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EP1537594A1 - High-voltage vacuum tube - Google Patents

High-voltage vacuum tube

Info

Publication number
EP1537594A1
EP1537594A1 EP02754109A EP02754109A EP1537594A1 EP 1537594 A1 EP1537594 A1 EP 1537594A1 EP 02754109 A EP02754109 A EP 02754109A EP 02754109 A EP02754109 A EP 02754109A EP 1537594 A1 EP1537594 A1 EP 1537594A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
insulator
vacuum tube
annular insulator
voltage vacuum
cathode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP02754109A
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
EP1537594B1 (en
Inventor
Kurt Holm
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Comet Holding AG
Original Assignee
Comet Holding AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Comet Holding AG filed Critical Comet Holding AG
Priority to AT02754109T priority Critical patent/ATE316690T1/en
Publication of EP1537594A1 publication Critical patent/EP1537594A1/en
Application granted granted Critical
Publication of EP1537594B1 publication Critical patent/EP1537594B1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith

Definitions

  • the present invention relates to high-voltage vacuum tubes in which an anode and a cathode are arranged opposite one another in a vacuumized interior and which vacuumized interior is enclosed by a cylindrical metal housing, the anode and / or the cathode being electrically insulated by means of an annular insulator.
  • the invention relates to high voltage vacuum tubes for use as X-ray tubes.
  • X-ray tubes are used in a wide variety of areas, e.g. for generating x-rays for medical examinations and in the industrial area for screening baggage or transport containers at airports, for customs clearance and others, and for testing systems and buildings, e.g. concrete reinforcement for bridges etc.
  • X-rays are indispensable.
  • the reliability and service life of the X-ray tubes play a decisive factor.
  • higher and higher levels of performance are required, particularly when illuminating objects.
  • higher outputs affect the life and reliability of the tubes.
  • x-ray tubes which provide the required performance usually comprise an anode and a cathode, which are arranged opposite one another in a vacuum-sealed interior and which are enclosed by a cylindrical metal part.
  • the anode and / or cathode are electrically insulated by means of a ring-shaped ceramic insulator, the ceramic insulator (s) being arranged axially to the metal cylinder behind the anode and / or cathode and closing the vacuum space on the respective end.
  • the ceramic insulators have an opening in their center, into which a high-voltage supply, the anode or the cathode are inserted in a vacuum-tight manner.
  • This type of X-ray tubes is also referred to in the prior art as two-pole X-ray tubes.
  • X-ray tubes In addition to the desired generation of X-rays, there are other physical effects, such as field emission, secondary electron emission and photo effect. These effects interfere with the function of the X-ray tube and can lead to impairment of the material and thus to premature fatigue of the parts.
  • Secondary electron emission in particular is known for the impairment of X-ray tube operation. In secondary electron emission, when the electron beam strikes the anode, undesired secondary electrons are formed in addition to the X-rays, which move on the inside of the X-ray tube along paths in accordance with the field lines.
  • shielding electrodes can be used, for example, in pairs, and are usually arranged coaxially at a certain distance in a rotationally symmetrical shape of the X-ray tube in order to optimally prevent the spreading of the secondary electrons. As has been shown, however, such devices can no longer be used at very high voltages. In addition, the material and manufacturing costs for such constructions are greater than for X-ray tubes with only insulators.
  • a conical ceramic insulator is used in these solutions to reduce the attack surface.
  • the ceramic insulator has an essentially constant wall thickness and is coated, for example, with a vulcanized rubber layer.
  • the electrical field inside the vacuum space also includes the surfaces of the insulators.
  • the field detects an electron hitting the insulators or a scattering electron triggered by an impinging electron Accelerated towards the anode. A single electron will hardly cause any interference.
  • the anode-side insulator like the cathode-side insulator, is designed as a truncated cone projecting into the interior, then an electron striking the insulator (for example, an electron from the metal piston) is also accelerated towards the anode. However, on the anode side, it moves along the surface of the insulator because there is no electrical field pointing away from the insulator surface. After passing through a certain distance, such an electron has enough energy to release further electrons, which in turn release electrons, so that an electron avalanche running on the surface of the insulator leads to a considerable disturbance, possibly also gas breakouts or even a breakdown of the isolator. The higher the voltage, the more significant this effect becomes.
  • the high-voltage vacuum tubes are intended, among other things, for use as X-ray tubes for screening luggage and / or transport containers, etc. and are intended to meet the industrial requirements there.
  • an anode and a cathode are arranged opposite one another in a vacuum-sealed interior, in that the vacuum-sealed interior is enclosed by a cylindrical metal housing, and in that the anode and / or the cathode is formed by means of an annular Insulators are electrically insulated, the ring-shaped insulator comprising a cylindrical part and having a single, curved shape in the direction of the vacuumized interior, the curvature in the direction of the vacuumized interior comprising a front region which is inclined with respect to the axis of symmetry of the annular insulator and two side regions, the inclined front region of the annular insulator of the anode is inclined toward the disk center of the annular insulator, and wherein the inclined front region of the annular insulator of the cathode is away from the disk center of the annular insulator is.
  • the insulator (s) can either be designed only on the cathode side or only on the anode side or on both sides, ie on the anode side and on the cathode side.
  • One side area of an insulator is inclined towards the respective negative electrode and runs over a larger area in its vicinity.
  • the wall of the cylindrical metal housing forms the negative electrode with respect to the insulator
  • the metallic outer wall of the cathode forms the negative electrode with respect to the insulator.
  • the connection point between the respective negative electrode and the corresponding isolator is referred to as a negative triple point.
  • the high voltage vacuum tube can be used as an X-ray tube, for example.
  • the above-mentioned embodiment has the advantage that an extraordinarily high stability of the tube is achieved during operation due to the resulting electrical field, without the insulator breaking through on the anode and / or cathode side, gas breakouts and / or other disturbances.
  • the tube can be operated at much higher voltages and a smaller or more compact design than conventional tubes.
  • the mass of the tube and the voltage at the isolator are directly related to each other.
  • the smaller the design the greater the dielectric strength of the insulator on the electrode.
  • the advantages of a smaller and more compact design for such tubes are obvious. Smaller and more compact tubes are cheaper to manufacture, less heavy and easier to use. This applies in particular to possibly necessary lead shields etc.
  • the special shape of the insulators means that a critical part of the tube, namely the negative triple point at which, as mentioned, the negative metal electrode, the ceramic and the vacuum collide, and primarily favors the emission of electrons, is electrically shielded. This suppresses the electron emission.
  • This triple point is located on the cathode side in the soldering connection between the insulator and the high-voltage supply in the center of the insulator. On the anode side, however, the triple point lies in the soldering connection between the outer circumference of the insulator and the cylindrical metal housing.
  • the shielding is done by forced charging of the ceramic in the vicinity of the negative triple point by emitted electrons.
  • the shape of the insulator initially creates a very high field in the area of the triple point, which is sufficient to release electrons from the metal even at lower voltages (eg during a start phase of tube operation). These electrons charge the ceramic to such an extent that the electric field in this area is reduced in such a way that the electron emission comes to a standstill.
  • the special shape of the insulator prevents the electrons from reaching the positive counterelectrode via the ceramic or the vacuum. This stabilizes the condition.
  • the inclined front also ensures that Electrons that are released from the negative metallic electrode at a high voltage outside the above-mentioned area reach the positive electrode directly through the vacuum and are not accelerated onto the ceramic surface. An avalanche-like multiplication of the free electrons and thus a violent flashover by secondary electrons over the ceramic surface is prevented.
  • the non-trivial shape of the isolator can significantly increase the dielectric strength and the service life of the vacuum tube.
  • the curvature is essentially characterized by angles ⁇ , ⁇ and y of a shortened side area, an elevated side area and the front area, the angle ⁇ between the axial direction of the annular insulator and the elevated side area being between 10 ° and 25 ° and wherein the angle ⁇ of the front region to the perpendicular to the axial direction of the annular insulator is between 10 ° and 25 °, the angle v between the shortened side region to the axial direction of the annular insulator is between 10 ° and 25 °.
  • the three areas can each have a tangential transition radius of 1 to 7 mm.
  • the annular insulator between the raised side region and the front region inclined with respect to the perpendicular to the axis direction of the annular insulator comprises a fourth region, which points essentially perpendicularly to the axis of the annular insulator in the direction of the vacuum-sealed interior and which faces the inflated side region and the front region has a tangential transition radius of 1 to 7 mm.
  • This variant has the same advantages as the previous variant. In particular, it can be used to operate high-voltage vacuum tubes with voltages of more than 200 kV on the insulator without interference or failures caused by secondary electrons.
  • the raised side area protrudes at least twice as far as the shortened side area into the vacuum-sealed interior.
  • the raised side region has a tapering outlet against the axial direction of the annular insulator and / or the shortened side region has a tapered outlet against the axial direction of the annular insulator.
  • the ring-shaped insulator consists essentially of an insulating ceramic material.
  • the ceramic material can e.g. consist of at least 95% AI2O3. This variant has the advantage that the ceramic material is particularly suitable as an insulator in the very high electrical fields with regard to its stability against voltage or breakdown.
  • the cathode on the outer wall comprises an electropolished and / or mechanically polished metal cylinder against the annular insulator. This has among other things the advantage that the dielectric strength can be increased and breakdowns can be prevented.
  • the high-voltage vacuum tube 1 comprises a power supply device, by means of which Operating voltages of at least 200 kV can be applied to the isolator.
  • This design variant has the advantage, among other things, that it can provide the required performance for special industrial applications, such as for example the screening of transport containers at customs and airports.
  • the invention also relates to a system for carrying out this method.
  • Figure 1 shows a block diagram which schematically shows a cross section of an X-ray tube of the prior art.
  • the ring-shaped insulator 10 is stepped 101 against the cylindrical metal housing 1 and against the electrode 2 in order to reduce the generation of secondary electrons.
  • Figure 2 shows a block diagram which schematically shows a cross section of another embodiment of an X-ray tube of the prior art.
  • the ring-shaped insulator 11 shows an elevation 110 with a depression 111 toward the cylindrical metal housing 1 at the transition to the metal housing 1.
  • FIG. 3 shows a block diagram which schematically shows a cross section of another embodiment of an X-ray tube of the prior art.
  • the ring-shaped insulator 12 shows an elevation 120 with a depression 121 towards the cylindrical metal housing 1 at the transition to the metal housing 1.
  • the metal housing 1 is bulged 122 radially outwards at the level of the elevation 120.
  • FIG. 4 shows a block diagram which schematically shows a cross section of an X-ray tube similar to that in FIG. 1 of the prior art.
  • the annular insulator 14 is against the cylindrical Metal housing 1, as well as simply stepped against the electrode 2 in order to reduce the generation of secondary electrons.
