DE8904366U1

DE8904366U1 - Chemikalientransportbehälter

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Publication number: DE8904366U1
Application number: DE8904366U
Authority: DE
Original assignee: Riedel de Haen AG
Current assignee: Honeywell Riedel de Haen AG
Priority date: 1989-04-07
Filing date: 1989-04-07
Publication date: 1989-05-24
Also published as: IT9020972U1; ES1013737Y; IT219444Z2; NL9000756A; IT9020972V0; FR2645514B3; FR2645514A3; ES1013737U

Description

· .. ..* Dr.Eu/StO984

Ch CB j K. a 1 jentransportbehälter

Der Gegenstand des Gebrauchsmusters betrifft einen Chemikalientransportbehälter für flüssige Chemikalien, insbesondere flüssige Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie .

In den letzten Jahren sind dxe Anforderungen an die Reinheit von flüssigen Spezialchesifcalien, &egr;. B. von ProzeS-eheaijcalien tür die Elektronikindustrie, si.ark gestiegen. D^feei wird, z.B. bedingt durch äkm immer kleiner weröenden Abmessungen der von der Elektronikindustrie unter Verwendung von Pro.«Bchemikaliaa hergestellten Mikrobe chips, zuneiiÄsnd die Forderung nach Partikelfreiheit der flüssigen Hochreinchemikalien erhoben.

Die Herstellung flüssiger, partikelfreier Hochreinchemikalien wird "on den Feinchemikalienherstellern beherrscht.

Bei der Lieferung der flüssigen Hochreinchemikalien an die Elektronikindustrie kommen aus wirtschaftlichen Gründen nur Großgebinde in Betracht. Diese sollten so be-

2g schaffen sein, daß sie

eine Kontamination des Behälterinhaltes ausschließen, auch bei rauher Behandlung durch Gabelstapler und dergleichen bruchsicher sind
und den Behälterinhalt vor starken Temperaturschwankungen bei Transport und Lagerung schützen.

Außerdem sollen die Behälter einfach und billig herstellbar sein. Sie sollen von Gabelstaplern und anderen üblichen Transportvorrichtungen ohne Transportrisiko bewegt werden können, d.h. auch bei einem Fall den Behälter

3g sicher vor Bruch schützen. Außerdem sollen sie die Mög-

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p lichkeit bieten, bei der Entleerung durch Überdruck beim

,· Abnehner mit handelsüblichen oder kundeneigenen Versor-

gungs- bzw. Entnahmesystamen kompatibel zu sein.

Ein Großchemikalienbehälter, der alle vorgenannten Anfor-

•^:: derungen erfüllt, ist nicht bekannt. Durch das vorliegen-

&Ggr; de Gebrauchsmuster wird ein Croischemikalientransportbe-

: hälter zur Verfügung gestellt, der diese Anforderungen

erfüll't.

Der Transportbehälter für flüssige Chemikalien, insbesondere flüssige Horhreinchemikalien für die Elektronikindustrie des vorliegenden Gebrauchsmusters, ist dadurch

•J5 gekennzeichnet, daß in einem Süßeren Transportbehälter ein innerer Behälter angeordnet ist und der Zwischenraum zwischen äußerem Transportbehälter und innere» Behälter mit einem wärmeisolierenden Material ausgefüllt ist, zwischen oberem Rand des äußeren Transportbehälters und dem oberen Teil des inneren Behälters eine Abdeckung

angeordnet ist und der obere Rand des äußeren Transportbehälters mit einem Schutzkragen versehen ist und daß die Öffnung des inneren Behälters mit einem Verschluß mit mehreren Anschlüssen verschlossen ist.

