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IT201600079694A1 - Measuring head of electronic devices and relative measurement card - Google Patents

Measuring head of electronic devices and relative measurement card

Info

Publication number
IT201600079694A1
IT201600079694A1 IT102016000079694A IT201600079694A IT201600079694A1 IT 201600079694 A1 IT201600079694 A1 IT 201600079694A1 IT 102016000079694 A IT102016000079694 A IT 102016000079694A IT 201600079694 A IT201600079694 A IT 201600079694A IT 201600079694 A1 IT201600079694 A1 IT 201600079694A1
Authority
IT
Italy
Prior art keywords
measuring head
contact
length
guides
spacer
Prior art date
Application number
IT102016000079694A
Other languages
Italian (it)
Inventor
Roberto Crippa
Stefano Felici
Original Assignee
Technoprobe Spa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Technoprobe Spa filed Critical Technoprobe Spa
Priority to IT102016000079694A priority Critical patent/IT201600079694A1/en
Priority to PCT/EP2017/068840 priority patent/WO2018019866A1/en
Priority to TW106125521A priority patent/TW201821806A/en
Publication of IT201600079694A1 publication Critical patent/IT201600079694A1/en

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • G01R1/07307Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07357Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with flexible bodies, e.g. buckling beams
    • GPHYSICS
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    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R3/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips
    • GPHYSICS
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    • G01R1/07364Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch
    • G01R1/07378Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch using an intermediate adapter, e.g. space transformers

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)

Description

DESCRIZIONE DESCRIPTION

Campo di applicazione Field of application

La presente invenzione fa riferimento ad una testa di misura di un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici. The present invention refers to a measuring head of an electronic device test equipment.

L'invenzione riguarda in particolare, ma non esclusivamente, una testa di misura a sonde verticali per il testing di dispositivi elettronici, in particolare integrati su wafer e la descrizione che segue è fatta con riferimento a questo campo di applicazione con il solo scopo di semplificarne l'esposizione . The invention relates in particular, but not exclusively, to a measuring head with vertical probes for testing electronic devices, in particular integrated on wafers and the following description is made with reference to this field of application with the sole purpose of simplifying it. the exposure.

Arte nota Known art

Come è ben noto, una testa di misura è essenzialmente un dispositivo atto a mettere in collegamento elettrico una pluralità di pad di contatto di una micro struttura, in particolare un dispositivo elettronico integrato su wafer, con corrispondenti canali di una macchina di misura che ne esegue la verifica di funzionalità, in particolare elettrica, o genericamente il test. As is well known, a measuring head is essentially a device adapted to electrically connect a plurality of contact pads of a micro structure, in particular an electronic device integrated on a wafer, with corresponding channels of a measuring machine which performs them the verification of functionality, in particular electrical, or generically the test.

Il test effettuato su dispositivi integrati serve in particolare a rilevare ed isolare dispositivi difettosi già in fase di produzione. Normalmente, le schede di misura vengono quindi utilizzate per il test elettrico dei dispositivi integrati su wafer prima del taglio e del montaggio degli stessi all'interno di un package di contenimento di chip. The test carried out on integrated devices serves in particular to detect and isolate defective devices already in the production phase. Typically, measurement boards are then used for electrical testing of wafer-integrated devices prior to cutting and mounting them into a chip containment package.

Una testa di misura comprende in particolare una pluralità di elementi di contatto mobili o sonde di contatto [contact probe] trattenute da almeno una coppia di piastre o guide sostanzialmente piastriformi e parallele tra loro. Tali guide sono dotate di appositi fori e poste ad una certa distanza fra loro in modo da lasciare una zona libera o zona d'aria per il movimento e l’eventuale deformazione delle sonde di contatto. La coppia di guide comprende in particolare una guida superiore, indicata usualmente con il temine inglese “upper die”, ed una guida inferiore, , indicata usualmente con il temine inglese “lower die”, gli aggettivi “superiore” ed “inferiore” essendo utilizzati nel settore con riferimento ad una testa di misura durante il suo funzionamento e corrispondendo alle illustrazioni della figure, la testa essendo posizionata tra apparecchiatura di test (superiormente) ed un wafer comprendente i dispositivi da testare (inferiormente). A measuring head in particular comprises a plurality of mobile contact elements or contact probes held by at least one pair of plates or guides which are substantially plate-like and parallel to each other. These guides are equipped with special holes and placed at a certain distance from each other so as to leave a free area or area of air for the movement and any deformation of the contact probes. The pair of guides includes in particular an upper guide, usually indicated with the English term "upper die", and a lower guide, usually indicated with the English term "lower die", the adjectives "superior" and "inferior" being used in the sector with reference to a measuring head during its operation and corresponding to the illustrations of the figures, the head being positioned between the test apparatus (above) and a wafer comprising the devices to be tested (below).

Le guide sono entrambe provviste di fori guida entro cui scorrono assialmente le sonde di contatto, normalmente formate da fili di leghe speciali con buone proprietà elettriche e meccaniche. The guides are both provided with guide holes in which the contact probes slide axially, normally made of special alloy wires with good electrical and mechanical properties.

La testa di misura è inoltre completata da un involucro o case disposto tra le guide superiore ed inferiore, normalmente realizzato in ceramica ed atto a contenere le sonde. The measuring head is also completed by a casing or case arranged between the upper and lower guides, normally made of ceramic and suitable for containing the probes.

Il buon collegamento fra le sonde di contatto e rispettivi pad di contatto del dispositivo da testare è assicurato dalla pressione della testa di misura sul dispositivo stesso, ovvero sul wafer che lo comprende, le sonde di contatto, mobili entro i fori guida realizzati nelle guide superiore ed inferiore, subendo in occasione di tale contatto premente una flessione, all'interno della zona d'aria tra le due guide ed uno scorrimento aH’interno di tali fori guida. The good connection between the contact probes and respective contact pads of the device to be tested is ensured by the pressure of the measuring head on the device itself, or on the wafer that includes it, the contact probes, movable within the guide holes made in the upper guides and lower, undergoing, on the occasion of this pressing contact, a bending, inside the air zone between the two guides and a sliding inside said guide holes.

Teste di misura di questo tipo sono comunemente denominate a sonde verticali ed indicate con il termine anglosassone "vertical probe head". Measuring heads of this type are commonly referred to as vertical probes and indicated with the Anglo-Saxon term "vertical probe head".

Le teste di misura a sonde verticali presentano in sostanza una zona d'aria in cui avviene una flessione delle sonde di contatto, ed è quindi indicata anche come zona di flessione; ulteriormente, la flessione delle sonde di contatto può essere aiutata tramite una opportuna configurazione delle sonde stesse e/o un opportuno posizionamento delle guide. The measuring heads with vertical probes essentially have an air zone in which a bending of the contact probes occurs, and is therefore also referred to as a bending zone; further, the bending of the contact probes can be aided by means of an appropriate configuration of the probes themselves and / or an appropriate positioning of the guides.

In alcuni casi, le sonde di contatto sono vincolate alla testa di misura in corrispondenza della guida superiore in maniera fissa, ad esempio mediante bonding: si parla di teste di misura a sonde bloccate. In some cases, the contact probes are fixed to the measuring head in correspondence with the upper guide, for example by bonding: we speak of measuring heads with blocked probes.

Più frequentemente però si utilizzano teste di misura con sonde non vincolate in maniera fissa, ma tenute interfacciate ad una scheda di trasformazione spaziale, comunemente indicata come "space transformer" facente parte di una scheda di misura includente la testa di misura: si parla di teste di misura a sonde non bloccate. More frequently, however, measuring heads are used with probes not fixed in a fixed manner, but kept interfaced with a spatial transformation board, commonly referred to as a "space transformer" which is part of a measurement board including the measuring head: we are talking about heads measurement with probes not blocked.

Una scheda di misura comprendente una testa di misura a sonde verticali non bloccate è schematicamente in figura 1, dove per semplicità di illustrazione è stata rappresentata una sola sonda di contatto della pluralità di sonde normalmente comprese in una tale testa di misura. A measurement card comprising a measurement head with vertical unsecured probes is schematically shown in Figure 1, where for simplicity of illustration only one contact probe of the plurality of probes normally included in such a measurement head has been shown.

In particolare, la scheda di misura 10 comprende la testa di misura 1 disposta tra uno space transformer 8 ed un dispositivo da testare 7 e a sua volta includente almeno una guida superiore 3 ed una guida inferiore 4, realizzate mediante supporti piastriformi sostanzialmente piani e paralleli tra loro ed aventi rispettivi fori guida superiore 3A e fori guida inferiori 4A entro i quali scorrono rispettive sonde di contatto 2. In particular, the measurement board 10 comprises the measurement head 1 arranged between a space transformer 8 and a device to be tested 7 and in turn including at least an upper guide 3 and a lower guide 4, made by means of substantially flat and parallel plate-like supports between them and having respective upper guide holes 3A and lower guide holes 4A within which respective contact probes 2 slide.

La testa di misura 1 comprende altresì un case 4, che funge anche da irrigiditore o stiffner e che contiene le sonde di contatto 2, disposto tra le guide superiore ed inferiore, 3 e 4. Il case 4 si estende in particolare in corrispondenza di una zona d’aria o di flessione 6 tra tali guide. The measuring head 1 also comprises a case 4, which also acts as a stiffener or stiffner and which contains the contact probes 2, arranged between the upper and lower guides, 3 and 4. The case 4 extends in particular at a air or bending zone 6 between these guides.

Ogni sonda di contatto 2 presenta un corpo 2C sostanzialmente astifome ed almeno un’estremità o punta di contatto 2 A. Con i termini estremità o punta si indica qui e nel seguito una porzione d’estremità, non necessariamente appuntita. In particolare la punta di contatto 2 A va in battuta su un pad di contatto 7 A del dispositivo da testare 7, effettuando il contatto meccanico ed elettrico fra detto dispositivo ed una apparecchiatura di test (non rappresentata) di cui la scheda di misura 10 forma un elemento terminale. Each contact probe 2 has a substantially astifomic body 2C and at least one end or contact tip 2 A. The terms end or tip here and hereinafter indicate an end portion, not necessarily pointed. In particular, the contact tip 2 A strikes against a contact pad 7 A of the device to be tested 7, making the mechanical and electrical contact between said device and a test apparatus (not shown) of which the measurement card 10 forms a terminal element.

Nell’esempio illustrato in figura 1, la sonda di contatto 2 presenta un'ulteriore estremità di contatto, usualmente indicata come testa di contatto 2B, verso una pluralità di pad di contatto 8A dello space transformer 8. Il buon contatto elettrico tra sonde e space transformer viene assicurato in maniera analoga al contatto con il dispositivo da testare mediante la pressione delle porzioni terminali, in particolare di punta e testa, delle sonde di contatto sui rispettivi pad di contatto. In the example illustrated in Figure 1, the contact probe 2 has a further contact end, usually indicated as the contact head 2B, towards a plurality of contact pads 8A of the space transformer 8. The good electrical contact between the probes and space transformer is secured in a similar way to contact with the device to be tested by pressing the terminal portions, in particular the tip and head, of the contact probes on the respective contact pads.

Le guide superiore 3 ed inferiore 4 sono opportunamente distanziate dalla zona d'aria o flessione 6 che consente la deformazione delle sonde di contatto 2, i fori guida superiori 3A ed inferiori 4A essendo dimensionati in modo da permettere uno scorrimento di ima rispettiva sonda al loro interno. Una ulteriore zona detta di floating è definita tra la guida superiore 3 e lo space transformer 8; tale zona di floating 9 viene stabilita in modo da garantire un movimento delle teste di contatto 2B in occasione del contatto premente della testa di misura 1 e quindi delle sonde di contatto 2 sul dispositivo da testare 7, in particolare delle punte di contatto 2A sui pad di contatto 7A, assicurando comunque il contatto delle teste di contatto 2B con i pad di contatto 8A dello space transformer 8. The upper 3 and lower 4 guides are suitably spaced from the air or bending zone 6 which allows the deformation of the contact probes 2, the upper 3A and lower 4A guide holes being sized so as to allow a respective probe to slide against them. internal. A further so-called floating zone is defined between the upper guide 3 and the space transformer 8; this floating zone 9 is established in such a way as to guarantee a movement of the contact heads 2B on the occasion of the pressing contact of the measuring head 1 and therefore of the contact probes 2 on the device to be tested 7, in particular of the contact tips 2A on the pads contact 7A, while ensuring the contact of the contact heads 2B with the contact pads 8A of the space transformer 8.

Nel caso di una testa di misura realizzata nella tecnologia detta "a piastre shiftate", le sonde di contatto 2, indicate anche come “buckling beam”, sono realizzate diritte, con sezione trasversale costante per tutta la loro lunghezza, preferibilmente rettangolare. E’ noto realizzare questo tipo di teste di misura sovrapponendo le guide in modo da mettere in corrispondenza i rispettivi fori guida, infilare le sonde di contatto in tali fori guida, distanziare le guide per formare la zona di flessione e poi disassare o shiftare tali guide, provocando una deformazione del corpo delle sonde, in una posizione sostanzialmente centrale, come illustrato in Figura 1. Si parla in tal caso di teste di misura a piastre shiftate. In the case of a measuring head made with the so-called "shifted plate" technology, the contact probes 2, also referred to as "buckling beam", are made straight, with a constant cross section along their entire length, preferably rectangular. It is known to realize this type of measuring heads by overlapping the guides so as to match the respective guide holes, insert the contact probes in these guide holes, space the guides to form the bending area and then offset or shift said guides. , causing a deformation of the body of the probes, in a substantially central position, as illustrated in Figure 1. In this case we speak of shifted plate measuring heads.

E' opportuno ricordare che il corretto funzionamento di una testa di misura e quindi della scheda di misura che la comprende è legato fondamentalmente a due parametri: lo spostamento verticale, o overtravel, delle sonde di contatto e lo spostamento orizzontale, o scrub, delle rispettive estremità di contatto, in particolare le punte di contatto 2A il cui scrub permette di “pulire” superficialmente i pad di contatto 7A del dispositivo da testare 7, migliorando il contatto effettuato dalla testa di misura 1 per tutta la sua vita utile. It should be remembered that the correct functioning of a measuring head and therefore of the measuring card that includes it is fundamentally linked to two parameters: the vertical displacement, or overtravel, of the contact probes and the horizontal displacement, or scrub, of the respective contact ends, in particular the contact tips 2A whose scrub allows to superficially "clean" the contact pads 7A of the device to be tested 7, improving the contact made by the measuring head 1 throughout its useful life.

E’ altresì importante assicurare che la zona di floating 9 delle teste di contatto 2B delle sonde di contatto 2 sia dimensionata in modo da garantire il corretto contatto anche di tali teste sui pad di contatto 8A dello space transformer 8. It is also important to ensure that the floating area 9 of the contact heads 2B of the contact probes 2 is sized in such a way as to ensure the correct contact of these heads on the contact pads 8A of the space transformer 8.

Tutte queste caratteristiche sono da valutare e calibrare in fase di realizzazione di una testa di misura, il buon collegamento elettrico tra sonde e dispositivo da testare dovendo sempre essere garantito. All these characteristics must be evaluated and calibrated during the construction of a measuring head, the good electrical connection between the probes and the device to be tested must always be guaranteed.

Le estremità di contatto delle sonde di contatto, in particolare le punte di contatto con i pad dei dispositivi da testare, sono soggette durante Tuso ad accumulo di materiale, genericamente indicato come sporcizia, che ne diminuisce le prestazioni e rischia di compromettere il corretto contatto delle sonde con il dispositivo da testare, quando lo scrub di tali punte non è comunque in grado di assicurare il contatto elettrico con i pad. The contact ends of the contact probes, in particular the contact tips with the pads of the devices to be tested, are subject during use to accumulation of material, generally referred to as dirt, which decreases their performance and risks compromising the correct contact of the probes with the device to be tested, when the scrub of these tips is not in any case able to ensure electrical contact with the pads.

E’ quindi noto effettuare operazioni di pulitura, in particolare delle punte di contatto mediante panni abrasivi. It is therefore known to carry out cleaning operations, in particular of the contact tips using abrasive cloths.

Ovviamente tali operazioni di pulitura comportano il consumo di una parte della porzione d’estremità delle sonde, in particolare della punta di contatto, e sono quindi limitate in numero proprio dalla lunghezza di tale punta, che si accorcia ad ogni pulizia. In particolare, ogni successiva abrasione della porzione di estremità, in particolare della punta di contatto, deve essere limitata alla porzione di sonda rastremata che sporge dalla guida inferiore, che realizza la punta di contatto appunto. Obviously, these cleaning operations involve the consumption of a part of the end portion of the probes, in particular of the contact tip, and are therefore limited in number by the length of this tip, which is shortened with each cleaning. In particular, any subsequent abrasion of the end portion, in particular of the contact tip, must be limited to the tapered probe portion that protrudes from the lower guide, which forms the contact tip.

