JP2000163955A - Refresh timer and adjusting method for its refresh cycle - Google Patents
Refresh timer and adjusting method for its refresh cycleInfo
- Publication number
- JP2000163955A JP2000163955A JP10338290A JP33829098A JP2000163955A JP 2000163955 A JP2000163955 A JP 2000163955A JP 10338290 A JP10338290 A JP 10338290A JP 33829098 A JP33829098 A JP 33829098A JP 2000163955 A JP2000163955 A JP 2000163955A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refresh
- node
- source
- channel transistor
- gate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Dram (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、セルフ・リフレッ
シュ機能を備えたDRAMにおけるリフレッシュの際
に、所定のリフレッシュ周期を得るためのリフレッシュ
タイマー及びそのリフレッシュ周期の調整方法に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a refresh timer for obtaining a predetermined refresh cycle at the time of refreshing a DRAM having a self-refresh function, and a method of adjusting the refresh cycle.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から、セルフ・リフレッシュ機能を
備えたDRAM (ダイナミック・ランダム・アクセス
メモリ)において、そのDRAMをリフレッシュする際
に、所定のリフレッシュ周期を得るためにリフレッシュ
タイマーが広く使用されている。2. Description of the Related Art Conventionally, in a DRAM (Dynamic Random Access Memory) having a self-refresh function, a refresh timer has been widely used to obtain a predetermined refresh cycle when the DRAM is refreshed. .
【0003】このようなリフレッシュタイマーとして
は、例えば、リングオシレーターを用いその発振周波数
を利用して所定のリフレッシュ周期を得るものや、さら
に、1000個程度のメモリセルのリーク電流をモニタ
し、そのリーク電流に基づいて得られた周囲温度の変化
に応じてリフレッシュ周期を調整し、リフレッシュ周期
の周囲温度の変動による変化を補償するものがある。As such a refresh timer, for example, a timer that obtains a predetermined refresh cycle using a ring oscillator and its oscillating frequency, or monitors a leak current of about 1000 memory cells, and monitors the leak current. In some cases, the refresh cycle is adjusted in accordance with the change in the ambient temperature obtained based on the current, and the change due to the change in the ambient temperature in the refresh cycle is compensated.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな従来のリフレッシュタイマーでは、リングオシレー
タの発振出力をリフレッシュタイマーに利用した場合に
は、周囲温度が上昇するとリングオシレータの発振周波
数が低くなり、そのため発振周波数を高温時の要求を満
たすように設定した場合には、低温時にはその発振周波
数が高くなり、低温側では、リフレッシュタイマーとし
てのリフレッシュ周期が短くなって、不必要に頻繁にリ
フレッシュが行なわれてしまうので、消費電流が増大す
るという問題点を有していた。However, in the above-described conventional refresh timer, when the oscillation output of the ring oscillator is used for the refresh timer, the oscillation frequency of the ring oscillator decreases when the ambient temperature rises. When the oscillation frequency is set to satisfy the requirement at high temperature, the oscillation frequency becomes high at low temperature, and the refresh cycle as a refresh timer becomes short at low temperature, and refresh is performed unnecessarily frequently. Therefore, there is a problem that current consumption increases.
【0005】一方、メモリセルのリーク電流は周囲温度
が上昇した場合に増加する傾向にあり、そのリーク電流
をモニタして得られた周囲温度の変化に基づいて、リフ
レッシュ周期の周囲温度の変動による変化を補償するこ
とができるが、その補償のためには、1つのメモリセル
のリーク電流が微少(〜数fA程度)なので、多数(1
000個程度)のメモリセルのリーク電流をモニタする
必要があり、そのモニタ用の回路配置のために全体とし
て面積の大きな構成にならざるを得ないという問題点も
有していた。On the other hand, the leak current of a memory cell tends to increase when the ambient temperature rises. Based on the change in the ambient temperature obtained by monitoring the leak current, the leak current due to the change in the ambient temperature in the refresh cycle is obtained. Although the change can be compensated for, the leakage current of one memory cell is very small (about several fA) for compensation, so that many (1
It is necessary to monitor the leak current of about 000 memory cells), and there is also a problem that a configuration having a large area as a whole is required due to the circuit arrangement for the monitoring.
【0006】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、リフレッシュ周期を周囲温度の変化に対して確実
に補償することができ、リフレッシュ周期の安定性を向
上するとともに、リフレッシュ周期の短縮による消費電
流の増大化を抑えることができ、かつ全体として回路面
積を縮小化することができるリフレッシュタイマー及び
そのリフレッシュ周期の調整方法を提供する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and can surely compensate a refresh cycle for a change in ambient temperature, improve the stability of the refresh cycle, and shorten the refresh cycle. The present invention provides a refresh timer and a method for adjusting the refresh cycle thereof, which can suppress an increase in current consumption due to the above and can reduce the circuit area as a whole.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明のリフレッシュタイマーは、周囲温度が高く
なった場合はリフレッシュ周期が増加し、周囲温度が低
い場合はリフレッシュ周期が減少するので、高温時のリ
ーク電流の増加による電荷保持特性の悪化を保護し、低
温時に不必要な動作電流を抑えるとともに、電荷保持特
性の悪いメモリ素子の救済が可能となり、また正常なメ
モリ素子の電流消費量を減少することを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, the refresh timer of the present invention increases the refresh cycle when the ambient temperature increases, and decreases the refresh cycle when the ambient temperature is low. This protects the charge retention characteristics from deteriorating due to an increase in leakage current at high temperatures, suppresses unnecessary operating currents at low temperatures, and can rescue memory devices with poor charge retention characteristics, and also consumes current of normal memory devices. Characterized in that the amount is reduced.
【0008】また、本発明のリフレッシュ周期の調整方
法は、電荷保持特性の悪いメモリ素子の救済が可能とな
り、また正常なメモリ素子の電流消費量を減少するとと
もに、リフレッシュ周期の調整の際に、そのリフレッシ
ュ周期を容易に調整可能とすることを特徴とする。Further, the method of adjusting a refresh cycle according to the present invention can relieve a memory element having poor charge retention characteristics, reduce the current consumption of a normal memory element, and improve the refresh cycle. The refresh cycle can be easily adjusted.
