DE3231995C2 - Verfahren und Anordnung zum Messen der Verschmutzung eines kapazitiven Taupunktsensors - Google Patents
Verfahren und Anordnung zum Messen der Verschmutzung eines kapazitiven TaupunktsensorsInfo
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Abstract
Ein Taupunktmeßgerät hat einen kapazitiven Taupunktsensor (1), der durch eine Kühleinrichtung (17) auf die Taupunkt temperatur abgekühlt wird, die durch einen Temperatursensor (8) gemessen wird. Eine Phasenmeßschaltung (14) mißt den Phasenwinkel der Impedanz des kapazitiven Taupunktsensors (1). Der gemessene Phasenwinkel wird als Maß für die Verschmutzung des Taupunktsensors (1) verwendet.
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Messen der Verschmutzung eines kapazitiven Taupunktsensors
sowie auf eine Anordnung zur Durchführung des Verfahrens.
Kapazitive Taupunktsensoren werden in Taupunktmeßgeräten
dazu verwendet, das Auftreten des Taubeschlags auf der Kondensationsfläche beim Erreichen der
Taupunkttemperatur festzustellen. Ihre Wirkung Deruht
darauf, daß sich die Sensorkapazität wegen der großen Dielektrizitätskonstante von Wasser bei der Bildung einer
Tauschicht beträchtlich ändert. Durch eine Temperaturregelung kann die Kapazität und damit die Tauschichtdicke
auf einem vorgegebenen konstanten Wert gehalten werden. Die von einem Temperatursensor gemessene
Temperatur der Kondensationsfläche ist dann die Taupunkttemperatur.
Die Meßgenauigkeit solcher kapazitiver Taupunktsensoren nimmt mit zunehmender Verschmutzung der
Sensoroberfläche ab. Ursachen hierfür sind die Dampfdruckerniedrigung und eine nichthomogene Taubildung.
Die Kondensationsiläche des Taupunktsensors muß deshalb von Zeit zu Zeit gereinigt werden. Da es
jedoch schwierig ist, den Verschmutzungsgrad festzustellen, besteht die Gefahr, daß längere Zeit unbemerkt
zunehmende Meßfehler auftreten, oder daß bei zu häufiger Reinigung die Taupunktmessung unnötig oft unterbrochen
wird.
Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines Verfahrens, mit dem die Verschmutzung eines kapazitiven
Taupunktsensors ohne Störung oder Unterbrechung der Taupunktmessung fortlaufend gemessen werden
kann.
Nach der Erfindung wird dies dadurch erreicht daß der Phasenwinkel der bei Betauung bestehenden Sensorimpedanz
gemessen und als Maß für die Verschmutzung verwendet wird.
Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß sich der Phasenwinkel der Sensorimpedanz in Abhängigkeit
vom Verschmutzungsgrad des Taupunktsensors ändert. Im trockenen Zustand ist die Impedanz des Taupunktsensors,
unabhängig vom Verschmutzungsgrad, praktisch ein rein kapazitiver Blindwiderstand, so daß die
Sensorimpedanz den Phasenwinkel Φ = —90° hat. Wenn sich auf dem Taupunktsensor eine Wasserschicht
bildet, hängt der Phasenwinkel von der elektrischen Leitfähigkeit des Wasser ab. Bei reinem Wasser bleibt
im wesentlichen der Phasenwinkel Φ = —90° bestehen.
Dieser Zustand tritt ein, wenn sich der Taubeschlag auf einer vollkommen sauberen Kondensationsfläche bildet.
Wenn dagegen die Kondensationsfläche verschmutzt ist, lösen sich die Verschmutzungen in dem
Wasser des Taubeschlags, wodurch das Wasser elektrisch leitfähig wird. Je größer die Leitfähigkeit ist, um
so kleiner wird der Phasenwinkel Φ der Sensorimpedanz.
