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DE4229461C2 - Festkörperelektrolytkondensator und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Festkörperelektrolytkondensator und Verfahren zu dessen Herstellung

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DE4229461C2
DE4229461C2 DE4229461A DE4229461A DE4229461C2 DE 4229461 C2 DE4229461 C2 DE 4229461C2 DE 4229461 A DE4229461 A DE 4229461A DE 4229461 A DE4229461 A DE 4229461A DE 4229461 C2 DE4229461 C2 DE 4229461C2
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Rohm Co Ltd
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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Festkörperelektro­ lytkondensator und Verfahren zu seiner Herstellung.
Herkömmlich wurden Festkörperelektrolytkondensatoren auf die nachbeschriebene Weise hergestellt:
Zuerst wurde ein Oxidfilm durch anodische Oxidation auf der Oberfläche eines Sinterkörpers aus Ventilmetall, wie z. B. Tantal (Ta), Aluminium (Al) und Niob (Nb) ausgeformt. Dann, nachdem eine Mangannitratwasserlösung auf ihm aufgebracht wurde, wurde eine Mangandioxid (MnO2)-Schicht, die als Elektrolyt dient, auf dem Oxidfilm durch thermische Zerset­ zung des Mangannitrats ausgeformt. Zuletzt wurde eine Gra­ phitschicht und eine Silberschicht zum Bilden einer Elek­ trode auf der Mangandioxidschicht ausgebildet.
Im folgenden wird ein so hergestellter Festkörperelektro­ lytkondensator beschrieben:
Fig. 1 zeigt den Querschnittsaufbau eines Festkörperelek­ trolytkondensators aus Tantal. Fig. 2A bis 2C zeigen Querschnittansichten, die die Art und Weise zeigen, auf welche eine Tantalpentoxidschicht (Ta2O5-Schicht) 11 und eine erste Mangandioxidschicht (erste MnO2-Schicht) 12 auf einem Teil eines porösen Tantal-Sinterkörpers (Ta-Sinter­ körper) 10 des Festkörperelektrolytkondensators von Fig. 1 ausgebildet werden. Eine Sinterkörperschicht 15 in Fig. 1 wird ausgeformt durch Ausbilden der Tantalpentoxidschicht 11 und der ersten Mangandioxidschicht 12 auf der Oberfläche des Tantal-Sinterkörpers 10, wie in Fig. 2A bis 2C gezeigt. Ein Draht 5 aus Tantal, der einen Anschluß bildet, wird elektrisch verbunden und befestigt mit dem Tantal-Sinter­ körper 10 (Fig. 2A). Bei der anodischen Oxidation des Tantal-Sinterkörpers 10, wird die Tantalpentoxidschicht 11 auch auf dem Draht 5 ausgebildet (Fig. 1).
Wie in Fig. 1 gezeigt, wird eine zweite Mangandioxidschicht (zweite MnO2-Schicht) 20 auf der Oberfläche der Sinterkör­ perschicht 15 ausgebildet. Die Schicht 20 bedeckt die äußere Oberfläche des Sinterkörpers 15 und tritt kaum in die Sinterkörperschicht 15 ein. Eine Graphitschicht (Gr-Schicht) 30 und eine Silberschicht (Ag-Schicht) 40 sind auf der zweiten Manganschicht 20 ausgebildet.
Ein auf diese Weise hergestellter Kondensator zeigt die folgenden Probleme:
Erstens ist der herkömmliche Kondensator schwach gegen mechanische äußere Spannungen, da der Sinterkörper aus Ventilmetall eine geringe mechanische Stärke hat. Um Spannungen abzumildern, wird normalerweise die zweite Mangandioxid­ schicht dick ausgebildet (30 bis 40 µm). Da aber die Oxid­ schicht extrem dünn ist (ungefähr ein Zehntel bis Tausend­ stel Angstroem), ist diese schwach für Span­ nungen und kann brechen.
