Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

EP0340470A1 - Method and circuit for driving an ultrasonic transducer, and their use in atomizing a liquid - Google Patents

Method and circuit for driving an ultrasonic transducer, and their use in atomizing a liquid Download PDF

Info

Publication number
EP0340470A1
EP0340470A1 EP89106106A EP89106106A EP0340470A1 EP 0340470 A1 EP0340470 A1 EP 0340470A1 EP 89106106 A EP89106106 A EP 89106106A EP 89106106 A EP89106106 A EP 89106106A EP 0340470 A1 EP0340470 A1 EP 0340470A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
frequency
oscillator
voltage
ultrasonic
ultrasonic oscillator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP89106106A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Frank-Peter Jagdt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Satronic AG
Original Assignee
Satronic AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Satronic AG filed Critical Satronic AG
Publication of EP0340470A1 publication Critical patent/EP0340470A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/0207Driving circuits
    • B06B1/0223Driving circuits for generating signals continuous in time
    • B06B1/0238Driving circuits for generating signals continuous in time of a single frequency, e.g. a sine-wave
    • B06B1/0246Driving circuits for generating signals continuous in time of a single frequency, e.g. a sine-wave with a feedback signal
    • B06B1/0253Driving circuits for generating signals continuous in time of a single frequency, e.g. a sine-wave with a feedback signal taken directly from the generator circuit
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B2201/00Indexing scheme associated with B06B1/0207 for details covered by B06B1/0207 but not provided for in any of its subgroups
    • B06B2201/70Specific application
    • B06B2201/77Atomizers

Definitions

  • the invention relates to a method for exciting an ultrasonic vibrator according to the preamble of claim 1, a circuit for exciting the ultrasonic vibrator according to this method, and the use of the method for atomizing a liquid.
  • Such parameters are, for example, the manufacturing tolerances of the mechanical components of the ultrasonic vibrator and in particular its atomizing plate, the variations in the mechanical and electrical parameters of the piezoceramic used in its manufacture, the operating temperature of the ultrasonic transducer (very important when used in burners), the aging of the ultrasonic transducer, the deposits that form on it (such as soot and resins during use) in burners), the properties of the medium to be atomized, and also the manufacturing, adjustment and other tolerances in the excitation circuit.
  • the cessation of atomization must be reliably recognized. If the exposure is caused by droplets remaining on the atomizing plate, it must also be ensured that they are thrown off the atomizing plate.
  • a practical requirement for industrial applicability is the free interchangeability of the excitation circuit and the ultrasonic oscillator itself or, if applicable, its atomizing plate, and without any adjustment work and without high tolerance requirements on the spare parts or on the components of the circuit (which is particularly important when individual components are replaced due to repairs is).
  • the active power of the ultrasonic vibrator or its atomizing plate must be adjustable in the largest possible dynamic range, and the control of active power and frequency must not influence each other. Furthermore, changes in the aforementioned parameters and the operating voltage must have little or no influence on the function of the control loops.
  • the disadvantage of this solution is that the circuit has to be matched to the ultrasonic vibrator and in particular to its resonance target frequency, so that the operation of the ultrasonic vibrator cannot be tracked to the changes in some of the parameters listed above and the easy interchangeability of components is not guaranteed .
  • a reliable function is not guaranteed when starting up, especially under load and with changing operating conditions, since the impedance and thus the phase relationships between the current and voltage of the ultrasonic transducer change significantly with changes in load, and thus a tracking of the optimal oscillation frequency, derived from the phase relationships between current and Voltage in the ultrasonic transducer is not possible. It is not possible to achieve a real compensation of the capacitance of the ultrasonic vibrator by means of an inductor, because of the capacitance which changes during operation and in particular when there are changes in load.
  • the disadvantage here is that with ultrasonic transducers that do not reach the maximum adjustable power, the excitation circuit no longer locks onto the desired operating frequency when there is a high power requirement can.
  • a further disadvantage is that the current / frequency characteristic near the parallel resonance, that is to say at low powers, has a low slope, which leads to the control oscillation being interrupted and, consequently, to the wobble generator being switched on for no reason. The dynamic range of the power control is severely limited by these two phenomena.
  • the object of the invention is to avoid the aforementioned disadvantages and to enable cost-effective and reliable control of an ultrasonic vibrator.
  • the An Excitation of the ultrasonic vibrator 1 takes place via an output stage 2, which is supplied with a current I from a source of a direct voltage U.
  • the output stage 2 is controlled by a driver stage 3, which in turn receives a signal of frequency f from a voltage-controlled oscillator 4.
  • the voltage-controlled oscillator 4 is known per se (“VCO”) and is constructed using commercially available components.
  • the permissible voltage swing at its control input is predetermined, the corresponding frequency swing at its signal output can be adjusted in a known manner by the value of frequency-determining components that can be connected to the oscillator 4 and are not shown in FIG. 1, which can be resistors and / or capacitors when using analog technology , when using digital technology can include a crystal oscillator and signal inputs to corresponding programming inputs.
  • the control input of the oscillator 4 receives a signal from a triangular generator 5, so that the frequency f is wobbled depending on the output voltage of the triangular generator 5.
  • the triangle generator 5 increases or decreases its output voltage and the oscillator 4 its frequency f.
  • FIG. 2 shows an example of an embodiment of the output stage 2 of the circuit according to FIG. 1.
  • the ultrasonic vibrator 1 is excited via a transformer 21, which ensures galvanic isolation of the ultrasonic vibrator 1 and, if necessary (depending on its winding conditions), the excitation with different voltage ranges Voltage U allowed.
  • the output stage 2 comprises two transistors 22 and 23, which are driven by the driver stage 3 in push-pull and alternately switch the current I through to one half of the primary winding of the transformer 21.
  • the driver stage 3 supplies the phases necessary for the transistors 22 and 23 correct signals depending on the signal of the frequency f fed to the driver stage 3.
  • Such a driver stage is well known to the person skilled in the art and need not be described in more detail here.
  • the excitation circuit for the ultrasonic oscillator 1 is closed via a current measuring resistor 24.
  • a capacitor 25 leads the changes in the current I occurring at the frequency f directly from the transistors 22 and 23 back to the source of the voltage U, and thereby causes the voltage drop V occurring at the current measuring resistor 24 to be proportional to the temporal mean value of the current I, ie has no significant variation on frequency f.
  • the excitation frequency f is plotted on the abscissa and the voltage drop V measured at the current measuring resistor 24 is plotted on the ordinate.
  • the frequency range 32 of the control oscillation of a resonance detection control circuit of the circuit described below is also indicated in FIG. 3 when it is in the state locked onto the desired resonance frequency f r .
  • the voltage drop V across the current measuring resistor 24 is also a direct measure of the electrical power supplied to the ultrasonic oscillator 1. This in turn is a useful measure of the atomizing power of the ultrasonic vibrator 1 when it is provided with an atomizing plate and is used to atomize a liquid.
  • the characteristic curve 31 shown in FIG. 3 corresponds to the well-known impedance curve (ie here also the reactance curve) of a resonance system like that of a piezo oscillator.
  • the maximum 33 recognizable on the characteristic curve 31 corresponds to the series resonance resulting from the known equivalent circuit diagram of an oscillator, the recognizable minimum 34 corresponds to the parallel resonance resulting from the same equivalent circuit diagram.
  • the ratio of the currents I at the maximum 33 and at the minimum 34 is essentially determined by the impedance behavior of the ultrasonic oscillator 1.
  • the output voltage of the triangle generator 5 is fed to a window comparator 6. As will be seen from the following, this output voltage is always between the two window limits of the window comparator 6. If the output voltage of the triangle generator 5 now reaches the upper or lower window limit of the window comparator 6, this controls a set input or the set window or Reset input of a D flip-flop 7, which causes this flip-flop 7 to tilt (the conversion of the output signal of a window comparator into control signals for the inputs of a flip-flop is well known to the person skilled in the art and need not be described in more detail here).
  • the window comparator 6 monitors the wobble direction of the oscillator 4, and the flip-flop 7 serves as a memory for the wobble direction.
  • An output of the flip-flop 7 supplies a signal to a control input of the triangle generator 5. This signal determines the wobble direction.
  • the tilting of the flip-flop 7 causes the wobble direction to be reversed, and the ultrasonic oscillator 1 is operated at a frequency which is between a lower frequency f and an upper frequency f o (see FIG. 3) is wobbled uniformly as long as the clock input of the flip-flop 7 receives no pulses.
  • the voltage drop V across the current measuring resistor 24 is delayed in an all-pass filter 8 by a frequency-dependent amount of time.
  • the voltage drop V and the voltage drop delayed in the all-pass filter 8 are each fed to an input of a comparator 9, if appropriate after they have been freed from interference signals by filtering (not shown) and converted into suitable signals by an amplification (not shown).
  • the comparator 9 supplies a signal to the clock input of the flip-flop 7, which causes the flip-flop 7 to tilt and thus the signal at the control input of the triangle generator 5 changes and reverses the respective wobble direction of the oscillator 4.
  • the wobble direction is thus determined by the value of the instantaneous difference between the delayed voltage drop and the undelayed voltage drop, or by comparing this difference with a threshold.
  • the ultrasonic oscillator 1 If the ultrasonic oscillator 1 is operated in a state in which there is no resonance peak 33 or an insufficiently pronounced resonance peak, inter alia if the ratio of the currents I at the maximum 33 and the minimum 34 corresponds to an excessively damped impedance behavior of the ultrasonic oscillator 1, the wobble direction is reversed , when the triangle generator 5 delivers an output voltage which corresponds to the lower frequency limit f u or the upper frequency limit f o . This is the case, for example, if the ultrasonic vibrator 1 is used to atomize a liquid and is too strongly dampened by attached drops.
  • the wobble frequency can usefully be set in the area of the natural resonance of the attached drop in order to throw it off.
  • the ultrasonic oscillator 1, the output stage 2, the current measuring resistor 24, the all-pass filter 8, the comparator 9, the flip-flop 7, the triangle generator 5, the oscillator 4 and the driver stage 3 form a control circuit which, due to its design, regulates the excitation frequency of the excitation frequency Ultrasonic vibrator 1 around its series resonance frequency f r executes.
  • the delay in the all-pass filter 8 and the switching thresholds in the comparator 9 it is achieved that only the course of the resonance curve, which is typical for proper atomization, is recognized as real resonance. This suitable choice results from the wobble frequency used, the frequency spacing between the series resonance 33 and the parallel resonance 34 of the ultrasonic oscillator, and from the control properties of the assemblies contained in the control loop.
  • the wobble direction is reversed when the delayed voltage drop is greater than the undelayed voltage drop V by a predetermined amount. This has the result that the excitation frequency f of the ultrasonic vibrator 1 changes periodically in a region 32 around the resonance frequency, that is, this frequency control loop has a constant amplitude swings.
  • the instantaneous frequency and amplitude of the current I depend on the damping of the ultrasonic oscillator in the region of the resonance (cf. FIG. 3) in accordance with the selected sweep speed.
  • a low attenuation corresponds to a high instantaneous amplitude and high instantaneous frequency, with a correspondingly large difference between the undelayed and the delayed voltage drop.
  • the circuit thus causes the excitation frequency f of the ultrasonic oscillator to sweep through a predetermined frequency range, namely until the resonance detection snaps into place, ie the wobble direction is reversed before the frequency limit f u or f o is reached. Then the excitation frequency f of the ultrasonic oscillator locks into its resonance frequency f r , provided that this resonance is of a sufficiently high quality (for example, the ultrasonic oscillator is not dampened by attached drops).
  • the criterion for the engagement is the rate of change of the current I flowing through the output stage 2, which is in a first approximation proportional to the active power of the ultrasonic vibrator 1.
  • the desired power of the ultrasonic vibrator can be set by setting the operating voltage U of the output stage 2, for example using an adjustable voltage source (not shown). If the active power of the ultrasonic vibrator is also to be controlled, e.g. the current I is multiplied by the operating voltage U and the result of this multiplication is compared with the desired power.
  • the method described here has the advantage, among other things, that the functions of the resonance detection and the power control are separate, ie the resonance detection can work over a dynamic range of more than 1:10.
  • the process also works continuously, so it is not external time processes bound and can therefore easily follow changes such as changes in operational damping, power, resonance frequency, etc. Attached drops are shaken off faster than with the use of previously known methods, since wobbling is not rigid across the entire frequency range, but the switching between a frequency of the highest and the highest at a certain level of damping, for example, even with a partially shaken off drop Active power and one of the two frequency limits wobbles.
  • the analysis of the characteristic curve 31 can also be carried out by directly deriving the current I or the voltage drop V according to the frequency f. This is again equivalent to deriving the current I or the voltage drop V over time, since the frequency f determined by the triangle generator 5 varies linearly with time. Such a derivation is only the limiting case of the previously described difference formation in the event of a time delay tending towards zero at the all-pass filter 8.
  • the invention has been described in connection with an ultrasonic oscillator, in particular a piezoelectric ultrasonic oscillator, the use of which, e.g. is atomizing a liquid.
  • the invention is also advantageously applicable to other resonance systems, the resonance of which lies in a defined frequency range and can change depending on various parameters and in particular on the usual variation in the properties of ultrasonic oscillators and circuit components produced in series.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Special Spraying Apparatus (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