  • the annular insulator 14 on the side of the anode 3 and the cathode 4 is identical.
  • An electron aperture 5 is located between anode 3 and cathode 4 in order to further reduce any scattered electrons.
  • FIG. 5 shows a block diagram which schematically shows a cross section of a further embodiment of an X-ray tube of the prior art.
  • the insulator 15 is conically applied to the wall of the holder of the electrode 2 (anode or cathode).
  • the cylindrical metal housing 1 tapers towards the electrode.
  • Such designs are no longer suitable for high voltages, since they become unstable against secondary electrons at high voltages.
  • FIG. 6 shows a block diagram which schematically shows a cross section of an embodiment of an X-ray tube according to the invention.
  • the annular insulator is shaped like a hunchback with the characterizing angles ⁇ , ⁇ and y.
  • the anode-side insulator 22 has a front surface 31 inclined towards the anode 3, while the cathode-side insulator 21 has a front surface 31 pointing towards the cylindrical metal housing.
  • FIG. 7 shows a block diagram, which schematically shows a cross section of an inventive annular insulator 21 on the cathode side.
  • the insulator is shaped like a hunchback with the characterizing angles ⁇ , ⁇ and y.
  • FIG. 8 shows a block diagram which schematically shows a cross section of an annular insulator 21 on the anode side according to the invention.
  • the insulator is shaped like a hunchback with the characterizing angles ⁇ , ⁇ and y.
  • FIG. 9 shows a block diagram which schematically shows the course of the equipotential lines 40 on the side of the anode 3 when the operating voltage is applied.
  • the hump shape of the insulator 22 influences the course of the field lines 40 to such an extent that on the cylindrical side Metal housing on the lower part of the surface 33 a field increase takes place, which triggers electrons from the cylindrical metal housing. These electrons charge the ceramic in such a way that an almost field-free space is created in this lower part.
  • FIG. 10 shows a block diagram which schematically shows the course of the equipotential lines 40 on the cathode 4 side when the operating voltage is applied.
  • the hump shape of the insulator 21 is mirrored on the anode side to the cathode side insulator.
  • the hump shape of the insulator 21 influences the course of the field lines 40 to such an extent that on the side of the cathode 4 on the lower part of the surface 33 there is a field increase which triggers electrons from the metal electrode. These electrons charge the ceramic in such a way that an almost field-free space is created in this lower part
  • FIG. 6, FIG. 7 and FIG. 8 illustrate a high-voltage vacuum tube and a method for a high-voltage vacuum tube, as can be used in the implementation of the invention.
  • the same reference numbers in the figures denote the same elements.
  • an anode 3 and a cathode 4 are arranged opposite one another in a vacuum-sealed interior space 6.
  • the vacuumized interior 6 is enclosed by a cylindrical metal housing 1.
  • the cylindrical metal housing 1 can have a minimum wall thickness of 2 mm, for example. It is also conceivable that the cylindrical metal housing 1 is electropolished and / or mechanically polished against the vacuumized interior 6.
  • the anode 3 and / or the cathode 4 are electrically insulated by means of an annular insulator 21/22.
  • FIG. 7 and FIG. 8 show a more detailed illustration of the ring-shaped insulator 21/22 in a cut-up, FIG. 7 showing the ring-shaped insulator 21 on the cathode side and FIG. 8 the ring-shaped insulator 22 on the anode side.
  • the ring-shaped insulator 21/22 can essentially consist, for example, of an insulating ceramic material.
  • ceramic material made of at least 95% Al2O3 is conceivable as ceramic material.
  • a single or multiple layer of an alloy can be sintered onto the ceramic.
  • the alloy can comprise, for example, a MoMnNi alloy.
  • the arithmetic The average roughness (Ra) of the ring-shaped ceramic insulator can be around 1.6 ⁇ m, for example. However, it is also possible for the annular ceramic insulator to be smooth or mechanically polished. For example, a pressing pressure of at least 1000 bar can be used to produce such an annular insulator 21/22.
  • the ring-shaped insulator 21/22 comprises a cylindrical part 23/24 and is designed to be simply curved in the shape of a hump in the direction of the vacuum-sealed interior 6.
  • the curvature in the direction of the vacuum-sealed interior space 6 comprises an inclined front area 31 and two side areas 30/33.
  • the inclined front region 31 of the annular insulator 22 of the anode 3 is inclined toward the axis through the disk center 7 of the insulator 22, while the inclined front region 31 of the annular insulator 21 of the cathode 4 is inclined away from the axis through the disk center 7 of the annular insulator 21 ,
  • the curvature can be characterized, for example, essentially by the angles ⁇ , ⁇ and y of a shortened side region 30, an elevated side region 33 and the front region 31.
  • the angle ⁇ between the axial direction 7 of the annular insulator 21/22 and the shortened side region 30 is preferably between 10 ° and 25 ° and the angle ⁇ of the front region 31 to the perpendicular 8 to the axis direction 7 of the annular insulator 21/22 is preferably between 10 ° and 25 °.
  • the angle Y between the raised side region to the axis direction 7 of the annular insulator 21/22 is preferably between 10 ° and 25 °.
  • the three areas 30/31/33 can each have a tangential transition radius R1 / R3 of, for example, 3 to 7 mm.
  • the elevated side region 33 projects, for example, at least twice as far as the shortened side region 30 into the vacuum-sealed interior space 6.
  • the front surface of the insulator is inclined in such a way that it cannot be hit by electrons from the negative electrode.
  • the negative triple point is located in the soldering connection between the insulator 21 and the high-voltage supply in the center of the ring-shaped insulator, ie the outer wall 411 of the cathode 4.
  • the negative triple point in the soldering connection lies between the outer circumference of the ring-shaped insulator Insulator 22 and the cylindrical metal housing 1.
  • the outer wall 311 of the anode is less critical with respect to the aforementioned electron effects.
  • the cathode 4 can on her Outer wall 411 against the annular insulator 21 comprises an electropolished and / or mechanically polished metal cylinder 412.
  • the non-trivial shape of the insulator 21/22 can significantly increase the dielectric strength and the service life of the vacuum tubes.
  • FIG. 9 and FIG. 10 show a possible course of the equipotential lines 40 on the side of the anode 3 or on the side of the cathode 4 when the operating voltage is applied.
  • the hump shape of the insulator 21/22 influences the course of the field lines to such an extent that an area of high field strength initially arises on the side of the raised area on the lower part of the surface 33.
  • the annular insulator 21/22 comprises a fourth region 32 between the raised region 33 and the front region 31 which is inclined with respect to the axis direction 7 of the annular insulator 21/22.
  • This fourth region 32 is essentially perpendicular 8 to the axis 7 of the annular insulator 21/22 in the direction of the vacuumized interior space 6.
  • the fourth area 32 can have, for example, a tangential transition radius R2 / R3 of 3 to 7 mm to the raised area 33 and to the front area 31.
  • the raised area 33 and / or the shortened area 30 has a tapering outlet against the axial direction 7 of the annular insulator 21/22.
  • the high-voltage vacuum tube 1 comprises a power supply device, by means of which operating voltages of at least 200 kV can be applied to the insulator, the high-voltage vacuum tube 1 can be used for special applications in industry, such as, for example, the screening of transport containers at customs and airports, etc. with the the power required there is particularly suitable.
  • the high-voltage vacuum tube 1 can be used in this application in particular as an X-ray tube.
  • the high-voltage vacuum tube 1 according to the invention is particularly suitable for use as an X-ray tube in any application. It is important to point out that a high-voltage vacuum tube 9 does not necessarily have to encompass the insulator 21/22 according to the invention on both sides, ie in the case of the anode 3 and the cathode 4. On the contrary, it is quite possible that the insulator 21/22 is only provided on one of the electrodes 3/4, while the other electrode 3/4 has a differently shaped insulator or none at all. Likewise, depending on the arrangement of the high-voltage vacuum tube 9, it may be useful to add, for example, an electron aperture 5 to reduce secondary electrons in the device.
  • the X-ray tube according to the invention is particularly suitable for use in a baggage screening device.
  • illumination devices for transport containers and / or transport containers, with their high demand for radiation power belong to the ideal fields of application for the high-voltage vacuum tubes or X-ray tubes according to the invention.
  • FIGs 1 to 4 schematically show examples of X-ray tubes of the prior art.
  • the annular insulators 10/11/12/14 are stepped 101 against the cylindrical metal housing 1 and / or against the electrode 2, with elevation 110/120 and / or single or multiple recesses 111/121/141 and / or bulges 122
  • the annular insulator 14 on the side of the anode 3 and the cathode 4 is identical in each case.
  • An electron aperture 5 can be located between anode 3 and cathode 4 in order to further reduce any scattered electrons.
  • Figure 5 shows a further embodiment of an X-ray tube of the prior art.
  • the insulator 15 is conically applied to the wall of the holder of the electrode 2 (anode or cathode).
  • the cylindrical metal housing 1 tapers towards the electrode. In particular, such designs are no longer suitable for high voltages, since they become unstable against secondary electrons at high voltages.

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

The invention relates to a high-voltage vacuum tube (9) comprising an anode (3) and a cathode (4), whereby the anode (3) and/or the cathode (4) are/is electrically insulated by means of an annular insulator (21/22). The annular insulator (21/22) is arched with a hump projecting toward the inner space (6) from which air has been evacuated, whereby the arch, in the direction of the inner space (6) from which air has been evacuated, has a sloping front area (31) and two lateral areas (30/33). The sloping front area (31) of the insulator (22) of the anode (3) slopes upward toward the disc center (7) of the insulator (22), whereas the sloping front area (31) of the insulator (21) of the cathode (4) slopes downward away from the disc center (7) of the insulator (21).

Description

Hochspannungs-Vakuumröhre High voltage vacuum tube
Die vorliegende Erfindung betrifft Hochspannungs-Vakuumröhren, bei welchen eine Anode und eine Kathode in einem vakuumisierten Innenraum einander gegenüberliegend angeordnet sind und welcher vakuumisierte Innenraum durch ein zylindrisches Metallgehäuse umschlossen ist, wobei die Anode und/oder die Kathode mittels eines ringförmigen Isolators elektrisch isoliert sind. Insbesondere betrifft die Erfindung Hochspannungs-Vakuumröhren zur Verwendung als Röntgenröhren.The present invention relates to high-voltage vacuum tubes in which an anode and a cathode are arranged opposite one another in a vacuumized interior and which vacuumized interior is enclosed by a cylindrical metal housing, the anode and / or the cathode being electrically insulated by means of an annular insulator. In particular, the invention relates to high voltage vacuum tubes for use as X-ray tubes.