Zweitens hat der herkömmliche Kondensator einen hohen äqui­ valenten Serienwiderstand, da das Mangandioxid, welches als Elektrolyt dient, einen hohen spezifischen Widerstand hat (ungefähr 1 bis 10 Ωcm).
Drittens ist es schwer, die Feuchtigkeitswiderstandseigen­ schaften des Kondensators zu verbessern, da die Mangandio­ xidschicht eine geringe Wasserwiderstandsfähigkeit hat.
Die US 5,005,107 zeigte einen Festkörperelektrolytkondensator mit einer Kathodenschicht, die aus einem Polymer besteht, und einem elektrisch leitfähigem Pulver, das Palladium enthält. In diesem Kondensator werden ein dielektrischer Film aus Tantaloxid, eine Elektrolytschicht aus Mangandioxid und eine Kohlenstoffschicht nacheinander ausgeformt auf einer Anode, die aus einem Tantalsinterkörper mit einem Anodenanschluß gemacht ist. Die Kathodenschicht ist auf einer Oberfläche der Kohlenstoffschicht ausgeformt. Das leitfähige Pulver besteht aus metallischem Palladium oder aus einem Metall und Kohlenstoff, beschichtet mit Palladium, und das Polymer ist ein nichtleitfähiges Methylmethacrylat. Die elektrische Leitfähigkeit der Kathodenschicht hängt ab von der Größe und Form des leitfähigen Pulvers.
Da Palladium chemisch stabil ist, wird ein Einwandern von Metall in die Kathodenschicht unterdrückt. Die Kathodenschicht ist aber nur auf der Seitenfläche und der gegenüberliegenden Fläche zur Anode vorgesehen. Ein Teil der Mangandioxidschicht rund um den Anodendraht ist exponiert, da sie nicht mit dem Polymer bedeckt ist. Deshalb kann der Kondensator einer Zerstörung unterworfen werden durch Langzeitbenutzung oder Speicherung unter hohen Feuchtigkeitsbedingungen.
In der EP 0 501 805 A1 ist ein Verfahren zum Herstellen eines Festkörperelektrolytkondensators beschrieben, der eine Polypyrolschicht aufweist. Entsprechend diesem Verfahren wird eine aus Tantalpulver geschmolzene Anode mit einem Tantaldraht in eine elektrolytische Lösung eingetaucht, die Pyrrolmonomer enthält, und eine elektrolytische Oxidation wird durchgeführt. Durch diese Oxidation wird die Oberfläche der Anode oxidiert, um Tantaloxid als dielektrischen Film zu erzeugen, und die Pyrrolmonomere werden polymerisiert, um eine leitfähige Polypyrrolschicht auf den dielektrischen Film zu erzeugen.
Dies ist eine einfache und herkömmliche Methode zum Herstellen eines Kondensators mit einer leitfähigen Polymerschicht. Es ist aber keine metallische Oxidschicht, die nicht nur als Elektrolyt dient, sondern auch die mechanische Festigkeit des Kondensators verbessert, zwischen dem dielektrischen Film und der leitfähigen Polymerschicht vorgesehen, da der dielektrische Film und die Polymerschicht zur gleichen Zeit erzeugt werden. Der dielektrische Film aus Tantaloxid, der während der elektrolytischen Oxidation produziert wird, ist isolierend und verhindert eine langzeit-elektrolytische Oxidation. Deshalb ist es schwer, eine ausreichend dicke Polymerschicht auszuformen, um den Kondensator mit einer ausreichenden mechanischen Stärke zu versehen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Festkörper­ elektrolytkondensator sowie ein Herstellungsverfahren für diesen anzugeben, wobei der Festkörperelektrolytkondensator exzellente Hochfrequenzeigenschaften und Wasserwiderstandsfähigkeit aufweist und widerstandsfähig gegen mechanische Spannungen ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale des Anspruchs 1.