An ultrasonic transducer (1) is excited by the output signal of a voltage-controlled oscillator (4). The latter is controlled (6, 7) with a delta generator (5) in such a way that its frequency is periodically swept in a range enclosing the series resonance of the ultrasonic transducer. A measured variable (I, V) corresponding to the damping of the ultrasonic transducer is formed and compared with a maximum admissible damping. If the detected damping is smaller than the maximum admissible damping, the oscillator (4) is additionally controlled as a function of the measured variable. This is preferably a function of the excitation current (I) of the ultrasonic transducer. Preferably, an instantaneous value (24) and a delayed value (8) are formed therefrom and their difference compared (9) with a threshold value: if this difference is equal to the threshold value, the sweeping device (7, 5) is reversed. The power at the ultrasonic transducer can then be controlled by varying the operating voltage (U) of the output stage (2) connected upstream of the ultrasonic transducer. …<??>The method can be used for atomising a liquid by means of an ultrasonic transducer provided with an atomising plate. …<IMAGE>…

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Anregung eines Ultraschallschwingers gemäss dem Oberbegriff des Anspruchs 1, eine Schaltung zur Anregung des Ultraschallschwingers nach diesem Verfahren, sowie die Verwendung des Verfahrens zur Zerstäubung einer Flüssigkeit.The invention relates to a method for exciting an ultrasonic vibrator according to the preamble of claim 1, a circuit for exciting the ultrasonic vibrator according to this method, and the use of the method for atomizing a liquid.

Die Möglichkeit, Flüssigkeiten mit Hilfe von piezoelektri­schen Ultraschallschwingern zu zerstäuben, ist wohlbekannt. Beispielsweise sind im Aufsatz von W.-D. Drews "Flüssigkeits­zerstäubung durch Ultraschall" in "Elektronik" (1979), Heft 10, Seiten 83-90 das Prinzip dieses Verfahrens, ein mit einem Zerstäuberteller versehener Ultraschallschwinger und eine Schaltung zur Anregung dieses Ultraschallschwingers kurz be­schrieben.The ability to atomize liquids using ultrasonic piezoelectric transducers is well known. For example, in the essay by W.-D. Drew's "Liquid atomization by ultrasound" in "Electronics" (1979), No. 10, pages 83-90 briefly describes the principle of this method, an ultrasonic oscillator provided with an atomizing plate and a circuit for exciting this ultrasonic oscillator.

Die technische Realisierung der Zerstäubung einer Flüssigkeit mit Hilfe eines Ultraschallschwingers wird aber durch mehrere Probleme erschwert:
Da eine Zerstäubung nur in der Nähe der Resonanz der aus dem Ultraschallschwingers und seinem Zerstäuberteller bestehenden Einheit möglich ist, muss die nötige Anre­gungsfrequenz sehr genau eingehalten werden. Das Einras­ten des Oszillators der Anregungsschaltung auf eine Scheinresonanz, die keiner wirksamen Zerstäubung ent­spricht, muss mit Sicherheit ausgeschlossen werden.
Die Anregungsschaltung muss in der Lage sein, die Anre­gungsfrequenz entsprechend den Veränderungen verschiede­ner Parameter nachzuführen. Solche Parameter sind bei­spielsweise die Fertigungstoleranzen der mechanischen Komponenten des Ultraschallschwingers und insbesondere seines Zerstäubertellers, die Variationen der mechani­schen und elektrischen Kenngrössen der zu seiner Her­stellung verwendeten Piezokeramik, die Betriebstempera­tur des Ultraschallschwingers (sehr wichtig bei der Ver­wendung in Brennern), die Alterung des Ultraschall­schwingers, die sich darauf bildenden Ablagerungen (wie z.B. Russ und Harze bei der Anwendung in Brennern), die Eigenschaften des zu zerstäubenden Mediums, und auch die Fertigungs-, Justier- und sonstigen Toleranzen in der Anregungsschaltung.
Das Aussetzen der Zerstäubung muss sicher erkannt wer­den. Wenn das Aussetzen durch am Zerstäuberteller hän­genbleibende Tröpfchen verursacht wird, muss auch ihr Abschleudern vom Zerstäuberteller gewährleistet sein.
Eine praktische Anforderung an die industrielle Einsetz­barkeit ist die freie Austauschbarkeit der Anregungs­schaltung und des Ultraschallschwingers selbst oder ge­gebenenfalls seines Zerstäubertellers, und zwar ohne jegliche Abgleicharbeiten und ohne hohe Toleranzanforde­rungen an die Ersatzteile oder an die Komponenten der Schaltung (was bei reparaturbedingtem Ersatz einzelner Komponenten von besonderer Wichtigkeit ist).
Die Wirkleistung des Ultraschallschwingers bzw. seines Zerstäubertellers muss in einem möglichst grossen Dyna­mikbereich regelbar sein, und die Regelung von Wirk­leistung und Frequenz dürfen sich nicht gegenseitig beeinflussen. Ferner dürfen Änderungen der vorgenannten Parameter und der Betriebsspannung keinen oder einen nur sehr geringen Einfluss auf die Funktion der Regelkreise haben.
The technical realization of the atomization of a liquid with the help of an ultrasonic vibrator is complicated by several problems:
Since atomization is only possible in the vicinity of the resonance of the unit consisting of the ultrasonic vibrator and its atomizing plate, the necessary excitation frequency must be observed very precisely. The locking of the oscillator of the excitation circuit to an apparent resonance that does not correspond to an effective atomization must be excluded with certainty.
The excitation circuit must be able to track the excitation frequency according to the changes in various parameters. Such parameters are, for example, the manufacturing tolerances of the mechanical components of the ultrasonic vibrator and in particular its atomizing plate, the variations in the mechanical and electrical parameters of the piezoceramic used in its manufacture, the operating temperature of the ultrasonic transducer (very important when used in burners), the aging of the ultrasonic transducer, the deposits that form on it (such as soot and resins during use) in burners), the properties of the medium to be atomized, and also the manufacturing, adjustment and other tolerances in the excitation circuit.
The cessation of atomization must be reliably recognized. If the exposure is caused by droplets remaining on the atomizing plate, it must also be ensured that they are thrown off the atomizing plate.
A practical requirement for industrial applicability is the free interchangeability of the excitation circuit and the ultrasonic oscillator itself or, if applicable, its atomizing plate, and without any adjustment work and without high tolerance requirements on the spare parts or on the components of the circuit (which is particularly important when individual components are replaced due to repairs is).
The active power of the ultrasonic vibrator or its atomizing plate must be adjustable in the largest possible dynamic range, and the control of active power and frequency must not influence each other. Furthermore, changes in the aforementioned parameters and the operating voltage must have little or no influence on the function of the control loops.

