DE9015191U1 - Chemical transport containers - Google Patents
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Description
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Der Gegenstand des Gebrauchsmusters betrifft einen Chemikalientransportbehälter für flüssige Chemikalien, insbesondere flüssige Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie .The subject matter of the utility model relates to a chemical transport container for liquid chemicals, in particular liquid high-purity chemicals for the electronics industry .
In den letzten Jahren sind die Anforderungen an die Reinheit
von flüssigen SpezialChemikalien, z.B. von Prozeßchemikalien für die Elektronikindustrie, stark gestiegen.
Dabei wird, z.B. bedingt durch die immer kleiner werdenden Abmessungen der von der Elektronikindustrie unter
Verwendung von Prozeßchemikalien hergestellten Mikro-1c
chips, zunehmend die Forderung nach Partikelfreiheit der flüssigen Hochreinchemikalien erhoben.In recent years, the requirements for the purity of liquid specialty chemicals, e.g. process chemicals for the electronics industry, have increased significantly. Due to the ever-decreasing dimensions of the liquids used by the electronics industry,
The demand for particle-free liquid high-purity chemicals has been increasing in the manufacture of microchips 1 c produced using process chemicals.
Die Herstellung flüssiger, partikelfreier Hochreinchemikalien wird von den Feinchemikalienherstellern beherrscht. Zur Lagerung und zum Transport sind allerdings bekannte Behälter aus handelsüblichen Werkstoffen nicht geeignet.The production of liquid, particle-free, high-purity chemicals is mastered by fine chemical manufacturers. However, familiar containers made of commercially available materials are not suitable for storage and transport.
Bei der Lieferung der flüssigen Hochreinchemikalien an
2c die Elektronikindustrie kommen aus wirtschaftlichen Gründen
nur Großgebinde in Betracht. Diese sollten so beschaffen sein, daß sie eine Kontamination des Behälterinhaltes
ausschließen, auch bei rauher Behandlung durch
Gabelstapler und dergleichen bruchsicher sowie einfach
und preiswert herstellbar sind.When delivering liquid high purity chemicals to
2 c For economic reasons, only large containers are considered for the electronics industry. These should be designed in such a way that they exclude contamination of the container contents, even if they are handled roughly by
Forklifts and the like are shatterproof and easy
and can be produced inexpensively.
Sie sollen von Gabelstaplern und anderen üblichen Transportvorrichtungen
ohne Transportrisiko bewegt werden
können, d.h. auch bei einem Fall den Behälter sicher vor Bruch schützen.They should be moved by forklifts and other common transport devices without transport risk
can, ie protect the container safely from breakage even in the event of a fall.
Ein Großchemikalienbehälter, der alle vorgenannten Anforderungen erfüllt, ist nicht bekannt. Durch das vorliegen-A large chemical container that meets all the above requirements is not known.
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de Gebrauchsmuster wird ein Großchemikalientransportbehälter zur Verfügung gestellt, der diese Anforderungen erfüllt.The utility model provides a large chemical transport container that meets these requirements.
Der Transportbehälter für flüssige Chemikalien, insbesondere flüssige Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie des vorliegenden Gebrauchsmusters, ist dadurch gekennzeichnet, daß er aus einer inneren Schale aus hochreinem, keine Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen und einer äußeren Schale aus handelsüblichem, Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen besteht.The transport container for liquid chemicals, in particular liquid high-purity chemicals for the electronics industry, of the present utility model is characterized in that it consists of an inner shell made of high-purity polyethylene containing no additives and an outer shell made of commercially available polyethylene containing additives.
Der Raum zwischen innerer und äußerer Schale ist vorteilte hafterweise mit einem Gas gefüllt, das über ein Ventil in der äußeren Schale dosiert werden kann. Geeignete Gase sind beispielsweise Stickstoff, Edelgase wie beispielsweise Helium, Neon oder Argon, oder auch Luft.The space between the inner and outer shell is preferably filled with a gas that can be dosed via a valve in the outer shell. Suitable gases include nitrogen, noble gases such as helium, neon or argon, or even air.