【0009】以上により、リフレッシュ周期を周囲温度
の変化に対して確実に補償することができ、リフレッシ
ュ周期の安定性を向上するとともに、リフレッシュ周期
の短縮による消費電流の増大化を抑えることができ、か
つ全体として回路面積を縮小化することができる。As described above, the refresh cycle can be reliably compensated for the change in the ambient temperature, the stability of the refresh cycle can be improved, and the increase in current consumption due to the shortening of the refresh cycle can be suppressed. In addition, the circuit area can be reduced as a whole.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載のリフレ
ッシュタイマーは、メモリ素子をリフレッシュする際
に、所定のリフレッシュ周期を得るためのリフレッシュ
タイマーであって、一端が接地電位である接地電極に接
続された容量素子と、前記容量素子の他端と前記接地電
極間に接続された電流源と、前記メモリ素子に対するリ
フレッシュの際のリフレッシュ要求信号に応じて、前記
容量素子を充電する充電回路と、前記容量素子の電圧レ
ベルが所定の電位になった場合に前記リフレッシュ要求
信号を発生する論理回路部とを備え、前記電流源を、そ
の電流源の流す電流量が周囲温度の上昇に比例して増加
する特性を持つよう構成する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A refresh timer according to a first aspect of the present invention is a refresh timer for obtaining a predetermined refresh cycle when refreshing a memory element, and one end of which is a ground electrode. , A current source connected between the other end of the capacitive element and the ground electrode, and a charging circuit for charging the capacitive element in response to a refresh request signal when refreshing the memory element And a logic circuit unit that generates the refresh request signal when the voltage level of the capacitive element has reached a predetermined potential, wherein the amount of current flowing through the current source is proportional to an increase in ambient temperature. And increase the characteristics.
【0011】請求項2に記載のリフレッシュタイマー
は、請求項1に記載の電流源を、ソースが電源に接続さ
れゲートとドレインが第1のノードに接続された第1の
Pチャネルトランジスタと、ドレインが第2のノードに
接続されゲートが前記第1のノードに接続されソースが
抵抗素子を介して前記電源に接続された第2のPチャネ
ルトランジスタと、ソースが前記第1のノードに接続さ
れゲートが前記第2のノードに接続されドレインが接地
電極に接続された第1のNチャネルトランジスタと、ソ
ースとゲートが前記第2のノードに接続されドレインが
前記接地電極に接続された第2のNチャネルトランジス
タと、ゲートが前記第2のノードに接続されソースが前
記接地電極に接続されドレインが出力ノードとなる第3
のNチャネルトランジスタとで構成する。According to a second aspect of the present invention, there is provided a refresh timer including the current source according to the first aspect, a first P-channel transistor having a source connected to a power supply, a gate and a drain connected to a first node, and a drain. Is connected to a second node, a gate is connected to the first node, and a source is connected to the power supply via a resistor. A second P-channel transistor is connected to the power supply. Are connected to the second node, and a first N-channel transistor whose drain is connected to a ground electrode, and a second N-channel transistor whose source and gate are connected to the second node and whose drain is connected to the ground electrode. A third channel transistor having a gate connected to the second node, a source connected to the ground electrode, and a drain serving as an output node;
And an N-channel transistor.
【0012】以上の構成によると、周囲温度が高くなっ
た場合はリフレッシュ周期が増加し、周囲温度が低い場
合はリフレッシュ周期が減少するので、高温時のリーク
電流の増加による電荷保持特性の悪化を保護し、低温時
に不必要な動作電流を抑える。According to the above configuration, the refresh period increases when the ambient temperature increases, and the refresh period decreases when the ambient temperature is low. Protect and suppress unnecessary operating current at low temperature.
【0013】請求項3に記載のリフレッシュタイマー
は、請求項1に記載の電流源に、その電流源が流す電流
量を調節するための調整手段を設けた構成とする。請求
項4に記載のリフレッシュタイマーは、請求項1に記載
の電流源に、トランジスタとフューズ素子とで構成され
前記電流源が流す電流量を調節するための調整手段を設
けた構成とする。A refresh timer according to a third aspect of the present invention has a configuration in which the current source according to the first aspect is provided with adjusting means for adjusting the amount of current flowing through the current source. A refresh timer according to a fourth aspect of the present invention has a configuration in which the current source according to the first aspect is provided with an adjusting unit that includes a transistor and a fuse element and that adjusts an amount of current flowing through the current source.
【0014】請求項5に記載のリフレッシュタイマー
は、請求項1に記載の電流源を、ソースが電源に接続さ
れゲートとドレインが第1のノードに接続された第1の
Pチャネルトランジスタと、ドレインが第2のノードに
接続されゲートが前記第1のノードに接続されソースが
抵抗素子を介して前記電源に接続された第2のPチャネ
ルトランジスタと、ソースが前記第1のノードに接続さ
れゲートが前記第2のノードに接続されドレインが接地
電極に接続された第1のNチャネルトランジスタと、ソ
ースとゲートが前記第2のノードに接続されドレインが
前記接地電極に接続された第2のNチャネルトランジス
タと、ゲートが、トリミング可能な複数の第1のフュー
ズ素子を介して前記第2のノードに接続されるととも
に、トリミング可能な複数の第2のフューズ素子を介し
て前記接地電極に接続され、かつソースが前記接地電極
に接続されドレインが出力ノードとなる複数の第3のN
チャネルトランジスタからなる調整手段とで構成し、前
記調整手段のフューズ素子に対するトリミングにより前
記電流源が流す電流量を調節するようにした構成とす
る。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a refresh timer including the current source according to the first aspect, a first P-channel transistor having a source connected to a power supply, a gate and a drain connected to a first node, and a drain. Is connected to a second node, a gate is connected to the first node, and a source is connected to the power supply via a resistor. A second P-channel transistor is connected to the power supply. Are connected to the second node, and a first N-channel transistor whose drain is connected to a ground electrode, and a second N-channel transistor whose source and gate are connected to the second node and whose drain is connected to the ground electrode. A channel transistor and a gate are connected to the second node via a plurality of first fuse elements that can be trimmed, and the channel transistor can be trimmed. Connected to said ground electrode via a second fuse element number, and a plurality of source drain is connected to the ground electrode is an output node a third N
The current source is adjusted by trimming the fuse element of the adjusting unit with the adjusting unit including a channel transistor.