Zur Lösung dieser Probleme wurden bereits verschiedene Ver­fahren bzw. Schaltungen vorgeschlagen.Various methods and circuits have already been proposed to solve these problems.

In DE-3222425 wurde vorgeschlagen, den Ultraschallschwinger über ein Anpassnetzwerk anzuregen, das unter anderem das An­schwingen des Ultraschallschwingers auf Oberwellen seiner Resonanzfrequenz unterdrücken soll. Die Gleichstromkomponente des Resonatorstromes dient der Regelung des Anregungssstromes und die Wechselstromkomponente des Resonatorstroms dient der Regelung der Anregungsfrequenz, wobei ein Bandpass nur die Frequenzkomponente auf der Resonanz-Sollfrequenz des Ultra­schallschwingers durchlässt. Bei Ausfall der Resonanz wird die Anregungsfrequenz gewobbelt, um den Resonanzpunkt zu durchlaufen und das Wiedereinrasten zu erreichen. Nachteilig ist bei dieser Lösung, dass die Schaltung auf den Ultra­schallschwinger und insbesondere auf seine Resonanz-Sollfre­quenz abgestimmt sein muss, so dass der Betrieb des Ultra­schallschwingers den Änderungen einiger der vorstehend aufge­führten Parameter nicht nachgeführt werden kann und auch die leichte Austauschbarkeit von Komponenten nicht gewährleistet ist. Eine zuverlässige Funktion ist beim Anschwingen vor allem unter Last und bei sich ändernden Betriebsbedingungen nicht gewährleistet, da sich die Impedanz und damit die Pha­senbeziehungen zwischen Strom und Spannung des Ultraschall­schwingers bei Belastungsänderungen stark ändern und damit eine Nachführung der optimalen Schwingfrequenz, abgeleitet aus Phasenbeziehungen zwischen Strom und Spannung im Ultra­schallschwinger, nicht möglich ist. Mittels einer Induktivi­tät eine echte Kompensation der Kapazität des Ultraschall­schwingers zu erreichen, ist wegen der sich im Betrieb und insbesondere bei Belastungsänderungen ändernden Kapazität nicht möglich.In DE-3222425 it was proposed to excite the ultrasonic oscillator via a matching network which, among other things, is intended to suppress the oscillation of the ultrasonic oscillator at harmonics of its resonance frequency. The direct current component of the resonator current is used to regulate the excitation current and the alternating current component of the resonator current is used to regulate the excitation frequency, a bandpass filter only permitting the frequency component at the desired resonance frequency of the ultrasonic oscillator. If the resonance fails, the excitation frequency is swept in order to pass through the resonance point and to achieve re-engagement. The disadvantage of this solution is that the circuit has to be matched to the ultrasonic vibrator and in particular to its resonance target frequency, so that the operation of the ultrasonic vibrator cannot be tracked to the changes in some of the parameters listed above and the easy interchangeability of components is not guaranteed . A reliable function is not guaranteed when starting up, especially under load and with changing operating conditions, since the impedance and thus the phase relationships between the current and voltage of the ultrasonic transducer change significantly with changes in load, and thus a tracking of the optimal oscillation frequency, derived from the phase relationships between current and Voltage in the ultrasonic transducer is not possible. It is not possible to achieve a real compensation of the capacitance of the ultrasonic vibrator by means of an inductor, because of the capacitance which changes during operation and in particular when there are changes in load.

In etwas anderer Ausbildung wurde ähnliches in US-4275363 vorgeschlagen, wobei auch die gleichen, vorstehend erwähnten Nachteile entstehen.In a somewhat different design, similar has been proposed in US-4275363, whereby the same disadvantages mentioned above also arise.

In DE-3314609 wurde vorgeschlagen, den Ultraschallschwinger mit getakteter variabler Anregungsleistung ("Bursts") unter Verwendung von unterschiedlichen Steuerzeiten zu betreiben. Die abklingende Schwingung wird zur Frequenzregelung herange­zogen. Nachteilig ist dabei, dass es für das richtige Funk­tionieren nötig ist, entweder die Schaltung an das einzelne verwendete Exemplar des Ultraschallschwingers anzupassen oder entsprechend geringe Toleranzen für den Ultraschallschwinger und die Komponenten der Schaltung vorzusehen, und dass die Leistung über die Zeit nicht konstant ist.In DE-3314609 it was proposed to use the ultrasonic oscillator with clocked variable excitation power ("bursts") Operate using different tax times. The decaying vibration is used for frequency control. The disadvantage here is that for correct functioning, it is necessary either to adapt the circuit to the individual specimen of the ultrasonic oscillator used or to provide correspondingly low tolerances for the ultrasonic oscillator and the components of the circuit, and that the power is not constant over time.

In etwas anderer Ausbildung wurde ähnliches in DE-3401735 vorgeschlagen, wobei auch die gleichen, vorstehend erwähnten Nachteile entstehen.In a somewhat different design, something similar was proposed in DE-3401735, the same disadvantages mentioned above also occurring.

In DE-3534853 wurde vorgeschlagen, den Ultraschallschwinger mit getakteter Anregungsleistung ("Bursts") zu betreiben und für den automatischen Frequenzabgleich eine Strommessung zu ganz bestimmten Zeiten vorzunehmen. Nachteilig und insbeson­dere kostspielig ist dabei die notwendige Zwischenspeicherung der Werte der Strommessung sowie die genaue Synchronisation der Steuerabläufe.In DE-3534853 it was proposed to operate the ultrasonic oscillator with clocked excitation power ("bursts") and to carry out a current measurement at very specific times for the automatic frequency adjustment. A disadvantageous and particularly costly is the need to temporarily store the values of the current measurement and the exact synchronization of the control processes.

Im Schweizer Patentgesuch Nr. 3155/87-0 vom 17.08.1987 wurde unter anderem vorgeschlagen, bei konstanter Anregungsspannung am Ultraschallschwinger die Leistung über eine Variation der Betriebsfrequenz in dem zwischen der Serienresonanz und der Parallelresonanz des Ultraschallschwingers liegenden Fre­quenzbereich zu regeln. Die Verstärkung des dazu bestimmten Regelkreises ist so ausgelegt, dass leichte Regelschwingungen auftreten, wenn der Ultraschallschwinger ungedämpft schwingt. Wenn die Regelschwingungen hingegen fehlen, wird ein Wobbel­generator aufgeschaltet, um am Ultraschallschwinger eventuell anhängende Tropfen abzuschütteln und die Betriebsfrequenz neu zu suchen. Nachteilig ist dabei, dass mit Ultraschallschwin­gern, welche nicht die maximale einstellbare Leistung errei­chen, die Anregungsschaltung bei hoher Leistungsanforderung nicht mehr auf der gewünschten Betriebsfrequenz einrasten kann. Ein weiterer Nachteil ist auch, dass die Strom/Frequenz-­Kennlinie nahe der Parallelresonanz, also bei niedrigen Leis­tungen, eine geringe Steilheit aufweist, was zum Aussetzen der Regelschwingung und damit zum unbegründeten Aufschalten des Wobbelgenerators führt. Der Dynamikbereich der Leistungs­regelung wird durch diese beiden Phänomene stark einge­schränkt.In Swiss Patent Application No. 3155 / 87-0 dated August 17, 1987, it was proposed, among other things, to regulate the power with a constant excitation voltage on the ultrasonic oscillator by varying the operating frequency in the frequency range between the series resonance and the parallel resonance of the ultrasonic oscillator. The amplification of the control loop intended for this purpose is designed in such a way that slight control vibrations occur when the ultrasonic vibrator vibrates undamped. If, on the other hand, the control vibrations are missing, a wobble generator is switched on in order to shake off any drops attached to the ultrasonic vibrator and to search for the operating frequency again. The disadvantage here is that with ultrasonic transducers that do not reach the maximum adjustable power, the excitation circuit no longer locks onto the desired operating frequency when there is a high power requirement can. A further disadvantage is that the current / frequency characteristic near the parallel resonance, that is to say at low powers, has a low slope, which leads to the control oscillation being interrupted and, consequently, to the wobble generator being switched on for no reason. The dynamic range of the power control is severely limited by these two phenomena.

