DE2844491C2

DE2844491C2 - Vakuum-Beschichtungsanlage mit einer Einrichtung zum kontinuierlichen Substrattransport

Info

Publication number: DE2844491C2
Application number: DE2844491A
Authority: DE
Inventors: Heinz 6450 Hanau Walter
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1978-10-12
Filing date: 1978-10-12
Publication date: 1983-04-14
Also published as: JPS5554569A; BE872621A; US4261808A; DE2844491A1; JPS5647952B2

Description

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Die Erfindung betrifft eine Vakuum-Beschichtungsanlage nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Solche Vakuum-Beschichtungsanlagen sind bereits bekannt (US-PS 32 88 700); dort besteht die Vakuumkammer aus einer Glocke und einer Tischplatte, auf die die Glocke vakuumdicht aufsetzbar ist Die Tischplatte ist zusätzlich Träger der funktionellen Einrichtung. Zum Zwecke eines Austauschs der Targets und/oder Substrate muß die Glocke durch einen entsprechenden Hubmechanismus angehoben werden, der entsprechend dem Glockengewicht dimensioniert sein muß. Die Glockenkonstruktion führt außerdem dazu, daß der über der Anlage verfügbare Raum mindestens doppel so hoch sein muß, wie die Höhe der Glocke beträgt Das bekannte Konstruktionsprinzip ist mithin im wesentlichen auf sogenannte Kleinanlagen beschränkt

Bei Vakuum-Beschichtungsanlagen unterliegen die funktionellen Einrichtungen, zu denen Zerstäubungskatoden, Ätzkatoden, Glimmeinrichtungen, Vor- und Nachheizstationen etc. gehören, einem Verschleiß und/oder Verbrauch, so daß in gewissen Abständen ein Austausch der betreffenden Teile, zumindest aber eine Inspektion erforderlich ist Die Wartungsintervalle sind dabei um so kürzer, je höher der Durchsatz der betreffenden Anlage ist Die genannten funktionellen Einrichtungen bilden dabei sogenannte Behandlungsstationtn, in denen den Substraten bestimmte Eigenschaften verliehen werden.

Es kann davon ausgegangen werden, daß derartige Behandlungsstationen innerhalb verhältnismäßig großer Vakuumkammern entweder durch ihr Funktionsprinzip räumlich begrenzt sind, und/oder durch besondere Abschirmungen, Trennwände etc. räumlich begrenzt werden können.

Außerdem kondensieren auf inneren Anlagenteilen unvermeidbar Anteile des Beschichtungsmaterials, die nach einiger Zeit beginnen abzublättern, so daß die Gefahr von Substratverunreinigungen besteht. Auch die Beseitigung dieser Kondensate muß in regelmäßigen Intervallen durchgeführt werden.

Durch die DE-OS 24 15 119 ist eine Beschichtungsanlage bekannt, die im wesentlichen aus einer einzigen, hohlzylindrischen Katodenanordnung besteht, d. h. Anode und Katode sind als Mantelteil eines mehrfach längsgeschlitzten Hohlzylinders ausgeführt, der die Bestäubungszone umschließt Die Zugänglichkeit der betreffenden funktionellen Einrichtungen einschließlich der Kettentriebe für den Substrattransport ist jedoch aufgrund der röhrenförmigen Anordnung denkbar ungünstig, so daß Wartungs- und Inspektionsarbeiten erschwert werden.

Durch die DE-PS 11 83 337 ist es bekannt, plattenförmige Substrate an einem horizontalen oder schwach geneigten Rahmen aufzuhängen und sie in senkrechter Lage mittels einer horizontalen Transportkette nacheinander durch die Bedampfungszone zu führen. Ein derartiges Transportsystem ist für die Beschichtung der Substrate mittels einer Katodenanordnung nicht brauchbar, und auch die unterhalb des Transportwegs angeordnete Verdampfereinrichtung führt nur zu einer inhomogenen Schichtdickenverteilung auf den Substraten. Die Zugänglichkeit von etwa zwischen den Substraten angeordneten funktionellen Einrichtungen wäre denkbar schlecht; derartige funktionell«: Einrichtungen würden den Quertransport der Substrate unmöglich machen.

Durch die DE-PS 12 36 900 ist es bekannt, Substrate mittels eines Transportkettensystems in horizontaler Lage über mehrere Verdampfertiegel zu führen. Eine etwaige Ausrüstung der bekannten Vorrichtung mit Katoden als funktioneile Einrichtungen würde deren

^ugänglichkeiit sehr erschweren.