【0015】以上の構成によると、電荷保持特性の悪い
メモリ素子の救済が可能となり、また正常なメモリ素子
の電流消費量を減少する。請求項6に記載のリフレッシ
ュ周期の調整方法は、請求項3及び請求項4及び請求項
5に記載の調整手段を備えたリフレッシュタイマーを含
む半導体記憶装置の製造方法において、前記調整手段の
フューズ素子をレーザーの照射により切断して、前記リ
フレッシュタイマーのリフレッシュ周期を調整する方法
とする。According to the above configuration, it is possible to relieve a memory element having poor charge retention characteristics, and to reduce the current consumption of a normal memory element. According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor memory device including a refresh timer including the adjusting unit according to the third, fourth, and fifth aspects. Is cut by laser irradiation, and the refresh cycle of the refresh timer is adjusted.
【0016】この方法によると、電荷保持特性の悪いメ
モリ素子の救済が可能となり、また正常なメモリ素子の
電流消費量を減少する。請求項7に記載のリフレッシュ
周期の調整方法は、請求項3及び請求項4及び請求項5
に記載の調整手段を備えたリフレッシュタイマーを含む
半導体記憶装置の製造方法において、前記リフレッシュ
タイマーのリフレッシュ周期を調整するための前記調整
手段の調整を、冗長メモリの置換行程で行う方法とす
る。According to this method, it is possible to relieve a memory element having poor charge retention characteristics, and to reduce the current consumption of a normal memory element. The method for adjusting a refresh cycle according to claim 7 is a method for adjusting a refresh cycle according to claims 3, 4, and 5.
In the method for manufacturing a semiconductor memory device including a refresh timer provided with the adjusting means according to the above, the adjusting means for adjusting the refresh cycle of the refresh timer is adjusted in a redundant memory replacement process.
【0017】この方法によると、リフレッシュ周期の調
整の際に、そのリフレッシュ周期を容易に調整可能とす
る。請求項8に記載のリフレッシュタイマーは、請求項
5に記載の複数の第3のNチャネルトランジスタを、そ
れらのチャネル幅が、1つのトランジスタのチャネル幅
に対して、他の1つのトランジスタはその倍の幅とな
り、さらに他の1つのトランジスタはさらにその倍の幅
となるよう順次構成し、前記複数の第3のNチャネルト
ランジスタのチャネル幅がバイナリー構成になるように
した構成とする。According to this method, when the refresh cycle is adjusted, the refresh cycle can be easily adjusted. The refresh timer according to claim 8 is configured such that a plurality of the third N-channel transistors according to claim 5 have a channel width that is twice as large as the channel width of one transistor. , And the other transistor is sequentially configured to have a width twice as large as that of the first transistor, and the channel width of the plurality of third N-channel transistors is configured to be a binary configuration.
【0018】この構成によると、リフレッシュ周期の調
整の際に、そのリフレッシュ周期を容易にかつ広い範囲
で調整可能とする。以下、本発明の実施の形態を示すリ
フレッシュタイマー及びそのリフレッシュ周期の調整方
法について、図面を参照しながら具体的に説明する。According to this configuration, when the refresh cycle is adjusted, the refresh cycle can be easily adjusted in a wide range. Hereinafter, a refresh timer and a method of adjusting a refresh cycle thereof according to an embodiment of the present invention will be specifically described with reference to the drawings.
【0019】図1は本発明に係る実施の形態のリフレッ
シュタイマーの構成を模式的に示すブロック図である。
図1において、10はリフレッシュタイマー、11は検
知回路、12は電流源である。リフレッシュタイマー1
0は、検知回路11と電流源12の機能ブロックにより
構成される。FIG. 1 is a block diagram schematically showing a configuration of a refresh timer according to an embodiment of the present invention.
In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a refresh timer, 11 denotes a detection circuit, and 12 denotes a current source. Refresh timer 1
0 is constituted by the functional blocks of the detection circuit 11 and the current source 12.
【0020】図2は図1にブロック図で示すリフレッシ
ュタイマー10の回路図である。図2において、20、
21はPチャネルトランジスタ、22はNチャネルトラ
ンジスタ、23はNAND素子、24、25、26はイ
ンバータ、27は遅延時間τを有する遅延素子、28は
容量CRを有する容量素子、RCLKはリフレッシュ要
求信号である。FIG. 2 is a circuit diagram of the refresh timer 10 shown in the block diagram of FIG. In FIG. 2, 20,
21 is a P-channel transistor, 22 is an N-channel transistor, 23 is a NAND element, 24, 25 and 26 are inverters, 27 is a delay element having a delay time τ, 28 is a capacitance element having a capacitance CR, and RCLK is a refresh request signal. is there.
【0021】Pチャネルトランジスタ20は、ソースが
電源VDDに、ドレインが電流源12と容量素子28と
Pチャネルトランジスタ21のゲートに、ゲートがイン
バータ26の出力に接続され、また、Pチャネルトラン
ジスタ21は、ソースが電源VDDに、ドレインがNチ
ャネルトランジスタ22のソースと遅延素子27の入力
とNAND素子23の入力に接続される。そして、Nチ
ャネルトランジスタ22のゲート幅は、Pチャネルトラ
ンジスタ21のゲート幅より十分小さいものが選ばれ
る。The source of the P-channel transistor 20 is connected to the power supply VDD, the drain is connected to the current source 12, the capacitor 28, and the gate of the P-channel transistor 21, and the gate is connected to the output of the inverter 26. The source is connected to the power supply VDD, and the drain is connected to the source of the N-channel transistor 22, the input of the delay element 27, and the input of the NAND element 23. The gate width of the N-channel transistor 22 is selected to be sufficiently smaller than the gate width of the P-channel transistor 21.
