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JP2000099983A - Optical pickup device and optical disk device - Google Patents

Optical pickup device and optical disk device

Info

Publication number
JP2000099983A
JP2000099983A JP10272261A JP27226198A JP2000099983A JP 2000099983 A JP2000099983 A JP 2000099983A JP 10272261 A JP10272261 A JP 10272261A JP 27226198 A JP27226198 A JP 27226198A JP 2000099983 A JP2000099983 A JP 2000099983A
Authority
JP
Japan
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light
wavelength
optical
film
wavelength selection
Prior art date
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Pending
Application number
JP10272261A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuko Teragaki
靖子 寺垣
Seiji Kajiyama
清治 梶山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
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Publication of JP2000099983A publication Critical patent/JP2000099983A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical pickup device capable of recording/reproducing information in plural kinds of optical disks with light rays different in wavelength without deteriorating the characteristic of a reproducing signal and reducing cost, and to provide an optical disk device provided with the optical pickup device. SOLUTION: A semiconductor laser element 1 is provided with a laser diode chip for emitting a laser beam of 650 nm wavelength, and a laser diode chip for emitting a laser beam of 780 nm wavelength. A parallel flat plate 2 includes a first wavelength selecting film 24 for reflecting the laser beam of 650 nm wavelength and transmitting the laser beam of 780 nm wavelength, a substrate 23 for transmitting a light, and a second wavelength selecting film 22 for reflecting the laser beam of 780 nm wavelength in this order. By adjusting the thickness of the substrate 23 and the incident angle of the laser beam, the optical path of the laser beam of 650 nm wavelength is matched with that of the laser beam of 780 nm wavelength.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、異なる波長の複数
の光で光ディスクに情報の記録および再生を行うことが
できる光ピックアップ装置およびそれを備えた光ディス
ク装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical pickup device capable of recording and reproducing information on and from an optical disk with a plurality of lights having different wavelengths, and an optical disk device provided with the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】光学記録媒体として、DVD(デジタル
ビデオディスク)、CD−R(書き込み可能なコンパク
トディスク)、AS(Advanced Storage) −光磁気ディ
スク等の種々の光ディスクが開発されている。DVDに
おいては、波長650nmのレーザ光により情報の記録
または再生が行われる。一方、CD−Rにおいては、波
長780nmのレーザ光により情報の記録または再生が
行われる。このような複数種類の光ディスクに対して情
報の記録または再生を行う光ディスク装置が提案されて
いる。
2. Description of the Related Art Various optical disks such as DVD (digital video disk), CD-R (writable compact disk), and AS (Advanced Storage) -magneto-optical disk have been developed as optical recording media. In a DVD, information is recorded or reproduced by laser light having a wavelength of 650 nm. On the other hand, in a CD-R, recording or reproduction of information is performed by a laser beam having a wavelength of 780 nm. An optical disk device that records or reproduces information on such a plurality of types of optical disks has been proposed.

【0003】図20は異なる波長のレーザ光により情報
の記録または再生が行われる2種類の光ディスクに対し
て互換性を有する従来の光ディスク装置の概略構成を示
す模式図である。また、図21は図20の光ディスク装
置における半導体レーザ素子の側面図、図22は図20
の光ディスク装置におけるウォラストンプリズムおよび
光検出器を示す図である。
FIG. 20 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a conventional optical disk device compatible with two types of optical disks on which information is recorded or reproduced by laser beams of different wavelengths. FIG. 21 is a side view of a semiconductor laser device in the optical disk device of FIG. 20, and FIG.
FIG. 4 is a diagram showing a Wollaston prism and a photodetector in the optical disk device of FIG.

【0004】図20の光ディスク装置は、半導体レーザ
素子1、コリメータレンズ6、対物レンズ7、光検出器
8、平行平板9およびウォラストンプリズム10を備え
る。図21に示すように、半導体レーザ素子1は、波長
650nmのレーザ光を出射するレーザダイオードチッ
プ11および波長780nmのレーザ光を出射するレー
ザダイオードチップ12を含む。レーザダイオードチッ
プ11のレーザ光の出射位置とレーザダイオードチップ
12のレーザ光の出射位置との距離dは約110μmで
ある。
The optical disk device shown in FIG. 20 includes a semiconductor laser device 1, a collimator lens 6, an objective lens 7, a photodetector 8, a parallel plate 9, and a Wollaston prism 10. As shown in FIG. 21, the semiconductor laser device 1 includes a laser diode chip 11 that emits laser light having a wavelength of 650 nm and a laser diode chip 12 that emits laser light having a wavelength of 780 nm. The distance d between the laser light emitting position of the laser diode chip 11 and the laser light emitting position of the laser diode chip 12 is about 110 μm.

【0005】図20において、半導体レーザ素子1から
出射されたレーザ光は、平行平板9により反射され、コ
リメータレンズ6により平行光に変換され、対物レンズ
7により光ディスク100に集光される。光ディスク1
00からの帰還光(反射光)は、対物レンズ7およびコ
リメータレンズ6を透過し、さらに平行平板9およびウ
ォラストンプリズム10を透過して光検出器8に入射す
る。それにより、光ディスク100に記録された情報が
検出される。
In FIG. 20, a laser beam emitted from a semiconductor laser device 1 is reflected by a parallel flat plate 9, converted into a parallel beam by a collimator lens 6, and collected on an optical disk 100 by an objective lens 7. Optical disk 1
The return light (reflected light) from 00 passes through the objective lens 7 and the collimator lens 6, further passes through the parallel plate 9 and the Wollaston prism 10, and enters the photodetector 8. Thereby, information recorded on the optical disc 100 is detected.

【0006】図22に示すように、波長650nmのレ
ーザ光101と波長780nmのレーザ光102とは互
いに偏光方向が異なるように設定される。図22におい
て、黒丸印は、偏光方向が紙面に対して垂直であること
を示し、矢印は偏光方向が紙面に対して平行であること
を示している。
As shown in FIG. 22, a laser beam 101 having a wavelength of 650 nm and a laser beam 102 having a wavelength of 780 nm are set to have different polarization directions. In FIG. 22, black circles indicate that the polarization direction is perpendicular to the paper surface, and arrows indicate that the polarization direction is parallel to the paper surface.

【0007】図21に示したように、レーザダイオード
チップ11のレーザ光の出射位置とレーザダイオードチ
ップ12のレーザ光の出射位置とが約110μm離れて
いるため、レーザ光101の光路とレーザ光102の光
路とは約110μm離れている。
As shown in FIG. 21, the laser beam emitting position of the laser diode chip 11 and the laser beam emitting position of the laser diode chip 12 are about 110 μm apart, so that the optical path of the laser beam 101 and the laser beam 102 Is about 110 μm away from the optical path.

【0008】光検出器8は4分割センサ81を有する。
レーザ光101はウォラストンプリズム10中を直進
し、光検出器8の4分割センサ81の中央部に光スポッ
ト201を形成する。レーザ光102は、ウォラストン
プリズム10により屈折され、光検出器8の4分割セン
サ81の中央部に光スポット201を形成する。
The light detector 8 has a four-divided sensor 81.
The laser beam 101 travels straight through the Wollaston prism 10 and forms a light spot 201 at the center of the four-divided sensor 81 of the photodetector 8. The laser beam 102 is refracted by the Wollaston prism 10 and forms a light spot 201 at the center of the four-divided sensor 81 of the photodetector 8.

【0009】このように、従来の光ディスク装置におい
ては、ウォラストンプリズム10を用いることにより波
長の異なる2つのレーザ光101,102を光検出器8
の4分割センサ81に入射させることができる。
As described above, in the conventional optical disk drive, the two laser beams 101 and 102 having different wavelengths can be detected by the photodetector 8 by using the Wollaston prism 10.
To the four-divided sensor 81.

【0010】なお、ウォラストンプリズム10を設けな
い場合には、レーザ光102は、点線で示すように、光
検出器8の4分割センサ81から外れた位置に光スポッ
トを形成する。
When the Wollaston prism 10 is not provided, the laser beam 102 forms a light spot at a position off the quadrant sensor 81 of the photodetector 8 as shown by a dotted line.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】上記の従来の光ディス
ク装置では、波長の異なる2つのレーザ光101,10
2を共通の光検出器8により受光するために、ウォラス
トンプリズム10が必要となる。それにより、部品コス
トが高くなる。
In the above-mentioned conventional optical disk apparatus, two laser beams 101 and 10 having different wavelengths are used.
A Wollaston prism 10 is required to receive 2 by the common photodetector 8. As a result, component costs are increased.

【0012】また、半導体レーザ素子1の2つのレーザ
ダイオードチップ11,12の光軸が互いに離れている
ため、両方のレーザダイオードチップ11,12から出
射される2つのレーザ光の光路をコリメータレンズ6お
よび対物レンズ7の光軸と正確に一致させることができ
ない。すなわち、2つのレーザダイオードチップ11,
12のうち一方から出射されるレーザ光の光路をコリメ
ータレンズ6および対物レンズ7の光軸と一致させる
と、他方から出射されるレーザ光の光路がコリメータレ
ンズ6および対物レンズ7の光軸からずれる。それによ
り、波面収差が発生し、再生信号の特性が劣化する。
Further, since the optical axes of the two laser diode chips 11 and 12 of the semiconductor laser device 1 are separated from each other, the optical path of the two laser beams emitted from both laser diode chips 11 and 12 is changed to the collimator lens 6. In addition, the optical axis of the objective lens 7 cannot be accurately matched. That is, two laser diode chips 11,
When the optical path of the laser light emitted from one of the 12 is matched with the optical axis of the collimator lens 6 and the objective lens 7, the optical path of the laser light emitted from the other is shifted from the optical axis of the collimator lens 6 and the objective lens 7. . As a result, wavefront aberration occurs, and the characteristics of the reproduced signal deteriorate.

【0013】本発明の目的は、再生信号の特性を劣化さ
せることなく異なる波長の光で複数種類の光ディスクに
情報の記録または再生を行うことができ、かつ低コスト
化が可能な光ピックアップ装置およびそれを備えた光デ
ィスク装置を提供することである。
An object of the present invention is to provide an optical pickup device capable of recording or reproducing information on or from a plurality of types of optical disks with light of different wavelengths without deteriorating the characteristics of a reproduced signal and capable of reducing costs. An object of the present invention is to provide an optical disk device provided with the above.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段および発明の効果】第1の
発明に係る光ピックアップ装置は、光ディスクに光を照
射するとともに光ディスクからの帰還光を受光する光ピ
ックアップ装置であって、異なる波長を有する複数の光
を出射する複数の光源と、複数の光源の各々から出射さ
れた光を反射する平行平板とを備え、平行平板は、複数
の光のうちそれぞれ異なる波長の1つの光を反射して残
りの波長の光を透過する複数の波長選択膜を光透過膜を
介して表面側から順に含み、複数の波長選択膜によりそ
れぞれ反射されて表面側から出射される複数の光の光路
が一致するように配設されたものである。
SUMMARY OF THE INVENTION An optical pickup device according to a first aspect of the present invention is an optical pickup device that irradiates light to an optical disk and receives return light from the optical disk, and has different wavelengths. A plurality of light sources that emit a plurality of lights, and a parallel plate that reflects light emitted from each of the plurality of light sources, the parallel plate reflects one light of a different wavelength among the plurality of lights. A plurality of wavelength selection films that transmit light of the remaining wavelengths are sequentially included from the front side through the light transmission film, and the optical paths of the plurality of light beams respectively reflected by the plurality of wavelength selection films and emitted from the front side match. It is arranged as follows.

【0015】本発明に係る光ピックアップ装置において
は、複数の光源から異なる波長を有する複数の光が出射
される。複数の光源の各々から出射された光は平行平板
の複数の波長選択膜の1つで反射される。
In the optical pickup device according to the present invention, a plurality of lights having different wavelengths are emitted from a plurality of light sources. Light emitted from each of the plurality of light sources is reflected by one of the plurality of wavelength selection films of the parallel plate.