II numero di operazioni di pulitura della testa di misura ne determina di fatto la vita utile e di conseguenza la vita utile della scheda di misura che la contiene. The number of cleaning operations of the measuring head actually determines its useful life and consequently the useful life of the measurement card that contains it.

E’ noto dalla domanda di brevetto intemazionale (PCT) pubblicata il 16.10.2014 con No. WO 2014/ 167410 a nome della presente Richiedente utilizzare un elemento distanziatore o spacer, interposto in modo rimuovibile tra l’elemento di contenimento ed una delle guide superiore ed inferiore, così da regolare la lunghezza delle porzioni di estremità delle sonde di contatto, in particolare, in corrispondenza delle punte di contatto. It is known from the international patent application (PCT) published on 16.10.2014 with No. WO 2014/167410 in the name of the present Applicant to use a spacer element or spacer, removably interposed between the containment element and one of the upper guides and lower, so as to adjust the length of the end portions of the contact probes, in particular, in correspondence with the contact tips.

Pur vantaggiosa sotto vari aspetti, tale testa di misura presenta un inconveniente legato al fatto che la variazione di lunghezza delle porzioni di estremità effettuata mediante rimozione dello spacer o di un suo strato immancabilmente modifica anche la zona d’aria o di flessione delle sonde di contatto, modificandone quindi la dinamica di contatto ed introducendo problemi in termini di forza esercitata dalle sonde sui pad di contatto ed anche di scrub realizzabile su di essi, oltre a modificare la deformazione subita dalle sonde in tale zona d’aria, con rischio di deformazioni permanenti o incastri di tali sonde nei rispettivi fori guida. Although advantageous under various aspects, this measuring head has a drawback linked to the fact that the variation in length of the end portions carried out by removing the spacer or one of its layers invariably also changes the air or bending area of the contact probes. , thus modifying the contact dynamics and introducing problems in terms of the force exerted by the probes on the contact pads and also of the scrub that can be carried out on them, as well as modifying the deformation suffered by the probes in this air zone, with the risk of permanent deformations or interlocking of these probes in the respective guide holes.

II problema tecnico che sta alla base della presente invenzione è quello di escogitare una testa di misura di dispositivi elettronici integrati su wafer, avente caratteristiche strutturali e funzionali tali da consentire un numero adeguato di operazioni di pulitura delle sonde di contatto contenute nella relativa testa di misura senza perdita funzionale, superando le limitazioni e gli inconvenienti che tuttora affliggono le teste realizzate secondo l'arte nota, in particolare garantendo la forza esercitata dalle sonde ed i meccanismi di scrub essenziali per un corretto contatto tra sonde e pad di contatto durante tutta la vita della testa di misura e della scheda che la comprende, anche in presenza di successive operazioni di pulitura. The technical problem underlying the present invention is that of devising a measuring head for electronic devices integrated on wafers, having structural and functional characteristics such as to allow an adequate number of cleaning operations of the contact probes contained in the relative measuring head. without functional loss, overcoming the limitations and drawbacks that still afflict heads made according to the prior art, in particular by ensuring the force exerted by the probes and the scrub mechanisms essential for correct contact between probes and contact pads throughout their life of the measuring head and of the card that includes it, even in the presence of subsequent cleaning operations.

Sommario dell'invenzione Summary of the invention

L'idea di soluzione che sta alla base della presente invenzione è quella di realizzare una testa di misura comprendente almeno una coppia di guide superiori e/o una coppia di guide inferiori ed al contempo almeno un elemento distanziatore o spacer, disposto all’interno della testa, facilmente rimovibile ed eventualmente pelabile, la cui rimozione, anche parziale, non modifica l’estensione della zona di flessione delle sonde e quindi la forza esercitata dalle stesse, in particolare sfruttando la zona d’aria che separa tale coppia di guide. The solution idea underlying the present invention is to provide a measuring head comprising at least a pair of upper guides and / or a pair of lower guides and at the same time at least one spacer element or spacer, arranged inside the head, easily removable and possibly peelable, whose removal, even partial, does not modify the extension of the bending zone of the probes and therefore the force exerted by them, in particular by exploiting the air zone that separates said pair of guides.

Sulla base di tale idea di soluzione il problema tecnico è risolto da una testa di misura di un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici comprendente una pluralità di sonde di contatto inserite in fori guida realizzati in un supporto superiore ed in un supporto inferiore, almeno uno di tali supporti comprendendo una coppia di guide parallele e separate da una zona d’aria, nonché almeno uno spacer interposto tra le guide di un supporto superiore e/o inferiore, in corrispondenza di una tale zona d’aria. On the basis of this solution idea, the technical problem is solved by a measuring head of an electronic device test apparatus comprising a plurality of contact probes inserted in guide holes made in an upper support and in a lower support, at least one of such supports comprising a pair of parallel guides separated by an air zone, as well as at least one spacer interposed between the guides of an upper and / or lower support, in correspondence with such an air zone.

In particolare, la testa di misura secondo la presente invenzione comprende una pluralità di sonde di contatto inserite in fori guida realizzati in almeno un supporto superiore ed un supporto inferiore, tra tali supporti superiore e inferiore essendo definita una zona di flessione per le sonde di contatto, che hanno ciascuna almeno una prima porzione terminale che sporge di una prima lunghezza dal supporto inferiore e termina con una punta di contatto atta ad andare in battuta su un rispettivo pad di contatto di un dispositivo da testare, nonché una seconda porzione terminale che sporge di una seconda lunghezza dal supporto superiore e termina con una testa di contatto atta ad andare in battuta su un pad di contatto di uno space transformer. Opportunamente, uno di tali supporti superiore e/o inferiore può comprendere almeno una coppia di guide superiore e/o inferiore piastriformi e parallele, tra loro separate da una zona d’aria di prefissata lunghezza, tra tale almeno una coppia di guide superiore e/o inferiore essendo interposto almeno uno spacer, il quale è rimuovibile per regolare la prima lunghezza della prima porzione terminale delle sonde di contatto mediante variazione della lunghezza della zona d’aria con avvicinamento delle guide dell’almeno una coppia di guide superiore e/o inferiore. In particular, the measuring head according to the present invention comprises a plurality of contact probes inserted in guide holes made in at least one upper support and a lower support, a flexion zone for the contact probes being defined between these upper and lower supports. , which each have at least a first end portion which protrudes by a first length from the lower support and ends with a contact tip able to abut a respective contact pad of a device to be tested, as well as a second end portion which protrudes by a second length from the upper support and ends with a contact head capable of striking a contact pad of a space transformer. Conveniently, one of these upper and / or lower supports can comprise at least a pair of upper and / or lower plate-like and parallel guides, separated from each other by an air zone of predetermined length, between which at least one pair of upper and / or upper guides or lower, at least one spacer being interposed, which can be removed to adjust the first length of the first terminal portion of the contact probes by varying the length of the air zone by approaching the guides of the at least one pair of upper and / or lower guides .

Più in particolare, rinvenzione comprende le seguenti caratteristiche supplementari e facoltative, prese singolarmente o all’occorrenza in combinazione. More specifically, the invention includes the following additional and optional features, taken individually or in combination if necessary.

Secondo un aspetto dell’invenzione, lo spacer può avere una altezza inferiore o uguale alla lunghezza della zona d’aria. Ulteriormente, lo spacer può avere almeno una porzione sporgente rispetto alla testa di misura, ed in particolare rispetto al supporto superiore e/ o inferiore. According to one aspect of the invention, the spacer can have a height less than or equal to the length of the air zone. Furthermore, the spacer can have at least one portion protruding with respect to the measuring head, and in particular with respect to the upper and / or lower support.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, lo spacer può comprendere una pluralità di strati sovrapposti e singolarmente rimovibili. Ulteriormente, gli strati possono essere solidarizzati tra loro, in particolare mediante uno strato di materiale adesivo. According to another aspect of the invention, the spacer can comprise a plurality of overlapping and individually removable layers. Furthermore, the layers can be joined together, in particular by means of a layer of adhesive material.

Inoltre, lo spacer può essere associato al supporto superiore e/o inferiore, in particolare mediante uno strato di materiale adesivo. Furthermore, the spacer can be associated with the upper and / or lower support, in particular by means of a layer of adhesive material.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, gli strati possono avere rispettive porzioni sporgenti dalla testa di misura, ed in particolare dal supporto superiore e/o inferiore. According to another aspect of the invention, the layers can have respective portions protruding from the measuring head, and in particular from the upper and / or lower support.

Più in particolare, tali porzioni sporgenti di tali strati possono avere lunghezze diverse da strato a strato. Ulteriormente, tali strati possono avere una numerazione apposta sulle rispettive porzioni sporgenti in corrispondenza di una loro faccia, tale numerazione potendo comprendere un numero scritto oppure inciso oppure realizzato in rilievo o con altra tecnica sulle porzioni sporgenti oppure uno o più segni distintivi, formati da tacche o rilievi, di qualsivoglia forma e realizzati con qualsivoglia opportuna tecnica, in numero corrispondente alla numerazione desiderata. More particularly, these protruding portions of these layers can have different lengths from layer to layer. Furthermore, these layers can have a numbering affixed to the respective protruding portions in correspondence with one of their faces, this numbering being able to include a number written or engraved or made in relief or with another technique on the protruding portions or one or more distinctive signs, formed by notches or reliefs, of any shape and made with any appropriate technique, in a number corresponding to the desired numbering.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, la testa di misura può comprendere un supporto superiore includente una prima ed una seconda guida superiore ed un supporto inferiore includente una prima ed una seconda guida inferiore, piastriformi e parallele, separate da rispettive zone d’aria, nonché almeno una coppia di spacer, ciascuno disposto tra tali coppie di guide superiore e inferiore in corrispondenza delle rispettive zone d’aria. According to another aspect of the invention, the measuring head can comprise an upper support including a first and a second upper guide and a lower support including a first and a second lower guide, plate-like and parallel, separated by respective air zones, as well as at least one pair of spacers, each arranged between said pairs of upper and lower guides in correspondence with the respective air zones.

Secondo un altro aspetto ancora dell’invenzione, lo spacer può avere una forma allungata, sostanzialmente rettangolare. According to yet another aspect of the invention, the spacer can have an elongated, substantially rectangular shape.

Più in particolare, lo spacer può avere una forma scelta tra una paletta formata da un corpo allungato e da una testa ed mia linguetta. More specifically, the spacer can have a shape chosen between a blade formed by an elongated body and a head and my tongue.

In alternativa, lo spacer può comprendere almeno una coppia di semicomici o semiframe, estese sostanzialmente lungo lati opposti e paralleli di tale almeno una coppia di guide superiore e/ o inferiore dei supporti superiore e/o inferiore. Alternatively, the spacer can comprise at least a pair of half-frames or half-frames, extending substantially along opposite and parallel sides of this at least one pair of upper and / or lower guides of the upper and / or lower supports.

Più in particolare, le semicomici o semiframe che formano lo spacer possono avere dimensioni tali da sporgere rispetto a tale almeno una coppia di guide superiore e/o inferiore dei supporti superiore e/o inferiore oppure possono comprendere almeno una porzione allungata atta a sporgere rispetto a tale almeno una coppia di guide superiore e/o inferiore dei supporti superiore e/o inferiore. More particularly, the semi-frames or semi-frames that form the spacer can have such dimensions as to protrude with respect to this at least one pair of upper and / or lower guides of the upper and / or lower supports or they can comprise at least an elongated portion able to protrude with respect to such at least one pair of upper and / or lower guides of the upper and / or lower supports.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, lo spacer può essere realizzato in materiale plastico, trasparente o semitrasparente, in materiale ceramico, in materiale metallico, oppure in materiale organico o in silicio, preferibilmente in Kapton®. According to another aspect of the invention, the spacer can be made of plastic, transparent or semitransparent material, of ceramic material, of metallic material, or of organic or silicon material, preferably of Kapton®.

Ulteriormente, secondo un altro aspetto dell’invenzione, la testa di misura può comprendere una pluralità di spacer disposti tra la coppia di guide superiore e/o inferiore dei supporti superiore e/o inferiore in posizioni, numero e forma tali da non interferire con un corretto funzionamento delle sonde di contatto e quindi della testa di misura. Furthermore, according to another aspect of the invention, the measuring head can comprise a plurality of spacers arranged between the upper and / or lower pair of guides of the upper and / or lower supports in positions, number and shape such as not to interfere with a correct functioning of the contact probes and therefore of the measuring head.

L’invenzione fa altresì riferimento ad una scheda di misura di un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici comprendente almeno una testa di misura ed almeno uno space transformer, la testa di misura essendo dotata di una pluralità di sonde di contatto atte ad andare in battuta su una pluralità di pad di contatto dello space transformer, realizzata come sopra descritto. The invention also refers to a measurement board of an electronic device test apparatus comprising at least one measurement head and at least one space transformer, the measurement head being equipped with a plurality of contact probes suitable for striking on a plurality of contact pads of the space transformer, made as described above.

Secondo un aspetto dell’invenzione, la scheda di misura può comprendere ulteriormente mezzi di trattenimento atti a solidarizzare almeno la coppia di guide superiore e/o inferiore dei supporti superiore, nonché lo spacer, dotato di opportune sedi di alloggiamento per tali mezzi di trattenimento. According to an aspect of the invention, the measurement board can further comprise holding means suitable for integrating at least the pair of upper and / or lower guides of the upper supports, as well as the spacer, equipped with suitable housing seats for these holding means.

Più in particolare, tali sedi di alloggiamento per i mezzi di trattenimento possono essere fori e/o alloggiamenti aperti aventi dimensioni adatte ad alloggiare i mezzi di trattenimento. More particularly, these housing seats for the retaining means can be open holes and / or housings having dimensions suitable for housing the retaining means.

Tali mezzi di trattenimento possono solidarizzare ulteriormente lo space transformer al supporto superiore. These holding means can further solidify the space transformer to the upper support.

Inoltre, le sedi di alloggiamento possono essere posizionate in corrispondenza di una porzione perimetrale dei supporti superiore e/o inferiore e/o in una porzione centrale di tali supporti superiore e/o inferiore, contigua e concentrica alla porzione perimetrale. Furthermore, the housing seats can be positioned in correspondence with a perimeter portion of the upper and / or lower supports and / or in a central portion of said upper and / or lower supports, contiguous and concentric to the perimeter portion.

Infine, la presente invenzione si riferisce ad un metodo di ripristino di una testa di misura comprendente una pluralità di sonde di contatto inserite in fori guida realizzati in almeno un supporto superiore ed un supporto inferiore, tali sonde di contatto avendo ciascuna almeno una prima porzione terminale che sporge di una prima lunghezza dal supporto inferiore e termina con una punta di contatto atta ad andare in battuta su un rispettivo pad di contatto di un dispositivo da testare, nonché una seconda porzione terminale che sporge di una seconda lunghezza dal supporto superiore e termina con una testa di contatto atta ad andare in battuta su un pad di contatto di uno space transformer, almeno uno di tali supporti superiore e/o inferiore comprendendo almeno una coppia di guide superiore e/o inferiore piastriformi e parallele, tra loro separate da una zona d’aria di prefissata lunghezza, tra tale almeno una coppia di guide superiore e/ o inferiore essendo interposto almeno uno spacer rimuovibile, eventualmente dotato di una pluralità di strati sovrapposti e singolarmente rimuovibili, il metodo comprendendo le fasi di: Finally, the present invention relates to a method for restoring a measuring head comprising a plurality of contact probes inserted in guide holes made in at least one upper support and a lower support, said contact probes each having at least a first end portion which protrudes by a first length from the lower support and ends with a contact tip able to abut on a respective contact pad of a device to be tested, as well as a second terminal portion that protrudes a second length from the upper support and ends with a contact head capable of striking a contact pad of a space transformer, at least one of these upper and / or lower supports comprising at least a pair of upper and / or lower plate-like and parallel guides, separated from each other by a zone air of predetermined length, between such at least one pair of upper and / or lower guides at least one spacer being interposed removable, possibly provided with a plurality of overlapping and individually removable layers, the method comprising the steps of:

de- solidarizzare l’almeno una coppia di guide superiore e/o inferiore; de-solidify the at least one pair of upper and / or lower guides;

- rimuovere lo spacer o uno degli strati che lo compongono; - remove the spacer or one of the layers that make it up;

avvicinare le guide superiore e/ o inferiore della coppia; e solidarizzare nuovamente tali guide superiore e/o inferiore, bring the upper and / or lower guides of the pair closer together; and re-solidify these upper and / or lower guides,

così da regolare la prima lunghezza della prima porzione terminale delle sonde di contatto mediante variazione della lunghezza della zona d’aria e conseguente spostamento delle sonde di contatto verso il dispositivo da testare per ripristinare un corretto funzionamento della testa di misura. so as to adjust the first length of the first terminal portion of the contact probes by varying the length of the air zone and consequently moving the contact probes towards the device to be tested to restore correct operation of the measuring head.