Es ist ferner bereits bekannt, Substrate an zylindrischen Trommeln mit horizontaler Achse zu befestigen. Eine Bedampfung findet hierbei jedoch im wesentlichen nur auf einem geringen Teilumfang der Trommel statt, während die übrigen Umfangsteile der Trommel nur als Vorratsbehälter dienen und wegen der ungünstigen Höhen- und Breitenausdehnung einer Trommel die Abmessungen bzw. das Volumen der Vakuumkammer ungünstig beeinflußen.

Durch die DE-AS 24 20 430 ist es bekannt, zylindrische Trommeln als Halter von Substratpaletten auszubilden. Zum Zwecke einer Beschichtung durch Vakuumaufdampfen werden die Paletten einzeln aus der Trommel in Beschichtungskammern eingefahren, während sie sich in einer im wesentlichen horizontalen Stellung befinden. Die betreffende Aufdampfanlage ist außerordentlich kompliziert im Aufbau "nd in der Steuerung; ihre funktionellen Einrichtungen sind dennoch schlecht zugänglich.

Durch die DE-AS 21 16 190 ist eine Vakuum-Beschichtungsanlage mit einer quaderförmigen Vakuumkammer bekannt, deren Rückwand fest mit den Seitenwänden sowie Boden und Decke verbunden ist. Die funktionellen Einrichtungen wie Katoden sind in Längsrichtung der Kammer verfahrbar zwischen den Substraten angeordnet, wobei die Bewegungsrichtung senkrecht zu einer Tür verläuft, die die Vorderseite der Vakuumkammer verschließt Auch hierbei ist das Problem der Zugänglichkeit zu den funktioneüen Einrichtungen nicht befriedigend gelöst: selbst wenn die Katodenanordnung mit dem Transportwagen nach vorn herausgefahren wird, sind die Zwischenräume zwischen den einzelnen Katoden immer noch schwer zugänglich. Ähnliches gilt für den Gegenstand der DE-AS 16 40 504, bei dem eine Vielzahl paralleler Katoden eine vertikale Relativbewegung zu den Substraten ausführt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vakuum-Beschichtungsanlage der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß die funktionellen Einrichtungen wie Katoden, Heizstationen etc. ohne aufwendige Montagearbeiten dem Bedienungspersonal leicht zugänglich sind. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Mittel gelöst.

Dadurch ist vorteilhafterweise ein relativ einfaches Auswechseln der Targets möglich und die Raumhöhe braucht nicht wesentlich größer zu sein als die Höhe der Vakuumkammer. Hieraus ergibt sich eine Eignung auch für Großanliigen, die ohnehin bereits eine beträchtliche Bauhöhe aufweisen. Die Kleinhaltung der Raumhöhe bringt eine beträchtliche Ersparnis an Sau- und Unterhaltungskosten für den die Anlage umgebenden Raum mit sich. Dennoch sind die Targets, Substrate und der gesamte Antriebsmechanismus im Innern der Anlage nach dem öffnen beider Türen gut zugänglich.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 einen Vertikalschnitt durch eine Vakuum-Beschichtungsanlage mit einer Draufsicht auf die Räder und Trummü eines biegsamen Endlostransportgliedes,

F i g. 2 einen Vertikalschnitt durch den Gegenstand von F i g. 1 im rechten Winkel dazu, d. h. in der Draufsicht auf die Targetflächen zweier Katodenanordnungen sowie auf die zu beschichtenden Substratflächen,

F i β. 3 eine Draufsicht von oben auf den Gegenstand von F i g. 1 und F i g. 2 mit geschlossenen Türen (ausgezogen) und geöffneten Türen (gestrichelt),

F i g. 4 + 5 Teilausschnitte aus dem Innern der Anlage zur Erläuterung des Zusammenwirkens von Substraten mit den biegsamen Endlostransportgliedern, F i g. 6 das untere Ende der Vakuumkammer gemäß den F i g. 1 und 2 mit einer Zusatzeinrichtung in Form einer Beschickungskammer mit zwei Substratmagazinen und

Ό F i g. 7 eine Variante des Gegenstandes von F i g. 1 in einer analogen Darstellung, jedoch mit einer zusätzlichen Bedampfungseinrichtung.