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Der äußere Transportbehälter besitzt vorzugsweise eine

pa.lettengercchte Form und einen in der Regel quadratischen Querschnitt. Der äußere Transportbehälter kann z.B. aus einer handelsüblichen Transportbox aus Kunststoff, insbesondere aus Polyethylen, bestehen und auch aus einzelren Konstruktions-Elementen zusammengesetzt sein. In diesen äußeren Transportbehälter ist ein innerer Behälter eingesetzt. Der innere Behälter ist druckfest ausgeführt und sein Querschnitt ist in der Regel rotationssymmetrisch. Vorzugsweise ist der innere behälter mehrschalig, vorzugsweise zweischalig, aufgebaut, wobei die inner«?

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Schale vorzugsweise aus einem gegen die zu transportierende flüssige Chemikalie inerten Kunststoff besteht. Geeignete Kunststoffe sind z.B. Fluorkunststoffe.

Als Fluorkunststoff für die Ausbildung der inneren Schale

kommen z.B. fluorhaltige Polymerisate, wie z.B. Polytetrafluorethylen (PTFE), Polytrifluorchlorethylen (PCTFE), Polyvinylfluorid (PVF), Polyvinylidenfluorid (PVDF) und

^O Mischpolymerisate, wie z.B. TetrafluorethylenP^rfluorpropylen-Mischpolymerisate (FEP), Tetrafluorethylen-Perfluoralkylvinylether-Mischpolymerieate (TFA/PFA), Trifluorchlorethylen-Ethylen-Mischpolymerisate (ETFE/CTFE) in Betracht. Besonders geeignet sind z.B. Polytetrafluorethylen (PTFE), Polyvinylendifluorid (PVDF) und Tetrafluorethylen-Per fluoralkyl vinyl -Mischpolymerisate (TFA/PFA). Zweckmäßigerweise werden auch der Behälterverschluß und evtl. Tauch- oder Steigrohre, die in das Behälterinnere ragen, aus Fluorkunststoff, insbesondere

Fluorpolymerkunststoff, hergestellt.

Zweckmäßigerweise wird die Innenschale so hergestellt, daß sie eine möglichst glatte, fugen- und übergangslose Innenfläche bildet. Der obere und untere Teil des inneren Behälters können bei ,pielsweise aus tiefgezogenen Klöpperböden gebildet sein, die mit einem zylindrischen Mittelstück fugenlos verbunden sind.

Die Innenschale aus Kunststoff, insbesondere aus Fluorpolymerkunststoff, wird auf ihrer Außenseite für eine druckfeste Ausbildung in geeigneter Weise armiert. Dies kann z.B. durch Aufbringen von kohlefaser-, graphitfaser- und/oder glasfaserverstärkten Kunststoffen erfolgen. Dadurch wird ein mehrschaliger, vorzugsweise zweischaliger, Aufbau des inneren Behälters erreicht.

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Die Herstellung und Verarbeitung von kohlefaser-,

graphitfaser- und glasfaserverstärkten Kunststoffen ist allgemein bekannt. Die genannten Kunststoffe sind Thermoplaste, wie z.B. Polyamide, Polycarbonate, Polybutylenterephthalate, Polypropylen oder insbesondere Duroplaste, die zur Verbesserung der Eigenschaften Fasern aus Kohle, Graphit und/oder Glas enthalten. Als Matrix für die Herstellung faserverstärkter Duroinerer werden vor allem un-

^q gesättigte Polyesterharze (UP-Harze) verwendet. Es sind Lösungen lineare* Polyester, die im Anlieferungszustand noch thermoplastisch sind und bei ihrer Verarbeitung zu dem faserverstärkten Kunststoff untar der Einwirkung von Härtern durch dreidimensionale Vernetzung einen Duroplast

^5 bilden. Neben UP-Harzen sind vor allem auch noch Epoxid-Harze zur Herstellung von faserverstärkten Kunststoffen geeignet.

Vor der Aufbringung einer kohlefaser-, graphitfaser- und/oder glasfaserverstärkten Kunststoffschicht auf die innere Fluorkunststoffschale wird deren äußere Oberfläche aufgerauht oder z.B. durch eine Behandlung mit komplexen Alkalimetall-Verbindungen "angeätzt".