In particolare, la fase di rimozione può comprendere uno sfilaggio dello spacer o di uno degli strati che lo compongono. In particular, the removal step can comprise a removal of the spacer or of one of the layers that compose it.

Le caratteristiche ed i vantaggi della testa di misura secondo l'invenzione risulteranno dalla descrizione, fatta qui di seguito, di un suo esempio di realizzazione dato a titolo indicativo e non limitativo con riferimento ai disegni allegati. The characteristics and advantages of the measuring head according to the invention will result from the description, made below, of an embodiment thereof, given by way of non-limiting example with reference to the attached drawings.

Breve descrizione dei disegni Brief description of the drawings

In tali disegni: In such drawings:

la Figura 1: mostra schematicamente una scheda di misura di dispositivi elettronici, in particolare integrati su wafer, realizzata secondo la tecnica nota; Figure 1: schematically shows a measurement board for electronic devices, in particular integrated on wafers, made according to the known art;

la Figura 2: mostra schematicamente in una vista in sezione una scheda di misura comprendente una testa di misura, realizzata secondo una forma di realizzazione dell’invenzione; Figure 2: schematically shows in a sectional view a measurement board comprising a measurement head, made according to an embodiment of the invention;

le Figure 3A-3C, 4A-4C, 5A-5D: mostrano schematicamente rispettive viste in sezione di una scheda di misura comprendente varianti della testa di misura realizzata secondo l’invenzione; Figures 3A-3C, 4A-4C, 5A-5D: schematically show respective sectional views of a measurement board comprising variants of the measurement head made according to the invention;

la Figura 6: mostra schematicamente una vista dall’alto della scheda di misura secondo l’invenzione; Figure 6: schematically shows a top view of the measurement board according to the invention;

le Figure 7A-7D mostrano schematicamente in rispettive viste dall’alto varianti di realizzazione di un particolare della testa di misura realizzata secondo l’invenzione; e Figures 7A-7D schematically show in respective top views variants of realization of a detail of the measuring head made according to the invention; And

le Figure 8A-8D mostrano schematicamente in rispettive viste dall’alto ulteriori varianti di realizzazione di un particolare della testa di misura realizzata secondo l’invenzione . Figures 8A-8D schematically show in respective top views further variants of realization of a detail of the measuring head made according to the invention.

Descrizione dettagliata Detailed description

Con riferimento a tali ligure, ed in particolare alla Figura 2, con 20 è complessivamente indicata una scheda di misura realizzata secondo l’invenzione. With reference to these Ligurians, and in particular to Figure 2, 20 indicates a measurement card made according to the invention.

E' opportuno notare che le figure rappresentano viste schematiche e non sono disegnate in scala, ma sono invece disegnate in modo da enfatizzare le caratteristiche importanti dell’invenzione. It should be noted that the figures represent schematic views and are not drawn to scale, but are instead designed in such a way as to emphasize the important features of the invention.

Si sottolinea inoltre che accorgimenti mostrati con riferimento ad una particolare forma di realizzazione possono essere ovviamente utilizzati in combinazione con altre forme di realizzazione. Inoltre, gli stessi riferimenti numerali sono utilizzati nelle diverse ligure per indicare elementi strutturalmente e funzionalmente corrispondenti. It is also emphasized that the measures shown with reference to a particular embodiment can obviously be used in combination with other embodiments. Furthermore, the same numeral references are used in the various Ligurians to indicate structurally and functionally corresponding elements.

La scheda di misura 20 comprende una testa di misura 21, a sua volta includente una pluralità di sonde di contatto 22 alloggiate in opportuni fori guida di rispettivi supporti superiore 23 ed inferiore 24, piastriformi e paralleli. La testa di misura 21 comprende altresì un elemento di contenimento o case 25 esteso tra il supporto superiore 23 ed il supporto inferiore 24, in corrispondenza di una zona d’aria o zona di flessione 26 dove le sonde di contatto 22 possono ulteriormente deformarsi in occasione del contatto premente delle sonde sul dispositivo da testare 27. The measuring card 20 comprises a measuring head 21, in turn including a plurality of contact probes 22 housed in suitable guide holes of respective upper 23 and lower 24, plate-like and parallel supports. The measuring head 21 also comprises a containment element or case 25 extended between the upper support 23 and the lower support 24, in correspondence with an air zone or bending zone 26 where the contact probes 22 can further deform on occasion of the pressure contact of the probes on the device to be tested 27.

La testa di misura 21 illustrata è infatti del tipo "a piastre shiftate” e i supporti superiore 23 e inferiore 24 sono opportunamente shiftati, le sonde di contatto 22 alloggiate nei rispettivi fori guida di tali guide essendo quindi predeformate e subendo, in occasione del contatto tra testa di misura 21 e dispositivo da testare 27, una ulteriore flessione e deformazione. The measuring head 21 illustrated is in fact of the "shifted plate" type and the upper 23 and lower 24 supports are suitably shifted, the contact probes 22 housed in the respective guide holes of these guides being therefore pre-deformed and undergoing, upon contact between measuring head 21 and device to be tested 27, a further bending and deformation.

In particolare, la testa di misura 21 illustrata in Figura 2 è del tipo a sonde verticali non vincolate e le sonde di contatto 22 presentano ciascuna rispettive porzioni terminali 21A e 21B atte a realizzare un contatto meccanico ed elettrico con rispettivi pad di contatto; in particolare una prima porzione terminale 2 1A termina con una punta di contatto 22A atta ad andare in battuta su un pad di contatto 27A del dispositivo da testare 27, mentre una seconda porzione terminale 21B termina con una testa di contatto 22B atta ad andare in battuta su un pad di contatto 28 A di uno strato di trasformazione spaziale o space transformer 28. In tal modo, le sonde di contatto 22 effettuano il contatto meccanico ed elettrico fra il dispositivo da testare 27 ed una apparecchiatura di test (non rappresentata) di cui la scheda di misura 20 forma un elemento terminale. Con il termine “porzione terminale<,>’ si intende, qui e nel seguito, una parte delle sonde di contatto 22 che sporge rispetto, alle guide e quindi al case 25, in particolare in direzione del dispositivo da testare 27 o dello space transformer 28, rispettivamente. Inoltre, come in precedenza sottolineato, con il termine punta si indica una porzione d’estremità, non necessariamente appuntita. In particular, the measuring head 21 illustrated in Figure 2 is of the type with unconstrained vertical probes and the contact probes 22 each have respective terminal portions 21A and 21B suitable for making a mechanical and electrical contact with respective contact pads; in particular, a first terminal portion 2 1A ends with a contact tip 22A suitable for striking a contact pad 27A of the device to be tested 27, while a second terminal portion 21B ends with a contact head 22B suitable for striking on a contact pad 28 A of a spatial transformation layer or space transformer 28. In this way, the contact probes 22 effect the mechanical and electrical contact between the device to be tested 27 and a test apparatus (not shown) of which the measurement board 20 forms a terminal element. The term "terminal portion <,> 'means, here and in the following, a part of the contact probes 22 which protrudes with respect to the guides and therefore to the case 25, in particular in the direction of the device to be tested 27 or of the space transformer 28, respectively. Furthermore, as previously pointed out, the term tip indicates an extremity portion, not necessarily pointed.

La prima porzione terminale 2 1A delle sonde di contatto 22 in corrispondenza della punta di contatto 22A si estende in una prima zona 29A tra il supporto inferiore 24 ed il dispositivo da testare 27; in particolare, la punta di contatto 22A sporge di una opportuna prima lunghezza LA rispetto al supporto inferiore 24 della testa di misura 2 1 , con riferimento ad un piano ideale determinato dal dispositivo da testare 27, corrispondente alla lunghezza della prima zona 29A quando la testa di misura 21 è in contatto premente sul dispositivo da testare 27. Tale prima zona 29 A consente un movimento delle punte di contatto 22A delle sonde di contatto 22 sui pad di contatto 27A del dispositivo da testare 27 durante il funzionamento della testa di misura 21 e della scheda di misura 20 che la comprende e viene quindi indicata come zona di scrub 29A. The first terminal portion 2 1A of the contact probes 22 at the contact tip 22A extends into a first zone 29A between the lower support 24 and the device 27 to be tested; in particular, the contact tip 22A protrudes by a suitable first length LA with respect to the lower support 24 of the measuring head 2 1, with reference to an ideal plane determined by the device to be tested 27, corresponding to the length of the first zone 29A when the head measuring device 21 is in pressing contact on the device to be tested 27. This first zone 29 A allows movement of the contact tips 22A of the contact probes 22 on the contact pads 27A of the device to be tested 27 during operation of the measuring head 21 and of the measurement card 20 which includes it and is therefore indicated as scrub zone 29A.

Analogamente, la seconda porzione terminale 21B delle sonde di contatto 22 in corrispondenza della testa di contatto 22B si estende in una seconda zona 29B tra il supporto superiore 23 della testa di misura 2 1 e lo space transformer 28; in particolare, la seconda porzione terminale 21B sporge di una opportuna seconda lunghezza LB rispetto a tale supporto superiore 23, con riferimento ad un piano ideale determinato dallo space transformer 28, tale seconda lunghezza LB corrispondendo alla lunghezza della seconda zona 29B, quando la testa di misura 21 è in contatto premente con lo space transformer 28, in modo analogo al dispositivo da testare 27. Tale seconda zona 29B consente un movimento delle teste di contatto 22B delle sonde di contatto 22 durante il funzionamento della testa di misura 21 e della scheda di misura 20 che la comprende e viene quindi indicata come zona di floating 29B. Similarly, the second terminal portion 21B of the contact probes 22 at the contact head 22B extends into a second zone 29B between the upper support 23 of the measuring head 2 1 and the space transformer 28; in particular, the second terminal portion 21B protrudes by a suitable second length LB with respect to this upper support 23, with reference to an ideal plane determined by the space transformer 28, this second length LB corresponding to the length of the second zone 29B, when the head of measure 21 is in pressing contact with the space transformer 28, in a similar way to the device to be tested 27. This second zone 29B allows a movement of the contact heads 22B of the contact probes 22 during operation of the measuring head 21 and of the control board measure 20 which includes it and is therefore indicated as floating zone 29B.

Si sottolinea che la prima porzione terminale 21A riduce la sua lunghezza LA man mano la testa di misura 21 viene utilizzata in virtù dei passaggi su panno abrasivo delle sue punte, come spiegato in relazione alla tecnica nota. Sostanzialmente, la prima porzione terminale 21A si consuma durante ogni operazione di pulizia della relativa punta di contatto 22A. It is emphasized that the first terminal portion 21A reduces its length LA as the measuring head 21 is used by virtue of the passages on an abrasive cloth of its tips, as explained in relation to the known art. Basically, the first terminal portion 21A is consumed during each cleaning operation of the relative contact tip 22A.

Nel caso di teste di misura con sonde verticali del tipo “buckling beam” come illustrato in Figura 2, le sonde di contatto 22 presentano inoltre problemi di attrito all’interno dei rispettivi fori guida, cosa che può rendere difficoltoso o addirittura impedire lo scorrimento delle sonde al loro interno. In the case of measuring heads with vertical probes of the "buckling beam" type as shown in Figure 2, the contact probes 22 also have friction problems inside their respective guide holes, which can make it difficult or even prevent the sliding of the probes inside them.

Opportunamente secondo la presente invenzione, l’utilizzo di una pluralità di guide, preferibilmente due, tra loro parallele per formare almeno uno dei supporti superiore e/o inferiore della testa permette di ridurre anche questi problemi di attrito. Conveniently according to the present invention, the use of a plurality of guides, preferably two, parallel to each other to form at least one of the upper and / or lower supports of the head also reduces these friction problems.

Nel caso illustrato in Figura 2, la testa di misura 21 comprende quindi almeno un supporto superiore 23 comprendente una prima guida superiore 23A ed una seconda guida superiore 23B, piastriformi e parallele, separate da almeno una zona d’aria 40 avente un’altezza Ls ed un supporto inferiore 24 comprendente una singola guida inferiore, sempre indicata con 24, aventi rispettivi fori guida entro i quali scorrono le sonde di contatto 22. Tra la seconda guida superiore 23B e la guida inferiore 24 è definita la zona di flessione 26 dove le sonde di contatto 22 possono ulteriormente deformarsi in occasione del contatto premente sonde della testa di misura 21 sul dispositivo da testare 27. In the case illustrated in Figure 2, the measuring head 21 therefore comprises at least one upper support 23 comprising a first upper guide 23A and a second upper guide 23B, plate-like and parallel, separated by at least one air zone 40 having a height Ls and a lower support 24 comprising a single lower guide, always indicated with 24, having respective guide holes within which the contact probes 22 slide. The bending zone 26 is defined between the second upper guide 23B and the lower guide 24. contact probes 22 can further deform on the occasion of the contact pressing probes of the measuring head 21 on the device to be tested 27.

Come già indicato, durante le operazioni di testing effettuate dalla scheda di misura 20, ovvero quando la testa di misura 21 è in contatto premente sul dispositivo da testare 27 e sullo space transformer 28, le sonde di contatto 22 si flettono in corrispondenza della zona di flessione 26, che si estende tra la seconda guida superiore 23B e la guida inferiore 24 ed ha una ulteriore lunghezza L, corrispondente all’altezza del case 25. As already indicated, during the testing operations carried out by the measurement board 20, i.e. when the measurement head 21 is in pressing contact on the device to be tested 27 and on the space transformer 28, the contact probes 22 flex in correspondence with the flexion 26, which extends between the second upper guide 23B and the lower guide 24 and has a further length L, corresponding to the height of the case 25.

Vantaggiosamente secondo l’invenzione, nella forma di realizzazione illustrata schematicamente in Figura 2, la testa di misura 21 comprende inoltre almeno un elemento distanziatore o spacer 30 disposto tra coppie di guide corrispondenti del supporto superiore e/o del supporto inferiore. In particolare, nel caso illustrato in Figura 2, tale spacer 30 è disposto tra la prima e la seconda guida superiore 23A, 23B del supporto superiore 23, in corrispondenza della zona d’aria 40, ed ha una altezza H sostanzialmente corrispondente alla lunghezza Ls di tale zona d’aria 40, in particolare inferiore o uguale a tale lunghezza Ls (H ≤ Ls). Più in particolare, la testa di misura 21 comprende almeno una coppia di spacer 30 disposti da parti opposte della testa di misura 21, come illustrato in Figura 2. Advantageously according to the invention, in the embodiment schematically illustrated in Figure 2, the measuring head 21 also comprises at least one spacer element or spacer 30 arranged between pairs of corresponding guides of the upper support and / or the lower support. In particular, in the case illustrated in Figure 2, this spacer 30 is arranged between the first and second upper guides 23A, 23B of the upper support 23, in correspondence with the air zone 40, and has a height H substantially corresponding to the length Ls of this air zone 40, in particular less than or equal to this length Ls (H ≤ Ls). More particularly, the measuring head 21 comprises at least one pair of spacers 30 arranged on opposite sides of the measuring head 21, as illustrated in Figure 2.

Più in generale, la testa di misura 2 1 comprende una pluralità di spacer 30 disposti tra la prima e la seconda guida superiore 23A, 23B del supporto superiore 23. More generally, the measuring head 2 1 comprises a plurality of spacers 30 arranged between the first and second upper guides 23A, 23B of the upper support 23.

Tali spacer 30 possono essere realizzati ad esempio in materiale plastico, eventualmente trasparente o semitrasparente, in materiale ceramico, in materiale metallico, in materiale organico o in silicio, preferibilmente in Kapton®. Such spacers 30 can be made for example of plastic material, optionally transparent or semitransparent, of ceramic material, of metallic material, of organic material or of silicon, preferably of Kapton®.

Inoltre, gli spacer 30 possono essere realizzati in modo da avere porzioni sporgenti 300 rispetto alla testa di misura 21, così da facilitare l’afferraggio e la rimozione degli spacer stessi, una volta rimossa la testa di misura 21 dalla scheda di misura 20 e quindi svincolata dallo space transformer 28, come sarà chiarito in seguito. Furthermore, the spacers 30 can be made in such a way as to have protruding portions 300 with respect to the measuring head 21, so as to facilitate the gripping and removal of the spacers themselves, once the measuring head 21 has been removed from the measuring card 20 and therefore released from space transformer 28, as will be clarified later.