【0016】この場合、複数の波長選択膜によりそれぞ
れ反射されて表面側から出射される複数の光の光路が一
致するように平行平板が配設されている。それにより、
波長の異なる複数の光の光路を光学系の光軸と一致させ
ることが可能となる。その結果、再生信号の特性を劣化
させることなく異なる波長の光で複数種類の光ディスク
に情報の記録または再生を行うことができる。
In this case, parallel flat plates are provided so that the optical paths of a plurality of light beams respectively reflected by the plurality of wavelength selection films and emitted from the front side coincide with each other. Thereby,
It is possible to make the optical paths of a plurality of lights having different wavelengths coincide with the optical axis of the optical system. As a result, information can be recorded or reproduced on a plurality of types of optical discs with light of different wavelengths without deteriorating the characteristics of the reproduced signal.

【0017】また、光ディスクからの異なる波長の複数
の帰還光を特別な光学素子を設けることなく共通の光検
出器により受光することができる。したがって、低コス
ト化を図ることが可能となる。
Further, a plurality of return lights of different wavelengths from the optical disk can be received by a common photodetector without providing a special optical element. Therefore, cost reduction can be achieved.

【0018】第2の発明に係る光ピックアップ装置は、
光ディスクに光を照射するとともに光ディスクからの帰
還光を受光する光ピックアップ装置であって、第1の波
長の光を出射する第1の光源と、第2の波長の光を出射
する第2の光源と、第1および第2の光源の各々から出
射された光を反射する平行平板とを備え、平行平板は、
第1の波長の光を反射するとともに第2の波長の光を透
過する第1の波長選択膜と、第2の波長の光を透過する
光透過膜と、第2の波長の光を反射する第2の波長選択
膜とを表面側から順に含み、第1の波長選択膜により反
射された第1の波長の光および第2の波長選択膜により
反射されて表面側から出射される第2の波長の光の光路
が一致するように配設されたものである。
An optical pickup device according to a second aspect of the present invention comprises:
An optical pickup device for irradiating an optical disc with light and receiving return light from the optical disc, comprising: a first light source for emitting light of a first wavelength; and a second light source for emitting light of a second wavelength. And a parallel plate that reflects light emitted from each of the first and second light sources.
A first wavelength selection film that reflects light of the first wavelength and transmits light of the second wavelength, a light transmission film that transmits light of the second wavelength, and reflects light of the second wavelength. A second wavelength selection film and a second wavelength selection film sequentially reflected from the first wavelength selection film, and a second wavelength selection film reflected from the second wavelength selection film and emitted from the surface side. They are arranged so that the optical paths of light of the wavelengths coincide.

【0019】本発明に係る光ピックアップ装置において
は、第1の光源から第1の波長の光が出射され、第2の
光源から第2の波長の光が出射される。第1の光源から
出射された第1の波長の光は、平行平板の第1の波長選
択膜により反射される。第2の光源から出射された第2
の波長の光は、平行平板の第1の波長選択膜および光透
過膜を透過し、第2の波長選択膜により反射され、光透
過膜および第1の波長選択膜を再び透過して表面側から
出射される。
In the optical pickup device according to the present invention, light of the first wavelength is emitted from the first light source, and light of the second wavelength is emitted from the second light source. The light of the first wavelength emitted from the first light source is reflected by the parallel plate-like first wavelength selection film. The second light emitted from the second light source
Is transmitted through the first wavelength selection film and the light transmission film of the parallel plate, is reflected by the second wavelength selection film, passes through the light transmission film and the first wavelength selection film again, and becomes the surface side. Is emitted from.

【0020】この場合、第1の波長選択膜により反射さ
れた第1の波長の光および第2の波長選択膜により反射
されて表面側から出射される第2の波長の光の光路が一
致するように平行平板が配置されている。それにより、
第1の波長の光および第2の波長の光の光路を光学系の
光軸に一致させることが可能となる。その結果、再生信
号の特性を劣化させることなく異なる波長の光で複数種
類の光ディスクに情報の記録または再生を行うことがで
きる。
In this case, the optical paths of the light of the first wavelength reflected by the first wavelength selection film and the light of the second wavelength reflected from the second wavelength selection film and emitted from the front surface coincide. Parallel plates are arranged as described above. Thereby,
The optical paths of the light of the first wavelength and the light of the second wavelength can coincide with the optical axis of the optical system. As a result, information can be recorded or reproduced on a plurality of types of optical discs with light of different wavelengths without deteriorating the characteristics of the reproduced signal.

【0021】また、光ディスクからの第1の波長の帰還
光および第2の帰還光を特別な光学素子を設けることな
く共通の光検出器により受光することができる。したが
って、低コスト化を図ることが可能となる。
Further, the feedback light of the first wavelength and the second feedback light from the optical disk can be received by the common photodetector without providing a special optical element. Therefore, cost reduction can be achieved.

【0022】第3の発明に係る光ピックアップ装置は、
第2の発明に係る光ピックアップ装置の構成において、
光を検出する光検出器と、平行平板により反射された光
を光ディスクに導くとともに光ディスクからの帰還光を
光検出器に導く光学素子とをさらに備えたものである。
An optical pickup device according to a third aspect of the present invention comprises:
In the configuration of the optical pickup device according to the second invention,
It further includes a photodetector for detecting light, and an optical element for guiding light reflected by the parallel flat plate to the optical disc and guiding return light from the optical disc to the photodetector.

【0023】平行平板により反射された光は、光学素子
により光ディスクに導かれ、光ディスクからの帰還光
は、光学素子により光検出器に導かれる。この場合、平
行平板により反射される第1の波長の光および第2の波
長の光の光路を光学素子の光軸に一致させることがで
き、かつ光ディスクからの第1の波長の帰還光および第
2の波長の帰還光の光路を光学素子の光軸に一致させる
ことができる。また、第1の波長の帰還光および第2の
波長の帰還光を光検出器の同一点に入射させることがで
きる。したがって、再生信号の特性が向上する。
The light reflected by the parallel flat plate is guided to the optical disk by the optical element, and the return light from the optical disk is guided to the photodetector by the optical element. In this case, the optical paths of the light of the first wavelength and the light of the second wavelength reflected by the parallel flat plate can be made coincident with the optical axis of the optical element, and the feedback light of the first wavelength from the optical disc and the light of the first wavelength can be adjusted. The optical path of the feedback light having the wavelength of 2 can be made coincident with the optical axis of the optical element. Also, the feedback light of the first wavelength and the feedback light of the second wavelength can be made incident on the same point of the photodetector. Therefore, the characteristics of the reproduced signal are improved.

【0024】第4の発明に係る光ピックアップ装置は、
光ディスクに光を照射するとともに光ディスクからの帰
還光を受光する光ピックアップ装置であって、第1の波
長の光を出射する第1の光源と、第2の波長の光を出射
する第2の光源と、第1および第2の光源の各々から出
射された光を反射する平行平板とを備え、平行平板は、
第1の波長の光の一部を反射するとともに第2の波長の
光を透過する第1の波長選択膜と、第1および第2の波
長の光を透過する光透過膜と、第1の波長の光を透過す
るとともに第2の波長の光の一部を反射する第2の波長
選択膜とを表面側から順に含み、第1の波長選択膜によ
り反射された第1の波長の光および第2の波長選択膜に
より反射されて表面側から出射される第2の波長の光の
光路が一致するように配設されたものである。
An optical pickup device according to a fourth aspect of the present invention comprises:
An optical pickup device for irradiating an optical disc with light and receiving return light from the optical disc, comprising: a first light source for emitting light of a first wavelength; and a second light source for emitting light of a second wavelength. And a parallel plate that reflects light emitted from each of the first and second light sources.
A first wavelength selection film that reflects a part of the light of the first wavelength and transmits light of the second wavelength, a light transmission film that transmits light of the first and second wavelengths, A second wavelength selection film that transmits light of the wavelength and reflects a part of the light of the second wavelength in order from the front side, and the light of the first wavelength reflected by the first wavelength selection film and The second wavelength selective film is disposed so that the optical paths of the light of the second wavelength reflected from the surface side and emitted from the front side coincide with each other.

【0025】本発明に係る光ピックアップ装置において
は、第1の光源から第1の波長の光が出射され、第2の
光源から第2の波長の光が出射される。第1の光源から
出射された第1の波長の光の一部は、平行平板の第1の
波長選択膜により反射される。第2の光源から出射され
た第2の波長の光は、平行平板の第1の波長選択膜およ
び光透過膜を透過する。その第2の波長の光の一部は、
第2の波長選択膜により反射され、光透過膜および第1
の波長選択膜を再び透過して表面側から出射される。
In the optical pickup device according to the present invention, light of the first wavelength is emitted from the first light source, and light of the second wavelength is emitted from the second light source. Part of the light of the first wavelength emitted from the first light source is reflected by the parallel plate-like first wavelength selection film. Light of the second wavelength emitted from the second light source passes through the first wavelength selection film and the light transmission film of the parallel plate. Part of the light of the second wavelength is
The light is reflected by the second wavelength selection film,
Again passes through the wavelength selection film and is emitted from the surface side.

【0026】この場合、第1の波長選択膜により反射さ
れた第1の波長の光および第2の波長選択膜により反射
されて表面側から出射される第2の波長の光の光路が一
致するように平行平板が配設されている。それにより、
第1の波長の光および第2の波長の光の光路を光学系の
光軸に一致させることが可能となる。その結果、再生信
号の特性を劣化させることなく異なる波長の光で複数種
類の光ディスクに情報の記録または再生を行うことがで
きる。
In this case, the optical paths of the light of the first wavelength reflected by the first wavelength selection film and the light of the second wavelength reflected by the second wavelength selection film and emitted from the front surface coincide. The parallel plate is arranged as described above. Thereby,
The optical paths of the light of the first wavelength and the light of the second wavelength can coincide with the optical axis of the optical system. As a result, information can be recorded or reproduced on a plurality of types of optical discs with light of different wavelengths without deteriorating the characteristics of the reproduced signal.

【0027】また、光ディスクからの第1の波長の帰還
光および第2の波長の帰還光を特別な光学素子を設ける
ことなく共通の光検出器により受光することができる。
したがって、低コスト化を図ることが可能となる。
Also, the feedback light of the first wavelength and the feedback light of the second wavelength from the optical disk can be received by the common photodetector without providing a special optical element.
Therefore, cost reduction can be achieved.

【0028】第5の発明に係る光ピックアップ装置は、
第4の発明に係る光ピックアップ装置の構成において、
光を検出する光検出器と、平行平板により反射された光
を光ディスクに導くとともに光ディスクからの帰還光を
平行平板に導く光学素子とをさらに備え、光検出器は、
平行平板を透過した第1の波長の帰還光および第2の波
長の帰還光を受光するように配設されたものである。
An optical pickup device according to a fifth aspect of the present invention comprises:
In the configuration of the optical pickup device according to the fourth invention,
A photodetector that detects light, and an optical element that guides light reflected by the parallel plate to the optical disk and guides return light from the optical disk to the parallel plate, further comprising:
It is arranged to receive the feedback light of the first wavelength and the feedback light of the second wavelength transmitted through the parallel plate.

【0029】平行平板により反射された光は、光学素子
により光ディスクに導かれる。光ディスクからの第1の
波長の帰還光の一部は、平行平板の第1の波長選択膜を
透過し、さらに光透過膜および第2の波長選択膜を透過
して光検出器に導かれる。また、光ディスクからの第2
の波長の帰還光は、平行平板の第1の波長選択膜および
光透過膜を透過する。そして、その第2の波長の帰還光
の一部は、第2の波長選択膜を透過し、光検出器に導か
れる。
The light reflected by the parallel flat plate is guided to the optical disk by the optical element. A part of the feedback light of the first wavelength from the optical disk is transmitted through the parallel plate first wavelength selection film, further transmitted through the light transmission film and the second wavelength selection film, and guided to the photodetector. In addition, the second
Is transmitted through the first parallel plate and the first wavelength selection film and the light transmission film. Then, a part of the feedback light of the second wavelength passes through the second wavelength selection film and is guided to the photodetector.