D°r Raum zwischen dem äußeren Transportbehälter und dem inneren Behälter ist mit einem wärmeisolierenden Material ausgefüllt. Als wäremisolierendes Material können z.B. Kork, lose Wolle, Mineralfaserstoffe, insbesondere aber Schaumkunststoffe, verwendet werden. Schaumkunststoffe

3Q können offen- oder geschloss^nzellig sein und sind von thermoplastischen, elastomeren oder duromeren Polymeren bekannt. Beispielsweise kann der Schaumkunststoff aus Polystyrol, Polyvinylchlorid, Polyethylen, Harnstoff-Formaldehyd-Harz, Epoxidharz, Polyimid, insbesondere aber aus Polyurethan, beispielsweise auf Basis von Methy1-bis-phenylisocyanat, bestehen. Vorzugsweise wird der

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Zwischenraum zwischen äußerem Transportbehälter und innerem Behälter mit einem sog. Polyurethan-Integralschaum ausgeschäumt.

Zwischen dem oberen Rand des äußeren Transportbehälters

und dem oberen Teil des inneren Behälters ist eine vorzugsweise strömungsgünstig geformte Abdeckung angeordnet. Diese Abdeckung ist zweckmäßigerweise an den inneren Be-IQ hälter angeformt und umschließt die öffnung des inneren Behälters in einiges Abstand. Diuch die strömungsgünstig Ausführung, d.h. möglichst glatte und kanten- und eckenfreie Oberfläche wird die wirbelfreie Befüllung und Entleerung des Behälters ermöglicht.

Die Abdeckung ist vom oberen Rand des äußeren Transportbehälters nach innen gegen den tiefer liegenden oberen Teil des inneren Behälters geneigt. Es kann zweckmäßig sein, am tiefsten Punkt der Abdeckung eine nach außen führende Dränage, z.B. ein Rohr, anzubringen.

Der obere Rand des äußeren Transportbehälters ist mit einem Schutzkragen versehen, der z.B. auc Eisen oder Stahl oder einM anderen stoSsspfindlichsn "srkstoff bs= steht. Dieser Schutzkragen kann z.B. aus einer umlaufenden Stahlschiene bestehen, in der auch öffnungen, ösen oder dergleichen zur Befestigung von Kranhaken oder dergleichen angebracht sein können. Der Schutzkragen stellt den obersten Teil des Transportbehälters dar. Dadurch werden der Behälter und die Verschlußarmaturen auch bei einem Fall auf den oberen Behälterteil geschützt.

Die öffnung des inneren Behälters wird von einem Verschluß, z.B. einer Verschlußplatte oder Flanschplatte, verschlossen. Dieser Verschluß besitzt mehrere Anschlüsse für die Zu-und Ableitungen, Steig- oder Tauchrohre und

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dergleichen, die eine Befüllung und Entleerung des Behälters ohne Wechsel des eigentlichen Verschlusses gestatten. Die Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen der flüssige Chemikalie, die Anschlüsse für die Zu- und Ableitungen der Inert- und/oder Druckgase und dgl. können als Anschlußstutzen ausgeführt werden, die ihrerseits mit geeigneten Verschlüssen, wie z.B. Schraubverschlüssen, Schnellkupplungen, Hahnen und/oder Ventilen verschließbar sind. In dem eigentlichen Behälterverschluß können auch

chung des Befüllunga- oder Entleerungsvorgangs angeordnet sein.