Die Messung des Phasenwinkels der Sensorimpedanz als Maß für die Verschmutzung des Taupunktsensors
ergibt ein Signal, das sich analog zum Verschmutzungsgrad ändert Die Messung kann gleichzeitig mit der Taupunktmessung
kontinuierlich durchgeführt werden, ohne daß die Taupunktmessung dadurch in irgendeiner
Weise beeinträchtigt wird. Die Verschmutzungsmessung ist weitgehend unabhängig von anderen Einflußgrößen,
wie Taupunkttemperatur, Gastemperatur, Taupunktabstand und Luftgeschwindigkeit.
Ferner wurde festgestellt, daß für nicht zu hohe Meßfrequenzen
der Phasenwinkel Φ der Sensorimpedanz unabhängig von der Wassermenge, also von der Tauschichtdicke
ist. Im übrigen ist der Einfluß der Tauschichtdicke auch bei höheren Frequenzen nicht störend,
da gewöhnlich durch Temperaturregelung eine konstante Tauschichtdicke eingestellt wird, so daß auch
für den Zusammenhang zwischen Phasenwinkel und Verschmutzungsgrad ein eindeutiges Ergebnis erhalten
wird.
Dagegen wurde festgestellt, daß der Betrag der Sensorimpedanz ein Maß für die Wassermenge, also für die
Tauschichtdicke ist. Eine vorteilhafte Ausgestaltung des Verfahrens nach der Erfindung besteht daher darin, daß
der Betrag der Sensorimpedanz als Maß für die Tauschichtdicke gemessen wird,
Eine Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung ist in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Die Erfindung wird in der folgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der Zeichnung näher
erläutert. In der Zeichnung zeigt
Fig. 1 eine Draufsich auf einen kapazitiven Taupunktsensor in Dünnfilmtechnik,
Fig.2 eine Schnittansicht des Taupunktsensors von
F i g. 1 und
F i g. 3 ein schematisches Schaltbild eines Taupunktmeßgeräts
mit einem kapazitiven Taupunktsensor und mit einer Anordnung zur Messung der Verschmutzung
des Taupunktsensors.
Der in Fig. 1 in Draufsicht und in Fig.2 im Schnitt
dargestellte kapazitive Taupunktsensor 1 hat ein Substrat 2, auf dessen Oberfläche zwei ineinandergreifende
Kammelektroden 3 und 4 in Dünnfilmtechnik gebildet sind. Das Substrat 2 besteht aus einem feuchtigkeitsunempfindlichen
Isoliermaterial, vorzugsweise aus Keramik. An die Kammelektroden 3,4 sind Kontaktflächen 5
bzw. 6 angeformt, die den Anschluß einer äußeren Meßschaltung ermöglichen. Die die Kammclektroden 3, 4
tragende Fläche des Substrats 2 ist mit einer Schutzschicht 7 bedeckt, die beispielsweise aus Glas besteht.
Auf der Oberseite des Taupunktsensors ist ferner ein Temperatursensor 8 zur Messung der Temperatur des
Taupunktsensors angebracht Der Temperatursensor kann beispielsweise der Meßwiderstand eines Widerstandsthermometers
sein.
Bei Verwendung eines solchen kapazitiven Taupunktsensors in einem Taupunktmeßgerät wird bekanntlich
der Taupunktsensor durch eine geeignete Kühleinrichtung abgekühlt, bis sich auf der Oberseite der Schutzschicht
7 Tau niederschlägt. Durch die Bildung der Tauscl.icht ändert sich die an den Kontaktflächen 5 und 6
gemessene Kapazität zwischen den Kammdektroden 3 und 4 wegen der großen Dielektrizitätskonstante von
Wasser. Die Kapazitätsänderung zeigt das Erreichen der Taupuiikttemperatur an, die mit Hilfe des Temperatursensors
8 gemessen und angezeigt wird. Gewöhnlich ist eine Tempcraturregeleinrichtung vorhanden, die die
Kühleinrichtung so steuert, daß eine konstante Tauschichtdicke
aufrechterhalten wird. Der Taupunktsensor wird dadurch ständig auf der Taupunkttemperatur
gehalten, die mit Hilfe des Temperatursensors 8 dauernd angezeigt werden kann. .