.-,p, Zweckmäßigerweise wird die Innenschale so hergestellt, daß sie eine möglichst glatte, fugen- und übergangslose Innenfläche bildet. Der obere und untere Teil können beispielsweise aus tiefgezogenen Klöpperböden, die ihrerseits aus Platten hergestellt sind, gebildet sein, die.-,p, The inner shell is preferably manufactured in such a way that it forms an inner surface that is as smooth as possible, without joints or transitions. The upper and lower parts can, for example, be made of deep-drawn dished ends, which in turn are made of plates that
-j- mit einem zylindrischen Mittelstück fugenlos verbunden sind. Diese innere Schale ist mit der äußeren Schale vollständig und nahtlos umhüllt.-j- are seamlessly connected to a cylindrical center piece. This inner shell is completely and seamlessly covered by the outer shell.
Auf diese Weise wird erreicht, daß ein Austreten von ,„ Flüssigkeit an die Umwelt verhindert wird, falls die mechanisch instabile innere Schale beispielsweise aufgrund extremer Transportbelastungen zerstört wird.In this way, any leakage of "liquid" into the environment is prevented if the mechanically unstable inner shell is destroyed, for example due to extreme transport stresses.
Die Öffnung des erfindungsgemäßen Behälters ist mit einem Verschluß, z.B. einer Verschlußplatte, bevorzugt aber mit einem eingeschweißten Blockflansch, verschlossen. Vorteilhafterweise besteht der Flansch wie die äußere Schale aus Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen und ist an der chemikalienberührten Innenseite mit einer Platte ausThe opening of the container according to the invention is closed with a closure, e.g. a closure plate, but preferably with a welded-in block flange. Advantageously, the flange, like the outer shell, consists of polyethylene containing auxiliary agents and is covered on the inside that comes into contact with chemicals with a plate made of
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hochreinem, keine Hilfsmittel enthaltendem Polyethylen verschweißt. Der Blockflansch verbindet die innere und die äußere Schale durch Verschweißung.high-purity polyethylene that does not contain any additives. The block flange connects the inner and outer shells by welding.
Der Flansch besitzt mehrere Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen, Steig- oder Tauchrohre und dergleichen, die eine Befüllung und Entleerung des Behälters gestatten. Die Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen der flüssigenThe flange has several connections for the supply and discharge lines, riser or dip pipes and the like, which allow the container to be filled and emptied. The connections for the supply and discharge lines of the liquid
^q Chemikalie, die Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen der Inert- und/oder Druckgase und dgl. können als Anschlußstutzen ausgeführt werden, die ihrerseits mit geeigneten Verschlüssen, wie z.B. Schraubverschlüssen, Schnellkupplungen, Hähnen und/oder Ventilen verschließbar^q Chemical, the connections for the supply and discharge lines of the inert and/or compressed gases and the like can be designed as connection pieces, which in turn can be closed with suitable closures, such as screw caps, quick couplings, taps and/or valves
.< c sind. In dem eigentlichen Behälterverschluß können auch Anschlüsse für Sensoren und die Sensoren für die Überwachung des Befüllungs- oder Entleerungsvorgangs angeordnet sein..< c are. Connections for sensors and sensors for monitoring the filling or emptying process can also be arranged in the actual container closure.