. _ Die in dem Verschluß angeordneten Anschlüsse dienen sowohl der Befüllung des Behälters als auch zur Entnahme der Chemikalien aus dem Behälter. Die hierfür erforderlichen Zu- und Ableitungen für die Chemikalie sowie eventuelle Zu- und Ableitungen für die genannten Inert- oder 2Q Druckgase oder die für den Befüllungs- oder Entnahmevorgang erforderlichen Sensoren oder dergleichen werden sowohl bei der Abfüllung als auch bei der Entnahme der Chemikalie an die in dem Verschluß vorhandenen Anschlüsse angeschlossen. Die Anschlüsse. z.B. Anschluflstijtzen Hörige neu in ihrer Ausgestaltung, z.B. in ihrem Durchmesser, untereinander alle gleich ausgestaltet sein. Von dieser gleichen Ausgestaltung können jedoch ein oder mehrere Anschlüsse oder Anschlußstutzen abweichen. Es können auch alle Anschlußstutzen unterschiedlich ausgestaltet sein. Der gesamte Verschluß kann leicht gegen einen Verschluß nit anderer Anschlußbelegung ausgetauscht werden.

Die Entleerung des inneren Behälters kann durch Oberdruck oder Pumpen erfolgen. Zweckmäßigerweise werden als An-2^ Schlüsse handelsübliche FiUiorpolyeerv«»' schraubungen in eine Flanschplatte aus Fluorpolymerkunststoff eingesetzt,

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und mehrere Anschlüsse sind mit mehreren bis auf den Boder des inneren Behälters reichenden Steigrohren, vorzugsweise aus Fluorpolymerkunststoff, verbunden. Zweckmäßigerweise erfolgt die Belüftung über ein Membranventil oder Nadelventil. Die Belüftung über das Ventil verhindert das unkontrollierte Austreten von Chemikalien über einen der Steigrohranschlüsse, wenn sich ein chemikalienspezifischer Behälterüberdruck aufgebaut hat. Des weite-

IQ ren kann bei Unterdruck partikelfreies gefiltertes Gas zum Druckausgleich zugeführt werden.

Der erfindungsgemäße Chemikalientransportbehälter ermöglicht auch bei Inhalten von 500 1 und mehr einen sicheren Transport hochreiner flüssiger, gegebenenfalls auch aggressiver Chemikalien ohne Kontaminationsgefahr und Bruchrisiko. Auch werden größere Temperaturschwankungen beim Transport und bei der Lagerung vermieden.

2Q Die Neuerung wird anhand der beiliegenden Figur weiter erläutert, in der ein neuerungsgemäßer Transportbehälter im Vertikalschnitt schematisch dargestellt ist.

In der Figur ist der äußere Transportbehälter mit 1, der innere Behälter mit 2 und die Wärmeisolierung mit 3 bezeichnet, die den Zwischenraum zwischen äußeren Behälter 1 und inneren Behälter 2 ausfüllt. Zwischen dem oberen Rand 4 des äußeren Transportbehälters und dem oberen Teil 5 des inneren Behälters ist die etrömungsgünatig geformte Abdeckung 6 angeordnet. In der in der Figur gezeigten Ausführung ist die Abdeckung 6 an den oberen Teil 5 des inneren Behälters angeformt, und der äußere Rand der Abdeckung € greift um die obere Kante 4 des äußeren Behälters herum.

Der obere Rand 4 des äußeren Transportbehälters ist mit den Schutzkragen 7 versehen. Der Schutzkragen 7 kann von

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einer Winkelschiene z.B. aus Stahl oder Eisen gebildet sein, die auf den oberen Rand 4 des äußeren Behälters z.B. aufgeschraubt ist, und dadurch den umgreifenden Rand der Abdeckung 6 zwischen sich und dem Rand 4 des äußeren Behälters einklemmt und dadurch fixiert.

Der Raum zwischen äußerem Transportbehälter 1, inneres* Behälter 2 und der Msdsekung 6 ist zweckaaßigerweise mit TO einea Kunststoff schaum, vorzugsweise einem Polyurethan-Integralschaum, abgeschäumt.