Die Meßgenauigkeit des Taupunktsensors wird beeinträchtigt,
wenn die die Kondensationsfläche bildende Oberfläche der Glasschicht 7 verschmutzt ist, weil die
Verschmutzung zu einer Dampfdruckerniedrigung und einer nichthomogenen Taubildung führen kann.
F i g. 3 zeigt das Schaltschema eines Taupunktmeßgeräts, das außer der Messung der Taupunkttemperatur
auch die Messung der Verschmutzung des Taupunktsensors ermöglicht.
Das Ersatzschaltbild des Taupunktsensors ist in dem gestrichelten Kasten 1 dargestellt. Der Kondensator C
stellt die im trocknenen Zustand zwischen den Kontaktflächen 5 und 6 erscheinende Kapazität des Taupunktsensors
dar, die praktisch verlustfrei ist. Wenn sich auf dem Taupunktsensor eine Tauschicht gebildet hat, liegt
parallel zu dieser Kapazität Cdie Impedanz Zder Tauschicht,
die eine verlustbehaftete Kapazität darstellt, deren Verlustfaktor von der elektrischen Leitfähigkeit des
Wassers abhängt, die wiederum durch den auf der Kondensationsfläche
vorhanden Schmutz verursacht wird, der sich im Wasser löst.
Die Kontaktfläche 5 ist mit der einen Klemme einer Wechselspannungsquellle 10 verbunden, deren andere
Klemme an Masse liegt. Die Kontaktfläche 6 isi. mit dem
invertierenden Eingang eins Operationsverstärkers 11 verbunden, dessen nichtinvertierender Eingang an Masse
gelegt ist und in dessen Rückkopplungszweig eine Bezugsimpedanz Zr liegt.
Der invertierende Eingang des Operationsverstärkers 11 ist ferner mit der einen Klemme eines einstellbaren
Kompensationskondensators 12 verbunden, dessen andere Klemme an eine Wechselspannungsquelle 13 angeschlossen
ist, die eine zur Wechselspannung U/ der
Wechselspannungsquelle 10 gegenphasige Wechselspannung — U1 gleicher Amplitude liefert.
Der Ausgang des Operationsverstärkers 11 ist mit dem einen Eingang einer Phasenmeßschaltung 14 verbunden,
die am anderen Eingang die Spannung U, der Wechselspannungsquelle 10 als Phasenbezugsgröße
empfängt Die Phasenmeßschaltung 14 liefert am Ausgang ein von der Phasenverschiebung zwischen ihren
Eingangsspannungen abhängiges Signal.
Ferner ist an den Ausgang des Operationsverstärkers 11 eine Signal Verarbeitungsschaltung 15 angeschlossen,
deren Ausgangssignal einem Temperaturregler 16 zugeführt wird. Der Temperaturregler 16 steuert eine
Kühleinrichtung 17, die den Taupunktsensor 1 kühlt. F i g. 3 zeigt noch den Temperatursensor 8, der mit einer
Temperaturmeßschaltung 18 verbunden ist, die ein von der Temperatur des Taupunktsensors 1 abhängiges Signal
liefert, das mittels einer Anzeigevorrichtung 19 angezeigt wird.
Wenn angenommen wird, daß sich eine Tauschicht auf dem Taupunktsensor gebildet hat ist außer der
Trockenkapazität C auch die Impedanz Z der Tauschicht
vorhanden. Die Wechselspannungsquelle 10 schickt über die Gesamtimpedanz des Taupunktsensors
1 zum invertierenden Eingang des Operationsverstärkers 11 einen Strom, der sich aus dem über die Kapazität
C fließenden Strom Ic und aus dem über die Impedanz Z der Tauschicht fließenden Strom Iz zusammensetzt:
/ = Ic + Iz.
Der Kompensationskondensator 12 ist so eingestellt, daß seine Kapazität gleich der Trockenkapazität C des
Taupunktsensors 1 ist. Die Wechselspannungsquelle 13 schickt somit über den Kompensationskondensator 12
einen Strom —Ic, der den vom Taupunktsensor 1 kommenden
Strom Ic kompensiert. Über die Bezugsimpedanz Zr fließt somit nur der Strom Iz, der der Impedanz
Zumgekehrt proportional ist.