In F i g. 1 ist eine Vakuumkammer 10 dargestellt, die aus einer Zarge ti und zwei Türen 12 und 13 besteht, deren Umriß im wesentlichen dem Zargenumriß entspricht An beiden Türen sind für den Beschichtungsvorgang wesentliche funktionell Einrichtungen befestigt, und zwar sind an der Tür 12 der äußere Teil 14a einer Ätz-Katodenanordnung 14, eine Heizeinrichtung 15 und der äußere Teil 16a einer Beschichtungskatodenanordnung 16 befestigt An der gegenüberliegenden Tür 13 sind die äußeren Teile 17a und 18a von Beschichtungskatodenanordnungen 17 und 18 sowie Heizeinrichtungen 19 und 20 befestigt Die Türen 12 und 13 sind gegenüber dem Atmosphärendruck durch Rippen 21 verstärkt.

Die entsprechenden inneren Teile 146, 16Z>, Vb und 18b der Katodenanordnungen 14, 16, 17 und 18 sind ebenso auf eine nicht näher gezeigte Weise an der Zarge 11 befestigt, wie die Reflektoren bzw. Strahlungsabschirmungen 22 und 23 der Heizeinrichtungen 15,19 und 20.

Die Vakuumkammer 10 ist durch eine Trennwand 24

in eine obere Teilkammer 25 und in eine untere Teilkammer 26 unterteilt. In der oberen Teilkammer 25, und zwar möglichst weit oben, ist an den senkrechten Zargenwänden 11a und lli» eine Welle 27 mit einem Räderpaar befestigt, von dem in F i g. 1 nur das vordere Rad 28 sichtbar ist, während in F i g. 2 auch das hintere Rad 29 dargestellt ist

In analoger Weise ist in der unteren Teilkammer 26

eine Welle 30 gelagert, auf der ein Räderpaar befestigt ist, von dem in F i g. 1 nur das vordere Rad 31 sichtbar ist, während aus Fig.2 auch das hintere Rad 32 zu entnehmen ist. In die untere Teilkammer 26 mündet noch der zu einem Pumpsatz 33 (Fig.3) führende Saugstutzen 34, während in die obere Teilkammer 25 über ein Gaseinlaßventil 35 eine Gasleitung 36 für die Erzeugung einer geeigneten Zerstäubungsatmosphäre mündet.

Über die Räder 28/31 und 29/32 ist je ein biegsames Endlostransportglied 37 bzw. 38 geführt, welches zweckmäßig aus einer Gliederkette besteht (Fig.4), jedoch auch durch beliebige andere schlupffreie Antriebsmittel gebildet werden kann, wie beispielsweise durch Kugelseile, Zahnriemen etc. An den Endlostransportgliedern 37 und 38 sind durch Einhängen äquidistant Substrate 39 befestigt, die gemäß den obigen Ausführungen sehr unterschiedlich gestaltet sein können. Die Substrate sind an den Endlostransportgliedern in der Weise befestigt, daß sie aufgrund der Schwerkraft mit den zu beschichtenden Oberflächen eine senkrechte Lagt einnehmen. In F i g. 1 ist der Verlauf der biegsamen Endlostransportglieder lediglich durch die Darstellung der Substrate 39 sowie durch die entsprechenden Teilumfänge der Räder 28 und 31 symbolisiert. Durch die getroffene Anordnung werden bei den Ausführungsbeispielen gemäß den F i g. 1 bis 6 zwischen

den Rädern 28 und 31 bzw, 29 und 32 innerhalb eines jeden Endlostransportgliedes 2 senkrecht verlaufende Trumms gebildet. Die Katodenanordnungen 14, 16, 17 und 18 sind dabei in bezug auf die Endlostransportglieder bzw. die Räder 28/31 und 29/32 so angeordnet, daß die senkrechten Trumms in den Symmetrieebenen zwischen den Targetflächen der Katodenanordnungen jedoch seitlich außerhalb des Glimmentladungsbereichs verlaufen.

In der Trennwand 24 befinden sich Schlitzblenden 40 und 41, deren Querschnitt dem maximalen Querschnitt der Endlostransportglieder und der Substrate (Substratrahmen) angepaßt ist, so daß gerade eben ein ungehinderter Durchgang bei geradlinig verlaufenden Trumms möglich ist. Zur Erhöhung der Abdichtwirkung sind die Schlitzblenden ein- oder beidseitig von nicht näher bezeichneten, senkrecht verlaufenden Führungsblechen begrenzt, deren senkrechte Erstreckung vorzugsweise mindestens dem vertikalen Abstand zweier Substrataufhängungspunkte entspricht. Dadurch wird gewährleistet, daß sich gleichzeitig stets mindestens ein Substrat bzw. Substratrahmen in der betreffenden Schlitzblende befindet.

