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DE3524690A1 - Messanordung zur erfassung der ist-lage und der topographie eines rotierenden schleifkoerpers - Google Patents

Messanordung zur erfassung der ist-lage und der topographie eines rotierenden schleifkoerpers

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DE3524690A1
DE3524690A1 DE19853524690 DE3524690A DE3524690A1 DE 3524690 A1 DE3524690 A1 DE 3524690A1 DE 19853524690 DE19853524690 DE 19853524690 DE 3524690 A DE3524690 A DE 3524690A DE 3524690 A1 DE3524690 A1 DE 3524690A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
grinding wheel
measuring arrangement
topography
grinding
arrangement according
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE19853524690
Other languages
English (en)
Inventor
Joachim Dipl.-Ing. DDR 1020 Berlin Quandt
Jürgen Dipl.-Ing. DDR 1055 Berlin Rühle
Kurt Dipl.-Ing. Ddr 1129 Berlin Tauber
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Werkzeugmaschinenkombinat 7 Oktober VEB
Original Assignee
Werkzeugmaschinenkombinat 7 Oktober VEB
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Filing date
Publication date
Application filed by Werkzeugmaschinenkombinat 7 Oktober VEB filed Critical Werkzeugmaschinenkombinat 7 Oktober VEB
Publication of DE3524690A1 publication Critical patent/DE3524690A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23FMAKING GEARS OR TOOTHED RACKS
    • B23F23/00Accessories or equipment combined with or arranged in, or specially designed to form part of, gear-cutting machines
    • B23F23/12Other devices, e.g. tool holders; Checking devices for controlling workpieces in machines for manufacturing gear teeth
    • B23F23/1225Arrangements of abrasive wheel dressing devices on gear-cutting machines
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/18Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the presence of dressing tools
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/12Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring diameters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/28Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Description

  • Meßanordnung zur Erfassung der Ist-Lage und der Topo-
  • graphie eines rotierenden Schleifkörpere Die Erfindung betrifft Schleifmaschinen für die Herstellung von Zahnrädern hoher Verzahnungequalität* insbesondere Zahnflankenschleifmeschinen mit Doppelkegelschleitkbrpernv Das Schleifen von Verzahnungen hoher Qualität bedingt den Einsatz von Schleifkörpern mit einer optimalen Oberflächenstruktur (Topographie1 sowie einer hohen Maßhaltigkeit und Lagestabilität.
  • Oberflächenstruktur und Maßhaltigkeit der Schleifkörper sind in wesentlichen abhängig von den technologischen Abrtchtbedingungen, insbesondere von der Abrichtzustellung, von den Abrichtvorschub und der Eingriffsbreite des Abrichtwerkzeuges.
  • Während die Abrichtzustellung und der Abrichtvorschub entsprechend der vorgenommenen Einstellung als konstant anzusehen sind, verändert sich die Eingriffsbreite des Abrichtwerkzeuges infolge seines Verschleißes. Das hat zur Folge, daß sich mit zunehmendem Verschleiß des Abrichtwerkzeuges die Topographie des Schleifkörpers beim Abrichten ändert. Zusätzlich ändert sich die Lage des Schleifkörpers zur Abrichteinrichtung durch thermische Einflüsse.
  • ul gezielt und rechtzeitig Maßnahmen zur Kompensation des Verschleißes des Abrichtwerkzeuges und der thermischen Verlagerung an der Maschine vorzunehien und somit einer unzulässigen Minderung der Verzahnungsqualität vorzubeugen. ist es erforderlich, periodisch Kennwerte des Schleifkörpers zu erfassen, die unmittelbar Rückschlüsse auf dessen tatsächliche und augenblickliche Topographie ermöglichen.
  • Andererseits können nur wirksame und zielgerichtete Kompensationsmaßnahmen durchgeführt werden, wenn gleichzeitig Lageveränderungen des Schleifkorpers erfaßt werden.