Die Ausgangsspannung Uo des Operationsverstärkers 11 nimmt somit den folgenden Wert an:
Die Spannung Uo hat somit einen Betrag, der dem Betrag der Impedanz Zumgekehrt proportional ist, und
sie weist gegenüber der Spannung Ui eine Phasenverschiebung
auf, die vom Phasenwinkel der Impedanz Z abhängt. Durch geeignete Bemessung des Phasenwinkels
der Bezugsimpedanz Zr kann erreicht werden, daß diese Phasenverschiebung gleich dem Phasenwinkel der
Impedanz Zist.
Wenn die Impedanz der Tauschicht in der komplexen Form
Z= R + jX
geschrieben wird, worin Λ den realteil und Xden Imaginärteil
der Impedanz darstellen, ist bekanntlich der Phasenwinkel der Impedanz Z durch die folgenden Beziehung
definiert:
Φ = arctg -β.
Wenn die Kondensationsfläche des Taupunktsensors vollkommen sauber ist, bleibt das Wasser in der sich
niedei schlagenden Tauschicht elektrisch nichtleitend und die Impedanz Zist praktisch eine reine Kapazität,
die parallel zur Trockenkapazität C liegt. Der Realteil der Impedanz Z ist R = 0, und der Phasenwinkel der
Impedanz Zhat den Wert Φ = —90°. Mit zunehmender
Verschmutzung des Taupunktsensors nimmt die elektrische Leitfähigkeit des Wassers in der Tauschicht zu, und
demzufolge wird der Realteil R der Impedanz der Tauschicht größer, so daß der Winkel Φ dem Absolutwert
nach kleiner wird. Demzufolge ändert sich auch die Phasenverschiebung zwischen der Ausgangsspannung Uo
des Operationsverstärkers 11 und der Eingangsspannung U1. Diese Änderung der Phasenverschiebung wird
durch das Ausgangssignal der Phasenmeßschaltung 14 angezeigt, das somit ein Maß für die Verschmutzung des
Taupunktsensors 1 ist
Wenn die Frequenz der Wechselspannungsquelle 10 nicht allzu groß ist, ist der Phasenwinkel Φ weitgehend
unabhängig von der auf dem Taupunktsensor befindiichen Wassermenge.
Die Tatsache, daß die Amplitude der Ausgangsspannung Uo des Operationsverstärkers 11 vom Betrag der
Impedanz Z abhängt, wird bei der dargestellten Schaltung zur Durchführung der Taupunktmessung ausge-
nutzt, so daß keine besondere Kapazitätsmeßschaltung erforderlich ist. Die Amplitude der Spannung Uo ist zum
Betrag der Impedanz Z umgekehrt proportional, was günstig ist, weil sich der Betrag der Impedanz Z entgegengesetzt zur Tauschichtdicke ändert, nämlich mit zu-
nehmender Tauschichtdicke kleiner wird. Die Amplitude der Spannung Uo ändert sich also in Abhängigkeit
von der Tauschichtdicke im gleichen Sinne wie das Ausgangssignal der bei Taupunktmeßgeräten üblicherweise
verwendeten Kapazitätsmeßschaltungen, nämlich gleichsinnig mit der Tauschichtdicke. Wenn daher die
Signalverarbeitungsschaltung so ausgebildet ist, daß sie ein der Amplitude der Spannung Uo proportionales
Ausgangssignal abgibt, kann dieses Ausgangssignal in gleicher Weise wie das Ausgangssignal einer üblichen
Kapazitätsmeßschaltung zur Regelung der Temperatur des Taupunktsensors verwendet werden.
