DE3919895C2 - Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten der Innenflächen von Bohrungen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bearbeiten der Innenflächen von Bohrungen in Werkstücken, bei dem ein mit Schleifmittelbelag belegtes Werkzeug gleichzeitig eine Drehbewegung, eine axiale Hubbewegung, und ferner eine den genannten Bewegungen überlagerte Oszillation ausführt.

Ein derartiges Verfahren ist aus der Veröffentlichung "Frequenz-Honen für hohe Abtragraten" aus der Zeitschrift "Werkstatt und Betrieb", 118 (1985), 7, Seiten 393-395 (vgl. insbesondere Seite 394, Ziff. 4.1), bekannt. Dort wird der aus Drehbewegung und axialer Hubbewegung gebildeten schraubenlinienförmigen Grundbewegung des Honvorgangs eine oszillierende Relativbewegung überlagert. Dadurch wird eine Erhöhung der Schnittgeschwindigkeit (beim Vorwärtshub) und ein Selbstschärfen der Honsteine (beim Rückwärtshub) erreicht. Die Erzeugung der oszillierenden Relativbewegung erfolgt bei einer nach diesem Verfahren arbeitenden Vorrichtung über zwei Hydraulikzylinder. Daraus läßt sich, obwohl in der genannten Druckschrift genauere Angaben nicht gemacht worden sind, schließen, daß es sich bei dieser dritten Bewegungskomponente um eine Bewegung mit einer Frequenz von höchstens einigen 100 Hz handelt, wobei die Honsteine hydromechanisch mit konstantem Druck angepreßt werden.

Aus der US-Patentschrift 29 39 250 ist ein als "Resonanzhonen" bezeichnetes Verfahren bekanntgeworden, das mit einem Honwerkzeug arbeitet, dessen mit Schneidmittelbelag belegte Honleisten dadurch in radialer Richtung verstellbar sind, daß ihre schrägen Zustellflächen mit entsprechend schrägen Zustellflächen einer Zustellstange zusammenwirken. Die Zustellstange wird dabei durch eine sie umgebende Spule einem oszillierenden elektromagnetischen Feld ausgesetzt, was als Folge einer Magnetostriktion entsprechende periodische Längenveränderungen der Zustellstange zur Folge hat. Daraus resultieren über den genannten Verstellmechanismus entsprechende periodische Druckbeaufschlagungen der Honleisten. Sie dienen ausschließlich der Vermeidung von Werkstoffablagerungen zwischen den Schneidkristallen an der Honleistenoberfläche.

Ein zweites Ausführungsbeispiel, das in derselben Druckschrift beschrieben ist, erzeugt eine Schwingung der Kühlflüssigkeit zwischen der inneren Oberfläche der Bohrung und den Steinen des Schleifmittelbelages des Werkzeuges dadurch, daß die Plattform, auf der das Werkstück befestigt ist, in eine schnelle Auf- und Abwärtsbewegung versetzt wird. Zu diesem Zweck ist die Plattform mit einer Schwingungserregervorrichtung versehen, die eine mit einer elektromagnetischen Oszillation erregte Spule aufweist. Diese Oszillation soll zum Zusammenbrechen stumpf gewordener Schleifkörner und damit zur Selbstschärfung der Honleisten führen. Angaben zur Frequenz der Schwingung werden nicht gemacht; aufgrund der mechanischen Gegebenheiten läßt sich aber vermuten, daß sie auch in diesem Fall bei einigen 100 Hz liegt. Für höhere Frequenzen wäre der gezeigte Verstellmechanismus (Fig. 2) bzw. die Anordnung der Plattform mit Werkstück (Fig. 3) zu träge.

In der US-Patentschrift 29 39 251 ist, ebenfalls mit dem Ziel des ständigen Selbstschärfens der Körner des Schneidbelages, ein Verfahren beschrieben, bei dem dem Werkstück (vgl. Fig. 2) oder dem Werkzeug (vgl. Fig. 9) eine dritte Schwingung erteilt wird, die im Bereich von 20 bis 100 000 Hz, vorzugsweise oberhalb des hörbaren Bereiches liegt, um störende Geräusche für die Umgebung zu vermeiden. Es handelt sich aber auch dabei um elektromagnetisch erregte Schwingungen, die mit Hilfe von Spulen erzeugt werden, die den Werkzeughalter entsprechend hin und her bewegen. Angaben zur freien Werkzeuglänge sind nicht gemacht.