  • Bekannt ist nach der DE-PS 32 13 047 eine Einrichtung zu Kompensieren der Abnutzung eines Abrichtwerkzeuges* Mit Hilfe von Tastern wird hierbei die Differenz zwischen dem Abrichtbetrag und dem Nachstellbetrag des Schleifkörpers gemessen, um somit die Abnutzung der Abrichtwerkzeuge zu kompensieren.
  • Weiterhin sind nach der DE-OS 31 95 678 und der DE-OS 22 46 575 Lösungen bekannt, die zum Positionieren des Schleifkörpers berührungslose Teetsysteme vorsehen, die unter Verwendung druckbeaufschlagter Medien arbeiten.
  • Alle diese genannten Test systeme haben den wesentlichen Nachteil daß sich mit ihnen keine Kennwerte erfassen lassen, die Rückschlüsse auf die augenblickliche Topographit der Schleifkörper ermöglichene Dadurch ist es nicht möglich, eine optimale Topographie des Schleifkörpers zu gewährleisten und/oder den Zeitpunkt zu erfassen, wann das Abrichtwerkzeug unzulässig verschlissen ist. Desweiteren ist bei diesen Taatsystemen nachteilig, daß ihnen eine Schalthysterese eigen ist; so daß zur genauen Erfassung der Position des Schleifkörpers diese stets nur aus einer Richtung angefahren werden können, Weiterhin ist nach der DE-OS 30 29 130 bekannt, einen Taster unter Einbeziehung einer CCD-Zeilenkamera mit rechenelektronischer Auswertung zur Erfassung der Oberflächenrauhigkeit eines Schleifkörpers einzusetzen.
  • Ein Nachteil dieser Einrichtung ist es, daß die Auflösung von deren technologisch bedingten Mindestabmeesungen der fotographischen Sensoren abhängt und damit eine Erhöhung des Auflösungsvermögens nur über eine optische Vergrößerung erreichbar ist. Mit der optischen Vergrößerung treten weitere Nachteile ein, wie durch die Länge der optischen Achsen bedingte erhöhte thermische Beeinflußbar keit und Erhöhung des Aufwandes zum Schutze der Meßeinrichtung gegen Kühlschmierflüssigkeit.
  • Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß die Auswertung der Lichtinformation sequentiell erfolgt. Damit steht keine Möglichkeit der topographischen Bewertung eines rotierenden Schleifkörpers zur Verfügung.
  • Die dieser Einrichtung anhaftenden Nachteile gestatten es nicht, eine gleichzeitige Meßwerterfassung hinsichtlich der Lage und Topographie eines rotierenden Schleifkörpers entsprechend der Aufgabenstellung vorzunehmen.
  • Weiterhin ist die EP-Anmeldung O 045 380 bekannt, in der über einen Weggeber, der entsprechend den Unebenheiten des ab;#utastenden Schleifkörpers pulsierende Signale liefert, die Oberflächenbeschaffenheit ermittelt wird Diese Information dient der Bestimmung des Zeitpunktes zum Abrichten sowie der Bestimmung der Häufigkeit und des Betrages der Nachstellungen des Schleifkörpers zum Abrichten.
  • Nachteilig bei dieser und allen anderen bekannten Lösungen ist, daß die Meßtaster bzw. Weggeber durch ihre Anordnung zum Schleifkörper thermischen Verlagerungen unterliegen, so daß keine bzw. nur eine fehlerbehaftete Lageerfassung des Schleifkörpers möglich ist.
  • In allen bekannten Lösungen ist nicht aufgezeigt, wie durch die ermittelten Meßgrößen Maschinenfunktionen, bezogen auf die Schleifecheibe und/oder das Werkstück, derart gesteuert werden, daß eine höhere Verzahnungequalität der zu schleif enden Zahnräder und eine Veränderung der Abrichttechnologie zur Optimierung des Schnittprozesses erreicht wird.
