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DE2535249A1 - Messkopf fuer eine messmaschine - Google Patents

Messkopf fuer eine messmaschine

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Publication number
DE2535249A1
DE2535249A1 DE19752535249 DE2535249A DE2535249A1 DE 2535249 A1 DE2535249 A1 DE 2535249A1 DE 19752535249 DE19752535249 DE 19752535249 DE 2535249 A DE2535249 A DE 2535249A DE 2535249 A1 DE2535249 A1 DE 2535249A1
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DE
Germany
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measuring
probe
freedom
measuring head
head according
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE19752535249
Other languages
English (en)
Inventor
Enno Wilken
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Vereinigte Flugtechnische Werke Fokker GmbH
Original Assignee
Vereinigte Flugtechnische Werke Fokker GmbH
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Publication date
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Publication of DE2535249A1 publication Critical patent/DE2535249A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

  • Meßkopf für eine Meßmaschine Die Erfindung bezieht sich auf einen Meßkopf für eine Meßmaschine mit einem in drei Freiheitsgraden verfahrbaren Meßmaster, der zur Vermessung beliebiger Körper mit Meßwandlern für jeden Freiheitsgrad verschen ist.
  • Zur Vermessung beliebiger Körper ist es seit einiger Zeit bekannt, Meßmaschine zu benutzen, die mit entsprechender Genauigkeit auch komplizierte Werkstücke zu vermessen gestatten. Das Ergebnis einer jeweiligen Messung kann je nach Ausstattung einer Meßmaschine mit Hilfe von Anzeigevorrichtungen oder in Form eines gedruckteh Protokolla ausgegeben werden. Voraussetzung für eine einwandfreie und genane Messung ist jedoch ein Meßkopf, der eine Messung in allen Freiheitsgraden mit hoher Meßauflösung ermöglicht.
  • Es sind eine Reihe von Meßköpfen bekannt, die aber in ihrer Leistungsfähigkeit begrenzt sind. So gibt cs zahlreiche Meßköpfe, die lediglich Messungen in nur einem oder zwei Freiheitsgraden gestatten, während Meßköpfe für Messungen in drei Freiheitsgraden nur vereinzelt bekannt geworden sind. Das Problem derartiger Meßkopfe ist, daß der Meßtaster bein Meßvorgang einerseits mit hinreichendem Meßdruck am jeweiligen Meßobjekt anliegt und andererseits beim Auflaufen gegeIi das Meßobjekt stoßgeschützt sein soll. Zur Lösung dieses Problems sind verschiedene Meßköpfe vorgeschlagen worden, bei dznen z.B.
  • der Meßtaster mit Hilfe von Blattfedern federnd aufgehängt ist.
  • Die Federn sichern einerseits einen hinreichenden Meßdruck und sind andererseits beim Auf laufen des Meßtasters in der Lage, harte Stöße abzumildern. Als befriedigend wird diese Lösung jedoch nicht angesehen, weil Federn einerseits zun Schuingen neigen und andererseits mit dem Auslenken eines federnd aufgehängten Meßtasters ein sogenannter Kosinusfehler auftritt, welcher mit zunehmender Auslenkung ansteigt und die Genauigkeit des Meßergebnisses verschlechtert.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Meßkopf mit einem in drei Freiheitsgraden verfahrbaren Meßtaster vorzusehen, der mit gleichbleibender Genauigkeit beliebige Werkstücke zu vermessen gestattet und beim Meßvorgang sowohl mit hinreichendem Meßdruck am Meßobjekt anliegt als auch beim Auflaufen gegen ein Meßobjekt steßgeschützt ist. Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der Meßtaster in jedem Freiheitsgrad einen durch Parallelverschiebung einstellbaren Vorlauf mit einem beim Berühren eines Meßobjektes im Bereich des Vorlauf kraftabhängig nachgebenden Anschlag aufweist und daß der Meßtaster durch einstellbare Haltevorrichtungen in der Xulllage jedes Freiheitsgrades fixierbar ist.