Bei dem sogenannten Superfinishen (auch: Außenhonen) im Durchlaufverfahren wird den rotationssymmetrischen Werkstücken eine Drehbewegung erteilt, während auf der Außenfläche ein Honstein aufsitzt, dem eine hochfrequente Schwingbewegung parallel zur Drehachse des Werkstückes erteilt wird (DE 35 33 082 A1). Die Schwingungen, die dabei eingesetzt werden, haben in aller Regel Frequenzen von bis zu 3000 Schwingungen pro Minute, d. h. von bis zu 50 Hz. Zur Verbesserung des Werkstückabtrags hat man bei dem Verfahren nach der genannten Druckschrift versucht, schrittweise vorzugehen und zwischen den einzelnen Schritten, jeweils nach einem bestimmten erzwungenen Zustellweg, den Superfinishstein ausfeuern lassen.

Im Zusammenhang mit dem Superfinishen, d. h. der Bearbeitung der Außenflächen von rotationssymmetrischen Werkstücken, hat man auch bereits versucht, Ultraschallwellen zur Reinigung der Honsteine einzusetzen (vgl. DE-AS 24 35 848). Dabei wird die Ultraschallschwingung jedoch nicht dem Werkzeug aufgezwungen, sondern vielmehr über das Medium Spülmittel-Flüssigkeit in die Fläche zwischen Werkzeug und Werkstück eingestrahlt, um die Loslösung und das Ausspülen des stumpfen bzw. abgebrochenen Korns zu fördern.

Das sogenannte "Ultraschall-Erodieren" betrifft technologisch nicht die Bearbeitung der Innenflächen von Bohrungen, sondern vielmehr das Einbringen von Bohrungen überhaupt mittels ultraschallerregter Bearbeitungsköpfe. Man hat dieses Verfahren auch bereits mit Bohrmaschinen kombiniert (vgl. US-PS 3 614 484 und 4 828 052). Damit gelingt es, Bohrungen in Materialien einzubringen, die für das normale Bohren zu hart sind. Es handelt sich dabei aber nicht um das Nacharbeiten der Innenflächen bereits eingebrachter Bohrungen durch an der Oberfläche gebundenes Korn, sondern um das Einbringen von Bohrungen in Vollmaterial mit losem Korn (siehe den Hinweis auf eine "abrasive slurry" in der US-PS 4 828 052, Sp. 1, Z. 25 und Sp. 4, Z. 45-50).

Durch das DE-GM 88 14 470.4 ist ein "Ultraschallbearbeitungswerkzeug" bekanntgeworden. Es besteht aus einer Sonotrode 1 und einer Nabe 2, wobei letztere am Stirnende eines Verstärkers montiert ist. Dieses Ultraschallbearbeitungswerkzeug dient zum Ultraschallbohren, und es besitzt infolgedessen eine rohrförmige Werkzeugkrone. Beim Ultraschallbohren wird die Bohrung im Werkstück durch den Bohrvorgang erstellt.

Das eingangs erwähnte Verfahren ist nicht auf die Erstellung einer Bohrung in einem Werkstück gerichtet, sondern auf die Bearbeitung der Innenflächen von Bohrungen in Werkstücken, d. h. die Bohrungen wurden zuvor in einer anderen bekannten Weise erstellt und sie sollen mit dem erfindungsgemäßen Verfahren gewissermaßen fertig bearbeitet werden.

Das Ultraschallbearbeitungswerkzeug des DE-GM 88 14 470.4 führt eine ultraschallerregte Zustellbewegung bei einer Arbeitsfrequenz von z. B. 20 kHz durch. Der Druckschrift ist jedoch kein Hinweis zu entnehmen, daß man dieser Bewegung noch irgendeine weitere Bewegung überlagern kann. Durch die spezielle Ausbildung dieses Ultraschallbearbeitungswerkzeugs "wird an der Sonotrode eine Verstärkung der Schwingungsamplitude erreicht". Außerdem wird noch darauf hingeweisen, daß man durch die zentrale Bohrung der Sonotrode beim ultraschallunterstützten Schleifen eine Spülflüssigkeit, z. B. Wasser, zuführen kann.