【0030】この場合、平行平板により反射される第1
の波長の光および第2の波長の光の光路を光学素子の光
軸に一致させることができ、かつ光ディスクからの第1
の波長の帰還光および第2の波長の帰還光の光路を光学
素子の光軸に一致させることができる。また、第1の波
長の帰還光および第2の波長の帰還光を光検出器の同一
点に入射させることができる。したがって、再生信号の
特性が向上する。
In this case, the first light reflected by the parallel flat plate
The optical paths of the light of the second wavelength and the light of the second wavelength can coincide with the optical axis of the optical element, and the first optical path from the optical disk can be adjusted.
The optical paths of the return light having the wavelength of and the return light having the second wavelength can be made to coincide with the optical axis of the optical element. Also, the feedback light of the first wavelength and the feedback light of the second wavelength can be made incident on the same point of the photodetector. Therefore, the characteristics of the reproduced signal are improved.

【0031】第6の発明に係る光ピックアップ装置は、
光ディスクに光を照射するとともに光ディスクからの帰
還光を受光する光ピックアップ装置であって、第1の波
長の光を出射する第1の光源と、第2の波長の光を出射
する第2の光源と、第3の波長の光を出射する第3の光
源と、第1、第2および第3の光源の各々から出射され
た光を反射する平行平板とを備え、平行平板は、第1の
波長の光を反射するとともに第2および第3の波長の光
を透過する第1の波長選択膜と、第2および第3の波長
の光を透過する第1の光透過膜と、第2の波長の光を反
射するとともに第3の波長の光を透過する第2の波長選
択膜と、第3の波長の光を透過する第2の光透過膜と、
第3の波長の光を反射する第3の波長選択膜とを表面側
から順に含み、第1の波長選択膜により反射された第1
の波長の光、第2の波長選択膜により反射されて表面側
から出射される第2の波長の光および第3の波長選択膜
により反射されて表面側から出射される第3の波長の光
の光路が一致するように配設されたものである。
An optical pickup device according to a sixth aspect of the present invention comprises:
An optical pickup device for irradiating an optical disc with light and receiving return light from the optical disc, comprising: a first light source for emitting light of a first wavelength; and a second light source for emitting light of a second wavelength. And a third light source that emits light of a third wavelength; and a parallel plate that reflects light emitted from each of the first, second, and third light sources. A first wavelength selection film that reflects light of the wavelength and transmits light of the second and third wavelengths; a first light transmission film that transmits light of the second and third wavelengths; A second wavelength selection film that reflects light of the wavelength and transmits light of the third wavelength, a second light transmission film that transmits light of the third wavelength,
And a third wavelength selection film that reflects light of a third wavelength in order from the front side, and the first wavelength reflection film reflected by the first wavelength selection film.
, The second wavelength light reflected by the second wavelength selection film and emitted from the front side, and the third wavelength light reflected by the third wavelength selection film and emitted from the front side Are arranged so that the optical paths of the two coincide with each other.

【0032】本発明に係る光ピックアップ装置において
は、第1の光源から第1の波長の光が出射され、第2の
光源から第2の波長の光が出射され、第3の光源から第
3の波長の光が出射される。第1の光源から出射された
第1の波長の光は、平行平板の第1の波長選択膜により
反射される。第2の光源から出射された第2の波長の光
は、平行平板の第1の波長選択膜および第1の光透過膜
を透過し、第2の波長選択膜により反射され、第1の光
透過膜および第1の波長選択膜を再び透過して表面側か
ら出射される。第3の光源から出射された第3の波長の
光は、平行平板の第1の波長選択膜、第1の光透過膜、
第2の波長選択膜および第2の光透過膜を透過し、第3
の波長選択膜により反射され、第2の光透過膜、第2の
波長選択膜、第1の光透過膜および第1の波長選択膜を
再び透過して表面側から出射される。
In the optical pickup device according to the present invention, light of the first wavelength is emitted from the first light source, light of the second wavelength is emitted from the second light source, and light of the third wavelength is emitted from the third light source. Is emitted. The light of the first wavelength emitted from the first light source is reflected by the parallel plate-like first wavelength selection film. The light of the second wavelength emitted from the second light source is transmitted through the first wavelength selection film and the first light transmission film of the parallel plate, is reflected by the second wavelength selection film, and becomes the first light. The light passes through the transmission film and the first wavelength selection film again and is emitted from the surface side. The light of the third wavelength emitted from the third light source is a parallel plate of a first wavelength selection film, a first light transmission film,
The third light transmitting film transmits through the second wavelength selection film and the second light transmitting film,
Is reflected by the second wavelength selection film, passes through the second light transmission film, the second wavelength selection film, the first light transmission film, and the first wavelength selection film again, and is emitted from the surface side.

【0033】この場合、第1の波長選択膜により反射さ
れた第1の波長の光、第2の波長選択膜により反射され
て表面側から出射される第2の波長の光および第3の波
長選択膜により反射されて表面側から出射される第3の
波長の光の光路が一致するように平行平板が配設されて
いる。それにより、第1の波長の光、第2の波長の光お
よび第3の波長の光の光路を光学系の光軸に一致させる
ことが可能となる。その結果、再生信号の特性を劣化さ
せることなく異なる波長の光で複数種類の光ディスクに
情報の記録または再生を行うことができる。
In this case, the light of the first wavelength reflected by the first wavelength selection film, the light of the second wavelength reflected by the second wavelength selection film and emitted from the surface side, and the third wavelength A parallel flat plate is provided so that the optical path of the light of the third wavelength reflected from the selective film and emitted from the surface side coincides. Thereby, the optical paths of the light of the first wavelength, the light of the second wavelength, and the light of the third wavelength can be made coincident with the optical axis of the optical system. As a result, information can be recorded or reproduced on a plurality of types of optical discs with light of different wavelengths without deteriorating the characteristics of the reproduced signal.

【0034】また、光ディスクからの第1の波長の帰還
光、第2の波長の帰還光および第3の波長の帰還光を特
別な光学素子を設けることなく光検出器により受光する
ことができる。したがって、低コスト化を図ることが可
能となる。
Further, the feedback light of the first wavelength, the feedback light of the second wavelength, and the feedback light of the third wavelength from the optical disk can be received by the photodetector without providing a special optical element. Therefore, cost reduction can be achieved.

【0035】第7の発明に係る光ピックアップ装置は、
第6の発明に係る光ピックアップ装置の構成において、
光を検出する光検出器と、平行平板により反射された光
を光ディスクに導くとともに光ディスクからの帰還光を
光検出器に導く光学素子とをさらに備えたものである。
An optical pickup device according to a seventh aspect of the present invention comprises:
In the configuration of the optical pickup device according to the sixth invention,
It further includes a photodetector for detecting light, and an optical element for guiding light reflected by the parallel flat plate to the optical disc and guiding return light from the optical disc to the photodetector.

【0036】平行平板により反射された光は、光学素子
により光ディスクに導かれ、光ディスクからの帰還光
は、光学素子により光検出器に導かれる。この場合、平
行平板により反射される第1の波長の光、第2の波長の
光および第3の波長の光の光路を光学素子の光軸と一致
させることができ、かつ光ディスクからの第1の波長の
帰還光、第2の波長の帰還光および第3の波長の帰還光
の光路を光学素子の光軸に一致させることができる。ま
た、第1の波長の帰還光、第2の波長の帰還光および第
3の波長の帰還光を光検出器の同一点に入射させること
ができる。したがって、再生信号の特性が向上する。
The light reflected by the parallel plate is guided to the optical disk by the optical element, and the return light from the optical disk is guided to the photodetector by the optical element. In this case, the optical paths of the light of the first wavelength, the light of the second wavelength, and the light of the third wavelength reflected by the parallel plate can be made coincident with the optical axis of the optical element, and the first optical path from the optical disk can be adjusted. The optical paths of the return light having the wavelength of 2, the return light having the second wavelength, and the return light having the third wavelength can be made to coincide with the optical axis of the optical element. Further, the first wavelength feedback light, the second wavelength feedback light, and the third wavelength feedback light can be made incident on the same point of the photodetector. Therefore, the characteristics of the reproduced signal are improved.

【0037】第8の発明に係る光ディスク装置は、第1
〜第7のいずれかの発明に係る光ピックアップ装置と、
光ピックアップ装置からの光を光ディスクに照射すると
ともに光ディスクからの帰還光を光ピックアップ装置に
導く対物レンズを有する光学ヘッドとを備えたものであ
る。
The optical disk device according to the eighth invention has a first
An optical pickup device according to any one of the first to seventh aspects,
An optical head having an objective lens for irradiating the optical disk with light from the optical pickup device and guiding return light from the optical disk to the optical pickup device.

【0038】本発明に係る光ディスク装置においては、
第1〜第7のいずれかの発明に係る光ピックアップ装置
からの光が光学ヘッドの対物レンズにより光ディスクに
照射されるとともに、光ディスクからの帰還光が光学ヘ
ッドの対物レンズを通して光ピックアップ装置に導かれ
る。
In the optical disk device according to the present invention,
Light from the optical pickup device according to any one of the first to seventh inventions is applied to the optical disk by the objective lens of the optical head, and return light from the optical disk is guided to the optical pickup device through the objective lens of the optical head. .

【0039】この場合、光ピックアップ装置から光学ヘ
ッドの対物レンズに導かれる異なる波長の複数の光の光
路を対物レンズの光軸に一致させることができ、かつ光
ディスクからの異なる波長の複数の帰還光の光路を対物
レンズの光軸に一致させることができる。したがって、
再生信号の特性を劣化させることなく異なる波長の光で
複数種類の光ディスクに情報の記録または再生を行うこ
とができる。
In this case, the optical paths of a plurality of light beams of different wavelengths guided from the optical pickup device to the objective lens of the optical head can be made coincident with the optical axis of the objective lens, and a plurality of feedback light beams of different wavelengths from the optical disk can be obtained. Can be made to coincide with the optical axis of the objective lens. Therefore,
Information can be recorded or reproduced on a plurality of types of optical disks with light of different wavelengths without deteriorating the characteristics of the reproduced signal.

【0040】また、光ピックアップ装置において特別な
光学素子を設けることなく異なる波長の複数の帰還光を
共通の光検出器により受光することができる。したがっ
て、低コスト化を図ることが可能となる。
Further, a plurality of return lights of different wavelengths can be received by a common photodetector without providing a special optical element in the optical pickup device. Therefore, cost reduction can be achieved.

【0041】第9の発明に係る光ディスク装置は、第8
の発明に係る光ディスク装置の構成において、光学ヘッ
ドは、対物レンズを透過した光を集光して近接場の光を
光ディスクに照射するソリッドイマージョンレンズをさ
らに備えたものである。
An optical disk device according to a ninth aspect of the present invention is the
In the configuration of the optical disk device according to the invention, the optical head further includes a solid immersion lens that collects light transmitted through the objective lens and irradiates the optical disk with near-field light.

【0042】この場合、光学ヘッドのソリッドイマージ
ョンレンズによりビームスポット径がより小さく絞られ
るので、光ディスクの面記録密度が大きくなる。
In this case, since the beam spot diameter is reduced by the solid immersion lens of the optical head, the areal recording density of the optical disk is increased.

【0043】第10の発明に係る光ディスク装置は、第
9の発明に係る光ディスク装置の構成において、ソリッ
ドイマージョンレンズは、部分球面状の入射面と中央部
に所定の径の平面状の出射面を含む下面とを有し、出射
面の周囲の下面がその出射面と異なる面で形成されたも
のである。
An optical disk device according to a tenth aspect of the present invention is the optical disk device according to the ninth aspect, wherein the solid immersion lens has a partially spherical entrance surface and a planar exit surface having a predetermined diameter at the center. And the lower surface around the emission surface is formed as a surface different from the emission surface.

