DE900278C

DE900278C - Device for testing and measuring surfaces

Info

Publication number: DE900278C
Application number: DEP3758D
Authority: DE
Inventors: Dr-Ing Johannes Perthen
Original assignee: JOHANNES PERTHEN DR ING
Current assignee: JOHANNES PERTHEN DR ING
Priority date: 1938-02-26
Filing date: 1938-02-26
Publication date: 1953-12-21

Description

Vorrichtung zur Prüfung und Messung von Oberflächen Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung zum Prüfen und Messen von Oberflächen unterVerwendung eines Kondensators mit zusammengesetztem Dielektrikum. Dieser besteht aus einem Di.elektrikum bestimmter Dicke und D.ielektrizitätskonstante, dessen eine Seite einen leitenden Beleg besitzt, während die andere, belegfreie Seite auf die rauhe Oberfläche eines Werkstücks, das elektrisch leitend ist oder leitend gemacht worden ist, gelegt wird. Dieses Dielektrikum wird im folgenden als Meßelektrode bezeichnet. Ihr wesentliches Merkmal ist, daß der Quotient aus der Dicke und der Dielektrizitätskonstante des dielektrikums ungefähr gleich sein muß dem Quotienten aus der mittleren Tiefe der Oberflächenrauhigkeiten und der Dielektrizitätskonstante der zwischen diesen Rauhigkeiten eingeschlossenen Luft. Die Luft kann aber auch durch andere Gase oder Flüssigkeiten ersetzt werden.Device for testing and measuring surfaces Subject of Invention is an apparatus for testing and measuring surfaces using of a composite dielectric capacitor. This consists of one Di.electric of certain thickness and D. dielectric constant, one side of which has a conductive document, while the other, paper-free side on the rough Surface of a workpiece that is electrically conductive or has been made conductive is, is laid. This dielectric is referred to below as the measuring electrode. Its essential feature is that the quotient of the thickness and the dielectric constant of the dielectric must be approximately equal to the quotient of the mean depth the surface roughness and the dielectric constant between them Roughness trapped air. The air can, however, also by other gases or Liquids are replaced.

Die Oberfläche eines Werkstücks weicht nun in mehrfacher Art und Weise von. der idealen geometrischen form ab. Hiervon sind die wichtigsten Abweichungen, die Formungenau'igkeit, die Welligkeit und die Rauhigkeit. Die Rauhigkeit entsteht durch Eingriffe in das Werstoffgefüge, z. B. durch Bearbeitung, Korrosion usw., während die Welligkeit auf Schwingungen der Bearbeitungsmaschine, Schlag des Werkzeuges usw. zurückzuführen ist. die Abweichung einer ebenen Fläche von der Ebenheit, eines Rundkörpers von der Rundheit stellt schließlich die Formungenauigkeit dar. The surface of a workpiece now gives way in several ways and Way of. the ideal geometric shape. The most important deviations from this are the inaccuracy of shape, the waviness and the roughness. The roughness arises by interfering with the material structure, e.g. B. by machining, corrosion, etc., while the ripple is due to vibrations of the processing machine, impact of the tool etc. is due. the deviation of a flat surface from flatness, one Round bodies with roundness ultimately represent the form inaccuracy.

Alle diese Abweichungen von der idealen Gestalt treten auf einer vorgegebenen Oberfläche einander überlagert auf. Da auf Grund des Meßergebnisses die Oberflächengestalt verbessert werden soll, ist es notwendig, die Größe der obengenannten Abweichungen einzeln zu messen anstatt einen Gesamtwert anzugeben.All these deviations from the ideal shape step superimposed on each other on a given surface. Because on the basis of the measurement result To improve the surface shape, it is necessary to increase the size of the above Measure deviations individually instead of giving an overall value.

