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EP1969410A1 - Device for fixing a first equipment item to a second equipment item, with active micropositioning - Google Patents

Device for fixing a first equipment item to a second equipment item, with active micropositioning

Info

Publication number
EP1969410A1
EP1969410A1 EP06847226A EP06847226A EP1969410A1 EP 1969410 A1 EP1969410 A1 EP 1969410A1 EP 06847226 A EP06847226 A EP 06847226A EP 06847226 A EP06847226 A EP 06847226A EP 1969410 A1 EP1969410 A1 EP 1969410A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
cti
terminal body
respect
dimensional change
equipment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP06847226A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Jean Dupuis
Laurent Blanchard
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thales SA
Original Assignee
Thales SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thales SA filed Critical Thales SA
Publication of EP1969410A1 publication Critical patent/EP1969410A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/008Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation

Definitions

  • some equipment is subjected to thermal and / or mechanical stresses which affect their stability of form and pose (the set of six parameters x, y, z, ⁇ x, ⁇ y, ⁇ z describing the relative position and attitude of two solids). They must then be subjected to stress relaxation and / or micro-repositioning. This is for example the case of the primary mirrors of telescopes, or of certain instruments of spatial observation, or of gradiometers.
  • control means can be loaded, when they receive at least one measurement current coming from at least one of the transducers of one of the terminal bodies, induced by a first disorientation of its external part with respect to its internal part, to determine each corresponding axial dimensional change and to generate i) a control current to each transducer, the same terminal body, which has not transmitted a measurement current, so that it converts it into a axial dimensional change, and ii) control currents for the three transducers of the other terminal body to convert them into axial dimensional changes to induce a second disorientation of the outer portion of its terminal body with respect to its internal part, opposed to the first disorientation; at least one of the inner and outer portions of each terminal body may be a platform of chosen shape, and the intermediate portion of each terminal body may have a diabolo-like shape; its transducers may be made of a piezoelectric material chosen from piezoelectric single crystals and piezoelectric ceramics;
  • FIGS. 1A and 1B a first exemplary embodiment of a fixing device D according to the invention, of the "active flexible blade” or “active IPN beam” type, designed to secure the one to the other of the first E1 and second E2 equipment.
  • the device D When the device D is an active flexible blade, it has a very small extension in the direction perpendicular to the plane of the page (shown in Figure 1A by the axes XX and YY ').
  • the device D is an active IPN beam species, it has a relatively large extension in the direction perpendicular to the plane of the page (in this case, Figures 1 and 2 show cross-sectional views).
  • the rigid outer portion PEi is preferably of rectangular section.
  • the device is here symmetrical with respect to a symmetry-type symmetry element consisting of the axis XX.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

A device (D), dedicated to fixing a first equipment item (E1) relative to a second equipment item (E2), comprises: i) a structure comprising a rigid central body (CC) extended by two substantially identical terminal bodies (CT1, CT2) each comprising a striction defining a flexible intermediate part (PD1, PD2) that is symmetric with respect to an element of symmetry, extended by a rigid internal part (PI1, PI2) that is symmetric with respect to the element of symmetry and secured to one of the ends of the central body (CC), and a rigid external part (PE1, PE2) that is symmetric with respect to an element of symmetry, spaced away from the internal part and intended to be secured to the first (E1) or second (E2) item of equipment; ii) at least two piezoelectric transducers (T11-T22) housed in empty spaces defined between the internal and external parts of the two terminal bodies (CT1, CT2) and each tasked with converting either an axial dimensional modification into a measurement current representative of the amplitude of the modification or a control current into a corresponding axial dimensional modification; and iii) control means (MC) tasked with determining at least one axial dimensional modification for at least one of the transducers so as to place the first equipment item (E1) in a chosen position relative to the second equipment item (E2).

Description

DISPOSITIF DE FIXATION D'UN PREMIER ÉQUIPEMENT SUR UN SECOND ÉQUIPEMENT, À MICRO-POSITIONNEMENT ACTIFDEVICE FOR FIXING A FIRST EQUIPMENT ON A SECOND EQUIPMENT WITH ACTIVE MICRO POSITIONING
L'invention concerne les dispositifs destinés à permettre la fixation d'un premier équipement sur ou par rapport à un second équipement, avec une précision élevée, voire très élevée.The invention relates to devices for allowing the attachment of a first equipment on or with respect to a second equipment, with a high accuracy or very high.
Dans certains domaines, comme par exemple dans le domaine spatial, certains équipements sont soumis à des contraintes thermiques et/ou mécaniques qui nuisent à leurs stabilités de forme et de pose (on appelle pose l'ensemble des six paramètres x, y, z, θx, θy, θz décrivant la position et l'attitude relatives de deux solides). Ils doivent alors faire l'objet de relaxation de contraintes et/ou de micro-repositionnements. C'est par exemple le cas des miroirs primaires des télescopes, ou de certains instruments d'observation spatiale, ou encore de gradiomètres.In certain fields, such as in the space field, some equipment is subjected to thermal and / or mechanical stresses which affect their stability of form and pose (the set of six parameters x, y, z, θx, θy, θz describing the relative position and attitude of two solids). They must then be subjected to stress relaxation and / or micro-repositioning. This is for example the case of the primary mirrors of telescopes, or of certain instruments of spatial observation, or of gradiometers.
Lorsqu'un tel équipement est solidarisé à un autre équipement, au moyen d'un dispositif de fixation (ou organe de liaison), ses stabilités de pose et de forme peuvent être également perturbées par les contraintes thermiques et/ou mécaniques que subissent cet autre équipement et/ou son dispositif de fixation. C'est ce que l'homme de l'art appelle les déformées d'interface.When such equipment is secured to other equipment, by means of a fixing device (or connecting member), its installation and shape stabilities may also be disturbed by the thermal and / or mechanical stresses that this other equipment and / or its fastening device. This is what the skilled person calls the interface deformations.
Pour limiter ces perturbations, qui induisent des déformations et/ou des déplacements et/ou rotations qui empêchent notamment de tenir les performances de stabilité fixées initialement, on utilise généralement des dispositifs de fixation passifs présentant des souplesses choisies dans certaines directions et réalisés dans des matériaux stables en température (comme par exemple les composites carbone/résine).In order to limit these disturbances, which induce deformations and / or displacements and / or rotations which notably prevent the initially fixed stability performances being maintained, passive fastening devices are generally used which have flexibilities chosen in certain directions and made of materials stable in temperature (such as carbon / resin composites).
Ces dispositifs de fixation peuvent également comporter des moyens de support de type iso-statique, comme par exemple ceux qui assurent un maintien en trois points par un dispositif de fixation passif tel que ceux utilisés pour les miroirs (notamment décrits dans les documents brevet FR 97 13439 et FR 94 10710), un support en forme de A (ou « A-frame ») ou un support en forme de X (ou « X-frame »). Mais ces supports iso-statiques peuvent générer des contraintes résiduelles, en raison notamment d'un dimensionnement des flexibilités aux charges de lancement.These fixing devices may also comprise iso-static type support means, for example those which provide a three-point support by a passive fastening device such as those used for the mirrors (in particular described in the FR 97 patent documents). 13439 and FR 94 10710), an A-shaped support (or "A-frame") or a support in X shape (or "X-frame"). But these iso-static supports can generate residual stresses, due in particular to a sizing of the flexibilities to the launch loads.
On peut également prévoir des dispositifs de contrôle thermique passif, par exemple de type MLI (« Multi layer insulation » - isolation thermique multi- couches), et/ou actif, comme par exemple des réchauffeurs ou des caloducs.It is also possible to provide passive thermal control devices, for example of MLI ("multi layer insulation") type, and / or active, such as for example heaters or heat pipes.
On peut également éliminer les contraintes mécaniques d'intégration à la température nominale de fonctionnement en effectuant des calages préalables précis des équipements. Tous ces moyens mis en œuvre pour limiter les perturbations subies par les équipements s'avèrent onéreux en raison de leur complexité de fabrication mécanique et/ou des procédures d'intégration qu'ils requièrent.It is also possible to eliminate the mechanical integration constraints at the nominal operating temperature by performing precise pre-setting of the equipment. All these means implemented to limit the disruption suffered by the equipment prove to be expensive because of their complexity of mechanical manufacturing and / or the integration procedures that they require.
L'invention a donc pour but d'améliorer la situation.The invention therefore aims to improve the situation.