Opportunamente, gli spacer 30 comprendono uno o più strati sovrapposti o alineati tra loro e singolarmente rimovibili o pelabili; gli strati che compongono gli spacer 30 possono semplicemente essere appoggiati gli uni sugli altri o eventualmente solidarizzati tra loro mediante opportuni mezzi, ad esempio un materiale adesivo, quale una colla, in particolare con ridotta tenuta, così da consentire in maniera agevole la separazione degli strati l’uno dall’altro. La testa di misura 21 di Figura 2 comprende spacer 30 composti da tre strati, indicati come 30a, 30b e 30c, a solo titolo di esempio non limitativo, gli spacer 30 potendo comprendere un numero qualsivoglia di strati, eventualmente anche uno solo. Preferibilmente, gli strati 30a-30c hanno spessore uguale, la somma degli spessori di tutti gli strati 30a-30c determinando l’altezza H dello spacer 30. Conveniently, the spacers 30 comprise one or more layers superimposed or aligned with each other and individually removable or peelable; the layers that make up the spacers 30 can simply be placed one on top of the other or possibly joined together by suitable means, for example an adhesive material, such as a glue, in particular with reduced strength, so as to allow the separation of the layers in an easy way from each other. The measuring head 21 of Figure 2 comprises spacers 30 composed of three layers, indicated as 30a, 30b and 30c, by way of non-limiting example only, the spacers 30 being able to comprise any number of layers, possibly even just one. Preferably, the layers 30a-30c have the same thickness, the sum of the thicknesses of all the layers 30a-30c determining the height H of the spacer 30.

Ovviamente, è possibile considerare strati aventi spessore diverso l’uno rispetto all’altro, la somma degli spessori di tutti gli strati comunque determinando l’altezza H dello spacer 30. Opzionalmente, film di materiale adesivo, in particolare a bassa tenuta, sono interposti tra tali strati. Obviously, it is possible to consider layers having different thicknesses with respect to each other, the sum of the thicknesses of all the layers in any case determining the height H of the spacer 30. Optionally, films of adhesive material, in particular with low strength, are interposed between those layers.

Vantaggiosamente secondo la presente invenzione, la testa di misura 2 1 dotata di spacer 30 come sopra descritto consente di regolare la lunghezza LA delle porzioni terminali 21A delle sonde di contatto 22 mediante variazione della lunghezza Ls della zona d’aria 40 tra coppie di guide, ad esempio la prima e la seconda guida superiore 23A, 23B come illustrato in figura, superando così il problema del consumo delle punte di contatto 22A nel corso della vita della testa di misura 21, l’utilizzo di almeno un supporto superiore e/o inferiore formato da una coppia di guide migliorando inoltre lo scorrimento delle sonde di contatto 22. Advantageously according to the present invention, the measuring head 2 1 equipped with spacer 30 as described above allows to adjust the length LA of the end portions 21A of the contact probes 22 by varying the length Ls of the air zone 40 between pairs of guides, for example the first and second upper guides 23A, 23B as illustrated in the figure, thus overcoming the problem of the consumption of the contact tips 22A during the life of the measuring head 21, the use of at least one upper and / or lower support formed by a pair of guides also improving the sliding of the contact probes 22.

E’ in particolare possibile procedere alla rimozione di uno solo o di più strati degli spacer 30 per una desiderata regolazione della lunghezza LA delle prime porzioni terminali 21A delle sonde di contatto 22, mediante variazione della lunghezza Ls della zona d’aria 40 tra coppie di guide, anche in modo fine. Opportunamente, è possibile rimuovere la testa di misura 2 1 dalla scheda di misura 20, sfilare uno o più degli strati che compongono tali spacer 30 e successivamente rimontare la testa di misura 21 sullo space transformer 28, riassemblando così la scheda di misura 20: la rimozione di uno o più degli strati degli spacer 30 riduce l’altezza H degli spacer 30 stessi, avvicinando le guide comprese nel supporto superiore e/o inferiore 23, 24, e quindi spinge le sonde di contatto 22 verso il dispositivo da testare 27 quando lo space transformer 28 è riposizionato sulla testa di misura 21, ovvero ripristina la prima lunghezza LA della prima porzione terminale 21A di tali sonde, lunghezza che si era accorciata per il consumo delle sonde di contatto 22 in corrispondenza delle rispettive punte di contatto 22A. In particular, it is possible to remove one or more layers of the spacers 30 for a desired adjustment of the length LA of the first terminal portions 21A of the contact probes 22, by varying the length Ls of the air zone 40 between pairs of guides, even in a fine way. Conveniently, it is possible to remove the measurement head 2 1 from the measurement board 20, remove one or more of the layers that make up these spacers 30 and then reassemble the measurement head 21 on the space transformer 28, thus reassembling the measurement board 20: the removal of one or more of the layers of the spacers 30 reduces the height H of the spacers 30 themselves, bringing the guides included in the upper and / or lower support 23, 24 closer together, and therefore pushes the contact probes 22 towards the device to be tested 27 when the space transformer 28 is repositioned on the measuring head 21, ie it restores the first length LA of the first terminal portion 21A of these probes, a length which had been shortened due to the consumption of the contact probes 22 at the respective contact points 22A.

Si sottolinea che è usuale realizzare le teste di contatto 22B delle sonde di contatto 22 in modo da avere almeno una porzione con diametro maggiore del diametro dei fori guida superiori realizzati nella prima guida superiore 23A, così da impedire la fuoriuscita delle sonde anche in assenza di un dispositivo da testare 27 su cui tali sonde vanno in battuta, con diametro intendendo una dimensione trasversale massima di una sezione di tale porzione ortogonale ad un asse di sviluppo longitudinale della sonda di contatto, come schematicamente illustrato in Figura 3A. It is emphasized that it is usual to make the contact heads 22B of the contact probes 22 so as to have at least a portion with a diameter greater than the diameter of the upper guide holes made in the first upper guide 23A, so as to prevent the probes from coming out even in the absence of a device to be tested 27 on which said probes abut, with diameter meaning a maximum transverse dimension of a section of said portion orthogonal to a longitudinal development axis of the contact probe, as schematically illustrated in Figure 3A.

Come descritto in precedenza, la testa di misura 21 comprende un supporto superiore 23 formato da una coppia di guide 23A, 23B e lo spacer 30 disposto tra la prima guida superiore 23A e la seconda guida superiore 23B in corrispondenza della zona d’aria 40, in particolare comprendente tre strati, 30a, 30b e 30c, ed avente una altezza H inferiore o uguale alla lunghezza Ls della zona d’aria 40. As previously described, the measuring head 21 comprises an upper support 23 formed by a pair of guides 23A, 23B and the spacer 30 arranged between the first upper guide 23A and the second upper guide 23B in correspondence with the air zone 40, in particular comprising three layers, 30a, 30b and 30c, and having a height H lower than or equal to the length Ls of the air zone 40.

Opportunamente, gli strati 30a-30c degli spacer 30 possono essere realizzati in modo da avere porzioni sporgenti 300 dalla testa di misura 21. Nella variante di realizzazione illustrata in Figura 3B, tali porzioni sporgenti 300 hanno lunghezze diverse da uno strato all’altro, così da facilitare la rimozione dello stesso numero di strati per i diversi spacer 30 utilizzati. Opportunamente, tali porzioni sporgenti 300 hanno lunghezze uguali per strati corrispondenti dei diversi spacer 30, ad esempio la porzione sporgente dello strato più vicino alla prima guida superiore 23A di tutti gli spacer 30 ha una stessa lunghezza, tale lunghezza essendo comunque maggiore di quella dei successivi strati, via via più vicini alla seconda guida superiore 23B. In particolare, tali porzioni sporgenti 300 hanno lunghezza via via decrescente dallo strato più vicino alla prima guida superiore 23A a quello più vicino alla seconda guida superiore 23B. Conveniently, the layers 30a-30c of the spacers 30 can be made in such a way as to have protruding portions 300 from the measuring head 21. In the variant embodiment illustrated in Figure 3B, these protruding portions 300 have different lengths from one layer to another, thus to facilitate the removal of the same number of layers for the different spacers 30 used. Conveniently, these protruding portions 300 have equal lengths for corresponding layers of the different spacers 30, for example the protruding portion of the layer closest to the first upper guide 23A of all the spacers 30 has the same length, this length being in any case greater than that of the subsequent ones. layers, gradually closer to the second upper guide 23B. In particular, these protruding portions 300 have a length which gradually decreases from the layer closest to the first upper guide 23A to the one closest to the second upper guide 23B.

E’ altresì possibile prevedere una numerazione per tali strati 30a-30c, ad esempio con numerazione via via crescente a partire da quello più vicino alla prima guida superiore 23A, tale numerazione essendo applicata nella porzione sporgente 300 dello spacer 30, ad esempio in corrispondenza di una sua faccia Fc rivolta verso lo space transformer 28. In tal modo, guardando la testa di misura 21 dal lato dello space transformer 28, una volta rimossa la testa di misura 21 dalla scheda di misura 20, è immediatamente possibile verificare che tutti gli spacer 30 comprendono il numero desiderato di strati semplicemente leggendo tale numerazione su tutte le porzioni sporgenti 300 degli strati di tali spacer 30 più vicini alla prima guida superiore 23A e quindi allo space transformer 28. Tale numerazione può essere nella forma di un numero scritto o inciso o realizzato in rilievo o con altra tecnica su tali porzioni sporgenti 300. In alternativa, la numerazione può comprendere una pluralità di segni distintivi, quali tacche o rilievi, di qualsivoglia forma e realizzati con qualsivoglia opportuna tecnica, in numero corrispondente alla numerazione desiderata; in tal caso, ad esempio, uno strato identificato come primo strato, quale lo strato 30a di Figura 3B comprende una sola tacca o rilievo, come un pallino in rilievo; analogamente, il secondo strato 30b potrà avere due pallini in rilievo ed il terzo strato 30c, tre pallini in rilievo. It is also possible to provide a numbering for these layers 30a-30c, for example with gradually increasing numbering starting from the one closest to the first upper guide 23A, this numbering being applied in the protruding portion 300 of the spacer 30, for example in correspondence with one of its faces Fc facing the space transformer 28. In this way, looking at the measurement head 21 from the side of the space transformer 28, once the measurement head 21 has been removed from the measurement board 20, it is immediately possible to verify that all the spacers 30 comprise the desired number of layers simply by reading this numbering on all protruding portions 300 of the layers of such spacers 30 closest to the first upper guide 23A and therefore to the space transformer 28. Such numbering can be in the form of a written or engraved number or made in relief or with another technique on these protruding portions 300. Alternatively, the numbering may include a plurality of any distinctive, such as notches or reliefs, of any shape and made with any appropriate technique, in a number corresponding to the desired numbering; in this case, for example, a layer identified as the first layer, such as the layer 30a of Figure 3B, comprises a single notch or relief, such as a raised dot; similarly, the second layer 30b may have two raised pellets and the third layer 30c, three raised pellets.

E’ ovviamente possibile considerare spacer 30 con porzioni sporgenti di lunghezze via via crescenti dallo strato più vicino alla prima guida superiore 23A a quello più vicino alla seconda guida superiore 23B, come illustrato schematicamente in Figura 3C. It is obviously possible to consider spacers 30 with protruding portions of gradually increasing lengths from the layer closest to the first upper guide 23A to the one closest to the second upper guide 23B, as illustrated schematically in Figure 3C.

E’ altresì possibile applicare la numerazione agli strati 30a-3 Oc degli spacer 30 in corrispondenza di una faccia opposta Fc’ rispetto alla faccia Fc, in particolare rivolta verso la seconda guida superiore 23B. It is also possible to apply the numbering to the layers 30a-3 Oc of the spacers 30 at an opposite face Fc 'with respect to the face Fc, in particular facing the second upper guide 23B.

Le considerazioni appena fatte si possono parimenti applicare anche nel caso in cui sia il supporto inferiore 24 ad essere formato da una coppia di guide, nonché nel caso in cui entrambi i supporti lo siano, la testa di misura comprendendo una coppia di guide superiori 23A, 23B ed una coppia di guide inferiori, 24A, 24B. The considerations just made can also be applied in the case in which the lower support 24 is formed by a pair of guides, as well as in the case in which both supports are, the measuring head comprising a pair of upper guides 23A, 23B and a pair of lower guides, 24A, 24B.

Ad esempio, secondo una variante di realizzazione schematicamente illustrata in Figura 4A, la testa di misura 21 comprende un supporto superiore 23 comprendente una sola guida superiore, sempre indicata con 23, ed un supporto inferiore 24 comprendente una prima guida inferiore 24A ed una seconda guida inferiore 24B, piastriformi e parallele, separate sempre da una zona d’aria 40 avente un’altezza Ls. For example, according to a variant embodiment schematically illustrated in Figure 4A, the measuring head 21 comprises an upper support 23 comprising a single upper guide, again indicated with 23, and a lower support 24 comprising a first lower guide 24A and a second guide lower 24B, plate-like and parallel, always separated by an air zone 40 having a height Ls.

La testa di misura 21 comprende inoltre almeno uno spacer 30 disposto tra la prima guida inferiore 24A e la seconda guida inferiore 24B in corrispondenza della zona d’aria 40 ed ha una altezza H corrispondente alla lunghezza Ls di tale zona d’aria 40. Più in particolare, la testa di misura 21 comprende almeno una coppia di spacer 30 disposti da parti opposte della testa di misura 21. The measuring head 21 further comprises at least one spacer 30 arranged between the first lower guide 24A and the second lower guide 24B in correspondence with the air zone 40 and has a height H corresponding to the length Ls of this air zone 40. More in particular, the measuring head 21 comprises at least one pair of spacers 30 arranged on opposite sides of the measuring head 21.

Più in generale, la testa di misura 2 1 comprende una pluralità di spacer 30 disposti tra la prima guida inferiore 24A e la seconda guida inferiore 24B del supporto inferiore 24. More generally, the measuring head 2 1 comprises a plurality of spacers 30 arranged between the first lower guide 24A and the second lower guide 24B of the lower support 24.

Anche in tal caso, gli spacer 30 possono essere realizzati in modo da avere porzioni sporgenti 300 rispetto alla testa di misura 21, così da facilitarne l’afferraggio e la rimozione e possono comprendere uno o più strati sovrapposti e singolarmente rimovibili o pelabili, nell’esempio illustrato tre strati 30a-30c. Also in this case, the spacers 30 can be made in such a way as to have protruding portions 300 with respect to the measuring head 21, so as to facilitate its gripping and removal and can comprise one or more superimposed and individually removable or peelable layers, in the illustrated example three layers 30a-30c.

Nella variante di realizzazione illustrata in Figura 4B, gli strati 30a-30c degli spacer 30 possono essere realizzati in modo da avere porzioni sporgenti 300 dalla testa di misura 2 1 di lunghezze diverse da uno strato ad un altro di uno stesso spacer 30, in particolare via via decrescenti a partire dalla prima guida inferiore 24A, così da facilitare la rimozione dello stesso numero di strati per i diversi spacer 30 utilizzati, consentendo anche l’apposizione di una numerazione, in particolare in corrispondenza di una faccia Fc rivolta verso la prima guida inferiore 24A oppure su una faccia opposta Fc’ rivolta verso la seconda guida inferiore 24B. La numerazione può essere nella forma di un numero scritto o inciso o realizzato in rilievo o con altra tecnica su tali porzioni sporgenti 300 oppure comprendere una pluralità di segni distintivi, quali tacche o rilievi, di qualsivoglia forma e realizzati con qualsivoglia opportuna tecnica, in numero corrispondente alla numerazione desiderata. In the variant embodiment illustrated in Figure 4B, the layers 30a-30c of the spacers 30 can be made in such a way as to have portions 300 protruding from the measuring head 2 1 of different lengths from one layer to another of the same spacer 30, in particular gradually decreasing starting from the first lower guide 24A, so as to facilitate the removal of the same number of layers for the different spacers 30 used, also allowing the affixing of a numbering, in particular in correspondence with a face Fc facing the first guide 24A or on an opposite face Fc 'facing the second lower guide 24B. The numbering can be in the form of a number written or engraved or made in relief or with another technique on these protruding portions 300 or include a plurality of distinctive signs, such as notches or reliefs, of any shape and made with any appropriate technique, in number corresponding to the desired numbering.

Anche in tal caso è possibile considerare una configurazione duale con strati aventi porzioni di lunghezze via via crescenti a partire dalla prima guida inferiore 24 A, come illustrato in Figura 4C. Also in this case it is possible to consider a dual configuration with layers having portions of gradually increasing lengths starting from the first lower guide 24 A, as illustrated in Figure 4C.