Erfindungsgemäß wird dies bei der Vorrichtung durch besondere Ausgestaltung der meßelektroden in Verbindung mit entsprechenden Maßnahmen zum Aufsetzen und Anpressen. der Elektroden auf die Oberfläche erreicht. According to the invention, this is achieved in the device by means of a special design the measuring electrodes in connection with appropriate measures for placing and pressing. of the electrodes reaches the surface.

Die Tiefe der Rauhigkeit, Welligkeit und Formungenauigkeit liegt im allgemeinen durch aus in der gleichen Größenordnung, während sie in der horizontalen Ersteckung, (d.h. im Abstand ihrer Erhebungen sich ganz wesentlich unterscheiden. Es ist daher möglich, durch die Größe und Form der Meßelektrode eine Unterscheidung der verschiedenen. Oberflächenfehler herbei zuführen. Je kleiner die Meßelektrodenfläche ist, desto mehr wird nur die Rauhigkeit gemessen, desto größer ist auch der Einfluß eines bestimmten Oberflächenzustandes, z. B. eines Risses, auf das Meßergebnis. Am besten erreicht man kleine Meßelel<trodenflächen mit kugelig ausgebildeten Meßsonden. Da kleine Elektrodenflächen die elektrische Meßeinrichtung empfindileher verlangen, werden zweckmäßig eine größere Anzahl von Kugelektroden parallel geschaltet. Andererseits können die Oberflächenfehler in einer Richtung sehr groß, in der dazusenkrechten Richtung sehr klein sein. Für solche Zwecke empfehlen sich walzenförmige oder schmalkantige Elektroden. Diese ergeben verschiedene Meßwerte, wenn sie in verschiedener Richtung auf die Oberfläche aufgesetzt werden. Je größer die Mefifläche wird, desto mehr wird der Einfluß der Welligkeit und dann der formungenauigkeit ermittelt. The depth of the roughness, waviness and shape inaccuracy lies generally through out in the same order of magnitude while in the horizontal Extension, (i.e. the distance between their elevations differ quite significantly. It is therefore possible to make a distinction through the size and shape of the measuring electrode of the various. Bring about surface defects. The smaller the measuring electrode area is, the more only the roughness is measured, the greater the influence a certain surface condition, e.g. B. a crack, on the measurement result. It is best to reach small measuring electrode surfaces with spherical shapes Measuring probes. The electrical measuring device is more sensitive because of the small electrode areas request, a larger number of spherical electrodes are expediently connected in parallel. On the other hand, the surface defects can be very large in one direction, in the perpendicular direction Direction to be very small. For such purposes, cylindrical or narrow-edged ones are recommended Electrodes. These give different readings when they are in different directions be placed on the surface. The larger the Mefi area, the more the influence of the waviness and then the shape inaccuracy is determined.

Die Messung der Formungenauigkeit erfolgt mit starren Meßelektroden, die die vorgeschriebene ideale geometrische Form haben. Sie dürfen sich daher nicht verformen und müssen äußerst biegungsreif sein. Sofern sie das nicht von selbst sind, müssen sie durch starre Tragkonstruktionen gestützt werden. Wellige Oberflächen werden dagegen mit elastischen Elektroden geprüft, die sich jeweils bestimmt auf die Bergspitze der Welle auflegen, von der Formungenauigkeit aber nicht beeinflußt ~werden. Wird die Meßelektrode noch elastischer gemacht, so daß sie nicht nur auf den Erhebungen der Welligkeit aufliegt, sondern. sich der Welligkeit anschmiegt, dann kann mit solchen hochelastischen oder schon als plastisch zu bezeichnenden Meßelektroden die Rauhigkeit gemessen werden, wenn nicht die obenerwähnten Kleinflächen-oder Kugelelektroden benutzt werden. Bei allen elastischen und hochelastischen plastischen Meßelektroden kommt es nun darauf an, daß sie gleichmäßig auf die gesamte Oberfläche gedrückt werden. The measurement of the dimensional inaccuracy is carried out with rigid measuring electrodes, which have the prescribed ideal geometric shape. You must therefore not deform and must be extremely flexible. Unless they do that by themselves they must be supported by rigid supporting structures. Wavy surfaces are tested against it with elastic electrodes, which each determined on place the mountain top of the wave, but not influenced by the shape inaccuracy ~ will be. If the measuring electrode is made even more elastic, so that it is not only on rests on the bumps of the waviness, but rather. hugs the ripple, then it can be called highly elastic with such or already as plastic Measuring electrodes, the roughness can be measured, if not the above-mentioned small area or Ball electrodes can be used. With all elastic and highly elastic plastic Measuring electrodes, it is now important that they are evenly distributed over the entire surface be pressed.