【0044】この場合、ソリッドイマージョンレンズの
出射面の周囲の下面がその出射面と異なる面で形成され
ているので、ソリッドイマージョンレンズの光軸合わせ
が容易になる。
In this case, since the lower surface around the exit surface of the solid immersion lens is formed on a surface different from the exit surface, the optical axis of the solid immersion lens is easily aligned.

【0045】[0045]

【発明の実施の形態】図1は本発明の第1の実施例にお
ける光ディスク装置の概略構成を示す模式図である。ま
た、図2は図1の光ディスク装置における主として平行
平板の詳細な構成を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of an optical disk device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic diagram mainly showing a detailed configuration of a parallel flat plate in the optical disk device of FIG.

【0046】図1において、光ディスク装置は、光ピッ
クアップ装置101および光学ヘッド200を備える。
光学ヘッド200は対物レンズ7を備える。光ピックア
ップ装置101は、半導体レーザ素子1、平行平板2、
ビームスプリッタ5、コリメータレンズ6および光検出
器8を含む。なお、光検出器8の構成は、図22に示し
た構成と同様である。
In FIG. 1, the optical disk device includes an optical pickup device 101 and an optical head 200.
The optical head 200 includes the objective lens 7. The optical pickup device 101 includes a semiconductor laser device 1, a parallel plate 2,
It includes a beam splitter 5, a collimator lens 6, and a photodetector 8. The configuration of the photodetector 8 is the same as the configuration shown in FIG.

【0047】図2に示すように、半導体レーザ素子1
は、波長650nmのレーザ光を出射するレーザダイオ
ードチップ11および波長780nmのレーザ光を出射
するレーザダイオードチップ12を備える。半導体レー
ザ素子1の構成は、図21に示した半導体レーザ素子1
の構成と同様である。
As shown in FIG.
Is provided with a laser diode chip 11 for emitting laser light having a wavelength of 650 nm and a laser diode chip 12 for emitting laser light having a wavelength of 780 nm. The configuration of the semiconductor laser device 1 is the same as that of the semiconductor laser device 1 shown in FIG.
The configuration is the same as that described above.

【0048】平行平板2は、ガラスからなる基板(光透
過膜)21、第2波長選択膜22、ガラスからなる基板
(光透過膜)23および第1波長選択膜24の積層構造
を有する。図中、Rは反射を意味し、Tは透過を意味す
る。第1波長選択膜24は、波長650nmの光を反射
し、波長780nmの光を透過する。第2波長選択膜2
2は、波長780nmの光を反射する。
The parallel plate 2 has a laminated structure of a substrate (light transmission film) 21 made of glass, a second wavelength selection film 22, a substrate (light transmission film) 23 made of glass, and a first wavelength selection film 24. In the figure, R means reflection and T means transmission. The first wavelength selection film 24 reflects light having a wavelength of 650 nm and transmits light having a wavelength of 780 nm. Second wavelength selection film 2
2 reflects light having a wavelength of 780 nm.

【0049】したがって、レーザダイオードチップ11
から出射された波長650nmのレーザ光は、第1波長
選択膜24で反射される。レーザダイオードチップ12
から出射された波長780nmのレーザ光は、第1波長
選択膜24および基板23を透過し、第2波長選択膜2
2で反射され、基板23および第1波長選択膜24を再
び透過する。
Therefore, the laser diode chip 11
The laser light having a wavelength of 650 nm emitted from is reflected by the first wavelength selection film 24. Laser diode chip 12
The laser light having a wavelength of 780 nm emitted from the first wavelength selection film 24 and the substrate 23 is transmitted through the second wavelength selection film 2
2 and again pass through the substrate 23 and the first wavelength selection film 24.

【0050】図1において、半導体レーザ素子1から出
射された波長650nmのレーザ光は、平行平板2の第
1波長選択膜24で反射され、ビームスプリッタ5に入
射する。そのレーザ光は、ビームスプリッタ5を透過
し、コリメータレンズ6により平行光に変換され、対物
レンズ7により光ディスク100に集光される。光ディ
スク100からの波長650nmの帰還光(反射光)
は、対物レンズ7およびコリメータレンズ6を透過し、
ビームスプリッタ5により反射され、光検出器8に入射
する。
In FIG. 1, laser light having a wavelength of 650 nm emitted from the semiconductor laser device 1 is reflected by the first wavelength selection film 24 of the parallel plate 2 and enters the beam splitter 5. The laser light transmits through the beam splitter 5, is converted into parallel light by the collimator lens 6, and is condensed on the optical disc 100 by the objective lens 7. Return light (reflected light) with a wavelength of 650 nm from the optical disc 100
Transmits through the objective lens 7 and the collimator lens 6,
The light is reflected by the beam splitter 5 and enters the photodetector 8.

【0051】半導体レーザ素子1から出射された波長7
80nmのレーザ光は、平行平板2の第1波長選択膜2
4で屈折し、基板23を透過して第2波長選択膜22で
反射され、基板23を再び透過し、第1波長選択膜24
で屈折し、ビームスプリッタ5に入射する。そのレーザ
光は、ビームスプリッタ5を透過し、コリメータレンズ
6により平行光に変換され、対物レンズ7により光ディ
スク100に集光される。光ディスク100からの波長
780nmの帰還光(反射光)は、対物レンズ7および
コリメータレンズ6を透過し、ビームスプリッタ5によ
り反射され、光検出器8に入射する。
The wavelength 7 emitted from the semiconductor laser device 1
The 80 nm laser light is applied to the first wavelength selection film 2 of the parallel plate 2.
4, the light is transmitted through the substrate 23, is reflected by the second wavelength selection film 22, is transmitted again through the substrate 23, and is transmitted through the first wavelength selection film 24.
And is incident on the beam splitter 5. The laser light transmits through the beam splitter 5, is converted into parallel light by the collimator lens 6, and is condensed on the optical disc 100 by the objective lens 7. Return light (reflected light) having a wavelength of 780 nm from the optical disc 100 passes through the objective lens 7 and the collimator lens 6, is reflected by the beam splitter 5, and enters the photodetector 8.

【0052】本実施例の光ディスク装置においては、波
長650nmのレーザ光は平行平板2の第1波長選択膜
24で反射されるのに対し、波長780nmのレーザ光
は平行平板2の基板23を透過して第2波長選択膜22
で反射され、再び基板23を透過して出射されるので、
基板23の厚みおよび平行平板2へのレーザ光の入射角
を調整することにより、波長650nmのレーザ光の光
路と波長780nmのレーザ光の光路とを一致させるこ
とが可能となる。それにより、波長650nmのレーザ
光の光路および波長780nmのレーザ光の光路をコリ
メータレンズ6および対物レンズ7の光軸と一致させる
ことができる。その結果、光検出器8により検出される
再生信号の特性が向上する。
In the optical disk device of this embodiment, the laser light having a wavelength of 650 nm is reflected by the first wavelength selection film 24 of the parallel plate 2, while the laser light having a wavelength of 780 nm transmits through the substrate 23 of the parallel plate 2. And the second wavelength selection film 22
And is transmitted again through the substrate 23 and emitted.
By adjusting the thickness of the substrate 23 and the angle of incidence of the laser beam on the parallel flat plate 2, it becomes possible to make the optical path of the laser beam having a wavelength of 650 nm coincide with the optical path of the laser beam having a wavelength of 780 nm. Thereby, the optical path of the laser light having the wavelength of 650 nm and the optical path of the laser light having the wavelength of 780 nm can be matched with the optical axes of the collimator lens 6 and the objective lens 7. As a result, the characteristics of the reproduced signal detected by the photodetector 8 are improved.

【0053】また、光検出器8の4分割センサに波長6
50nmのレーザ光および波長780nmのレーザ光の
光スポットを形成するために、ウォラストンプリズムを
設ける必要がないので、低コスト化を図ることができ
る。
The wavelength of 6 is applied to the four-divided sensor of the photodetector 8.
Since it is not necessary to provide a Wollaston prism to form a light spot of a laser beam of 50 nm and a laser beam of a wavelength of 780 nm, cost can be reduced.

【0054】図3は図1および図2の平行平板2におけ
る第1波長選択膜24の構成の一例を示す模式的断面図
である。また、図4は図3の第1波長選択膜24の反射
率の波長依存性を示す図である。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing an example of the configuration of the first wavelength selection film 24 in the parallel plate 2 of FIGS. 1 and 2. FIG. 4 is a diagram showing the wavelength dependence of the reflectance of the first wavelength selection film 24 of FIG.

【0055】図3に示すように、第1波長選択膜24
は、4層のTiO2 膜24aおよび3層のMgF2 膜2
4bが交互に積層されてなる。ここでは、第1波長選択
膜24への光の入射角を30°とする。各TiO2 膜2
4aの屈折率nは2.7であり、厚みは52nmであ
る。また、各MgF2 膜24bの屈折率nは1.38で
あり、厚みは101nmである。なお、基板23の屈折
率nは1.5であり、厚みは180μmである。
As shown in FIG. 3, the first wavelength selection film 24
Is a four-layer TiO 2 film 24a and a three-layer MgF 2 film 2
4b are alternately stacked. Here, the incident angle of light on the first wavelength selection film 24 is 30 °. Each TiO 2 film 2
4a has a refractive index n of 2.7 and a thickness of 52 nm. The refractive index n of each MgF 2 film 24b is 1.38 and the thickness is 101 nm. The refractive index n of the substrate 23 is 1.5 and the thickness is 180 μm.

【0056】図4に示すように、図3の第1波長選択膜
24においては、波長650nmで反射率が約1.0と
なり、波長780nmで反射率が約0.1となってい
る。したがって、第1波長選択膜24は、波長650n
mの光を反射し、波長780nmの光を透過することが
できる。
As shown in FIG. 4, the reflectance of the first wavelength selection film 24 of FIG. 3 is about 1.0 at a wavelength of 650 nm and about 0.1 at a wavelength of 780 nm. Therefore, the first wavelength selection film 24 has a wavelength of 650 n
m can be reflected and light having a wavelength of 780 nm can be transmitted.

【0057】図5は波長780nmのレーザ光が平行平
板を透過するために発生する波面収差のシミュレーショ
ン結果を示す図である。図5において、横軸は、標準位
置を0としたときのレーザダイオードの位置であり、縦
軸は波面収差のRMS(実効値)である。
FIG. 5 is a diagram showing a simulation result of a wavefront aberration generated when a laser beam having a wavelength of 780 nm is transmitted through a parallel flat plate. In FIG. 5, the horizontal axis represents the position of the laser diode when the standard position is set to 0, and the vertical axis represents the RMS (effective value) of the wavefront aberration.

【0058】図5に示すように、レーザダイオードの位
置が基準位置から±0.2mmずれた場合でも、波面収
差のRMSは約0.07λと小さくなっている。なお、
λはレーザ光の波長780nmである。
As shown in FIG. 5, even when the position of the laser diode deviates from the reference position by ± 0.2 mm, the RMS of the wavefront aberration is as small as about 0.07λ. In addition,
λ is the wavelength of the laser light of 780 nm.

【0059】図6は本発明の第2の実施例における光デ
ィスク装置の概略構成を示す模式図である。また、図7
は図6の光ディスク装置における主として平行平板の構
成を示す模式図である。
FIG. 6 is a schematic diagram showing a schematic configuration of an optical disk device according to a second embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 7 is a schematic diagram mainly showing a configuration of a parallel plate in the optical disk device of FIG. 6.

【0060】図6において、光ディスク装置は、光ピッ
クアップ装置102および光学ヘッド200を備える。
光学ヘッド200は対物レンズ7を備える。光ピックア
ップ装置102は、半導体レーザ素子1、平行平板3、
コリメータレンズ6および光検出器8を含む。
In FIG. 6, the optical disk device includes an optical pickup device 102 and an optical head 200.
The optical head 200 includes the objective lens 7. The optical pickup device 102 includes a semiconductor laser device 1, a parallel plate 3,
It includes a collimator lens 6 and a photodetector 8.

