DE3831399C2

DE3831399C2 -

Info

Publication number: DE3831399C2
Application number: DE19883831399
Authority: DE
Inventors: Ivan Jirovsky; Ivan Kokoska; Jaroslav Prusek; Zorjan Jojko; Vaclav Prag/Praha Cs Trojan
Original assignee: Statni Vyzkumny Ustav Ochrany Materialu Gv Akimova Prag/praha Cs
Current assignee: Statni Vyzkumny Ustav Ochrany Materialu Gv Akimova Prag/praha Cs
Priority date: 1988-01-29
Filing date: 1988-09-15
Publication date: 1991-09-19
Also published as: DE3831399A1; CS269125B1; CS54488A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Mikrosonde zur coulometri schen Messung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to a microsensor for coulometri cal measurement according to the preamble of claim 1.

Gemessen wird die Dicke insbesondere elektrochemisch erzeugter metallischer Überzüge, vor allem zur reprodu zierbaren Messung der Schichtdicke von Überzügen aus Gold, Goldlegierungen sowie anderen Edelmetallen auf kleinen Oberflächen.The thickness is measured electrochemically in particular generated metallic coatings, especially for reprodu measurable measurement of the layer thickness of coatings Gold, gold alloys and other precious metals small surfaces.

Die Messung der Dicke metallischer Überzüge gehört zu den grundlegenden Überprüfungen der Eigenschaften elektro chemisch ausgebildeter Überzüge. Die coulometrische Schicht dickenmessung, die auf der gesteuerten anodischen Auflösung des betreffenden Überzugs beruht, hat sich bei der Kontrolle der Schichtdicke üblicher, in der industriellen Praxis überwiegend angewandter Überzüge von Zn, Ni, Cr, gegebenenfalls Cu-Ni-Cr oder moderner Legierungsüberzüge, z. B. Ni/Fe, bewährt. The measurement of the thickness of metallic coatings is one of them the basic checks of the properties electro chemically trained coatings. The coulometric layer thickness measurement based on the controlled anodic resolution of the coating in question has been checked the layer thickness more common in industrial practice predominantly applied coatings of Zn, Ni, Cr, if necessary Cu-Ni-Cr or modern alloy coatings, e.g. B. Ni / Fe, proven.

Es ist bereits eine Sondenkonstruktion bekannt, die im Prinzip aus einem Meßabnehmer, der die Berührung eines Arbeitselektrolyts mit der gemessenen Oberfläche gewähr leistet, und einem elektronischen Steuer- und Auswer tungsteil besteht. Bekannt sind ferner verschiedene Kon struktionsvorschläge für Sonden und Mikrosonden zur Dic kenmessung der genannten Überzüge auf kleinen Oberflä chen mit einer Größe der anodisch abgeätzten Meßstelle von 0,3 bis 0,4 mm Durchmesser bzw. einer Größe von etwa 0,2×0,4 mm.A probe construction is already known, which in Principle of a sensor that touches a Ensure working electrolyte with the measured surface performs, and an electronic control and Auswer part exists. Various cones are also known Design suggestions for probes and micro probes for dic measurement of the above-mentioned coatings on small surfaces Chen with a size of the anodically etched measuring point from 0.3 to 0.4 mm in diameter or a size of about 0.2 × 0.4 mm.

Durch die Entwicklung der Mikroelektronik entstand ein Bedürfnis nach zuverlässigen Verfahren und Vorrichtungen zur Messung der Dicke von Überzügen insbesondere aus Gold und seinen Legierungen und anderer Edelmetalle auf elektrotechnischen und elektronischen Bauteilen und ins besondere bei gedruckten Leiterbahnen. Vergleichbare Be deutung besitzt die Messung der Schichtdicke von Gold und seinen Legierungen bei der Herstellung von Bÿoute riewaren. Alle diese Erzeugnisse weisen sowohl eine sehr geringe Fläche als auch eine sehr geringe Dicke der ent sprechenden metallischen Überzüge auf, die üblicherweise 5 µm nicht übersteigt.The development of microelectronics created a Need for reliable methods and devices for measuring the thickness of coatings in particular Gold and its alloys and other precious metals electrotechnical and electronic components and ins especially with printed conductor tracks. Comparable Be The measurement of the layer thickness of gold is of importance and its alloys in the manufacture of Bÿoute goods. All of these products show both a very small area as well as a very small thickness of the ent talking metallic coatings that are usually Does not exceed 5 µm.