Die Signalverarbeitungsschaltung 15 kann daher eine einfache Gleichrichterschaltung sein, die eine der Amplitude der Spannung Uo proportionale Gleichspan-
nung zum Temperaturregler 16 liefert
Wenn der Taupunktsensor 1 noch nicht auf die Taupunkttemperatur abgekühlt ist, besteht nur die Trokkenkapazität C, die jedoch durch den Kompensationskondensator 12 kompensiert ist, so daß die Ausgangss-
pannung Uo den Wert Null hat Dadurch wird der Temperaturregler 16 veranlaßt, die Kühleinrichtung 17 so zu
steuern, daß der Taupunktsensor 1 zunehmend abgekühlt wird. Wenn die Taupunkttemperatur erreicht ist
und sich eine Tauschicht auf dem Taupunktsensor bildet, steigt die Ausgangsspannung Uo an, und der Temperaturregler 16 steuert die Kühleinrichtung 17 so, daß
der Taupunktsensor 1 auf einer Temperatur gehalten wird, die einer vorbestimmten Amplitude der Ausgangsspannung Uo, also einem vorbestimmten Wert des
Betrages der Impedanz Z entspricht Diese Temperatur ist die Taupunkttemperatur, die vom Temperatursensor
8 festgestellt und vom Anzeigegerät 9 angezeigt wird.
Das Ausgangssignal der Phasenmeßschaltung 14 kann dazu verwendet werden, einen Alarm oder einen
automatischen Reinigungsvorgang auszulösen, wenn die Verschmutzung einen festgelegten Grenzwert übersteigt In beschränktem MaBe ist es auch möglich, aufgrund des Ausgangssignals der Phasenmeßschaltung eine Korrektur des Taupunktmeßwerts vorzunehmen.
Die durch den Kompensationskondensator 12 und die Spannungsquelle 13 bewirkte Kompensation der Trokkenkapazität C ist nicht unbedingt erforderlich, denn
von der Verschmutzung des Taupunktsensors hängen nicht nur Phase und Betrag der Impedanz Z, sondern
auch die Phase und der Betrag der Gesamtimpedanz des Taupunktsensors einschließlich der Trockenkapazität C
ab. Die in F i g. 3 dargestellte Kompensation macht aber die Verschmutzungsmessung genauer und empfindlicher. Ein besonderer Vorteil der in F i g. 3 dargestellten
Schaltung besteht darin, daß die Messung unabhängig von der Impedanz des Verbindungskabels zwischen
dem Taupunktsensor 1 und der Meßschaltung ist, weil die Kabelimpedanz zwischen den beiden Eingängen des
Operationsverstärkers 11 liegt.
Claims (5)
1. Verfahren zum Messen der Verschmutzung eines kapazitiven Taupunktsensors, dadurch gekennzeichnet,
daß der Phasenwinkel der bei Betauung bestehenden Sensorimpedanz gemessen
und als Maß für die Verschmutzung verwendet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Betrag der Sensorimpedanz als
Maß für die Tauschichtdicke gemessen wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die im trockenen Zustand bestehende
Kapazität des Taupunktsensors kompensiert wird.
4. Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß der kapazitive Taupunktsensor zwischen einer ersten Wechselspannunsquelle und dem
Eingang eines Operationsverstärkers angeschlossen ist, in dessen Rückkopplungszweig eine Bezugsimpedanz
liegt, und daß der Ausgang des Operationsverstärkers mit dem einen Eingang einer Phasenmeßschaltung
verbunden ist, die am anderen Eingang ein von dieser Wechselspannungsquelle abgeleitetes
Phasenbezugssignal empfängt und ein Phasenwinkel der Sensorimpedanz abhängiges Ausgangssignal
liefert.
5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Kompensationskondensator zwisehen
einer zur ersten Wechselspannungsquelle gegenphasigen zweiten Wechselspannungsquelle und
dem Eingang des Operationsverstärkers angeschlossen ist.