Bei einem solchen Festkörperelektrolytkondensator ist die mechanische Stärke verbessert, da die leitfähige Hochpoly­ merschicht, die auf der metallischen Oxidschicht vorgesehen ist, welche als Pufferbeschichtung dient, externe mechanische Spannungen absorbiert und verhindert, daß die metallische Oxidschicht bricht. Da die leitfähige Hochpolymer­ schicht im Vergleich zu einer metallischen Oxidschicht einen geringen spezifischen Widerstand hat, sinkt der äquivalente Serienwiderstand bei hohen Frequenzen.
Verfahren zur Herstellung von Festkörperelektrolytkondensatoren gemäß der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen 7, 8 und 9.
Im folgenden werden Ausführungsformen der Erfindung unter Bezugnahme auf die Figuren beschrieben. Es zeigen
Fig. 1 einen Querschnitt der Struktur eines herkömmlichen Festkörperelektrolytkondensators;
Fig. 2A bis 2C die Ausgangsstruktur eines Sinterkörpers wie er bei einem herkömmlichen Kondensator und bei der Erfindung Verwendung findet;
Fig. 3A bis 3I den Herstellungsprozeß des erfindungsgemäßen Festkörperelektrolytkondensators nach einem ersten Verfahren und einen Festkörperelektrolytkondensator, der nach diesem Verfahren hergestellt wurde;
Fig. 4A bis 4I ein zweites Verfahren zum Herstellen eines erfindungsgemäßen Festkörperelektrolytkondensators und einen Festkörperelektrolytkondensator, der nach diesem Verfahren hergestellt wurde.
Fig. 5A bis 5H ein drittes Verfahren zum Herstellen eines erfindungsgemäßen Festkörperelektrolytkondensators und einen Festkörperelektrolytkondensator, der nach diesem Verfahren hergestellt wurde.
Ausführungsformen der Erfindung werden im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Teile, die denen von Fig. 1 und 2A bis 2C entsprechen, sind mit glei­ chen Bezugszeichen bezeichnet, und eine detaillierte Be­ schreibung dieser Teile wird weggelassen.
Fig. 3A bis 3I zeigen den Herstellungsprozeß eines Fest­ körperelektrolytkondensators, der eine erste Ausführungs­ form der Erfindung ist.
Zuerst wird ein Tantal-Sinterkörper 10 (Fig. 3A) in eine wäßrige Phosphorlösung von 0,1 Gew.-% einge­ taucht, und durch anodische Oxidation über zwei oder drei Stunden (bei 100 bis 200 V) wurde eine Tantalpentoxidschicht (Ta2O5) 11 auf der Oberfläche des Tantal-Sinterkörpers 10 und einem Teil der Oberfläche des Drahtes 5 ausgebildet, wie in Fig. 3B gezeigt.
Dann wurde nach Waschen in reinem Wasser der anodisch-oxi­ dierte Tantal-Sinterkörper 10 in eine wäßrige Manganni­ tratlösung von 40 bis 60 Gew.-% eingetaucht. Dann, nachdem das Wasser verdampft war, wurde das Mangannitrat thermisch bei 200 bis 300°C zersetzt. Der Prozeß, in welchem die wäßrige Mangannitratlösung auf den Tantal-Sinterkörper 10 aufgebracht und thermisch zersetzt wurde, wurde fünfmal wiederholt. Als Folge, wie in Fig. 3C gezeigt, wurde eine Mangandioxidschicht 12 auf der Tantalpentoxidschicht 11 (Fig. 3B) ausgebildet und der Tantal-Sinterkörper 10 umge­ wandelt in eine Sinterkörperschicht 15, und daraufhin, wie in Fig. 3B gezeigt, wurde eine zweite Mangandioxidschicht 20 auf der Sinterkörperschicht 15 ausgebildet.
