectric bimorph fan is configured, for example, as shown in FIG. In FIG. 4, reference numeral 1 denotes a metal plate which is an elastic plate of the bimorph element, and is made of, for example, a phosphor bronze plate. Piezoelectric ceramics 2a, 2b called PZT are adhered to the upper and lower surfaces of the metal plate 1. One end of the bimorph element is fixed by a fixing jig 3, and a vibrating plate 4 such as a plastic film is joined to the other end as shown in FIG.

【0004】前記金属板1および圧電セラミックス2
a,2bには、交流電圧源5からバイモルフ素子の共振
周波数の正弦波電圧が印加されるように構成されてい
る。図4(c)のように前記上側圧電セラミックス2a
が伸びるとき、下側圧電セラミックス2bが縮むように
構成すると、電圧の極性に応じて金属板1が屈曲振動を
行い、先端部がうちわ状の振動をする。これによって振
動板4の共振により先端部の振幅が大きく拡大されファ
ンとして駆動する。
The above-mentioned metal plate 1 and piezoelectric ceramics 2
The sine wave voltage of the resonance frequency of the bimorph element is applied to the a and 2b from the AC voltage source 5. As shown in FIG. 4C, the upper piezoelectric ceramics 2a
When the lower piezoelectric ceramics 2b is configured to shrink when the pressure is extended, the metal plate 1 performs bending vibration in accordance with the polarity of the voltage, and the tip portion vibrates like a fan. As a result, the amplitude of the distal end portion is greatly increased by the resonance of the diaphragm 4, and the diaphragm 4 is driven as a fan.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の圧電バイモルフ
ファンにおける空気の流れは、振動板が移動するにつれ
て渦が生成され、斜め前方に放出するサイクルを繰り返
す。すなわち図5に示すように、空気は振動板4を回り
込んではく離渦を形成するもの、斜め前方に押し出され
て壁面に衝突して吐出するものおよび吸入側に逆流する
ものとに分かれる。
The air flow in the conventional piezoelectric bimorph fan repeats a cycle in which a vortex is generated as the diaphragm moves and is discharged obliquely forward. That is, as shown in FIG. 5, the air is divided into one that forms a separated vortex that wraps around the diaphragm 4, one that is pushed obliquely forward to collide with the wall surface and discharges, and one that flows backward to the suction side.

【0006】これらの流れのうち、衝突、逆流は風量、
風速の低下の大きな問題となっている。特に逆流成分に
よる送風効果の低減は大きく、これによる送風効率の低
下は著しいものであった。
[0006] Of these flows, the collision and the backflow indicate the air volume,
It is a major problem that the wind speed decreases. In particular, the airflow effect was greatly reduced by the backflow component, and the airflow efficiency was significantly reduced.

【0007】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
その目的は、逆流による風量、風速の低下を改善し、送
風効率を向上させた圧電バイモルフファンを提供するこ
とにある。
[0007] The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a piezoelectric bimorph fan in which a reduction in air volume and a wind speed due to a backflow is improved, and a blowing efficiency is improved.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】(1)本発明は、対向配
設した一対の圧電体間に、バイモルフ弾性部の一端を介
在させ、該バイモルフ弾性部の他端に振動部を設けて成
る圧電バイモルフファンであって、前記振動部は、主振
動板と、少なくとも前記主振動板により生じる逆流成分
を低減させる副振動板とで構成されていることを特徴と
している。
(1) According to the present invention, one end of a bimorph elastic portion is interposed between a pair of piezoelectric members disposed opposite to each other, and a vibrating portion is provided at the other end of the bimorph elastic portion. In a piezoelectric bimorph fan, the vibrating section includes a main vibrating plate and a sub vibrating plate for reducing at least a backflow component generated by the main vibrating plate.

【0009】また前記副振動板の共振周波数は圧電バイ
モルフファンの共振周波数と一致していることを特徴と
し、前記副振動板は、前記バイモルフ弾性部の他端に設
けられていることを特徴とし、前記副振動板は、前記主
振動板に設けられていることを特徴とし、前記副振動板
は複数個で構成されていることを特徴とし、前記主振動
板及び/又は副振動板は高分子フィルムで構成されてい
ることを特徴とし、前記主振動板及び/又は副振動板は
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
としている。
Further, the resonance frequency of the sub-vibration plate coincides with the resonance frequency of the piezoelectric bimorph fan, and the sub-vibration plate is provided at the other end of the bimorph elastic portion. The sub-vibration plate is provided on the main diaphragm, the sub-vibration plate is constituted by a plurality, and the main diaphragm and / or the sub-vibration plate are high. The main diaphragm and / or the sub diaphragm are made of a unidirectional carbon fiber composite material.