Bei dem Gegenstand der F i g. 1 bis 3 findet in der unteren Teilkammer 26 eine Ausheizung der Substrate 39 durch die Heizeinrichtungen 19 und 20 statt. Durch die Ätz-Katodenanordnung 14 wird die Substratoberfläche zusätzlich gereinigt Durch die Heizeinrichtung 15 findet eine weitere Aufheizung auf die für den eigentlichen Beschichtungsvorgang erforderliche Substrattemperatur statt. Die Substrate treten nach dem Verlassen der Heizeinrichtung 15 durch die Schlitzblende 41 in die obere Teilkammer 25 ein, wo sie mittels der Katodenanordnungen 16, 17 und 18 entsprechend den gewünschten Produkteigenschaften beschichtet werden können. Durch die Trennwand 24 lassen sich in den beiden Teilkammern unterschiedliche Drücke einstellen. Aus der Teilkammer 25 treten die Substrate 39 durch die Schlitzblende 40 wieder in die untere Teilkammer 26 ein. Der Übertritt der Substrate 29 am oberen Kulminationspunkt der Transporteinrichtung setzt selbstverständlich voraus, daß die Radiusdifferenz zwischen dem Teilkreis der Aufhängungspunkte 42 und der Welle 27 gleich oder größer ist wie die senkrechte Erstreckung der Substrate 39, ausgehend von den Aufhängungspunkten 42. In Fig.2 ist noch ein Antriebsmotor 43 mit einem Getriebe 44 für die obere Welle 27 mit den Rädern 28 und 29 dargestellt Die Halterung der Wellen 27 und 30 an den senkrechten Zargenwänden 11a und IiZ/ erfolgt durch Lager 45.

In den F i g. 4 und 5 ist ein Endlostransportglied 37 in Form einer Gliederkette (Fig.4) dargestellt die in gleichen Abständen mit Haltebolzen 46 versehen sind. Die horizontalen und zu den Wellen 27 und 30 parallelen Längsachsen dieser Haltebolzen bilden die Aufhängungspunkte 42, deren Abstand von der senkrechten Substraterstreckung abhängig ist Die unterschiedlichen Möglichkeiten der Substratausbildung und der Verbindung mit den Haltebolzen 46 ist gleichfalls in den F i g. 4 und 5 dargestellt In F i g. 4 ist ein Substrat 39a in Form einer Haltetraverse 47 mit mehreren Kontaktstreifen 48 dargestellt die nach der Beschichtung die eigentlichen Endprodukte darstellen. Es handelt sich um sogenannte Reed-Kontakte. 396 sind flächige Substrate bzw. Substratträger. Die Substrate besitzen an ihren beiden Enden Blechzungen 49 mit einem abwärts gebogenen Schenkel 50, wobei der Biegeradius dem Radius der Haltebolzen 46 entspricht Mittels der Blechzungen 49 ist es möglich, die Substrate 39, 39a und 396 über die Haltebolzen 46 einzuhängen. In F i g. 5 ist eine analoge Anordnung dargestellt, bei der die Länge der Substrate 39c etwa dem Abstand von vier Haltebolzen 46 entspricht, d. h. jeder vierte Haltebolzen stellt einen Aufhängungspunkt 42 dar. Die Substrate 39c sind an ihrem gesamten oberen Rand 51 mit einem umgebogenen Falz 52 versehen, mittels welchem sie über die Haltebolzen 46 gehängt werden können. Die Anordnung gemäß den F i g. 4 und 5 gestattet ein einwandfreies Auspendeln der Substrate in senkrechter Richtung. Sie eignet sich insbesondere für eine Verwendung im Zusammenhang mit dem Gegenstand von F i g. 6.

