Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

IT1088820B - Processo di purificazione di clorosilani impiegabili nella preparazione di silicio per elettronica - Google Patents

Processo di purificazione di clorosilani impiegabili nella preparazione di silicio per elettronica

Info

Publication number
IT1088820B
IT1088820B IT30371/77A IT3037177A IT1088820B IT 1088820 B IT1088820 B IT 1088820B IT 30371/77 A IT30371/77 A IT 30371/77A IT 3037177 A IT3037177 A IT 3037177A IT 1088820 B IT1088820 B IT 1088820B
Authority
IT
Italy
Prior art keywords
chlorosilans
usable
electronics
silicon
preparation
Prior art date
Application number
IT30371/77A
Other languages
English (en)
Inventor
Franco Gazzarrini
Moreno Morici
Vittorio Trapani
Original Assignee
Smiel Spa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Smiel Spa filed Critical Smiel Spa
Priority to IT30371/77A priority Critical patent/IT1088820B/it
Priority to US05/966,507 priority patent/US4224040A/en
Priority to JP14916178A priority patent/JPS54119420A/ja
Priority to DE19782852598 priority patent/DE2852598A1/de
Application granted granted Critical
Publication of IT1088820B publication Critical patent/IT1088820B/it

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08—Compounds containing halogen
    • C01B33/107—Halogenated silanes
    • C01B33/10778—Purification
    • C01B33/10784—Purification by adsorption

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
IT30371/77A 1977-12-05 1977-12-05 Processo di purificazione di clorosilani impiegabili nella preparazione di silicio per elettronica IT1088820B (it)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
IT30371/77A IT1088820B (it) 1977-12-05 1977-12-05 Processo di purificazione di clorosilani impiegabili nella preparazione di silicio per elettronica
US05/966,507 US4224040A (en) 1977-12-05 1978-12-04 Process for the purification of chlorosilanes
JP14916178A JPS54119420A (en) 1977-12-05 1978-12-04 Purification of chlorosilane
DE19782852598 DE2852598A1 (de) 1977-12-05 1978-12-05 Verfahren zur reinigung von chlorsilanen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
IT30371/77A IT1088820B (it) 1977-12-05 1977-12-05 Processo di purificazione di clorosilani impiegabili nella preparazione di silicio per elettronica

Publications (1)

Publication Number Publication Date
IT1088820B true IT1088820B (it) 1985-06-10

Family

ID=11229618

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
IT30371/77A IT1088820B (it) 1977-12-05 1977-12-05 Processo di purificazione di clorosilani impiegabili nella preparazione di silicio per elettronica