【0061】図7に示すように、平行平板3は、ガラス
からなる基板(光透過膜)31、第2波長選択膜32、
ガラスからなる基板(光透過膜)33および第1波長選
択膜34の積層構造を有する。第1波長選択膜34は、
波長650nmの光に対して50%の反射率を有し、波
長780nmの光を透過する。第2波長選択膜32は、
波長650nmの光を透過し、波長780nmの光に対
して50%の反射率を有する。
As shown in FIG. 7, the parallel flat plate 3 has a substrate (light transmitting film) 31 made of glass, a second wavelength selection film 32,
It has a laminated structure of a substrate (light transmission film) 33 made of glass and a first wavelength selection film 34. The first wavelength selection film 34 is
It has a reflectance of 50% for light having a wavelength of 650 nm and transmits light having a wavelength of 780 nm. The second wavelength selection film 32
It transmits light having a wavelength of 650 nm and has a reflectance of 50% for light having a wavelength of 780 nm.

【0062】したがって、レーザダイオードチップ11
から出射された波長650nmのレーザ光の50%は、
第1波長選択膜34で反射され、残りのレーザ光は、第
1波長選択膜34、基板33、第2波長選択膜32およ
び基板31を透過する。レーザダイオードチップ12か
ら出射された波長780nmのレーザ光は、第1波長選
択膜34および基板33を透過する。波長780nmの
レーザ光の50%は、第2波長選択膜32で反射され、
基板33および第1波長選択膜34を再び透過し、残り
のレーザ光は、第2波長選択膜32および基板31を透
過する。
Therefore, the laser diode chip 11
50% of the laser light having a wavelength of 650 nm emitted from
The remaining laser light reflected by the first wavelength selection film 34 passes through the first wavelength selection film 34, the substrate 33, the second wavelength selection film 32, and the substrate 31. The laser light having a wavelength of 780 nm emitted from the laser diode chip 12 passes through the first wavelength selection film 34 and the substrate 33. 50% of the laser light having a wavelength of 780 nm is reflected by the second wavelength selection film 32,
The laser beam passes through the substrate 33 and the first wavelength selection film 34 again, and the remaining laser light passes through the second wavelength selection film 32 and the substrate 31.

【0063】図6において、半導体レーザ素子1から出
射された波長650nmのレーザ光の50%は、平行平
板3の第1波長選択膜34で反射され、コリメータレン
ズ6に入射する。そのレーザ光は、コリメータレンズ6
により平行光に変換され、対物レンズ7により光ディス
ク100に集光される。光ディスク100からの波長6
50nmの帰還光(反射光)は、対物レンズ7およびコ
リメータレンズ6を透過する。その帰還光の50%は、
平行平板3の第1波長選択膜34で屈折し、基板33、
第2波長選択膜32および基板31を透過し、光検出器
8に入射する。
In FIG. 6, 50% of the laser light having a wavelength of 650 nm emitted from the semiconductor laser device 1 is reflected by the first wavelength selection film 34 of the parallel plate 3 and enters the collimator lens 6. The laser light is transmitted through a collimator lens 6.
Is converted into parallel light, and is converged on the optical disc 100 by the objective lens 7. Wavelength 6 from optical disk 100
The 50 nm return light (reflected light) passes through the objective lens 7 and the collimator lens 6. 50% of the return light is
The light is refracted by the first wavelength selection film 34 of the parallel plate 3,
The light passes through the second wavelength selection film 32 and the substrate 31 and enters the photodetector 8.

【0064】半導体レーザ素子1から出射された波長7
80nmのレーザ光は、平行平板3の第1波長選択膜3
4で屈折し、基板33を透過して第2波長選択膜32で
反射され、基板33を再び透過し、第1波長選択膜34
で屈折し、コリメータレンズ6に入射する。そのレーザ
光は、コリメータレンズ6により平行光に変換され、対
物レンズ7により光ディスク100に集光される。光デ
ィスク100からの波長780nmの帰還光(反射光)
は、対物レンズ7およびコリメータレンズ6を透過す
る。その帰還光は、平行平板3の第1波長選択膜34で
屈折し、基板33を透過する。さらに、その帰還光の5
0%は、第2波長選択膜32および基板31を透過し、
光検出器8に入射する。
Wavelength 7 emitted from semiconductor laser device 1
The 80 nm laser light is applied to the first wavelength selection film 3 of the parallel plate 3.
4, the light is transmitted through the substrate 33, is reflected by the second wavelength selection film 32, is transmitted again through the substrate 33, and is transmitted through the first wavelength selection film 34.
And is incident on the collimator lens 6. The laser light is converted into parallel light by the collimator lens 6 and is focused on the optical disk 100 by the objective lens 7. Return light (reflected light) with a wavelength of 780 nm from the optical disc 100
Is transmitted through the objective lens 7 and the collimator lens 6. The return light is refracted by the first wavelength selection film 34 of the parallel plate 3 and passes through the substrate 33. Furthermore, the 5
0% is transmitted through the second wavelength selection film 32 and the substrate 31,
Light is incident on the photodetector 8.

【0065】本実施例の光ディスク装置においては、波
長650nmのレーザ光は平行平板3の第1波長選択膜
34で反射されるのに対し、波長780nmのレーザ光
は平行平板3の基板33を透過して第2波長選択膜32
で反射され、再び基板33を透過して出射されるので、
基板33の厚みおよびレーザ光の入射角を調整すること
により、波長650nmのレーザ光の光路と波長780
nmのレーザ光の光路とを一致させることが可能とな
る。それにより、波長650nmのレーザ光の光路およ
び波長780nmのレーザ光の光路をコリメータレンズ
6および対物レンズ7の光軸と一致させることができ
る。その結果、光検出器8により検出される再生信号の
特性が向上する。
In the optical disk device of this embodiment, the laser light having a wavelength of 650 nm is reflected by the first wavelength selection film 34 of the parallel plate 3, while the laser light having a wavelength of 780 nm transmits through the substrate 33 of the parallel plate 3. And the second wavelength selection film 32
And is transmitted again through the substrate 33 and emitted.
By adjusting the thickness of the substrate 33 and the incident angle of the laser beam, the optical path of the laser beam having a wavelength of 650 nm and the wavelength of 780 nm are adjusted.
It is possible to match the optical path of the laser light of nm. Thereby, the optical path of the laser light having the wavelength of 650 nm and the optical path of the laser light having the wavelength of 780 nm can be matched with the optical axes of the collimator lens 6 and the objective lens 7. As a result, the characteristics of the reproduced signal detected by the photodetector 8 are improved.

【0066】また、光検出器8の4分割センサに波長6
50nmのレーザ光および波長780nmのレーザ光の
光スポットを形成するために、ウォラストンプリズムを
設ける必要がないので、低コスト化を図ることができ
る。
The wavelength of 6 is applied to the four-divided sensor of the photodetector 8.
Since it is not necessary to provide a Wollaston prism to form a light spot of a laser beam of 50 nm and a laser beam of a wavelength of 780 nm, cost can be reduced.

【0067】図8は図6および図7の平行平板3におけ
る第1波長選択膜34の構成の一例を示す模式的断面図
である。また、図9は図8の第1波長選択膜34の反射
率の波長依存性を示す図である。
FIG. 8 is a schematic sectional view showing an example of the configuration of the first wavelength selection film 34 in the parallel plate 3 of FIGS. 6 and 7. FIG. 9 is a diagram showing the wavelength dependence of the reflectance of the first wavelength selection film 34 in FIG.

【0068】図8に示すように、第1波長選択膜34
は、5層のTiO2 膜34aおよび4層のMgF2 膜3
4bが交互に積層されてなる。ここでは、第1波長選択
膜34への光の入射角を30°とする。各TiO2 膜3
4aの屈折率nは2.7であり、厚みは41nmであ
る。また、各MgF2 34bの屈折率nは1.38であ
り、厚みは80nmである。なお、基板33の屈折率n
は1.5であり、厚みは180μmである。
As shown in FIG. 8, the first wavelength selection film 34
Are five TiO 2 films 34 a and four MgF 2 films 3
4b are alternately stacked. Here, the incident angle of light on the first wavelength selection film 34 is 30 °. Each TiO 2 film 3
4a has a refractive index n of 2.7 and a thickness of 41 nm. Further, each MgF 2 34b has a refractive index n of 1.38 and a thickness of 80 nm. The refractive index n of the substrate 33
Is 1.5 and the thickness is 180 μm.

【0069】図9に示すように、図8の第1波長選択膜
34においては、波長650nmで反射率が約0.5と
なり、波長780nmで反射率が約0.1となってい
る。したがって、第1波長選択膜34は、波長650n
mの光の約半分を反射し、波長780nmの光を透過す
ることができる。
As shown in FIG. 9, the reflectance of the first wavelength selection film 34 of FIG. 8 is about 0.5 at a wavelength of 650 nm and about 0.1 at a wavelength of 780 nm. Therefore, the first wavelength selection film 34 has a wavelength of 650 n
It reflects about half of the light of m and can transmit light of wavelength 780 nm.

【0070】図10は図6および図7の平行平板3にお
ける第2波長選択膜32の構成の一例を示す模式的断面
図である。また、図11は図10の第2波長選択膜32
の反射率の波長依存性を示す図である。
FIG. 10 is a schematic sectional view showing an example of the configuration of the second wavelength selection film 32 in the parallel plate 3 of FIGS. 6 and 7. FIG. 11 shows the second wavelength selection film 32 of FIG.
FIG. 4 is a diagram showing the wavelength dependence of the reflectance of the present invention.

【0071】図10に示すように、第2波長選択膜32
は、4層のMgF2 膜32aおよび4層のSb2 3
32bが交互に積層されてなる。ここで、第2波長選択
膜32への光の入射角を20°とする。各MgF2 膜の
屈折率nは1.38であり、厚みは80nmである。ま
た、各Sb2 3 膜32bの屈折率nは3.0であり、
厚みは37nmである。なお、基板31の屈折率nは
1.5であり、厚みは1mmである。
As shown in FIG. 10, the second wavelength selection film 32
Is formed by alternately stacking four layers of MgF 2 films 32a and four layers of Sb 2 S 3 films 32b. Here, the incident angle of light on the second wavelength selection film 32 is set to 20 °. Each MgF 2 film has a refractive index n of 1.38 and a thickness of 80 nm. The refractive index n of each Sb 2 S 3 film 32b is 3.0,
The thickness is 37 nm. The refractive index n of the substrate 31 is 1.5 and the thickness is 1 mm.

【0072】図11に示すように、図10の第2波長選
択膜32においては、波長650nmで反射率が約0.
1となり、波長780nmで反射率が約0.4となって
いる。したがって、第2波長選択膜32は、波長650
nmの光を透過し、波長780nmの光の約半分を反射
することができる。
As shown in FIG. 11, the second wavelength selection film 32 of FIG. 10 has a reflectance of about 0.5 at a wavelength of 650 nm.
1 and the reflectance is about 0.4 at a wavelength of 780 nm. Therefore, the second wavelength selection film 32 has a wavelength of 650
nm light, and about half of the 780 nm wavelength light can be reflected.

【0073】図12は本発明の第3の実施例における光
ディスク装置の概略構成を示す模式図である。また、図
13は図12の光ディスク装置における主として平行平
板の構成を示す模式図である。
FIG. 12 is a schematic diagram showing a schematic configuration of an optical disk device according to the third embodiment of the present invention. FIG. 13 is a schematic diagram mainly showing the configuration of a parallel flat plate in the optical disk device of FIG.

【0074】図12において、光ディスク装置は、光ピ
ックアップ装置103および光学ヘッド200を備え
る。光学ヘッド200は対物レンズ7を備える。光ピッ
クアップ103は、半導体レーザ素子1a、平行平板
4、ビームスプリッタ5、コリメータレンズ6および光
検出器8を含む。
In FIG. 12, the optical disk device includes an optical pickup device 103 and an optical head 200. The optical head 200 includes the objective lens 7. The optical pickup 103 includes a semiconductor laser element 1a, a parallel plate 4, a beam splitter 5, a collimator lens 6, and a photodetector 8.