Beim gattungsgemäßen Verfahren führt das mit einem Schleifmittel belegte Werkzeug gleichzeitig eine Drehbewegung, eine axiale Hubbewegung und eine diesen Bewegungen überlagerte Oszillation durch. Aus diesem Grunde ist dieses Verfahren zum Honen von Bohrungen geeignet. Dabei wird die Abtragsleistung zumindest weitgehend durch die Mantelfläche des Werkzeugs erreicht. Demgegenüber arbeitet beim Ultraschallbohren gemäß dem erwähnten Gebrauchsmuster primär die Stirnfläche des Werkzeugs so wie bei einem kreisringförmigen Hohlbohrer. Im übrigen ist das vorbekannte Ultraschallbearbeitungswerkzeug schon deshalb nicht für das Hochfrequenzhonen vorgesehen, weil man dabei die einen Teil des Werkzeugs darstellende Nabe nicht benötigt. Des weiteren wird beim Ultraschallhohnen auch keine zentrische oder anderweitige Bohrung für die Zuführung einer Suspension an die Bearbeitungsstelle benötigt, weil bei diesem Arbeitsverfahren keine Unterstützung durch eine Suspension erforderlich ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, bei dem besser als bei seitherigen Verfahren und Vorrichtungen eine erhebliche Verbesserung der bearbeiteten Bohrungen erzielt werden kann und Fehler (Vorweiten, Konizität, Tonnenform) korrigiert werden können.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß die Oszillation des Werkzeugs durch eine Ultraschallschwingung im Bereich von 16 bis 40 kHz angeregt wird und daß die freie Werkzeuglänge ab Einspannstelle des Schwingungserregers im Falle der Ausbildung des Schwingungserregers als Passivschwinger ein ganzzahliges Vielfaches der halben Wellenlänge und im Falle der Ausbildung als Aktivschwinger ein ganzzahliges Vielfaches der Viertelwellenlänge beträgt.

Vorteilhafte Weiterbildungen des Verfahrens und der Vorrichtung sind in den Unteransprüchen definiert.

Das Wesentliche der Erfindung beruht also darin, dem normalen, durch eine axiale Hubbewegung und Drehbewegung gekennzeichneten Honverfahren eine weitere Bewegung, nämlich eine hochfrequente Oszillation, insbesondere ultraschallerregt, zu überlagern, wobei diese zusätzlich überlagerte Schwingung sowohl in axialer Richtung, d. h. in Richtung der Hubbewegung, als auch in tangentialer Richtung, d. h. in Richtung der Drehbewegung des Honwerkzeuges erfolgen kann. Beide Überlagerungen können auch miteinander kombiniert werden. Dabei kann sowohl das Honwerkzeug als auch das Werkstück in Oszillation versetzt werden. Die Schwingungen erfolgen im Ultraschallbereich mit Frequenzen von 16 bis 40 kHz und mit Amplituden von 5 bis 100 µm. Man kann dabei die Dorn-Honwerkzeuge als auch Leisten-Honwerkzeuge verwenden. Die Zustellung des Honwerkzeuges auf die zu bearbeitende Fläche, d.h. radial (bezogen auf die Drehbewegung) kann durch Drehung einer Zustellstange der Honmaschine erfolgen, sofern gewährleistet ist, daß die zur Zustellung erforderliche Drehbewegung nicht die Ultraschall-Schwingung vom Werkzeug auf die Honmaschine zurücküberträgt. Es müssen also Kupplungselemente ohne axialen Kraftschluß vorgesehen sein.

Als Erreger für die überlagerte Hochfrequenzschwingung dienen Schwingungserreger bekannter Bauart. Die Verbindung des Werkzeugs bzw. des Werkzeugkörpers an den Schwingungserreger und/oder Amplitudenverstärker erfolgt über eine Konusverbindung oder über einen Gewindeanschluß. Die Kühlmittelzuführung (Wasser oder wassermischbare Kühlschmierstoffe) erfolgt konventionell von außen her. Die Verwendung von Öl erscheint dabei nicht vorteilhaft, da aufgrund der Viskosität des Schmieröls die Ultraschall-Schwingung gedämpft werden könnte.