2Q Die in dem Verschluß angeordneten Anschlüsse dienen sowohl der Befüllung des Behälters als auch zur Entnahme der Chemikalien aus dem Behälter. Die hierfür erforderlichen Zu- und Ableitungen für die Chemikalie sowie eventuelle Zu- und Ableitungen für die genannten Inert- oder Druckgase oder die für den Befüllungs- oder Entnahmevorgang erforderlichen Sensoren oder dergleichen werden sowohl bei der Abfüllung als auch bei der Entnahme der Chemikalie an die in dem Verschluß vorhandenen Anschlüsse angeschlossen. Die Anschlüsse, z.B. Anschlußstutzen kön-2Q The connections arranged in the closure serve both for filling the container and for removing the chemicals from the container. The supply and discharge lines for the chemical required for this purpose as well as any supply and discharge lines for the inert or compressed gases mentioned or the sensors or the like required for the filling or removal process are connected to the connections in the closure both when filling and when removing the chemical. The connections, e.g. connection nozzles, can
2Q nen in ihrer Ausgestaltung, z.B. in ihrem Durchmesser, untereinander alle gleich ausgestaltet sein. Von dieser gleichen Ausgestaltung können jedoch ein oder mehrere Anschlüsse oder Anschlußstutzen abweichen. Es können auch alle Anschlußstutzen unterschiedlich ausgestaltet sein.2Q can all be designed identically to one another in terms of their design, e.g. their diameter. However, one or more connections or connection pieces can deviate from this identical design. All connection pieces can also be designed differently.
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Die Entleerung des inneren Behälters kann durch Überdruck oder Pumpen erfolgen. Mehrere Anschlüsse sind mit mehreren bis auf den Boden der inneren Schale reichenden Steigrohren aus hochreinem, keine Hilfsmittel enthaltenden Polethylen verbunden. Zweckmäßigerweise erfolgt die Belüftung über ein Membranventil oder Nadelventil. Die Belüftung über das Ventil verhindert das unkontrollierte Austreten von Chemikalien über einen der Steigrohran-The inner container can be emptied by overpressure or pumps. Several connections are connected to several riser pipes made of high-purity polyethylene that does not contain any additives and reach to the bottom of the inner shell. Ventilation is preferably carried out via a diaphragm valve or needle valve. Ventilation via the valve prevents the uncontrolled escape of chemicals via one of the riser pipe connections.
IQ Schlüsse, wenn sich ein chemikalienspezifischer Behälterüberdruck aufgebaut hat. Des weiteren kann bei Unterdruck partikelfreies gefiltertes Gas zum Druckausgleich zugeführt werden.IQ conclusions when a chemical-specific container overpressure has built up. Furthermore, particle-free filtered gas can be added to equalize the pressure in the event of negative pressure.
. c In einer besonderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Behälters wird dieser in einen äußeren Behälter aus PoIyethylenrohr eingestellt und durch Streben fixiert. Das Rohr ist durch einen ebenen Unterboden verschlossen und vorzugsweise auf eine Kunststoffpalette montiert. Die . c In a particular embodiment of the container according to the invention, it is placed in an outer container made of polyethylene tube and fixed by struts. The tube is closed by a flat base and preferably mounted on a plastic pallet. The
2Q Oberseite ist mit einem konvexen Oberboden mit öffnungen für den Flansch durch Verschweißung verschlossen, wobei ein überhöhter Kragen die Funktion eines Schutzkragen für die auf dem Behälterflansch montierten Armaturen hat. Es ist zweckmäßig, am tiefsten Punkt des konvexen Oberbodens eine nach außen führende Dränage, z.B. ein Rohr, anzubringen. Der obere Rand des äußeren Behälters kann schließlich noch mit einer zusätzlichen Platte abgeschlossen sein.2Q The top is welded to a convex top with openings for the flange, with a raised collar serving as a protective collar for the fittings mounted on the tank flange. It is advisable to install a drainage system, e.g. a pipe, leading to the outside at the lowest point of the convex top. The upper edge of the outer tank can finally be closed with an additional plate.
3Q Der Raum zwischen dem äußeren und dem inneren Behälter kann leer oder aber ganz oder teilweise mit einem Material, beispielsweise einem wärmeisolierenden Material, ausgefüllt sein.3Q The space between the outer and inner container may be empty or may be completely or partially filled with a material, such as a heat-insulating material.
3c Als wäremisolierendes Material können z.B. Kork, lose Wolle, Mineralfaserstoffe, insbesondere aber Schaumkunst- 3 c Heat-insulating materials such as cork, loose wool, mineral fibres and especially foam plastics can be used.