Elle propose à cet effet un dispositif destiné à permettre la fixation d'un premier équipement par rapport à un second équipement, et comprenant :It proposes for this purpose a device intended to allow the attachment of a first equipment with respect to a second equipment, and comprising:
- une structure comportant un corps central rigide et deux corps terminaux sensiblement identiques, prolongeant deux extrémités opposées du corps central, et comprenant chacun une striction définissant une partie intermédiaire flexible symétrique par rapport à un élément de symétrie (plan ou axe de symétrie), présentant une première extension par rapport à cet élément de symétrie, située dans une position centrale et prolongée i) par une partie interne rigide symétrique par rapport à l'élément de symétrie, présentant une deuxième extension par rapport à l'élément de symétrie supérieure à la première et solidaire de l'une des extrémités du corps central, et ii) par une partie externe rigide symétrique par rapport à l'élément de symétrie, présentant une troisième extension radiale supérieure à la première, espacée de la partie interne et destinée à être solidarisée au premier ou second équipement,a structure comprising a rigid central body and two substantially identical end bodies, extending two opposite ends of the central body, and each comprising a constriction defining a flexible intermediate portion symmetrical with respect to a symmetry element (plane or axis of symmetry), presenting a first extension with respect to this element of symmetry, located in a central and prolonged position i) by a rigid internal part symmetrical with respect to the symmetry element, having a second extension with respect to the element of symmetry greater than the first and secured to one end of the central body, and ii) by a rigid outer portion symmetrical with respect to the symmetry element, having a third radial extension greater than the first, spaced from the inner portion and intended to be secured to the first or second equipment,
- au moins deux transducteurs piézoélectriques logés respectivement dans les espaces libres définis entre les parties interne et externe des deux corps terminaux et chargés chacun de convertir soit une modification dimensionnelle axiale en un courant de mesure représentatif de l'amplitude de ladite modification, soit un courant de commande en une modification dimensionnelle axiale correspondante, etat least two piezoelectric transducers respectively housed in the free spaces defined between the inner and outer portions of the two end bodies and each being responsible for converting either an axial dimensional change into a measurement current representative of the amplitude said modification, a control current into a corresponding axial dimensional change, and
- des moyens de contrôle chargés de déterminer au moins une modification dimensionnelle axiale pour l'un au moins des transducteurs afin de placer le premier équipement dans une position choisie par rapport au second équipement.- Control means for determining at least one axial dimensional change for at least one of the transducers to place the first equipment in a selected position relative to the second equipment.
Le dispositif selon l'invention peut comporter d'autres caractéristiques qui peuvent être prises séparément ou en combinaison, et notamment :The device according to the invention may comprise other characteristics that can be taken separately or in combination, and in particular:
- ses moyens de contrôle peuvent être chargés de déterminer une modification dimensionnelle axiale pour chaque transducteur afin de placer le premier équipement dans une position choisie par rapport au second équipement ;its control means can be responsible for determining an axial dimensional change for each transducer in order to place the first equipment in a chosen position relative to the second equipment;
- ses moyens de contrôle peuvent être chargés, lorsqu'ils reçoivent un courant de mesure en provenance d'un transducteur de l'un des corps terminaux, induit par une première désorientation de sa partie externe par rapport à sa partie interne, de déterminer la modification dimensionnelle axiale correspondante et de générer un courant de commande à destination du transducteur de l'autre corps terminal afin qu'il le convertisse en une modification dimensionnelle axiale permettant d'induire une deuxième désorientation de la partie externe de son corps terminal par rapport à sa partie interne, opposée à la première désorientation ;its control means can be loaded, when they receive a measurement current coming from a transducer of one of the terminal bodies, induced by a first disorientation of its external part with respect to its internal part, to determine the corresponding axial dimensional change and generating a control current to the transducer of the other terminal body so that it converts it into an axial dimensional change to induce a second disorientation of the outer portion of its terminal body with respect to its internal part, opposed to the first disorientation;
- chaque espace libre d'un corps terminal peut loger au moins des premier et deuxième transducteurs piézoélectriques destinés à fonctionner de façon antagoniste. Dans ce cas, les moyens de contrôle peuvent être chargés, lorsqu'ils reçoivent un courant de mesure en provenance du premier transducteur de l'un des corps terminaux, induit par une première désorientation de sa partie externe par rapport à sa partie interne, de déterminer la première modification dimensionnelle axiale correspondante et de générer i) un premier courant de commande à destination du deuxième transducteur de ce même corps terminal afin qu'il le convertisse en une deuxième modification dimensionnelle axiale de signe opposé à la première modification dimensionnelle axiale et de même amplitude, ii) un deuxième courant de commande à destination du transducteur de l'autre corps terminal afin qu'il le convertisse en une troisième modification dimensionnelle axiale permettant d'induire une deuxième désorientation de la partie externe de son corps terminal par rapport à sa partie interne, opposée à la première désorientation, et iii) un troisième courant de commande à destination du deuxième transducteur de cet autre corps terminal de sorte qu'il le convertisse en une quatrième modification dimensionnelle axiale de signe opposé à la troisième modification dimensionnelle axiale et de même amplitude ; - chaque espace libre d'un corps terminal peut loger trois transducteurs piézoélectriques placés à 120° les uns des autres ;each free space of a terminal body can accommodate at least first and second piezoelectric transducers intended to operate in an antagonistic manner. In this case, the control means can be loaded, when they receive a measurement current from the first transducer of one of the terminal bodies, induced by a first disorientation of its outer part relative to its inner part, of determining the first corresponding axial dimensional change and generating i) a first control current to the second transducer of the same terminal body so that it converts it into a second axial dimensional change of opposite sign to the first axial dimensional change and same amplitude, ii) a second control current to the transducer of the other terminal body so that it converts it into a third axial dimensional change to induce a second disorientation of the outer portion of its terminal body with respect to its inner portion, opposite to the first disorientation, and iii) a third control current to the second transducer of the other terminal body so that it converts it into a fourth axial dimensional change of opposite sign to the third axial dimensional change of the same magnitude; each free space of a terminal body can accommodate three piezoelectric transducers placed at 120 ° from each other;
> les moyens de contrôle peuvent être chargés, lorsqu'ils reçoivent au moins un courant de mesure en provenance de l'un au moins des transducteurs de l'un des corps terminaux, induit par une première désorientation de sa partie externe par rapport à sa partie interne, de déterminer chaque modification dimensionnelle axiale correspondante et de générer i) un courant de commande à destination de chaque transducteur, de ce même corps terminal, qui n'a pas transmis un courant de mesure, afin qu'il le convertisse en une modification dimensionnelle axiale, et ii) des courants de commande à destination des trois transducteurs de l'autre corps terminal afin qu'ils les convertissent en modifications dimensionnelles axiales permettant d'induire une deuxième désorientation de la partie externe de son corps terminal par rapport à sa partie interne, opposée à la première désorientation ; - l'une au moins des parties interne et externe de chaque corps terminal peut être une plateforme de forme choisie, et la partie intermédiaire de chaque corps terminal peut présenter une forme de type diabolo ; - ses transducteurs peuvent être réalisés dans un matériau piézoélectrique choisi parmi des monocristaux piézoélectriques et des céramiques piézoélectriques ;the control means can be loaded, when they receive at least one measurement current coming from at least one of the transducers of one of the terminal bodies, induced by a first disorientation of its external part with respect to its internal part, to determine each corresponding axial dimensional change and to generate i) a control current to each transducer, the same terminal body, which has not transmitted a measurement current, so that it converts it into a axial dimensional change, and ii) control currents for the three transducers of the other terminal body to convert them into axial dimensional changes to induce a second disorientation of the outer portion of its terminal body with respect to its internal part, opposed to the first disorientation; at least one of the inner and outer portions of each terminal body may be a platform of chosen shape, and the intermediate portion of each terminal body may have a diabolo-like shape; its transducers may be made of a piezoelectric material chosen from piezoelectric single crystals and piezoelectric ceramics;
> les transducteurs peuvent être constitués d'au moins un empilement d'au moins une couche du matériau piézoélectrique ; - il peut comprendre au moins un capteur chargé de délivrer des signaux représentatifs d'au moins une grandeur physique. Dans ce cas, ses moyens de contrôle sont chargés de déterminer les modifications dimensionnelles axiales en fonction des signaux délivrés par chaque capteur ; - ses moyens de contrôle peuvent être éventuellement activés et désactivés à des instants choisis ;the transducers may consist of at least one stack of at least one layer of the piezoelectric material; it may comprise at least one sensor responsible for delivering signals representative of at least one physical quantity. In this case, its control means are responsible for determining the axial dimensional changes as a function of the signals delivered by each sensor; its control means can be optionally activated and deactivated at selected times;
- ses moyens de contrôle peuvent être agencés de manière à fonctionner en mode d'asservissement de position.- Its control means can be arranged to operate in position control mode.