Si sottolinea che tale variante di realizzazione, grazie airutilizzo di coppie di guide per realizzare il supporto inferiore 24, migliora ulteriormente lo scorrimento delle sonde proprio in corrispondenza delle porzioni terminali comprendenti le punte di contatto, diminuendo il rischio di incastro di tali sonde con raccorciamento di tali porzioni. It is emphasized that this variant of embodiment, thanks to the use of pairs of guides to make the lower support 24, further improves the sliding of the probes precisely in correspondence with the end portions comprising the contact tips, decreasing the risk of interlocking of these probes with shortening of such portions.

Secondo una ulteriore variante di realizzazione illustrata in Figura 5 A, la testa di misura 21 comprende un supporto superiore 23 comprendente una prima guida superiore 23A ed una seconda guida superiore 23B ed un supporto inferiore 24 comprendente una prima guida inferiore 24A ed una seconda guida inferiore 24B, piastriformi e parallele, separate sempre da rispettive zone d’aria 40u, 40d. According to a further variant embodiment illustrated in Figure 5A, the measuring head 21 comprises an upper support 23 comprising a first upper guide 23A and a second upper guide 23B and a lower support 24 comprising a first lower guide 24A and a second lower guide 24B, plate-like and parallel, always separated by respective air zones 40u, 40d.

La testa di misura 2 1 comprende inoltre almeno una coppia di spacer 30u e 30d, ciascuno disposto tra le coppie di guide corrispondenti. In particolare, uno spacer superiore 30u è disposto tra la prima guida superiore 23A e la seconda guida superiore 23B del supporto superiore 23 in corrispondenza di una zona d’aria superiore 40u ed ha una altezza H, sostanzialmente corrispondente, in particolare inferiore o uguale alla lunghezza Lsu di tale zona d’aria superiore 40u; analogamente, uno spacer inferiore 30d è disposto tra la prima guida inferiore 24A e la seconda guida inferiore 24B in corrispondenza di una zona d’aria inferiore 40d ed ha una altezza HI sostanzialmente corrispondente, in particolare inferiore o uguale alla lunghezza Lsd di tale zona d’aria inferiore 40d. The measuring head 2 1 also comprises at least one pair of spacers 30u and 30d, each arranged between the pairs of corresponding guides. In particular, an upper spacer 30u is arranged between the first upper guide 23A and the second upper guide 23B of the upper support 23 in correspondence with an upper air zone 40u and has a substantially corresponding height H, in particular lower than or equal to length Lsu of this upper air zone 40u; similarly, a lower spacer 30d is arranged between the first lower guide 24A and the second lower guide 24B in correspondence with a lower air zone 40d and has a substantially corresponding height HI, in particular lower than or equal to the length Lsd of this zone d lower air 40d.

Anche in tal caso, gli spacer 30 possono essere realizzati in modo da avere porzioni sporgenti rispetto alla testa di misura 21, così da facilitarne l’afferraggio e la rimozione e in modo da comprendere uno o più strati sovrapposti e singolarmente rimovibili o pelabili, in particolare tre strati 30a-30c. Also in this case, the spacers 30 can be made in such a way as to have protruding portions with respect to the measuring head 21, so as to facilitate its gripping and removal and in such a way as to comprise one or more superimposed and individually removable or peelable layers, in particular three layers 30a-30c.

Nelle varianti di realizzazione illustrate nelle Figure 5B e 5C, gli strati 30a-30c degli spacer possono essere realizzati in modo da avere porzioni sporgenti dalla testa di misura 2 1 di lunghezze diverse da uno strato ad un altro di uno stesso spacer 30. Nelle varianti illustrate, tali porzioni sporgenti hanno lunghezze via via decrescenti, rispettivamente crescenti, a partire dalla prima guida superiore 23A o dalla prima guida inferiore 24A verso la seconda guida superiore 23B o la seconda guida inferiore 24B. In the embodiments illustrated in Figures 5B and 5C, the layers 30a-30c of the spacers can be made in such a way as to have portions projecting from the measuring head 2 1 of different lengths from one layer to another of the same spacer 30. In the variants shown, these protruding portions have gradually decreasing, respectively increasing lengths, starting from the first upper guide 23A or from the first lower guide 24A towards the second upper guide 23B or the second lower guide 24B.

Come per le forme di realizzazione precedentemente descritte, è altresì possibile prevedere di applicare una numerazione in corrispondenza della porzione sporgente dello spacer, così da facilitare la rimozione dello stesso numero di strati per i diversi spacer 30 utilizzati, in particolare in corrispondenza di una loro faccia Fc rivolta verso la prima guida superiore 23A o inferiore 24A oppure su ima faccia opposta Fc’ rivolta verso la seconda guida superiore 23B o inferiore 24B. La numerazione può essere nella forma di un numero scritto o inciso o realizzato in rilievo o con altra tecnica su tali porzioni sporgenti 300 oppure comprendere una pluralità di segni distintivi, quali tacche o rilievi, di qualsivoglia forma e realizzati con qualsivoglia opportuna tecnica, in numero corrispondente alla numerazione desiderata. As for the embodiments described above, it is also possible to provide for applying a numbering in correspondence with the protruding portion of the spacer, so as to facilitate the removal of the same number of layers for the different spacers 30 used, in particular in correspondence with one of their faces. Fc facing the first upper guide 23A or lower 24A or on an opposite face Fc 'facing the second upper guide 23B or lower 24B. The numbering can be in the form of a number written or engraved or made in relief or with another technique on these protruding portions 300 or include a plurality of distinctive signs, such as notches or reliefs, of any shape and made with any appropriate technique, in number corresponding to the desired numbering.

E’ ovviamente possibile utilizzare spacer di configurazione differente tra la prima e seconda guida superiore 23A, 23B rispetto a quelli tra la prima e seconda guida inferiore 24A, 24B, come schematicamente illustrato in Figura 5D, dove, a titolo esemplificativo e non limitativo, gli strati 30a-30c degli spacer 30u tra la prima e seconda guida superiore 23A, 23B hanno porzioni sporgenti di lunghezze diverse, in particolare via via decrescenti a partire dalla prima guida superiore 23A verso la seconda guida superiore 23B mentre gli strati degli spacer 30d tra la prima e seconda guida inferiore 24A, 24B hanno porzioni sporgenti di uguale lunghezza da uno strato con Taltro . Configurazioni asimmetriche o duali sono ugualmente possibili. It is obviously possible to use spacers of different configuration between the first and second upper guides 23A, 23B compared to those between the first and second lower guides 24A, 24B, as schematically illustrated in Figure 5D, where, by way of non-limiting example, the layers 30a-30c of the spacers 30u between the first and second upper guides 23A, 23B have protruding portions of different lengths, in particular gradually decreasing starting from the first upper guide 23A towards the second upper guide 23B while the layers of the spacers 30d between the first and second lower guides 24A, 24B have protruding portions of equal length from one layer with the other. Asymmetrical or dual configurations are equally possible.

Si sottolinea che la presenza di spacer superiori ed inferiori consente il massimo grado di libertà nella regolazione della lunghezza LA della porzione terminale 21A comprendente la punta di contatto 22A, una tale regolazione potendo essere fatta simmetricamente o asimmetricamente dai due lati della testa di misura 21, eventualmente anche modificando l’inclinazione tra le guide dei supporti. It is emphasized that the presence of upper and lower spacers allows the maximum degree of freedom in the adjustment of the length LA of the terminal portion 21A comprising the contact tip 22A, such an adjustment being able to be made symmetrically or asymmetrically by the two sides of the measuring head 21, possibly also by changing the inclination between the guides of the supports.

Si sottolinea inoltre che tutte le forme di realizzazione illustrate della testa di misura secondo la presente invenzione consentono una regolazione della lunghezza della porzione terminale delle sonde di contatto comprendente le punte di contatto e quindi soggetta a consumo, mediante variazione della lunghezza della zona d’aria tra coppie di guide, senza modificare la lunghezza della zona di flessione delle sonde stesse e quindi la dinamica di movimento delle stesse, in particolare in termini di forza applicata e di scrub. It is also emphasized that all the illustrated embodiments of the measuring head according to the present invention allow an adjustment of the length of the terminal portion of the contact probes comprising the contact tips and therefore subject to wear, by varying the length of the air zone between pairs of guides, without changing the length of the bending area of the probes themselves and therefore the dynamics of movement of the same, in particular in terms of applied force and scrub.

Ulteriormente, per la scheda di misura 20 che comprende tale testa di misura 21 risulta opportunamente garantito il mantenimento costante della zona di floating 29B per le teste di contatto 22B delle sonde di contatto 22, così da assicurare un costante e corretto contatto con lo space transformer 28, contatto effettuato proprio da tali teste di contatto 22B che vanno in battuta sui pad di contatto 28A dello space transformer 28. Infatti, pur consentendo la regolazione della lunghezza LA della porzione terminale 21A comprendente la punta di contatto 22A delle sonde di contatto 22, la scheda di misura 20 secondo la presente invenzione presenta una zona di floating 29B di lunghezza costante ed invariata in occasione di tale regolazione. Furthermore, for the measurement board 20 which includes this measurement head 21, the constant maintenance of the floating zone 29B for the contact heads 22B of the contact probes 22 is suitably guaranteed, so as to ensure constant and correct contact with the space transformer. 28, contact made precisely by these contact heads 22B which abut on the contact pads 28A of the space transformer 28. In fact, while allowing the adjustment of the length LA of the terminal portion 21A comprising the contact tip 22A of the contact probes 22, the measurement card 20 according to the present invention has a floating zone 29B of constant length and unchanged during this adjustment.

La scheda di misura 20 comprende altresì rispettivi mezzi di trattenimento 32, atti a solidarizzare i diversi componenti di tale scheda, in particolare la coppia di guide del supporto superiore e/o inferiore, nonché gli spacer 30, dotati a tal scopo di opportune sedi di alloggiamento per i mezzi di trattenimento 32. Tali mezzi di trattenimento 32 possono altresì essere utilizzati per solidarizzare lo space transformer 28 e il case 25. The measurement card 20 also comprises respective holding means 32, suitable for integrating the various components of this card, in particular the pair of guides of the upper and / or lower support, as well as the spacers 30, equipped for this purpose with suitable seats of housing for the holding means 32. These holding means 32 can also be used to solidify the space transformer 28 and the case 25.

Come illustrato in Figura 6, dove la scheda di misura 20 è mostrata dal lato dello space transformer 28, con lo stesso in trasparenza, i mezzi di trattenimento 32 sono disposti sostanzialmente lungo una porzione perimetrale 40P del supporto superiore 23 (eventualmente della prima guida superiore 23 A) di forma essenzialmente anulare. Nell’esempio illustrato, la scheda di misura 20 comprende spacer realizzati sostanzialmente a paletta in corrispondenza di vertici del supporto superiore 23 di forma sostanzialmente rettangolare. Sono altresì presenti ulteriori mezzi di trattenimento 32’ posizionati in una porzione centrale 40C del supporto superiore 23, contigua e concentrica alla porzione perimetrale 40P. I mezzi di trattenimento 32, 32’ possono essere ad esempio realizzati mediante viti, in particolare a testa piatta, alloggiate in rispettivi fori filettati. As shown in Figure 6, where the measurement board 20 is shown from the side of the space transformer 28, with the same in transparency, the holding means 32 are arranged substantially along a perimeter portion 40P of the upper support 23 (possibly of the first upper guide 23 A) essentially annular in shape. In the example illustrated, the measurement board 20 comprises spacers made substantially in a vane shape at the vertices of the upper support 23 with a substantially rectangular shape. There are also further retaining means 32 'positioned in a central portion 40C of the upper support 23, contiguous and concentric to the perimeter portion 40P. The retaining means 32, 32 'can be made for example by means of screws, in particular with flat heads, housed in respective threaded holes.

E’ ovviamente possibile prevedere diverse configurazioni per gli spacer 30, che possono essere disposti in numero diverso, in maniera simmetrica o meno ed in diverse posizioni rispetto a quelle illustrate in Figura 6. It is obviously possible to provide different configurations for the spacers 30, which can be arranged in different numbers, symmetrically or not and in different positions with respect to those shown in Figure 6.

E’ altresì possibile utilizzare un ulteriore film adesivo per associare lo spacer 30 al supporto superiore 23 o al supporto inferiore 24, in particolare ad una delle guide in essi comprese, evitando così che lo spacer stesso sia attraversato dai mezzi di trattenimento 32, 321 It is also possible to use an additional adhesive film to associate the spacer 30 with the upper support 23 or with the lower support 24, in particular with one of the guides included therein, thus avoiding that the spacer itself is crossed by the holding means 32, 321

In una forma di realizzazione particolarmente semplificata, gli spacer 30 sono solamente appoggiati ad una guida della coppia di guide del supporto superiore e/o inferiore 23, 24, la loro tenuta in posizione essendo garantita dalla chiusura delle guide una sull’altra durante il normale funzionamento della testa di misura 21. Anche nel caso in cui gli spacer 30 siano formati da una pluralità di strati 30a-30c, è possibile semplicemente sovrapporli gli uni agli altri su una guida di tali supporti superiore e/o inferiore 23, 24, gli strati 30a~30c sovrapposti essendo poi mantenuti in posizione grazie alla pressione esercitata dalla chiusura delle guide una sull'altra. In a particularly simplified embodiment, the spacers 30 rest only on a guide of the pair of guides of the upper and / or lower support 23, 24, their holding in position being ensured by the closing of the guides one over the other during normal operation. operation of the measuring head 21. Even if the spacers 30 are formed by a plurality of layers 30a-30c, it is possible to simply superimpose them on one another on a guide of these upper and / or lower supports 23, 24, the layers 30a ~ 30c superimposed being then kept in position thanks to the pressure exerted by the closing of the guides one on the other.

Uno spacer 30 può avere convenientemente la forma di una paletta, come illustrato schematicamente in Figura 7A. A spacer 30 may conveniently have the shape of a vane, as schematically illustrated in Figure 7A.

In particolare, in tal caso, lo spacer 30 comprende un corpo allungato 33 ed una testa 34, ad esempio circolare, eventualmente recante un foro 35 avente dimensioni adatte ad essere attraversato dai mezzi di trattenimento 32, 32’. Una tale forma degli spacer 30 risulta particolarmente vantaggiosa, garantendo un facile afferraggio degli spacer in corrispondenza del corpo allungato 33 al momento della rimozione degli stessi. Tale corpo allungato 33 risulta infatti sporgere rispetto alla testa di misura 21, in particolare al supporto superiore 23 e/o inferiore 24. Inoltre, le maggiori dimensioni della testa 34 rispetto al corpo allungato 33 garantiscono una buona ripartizione del carico pressorio in occasione del serraggio del corrispondente mezzo di trattenimento 32, 32’. In particular, in this case, the spacer 30 comprises an elongated body 33 and a head 34, for example circular, possibly bearing a hole 35 having dimensions suitable to be crossed by the holding means 32, 32 '. Such a shape of the spacers 30 is particularly advantageous, ensuring easy gripping of the spacers in correspondence with the elongated body 33 when they are removed. This elongated body 33 is in fact protruding with respect to the measuring head 21, in particular to the upper 23 and / or lower support 24. Furthermore, the larger dimensions of the head 34 with respect to the elongated body 33 ensure a good distribution of the pressure load during tightening. of the corresponding holding means 32, 32 '.

E’ altresì possibile realizzare gli spacer 30 come linguette 36 sostanzialmente rettangolari, opportunamente dotate di fori 35 per consentire il passaggio dei mezzi di trattenimento 32, 32’, come schematicamente illustrato in Figura 7B. It is also possible to make the spacers 30 as substantially rectangular tabs 36, suitably equipped with holes 35 to allow the passage of the holding means 32, 32 ', as schematically illustrated in Figure 7B.

Le forme di realizzazione a palette o linguette definiscono spacer 30 di forma allungata sostanzialmente rettangolare, ed in particolare aventi una dimensione molto maggiore dell’altra. Tali spacer 30 hanno comunque una estensione superficiale inferiore rispetto ai supporti 23, 24 ed alle copie di guide che li formano, eventualmente, in particolare molto inferiore rispetto ad una intera scheda (board) o strato della testa di misura 2 1. The embodiments with blades or tabs define spacers 30 having an elongated substantially rectangular shape, and in particular having a much larger size than the other. However, these spacers 30 have a smaller surface extension than the supports 23, 24 and the copies of guides which form them, possibly, in particular much less than an entire board or layer of the measuring head 2 1.

