DE3874414T2 - Optomechanisches analysensystem mit einem einzigen rotationspolygonspiegel. - Google Patents
Optomechanisches analysensystem mit einem einzigen rotationspolygonspiegel.Info
- Publication number
- DE3874414T2 DE3874414T2 DE8888200997T DE3874414T DE3874414T2 DE 3874414 T2 DE3874414 T2 DE 3874414T2 DE 8888200997 T DE8888200997 T DE 8888200997T DE 3874414 T DE3874414 T DE 3874414T DE 3874414 T2 DE3874414 T2 DE 3874414T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- axis
- cylinder
- polygon mirror
- polygonal mirror
- respect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 5
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 claims description 2
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
- Die Erfindung betrifft einen optomechanischen Analysator mit einem einzigen Rotationselement, das aus einem Polygonspiegel mit n Reflexionsflächen besteht.
- Es sind Analysesysteme bekannt (siehe beispielsweise DE-A-2 855 830), in denen man einen einzigen Rotationspolygonspiegel verwendet, dessen n Reflexionsflächen gegen die Rotationsachse unterschiedlich geneigt sind, um das zu analysierende Feld durch n benachbarte Bänder von p Linien abzutasten, wobei p die Anzahl parallel angeordneter Detektoren ist. Die Gesamtzahl der im Feld abgetasteten Linien beträgt somit np.
- Polygonspiegel dieser Art müssen aus einem Stück mit hochgenauer Kontrolle der Neigungswinkel der verschiedenen Reflexionsflächen hergestellt werden. Die Größe eines Bandes bestimmt den Winkelschritt der verschiedenen Flächen und jeder Fehler in diesem Schritt hat zur Folge, daß die Bänder nicht anschließen. Die Verwirklichung dieses Polygonspiegels erweist sich also schwierig und aufwendig.
- Das erfindungsgemäße Analysesystem bezieht sich auf dasselbe Abtastverfahren, jedoch mit einem Polygonspiegel von einem anderen Typ, dessen Verwirklichung sich einfacher gestaltet und folgende Vorteile bietet:
- - Möglichkeit zum gleichzeitigen Herstellen verschiedener Polygonspiegel,
- - Benutzung eines selben Polygonspiegels bei verschiedenen Bandbreiten,
- - einstellbaren Abstand zwischen den verschiedenen Bändern.
- Zur Lösung dieser Aufgabe ist die Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß die Reflexionsflächen parallel zur Achse des Zylinders angebracht sind, in dem der Polygonspiegel geformt ist und derart bemessen sind, daß ihre Verteilung auf den Umfang sinusförmig ist, wobei sich der Polygonspiegel um eine Achse dreht, die einen bestimmten Winkel θ mit der Achse des Zylinders einschließt und in bezug auf die Rotationsachse derart festgesetzt ist, daß letztgenannte sich in der von der Achse des Zylinders und von der diametralen Achse dieses Zylinders gebildeten Ebene befindet, wobei auf den beiden Seiten der diametralen Achse die Reflexionsflächen je zwei und zwei parallel zueinander verteilt sind, die auf diese Weise angeordneten n Polygonspiegelflächen in bezug auf die Rotationsachse n verschiedene Neigungswinkel besitzen, der Winkelschritt konstant ist und demzufolge die Analysebänder äquidistant sind.
- Durch Abändern des Winkels θ läßt sich der Winkelschritt und damit die Breite der Analysebänder ändern und das Nebeneinandersetzen dieser Bänder sehr genau einstellen.
- Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend beispielsweise anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen
- Fig. 1 die Verteilung der Flächen auf den Zylinderumfang, aus dem der Polygonspiegel nach der Erfindung geformt ist,
- Fig. 2 die erfindungsgemäße Aufstellung des Analysators,
- Fig. 3 und 4 die Variation des analysierten Feldes beim Ändern des Winkeis θ im Verhältnis 1/2,
- Fig. 5 das Sichtfeld des Systems entsprechend der Abtastung des Polygonspiegels in vertikaler Richtung,
- Fig. 6 das Schema eines praktischen Verwirklichungsbeispiels des Analysators.
- Der Polygonspiegel ist aus einem Zylinder mit dem Radius R&sub2; ausgeschliffen. Ein Schnitt durch diesen Zylinder in einer Ebene senkrecht zu seiner Achse ist in Fig. 1 dargestellt.
- Im gewählten Beispiel besitzt der Polygonspiegel 8 Flächen zum Analysieren von 8 Bändern.