【0010】(2)一対の圧電体とバイモルフ弾性部間
に例えば正弦波が印加されることにより、バイモルフ弾
性部が屈曲振動し、振動部により振動が拡大され風を起
こす。このときの風の流れは、主振動板の振動により前
方に進む流れの他に逆流する流れも存在するが、該逆流
成分は副振動板によって低減、阻止される。このため前
記逆流による風量低下は改善され、風速が速くなるとと
もに、送風効率が向上する。
(2) When, for example, a sine wave is applied between the pair of piezoelectric bodies and the bimorph elastic portion, the bimorph elastic portion bends and vibrates, and the vibration is expanded by the vibrating portion to generate wind. At this time, the flow of the wind includes a flow that flows backward due to the vibration of the main diaphragm, as well as a flow that flows backward. However, the backflow component is reduced or prevented by the sub-vibration plate. For this reason, the decrease in the air volume due to the backflow is improved, the wind speed is increased, and the blowing efficiency is improved.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の一実施形態例を説明する。図1において図4と同一部
分は同一符号をもって示している。図1において図4と
異なる点は、金属板1の、振動板4(主振動板)との接
合部に近い部位の上下面に、例えばプラスチックフィル
ムから成る副振動板14a,14bを各々取り付けたこ
とにあり、その他の部分は図4と同一に構成されてい
る。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, the same parts as those in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals. 1 differs from FIG. 4 in that sub-vibration plates 14a and 14b made of, for example, a plastic film are attached to upper and lower surfaces of a portion of the metal plate 1 near a joint with the vibration plate 4 (main vibration plate). The other parts are configured in the same manner as in FIG.

【0012】尚、副振動板14a,14bは図1のよう
に金属板1に取り付けるに限らず、振動板4に取り付け
ても良い。
The auxiliary diaphragms 14a and 14b are not limited to being attached to the metal plate 1 as shown in FIG.

【0013】上記のように構成された装置において、図
4で説明したように金属板1が屈曲振動を行って、その
振幅が振動板4によって拡大されファンとして駆動する
場合、図2に示すように逆流して流れてくる風は副振動
板14a,14bによって前方(正方向)へ押し流さ
れ、逆流成分は著しく低減される。これによって風量、
風速が従来のものより増加し、送風効果および送風効率
が向上する。
In the apparatus configured as described above, when the metal plate 1 performs bending vibration as described with reference to FIG. 4 and its amplitude is enlarged by the vibration plate 4 to drive as a fan, as shown in FIG. The wind flowing backward is pushed forward (forward) by the sub-vibrating plates 14a and 14b, and the backflow component is significantly reduced. This allows the air volume,
The wind speed is increased as compared with the conventional one, and the blowing effect and the blowing efficiency are improved.

【0014】ここで、風速の改善度合は副振動板14
a,14bの共振周波数が圧電バイモルフファンの共振
周波数に一致しているかどうかにより効果が異なる。す
なわち副振動板14a,14bの共振周波数がずれてい
る場合、風速の改善は約10%であった。一方副振動板
14a,14bの共振周波数を合わせた場合、風速の改
善は約50%であった。
The degree of improvement of the wind speed is determined by the
The effect differs depending on whether the resonance frequencies of a and 14b match the resonance frequency of the piezoelectric bimorph fan. That is, when the resonance frequencies of the sub diaphragms 14a and 14b are shifted, the wind speed is improved by about 10%. On the other hand, when the resonance frequencies of the sub diaphragms 14a and 14b were matched, the improvement of the wind speed was about 50%.

【0015】上記実施形態例は副振動板を2個追加した
例であるが、これに限らず例えば図3のように6個の副
振動板24a〜24fを取り付けたり、またそれ以外の
個数の副振動板を追加しても同様の作用、効果が得られ
る。
The above embodiment is an example in which two sub diaphragms are added. However, the present invention is not limited to this. For example, six sub diaphragms 24a to 24f are attached as shown in FIG. The same operation and effect can be obtained by adding a sub diaphragm.