Gli spacer 30 realizzati mediante palette o linguette sono molto semplici costruttivamente e consentono di prevedere una distribuzione degli stessi nelle posizioni desiderate rispetto alla testa di misura 21 ed allo space transformer 28, in virtù della loro dimensione trasversale contenuta nonché un corretto afferramento degli stessi in virtù della loro dimensione longitudinale allungata che sporge rispetto alla testa di misura 2 1. The spacers 30 made by means of vanes or tabs are very simple in construction and allow them to be distributed in the desired positions with respect to the measuring head 21 and the space transformer 28, by virtue of their limited transverse dimension as well as a correct grasping of the same by virtue of their elongated longitudinal dimension which protrudes from the measuring head 2 1.

In alternativa, gli spacer 30 possono essere realizzati mediante coppie di semicomici o semi fra me 301 e 30r, estese sostanzialmente lungo lati opposti e paralleli della testa di misura 21 e in particolare del supporto superiore 23 e/o del supporto inferiore 24, eventualmente dotate di fori 35 per il passaggio dei mezzi di trattenimento 32 nelle posizioni previste per la scheda di misura 20, come schematicamente illustrato in Figura 7C. Tali semiframe che realizzano gli spacer 30 possono essere dimensionate in modo da sporgere rispetto alla testa di misura 21 e in particolare al supporto superiore 23 e/o al supporto inferiore 24, così da facilitarne l’afferraggio e da consentire l’apposizione di una numerazione. Alternatively, the spacers 30 can be made by means of pairs of semi-comics or seeds between me 301 and 30r, substantially extended along opposite and parallel sides of the measuring head 21 and in particular of the upper support 23 and / or of the lower support 24, possibly equipped of holes 35 for the passage of the holding means 32 in the positions provided for the measurement card 20, as schematically illustrated in Figure 7C. These semiframes that make up the spacers 30 can be sized so as to protrude with respect to the measuring head 21 and in particular to the upper support 23 and / or the lower support 24, so as to facilitate their grasping and to allow the affixing of a numbering .

Più in particolare, le semicomici o semiframe 301 e 30r che realizzano lo spacer 30 comprendono rispettive porzioni laterali 311, 3 Ir che sporgono rispetto alla testa di misura 21 e in particolare al supporto superiore 23 e/o al supporto inferiore 24, come indicato in Figura 7C. More specifically, the semi-comics or semi-frames 301 and 30r which make up the spacer 30 comprise respective side portions 311, 3 Ir which protrude with respect to the measuring head 21 and in particular to the upper support 23 and / or the lower support 24, as indicated in Figure 7C.

Gli spacer 30 realizzati nella forma di semiframe 301, 30r introducono un grado di libertà e consentono di gestire separatamente un lato della scheda di misura 20 rispetto ad un altro, ad esempio in termini di strati da eliminare, così da realizzare un tilting di una guida rispetto ad un’altra, se necessario a causa di mismatch nelle relative planarità. Inoltre, l’utilizzo di semiframe consente agli spacer 30 di adattarsi a teste di misura 21 di dimensioni differenti, semplicemente avvicinando o allontanando le semiframe 301, 30r. The spacers 30 made in the form of semi-frames 301, 30r introduce a degree of freedom and allow one side of the measurement board 20 to be managed separately from another, for example in terms of layers to be eliminated, so as to achieve a tilting of a guide with respect to another, if necessary due to mismatch in the relative flatness. Furthermore, the use of semi-frames allows the spacers 30 to adapt to measuring heads 21 of different sizes, simply by approaching or moving away the semi-frames 301, 30r.

Infine, è possibile realizzare gli spacer 30 nella forma di coppie di semicornici o semiframe 301 e 30r, estese lungo lati opposti e paralleli della testa di misura 21 ed in particolare del supporto superiore 23 e/ del supporto inferiore 24 ed aventi dimensioni tali da estendersi airintemo della sua porzione centrale 40C. Tali semiframe possono essere dotate di fori 35 per il passaggio dei mezzi di trattenimento 32 nelle posizioni previste nella porzione perimetrale 40P del supporto superiore 23 e di ulteriori fori 35’ per il passaggio degli ulteriori mezzi di trattenimento 32’ nelle posizioni previste nella porzione centrale 40C del supporto superiore 23, come schematicamente illustrato in Figura 7D. Finally, it is possible to realize the spacers 30 in the form of pairs of half-frames or half-frames 301 and 30r, extending along opposite and parallel sides of the measuring head 21 and in particular of the upper support 23 and / of the lower support 24 and having dimensions such as to extend airin its central portion 40C. These half-frames can be equipped with holes 35 for the passage of the holding means 32 in the positions provided in the perimeter portion 40P of the upper support 23 and with further holes 35 'for the passage of the further holding means 32' in the positions provided in the central portion 40C of the upper support 23, as schematically illustrated in Figure 7D.

Come in precedenza, le semiframe che realizzano gli spacer 30 possono essere dimensionate in modo da sporgere rispetto alla testa di misura 21 e in particolare al supporto superiore 23 e/o al supporto inferiore 24, così da facilitarne l’afferraggio e da consentire l’apposizione di una numerazione. In particolare, tali semicomici o semiframe 301 e 30r possono comprendere rispettive porzioni laterali 311, 3 Ir che sporgono rispetto alla testa di misura 21 e in particolare al supporto superiore 23 e/o al supporto inferiore 24, come indicato in Figura 7D. As previously, the half-frames that make up the spacers 30 can be sized so as to protrude with respect to the measuring head 21 and in particular to the upper support 23 and / or the lower support 24, so as to facilitate their gripping and to allow affixing a number. In particular, such semi-comics or semi-frames 301 and 30r can comprise respective side portions 311, 3 Ir which protrude with respect to the measuring head 21 and in particular to the upper support 23 and / or to the lower support 24, as indicated in Figure 7D.

Si sottolinea che l’utilizzo di semiframe 301, 30r che si estendono anche all’interno della porzione centrale 40C del supporto superiore 23 aumenta il numero dei punti di trattenimento delle semiframe stesse, grazie all’accoppiamento degli ulteriori fori 35’ e degli ulteriori mezzi di trattenimento 32’. It is emphasized that the use of half frames 301, 30r which also extend inside the central portion 40C of the upper support 23 increases the number of holding points of the half frames themselves, thanks to the coupling of the further holes 35 'and of the further means of detention 32 '.

Ulteriormente, le semiframe 301, 30r possono comprendere opportuni incavi 37, in modo da limitare il materiale di tali semiframe alle zone circostanti i fori 35 e gli ulteriori fori 35’. In tal modo, gli spacer 30 realizzati mediante tali semiframe risultano alleggeriti, pur continuando a garantire una tenuta migliorata. Furthermore, the half frames 301, 30r may include suitable recesses 37, so as to limit the material of these half frames to the areas surrounding the holes 35 and the further holes 35 '. In this way, the spacers 30 made by means of these half-frames are lightened, while continuing to guarantee an improved seal.

E’ altresì possibile realizzare le semiframe che compongono gli spacer 30 con dimensioni tali da risultare a filo con la testa di misura 21 e in particolare con il supporto superiore 23 e/o con il supporto inferiore 24, dotandole poi di almeno una porzione allungata atta a sporgere dalla testa di misura 21 e dal relativo supporto a guisa di linguetta per facilitare l’afferraggio dello spacer 30 e consentire l’apposizione di una numerazione. Un numero qualsivoglia di linguette di afferraggio può essere previsto, in base alle dimensioni complessive delle semiframe nonché in base alle applicazioni della scheda di misura 20, posizionate in modo da non intralciare il normale funzionamento della scheda di misura 20 che comprende gli spacer 30. It is also possible to realize the semi-frames that make up the spacers 30 with dimensions such as to be flush with the measuring head 21 and in particular with the upper support 23 and / or with the lower support 24, then providing them with at least an elongated portion suitable protruding from the measuring head 21 and from the relative support in the form of a tab to facilitate the gripping of the spacer 30 and to allow the affixing of a numbering. Any number of gripping tabs can be provided, based on the overall dimensions of the half frames as well as on the basis of the applications of the measurement board 20, positioned so as not to hinder the normal operation of the measurement board 20 which includes the spacers 30.

Utilizzando spacer 30 dotati di fori 35, 35’ per ralloggiamento dei mezzi di trattenimento 32, 32’, del tipo illustrato nelle Figure 7A-7D, è possibile regolare la lunghezza LA delle prime porzioni terminali 21A delle sonde di contatto 22 sbloccando tali mezzi di trattenimento 32 ed eventualmente ulteriori mezzi di trattenimento 32’, in particolare mediante rimozione delle relative viti, seguita da una fase di rimozione degli spacer 30 o di almeno uno dei loro strati 30a-30c, con parziale disassemblamento della testa di misura 2 1. Using spacers 30 equipped with holes 35, 35 'for housing the retaining means 32, 32', of the type illustrated in Figures 7A-7D, it is possible to adjust the length LA of the first terminal portions 21A of the contact probes 22 by releasing these means of holding 32 and possibly further holding means 32 ', in particular by removing the relative screws, followed by a step of removing the spacers 30 or at least one of their layers 30a-30c, with partial disassembly of the measuring head 2 1.

La rimozione degli spacer 30 o di almeno uno dei loro strati 30a-30c consente di effettuare un avvicinamento di almeno una coppia di guide che formano il supporto superiore e/o il supporto inferiore con conseguente spostamento delle sonde di contatto 22 verso il dispositivo da testare 27, così da compensare un accorciamento delle relative prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A e da ripristinare in modo semplice e rapido il corretto funzionamento della testa di misura 21. In particolare, si sottolinea che la rimozione degli spacer 30 o di almeno uno dei loro strati 30a-30c non impatta sulla lunghezza LB della zona di floating 29B delle teste di contatto 22B, che resta costante e garantisce un corretto alloggiamento delle teste di contatto 22B delle sonde di contatto 22. Ancor più importante, rallungarne nto delle prime porzioni terminali 2 1A comprendenti le punte di contatto 22A avviene senza modificare la zona di flessione 26 delle sonde di contatto 22, e quindi non ne modifica la forza di impatto e lo scrub sul dispositivo da testare 27. The removal of the spacers 30 or of at least one of their layers 30a-30c makes it possible to approach at least one pair of guides that form the upper and / or lower support with consequent displacement of the contact probes 22 towards the device to be tested. 27, so as to compensate for a shortening of the relative first end portions 21A comprising the contact tips 22A and to restore correct operation of the measuring head 21 in a simple and rapid manner. In particular, it is emphasized that the removal of the spacers 30 or at least one of their layers 30a-30c does not impact on the length LB of the floating zone 29B of the contact heads 22B, which remains constant and guarantees a correct housing of the contact heads 22B of the contact probes 22. More importantly, slow down the first ones end portions 2 1A comprising the contact tips 22A takes place without modifying the flexion zone 26 of the contact probes 22, and q so it does not change the impact force and the scrub on the device to be tested 27.

In sostanza, la testa di misura 21 secondo l’invenzione consente di implementare un metodo di regolazione della lunghezza delle prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A delle sonde di contatto 22 in essa comprese, così da ripristinare il corretto funzionamento di tale testa di misura 2 1. Basically, the measuring head 21 according to the invention allows to implement a method of adjusting the length of the first terminal portions 21A comprising the contact tips 22A of the contact probes 22 included therein, so as to restore the correct operation of this head. measuring 2 1.

Vantaggiosamente secondo l’invenzione, il metodo comprende una fase di sbloccaggio dei mezzi di trattenimento 32 ed eventualmente 32’, ad esempio mediante allentamento o rimozione di rispettive viti, seguita da una fase di rimozione degli spacer 30 o di almeno un loro strato 30a-30c. Advantageously according to the invention, the method comprises a step of unlocking the retaining means 32 and possibly 32 ', for example by loosening or removing respective screws, followed by a step of removing the spacers 30 or at least one of their layers 30a. 30c.

A questo punto, il metodo comprende una fase di avvicinamento della copia di guide che formano il supporto superiore 23 e/o il supporto inferiore 24 con riduzione della lunghezza Ls della relativa zona d’aria 40 e conseguente spostamento delle sonde di contatto 22 verso il dispositivo da testare 27; in particolare, in tal modo le sonde di contatto 22 sporgono dal supporto inferiore 24, ripristinando la lunghezza LA delle prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A. Tale fase di avvicinamento della coppia di guide del supporto superiore 23 e/o del supporto inferiore 24 in particolare effettuata in modo che la lunghezza LA delle prime porzioni terminali 2 1A comprendenti le punte di contatto 22A sia riportata ad un valore corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura 2 1. At this point, the method comprises a step of approaching the copy of guides which form the upper support 23 and / or the lower support 24 with reduction of the length Ls of the relative air zone 40 and consequent displacement of the contact probes 22 towards the device to be tested 27; in particular, in this way the contact probes 22 protrude from the lower support 24, restoring the length LA of the first end portions 21A comprising the contact tips 22A. This step of approaching the pair of guides of the upper support 23 and / or of the lower support 24 in particular carried out in such a way that the length LA of the first end portions 2 1A comprising the contact tips 22A is brought back to a value corresponding to correct operation of the measuring head 2 1.

Si sottolinea che, effettuata la regolazione della lunghezza delle prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A grazie alla rimozione degli spacer 30 o di uno degli strati 30a-30c che li compongono, si dovrà quindi prevedere un ripristino dei mezzi di trattenimento 32 ed eventualmente degli ulteriori mezzi di trattenimento 32’, ad esempio mediante riawitamento delle corrispondenti viti, per solidarizzare nuovamente gli elementi della testa di misura 21 e della scheda di misura 20. It is emphasized that, once the length of the first end portions 21A including the contact tips 22A has been adjusted by removing the spacers 30 or one of the layers 30a-30c that compose them, it is therefore necessary to provide for a restoration of the retaining means 32 and optionally additional retaining means 32 ', for example by screwing back the corresponding screws, to re-solidify the elements of the measuring head 21 and of the measuring board 20.

E’ ovviamente possibile effettuare ulteriori rimozioni di uno strato degli spacer 30 e avvicinamento delle coppie di guide tra loro anche in un momento successivo della vita della testa di misura 21 e della scheda di misura 20 che la comprende, in particolare quando le prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A delle sonde di contatto 22 si sono ulteriormente accorciate per l’uso e le operazioni di pulizia e presentano una lunghezza inferiore ad una lunghezza corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura 21 e quindi della scheda di misura 20 che la comprende. It is obviously possible to carry out further removal of a layer of the spacers 30 and to bring the pairs of guides closer together even at a later time in the life of the measuring head 21 and of the measuring card 20 which comprises it, in particular when the first terminal portions 21A comprising the contact tips 22A of the contact probes 22 have been further shortened for use and cleaning operations and have a length less than a length corresponding to a correct operation of the measuring head 21 and therefore of the measuring board 20 who understands it.

Inoltre, è possibile effettuare tali rimozioni anche più volte, nel caso di spacer 30 dotati di una pluralità di strati, effettuando in tal modo successive regolazioni della lunghezza delle prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22 A delle sonde di contatto 22. Furthermore, it is possible to carry out these removals even several times, in the case of spacers 30 equipped with a plurality of layers, thus carrying out successive adjustments of the length of the first end portions 21A comprising the contact tips 22 A of the contact probes 22.

La vita utile della testa di misura 2 1 e della scheda di misura 20 che la comprende risulta così opportunamente allungata rispetto alle soluzioni note per le quali l’accorciamento delle prime porzioni terminali 2 1A comprendenti le punte di contatto 22A delle sonde di contatto 22 comporta la fine dell’utilizzo della testa di misura 21 e della scheda di misura 20 che la comprende, a meno di complicate sostituzioni della testa di misura stessa. The useful life of the measuring head 2 1 and of the measuring card 20 which includes it is thus suitably extended with respect to known solutions for which the shortening of the first terminal portions 2 1A comprising the contact tips 22A of the contact probes 22 entails the end of using the measuring head 21 and the measuring card 20 which includes it, unless the measuring head itself is complicated to replace.

Infine, è possibile effettuare la rimozione di uno strato degli spacer 30 e ravvicinamento di una coppia di guide tra loro anche in maniera asimmetrica, in modo da regolare diversamente la lunghezza delle prime porzioni terminali 21A delle sonde di contatto 22 in caso di un disallineamento delle rispettive punte di contatto 22A dovuto alle tolleranze del processo di realizzazione delle sonde stesse. Ulteriormente, è possibile prevedere una rimozione asimmetrica di tali strati in modo da regolare la distanza tra le coppie di guide superiori e/o inferiori in caso di problemi di planarizzazione o tilting delle guide stesse, così da garantire una stessa distanza tra le guide lungo tutta la loro estensione. Finally, it is possible to remove a layer of the spacers 30 and bring a pair of guides closer together even asymmetrically, so as to adjust the length of the first terminal portions 21A of the contact probes 22 differently in the event of a misalignment of the respective contact points 22A due to the tolerances of the manufacturing process of the probes themselves. Furthermore, it is possible to provide an asymmetrical removal of these layers in order to adjust the distance between the pairs of upper and / or lower guides in the event of problems of planarization or tilting of the guides themselves, so as to guarantee the same distance between the guides along the whole. their extension.