  • Ziel der Erfindung ist es, Ist-Lage und Topographie eines rotierenden Schleifkörpers zu erfassen u eine hohe Verzahnungequalität der Werkstücke zu erreichen.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßeinrichtung so anzuordnen, daß störende Einflüsse bei der Meßwerterfassung-. insbesondere die thermische Beeinflussung, weitestgehend reduziert werden und die es er.
  • öglicht, nit geringem Aufwand die Ist-Lage und die Topographie eines rotierenden Schleifkörpers mit hoher Genauigkeit zu erfassen und die ermittelten Meßwerte zur Positionierung des Abrichters (des Abrichtwerkzeuges) sowie des schleifkörpere und damit zur Wiederherstellung der Ist-Lage und der Topographie des Schleifkörpers und zur Steuerung einer NC-Werkstückpositionierung zu nutzen.
  • Erfindungsgeiäß wird die Aufgabe dadurch gelost, daß verformbare Piezo-Wandler mit den Schleifkörper abtastenden Stirn - und Seitendiaianttastern versehen und in einer Halterung innerhalb einer zum Schleifkörper thermisch neutralen Zone, im Bereich des Schnittpunktes der Tangentialführung und der Radialführung des Hubschlittens oder im Bereich oberhalb des Drehteiles, angeordnet sind und daß ein der Verformung des Piezo-Wendlers proportionales Signal des Schleifkörpers, in Abhängigkeit von seiner Drehzahl und der Höhe und der Anzahl der topographischen Punkte, erzeugt wird und an einer ersten, zweiten und dritten Recheneinheit anliegt.
  • Zum schleifkörper sind ein Stirndiamanttaster und ein oder auch zwei Seitendiamanttaster angeordnet. Die Seitendiananttaster können um 900 versetzt zum Stirndiamant taster angeordnet sein.
  • Die von einer ersten, zweiten und dritten Recheneinheit ausgehenden Signale werden wahlweise einem ersten. zweiten und dritten Positionierantrieb als stellgröße zur Steuerung des schleifkörpers bzw. eines Abrichten zugeführt.
  • Die von einer ersten, zweiten und dritten Recheneinheit ausgehenden Signale werden als Stellgröße einer NC-Werkstückpositionierung zugeführt.
  • Anstelle eines Piezo-Wandlers kann wahlweise ein elektrodynamischer Wandler eingesetzt werden.
  • Die Vorteile der erfindungsgemäßen Lösung sind darin zu sehen, daß mit der angegebenen Meßeinrichtung elektrische Signale erzeugt werden können hinsichtlich der Erfassung der Lage und der Topographie eines rotierenden Schleifkörpers. Bei der Auswertung der Signale wird davon ausgegangen, daß die Drehzahl des schleifkörpers bekannt ist.
  • Bei einer Beruhrung des Meßtasters mit dem rotierenden Schleifkörper entsteht dann ein Signal it der Freb.n quenz f 1 Hierbei ist b die Anzahl der Berührungen Je Umdrehung und n die Anzahl der Umdrehungen in der Minute des Schleifkörpers.
  • Bei Beginn der Berührung. z.B. mit nur einem Kontaktpunkt, wird somit eine typische untere Frequenz erzeugt, die mit zunehmender Anzahl der Berührungspunkte bis zu einer oberen Grenzfrequenz steigt.
  • Diese ird bestimmt durch die Oberflächenstruktur (Topographie) des Schleifkörpers und den Spitzen radius des Tasters sowie durch die Um fangsgeschwindigkeit des Schleifkörpers in der Berührungszone Verwendet man als Meßwandler ein Element welches den Piezo-Effekt ausnutzt, so steht über die Frequenz des Signals eine Information über die Berührungshäufigkeit und über die Signalgröße eine Information über die Auslenkungsamplitude zur Verfügung. Die signalgröße wird bestimmt durch die Deformation des Piezo-Elementes.
  • Dieses Signal ist mit Verstärkern in beliebiger Größe auswertbar.