Die Verwendung herkömmlicher Mikrosonden zur coulometri schen Schichtdickenbestimmung, die mit einem geschlosse nen Kreislauf des Meßelektrolyts arbeiten und bei denen Druckelemente zur Sondenfüllung und der eigentlichen Messung eingesetzt werden, führt bei der Schichtdicken messung von Goldschichten nicht zu positiven Ergebnis sen. Die wesentlichen Nachteile der herkömmlichen Mikro sondenkonstruktionen liegen vor allem im niedrigen Wir kungsgrad der anodischen Auflösung der Überzüge, der un gleichmäßigen Auflösung innerhalb der begrenzten Meßflä che, in der niedrigen Meßgeschwindigkeit, in der mangelnden Reproduzierbarkeit der Indizierung des den zyklischen Meßprozeß beendigenden Potentialsprungs sowie demzufolge in einer großen Streuung der erhaltenen Meß ergebnisse und damit in der Meßgenauigkeit.The use of conventional micro probes for coulometri layer thickness determination with a closed NEN circuit of the measuring electrolyte work and where Pressure elements for filling the probe and the actual one Measurement used results in layer thicknesses measurement of gold layers not to positive result sen. The main disadvantages of conventional micro probe constructions are mainly in the low we efficiency of the anodic dissolution of the coatings, the un uniform resolution within the limited measuring area che, in the low measuring speed, in the lack of reproducibility of the indexing of the cyclical measuring process ending potential jump as well consequently in a large spread of the measurement obtained results and thus in measuring accuracy.

Die hohe Beständigkeit von Goldüberzügen erfordert im Hinblick auf die Einwirkung chemischer und elektrochemi scher Abbaueinflüsse eine grundsätzliche Änderung der Arbeitsbedingungen bei der Messung gegenüber anderen Über zügen. Die wesentlich erhöhte Stromdichte bei der anodi schen Auflösung, der schnellere Elektrolytaustausch in der Umgebung der Meßstelle, die Erhöhung des Wirkungsgrads beim Vermischen und der Zuführung des frischen Meßelektro lyts zur gemessenen Oberfläche gehören zu den Arbeits bedingungen, in denen sich die Messung der Dicke von Schich ten aus Gold, Goldlegierungen und anderen Edelmetallen von den anderen übrigen Metallen hinsichtlich der zu stellen den Anforderungen erheblich unterscheidet.The high resistance of gold plating requires in With regard to the effects of chemical and electrochemical a fundamental change in the Working conditions when measuring compared to other over trains. The significantly increased current density at anodi resolution, the faster electrolyte exchange in the area around the measuring point, increasing the efficiency when mixing and feeding the fresh measuring electrode lyts to the measured surface are part of the work conditions in which the measurement of the thickness of Schich made of gold, gold alloys and other precious metals of the other other metals with respect to the significantly differentiates the requirements.

Die Druckschrift DE-OS 31 51 807 gibt eine Mikrosonde zum coulometrischen Messen der Dicke von metallischen Überzügen an mit einem Meßabnehmer, der eine an ihrem einen Ende mit einer Innendüse versehene innere Kammer für die Aufnahme von Elektrolyt, eine diese innere Kammer umschließende und an ihrem einen entsprechenden Ende mit einer Außendüse versehene äußere Kammer für die Aufnahme von Elektrolyt und einen an die Außendüse anschließenden, das Ende der Innendüse überragenden und die Größe der vermessenen Oberfläche begrenzenden Ansatz aufweist, und einer mit dem Meßabnehmer verbundenen Druckquelle zum Beaufschlagen des Meßabnehmers mit richtungsvariablem Druck für eine Elektrolytbewegung in den Kammern in wech selnder Richtung an der vermessenen Oberfläche vorbei.The publication DE-OS 31 51 807 gives a microsensor for coulometric measurement of the thickness of metallic Plating on with a measuring sensor, one on her an inner chamber provided with an inner nozzle at one end for the absorption of electrolyte, an inner chamber enclosing and at its one corresponding end with an outer chamber provided for the reception of electrolyte and one that connects to the outer nozzle, protruding the end of the inner nozzle and the size of the measured surface limiting approach, and a pressure source connected to the sensor for Applying the measuring sensor with variable direction Pressure for alternating electrolyte movement in the chambers alternating direction past the measured surface.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Mikrosonde zur coulometrischen Messung der Dicke metallischer Über züge und insbesondere von Gold, Goldlegierungen und anderen Edelmetallen und ihren Legierungen anzugeben, die zu einer hohen Meßgenauigkeit und hohen Reproduzierbarkeit der Messungen führt und zugleich rasche Schichtdickenmessungen ermöglicht, insbesondere bei Gold und anderen Edelmetallen und entsprechenden Legierungen.The invention has for its object a microsensor for coulometric measurement of the thickness of metallic over trains and especially gold, gold alloys and others Specify precious metals and their alloys that lead to a high measuring accuracy and high reproducibility of the Leads measurements and at the same time rapid layer thickness measurements enables, especially with gold and other precious metals and corresponding alloys.