Die meisten Oiberflähen gehören nun zu Rundkörpern, Bohrungen, Kugeln usw., so daß die Meßelektrode sich sowohl dieser Prüflingsform als auch der Welligkeit anschmiegen muß. Es kommt also hierbei nicht nur auf die Elastizität und Verformbarkeit von Dielektrikum und leitenden Beleg an, sondern auch auf die Mittel, den gleichmäßigen andruck auf jede Stelle der Oberfläche zu erreichen.Most of the surfaces now belong to round bodies, holes, spheres etc., so that the measuring electrode is both this test specimen shape and the waviness must snuggle up. So it's not just about elasticity and deformability of dielectric and conductive evidence, but also of the means, the uniform pressure on every point of the surface.

Hierzu dienen federnde Zug- oder Druckbänder sowie Gummi-, Luft- oder Flüssigkeitspolster.Resilient tension or compression straps as well as rubber, air or rubber bands are used for this purpose Fluid cushion.

Außerdem muL die Meßelektrode oder die Werkstückauflage kugelig gelagert sein, damit nicht durch Verlçanten ein ungleichmäßiger Andruck entsteht.In addition, the measuring electrode or the workpiece support must be spherically supported so that there is no uneven pressure caused by lapping.

Außer der Erzeugung eines gleichmäßigen Andruckes muß aber auch bei jeder Messung der stets gleiche Andruck auf die Oberfläche gewähr. leistet sein. Ist der Andruck zu niedrig, dann liegt die Meßelektrode nicht richtig auf, ist der Andruck zu hoch, dann werden die Spitzen der Oberfläche verformt, wodurch sich unterschiedliche Meßwerte ergeben würden. Durch Steigerung des Andruckes ist verhältnismäßig leicht zu erkennen, wann sich die Meßelektrode angelegt hat und die Verformung der Spitzen beginnt. Dieser Druck muß aber dann bei jeder Messung eingehalten werden, was durch Belastung-mit Gewichten oder Federn sowie durch Luft- oder Flüssigkeitsdruck erfolgen kann. Hierbei können auch Hebelübersetzungen dazwischengeschaltet werden, um beliebig hohe Drücke zu erzeugen. Die Meßvorrichtung kann entweder unmittelbar auf das Werkstück aufgesetzt werden oder das Werkstück wird, besonders wenn seine Abmessungen nicht zu groß sind, in eine in Säulen-oder Brückenbauweise hergestellte Meßvorrichtung gebracht. In addition to the generation of a uniform pressure, but must also be every measurement always guarantees the same pressure on the surface. be performing. If the pressure is too low, then the measuring electrode is not correctly positioned If the pressure is too high, the tips of the surface will be deformed, resulting in different Readings would result. Increasing the pressure is relatively easy to recognize when the measuring electrode has applied and the deformation of the tips begins. This pressure must then be maintained with every measurement, which is done by Load-with weights or springs as well as air or liquid pressure can. Lever ratios can also be switched in between to achieve any generate high pressures. The measuring device can either be applied directly to the workpiece be placed or the workpiece will, especially if its dimensions are not are too large in a measuring device made in a column or bridge construction brought.