【0022】容量素子28の他方は接地電極に接続され
接地電位に接地される。遅延素子27の出力はインバー
タ25を介してNAND素子23の入力に接続される。
NAND素子23の出力は、インバータ24を介して、
リフレッシュ要求信号RCLKとして出力されるととも
に、インバータ26の入力に接続される。The other end of the capacitive element 28 is connected to a ground electrode and is grounded to a ground potential. The output of the delay element 27 is connected to the input of the NAND element 23 via the inverter 25.
The output of the NAND element 23 is output via an inverter 24
It is output as a refresh request signal RCLK and is connected to the input of the inverter 26.
【0023】図3は図1に示すリフレッシュタイマー1
0の電流源12の構成を示す回路図である。図3におい
て、電流源12は、カレントミラー型に接続されたPチ
ャネルトランジスタ31、35の組と、Nチャネルトラ
ンジスタ36、37、39の組と、抵抗素子38とから
構成される。FIG. 3 shows the refresh timer 1 shown in FIG.
FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration of a current source 12 of zero. 3, the current source 12 includes a set of P-channel transistors 31 and 35, a set of N-channel transistors 36, 37 and 39, and a resistance element 38, which are connected in a current mirror type.
【0024】また、この電流源12は、基板とソースが
電源電圧VDDに接続されゲートとドレインがノード3
2に接続されたPチャネルトランジスタ31と、基板と
ソースがノード33に接続され、ゲートがノード32
に、ドレインがノード34に接続されたPチャネルトラ
ンジスタ35と、ソースとゲートがノード34に、ドレ
インが接地されたNチャネルトランジスタ36と、ソー
スがノード32に、ゲートがノード34に、ドレインが
接地されたNチャネルトランジスタ37と、電源電圧V
DDとノード33の間に接続された抵抗素子38と、ゲ
ートがノード34に接続されソースが接地されドレイン
が出力電流を受けるNチャネルトランジスタ39を含
む。The current source 12 has a substrate and a source connected to the power supply voltage VDD, and a gate and a drain connected to the node 3.
2, a substrate and a source are connected to a node 33, and a gate is connected to a node 32.
A P-channel transistor 35 having a drain connected to the node 34; an N-channel transistor 36 having a source and a gate connected to the node 34; a drain connected to the ground; a source connected to the node 32; a gate connected to the node 34; N channel transistor 37 and power supply voltage V
It includes a resistance element 38 connected between DD and node 33, and an N-channel transistor 39 whose gate is connected to node 34, whose source is grounded and whose drain receives an output current.
【0025】次に、図2に示すリフレッシュタイマー1
0の動作説明を行うにあたり、先に図3に示す電流源1
2の動作について簡単に説明する。Nチャネルトランジ
スタ36とNチャネルトランジスタ37の寸法としきい
値電圧Vtnが等しいとすれば、Nチャネルトランジス
タ36、37はカレントミラーを構成するから、これら
Nチャネルトランジスタ36、37に流れる電流Ioが
Pチャネルトランジスタ31、35にも流れる。Pチャ
ネルトランジスタ31、35のしきい値は等しくVtp
とすれば、各トランジスタ31、35、36、37に流
れる電流は、 Io=β31・(V32−VDD−Vtp)2 Io=β35・(V32−VDD+Io・R38−Vtp)2 Io=β36・(V34−Vtn)2 Io=β37・(V34−Vtn)2 で与えられる。ここで、V32はノード32の電圧、V34
はノード34の電圧、R 38は抵抗素子38の抵抗値であ
る。Next, the refresh timer 1 shown in FIG.
0, the current source 1 shown in FIG.
Operation 2 will be briefly described. N-channel transition
Size and threshold of the star 36 and the N-channel transistor 37
If the value voltages Vtn are equal, an N-channel transistor
Since the data 36 and 37 constitute a current mirror,
The current Io flowing through the N-channel transistors 36 and 37 is
The current also flows through the P-channel transistors 31 and 35. P Cha
The threshold values of the tunnel transistors 31 and 35 are equal to Vtp
Then, the current flows through each of the transistors 31, 35, 36, and 37.
Current Io = β31・ (V32−VDD−Vtp)Two Io = β35・ (V32−VDD + Io · R38-Vtp)Two Io = β36・ (V34-Vtn)Two Io = β37・ (V34-Vtn)Two Given by Where V32Is the voltage at node 32, V34
Is the voltage at node 34, R 38Is the resistance value of the resistance element 38
You.
【0026】ここでβ36=β37から上式を変形して、 Io=1/(R38 2・β31)・(1−(β31/β35)0.5)2 を得る。また、Nチャネルトランジスタ36とNチャネ
ルトランジスタ39はカレントミラーを構成しているた
め、この回路は、Ioの定数倍の電流Iaを出力する。[0026] by modifying the above equation from where β 36 = β 37, obtain Io = 1 / (R 38 2 · β 31) · (1- (β 31 / β 35) 0.5) 2. Further, since the N-channel transistor 36 and the N-channel transistor 39 constitute a current mirror, this circuit outputs a current Ia which is a constant multiple of Io.
【0027】一方、この構成により、電流源12の出力
する電流は、1/βに比例することが分かる。すなわ
ち、図3に示す電流源12は、回路の動作温度が高い場
合には電流が増加し、動作温度が低い場合には電流が減
少するという特性をもつ。On the other hand, according to this configuration, it can be seen that the current output from the current source 12 is proportional to 1 / β. That is, the current source 12 shown in FIG. 3 has a characteristic that the current increases when the operating temperature of the circuit is high, and decreases when the operating temperature is low.
【0028】つぎに、図2に示すリフレッシュタイマー
10の動作について説明する。Pチャネルトランジスタ
21のゲートの電位をVG、ドレインの電位をVDとし
て、図4のタイムチャートを用いて説明する。Next, the operation of the refresh timer 10 shown in FIG. 2 will be described. A description will be given with reference to a time chart of FIG. 4, where the potential of the gate of the P-channel transistor 21 is VG and the potential of the drain is VD.