Es gibt heute viele bekannte Verfahren zur Herstellung von Röntgenröhren. Röntgenröhren werden in den verschiedensten Bereichen eingesetzt, so z.B. zur Erzeugung von Röntgenstrahlen für medizinische Untersuchungen und im industriellen Bereich zum Durchleuchten von beispielsweise Gepäckstücken oder Transportcontainern auf Flughäfen, bei der Zollabfertigung u.A. und zum Testen von Anlagen und Bauten, z.B. Betonarmierungen bei Brücken etc., sind Röntgenstrahier nicht mehr wegzudenken. Bei all diesen Anwendungen spielt die Zuverlässigkeit und Lebensdauer der Röntgenröhren einen entscheidenden Faktor. Gleichzeitig werden gerade beim Durchleuchten von Gegenständen immer höhere Leistungen gefordert. Höhere Leistungen beeinflussen jedoch die Lebensdauer und Zuverlässigkeit der Röhren. Röntgenröhren, die die geforderten Leistungen bringen, umfassen im Stand der Technik meistens eine Anode und eine Kathode, die in einem vakuumisierten Innerraum einander gegenüberliegend angeordnet sind und die von einem zylindrischen Metallteil umschlossen sind. Anode und/oder Kathode werden dabei mittels eines ringförmigen Keramikisolators elektrisch isoliert, wobei der oder die Keramikisolatoren axial zum Metalizylinder hinter der Anode und/oder Kathode angeordnet sind und den Vakuumraum auf dem jeweiligen Ende beschliessen. Die Keramikisolatoren besitzen in ihrer Scheibenmitte eine Öffnung, in die eine Hochspannungszuführung, die Anode oder die Kathode vakuumdicht eingesetzt sind. Diese Art von Röntgenröhren wird im Stand der Technik auch als zweipolige Röntgenröhren bezeichnet. Beim Betrieb einer Röntgenröhre treten neben der erwünschten Erzeugung von Röntgenstrahlen weitere physikalische Effekte auf, wie z.B. Feldemission, Sekundärelektronenemission und Photoeffekt. Diese Effekte stören die Funktion der Röntgenröhre und können zu einer Beeinträchtigung des Materials und damit zu einer vorzeitigen Ermüdung der Teile führen. Insbesondere die Sekundärelektronenemission ist bekannt für die Beeinträchtigung des Röntgenröhrenbetriebs. Bei der Sekundärelektronenemission entstehen beim Auftreffen des Elektronenstrahls auf der Anode neben den Röntgenstrahlen unerwünschte Sekundärelektronen, die sich im Inneren der Röntgenröhre auf Bahnen entsprechend den Feldlinien fortbewegen. Sekundärelektronen entstehen jedoch auch dadurch, dass die Isolatoren bei der Anode und/oder Kathode bei Betrieb von unvermeidbaren Feldemissionselektronen getroffen werden und dort Sekundärelektronen auslösen. Das elektrische Feld wird bei eingeschalteter Hochspannung an der Anode und Kathode, d.h. bei Betrieb der Röntgenröhre, in Innenraum und den dem Innenraum zugewandten Oberflächen erzeugt. Dies umfasst auch die Oberflächen des Isolators. Je kürzer die Röntgenröhre ist und je breiter der Keramikisolator ist, desto grösser ist die Wahrscheinlichkeit, dassThere are many known methods for manufacturing x-ray tubes today. X-ray tubes are used in a wide variety of areas, e.g. for generating x-rays for medical examinations and in the industrial area for screening baggage or transport containers at airports, for customs clearance and others, and for testing systems and buildings, e.g. concrete reinforcement for bridges etc. X-rays are indispensable. In all of these applications, the reliability and service life of the X-ray tubes play a decisive factor. At the same time, higher and higher levels of performance are required, particularly when illuminating objects. However, higher outputs affect the life and reliability of the tubes. In the state of the art, x-ray tubes which provide the required performance usually comprise an anode and a cathode, which are arranged opposite one another in a vacuum-sealed interior and which are enclosed by a cylindrical metal part. The anode and / or cathode are electrically insulated by means of a ring-shaped ceramic insulator, the ceramic insulator (s) being arranged axially to the metal cylinder behind the anode and / or cathode and closing the vacuum space on the respective end. The ceramic insulators have an opening in their center, into which a high-voltage supply, the anode or the cathode are inserted in a vacuum-tight manner. This type of X-ray tubes is also referred to in the prior art as two-pole X-ray tubes. When operating an X-ray tube, in addition to the desired generation of X-rays, there are other physical effects, such as field emission, secondary electron emission and photo effect. These effects interfere with the function of the X-ray tube and can lead to impairment of the material and thus to premature fatigue of the parts. Secondary electron emission in particular is known for the impairment of X-ray tube operation. In secondary electron emission, when the electron beam strikes the anode, undesired secondary electrons are formed in addition to the X-rays, which move on the inside of the X-ray tube along paths in accordance with the field lines. However, secondary electrons also result from the insulators in the anode and / or cathode being hit by unavoidable field emission electrons during operation and triggering secondary electrons there. The electrical field is generated when the high voltage is switched on at the anode and cathode, ie when the X-ray tube is operating, in the interior and the surfaces facing the interior. This also includes the surfaces of the insulator. The shorter the x-ray tube and the wider the ceramic insulator, the greater the probability that
Sekundärelektronen und/oder Feldemmissionselektronen auf den oder die Keramikteile auftreffen. Dies führt dazu, dass die Hochspannungsfestigkeit und Lebensdauer der Vorrichtung auf unerwünschte Art herabgesetzt wird. Bei scheibenförmigen Isolatoren ist es deshalb aus dem Stand der Technik, z.B. aus DE2855905 bekannt, so genannte Abschirmelektroden zu verwenden. Die Abschirmelektroden können z.B. paarweise verwendet werden, wobei sie bei einer rotationssymmetrischen Gestalt der Röntgenröhre meist koaxial in einem bestimmten Abstand angeordnet sind, um die Ausbreitung der Sekundärelektronen optimal zu unterbinden. Wie sich gezeigt hat, können solche Vorrichtungen jedoch bei sehr hoher Spannung nicht mehr verwendet werden. Zudem ist der Material- und Herstellungsaufwand bei solchen Konstruktionen grösser, als bei Röntgenröhren mit nur Isolatoren. Eine andere Möglichkeit des Standes der Technik wird z.B. in DE6946926 gezeigt. Um die Angriffsfläche zu verringern, wird in diesen Lösungen ein konischer Keramikisolator verwendet. Der Keramikisolator weist eine im wesentlichen konstante Wandstärke auf und ist z.B. mit einer aufvulkanisierten Gummischicht überzogen. Wie erwähnt umfasst das elektrische Feld im Innern des Vakuumraums ebenfalls die Oberflächen der Isolatoren. Insbesondere bei konischen Isolatoren wird durch das Feld ein auf den Isolatoren auftreffendes Elektron oder ein durch ein auftreffendes Elektron ausgelöstes Streuelektron in Richtung Anode beschleunigt. Ein einzelnes Elektron wird dabei kaum eine Störung hervorrufen. Ist der anodenseitige Isolator wie der kathodenseitige Isolator als in den Innenraum hineinragender Kegelstumpf ausgebildet, dann wird ein auf den Isolator auftreffendes (beispielsweise ein aus dem Metallkolben ausgelöstes) Elektron ebenfalls zur Anode hin beschleunigt. Anodenseitig bewegt es sich jedoch auf der Isolatoroberfläche entlang, weil es kein von der Isolatorfläche wegweisendes elektrisches Feld vorfindet. Nach Durchlaufen einer gewissen Strecke hat ein solches Elektron genügend Energie, um weitere Elektronen auszulösen, die ihrerseits wiederum Elektronen auslösen, so dass es zu einer auf der Isolatorenoberfläche zur Anode laufenden Elektronenlawine kommt, die eine erhebliche Störung, unter Umständen auch Gasausbrüche oder gar einen Durchschlag des Isolators hervorrufen kann. Je höher die Spannung ist, desto signifikanter wird dieser Effekt. Bei sehr hohen Spannungen kann diese Art der Isolatoren deshalb nicht mehr eingesetzt werden. Kathodenseitig tritt dieser Effekt weniger auf, da Elektronen, die kathodenseitig auf die Isolatoroberfläche gelangen oder aus dieser ausgelöst werden, sich durch das Vakuum in Richtung Metalizylinder und nicht entlang der Isolatoroberfläche bewegen. Um den Nachteil am Anodenteil zu umgehen, sind im Stand der Technik verschiedene Lösungen bekannt. Z.B. wird in der Offenlegungsschrift DE2506841 vorgeschlagen, kathodenseitig den Isolator derart auszugestalten, dass zwischen dem Isolator und der Röhre ein konischer Hohlraum entsteht. Eine andere Lösung des Standes der Technik wird z.B. in der Patentschrift EP0215034 gezeigt, wo der scheibenförmige Isolator gegen den Metalizylinder hin treppenförmig abgestuft ist. Es hat sich jedoch gezeigt, dass all die im Stand der Technik gezeigten Lösungen bei hohen Spannungen, d.h. beispielsweise über 150 kV, Störungen aufweisen, die u.a. zu einer vorzeitigen Alterung des Materials führen und Gasausbrüche und/oder Durchbrüche des Isolators erzeugen können. Somit sind die im Stand der Technik bekannten Isolatoren für viele moderne Anwendungen der Röntgenröhren mit sehr hohen Spannungen (>200 kV) nur schlecht verwendbar.Secondary electrons and / or field emission electrons strike the ceramic part or parts. As a result, the high-voltage strength and life of the device are undesirably reduced. In the case of disk-shaped insulators, it is therefore known from the prior art, for example from DE2855905, to use so-called shielding electrodes. The shielding electrodes can be used, for example, in pairs, and are usually arranged coaxially at a certain distance in a rotationally symmetrical shape of the X-ray tube in order to optimally prevent the spreading of the secondary electrons. As has been shown, however, such devices can no longer be used at very high voltages. In addition, the material and manufacturing costs for such constructions are greater than for X-ray tubes with only insulators. Another possibility of the prior art is shown for example in DE6946926. A conical ceramic insulator is used in these solutions to reduce the attack surface. The ceramic insulator has an essentially constant wall thickness and is coated, for example, with a vulcanized rubber layer. As mentioned, the electrical field inside the vacuum space also includes the surfaces of the insulators. In the case of conical insulators in particular, the field detects an electron hitting the insulators or a scattering electron triggered by an impinging electron Accelerated towards the anode. A single electron will hardly cause any interference. If the anode-side insulator, like the cathode-side insulator, is designed as a truncated cone projecting into the interior, then an electron striking the insulator (for example, an electron from the metal piston) is also accelerated towards the anode. However, on the anode side, it moves along the surface of the insulator because there is no electrical field pointing away from the insulator surface. After passing through a certain distance, such an electron has enough energy to release further electrons, which in turn release electrons, so that an electron avalanche running on the surface of the insulator leads to a considerable disturbance, possibly also gas breakouts or even a breakdown of the isolator. The higher the voltage, the more significant this effect becomes. This type of isolator can therefore no longer be used at very high voltages. This effect occurs less on the cathode side, since electrons that reach the insulator surface on the cathode side or are released from it move through the vacuum in the direction of the metal cylinder and not along the insulator surface. In order to avoid the disadvantage of the anode part, various solutions are known in the prior art. For example, published patent application DE2506841 proposes to design the insulator on the cathode side in such a way that a conical cavity is formed between the insulator and the tube. Another solution of the prior art is shown, for example, in the patent specification EP0215034, where the disk-shaped insulator is stepped towards the metal cylinder. However, it has been shown that all the solutions shown in the prior art have faults at high voltages, that is to say, for example, above 150 kV, which lead, among other things, to premature aging of the material and can produce gas outbreaks and / or breakdowns in the insulator. Thus, the isolators known in the prior art are difficult to use for many modern applications of X-ray tubes with very high voltages (> 200 kV).