Nichtmetallische Oberflächen müssen leitend gemacht werden, wobei Kathodenzerstäubung für sehr feine Rauhigkeiten sich am besten bewährt hat. Ist der Werkstoff unempfindlich gegen Feuchtigkeit, so kann; die Oberfläche auch auf galvanischem Wege mit einem metallischen Überzug versehen werden. Non-metallic surfaces must be made conductive, whereby Cathode sputtering has proven to be the best for very fine roughness. is the material is insensitive to moisture, so can; the surface too be galvanically provided with a metallic coating.

Bei größeren Rauhigkeiten, ferner bei Welligkeiten und formungenauigkeiten wird die Oberfläche durch Aufprägen oder Aufkleben dünner Metallfolie, durch Bespritzen mit Metall oder einem leitenden Überzug, Bestreichen mit leitendem Lack, Metallpaste usw., Belegen mit Metallgewebe, -teppichen, matten oder -platten leitend gemacht, wobei die letzteren Verfahren beispielsweise für die Oberflächenprüfung von Stralendecken angewendet werden.For larger roughness, also for waviness and form inaccuracies the surface is made by embossing or gluing a thin metal foil, by spraying with metal or a conductive coating, painting with conductive varnish, metal paste etc., covering with metal mesh, carpets, mats or plates made conductive, the latter method, for example, for the surface inspection of strale ceilings be applied.

Die verschiedenen Oberflächenmaßzahlen für Formungenauigkeit, Welligkeit und Rauhigkeit werden zweckmäßig unmittelbar auf einem Zeigerinstrument angezeigt, das direkt in t/ooo mm geeicht ist. Es kann aber auch eine Kapazitätsvergleichsmessung mit Beobachtung eines Nullinstrumentes vorgenommen werden. The different surface dimensions for inaccuracy, waviness and roughness are expediently displayed directly on a pointer instrument, which is calibrated directly in t / ooo mm. However, a capacitance comparison measurement can also be used can be carried out with observation of a zero instrument.

Abb. I stellt eine Meßelektrode mit kugelförmiger Meßfläche I, dar, während in Abb. 2 mehrere derartige Meßelektroden 1 parallel geschaltet sind. Sie können sich in der Führung 2 bewegen und stellen sich so auf das Oberflächenprofil 3 ein. In Abb. 3 erfolgt die Prüfung einer formungenauen Oberfläche 8 durch eine starre Melelektrode, die eine runde, quadratische oder rechteckige auflagefläche haben kann. Sie besteht aus dem Dielektrikum 7 mit dem metallischen Beleg 6 und ist gegen De- formation durch den starren Stützkörper 5 geschützt. Bei 4 erfolgt der Angriff der Meßkraft. Fig. I shows a measuring electrode with a spherical measuring surface I, while in Fig. 2 several such measuring electrodes 1 are connected in parallel. she can move in the guide 2 and so stand on the surface profile 3 a. In Fig. 3, a surface 8 with an inaccurate shape is tested by a rigid melter electrode with a round, square or rectangular contact surface may have. It consists of the dielectric 7 with the metallic document 6 and is against de- formation protected by the rigid support body 5. At 4 the measuring force is applied.