In una variante di realizzazione vantaggiosa dell’invenzione, è possibile realizzare gli spacer 30 in modo da comprendere alloggiamenti aperti 38 per i mezzi di trattenimento 32, come nelle forme di realizzazione illustrate nelle Figure 8A-8D. Tali alloggiamenti aperti 38 consentono in particolare di sfilare gli spacer 30 o uno degli strati 30a-30c in essi compresi senza una totale rimozione dei mezzi di trattenimento 32, in particolare delle relative viti, un semplice allentamento di tali mezzi essendo sufficiente ed in particolare consentendo la rimozione degli spacer 30 stessi o di imo degli strati che li compongono mediante semplice sfilaggio e senza nessun disassemblaggio, nemmeno parziale, della testa di misura 21. In a variant advantageous embodiment of the invention, it is possible to make the spacers 30 so as to include open housings 38 for the holding means 32, as in the embodiments illustrated in Figures 8A-8D. These open housings 38 allow in particular to remove the spacers 30 or one of the layers 30a-30c comprised therein without completely removing the retaining means 32, in particular the relative screws, a simple loosening of these means being sufficient and in particular allowing the removal of the spacers 30 themselves or of the layers that compose them by simple extraction and without any disassembly, not even partial, of the measuring head 21.

In tal caso, il metodo secondo l’invenzione comprende una fase di rimozione realizzata mediante sfilaggio degli spacer 30 o di almeno un loro strato 30a-30c. In this case, the method according to the invention comprises a removal step carried out by removing the spacers 30 or at least one of their layers 30a-30c.

Un successivo ulteriore serraggio di tali mezzi di trattenimento 32 ed eventualmente ulteriori mezzi di trattenimento 32’ garantisce il desiderato accoppiamento delle coppie di guide che realizzano i supporti superiore e/o inferiore nonché un avvicinamento tra le guide stesse e quindi il ripristino delle dimensioni delle prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A ed il corretto funzionamento della testa di misura 21 stessa, nonché della scheda di misura 20 che la comprende. A subsequent further tightening of these retaining means 32 and possibly further retaining means 32 'guarantees the desired coupling of the pairs of guides which form the upper and / or lower supports as well as an approach between the guides themselves and therefore the restoration of the dimensions of the first ones. terminal portions 21A comprising the contact tips 22A and the correct operation of the measuring head 21 itself, as well as of the measuring card 20 which comprises it.

Più in particolare, è possibile realizzare gli spacer 30 con forme analoghe a quelle illustrate in precedenza, che presentano quindi gli stessi vantaggi. Ad esempio, lo spacer può avere una forma allungata e sostanzialmente rettangolare come una paletta, formata da un corpo allungato 33 e da una testa 34, oppure una linguetta 36 sostanzialmente rettangolare, ed essere eventualmente dotato di alloggiamenti aperti 38, come illustrato schematicamente nelle Figure 8A e 8B, rispettivamente. Gli alloggiamenti aperti 38 hanno dimensioni adatte ad alloggiare i mezzi di trattenimento 32 oppure gli ulteriori mezzi di trattenimento 32’. More particularly, it is possible to realize the spacers 30 with shapes similar to those illustrated above, which therefore have the same advantages. For example, the spacer can have an elongated and substantially rectangular shape such as a blade, formed by an elongated body 33 and a head 34, or a substantially rectangular tongue 36, and possibly be equipped with open housings 38, as schematically illustrated in the Figures 8A and 8B, respectively. The open housings 38 have dimensions suitable for housing the retaining means 32 or the additional retaining means 32 '.

Si sottolinea che gli alloggiamenti aperti 38 definiscono negli spacer 30 almeno una porzione di materiale 39, 39’ che potrà essere sormontata parzialmente dai mezzi di trattenimento 32, 32’, a guisa di una forcella, i mezzi di trattenimento 32, 32’ comprendendo ad esempio viti a testa piatta, così da realizzare il corretto trattenimento degli spacer 30 grazie ai mezzi di trattenimento 32, 32’ appunto. It is emphasized that the open housings 38 define in the spacers 30 at least a portion of material 39, 39 'which can be partially surmounted by the retaining means 32, 32', like a fork, the retaining means 32, 32 'comprising for for example flat-headed screws, so as to achieve the correct retention of the spacers 30 thanks to the retention means 32, 32 '.

In alternativa, l’accoppiamento tra lo spacer 30 e la testa di misura 21, in particolare una delle guide che compongono il supporto superiore 23 e/o il supporto inferiore 24, può essere solamente per appoggio o di tipo adesivo, i mezzi di trattenimento 32, 32’ non attraversando lo spacer 30 ma solamente altri elementi della testa di misura 21, ad esempio le coppie di guide dei supporti 23, 24, il case 25, lo space transformer 28 e così via. Alternatively, the coupling between the spacer 30 and the measuring head 21, in particular one of the guides that make up the upper support 23 and / or the lower support 24, can only be for support or of the adhesive type, the holding means 32, 32 'not crossing the spacer 30 but only other elements of the measuring head 21, for example the pairs of guides of the supports 23, 24, the case 25, the space transformer 28 and so on.

E’ immediato comprendere che risulta comunque possibile eliminare un tale spacer 30 o uno degli strati 30 a- 3 Oc che lo compongono con un semplice allentamento dei mezzi di trattenimento 32, 32’ e spostando tale spacer o un suo strato nel senso dello sviluppo longitudinale degli stessi ed in allontanamento dalla testa di misura 2 1 e in particolare dal supporto superiore 23 e/ o dal supporto inferiore 24, come indicato dalla freccia F nelle Figure 8A e 8B, tali mezzi di trattenimento 32, 32’ passando in corrispondenza di una apertura degli alloggiamenti aperti 38. It is easy to understand that it is in any case possible to eliminate such a spacer 30 or one of the layers 30 a-3 Oc that compose it by simply loosening the retaining means 32, 32 'and moving this spacer or one of its layers in the direction of the longitudinal development. of the same and away from the measuring head 2 1 and in particular from the upper support 23 and / or from the lower support 24, as indicated by the arrow F in Figures 8A and 8B, these holding means 32, 32 'passing in correspondence with a opening the open housings 38.

In particolare, la forma allungata delle palette o linguette consente di garantire uno sfìlaggio degli spacer 30 o di uno degli strati 30a-30c che li compongono in modo agevole e anche senza dover applicare forze di elevato valore. In particular, the elongated shape of the vanes or tabs allows to ensure that the spacers 30 or one of the layers 30a-30c that compose them can be pulled out easily and also without having to apply high-value forces.

In alternativa, gli spacer 30 possono essere realizzati mediante coppie di semicomici o semiframe, 301 e 30r, opportunamente dotate di alloggiamenti aperti 38 in corrispondenza dei mezzi di trattenimento 32 posizionati ad esempio in corrispondenza della porzione perimetrale 40P del supporto superiore 23 ed eventualmente di ulteriori alloggiamenti aperti 38’ in corrispondenza degli ulteriori mezzi di trattenimento 32’ posizionati ad esempio in corrispondenza della porzione centrale 40C del supporto superiore 23, come illustrato schematicamente in Figura 8C e in Figura 8D rispettivamente. In maniera analoga, tali alloggiamenti aperti 38, 38’ possono essere posizionati in corrispondenza dei mezzi di trattenimento 32, 32’ della porzione perimetrale o centrale del supporto inferiore 24. Alternatively, the spacers 30 can be made by means of pairs of semicomic or semi-frames, 301 and 30r, suitably equipped with open housings 38 in correspondence with the holding means 32 positioned for example in correspondence with the perimeter portion 40P of the upper support 23 and possibly further open housings 38 'in correspondence with the further retaining means 32' positioned for example in correspondence with the central portion 40C of the upper support 23, as schematically illustrated in Figure 8C and in Figure 8D respectively. Similarly, these open housings 38, 38 'can be positioned at the holding means 32, 32' of the perimeter or central portion of the lower support 24.

Opportunamente tali semiframe 30r e 301 che realizzano gli spacer 30 possono essere dimensionate in modo da sporgere rispetto alla testa di misura 21 e in particolare ai supporti superiore 23 o inferiore 24, così da essere facilmente afferrabili e così da consentire altresì Tappo sizione di una numerazione, in particolare su ognuno degli strati che le compongono, come spiegato in precedenza. In tal caso, le semiframe 301, 30r possono comprendere rispettive porzioni laterali 311, 3 Ir che sporgono rispetto alla testa di misura 21 e in particolare ai supporti superiore 23 o inferiore 24, come indicato nelle Figure 8C e 8D E’ immediato comprendere che risulta anche in tal caso possibile eliminare uno spacer 30 o uno degli strati 30a-30c che lo compongono con un semplice allentamento dei mezzi di trattenimento 32, 32’ e spostando le semiframe 301 e 30r o uno dei loro strati in allontanamento dalla testa di misura 21, come indicato dalle frecce FI ed F2 nelle Figure 8C e 8D, i mezzi di trattenimento 32 e 32’ potendo anche in tal caso passare dalle aperture degli alloggiamenti aperti 38, 38’. Conveniently, these half-frames 30r and 301 which make up the spacers 30 can be sized so as to protrude with respect to the measuring head 21 and in particular to the upper 23 or lower supports 24, so as to be easily graspable and so as to also allow the capping of a numbering , in particular on each of the layers that compose them, as explained above. In this case, the half frames 301, 30r can comprise respective lateral portions 311, 3 Ir which protrude with respect to the measuring head 21 and in particular to the upper 23 or lower supports 24, as indicated in Figures 8C and 8D. also in this case it is possible to eliminate a spacer 30 or one of the layers 30a-30c that compose it by simply loosening the holding means 32, 32 'and moving the half-frames 301 and 30r or one of their layers away from the measuring head 21 , as indicated by the arrows F1 and F2 in Figures 8C and 8D, the holding means 32 and 32 'can also in this case pass through the openings of the open housings 38, 38'.

Dal momento che gli spacer 30 realizzati mediante semiframe risultano strutturalmente più solidi rispetto alle palette o linguette, in virtù della loro maggiore estensione rispetto alla superficie del supporto superiore 23 o inferiore 24, è possibile in tal caso applicare forze di valore superiore a quelle utilizzate ad esempio nel caso degli spacer 30 realizzati mediante palette o linguette, Since the spacers 30 made using semi-frames are structurally more solid than the vanes or tabs, by virtue of their greater extension with respect to the surface of the upper 23 or lower 24 support, it is possible in this case to apply forces greater than those used for example in the case of the spacers 30 made by means of vanes or tabs,

Come in precedenza, è possibile realizzare le semiframe che compongono gli spacer 30 con dimensioni tali da risultare a filo con la testa di misura 21, in particolare con il supporto superiore 23 o inferiore 24, dotandole poi di almeno una porzione allungata atta a sporgere dalla testa di misura 21, in particolare dal supporto superiore 23 o inferiore 24, a guisa di linguetta per facilitare rafferraggio dello spacer 30 e consentire l’apposizione di una numerazione. As before, it is possible to make the half frames that make up the spacers 30 with dimensions such as to be flush with the measuring head 21, in particular with the upper support 23 or lower 24, then providing them with at least an elongated portion able to protrude from the measuring head 21, in particular from the upper 23 or lower 24 support, in the form of a tab to facilitate clamping of the spacer 30 and to allow the affixing of a numbering.

Utilizzando spacer 30 dotati di alloggiamenti aperti 38, 38’ per alloggiamento dei mezzi di trattenimento 32, 32’, del tipo illustrato nelle Figure 8A-8D, è possibile regolare la lunghezza LA delle prime porzioni terminali 21A delle sonde di contatto 22 semplicemente allentando i mezzi di trattenimento 32 ed eventualmente degli ulteriori mezzi di trattenimento 32’, in particolare mediante parziale deavvitamento delle relative viti, seguita da uno sfilaggio degli spacer 30 o di almeno uno dei loro strati 30a-30c, mantenendo rintegrità strutturale della testa di misura 2L Using spacers 30 equipped with open housings 38, 38 'for housing the retaining means 32, 32', of the type illustrated in Figures 8A-8D, it is possible to adjust the length LA of the first terminal portions 21A of the contact probes 22 simply by loosening the retaining means 32 and possibly additional retaining means 32 ', in particular by partial unscrewing of the relative screws, followed by a removal of the spacers 30 or at least one of their layers 30a-30c, maintaining structural integrity of the measuring head 2L

Nel caso di spacer 30 realizzati mediante semiframe, strutturalmente più solidi e in grado di sopportare forze di maggiore entità rispetto alle palette o linguette, è possibile prevedere uno sfilaggio degli spacer 30 eventualmente anche senza un precedente marcato allentamento dei mezzi di trattenimento 32, 32’. In the case of spacers 30 made by means of semi-frames, which are structurally more solid and able to withstand forces of greater magnitude than the vanes or tabs, it is possible to provide for a removal of the spacers 30 possibly even without prior marked loosening of the retaining means 32, 32 ' .

Come già spiegato, la rimozione degli spacer 30 o di almeno uno dei loro strati 30a-30c consente di effettuare un avvicinamento delle guide che formano il supporto superiore e/o inferiore della testa di misura 21 con conseguente spostamento delle sonde di contatto 22 verso il dispositivo da testare 27, così da compensare un accorciamento delle relative prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22 A delle sonde di contatto 22 e ripristinare in modo semplice e rapido il corretto funzionamento della testa di misura 21 e della scheda di misura 20 che la comprende. As already explained, the removal of the spacers 30 or of at least one of their layers 30a-30c makes it possible to bring the guides which form the upper and / or lower support of the measuring head 21 together with consequent displacement of the contact probes 22 towards the device to be tested 27, so as to compensate for a shortening of the relative first terminal portions 21A comprising the contact tips 22 A of the contact probes 22 and to restore in a simple and rapid way the correct operation of the measuring head 21 and of the measuring board 20 which he understands it.

Si dovrà quindi prevedere un serraggio dei mezzi di trattenimento 32 ed eventualmente degli ulteriori mezzi di trattenimento 32’, in particolare mediante riavvitamento delle corrispondenti viti, per solidarizzare nuovamente in modo completo gli elementi della testa di misura 21 e della scheda di misura 20. In ogni caso, si sottolinea che l’utilizzo di alloggiamenti aperti 38 consente di evitare un disassemblamento anche parziale della testa di misura 2 1 per rimuovere gli spacer 30 o uno dei loro strati. It is therefore necessary to provide for a tightening of the retaining means 32 and possibly of the further retaining means 32 ', in particular by screwing the corresponding screws, in order to completely re-integrate the elements of the measuring head 21 and of the measuring board 20. in any case, it is emphasized that the use of open housings 38 allows to avoid even partial disassembly of the measuring head 2 1 in order to remove the spacers 30 or one of their layers.

E’ ovviamente possibile effettuare ulteriori rimozioni di uno strato degli spacer 30, anche in un momento successivo della vita della scheda di misura 20, nonché effettuare tedi rimozioni anche più volte, nel caso di spacer 30 dotati di una pluralità di strati, con conseguenti successive regolazioni della lunghezza LA delle prime porzioni terminali 21A delle sonde di contatto 22 ed infine effettuare la rimozione di uno strato degli spacer 30 anche in maniera asimmetrica, come spiegato in precedenza. It is obviously possible to carry out further removals of a layer of the spacers 30, even at a later time in the life of the measurement card 20, as well as to carry out the removal even several times, in the case of spacers 30 equipped with a plurality of layers, with consequent subsequent adjustments of the length LA of the first terminal portions 21A of the contact probes 22 and finally effecting the removal of a layer of the spacers 30 also in an asymmetrical manner, as previously explained.