【0016】また前記振動板4、副振動板14a,14
b、24a〜24fは、プラスチックフィルムに限ら
ず、ポリエステル等の高分子フィルムや一方向性炭素繊
維複合材料等で構成しても良い。この場合は装置全体を
軽量化することができ、騒音が生じることは無い。
The vibration plate 4 and the sub-vibration plates 14a, 14
b, 24a to 24f are not limited to plastic films, and may be made of a polymer film such as polyester, a unidirectional carbon fiber composite material, or the like. In this case, the weight of the entire apparatus can be reduced, and no noise is generated.

【0017】[0017]

【発明の効果】(1)以上のように本発明によれば、フ
ァン駆動時の逆流を低減し、風量、風速低下を改善する
ことができ、これによって送風効果、送風効率が著しく
向上する。
(1) As described above, according to the present invention, the backflow at the time of driving the fan can be reduced, and the air volume and the air velocity can be reduced, whereby the air blowing effect and the air blowing efficiency can be remarkably improved.

【0018】(2)また副振動板の共振周波数を圧電バ
イモルフファンの共振周波数に合わせることにより、よ
り一層送風効果、送風効率が向上する。
(2) By adjusting the resonance frequency of the sub diaphragm to the resonance frequency of the piezoelectric bimorph fan, the air blowing effect and the air blowing efficiency are further improved.

【0019】(3)また振動部を高分子フィルムや一方
向性炭素繊維複合材料で構成することにより、装置全体
を軽量化することができ、騒音が生じることはない。
(3) Since the vibrating section is made of a polymer film or a unidirectional carbon fiber composite material, the weight of the entire apparatus can be reduced, and no noise is generated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の圧電バイモルフファンの一実施形態例
を示す全体構成図。
FIG. 1 is an overall configuration diagram showing an embodiment of a piezoelectric bimorph fan of the present invention.

【図2】本発明の一実施形態例の要部断面図。FIG. 2 is a sectional view of a main part of an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の他の実施形態例の要部断面図。FIG. 3 is a sectional view of a main part of another embodiment of the present invention.

【図4】従来の圧電バイモルフファンの一例を示し、
(a)は全体構成図、(b)は要部断面図、(c)は要
部説明図。
FIG. 4 shows an example of a conventional piezoelectric bimorph fan,
(A) is an overall configuration diagram, (b) is a cross-sectional view of a main part, and (c) is an explanatory view of a main part.

【図5】圧電ファンの空気の流れを示す説明図。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a flow of air of a piezoelectric fan.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…金属板、2a,2b…圧電セラミックス、3…固定
治具、4…振動板、5…交流電圧源、6…ケース、14
a,14b、24a〜24f…副振動板。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Metal plate, 2a, 2b ... Piezoelectric ceramics, 3 ... Fixing jig, 4 ... Vibration plate, 5 ... AC voltage source, 6 ... Case, 14
a, 14b, 24a to 24f...