Ein Muster eines herkömmlichen Kondensators wurde ebenfalls nach dem Prozeß von Fig. 3A bis 3D hergestellt, um sie mit einem Muster gemäß der Erfindung in den nachbeschriebenen Tests zu vergleichen. Der Eintauchprozeß und die thermi­ sche Zersetzung wurden jeweils zehnmal wiederholt. Bei den ersten sieben Eintauchprozessen wurde die Mangandioxid­ schicht 12 im wesentlichen auf der inneren Fläche des Sin­ terkörpers gebildet. In den darauf folgenden drei Eintauch­ prozessen wurde die zweite Mangandioxidschicht im wesentli­ chen auf der externen Oberfläche des Sinterkörpers ausge­ bildet durch Verwendung von Manganlösungen mit unterschied­ lichen spezifischen Gewichten.
Während die ersten und zweiten Mangandioxidschichten 12 und 20 in dieser Ausführungsform durch Benutzung einer wäßrigen Mangannitratlösung ausgebildet wurden (da es mög­ lich ist, den Spannungswiderstand durch Ausbildung der nachbeschriebenen Polypyrrolschicht 50 zu verbessern, kön­ nen sie auch durch zwei Eintauchprozesse ausgebildet wer­ den) gelangte man durch Benutzung von wäßrigen Mangannitratlösungen un­ terschiedlicher spezifischer Gewichte ähnlich zum herkömm­ lichen Kondensator.
Dann wurde eine leitfähige Paste 6, wie in Fig. 3E gezeigt, auf einem Teil des Drahtes 5 aufgebracht, um den Draht 5 elektrisch mit der zweiten Mangandioxidschicht 20 zu ver­ binden.
Es ist unmöglich, die im folgenden beschriebene Polypyrrol­ schicht 50 (Fig. 3G) elektrisch auf der zweiten Mangandio­ xidschicht 20 auszubilden, ohne vorsehen der leitfähigen Paste 6. Dies liegt daran, daß es unmöglich ist, die leitfähige Hochpolymerschicht auszubilden, da die Tantalpentoxid­ schicht 11, welche ein Isolator ist, zwischen dem Draht 5 und der ersten und zweiten Mangandioxidschicht 12 und 20 ausgebildet ist. Beim Ausbilden einer leitfähigen Hochpoly­ merschicht wie einer Polypyrrolschicht 50 durch Durchführen einer elektrolytischen Oxidationspolymerisation, wird, da es nötig ist, daß die zweite Mangandioxidschicht 20 eine Anode ist, die leitfähige Paste 6 zum Ausbilden einer Elek­ trode auf einem Teil des Drahtes 5 aufgebracht, nachdem in dieser Ausführungsform die erste und zweite Mangandioxid­ schicht 12 und 20 ausgebildet wurden. Als leit­ fähige Paste 6 kann eine Paste aus Graphit benutzt werden.
Dann wurde die Polypyrrolschicht 50 mit einer Dicke von un­ gefähr 30 µm, wie in Fig. 3G gezeigt, ausgebildet durch Durchführung einer elektrolytischen Oxidationspolymerisa­ tion bei 100 µA und zwar für dreißig bis sechzig Minuten pro Sinterkörper durch Anlegen des Pluspoles an den Draht 5 und des Mi­ nuspols an eine Wanne 8 mit der elektrolytischen Lösung 7, wie in Fig. 3F gezeigt. Die Dicke der Polypyrrolschicht 50, welche eine Hochpolymerschicht ist, kann dabei gesteuert werden durch Einstellen der Stromstärke (Coulomb-Menge).
In dieser Ausführungsform wurde Pyrrol mit 0,5 bis 1 Gew.-% als Monomer verwendet, welches das Grundmaterial von Poly­ pyrrolschicht 50 ist; Acetonitril als Medium; und eine elektrolytische Lösung, bestehend aus p-Toluolsulfinsäure­ tetraethyl-ammonium mit 0,5 bis 1,0 Gew.-%, als Trägerelek­ trolyt.