L'invention propose également un équipement muni d'un dispositif de fixation du type de celui présenté ci-avant.The invention also proposes an equipment provided with a fixing device of the type of that presented above.
L'invention est particulièrement bien adaptée, bien que de façon non exclusive, au domaine spatial, à la génération de mouvement(s) de balayage sur un équipement, et aux mesures dimensionnelles (interférométrie) intervenant dans le positionnement très fin d'équipements. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à l'examen de la description détaillée ci-après, et des dessins annexés, sur lesquels :The invention is particularly well suited, although not exclusively, to the space domain, to the generation of scanning movement (s) on equipment, and to dimensional measurements (interferometry) involved in the very fine positioning of equipment. Other features and advantages of the invention will appear on examining the detailed description below, and the attached drawings, in which:
- les figures 1A et 1B illustrent dans des vues de face schématiques un premier exemple de réalisation d'un dispositif de fixation selon l'invention, de type « lame souple active », respectivement en phase inactive et en phase active,FIGS. 1A and 1B illustrate, in schematic front views, a first exemplary embodiment of a fixing device according to the invention, of the "active flexible blade" type, respectively in the inactive phase and in the active phase,
- les figures 2A et 2B illustrent dans des vues de face schématiques un deuxième exemple de réalisation d'un dispositif de fixation selon l'invention, également de type « lame souple active », respectivement en phase inactive et en phase active,FIGS. 2A and 2B illustrate, in schematic front views, a second exemplary embodiment of a fixing device according to the invention, also of the "active flexible blade" type, respectively in the inactive phase and in the active phase,
- la figure 3 illustre dans une vue en perspective schématique un troisième exemple de réalisation d'un dispositif de fixation selon l'invention, en phase inactive.- Figure 3 illustrates in a schematic perspective view a third embodiment of a fixing device according to the invention, in the inactive phase.
Les dessins annexés pourront non seulement servir à compléter l'invention, mais aussi contribuer à sa définition, le cas échéant.The attached drawings may not only serve to complete the invention, but also contribute to its definition, if any.
L'invention a pour objet de permettre une fixation active d'un premier équipement sur un second équipement.The object of the invention is to enable active attachment of a first equipment on a second equipment.
Dans ce qui suit, on considère à titre d'exemple non limitatif que le premier équipement est un miroir primaire d'un instrument d'observation et que le second équipement est cet instrument d'observation, lequel est embarqué sur un satellite remplissant une mission d'observation spatiale de la Terre ou d'une partie de l'univers, depuis l'espace.In the following, we consider as a non-limiting example that the first equipment is a primary mirror of an observation instrument and the second equipment is this observation instrument, which is embedded on a satellite fulfilling a mission space observation of the Earth or a part of the universe, from space.
Mais l'invention n'est pas limitée à ces types d'équipements. Elle concerne en effet tout groupe d'au moins deux équipements, spatiaux ou non, destinés à être solidarisés l'un à l'autre au moyen d'un dispositif de fixation. Elle concerne également les situations dans lesquelles deux équipements doivent être alignés ou micro-positionnés de façon quasi-statique l'un par rapport à l'autre.But the invention is not limited to these types of equipment. It concerns indeed any group of at least two equipment, space or not, intended to be secured to one another by means of a fixing device. It also relates to situations in which two devices must be aligned or micro-positioned quasi-statically relative to each other.
On se réfère tout d'abord aux figures 1A et 1B pour décrire un premier exemple de réalisation d'un dispositif de fixation D selon l'invention, de type « lame souple active » ou « poutre IPN » active, destiné à solidariser l'un à l'autre des premier E1 et second E2 équipements. Lorsque le dispositif D est une lame souple active, il présente une très faible extension dans la direction perpendiculaire au plan de la page (matérialisé sur la figure 1 A par les axes XX et YY'). Lorsque le dispositif D est une espèce de poutre IPN active, il présente une extension relativement importante dans la direction perpendiculaire au plan de la page (dans ce cas, les figures 1 et 2 représentent des vues en coupe transversale).Referring firstly to FIGS. 1A and 1B, a first exemplary embodiment of a fixing device D according to the invention, of the "active flexible blade" or "active IPN beam" type, designed to secure the one to the other of the first E1 and second E2 equipment. When the device D is an active flexible blade, it has a very small extension in the direction perpendicular to the plane of the page (shown in Figure 1A by the axes XX and YY '). When the device D is an active IPN beam species, it has a relatively large extension in the direction perpendicular to the plane of the page (in this case, Figures 1 and 2 show cross-sectional views).
Selon l'invention le dispositif de fixation D comprend au moins une structure (de fixation), constituée d'un corps central CC et deux corps terminaux CT1 et CT2 (ou CTi, avec i = 1 et 2), au moins deux transducteurs piézoélectriques Tij, et un module de contrôle MC.According to the invention, the fixing device D comprises at least one (fixing) structure, consisting of a central body CC and two end bodies CT1 and CT2 (or CTi, with i = 1 and 2), at least two piezoelectric transducers Tij, and an MC control module.
Le corps central CC est de type rigide. Il se présente ici sous la forme générale d'un parallélépipède rectangle présentant un élément de symétrie de type plan de symétrie (perpendiculaire au plan de la page et matérialisé par l'axe XX) et deux extrémités opposées perpendiculaires au plan de symétrie. Mais d'autres formes peuvent être envisagées. C'est notamment le cas sur la figure 3 où le corps central CC présente une forme générale cylindrique circulaire dont l'axe XX constitue l'axe de symétrie.The central body CC is rigid type. It is here in the general form of a rectangular parallelepiped presenting a symmetry-type symmetry element (perpendicular to the plane of the page and materialized by the axis XX) and two opposite ends perpendicular to the plane of symmetry. But other forms can be envisaged. This is particularly the case in Figure 3 where the central body CC has a generally cylindrical shape circular whose axis XX constitutes the axis of symmetry.
Les premier CT1 et second CT2 corps terminaux sont sensiblement identiques. Ils prolongent respectivement les deux extrémités opposées du corps central CC. On entend ici par « prolonger une extrémité » soit le fait d'être solidarisé fixement à l'extrémité, soit le fait de faire partie de la même pièce que le corps central CC.The first CT1 and second CT2 terminal bodies are substantially identical. They respectively extend the two opposite ends of the central body CC. Here is meant by "extend one end" is the fact of being secured to the end, or being part of the same room as the central body CC.
Chaque corps terminal CTi comporte une striction, c'est-à-dire un rétrécissement, qui définit une partie intermédiaire PDi flexible dont les deux extrémités sont respectivement prolongées par une partie interne rigide Pli et une partie externe rigide PEi. Cette striction est destinée à fléchir (dans le plan de la page) sous les efforts générés par les transducteurs (ou actionneurs) Tij. Elle peut être arrondie ou franche (c'est-à-dire de largeur constante).Each terminal body CTi comprises a constriction, that is to say a narrowing, which defines an intermediate portion PDi flexible whose two ends are respectively extended by a rigid inner portion P1 and a rigid outer portion PEi. This necking is intended to flex (in the plane of the page) under the forces generated by the transducers (or actuators) Tij. It can be rounded or frank (that is, of constant width).
La partie intermédiaire PDi, flexible, est située dans une position centrale de la structure, c'est-à-dire dans la zone par laquelle passe le plan de symétrie (matérialisé par l'axe XX). Par ailleurs, elle est préférentiel lement de forme symétrique par rapport au plan de symétrie. En outre, elle présente une (première) extension suivant la direction YY', perpendiculaire au plan de symétrie (et donc à l'axe XX), et de part et d'autre de ce plan de symétrie.The intermediate portion PDi, flexible, is located in a central position of the structure, that is to say in the area through which the plane of symmetry (materialized by the axis XX). Moreover, it is preferably of symmetrical shape with respect to the plane of symmetry. In addition, it has a (first) extension in the direction YY ', perpendicular to the plane of symmetry (and therefore to the axis XX), and on either side of this plane of symmetry.
