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DE69917839T2 - Spitzendichtung für spiralvacuumpumpen - Google Patents

Spitzendichtung für spiralvacuumpumpen Download PDF

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DE69917839T2
DE69917839T2 DE69917839T DE69917839T DE69917839T2 DE 69917839 T2 DE69917839 T2 DE 69917839T2 DE 69917839 T DE69917839 T DE 69917839T DE 69917839 T DE69917839 T DE 69917839T DE 69917839 T2 DE69917839 T2 DE 69917839T2
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DE
Germany
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spiral
tip seal
pores
seal
spiral wing
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DE69917839T
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DE69917839D1 (de
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T. Hans CLARKE
G. Anthony LIEPERT
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Varian Inc
Original Assignee
Varian Inc
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/02Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C27/00Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C27/005Axial sealings for working fluid

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Description

  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Diese Erfindung betrifft Vakuumpumpen vom Spiraltyp und insbesondere verbesserte Spitzendichtungen, die ermöglichen, dass die Vakuumpumpe vom Spiraltyp über ein relativ großes Druckdifferential arbeitet.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Spiralpumpen sind im US-Patent Nr. 801 182, herausgegeben 1905 an Creux, offenbart. In einer Spiralpumpe läuft ein beweglicher Spiralflügel bezüglich eines ortsfesten Spiralflügels innerhalb eines Gehäuses um. Die Anordnung der Spiralflügel und ihre relative Bewegung schließt ein oder mehrere Volumina oder "Einschlüsse" eines Fluids zwischen den Flügeln ein und bewegt das Fluid durch die Pumpe. Das Creux-Patent beschreibt die Verwendung der Dampfenergie, um die Flügel anzutreiben, um eine Drehkraftausbeute zu erzeugen. Die meisten Anwendungen bringen jedoch eine Drehkraft auf, um ein Fluid durch die Vorrichtung zu pumpen. Ölgeschmierte Spiralpumpen werden als Kühlmittelverdichter umfangreich verwendet. Andere Anwendungen umfassen Expander, die entgegengesetzt zu einem Verdichter arbeiten, und Vakuumpumpen. Bis heute wurden Spiralpumpen nicht umfangreich zur Verwendung als Vakuumpumpen übernommen, hauptsächlich da die Herstellungskosten für eine Spiralpumpe signifikant höher sind als für eine ölgeschmierte Flügelpumpe mit vergleichbarer Größe.
  • Spiralpumpen müssen eine Anzahl von häufig widersprüchlichen Entwurfszielen erfüllen. Die Spiralflügel müssen so angeordnet sein, dass sie gegenseitig zusammenwirken, so dass ihre relative Bewegung die Hohlräume festlegt, die das Fluid innerhalb der Hohlräume transportieren und häufig verdichten. Die Flügel müssen sich daher relativ zueinander bewegen, wobei zwischen benachbarten Windungen Dichtungen ausgebildet sind. Beim Vakuumpumpen ist der von der Pumpe erreichbare Vakuumpegel häufig durch die Tendenz begrenzt, dass Hochdruckgas am Auslaß in Richtung des Einlasses mit niedrigerem Druck rückwärts strömt und durch die Gleitdichtungen zum Einlass durchsickert. Die Wirksamkeit und die Haltbarkeit der Spiralflügeldichtungen sind wichtige Bestimmungsgrößen der Leistung und Zuverlässigkeit.
  • Dichtungsmittel für eine Vorrichtung vom Spiraltyp, einschließlich eines Dichtungselements, das mit einem Elastomerelement unterlegt ist, sind in PATENT ABSTRACT OF JAPAN, Band 095, Nr. 007, 31. August 1995, und JP-07-109981 (NIPPON DENSO Co., Ltd.), 25. April 1995, US-Patent Nr. 3 994 636, herausgegeben am 30. November 1976 an McCullough et al., offenbart. Eine Dichtungsanordnung mit einem Dichtungsstreifen, der durch eine Silikonkautschukröhre vorgespannt ist, ist im US-Patent Nr. 4 883 413, herausgegeben am 28. November 1989 an Perevuznik et al., offenbart. Eine Dichtungsanordnung für eine Vakuumpumpe vom Spiraltyp, einschließlich eines Dichtungselements und eines Elastomerdichtungs-Belastungsbalgs, der unter Druck gesetzt werden kann, ist im US-Patent Nr. 5 366 358, herausgegeben am 22. November 1994 an Grenci et al., offenbart. Eine Pumpe vom Spiraltyp mit einer Dichtungsanordnung, einschließlich eines Dichtungselements und eines Stützelements aus einem weichen porösen Material, ist im US-Patent Nr. 5 258 046, herausgegeben am 2. November 1993 an Haga et al., offenbart. Zusätzliche Dichtungsanordnungen für eine Vorrichtung vom Spiraltyp sind im US-Patent Nr. 4 730 375, herausgegeben am 15. März 1988 an Nakamura et al., offenbart. Spitzendichtungen des Standes der Technik umfassen typischerweise ein Dichtungselement, das eine Gleitdichtung bildet, und ein Aktivatorelement, das das Dichtungselement gegen eine gegenüberliegende Oberfläche drückt.