【0075】図13に示すように、半導体レーザ素子1
aは、波長650nmのレーザ光を出射するレーザダイ
オードチップ11、波長780nmのレーザ光を出射す
るレーザダイオードチップ12および波長410nmの
レーザ光を出射するレーザダイオードチップ13を含
む。
As shown in FIG. 13, the semiconductor laser device 1
a includes a laser diode chip 11 that emits a laser beam with a wavelength of 650 nm, a laser diode chip 12 that emits a laser beam with a wavelength of 780 nm, and a laser diode chip 13 that emits a laser beam with a wavelength of 410 nm.

【0076】平行平板4は、第3波長選択膜45、ガラ
スからなる基板(光透過膜)41、第2波長選択膜4
2、ガラスからなる基板(光透過膜)43および第1波
長選択膜44の積層構造を有する。第1波長選択膜44
は、波長410nmの光を反射し、波長650nmの光
を透過し、波長780nmの光を透過する。第2波長選
択膜42は、波長650nmの光を反射し、波長780
nmの光を透過する。第3波長選択膜45は、波長78
0nmの光を反射する。
The parallel flat plate 4 includes a third wavelength selection film 45, a glass substrate (light transmission film) 41, and a second wavelength selection film 4.
2. It has a laminated structure of a substrate (light transmission film) 43 made of glass and a first wavelength selection film 44. First wavelength selection film 44
Reflects light having a wavelength of 410 nm, transmits light having a wavelength of 650 nm, and transmits light having a wavelength of 780 nm. The second wavelength selection film 42 reflects light having a wavelength of 650 nm and has a wavelength of 780 nm.
nm light. The third wavelength selection film 45 has a wavelength of 78
Reflects light of 0 nm.

【0077】したがって、レーザダイオードチップ13
から出射された波長410nmのレーザ光は、第1波長
選択膜44で反射される。レーザダイオードチップ11
から出射された波長650nmのレーザ光は、第1波長
選択膜44および基板43を透過し、第2波長選択膜4
2で反射され、基板43および第1波長選択膜44を再
び透過する。レーザダイオードチップ12から出射され
た波長780nmのレーザ光は、第1波長選択膜44、
基板43、第2波長選択膜42および基板41を透過
し、第3波長選択膜45で反射され、基板41、第2波
長選択膜42、基板43および第1波長選択膜44を再
び透過する。
Therefore, the laser diode chip 13
The laser light having a wavelength of 410 nm emitted from is reflected by the first wavelength selection film 44. Laser diode chip 11
The laser light having a wavelength of 650 nm emitted from the first wavelength selection film 44 and the substrate 43 passes through the second wavelength selection film 4.
2 and is transmitted again through the substrate 43 and the first wavelength selection film 44. The laser light having a wavelength of 780 nm emitted from the laser diode chip 12 is supplied to the first wavelength selection film 44,
The light passes through the substrate 43, the second wavelength selection film 42, and the substrate 41, is reflected by the third wavelength selection film 45, and transmits again through the substrate 41, the second wavelength selection film 42, the substrate 43, and the first wavelength selection film 44.

【0078】図12において、半導体レーザ素子1aか
ら出射された波長410nmのレーザ光は、平行平板4
の第1波長選択膜44で反射され、ビームスプリッタ5
に入射する。そのレーザ光は、ビームスプリッタ5を透
過し、コリメータレンズ6により平行光に変換され、対
物レンズ7により光ディスク100に集光される。光デ
ィスク100からの波長410nmの帰還光(反射光)
は、対物レンズ7およびコリメータレンズ6を透過し、
ビームスプリッタ5により反射され、光検出器8に入射
する。
In FIG. 12, the laser light having a wavelength of 410 nm emitted from the semiconductor laser device 1a is
Is reflected by the first wavelength selection film 44 of the beam splitter 5
Incident on. The laser light transmits through the beam splitter 5, is converted into parallel light by the collimator lens 6, and is condensed on the optical disc 100 by the objective lens 7. Return light (reflected light) with a wavelength of 410 nm from the optical disc 100
Transmits through the objective lens 7 and the collimator lens 6,
The light is reflected by the beam splitter 5 and enters the photodetector 8.

【0079】半導体レーザ素子1aから出射された波長
650nmのレーザ光は、平行平板4の第1波長選択膜
44で屈折し、基板43を透過し、第2波長選択膜42
で反射され、基板43を再び透過し、第1波長選択膜4
4で屈折し、ビームスプリッタ5に入射する。そのレー
ザ光は、ビームスプリッタ5を透過し、コリメータレン
ズ6により平行光に変換され、対物レンズ7により光デ
ィスク100に集光される。光ディスク100からの波
長650nmの帰還光(反射光)は、対物レンズ7およ
びコリメータレンズ6を透過し、ビームスプリッタ5に
より反射され、光検出器8に入射する。
The laser light having a wavelength of 650 nm emitted from the semiconductor laser element 1 a is refracted by the first wavelength selection film 44 of the parallel plate 4, passes through the substrate 43, and passes through the second wavelength selection film 42.
Reflected by the first wavelength selection film 4
The light is refracted at 4 and enters the beam splitter 5. The laser light transmits through the beam splitter 5, is converted into parallel light by the collimator lens 6, and is condensed on the optical disc 100 by the objective lens 7. Return light (reflected light) having a wavelength of 650 nm from the optical disc 100 passes through the objective lens 7 and the collimator lens 6, is reflected by the beam splitter 5, and enters the photodetector 8.

【0080】半導体レーザ素子1aから出射された波長
780nmのレーザ光は、平行平板4の第1波長選択膜
44で屈折し、基板43、第2波長選択膜42および基
板41を透過し、第3波長選択膜45で反射され、基板
41、第2波長選択膜42および基板43を再び透過
し、第1波長選択膜44で屈折し、ビームスプリッタ5
に入射する。そのレーザ光は、ビームスプリッタ5を透
過し、コリメータレンズ6により平行光に変換され、対
物レンズ7により光ディスク100に集光される。光デ
ィスク100からの波長780nmの帰還光(反射光)
は、対物レンズ7およびコリメータレンズ6を透過し、
ビームスプリッタ5により反射され、光検出器8に入射
する。
The laser light having a wavelength of 780 nm emitted from the semiconductor laser device 1a is refracted by the first wavelength selection film 44 of the parallel plate 4, passes through the substrate 43, the second wavelength selection film 42 and the substrate 41, and The light is reflected by the wavelength selection film 45, passes through the substrate 41, the second wavelength selection film 42, and the substrate 43 again, is refracted by the first wavelength selection film 44, and is refracted by the beam splitter 5
Incident on. The laser light transmits through the beam splitter 5, is converted into parallel light by the collimator lens 6, and is condensed on the optical disc 100 by the objective lens 7. Return light (reflected light) with a wavelength of 780 nm from the optical disc 100
Transmits through the objective lens 7 and the collimator lens 6,
The light is reflected by the beam splitter 5 and enters the photodetector 8.

【0081】本実施例の光ディスク装置においては、波
長410nmのレーザ光は平行平板4の第1波長選択膜
44で反射されるのに対し、波長650nmのレーザ光
は平行平板4の基板43を透過して第2波長選択膜42
で反射され、再び基板43を透過して出射される。ま
た、波長780nmのレーザ光は平行平板4の基板43
および基板41を透過して第3波長選択膜45で反射さ
れ、再び基板41および基板43を透過して出射され
る。そのため、基板43および基板41の厚みおよび平
行平板4へのレーザ光の入射角を調整することにより、
波長410nmのレーザ光の光路、波長650nmのレ
ーザ光の光路および波長780nmのレーザ光の光路を
一致させることが可能となる。それにより、波長410
nmのレーザ光の光路、波長650nmのレーザ光の光
路および波長780のレーザ光の光路をコリメータレン
ズ6および対物レンズ7の光軸と一致させることができ
る。その結果、光検出器8により得られる再生信号の特
性が向上する。
In the optical disk device of this embodiment, the laser light having a wavelength of 410 nm is reflected by the first wavelength selection film 44 of the parallel plate 4, while the laser light having a wavelength of 650 nm transmits through the substrate 43 of the parallel plate 4. And the second wavelength selection film 42
And is transmitted again through the substrate 43 and emitted. The laser light having a wavelength of 780 nm is applied to the substrate 43 of the parallel flat plate 4.
Then, the light passes through the substrate 41 and is reflected by the third wavelength selection film 45, passes through the substrates 41 and 43 again, and is emitted. Therefore, by adjusting the thickness of the substrate 43 and the substrate 41 and the angle of incidence of the laser beam on the parallel flat plate 4,
The optical path of the laser light having a wavelength of 410 nm, the optical path of the laser light having a wavelength of 650 nm, and the optical path of the laser light having a wavelength of 780 nm can be matched. Thereby, the wavelength 410
The optical path of the laser light of nm, the optical path of the laser light of wavelength 650 nm, and the optical path of the laser light of wavelength 780 can be aligned with the optical axes of the collimator lens 6 and the objective lens 7. As a result, the characteristics of the reproduced signal obtained by the photodetector 8 are improved.

【0082】また、光検出器8の4分割センサに波長4
10nmのレーザ光、波長650nmのレーザ光および
波長780nmのレーザ光の光スポットを形成するため
に、ウォラストンプリズムを設ける必要がないので、低
コスト化を図ることができる。
The wavelength division 4 sensor of the photodetector 8 is
Since it is not necessary to provide a Wollaston prism to form a light spot of a 10-nm laser beam, a 650-nm laser beam, and a 780-nm laser beam, cost can be reduced.

【0083】図14は図12および図13の平行平板4
における第1波長選択膜44の構成の一例を示す模式的
断面図である。また、図15は図14の第1波長選択膜
44の反射率の波長依存性を示す図である。
FIG. 14 shows the parallel plate 4 of FIGS. 12 and 13.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a configuration of a first wavelength selection film 44 in FIG. FIG. 15 is a diagram showing the wavelength dependence of the reflectance of the first wavelength selection film 44 of FIG.

【0084】図14に示すように、第1波長選択膜44
は、4層のTiO2 膜44aおよび3層のMgF2 膜4
4bが交互に積層されてなる。ここで、第1波長選択膜
44への光の入射角を48°とする。各TiO2 膜44
aの屈折率nは2.7であり、厚みは33nmである。
各MgF2 膜44bの屈折率は1.38であり、厚みは
65nmである。なお、基板43の屈折率nは1.5で
あり、厚みは144μmである。
As shown in FIG. 14, the first wavelength selection film 44
Is a four-layer TiO 2 film 44a and a three-layer MgF 2 film 4
4b are alternately stacked. Here, the incident angle of light on the first wavelength selection film 44 is set to 48 °. Each TiO 2 film 44
The refractive index n of a is 2.7 and the thickness is 33 nm.
Each MgF 2 film 44b has a refractive index of 1.38 and a thickness of 65 nm. The refractive index n of the substrate 43 is 1.5 and the thickness is 144 μm.

【0085】図15に示すように、第1波長選択膜44
においては、波長410nmで反射率が約0.9とな
り、波長650nmで反射率が約0.2となり、波長7
80nmで反射率が約0.1となっている。したがっ
て、第1波長選択膜44は、波長410nmの光を反射
し、波長650nmの光を透過し、波長780nmの光
を透過することができる。
As shown in FIG. 15, the first wavelength selection film 44
, The reflectance is about 0.9 at a wavelength of 410 nm, the reflectance is about 0.2 at a wavelength of 650 nm, and
The reflectance is about 0.1 at 80 nm. Therefore, the first wavelength selection film 44 can reflect light having a wavelength of 410 nm, transmit light having a wavelength of 650 nm, and transmit light having a wavelength of 780 nm.