Pyrrol, Furan und Thiophen können als Monomer benutzt wer­ den, welches das Grundmaterial der leitfähigen Hochpolymer­ schicht ist. Polymere aus diesen Monomeren waren herkömm­ lich bekannt als leitfähige Hochpolymere. Jedes Monomer kann im Prinzip benutzt werden, solange es ein leitfähiges Polymer bildet. Es ist aber vorzuziehen, Pyrrol zu verwenden, da Pyrrol eine Poly­ pyrrolschicht bildet mit geringem elektrischen Widerstand.
Ein polares aprotisches Lösungsmittel, wie das oben er­ wähnte Acetonitril, kann als Medium verwendet werden. Als Material, welches ein univalentes Anion erzeugt (wie das oben erwähnte p-Toluolsulfinsäure-tetraethyl-ammonium), kann als Trägerelektrolyt verwendet werden. Die Polypyrrol­ schicht 50 dient als Pufferbeschichtung, d. h. als Puffer­ teil zum Abfangen der Spannungen vom gegossenen Teil und zum Verbessern der Wasserwiderstandseigenschaften durch Verhindern von Eindringen von Wasser von außen.
Nach der Vervollständigung der Ausbildung der Polypyrrol­ schicht 50 wurde die leitfähige Paste 6 mit Pinzetten ent­ fernt, wie in Fig. 3H gezeigt. Die leitfähige Paste 6 kann durch jede herkömmliche bekannte physikalische oder chemi­ sche Methode entfernt werden, wie z. B. durch eine, die ein Plasma benutzt. Die leitfähige Paste 6 kann zu jedem Zeit­ punkt entfernt werden, nachdem die Polypyrrolschicht 50 ausgebildet ist. Als letz­ tes wurde eine Graphitschicht 30 durch Eintauchen des Sin­ terkörpers in eine Graphitlösung ausgebildet und eine Sil­ berschicht wurde ausgebildet durch Aufbringen von Silberpa­ ste auf den Sinterkörper, wie in Fig. 3I gezeigt. Die ex­ ternen metallischen Schichten können nach einem Verfahren hergestellt werden, wie es herkömmlich bekannt ist zur Her­ stellung eines Festkörperelektrolytkondensators. Bei dem oben erwähnten Muster eines herkömmlichen Festkör­ perelektrolytkondensators wurde in gleicher Weise die Gra­ phitschicht 30 und die Silberschicht 40 auf der zweiten Mangandioxidschicht 20 ausgeformt.
Für die Festkörperelektrolytkondensatoren-Proben, die durch die oben beschriebene Methode erhalten wurden, wurden die folgenden Leistungstests durchgeführt. Die Testergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt, zusammen mit denen der Ergebnisse eines herkömmlichen Kondensators.
Lasttest
Festkörperelektrolytkondensatoren haben den fatalen Nach­ teil, daß sie durch Kurzschlüsse "durchbrennen", wenn ihre Oxidschicht (Ta2O5-Schicht) 11 aufgrund von externen physi­ kalischen Belastungen zusammenbricht. Um die mechanische Festigkeit zu überprüfen, wurde ein Belastungstest ausgeführt, bei welchem untersucht wurde, bei welcher Last der Konden­ sator zusammenbricht. Wie in Fig. 1 gezeigt, war der Kon­ densator der ersten Ausführungsform widerstandsfähig gegen Lasten bis mindestens 20 Einheiten, während der herkömmliche Kon­ densator nur Lasten von 5 bis 10 Einheiten aushielt.
Messung des äquivalenten Serienwiderstandes bei hohen Fre­ quenzen
Der äquivalente Serienwiderstand der Probe bei hohen Fre­ quenzen (100 KHz) (Hochfrequenz ESR) wurde gemessen.
Messung der Feuchtigkeitswiderstandseigenschaften
Die Probe wurde in einem Raum von konstanter Luftfeuchtig­ keit (85°C, 25%) belassen. Die Kapazität C zum Startzeit­ punkt des Testes und die Kapazitätsänderung ΔC nach 500 Stunden wurden gemessen, um die Kapazitätsänderungsrate ΔC/C zu erhalten.