  • Spitzendichtungen beeinflussen die Leistung und Zuverlässigkeit von trockenen Spiralpumpen entscheidend. Die Spitzendichtung ist typischerweise in einer Nut montiert, die in die obere Kante eines Spiralflügels maschinell eingearbeitet ist. Die Dichtung muss einen Gasaustritt über die Dichtung (quer zur Dichtung) sowie axial entlang der Spitzendichtungsnut wirksam sperren. Der Austritt in beiden Richtungen ermöglicht, dass das Gas in Richtung des Pumpeneinlasses zurückströmt. Die Dichtung muss eine angemessene Abdichtung für lange Zeiträume (typischerweise mehr als 9000 Stunden) mit geringem Verschleiß, minimaler Reibung und über einen Bereich von Betriebstemperaturen und -drücken bereitstellen. Die Spitzendichtungen in Vakuumpumpen vom Spiraltyp des Standes der Technik weisen eine Anzahl von Nachteilen auf, die Elastomermaterialeigenschaften, wirtschaftlich erzielbare Bearbeitungstoleranzen und widersprüchliche Anforderungen von geringem Leckverlust über die Dichtung und diese hinab betreffen. Übliche Elastomere wie z. B. Kautschuk, Buna N und Viton sind unkomprimierbare Materialien, d. h. die Materialdichte bleibt unter Druckspannungen im wesentlichen konstant. Das vertikale Quetschen eines Würfels dieser Materialien führt dazu, dass das Material horizontal ausbeult. Für eine Elastomerdichtung, die sich in einer Nut befindet und keinen Platz hat, in dem sie sich verformt, erträgt die Dichtung sehr hohe vertikale Kräfte mit im Wesentlichen keiner vertikalen Verformung. Um eine Dichtungsnut unter den leichten Drücken, die für eine niedrige Reibung und lange Lebensdauer erforderlich sind, vollständig zu füllen, müssen die Abmessungen der Dichtung, der Dichtungsnut und der Abstand zum gegenüberliegenden Spiralflügel folglich sehr eng gesteuert werden. Praktisch müssen Kompromisse mit festen Elastomeren hinsichtlich dessen, wie gut die Dichtungsnut blockiert werden kann, gemacht werden. Dies begrenzt die Pumpenleistung.
  • Feste Elastomere wie z. B. Viton, Buna N und geformte Silikone sind auch zu steif für die Verwendung als Dichtungsaktivatorelemente in einer praktischen Spiralpumpe. Ein typischer Elastizitätsmodul für diese Materialien beträgt 1379 bis 4826 kPa (200 bis 700 psi). Um eine Reibungserwärmung innerhalb der Pumpe zu begrenzen, muss der Kontaktdruck niedrig gehalten werden, idealerweise niedriger als etwa 34,5 kPa (5 psi). Wenn der Elastomerteil der Dichtung 2,54 mm (0,1 Inch) dick ist, dann wird eine Belastung von 34,5 kPa (5 psi) mit Buna N mit einer Durchbiegung von nur 0,0025 mm (0,001 Inch) erreicht. Die Toleranzen innerhalb der Pumpe müssen äußerst eng gehalten werden, um konsistent eine Belastung von 34,5 kPa (5 psi) zu erreichen. Die Dichtungsbelastung würde sich mit einem Dichtungsverschleiß und mit einer Wärmeausdehnung der Spiralkomponenten wesentlich ändern, wenn die Pumpe arbeitet.
  • Eine kommerziell erhältliche trockene Spiralvakuumpumpe verwendet ungesinterte Teflonpaste als Dichtungsaktivatorelement. Ein nützliches Attribut von Teflonpaste besteht darin, dass sie ein nicht-homogenes Material ist. Ein Bruchteil des Materials ist Luft und daher kann seine Volumendichte durch Verdichtung erhöht werden. Wenn die Dichtung in die Spitzendichtungsnut gepresst wird, gibt das Elastomer gleichzeitig nach und drückt sich zusammen, um die Dichtungsnut fast vollständig zu füllen. Das Material nimmt eine permanente Verformung an, wenn es jedoch gelöst wird, federt es sehr wenig zurück. Dies blockiert einen Querleckverlust unter der Dichtung sowie entlang der Spitzendichtungsnut wirksam. Der Aktivator kompensiert Abmessungsänderungen durch Verformen und Zusammendrücken mehr oder weniger ohne große Veränderung der Kraft. Dies steht im Gegensatz zu einem festen Elastomer, das einer Verformung gut widersteht, wenn es dimensional begrenzt wird.