Die öffnung 8 des inneren Behälters ist mit dem Verschluß 9 verschlossen, der aus siner Platte besteht, die mehrere, in der dargestellten Ausführung drei, Anschlüsse 10 besitzt. Die Anschlüsse 10 sind von Verschlußkappen verschlossen. Zwei der Anschlüsse 10 münden in Tauchrohre 11, die bis auf den Boden des inneren Behälters reichen.

Der innere druckfeste Behälter 2 besteht aus der inneren z.B. aus PDVF bestehenden Kunststoffschale 12 und der äußeren Schale 13 aus faserverstärktem Kunststoff. Der innere Behälter 2 sitzt in der gezeigten Ausführung mit einem am Boden angeformten Fußring 14 auf dem Boden des äußeren Behälters 1 auf. Der Fußring 14 ist, wie die obere Abdeckung 6, zweckraäßigerweise aus der Behälterschale 13 heraus angeformt. Fußring 14 und obere Abdeckung 6 bestehen somit vorzugsweise ebenfalls aus faserverstärktem Kunststoff, und diese Teile werden beim Aufbringen der äußeren Schicht 13 mit angeformt, so daß die äußere Schicht 13 in die Teile 6 und 14 übergeht. Die Verschlußplatte 9 ist in der dargestellten Ausführungsform auf die obere öffnung 8 des inneren Behälters aufgeschraubt. Zu diesem Zweck sind im Rand der öffnung 8 etwa sechs bis acht gleichmäßig voneinander entfernte Schrauben 15 in den Behälter eingepreßt, auf welche die

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Verschluflplatte 9 aufgeschraubt wird. Die Dichtung zwischen Behälter 2 und Verschluflplatte 9 ist in der Figur nicht dargestellt.

In den Schutzkragen 7 sind zweckmäfligerweise öffnungen für das Anbringen von Kranhaken oder dergleichen vorgesehen.

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Claims

Cr.Eu/StO984 Schutzansprüche

1. Transportbehälter für flüssige Chemikalien, insbesondere flüssige Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie, dadurch gekennzeichnet, daß in einem äußeren Transportbehälter (1) ein innerer Behälter (2) angeordnet ist und der Zwischenraum zwischen äußerem Transportbehälter (1) und innerem Behälter mit einem wärmeisolie-

..£ renden Material (3) ausgefüllt ist, zwischen oberem Rand

(4) des äußeren Transportbehälters und dem oberen Teil

(5) des inneren Behälters eine Abdeckung (6) f/ ,geordnet ist und der oberr Rand (4) des äußeren Transportoehalters mit einem Schutzkragen (7) versehen ist und daß die öffnung (8) des inneren Behälter? mit einem Verschluß (9) mit mehreren Anschlüssen (10) verschlossen ist.

2. Transportbehälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der innere Behälter (2) mehrschalig, vorzugsweise zweischalig (12, 13) aufgebaut ist und die äußere Schicht (13) aus faserverstärktem Kunststoff besteht.

3. Transportbehälter nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Verschluß (9) als Flanschplatte ausgebildet ist.

4. Transportbehälter nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckung

(6) strömungsgünstig geformt ist.

5. Transportbehälter nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Innenschale (12) aus Fluorkunetstoff besteht.

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6. Transportbehälter nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Verschluß (9) und/oder die Anschlüsse (10) und/oder die Steigrohre

(11) aus Fluorkunststoff bestehen.

7. Transportbehälter nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der äußere Transportbehälter palettengerechte Abmessungen besitzt.

S. Transportbehälter rieCii einen Ouel Schreien der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmeisolierung (3) aus Kunststoffschaum, vorzugsweise aus Polyurethan-Integralschaum, besteht.

9. Transportbehälter nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der äußere Rand der Abdeckung (6) zwischen oberem Rand (4) des äußeren Transportbehälters und dem Schutzkragen (7) eingeklemmt ^ist·

10. Transportbehälter nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daO die Abdeckung (6) *U5 f«eeryeratärk-fcem Kunststoff besteht und an die äußere Schicht (13) des inneren Behälters angeformt ist.