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stoffe, verwendet werden. Schaumkunststoffe können offen- oder geschlossenzellig sein und sind von thermoplastischen, elastomeren oder duromeren Polymeren bekannt. Bei-Foamed plastics can be open-cell or closed-cell and are known from thermoplastic, elastomeric or thermosetting polymers.
c spielsweise kann der Schaumkunststoff aus Polystyrol, Polyvinylchlorid, Polyethylen, Harnstoff-Formaldehyd-Harz, Epoxidharz, Polyimid, insbesondere aber aus Polyurethan, beispielsweise auf Basis von Methyl-bis-phenylisocyanat, bestehen. Vorzugsweise wird der Zwischenraumc for example, the foam plastic can consist of polystyrene, polyvinyl chloride, polyethylene, urea-formaldehyde resin, epoxy resin, polyimide, but especially of polyurethane, for example based on methyl-bis-phenyl isocyanate. The space between the
..Q zwischen äußerem und innerem Behälter mit einem sogenannten Polyurethan-Integralschaum ausgeschäumt...Q between the outer and inner container is filled with a so-called polyurethane integral foam.
Der erfindungsgemäße Chemikalientransportbehälter ermöglicht, auch bei Inhalten von 500 1 und mehr einen sicheren Transport hochreiner flüssiger, gegebenenfalls auch aggressiver Chemikalien ohne Kontaminationsgefahr und Bruchrisiko. Auch werden größere Temperaturschwankungen beim Transport und bei der Lagerung vermieden.The chemical transport container according to the invention enables the safe transport of highly pure liquid, possibly aggressive chemicals, without the risk of contamination or breakage, even with contents of 500 l and more. Large temperature fluctuations during transport and storage are also avoided.
2Q Die Neuerung wird anhand der beiliegenden Figur weiter erläutert, in der eine bevorzugte Ausführungsform des neuerungsgemäßen Transportbehälter im Vertikalschnitt schematisch dargestellt ist.2Q The innovation is further explained using the attached figure, in which a preferred embodiment of the transport container according to the innovation is shown schematically in vertical section.
„,. Tn der Figur ist die innere Schale mit 1 und die äußere Schale mit 2 bezeichnet. In den Zwischenraum 3 zwischen innerer und äußerer Schale kann über das Ventil 4 ein Gas eindosiert werden. Der Blockflansch 5 verbindet innere und äußere Schale durch Verschweißung und besitzt mehrere, in der Figur nicht gezeigte Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen, Steig- oder Tauchrohre und dergleichen. Der innere Behälter ist in einem äußeren Behälter aus Polyethylenrohr 6 eingestellt und durch Streben 7 fixiert. Das Rohr ist durch einen ebenen Unterboden 8 verschlossen und auf eine Palette 9 montiert. Die Oberseite ist mit einem konvexen Oberboden 10 mit einer Öffnung für",. In the figure, the inner shell is designated 1 and the outer shell 2. A gas can be metered into the space 3 between the inner and outer shells via the valve 4. The block flange 5 connects the inner and outer shells by welding and has several connections (not shown in the figure) for the supply and discharge lines, riser or immersion pipes and the like. The inner container is set in an outer container made of polyethylene pipe 6 and fixed by struts 7. The pipe is closed by a flat bottom 8 and mounted on a pallet 9. The top is provided with a convex top 10 with an opening for
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den Flansch 5 verschlossen. Eine Dränage 11 führt vom tiefsten Punkt des konvexen Oberbodens 10 nach außen. Der äußere Behälter 6 ist nach oben durch eine zusätzliche Platte 12 abgeschlossen.the flange 5. A drainage 11 leads from the lowest point of the convex topsoil 10 to the outside. The outer container 6 is closed at the top by an additional plate 12.
Der Raum zwischen dem äußeren und dem inneren Behälter ist im unteren Teil mit einem Schaum 14 ausgeschäumt.The space between the outer and the inner container is filled with foam 14 in the lower part.
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Also Published As
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