Die Aufgabe wird gemäß Anspruch 1 gelöst.The object is achieved according to claim 1.

Die Unteransprüche betreffen vorteilhafte Ausführungs formen der erfindungsgemäßen Mikrosonde. The subclaims relate to advantageous execution form the microsensor according to the invention.

Die erfindungsgemäße Mikrosonde zur coulometrischen Mes sung der Dicke metallischer Überzüge weist einen Meßab nehmer auf, der aus einer inneren Arbeitskammer, die in ihrem unteren Teil mit einer Innendüse versehen ist, und einer äußeren Arbeitskammer besteht, welche die innere Arbeitskammer umschließt und in ihrem unteren Teil mit einer Außendüse versehen ist, die einen Ansatz aufweist, der das Ende der Innendüse überragt und die Größe der Meßfläche begrenzt, wobei die innere Arbeitskammer und die äußere Arbeitskammer an eine Reversierdruckquelle angeschlossen sind; sie ist dadurch gekennzeichnet, daß die innere Arbeitskammer über eine innere Reversierkam mer mit dem einen Druckteil und die äußere Arbeitskammer über eine äußere Reversierkammer mit dem anderen Druck teil der Reversierdruckquelle verbunden sind.The micro probe according to the invention for coulometric measurement Solution of the thickness of metallic coatings has a Meßab receiver from an inner working chamber, which in its lower part is provided with an inner nozzle, and an outer working chamber, which the inner Encloses the working chamber and in its lower part is provided with an outer nozzle which has a shoulder, which extends beyond the end of the inner nozzle and the size of the Measuring area limited, the inner working chamber and the outer working chamber to a reversing pressure source are connected; it is characterized in that the inner working chamber via an inner reversing chamber mer with the one pressure part and the outer working chamber via an outer reversing chamber with the other pressure part of the reversing pressure source are connected.

Dabei ist es vorteilhaft, wenn das Verhältnis der Volu mina der inneren Arbeitskammer und der äußeren Arbeits kammer ein Verhältnis von 0,8 bis 1,2 aufweisen.It is advantageous if the ratio of the volu mina of the inner work chamber and the outer work chamber have a ratio of 0.8 to 1.2.

Ferner ist vorteilhaft, wenn das Verhältnis der Quer schnitte der Innendüse und der Außendüse ein Verhältnis von 0,8 bis 1,2 aufweisen.It is also advantageous if the ratio of the cross cuts the inner nozzle and the outer nozzle a ratio have from 0.8 to 1.2.

Bei der erfindungsgemäßen Mikrosonde kommt es in der Meßfläche, innerhalb deren der metallische Überzug an odisch abgeätzt wird, zu einem einstellbaren Austausch des Meßelektrolyts und zu einer wesentlichen Intensivie rung der ablaufenden elektrochemischen Prozesse. Durch die Gewährleistung eines zuverlässigen Elektrolytaus tauschs in der Meßstelle ist zugleich das Auftreten von Luft- bzw. Gasblasen bei der Wasserstoffentwicklung aus geschlossen, welche die Meßstelle blockieren könnten. Damit sind Bedingungen für eine erhöhte Stromdichte zur Sicherstellung einer gleichmäßigen anodischen Auflösung des Überzugs in der gesamten Meßperiode sowie zur Erzie lung einer hohen Reproduzierbarkeit der Ergebnisse ge währleistet.In the micro-probe according to the invention it occurs in the Measuring surface, within which the metallic coating is etched away, for an adjustable exchange of the measuring electrolyte and to a substantial intensity tion of the ongoing electrochemical processes. By ensuring a reliable electrolyte exchange in the measuring point is the occurrence of Air or gas bubbles from the hydrogen evolution closed, which could block the measuring point. These are conditions for an increased current density Ensuring uniform anodic resolution of the coating in the entire measurement period and for education high reproducibility of the results ensures.