【0029】リフレッシュ要求信号RCLKがローレベ
ルの場合、Pチャネルトランジスタ20はオフしてお
り、Pチャネルトランジスタ21のゲート電位は電流源
12により電圧が下げられる。Pチャネルトランジスタ
21のしきい値電圧をVtとすると、電圧がVDD−V
tになった時点で、Pチャネルトランジスタ21がオン
し、ドレイン電圧がVDDにチャージされる。その結
果、リフレッシュ要求信号RCLKがハイレベルにされ
る。リフレッシュ要求信号RCLKは、時間τの間ハイ
レベルとなり、その期間ではPチャネルトランジスタ2
0はオンとなる。このハイレベルの期間τで1つの行ア
ドレスがリフレッシュされる。リフレッシュ要求信号R
CLKがローレベルになりPチャネルトランジスタ20
がオフしてから、Pチャネルトランジスタ21がオンす
るまでのポーズ時間tREFはCR・Vt/Iaで与え
られる。When the refresh request signal RCLK is at a low level, the P-channel transistor 20 is off, and the gate potential of the P-channel transistor 21 is lowered by the current source 12. Assuming that the threshold voltage of the P-channel transistor 21 is Vt, the voltage is VDD−V
At time t, the P-channel transistor 21 is turned on, and the drain voltage is charged to VDD. As a result, the refresh request signal RCLK is set to the high level. The refresh request signal RCLK is at a high level for a time τ, during which time the P-channel transistor 2
0 is turned on. One row address is refreshed in the high level period τ. Refresh request signal R
CLK goes low and the P-channel transistor 20
The pause time tREF from turning off the P-channel transistor 21 to turning on the P-channel transistor 21 is given by CR · Vt / Ia.
【0030】前記のように、本発明の構成によれば、こ
のポーズ時間tREFの長さを左右する電流Iaは、高
温時に電流が増加し、低温時に電流が減少する特性を持
つ。よってポーズ時間tREFは高温時に短く、低温時
に長くなる。As described above, according to the configuration of the present invention, the current Ia which determines the length of the pause time tREF has a characteristic that the current increases at high temperatures and decreases at low temperatures. Therefore, the pause time tREF is short at high temperatures and long at low temperatures.
【0031】一般にDRAMの電荷保持特性は高温で悪
化し、頻繁にリフレッシュ動作を行うことが必要とされ
る。本構成によるリフレッシュタイマー10を用いれ
ば、高温時にリフレッシュ間隔を短くし、低温時にリフ
レッシュ間隔を長くすることが可能となる。In general, the charge retention characteristics of a DRAM deteriorate at high temperatures, and it is necessary to frequently perform a refresh operation. The use of the refresh timer 10 according to the present configuration makes it possible to shorten the refresh interval at high temperatures and to increase the refresh interval at low temperatures.
【0032】なお、上記の実施の形態においては、電流
源12の出力部をNチャネルトランジスタ39とした
が、図3に示すような回路を用いてもよい。以下、この
回路の説明を行う。In the above embodiment, the output of the current source 12 is the N-channel transistor 39, but a circuit as shown in FIG. 3 may be used. Hereinafter, this circuit will be described.
【0033】図3に示される回路において、Nチャネル
トランジスタ39にかわって、図5に示す回路を用い
る。図5において、50〜53はNチャネルトランジス
タ、54は動作側フューズ素子、55は接地側フューズ
素子である。これらフューズ素子は配線導体により形成
される。In the circuit shown in FIG. 3, a circuit shown in FIG. 5 is used instead of N-channel transistor 39. In FIG. 5, 50 to 53 are N-channel transistors, 54 is an operation side fuse element, and 55 is a ground side fuse element. These fuse elements are formed by wiring conductors.
【0034】ノード34は複数の動作側フューズ素子5
4を介してNチャネルトランジスタ50〜53のゲート
に接続される。また、Nチャネルトランジスタ50〜5
3のゲートは、接地側フューズ素子55を介してそれぞ
れ接地され、同様にドレインも接地される。また、Nチ
ャネルトランジスタ50〜53のソースは電流源12の
出力(出力ノード)とされる。動作側フューズ素子54
と接地側フューズ素子55は、電流源12の流す電流量
を調整するための調整手段となる。The node 34 has a plurality of operating side fuse elements 5
4 are connected to the gates of N-channel transistors 50 to 53. Also, N-channel transistors 50 to 5
The gates 3 are grounded via the ground-side fuse elements 55, and the drains are similarly grounded. The sources of the N-channel transistors 50 to 53 serve as outputs (output nodes) of the current source 12. Operating fuse element 54
The ground-side fuse element 55 serves as an adjusting unit for adjusting the amount of current flowing from the current source 12.
【0035】これらNチャネルトランジスタ50〜53
のチャネル幅はすべて同じであっても良いが、それぞれ
バイナリーサイズのチャネル幅であるW、2W、4W、
8Wに設定されるものであってもよい。以下、このバイ
ナリーサイズのチャネル幅について、図5に示す回路の
動作の説明を行う。These N-channel transistors 50 to 53
May be all the same, but each has a binary size channel width of W, 2W, 4W,
It may be set to 8W. Hereinafter, the operation of the circuit shown in FIG. 5 will be described with respect to this binary channel width.
【0036】図5内の動作側フューズ素子54と接地側
フューズ素子55に接続されるNチャネルトランジスタ
50〜53のどれをオンさせるかオフさせるかを、各フ
ューズ素子54、55のトリミングにより決定すること
ができる。この電流量の調整手段であるフューズ素子5
4、55のトリミングは、一般的なレーザートリミング
法などで切断することにより、電流源12の電流量の調
整が行われる。また、この電流量の調整手段の調整は、
例えば冗長メモリの置換行程に含めて行うことができ
る。Which of the N-channel transistors 50 to 53 connected to the operating fuse element 54 and the ground fuse element 55 in FIG. 5 is turned on or off is determined by trimming the fuse elements 54 and 55. be able to. The fuse element 5 which is a means for adjusting the amount of current
In trimming 4 and 55, the current amount of the current source 12 is adjusted by cutting by a general laser trimming method or the like. In addition, the adjustment of the current amount adjusting means
For example, it can be included in the replacement process of the redundant memory.
