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DE60221103D1 - Aus Halbleitermaterial hergestellter integrierter Kreisel mit wenigstens einer empfindlichen Achse in der Sensorebene - Google Patents

Aus Halbleitermaterial hergestellter integrierter Kreisel mit wenigstens einer empfindlichen Achse in der Sensorebene

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Publication number
DE60221103D1
DE60221103D1 DE60221103T DE60221103T DE60221103D1 DE 60221103 D1 DE60221103 D1 DE 60221103D1 DE 60221103 T DE60221103 T DE 60221103T DE 60221103 T DE60221103 T DE 60221103T DE 60221103 D1 DE60221103 D1 DE 60221103D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
semiconductor material
sensor plane
sensitive axis
integrated gyroscope
gyroscope made
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
DE60221103T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60221103T2 (de
Inventor
Durante Guido Spinola
Sarah Zerbini
Angelo Merassi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STMicroelectronics SRL
Original Assignee
STMicroelectronics SRL
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Filing date
Publication date
Application filed by STMicroelectronics SRL filed Critical STMicroelectronics SRL
Publication of DE60221103D1 publication Critical patent/DE60221103D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE60221103T2 publication Critical patent/DE60221103T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5733—Structural details or topology
    • G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion
    • G01C19/5747—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion each sensing mass being connected to a driving mass, e.g. driving frames

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