La partie interne rigide Pli est solidaire de l'une des deux extrémités opposées du corps central CC. Elle présente par exemple une forme symétrique par rapport au plan de symétrie. Par exemple, elle se présente sous la forme d'une poutre rattachée en son centre à la partie intermédiaire PDi et au corps central CC. Cette poutre présente une (deuxième) extension de part et d'autre du plan de symétrie (suivant la direction YY') qui est notablement supérieure à celle du corps central CC.The rigid inner portion P 1 is integral with one of the two opposite ends of the central body CC. For example, it has a symmetrical shape with respect to the plane of symmetry. For example, it is in the form of a beam attached at its center to the intermediate portion PDi and the central body CC. This beam has a (second) extension on either side of the plane of symmetry (along the direction YY ') which is significantly greater than that of the central body CC.
La partie externe rigide PEi est destinée à être solidarisée au premierThe rigid outer portion PEi is intended to be secured to the first
E1 ou second E2 équipement. Dans les exemples illustrés sur l'ensemble des figures, la partie externe rigide PE1 du premier corps terminal CT1 est solidarisée au premier équipement E1 , tandis que la partie externe rigide PE2 du second corps terminal CT2 est solidarisée au second équipement E2.E1 or second E2 equipment. In the examples illustrated in all the figures, the rigid outer portion PE1 of the first terminal body CT1 is secured to the first equipment E1, while the rigid outer portion PE2 of the second terminal body CT2 is secured to the second equipment E2.
Chaque partie externe rigide PEi présente par exemple une forme symétrique par rapport au plan de symétrie. Par exemple, elle se présente également sous la forme d'une poutre rattachée en son centre à la partie intermédiaire PDi et à l'un des équipements. Cette poutre présente une (troisième) extension de part et d'autre du plan de symétrie (suivant la direction YY') qui est notablement supérieure à celle du corps central CC, et sensiblement égale à celle de la partie interne rigide Pli.Each rigid outer portion PEi has for example a shape symmetrical with respect to the plane of symmetry. For example, she introduces herself also in the form of a beam attached at its center to the intermediate portion PDi and one of the equipment. This beam has a (third) extension on either side of the plane of symmetry (along the direction YY ') which is significantly greater than that of the central body CC, and substantially equal to that of the rigid inner portion P11.
Contrairement à la partie interne rigide Pli qui présente préférentiellement des côtés biseautés sur l'une de ses faces (du côté du corps central CC) pour renforcer la rigidité de la structure, la partie externe rigide PEi est préférentiellement de section rectangulaire. Les deuxième et troisième extensions des parties interne Pli et externeUnlike the rigid inner portion P1 which preferably has beveled sides on one of its faces (on the side of the central body CC) to enhance the rigidity of the structure, the rigid outer portion PEi is preferably of rectangular section. The second and third extensions of the inner fold and outer parts
PEi dépendent des capacités des transducteurs (ou actionneurs) Tij en terme d'effort. En effet, plus l'actionneur est placé loin de l'axe XX moins la déflection angulaire est grande à capacité d'actionnement (en longueur) égale. On place donc un actionneur loin du centre de rotation afin de réduire les efforts d'actionnement tandis qu'on le place près du centre de rotation afin de réduire sa course.PEi depend on the capabilities of the transducers (or actuators) Tij in terms of effort. Indeed, the more the actuator is placed far from the axis XX, the angular deflection is large with equal actuation capacity (in length). An actuator is thus moved away from the center of rotation in order to reduce actuation forces as it is placed near the center of rotation to reduce its stroke.
En raison de la striction, un espace libre Si est défini entre les parties interne Pli et externe PEi de chaque corps terminal CTi, bien entendu en dehors de la zone occupée par la partie intermédiaire PDi. Dans l'exemple illustré sur les figures 1A et 1B, les formes non circulaire des parties interne Pli et externe PEi entraînent une subdivision de l'espace libre Si en deux sous- espaces définissant deux logements, de dimensions (au repos) sensiblement identiques, de part et d'autre de la partie intermédiaire PDi.Due to the necking, a free space Si is defined between the inner and outer portions P1 PEi of each terminal body CTi, of course outside the area occupied by the intermediate part PDi. In the example illustrated in FIGS. 1A and 1B, the non-circular shapes of the inner portions P1 and the outer portion P1 result in a subdivision of the free space Si in two subspaces defining two housings, of substantially identical dimensions (at rest), on both sides of the intermediate part PDi.
Dans l'exemple illustré sur les figures 1A et 1B, le dispositif D ne comprend que deux transducteurs piézoélectriques Tij (T11 et T21 , ici j = 1 ). Un premier transducteur piézoélectrique T11 est logé dans l'un des deux logements que définit l'espace libre S1 du premier corps terminal CT1 , et un second transducteur piézoélectrique T21 est logé dans l'un des deux logements que définit l'espace libre S2 du second corps terminal CT2. Dans l'exemple illustré sur les figures 1A et 1B, les premier T11 et second T21 transducteurs piézoélectriques sont tous les deux placés dans des logements qui sont situés d'un même côté de la structure (par rapport au plan de symétrie). Mais cela n'est pas obligatoire.In the example illustrated in FIGS. 1A and 1B, the device D comprises only two piezoelectric transducers Tij (T11 and T21, here j = 1). A first piezoelectric transducer T11 is housed in one of the two housings defined by the free space S1 of the first terminal body CT1, and a second piezoelectric transducer T21 is housed in one of the two housings defined by the free space S2 of the second terminal body CT2. In the example illustrated in FIGS. 1A and 1B, the first T11 and second T21 piezoelectric transducers are both placed in housings which are situated on the same side of the structure (with respect to the plane of symmetry). But this is not obligatory.
Chaque transducteur piézoélectrique Tij est solidarisé aux parties interne Pli et externe PEi de son corps terminal CTi, en un endroit choisi de son espace libre Si. Par ailleurs, chaque transducteur piézoélectrique Tij peut effectuer deux types de conversion. Soit il convertit la modification dimensionnelle axiale (dans le plan de la page et donc suivant une direction sensiblement parallèle à l'axe XX), dont il fait l'objet du fait d'une contrainte mécanique et/ou thermique subie par le corps terminal CTi dont il fait partie, en un courant de mesure représentatif de l'amplitude de cette modification, soit il convertit un courant de commande issu du module de contrôle MC en une modification dimensionnelle axiale correspondante.Each piezoelectric transducer Tij is secured to the internal portions P1 and external PEi of its terminal body CTi, at a chosen location of its free space Si. Moreover, each piezoelectric transducer Tij can perform two types of conversion. Either it converts the axial dimensional change (in the plane of the page and thus in a direction substantially parallel to the axis XX), which it is subject to due to a mechanical and / or thermal stress experienced by the end body CTi of which it is a part, in a measurement current representative of the amplitude of this modification, or it converts a control current from the control module MC into a corresponding axial dimensional change.
On entend ici par « modification dimensionnelle axiale » soit une augmentation de dimension suivant une direction sensiblement parallèle à l'axe XX (associée à une amplitude de signe positif), soit une diminution de dimension suivant une direction sensiblement parallèle à l'axe XX (associée à une amplitude de signe négatif).Here "axial dimensional change" is understood to mean an increase in dimension in a direction substantially parallel to the axis XX (associated with a positive sign amplitude), or a decrease in dimension in a direction substantially parallel to the axis XX ( associated with a negative sign amplitude).
Par exemple, et comme illustré sur l'ensemble des figures, les transducteurs Tij se présentent sous la forme de plots identiques et de hauteur égale à la distance séparant les parties interne Pli et externe PEi de leur corps terminal CTi. Ces plots Tij peuvent par exemple être de forme parallélépipédique (comme illustré sur les figures 1 et 2) ou cylindrique à section circulaire (comme illustré sur la figure 3).For example, and as illustrated in all the figures, the transducers Tij are in the form of identical pads and equal in height to the distance between the inner portions P1 and external PEi of their terminal body CTi. These pads Tij may for example be parallelepipedal shape (as shown in Figures 1 and 2) or cylindrical circular section (as shown in Figure 3).