【0037】たとえば、半導体回路のポーズタイムテス
ト等で、電荷保持特性が著しく悪いチップが確認された
場合、リフレッシュ期間は短くされることが必要とな
る。これは前記のポーズ時間tREFから、電流Iaが
大きい場合を設定すればよい。例えば、Nチャネルトラ
ンジスタ50がオンしたときに流す電流をIuとして、
Nチャネルトランジスタ53に接続される接地側フュー
ズ素子55を切断し、Nチャネルトランジスタ50〜5
2の動作側フューズ素子54を切断すれば、比較的大き
な電流Ia=8Iuを得ることができる。For example, if a chip having a remarkably poor charge retention characteristic is found in a pause time test or the like of a semiconductor circuit, the refresh period needs to be shortened. This may be set based on the pause time tREF, when the current Ia is large. For example, a current flowing when the N-channel transistor 50 is turned on is represented by Iu.
The ground-side fuse element 55 connected to the N-channel transistor 53 is disconnected, and the N-channel transistors 50 to 5 are disconnected.
By cutting the second operation side fuse element 54, a relatively large current Ia = 8Iu can be obtained.
【0038】このように、電流Iaを最小にするように
Nチャネルトランジスタ50のみオンさせるようにトリ
ミングした場合(Ia=Iu)の15倍であるNチャネ
ルトランジスタ50〜53すべてオンさせるようにトリ
ミングした場合(Ia=Iu+2Iu+4Iu+8Iu
=15Iu)まで細かく調整することができる。As described above, the trimming is performed so that only the N-channel transistor 50 is turned on so as to minimize the current Ia (Ia = Iu). Case (Ia = Iu + 2Iu + 4Iu + 8Iu)
= 15Iu).
【0039】以上では、接続されるNチャネルトランジ
スタの数を4として説明を行ったが、さらに広い範囲で
調整を行いたい場合には、その数を増やしても良い。そ
の場合、同様にフューズ素子54、55も増やすことが
必要となる。また逆に調整する範囲が狭くても良い場合
は、2個や3個にしても良い。In the above description, the number of N-channel transistors to be connected has been described as four. However, if it is desired to perform adjustment over a wider range, the number may be increased. In that case, it is necessary to increase the number of fuse elements 54 and 55 as well. Conversely, if the range to be adjusted may be narrow, it may be two or three.
【0040】この構成により、電荷保持特性の悪い半導
体チップを救済することができる。また、電荷保持特性
の良いDRAMチップは不必要なリフレッシュ動作をす
ることがなく、消費電力の少ないDRAMチップが提供
できる。With this configuration, a semiconductor chip having poor charge retention characteristics can be relieved. In addition, a DRAM chip having good charge retention characteristics does not perform unnecessary refresh operation, and a DRAM chip with low power consumption can be provided.
【0041】[0041]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、容量素子
に蓄積される電荷量を検出する論理回路部と、周囲温度
が上昇すると出力電流が増加し周囲温度が低下すると出
力電流が減少する電流源を備えることにより、周囲温度
が上がればリフレッシュ周期を短かくし、周囲温度が下
がればリフレッシュ周期を長くすることができる。As described above, according to the present invention, the logic circuit for detecting the amount of charge stored in the capacitance element, the output current increases when the ambient temperature increases, and decreases when the ambient temperature decreases. With such a current source, the refresh cycle can be shortened when the ambient temperature increases, and the refresh cycle can be extended when the ambient temperature decreases.
【0042】また、電流源の流す電流量をフューズ素子
に対するトリミングにより調節できる調整手段を用いる
ことにより、電荷保持特性の悪いメモリ素子の救済が可
能となり、正常なメモリ素子の電流消費量を減少するこ
とができる。Further, by using the adjusting means capable of adjusting the amount of current flowing from the current source by trimming the fuse element, it is possible to relieve a memory element having a poor charge retention characteristic and reduce the current consumption of a normal memory element. be able to.
【0043】また、電流源の流す電流量を決定するトラ
ンジスタ群のゲート幅がバイナリー構成になっているの
で、電流源の流す電流量を広い範囲で細かく調整するこ
とができる。Further, since the gate width of the transistor group that determines the amount of current flowing from the current source is of a binary configuration, the amount of current flowing from the current source can be finely adjusted in a wide range.
【0044】以上により、リフレッシュ周期を周囲温度
の変化に対して確実に補償することができ、リフレッシ
ュ周期の安定性を向上するとともに、リフレッシュ周期
の短縮による消費電流の増大化を抑えることができ、か
つ全体として回路面積を縮小化することができる。As described above, the refresh cycle can be reliably compensated for the change in the ambient temperature, the stability of the refresh cycle can be improved, and the increase in current consumption due to the shortening of the refresh cycle can be suppressed. In addition, the circuit area can be reduced as a whole.
【図1】本発明の実施の形態のリフレッシュタイマーの
構成を示すブロック図FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a refresh timer according to an embodiment of the present invention.
【図2】同実施の形態のリフレッシュタイマーの構成を
示す回路図FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration of a refresh timer according to the embodiment;
【図3】同実施の形態のリフレッシュタイマーにおける
電流源の構成を示す回路図FIG. 3 is a circuit diagram showing a configuration of a current source in the refresh timer of the embodiment.