Es ist eine Aufgabe dieser Erfindung, neue Isolatoren für Hochspannungs-Vakuumröhren und ein Verfahren zur Herstellung solcher Isolatoren vorzuschlagen, die die oben beschriebenen Nachteile nicht aufweisen. Insbesondere soll auch bei sehr hohen Spannungen bei kleiner oder kompakter Bauweise eine lange Lebensdauer und ein störungsfreier Betrieb garantiert sein. Die Hochspannungs-Vakuumröhren sind u.a. zur Verwendung als Röntgenröhren zum Durchleuchten von Gepäckstücken und/oder Transportcontainern etc. gedacht und sollen den dort benötigten industriellen Ansprüchen genügen.It is an object of this invention to provide new insulators for high voltage vacuum tubes and a method of manufacturing such insulators which do not have the disadvantages described above exhibit. In particular, even at very high voltages with a small or compact design, a long service life and trouble-free operation should be guaranteed. The high-voltage vacuum tubes are intended, among other things, for use as X-ray tubes for screening luggage and / or transport containers, etc. and are intended to meet the industrial requirements there.
Gemäss der vorliegenden Erfindung werden diese Ziele insbesondere durch die Elemente der unabhängigen Ansprüche erreicht. Weitere vorteilhafte Ausführungsformen gehen ausserdem aus den abhängigen Ansprü- chen und der Beschreibung hervor.According to the present invention, these goals are achieved in particular by the elements of the independent claims. Further advantageous embodiments are also apparent from the dependent claims and the description.
Insbesondere werden diese Ziele dadurch erreicht, dass bei einer Hochspannungs-Vakuumröhre eine Anode und eine Kathode in einem vakuumisierten Innerraum einander gegenüberliegend angeordnet sind, dass der vakuumisierte Innenraum durch ein zylindrisches Metallgehäuse umschlossen ist, und dass die Anode und/oder die Kathode mittels eines ringförmigen Isolators elektrisch isoliert sind, wobei der ringförmige Isolator einen zylindrischen Teil umfasst und in Richtung des vakuumisierten Innerraums buckeiförmig einfach gewölbt ausgebildet ist, wobei die Wölbung in Richtung vakuumisierten Innerraum einen bezüglich der Rotationsymmetrieachse des ringförmigen Isolators geneigten Frontbereich und zwei Seitenbereiche umfasst, wobei der geneigte Frontbereich des ringförmigen Isolators der Anode zum Scheibenzentrum des ringförmigen Isolators hin geneigt ist, und wobei der geneigte Frontbereich des ringförmigen Isolators der Kathode vom Scheibenzentrum des ringförmigen Isolators weg geneigt ist. Insbesondere kann der(die) Isolator(en) erfindungsgemäss wahlweise entweder nur kathodenseitig, oder nur anodenseitig oder beidseitig, d.h. auf Seiten der Anode und auf Seiten der Kathode, ausgebildet sein. Jeweils ein Seitenbereich eines Isolators ist zur jeweiligen negativen Elektrode hingeneigt und verläuft über einen grösseren Bereich in dessen Nähe. Bei der Anode bildet die Wand des zylindrischen Metallgehäuses die negative Elektrode bezüglich des Isolators, während bei der Kathode die metallische Aussenwand der Kathode die negative Elektrode bezüglich des Isolators bildet. Der Verbindungspunkt zwischen der jeweiligen negativen Elektrode und dem entsprechenden Isolator wird als negativer Tripelpunkt bezeichnet. Die Hochspannungs-Vakuumröhre kann z.B. als eine Röntgenröhre verwendet werden. Die oben erwähnte Ausführung hat den Vorteil, dass beim Betrieb durch das entstehende elektrische Feld eine ausserordentlich hohe Stabilität der Röhre erreicht wird, ohne dass es zu Durchbrüchen des Isolators anodenseitig und/oder kathodenseitig, Gasausbrüchen und/oder anderen Störungen kommt. Gleichzeitig kann die Röhre bei viel höheren Spannungen und kleinerer bzw. kompakteren Bauweise als herkömmliche Röhren betrieben werden. Die Masse der Röhre und die Spannung am Isolator stehen in einer direkten Beziehung zueinander. Je kleiner die Bauweise, desto grösser muss die Spannungsfestigkeit des Isolators an der Elektrode sein. Die Vorteile einer kleineren und kompakteren Bauweise für solche Röhren liegt auf der Hand. Kleiner und kompaktere Röhren sind billiger herzustellen, weniger schwer und einfacher zu handhaben. Dies betrifft z.B. insbesondere eventuell notwendige Bleiabschirmungen etc. Durch die spezielle Form der Isolatoren wird erricht, dass ein kritischer Teil der Röhre, nämlich der negative Tripelpunkt, an dem, wie erwähnt, die negative Metallelektrode, die Keramik und das Vakuum zusammenstossen, und der vornehmlich die Emission von Elektronen begünstigt, elektrisch abgeschirmt wird. Dadurch wird die Elektronenemission unterdrückt. Auf der Kathodenseite befindet sich dieser Tripelpunkt in der löttechnischen Verbindung zwischen dem Isolator und der Hochspannungszuführung im Zentrum des Isolators. Auf der Anodenseite hingegen liegt der Tripelpunkt in der löttechnischen Verbindung zwischen dem Aussenumfang des Isolators und dem zylindrischen Metallgehäuse. Die Abschirmung geschieht durch eine erzwungene Aufladung der Keramik in der Umgebung des negativen Tripelpunktes durch emittierte Elektronen. Durch die Formgebung des Isolators entsteht zunächst ein sehr hohes Feld im Bereich des Tripelpunktes, welches schon bei tieferen Spannungen (z.B. während einer Startphase des Betriebs der Röhre) ausreicht, Elektronen aus dem Metall herauszulösen. Diese Elektronen laden die Keramik so weit auf, dass das elektrische Feld in diesem Bereich derart reduziert wird, dass die Elektronenemission zum Erliegen kommt. Die spezielle Form des Isolators verhindert, dass die Elektronen über die Keramik oder durch das Vakuum auf die positive Gegenelektrode gelangen können. Dadurch wird der Zustand stabilisiert. Durch die geneigte Frontseite wird zusätzlich erreicht, dass Elektronen, die bei hoher Spannung ausserhalb des oben erwähnten Gebietes aus der negativen metallischen Elektrode herausgelöst werden, direkt durch das Vakuum zur positiven Elektrode gelangen und nicht auf die Keramikoberfläche beschleunigt werden. Dadurch wird eine lawinenartige Vervielfachung der freien Elektronen und damit ein heftiger Überschlag durch Sekundärelektronen über die Keramikoberfläche verhindert. Durch die nicht triviale Form des Isolators kann somit die Spannungsfestigkeit und die Lebensdauer der Vakuumröhre signifikant erhöht werden.In particular, these goals are achieved in that, in the case of a high-voltage vacuum tube, an anode and a cathode are arranged opposite one another in a vacuum-sealed interior, in that the vacuum-sealed interior is enclosed by a cylindrical metal housing, and in that the anode and / or the cathode is formed by means of an annular Insulators are electrically insulated, the ring-shaped insulator comprising a cylindrical part and having a single, curved shape in the direction of the vacuumized interior, the curvature in the direction of the vacuumized interior comprising a front region which is inclined with respect to the axis of symmetry of the annular insulator and two side regions, the inclined front region of the annular insulator of the anode is inclined toward the disk center of the annular insulator, and wherein the inclined front region of the annular insulator of the cathode is away from the disk center of the annular insulator is. In particular, according to the invention, the insulator (s) can either be designed only on the cathode side or only on the anode side or on both sides, ie on the anode side and on the cathode side. One side area of an insulator is inclined towards the respective negative electrode and runs over a larger area in its vicinity. In the case of the anode, the wall of the cylindrical metal housing forms the negative electrode with respect to the insulator, while in the case of the cathode the metallic outer wall of the cathode forms the negative electrode with respect to the insulator. The connection point between the respective negative electrode and the corresponding isolator is referred to as a negative triple point. The high voltage vacuum tube can be used as an X-ray tube, for example. The above-mentioned embodiment has the advantage that an extraordinarily high stability of the tube is achieved during operation due to the resulting electrical field, without the insulator breaking through on the anode and / or cathode side, gas breakouts and / or other disturbances. At the same time, the tube can be operated at much higher voltages and a smaller or more compact design than conventional tubes. The mass of the tube and the voltage at the isolator are directly related to each other. The smaller the design, the greater the dielectric strength of the insulator on the electrode. The advantages of a smaller and more compact design for such tubes are obvious. Smaller and more compact tubes are cheaper to manufacture, less heavy and easier to use. This applies in particular to possibly necessary lead shields etc. The special shape of the insulators means that a critical part of the tube, namely the negative triple point at which, as mentioned, the negative metal electrode, the ceramic and the vacuum collide, and primarily favors the emission of electrons, is electrically shielded. This suppresses the electron emission. This triple point is located on the cathode side in the soldering connection between the insulator and the high-voltage supply in the center of the insulator. On the anode side, however, the triple point lies in the soldering connection between the outer circumference of the insulator and the cylindrical metal housing. The shielding is done by forced charging of the ceramic in the vicinity of the negative triple point by emitted electrons. The shape of the insulator initially creates a very high field in the area of the triple point, which is sufficient to release electrons from the metal even at lower voltages (eg during a start phase of tube operation). These electrons charge the ceramic to such an extent that the electric field in this area is reduced in such a way that the electron emission comes to a standstill. The special shape of the insulator prevents the electrons from reaching the positive counterelectrode via the ceramic or the vacuum. This stabilizes the condition. The inclined front also ensures that Electrons that are released from the negative metallic electrode at a high voltage outside the above-mentioned area reach the positive electrode directly through the vacuum and are not accelerated onto the ceramic surface. An avalanche-like multiplication of the free electrons and thus a violent flashover by secondary electrons over the ceramic surface is prevented. The non-trivial shape of the isolator can significantly increase the dielectric strength and the service life of the vacuum tube.