Chaque transducteur Tij est par exemple réalisé dans un matériau piézoélectrique tel que les monocristaux piézoélectriques. Il pourrait être également réalisé avec des céramiques piézoélectriques. D'une manière générale, tout type de matériau piézoélectrique peut être utilisé dès lors qu'il permet de générer un courant de mesure suffisamment important pour être analysable par le module de contrôle MC et/ou de faire l'objet d'une modification dimensionnelle axiale adaptée à l'application, en réponse à un courant de commande issu du module de contrôle MC.Each transducer Tij is for example made of a piezoelectric material such as piezoelectric single crystals. It could also be realized with piezoelectric ceramics. In general, any type of piezoelectric material can be used as long as it makes it possible to generate a measurement current large enough to be analyzable by the control module MC and / or to be the subject of a dimensional modification. axial direction adapted to the application, in response to a control current from the control module MC.
Les monocristaux piézoélectriques sont particulièrement intéressants du fait qu'ils possèdent une grande capacité d'allongement, typiquement 2% (ce qui est environ dix fois plus que l'allongement offert par les céramiques piézoélectriques).Piezoelectric single crystals are particularly interesting because they have a high elongation capacity, typically 2% (which is about ten times more than the elongation offered by piezoelectric ceramics).
Chaque transducteur Tij peut être éventuellement constitué d'un empilement d'au moins une couche de matériau piézoélectrique et d'une couche de matériau isolant.Each transducer Tij may optionally consist of a stack of at least one layer of piezoelectric material and a layer of insulating material.
Le module de contrôle MC est couplé aux transducteurs Tij par des conducteurs électriques (par exemple des câbles) CE. Il est chargé, d'une manière générale, de déterminer au moins une modification dimensionnelle axiale pour l'un au moins des transducteurs Tij du dispositif D, afin de placer le premier équipement E1 dans une position choisie par rapport au second équipement E2.The control module MC is coupled to the transducers Tij by electrical conductors (for example cables) CE. It is generally responsible for determining at least one axial dimensional change for at least one of the transducers Tij of the device D, in order to place the first device E1 in a selected position with respect to the second device E2.
Plus précisément, le module de contrôle MC peut être agencé de différentes manières afin de conférer au dispositif D une ou plusieurs fonctions. Par exemple, le module de contrôle MC peut ne déterminer que la modification dimensionnelle (axiale suivant XX) de chaque transducteur Tij de manière à conférer au dispositif D une fonction de micro-positionnement. Dans ce cas, il ne fait que transmettre aux transducteurs Tij des courants de commande qu'ils doivent convertir en modifications dimensionnelles axiales afin de placer le premier équipement E1 dans une position précise choisie par rapport au second équipement E2.More specifically, the control module MC can be arranged in different ways to give the device D one or more functions. For example, the control module MC can determine only the dimensional change (axial along XX) of each transducer Tij so as to give the device D a micro-positioning function. In this case, it only transmits to the transducers Tij control currents that they must convert to axial dimensional changes in order to place the first equipment E1 in a selected precise position relative to the second equipment E2.
Pour faciliter la fonction de micro-positionnement, le dispositif peut comporter un ou plusieurs capteurs de grandeur(s) physique(s), délivrant des signaux représentatifs desdites grandeurs physiques pour le module de contrôle MC. Ce(s) capteur(s) peu(ven)t par exemple effectuer une métrologie laser et/ou une détermination de contrainte(s) à relaxer. Dans ce cas, le module de contrôle MC détermine les courants de commande qui sont destinés aux différents transducteurs Tij en fonction d'instructions et des signaux fournis par le(s) capteur(s). On notera que le dispositif D peut être utilisé dans le seul but de relaxer une ou plusieurs contraintes, lorsqu'il est équipé de jauge(s) de contrainte. Le module de contrôle MC peut également être chargé de compenser au moins partiellement l'effet d'une contrainte subie par l'un au moins de ses corps terminaux CTi. Plus précisément, lorsqu'un corps terminal CTi, par exemple CT2 (comme illustré sur la figure 1B), subit une contrainte, cela se traduit par une première désorientation (inclinaison matérialisée par la flèche R1) de sa partie externe PE2 par rapport à sa partie interne PI2 du fait de la flexibilité de la partie intermédiaire PD2 qui les relie. Cette désorientation (R1) entraîne une première modification dimensionnelle axiale, d'une première amplitude, du transducteur T21 (matérialisée par les flèches F1). Dans l'exemple illustré sur la figure 1B, la première modification dimensionnelle axiale est une diminution d'épaisseur (mais cela pourrait être le contraire). Dans le même temps, la distance qui sépare les parties interne PI2 et externe PE2 du côté opposé au transducteur T21 augmente d'une valeur égale à la première amplitude, comme cela est matérialisée par les flèches F2. En réponse à cette première modification (diminution) dimensionnelle axiale le transducteur T21 génère un courant de mesure représentatif de la première amplitude (et de son signe). Lorsque le module de contrôle MC reçoit ce courant de mesure (via le conducteur CE), il détermine la modification dimensionnelle axiale correspondante et génère un courant de commande destiné au transducteur T11 du premier corps terminal CT1. Lorsque le transducteur T11 reçoit ce courant de commande, il le convertit en une deuxième modification dimensionnelle axiale permettant d'induire une deuxième désorientation de la partie externe PE1 de son corps terminal CT1 par rapport à sa partie interne PU (matérialisée par la flèche R2). Cette deuxième désorientation (R2) est opposée à la première désorientation (R1) afin de la compenser. La deuxième modification dimensionnelle axiale est ici une augmentation d'épaisseur, d'amplitude sensiblement égale à la première amplitude, mais de signe opposée (matérialisée par les flèches F3). Cette deuxième modification dimensionnelle axiale (F3) provoque dans le même temps la diminution de la distance qui sépare les parties interne PU et externe PE 1 , du premier corps terminal CT1 du côté opposé au transducteur T11 , d'une valeur sensiblement égale à la première amplitude, comme cela est matérialisé par les flèches F4.To facilitate the micro-positioning function, the device may comprise one or more physical size sensors, delivering signals representative of said physical quantities for the control module MC. This sensor (s) can (for example) perform a laser metrology and / or a determination of stress (s) to relax. In this case, the control module MC determines the control currents which are intended for the different transducers Tij according to instructions and the signals supplied by the sensor (s). Note that the device D can be used for the sole purpose of relaxing one or more constraints, when equipped with strain gauge (s). The control module MC may also be responsible for compensating at least partially the effect of a stress on at least one of its terminal bodies CTi. More precisely, when a terminal body CTi, for example CT2 (as illustrated in FIG. 1B), undergoes a constraint, this results in a first disorientation (inclination materialized by the arrow R1) of its external part PE2 with respect to its internal part PI2 because of the flexibility of the intermediate portion PD2 connecting them. This disorientation (R1) causes a first axial dimensional change, of a first amplitude, of the transducer T21 (materialized by the arrows F1). In the example illustrated in FIG. 1B, the first axial dimensional change is a decrease in thickness (but this could be the opposite). At the same time, the distance separating the inner PI2 and outer PE2 parts on the opposite side to the transducer T21 increases by a value equal to the first amplitude, as shown by the arrows F2. In response to this first axial axial reduction (decrease), the transducer T21 generates a measuring current representative of the first amplitude (and its sign). When the control module MC receives this measurement current (via the conductor CE), it determines the corresponding axial dimensional change and generates a control current for the transducer T11 of the first terminal body CT1. When the transducer T11 receives this control current, it converts it into a second axial dimensional modification making it possible to induce a second disorientation of the external part PE1 of its terminal body CT1 with respect to its internal part PU (represented by the arrow R2) . This second disorientation (R2) is opposed to the first disorientation (R1) in order to compensate for it. The second axial dimensional change is here an increase in thickness, of amplitude substantially equal to the first amplitude, but of opposite sign (materialized by the arrows F3). This second axial dimensional change (F3) at the same time causes a decrease in the distance separating the internal PU and external parts PE 1 from the first terminal body CT1 on the opposite side to the transducer T11, by a value substantially equal to the first amplitude, as materialized by the arrows F4.
On notera que pour assurer cette fonction de contrôle de la compensation de l'effet d'une contrainte, le module de contrôle MC peut éventuellement fonctionner en mode d'asservissement (à contrainte donnée). Il peut également fonctionner en mode d'asservissement à modification dimensionnelle axiale donnée.Note that to provide this control function of the compensation of the effect of a constraint, the control module MC may possibly operate in servo mode (given constraint). It can also operate in servo mode with given axial dimensional modification.
On notera également que le dispositif D peut à la fois assurer une fonction de micro-positionnement et de compensation de contrainte(s).Note also that the device D can both provide a function of micro-positioning and stress compensation (s).