  • Die Konstruktion, die ein Teflonpasten-Aktivatorelement verwendet, weist jedoch mehrere Nachteile auf. Wenn die Spiralpumpe gestartet wird, heizen sich ihre internen Komponenten aufgrund von Reibung und Arbeit, die an dem gepumpten Gas durchgeführt wird, allmählich auf. Die Teflonpaste dehnt sich in der Nut relativ zum Umgebungsmetall aus und drückt die Dichtungsfläche gegen ihre Gegenfläche. Wenn eine neue Dichtung zum ersten Mal eingesetzt wird, drückt sich die Teflonpaste ein bisschen weiter zusammen, wobei sie eine neue permanente Verformung annimmt. Die zweckmäßige anfängliche Pastendichte, -breite und -dicke werden so eingestellt, dass eine angemessene Dichtungskraft bei normalen Betriebstemperaturen erhältlich ist. Folglich ist eine erhöhte Temperatur erforderlich, um eine ausreichende Kraft sicherzustellen, um die Dichtung zweckmäßig zu aktivieren. Das Aktivatorelement muss sich in einem thermisch ausgedehnten Zustand befinden, um zweckmäßig zu funktionieren. Spiralpumpen, die diese Art von Pastenelastomer verwenden und bei niedrigen Umgebungstemperaturen gestartet werden, weisen häufig einen schlechten Basisdruck für viele Minuten auf, bis sich die Pumpe und die Dichtungen aufgewärmt haben. Dieses Verhalten ist für einige Anwendungen wie beispielsweise tragbare Leckerfassungssysteme unannehmbar.
  • Ein weiterer Nachteil des Teflonpastenelastomers ist ein Verlust der Dichtungsaktivierungskraft aufgrund von Verschleiß. Mit der Zeit verschleißen sowohl die Dichtung als auch die Gegenfläche und werden dünner. Der Verschleiß ist klein, in der Größenordnung von 0,0075 mm (0,003 Inch) pro Betriebsjahr. Nach etwa einem Jahr ist jedoch die Wärmeausdehnung der Teflonpaste nicht mehr ausreichend, um die Dichtung gegen die Gegenfläche zu drücken. Eine Verschlechterung des Pumpenbasisdrucks ergibt sich aus einem erhöhten Leckverlust über die Oberseite der Dichtung. Obwohl eine große Menge an Dichtungsmaterial verbleibt, müssen die Dichtungen ausgetauscht werden.
  • Ein letzter Nachteil der Teflonpaste besteht darin, dass sie ziemlich teuer ist. Das zur Herstellung von Dichtungen für eine Pumpe erforderliche Material kostet etwa vierzig Dollar.
  • Folglich besteht ein Bedarf für verbesserte Spitzendichtungsanordnungen für Vakuumpumpen vom Spiraltyp.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung wird eine Vakuumpumpvorrichtung bereitgestellt. Die Vakuumpumpvorrichtung umfasst einen Spiralflügelsatz mit einem Einlass und einem Auslass und einen exzentrischen Antrieb, der wirksam mit dem Spiralflügelsatz gekoppelt ist. Der Spiralflügelsatz umfasst einen ersten Spiralflügel und einen zweiten Spiralflügel, die ineinander verschachtelt sind, um einen oder mehrere Höhlräume zwischen den Flügeln festzulegen. Mindestens einer des ersten und des zweiten Spiralflügels weist eine Dichtungsnut entlang einer Kante desselben auf. Der exzentrische Antrieb erzeugt eine Umlaufbewegung des ersten Spiralflügels relativ zum zweiten Spiralflügel, um zu bewirken, dass sich die Hohlräume zwischen den Flügeln in Richtung des Auslasses bewegen. Die Vakuumpumpvorrichtung umfasst ferner eine Spitzendichtung, die in der Dichtungsnut zwischen dem ersten und dem zweiten Spiralflügel angeordnet ist. Die Spitzendichtung umfasst ein Dichtungselement und ein Aktivatorelement, das an dem Dichtungselement befestigt ist. Das Aktivatorelement umfasst ein elastisches Material mit mehreren komprimierbaren Poren, so dass das Aktivatorelement mit komprimierbaren Poren komprimierbarer ist als das elastische Material allein, wenn es durch die Dichtungsnut eingespannt ist.