In einer Ausführungsvariante wird die Wölbung im Wesentlichen durch Winkel α, ß und y eines verkürzten Seitenbereiches, eines überhöhten Seitenbereiches, sowie des Frontbereichs charakterisiert, wobei der Winkel α zwischen der Achsenrichtung des ringförmigen Isolators und dem überhöhten Seitenbereich zwischen 10° und 25° liegt und wobei der Winkel ß des Frontbereichs zur Senkrechten auf die Achsenrichtung des ringförmigen Isolators zwischen 10° und 25° liegt, wobei der Winkel v zwischen dem verkürzten Seitenbereich zur Achsen richtung des ringförmigen Isolators zwischen 10° und 25° liegt. Die drei Bereiche können jeweils einen tangentialen Übergangsradius von 1 bis 7 mm besitzen. Diese Ausführungsvariante hat u.A. die gleichen Vorteile wie die vorhergehende Ausführungsvariante. Insbesondere können damit Hochspannungs-Vakuumröhren mit Spannungen von mehr als 200kV am Isolator betrieben werden, ohne dass es zu Störungen oder Ausfällen durch Sekundärelektronen kommt. Solche Röhren können bei der erwähnten Spannung bei maximalen Durchmessern der Isolatoren von 150mm gebaut werden, was die erwähnten Vorteile betreffend Herstellungs- und Transportkosten etc., Gewicht und Handlichkeit bringt.In one embodiment, the curvature is essentially characterized by angles α, β and y of a shortened side area, an elevated side area and the front area, the angle α between the axial direction of the annular insulator and the elevated side area being between 10 ° and 25 ° and wherein the angle β of the front region to the perpendicular to the axial direction of the annular insulator is between 10 ° and 25 °, the angle v between the shortened side region to the axial direction of the annular insulator is between 10 ° and 25 °. The three areas can each have a tangential transition radius of 1 to 7 mm. This variant has the same advantages as the previous variant. In particular, it can be used to operate high-voltage vacuum tubes with voltages of more than 200 kV on the insulator without causing faults or failures due to secondary electrons. Such tubes can be built at the mentioned voltage with a maximum diameter of the insulators of 150 mm, which brings the mentioned advantages regarding manufacturing and transport costs etc., weight and handiness.
In einer anderen Ausführungsvariante umfasst der ringförmige Isolator zwischen dem überhöhten Seitenbereich und dem bezüglich der Senktrechten zur Achsenrichtung des ringförmigen Isolators geneigten Frontbereich einen vierten Bereich, der im Wesentlichen senkrecht zur Achse des ringförmigen Isolators in Richtung vakuumisierten Innenraum weist und der zum überhöhten Seitenbereich sowie zum Frontbereich einen tangentialen Übergangsradius von 1 bis 7 mm besitzt. Diese Ausführungsvariante hat u.a. die gleichen Vorteile wie die vorhergehende Ausführungsvariante. Insbesondere können damit Hochspannungs-Vakuumröhren mit Spannungen von mehr als 200 kV am Isolator betrieben werden, ohne dass es zu Störungen oder Ausfällen durch Sekundärelektronen kommt.In another embodiment variant, the annular insulator between the raised side region and the front region inclined with respect to the perpendicular to the axis direction of the annular insulator comprises a fourth region, which points essentially perpendicularly to the axis of the annular insulator in the direction of the vacuum-sealed interior and which faces the inflated side region and the front region has a tangential transition radius of 1 to 7 mm. This variant has the same advantages as the previous variant. In particular, it can be used to operate high-voltage vacuum tubes with voltages of more than 200 kV on the insulator without interference or failures caused by secondary electrons.
In einer weiteren Ausführungsvariante ragt der überhöhte Seitenbereich mindestens 2 Mal weiter als der verkürzte Seitenbereich in den vakuumisierte Innenraum. Diese Ausführungsvariante hat u.A. den Vorteil, dass die Neigung der Frontfläche von der negativen Elektrode weg so gross ist, dass durch Kaltemission der negativen Elektrode keine Sekundärelektronen auf der Keramikoberfläche erzeugt werden können. Dadurch werden heftige Entladungen verhindert, die zu bleibenden Schäden am Isolator führen können.In a further embodiment variant, the raised side area protrudes at least twice as far as the shortened side area into the vacuum-sealed interior. This variant has the advantage that the inclination of the front surface away from the negative electrode is so great that no secondary electrons can be generated on the ceramic surface by cold emission of the negative electrode. This prevents violent discharges, which can lead to permanent damage to the insulator.
In einer wieder anderen Ausführungsvariante besitzt der überhöhte Seitenbereich gegen die Achsenrichtung des ringförmigen Isolators einen sich verjüngenden Auslauf und/oder der verkürzten Seitenbereich besitzt gegen die Achsenrichtung des ringförmigen Isolators einen sich verjüngenden Auslauf. Diese Ausführungsvariante hat u.a. den Vorteil, dass das elektrische Feld an den Lötstellen zur Fixierung des ringförmigen Isolators an der Anode oder Kathode bzw. am zylindrischen Metallgehäuse minimiert werden kann.In yet another embodiment variant, the raised side region has a tapering outlet against the axial direction of the annular insulator and / or the shortened side region has a tapered outlet against the axial direction of the annular insulator. This variant has the advantage that the electrical field at the solder points for fixing the annular insulator to the anode or cathode or to the cylindrical metal housing can be minimized.
In einerweiteren Ausführungsvariante besteht der ringförmige Isolator im wesentlichen aus einem isolierenden Keramikmaterial. Das Keramikmaterial kann z.B. aus mindestens 95 % AI2O3 bestehen. Diese Ausführungsvariante hat u.A. den Vorteil, dass sich das Keramikmaterial als Isolator bei den sehr hohen elektrischen Feldern bezüglich seiner Stabilität gegen Spannung oder Durchschläge besonders eignet.In a further embodiment variant, the ring-shaped insulator consists essentially of an insulating ceramic material. The ceramic material can e.g. consist of at least 95% AI2O3. This variant has the advantage that the ceramic material is particularly suitable as an insulator in the very high electrical fields with regard to its stability against voltage or breakdown.
In einer Ausführungsvariante umfasst die Kathode auf der Aussenwand gegen den ringförmigen Isolator einen elektropolierten und/oder mechanisch polierten Metalizylinder. Dies hat u.a. den Vorteil, dass die Spannungsfestigkeit erhöht werden kann und Durchschläge verhindert werden können.In one embodiment variant, the cathode on the outer wall comprises an electropolished and / or mechanically polished metal cylinder against the annular insulator. This has among other things the advantage that the dielectric strength can be increased and breakdowns can be prevented.
In einer Ausführungsvariante umfasst die Hochspannungs- Vakuumröhre 1 eine Stromversorgungsvorrichtung, mittels welcher Betriebsspannungen von mindestens 200 kV am Isolator anlegbar sind. Diese Ausführungsvariante hat u.a. den Vorteil, dass sie für besondere Anwendungen in der Industrie, wie z.B. dem Durchleuchten von Transportcontainern an Zöllen und Flughäfen etc. die benötigte Leistung erbringen kann.In one embodiment variant, the high-voltage vacuum tube 1 comprises a power supply device, by means of which Operating voltages of at least 200 kV can be applied to the isolator. This design variant has the advantage, among other things, that it can provide the required performance for special industrial applications, such as for example the screening of transport containers at customs and airports.
An dieser Stelle soll festgehalten werden, dass sich die vorliegendeAt this point it should be noted that the present
Erfindung neben dem erfindungsgemässen Verfahren auch auf ein System zur Ausführung dieses Verfahrens bezieht.In addition to the method according to the invention, the invention also relates to a system for carrying out this method.
Nachfolgend werden Ausführungsvarianten der vorliegenden Erfindung anhand von Beispielen beschrieben. Die Beispiele der Ausführungen werden durch folgende beigelegten Figuren illustriert:Embodiment variants of the present invention are described below using examples. The examples of the designs are illustrated by the following attached figures:
Figur 1 zeigt ein Blockdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt einer Röntgenröhre des Standes der Technik zeigt. Der ringförmige Isolator 10 ist dabei gegen das zylindrische Metallgehäuse 1 , sowie gegen die Elektrode 2 treppenförmig abgestuft 101 , um das Erzeugen von Sekudärelektronen zu vermindern.Figure 1 shows a block diagram which schematically shows a cross section of an X-ray tube of the prior art. The ring-shaped insulator 10 is stepped 101 against the cylindrical metal housing 1 and against the electrode 2 in order to reduce the generation of secondary electrons.
Figur 2 zeigt ein Blockdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt einer anderen Ausbildung einer Röntgenröhre des Standes der Technik zeigt. Der ringförmige Isolator 11 zeigt dabei gegen das zylindrische Metallgehäuse 1 hin eine Erhöhung 110 mit einer Vertiefung 111 beim Übergang zum Metallgehäuse 1.Figure 2 shows a block diagram which schematically shows a cross section of another embodiment of an X-ray tube of the prior art. The ring-shaped insulator 11 shows an elevation 110 with a depression 111 toward the cylindrical metal housing 1 at the transition to the metal housing 1.
Figur 3 zeigt ein Blockdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt einer anderen Ausbildung einer Röntgenröhre des Standes der Technik zeigt. Der ringförmige Isolator 12 zeigt dabei gegen das zylindrische Metallgehäuse 1 hin eine Erhöhung 120 mit einer Vertiefung 121 beim Übergang zum Metallgehäuse 1. Das Metallgehäuse 1 ist auf der Höhe der Erhöhung 120 radial gegen aussen ausgebaucht 122.FIG. 3 shows a block diagram which schematically shows a cross section of another embodiment of an X-ray tube of the prior art. The ring-shaped insulator 12 shows an elevation 120 with a depression 121 towards the cylindrical metal housing 1 at the transition to the metal housing 1. The metal housing 1 is bulged 122 radially outwards at the level of the elevation 120.