  • Der erfindungsgemäße Meßkopf ermöglicht durch den in dcn drei Freheitsgraden vorgesehenen Vorlauf ein stoßreies Auflaufen des Meßtasters gegen ein Meßobjekt. Dabei sichert die Parallelverschiebung des Meßtasters eine gleichbleibende Genauigkeit und schwingungsfrei e Messung bei entsprechendem Meßweg. Die Bewegung des Meßtasters kann dabei zur Beeinflussung von Meßwandlern benutzt werden, wobei insbesondere die in der Nullage jedes Freiheitsgrades von den Meßwandlern erzeugten Signale zum Anhalten der Meßmaschine verwendet werden können.
  • Es ist vorteilhaft, den Meßkopf so aufzubauen, daß der Hub des Vorlaufs ir jeweiligen Freiheitsgrad durch zwei in Zylindern geführte Bolzen bestimmt wird, welche zwischen ihren aufeinander gerichteten Stirnseiten einen über Zwischenglieder mit dem Meßtaster verbundenen ?-Sitnehrner halten, wobei durch Versorgung eines der Zylinder nit Luft entsprechenden Druckes der kraftabhängig nachgebende Anschlag für die jeweilige Meßachse gebildet wird.
  • Die Halteverrichtungen zur Fixierung des Meßtasters in den Nulllagen der Freiheitsgrade können hierbei durch Kolben zweier mit Drukluft beaufschlagter Zylinder unterschiedlicher Querschnitte gebildet scin, die zwischen ihren aufeinander gerichteten Kolben stangen den Mitnehmer des Meßtasters im jeweiligen Freiheitsgrad durch Hubbegrenzung eines Kolbens fixieren.
  • Die Erfindung wird anhand der in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen Figur 1 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Meßkopfes im Schnitt, Figur 2 einen Schnitt II-II gemäß Figur 1, Figur 3 einen Schnitt IIT-III gemäß Figur 1, figur 4 einen Schnitt IV-IV Figur 1, Figur 5 ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Meßkopfes im Schnitt, Figur 6 einen Schnitt VI-VI gemäß Fig. 5, Figur 7 eine Draufsicht gemäß Fig. 5, Figur 8 einen Schnitt VIII-VIII gemäß Fig. 5, Figur 9 einen Schnitt IX-IX gemäß Fig. 5, Figur 10 einen Schnitt X-X gemäß Fig. 5 u n d Figur 11 einen Schnitt XI-XI gemäß Fig. 5.
  • Der in Fig. 1 bis Fig. 4 dargestcllte Meßkopf ist für messungen in allen drei Freiheitsgraden geeignet und zum Anschluß an eine Meßmaschine mit einem Aufnahmekonus 1 versehen. Die beweglichen Teile des Meßkopfes sind im Inneren des Gehäuses 2 untergebracht, das an einer mit dem Aufnahmekonus 1 verbundenen Grundplatte 3 befestigt ist. Gegenüber der Grundplatte 3 ist eine Deckplatte 4 angeordnet, in deren Mitte eine Buchse 5 eingesetzt und befestigt ist. Diese Buchse 5 ragt sowohl um einen bestimmten Betrag hervor als auch in den Meßkopf hinein und trägt eine Kugelbuchse 5 in welcher eine axial verschiebbare Spindel 7 geftihrc ist. Zum Anschluß eines Meßtasters 9 ist das hervorstehende Ende dieser Spindel 7 7 mit einer Schraubkupplung 8 versehen, an welcher der Meßtaster 9 mit eincm Zwischenglied 10 lösbar befestigt ist. Das Zwischenglied 10 ist zum Schutz des Meßtasters 9 vorgesehen und besitzt eine Sollbruchstelle 11, die bei irgendwelchen Störungen bricht und eine Beschädigung des Meßkopf es verhindert. Dazu ist das Zwischenglied aus einem spröden Werkstoff, vorzugsweise aus Glas hergestellt.
  • Die Schraubkupplung 8 ermöglicht auch den schnellen Austausch von Meßtastern, wodurch auch Meßtaster besonderer Form verwendet erden können.