【0086】図16は図12および図13の平行平板4
における第2波長選択膜42の構成の一例を示す模式的
断面図である。また、図17は図16の第2波長選択膜
42の反射率の波長依存性を示す図である。
FIG. 16 shows the parallel plate 4 shown in FIGS.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing an example of the configuration of a second wavelength selection film 42 in FIG. FIG. 17 is a diagram showing the wavelength dependence of the reflectance of the second wavelength selection film 42 in FIG.

【0087】図16に示すように、第2波長選択膜42
は、4層のTiO2 膜42aおよび3層のMgF2 膜4
2bが交互に積層されてなる。ここで、第2波長選択膜
42への光の入射角を30°とする。各TiO2 膜42
aの屈折率nは2.7であり、厚みは52nmである。
各MgF2 膜42bの屈折率nは1.38であり、厚み
は101nmである。なお、基板41の屈折率nは1.
5であり、厚みは144μmである。
As shown in FIG. 16, the second wavelength selection film 42
Is a four-layer TiO 2 film 42a and a three-layer MgF 2 film 4
2b are alternately stacked. Here, the incident angle of light on the second wavelength selection film 42 is 30 °. Each TiO 2 film 42
The refractive index n of a is 2.7 and the thickness is 52 nm.
Each MgF 2 film 42b has a refractive index n of 1.38 and a thickness of 101 nm. The refractive index n of the substrate 41 is 1.
5, and the thickness is 144 μm.

【0088】図17に示すように、第2波長選択膜42
においては、波長650nmで反射率が約0.9とな
り、波長780nmで反射率が約0.1となっている。
したがって、第2波長選択膜42は、波長650nmの
光を反射し、波長780nmの光を透過することができ
る。
As shown in FIG. 17, the second wavelength selection film 42
Has a reflectance of about 0.9 at a wavelength of 650 nm and a reflectance of about 0.1 at a wavelength of 780 nm.
Therefore, the second wavelength selection film 42 can reflect light having a wavelength of 650 nm and transmit light having a wavelength of 780 nm.

【0089】上記第1〜第3の実施例の光ディスク装置
において、ニアフィールド(近接場)記録再生方式の浮
上型光学ヘッドおよび光ディスクを用いてもよい。図1
8はニアフィールド記録再生方式の浮上型光学ヘッドお
よび光ディスクを示す模式図である。
In the optical disk devices of the first to third embodiments, a floating optical head of a near-field (near field) recording / reproducing system and an optical disk may be used. FIG.
FIG. 8 is a schematic view showing a flying optical head and an optical disk of a near-field recording / reproducing method.

【0090】図18に示すように、ニアフィールド記録
再生方式に用いられる光ディスク300においては、基
板301の表面側に信号記録膜302が形成されてい
る。また、浮上型光学ヘッド50は対物レンズ51およ
びSIL(Solid Immersion Lens;ソリッドイマージョ
ンレンズ)52を備える。レーザ光は対物レンズ51に
より絞り込まれ、SIL52に入射する。
As shown in FIG. 18, in an optical disc 300 used for the near-field recording / reproducing method, a signal recording film 302 is formed on the front side of a substrate 301. The floating optical head 50 includes an objective lens 51 and a solid immersion lens (SIL) 52. The laser light is narrowed down by the objective lens 51 and enters the SIL 52.

【0091】SIL52は、ガラス等の屈折率の大きな
透明物質からなる球の一部を平らに削り取り、研磨した
ものである。SIL52内に入射したレーザ光の焦点は
研磨面と一致しており、研磨面がレーザ光の出射面に相
当する。
The SIL 52 is obtained by flattening and polishing a part of a sphere made of a transparent material having a large refractive index such as glass. The focal point of the laser light incident on the SIL 52 coincides with the polished surface, and the polished surface corresponds to the laser light emission surface.

【0092】SIL52の屈折率をnとし、空気中での
レーザ光の波長をλとすると、SIL52でのレーザ光
の波長はλ/nとなる。このため、SIL52の出射面
におけるレーザ光のスポット径は、対物レンズ51によ
り集光されたスポット径の1/nとなる。
Assuming that the refractive index of the SIL 52 is n and the wavelength of the laser beam in the air is λ, the wavelength of the laser beam at the SIL 52 is λ / n. Therefore, the spot diameter of the laser beam on the emission surface of the SIL 52 is 1 / n of the spot diameter collected by the objective lens 51.

【0093】SIL52を出射したレーザ光は、空気中
に出ると再び元のスポット径に戻る。しかし、SIL5
2の出射面からの距離がレーザ光の波長の1/4まで
(約100nm以下)の範囲、すなわちニアフィールド
領域内においては、レーザ光がSIL52内と同じ性質
で浸み出す。このように浸み出した光はエバネッセント
光と呼ばれる。エバネッセント光のスポット径は、対物
レンズ51により集光されたスポット径の1/nと小さ
い。このようなエバネッセント光を利用すれば、光ディ
スク300の面記録密度を大きくすることが可能とな
る。
When the laser beam emitted from the SIL 52 enters the air, it returns to the original spot diameter again. However, SIL5
In the range where the distance from the emission surface of No. 2 is up to 1 / of the wavelength of the laser light (about 100 nm or less), that is, in the near-field region, the laser light seeps out with the same properties as in the SIL 52. The light leached in this way is called evanescent light. The spot diameter of the evanescent light is as small as 1 / n of the spot diameter collected by the objective lens 51. By using such evanescent light, it is possible to increase the areal recording density of the optical disc 300.

【0094】図19は図18の浮上型光学ヘッド50に
用いられるSILの他の例を示す図である。
FIG. 19 is a view showing another example of the SIL used in the flying optical head 50 of FIG.

【0095】図19(a)のSIL81は、ほぼ半球状
の上面および平坦な下面を有し、平坦な下面の中心部に
円柱状の凸部82を備える。凸部82の下面の中心とS
IL81の球面の頂部との間の距離Rは、球面の半径と
同じに設定される。それにより、球面に垂直に入射した
レーザ光が凸部82の下面の中心に集光される。このS
IL81では、凸部82の下面がレーザ光の出射面とな
る。
The SIL 81 shown in FIG. 19A has a substantially hemispherical upper surface and a flat lower surface, and has a columnar convex portion 82 at the center of the flat lower surface. The center of the lower surface of the convex portion 82 and S
The distance R between the top of the spherical surface of the IL 81 and the radius R is set to be the same as the radius of the spherical surface. As a result, the laser light that is perpendicularly incident on the spherical surface is focused on the center of the lower surface of the projection 82. This S
In the IL 81, the lower surface of the projection 82 serves as a laser light emission surface.

【0096】このSIL81を用いると、凸部82を光
学系の光軸に合わせることにより、SIL81の光軸合
わせを行うことができるので、浮上型光学ヘッドの組み
立ておよび調整が容易になる。
When the SIL 81 is used, the optical axis of the SIL 81 can be adjusted by aligning the convex portion 82 with the optical axis of the optical system, so that the assembling and adjustment of the floating optical head are facilitated.

【0097】図19(b)のSIL83は、部分球面状
の上面および逆円錐台形状の下面を有する。SIL83
の下面の中央部84の中心と球面の頂部との間の距離R
は、球面の半径と同じに設定される。それにより、球面
に垂直に入射したレーザ光が下面の中央部84の中心に
集光される。このSIL83では、下面の中央部84が
レーザ光の出射面となる。
The SIL 83 shown in FIG. 19B has a partially spherical upper surface and an inverted truncated conical lower surface. SIL83
R between the center of the central portion 84 of the lower surface of the sphere and the top of the spherical surface
Is set to be the same as the radius of the spherical surface. As a result, the laser beam that is perpendicularly incident on the spherical surface is focused on the center of the central portion 84 on the lower surface. In this SIL 83, the central portion 84 on the lower surface serves as a laser light emission surface.

【0098】このSIL83を用いると、下面の中央部
84を光学系の光軸に合わせることにより、SIL83
の光軸合わせを行うことができるので、浮上型光学ヘッ
ドの組み立ておよび調整が容易になる。
When this SIL 83 is used, the central portion 84 on the lower surface is aligned with the optical axis of the optical system, so that the SIL 83
Can be aligned, so that the assembling and adjustment of the floating optical head are facilitated.

【0099】図19(c)のSIL85は、ほぼ半球状
の上面および平坦な下面を有し、平坦な下面の中央部に
円柱状の凹部86を有する。凹部86の底面の中心と球
面の頂部との間の距離Rは、球面の半径と同じに設定さ
れる。それにより、球面に垂直に入射したレーザ光が凹
部86の底面の中心に集光される。このSIL85で
は、凹部86の底面がレーザ光の出射面となる。
The SIL 85 shown in FIG. 19C has a substantially hemispherical upper surface and a flat lower surface, and has a cylindrical concave portion 86 at the center of the flat lower surface. The distance R between the center of the bottom surface of the recess 86 and the top of the spherical surface is set to be the same as the radius of the spherical surface. As a result, the laser beam that is perpendicularly incident on the spherical surface is focused on the center of the bottom surface of the concave portion 86. In the SIL 85, the bottom surface of the concave portion 86 becomes the laser light emission surface.

【0100】このSIL85を用いると、凹部86を光
学系の光軸に合わせることにより、SIL85の光軸合
わせを行うことができるので、浮上型光学ヘッドの組み
立ておよび調整が容易になる。
When this SIL 85 is used, the optical axis of the SIL 85 can be adjusted by aligning the concave portion 86 with the optical axis of the optical system, so that the assembling and adjustment of the floating optical head are facilitated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例における光ディスク装置
の概略構成を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of an optical disk device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の光ディスク装置における主として平行平
板の構成を示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram mainly showing a configuration of a parallel plate in the optical disk device of FIG. 1;

【図3】図1および図2の平行平板における第1波長選
択膜の構成の一例を示す模式的断面図である。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a configuration of a first wavelength selection film in the parallel flat plate of FIGS. 1 and 2;

【図4】図3の第1波長選択膜の反射率の波長依存性を
示す図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating the wavelength dependence of the reflectance of the first wavelength selection film of FIG. 3;

【図5】波長780nmのレーザ光が平行平板を透過す
るために発生する波面収差のシミュレーション結果を示
す図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating a simulation result of a wavefront aberration generated when a laser beam having a wavelength of 780 nm transmits through a parallel plate.

【図6】本発明の第2の実施例における光ディスク装置
の概略構成を示す模式図である。
FIG. 6 is a schematic diagram showing a schematic configuration of an optical disc device according to a second embodiment of the present invention.

【図7】図6の光ディスク装置における主として平行平
板の構成を示す模式図である。
FIG. 7 is a schematic diagram mainly showing a configuration of a parallel plate in the optical disk device of FIG. 6;

【図8】図6および図7の平行平板における第1波長選
択膜の構成の一例を示す模式的断面図である。
8 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a configuration of a first wavelength selection film in the parallel flat plates of FIGS. 6 and 7. FIG.

【図9】図8の第1波長選択膜の反射率の波長依存性を
示す図である。
9 is a diagram showing the wavelength dependence of the reflectance of the first wavelength selection film of FIG.

【図10】図6および図7の平行平板における第2波長
選択膜の構成の一例を示す模式的断面図である。
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing an example of a configuration of a second wavelength selection film in the parallel flat plates of FIGS. 6 and 7.

【図11】図10の第2波長選択膜の反射率の波長依存
性を示す図である。
11 is a diagram showing the wavelength dependence of the reflectance of the second wavelength selection film of FIG.

【図12】本発明の第3の実施例における光ディスク装
置の概略構成を示す模式図である。
FIG. 12 is a schematic diagram showing a schematic configuration of an optical disc device according to a third embodiment of the present invention.

【図13】図12の光ディスク装置における主として平
行平板の構成を示す模式図である。
FIG. 13 is a schematic diagram mainly showing a configuration of a parallel plate in the optical disk device of FIG. 12;

【図14】図12および図13の平行平板における第1
波長選択膜の構成の一例を示す模式的断面図である。
FIG. 14 shows a first example of the parallel plate shown in FIGS. 12 and 13.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a configuration of a wavelength selection film.