Figur 4 zeigt ein Blockdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt einer ähnlichen Röntgenröhre wie bei Figur 1 des Standes der Technik zeigt. Der ringförmige Isolator 14 ist dabei gegen das zylindrische Metallgehäuse 1 , sowie gegen die Elektrode 2 jeweils einfach treppenförmig abgestuft, um das Erzeugen von Sekudärelektronen zu vermindern. Wie aus der Darstellung ersichtlich ist der ringförmige Isolator 14 auf Seiten der Anode 3 und der Kathode 4 identisch. Zwischen Anode 3 und Katode 4 befindet sich eine Elektronenblende 5 um etwaige Streuelektronen weiter zu vermindern.FIG. 4 shows a block diagram which schematically shows a cross section of an X-ray tube similar to that in FIG. 1 of the prior art. The annular insulator 14 is against the cylindrical Metal housing 1, as well as simply stepped against the electrode 2 in order to reduce the generation of secondary electrons. As can be seen from the illustration, the annular insulator 14 on the side of the anode 3 and the cathode 4 is identical. An electron aperture 5 is located between anode 3 and cathode 4 in order to further reduce any scattered electrons.
Figur 5 zeigt ein Blockdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt einer weiteren Ausbildung einer Röntgenröhre des Standes der Technik zeigt. Der Isolator 15 ist dabei konisch an die Wandung der Halterung der Elektrode 2 (Anode oder Kathode) angelegt. Zugleich verjüngt sich das zylindrische Metallgehäuse 1 gegen die Elektrode hin. Solche Ausgestaltungen eignen sich für hohe Spannungen nicht mehr, da sie bei hohen Spannungen instabil gegen Sekundärelektronen werden.FIG. 5 shows a block diagram which schematically shows a cross section of a further embodiment of an X-ray tube of the prior art. The insulator 15 is conically applied to the wall of the holder of the electrode 2 (anode or cathode). At the same time, the cylindrical metal housing 1 tapers towards the electrode. Such designs are no longer suitable for high voltages, since they become unstable against secondary electrons at high voltages.
Figur 6 zeigt ein Blockdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt einer Ausbildung einer erfindungsgemässen Röntgenröhre zeigt. Der ringförmige Isolator ist buckeiförmig mit den charakterisierenden Winkeln α, ß und y ausgebildet. Der anodenseitige Isolator 22 hat eine gegen die Anode 3 geneigte Frontfläche 31 , während der kathodenseitige Isolator 21 eine gegen das zylindrische Metallgehäuse weisende Frontfläche 31 hat.FIG. 6 shows a block diagram which schematically shows a cross section of an embodiment of an X-ray tube according to the invention. The annular insulator is shaped like a hunchback with the characterizing angles α, β and y. The anode-side insulator 22 has a front surface 31 inclined towards the anode 3, while the cathode-side insulator 21 has a front surface 31 pointing towards the cylindrical metal housing.
Figur 7 zeigt ein Blockdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt eines erfindungsgemässen, kathodenseitigen, ringförmigen Isolators 21 zeigt. Der Isolator ist buckeiförmig mit den charakterisierenden Winkeln α, ß und y ausgebildet.FIG. 7 shows a block diagram, which schematically shows a cross section of an inventive annular insulator 21 on the cathode side. The insulator is shaped like a hunchback with the characterizing angles α, β and y.
Figur 8 zeigt ein Blockdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt eines erfindungsgemässen, anodenseitigen, ringförmigen Isolators 21 zeigt. Der Isolator ist buckeiförmig mit den charakterisierenden Winkeln α, ß und y ausgebildet.FIG. 8 shows a block diagram which schematically shows a cross section of an annular insulator 21 on the anode side according to the invention. The insulator is shaped like a hunchback with the characterizing angles α, β and y.
Figur 9 zeigt ein Blockdiagramm, welches schematisch den Verlauf der Äquipotentiallinien 40 auf Seiten der Anode 3 bei angelegter Betriebsspannung darstellt. Die Buckelform des Isolators 22 beeinflusst den Verlauf der Feldlinien 40 dermassen, dass auf Seiten des zylindrischen Metallgehäuses am unteren Teil der Fläche 33 eine Feldüberhöhung stattfindet, welche Elektronen aus dem zylindrischen Metallgehäuses auslöst. Diese Elektronen laden die Keramik derart auf, dass in diesem unteren Teil ein nahezu feldfreier Raum entsteht.FIG. 9 shows a block diagram which schematically shows the course of the equipotential lines 40 on the side of the anode 3 when the operating voltage is applied. The hump shape of the insulator 22 influences the course of the field lines 40 to such an extent that on the cylindrical side Metal housing on the lower part of the surface 33 a field increase takes place, which triggers electrons from the cylindrical metal housing. These electrons charge the ceramic in such a way that an almost field-free space is created in this lower part.
Figur 10 zeigt ein Blockdiagramm, welches schematisch den Verlauf der Äquipotentiallinien 40 auf Seiten der Kathode 4 bei angelegter Betriebsspannung darstellt. Die Buckelform des Isolators 21 ist anodenseitig gespiegelt zum kathodenseitigen Isolator ausgebildet. Die Buckelform des Isolators 21 beeinflusst den Verlauf der Feldlinien 40 dermassen, dass auf Seiten der Kathode 4 am unteren Teil der Fläche 33 eine Feldüberhöhung stattfindet, welche Elektronen aus der Metallelektrode auslöst. Diese Elektronen laden die Keramik derart auf, dass in diesem unteren Teil ein nahezu feldfreier Raum entstehtFIG. 10 shows a block diagram which schematically shows the course of the equipotential lines 40 on the cathode 4 side when the operating voltage is applied. The hump shape of the insulator 21 is mirrored on the anode side to the cathode side insulator. The hump shape of the insulator 21 influences the course of the field lines 40 to such an extent that on the side of the cathode 4 on the lower part of the surface 33 there is a field increase which triggers electrons from the metal electrode. These electrons charge the ceramic in such a way that an almost field-free space is created in this lower part
Figur 6, Figur 7 und Figur 8 illustrieren eine Hochspannungs- Vakuumröhre bzw. ein Verfahren für eine Hochspannungs-Vakuumröhre, wie sie bei der Realisierung der Erfindung verwendet werden kann. Gleiche Referenznummern in den Figuren bezeichnen gleiche Elemente. In diesem Ausführungsbeispiel sind eine Anode 3 und eine Kathode 4 in einem vakuumisierten Innerraum 6 einander gegenüberliegend angeordnet. Der vakuumisierte Innenraum 6 ist durch ein zylindrisches Metallgehäuse 1 umschlossen. Das zylindrische Metallgehäuse 1 kann z.B. eine minimale Wandstärke von 2mm aufweisen. Ebenso ist es vorstellbar, dass das zylindrische Metallgehäuse 1 gegen den vakuumisierte Innenraum 6 elektropoliert und/oder mechanisch poliert ist. Die Anode 3 und/oder die Kathode 4 sind mittels eines ringförmigen Isolators 21/22 elektrisch isoliert. Figur 7 und Figur 8 zeigen eine detailliertere Darstellung des ringförmigen Isolators 21/22 im Aufschnitt, wobei Figur 7 den ringförmigen Isolator 21 kathodenseitig und Figur 8 den ringförmigen Isolator 22 anodenseitig zeigt. Der ringförmige Isolator 21/22 kann im Wesentlichen z.B. aus einem isolierenden Keramikmaterial bestehen. Als Keramikmaterial ist z.B. Keramikmaterial aus mindestens 95 % AI2O3 vorstellbar. Auf die Keramik kann beispielsweise eine einfach oder mehrfache Schicht aus einer Legierung gesintert sein. Die Legierung kann z.B. eine MoMnNi-Legierung umfassen. Der arithmetische Mittenrauwert (Ra) des ringförmigen Keramikisolators kann z.B. um die 1.6 μm betragen. Es ist aber auch möglich, dass der ringförmige Keramikisolator glatt oder mechanisch poliert ist. Zur Herstellung eines solchen ringförmigen Isolator 21/22 kann beispielsweise ein Pressdruck von mindestens 1000 bar verwendet werden. Der ringförmige Isolator 21/22 umfasst einen zylindrischen Teil 23/24 und in Richtung vakuumisierten Innerraum 6 buckeiförmig einfach gewölbt ausgebildet ist. Die Wölbung in Richtung vakuumisierten Innerraum 6 umfasst einen geneigten Frontbereich 31 und zwei Seitenbereiche 30/33. Der geneigte Frontbereich 31 des ringförmige Isolator 22 der Anode 3 ist zur Achse durch das Scheibenzentrum 7 des Isolator 22 hin geneigt, während der geneigte Frontbereich 31 des ringförmigen Isolators 21 der Kathode 4 von der Achse durch das Scheibenzentrum 7 des ringförmigen Isolators 21 weg geneigt ist. Die Wölbung kann z.B. im Wesentlichen durch die Winkel α, ß und y eines verkürzten Seitenbereiches 30, eines überhöhten Seitenbereiches 33, sowie des Frontbereichs 31 charakterisiert werden. Der Winkel α zwischen der Achsenrichtung 7 des ringförmigen Isolators 21/22 und dem verkürzten Seitenbereich 30 liegt vorzugsweise zwischen 10° und 25° und der Winkel ß des Frontbereichs 31 zur Senkrechten 8 zur Achsenrichtung 7 des ringförmigen Isolators 21/22 liegt vorzugsweise zwischen 10° und 25°. Der Winkel Y zwischen dem überhöhten Seitenbereich zur Achsenrichtung 7 des ringförmigen Isolators 21/22 liegt schliesslich vorzugsweise zwischen 10° und 25°. Die drei Bereiche 30/31/33 können jeweils einen tangentialen Übergangsradius R1/R3 von z.B. 3 bis 7 mm besitzen. Im Verhältnis zum verkürzte Seitenbereich 30 ragt der überhöhte Seitenbereich 33 beispielsweise mindestens 2 Mal weiter als der verkürzte Seitenbereich 30 in den vakuumisierte Innenraum 6. Dadurch wird die Frontfläche des Isolators derart geneigt, dass sie nicht von Elektronen aus der negativen Elektrode getroffen werden kann. Auf der Kathodenseite befindet sich der negative Tripelpunkt in der löttechnischen Verbindung zwischen dem Isolator 21 und der Hochspannungszuführung im Zentrum des ringförmigen Isolators, d.h. der Aussenwand 411 der Kathode 4. Auf der Anodenseite hingegen liegt der negative Tripelpunkt in der löttechnischen Verbindung zwischen dem Aussenumfang des ringförmigen Isolators 22 und dem zylindrischen Metallgehäuse 1. Deshalb ist die Aussenwand 311 der Anode weniger kritisch bezüglich den erwähnten Elektroneneffekte. Die Kathode 4 kann auf ihrer Aussenwand 411 gegen den ringförmigen Isolator 21 einen elektropolierten und/oder mechanisch polierten Metalizylinder 412 umfassen. Durch die nicht triviale Form