In Fig.6 befindet sich am unteren Ende der Vakuumkammer 10 bzw. der Teilkammer 26 und damit des Räderpaares 31/32 mit der Welle 30 eine Beschickungskammer 53, welche die Funktion einer Schleuse hat In der Beschickungskammer 53 sind zwei Substratmagazine 54 und 55 angeordnet, von denen das Magazin 54 das Belademagazin und das Magazin 55 das Entlademagazin ist. Dem Substratmagazin 54 ist eine Heizeinrichtung 56 zugeordnet Jedes der Substratmagazine 54 und 55 besteht aus paarweise angeordneten Transportgliedern 57 und 58, die als horizontale Endlosketten ausgebildet sind und vorzugsweise intermittierend angetrieben werden. Dem Substratmagazin 54 ist in einem Bereich unterhalb der Räder 31/32 eine Einhängevorrichtung 59 und dem Substratmagazin 55 eine Aushängevorrichtung 60 zugeordnet die beide aus Druckmittelantrieben 61 bzw. 62 bestehen. Diese sind mit vertikal beweglichen Schubstangen 63 bzw. 64 ausgestattet. Die Schubstange 63 der Einhängevorrichtung 59 dient dazu, eines der Substrate 39 in zwei gegenüberliegende und fluchtende Haltebolzen 46 einzuhängen, von denen in Fig.6 nur jeweils einer dargestellt ist. In umgekehrter Reihenfolge dient die Schubstange 64 der Aushängevorrichtung 60 dazu, jeweils eines der Substrate 39 von den Haltebolzen 46 abzuhängen und in das Substratmagazin 55 bis zur Auflage auf dem Transportglied 58 abzusenken. Es ist zu erkennen, daß das Einhängen und Aushängen im wesentlichen in der Bewegungsrichtung der Substrate 39 erfolgt. Beim Einhängen wird das betreffende Substrat in eine Lage gebracht in der die Haltebolzen 46 in die Blechzungen 49 (Fig.4) bzw. den Falz 52 (F i g. 5) eingreifen können. Beim Aushängen trifft das jeweilige Substrat 39 auf die Schubstange 64 und wird dort solange festgehalten, bis sich der betreffende Haltebolzen 46 aus der Blechzunge 49 bzw. dem Falz 52 so aushängt.

Die Beschickungskammer 53 besitzt einen Boden 65, an dem die Druckmittelantriebe 61 und 62 befestigt sind. Die Schubstangen 63 und 64 sind durch Bohrungen im Boden 65 hindurchgeführt In einer Trennwand 66 welche die Decke der Beschickungskammer 53 darstellt sind im Wege der Schubstangen 63 und 64 Schlitze 67 und 68 angeordnet, durch die die Substrate 3S hindurchtreten können. Die Schlitze 67 und 68 sine durch Dichtleisten 69 und 70 vakuumdicht verschließ bar, die um Gelenke 71 schwenkbar sind. An den beider Stirnseiten ist die Beschickungskammer 53 durch Türer 72 und 73 verschließbar. Durch das Zusammenwirker der vorstehend beschriebenen Teile erhält die Beschik lcungskammer 53 die Wirkung einer Schleuseneinrich tung. Während des Betriebes der Vakuumkammer K kann, wenn sich die Dichtleisten 69 und 70 ii geschlossenem Zustand befinden, die Tür 72 in di< gestrichelt dargestellte Position 72a gebracht werden

so daß ohne Betriebsunterbrechung ein Nachchargieren von unbeschichteten Substraten ebenso möglich ist wie die Entnahme der beschichteten Substrate. Hierbei wird die Tür 73 in analoger Weise geöffnet.

Als Substrate kommen beispielsweise infrage: Linsen, Spiegel, elektrische Kontakte, Wafer etc. Die beschriebene Anlage besitzt bei kleinen Dimensionen, d. h. bei kurzen Abpumpzeiten eine hohe Fertigungskapazität. Selbst eine Mehrfachunterteilung der Vakuumkammer im Bereich der Endlostransportglieder verursacht im Hinblick auf die erforderlichen Spaltabdichtungen in den Trennwänden keine Schwierigkeiten. Auf diese Weise läßt sich die Vakuumkammer mit einer Vielzahl von vorzugsweise variierbarer. Behandlungsstationen für die Substrate ausrüsten. Beispielsweise können in beliebiger Reihenfolge Hochfrequenz-Katoden, Gleichspannungs-Katoden, Ätz-Katoden oder Heizeinrichtungen angeordnet werden. Sämtliche dieser funktioneilen Einrichtungen sind nach Öffnen der Türen leicht zugänglich.