On se réfère maintenant aux figures 2A et 2B pour décrire un deuxième exemple de réalisation d'un dispositif de fixation D selon l'invention. Il s'agit d'une variante du premier exemple décrit précédemment en référence aux figures 1 A et 1 B. Ce deuxième exemple se différencie du premier par le fait que chaque corps terminal CTi comprend deux transducteurs Ti 1 et Ti2, fonctionnant de façon antagoniste, et non pas un seul. Cet aménagement est en effet destiné à pallier un inconvénient du premier exemple de réalisation lié à la présence d'un unique transducteur Tij dans chaque corps terminal CTi, et imposant que chaque transducteur piézoélectrique Tij soit précontraint.Referring now to Figures 2A and 2B to describe a second embodiment of a fixing device D according to the invention. This is a variant of the first example described above with reference to FIGS. 1A and 1B. This second example differs from the first in that each terminal body CTi comprises two transducers Ti 1 and Ti 2, operating in an antagonistic manner. , not just one. This arrangement is indeed intended to overcome a disadvantage of the first embodiment related to the presence of a single transducer Tij in each terminal body CTi, and imposing that each piezoelectric transducer Tij is prestressed.
Dans ce second mode de réalisation, le module de commande MC contrôle le micro-positionnement et/ou la compensation de contrainte(s) via les quatre transducteurs Tij (T11 , T12, T21 et T22).In this second embodiment, the control module MC controls the micro-positioning and / or the compensation of stress (s) via the four transducers Tij (T11, T12, T21 and T22).
Par exemple, et comme illustré sur la figure 2B, lorsque le module de contrôle MC fonctionne en compensation de contrainte(s), il reçoit un courant de mesure en provenance de l'un des transducteurs Tij, par exemple le premierFor example, and as illustrated in FIG. 2B, when the control module MC operates in stress compensation (s), it receives a measurement current coming from one of the transducers Tij, for example the first one.
T1i, de l'un des corps terminaux CTi, par exemple CT2, induit par une première désorientation (R1 ) de sa partie externe PE2 par rapport à sa partie interne PI2.T1i, of one of the terminal bodies CTi, for example CT2, induced by a first disorientation (R1) of its outer part PE2 with respect to its internal part PI2.
Il détermine alors la première modification dimensionnelle axiale qui correspond à ce courant de mesure, puis il génère trois courants de commande. Dans l'exemple illustré sur la figure 2B, la première modification dimensionnelle axiale est une diminution d'épaisseur (mais cela pourrait être le contraire), matérialisée par les flèches F1.It then determines the first axial dimensional change that corresponds to this measurement current, and then generates three control currents. In the example illustrated in Figure 2B, the first axial dimensional change is a decrease in thickness (but this could be the opposite), shown by the arrows F1.
Le premier courant de commande est destiné au deuxième transducteur T22 du second corps terminal CT2. Il est déterminé de sorte que le deuxième transducteur T22 le convertisse en une deuxième modification dimensionnelle axiale de signe opposé à la première modification dimensionnelle axiale et de même amplitude. Cette deuxième modification dimensionnelle axiale est ici une augmentation d'épaisseur, matérialisée par les flèches F2.The first control current is for the second transducer T22 of the second terminal body CT2. It is determined so that the second transducer T22 converts it into a second axial dimensional modification of opposite sign to the first axial dimensional modification of the same amplitude. This second axial dimensional change is here an increase in thickness, materialized by the arrows F2.
Le deuxième courant de commande est destiné au premier transducteur T11 du premier corps terminal CT1. Il est déterminé de sorte que le premier transducteur T11 le convertisse en une troisième modification dimensionnelle axiale destinée à induire une deuxième désorientation (R2) de la partie externe PE1 de son corps terminal CT1 par rapport à sa partie interne PU , opposée à la première désorientation. Cette troisième modification dimensionnelle axiale est ici une augmentation d'épaisseur, matérialisée par les flèches F3.The second control current is for the first transducer T11 of the first terminal body CT1. It is determined so that the first transducer T11 converts it into a third axial dimensional modification intended to induce a second disorientation (R2) of the external part PE1 of its terminal body CT1 with respect to its internal part PU, opposite to the first disorientation . This third axial dimensional change is here an increase in thickness, materialized by the arrows F3.
Le troisième courant de commande est destiné au deuxième transducteur T12 du premier corps terminal CT1. Il est déterminé de sorte que le deuxième transducteur T12 le convertisse en une quatrième modification dimensionnelle axiale de signe opposé à la troisième modification dimensionnelle axiale et de même amplitude. Cette quatrième modification dimensionnelle axiale est ici une diminution d'épaisseur, matérialisée par les flèches F4.The third control current is for the second transducer T12 of the first terminal body CT1. It is determined so that the second transducer T12 converts it into a fourth axial dimensional change of opposite sign to the third axial dimensional change and of the same amplitude. This fourth axial dimensional change is here a decrease in thickness, materialized by the arrows F4.
Lorsque le module de contrôle MC contrôle le micro-positionnement, il détermine des courants de mesure pour les quatre transducteurs Tij, de sorte qu'ils fonctionnent au sein d'un même corps terminal CTi de façon antagoniste. Les deux exemples de réalisation décrits ci-avant n'offrent qu'un ou deux degrés de liberté (translation suivant la direction YY' et éventuellement une rotation). Mais, on peut envisager d'autres exemples de réalisation offrant plus de deux degrés de liberté, par exemple trois ou quatre. Un tel (troisième) exemple de réalisation est illustré sur la figure 3.When the control module MC controls the micro-positioning, it determines measuring currents for the four transducers Tij, so that they operate within the same terminal body CTi antagonistically. The two embodiments described above only offer one or two degrees of freedom (translation in the direction YY 'and optionally a rotation). But, it is possible to envisage other embodiments offering more than two degrees of freedom, for example three or four. Such (third) exemplary embodiment is illustrated in FIG.
Dans ce troisième exemple de réalisation, chaque corps terminal CTi comprend à l'intérieur de son espace libre Si trois transducteurs piézoélectriques Tij G = 1 à 3) placés à 120° les uns des autres par rapport à l'axe XX. Le dispositif est ici symétrique par rapport à un élément de symétrie de type axe de symétrie constitué par l'axe XX.In this third exemplary embodiment, each terminal body CTi comprises inside its free space Si three piezoelectric transducers Tij G = 1 to 3) placed at 120 ° to each other with respect to the axis XX. The device is here symmetrical with respect to a symmetry-type symmetry element consisting of the axis XX.
Comme illustré, la partie interne rigide Pli et/ou la partie externe rigide PEi de chaque corps terminal CTi peu(ven)t par exemple se présenter sous la forme de plateformes, éventuellement de forme générale cylindrique circulaire. Par ailleurs, la partie intermédiaire flexible PDi de chaque corps terminal CTi peut par exemple se présenter sous la forme d'un diabolo. Ce type de forme est en effet bien adapté aux rotations (ou inclinaisons) dans toutes les directions.As illustrated, the rigid inner portion P1 and / or the rigid outer portion PEi of each terminal body CT1 may for example be in the form of platforms, possibly of generally circular cylindrical shape. Moreover, the flexible intermediate portion PDi of each terminal body CTi may for example be in the form of a diabolo. This type of shape is indeed well adapted to rotations (or inclinations) in all directions.
Les corps terminaux CTi sont ici symétriques par rapport à l'axe de symétrie XX.The terminal bodies CTi are here symmetrical with respect to the axis of symmetry XX.
Le corps central CC est ici de forme cylindrique circulaire, à titre d'exemple. Il est ici symétrique par rapport à l'axe de symétrie XX.The central body CC is here of circular cylindrical shape, for example. It is here symmetrical with respect to the axis of symmetry XX.
Les modes de fonctionnement offerts par ce troisième exemple de réalisation sont identiques à ceux décrits ci-avant en référence aux figures 1 et 2. La seule différence réside dans le fait que les possibilités de micropositionnement sont plus nombreuses et qu'un plus grand nombre de compensations peuvent être effectuées, du fait de la présence d'un triplet de transducteurs Tij dans chaque corps terminal CTi.The modes of operation offered by this third exemplary embodiment are identical to those described above with reference to FIGS. 1 and 2. The only difference lies in the fact that the possibilities of micropositioning are more numerous and that a greater number of Compensation can be made because of the presence of a triplet of transducers Tij in each terminal body CTi.