Die Bearbeitung kann sowohl mit gebundenem und/oder losem Korn erfolgen. Bei Verwendung von losem Korn wird das abrasive Material über eine Suspension in die Werkstückbohrung geleitet. In jedem Fall ist die Verwendung von Kühlmittel erforderlich.

Die wesentlichen Vorteile dieses Verfahrens bestehen im Erreichen höherer geometrischer Genauigkeiten der bearbeiteten Bohrung, insbesondere hinsichtlich der Zylinderform, der Geradheit und der Rundheit. Darüberhinaus wird durch die hochfrequente Oszillation sichergestellt, daß die Diamant-Schneidbeläge sich nicht mit dem abgespanten Werkstoff zusetzen. Die Bearbeitung ist vollständig automatisierbar; es ergeben sich günstigere Bearbeitungszeiten und eine Erhöhung der Werkzeugstandzeiten.

Die freie Werkzeuglänge, d.h. der Werkzeugteil, der sich außerhalb der Einspannstelle des Schwingungserregers bzw. des Amplitudenverstärkers der Honmaschine befindet, beträgt im Fall eines Aktivschwingers ein ganzzahliges Vielfaches der halben Wellenlänge der anregenden Frequenz. Bei Ausbildung des Werkzeugs als Passivschwinger beträgt die freie Werkzeuglänge maximal ein ganzzahliges Vielfaches der Viertelwellenlängen. Grundsätzlich ist zu beachten, daß Werkzeug und Werkzeugaufnahme so ausgelegt werden, daß die Massenkonzentration und etwaige bewegliche Bauteile in Schwingungsknoten angeordnet sind.

Bei der Auswahl der Bewegungen im einzelnen sind verschiedene Variationen möglich. Die Rotation kann durch Links- bzw. Rechtslauf des Werkzeuges, aber auch des Werkstückes gegeben sein. Ebenso kann Hubbewegung sowohl durch das Werkzeug als auch durch das Werkstück ausgeführt werden. Gleichermaßen ist auch die Ultraschall-Erregung sowohl am Werkzeug als auch am Werkstück möglich. Das gilt für die Longitudinal- und auch Torsionsschwingungen, sowie für beliebig ausgebildete Formen der Überlagerung.

Ausführungsbeispiele der Erfindung und ihrer vorteilhaften Weiterbildungen werden im folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen beschreiben. Es stellen dar:

Fig. 1 die Kinematik;

Fig. 2 eine für das Verfahren geeignete Vorrichtung, einschließlich Werkzeug;

Fig. 3 die Vorrichtung an einer Honmaschine.

Fig. 1 zeigt ein Werkzeug 1, das wie üblich eine Drehbewegung, entsprechend Pfeil 2, und eine Hubbewegung, entsprechend Pfeil 3 ausführt. Beide Bewegungen können nun, entweder alternativ oder kumuliert, jeweils mit einer hochfrequenten Oszillation überlagert sein. Im Falle der Drehbewegung ist diese überlagerte Ultraschallschwingung durch die Pfeile 21 und 22 veranschaulicht; es handelt sich um eine Tangentialoszillation entlang des Umfangs des Werkzeuges 1; im Falle der Hubbewegung 3 ist diese Oszillation durch die Pfeile 32 und 33 veranschaulicht, es handelt sich um eine Axial-Oszillation des Werkzeuges 1, bezogen auf seine Drehrichtung. Das Werkstück 4 weist eine Bohrung 5, die bearbeitet wird, auf. Im dargestellten Fall hat die Bohrung 5 einen durch die Bearbeitung zu beseitigenden Formfehler, nämlich eine sog. Vorweite, d.h. der Durchmesser der noch unbearbeiteten Bohrung ist im mittleren Bereich geringer als an den Enden der Bohrung. Die Kinematik des durch die Überlagerung einer Oszillation geschaffenen Honverfahrens kann man dahingehend beschreiben, daß im üblichen Kreuzschliffmuster, das durch Hubbewegung und gleichzeitige Rotation bewirkt wird, jeweils noch in den Riefen eine Hin- und Herbewegung erfolgt, die eine besonders intensive und schnelle Verbesserung der Oberfläche einschließlich eines Materialabtrags und damit eine schnelle Formverbesserung bewirkt.