【図15】図14の第1波長選択膜の反射率の波長依存
性を示す図である。
FIG. 15 is a diagram illustrating the wavelength dependence of the reflectance of the first wavelength selection film of FIG. 14;

【図16】図12および図13の平行平板における第2
波長選択膜の構成の一例を示す模式的断面図である。
FIG. 16 shows a second example of the parallel plate shown in FIGS. 12 and 13;
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a configuration of a wavelength selection film.

【図17】図16の第2波長選択膜の反射率の波長依存
性を示す図である。
17 is a diagram showing the wavelength dependence of the reflectance of the second wavelength selection film of FIG.

【図18】ニアフィールド記録再生方式の浮上型光学ヘ
ッドを示す模式図である。
FIG. 18 is a schematic diagram showing a flying optical head of a near-field recording / reproducing method.

【図19】浮上型光学ヘッドに用いられるSILの他の
例を示す図である。
FIG. 19 is a diagram illustrating another example of the SIL used in the flying optical head.

【図20】従来の光ディスク装置の概略構成を示す模式
図である。
FIG. 20 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a conventional optical disk device.

【図21】図20の光ディスク装置における半導体レー
ザ素子を示す図である。
FIG. 21 is a diagram showing a semiconductor laser element in the optical disk device of FIG.

【図22】図20の光ディスク装置におけるウォラスト
ンプリズムおよび光検出器を示す図である。
FIG. 22 is a diagram illustrating a Wollaston prism and a photodetector in the optical disc device of FIG. 20;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1a 半導体レーザ素子 2,3,4 平行平板 5 ビームスプリッタ 6 コリメータレンズ 7,51 対物レンズ 8 光検出器 11,12,13 レーザダイオードチップ 21,23,31,33,41,43 基板 24,34,44 第1波長選択膜 22,32,42 第2波長選択膜 45 第3波長選択膜 50 浮上型光学ヘッド 52,81,83,85 SIL 101,102,103 光ピックアップ装置 200 光学ヘッド 1, 1a Semiconductor laser element 2, 3, 4 Parallel plate 5 Beam splitter 6 Collimator lens 7, 51 Objective lens 8 Photodetector 11, 12, 13 Laser diode chip 21, 23, 31, 33, 41, 43 Substrate 24, 34, 44 First wavelength selection film 22, 32, 42 Second wavelength selection film 45 Third wavelength selection film 50 Floating optical head 52, 81, 83, 85 SIL 101, 102, 103 Optical pickup device 200 Optical head

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光ディスクに光を照射するとともに前記
光ディスクからの帰還光を受光する光ピックアップ装置
であって、 異なる波長を有する複数の光を出射する複数の光源と、 前記複数の光源の各々から出射された光を反射する平行
平板とを備え、 前記平行平板は、前記複数の光のうちそれぞれ異なる波
長の1つの光を反射して残りの波長の光を透過する複数
の波長選択膜を光透過膜を介して表面側から順に含み、
前記複数の波長選択膜によりそれぞれ反射されて表面側
から出射される前記複数の光の光路が一致するように配
設されたことを特徴とする光ピックアップ装置。
1. An optical pickup device for irradiating an optical disc with light and receiving return light from the optical disc, comprising: a plurality of light sources for emitting a plurality of lights having different wavelengths; A parallel plate that reflects the emitted light, wherein the parallel plate reflects a plurality of wavelength selection films that reflect one of light of different wavelengths among the plurality of lights and transmit light of the remaining wavelengths. Including sequentially from the surface side through the permeable membrane,
An optical pickup device, wherein the plurality of light beams are respectively reflected by the plurality of wavelength selection films and emitted from the front surface side so that the optical paths of the plurality of light beams coincide with each other.
【請求項2】 光ディスクに光を照射するとともに前記
光ディスクからの帰還光を受光する光ピックアップ装置
であって、 第1の波長の光を出射する第1の光源と、 第2の波長の光を出射する第2の光源と、 前記第1および第2の光源の各々から出射された光を反
射する平行平板とを備え、 前記平行平板は、 前記第1の波長の光を反射するとともに前記第2の波長
の光を透過する第1の波長選択膜と、 前記第2の波長の光を透過する光透過膜と、 前記第2の波長の光を反射する第2の波長選択膜とを表
面側から順に含み、 前記第1の波長選択膜により反射された前記第1の波長
の光および前記第2の波長選択膜により反射されて表面
側から出射される前記第2の波長の光の光路が一致する
ように配設されたことを特徴とする光ピックアップ装
置。
2. An optical pickup device for irradiating an optical disk with light and receiving return light from the optical disk, comprising: a first light source for emitting light of a first wavelength; and a light source for emitting light of a second wavelength. A second light source that emits light; and a parallel flat plate that reflects light emitted from each of the first and second light sources. The parallel flat plate reflects light of the first wavelength, and A first wavelength selection film that transmits light of the second wavelength, a light transmission film that transmits the light of the second wavelength, and a second wavelength selection film that reflects the light of the second wavelength. From the side, the optical path of the light of the first wavelength reflected by the first wavelength selection film and the light of the second wavelength reflected from the second wavelength selection film and emitted from the front side Optical pickups, which are arranged so that Apparatus.
【請求項3】 光を検出する光検出器と、 前記平行平板により反射された光を前記光ディスクに導
くとともに前記光ディスクからの帰還光を前記光検出器
に導く光学素子とをさらに備えたことを特徴とする請求
項2記載の光ピックアップ装置。
3. A light detector for detecting light, and an optical element for guiding light reflected by the parallel plate to the optical disk and guiding return light from the optical disk to the light detector. The optical pickup device according to claim 2, wherein:
【請求項4】 光ディスクに光を照射するとともに前記
光ディスクからの帰還光を受光する光ピックアップ装置
であって、 第1の波長の光を出射する第1の光源と、 第2の波長の光を出射する第2の光源と、 前記第1および第2の光源の各々から出射された光を反
射する平行平板とを備え、 前記平行平板は、 前記第1の波長の光の一部を反射するとともに前記第2
の波長の光を透過する第1の波長選択膜と、 前記第1および第2の波長の光を透過する光透過膜と、 前記第1の波長の光を透過するとともに前記第2の波長
の光の一部を反射する第2の波長選択膜とを表面側から
順に含み、 前記第1の波長選択膜により反射された前記第1の波長
の光および前記第2の波長選択膜により反射されて表面
側から出射される前記第2の波長の光の光路が一致する
ように配設されたことを特徴とする光ピックアップ装
置。
4. An optical pickup device that irradiates an optical disk with light and receives return light from the optical disk, comprising: a first light source that emits light of a first wavelength; and a light source that emits light of a second wavelength. A second light source that emits light; and a parallel flat plate that reflects light emitted from each of the first and second light sources, wherein the parallel flat plate reflects a part of the light having the first wavelength. With the second
A first wavelength selection film that transmits light of the first wavelength, a light transmission film that transmits the light of the first and second wavelengths, and a light transmission film that transmits the light of the first wavelength and the second wavelength. A second wavelength selection film that reflects part of the light and a second wavelength selection film in order from the surface side, wherein the light of the first wavelength reflected by the first wavelength selection film and the second wavelength selection film are reflected by the second wavelength selection film. An optical pickup device provided so that the optical paths of the light of the second wavelength emitted from the front surface coincide with each other.
【請求項5】 光を検出する光検出器と、 前記平行平板により反射された光を前記光ディスクに導
くとともに前記光ディスクからの帰還光を前記平行平板
に導く光学素子とをさらに備え、 前記光検出器は、前記平行平板を透過した前記第1の波
長の帰還光および前記第2の波長の帰還光を受光するよ
うに配設されたことを特徴とする請求項4記載の光ピッ
クアップ装置。
5. A light detector for detecting light, and an optical element for guiding light reflected by the parallel plate to the optical disk and guiding return light from the optical disk to the parallel plate, further comprising: 5. The optical pickup device according to claim 4, wherein the device is arranged to receive the feedback light of the first wavelength and the feedback light of the second wavelength transmitted through the parallel plate.
【請求項6】 光ディスクに光を照射するとともに前記
光ディスクからの帰還光を受光する光ピックアップ装置
であって、 第1の波長の光を出射する第1の光源と、 第2の波長の光を出射する第2の光源と、 第3の波長の光を出射する第3の光源と、 前記第1、第2および第3の光源の各々から出射された
光を反射する平行平板とを備え、 前記平行平板は、 前記第1の波長の光を反射するとともに前記第2および
第3の波長の光を透過する第1の波長選択膜と、 前記第2および第3の波長の光を透過する第1の光透過
膜と、 前記第2の波長の光を反射するとともに前記第3の波長
の光を透過する第2の波長選択膜と、 前記第3の波長の光を透過する第2の光透過膜と、 前記第3の波長の光を反射する第3の波長選択膜とを表
面側から順に含み、 前記第1の波長選択膜により反射された前記第1の波長
の光、前記第2の波長選択膜により反射されて表面側か
ら出射される前記第2の波長の光および前記第3の波長
選択膜により反射されて表面側から出射される前記第3
の波長の光の光路が一致するように配設されたことを特
徴とする光ピックアップ装置。
6. An optical pickup device for irradiating an optical disk with light and receiving return light from the optical disk, comprising: a first light source for emitting light of a first wavelength; and a light source for emitting light of a second wavelength. A second light source that emits light, a third light source that emits light of a third wavelength, and a parallel flat plate that reflects light emitted from each of the first, second, and third light sources, The parallel plate reflects a light of the first wavelength and transmits a light of the second and third wavelengths, and transmits a light of the second and third wavelengths. A first light transmission film, a second wavelength selection film that reflects the light of the second wavelength and transmits the light of the third wavelength, and a second light that transmits the light of the third wavelength. A light-transmitting film and a third wavelength-selective film that reflects light of the third wavelength are arranged in order from the surface side Light of the first wavelength reflected by the first wavelength selection film, light of the second wavelength reflected from the second wavelength selection film and emitted from the front side, and the third light The third light reflected by the wavelength selection film and emitted from the surface side
An optical pickup device, wherein the optical paths of the light having the wavelengths are arranged so as to coincide with each other.
【請求項7】 光を検出する光検出器と、 前記平行平板により反射された光を前記光ディスクに導
くとともに前記光ディスクからの帰還光を前記光検出器
に導く光学素子とをさらに備えたことを特徴とする請求
項6記載の光ピックアップ装置。
7. A light detector for detecting light, and an optical element for guiding light reflected by the parallel plate to the optical disk and guiding return light from the optical disk to the light detector. 7. The optical pickup device according to claim 6, wherein:
【請求項8】 請求項1〜7のいずれかに記載の光ピッ
クアップ装置と、 前記光ピックアップ装置からの光を光ディスクに照射す
るとともに前記光ディスクからの帰還光を前記光ピック
アップ装置に導く対物レンズを有する光学ヘッドとを備
えたことを特徴とする光ディスク装置。
8. An optical pickup device according to claim 1, further comprising: an objective lens for irradiating the optical disk with light from the optical pickup device and guiding return light from the optical disk to the optical pickup device. An optical disc device comprising: an optical head having the same.
【請求項9】 前記光学ヘッドは、前記対物レンズを透
過した光を集光して近接場の光を前記光ディスクに照射
するソリッドイマージョンレンズをさらに備えたことを
特徴とする請求項8記載の光ディスク装置。
9. The optical disk according to claim 8, wherein the optical head further comprises a solid immersion lens that collects light transmitted through the objective lens and irradiates near-field light to the optical disk. apparatus.
【請求項10】 前記ソリッドイマージョンレンズは、
部分球面状の入射面と中央部に所定の径の平面状の出射
面を含む下面とを有し、前記出射面の周囲の下面がその
出射面と異なる面で形成されたことを特徴とする請求項
9記載の光ディスク装置。
10. The solid immersion lens,
It has a partially spherical entrance surface and a lower surface including a planar exit surface with a predetermined diameter at the center, and a lower surface around the exit surface is formed as a surface different from the exit surface. The optical disk device according to claim 9.
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