  • In einem ersten Ausführungsbeispiel umfasst das Aktivatorelement einen Schaum wie z. B. Urethanschaum mit geringer Porosität. Der Schaum weist vorzugsweise einen Elastizitätsmodul von nicht mehr als etwa 40 psi auf.
  • In einem zweiten Ausführungsbeispiel umfasst das Aktivatorelement ein Elastomermaterial und die komprimierbaren Poren umfassen ein vorbestimmtes Muster von Poren, das in das Elastomermaterial geformt werden kann. Die Poren können sich zur Bodenfläche der Dichtungsnut erstrecken. Das Elastomermaterial kann eine Silikonverbindung mit einem niedrigen Elastizitätsmodul umfassen. Das Elastomermaterial mit Poren weist vorzugsweise einen Elastizitätsmodul von nicht mehr als etwa 690 kPa (100 psi) auf.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine Spitzendichtung zur Verwendung in einer Pumpe vom Spiraltyp bereitgestellt. Die Pumpe vom Spiraltyp umfasst einen ersten und einen zweiten Spiralflügel, die ineinander verschachtelt sind, um einen oder mehrere Hohlräume zwischen den Flügeln festzulegen, wobei mindestens einer des ersten und des zweiten Spiralflügels eine Dichtungsnut entlang einer Kante desselben aufweist. Die Spitzendichtung ist in der Dichtungsnut zwischen dem ersten und dem zweiten Spiralflügel angeordnet und umfasst ein Dichtungselement und ein Aktivatorelement, das am Dichtungselement befestigt ist. Das Aktivatorelement umfasst ein elastisches Material mit mehreren komprimierbaren Poren, so dass das Aktivatorelement mit komprimierbaren Poren komprimierbarer ist als das elastische Material allein, wenn es durch die Dichtungsnut eingespannt ist.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Für ein besseres Verständnis der vorliegenden Erfindung wird auf die zugehörigen Zeichnungen Bezug genommen, die durch den Hinweis hierin aufgenommen werden und in denen gilt.
  • 1 ist eine Querschnittsansicht eines Beispiels einer Vakuumpumpe vom Spiraltyp, die für den Einbau der Spitzendichtung der Erfindung geeignet ist;
  • 2 ist eine Querschnittsansicht des ersten Spiralflügelsatzes entlang der Linie 2-2 von 1;
  • 3 ist eine vergrößerte teilweise Querschnittsansicht eines Spiralflügels, die ein erstes Ausführungsbeispiel der Spitzendichtung der Erfindung darstellt;
  • 4 ist eine vergrößerte teilweise Querschnittsansicht eines Spiralflügels, die ein zweites Ausführungsbeispiel der Spitzendichtung der Erfindung darstellt; und
  • 5 ist eine Draufsicht auf das in 4 gezeigte Aktivatorelement von unten.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Ein Beispiel einer Vakuumpumpe vom Spiraltyp, die sich für den Einbau der vorliegenden Erfindung eignet, ist in 1 und 2 gezeigt. Eine trockene, zweistufige Vakuumpumpe ist gezeigt. Ein Gas, typischerweise Luft, wird aus einer Vakuumkammer oder einer anderen Ausrüstung (nicht dargestellt), die mit einem Vakuumeinlass 12 der Pumpe verbunden ist, ausgepumpt. Ein Gehäuse 14 umfasst einen Gehäuseteil 14b, der eine erste Pumpenstufe 18 umschließt und teilweise festlegt, und einen Gehäuseteil 14c, der eine zweite Pumpenstufe 30 umschließt und teilweise festlegt. Ein Auslasskanal 14d ist im Gehäuse der zweiten Stufe nahe seinem Zentrum ausgebildet. Der Auslasskanal steht mit einem radial gerichteten Hochdruck-Auslassdurchgang 16 im Gehäuseteil 14c in Verbindung, welcher am äußeren Umfang des Gehäuses eine Entlüftung zur Atmosphäre vorsieht.
  • Die erste Spiralpumpenstufe 18 befindet sich innerhalb des Gehäuses mit einem Einlassbereich 18a, der mit dem Vakuumeinlass 12 verbunden ist. Wie in 2 gezeigt, kann die Spiralpumpenstufe 18 aus vier Paaren von verschachtelten spiralförmigen Spiralflügeln gebildet sein. Jedes Flügelpaar umfasst einen stationären Flügel 19 und einen umlaufenden Flügel 20. Der Spiralflügel 19 ist vorzugsweise einteilig mit dem Gehäuseteil 14b ausgebildet, um die Wärmeübertragung zu erleichtern und die mechanische Steifigkeit und Haltbarkeit der Pumpe zu erhöhen. Der Flügel 20 ist vorzugsweise einteilig mit einer beweglichen Platte 22 ausgebildet. Die Flügel 19 und 20 erstrecken sich axial zueinander hin und sind verschachtelt, wie in 1 und 2 gezeigt. Die Umlaufbewegung der Platte 22 und des Spiralflügels 20 erzeugt eine Pumpwirkung des Gases vom Spiraltyp, welches im Einlassbereich 18a in die Spiralflügel einströmt.