  • Pas in den meßkopf hineinragendc Ende der Spindel 7 ist durcheinen Gewindebolzen 15 verlängert, an dem ein zweiarmiger Miteiner 16 und ein axialer Stift 17 befestigt sind. Beide Enden des zweiarmigen Mitnehmers 16 liegen jeweils zwischen den Stirnseiten eicr aufeinander gerichteter Bolzen 18, 19 bzw. zweier Kolbenstangen 22, 23. lsährcnd die Bolzen 18,19 gleiche Querschnitte aufweisen und in je einem Zylinder 20, 21 geführt sind, sind die Kolbenstangen 22, 23 mit Kolben 24, 25 verschiedenen Durchmessers verbunden. Die Kolben 24, 25 sind in entsprechenden Zylindern 26, 27 angeordnet, so daß bei gleicher Beaufschlagung dieser Zylinder mit Druckluft die vom Kolben 25 entwickelte Kraft größer ist, als die des Kolbens 24. Daher legt sich der Kolben 2 gegen einen Anschlag 28 im Zylinder 27, so daß der Mitnehmer 16 von den als Haltevorrichtungen wirkenden Kolbenstangen 25, 26 fixiert ist. Die in den Zylindern 20, 21 geführten Bolzen 18, 19 bilden für den Mitnehmer 16 einen kraftabhängig nachgebenden Anschlag und zwar dadurch, daß den Zylindern Luft entsprechenden Druckes zugeführt wird. Der Stift 17 dient als Stell glied für einen induktiven Meßwandler und ist zu diesem Zweck mit einem verschiebbaren Kern 29 einer Spule 30 verbunden. Das Ausgangs signal der Spule 30 repräsentiert die Position der Kugelspitze 9a des Meßtasters 9 in Bezug auf die Achse.
  • eben der Erfassung von Raumpositionen in der z-Achse gestattet der erfindungsgemäße Meßkopf auch Messungen in den anderen Raumachsen. Zu diesem Zweck sind, wie aus Fig. 2 und Fig. 4 zu erkennen ist, vier Halteflansche 35, 36, 37, 38-an der Deckplatte 4, und zwar paarweise an zwei gegenüberliegenden Randste)len befestigt. In diesen Flanschen ist jeweils eine derart positionierte Bohrung vorgesehen, daß zwei Führungsspindeln 39, 40, welche durch die Bohrung zweier gegenüberliegender Flansche 35, 36; 37, 38 gesteckt sind, paraliel zur entsprechenden Raumachse, hier der x-Achsc, liegen. Jede der Führungsspindeln 39, 40 ist gleichzeitig durch zwei einen bestimmten Abstand zucinander auf wie sende Kugelbuchsen 41, 42; 43, 44 gesteckt, die an einer darüber angeordneten Zwischenplatte 45 befestigt sind. Zwischen den Kugelbuchsen 41, 42; 43, 44 ist an den Führungsspindeln 39, 40 jeweils ein Mitnehmer 46, 47 befestigt. Während der Mitnehmer 47 eine Spule 48 eincs induktiven Meßwandlers positioniiert, wird der Mitnehmer 46 zwischen den Stirnseiten zweier aufeinander gerichteter Bolzen 53, 54 (siehe Figur 3) bzw. zweier Kolbenstangen 55, 56 (siehe Figur 2) gehalten. Die Bolzen 53, 54 sind in Zylindern 57, 58 geführt, während die Kolbenstangen 55, 56 mit je einem Kolben 59, 60 unterschiedlichen Durchmessers verbunden sind. Diese Kolben sind in entsprechenden Zylindern 61, 62 angeordnet, so daß bei gleichzeitiger Beaufschlagung beider Zylinder mit Druckluft die vom Kolben 59 entwickelte Kraft größer ist als die des Kolbens 60. Daher legt sich der Kolben 59 gegen den Anschlag 63 im Zylinder 51, so daß der Mitnehmer 46 von den als Haltevorrichtungen wirkenden Kolbenstangen 55, 56 fixiert ist.