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Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3231995A DE3231995C2 (de) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | Verfahren und Anordnung zum Messen der Verschmutzung eines kapazitiven Taupunktsensors |
NL8302753A NL8302753A (nl) | 1982-08-27 | 1983-08-04 | Werkwijze en inrichting voor het meten van de vervuiling van een capacitieve dauwpuntsensor. |
US06/523,464 US4626774A (en) | 1982-08-27 | 1983-08-16 | Method and arrangement for measuring the contamination of a capacitive dew-point sensor |
SE8304613A SE460740B (sv) | 1982-08-27 | 1983-08-25 | Foerfarande och anordning foer maetning av nedsmutsningen av en kapacitiv daggpunktsgivare |
FR8313703A FR2532427B1 (fr) | 1982-08-27 | 1983-08-25 | Procede et dispositif pour la mesure de l'encrassement d'un detecteur capacitif de point de rosee |
IT67893/83A IT1159590B (it) | 1982-08-27 | 1983-08-25 | Procedimento e disposizione per la misurazione dell'imbrattamento di un sensore capacitivo del punto di rugiada |
CH4659/83A CH661986A5 (de) | 1982-08-27 | 1983-08-26 | Verfahren und anordnung zum messen der verschmutzung eines kapazitiven taupunktsensors. |
JP58155126A JPS5985949A (ja) | 1982-08-27 | 1983-08-26 | 容量形露点センサの汚れを測定する方法および装置 |
GB08323158A GB2127975B (en) | 1982-08-27 | 1983-08-30 | A method and arrangement for measuring the contamination of a capacitive dew-point sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3231995A DE3231995C2 (de) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | Verfahren und Anordnung zum Messen der Verschmutzung eines kapazitiven Taupunktsensors |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3231995A1 DE3231995A1 (de) | 1984-03-01 |
DE3231995C2 true DE3231995C2 (de) | 1985-06-27 |
Family
ID=6171900
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3231995A Expired DE3231995C2 (de) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | Verfahren und Anordnung zum Messen der Verschmutzung eines kapazitiven Taupunktsensors |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4626774A (de) |
JP (1) | JPS5985949A (de) |
CH (1) | CH661986A5 (de) |
DE (1) | DE3231995C2 (de) |
FR (1) | FR2532427B1 (de) |
GB (1) | GB2127975B (de) |
IT (1) | IT1159590B (de) |
NL (1) | NL8302753A (de) |
SE (1) | SE460740B (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3708697A1 (de) * | 1987-03-18 | 1988-09-29 | Draegerwerk Ag | Verfahren und anordnung zur messung des taupunktes |
DE4116322A1 (de) * | 1991-05-16 | 1991-10-31 | Ermic Gmbh | Anordnung zur messung der taupunkttemperatur, der betauung und der luftzusammenmsetzung |
WO1993006471A1 (en) * | 1991-09-13 | 1993-04-01 | Enel - Ente Nazionale Per L'energia Elettrica | Apparatus for checking the contamination condition of electric insulators |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3446277A1 (de) * | 1984-12-19 | 1986-06-19 | Forschungsinstitut Prof. Dr.-Ing.habil, Dr.phil.nat. Karl Otto Lehmann, Nachf. GmbH & Cie, 7570 Baden-Baden | Messwertaufnehmer zur messung des taupunkts |
JPH0646186B2 (ja) * | 1985-12-12 | 1994-06-15 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 水滴検出装置 |
GB8602742D0 (en) * | 1986-02-04 | 1986-03-12 | Mestra Ag | Capacitive sensor circuit |
DE3633015A1 (de) * | 1986-09-29 | 1988-04-07 | Draegerwerk Ag | Verfahren und anordnung zur messung des taupunktes |
CH672957A5 (de) * | 1987-03-16 | 1990-01-15 | Novasina Ag | |
DE3720189C1 (de) * | 1987-06-16 | 1988-12-29 | Endress Hauser Gmbh Co | Taupunkt-Sensor |