- Die Verteilung der Flächen wird wie folgt bestimmt: Auf der diametralen Achse XX' werden in gleichem Abstand voneinander Punkte A-B- C-...-G-H derart eingetragen, daß die Mitte 0 des Zylinderabschnitts sich in der Mitte des Segments DE befindet.
- Danach werden die Positionen der Punkte A'-B'-C'-...-G'-H' abwechselnd auf jedem Halbkreis des Radius R&sub1; der Meiner ist als R&sub2; derart bestimmt, daß die Projektion von A' auf der Achse XX' A ist, usw.
- A'-B'-C'-...-G'-H' sind also die Mitten der 8 Reflexionsflächen.
- In bezug auf die Achse XX' haben die Schleifwinkel der Flächen als Ausdruck:
- cos AOA' = AO/R&sub1;, cos BOB' = BO/R&sub1;, ... cosH'OH = HO/R&sub1;.
- R&sub1; ist somit der Abstand der verschiedenen Flächen zur Zylinderachse.
- Die Verteilung der Flächen auf den Umfang ist also sinusförmig.
- Die Symmetrie zweier einander gegenüber liegender Flächen des Polygonspiegels in bezug auf den Punkt O ist klar ersichtlich. Der Polygonspiegel ist daher ausgewuchtet in bezug auf die Achse, des Zylinders aus dem er geformt ist.
- Ebenso ist ersichtlich, daß ein Teil des Zylinders mit dem Radius R&sub2; nicht geschliffen ist. In der Folge wird die Verwendungsmöglichkeit dieses Teils erläutert.
- In Fig. 2 ist die Aufstellung des Analysators dargestellt, in dem der Polygonspiegel P, dessen sämtliche Flächen parallel zur Achse 2 des Zylinders verlaufen, sich um die Rotationsachse 1 dreht, die einen Winkel θ (θ klein) mit der Achse 2 einschließt.
- Der Polygonspiegel ist in bezug auf die Rotationsachse 1 derart fixiert, daß die drei Achsen XX', 2 und 1 sich in derselben Ebene befinden.
- Wenn diese Bedingung erfüllt ist, besitzen die 8 Flächen des Polygonspiegels 8 verschiedene Neigungswinkel gegen die Rotationsachse 1, und der Winkelschritt ist konstant.
- Es läßt sich tatsächlich beweisen, daß der Winkel α zwischen der Rotationsachse 1 und der Normale OA' auf die Fläche mit der Mitte A' wie folgt ist:
- cos α = sin θ cos AOA' oder cos AOA' = AO/R&sub1;
- Also ist cos α = AO sin θ/R&sub1;, sowie auch
- cos β = BO sin θ/R&sub1;, cos γ = CO sin θ/R&sub1;, usw.
- Es ist also ersichtlich, daß die Kosinus der Winkel α, β, γ, ... usw. den Segmenten AO, BO, CO, ... usw. proportional sind, die gewählt worden sind als AB = BC = CD =... =GH.
- Ebenfalls ist ersichtlich, daß die Kosinus der Winkel α, β, γ proportional sin θ sind.
- Diese Eigenschaft ermöglicht es beim Abändern von θ auch den Winkelschritt und damit die Analysebandbreite zu ändern, wobei die Bänder immer äquidistant sind.
- Aus praktischem Blickpunt gesehen bedeutet dies, daß es bei der Verwendung desselben Polygonspiegels, der in bezug auf die Rotationsachse auf andere Weise montiert ist, möglich ist, beliebig ein Viereckfeld von 8 Bändern zum Beispiel nach Fig. 3 oder auch ein Rechteckfeld des Formats 1/2 nach Fig. 4 zu analysieren, wobei der Neigungswinkel des Polygonspiegels von θ nach θ/2 geht.
- Der Teil des Zylinders mit Radius R&sub2;, der nach Abfräsen der ebenen Flächen übrigbleibt, wird durch Ablagern eines matten und absorbierenden Überzugs nichtreflektierend gemacht. Diese Oberfläche läßt sich auf vorteilhafte Weise als Temperaturreferenz ausnutzen, die in der Bildungszeit eines Bildes zweimal erscheint.
- Da die Flächen des Polygonspiegels parallel verlaufen zur Achse des Zylinders, in den der Spiegel geformt ist, wird es möglich, mehrere Zylinder längs derselben Achse zu stapeln, um gleichzeitig das Abfräsen mehrerer Polygonspiegel durchzuführen. Dies stellt eine erhebliche Einsparung der Herstellungskosten dar.