  • Wie aus Figur 3 näher zu ersehen ist, liegen die Zylinder 57, 58 der Bolzen 53, 54 und die Zylinder 61, 62 der Kolben 59, 60 nebeneinander im Gegensatz zu den gleichen Bauteilen in der z-Achse, die dort symmetrisch zu dieser Achse liegen. Die Bcwegungen des Meßtasters 9 bewirken somit in der Achse Verschiebungen der an den Führungsspindeln sitzenden Mitnehmer 46, 47, da die Führungsspindeln 39, 40 in den Bohrungen der Ilaltoflansche 35, 36, 37, 38 festsitzen. Das hat zur Folge, daß über den Mitnehmer 47 die Spule 48 verstellt wird, so daß ein an dieser Spule angeordneter Kern 49 seine Lage zur Spule 48 verändert, weil dieser Kern in Bezug auf die Bewegungen der Spule 48 ortsfest ist. Der Kern 49 sitzt nämlich auf einem über seine Enden hinausragenden Stift 50, dessen Enden in Bohrungen zweier an der Zwischenplatte 45 befestigter Flansche 51, 52 eingeklemmt sind. Das Ausgangssignal der Spule 48 repräsentiert somit die Position der Kugel spitze 9a des Meßtasters in Bezug auf die Achse.
  • Zur Erfassung der Raumpositionen in der Achse ist ein gleiches Bowegungssystem wie das für die x-Achse vorgesehen. Dazu trägt (3tc Zwischenplatte 45 ebenfalls vier Halteflansche, von denen jeweils zwei eine Führungsspiel 65, 66 einklemmen. Diese Führungspindeln liegen paralle zur y-Achse und sind ebenfalls durch an einer ortsfesten Halteplatte 7D sitzenden Kugelbuchsen G7, 68 br r. 69, 70 durchgesteckt. Zwischen diesen Kugelbuchsen 67. 68 bzw. 69, 70 tragen die Führungsspindeln 65, 66 jeweils einen | Mitnehmer 71, 72, die einerseits zur Verstellung der Spule 73 eines induktiven Meßwandlers und andererseits zur Fixierung zwischen zwei Kolbenstangen zweier Zylinder unterschiedlichen Querschnittes bzw. zur Erzielung eines kraftabhängig nachgebenden Anschlags uwischen zwei Bolzen zweier Zylinder ange ordnet sind. der Aufbau dieser Bauteile entspricht den entsprechenden Bauteilen der x-Achse. die zuvor erwähnte Halteplatte 75 ist mit der Grundplatte 3 über entsprechende Zwischenglieder 76, 77 starr verbunden.
  • Bei einem Meßvorgang hühlt die Kugelspitze 9a des Meßtasters 9 das zu vermessende Objekt ab und erzeugt mit Hilfe der Meßwandler entsprechende Lagesignale. Wird z.B. in Richtung -z vermessen, so wird vorher der Zylinder 20 mit Druckluft beaufschlagt. Der Meßtaster 9 erhält dadurch in Richtung -z einen entsprechend bemessenen Vorlauf gegenüber seiner Nullage. Berührt der Meßtaster 9 das Meßobjekt, so kann die Signaländerung des zugeordneten Meßwandlers zum Anhalten der Meßmaschine benutzt t:erden. Es empfiehlt sich aber, die Maschinensteuerung so auszulegen, daß die Meßmaschine dann anfält, wenn der zugeordnete Meßwandler ein Nullsignal abgibt, d.h., wenn der Meßtaster 9 sich in der Nullposition der entsprechenden Raumachse befindet.
  • Dic Meßmaschine kann daraufhin in der jeweiligen Nuliposition des Meßtasters 9 mit Hilfc des Nullsignals zur Ausgabe des Meßwertes, z.B. einer Anzeigevprrichtung und/oder durch Ausdruck cines Prot-okolls veranlaßt werden. Bei einem Meßvorgang in Richtung der Achse +z oder in Richtung aller anderen Raumachsen verläuft die Messung entsprechend äquivalent.
  • Wird für einen Meßvorgang eine Feststcllung des Meßtasters 9 im Nullpunkt verlangt, so kann dies mit hilfe der jeweiligen mit Druck zu beaufschlagenden Kolben erzielt werden. Wie im Verlauf dep Beschreibung erwähnt, sind die Kolben 2t, 25; 59, 60 usw.
  • der entsprechenden Raumachsen in Bezug auf ihre Flächen unterschiedlich bemessen. Dadurch wird der zugehörige Mitnehmer bei gleichzeitiger Beaufschlagung mit Druckluft zweier Kolben fest eingeklemmt, wodurch Verschiebungen in den jeweiligen Raumachsen des Meßtasters ausgeschlossen werden. Damit ist der Meßtaster 9 im Nullpunkt der jeweiligen Raumachse fixiert.