des Isolators 21/22 kann die Spannungsfestigkeit und die Lebensdauer der Vakuumröhren signifikant erhöht werden. Figur 9 und Figur 10 zeigen einen möglichen Verlauf der Äquipotentiallinien 40 auf Seiten der Anode 3 bzw. auf Seiten der Kathode 4 bei angelegter Betriebsspannung. Die Buckelform des Isolators 21/22 beeinflusst den Verlauf der Feldlinien dermassen, dass auf Seiten des überhöhten Bereichs am unteren Teil der Fläche 33 zunächst ein Gebiet hoher Feldstärke entsteht. Dadurch werden Elektronen aus der benachbarten Metallelektrode herausgelöst, welche die Keramik in diesem Bereich elektrostatisch aufladen. Die Aufladung reduziert das elektrische Feld in diesem Bereich. Dadurch wird eine weitere Elektronenemission verhindert und das Hochspannungsverhalten der Röhre nachhaltig verbessert. In einer Ausführungsvariante umfasst der ringförmige Isolator 21/22 zwischen dem überhöhten Bereich 33 und dem bezüglich der Achsenrichtung 7 des ringförmigen Isolators 21/22 geneigten Frontbereich 31 einen vierten Bereich 32. Dieser vierte Bereich 32 steht im Wesentlichen senkrecht 8 zur Achse 7 des ringförmigen Isolators 21/22 in Richtung vakuumisierten Innenraum 6. Der vierte Bereich 32 kann zum überhöhten Bereich 33 sowie zum Frontbereich 31 z.B. einen tangentialen Übergangsradius R2/R3 von 3 bis 7 mm besitzen. Als weitere Ausführungsvariante kann es vorteilhaft sein, dass z.B. der überhöhte Bereich 33 und/oder der verkürzten Bereiches 30 gegen die Achsenrichtung 7 des ringförmigen Isolators 21/22 einen sich verjüngenden Auslauf besitzt. Umfasst die Hochspannungs-Vakuumröhre 1 eine Stromversorgungsvorrichtung, mittels welcher Betriebsspannungen von mindestens 200 kV am Isolator anlegbar sind, so kann sich die Hochspannungs-Vakuumröhre 1 für besondere Anwendungen in der Industrie, wie z.B. das Durchleuchten von Transportcontainern an Zöllen und Flughäfen etc. mit der dort benötigten Leistung besonders eignen. Die Hochspannungs-Vakuumröhre 1 kann bei diesen Anwendung insbesondere als Röntgenröhre verwendet werden. Es ist klar, dass sich die erfindungsgemässe Hochspannungs-Vakuumröhre 1 bei jeder Anwendung insbesondere zur Verwendung als Röntgenröhre eignet. Es ist wichtig darauf hinzuweisen, dass eine Hochspannungs- Vakuumröhre 9 den erfindungsgemässen Isolator 21/22 nicht unbedingt beidseitig, d.h. bei der Anode 3 und der Kathode 4, umfassen muss. Im Gegenteil ist es durchaus möglich, dass der Isolator 21/22 nur an einer der Elektroden 3/4 gegeben ist, während die andere Elektrode 3/4 einen anders geformten Isolator oder gar keinen aufweist. Ebenso kann es je nach Anordnung der Hochspannungs-Vakuumröhre 9 sinnvoll sein, z.B. eine Elektronenblende 5 zur Verminderung von Sekundärelektronen der Vorrichtung beizufügen. Weiter ist anzufügen, dass sich die erfindungsgemässe Röntgenröhre insbesondere zur Verwendung in einer Gepäckdurchleuchtungsvorrichtung eignet. Besonders Duchleuchtungsvorrichtungen für Transportcontainer und/oder Transportbehältern gehören mit ihrem hohen Bedarf an Strahlungsleistung zu den idealen Einsatzgebieten für die erfindungsgemässen Hochspannungs- Vakuumröhren bzw. Röntgenröhren.FIG. 6, FIG. 7 and FIG. 8 illustrate a high-voltage vacuum tube and a method for a high-voltage vacuum tube, as can be used in the implementation of the invention. The same reference numbers in the figures denote the same elements. In this exemplary embodiment, an anode 3 and a cathode 4 are arranged opposite one another in a vacuum-sealed interior space 6. The vacuumized interior 6 is enclosed by a cylindrical metal housing 1. The cylindrical metal housing 1 can have a minimum wall thickness of 2 mm, for example. It is also conceivable that the cylindrical metal housing 1 is electropolished and / or mechanically polished against the vacuumized interior 6. The anode 3 and / or the cathode 4 are electrically insulated by means of an annular insulator 21/22. FIG. 7 and FIG. 8 show a more detailed illustration of the ring-shaped insulator 21/22 in a cut-up, FIG. 7 showing the ring-shaped insulator 21 on the cathode side and FIG. 8 the ring-shaped insulator 22 on the anode side. The ring-shaped insulator 21/22 can essentially consist, for example, of an insulating ceramic material. For example, ceramic material made of at least 95% Al2O3 is conceivable as ceramic material. For example, a single or multiple layer of an alloy can be sintered onto the ceramic. The alloy can comprise, for example, a MoMnNi alloy. The arithmetic The average roughness (Ra) of the ring-shaped ceramic insulator can be around 1.6 μm, for example. However, it is also possible for the annular ceramic insulator to be smooth or mechanically polished. For example, a pressing pressure of at least 1000 bar can be used to produce such an annular insulator 21/22. The ring-shaped insulator 21/22 comprises a cylindrical part 23/24 and is designed to be simply curved in the shape of a hump in the direction of the vacuum-sealed interior 6. The curvature in the direction of the vacuum-sealed interior space 6 comprises an inclined front area 31 and two side areas 30/33. The inclined front region 31 of the annular insulator 22 of the anode 3 is inclined toward the axis through the disk center 7 of the insulator 22, while the inclined front region 31 of the annular insulator 21 of the cathode 4 is inclined away from the axis through the disk center 7 of the annular insulator 21 , The curvature can be characterized, for example, essentially by the angles α, β and y of a shortened side region 30, an elevated side region 33 and the front region 31. The angle α between the axial direction 7 of the annular insulator 21/22 and the shortened side region 30 is preferably between 10 ° and 25 ° and the angle β of the front region 31 to the perpendicular 8 to the axis direction 7 of the annular insulator 21/22 is preferably between 10 ° and 25 °. Finally, the angle Y between the raised side region to the axis direction 7 of the annular insulator 21/22 is preferably between 10 ° and 25 °. The three areas 30/31/33 can each have a tangential transition radius R1 / R3 of, for example, 3 to 7 mm. In relation to the shortened side region 30, the elevated side region 33 projects, for example, at least twice as far as the shortened side region 30 into the vacuum-sealed interior space 6. As a result, the front surface of the insulator is inclined in such a way that it cannot be hit by electrons from the negative electrode. On the cathode side, the negative triple point is located in the soldering connection between the insulator 21 and the high-voltage supply in the center of the ring-shaped insulator, ie the outer wall 411 of the cathode 4. On the other hand, the negative triple point in the soldering connection lies between the outer circumference of the ring-shaped insulator Insulator 22 and the cylindrical metal housing 1. Therefore, the outer wall 311 of the anode is less critical with respect to the aforementioned electron effects. The cathode 4 can on her Outer wall 411 against the annular insulator 21 comprises an electropolished and / or mechanically polished metal cylinder 412. The non-trivial shape of the insulator 21/22 can significantly increase the dielectric strength and the service life of the vacuum tubes. FIG. 9 and FIG. 10 show a possible course of the equipotential lines 40 on the side of the anode 3 or on the side of the cathode 4 when the operating voltage is applied. The hump shape of the insulator 21/22 influences the course of the field lines to such an extent that an area of high field strength initially arises on the side of the raised area on the lower part of the surface 33. This releases electrons from the adjacent metal electrode, which electrostatically charge the ceramic in this area. The charge reduces the electric field in this area. This prevents further electron emission and sustainably improves the high voltage behavior of the tube. In an embodiment variant, the annular insulator 21/22 comprises a fourth region 32 between the raised region 33 and the front region 31 which is inclined with respect to the axis direction 7 of the annular insulator 21/22. This fourth region 32 is essentially perpendicular 8 to the axis 7 of the annular insulator 21/22 in the direction of the vacuumized interior space 6. The fourth area 32 can have, for example, a tangential transition radius R2 / R3 of 3 to 7 mm to the raised area 33 and to the front area 31. As a further embodiment variant, it can be advantageous that, for example, the raised area 33 and / or the shortened area 30 has a tapering outlet against the axial direction 7 of the annular insulator 21/22. If the high-voltage vacuum tube 1 comprises a power supply device, by means of which operating voltages of at least 200 kV can be applied to the insulator, the high-voltage vacuum tube 1 can be used for special applications in industry, such as, for example, the screening of transport containers at customs and airports, etc. with the the power required there is particularly suitable. The high-voltage vacuum tube 1 can be used in this application in particular as an X-ray tube. It is clear that the high-voltage vacuum tube 1 according to the invention is particularly suitable for use as an X-ray tube in any application. It is important to point out that a high-voltage vacuum tube 9 does not necessarily have to encompass the insulator 21/22 according to the invention on both sides, ie in the case of the anode 3 and the cathode 4. On the contrary, it is quite possible that the insulator 21/22 is only provided on one of the electrodes 3/4, while the other electrode 3/4 has a differently shaped insulator or none at all. Likewise, depending on the arrangement of the high-voltage vacuum tube 9, it may be useful to add, for example, an electron aperture 5 to reduce secondary electrons in the device. It should also be added that the X-ray tube according to the invention is particularly suitable for use in a baggage screening device. In particular, illumination devices for transport containers and / or transport containers, with their high demand for radiation power, belong to the ideal fields of application for the high-voltage vacuum tubes or X-ray tubes according to the invention.