Eine wellige Oberfläche 14 zeigt die Abb. 4. Hier sind der metallische Beleg 12 und das Dielektrikum I3 in einem solchen Umfang elastisch, daß sie sich auf die Erhebungen der Welligkeit auflegen, wenn die bei g auf die Platte 10 wirkende Meßkraft das elastische Polster ii verformt. Noch elastischer ist in Abb. 5 der metallische Beleg I7 mit dem Diel-ektrikum I6, der sich den Wellen auf der Oberfläche I5 anschmiegt. Hierbei wird ebenfalls die bei 20 angreifende Meßkraft über ein Kopfstück 19 und ein elastisches Polster I8 übertragen. Stellt man sich die Welligkeit der Oberfläche 15 auf einem Rundkörper vor, dann muß sich der Beleg I7 und das Dielektrikum I6 nicht nur der Welligkeit in Achsrichtung, sondern auch der Rundung in Umfangsrichtung anlegen. Da hierfür die Elastizität der Meßelektrode nicht ausreichen kann, wird diese dann plastisch verformt. Hierzu kann der Beleg 17 beispielsweise aus einer Metallfolie mit einem darauf befindlichen ebenfalls plastisch verformbaren Dielektrikum 16 bestehen oder das Dielektrikum I6 ist eine dielektrische Folie, die nicht fest mit dem Beleg I7 verbunden ist. Diese plastischen Belege I7 und Dielektriken. 16 müssen natürlich nach jeder Messung durch neue, noch nicht verformte Folien ersetzt werden. Die plastische Meßelektrode ist daher für Rauhigkeitsmessungen nicht in allen Fällen am zweckmäßigsten, so daß die Verwendung kugeliger,sd ral. zen oder drahtförmiger Meßelektropen 21 vorzuziehen ist.A wavy surface 14 is shown in Fig. 4. Here are the metallic ones Document 12 and the dielectric I3 elastic to such an extent that they become place on the elevations of the waviness if the one acting on the plate 10 at g Measuring force deforms the elastic pad ii. The in Fig. 5 is even more elastic metallic slip I7 with dielectric I6, which is aligned with the waves on the surface I5 snuggles. Here, too, the measuring force acting at 20 is transmitted via a head piece 19 and an elastic pad I8 transferred. If you imagine the ripple of the Surface 15 on a round body, then the receipt I7 and the dielectric must be I6 not only the waviness in the axial direction, but also the rounding in the circumferential direction invest. Since the elasticity of the measuring electrode cannot be sufficient for this purpose, these are then plastically deformed. For this purpose, the document 17 can, for example, from a Metal foil with a likewise plastically deformable dielectric located on it 16 consist or the dielectric I6 is a dielectric film that is not rigid is associated with receipt I7. These plastic documents I7 and dielectrics. 16 must of course be replaced with new, not yet deformed foils after each measurement will. The plastic measuring electrode is therefore not suitable for roughness measurements most appropriate in all cases, so that the use of spherical, sd ral. zen or wire-shaped measuring electrodes 21 is preferable.

Abb. 6 ziegt die Prüfung runder Körper. Der Prüfling 22 befindet sich auf einem Prisma 23, das auf der Grundplatte 24 kugelig gelagert ist. Die elastische Meßelektrode 25 wird durch das Spannband 26 und die bei 27 angreifende Meßkraft auf die Oberfläche des Pru..flings 22 gedrückt. Es kann aber auch, wie in Abb. 7, der Prüfling 29 von dem band- oder drahtförmigen Spannelement 2(8 ganz umschlungen werden, so daß durch den Ausgleich der Meßkraft 62 eine besondere Auflagerung hin. fällig wird. Zweckmäßig wird dabei das Spannelement 28 selbst als Meßelektrode ausgebildet. Fig. 6 shows the round body test. The test item 22 is located on a prism 23 which is mounted spherically on the base plate 24. The elastic Measuring electrode 25 is held by the tensioning strap 26 and the measuring force acting at 27 pressed onto the surface of the test specimen 22. But it can also, as in Fig. 7, the test specimen 29 is completely embraced by the band-shaped or wire-shaped tensioning element 2 (8 so that by balancing the measuring force 62 a special support. becomes due. The tensioning element 28 itself is expediently designed as a measuring electrode.

Nach Ablb. 8 kann dieses Prinzip auch zum Messen von Bohrungen verwendet werden. In der Bohrung 30 befindet sich die elastische Meßelektrode 3I, die durch ein federndes Spreizband 32 unter der Meßkraft 33 an die Wandung der Bohrung angedrückt wird.According to fig. 8 this principle can also be used to measure bores will. In the bore 30 is the elastic measuring electrode 3I, which is through a resilient spreading band 32 is pressed against the wall of the bore under the measuring force 33 will.