Bei der erfindungsgemäßen Mikrosonde ist ferner vorteil haft, wenn die innere Reversierkammer austauschbar aus gebildet ist.The micro-probe according to the invention is also advantageous sticks when the inner reversing chamber is replaceable is formed.

Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Ausfüh rungsbeispiels der erfindungsgemäßen Mikrosonde unter bezug auf die Zeichnung näher erläutert, die einen Längsschnitt durch eine Ausführungsform der erfindungs gemäßen Mikrosonde darstellt.The invention is based on an Ausfüh Example of the micro-probe according to the invention explained in more detail with reference to the drawing, the one Longitudinal section through an embodiment of the Invention represents micro probe.

Den Hauptteil der erfindungsgemäßen Mikrosonde zur cou lometrischen Messung der Dicke metallischer Überzüge ist der Meßabnehmer 1, der aus der inneren Arbeitskammer 2 und der äußeren Arbeitskammer 4 besteht. Die äußere Ar beitskammer 4 umschließt die innere Arbeitskammer 2. Der untere Teil der inneren Arbeitskammer 2 endet in einer Innendüse 3. Der obere Teil der inneren Arbeitskammer 2 ist über eine innere Reversierkammer 8 mit dem einen Druckteil 9 der Reversierdruckquelle 7 verbunden. Der untere Teil der äußeren Arbeitskammer 4 endet in einer Außendüse 5. Der obere Teil der äußeren Arbeitskammer 4 ist über eine äußere Reversierkammer 10 mit dem anderen Druckteil 11 der Reversierdruckquelle 7 verbunden. Die Außendüse 5 ist mit einem Ansatz 6 versehen, der die Größe der Meßfläche auf dem zu messenden Gegenstand be grenzt. Der Ansatz 6 überragt das Ende der Innendüse 3.The main part of the microsensor according to the invention for cou lometric measurement of the thickness of metallic coatings is the measuring pickup 1 , which consists of the inner working chamber 2 and the outer working chamber 4 . The outer Ar beitskammer 4 encloses the inner working chamber 2nd The lower part of the inner working chamber 2 ends in an inner nozzle 3 . The upper part of the inner working chamber 2 is connected via an inner reversing chamber 8 to the one pressure part 9 of the reversing pressure source 7 . The lower part of the outer working chamber 4 ends in an outer nozzle 5 . The upper part of the outer working chamber 4 is connected via an outer reversing chamber 10 to the other pressure part 11 of the reversing pressure source 7 . The outer nozzle 5 is provided with an approach 6 , which limits the size of the measuring surface on the object to be measured. The extension 6 projects beyond the end of the inner nozzle 3 .

Die erfindungsgemäße Mikrosonde arbeitet wie folgt:The microprobe according to the invention works as follows:

Vor der Schichtdickenmessung muß die Mikrosonde mit der Arbeitsflüssigkeit, d. h. dem Meßelektrolyten, gefüllt werden, der für die betreffende Art des zu messenden Überzugs geeignet ist. Die Füllung geschieht durch Ein tauchen des Ansatzes 6 des Meßabnehmers 1 in ein Gefäß mit dem Meßelektrolyten und Ingangsetzung der Reversier druckquelle 7. Hierdurch wird die Luft aus der inneren Reversierkammer 8 und der inneren Arbeitskammer 2 sicher herausgedrückt, wobei zugleich die äußere Arbeitskammer 4 und die äußere Reversierkammer 10 durch den Meßelek trolyten gefüllt werden. In der zweiten Arbeitsphase der Reversierdruckquelle wird der Meßelektrolyt aus der äußeren Reversierkammer 10 und der äußeren Arbeitskammer 4 herausgedrückt, wobei gleichzeitig die innere Arbeits kammer 2 und die innere Reversierkammer 8 mit dem Meß elektrolysten gefüllt werden. Nach dem Abschalten des Betriebs der Reversierdruckquelle 7 befindet sich der Meßelektrolyt in den einzelnen, gegenseitig in Verbin dung stehenden Kammern 2, 8, 4 und 10 der Mikrosonde. Nach Beendigung des Füllvorgangs kann die Mikrosonde aus dem Meßelektrolytgefäß herausgenonmen werden, ohne daß hierbei Flüssigkeit aus der Mikrosonde austritt.Before measuring the layer thickness, the microsensor must be filled with the working fluid, ie the measuring electrolyte, which is suitable for the type of coating in question. The filling is done by immersing the approach 6 of the sensor 1 in a vessel with the measuring electrolyte and starting the reversing pressure source 7th In this way, the air from the inner Reversierkammer 8 and the inner working chamber 2 is surely pushed out, wherein at the same time the outer working chamber 4 and the outer Reversierkammer 10 trolyten by the Meßelek be filled. In the second working phase of the reversing pressure source, the measuring electrolyte is pressed out of the outer reversing chamber 10 and the outer working chamber 4 , the inner working chamber 2 and the inner reversing chamber 8 being simultaneously filled with the measuring electrolysts. After switching off the operation of the reversing pressure source 7 , the measuring electrolyte is in the individual mutually connected chambers 2, 8, 4 and 10 of the microsensor. After the filling process has ended, the microsensor can be removed from the measuring electrolyte vessel without liquid escaping from the microsensor.