Figur 1 bis 4 zeigen schematisch Beispiele von Röntgenröhren des Standes der Technik. Die ringförmigen Isolatoren 10/11/12/14 sind dabei gegen das zylindrische Metallgehäuse 1 und/oder gegen die Elektrode 2 treppenförmig abgestuft 101, mit Erhöhung 110/120 und/oder einfachen oder mehrfachen Vertiefungen 111/121/141 und/oder Ausbauchungen 122. Wie aus den Darstellungen ersichtlich ist, ist der ringförmige Isolator 14 auf Seiten der Anode 3 und der Kathode 4 jeweils identisch. Zwischen Anode 3 und Katode 4 kann sich eine Elektronenblende 5 befinden um etwaige Streuelektronen weiter zu vermindern. Figur 5 zeigt eine weitere Ausbildung einer Röntgenröhre des Standes der Technik. Der Isolator 15 ist dabei konisch an die Wandung der Halterung der Elektrode 2 (Anode oder Kathode) angelegt. Zugleich verjüngt sich das zylindrische Metallgehäuse 1 gegen die Elektrode hin. Insbesondere solche Ausgestaltungen eignen sich für hohe Spannungen nicht mehr, da sie bei hohen Spannungen instabil gegen Sekundärelektronen werden. Figures 1 to 4 schematically show examples of X-ray tubes of the prior art. The annular insulators 10/11/12/14 are stepped 101 against the cylindrical metal housing 1 and / or against the electrode 2, with elevation 110/120 and / or single or multiple recesses 111/121/141 and / or bulges 122 As can be seen from the illustrations, the annular insulator 14 on the side of the anode 3 and the cathode 4 is identical in each case. An electron aperture 5 can be located between anode 3 and cathode 4 in order to further reduce any scattered electrons. Figure 5 shows a further embodiment of an X-ray tube of the prior art. The insulator 15 is conically applied to the wall of the holder of the electrode 2 (anode or cathode). At the same time, the cylindrical metal housing 1 tapers towards the electrode. In particular, such designs are no longer suitable for high voltages, since they become unstable against secondary electrons at high voltages.

Claims

Ansprüche Expectations
1. Hochspannungs-Vakuumröhre (9), bei welcher eine Anode (3) und eine Kathode (4) in einem vakuumisierten Innerraum (6) einander gegenüberliegend angeordnet sind und welcher vakuumisierte Innenraum (6) durch ein zylindrisches Metallgehäuse (1) umschlossen ist, wobei die Anode (3) und/oder die Kathode (4) mittels eines ringförmigen Isolators (21/22) elektrisch isoliert sind, dadurch gekennzeichnet,1. high-voltage vacuum tube (9), in which an anode (3) and a cathode (4) are arranged opposite one another in a vacuumized interior (6) and which vacuumized interior (6) is enclosed by a cylindrical metal housing (1), the anode (3) and / or the cathode (4) being electrically insulated by means of an annular insulator (21/22), characterized in that
dass der ringförmige Isolator (21/22) einen zylindrischen Teil (23/24) umfasst und in Richtung des vakuumisierten Innerraums (6) buckeiförmig einfach gewölbt ausgebildet ist, wobei die Wölbung in Richtung vakuumisierten Innerraum (6) einen geneigten Frontbereich (31) und zwei Seitenbereiche (30/33) umfasst,that the ring-shaped insulator (21/22) comprises a cylindrical part (23/24) and is simply curved in the direction of the vacuumized interior (6) in a hump-shaped manner, the curvature in the direction of the vacuumized interior (6) having an inclined front region (31) and comprises two side areas (30/33),
dass der geneigte Frontbereich (31) des ringförmigen Isolators (22) der Anode (3) zum Scheibenzentrum (7) des ringförmigen Isolators (22) hin geneigt ist, undthat the inclined front region (31) of the annular insulator (22) of the anode (3) is inclined towards the disk center (7) of the annular insulator (22), and
dass der geneigte Frontbereich (31) des ringförmigen Isolators (21) der Kathode (4) vom Scheibenzentrum (7) des ringförmigen Isolators (21) weg geneigt ist.that the inclined front region (31) of the annular insulator (21) of the cathode (4) is inclined away from the disk center (7) of the annular insulator (21).
2. Hochspannungs-Vakuumröhre (9) nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet,2. High-voltage vacuum tube (9) according to claim 1, characterized in
dass die Wölbung im Wesentlichen durch Winkel α, ß und Y eines verkürzten Seitenbereiches (30), eines überhöhten Seitenbereiches (33), sowie des Frontbereichs (31) charakterisiert ist,that the curvature is essentially characterized by angles α, β and Y of a shortened side area (30), an elevated side area (33) and the front area (31),
dass der Winkel Y zwischen der Achsenrichtung (7) des ringförmigen Isolators (21/22) und dem verkürzten Seitenbereich (30) zwischen 10° und 25° liegt, dass der Winkel ß des Frontbereichs (31) zur Senkrechten (8) auf die Achsenrichtung (7) des ringförmigen Isolators (21/22) zwischen 10° und 25° liegt, undthat the angle Y between the axis direction (7) of the annular insulator (21/22) and the shortened side region (30) is between 10 ° and 25 °, that the angle β of the front region (31) to the perpendicular (8) to the axial direction (7) of the annular insulator (21/22) is between 10 ° and 25 °, and
dass der Winkel α zwischen dem überhöhten Seitenbereich zur Achsenrichtung (7) des ringförmigen Isolators (21/22) zwischen 10° und 25° liegt.that the angle α between the raised side region to the axis direction (7) of the annular insulator (21/22) is between 10 ° and 25 °.
3. Hochspannungs-Vakuumröhre (9) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die drei Bereiche (30/31/33) jeweils einen tangentialen Übergangsradius (R1/R3) von 1 bis 7 mm besitzen.3. High-voltage vacuum tube (9) according to claim 2, characterized in that the three areas (30/31/33) each have a tangential transition radius (R1 / R3) of 1 to 7 mm.
4. Hochspannungs-Vakuumröhre (9) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der ringförmige Isolator (21/22) zwischen dem überhöhten Seitenbereich (33) und dem bezüglich der Senkrechten (8) zur Achsenrichtung (7) des ringförmigen Isolators (21/22) geneigten Frontbereich (31) einen vierten Bereich (32) umfasst, der im wesentlichen senkrecht (8) zur Achse (7) des ringförmigen Isolators (21/22) in Richtung des vakuumisierten Innenraums (6) weist und der zum überhöhten Seitenbereich (33) sowie zum Frontbereich (31) einen tangentialen Übergangsradius (R2/R3) von 1 bis 7 mm besitzt.4. High-voltage vacuum tube (9) according to one of claims 1 to 3, characterized in that the annular insulator (21/22) between the raised side region (33) and the perpendicular (8) to the axial direction (7) of the annular Insulator (21/22) inclined front region (31) comprises a fourth region (32) which points substantially perpendicular (8) to the axis (7) of the annular insulator (21/22) in the direction of the vacuumed interior (6) and which to the elevated side area (33) and to the front area (31) has a tangential transition radius (R2 / R3) of 1 to 7 mm.
5. Hochspannungs-Vakuumröhre (9) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der überhöhte Seitenbereich (33) mindestens 2 Mal weiter als der verkürzte Seitenbereich (30) in den vakuumisierten Innenraum (6) ragt.5. High-voltage vacuum tube (9) according to one of claims 1 to 4, characterized in that the elevated side region (33) protrudes at least twice as the shortened side region (30) into the vacuum-sealed interior (6).
6. Hochspannungs-Vakuumröhre (9) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der überhöhte Seitenbereich (33) gegen die Achsenrichtung (7) des ringförmigen Isolators (21/22) einen sich verjüngenden Auslauf besitzt.6. High-voltage vacuum tube (9) according to one of claims 1 to 5, characterized in that the raised side region (33) against the axis direction (7) of the annular insulator (21/22) has a tapered outlet.
7. Hochspannungs-Vakuumröhre (9) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der verkürzte Seitenbereich (30) gegen die Achsenrichtung (7) des ringförmigen Isolators (21/22) einen sich verjüngenden Auslauf besitzt.7. High-voltage vacuum tube (9) according to one of claims 1 to 6, characterized in that the shortened side region (30) against the axis direction (7) of the annular insulator (21/22) has a tapering outlet.
8. Hochspannungs-Vakuumröhre (9) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der ringförmige Isolator (21/22) im Wesentlichen aus einem isolierenden Keramikmaterial besteht.8. High-voltage vacuum tube (9) according to one of claims 1 to 7, characterized in that the annular insulator (21/22) consists essentially of an insulating ceramic material.
9. Hochspannungs-Vakuumröhre (9) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Keramikmaterial des ringförmigen Isolators (21/22) mindestens aus 95 % AI2O3 besteht.9. High-voltage vacuum tube (9) according to claim 8, characterized in that the ceramic material of the annular insulator (21/22) consists of at least 95% Al2O3.
10. Hochspannungs-Vakuumröhre (9) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Kathode (4) auf der Aussenwand10. High-voltage vacuum tube (9) according to one of claims 1 to 9, characterized in that the cathode (4) on the outer wall
(411) gegen den ringförmigen Isolator (21) einen elektropolierten und/oder mechanisch polierten Metalizylinder (412) umfasst.(411) against the annular insulator (21) comprises an electropolished and / or mechanically polished metal cylinder (412).
11. Hochspannungs-Vakuumröhre (9) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungs-Vakuumröhre (9) eine Stromversorgungsvorrichtung umfasst, mittels welcher11. High-voltage vacuum tube (9) according to one of claims 1 to 10, characterized in that the high-voltage vacuum tube (9) comprises a power supply device, by means of which
Betriebsspannungen von mindestens 200 kV am Isolator anlegbar sind.Operating voltages of at least 200 kV can be applied to the isolator.
12. Hochspannungs-Vakuumröhre (9) nach einem der Ansprüche 1 bis 11 , dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungs-Vakuumröhre (9) eine Röntgenröhre ist.12. High-voltage vacuum tube (9) according to one of claims 1 to 11, characterized in that the high-voltage vacuum tube (9) is an X-ray tube.
13. Verfahren zum Herstellen einer Hochspannungs-Vakuumröhre13. A method of manufacturing a high voltage vacuum tube
(9) nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass zur Herstellung des ringförmigen Isolators (21/22) ein Pressdruck von mindestens 1000 bar verwendet wird.(9) according to one of claims 1 to 12, characterized in that a pressing pressure of at least 1000 bar is used to produce the annular insulator (21/22).
14. Gepäckdurchleuchtungsvorrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine Vorrichtung zum Erzeugen von Röntgenstrahlen umfasst, wobei die Vorrichtung zum Erzeugen von Röntgenstrahlen mindestens ein Hochspannungsteil und eine oder mehrere Röntgenröhren nach einem der Ansprüche 1 bis 13 umfasst. 14. Baggage screening device, characterized in that it comprises a device for generating X-rays, the device for generating X-rays comprising at least one high-voltage part and one or more X-ray tubes according to one of Claims 1 to 13.
15. Duchleuchtungsvorrichtung für Transportcontainer und/oder Transportbehälter, dadurch gekennzeichnet, dass sie zur Erzeugung von Röntgenstrahlen eine oder mehrere Röntgenröhren nach einem der Ansprüche 1 bis 14 umfasst. 15. Illumination device for transport containers and / or transport containers, characterized in that it comprises one or more X-ray tubes according to one of Claims 1 to 14 for generating X-rays.
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