Par exemple, lorsque le module de contrôle MC contrôle le micro- positionnement, il détermine des courants de mesure pour les six transducteursFor example, when the MC control module controls the micro-positioning, it determines measuring currents for the six transducers
Tij, de sorte qu'ils fonctionnent de façon combinée par triplet au sein d'un même corps terminal CTi. En fait, pour un triplet de transducteurs Tij, deux courants de commande permettent de fixer la première désorientation au niveau d'un corps terminal CTi, tandis que le troisième courant de commande sert à positionner le troisième transducteur de façon antagoniste par rapport à la combinaison des deux autres.Tij, so that they operate in a combined triplet way within the same terminal body CTi. In fact, for a triplet of transducers Tij, two control currents make it possible to fix the first disorientation at a terminal body CTi, while the third control current serves to position the third transducer in an antagonistic manner with respect to the combination of the two others.
Lorsque le module de contrôle MC fonctionne en compensation de contrainte(s), il reçoit au moins un courant de mesure en provenance de l'un au moins des trois transducteurs Tij de l'un des corps terminaux CTi, induit par une première désorientation de sa partie externe PEi par rapport à sa partie interne Pli. Il détermine alors chaque modification dimensionnelle axiale correspondant à chaque courant de mesure reçu. Puis, il génère, d'une part, un courant de commande pour chaque transducteur, du même corps terminal CTi, qui n'a pas transmis un courant de mesure, afin qu'il le convertisse en une modification dimensionnelle axiale choisie, et d'autre part, des courants de commande à destination des trois transducteurs de l'autre corps terminal CTi' afin qu'ils les convertissent en modifications dimensionnelles axiales permettant d'induire une deuxième désorientation de la partie externe PEi' de leur corps terminal CTi' par rapport à sa partie interne Pli', opposée à la première désorientation.When the control module MC operates in constraint compensation (s), it receives at least one measurement current coming from at least one of the three transducers Tij of one of the terminal bodies CTi, induced by a first disorientation of its external part PEi with respect to its internal part Pli. It then determines each axial dimensional change corresponding to each measurement current received. Then, it generates, on the one hand, a current of control for each transducer, of the same terminal body CTi, which has not transmitted a measurement current, so that it converts it into a selected axial dimensional change, and secondly control currents to the three transducers of the other terminal body CTi 'so that they convert them into axial dimensional modifications making it possible to induce a second disorientation of the external part PEi' of their terminal body CTi 'with respect to its internal part P11', opposite the first disorientation.
Il est important de noter que, quel que soit son mode de réalisation, le module de contrôle MC peut être éventuellement activé et désactivé à des instants choisis. Par exemple, le dispositif de fixation D, selon l'invention, est bloqué durant le lancement puis activé une fois que le satellite dans lequel il est embarqué est parvenu en orbite à l'emplacement prévu pour sa mission.It is important to note that whatever its embodiment, the control module MC may possibly be activated and deactivated at selected times. For example, the fixing device D, according to the invention, is blocked during launching and then activated once the satellite in which it is embarked has reached orbit at the location provided for its mission.
Le dispositif peut par exemple être activé par un logiciel embarqué durant les phases d'observation de la mission. L'invention offre un certain nombre d'avantages, parmi lesquels :The device can for example be activated by embedded software during the observation phases of the mission. The invention offers a number of advantages, among which:
- le dispositif D peut être miniaturisé de façon à être adapté à la charge du premier équipement devant être solidarisé au second équipement, de sorte que sa masse et son encombrement demeurent faibles,the device D can be miniaturized so as to be adapted to the load of the first equipment to be secured to the second equipment, so that its mass and its bulk remain low,
- le dispositif D permettant de réduire en orbite les contraintes d'interfaces, les équipements de haute stabilité dimensionnelle peuvent donc être conçus et dimensionnés de façon moins robuste ce qui induit une réduction de masse,the device D making it possible to reduce the interface constraints in orbit, the equipment of high dimensional stability can therefore be designed and dimensioned less robustly, which leads to a reduction in mass,
- le dispositif D comportant des composants mécaniques flexibles, déformés de manière élastique, il ne met en jeu aucun frottement ou roulement susceptible d'accélérer son vieillissement, de nuire à sa fiabilité ou de générer de la pollution particulaire,the device D comprising flexible mechanical components, elastically deformed, it does not involve any friction or rolling which may accelerate its aging, impair its reliability or generate particulate pollution,
- les plages de réglage offertes par le dispositif D permettent des procédures d'intégration simplifiées.- The setting ranges offered by the device D allow simplified integration procedures.
L'invention ne se limite pas aux modes de réalisation de dispositif de fixation et d'équipement décrits ci-avant, seulement à titre d'exemple, mais elle englobe toutes les variantes que pourra envisager l'homme de l'art dans le cadre des revendications ci-après.The invention is not limited to the embodiments of fixing device and equipment described above, only by way of example, but it encompasses all the variants that may be considered by those skilled in the art in the context of the invention. of the claims below.
Ainsi dans ce qui précède on a présenté une application de l'invention au positionnement fin d'un équipement par rapport à un autre. Mais, l'invention concerne également l'alignement ou le micro-positionnement quasi-statique d'un équipement par rapport à un autre. Thus, in the foregoing, an application of the invention has been presented the fine positioning of one equipment compared to another. However, the invention also relates to the alignment or the quasi-static micro-positioning of one equipment with respect to another.

Claims

REVENDICATIONS
1. Dispositif de fixation d'un premier équipement (E1) par rapport à un second équipement (E2), caractérisé en ce qu'il comprend i) une structure comportant un corps central rigide (CC) et deux corps terminaux (CTi) sensiblement identiques, prolongeant deux extrémités opposées dudit corps central (CC), et comprenant chacun une striction définissant une partie intermédiaire flexible (PDi) symétrique par rapport à un élément de symétrie, présentant une première extension par rapport audit élément de symétrie, située dans une position centrale et prolongée par une partie interne rigide (Pli) symétrique par rapport audit élément de symétrie, présentant une deuxième extension par rapport audit élément de symétrie supérieure à la première et solidaire de l'une desdites extrémités du corps central (CC), et une partie externe rigide (PEi) symétrique par rapport audit élément de symétrie, présentant une troisième extension par rapport audit élément de symétrie supérieure à la première, espacée de ladite partie interne (Pli) et destinée à être solidarisée audit premier (E1) ou second (E2) équipement, ii) au moins deux transducteurs piézoélectriques (Tij) logés respectivement dans des espaces libres (Si) définis entre les parties interne (Pli) et externe (PEi) des deux corps terminaux (CTi) et agencés chacun pour convertir soit une modification dimensionnelle axiale en un courant de mesure représentatif de l'amplitude de ladite modification, soit un courant de commande en une modification dimensionnelle axiale correspondante, et iii) des moyens de contrôle (MC) agencés pour déterminer au moins une modification dimensionnelle axiale pour l'un au moins desdits transducteurs (Tij) de manière à placer ledit premier équipement (E1) dans une position choisie par rapport audit second équipement (E2).1. Device for fixing a first device (E1) with respect to a second device (E2), characterized in that it comprises i) a structure comprising a rigid central body (CC) and two end bodies (CTi) substantially identical, extending two opposite ends of said central body (CC), and each comprising a constriction defining a flexible intermediate portion (PDi) symmetrical with respect to an element of symmetry, having a first extension relative to said symmetrical element, located in a position central and extended by a rigid inner portion (P1) symmetrical with respect to said symmetry element, having a second extension relative to said element of symmetry greater than the first and integral with one of said ends of the central body (CC), and a rigid outer part (PEi) symmetrical with respect to said symmetry element, having a third extension with respect to said element of symmetry symmetry greater than the first, spaced from said inner portion (P1) and intended to be secured to said first (E1) or second (E2) equipment, ii) at least two piezoelectric transducers (Tij) respectively housed in free spaces (Si) defined between the inner (P1) and outer (PEi) portions of the two end bodies (CTi) and each arranged to convert either an axial dimensional change to a measurement current representative of the amplitude of said change, or a control current in a corresponding axial dimensional change, and iii) control means (MC) arranged to determine at least one axial dimensional change for at least one of said transducers (Tij) so as to place said first equipment (E1) in a chosen position relative to said second equipment (E2).