DE3740719A1 (de) * | 1987-12-01 | 1989-06-15 | Endress Hauser Gmbh Co | Verfahren und anordnung zur messung des wasserdampf-taupunkts in gasen |
FI82554C (fi) * | 1988-11-02 | 1991-03-11 | Vaisala Oy | Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga. |
US5121068A (en) * | 1989-12-26 | 1992-06-09 | Emhart Industries, Inc. | Sensor for sensing the wall thickness of an object |
US5072190A (en) * | 1990-08-14 | 1991-12-10 | The Foxboro Company | Pressure sensing device having fill fluid contamination detector |
US5365784A (en) * | 1992-04-30 | 1994-11-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Humidity sensing apparatus and method |
DE4305934B4 (de) * | 1993-02-26 | 2004-09-30 | CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH | Anordnung von Sensoren zur Messung der Luftfeuchte |
US5364185A (en) * | 1993-04-16 | 1994-11-15 | California Institute Of Technology | High performance miniature hygrometer and method thereof |
EP0790479B1 (de) | 1996-02-14 | 2002-01-16 | STMicroelectronics S.r.l. | Kapazitiver Abstandssensor, insbesondere zur Erfassung von Fingerabdrücken |
US6114862A (en) | 1996-02-14 | 2000-09-05 | Stmicroelectronics, Inc. | Capacitive distance sensor |
US6320394B1 (en) * | 1996-02-14 | 2001-11-20 | Stmicroelectronics S.R.L. | Capacitive distance sensor |
US5809826A (en) * | 1996-07-29 | 1998-09-22 | Baker, Jr.; Hugh M. | Inferential condensation sensor |
US5764065A (en) * | 1996-09-20 | 1998-06-09 | Richards; Clyde N. | Remote contamination sensing device for determining contamination on insulation of power lines and substations |
DE19708053B4 (de) * | 1997-02-28 | 2006-06-08 | Ust Umweltsensortechnik Gmbh | Verfahren und Sensoranordnung zur Dedektion von Kondensationen an Oberflächen |
US6566893B2 (en) | 1997-02-28 | 2003-05-20 | Ust Umweltsensortechnik Gmbh | Method and arrangement for monitoring surfaces for the presence of dew |
US6483931B2 (en) | 1997-09-11 | 2002-11-19 | Stmicroelectronics, Inc. | Electrostatic discharge protection of a capacitve type fingerprint sensing array |
US6191593B1 (en) * | 1997-12-17 | 2001-02-20 | Stmicroelectronics, Inc. | Method for the non-invasive sensing of physical matter on the detection surface of a capacitive sensor |
US6091082A (en) | 1998-02-17 | 2000-07-18 | Stmicroelectronics, Inc. | Electrostatic discharge protection for integrated circuit sensor passivation |
US6926439B2 (en) | 1998-10-30 | 2005-08-09 | Optiguide Ltd. | Dew point hygrometers and dew sensors |
IL126826A0 (en) | 1998-10-30 | 1999-08-17 | Optiguide Ltd | Optical hygrometers |
US6512381B2 (en) | 1999-12-30 | 2003-01-28 | Stmicroelectronics, Inc. | Enhanced fingerprint detection |
US7239227B1 (en) | 1999-12-30 | 2007-07-03 | Upek, Inc. | Command interface using fingerprint sensor input system |
US6906530B2 (en) * | 2002-05-30 | 2005-06-14 | D.J. Geisel Technology, Inc. | Apparatus and method to detect moisture |
NL1021400C2 (nl) * | 2002-09-05 | 2004-03-08 | Tno | Werkwijze en inrichting voor het bepalen van een faseovergang van een stof. |
AU2003902836A0 (en) * | 2003-06-06 | 2003-06-26 | M.B.T.L. Limited | Environmental sensor |
DE102004005353B4 (de) | 2004-02-03 | 2016-08-11 | CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH | Verfahren zur Bestimmung der Parameter von Gasen |
JP4229885B2 (ja) * | 2004-08-18 | 2009-02-25 | 株式会社デンソー | 容量式物理量検出装置 |
GB2419415A (en) * | 2004-09-20 | 2006-04-26 | Bioquell Uk Ltd | Sterilisation sensor |
US8115497B2 (en) * | 2007-11-13 | 2012-02-14 | Authentec, Inc. | Pixel sensing circuit with common mode cancellation |