Thermischer Schocktest
Die Ergebnisse eines Temperaturzyklustests (-55°C, 30 Mi­ nuten; 125°C, 30 Minuten) sind in Tabelle 1 gezeigt.
Ein Festkörperelektrolytkondensator hat die Eigenschaft, daß er durch einen Kurzschluß durchbrennt, wenn sein Oxid­ film (Ta2O5)-Schicht 11 gebrochen wird durch Spannungen, die durch Temperaturänderungen verursacht sind. Spannungs­ widerstandseigenschaften des Kondensators können daher herausge­ funden werden durch Untersuchung, bei welchem Ausmaß von Temperatur- Schocks der Kondensator in den Kurzschlußzustand aufgrund der Änderung der elektrischen Eigenschaften im thermischen Schocktest gebracht wird.
Fig. 4A bis 4I zeigen den Herstellungsprozeß eines Fest­ körperelektrolytkondensators, welcher eine zweite Ausfüh­ rungsform der vorliegenden Erfindung darstellt.
Die Beschreibung der Verfahrensschritte der Fig. 4A bis 4D wird ausgelassen, da diese Schritte die gleichen sind, wie bei den Fig. 3A bis 3D.
Wie oben erwähnt, ist es unmöglich, die Polypyrrolschicht 50 elektrisch auf der zweiten Mangandioxidschicht 20 auszu­ bilden, da die Tantalpentoxidschicht 11, welche ein Isola­ tor ist, zwischen dem Draht 5 und der ersten und zweiten Mangandioxidschicht 12 und 20 ausgebildet ist. Deshalb ist es nötig (um sie elektrisch auszubilden), daß die zweite Mangandioxidschicht 20 als Anode wirken muß. In dieser Aus­ führungsform wurde daher eine erste Graphitschicht 31 ausgebildet wie in Fig. 4E gezeigt, durch Eintauchen des Sinterkörpers tief in eine Graphitlösung, bis der Draht 5 eingetaucht ist. Als Folge wird ein ähnlicher Effekt erzielt wie durch die Aufbringung der leitfähigen Paste 6 im ersten Ausführungsbeispiel.
Dann wird, wie in Fig. 4F gezeigt, die Polypyrrolschicht 50 mit einer Dicke von etwa 30 µm ausgebildet durch eine elek­ trolytische Oxidationspolymerisation ähnlich der ersten Ausführungsform (Fig. 3F und 3G).
Nach der Ausbildung der Polypyrrolschicht 50 wurde der Teil der ersten Graphitschicht 31, der der Polypyrrolschicht 50 ausgesetzt war und in Kontakt mit dem Draht 5 war, und die zweite Mangandioxidschicht 20 mit einer Pinzette entfernt. Die Graphitschicht 31 kann durch Benutzung bekannter physikalischer oder chemischer Prozesse entfernt wer­ den, ähnlich der Entfernung der leitfähigen Paste 6 in der ersten Ausführungsform. Sie kann jederzeit entfernt werden, nachdem die Polypyrrolschicht 50 ausgebildet ist.
Zuletzt, wie in Fig. 4I gezeigt, wurde eine zweite Graphit­ schicht 32 in ähnlicher Weise wie die Graphitschicht 30 der ersten Ausführungsform ausgebildet (Fig. 3I) und die Sil­ berschicht 40 wurde in gleicher Weise wie beim ersten Aus­ führungsbeispiel (Fig. 3I) ausgebildet.
Als Ergebnis der Durchführung der oben erwähnten Leistungs­ tests für Festkörperelektrolytkondensatoren nach der oben beschriebenen Methode wurden die gleichen Ergebnisse wie für die erste Ausführungsform erhalten.
Die zweite Graphitschicht 32 wurde innerhalb der Silber­ schicht 40 ausgebildet, um den Kontaktwiderstand zur Poly­ pyrrolschicht 50 zu reduzieren, ähnlich wie in der ersten Ausführungsform.