- In Fig. 5 sind zwei Stellungen P und P' des um die Achse 1 drehenden Polygonspiegels und entsprechend den auffolgenden Positionen 2 und 2' der Achse des Zylinders in der Zeichenebene dargestellt. Die einfallenden Lichtstrahlen 3 und 3' grenzen das Sichtfeld des Analysators entsprechend der vertikalen Abtastung ab. Diese Strahlen werden in einem Punkt R, der gemeinsam für die Stellungen P und P' des Polygonspiegels ist entlang dem Strahl 4 zum Detektor D zurückgeworfen. Ersichtlich ist, daß die Achse 2 einen Winkelkonus mit Gipfelwinkel θ um die Achse 1 beschreibt.
- In Fig. 6 ist das Schema einer Anordnungsweise des Analysators dargestellt. Der Motor M bewirkt die Rotation des Polygonspiegels P um seine Achse die einen Winkel θ mit der Achse 2 des Polygonspiegels einschließt.
- Ein afokales System, zusammengesetzt aus den optischen Einheiten L&sub1; und L&sub2;, bildet von der Landschaft ein Zwischenbild i. Nach dem Reflektieren auf den Polygonspiegel wird das Bündel mittels der Linse L&sub3; auf das durch die Kälteanordnung k gekühlte Detektorenmosaik D fokussiert.
Claims (3)
1. Optomechanischer Analysator mit einem einzigen Rotationselement, das
aus einem Polygonspiegel (P) mit n Reflexionsfiächen besteht, die parallel zur Achse
des Zylinders (2) angebracht sind, in dem der Polygonspiegel geformt wird, dadurch
gekennzeichnet, daß die Reflexionsflächen derart angeordnet sind, daß die Verteilung
auf den Umfang sinusförmig ist, d.h. ihre Formgebungswinkel AOA', BOB', ... HOH'
stellen in bezug auf eine besondere diametrale Achse (XX') senkrecht zur Zylinderachse
mehrere Kosinus in arithmetischer Progression dar, wobei sich der Polygonspiegel um
eine Achse (1) dreht, die einen bestimmten Winkel θ mit der Achse des Zylinders (2)
einschließt und in bezug auf die Rotationsachse derart festgesetzt ist, daß letztgenannte
sich in einer Ebene befindet, die gebildet wird von der Achse des Zylinders und von der
diametralen Achse (XX') dieses Zylinders, wobei auf den beiden Seiten der diametralen
Achse die Reflexionsflächen je zwei und zwei parallel zueinander verteilt sind, die auf
diese Weise angeordneten n Polygonspiegelflächen in bezug auf die Rotationsachse (1) n
verschiedene Neigungswinkel besitzen, der Winkelschritt konstant ist und demzufolge
die Analysebänder äquidistant sind.
2. Analysator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Variation
des Winkels θ die Möglichkeit zum Abändern des Winkelschritts und somit der Breite
der Analysebänder und zum äußerst genauen Einstellen der Nebeneinandersetzung der
Bänder bietet.
3. Analysator nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß er auf
seinem Umfang zwei einander diametral gegenüberliegende Zylinderzonen besitzen
kann, die durch Ablagerung eines matten und absorbierenden Überzugs
nichtreflektierend gemacht werden, wodurch sie auf vorteilhafte Weise als Temperaturreferenz
ausnutzbar sind, die während die Bildungszeit eines Bildes zweimal erscheint.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8707219A FR2615632B1 (fr) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | Systeme d'analyse optico-mecanique n'utilisant qu'un seul polygone tournant |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3874414D1 DE3874414D1 (de) | 1992-10-15 |
DE3874414T2 true DE3874414T2 (de) | 1993-04-08 |
Family
ID=9351352
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE8888200997T Expired - Fee Related DE3874414T2 (de) | 1987-05-22 | 1988-05-18 | Optomechanisches analysensystem mit einem einzigen rotationspolygonspiegel. |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4932733A (de) |
EP (1) | EP0293967B1 (de) |
JP (1) | JPS6486108A (de) |
DE (1) | DE3874414T2 (de) |
FR (1) | FR2615632B1 (de) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4007687A1 (de) * | 1990-03-10 | 1991-10-02 | Schober Werkzeug & Maschbau | Vorrichtung zum bearbeiten einer endlosen bahn |