  • Durch die Anordnung der Meßeinrichtung in der thermisch neutralen Zone können die Meßergebnisse derart genutzt werden, daß über NC-Achsen der Maschine sowohl die Lage des Schleifscheibenprofils und/oder des Werkstfickes, als auch über NC-Achsen des Abrichters die Topographie der Schleifecheibe zielgerichtet verändert wird.
  • Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.
  • In der zugehörigen Zeichnung zeigen: Fig. 1 : Draufsicht auf den Hub- und Schleifschlitten mit Anordnung der Piezo-Wandler Fig. 2 : Schnitt A-A nach Fig. 1 Fig. 3 : Besondere Ausführungsform der Anordnung der Piezo-Wandler zu einer vertikalen und horizontalen Schlitteneinheit Fig. 4 : Ansicht X nach Fig. 3 Im Ausführungsbeispiel ist der Schleifkörper 1 im Schleifschlitten 2 mittels einer Schleifspindel 3 gelagert, wobei der Schleifechlitten 2 innerhalb des Hubschlitten 4 angeordnet ist. Der Hubschlitten 4 ist mit eine bekannten und nicht näher dargestellten Hydraulikzylinder verbunden, der sich entlang einer Kolbenstange 5, die im Drehteil 6 befestigt ist, vertikal bewegen kann. Der Hubschlitten 4 ist im Drehteil 6 geführt.
  • Der Schleifechlitten 2 kann gegenüber den Hubschlitten 4 mittels des als NC-Achse ausgebildeten Positionierentriebes 7 senkrecht zur Hubrichtung bewegt werden.
  • Vorzugsweise im Schnittpunkt S der Tangentialführung 8 und der Radialführungen 9 des Hubschlittens 4 oder im Bereich oberhalb des Drehteiles 6 ist eine Halterung 10 drehbar angeordnet, wobei die Drehbewegung über den Hydraulikzylinder 11 und eine als Zahnstange ausgebildete Kolbenstange 12 erfolgt. An der Halterung 10 sind ein Ritzel 13 sowie Piezo-Wandler 14 angeordnet, wobei in den Piezo-Wandler 14 ein Stirndiamanttaster 15 und ein Seitendiamanttaster 16 angebracht sind. Die Piezo-Wandler 14 sind über einen Verstärker 17 und eine Recheneinheit 18 mit den Positionierantrieb 7 verbunden.
  • Bei einer weiteren nicht näher dargestellten Ausführungeform sind zwei Seitendiamanttaster 16 angeordnet.
  • Die Wirkungsweise der erfindungsgemäßen Lösung ist wie folgt: Zur @berprüfung der Lage des Schleifkörpers 1 in radialer Richtung und zur Ermittlung der Topographie der Stirnfläche des Schleifkörpers 1 wird der Schleifechlitten 2 über den Positionierantrieb 7 zu. Stirndiamanttaster 15 von der Schleifposition I zur Meßposition II geführt. Dabei entsprechen die Positionen I' und II' dem max. Schleifkörperdurchmesser und die Positionen I'' und II## dem min. Schleifkörperdurchmesser.
  • Bei Beginn der Berührung mit den Stirndiaaanttaster 15 erfolgt die Deformation des zugehörigen Piezo-Wandlere 14.
  • Die Spannung des Piezo-Wandlers 14 wird im Verstärker 17 verstärkt und der Recheneinheit 18 zugeführt. Die Recheneinheit 18 bewertet in geeigneter Weise Frequenz und -Signalamplitude zur Ermittlung der Topographie des Schleifkörpers 1, wobei gleichzeitig die Istposition des Schletfkörpers 1 gegenüber eine Sollwert vertichen wird.
  • In Abhängigkeit vom Verschleiß der Abrichtwerkzeuge anl dert sich die Topographie des Schleifkörpers 1 bei gleichbleibenden Abrichtbedingungen. Eine daraus resultierende Anderung der Frequenz und der Signalamplitude sind ein Maß für den Verschleiß der Abrichtwerkzeuge. Bei Erreichen eines definierten Schwellwertes ergibt sich die Notwendigkeit des Drehens bzw. Wechselns des Abrichtwerkzeuges oder einer entsprechenden Korrektur der technologischen Abrichtbedingungen.