【図4】同実施の形態のリフレッシュタイマーの動作を
示すタイムチャートFIG. 4 is a time chart showing the operation of the refresh timer according to the embodiment;
【図5】本発明の実施の形態のリフレッシュ周期の調整
方法を実現するためのリフレッシュ周期調整用回路の構
成を示す回路図FIG. 5 is a circuit diagram showing a configuration of a refresh cycle adjusting circuit for realizing the refresh cycle adjusting method according to the embodiment of the present invention;
10 リフレッシュタイマー 11 検知回路 12 電流源 20、21 Pチャネルトランジスタ 22 Nチャネルトランジスタ 23 NAND素子 24、25、26 インバータ 27 遅延素子 28 容量素子 31、35 Pチャネルトランジスタ 32、33、34 ノード 36、37、39 Nチャネルトランジスタ 38 抵抗素子 50、51、52、53 Nチャネルトランジスタ 54 動作側フューズ素子 55 接地側フューズ素子 Ia、Iu 電流 RCLK リフレッシュ要求信号 VG トランジスタ21のゲートの電圧波形 VD トランジスタ21のドレインの電圧波形 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Refresh timer 11 Detection circuit 12 Current source 20, 21 P-channel transistor 22 N-channel transistor 23 NAND element 24, 25, 26 Inverter 27 Delay element 28 Capacitance element 31, 35 P-channel transistor 32, 33, 34 Nodes 36, 37, 39 N-channel transistor 38 Resistance element 50, 51, 52, 53 N-channel transistor 54 Operation side fuse element 55 Ground side fuse element Ia, Iu Current RCLK Refresh request signal VG Voltage waveform at gate of transistor 21 VD Voltage at drain of transistor 21 Waveform
Claims (8)
定のリフレッシュ周期を得るためのリフレッシュタイマ
ーであって、一端が接地電位である接地電極に接続され
た容量素子と、前記容量素子の他端と前記接地電極間に
接続された電流源と、前記メモリ素子に対するリフレッ
シュの際のリフレッシュ要求信号に応じて、前記容量素
子を充電する充電回路と、前記容量素子の電圧レベルが
所定の電位になった場合に前記リフレッシュ要求信号を
発生する論理回路部とを備え、前記電流源を、その電流
源の流す電流量が周囲温度の上昇に比例して増加する特
性を持つよう構成したリフレッシュタイマー。1. A refresh timer for obtaining a predetermined refresh cycle when refreshing a memory element, comprising: a capacitive element having one end connected to a ground electrode having a ground potential; A current source connected between the ground electrodes, a charging circuit for charging the capacitive element in response to a refresh request signal at the time of refreshing the memory element, and a voltage level of the capacitive element attains a predetermined potential. A refresh circuit comprising: a logic circuit section for generating the refresh request signal in a case where the current source has a characteristic that an amount of current flowing from the current source increases in proportion to an increase in ambient temperature.
トとドレインが第1のノードに接続された第1のPチャ
ネルトランジスタと、ドレインが第2のノードに接続さ
れゲートが前記第1のノードに接続されソースが抵抗素
子を介して前記電源に接続された第2のPチャネルトラ
ンジスタと、ソースが前記第1のノードに接続されゲー
トが前記第2のノードに接続されドレインが接地電極に
接続された第1のNチャネルトランジスタと、ソースと
ゲートが前記第2のノードに接続されドレインが前記接
地電極に接続された第2のNチャネルトランジスタと、
ゲートが前記第2のノードに接続されソースが前記接地
電極に接続されドレインが出力ノードとなる第3のNチ
ャネルトランジスタとで構成したことを特徴とする請求
項1に記載のリフレッシュタイマー。2. A current source comprising: a first P-channel transistor having a source connected to a power supply and a gate and a drain connected to a first node; and a drain connected to a second node and a gate connected to the first node. A second P-channel transistor connected to a node and having a source connected to the power supply via a resistance element, a source connected to the first node, a gate connected to the second node, and a drain connected to a ground electrode; A first N-channel transistor connected, a second N-channel transistor having a source and a gate connected to the second node, and a drain connected to the ground electrode;
2. The refresh timer according to claim 1, wherein a third N-channel transistor has a gate connected to the second node, a source connected to the ground electrode, and a drain serving as an output node.
節するための調整手段を設けたことを特徴とする請求項
1に記載のリフレッシュタイマー。3. The refresh timer according to claim 1, wherein the current source is provided with adjusting means for adjusting the amount of current flowing through the current source.
とで構成され前記電流源が流す電流量を調節するための
調整手段を設けたことを特徴とする請求項1に記載のリ
フレッシュタイマー。4. The refresh timer according to claim 1, wherein the current source is provided with an adjusting means comprising a transistor and a fuse element for adjusting an amount of current flowing through the current source.
トとドレインが第1のノードに接続された第1のPチャ
ネルトランジスタと、ドレインが第2のノードに接続さ
れゲートが前記第1のノードに接続されソースが抵抗素
子を介して前記電源に接続された第2のPチャネルトラ
ンジスタと、ソースが前記第1のノードに接続されゲー
トが前記第2のノードに接続されドレインが接地電極に
接続された第1のNチャネルトランジスタと、ソースと
ゲートが前記第2のノードに接続されドレインが前記接
地電極に接続された第2のNチャネルトランジスタと、
ゲートが、トリミング可能な複数の第1のフューズ素子
を介して前記第2のノードに接続されるとともに、トリ
ミング可能な複数の第2のフューズ素子を介して前記接
地電極に接続され、かつソースが前記接地電極に接続さ
れドレインが出力ノードとなる複数の第3のNチャネル
トランジスタからなる調整手段とで構成し、前記調整手
段のフューズ素子に対するトリミングにより前記電流源
が流す電流量を調節するようにしたことを特徴とする請
求項1に記載のリフレッシュタイマー。5. A current source comprising: a first P-channel transistor having a source connected to a power supply and a gate and a drain connected to a first node; and a drain connected to a second node and a gate connected to the first node. A second P-channel transistor connected to a node and having a source connected to the power supply via a resistance element, a source connected to the first node, a gate connected to the second node, and a drain connected to a ground electrode; A first N-channel transistor connected, a second N-channel transistor having a source and a gate connected to the second node, and a drain connected to the ground electrode;
A gate is connected to the second node through a plurality of first fuse elements that can be trimmed, and a gate is connected to the ground electrode through a plurality of second fuse elements that can be trimmed, and a source is connected. Adjusting means comprising a plurality of third N-channel transistors connected to the ground electrode and having a drain serving as an output node, and the amount of current flowing from the current source is adjusted by trimming the fuse element with the adjusting means. The refresh timer according to claim 1, wherein:
載の調整手段を備えたリフレッシュタイマーを含む半導
体記憶装置の製造方法において、前記調整手段のフュー
ズ素子をレーザーの照射により切断して、前記リフレッ
シュタイマーのリフレッシュ周期を調整することを特徴
とするリフレッシュ周期の調整方法。6. A method for manufacturing a semiconductor memory device including a refresh timer provided with an adjusting means according to claim 3, 4 or 5, wherein the fuse element of the adjusting means is cut by laser irradiation. Adjusting the refresh cycle of the refresh timer.