2. Dispositif selon la revendication 1 , caractérisé en ce que lesdits moyens de contrôle (MC) sont agencés pour déterminer une modification dimensionnelle axiale pour chaque transducteur (Tij) de manière à placer ledit premier équipement (E1) dans une position choisie par rapport audit second équipement (E2). 2. Device according to claim 1, characterized in that said control means (MC) are arranged to determine an axial dimensional change for each transducer (Tij) so as to place said first equipment (E1) in a selected position with respect to said second equipment (E2).
3. Dispositif selon la revendication 1 , caractérisé en ce que lesdits moyens de contrôle (MC) sont agencés, en cas de réception d'un courant de mesure en provenance d'un transducteur (Tij) de l'un desdits corps terminaux (CTi), induit par une première désorientation de sa partie externe (PEi) par rapport à sa partie interne (Pli), pour déterminer la modification dimensionnelle axiale correspondante et générer un courant de commande à destination du transducteur (Ti'j) de l'autre corps terminal (CTi') de sorte qu'il le convertisse en une modification dimensionnelle axiale permettant d'induire une deuxième désorientation de la partie externe (PEi') de son corps terminal (CTi') par rapport à sa partie interne (PIi'), opposée à ladite première désorientation.3. Device according to claim 1, characterized in that said control means (MC) are arranged, when receiving a measurement current from a transducer (Tij) of one of said terminal bodies (CTi ), induced by a first disorientation of its outer portion (PEi) relative to its inner portion (P1), to determine the corresponding axial dimensional change and generate a control current to the transducer (Ti'j) of the other terminal body (CTi ') so that it converts it into an axial dimensional change making it possible to induce a second disorientation of the external part (PEi') of its terminal body (CTi ') with respect to its internal part (PIi' ), opposite to said first disorientation.
4. Dispositif selon la revendication 1 , caractérisé en ce que chaque espace libre (Si) de corps terminal (CTi) loge au moins des premier (Ti1) et deuxième (Ti2) transducteurs piézoélectriques destinés à fonctionner de façon antagoniste, et en ce que lesdits moyens de contrôle (MC) sont agencés, en cas de réception d'un courant de mesure en provenance du premier transducteur (TM) de l'un desdits corps terminaux (CTi), induit par une première désorientation de sa partie externe par rapport à sa partie interne, pour déterminer la première modification dimensionnelle axiale correspondante et générer i) un premier courant de commande à destination du deuxième transducteur (Ti2) de ce même corps terminal (CTi) de sorte qu'il le convertisse en une deuxième modification dimensionnelle axiale de signe opposé à ladite première modification dimensionnelle axiale et de même amplitude, ii) un deuxième courant de commande à destination du premier transducteur (Ti'1) de l'autre corps terminal (CTi') de sorte qu'il le convertisse en une troisième modification dimensionnelle axiale permettant d'induire une deuxième désorientation de la partie externe de son corps terminal (CTi') par rapport à sa partie interne, opposée à ladite première désorientation, et iii) un troisième courant de commande à destination du deuxième transducteur (Ti'2) de cet autre corps terminal (CTi') de sorte qu'il le convertisse en une quatrième modification dimensionnelle axiale de signe opposé à ladite troisième modification dimensionnelle axiale et de même amplitude.4. Device according to claim 1, characterized in that each free space (Si) of terminal body (CTi) houses at least first (Ti1) and second (Ti2) piezoelectric transducers intended to operate in an antagonistic manner, and in that said control means (MC) are arranged, when a measurement current is received from the first transducer (TM) of one of said terminal bodies (CTi), induced by a first disorientation of its external part relative to at its inner part, to determine the corresponding first axial dimensional change and to generate i) a first control current to the second transducer (Ti2) of the same terminal body (CTi) so that it converts it into a second dimensional change axial axis of opposite sign to said first axial dimensional change and of the same amplitude, ii) a second control current to the first transducer (Ti'1) of the another terminal body (CTi ') so that it converts it into a third axial dimensional modification making it possible to induce a second disorientation of the external part of its terminal body (CTi') with respect to its internal part, opposite to said first disorientation, and iii) a third control current to the second transducer (Ti'2) of this other terminal body (CTi ') so that it converts it into a fourth axial dimensional change of sign opposite to said third modification axial dimension and the same amplitude.
5. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que chaque espace libre (Si) de corps terminal (CTi) loge trois transducteurs piézoélectriques (Tij) placés à 120° les uns des autres.5. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that each free space (Si) of terminal body (CTi) houses three piezoelectric transducers (Tij) placed at 120 ° from each other.
6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que lesdits moyens de contrôle (MC) sont agencés, en cas de réception d'au moins un courant de mesure en provenance de l'un au moins des transducteurs (Tij) de l'un desdits corps terminaux (CTi), induit par une première désorientation de sa partie externe par rapport à sa partie interne, pour déterminer chaque modification dimensionnelle axiale correspondante et générer i) un courant de commande à destination de chaque transducteur (Tij'), de ce même corps terminal (CTi), n'ayant pas transmis un courant de mesure, de sorte qu'il le convertisse en une modification dimensionnelle axiale, et ii) des courants de commande à destination des trois transducteurs (Ti'j) de l'autre corps terminal (CTi') de sorte qu'ils les convertissent en modifications dimensionnelles axiales permettant d'induire une deuxième désorientation de la partie externe de leur corps terminal (CTi') par rapport à sa partie interne, opposée à ladite première désorientation.6. Device according to claim 5, characterized in that said control means (MC) are arranged, when receiving at least one measurement current from at least one of the transducers (Tij) of the one of said terminal bodies (CTi), induced by a first disorientation of its outer portion relative to its inner part, to determine each corresponding axial dimensional change and generate i) a control current to each transducer (Tij '), this same terminal body (CTi), having not transmitted a measurement current, so that it converts it into an axial dimensional modification, and ii) control currents intended for the three transducers (Ti'j) of the other terminal body (CTi ') so that they convert them into axial dimensional modifications making it possible to induce a second disorientation of the external part of their terminal body (CTi') with respect to its internal part, opposite to the said first disorientation.
7. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que l'une au moins desdites parties interne (Pli) et externe (PEi) de chaque corps terminal (CTi) est une plateforme de forme choisie, et en ce que la partie intermédiaire (PDi) de chaque corps terminal présente une forme de type diabolo.7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that at least one of said inner portion (P1) and outer (PEi) of each terminal body (CTi) is a platform of selected shape, and in that that the intermediate part (PDi) of each terminal body has a diabolo type shape.
8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que lesdits transducteurs (Tij) sont réalisés dans un matériau piézoélectrique choisi dans un groupe comprenant au moins des monocristaux piézoélectriques et des céramiques piézoélectriques.8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that said transducers (Tij) are made of a piezoelectric material selected from a group comprising at least piezoelectric single crystals and piezoelectric ceramics.
9. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que lesdits transducteurs (Tij) sont constitués d'au moins un empilement d'au moins une couche dudit matériau piézoélectrique.9. Device according to claim 8, characterized in that said transducers (Tij) consist of at least one stack of at least one layer of said piezoelectric material.
10. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce qu'il comprend au moins un capteur agencé pour délivrer des signaux représentatifs d'au moins une grandeur physique, et en ce que lesdits moyens de contrôle (MC) sont agencés pour déterminer lesdites modifications dimensionnelles axiales en fonction desdits signaux.10. Device according to one of claims 1 to 9, characterized in that it comprises at least one sensor arranged to deliver signals representative of at least one physical quantity, and in that said control means (MC) are arranged to determine said modifications axial dimensions as a function of said signals.
11. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que lesdits moyens de contrôle (MC) sont agencés pour être activés et désactivés à des instants choisis.11. Device according to one of claims 1 to 10, characterized in that said control means (MC) are arranged to be activated and deactivated at selected times.
12. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 11 , caractérisé en ce que lesdits moyens de contrôle (MC) sont agencés pour fonctionner en mode d'asservissement de position.12. Device according to one of claims 1 to 11, characterized in that said control means (MC) are arranged to operate in position control mode.
13. Equipement (E1 , E2), caractérisé en ce qu'il comprend au moins un dispositif de fixation (D) selon l'une des revendications précédentes.13. Equipment (E1, E2), characterized in that it comprises at least one fixing device (D) according to one of the preceding claims.
14. Utilisation du dispositif de fixation (D) et de l'équipement (E1 , E2) selon l'une des revendications précédentes, dans le domaine spatial. 14. Use of the fixing device (D) and the equipment (E1, E2) according to one of the preceding claims, in the spatial field.
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