  • Die freie Kante jedes Flügels 19 und 20 trägt eine durchgehende Spitzendichtung 26, wie nachstehend im einzelnen beschrieben. Die Flügel 19 und 20 erstrecken sich axial in Richtung der Platte 22 bzw. des Gehäuseteils 14b, so dass an der Kante jedes Flügels eine Gleitdichtung besteht.
  • Gas verlässt die Spiralpumpenstufe 18 an ihrem äußeren Umfang 18b, wo es durch Kanäle 28, die im Gehäuseteil 14b ausgebildet sind, zu einem ringförmigen Einlassbereich der zweiten Spiralpumpenstufe 30, die von einer ringförmigen Sammelkammer 29 umgeben ist, strömt. Die zweite Spiralpumpenstufe 30 umfasst einen stationären Spiralflügel 32 und einen umlaufenden Spiralflügel 31, von denen jeder eine Spitzendichtung 26 an seiner freien Kante trägt. Die Spitzendichtung stellt eine Gleitdichtung zwischen jedem Flügel und einer gegenüberliegenden Oberfläche her. Die Spiralflügel der ersten und der zweiten Pumpenstufe können verschiedene Flügelhöhen und verschiedene Zahlen von Windungen aufweisen, um eine gewünschte Pumpenleistung zu erzielen. Wenn der Spiralflügel 20 relativ zum Spiralflügel 19 umläuft, bewegen sich Hohlräume, die zwischen den Spiralflügeln gebildet sind, wie z. B. der in 2 gezeigte Hohlraum P1, vom Einlass der Spiralpumpenstufe in Richtung des Auslasses und pumpen Gas vom Einlass zum Auslass.
  • Ein exzentrischer Antrieb 40 für die Pumpenstufen 18 und 30 wird durch einen Motor 42 angetrieben, der durch eine Kopplung 44 mit einer Antriebswelle 46 verbunden ist, die in axial beabstandeten Lagern 48 und 50 montiert ist. Der exzentrische Antrieb 40 erzeugt eine Umlaufbewegung der Platte 22 bezüglich einer Drehachse 46a der Antriebswelle 46. Zusätzliche Einzelheiten hinsichtlich der Konstruktion und des Betriebs der Vakuumpumpe vom Spiraltyp von 1 und 2 sind im US-Patent Nr. 5 616 015, herausgegeben am 1. April 1997, angegeben. Es ist selbstverständlich, dass die Spitzendichtung der vorliegenden Erfindung in einer zweistufigen Vakuumpumpe vom Spiraltyp verwendet werden kann, wie in 1 und 2 gezeigt und vorstehend beschrieben, in einer einstufigen Vakuumpumpe vom Spiraltyp verwendet werden kann oder in einer beliebigen anderen Vorrichtung vom Spiraltyp verwendet werden kann.
  • Gemäß der Erfindung umfasst eine Spitzendichtung für eine Vakuumpumpe vom Spiraltyp ein Dichtungselement und ein Aktivatorelement. Das Dichtungselement stellt einen abgedichteten Gleitkontakt mit einer gegenüberliegenden Oberfläche der Vakuumpumpe her. Das Aktivatorelement drückt das Dichtungselement mit der gegenüberliegenden Oberfläche in Kontakt. Das Aktivatorelement ist am Dichtungselement typischerweise durch einen Klebstoff befestigt, um eine einheitliche Spitzendichtung auszubilden. Das Aktivatorelement wird aus einem Elastomermaterial mit komprimierbaren Poren hergestellt. Die Härte des Elastomermaterials und die Größe und Geometrie der Poren werden derart ausgewählt, dass sich das Aktivatorelement leicht der Dichtungsnut anpasst, so dass wenig Kraft erforderlich ist, um das Aktivatorelement bis zu dem Punkt zu verformen, an dem die Dichtungsnut fast vollständig gefüllt ist. Die komprimierbaren Poren können keinen Leckverlustweg entweder über die Dichtung oder entlang der Dichtungsnut darbieten. Das Elastomermaterial mit komprimierbaren Poren weist einen niedrigen effektiven Elastizitätsmodul auf, so dass eine niedrige gleichmäßige Belastung erzielt wird, selbst nachdem die Dichtungsnut vollständig gefüllt ist.
  • Ein erstes Ausführungsbeispiel der Spitzendichtung ist in 3 gezeigt. Eine teilweise Querschnittsansicht einer Spitze eines Spiralflügels 19 ist dargestellt. Die obere Kante des Spiralflügels 19 ist mit einer Spitzendichtungsnut 100 typischerweise mit einem rechteckigen Querschnitt versehen. Die Nut 100 folgt der Kante des Spiralflügels 19 und weist eine Spiralgestalt auf. Eine Spitzendichtung 102 ist in der Nut 100 zwischen dem Spiralflügel 19 und der Platte 22 angeordnet. Die Spitzendichtung 102 umfasst ein Dichtungselement 110 und ein Aktivatorelement 112, das am Dichtungselement 110 mit einem Klebstoff 114 befestigt ist. Eine Oberfläche 116 des Dichtungselements 110 berührt die Platte 22 und gleitet bezüglich der Platte 22, um eine Gleitdichtung zwischen dem Spiralflügel 19 und der Platte 22 während des Betriebs der Spiralpumpe vorzusehen. Mit Bezug auf 1 ist es selbstverständlich, dass die Spiralflügel 20, 31 und 32 für eine verbesserte Leistung der Vakuumpumpe vom Spiraltyp mit der in 3 gezeigten Dichtungsanordnung versehen sein können.
  • In dem Ausführungsbeispiel von 3 umfasst das Aktivatorelement 112 einen Schaum mit komprimierbaren Poren 120. Das Schaummaterial kann ein Urethanschaum sein. Ein bevorzugtes Material ist ein mikrozellulärer Urethanschaum, der von Poron als Teil Nr. 4701-21 hergestellt wird. Die Poren innerhalb des Schaums sind durch sehr kleine Durchgänge verbunden. Der Schaum wird anfänglich etwa 14% komprimiert, wenn er in einer Pumpe installiert wird. Dies führt zu einer Dichtungsbelastung von etwa 34,5 kPa (5 psi). Die anfängliche Kompression des Schaums lässt die Poren und Durchgänge im Wesentlichen zusammenfallen, um im Wesentlichen keinen Leckverlust durch die Schaummatrix zuzulassen. Der Elastizitätsmodul dieses Materials beträgt etwa 40 psi. Der vorstehend identifizierte Schaum kann mit einem Kontaktklebstoff auf einer Seite erworben werden, der verwendet werden kann, um das Aktivatorelement 112 am Dichtungselement 110 zu befestigen. Sowohl der Urethanschaum als auch der Klebstoff können die maximalen Betriebstemperaturen innerhalb einer trockenen Spiralpumpe, etwa 93,3°C (etwa 200 EF), aushalten.
  • Ob ein spezieller Schaum angemessen arbeitet oder nicht, ist eine Frage eines empirisch-praktischen Tests. Offenzellige Schäume, wie z. B. Poron 4723, wurden als angemessen arbeitend festgestellt, sind jedoch aufgrund eines höheren Elastizitätsmoduls von etwa 893 kPa (70 psi) nicht bevorzugt.
  • Die anfängliche Dichtungsbelastung von 5 psi wird durch zwei Mechanismen mit der Zeit verringert. Erstens verschleißt das Dichtungselement 110 mit der Zeit, wodurch die Kompression des Aktivatorelements 112 verringert wird. Zweitens kriecht der Urethanschaum langsam bei erhöhten Temperaturen, was auch die Dichtungsbelastung verringert. während des Dichtungseinbruchs werden sowohl der Kontaktdruck als auch die Betriebstemperatur der Dichtung und des Aktivators allmählich verringert. Nach mehreren hundert Stunden Pumpenbetrieb wird eine stabile, verschleißfeste Dichtungs/Aktivator-Kombination erzeugt.
  • Das Dichtungselement 110 kann verschiedene verschleißfeste Dichtungsmaterialien verwenden, wie z. B. gefüllte oder ungefüllte Polyimide, Teflon oder Polyethylen mit ultrahohem Molekulargewicht. Dieses Material wird typischerweise zu einem zylindrischen Barren geformt und dann auf die gewünschte Dicke geschnitten. Der Schaum wird dann am Dichtungsmaterial befestigt und der Schaum wird auf die gewünschte Gesamtdichtungsdicke geschliffen, um eine Dichtungsplatte auszubilden. Die Dichtungsplatte wird dann in die gewünschte Spiralform geschnitten. Verschiedene Arten von Schaum, Klebstoff und Dichtungsmaterial können innerhalb des Schutzbereichs der Erfindung verwendet werden. Das Aktivatorelement 112 kann beispielsweise ein geschlossenzelliger Silikonkautschukschaum sein, wie z. B. die von Furon unter ihrer CHR-Handelsmarke vertriebene Art.
  • In einem Beispiel hatte die Spitzendichtung 102 eine Breite parallel zur Dichtungsoberfläche 116 von 2,39 mm (0,094 Inch) und eine Dicke senkrecht zur Dichtungsoberfläche 116 von 2,84 mm (0,112 Inch). Das Dichtungselement 110 hatte eine Dicke von 1 mm (0,045 Inch), der Klebstoff 114 hatte eine Dicke von 0,05 mm (0,002 Inch) und das Aktivatorelement 112 hatte eine Dicke von 1,65 mm (0,065 Inch). Das Aktivatorelement 112 war Urethanschaum und das Dichtungselement war Polyethylen mit ultrahohem Molekulargewicht. Die Kosten des Aktivators, die zum Aufbau einer Pumpe erforderlich sind, sind etwa ein Zehntel derjenigen der ungesinterten Teflonpaste. Der Aktivator ist ferner besser in der Lage, eine angemessene Dichtungsbelastung aufrechtzuerhalten, wenn die Pumpe zum ersten Mal gestartet wird und nachdem das Dichtungselement beträchtlich verschlissen wurde.
  • Ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Spitzendichtung ist in 4 und 5 gezeigt. Gleiche Elemente in 35 weisen dieselben Bezugsziffern auf. Eine Spitzendichtung 140 umfasst ein Dichtungselement 110 und ein Aktivatorelement 142. Das Aktivatorelement 142 umfasst ein Elastomermaterial mit niedrigem Elastizitätsmodul mit geformten komprimierbaren Poren. Kommerziell erhältliche Silikonverbindungen mit niedrigem Modul, wie z. B. Dow Corning Silastic, weisen einen Elastizitätsmodul von etwa 200 psi auf. Wenn Poren mit zweckmäßiger Geometrie in das Aktivatorelement 142 geformt werden, kann der effektive Modul des Aktivatorelements von etwa 1380 kPa (200 psi) auf etwa 690 kPa (100 psi) verringert werden. In dem Beispiel von 4 und 5 weist das Aktivatorelement 142 zylindrische Poren 150 auf, die sich von einer Bodenfläche der Dichtungsnut 100 nach oben erstrecken. Die Abmessungen der Poren 150 werden ausgewählt, um einen Leckverlustweg über die Dichtung zu verhindern. Für ein Aktivatorelement mit einer Breite W von 2,39 mm (0,094 Inch) und einer Dicke T von 2,47 mm (0,058 Inch) können die zylindrischen Poren 150 Durchmesser von 0,63 mm (0,025 Inch) und Höhen von 1,27 mm (0,050 Inch) aufweisen.
  • Eine Form für das Aktivatorelement 142 kann durch einen Stempel-EDM-Prozess konstruiert werden. Eine Matrix von kleinen Löchern mit zweckmäßigem Durchmesser und zweckmäßiger Tiefe wird in eine flache Graphitplatte gebohrt. Die Platte wird dann in einer Stempel-EDM verwendet, um eine Stahlplatte elektrisch maschinell zu bearbeiten. Die Platte weist dann eine Matrix von kleinen Säulen auf, die von einer Seite hervorragen. Die Platte wird in eine Kautschukformvorrichtung eingesetzt, um beispielsweise eine Silikonelastomerplatte auf einer Platte aus Dichtungsmaterial auf Teflonbasis zu formen. Das Teflonmaterial wird typischerweise auf der Formseite für eine bessere Haftung geätzt. Die geformte Dichtungsanordnung weist zylindrische Löcher auf, die im Silikonelastomer ausgebildet sind. Die Dichtungsanordnung wird zu einer Spiralform geschnitten und wird in der Dichtungsnut installiert.
  • Die Poren in der Unterseite des Aktivatorelements weisen keinen Leckverlustweg, weder über die Dichtung noch entlang der Dichtungsnut, auf. Wenn die Dichtungsanordnung geschnitten wird, können Poren an den Seiten der Dichtung freigelegt werden. Die Poren im Elastomer sind jedoch klein genug, dass kein Leckverlustweg über die Dichtung gebildet wird. Entlang der Dichtungsnut liegt das Elastomermaterial zwischen den Poren vor, um die Breite der Dichtungsnut zu füllen und dadurch den Leckverlust zu blockieren.