Fig. 2 zeigt den Aufbau einer Vorrichtung an einer Honmaschine. Das Werkzeug 10 hat einen Werkzeugkörper 11, in dem radial verschiebbar Honleisten 12 angeordnet sind. Diese sind beispielsweise mit Diamantkorn belegt. Die Aufweitung in radialer Richtung erfolgt durch einen Keil 13, der mit einer Zustellstange 14 fest verbunden und axial verschiebbar ist. Die Honleisten 12 werden durch nicht gezeigte Federn radial nach innen auf den Keil 13 gezogen. Auf die Zustellstange 14 wirkt in axialer Richtung der mit einem Außengewinde versehener Zustellkörper 15, dessen oberes Ende als Außensechskant 16 ausgebildet ist. Er erstreckt sich in den Innensechskant 17 des Endes 18 der Drehzustellstange 19. Eine Drehung der Drehzustellstange 19 ergibt also eine Drehung des Zustellkörpers 15 und somit eine Verschiebung der Zustellstange 14 im Werkzeugkörper 11 in axialer Richtung und damit eine radiale Aufweitung der Honleisten 12. Wichtig ist an diesem Zusammenwirken von Außensechskant 16 und Innensechskant 17, daß zwar eine Kopplung in Drehrichtung zur Übertragung der Zustellbewegung erfolgt, aber keine kraftschlüssige Kopplung in axialer Richtung gegeben ist.

Der Werkzeugkörper 11 ist in einem Amplitudenverstärker 31 aufgenommen, über den die hochfrequente Oszillation von einem Schwingungserreger 20 auf das Werkzeug 10 übertragen wird. Der Schwingungserreger 20 besitzt eine ringförmige Grundplatte 25, die die Fesselungsebene darstellt und ihrerseits am Kopfteil 24 befestigt ist. Der Kopfteil 24 ist mit einem Flansch 27 versehen, an dem eine Überwurfmutter 26 angreift, die außerdem an einer (nicht gezeigten) Drehspindel einer Honmaschine befestigt ist. Beidseitig des Schwingungserregers 20 befinden sich die Endmassen 35, 36, die zusammen mit dem eigentlichen Schwingungserreger 20 das Schwingungssystem bilden. Der Amplitudenverstärker ist im Ausführungsbeispiel konisch ausgebildet, d.h. mit sich nach unten verjüngendem Querschnitt. Die geometrische Ausbildung des Amplitudenverstärkers ist maßgebend für eine Transformation der vom Schwingungssystem erzeugten Schwingung auf das Werkzeug 10. Dadurch kann auch die Überlagerung von Longitudinal- und Torsionsschwingungen bestimmt werden. Der Schwingungserreger kann piezoelektrisch, magnetostriktiv oder mechanisch arbeiten. Falls zur Schwingungserzeugung elektrische Energie erforderlich ist, erfolgt die Übertragung durch Kontaktring 28 und Schleifring 29. Links vom Werkzeug in Fig. 2 sind noch einmal die Drehbewegungen dargestellt. Der Kopfteil führt mit der Werkzeugspindel eine Hub- und eine Drehbewegung aus, während zu diesen beiden Bewegungen beim Werkzeug noch eine Axialoszillation und/oder eine Tangentialoszillation hinzutritt.

Fig. 3 zeigt schematisch eine solche Vorrichtung in einer Honmaschine 40. Sie trägt den Spindelkasten 41, von dem aus sich nach unten eine Drehspindel 42 erstreckt, an deren unterem Ende der Kopfteil 43, entsprechend dem Kopfteil 24 in Fig. 2, aufgenommen ist, der über die ringförmige Grundplatte 44 den Schwingungserreger 45 trägt, an dem ein Werkzeug 46 aufgenommen ist, dessen Schneidbelag 47 in ein Werkstück 48 eintaucht, das von einer kardanisch gelagerten Vorrichtung 49 aufgenommen ist. Die von Kopfteil 43 und Schwingungserreger 45 gebildete Einheit ist über eine elektrische Leitung 50 mit einem Generator 51, der die zur Erregung des Schwingungserregers bestimmte hochfrequente Spannung erzeugt, verbunden.