Die Spann- und Spreizbandandruckeinrichtungen erzeugen, besonders bei klein-enDurchme;ss-ern, nicht immer einen. gleichmäßigen An druck oder lassen sich in kleinen Bohrungen nicht unterbringen. Hier zeigt Abb. 9 eine zweckmäßige Lösung. In der Bohrung 34 befindet sich ein sich elastisch ausdehnende Element, z. B. eine Gummiblase 35, die auf ihrer Außenseite die Meßelektrode 37 trägt. The tensioning and expanding band pressure devices produce, in particular with small-diameters; ss-erns, not always one. even pressure or leave do not accommodate in small bores. Here Fig. 9 shows a useful one Solution. In the bore 34 there is an elastically expanding element, z. B. a rubber bladder 35 which carries the measuring electrode 37 on its outside.

Wird die Blase mit Luft oder einer Flüssigkeit 36 unter Druck gesetzt, so legt sie sich allseitig an die Bohrung an uind setzt die Meßelektrode 37 unter einen gleichmäßig wirkenden Druck. Dieses Verfahren läßt sich auch, wie Abb. 10 zeigt, für Außendurchmesser verwenden. Auf dem Prüfling 38 liegt die Meßelektrode 39 und über dieser ein sich elastisch ausdehnendes Element 40, z. B. eine Blase oder ein Gummi schlauch usw. Darüber ist ein abstützendes Element 41 angeordnet. Wird das sich ausdehnende Element 40 durch den Anschluß 42 mit Druckluft oder Druckflüssigkeit gefüllt, dann wird die elastische Meßelektrode 39 gleichmäßig auf die Oberfläche des Prüflings 38 gedrückt.If the bladder is pressurized with air or a liquid 36, so it rests against the bore on all sides and places the measuring electrode 37 underneath even pressure. This procedure can also be used, as shown in Fig. 10 shows, use for outside diameter. The measuring electrode lies on the test item 38 39 and above this an elastically expanding element 40, for. B. a bubble or a rubber hose, etc. Above a supporting element 41 is arranged. Is the expanding element 40 through the port 42 with compressed air or hydraulic fluid filled, then the elastic measuring electrode 39 is evenly applied to the surface of the test item 38 pressed.

In Abb. II ist die offene oder sondenförmige Bauweise der Vorrichtung dargestellt, mit deren Hilfe beliebig große Prüflinge 43 gemessen werden können. Mit dem Gehäuse 46 stützt sich die Vorrichtung durch Dreipunktauflage auf der Oberfläche des Prüflings 43 ab. Die Meß, elektrode 44 wird durch die Druckplatte 45 über eine kugelige Abstützung durch den Gewichtsträger 47 und die Gewichte 48, an deren stelle auch federn verwendet sein können, belastet. Bei der Brückenbauweise des Gerätes, Abb. 12, befindet sich das zu prüfende Werkstück 49 auf dem in oder Höhe verstellbaren Tisch 54, der in dem Gestell 55 gelagert ist. Die Meßelektrode 50 wird über den Stützkörper 51 und den Übersetzungshebel 52 durch das Gewicht 53 belastet. Zum Auswechseln des Prüflings 49 wird die Meßelektrode mit der Brücke 52 hochgeklappt. In Fig. II is the open or probe-shaped construction of the device shown, with the help of which any size test objects 43 can be measured. With the housing 46, the device is supported by three-point support on the surface of the test item 43 from. The measuring electrode 44 is through the pressure plate 45 via a spherical support by the weight carrier 47 and the weights 48, in their place springs can also be used, loaded. With the bridge construction of the device, Fig. 12, the workpiece 49 to be tested is on the adjustable height or height Table 54, which is mounted in the frame 55. The measuring electrode 50 is on the Support body 51 and the transmission lever 52 are loaded by the weight 53. To change of the test object 49, the measuring electrode with the bridge 52 is folded up.

Hierbei kann das Gewicht 53 durch eine besondere Hebelkonstruktion ausgekuppelt werden, damit es nicht mit hochgeklappt werden muß.Here, the weight 53 can by means of a special lever construction be disengaged so that it does not have to be folded up.