Claims (64)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 対向配設した一対の圧電体間に、バイモ
ルフ弾性部の一端を介在させ、該バイモルフ弾性部の他
端に振動部を設けて成る圧電バイモルフファンであっ
て、 前記振動部は、主振動板と、少なくとも前記主振動板に
より生じる逆流成分を低減させる副振動板とで構成され
ていることを特徴とする圧電バイモルフファン。
1. A piezoelectric bimorph fan in which one end of a bimorph elastic portion is interposed between a pair of piezoelectric members disposed opposite to each other, and a vibrating portion is provided at the other end of the bimorph elastic portion. A piezoelectric bimorph fan, comprising: a main diaphragm; and a sub-vibration plate for reducing at least a backflow component generated by the main diaphragm.
【請求項2】 前記副振動板の共振周波数は圧電バイモ
ルフファンの共振周波数と一致していることを特徴とす
る請求項1に記載の圧電バイモルフファン。
2. The piezoelectric bimorph fan according to claim 1, wherein a resonance frequency of the sub diaphragm is equal to a resonance frequency of the piezoelectric bimorph fan.
【請求項3】 前記副振動板は、前記バイモルフ弾性部
の他端に設けられていることを特徴とする請求項1に記
載の圧電バイモルフファン。
3. The piezoelectric bimorph fan according to claim 1, wherein the auxiliary diaphragm is provided at the other end of the bimorph elastic portion.
【請求項4】 前記副振動板は、前記バイモルフ弾性部
の他端に設けられていることを特徴とする請求項2に記
載の圧電バイモルフファン。
4. The piezoelectric bimorph fan according to claim 2, wherein the auxiliary diaphragm is provided at the other end of the bimorph elastic portion.
【請求項5】 前記副振動板は、前記主振動板に設けら
れていることを特徴とする請求項1に記載の圧電バイモ
ルフファン。
5. The piezoelectric bimorph fan according to claim 1, wherein the auxiliary diaphragm is provided on the main diaphragm.
【請求項6】 前記副振動板は、前記主振動板に設けら
れていることを特徴とする請求項2に記載の圧電バイモ
ルフファン。
6. The piezoelectric bimorph fan according to claim 2, wherein the auxiliary diaphragm is provided on the main diaphragm.
【請求項7】 前記副振動板は、前記主振動板に設けら
れていることを特徴とする請求項3に記載の圧電バイモ
ルフファン。
7. The piezoelectric bimorph fan according to claim 3, wherein the auxiliary diaphragm is provided on the main diaphragm.
【請求項8】 前記副振動板は、前記主振動板に設けら
れていることを特徴とする請求項4に記載の圧電バイモ
ルフファン。
8. The piezoelectric bimorph fan according to claim 4, wherein the sub diaphragm is provided on the main diaphragm.
【請求項9】 前記副振動板は複数個で構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の圧電バイモルフファ
ン。
9. The piezoelectric bimorph fan according to claim 1, wherein the sub vibrating plate comprises a plurality.
【請求項10】 前記副振動板は複数個で構成されてい
ることを特徴とする請求項2に記載の圧電バイモルフフ
ァン。
10. The piezoelectric bimorph fan according to claim 2, wherein the sub-vibration plate comprises a plurality.
【請求項11】 前記副振動板は複数個で構成されてい
ることを特徴とする請求項3に記載の圧電バイモルフフ
ァン。
11. The piezoelectric bimorph fan according to claim 3, wherein the sub vibrating plate includes a plurality of sub vibrating plates.
【請求項12】 前記副振動板は複数個で構成されてい
ることを特徴とする請求項4に記載の圧電バイモルフフ
ァン。
12. The piezoelectric bimorph fan according to claim 4, wherein the sub vibrating plate comprises a plurality.
【請求項13】 前記副振動板は複数個で構成されてい
ることを特徴とする請求項5に記載の圧電バイモルフフ
ァン。
13. The piezoelectric bimorph fan according to claim 5, wherein the sub vibrating plate comprises a plurality.
【請求項14】 前記副振動板は複数個で構成されてい
ることを特徴とする請求項6に記載の圧電バイモルフフ
ァン。
14. The piezoelectric bimorph fan according to claim 6, wherein the sub vibrating plate comprises a plurality.
【請求項15】 前記副振動板は複数個で構成されてい
ることを特徴とする請求項7に記載の圧電バイモルフフ
ァン。
15. The piezoelectric bimorph fan according to claim 7, wherein the sub vibrating plate includes a plurality of sub vibrating plates.
【請求項16】 前記副振動板は複数個で構成されてい
ることを特徴とする請求項8に記載の圧電バイモルフフ
ァン。
16. The piezoelectric bimorph fan according to claim 8, wherein the sub vibrating plate comprises a plurality of sub vibrating plates.
【請求項17】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項1に記載の圧電バイモルフファン。
17. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
2. The piezoelectric bimorph fan according to claim 1, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a polymer film.
【請求項18】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項2に記載の圧電バイモルフファン。
18. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 2, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a polymer film.
【請求項19】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項3に記載の圧電バイモルフファン。
19. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 3, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a polymer film.
【請求項20】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項4に記載の圧電バイモルフファン。
20. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 4, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a polymer film.
【請求項21】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項5に記載の圧電バイモルフファン。
21. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 5, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a polymer film.
【請求項22】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項6に記載の圧電バイモルフファン。
22. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 6, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a polymer film.
【請求項23】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項7に記載の圧電バイモルフファン。
23. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 7, comprising a polymer film.
【請求項24】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項8に記載の圧電バイモルフファン。
24. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 8, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a polymer film.
【請求項25】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項9に記載の圧電バイモルフファン。
25. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 9, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a polymer film.
【請求項26】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項10に記載の圧電バイモルフファン。
26. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 10, comprising a polymer film.
【請求項27】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項11に記載の圧電バイモルフファン。
27. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 11, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a polymer film.
【請求項28】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項12に記載の圧電バイモルフファン。
28. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
13. The piezoelectric bimorph fan according to claim 12, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a polymer film.
【請求項29】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項13に記載の圧電バイモルフファン。
29. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 13, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a polymer film.
【請求項30】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項14に記載の圧電バイモルフファン。
30. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 14, comprising a polymer film.
【請求項31】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項15に記載の圧電バイモルフファン。
31. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 15, comprising a polymer film.
【請求項32】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
高分子フィルムで構成されていることを特徴とする請求
項16に記載の圧電バイモルフファン。
32. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 16, comprising a polymer film.