Die Schichtdickenmessung beginnt mit dem Aufsetzen der Mikrosonde auf eine begrenzte Stelle der Oberfläche des betreffenden Produkts und Andrücken des Ansatzes 6. Die Messung ist dabei ohne Rücksicht auf das Verteilungsver hältnis des Elektrolyts in den Kammern 2, 8 und 4, 10 möglich. Durch Betätigung der Reversierdruckquelle kommt es zu einem fortschreitenden Herausdrücken des Meßelek trolyts durch die Innendüse 3 zu der abgegrenzten Ober fläche und einer Verdrängung des Meßelektrolyts in die äußere Arbeitskammer 4 und die äußere Reversierkammer 10. In der anschließenden Phase gelangt der Meßelektro lyt durch die Außendüse 5 zur abgegrenzten Meßfläche und weiter in die innere Arbeitskammer und die innere Rever sierkammer 8. The layer thickness measurement begins with the placement of the microsensor on a limited point on the surface of the product in question and pressing on the extension 6 . The measurement is possible regardless of the distribution ratio of the electrolyte in chambers 2 , 8 and 4 , 10 . By actuating the reversing pressure source, there is a progressive pushing out of the measuring electrolyte through the inner nozzle 3 to the delimited upper surface and displacement of the measuring electrolyte into the outer working chamber 4 and the outer reversing chamber 10 . In the subsequent phase, the measuring electrolyte passes through the outer nozzle 5 to the delimited measuring surface and further into the inner working chamber and the inner revering chamber 8 .

Durch den Druckwechsel der Reversierdruckquelle ändert sich die Strömungsrichtung des Elektrolyts in der Umge bung der Meßstelle. Der Meßzyklus ist bei dem Potential sprung beendet, der nach der anodischen Abätzung des Überzugs an der Meßstelle auftritt. In diesem Augenblick wird die Reversierdruckquelle stillgesetzt. Unabhängig vom Zeitpunkt der Stillsetzung der Reversierdruckquelle ist der Meßelektrolyt in den Kammern 2, 8 und 4, 10 der Mikrosonde verteilt. Damit ist es möglich, die Mikro sonde ohne Verlust an Meßelektrolyt und ohne Verunrei nigung der entsprechenden Meßoberfläche abzunehmen und auf einer anderen Oberflächenstelle die Messung zu wie derholen.Due to the pressure change of the reversing pressure source, the flow direction of the electrolyte in the environment surrounding the measuring point changes. The measuring cycle ends at the potential jump that occurs after the anodic etching of the coating at the measuring point. At this moment the reversing pressure source is stopped. Regardless of the point in time at which the reversing pressure source is stopped, the measuring electrolyte is distributed in the chambers 2 , 8 and 4 , 10 of the microsensor. This makes it possible to remove the micro probe without loss of measuring electrolyte and without contamination of the corresponding measuring surface and to repeat the measurement on another surface location.

Das oben erläuterte Verfahren zur Befüllung der Mikro sonde mit Meßelektrolyt kann bei Vorliegen einer aus tauschbaren inneren Reversierkammer 8 geändert werden. Die innere Reversierkammer 8, die z. B. als zuvor ge fülltes Magazin für Meßelektrolyt ausgebildet ist, ist vor der Messung mit der inneren Arbeitskammer 2 und dem ersten Druckteil 9 der Reversierdruckquelle 7 verbunden. Nach dem Aufsetzen auf die Meßfläche läuft der Meßzyklus bei gleicher Verfahrensweise, wie oben angegeben, mit dem Zusatzdruck ab, der dem Rauminhalt der inneren Ar beitskammer 2 entspricht.The above-described method for filling the micro probe with measuring electrolyte can be changed in the presence of a replaceable inner reversing chamber 8 . The inner reversing chamber 8 , the z. B. is formed as a previously filled magazine for measuring electrolyte, is connected to the inner working chamber 2 and the first pressure part 9 of the reversing pressure source 7 before the measurement. After placing on the measuring surface, the measuring cycle runs in the same procedure, as indicated above, with the additional pressure that corresponds to the volume of the inner working chamber 2 Ar.