DE102007047888A1 (de) * | 2007-11-28 | 2009-08-13 | Sitronic Gesellschaft für elektrotechnische Ausrüstung mbH. & Co. KG | Sensoranordnung |
US9063067B1 (en) | 2010-11-17 | 2015-06-23 | Alvin P. Schmitt | Moisture sensing devices |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2435895A (en) * | 1943-06-24 | 1948-02-10 | Oran T Mciivaine | Dew point detector |
DE1813333A1 (de) * | 1968-12-07 | 1970-06-11 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verfahren zur Messung der Schichtdicke eines Metallbelages auf einer Isolierstoffbahn |
US3664192A (en) * | 1969-09-08 | 1972-05-23 | Univ Utah State | Dew point hygrometers |
US3778707A (en) * | 1972-12-14 | 1973-12-11 | Agridustrial Electronics | Means for measuring loss tangent of material for determining moisture content |
CA1020631A (en) * | 1974-03-04 | 1977-11-08 | Edward I. Parker | Control and gauging method and apparatus using locked oscillators |
US4216669A (en) * | 1978-10-06 | 1980-08-12 | General Eastern Instruments Corporation | Contaminant error reduction system for dew point hygrometers |
US4272986A (en) * | 1979-04-16 | 1981-06-16 | Harris Corporation | Method and means for measuring moisture content of hermetic semiconductor devices |
JPS5731102A (en) * | 1980-08-01 | 1982-02-19 | Tokyo Shibaura Electric Co | Moisture sensitive element |
JPS57111566A (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-12 | Fujitsu Ltd | Detecting circuit for toner density |
NL8101310A (nl) * | 1981-03-18 | 1982-10-18 | Skf Ind Trading & Dev | Inrichting voor het meten van de variatie van een capacitieve impedantie, waarvan het dielektricum wordt gevormd door een smeermiddel. |
-
1982
- 1982-08-27 DE DE3231995A patent/DE3231995C2/de not_active Expired
-
1983
- 1983-08-04 NL NL8302753A patent/NL8302753A/nl not_active Application Discontinuation
- 1983-08-16 US US06/523,464 patent/US4626774A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-08-25 SE SE8304613A patent/SE460740B/sv not_active IP Right Cessation
- 1983-08-25 FR FR8313703A patent/FR2532427B1/fr not_active Expired
- 1983-08-25 IT IT67893/83A patent/IT1159590B/it active
- 1983-08-26 JP JP58155126A patent/JPS5985949A/ja active Granted
- 1983-08-26 CH CH4659/83A patent/CH661986A5/de not_active IP Right Cessation
- 1983-08-30 GB GB08323158A patent/GB2127975B/en not_active Expired
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3708697A1 (de) * | 1987-03-18 | 1988-09-29 | Draegerwerk Ag | Verfahren und anordnung zur messung des taupunktes |
DE4116322A1 (de) * | 1991-05-16 | 1991-10-31 | Ermic Gmbh | Anordnung zur messung der taupunkttemperatur, der betauung und der luftzusammenmsetzung |
DE4116322C2 (de) * | 1991-05-16 | 1998-08-06 | Ct Fuer Intelligente Sensorik | Vorrichtung zur Messung der Taupunkttemperatur und der Betauung |
WO1993006471A1 (en) * | 1991-09-13 | 1993-04-01 | Enel - Ente Nazionale Per L'energia Elettrica | Apparatus for checking the contamination condition of electric insulators |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT1159590B (it) | 1987-03-04 |
FR2532427A1 (fr) | 1984-03-02 |
JPH0260141B2 (de) | 1990-12-14 |
SE8304613L (sv) | 1984-04-18 |
GB2127975A (en) | 1984-04-18 |
CH661986A5 (de) | 1987-08-31 |
GB2127975B (en) | 1985-11-13 |
FR2532427B1 (fr) | 1986-01-31 |
DE3231995A1 (de) | 1984-03-01 |
US4626774A (en) | 1986-12-02 |
IT8367893A0 (it) | 1983-08-25 |
SE8304613D0 (sv) | 1983-08-25 |
GB8323158D0 (en) | 1983-09-28 |
JPS5985949A (ja) | 1984-05-18 |
SE460740B (sv) | 1989-11-13 |
NL8302753A (nl) | 1984-03-16 |
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