【請求項33】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項1に記載の圧電バイモルフファン。
33. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 1, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項34】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項2に記載の圧電バイモルフファン。
34. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 2, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項35】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項3に記載の圧電バイモルフファン。
35. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 3, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項36】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項4に記載の圧電バイモルフファン。
36. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 4, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項37】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項5に記載の圧電バイモルフファン。
37. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
6. The piezoelectric bimorph fan according to claim 5, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項38】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項6に記載の圧電バイモルフファン。
38. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
7. The piezoelectric bimorph fan according to claim 6, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項39】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項7に記載の圧電バイモルフファン。
39. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 7, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項40】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項8に記載の圧電バイモルフファン。
40. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 8, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項41】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項9に記載の圧電バイモルフファン。
41. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 9, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項42】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項10に記載の圧電バイモルフファン。
42. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 10, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項43】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項11に記載の圧電バイモルフファン。
43. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 11, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項44】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項12に記載の圧電バイモルフファン。
44. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 12, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項45】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項13に記載の圧電バイモルフファン。
45. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
14. The piezoelectric bimorph fan according to claim 13, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項46】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項14に記載の圧電バイモルフファン。
46. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 14, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項47】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項15に記載の圧電バイモルフファン。
47. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 15, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項48】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項16に記載の圧電バイモルフファン。
48. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 16, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項49】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項17に記載の圧電バイモルフファン。
49. The main diaphragm and / or sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 17, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項50】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項18に記載の圧電バイモルフファン。
50. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 18, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項51】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項19に記載の圧電バイモルフファン。
51. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
20. The piezoelectric bimorph fan according to claim 19, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項52】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項20に記載の圧電バイモルフファン。
52. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 20, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項53】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項21に記載の圧電バイモルフファン。
53. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 21, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項54】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項22に記載の圧電バイモルフファン。
54. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
23. The piezoelectric bimorph fan according to claim 22, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項55】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項23に記載の圧電バイモルフファン。
55. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 23, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項56】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項24に記載の圧電バイモルフファン。
56. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 24, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項57】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項25に記載の圧電バイモルフファン。
57. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
26. The piezoelectric bimorph fan according to claim 25, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項58】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項26に記載の圧電バイモルフファン。
58. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 26, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項59】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項27に記載の圧電バイモルフファン。
59. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 27, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項60】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項28に記載の圧電バイモルフファン。
60. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 28, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項61】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項29に記載の圧電バイモルフファン。
61. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
30. The piezoelectric bimorph fan according to claim 29, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項62】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項30に記載の圧電バイモルフファン。
62. The main vibration plate and / or the sub vibration plate,
31. The piezoelectric bimorph fan according to claim 30, comprising a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項63】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項31に記載の圧電バイモルフファン。
63. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 31, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
【請求項64】 前記主振動板及び/又は副振動板は、
一方向性炭素繊維複合材料で構成されていることを特徴
とする請求項32に記載の圧電バイモルフファン。
64. The main diaphragm and / or the sub diaphragm,
The piezoelectric bimorph fan according to claim 32, wherein the piezoelectric bimorph fan is made of a unidirectional carbon fiber composite material.
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