  • Der Poftionisrantrieb 7 kann in bekannter Weise den Positionsfehler des Schleifkörpers 1 korrigieren.
  • Zur Ermittlung der axialen Verlagerung des Schleifkörpers 1 und zur Ermittlung der Topographie der für den Schleifprozoß relevanten Kegelmentelfläche des Schleifkörpers 1 wird der Seitendiamanttaster 16 durch Schwenken der Halterung 10 in Meßposition gebracht. Die axiale Verlagerung des Schleifkörpers 1 ergibt sich durch einen Soll-Ist-Wert#Vergleich der Position des Schleifkörpers 1 in radialer Richtung. Dabei ist der Betrag der axialen Verlagerung vom Winkel des Kegelmantels abhängig.
  • Bei der Ausführungsform mit zwei Seitendiamanttastern 16 erübrigt sich ein Schwenken der Halterung 10.
  • Bei einem weiteren Ausführun'gsbeispiel nach Fig. 3 ist die Halterung 10 am Vertikalechlitten 19* der einen als NC-Achse ausgebildeten Positionierantrieb 20 aufweist, befestigt.
  • Der Vertikalschlitten 19 ist auf einen Horizontalechlitten 21 angeordnet, der über einen NC-gesteuerten Positionierantrieb 22 angetrieben wird und auf dem Drehteil 6 befestigt ist.
  • An der Halterung 10 sind ein Stirndiamanttaster 15 und ein Seitendiaianttaster 16 angeordnet, die mit Piezo-Wandlern 14 verbunden sind.
  • Dabei kann der Seitendiamanttaster 16 in der Ebene des Stirndiamanttaster 16 um 900 versetzt zum Stirndiamanttaster 15 angeordnet sein.
  • Eine weitere nicht näher dargestellte Ausführungsform weist zwei Seitendiamanttaster 16 auf.
  • Der Piezo-Wandler 14 des Stirndiamanttasters 16 ist über den Verstärker 23 und der Recheneinheit 24 mit dem Positionierantrieb 20 verbunden und der Piezo-Wandler 14 des Seitendi@manttasters 16 ist über den Verstärker 26 und der Recheneinheit 26 mit dem Positionierantrieb 20 und dem Positionierantrieb 22 gekoppelt.
  • Die Wirkungsweise dieser Ausfohrungsfora ist wie folgt: Der Hubschlitten 4 wird in seiner oberen Totpunktlage positioniert. Unter Berücksichtigung der durch den Abrichtprozeß erfolgten Verringerung des Durchmessers des Schleifkörpers 1 wird über den Positionierantrieb 20 der Stirndiamanttaster 15 zum Schleifkörper 1 bewegt.
  • In der bereits beschriebenen Art und Weise erfolgen S4gnalgebung über den Piezo-Wandler 14 und Rückkopplung über Verstärker 23, Recheneinheit 24 zum NC-gesteuerten Positionierantrieb 20. Zur Messung der Kegelmantelfläche des Schleifkörpers 1 wird der Seitendiamanttaster 16 durch den Positionierantrieb 20 in seine vertikale Meßposition gebracht. Durch den Positionierentrieb 22 erfolgt die Bewegung zur axialen Meßposition.
  • Beim Messen der Kegelmantelfläche ist eine axiale Verlagerung des Schleifkörpers 1 nach den Abrichten nicht nachweisbar, da das Abrichtelement und der Seitendiamenttaster 16 auf dem-selben Vertikalschlitten 19 ontiert sind.
  • Unter Nutzung des Positionierantriebes 7 des Schleifschlittens 2 kann daher zur Oberprüfung der Axialverlagerung des Schleifkörpers 1 der Seitendiamanttaster 16 an die Stirn fläche des Schleifkörpers 1 oder der Schleifspindel 3 herangeführt werden. Diese Oberprüfung ist dann möglich, wenn der Seitendiamanttaster 16 um 900 versetzt zum Stirndiamanttaster 15 angeordnet ist.