  • Beim zweiten Ausführungsbeispiel nach Figur 5 bis Figur 11 ist der erfindungsgemäße Meßkopf mit zum Teil anderen Bauchlementen aufgebaut worden. Gegenüber dem ersten Ausführungsbeispiel ist der Meßkopf jedoch mit einer zusätzlichen Verdrehsicherung für den Meßtaster 9 und einer Möglichkeit zum Justieren der Nullagc erweitert worden. Die Verdrehsicherung ist, wie aus Figur 5 und Figur 6 zu erschen ist, in der z-Achse am Mitnehmer 16 vorgesehen.
  • Dieser Mitnehmer ist an der Spindel 15 verdrehsicher befestigt und, wie Figur 6 zeigt, in der Form eines kreuzes ausgebildet. An zwei gegenüberliegenden Armen 16', 16'' des kreuzförmigen Mitnehmers 16 ist jeweils ein Rollenlager 80, 81 befestigt, die in entsprechenden Führungsnuten 83, 84 einer innerhalb des Meßkopfes auf die Buchse 5 fest aufgesetzten Führungsbuchse 82 abrollen. damit wird eine Verdrehung der Spindel 7 und des Maßtasters 9 verhindert, so daß insbesondere bei abgewinkelten Meßtaster keine Probleme bei der Messung auftreten.
  • Wie aus den Figuren 5 und 6 weiter zu erkennen ist, üben die beiden Arm 16''', 16'''' des Mitnehmers 16 die eigentliche Mitnehmerfunktion aus. Die Bolzen zur Einstellung des Vorlaufs unterscheiden sich dabei nicht von den im Ausführungsbeispiel von Figur 1 bis Figur 4. Anders verhält es sich dagegen mit den Kolben zur Fixierung dcr Nullage. In Figur 5 ist zu sehen, daß der Kolben 24 mit einem Gewindebolzen 85 verbunden ist, der durch eine festsitzende Buchse 86 aus dem zugeordneten Zylinder 26 hervorsteht. Mit Hilfe einer Mutter 87 und einer Kontcrnutter 88 is-t cs möglich, den IIub des Kolbens 24 einzustellen und damit die Nullage der Kugelspitze 9a bei der Fixierung des Mießtasters 9 zu justieren. Die gleiche Möglichkeit besteht auch für die x- und die y-Achse, was aus den Darstellungen der Figuren 10 und 11 hervorgeht.
  • Als weiteren Unterschied zum ersten Ausführungsbeispiel nach Figur 1 bis 4 sind die Kugelbuchsen und die darin eingesteckten Führungsspindeln durch sogenanntc Prismen-Längsführungen 89, 90; 91, 92 ersetzt. In Figur 5 sind diese Bauelemente der tbersichtlichkeit halber nicht dargestellt; aber diese Einzelheiten können den Figuren 8 bis 11 entnommen werden. Der Meßkopf nach Figur 8 bis 11 unterscheidet sich sonst nicht von dem nach Figur 1 bis Figur 4.
  • Die erfindungsgemäßen Meßköpfe zeichnen sich durch eine Reihe von Vorteilen aus. So sichert der Vorlauf durch Parallelverschiebung in den jeweiligen Raumachsen eine von der Verschiebung unabhängige konstante Genauigkeit. Weiterhin ist der MeB-kopf aufgrund des Vorlaufs für den Maßtaster in allen Freiheitsgraden stoßgeschützt, da das Luftpolster kraftabhängig durch Komprimierung nachgibt und ein hartes metallisches Auffahren des Maßtasters verhindert. Der mit Hilfe der Bolzen durch Druckluftbeaufschlagung crzielte Vorlauf des Maßtasters gewährleistet gleichzeitig ein Anliegen des Meßtasters am Meßobjekt mit hinreichendem Meßdruck. Wegen seiner hervorragenden Eigenschaften kann der erfindungsgemäße Meßtaster auch als Meßaufnehmer für Kopierfräsmaschinen verwendet werden.