Das Werkzeug nach Fig. 2 ist beispielsweise so ausgelegt, daß die freie Werkzeuglänge ab Einspannstelle maximal 140 mm beträgt. Der Abstand von der Einspannstelle des Werkzeuges bis zum Tisch beträgt ca. 500 mm. Die Axialvorschubgeschwindigkeit des Werkzeuges beträgt 0,4 bis 4 mm/min. Die Drehzahl kann stufenlos auf maximal 5000 mm/min eingestellt werden.

Wenn die Amplitude der Oszillation eine bestimmte Größe erreicht, kann es sein, daß sich in dem beim Honen entstehenden Kreuzschliffmuster noch zusätzliche Rattermarken ausbilden. Ist dies der Fall, so muß anschließend an das "Hochfrequenz"-honen nochmal ein normaler Honvorgang stattfinden. Dies kann mit derselben Werkstückaufspannung und im selben Bearbeitungszyklus erfolgen.

Claims (12)

1. Verfahren zum Bearbeiten der Innenflächen von Bohrungen in Werkstücken, bei dem ein mit Schleifmittelbelag belegtes Werkzeug gleichzeitig eine Drehbewegung, eine axiale Hubbewegung und ferner eine den genannten Bewegungen (2, 3) überlagerte Oszillation ausführt, dadurch gekennzeichnet, daß die Oszillation des Werkzeugs durch eine Ultraschallschwingung im Bereich von 16 bis 40 kHz angeregt wird und daß die freie Werkzeuglänge ab Einspannstelle des Schwingungserregers im Falle der Ausbildung des Schwingungserregers als Passivschwinger ein ganzzahliges Vielfaches der halben Wellenlänge und im Falle der Ausbildung als Aktivschwinger ein ganzzahliges Vielfaches der Viertelwellenlänge beträgt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ultraschallschwingung (32, 33) der Hubbewegung (3) überlagert wird.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Bearbeitung in den Eingriffsbereich von Werkzeug und Werkstück eine Suspension, bestehend aus einer Flüssigkeit und einem abrasivem Mittel, eingeleitet wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Suspension durch ein im Werkzeug angeordnetes Saugrohr abgesaugt wird.

5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Suspension über eine im Werkzeug angeordnete Zuführleitung zugeführt wird.

6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkzeug (10) in einem Schwingungserreger (20), ggf. unter Zwischenschaltung eines Amplitudenverstärkers (31) aufgenommen ist, der eine Ultraschall-Schwingung erzeugt und auf das Werkzeug (10) überträgt, daß der Schwingungserreger (20) von der Drehspindel einer Honmaschine aufgenommen ist, wobei die Übertragung einer Drehbewegung als Stellbewegung für die Zustellung des Werkzeugs (10) zwischen Drehzustellstange (19) der Honmaschine und einem Zustellkörper (15) im Werkzeug (10) durch Kupplungselemente (16, 17, 18) erfolgt, die eine Drehbewegung, jedoch keine axiale Bewegung übertragen.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwingungserreger (20) über eine die Fesselungsebene des Schwingungserregers (20, 35, 36) bildende ringförmige Grundplatte (25) mit einem Kopfteil (24) verbunden ist, der in der Drehspindel (42) der Honmaschine (40) aufgenommen ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuleitung elektrischer Energie zur Erregung des Schwingkopfes (20) über stationäre Schleifringe (29) durch am Kopfteil (24) vorgesehene Kontakte (28) erfolgt.

9. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein mit nicht rundem Querschnitt versehener Endbereich (16) der Zustellstange (14) des Werkzeugs (10) in einer mit demselben Querschnitt versehenen Ausnehmung (17) einer Drehzustellstange (19) axial verschiebbar, jedoch in Drehrichtung kraftschlüssig verbunden angeordnet ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung vom Werkzeug zum Schwingungserreger kraft- und formschlüssig ausgeführt ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Erreger des Schwingungssystems piezoelektrisch oder magnetostriktiv aufgebaut ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzielung einer Gleichachsigkeit von Werkstück und Werkzeug eines dieser Bauteile bezüglich der Lage seiner Drehachse fest und das andere beweglich angeordnet ist.