Absb. 13 stellt schließlich die Säulenbauform der Vorrichtung dar. Bei dieser ist der Prüfling 58 mittels eines Prismas kugelig auf dem Meßtisch 59 gelagert, der durch die Spindel 60 verstellt werden kann. Der Tisch ist auf dem Gestell 61 befestigt. Abb. 13 finally shows the column design of the device. In this case, the test piece 58 is spherical on the measuring table 59 by means of a prism stored, which can be adjusted by the spindle 60. The table is on that Frame 61 attached.

Die Meßelektrode ist zugleich als Spannband 57 ausgeführt, jedoch könnte auch jede andere der oben besprochenen Elektrodenhalterungen benutzt werden. Die Elektrodenhalterung ist an dem Ausleger 56 so befestigt, daß beim Andrücken des Prüflings 5& mittels der Spindel 60 der richtige Meßdruck erzeugt wird.The measuring electrode is also designed as a tensioning strap 57, however Any of the other electrode holders discussed above could also be used. The electrode holder is attached to the arm 56 so that when pressed of the test specimen 5 & the correct measuring pressure is generated by means of the spindle 60.

Claims

PATENT CLAIMS: I. Device for testing and measuring surface shape of bodies using electrical capacitors with composite dielectric, characterized in that it has the surface shape in its three Determination variables (shape inaccuracy, waviness and roughness) from three measurements determined, of which one with rigid electrodes (5, 6, 7) adapted shape and Size z. wide with the same, but elastic electrodes (12, I3) and the third measurement by means of corresponding highly elastic (I6, 17), plastic or rigid, spherical (I), pointed, cylindrical (2I) or angular electrodes takes place in a preferably multiple, parallel arrangement.

2. Apparatus according to claim I, characterized in that the dielectric releasably or read is connected to the conductive document of the electrode in question.

3. Apparatus according to claim I, characterized by a bending stiffness rigid measuring electrode, preferably by attaching a support body (5) on the Back of electrode.

4. Apparatus according to claim I, characterized by an elastic Pad (11, I8) between a pressure stamp (io, I9) and the elastic measuring electrode (12, I3, I6, 17).

5. Apparatus according to claim I, characterized by a measuring electrode 925) pressing or designed as a measuring electrode, the surface partially or a completely wrapped tensioning element (28), preferably in the form of a band.

6. Apparatus according to claim I, characterized by a measuring electrode (3I) pressing spreading element (32).

7. The device according to claim I, characterized by a measuring electrode (37, 39) pressing, under air or liquid pressure, expanding Component (35, 40).

8. Apparatus according to claim 1, 3 to 6, characterized by load weights (48, 53) acting on the measuring electrode, possibly with leverage (52). G.

Modification of the device according to Claim 8, characterized by the use of springs instead of loading weights.

10. Modification of the device according to claim 8, characterized by the Use of gas or liquid pressure.

11. The device according to claim 1, 3 to I0, characterized in that that the measuring electrode (44) is placed in the shape of a probe on the surface or on this is pressed.

I2. Device according to Claim 1, 3 to Io, characterized in that that the measuring electrode (50) open and close on one with respect to the test item 949). the component (55, 52, 51) is attached.

13. The device according to claim I, 3 to I0, characterized in that that the measuring electrode (57) is attached to an adjustable arm (56) on a column is.

14, device according to claim I, characterized by one of the different Measuring instrument showing surface dimensions directly in l / ooo mm.

15. Apparatus according to claim I to I4, characterized in that electrically non-conductive surfaces of test objects to be measured, especially made of wood, Plastic and from beach ceilings, by embossing or gluing on metal foil, Brushing or spraying conductive coatings, application of precipitates, Cover with mats, fabrics, grates, plates made of metal or other suitable Substances are made electrically conductive.

I0. Device according to claim I4, characterized in that the Surface measure in a manner known per se automatically a production process reports or influences.