Aufgabe der Erfindung ist es, die vorgenannten Nachteile zu vermeiden und eine kostengünstige und funktionssichere An­steuerung eines Ultraschallschwingers zu ermöglichen.The object of the invention is to avoid the aforementioned disadvantages and to enable cost-effective and reliable control of an ultrasonic vibrator.

Diese Aufgabe wird durch das im Anspruch 1 angegebene Verfah­ren gelöst. Eine Verwendung des Verfahrens ist im Anspruch 8 und eine Schaltung zur Ausführung dieses Verfahrens im An­spruch 9 angegeben. Vorteilhafte Weiterbildungen des Verfah­rens ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen 2 bis 7.This object is achieved by the method specified in claim 1. A use of the method is specified in claim 8 and a circuit for executing this method in claim 9. Advantageous further developments of the method result from the dependent claims 2 to 7.

Im nachstehenden wird ein Beispiel einer Ausbildung der Er­findung anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

  • Fig. 1 ein Blockschaltbild einer erfindungsgemässen Schaltung zur Anregung eines Ultraschallschwingers,
  • Fig. 2 ein Beispiel einer Ausbildung der Endstufe der Schaltung gemäss Fig. 1, und
  • Fig. 3 eine schematische Kennlinie des zeitlichen Mittel­werts des die Endstufe der Schaltung gemäss Fig. 2 durchfliessenden Stromes, gemessen als Spannungsab­fall an einem Strommesswiderstand, als Funktion der Anregungsfrequenz des Ultraschallschwingers.
An example of an embodiment of the invention is explained in more detail below with reference to the drawings. Show it:
  • 1 is a block diagram of an inventive circuit for excitation of an ultrasonic vibrator,
  • FIG. 2 shows an example of an embodiment of the output stage of the circuit according to FIG. 1, and
  • 3 shows a schematic characteristic of the time average of the current flowing through the output stage of the circuit according to FIG. 2, measured as a voltage drop across a current measuring resistor, as a function of the excitation frequency of the ultrasonic oscillator.

Fig. 1 zeigt eine Schaltung zur Anregung eines Ultraschall­schwingers 1, dessen an sich bekannter Zerstäuberteller (vgl. beispielsweise in DE-3534853) nicht dargestellt ist. Die An­ regung des Ultraschallschwingers 1 erfolgt über eine Endstufe 2, die von einer Quelle einer Gleichspannung U mit einem Strom I gespeist wird. Die Endstufe 2 wird von einer Treiber­stufe 3 gesteuert, die ihrerseits ein Signal der Frequenz f von einem spannungsgesteuerten Oszillator 4 erhält.1 shows a circuit for excitation of an ultrasonic vibrator 1, the atomizing plate of which is known per se (cf. for example in DE-3534853) is not shown. The An Excitation of the ultrasonic vibrator 1 takes place via an output stage 2, which is supplied with a current I from a source of a direct voltage U. The output stage 2 is controlled by a driver stage 3, which in turn receives a signal of frequency f from a voltage-controlled oscillator 4.

Der spannungsgesteuerte Oszillator 4 ist an sich bekannt ("VCO") und mit handelsüblichen Bauelementen aufgebaut. Der zulässige Spannungshub an seinem Steuereingang ist vorgege­ben, der entsprechende Frequenzhub an seinem Signalausgang ist auf bekannte Weise durch den Wert von am Oszillator 4 anschliessbaren, in Fig. 1 nicht dargestellten frequenzbe­stimmenden Bauelementen einstellbar, die bei Verwendung von Analogtechnik Widerstände und/oder Kondensatoren sein können, bei Verwendung von Digitaltechnik einen Quarzoszillator und Signaleingaben auf entsprechende Programmiereingänge umfassen können.The voltage-controlled oscillator 4 is known per se (“VCO”) and is constructed using commercially available components. The permissible voltage swing at its control input is predetermined, the corresponding frequency swing at its signal output can be adjusted in a known manner by the value of frequency-determining components that can be connected to the oscillator 4 and are not shown in FIG. 1, which can be resistors and / or capacitors when using analog technology , when using digital technology can include a crystal oscillator and signal inputs to corresponding programming inputs.

Der Steuereingang des Oszillators 4 erhält ein Signal von einen Dreieckgenerator 5, so dass die Frequenz f in Abhängig­keit der Ausgangsspannung des Dreieckgenerators 5 gewobbelt wird. Entsprechend der Wobbelrichtung erhöht oder vermindert der Dreieckgenerator 5 seine Ausgangsspannung und der Oszil­lator 4 seine Frequenz f.The control input of the oscillator 4 receives a signal from a triangular generator 5, so that the frequency f is wobbled depending on the output voltage of the triangular generator 5. In accordance with the wobble direction, the triangle generator 5 increases or decreases its output voltage and the oscillator 4 its frequency f.

Fig. 2 zeigt ein Beispiel einer Ausbildung der Endstufe 2 der Schaltung gemäss Fig. 1. Der Ultraschallschwinger 1 wird über einen Transformator 21 angeregt, der eine galvanische Tren­nung des Ultraschallschwingers 1 gewährleistet und gegebenen­falls (je nach seinen Windungsverhältnissen) die Anregung mit verschiedenen Spannungsbereichen der Spannung U gestattet. Die Endstufe 2 umfasst zwei Transistoren 22 und 23, die von der Treiberstufe 3 im Gegentakt angesteuert werden und wech­selweise den Strom I auf je eine Hälfte der Primärwicklung des Transformators 21 durchschalten. Die Treiberstufe 3 lie­fert die für die Transistoren 22 und 23 notwendigen phasen­ richtigen Signale in Abhängigkeit von dem der Treiberstufe 3 zugeführten Signal der Frequenz f. Eine solche Treiberstufe ist dem Fachmann wohlbekannt und braucht hier nich näher beschrieben zu werden. Der Anregungsstromkreis für den Ultra­schallschwinger 1 wird über einen Strommesswiderstand 24 geschlossen. Ein Kondensator 25 führt die auf der Frequenz f erfolgenden Änderungen des Stromes I direkt von den Transis­toren 22 und 23 auf die Quelle der Spannung U zurück und bewirkt dadurch, dass der am Strommesswiderstand 24 auftre­tende Spannungsabfall V dem zeitlichen Mittelwert des Stromes I proportional ist, d.h. keine nennenswerte Variation auf der Frequenz f aufweist.FIG. 2 shows an example of an embodiment of the output stage 2 of the circuit according to FIG. 1. The ultrasonic vibrator 1 is excited via a transformer 21, which ensures galvanic isolation of the ultrasonic vibrator 1 and, if necessary (depending on its winding conditions), the excitation with different voltage ranges Voltage U allowed. The output stage 2 comprises two transistors 22 and 23, which are driven by the driver stage 3 in push-pull and alternately switch the current I through to one half of the primary winding of the transformer 21. The driver stage 3 supplies the phases necessary for the transistors 22 and 23 correct signals depending on the signal of the frequency f fed to the driver stage 3. Such a driver stage is well known to the person skilled in the art and need not be described in more detail here. The excitation circuit for the ultrasonic oscillator 1 is closed via a current measuring resistor 24. A capacitor 25 leads the changes in the current I occurring at the frequency f directly from the transistors 22 and 23 back to the source of the voltage U, and thereby causes the voltage drop V occurring at the current measuring resistor 24 to be proportional to the temporal mean value of the current I, ie has no significant variation on frequency f.

Fig. 3 zeigt eine schematische, d.h. qualitativ dargestellte Kennlinie 31 des zeitlichen Mittelwerts des Stromes I als Funktion der Anregungsfrequenz f des Ultraschallschwingers. Auf der Abszisse ist die Anregungsfrequenz f und auf der Ordinate der am Strommesswiderstand 24 gemessene Spannungs­abfall V eingetragen. Angedeutet ist in Fig. 3 auch der Frequenzbereich 32 der Regelschwingung eines nachstehend beschriebenen Resonanzerkennungs-Regelkreises der Schaltung, wenn dieser sich in den auf der gewünschten Resonanzfrequenz fr eingerasteten Zustand befindet.3 shows a schematic, that is to say qualitatively represented, characteristic curve 31 of the temporal mean value of the current I as a function of the excitation frequency f of the ultrasonic oscillator. The excitation frequency f is plotted on the abscissa and the voltage drop V measured at the current measuring resistor 24 is plotted on the ordinate. The frequency range 32 of the control oscillation of a resonance detection control circuit of the circuit described below is also indicated in FIG. 3 when it is in the state locked onto the desired resonance frequency f r .