Die Fig. 5A bis 5H zeigen ein Herstellungsverfahren eines Festkörperelektrolytkondensators, welcher eine dritte Aus­ führungsform der Erfindung darstellt.
Eine Beschreibung der Schritte gemäß Fig. 5A bis 5D wird weggelassen, da die Schritte die gleichen sind wie in den Fig. 3A bis 3D.
Während bei der ersten und zweiten Ausführungsform die Po­ lymerisation des Pyrrols durch elektrolytische Oxidations­ polymerisation durchgeführt wurde, wurde sie in dieser Aus­ führungsform durch die nachbeschriebene chemische Polymeri­ sationsmethode durchgeführt.
Zuerst wurde, nachdem die zweite Manganschicht 20, wie in Fig. 5D gezeigt, ausgebildet worden war, der Sinterkörper bei 252,5°C für fünf Minuten in eine elektrolytische Lö­ sung 7 ähnlich der der ersten Ausführungsform eingetaucht, wie in Fig. 5E gezeigt. Dann, wie in Fig. 5F gezeigt, wurde er bei 50°C für dreißig Minuten in Schwefelsäureat­ mosphäre A polymerisiert. Die Atmosphäre ist nicht begrenzt auf Schwefelsäureatmosphäre. Jede Atmosphäre kann benutzt werden, solange sie eine saure Umgebung darstellt. "Saure Umge­ bung" meint "saure Atmosphäre" in der Gasphase und "saure Lösung" in der flüssigen Phase. Die vorbeschriebene Imprä­ gnation und Polymerisation wurde ein oder mehrere Male wie­ derholt, um die Polypyrrolschicht 50 mit einer Dicke von ungefähr 30 µm auszubilden (Fig. 5G).
Da jedoch der Widerstand der ausgebildeten Polypyrrolschicht 50 höher ist, als der der Polypyrrolschicht, die durch elek­ trolytische Oxidationspolymerisation ausgebildet ist, wird die Polymerisation vorzugsweise durch elektrolytische Oxi­ dationspolymerisation durchgeführt.
Zuletzt, wie in Fig. 5H gezeigt, werden die Graphitschicht 30 und die Silberschicht 40 in gleicher Weise wie in der ersten Ausführungsform ausgebildet (Fig. 3I).
Als Resultat der Durchführung der oben beschriebenen Lei­ stungstests für den nach der oben beschriebenen Methode hergestellten Festkörperelektrolytkondensator, wurden die gleichen Resultate erzielt wie für die erste Ausführungs­ form.
Auch wenn in den oben beschriebenen Ausführungsformen der Elektrolyt aus Mangandioxid besteht, kann ein metallisches Oxid wie Bleioxid oder Lithiumoxid statt des Mangandioxids verwendet werden. Wenn diese metallischen Oxide verwendet wurden, um die metallische Oxidschicht zu bilden, wurden Ergebnisse erhalten, welche die gleichen waren, wie die, bei denen Mangandioxid benutzt wurde.
Tabelle 1

Claims (9)

1. Festkörperelektrolytkondensator mit
einem Sinterkörper (10) aus Ventilmetall und mit einem Anschluß (5),
einem dielektrischen Film (11), der auf der Außenseite des gesinterten Körpers (10) ausgebildet ist und
einer metallischen Oxidschicht (12, 20), die auf der Oberfläche des dielektrischen Films (11) ausgebildet ist,
dadurch gekennzeichnet, daß eine organische Schicht (50) aus einem leitfähigen Polymer auf dem Umfang der metallischen Oxidschicht (12, 20) vorgesehen ist.
2. Kondensator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die organische Schicht (50) den gesamten Umfang des Sinterkörpers (10) bis zum Anschluß mit dem Anschlußdraht (5) bedeckt.
3. Kondensator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Graphitschicht (31) ausgebildet ist zwischen der metallischen Oxidschicht (12, 20) und der organischen Schicht (50).
4.Kondensator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die organische Schicht eine Polypyrrolschicht ist.
5. Kondensator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die metallische Oxidschicht eine Mangandioxidschicht ist.