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4224040A (it)
JP (1) JPS54119420A (it)
DE (1) DE2852598A1 (it)
IT (1) IT1088820B (it)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3843313A1 (de) * 1988-12-22 1990-06-28 Wacker Chemitronic Verfahren zur entfernung von gasfoermigen kontaminierenden, insbesondere dotierstoffverbindungen aus halogensilanverbindungen enthaltenden traegergasen
US5290342A (en) * 1990-12-05 1994-03-01 Ethyl Corporation Silane compositions and process
JP3734009B2 (ja) 1999-06-17 2006-01-11 信越化学工業株式会社 クロロシラン類中のボロン化合物の分離方法及びクロロシラン類蒸発用組成物
US6444013B1 (en) * 2000-09-19 2002-09-03 The Boc Group, Inc. Purification of methylsilanes
DE10057482A1 (de) * 2000-11-20 2002-05-23 Solarworld Ag Verfahren zur Reinigung von Trichlorsilan
US20050061147A1 (en) * 2003-09-18 2005-03-24 Marganski Paul J. Chemisorbent system for abatement of effluent species
JP4714196B2 (ja) * 2007-09-05 2011-06-29 信越化学工業株式会社 トリクロロシランの製造方法および多結晶シリコンの製造方法
DE102007050199A1 (de) * 2007-10-20 2009-04-23 Evonik Degussa Gmbh Entfernung von Fremdmetallen aus anorganischen Silanen
DE102008054537A1 (de) * 2008-12-11 2010-06-17 Evonik Degussa Gmbh Entfernung von Fremdmetallen aus Siliciumverbindungen durch Adsorption und/oder Filtration
DE102009027257A1 (de) 2009-06-26 2010-12-30 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Herstellung von Organoalkoxyhydrogensilanen
DE102009027730A1 (de) 2009-07-15 2011-01-27 Evonik Degussa Gmbh Verahren und Verwendung von aminofunktionellen Harzen zur Dismutierung von Halogensilanen und zur Entfernung von Fremdmetallen
DE102009027729A1 (de) 2009-07-15 2011-01-27 Evonik Degussa Gmbh Entfernung von Fremdmetallen aus anorganischen Silanen
DE102014013250B4 (de) 2014-09-08 2021-11-25 Christian Bauch Verfahren zur Aufreinigung halogenierter Oligosilane
DE102016206090A1 (de) 2016-04-12 2017-10-12 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Abtrennung von Aluminiumchlorid aus Silanen
CN108017060B (zh) * 2018-02-09 2019-06-28 浙江博瑞电子科技有限公司 一种六氯乙硅烷的纯化方法
CN109279611B (zh) * 2018-11-30 2020-07-28 亚洲硅业(青海)股份有限公司 一种去除氯硅烷中杂质的方法及装置
KR20220088887A (ko) * 2019-11-27 2022-06-28 와커 헤미 아게 클로로실란 혼합물로부터 불순물을 제거하는 방법
CN113372373B (zh) * 2021-06-09 2022-05-17 江西蓝星星火有机硅有限公司 一种净化二甲基氢氯硅烷的水解产物的装置及方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA649511A (en) * 1962-10-02 Westinghouse Electric Corporation Removal of boron from halogenated silanes
SU536835A1 (ru) * 1972-08-07 1976-11-30 Предприятие П/Я Р-6991 Способ очистки отход щих газов от органических веществ
JPS5116282A (ja) * 1974-07-31 1976-02-09 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Jukyozainokaishuhoho

Also Published As

Publication number Publication date
US4224040A (en) 1980-09-23
DE2852598A1 (de) 1979-06-07
JPS54119420A (en) 1979-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
IT1093902B (it) Processo per la preparazione di ottafluorofropano
IT1112298B (it) Processo per formare regioni isolate di silicio
IT1097652B (it) 17-alchilcarbonati di corticosteroidi e processo per la loro preparazione
IT1088820B (it) Processo di purificazione di clorosilani impiegabili nella preparazione di silicio per elettronica
IT1097584B (it) Processo ed apparecchio per la preparazione di poliesteri macronolecolari linerai
IT1132312B (it) Processo per la preparazione di idrocarburi
IT1124778B (it) Processo e composizione per la pulitura di wafer di silicio
IT1101467B (it) Processo di trasferimento di massa
BR8207236A (pt) Processo para aperfeicoar composicoes de borracha de silicone
IT1136945B (it) Processo per la preparazione di l-carnitina
IT1075671B (it) Processo per la separazione di fluorocarburi
IT1151034B (it) Processo per la preparazione di silicati cristallini
IT1099931B (it) Processo per la preparazione di un'amina
IT1037282B (it) Processo per la preparazione di butindiolo
IT1094563B (it) Processo per la preparazione di idrocarburi
IT1102826B (it) Processo di preparazione di azocomposti e relativi prodottti
IT1061812B (it) Processo per la preparazione di i fenil 3 ammino pirazoli
IT1099550B (it) Processo per la determinazione di ferritina
IT1094560B (it) Processo per la preparazione di idrocarburi
IT1094931B (it) Processo per la preparazione di enamidi cicliche
IT1098974B (it) Processo per la preparazione di perossidi
IT1067286B (it) Processo per la polimerizzazione di eta-caprolattame
IT1099435B (it) Processo per la preparazione di leganti depositabili catodicamente
IT1145306B (it) Processo per la preparazione di esteri alchilencarbonati ciclici
IT1119707B (it) Processo per la preparazione di alogenuri di m-alogenobenzoile