  • Es ist selbstverständlich, dass die Poren 150 nicht notwendigerweise an der Unterseite des Aktivatorelements 142 ausgebildet werden, wie in 4 gezeigt. Die Poren 150 können innerhalb des Schutzbereichs der Erfindung an der Oberseite oder auf den Seiten des Aktivatorelements ausgebildet werden oder können innerhalb des Aktivatorelements liegen. Im Allgemeinen ermöglichen die Poren 150, dass das Aktivatorelement 142 zusammengedrückt wird, selbst wenn das Aktivatorelement die Nut 100 füllt.
  • Obwohl das gezeigt und beschrieben wurde, was derzeit als bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung betrachtet wird, ist es für Fachleute offensichtlich, dass verschiedene Änderungen und Modifikationen darin vorgenommen werden können, ohne vom Schutzbereich der Erfindung, wie durch die beigefügten Ansprüche festgelegt, abzuweichen.

Claims (12)

  1. Spitzendichtung zum Positionieren in einer Dichtungsnut zwischen einem ersten und einem zweiten Spiralflügel (19, 20) einer Pumpe vom Spiraltyp, die einen ersten und einen zweiten Spiralflügel (19, 20) aufweist, die ineinander verschachtelt sind, um einen oder mehrere Hohlräume zwischen den Flügeln festzulegen, wobei mindestens einer des ersten und des zweiten Spiralflügels eine Dichtungsnut (100) entlang einer Kante desselben aufweist, wobei die Spitzendichtung (102) umfasst: ein Dichtungselement (110); und ein Aktivatorelement (112), das an dem Dichtungselement (110) befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktivatorelement (112) ein elastisches Elastomermaterial mit mehreren komprimierbaren Poren (120) umfasst, und dass das elastische Elastomermaterial mit mehreren komprimierbaren Poren (120) einen Elastizitätsmodul aufweist, der nicht größer ist als 690 kPa (100 psi), und das Aktivatorelement (112) mit komprimierbaren Poren komprimierbarer ist als das elastische Material allein, wenn es durch die Dichtungsnut (100) eingespannt ist.
  2. Spitzendichtung nach Anspruch 1, wobei das Aktivatorelement (112) einen Schaum umfasst.
  3. Spitzendichtung nach Anspruch 2, wobei der Schaum einen Elastizitätsmodul von nicht mehr als etwa 276 kPa (40 psi) aufweist.
  4. Spitzendichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das Aktivatorelement (112) einen porösen Urethanschaum umfasst.
  5. Spitzendichtung nach Anspruch 1, wobei die komprimierbaren Poren (120) ein vorbestimmtes Muster von Poren umfassen.
  6. Spitzendichtung nach Anspruch 5, wobei die Poren (120) vorbestimmte Geometrien aufweisen.
  7. Spitzendichtung nach Anspruch 5 oder 6, wobei das Elastomermaterial eine Silikonverbindung umfasst.
  8. Spitzendichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Aktivatorelement (112) einen geschlossenzelligen Silikonkautschukschaum umfasst.
  9. Spitzendichtung nach einem vorangehenden Anspruch, wobei das Aktivatorelement (112) an dem Dichtungselement (110) mit einem Klebstoff befestigt ist.
  10. Spitzendichtung nach einem vorangehenden Anspruch, wobei die komprimierbaren Poren (120) komprimiert werden, wenn die Spitzendichtung (102) in der Nut (100) arbeitet, so dass die Spitzendichtung beim Hemmen einer Gasströmung beim Kaltstart der Vorrichtung wirksam ist.
  11. Vakuumpumpvorrichtung mit der Spitzendichtung (102) nach einem vorangehenden Anspruch, mit: einem Spiralflügelsatz (18) mit einem Einlass (18a) und einem Auslass (18b), wobei der Spiralflügelsatz einen ersten Spiralflügel (19) und einen zweiten Spiralflügel (20) umfasst, die ineinander verschachtelt sind, um einen oder mehrere Hohlräume zwischen den Flügeln festzulegen, wobei mindestens einer des ersten und des zweiten Spiralflügels (19, 20) eine Dichtungsnut (100) entlang einer Kante desselben aufweist; einem wirksam mit dem Spiralflügelsatz (18) gekoppelten exzentrischen Antrieb (40) zum Erzeugen einer Umlaufbewegung des ersten Spiralflügels (19) relativ zum zweiten Spiralflügel (20), um zu bewirken, dass sich der eine oder die mehreren Hohlräume zwischen den Flügeln in Richtung des Auslasses (18b) bewegen.
  12. Vakuumpumpvorrichtung nach Anspruch 11, wobei die Dichtungsnut (100) eine Bodenfläche aufweist und wobei sich die Poren (120) zur Bodenfläche der Dichtungsnut erstrecken.
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