Da die Verluste in der Endstufe 2 und im Transformator 21 im Vergleich zur Nutzleistung genügend klein gehalten werden können, ist der Spannungsabfall V am Strommesswiderstand 24 auch ein direktes Mass für die dem Ultraschallschwinger 1 zugeführte elektrische Leistung. Diese ist ihrerseits ein brauchbares Mass für die Zerstäubungsleistung des Ultra­schallschwingers 1, wenn dieser mit einem Zerstäuberteller versehen und zur Zerstäubung einer Flüssigkeit verwendet wird.Since the losses in the output stage 2 and in the transformer 21 can be kept sufficiently small compared to the useful power, the voltage drop V across the current measuring resistor 24 is also a direct measure of the electrical power supplied to the ultrasonic oscillator 1. This in turn is a useful measure of the atomizing power of the ultrasonic vibrator 1 when it is provided with an atomizing plate and is used to atomize a liquid.

Die in Fig. 3 dargestellte Kennlinie 31 entspricht dem wohl­bekannten Impedanzverlauf (d.h. hier auch Reaktanzverlauf) eines Resonanzsystems wie dasjenige eines Piezoschwingers. Das auf der Kennlinie 31 erkennbare Maximum 33 entspricht der sich aus dem bekannten Ersatzschaltbild eines Schwingers er­gebenden Serienresonanz, das erkennbare Minimum 34 entspricht der sich aus demselben Ersatzschaltbild ergebenden Parallel­resonanz. Das Verhältnis der Ströme I beim Maximum 33 und beim Minimum 34 (also auch das Verhältnis der entsprechenden Werte des Spannungsabfalls V) wird im wesentlichen durch das Impedanzverhalten des Ultraschallschwingers 1 festgelegt.The characteristic curve 31 shown in FIG. 3 corresponds to the well-known impedance curve (ie here also the reactance curve) of a resonance system like that of a piezo oscillator. The maximum 33 recognizable on the characteristic curve 31 corresponds to the series resonance resulting from the known equivalent circuit diagram of an oscillator, the recognizable minimum 34 corresponds to the parallel resonance resulting from the same equivalent circuit diagram. The ratio of the currents I at the maximum 33 and at the minimum 34 (thus also the ratio of the corresponding values of the voltage drop V) is essentially determined by the impedance behavior of the ultrasonic oscillator 1.

Wie in Fig. 1 dargestellt, wird die Ausgangsspannung des Dreieckgenerators 5 einem Fensterkomparator 6 zugeführt. Wie aus dem nachstehenden hervorgehen wird, liegt diese Ausgangs­spannung stets zwischen den beiden Fenstergrenzen des Fenster­komparators 6. Wenn nun die Ausgangsspannung des Dreieckgene­rators 5 die obere bzw. die untere Fenstergrenze des Fenster­komparators 6 erreicht, steuert dieser ja nach der eben er­reichten Fenstergrenze einen Setzeingang bzw. Rücksetzeingang eines D-Flipflops 7 an, was diesen Flipflop 7 kippen lässt (die Umsetzung des Ausgangssignals eines Fensterkomparators in Steuersignale für die Eingänge eines Flipflops ist dem Fachmann wohl bekannt und braucht hier nicht näher beschrieben zu werden). Somit überwacht der Fensterkomparator 6 die Wob­belrichtung des Oszillators 4, und der Flipflop 7 dient als Speicher für die Wobbelrichtung.As shown in FIG. 1, the output voltage of the triangle generator 5 is fed to a window comparator 6. As will be seen from the following, this output voltage is always between the two window limits of the window comparator 6. If the output voltage of the triangle generator 5 now reaches the upper or lower window limit of the window comparator 6, this controls a set input or the set window or Reset input of a D flip-flop 7, which causes this flip-flop 7 to tilt (the conversion of the output signal of a window comparator into control signals for the inputs of a flip-flop is well known to the person skilled in the art and need not be described in more detail here). Thus, the window comparator 6 monitors the wobble direction of the oscillator 4, and the flip-flop 7 serves as a memory for the wobble direction.

Ein Ausgang des Flipflops 7 liefert ein Signal an einen Steuereingang des Dreieckgenerators 5. Dieses Signal bestimmt die Wobbelrichtung. Wenn also die Ausgangsspannung des Drei­eckgenerators 5 die obere bzw. die untere Fenstergrenze des Fensterkomparators 6 erreicht, bewirkt das Kippen des Flip­flops 7 die Umkehr der Wobbelrichtung, und der Ultraschall­schwinger 1 wird mit einer Frequenz betrieben, die zwischen einer unteren Frequenz f und einer oberen Frequenz fo (vgl. Fig. 3) gleichmässig gewobbelt wird, solange der Takteingang des Flipflops 7 keine Impulse erhält.An output of the flip-flop 7 supplies a signal to a control input of the triangle generator 5. This signal determines the wobble direction. Thus, when the output voltage of the triangle generator 5 reaches the upper or lower window limit of the window comparator 6, the tilting of the flip-flop 7 causes the wobble direction to be reversed, and the ultrasonic oscillator 1 is operated at a frequency which is between a lower frequency f and an upper frequency f o (see FIG. 3) is wobbled uniformly as long as the clock input of the flip-flop 7 receives no pulses.

Der Spannungsabfall V am Strommesswiderstand 24 wird in einem Allpass-Filter 8 um einen frequenzabhängigen Zeitbetrag ver­zögert. Der Spannungsabfall V und der im Allpass-Filter 8 verzögerte Spannungsabfall werden je einem Eingang eines Kom­parators 9 zugeführt, gegebenenfalls nachdem sie durch eine (nicht dargestellte) Filterung von Störsignalen befreit und durch eine (nicht dargestellte) Verstärkung in passende Signale umgewandelt worden sind.The voltage drop V across the current measuring resistor 24 is delayed in an all-pass filter 8 by a frequency-dependent amount of time. The voltage drop V and the voltage drop delayed in the all-pass filter 8 are each fed to an input of a comparator 9, if appropriate after they have been freed from interference signals by filtering (not shown) and converted into suitable signals by an amplification (not shown).

Ist oder wird das dem verzögerten Spannungsabfall entspre­chende Signal um ein im Komparator vorgegebenes Mass grös­ser als das dem unverzögerten Spannungsabfall entsprechende Signal, so liefert der Komparator 9 ein Signal an den Takt­eingang des Flipflops 7, was den Flipflop 7 kippen lässt und somit das Signal am Steuereingang des Dreieckgenerators 5 ändert und die jeweilige Wobbelrichtung des Oszillators 4 umkehrt. Somit wird die Wobbelrichtung vom Wert der momenta­nen Differenz zwischen dem verzögerten Spannungsabfall und dem unverzögerten Spannungsabfall, bzw. vom Vergleich dieser Differenz mit einer Schwelle bestimmt.If the signal corresponding to the delayed voltage drop is or is larger by a measure predetermined in the comparator than the signal corresponding to the instantaneous voltage drop, the comparator 9 supplies a signal to the clock input of the flip-flop 7, which causes the flip-flop 7 to tilt and thus the signal at the control input of the triangle generator 5 changes and reverses the respective wobble direction of the oscillator 4. The wobble direction is thus determined by the value of the instantaneous difference between the delayed voltage drop and the undelayed voltage drop, or by comparing this difference with a threshold.

Die vorangehend beschriebene Schaltung funktioniert wie folgt.The circuit described above works as follows.

Wenn der Ultraschallschwinger 1 in einem Zustand betrieben wird, bei welchem keine oder eine ungenügend ausgeprägte Resonanzspitze 33 auftritt, u.a. wenn das Verhältnis der Ströme I beim Maximum 33 und beim Minimum 34 einem zu stark gedämpften Impedanzverhalten des Ultraschallschwingers 1 ent­spricht, so wird die Wobbelrichtung umgekehrt, wenn der Dreieckgenerator 5 eine Ausgangsspannung liefert, die der unteren Frequenzgrenze fu bzw. der oberen Frequenzgrenze fo entspricht. Dies ist zum Beispiel der Fall, wenn der Ultra­schallschwinger 1 zur Zerstäubung einer Flüssigkeit verwendet und dabei durch anhängende Tropfen zu stark gedämpft wird.If the ultrasonic oscillator 1 is operated in a state in which there is no resonance peak 33 or an insufficiently pronounced resonance peak, inter alia if the ratio of the currents I at the maximum 33 and the minimum 34 corresponds to an excessively damped impedance behavior of the ultrasonic oscillator 1, the wobble direction is reversed , when the triangle generator 5 delivers an output voltage which corresponds to the lower frequency limit f u or the upper frequency limit f o . This is the case, for example, if the ultrasonic vibrator 1 is used to atomize a liquid and is too strongly dampened by attached drops.

Die Wobbelfrequenz kann sinnvollerweise im Bereich der Eigen­resonanz des anhängenden Tropfens gelegt werden, um diesen abzuschleudern.The wobble frequency can usefully be set in the area of the natural resonance of the attached drop in order to throw it off.

Zusammen bilden der Ultraschallschwinger 1, die Endstufe 2, der Strommesswiderstand 24, das Allpass-Filter 8, der Kompa­rator 9, das Flipflop 7, der Dreieckgenerator 5, der Oszilla­tor 4 und die Treiberstufe 3 einen Regelkreis, der aufgrund seiner Auslegung Regelschwingungen der Anregungsfrequenz des Ultraschallschwingers 1 um seine Serienresonanzfrequenz fr herum ausführt. Durch geeignete Wahl der Verzögerung im Allpass-Filter 8 und der Schaltschwellen im Komparator 9 erreicht man, dass nur der für ordnungsgemässes Zerstäuben typische Verlauf der Resonanzkurve als echte Resonanz erkannt wird. Diese geeignete Wahl ergibt sich aus der verwendeten Wobbelfrequenz, dem Frequenzabstand zwischen der Serienreso­nanz 33 und der Parallelresonanz 34 des Ultraschallschwin­gers, sowie aus den regelungstechnischen Eigenschaften der im Regelkreis enthaltenen Baugruppen. Die Wobbelrichtung wird umgekehrt, wenn der verzögerte Spannungsabfall um einen vor­gegebenen Betrag grösser ist als der unverzögerte Spannungs­abfall V. Dies führt dazu, dass sich die Anregungsfrequenz f des Ultraschallschwingers 1 periodisch in einem Bereich 32 um die Resonanzfrequenz herum ändert, dieser Frequenzregelkreis also mit konstanter Amplitude schwingt.Together, the ultrasonic oscillator 1, the output stage 2, the current measuring resistor 24, the all-pass filter 8, the comparator 9, the flip-flop 7, the triangle generator 5, the oscillator 4 and the driver stage 3 form a control circuit which, due to its design, regulates the excitation frequency of the excitation frequency Ultrasonic vibrator 1 around its series resonance frequency f r executes. By a suitable choice of the delay in the all-pass filter 8 and the switching thresholds in the comparator 9, it is achieved that only the course of the resonance curve, which is typical for proper atomization, is recognized as real resonance. This suitable choice results from the wobble frequency used, the frequency spacing between the series resonance 33 and the parallel resonance 34 of the ultrasonic oscillator, and from the control properties of the assemblies contained in the control loop. The wobble direction is reversed when the delayed voltage drop is greater than the undelayed voltage drop V by a predetermined amount. This has the result that the excitation frequency f of the ultrasonic vibrator 1 changes periodically in a region 32 around the resonance frequency, that is, this frequency control loop has a constant amplitude swings.

Entsprechend der gewählten Wobbelgeschwindigkeit ergibt sich die momentane Frequenz und Amplitude des Stromes I in Abhän­gigkeit der Dämpfung des Ultraschallschwingers im Bereich der Resonanz (vgl. Fig. 3). Dabei entspricht eine geringe Dämpf­ung einer hohen momentanen Amplitude und hohen momentanen Frequenz, wobei sich eine entsprechend grosse Differenz zwischen dem unverzögertem und dem verzögertem Spannungs­abfall ergibt. Wählt man nun die Eckfrequenz des Allpass-­Filters 8 sowie die Hysterese des Komparators 9 derart, dass dieser nur bei genügend entdämpften, also im Falle der An­ wendung zur Ultraschallzerstäubung bei nicht "abgesoffenem" Schwinger schaltet und die Wobbelrichtung umkehrt so er­reicht man ein Einrasten auf die Resonanzfrequenz fr. Ande­renfalls erhält man automatisch eine Rückmeldung, dass ein Tropfen am Ultraschallschwinger hängt, da dann die Anregungs­frequenz f die untere Frequenzgrenze fu bzw. die obere Fre­quenzgrenze fo errreicht, wodurch der Fensterkomparator 6 anspricht, wie oben beschrieben worden ist.The instantaneous frequency and amplitude of the current I depend on the damping of the ultrasonic oscillator in the region of the resonance (cf. FIG. 3) in accordance with the selected sweep speed. A low attenuation corresponds to a high instantaneous amplitude and high instantaneous frequency, with a correspondingly large difference between the undelayed and the delayed voltage drop. If one now selects the corner frequency of the all-pass filter 8 and the hysteresis of the comparator 9 in such a way that it is only attenuated if there is sufficient attenuation, that is to say in the case of the on application for ultrasonic atomization when the transducer is not "flooded" switches and reverses the wobble direction so that a snap-in to the resonance frequency f r is achieved . Otherwise, feedback is automatically received that a drop is hanging on the ultrasonic oscillator, since the excitation frequency f then reaches the lower frequency limit f u or the upper frequency limit f o , as a result of which the window comparator 6 responds, as has been described above.

Die Schaltung lässt also die Anregungsfrequenz f des Ultra­schallschwingers einen vorgegebenen Frequenzbereich durchwob­beln, und zwar solange, bis die Resonanzerkennung einrastet, d.h. die Wobbelrichtung noch vor Erreichen der Frequenzgrenze fu bzw. fo umgekehrt wird. Danach rastet die Anregungs­frequenz f des Ultraschallschwingers auf seine Resonanzfre­quenz fr ein, sofern diese Resonanz eine genügend hohe Güte aufweist (z.B. der Ultraschallschwinger nicht durch anhängen­de Tropfen gedämpft ist). Kriterium für das Einrasten ist die Änderungsgeschwindigkeit des die Endstufe 2 durchfliessenden Stromes I, der in erster Näherung proportional zur Wirkleis­tung des Ultraschallschwingers 1 ist.The circuit thus causes the excitation frequency f of the ultrasonic oscillator to sweep through a predetermined frequency range, namely until the resonance detection snaps into place, ie the wobble direction is reversed before the frequency limit f u or f o is reached. Then the excitation frequency f of the ultrasonic oscillator locks into its resonance frequency f r , provided that this resonance is of a sufficiently high quality (for example, the ultrasonic oscillator is not dampened by attached drops). The criterion for the engagement is the rate of change of the current I flowing through the output stage 2, which is in a first approximation proportional to the active power of the ultrasonic vibrator 1.

Die gewünschte Leistung des Ultraschallschwingers kann dabei durch Einstellung der Betriebsspannung U der Endstufe 2 ein­gestellt werden, beispielsweise mit Hilfe einer (nicht darge­stellten) einstellbaren Spannungsquelle. Soll die Wirkleis­tung des Ultraschallschwingers auch noch geregelt werden, so kann z.B. der Strom I mit der Betriebsspannung U multipli­ziert und das Resultat dieser Multiplikation mit der ge­wünschten Leistung verglichen werden.The desired power of the ultrasonic vibrator can be set by setting the operating voltage U of the output stage 2, for example using an adjustable voltage source (not shown). If the active power of the ultrasonic vibrator is also to be controlled, e.g. the current I is multiplied by the operating voltage U and the result of this multiplication is compared with the desired power.

Das hier beschriebene Verfahren hat u.a. den Vorteil, dass die Funktionen der Resonanzerkennung und der Leistungsrege­lung getrennt sind, d.h. die Resonanzerkennung kann über einen Dynamikbereich von mehr als 1 : 10 arbeiten. Auch arbei­tet das Verfahren stetig, es ist also nicht an externe Zeit­ abläufe gebunden und kann daher problemlos Veränderungen wie z.B. Änderungen der Betriebsdämpfung, der Leistung, der Reso­nanzfrequenz usw. folgen. Anhängende Tropfen werden schneller abgeschüttelt als bei Verwendung von bisher bekannten Verfah­ren, da nicht starr über den gesamten Frequenzbereich gewob­belt wird, sondern die Schaltung bereits ab einem bestimmten Grad der Entdämpfung, z.B. bereits bei teilweise abgeschüt­teltem Tropfen, zwischen der Frequenz mit der zum jeweiligem Zeitpunkt höchsten Wirkleistung und einer der beiden Fre­quenzgrenzen wobbelt.The method described here has the advantage, among other things, that the functions of the resonance detection and the power control are separate, ie the resonance detection can work over a dynamic range of more than 1:10. The process also works continuously, so it is not external time processes bound and can therefore easily follow changes such as changes in operational damping, power, resonance frequency, etc. Attached drops are shaken off faster than with the use of previously known methods, since wobbling is not rigid across the entire frequency range, but the switching between a frequency of the highest and the highest at a certain level of damping, for example, even with a partially shaken off drop Active power and one of the two frequency limits wobbles.

In Analogie zur Schaltung, die im Zusammenhang mit Fig. 1 beschrieben wurde, kann die Analyse der Kennlinie 31 auch durch direkte Ableitung des Stromes I bzw. des Spannungsab­falls V nach der Frequenz f erfolgen. Dies ist wiederum gleichwertig mit einer Ableitung des Stromes I bzw. des Span­nungsabfalls V nach der Zeit, da die vom Dreieckgenerator 5 bestimmte Frequenz f linear mit der Zeit variiert. Eine sol­che Ableitung ist ja auch nur der Grenzfall der vorangehend beschriebenen Differenzbildung im Falle einer gegen Null ten­dierenden Zeitverzögerung am Allpass-Filter 8.In analogy to the circuit that was described in connection with FIG. 1, the analysis of the characteristic curve 31 can also be carried out by directly deriving the current I or the voltage drop V according to the frequency f. This is again equivalent to deriving the current I or the voltage drop V over time, since the frequency f determined by the triangle generator 5 varies linearly with time. Such a derivation is only the limiting case of the previously described difference formation in the event of a time delay tending towards zero at the all-pass filter 8.

Im vorstehenden ist die Erfindung im Zusammenhang mit einem Ultraschallschwinger, insbesondere einem piezoelektrischen Ultraschallschwinger beschrieben worden, dessen Einsatz z.B. im Zerstäuben einer Flüssigkeit liegt. Die Erfindung ist je­doch ebenfalls mit Vorteil auf andere Resonanzsysteme anwend­bar, deren Resonanz in einem definierten Frequenzbereich liegt und sich in Abhängigkeit von verschiedenen Parameter und insbesondere von der üblichen Streuung der Eigenschaften von in Serie hergestellten Ultraschallschwingern und Schal­tungskomponenten ändern kann.In the above, the invention has been described in connection with an ultrasonic oscillator, in particular a piezoelectric ultrasonic oscillator, the use of which, e.g. is atomizing a liquid. However, the invention is also advantageously applicable to other resonance systems, the resonance of which lies in a defined frequency range and can change depending on various parameters and in particular on the usual variation in the properties of ultrasonic oscillators and circuit components produced in series.

Claims (9)

1. Verfahren zur Anregung eines Ultraschallschwingers durch das Ausgangssignal eines spannungsgesteuerten Oszillators, wobei die Steuerspannung des Oszillators so geregelt wird, dass seine Frequenz in einem vorbestimmten, die Frequenz der Serienresonanz des Ultraschallschwingers umschliessenden Bereich periodisch gewobbelt wird, dadurch gekennzeichnet, dass eine der Dämpfung des Ultraschallschwingers entspre­chende Messgrösse gebildet und mit einem vorbestimmten Schwellenwert verglichen wird, der einer vorbestimmten höchstzulässigen Dämpfung entspricht, und wenn der Vergleich ergibt, dass die Dämpfung des Ultraschallschwingers kleiner ist als die höchstzulässige Dämpfung, die Steuerspannung zusätzlich in Abhängigkeit von der Messgrösse geregelt wird.1. A method for excitation of an ultrasonic oscillator by the output signal of a voltage-controlled oscillator, the control voltage of the oscillator being regulated in such a way that its frequency is periodically wobbled in a predetermined range that encloses the frequency of the series resonance of the ultrasonic oscillator, characterized in that Corresponding measurement variable of the ultrasonic oscillator is formed and compared with a predetermined threshold value which corresponds to a predetermined maximum permissible damping, and if the comparison shows that the damping of the ultrasonic oscillator is smaller than the maximum permissible damping, the control voltage is additionally regulated as a function of the measured variable. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Messgrösse der Wert einer Funktion des Anregungsstroms des Ultraschallschwingers ist.2. The method according to claim 1, characterized in that the measurement variable is the value of a function of the excitation current of the ultrasonic oscillator. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein momentaner Wert und ein verzögerter Wert der Messgrösse sowie eine Differenz dieser Werte gebildet werden, diese Differenz mit dem Schwellenwert verglichen wird, und wenn diese Differenz gleich dem Schwellenwert wird, die Änderungs­richtung der Steuerspannung umgekehrt wird.3. The method according to claim 2, characterized in that a current value and a delayed value of the measured variable and a difference between these values are formed, this difference is compared with the threshold value, and if this difference becomes equal to the threshold value, the direction of change of the control voltage is reversed becomes. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Verzögerung der Messgrösse durch ein Allpass-Filter erfolgt, dessen Kennlinie für die Verzögerung in Abhängigkeit von der Frequenz so gewählt ist, dass die Differenz nur dann gleich dem Schwellenwert werden kann, wenn die Dämpfung des Ultraschallschwingers kleiner ist als die höchstzulässige Dämpfung.4. The method according to claim 3, characterized in that the delay of the measured variable is carried out by an all-pass filter, the characteristic curve for the delay is selected as a function of the frequency so that the difference can only be equal to the threshold value if the damping of the ultrasonic transducer is smaller than the maximum permissible damping. 5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Messgrösse die Ableitung des Anregungsstroms nach der Frequenz ist.5. The method according to claim 2, characterized in that the measurement variable is the derivative of the excitation current according to the frequency. 6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Grenzen des Bereiches, in dem die Frequenz des Oszilla­tors gewobbelt wird, so gewählt sind, dass unter Berücksich­tigung der Toleranzen für die Kennwerte des Ultraschall­schwingers seine Nutzresonanzfrequenzen innerhalb dieses Bereiches, seine Störresonanzen aber ausserhalb dieses Bereiches zu liegen kommen.6. The method according to claim 1, characterized in that the limits of the range in which the frequency of the oscillator is swept are selected such that, taking into account the tolerances for the characteristic values of the ultrasonic oscillator, its useful resonance frequencies within this range, but its interference resonances outside of this Range come to rest. 7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leistung am Ultraschallschwinger durch Variation der Betriebspannung einer zwischen dem Oszillator und dem Ultra­schallschwinger geschalteten Endstufe geregelt wird.7. The method according to claim 1, characterized in that the power at the ultrasonic oscillator is regulated by varying the operating voltage of an output stage connected between the oscillator and the ultrasonic oscillator. 8. Verwendung des Verfahrens nach Anspruch 1 zur Zerstäu­bung einer Flüssigkeit durch einen mit einem Zerstäuberteller versehenen Ultraschallschwinger.8. Use of the method according to claim 1 for atomizing a liquid by an ultrasonic vibrator provided with an atomizing plate. 9. Schaltung zur Ausführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit einem Regelkreis (5, 6, 7) für einen spannungsgesteuerten Oszillator (4) zur Anregung eines Ultraschallschwingers (1) über eine Treiberstufe (3) und eine Endstufe (2), und mit einem Strommesswiderstand (24), gekennzeichnet durch ein Allpass-Filter (8), dem die Spannung (V) am Strommess­widerstand (24) zugeführt wird und der eine entsprechend verzögerte Spannung liefert, einem Komparator (9), der die Spannung (V) am Strommesswiderstand (24) mit der im Allpass-­Filter (8) verzögerten Spannung vergleicht und ein Signal liefert, das dem Takteingang eines Flipflops (7) zugeführt wird, während ein am einen Ausgang des Flipflops (7) auftre­tendes Signal einem Dreieckgenerator (5) zugeführt wird, der die Frequenz (f) des spannungsgesteuerten Oszillators (4) bestimmt.9. Circuit for carrying out the method according to claim 1, with a control circuit (5, 6, 7) for a voltage-controlled oscillator (4) for exciting an ultrasonic oscillator (1) via a driver stage (3) and an output stage (2), and with a current measuring resistor (24), characterized by an all-pass filter (8), to which the voltage (V) at the current measuring resistor (24) is supplied and which supplies a correspondingly delayed voltage, a comparator (9), the voltage (V) on Current measuring resistor (24) compares with the delayed voltage in the all-pass filter (8) and supplies a signal which is fed to the clock input of a flip-flop (7), while a signal occurring at an output of the flip-flop (7) is fed to a triangle generator (5) , which determines the frequency (f) of the voltage controlled oscillator (4).
EP89106106A 1988-05-06 1989-04-07 Method and circuit for driving an ultrasonic transducer, and their use in atomizing a liquid Withdrawn EP0340470A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH172888 1988-05-06
CH1728/88 1988-05-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP0340470A1 true EP0340470A1 (en) 1989-11-08

Family

ID=4217212

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP89106106A Withdrawn EP0340470A1 (en) 1988-05-06 1989-04-07 Method and circuit for driving an ultrasonic transducer, and their use in atomizing a liquid

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4901034A (en)
EP (1) EP0340470A1 (en)
CS (1) CS274553B2 (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3933300A1 (en) * 1989-10-05 1991-04-18 Eberspaecher J ULTRASONIC SPRAYER
US5216338A (en) * 1989-10-05 1993-06-01 Firma J. Eberspacher Circuit arrangement for accurately and effectively driving an ultrasonic transducer
GB2279535A (en) * 1993-06-30 1995-01-04 Hielscher Gmbh The safe oscillation build-up of ultrasonic disintegrators
EP0677335A2 (en) * 1994-04-14 1995-10-18 Firma J. Eberspächer Method and means for detecting the onset of flooding of ultrasonic atomisers
US6212936B1 (en) 1997-09-01 2001-04-10 Fresenius Ag Ultrasonic transmitter particularly for an air bubble detector
CN105988387A (en) * 2015-02-16 2016-10-05 台达电子工业股份有限公司 Spray driving device and spray system
DE112017004833B4 (en) 2016-09-27 2022-11-24 Omron Healthcare Co., Ltd. Mesh type nebulizer

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0401802B1 (en) * 1989-06-07 1995-02-08 Nippondenso Co., Ltd. Drive system of actuator having piezoelectric device for use in motor vehicle
DE3925459A1 (en) * 1989-08-01 1991-02-14 Ferton Holding ULTRASONIC GENERATOR WITH A PIEZOELECTRIC CONVERTER
US5097171A (en) * 1989-10-24 1992-03-17 Nippondenso Co., Ltd. Piezo-actuator shock absorber damping force controlling system having abnormality detection function
SE9804484D0 (en) * 1998-12-22 1998-12-22 Siemens Elema Ab Procedure for scanning and tuning a resonant frequency as well as a tuner
US6288473B1 (en) * 2000-03-31 2001-09-11 Sandia Corporation Frequency modulation drive for a piezoelectric motor
US6539937B1 (en) * 2000-04-12 2003-04-01 Instrumentarium Corp. Method of maximizing the mechanical displacement of a piezoelectric nebulizer apparatus
DE102005030777B4 (en) * 2005-07-01 2016-10-20 Martin Walter Ultraschalltechnik Ag Method and circuit arrangement for operating an ultrasonic vibrator
FR2903331B1 (en) * 2006-07-07 2008-10-10 Oreal GENERATOR FOR EXCITING A PIEZOELECTRIC TRANSDUCER
US8006918B2 (en) * 2008-10-03 2011-08-30 The Proctor & Gamble Company Alternating current powered delivery system
US20110130560A1 (en) * 2009-05-29 2011-06-02 Bio-Rad Laboratories, Inc. Sonication cartridge for nucleic acid extraction
US8798950B2 (en) 2010-08-20 2014-08-05 Bio-Rad Laboratories, Inc. System and method for ultrasonic transducer control
EP2608897B1 (en) 2010-08-27 2023-08-02 SOCPRA Sciences et Génie s.e.c. Mechanical wave generator and method thereof
US9242263B1 (en) * 2013-03-15 2016-01-26 Sono-Tek Corporation Dynamic ultrasonic generator for ultrasonic spray systems

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4275363A (en) * 1979-07-06 1981-06-23 Taga Electric Co., Ltd. Method of and apparatus for driving an ultrasonic transducer including a phase locked loop and a sweep circuit
DE3428523A1 (en) * 1983-08-05 1985-02-14 Taga Electric Co., Ltd., Tokyo METHOD FOR CONTROLLING THE OPERATION OF AN ULTRASONIC TRANSDUCER
DE3331896A1 (en) * 1983-09-03 1985-03-21 Gerhard Prof. Dr.-Ing. 8012 Ottobrunn Flachenecker POWER GENERATOR FOR AN ULTRASONIC transducer
EP0254237A2 (en) * 1986-07-25 1988-01-27 Herbert Gässler Method for phase controlled power- and frequency adjustement of an ultrasonic transducer and apparatus for application of the method

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3401735C1 (en) * 1984-01-19 1985-05-02 Herbert 7909 Bollingen Gässler Device for operating a piezoelectric ultrasonic transducer
US4642581A (en) * 1985-06-21 1987-02-10 Sono-Tek Corporation Ultrasonic transducer drive circuit
US4808948A (en) * 1987-09-28 1989-02-28 Kulicke And Soffa Indusries, Inc. Automatic tuning system for ultrasonic generators

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4275363A (en) * 1979-07-06 1981-06-23 Taga Electric Co., Ltd. Method of and apparatus for driving an ultrasonic transducer including a phase locked loop and a sweep circuit
DE3428523A1 (en) * 1983-08-05 1985-02-14 Taga Electric Co., Ltd., Tokyo METHOD FOR CONTROLLING THE OPERATION OF AN ULTRASONIC TRANSDUCER
DE3331896A1 (en) * 1983-09-03 1985-03-21 Gerhard Prof. Dr.-Ing. 8012 Ottobrunn Flachenecker POWER GENERATOR FOR AN ULTRASONIC transducer
EP0254237A2 (en) * 1986-07-25 1988-01-27 Herbert Gässler Method for phase controlled power- and frequency adjustement of an ultrasonic transducer and apparatus for application of the method

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5216338A (en) * 1989-10-05 1993-06-01 Firma J. Eberspacher Circuit arrangement for accurately and effectively driving an ultrasonic transducer
DE3933300A1 (en) * 1989-10-05 1991-04-18 Eberspaecher J ULTRASONIC SPRAYER
US5532539A (en) * 1993-06-30 1996-07-02 Dr. Hielscher Gmbh Method and circuitry for the safe oscillation build-up of ultrasonic disintegrators
GB2279535A (en) * 1993-06-30 1995-01-04 Hielscher Gmbh The safe oscillation build-up of ultrasonic disintegrators
DE4322388A1 (en) * 1993-06-30 1995-01-12 Hielscher Gmbh Circuit arrangement for the safe start of ultrasonic disintegrators
FR2708487A1 (en) * 1993-06-30 1995-02-10 Hielscher Gmbh Method and mounting arrangement for safe priming of ultrasonic disintegrators
GB2279535B (en) * 1993-06-30 1997-06-04 Hielscher Gmbh Method and circuitry for the safe oscillation build-up of ultrasonic disintegrators
US5588592A (en) * 1994-04-14 1996-12-31 J. Eberspacher Method and apparatus for detecting the onset of flooding of an ultrasonic atomizer
DE4412900A1 (en) * 1994-04-14 1995-10-26 Eberspaecher J Method and device for determining the onset of a flood of an ultrasonic atomizer
EP0677335A3 (en) * 1994-04-14 1997-05-21 Eberspaecher J Method and means for detecting the onset of flooding of ultrasonic atomisers.
EP0677335A2 (en) * 1994-04-14 1995-10-18 Firma J. Eberspächer Method and means for detecting the onset of flooding of ultrasonic atomisers
DE4412900C2 (en) * 1994-04-14 2000-04-27 Eberspaecher J Gmbh & Co Method and device for determining the onset of a flood of an ultrasonic atomizer
US6212936B1 (en) 1997-09-01 2001-04-10 Fresenius Ag Ultrasonic transmitter particularly for an air bubble detector
CN105988387A (en) * 2015-02-16 2016-10-05 台达电子工业股份有限公司 Spray driving device and spray system
CN105988387B (en) * 2015-02-16 2019-11-01 台达电子工业股份有限公司 Spraying driving device and spraying system
DE112017004833B4 (en) 2016-09-27 2022-11-24 Omron Healthcare Co., Ltd. Mesh type nebulizer

Also Published As

Publication number Publication date
US4901034A (en) 1990-02-13
CS274553B2 (en) 1991-08-13
CS258489A2 (en) 1990-10-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0340470A1 (en) Method and circuit for driving an ultrasonic transducer, and their use in atomizing a liquid
EP0254237B1 (en) Method for phase controlled power- and frequency adjustement of an ultrasonic transducer and apparatus for application of the method
DE2741215C2 (en) Transmitting device for a network overlay signaling system
DE3686574T2 (en) DEVICE FOR SPRAYING FUEL THROUGH ULTRASONIC FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES.
DE3783748T2 (en) DRIVING DEVICE FOR AN ULTRASONIC HORN AND METHOD WITH ACTIVE FREQUENCY RUNNING.
DE10122065B4 (en) Apparatus for generating liquid droplets with a vibrated membrane
CH668877A5 (en) DEVICE FOR OPERATING A PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCER.
DE4412900C2 (en) Method and device for determining the onset of a flood of an ultrasonic atomizer
CH678404A5 (en)
DE3927888A1 (en) INVERTER ARRANGEMENT
EP0303944A1 (en) Method and circuit for the excitation of an ultrasonic vibrator and their use in the atomisation of a liquid
DE1292706B (en) Frequency discriminator
DE2916540C2 (en) Electrical circuit arrangement for controlling a piezoelectric transducer
EP0123277B1 (en) Method of driving an ultrasonic oscillator for an atomizing fluid
WO1998053282A1 (en) Vibration filling level limit switch and method for determining and/or monitoring the filling level of a medium in a container
DE2943510C2 (en) Phase-controlled high frequency oscillator
DE962177C (en) Circuit arrangement for automatically stabilizing the frequency of a high-frequency oscillator with respect to a higher harmonic of a control oscillation
EP0421439B1 (en) Ultrasonic atomiser
DE69817897T2 (en) Phase-locked loop
EP2390634B1 (en) Device for operating a vibrating unit of a vibration resonator
DE3810669C2 (en) Device for monitoring the level of a liquid
DE1964287C3 (en) Start-stop oscillator, especially for generating short-term color carrier oscillations
DE3222425A1 (en) Generator for driving a piezo resonator
DE2365860C3 (en) Circuit for generating short pulses from a sinusoidal high frequency oscillation
DE2434165C3 (en) Ultrasonic transmitter for remote control of radio and television receivers

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE ES FR GB GR IT LI LU NL SE

17P Request for examination filed

Effective date: 19900430

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 19911105