6. Kondensator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Graphitschicht (30, 32) auf der Oberfläche der organischen Schicht (50) ausgebildet ist und eine metallische Schicht (40) auf der Oberfläche der Graphitschicht (30, 32) ausgebildet ist.
7. Verfahren zur Herstellung eines Festkörperelektrolytkondensators mit einer organischen Schicht (50) aus einem leitfähigen Polymer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
ein dielektrischer Film (11) auf der Oberfläche des Sinterkörpers (10) aus Ventilmetall und einem Teil eines Anschlußdrahtes (5), der am Sinterkörper (10) vorgesehen ist, ausgebildet wird,
eine metallische Oxidschicht (12, 20) auf der Oberfläche des dielektrischen Film (11) ausgebildet wird, so daß ein Teil des dielektrischen Films (11) unbedeckt bleibt,
eine leitfähige Paste (6) zwischen dem Anschlußdraht (5) und der metallischen Oxidschicht (10, 20) über den unbedeckten Teil des dielektrischen Films (11), aufgebracht wird,
der gesinterte Körper (10) mit der aufgebrachten leitfähigen Paste (6) in einer elektrolytischen Lösung (7) benetzt wird, die eine organische Verbindung enthält, die ein leitfähiges Polymer bilden kann, und
eine elektrolytische Oxidationspolymerisation der organischen Verbindung durchgeführt wird unter Benutzung des Anschlußdrahtes (5) als Anode, so daß die organische Schicht (50) auf einer Oberfläche der metallischen Oxidschicht (10, 12) ausgebildet wird.
8. Verfahren zur Herstellung eines Festkörperelektrolyten mit einer organischen Schicht (50) aus einem leitfähigen Polymer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
ein dielektrischer Film (11) auf einer Oberfläche eines Sinterkörpers (10) aus Ventilmetall und einem Teil eines Anschlußdrahtes (5), der am Sinterkörper (10) vorgesehen ist, ausgebildet wird,
eine metallische Oxidschicht (12, 20) ausgebildet wird auf einer Oberfläche des dielektrischen Films (11), so daß ein Teil des dielektrischen Film (11) unbedeckt bleibt,
eine Graphitschicht (31) auf der metallischen Oxidschicht (12, 20) und dem Anschlußdraht (5) über den nichtbedeckten Teil des dielektrischen Films (11) ausgebildet wird,
der Sinterkörper (10) mit der ausgebildeten Graphitschicht (31) in einer elektrolytischen Lösung (7) benetzt wird, die eine organische Verbindung enthält, die ein leitfähiges Polymer formen kann, und
eine elektrolytische Oxidationspolymerisation unter Verwendung des Anschlusses (5) als Anode durchgeführt wird, so daß die organische Schicht (50) auf einer Oberfläche der Graphitschicht (31) ausgeformt wird.
9. Verfahren zur Herstellung eines Festkörperelektrolytkondensators mit einer organischen Schicht (50) aus einem leitfähigen Polymer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
ein dielektrischer Film (11) auf der Oberfläche eines gesinterten Körpers (10) aus Ventilmetall und einem Teil des Anschlußdrahtes (5), der auf dem gesinterten Körper (10) vorgesehen ist, ausgeformt wird,
eine metallische Oxidschicht (12, 20) ausgeformt wird auf einer Oberfläche des dielektrischen Films (11),
eine organische Verbindung, die ein leitfähiges Polymer ausformen kann, angebracht wird auf einer Oberfläche der metallischen Oxidschicht (12, 20) durch Benetzen des Sinterkörpers (10), der mit der metallischen Oxidschicht (12, 20) versehen ist, in einer Lösung (7), die eine organische Verbindung enthält, und
eine chemische Polymerisation der organischen Verbindung durchgeführt wird in einer sauren Atmosphäre (A), so daß die organische Schicht (50) auf der Oberfläche der metallischen Oxidschicht (12, 20) ausgeformt wird.
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