Si sottolinea che tutte le forme di realizzazione illustrate della scheda di misura secondo la presente invenzione consentono una regolazione della lunghezza della porzione terminale delle sonde di contatto comprendente le punte di contatto e quindi soggetta a consumo senza modificare la lunghezza della zona di flessione delle sonde e quindi la dinamica di movimento delle stesse, in particolare in termini di scrub e soprattutto di forza esercitata sui pad. Ulteriormente, tale regolazione non modifica la lunghezza della zona di floating, garantendo quindi un invariato e corretto contenimento delle teste di contatto delle sonde ed assicurandone il contatto con lo space transformer. It is emphasized that all the illustrated embodiments of the measurement board according to the present invention allow an adjustment of the length of the terminal portion of the contact probes comprising the contact tips and therefore subject to wear without changing the length of the bending zone of the probes and hence the dynamics of movement of the same, in particular in terms of scrub and above all of the force exerted on the pads. Furthermore, this adjustment does not change the length of the floating zone, thus ensuring an unchanged and correct containment of the contact heads of the probes and ensuring their contact with the space transformer.

In conclusione, la testa di misura con spacer secondo Tinvenzione risulta avere una maggiore durata, dal momento che è possibile prevedere un numero elevato di operazioni di pulizia della relativa punta con una successiva regolazione della lunghezza delle porzioni terminali delle sonde di contatto che sporgono rispetto al supporto inferiore in modo che sia uguale o superiore ad una lunghezza corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura. In tal modo risulta allungata anche la vita utile della scheda di misura comprendente una tale testa. In conclusion, the measuring head with spacer according to the invention has a longer life, since it is possible to provide for a large number of cleaning operations of the relative tip with a subsequent adjustment of the length of the terminal portions of the contact probes which protrude with respect to the lower support so that it is equal to or greater than a length corresponding to a correct functioning of the measuring head. In this way the useful life of the measurement card comprising such a head is also extended.

La presenza degli spacer consente di ripristinare in modo semplice e rapido il corretto funzionamento della scheda di misura stessa dopo un periodo d’uso che ha portato ad un accorciamento delle porzioni terminali delle sue sonde di contatto, senza modificarne la dinamica di movimento e soprattutto la forza da esse esercitata, in virtù del fatto che viene mantenuta costante la lunghezza della zona di flessione delle sonde. The presence of the spacers allows to restore in a simple and rapid way the correct functioning of the measurement card itself after a period of use which has led to a shortening of the terminal portions of its contact probes, without modifying the dynamics of movement and above all the force exerted by them, by virtue of the fact that the length of the bending zone of the probes is kept constant.

Opportunamente, gli spacer sono realizzati in modo da estendersi su aree limitate, anche fortemente limitate come nel caso delle forme di realizzazione a palette o linguette, rispetto all’estensione delle guide che compongono i supporti superiore e inferiore; spacer siffatti sono posizionabili a piacimento, sia per numero sia per posizione. Ulteriormente, è opportuno sottolineare che spacer di dimensioni ridotte, in particolare non estesi come intere guide, presentano ridotti problemi di planarità e sono di fatto gestibili in maniera più semplice. Conveniently, the spacers are made in such a way as to extend over limited areas, even severely limited as in the case of the embodiments with blades or tabs, with respect to the extension of the guides that make up the upper and lower supports; These spacers can be positioned at will, both in terms of number and position. Furthermore, it should be emphasized that spacers of reduced dimensions, in particular not extended as entire guides, have reduced planarity problems and are in fact manageable in a simpler way.

Inoltre, è possibile effettuare ulteriori regolazioni della lunghezza delle porzioni terminali delle sonde di contatto in diversi momenti della vita della testa di misura che le include, in particolare ogni qual volta tali porzioni terminali comprendenti le punte di contatto si sono accorciate per l’uso e le operazioni di pulizia e presentano una lunghezza inferiore ad una lunghezza corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura, consentendo altresì di modificare la lunghezza delle porzioni terminali in modo diverso per diverse sonde di contatto in caso di un disallineamento delle rispettive punte di contatto dovuto alle tolleranze del processo di realizzazione delle sonde stesse. Furthermore, it is possible to make further adjustments to the length of the end portions of the contact probes at different times in the life of the measuring head which includes them, in particular whenever such end portions including the contact tips have shortened for use and cleaning operations and have a length shorter than a length corresponding to a correct functioning of the measuring head, also allowing to modify the length of the end portions in a different way for different contact probes in the event of a misalignment of the respective contact tips due to to the tolerances of the manufacturing process of the probes themselves.

Ovviamente alla testa di misura sopra descritta un tecnico del ramo, allo scopo di soddisfare esigenze contingenti e specifiche, potrà apportare numerose modifiche e varianti, tutte comprese neH'ambito di protezione dell'invenzione quale definito dalle seguenti rivendicazioni. Obviously, a person skilled in the art, in order to meet contingent and specific needs, can make numerous modifications and variations to the measuring head described above, all of which are included within the scope of the invention as defined by the following claims.

Claims (13)

RIVENDICAZIONI 1. Testa di misura (21) di un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici comprendente una pluralità di sonde di contatto (22) inserite in fori guida realizzati in almeno un supporto superiore (23) ed un supporto inferiore (24), tra detti supporti superiore e inferiore (23, 24) essendo definita una zona di flessione (26) per dette sonde di contatto (22), che hanno ciascuna almeno una prima porzione terminale (21 A) che sporge di una prima lunghezza (LA) da detto supporto inferiore (24) e termina con una punta di contatto (22 A) atta ad andare in battuta su un rispettivo pad di contatto (27A) di un dispositivo da testare (27) nonché una seconda porzione terminale (21B) che sporge di una seconda lunghezza (LB) da detto supporto superiore (23) e termina con una testa di contatto (22B) atta ad andare in battuta su un pad di contatto (28A) di uno space transformer (28), caratterizzata dal fatto che almeno uno di detti supporti superiore e/o inferiore (23, 24) comprende almeno una coppia di guide superiore e/o inferiore (23A, 23B; 24A, 24B) piastriformi e parallele, tra loro separate da una zona d’aria (40) di prefissata lunghezza (Ls), tra detta almeno una coppia di guide superiore e/o inferiore (23A, 23B; 24A, 24B) essendo interposto almeno uno spacer (30), il quale è rimuovibile per regolare detta prima lunghezza (LA) di detta prima porzione terminale (21A) di dette sonde di contatto (22) mediante variazione di detta lunghezza (Ls) di detta zona d’aria (40) con avvicinamento di dette guide di detta almeno una coppia di guide superiore e/o inferiore (23A, 23B; 24A, 24B). CLAIMS 1. Measuring head (21) of an electronic device test apparatus comprising a plurality of contact probes (22) inserted in guide holes made in at least an upper support (23) and a lower support (24), between said upper and lower supports (23, 24) a bending zone (26) being defined for said contact probes (22), which each have at least a first end portion (21 A) which protrudes by a first length (LA) from said lower support (24) and ends with a contact tip (22 A) capable of striking a respective contact pad (27A) of a device to be tested (27) as well as a second terminal portion (21B) which protrudes by a second length (LB) from said upper support (23) and ends with a contact head (22B) capable of striking a contact pad (28A) of a space transformer (28), characterized by the fact that at least one of said upper and / or lower supports (23, 24) comprises at least one cop upper and / or lower guide plates (23A, 23B; 24A, 24B) plate-like and parallel, separated from each other by an air zone (40) of predetermined length (Ls), between said at least one pair of upper and / or lower guides (23A, 23B; 24A, 24B) being interposed at least one spacer (30), which can be removed to adjust said first length (LA) of said first terminal portion (21A) of said contact probes (22) by varying said length (Ls) of said air zone ( 40) with the approach of said guides of said at least one pair of upper and / or lower guides (23A, 23B; 24A, 24B). 2. Testa di misura (21) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detto spacer (30) ha una altezza inferiore o uguale a detta lunghezza (Ls) di detta zona d’aria (40). 2. Measuring head (21) according to claim 1, characterized by the fact that said spacer (30) has a height less than or equal to said length (Ls) of said air zone (40). 3. Testa di misura (21) secondo la rivendicazione 1 o 2, caratterizzata dal fatto che detto spacer (30) ha almeno una porzione sporgente (300) rispetto a detta testa di misura (21), ed in particolare rispetto a detto supporto superiore e/o inferiore (23, 24). Measuring head (21) according to claim 1 or 2, characterized in that said spacer (30) has at least one protruding portion (300) with respect to said measuring head (21), and in particular with respect to said upper support and / or lower (23, 24). 4. Testa di misura (21) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detto spacer (30) comprende una pluralità di strati (30a, 30b, 30c) sovrapposti e singolarmente rimovibili. 4. Measuring head (21) according to any one of the preceding claims, characterized in that said spacer (30) comprises a plurality of overlapping and individually removable layers (30a, 30b, 30c). 5. Testa di misura (21) secondo la rivendicazione 4, caratterizzata dal fatto che detti strati (30a, 30b, 30c) hanno rispettive porzioni sporgenti (300) da detta testa di misura (21) , ed in particolare da detto supporto superiore e/o inferiore (23, 24). 5. Measuring head (21) according to claim 4, characterized in that said layers (30a, 30b, 30c) have respective protruding portions (300) from said measuring head (21), and in particular from said upper support and / or lower (23, 24). 6. Testa di misura (21) secondo la rivendicazione 5, caratterizzata dal fatto che dette porzioni sporgenti (300) di detti strati (30a, 30b, 30c) hanno lunghezze diverse da strato a strato. 6. Measuring head (21) according to claim 5, characterized in that said protruding portions (300) of said layers (30a, 30b, 30c) have different lengths from layer to layer. 7. Testa di misura (21) secondo la rivendicazione 5 o 6, caratterizzata dal fatto che detti strati (30a, 30b, 30c) hanno una numerazione apposta su dette rispettive porzioni sporgenti (300) in corrispondenza di una loro faccia (Fc, Fc’). 7. Measuring head (21) according to claim 5 or 6, characterized in that said layers (30a, 30b, 30c) have a numbering affixed to said respective projecting portions (300) in correspondence with one of their faces (Fc, Fc '). 8. Testa di misura (21) secondo ima qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto di comprendere un supporto superiore (23) includente una prima ed una seconda guida superiore (23A, 23B) ed un supporto inferiore (24) includente una prima ed una seconda guida inferiore (24A, 24B), piastriformi e parallele, separate da rispettive zone d’aria (40u, 40d), nonché almeno una coppia di spacer (30u, 30d), ciascuno disposto tra dette coppie di guide superiore e inferiore (23A, 23B; 24A, 24B) in corrispondenza di dette rispettive zone d’aria (40u, 40d). 8. Measuring head (21) according to any one of the preceding claims, characterized in that it comprises an upper support (23) including a first and a second upper guide (23A, 23B) and a lower support (24) including a first and a second lower guide (24A, 24B), plate-like and parallel, separated by respective air zones (40u, 40d), as well as at least one pair of spacers (30u, 30d), each arranged between said pairs of upper and lower guides ( 23A, 23B; 24A, 24B) in correspondence with said respective air zones (40u, 40d). 9. Testa di misura (21) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detto spacer (30) è realizzato in materiale plastico, trasparente o semitrasparente, in materiale ceramico, in materiale metallico, oppure in materiale organico o in silicio, preferibilmente in Kapton®. Measuring head (21) according to any one of the preceding claims, characterized in that said spacer (30) is made of plastic material, transparent or semitransparent, of ceramic material, of metallic material, or of organic or silicon material, preferably in Kapton®. 10. Scheda di misura (20) di un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici comprendente almeno una testa di misura (21) ed almeno uno space transformer (28), detta testa di misura (21) essendo dotata di una pluralità di sonde di contatto (22) atte ad andare in battuta su una pluralità di pad di contatto (28A) di detto space transformer (28), caratterizzata dal fatto che detta testa di misura (21) è realizzata secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti. 10. Measurement board (20) of an electronic device test apparatus comprising at least one measuring head (21) and at least one space transformer (28), said measuring head (21) being equipped with a plurality of contact (22) capable of striking a plurality of contact pads (28A) of said space transformer (28), characterized in that said measuring head (21) is made according to any one of the preceding claims. 11. Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 10, caratterizzata dal fatto di comprendere ulteriormente mezzi di trattenimento (32, 32’) atti a solidarizzare almeno detta coppia di guide superiore e/o inferiore (23A, 23B; 24A, 24B) di detti supporti superiore e/o inferiore (23, 24), nonché detto spacer (30), dotato di opportune sedi di alloggiamento (35, 35’; 38, 38 per detti mezzi di trattenimento (32, 32’). 11. Measurement board (20) according to claim 10, characterized in that it further comprises holding means (32, 32 ') suitable for integrating at least said pair of upper and / or lower guides (23A, 23B; 24A, 24B) of said upper and / or lower supports (23, 24), as well as said spacer (30), equipped with suitable housing seats (35, 35 '; 38, 38 for said holding means (32, 32'). 12. Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 11, caratterizzata dal fatto che dette sedi di alloggiamento (35, 35’; 38, Οδ’) per detti mezzi di trattenimento (32, 32’) sono fori (35, SS’) e/o alloggiamenti aperti (38, 38<*>) aventi dimensioni adatte ad alloggiare detti mezzi di trattenimento (32, 32’). 12. Measurement board (20) according to claim 11, characterized in that said housing seats (35, 35 '; 38, Οδ') for said holding means (32, 32 ') are holes (35, SS' ) and / or open housings (38, 38 <*>) having dimensions suitable for housing said retaining means (32, 32 '). 13. Metodo di ripristino di una testa di misura (21) comprendente ima pluralità di sonde di contatto (22) inserite in fori guida realizzati in almeno un supporto superiore (23) ed un supporto inferiore (24), dette sonde di contatto (22) avendo ciascuna almeno una prima porzione terminale (21 A) che sporge di una prima lunghezza (LA) da detto supporto inferiore (24) e termina con una punta di contatto (22A) atta ad andare in battuta su un rispettivo pad di contatto (27A) di un dispositivo da testare (27) nonché una seconda porzione terminale (21B) che sporge di una seconda lunghezza (LB) da detto supporto superiore (23) e termina con una testa di contatto (22B) atta ad andare in battuta su un pad di contatto (28A) di uno space transformer (28), almeno uno di detti supporti superiore e/o inferiore (23, 24) comprendendo almeno una coppia di guide superiore e/o inferiore (23 A, 23B; 24A, 24B) piastriformi e parallele, tra loro separate da una zona d’aria (40) di prefissata lunghezza (Ls), tra detta almeno una coppia di guide superiore e/o inferiore (23A, 23B; 24A, 24B) essendo interposto almeno uno spacer (30) rimuovibile, eventualmente dotato di una pluralità di strati (30a-30c) sovrapposti e singolarmente rimuovibili, il metodo essendo caratterizzato dal fatto di comprendere le fasi di: de-solidarizzare detta almeno una coppia di guide superiore e/o inferiore (23A, 23B; 24A, 24B); rimuovere detto spacer (30) o uno degli strati (30a-30c) che lo compongono; avvicinare dette guide superiore e/o inferiore (23A, 23B; 24A, 24B) di detta coppia; e - solidarizzare nuovamente dette guide superiore e/o inferiore (23A, 23B; 24A, 24B), così da regolare detta prima lunghezza (LA) di detta prima porzione terminale (2 1A) di dette sonde di contatto (22) mediante variazione di detta lunghezza (Ls) di detta zona d’aria (40) e conseguente spostamento di dette sonde di contatto (22) verso detto dispositivo da testare (27) per ripristinare un corretto funzionamento di detta testa di misura (21).13. Method for restoring a measuring head (21) comprising a plurality of contact probes (22) inserted in guide holes made in at least an upper support (23) and a lower support (24), said contact probes (22 ) each having at least a first end portion (21 A) which protrudes by a first length (LA) from said lower support (24) and ends with a contact tip (22A) able to abut on a respective contact pad ( 27A) of a device to be tested (27) as well as a second terminal portion (21B) which protrudes by a second length (LB) from said upper support (23) and ends with a contact head (22B) able to abut against a contact pad (28A) of a space transformer (28), at least one of said upper and / or lower supports (23, 24) comprising at least a pair of upper and / or lower guides (23 A, 23B; 24A, 24B ) plate-like and parallel, separated from each other by an air zone (40) of predetermined length (Ls), between said at least one pair of upper and / or lower guides (23A, 23B; 24A, 24B) at least one removable spacer (30) being interposed, possibly equipped with a plurality of overlapping and individually removable layers (30a-30c), the method being characterized by comprising the steps of: de-integrating said at least one pair of upper and / or lower guides (23A, 23B; 24A, 24B); removing said spacer (30) or one of the layers (30a-30c) composing it; approaching said upper and / or lower guides (23A, 23B; 24A, 24B) of said pair; And - re-connect said upper and / or lower guides (23A, 23B; 24A, 24B), so as to adjust said first length (LA) of said first terminal portion (2 1A) of said contact probes (22) by varying said length (Ls) of said air region (40) and consequent displacement of said contact (22) towards said device to be tested (27) to restore correct operation of said measuring head (21).
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