載の調整手段を備えたリフレッシュタイマーを含む半導
体記憶装置の製造方法において、前記リフレッシュタイ
マーのリフレッシュ周期を調整するための前記調整手段
の調整を、冗長メモリの置換行程で行うことを特徴とす
るリフレッシュ周期の調整方法。7. A method for manufacturing a semiconductor memory device including a refresh timer provided with the adjusting means according to claim 3, 4, and 5, wherein said adjusting means for adjusting a refresh cycle of said refresh timer. The refresh cycle is adjusted in a redundant memory replacement process.
を、それらのチャネル幅が、1つのトランジスタのチャ
ネル幅に対して、他の1つのトランジスタはその倍の幅
となり、さらに他の1つのトランジスタはさらにその倍
の幅となるよう順次構成し、前記複数の第3のNチャネ
ルトランジスタのチャネル幅がバイナリー構成になるよ
うにしたことを特徴とする請求項5に記載のリフレッシ
ュタイマー。8. A plurality of third N-channel transistors, the channel width of which is twice the channel width of one transistor, the other transistor is twice as wide as the channel width of one transistor, and the other one transistor is 6. The refresh timer according to claim 5, wherein the refresh timer is sequentially configured to have a width twice as large as that of the third N-channel transistor, and the channel width of the plurality of third N-channel transistors is configured to be a binary configuration.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10338290A JP2000163955A (en) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | Refresh timer and adjusting method for its refresh cycle |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10338290A JP2000163955A (en) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | Refresh timer and adjusting method for its refresh cycle |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000163955A true JP2000163955A (en) | 2000-06-16 |
Family
ID=18316748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10338290A Pending JP2000163955A (en) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | Refresh timer and adjusting method for its refresh cycle |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000163955A (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6603695B2 (en) | 2001-08-30 | 2003-08-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor memory device having self-refresh mode |
KR20040019151A (en) * | 2002-08-26 | 2004-03-05 | 주식회사 하이닉스반도체 | Temperature compensated self refresh circuit |
US6934210B2 (en) | 2001-08-30 | 2005-08-23 | Renesas Technology Corporation | Semiconductor memory circuit |
US7123110B2 (en) | 2003-10-24 | 2006-10-17 | International Business Machines Corporation | Low power self refresh timer oscillator |
JP2006351066A (en) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Fujitsu Ltd | Semiconductor memory |
KR100701706B1 (en) * | 2006-01-31 | 2007-03-29 | 주식회사 하이닉스반도체 | Temperature sensing circuit of semiconductor memory device |
-
1998
- 1998-11-30 JP JP10338290A patent/JP2000163955A/en active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6603695B2 (en) | 2001-08-30 | 2003-08-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor memory device having self-refresh mode |
US6934210B2 (en) | 2001-08-30 | 2005-08-23 | Renesas Technology Corporation | Semiconductor memory circuit |
US7088636B2 (en) | 2001-08-30 | 2006-08-08 | Renesas Technology Corporation | Semiconductor memory circuit |
US7292496B2 (en) | 2001-08-30 | 2007-11-06 | Renesas Technology Corporation | Semiconductor memory circuit |
US7821862B2 (en) | 2001-08-30 | 2010-10-26 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor memory circuit |
US7995417B2 (en) | 2001-08-30 | 2011-08-09 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor memory circuit |
US8223577B2 (en) | 2001-08-30 | 2012-07-17 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor memory circuit |
KR20040019151A (en) * | 2002-08-26 | 2004-03-05 | 주식회사 하이닉스반도체 | Temperature compensated self refresh circuit |
US7123110B2 (en) | 2003-10-24 | 2006-10-17 | International Business Machines Corporation | Low power self refresh timer oscillator |
JP2006351066A (en) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Fujitsu Ltd | Semiconductor memory |
JP4664126B2 (en) * | 2005-06-14 | 2011-04-06 | 富士通セミコンダクター株式会社 | Semiconductor memory |
KR100701706B1 (en) * | 2006-01-31 | 2007-03-29 | 주식회사 하이닉스반도체 | Temperature sensing circuit of semiconductor memory device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7940577B2 (en) | Semiconductor integrated circuit device minimizing leakage current | |
KR100232990B1 (en) | Temperature dependent circuit, and current generating circuit, inverter and oscillation circuit using the same | |
US5499214A (en) | Oscillator circuit generating a clock signal having a temperature dependent cycle and a semiconductor memory device including the same | |
JP4167632B2 (en) | Refresh cycle generation circuit and DRAM having the same | |
KR100549621B1 (en) | Oscillator for self refresh | |
JP3714696B2 (en) | Semiconductor memory device | |
JP3995069B2 (en) | An oscillator that supplies a constant pulse frequency regardless of temperature changes | |
US6731558B2 (en) | Semiconductor device | |
US6281760B1 (en) | On-chip temperature sensor and oscillator for reduced self-refresh current for dynamic random access memory | |
KR0158478B1 (en) | Substrate voltage control circuit of semiconductor memory apparatus | |
US6856566B2 (en) | Timer circuit and semiconductor memory incorporating the timer circuit | |
US7120549B2 (en) | Temperature compensated self-refresh (TCSR) circuit having a temperature sensor limiter | |
US6304148B1 (en) | Oscillator circuit for a semiconductor memory having a temperature dependent cycle | |
US6690226B2 (en) | Substrate electric potential sense circuit and substrate electric potential generator circuit | |
JP4211922B2 (en) | Semiconductor device | |
US7508729B2 (en) | Oscillator circuit generating oscillating signal having stable cycle | |
JP2004342258A (en) | Cell leak monitor circuit and method | |
JP2000163955A (en) | Refresh timer and adjusting method for its refresh cycle | |
US7173501B1 (en) | Dual slope temperature dependent oscillator | |
US20050162215A1 (en) | Temperature sensing variable frequency generator | |
JP4330585B2 (en) | Current generation circuit with temperature dependence | |
US8179738B2 (en) | Internal power supply control circuit of semiconductor memory | |
JPH0822693A (en) | Semiconductor storage device | |
JPH06150647A (en) | Semiconductor memory circuit | |
JP5632064B2 (en) | Power control circuit |