  • Mit den ermittelten Meßwerten können sowohl über die W-gesteuerten Positionierantriebe 7, 20 und 22, aber auch über nicht näher dargestellte NC-gesteuerte Positionierachsen eines Werkstückantriebes Korrekturen der Fehleranteile durchgeführt werden.
  • Durch Variation der Verfahrgeschwindigkeit der Positionierantriebe 20 und 22 kann die Topographie des Schleifkörper 1 im Abrichtprozeß zielgerichtet verändert werden, wenn der ermittelte Meßwert nicht dem technologischen Sollwert entspricht.
  • Aufstellung der verwendeten Bezugszeichen 1 - Schleifkörper 2 - Schleifechlitten 3 - Schleifepindel 4 - Hubschlitten 5 - Kolbenstange 6 - Drehteil 7 - Positionierantrieb 8 - Tangentialführung 9 - Radialführung 10 - Halterung 11 - Hydraulikzylinder 12 - Kolbenstange 13 - Ritzel 14 - Piezo-Wandler 15 - Stirndiamanttaster 16 - Seitendiamanttaster 17 - Verstärker 18 - Recheneinheit 19 - Vertikalschlitten 20 - Positionierantrieb 21 - Horizontalschlitten 22 - Positionierantrieb 23 - Verstärker 24 - Recheneinheit 26 - Verstärker 26 - Recheneinheit S - Schnittpunkt der Tangential- und Radialführung - Leerseite -

Claims (1)

  1. Meßanordnung zur Erfassung der Ist-Lage und der Topographie eines rotierenden Schleifkörpers Patentansprüche 1. Meßanordnung zur Erfassung der Ist-Lage und der Topographie eines rotierenden Schleifkörpers. vorzugsweise eines Doppelkegelschleifkörpers.
    dadurch gekennzeichnet, daß verforibare Piezo-Wandler (14) it den Schleifkörper (1) abtastenden Stirn- und Seitendiananttastern (15; 16) versehen und in einer Halterung (10) innerhalb einer zu. Schleifkörper (1) thernisch neutralen Zone, i. Bereich des Schnittpunktes (S) der Tangens tialführung (8) und der Radialführung (9) des Hubschlittens (4) oder in Bereich oberhalb des Drehteiles (6), angeordnet sind und daß ein der Verformung des Piezo-Wandlers (14) proportionales Signal des Schleifkörpers (1), in Abhängigkeit seiner Drehzahl. der Hohe und der Anzahl der topographischen Punkte, erzeugt wird und an Recheneinheiten (18; 24; 26) anliegt.
    2. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß anstelle von eines Seitendinanttaster (16) zwei Seitendiananttaster (16) angeordnet sind.
    3. Meßanordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Seitendiananttaster (16) um 900 versetzt zug stirndiananttaoter (15) angeordnet ist.
    4. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Recheneinheit (18) ausgehende Slgnal als Stellgröße an einem Positionierantrieb (7) anliegt.
    6. Meßanordnung nach Anspruch 1 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Recheneinheit (26) ausgehende Signal als Stellgröße an den Positionierantrieben (20-; 22 7) anliegt und daß das von der Recheneinheit (24) ausgehende Signal als Stellgröße an den Positionierantrieb (20) anliegt.
    6. Meßanordnung nach Anspruch 1, 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die von den Recheneinheiten (16; 24; 26) susgehenden Signale als stellgröße an einer NC-WerkstOckpositioniereinheit anliegen.
    7. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch ~gekennzeichnet, daß anstelle der Piezo-Wandler (14) elektrodynamische Wandler angeordnet sind.
DE19853524690 1984-08-27 1985-07-11 Messanordung zur erfassung der ist-lage und der topographie eines rotierenden schleifkoerpers Withdrawn DE3524690A1 (de)

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