Die erfindungsgemäße Mikrosonde ermöglicht die Messung der Schichtdicke insbesondere von Überzügen aus Gold und anderen Edelmetallen sowie entsprechenden Legierungen, insbesondere von elektrochemisch abgeschiedenen Schich ten. Sie eignet sich insbesondere für betriebliche Rou tinemessungen, wobei die Reproduzierbarkeit der Messun gen wesentlich erhöht und zugleich durch die Erhöhung der Stromdichte eine Beschleunigung der Messung erzielt werden kann. The microprobe according to the invention enables measurement the layer thickness, in particular of gold coatings and other precious metals and corresponding alloys, especially of electrochemically deposited layers It is particularly suitable for operational routing ink measurements, the reproducibility of the measurements conditions significantly increased and at the same time by the increase the current density accelerates the measurement can be.

Die erfindungsgemäße Mikrosonde eignet sich folglich insbesondere zur Qualitätskontrolle bei der Herstellung galvanischer Überzüge, besonders zur technischen wie auch zur Qualitätskontrolle.The microsensor according to the invention is consequently suitable especially for quality control during production galvanic coatings, especially for technical ones also for quality control.

Claims

1. Micro probe for coulometric measurement of the thickness of metallic coatings with

- A measuring sensor ( 1 ), the
- an inner chamber ( 2 ) provided at one end with an inner nozzle ( 3 ) for receiving electrolyte,
- An inner chamber ( 2 ) enclosing and at its corresponding end with an outer nozzle ( 5 ) provided outer chamber ( 4 ) for receiving electrolyte and
- An adjoining the outer nozzle ( 5 ), the end of the inner nozzle ( 3 ) outstanding and the size of the ver measured surface limiting approach ( 6 ), and
- A pressure source ( 7 ) connected to the measuring pickup ( 1 ) for acting on the measuring pickup with directionally variable pressure for an electrolyte movement in the chambers ( 2 and 4 ) in alternating directions past the measured surface,

characterized,
that the pressure source ( 7 ) is designed as a reversing pressure source with a first pressure part ( 9 ) and a second pressure part ( 11 ),
that the inner chamber ( 2 ) of the sensor ( 1 ) at its other end via a first reversing chamber ( 8 ) to the first pressure part ( 9 ) of the pressure source ( 7 ) is closed and
that the outer chamber ( 4 ) of the measuring sensor ( 1 ) is connected at its other end via a second reversing chamber ( 10 ) to the second pressure part ( 11 ) of the pressure source ( 7 ).

2. Micro probe according to claim 1, characterized in that the reversing pressure source ( 7 ) consists of a cylinder with a reversibly movable reversing piston and the two pressure parts ( 9, 11 ) correspond to the partial spaces of the cylinder on both sides of the piston.

3. Micro probe according to claim 1, characterized in that the reversing pressure source ( 7 ) consists of two independent pressure-opposing pressure sources for the two pressure parts ( 9, 11 ).

4. Micro probe according to one of claims 1 to 3, characterized in that the reversing pressure source ( 7 ) is program-controlled.

5. microsensor according to one of claims 1 to 4, characterized, that the reversing pressure source is microprocessor controlled is.

6. Micro probe according to one of claims 1 to 5, characterized in that the ratio of the volumes of the inner chamber ( 2 ) and the outer chamber ( 4 ) is 0.8 to 1.2.

7. Micro probe according to one of claims 1 to 6, characterized in that the ratio of the volumes of the first reversing chamber ( 8 ) and the second reversing chamber ( 10 ) is 0.8 to 1.2.

8. Micro probe according to one of claims 1 to 7, characterized in that the ratio of the cross sections of the inner nozzle ( 3 ) and the outer nozzle ( 5 ) is 0.8 to 1.2.

9. Micro probe according to one of claims 1 to 8, characterized in that the first reversing chamber ( 8 ) is interchangeable.