In Fig. 7 gleicht der obere Teil der Vakuum-Beschichtungsanlage weitgehend dem oberen Teil von Fig. 1, wobei zur Vermeidung von Wiederholungen gleiche Bezugszeichen verwendet wurden. Unterhalb der Trennwand 24 befindet sich jedoch eine Teilkammer 74 mit einer Bedampfungseinrichtung 75, über welche die Substrate 39 in horizontaler Richtung geführt werden müssen. Zu diesem Zweck werden die Endlostransportglieder 37 bzw. 38 (das Endlostransportglied 38 ist in F i g. 7 nicht gezeigt) über zwei Umlenkrollen 76 und 77 in die Waagrechte umgelenkt. Am Ende der beiden waagrechten Trumms des Endlostransportgliedes 37 wird dieses über ein Rad 78 geführt, welches zusammen mit einem weiteren, nicht

ίο gezeigten Rad auf einer Welle 79 angeordnet ist. Für die Umlenkung der Substrate 39 in die horizontale Lage sind zwei Kurvenbahnen 80 vorgesehen, von denen in F i g. 7 nur die hintere sichtbar ist. Diese Kurvenbahnen befinden sich am Ende der Substrate und außerhalb des von der Bedampfungseinrichtung 75 ausgehenden Dampfstromes 81. Die Bedampfungseinrichtung 75 ist von einer Abschirmung 82 umgeben. Wie aus F i g. 7 hervorgeht, führt die Gesamtanordnung der Räder 28 und 78 sowie der Umlenkrollen 76 und 77 zu einer Führung des Endlostransportgliedes 37 auf dem Umriß eines »L«. Dadurch wird die zusätzliche Möglichkeit eines Bedampfens der Substrate 39 in der Teilkammer 74 geschaffen, ohne daß die Vorteile einer vertikalen Substratführung in der Teilkammer 25 verloren gehen.

Hierzu 6 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Vakuum-Beschichtungsanlage mit einer Vakuumkammer, mit mindestens einer Katodenanordnung und mit einer Einrichtung zum kontinuierlichen oder quasikontinuierlichen Substrattransport während der Beschichtung, bestehend aus paarweise angeordneten, biegsamen Endlostransportgliedern, die nach Art zweier paralleler Kettentriebe über im Abstand voneinander angeordnete Räderpaare unter Bildung von je zwei Trumms geführt sind, die mindestens im Bereich der Katodenanordnungen senkrecht geführt sind, und an denen die Substrate befestigbar und mittels welcher die Substrate parallel zur Katodenanordnung bewegbar sind, is dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumkammer (10) aus einer Zarge (11) und aus zwei im wesentlichen dem Zargenumriß entsprechenden, beidseitig der Zarge angeordneten Türen (12, 13) besteht, an denen mindestens ein Teil der funktionel- !en Einrichtungen befestigt ist

2. Vakuum-Beschichtungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumkammer (10) durch eine Trennwand (24) in mindestens zwei Teilkammern (25, 26, 74) unterteilt ist, daß die Endlostransportglieder (37, 38) abgedichtet durch die Trennwand hindurchgeführt sind, und daß in der einen Teilkammer (25) die mindestens eine Katodenanordnung (16, 17, 18) und in der anderen Teilkammer (26) mindestens eine weitere Behändlungseinrichtung an der Tür (12 bzw. 13) befestigt ist.

3. Vakuum-Beschichtungsanlage nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet daß in der anderen Teilkammer (26,74) eine Heizeinrichtung (15) an der Tür (12 bzw. 13) befestigt ist.

4. Vakuum-Beschichtungsanlage nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich in der anderen Teilkammer (26) eine Ätzkatodenanordnung (14) an der Tür (12 bzw. 13) befestigt ist.

5. Vakuum-Beschichtungsanlage nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Endlostransportglieder (37, 38) in der anderen Teilkammer (74) umgelenkt und über eine horizontale Wegstrecke geführt sind, und daß sich im Bereich der horizontalen Wegstrecke eine Bedampfungseinrichtung (75) befindet.

6. Vakuum-Beschichtungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß am unteren Ende der Vakuumkammer (10) und im Bereich des unteren Räderpaares (31/32) eine Beschickungskammer (53) mit mindestens einem Substratmagazin (54, 55) und mit einer Einhängvorrichtung (59) sowie mit einer Aushängvorrichtung (60) angeordnet ist.

7. Vakuum-Beschichtungsanlage nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine Substratmagazin (54, 55) aus paarweise angeordneten Transportgliedern (57, 58) besteht, zwischen denen die Substrate einhängbar sind und daß die Einhäng- (59) und Aushängvorrichtung (60) aus Schubstangen für das Anheben bzw. Absenken der Substrate (39) besteht.