  • - Patentansprüche -

Claims (9)

  1. P a t e n t a n s p r il c h e 1.) Meßkopf für eine Meßmaschine mit einem in den drei Freiheitsgraden verfahrbaren Maßtaster, der zur Vermessung beliebiger Körper mit Meßwandlern für jeden freiheitsgrad versehen ist, dadurch g e k e n n z c i c h n e t , daß der Maßtasters (9) in jedem Freiheitsgrad einen durch Paralle) verschiebung einstellbaren Vorlauf mit einem beim Bcriihren eines Meßobjektes im Bereich des Vorlaufs kraftabhängig nachgebenden Anschlages aufweist und daß der- Meß taster (9) durch cinstellbare Haltevorrichtungen in der Null lage jedes Freiheitsgrades fixierbar ist.
  2. 2.) Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h -n e t , daß der Hub des Vorlauf im jeweiligen Freiheitsgrad durch zwei in Zylinder (20, 21; 57, 58) geführte Bolzen (18, 19; 53, 54) bestimmt ist, die uwischen ihren aufeinander gerichteten Stirnseiten einen über Zwischenglieder mit den Meßtaster (9) verbundenen Mitnehmer (15, 46, 71) halten und daß der kraft abhängig nachgebende Anschlag durch Versorgung eines der Zylinder (20, 21; 57, 58) mit Luft entsprechenden Druckes gebildet ist.
  3. 3.) Meßkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Haltevorrichtungen zur Fixierung des Maßtasters (9) in den Nullagen der jeweiligen Freiheitsgrade durch Kolben (24, 25; 59, 60) zweier mit Druckluft beaufschlagter Zylinder (26, 27; 61, )2) unterschiedlicher Querschnitte gebildet sind, die zwischen ihren aufeinandergerichteten Kolbenstangen (22, 23; 56, 55) den Mitnehmer (16, 46, 71) des Maßtasters (9) im jeweiligen Freiheitsgrad durch ilubbegrenzung eine Kolbens (25, 59) fixieren.
  4. 4.) Meßkopf nach Anspruch 3, dadurch g e k e n n z e i c h -n e t , daß der Hub des Kolbens (24) zur Fixierung des Maßtasters (9) in der Nullage mit einer Stellvorrichtung (86, 87, 88) zur Justierung der Nullage veränderbar ist.
  5. 5.) Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch g c -k c n n z e i c h n e t , daß der Mitnehmer (16) eines Freiheitsgrades kreuzförmig ausgebildet ist und an zwei gegenüberliegenden Armen (16', 16'') je ienen Rellenlager (80, 81) aufweist, die in Führungsnuten (83, 84) einer Führungsbuchse (82) abrollrn und eine Verdrehsicherung für den Maßtasters (9) bilden.
  6. 6.) Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß der Maßtasters (9) und/oder Zwischenglieder in der Achse der Freiheitsgrade und/oder in zwei parallel zur Freiheitsachse liegenden Achsen mit in Kugelbuchsen (6; 41, 42, 43, 44; 67, 68, 69, 70) geführten Führungsspindeln (7; 39, 40; 65, 66) gelagert ist, und daß an den Führungsspindeln (7; 39, 40; 65, 66) neben den Mitnehmern (16, 46, 71) zur Vorlaufeinstellung und Nullagefixierung jeweils ein Stellglied (17, 47, 72) zur Beeinflussung der zugeordneten Meßwandler befestigt ist.
  7. 7.) Meßkopf nah einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch g c -k e n n z e i c h ne t , daß die Deckplatte (4) des Meßkopf es an einer Zwischenplatte (45) sowie dicse Zwischenplatte (45) in einer Halteplatte (75) mit Hilfe von Prismen-Längsführungen (89, 90; 91, 92) gelagert sind, welche Verschiebungen des Maßtasters (9) in der x- und y-Achse erlauben.
  8. 8.) Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch g e -k e n n z e i c h n c t , daß der Meßkopf zur Befestigung des Maßtasters (9) eine Schraubkupplung (8) aufweist, welche die Aufnahme von Maßtastern besonderer Form und/ oder in verschiedene Richtungen weisenden Meßtaster gestattet.
  9. 9.) Meßkopf nach einen der vorhergehenden Ansprüche, dadurch 8 e 1. c n n z c i c h n e t , daß als Meßwandler induktiv Meßwandler (29, 30; 48, 49; 73) vorgesehen sind, die derart aufgebaut und geschaltet sind, daß diese in der jeweiligen Nullposition des Maßtasters (9) ein Nullsignal abgeben.
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