FI119007B (fi) | 2006-12-29 | 2008-06-13 | Picodeon Ltd Oy | Optinen skanneri ja sen sovelluksia |
US8111438B2 (en) * | 2007-09-25 | 2012-02-07 | Reliant Technologies, Inc. | Optical pattern generator using multiple reflective surfaces |
CN101804505A (zh) * | 2010-03-31 | 2010-08-18 | 苏州市博海激光科技有限公司 | 聚焦光点摆动式辊类表面激光毛化加工方法及装置 |
US9368371B2 (en) * | 2014-04-22 | 2016-06-14 | Applied Materials, Inc. | Retaining ring having inner surfaces with facets |
US10500695B2 (en) | 2015-05-29 | 2019-12-10 | Applied Materials, Inc. | Retaining ring having inner surfaces with features |
EP4090995A1 (de) * | 2020-03-06 | 2022-11-23 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Entwurf und betrieb einer lichtbasierten entfernungsmessvorrichtung |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4021897A (en) * | 1976-05-19 | 1977-05-10 | Xerox Corporation | Process for providing cemented glass flats to provide high speed multi-faceted polygonal scanners |
JPS5488139A (en) * | 1977-12-26 | 1979-07-13 | Olympus Optical Co Ltd | Optical scanner using rotary polyhedral mirror |
US4268110A (en) * | 1979-10-12 | 1981-05-19 | Itek Corporation | Facet angle corrector for multi-faceted optical scanner |
JPS58189609A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-05 | Hitachi Ltd | 光ビ−ム走査装置 |
US4753498A (en) * | 1985-03-22 | 1988-06-28 | Tokyo Kogaku Kikai Kabushiki Kaisha | Optical reader |
US4768861A (en) * | 1987-03-25 | 1988-09-06 | Epner Technology Incorporated | Method of fabrication of multi-faceted scanner mirrors |
-
1987
- 1987-05-22 FR FR8707219A patent/FR2615632B1/fr not_active Expired
-
1988
- 1988-05-18 DE DE8888200997T patent/DE3874414T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-05-18 EP EP88200997A patent/EP0293967B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-05-19 JP JP63120769A patent/JPS6486108A/ja active Pending
- 1988-05-20 US US07/197,079 patent/US4932733A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0293967A1 (de) | 1988-12-07 |
US4932733A (en) | 1990-06-12 |
EP0293967B1 (de) | 1992-09-09 |
JPS6486108A (en) | 1989-03-30 |
FR2615632A1 (fr) | 1988-11-25 |
DE3874414D1 (de) | 1992-10-15 |
FR2615632B1 (fr) | 1989-07-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2410485C3 (de) | Prismensystem zur Farbtrennung in drei Farbkomponenten | |
DE69222733T2 (de) | Nipkowscheibe für konfokalen optischen Scanner | |
DE2230002C2 (de) | Optisch-mechanisches Abtastsystem | |
DE2656273C2 (de) | Optisch-mechanischer Abtaster | |
DE4035145A1 (de) | Optisches system zur aufteilung einer reellen abbildung | |
DE3688639T2 (de) | Fester Hologrammabtaster. | |
DE2224217A1 (de) | Vorrichtung zum optischen Abtasten eines Bildfeldes | |
DE3874414T2 (de) | Optomechanisches analysensystem mit einem einzigen rotationspolygonspiegel. | |
DE2330153A1 (de) | Optisches instrument | |
DE19737170C2 (de) | Optisches Kaskade-Abtastsystem | |
DE69525956T2 (de) | Interferometer | |
DE3307484C2 (de) | Optisch-mechanischer Abtaster | |
EP0634636B1 (de) | Interferometer nach Michelson | |
DE2906015A1 (de) | Interferometer | |
DE3705042A1 (de) | Optische abtastvorrichtung | |
DE4035144A1 (de) | Optisches strahlenteilersystem zur erzeugung einer mehrzahl von reellen abbildungen | |
DE3600578C1 (en) | Device for scanning a flat boundary surface of an object | |
DE3687539T2 (de) | Selektive blende und optisches geraet mit einer selektiven blende. | |
DE3446014A1 (de) | Interferometer nach dem michelson-prinzip | |
DE3022365A1 (de) | Optische abtastvorrichtung | |
EP0219620B1 (de) | Schnelle Scanneinrichtung für höchste Ablenkgeschwindigkeiten | |
DE4219102C2 (de) | Strahlablenker | |
EP0283717B1 (de) | Optisch-mechanische Einrichtung | |
CH684026A5 (de) | Verfahren zur Messung von relativen Winkeln. | |
DE2603129C2 (de) | Optisch-mechanisches Abtastsystem |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |