DE2333326B2

DE2333326B2 - Device for measuring the thickness of a thin film deposited on a support

Info

Publication number: DE2333326B2
Application number: DE2333326A
Authority: DE
Inventors: Tadayoshi Hino Kasahara; Noboru Yokohama Kanagawa Sugahara; Asao Kurume Watanabe
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1972-06-29
Filing date: 1973-06-29
Publication date: 1975-04-24
Also published as: DE2333326C3; US3869211A; DE2333326A1

Description

werte bei der Wellenlänge λ liegen, wenn die Bedingung values are at the wavelength λ if the condition

erfüllt ist. Es ist an sich bekannt, daß die charakteristische Kurve, aufgetragen über l/A symmetrisch um die Wellenlänge eines Extremwertes ist. Wenn r.B. ein dünner Film durch Vakuumverdampfung abgelagert wird, v,ird ein weißes Lichtbündel zum Einfall auf den dünnen Film gebracht und das Reflexionsvermögen (oder die Durchlässigkeit) für jeden von zwei Lichtstrahlen A, und A„ gemessen, wobei letztere Wellenlängen von einer vorbestimmten Wellenlänge A₀ aus nach beiden Seiten um dieselbe Wellenlänge verschoben sind, und zwar innerhalb eines Bereichs vor I_nIA. Die Durchlässigkeitswerte werden verändert, wenn die Dicke des dünnen Films zunimmt, und sie werden einander gleich, wenn die folgende Bedingung erfüllt ist:is satisfied. It is known per se that the characteristic curve, plotted over 1 / A, is symmetrical about the wavelength of an extreme value. When a thin film is deposited by vacuum evaporation, a white light beam is made incident on the thin film and the reflectance (or transmittance) is measured for each of two light rays A, and A, the latter being wavelengths of a predetermined wavelength A ₀ off are shifted to both sides by the same wavelength, namely within a range before I _n IA. The transmittance values are changed as the thickness of the thin film increases, and they become equal to each other when the following condition is met:

nd = mX₀/4(m = O, 1,2...). nd = mX _0/4 (m = O, 1,2 ...).

Die Definition ist so, daß dann, wenn die Werte des Reflexionsvermögens oder der Durchlässigkeit der beiden Lichtbündel unterschiedlicher Wellenlängen einander gleich sind, der dünne Film, dessen optische Eigenschaften durch die mittlere Wellenlänge A_n gemessen werden, eine gewünschte Dicke erreicht hat.The definition is that when the reflectance or transmittance values of the two beams of different wavelengths are equal to each other, the thin film whose optical properties are _{measured by the central wavelength A n} has reached a desired thickness.

In einem derartigen Instrument zum Messen der Dicke eines dünnen Films gemäß dem Stande der Technik müssen die Verstärker, Photoröhren bzw. photoempfindlichen Elemente und andere Komponenten eine beträchtliche Stabilität haben, und infolgedessen ergeben sich viele Schwierigkeiten, wenn die Dicke eines dünnen Films mit einem gewünschten Genauigkeitsgrad gemessen werden soll.In such an instrument for measuring the thickness of a thin film according to the prior art Technology must include amplifiers, phototubes or photosensitive elements and other components have considerable stability and, as a result, many difficulties arise when the thickness of a thin film is to be measured with a desired degree of accuracy.

Einrichtungen der eingangs genannten Art sind im Prinzip aus dem deutschen Gebrauchsmuster 66 03 219 und der DT-AS 13 03819 sowie der schweizerischen Patentschrift 4 50 737 bekannt.Facilities of the type mentioned are in principle from the German utility model 66 03 219 and the DT-AS 13 03 819 as well as the Swiss patent specification 4 50 737 known.

Im einzelnen ist die Einrichtung nach diesen Druckschriften so ausgebildet, daß die eine der beiden Wellenlängen so gewählt ist, daß das Licht dieser Wellenlänge in Abhängigkeit von der Dicke des Films relativ schwach absorbiert wird, damit man gewissermaßen die Intensität eines praktisch nichtabsorbierten Lichtstrahls mit derjenigen eines starker Absorption ausgesetzten Lichtstrahls vergleichen kann. Genaugenommen besteht also das Prinzip, nach dem diese bekannte Meßeinrichtung arbeitet, darin, einerseits ein Lichtbündel aus Licht einer Wellenlänge zu verwenden, welches praktisch überhaupt nicht absorbiert wird bzw. dessen Absorption durch die zu messende Schicht vernachlässigbar klein ist (im Vergleich zu dem Licht der anderen Wellenlänge), und andererseits ein Lichtbündel aus Licht einer Wellenlänge, welches von der zu messenden Schicht relativ stark absorbiert wird, damit man aus dem Vergleich der erhaltenen Intensitäten der beiden Lichtbündel je nach der Größe des Intensitätsverhältnisses die Dicke der Schicht bestimmen kann.In detail, the device according to these documents is designed so that one of the two Wavelengths is chosen so that the light of this wavelength depending on the thickness of the Film is absorbed relatively weakly, so that one can, in a sense, have the intensity of something that is practically unabsorbed Compare the light beam with that of a light beam subjected to strong absorption can. Strictly speaking, there is the principle according to which this known measuring device works, on the one hand to use a light bundle of light of one wavelength, which is practically at all is not absorbed or whose absorption by the layer to be measured is negligibly small (compared to the light of the other wavelength), and on the other hand a light bundle of light a wavelength that is relatively strongly absorbed by the layer to be measured, so that one from the comparison of the obtained intensities of the two light beams depending on the size of the intensity ratio can determine the thickness of the layer.

Diese bekannte Einrichtung ist nicht nur insofern nachteilig, als sie eine genaue Auftrennung der elektrischen Signale erfordert, wonach die impulsförmigen Signale in einen Gleichstrom umgewandelt und der Quotient aus den beiden Gleichströmen in einem Quotientenmeßinstrument gebildet werden muß, sondern, sie gestattet im Prinzip nur eine recht ungenaue Messung, weil sie nur eine Relativmeßgröße liefert, die eine genaue Messung der Schichtdicke des zu messenden Films erschwert, da sie eine Eichung und eine laufende Anpassung der Eichwerte an die jeweiligen zusätzlichen Betriebsbedingungen erfordert. Das wäre insbesondere sehr schwierig bei Vakuumapparaturen, da das Bündel von demjenigen Licht,This known device is disadvantageous not only in that it provides an accurate separation of the electrical Signals requires, after which the pulse-shaped signals are converted into a direct current and the quotient of the two direct currents must be formed in a quotient measuring instrument, but In principle, it allows only a very imprecise measurement, because it only provides a relative measured variable, which makes an accurate measurement of the thickness of the film to be measured difficult because it is a calibration and requires ongoing adjustment of the calibration values to the respective additional operating conditions. This would be particularly difficult with vacuum apparatus, since the bundle of light

ίο welches relativ stark absorbiert wird, auch an den Durchlaßstellen (Fenstern) in die Vakuumapparatur hinein und aus der Vakuumapparatur heraus absorbiert wird.ίο which is relatively strongly absorbed, also at the Passages (windows) into and out of the vacuum apparatus are absorbed will.

Die gleichen Nachteile haften auch den Einrichtungen zum Messen der Dicke dünner Filme an, wie sie in der deutschen Offenlegungsschrift 20 54 084, der österreichischen Patentschrift 2 56493, den USA.-Patentschriften 3017512 und 3089382, in der Zeitschrift »Chemie-Ing.-Technik«, 27. Jahrgang, 1955, Nr. 10, S. 604 bis 607, und 35. Jahrgang, 1963, Nr. 1, S. 55 bis 62, sowie in »ATM« Blatt V 1124-12 (Januar 1966), S. 3 bis 8, beschrieben sind, da diese Meßeinrichtungen im Prinzip auf dem gleichen Verfahren beruhen, nach dem auch die Meßeinrichtung gemäß dem deutschen Gebrauchsmuster 66 03 219, der deutschen Auslegeschrift 13 03819 und der schweizerischen Patentschrift 4 50 737 arbeitet.The same drawbacks are also inherent in devices for measuring the thickness of thin films, such as they in German Offenlegungsschrift 20 54 084, Austrian Patent 2 56493, the U.S. Patents 3017512 and 3089382, in of the journal "Chemie-Ing.-Technik", Volume 27, 1955, No. 10, pp. 604 to 607, and Volume 35, 1963, No. 1, pp. 55 to 62, as well as in "ATM" Blatt V 1124-12 (January 1966), pp. 3 to 8, described are, since these measuring devices are based in principle on the same method as the Measuring device according to the German utility model 66 03 219, the German Auslegeschrift 13 03819 and Swiss patent specification 4 50 737 works.

Schließlich ist eine Einrichtung aus der deutschen Patentschrift 12 14 970 bekannt, bei der nur ein Lichtbündel einer einzigen Wellenlänge benutzt wird, so daß es bei dieser Meßeinrichtung zu noch weniger genauen Ergebnissen kommt als bei den eben erörterten bekannten Meßeinrichtungen.Finally, a device from German Patent 12 14 970 is known in which only one Light bundle of a single wavelength is used, so that there is even less with this measuring device more accurate results than with the known measuring devices just discussed.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Einrichtung zum Messen der Dicke eines auf einer Unterlage abgelagerten dünnen Films zu schaffen, die eine höhere Meßgenauigkeit als die bekannten Meßeinrichtungen der eingangs genannten Art ergibt und außerdem im Verhältnis zu diesen Meßeinrichtungen einfacher aufgebaut ist.The object of the present invention is therefore to provide a device for measuring the thickness of a A thin film deposited on a base, which has a higher measuring accuracy than the known Measuring devices of the type mentioned results and also in relation to these measuring devices is constructed more simply.

Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst.This object is achieved by the features specified in claim 1.

Mit dieser Einrichtung wird eine sehr genaue Messung erzielt, und es werden etwaige nachteilige Einflüsse der Meßstrecke, insbesondere der Durchlaßfenster der Vakuumapparatur, praktisch weitestgehend ausgeschaltet, was gerade bei den bekannten Meßeinrichtungen nicht der Fall ist.With this device, a very accurate measurement is achieved, and there are any adverse influences the measuring section, in particular the passage window of the vacuum apparatus, practically as far as possible turned off, which is precisely not the case with the known measuring devices.

Außerdem ist die eigentliche Meßeinrichtung trotz der viel besseren Genauigkeit einfacher als die eigentliche Meßeinrichtung der bekannten Geräte nach dem deutschen Gebrauchsmuster 66 03 219, der deutschen Auslegeschrift 13 03 819 und der schweizerischen Patentschrift 4 50 737 sowie die Meßeinrichtungen ähnlicher Art, die mit zwei unterschiedlichen Lichtbündeln arbeiten.In addition, the actual measuring device is simpler than that despite the much better accuracy actual measuring device of the known devices according to the German utility model 66 03 219, the German Auslegeschrift 13 03 819 and Swiss Patent 4 50 737 and the Measuring devices of a similar type that work with two different light beams.

Weitere Merkmale der Erfindung sind in den Unteransprüchen aufgeführt.Further features of the invention are set out in the subclaims.

Die Erfindung wird im folgenden an Hand schematischer Zeichnungen an Ausführungsbeispielen näher erläutert.The invention is illustrated below with the aid of schematic drawings of exemplary embodiments explained in more detail.

F i g. 1 zeigt eine Ansicht, die das Prinzip veranschaulicht, das einer Einrichtung zum Messen der Dicke eines dünnen Films gemäß der vorliegenden Erfindung zugrunde liegt;F i g. Fig. 1 is a view illustrating the principle involved in a device for measuring the Thickness of a thin film according to the present invention;

F i g. 2 zeigt eine Kurvendarstellung zur Erläuterung der Einrichtung nach F i g. 1;F i g. FIG. 2 shows a graph to explain the device according to FIG. 1;

F i g. 3 zeigt eine Vorderansicht eines optischen Wie in F i g. 5 veranschaulicht ist, umfaßt der öff-F i g. 3 shows a front view of an optical system as in FIG. 5 is illustrated, the open-

Zerhackers, der in dem Instrument nach F i g. 1 Ver- nungsflügel 131 eine Segmentplatte, die mittels desChopper which is used in the instrument of FIG. 1 Verungsflügel 131 a segment plate, which by means of the

wendung findet; Motors 132 über einen vorbestimmten Winkelfinds a turning point; Motor 132 over a predetermined angle

F i g. 4 zeigt eine Ansicht für die Erläuterung der schwingt, der seinerseits in Ansprechung auf dieF i g. Fig. 4 shows a view for the explanation of the oscillates, in turn in response to the

Betriebs- bzw. Arbeitsweise der in Fig. 1 dargestell- 5 Steuersignale gesteuert wird, welche von einer Mo-Operation or mode of operation of the control signals shown in Fig. 1 is controlled, which is controlled by a mo-

ten Einrichtung; torsteuerschaltung her übertragen werden, wodurchth establishment; gate control circuit are transmitted forth, whereby

F i g. 5 zeigt eine Ansicht einer Stoppplatte, die in die von den optischen Filtern 124 und 125 herkorn-F i g. 5 shows a view of a stop plate inserted into the grain from optical filters 124 and 125.

der Einrichtung nach F i g. 1 benutzt wird; menden Lichtbündel reguliert oder abgeschirmt wer-the device according to F i g. 1 is used; regulated or shielded

F ί g. 6 zeigt eine Darstellung einer Abwandlung den, so daß auf diese Weise die Intensitäten der beider erfindungsgemäßen Einrichtung; io den Lichtbündel gesteuert werden.F ί g. 6 shows a representation of a modification of the so that in this way the intensities of both device according to the invention; io the light beam can be controlled.

F i g. 7 zeigt eine weitere Abwandlung dieser Ein- Es sei nunmehr wieder auf F i g. 1 Bezug genorn-F i g. 7 shows a further modification of this one. It is now back to FIG. 1 reference

richtung; men, in der 133 ein reflektierender Spiegel ist; 134direction; men in which 133 is a reflecting mirror; 134

F i g. 8 zeigt noch eine andere Abwandlung dieser ist ein halbdurchlässiger Spiegel, mit dem die veinF i g. 8 shows yet another variation of this is a semitransparent mirror with which the vein

Einrichtung; den optischen Filtern 124 und 125 herkommendenFacility; the optical filters 124 and 125

Fig.9 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel der 15 Lichtbündel der Wellenlänge A, und A₂ miteinander9 shows a second embodiment of the 15 light bundles of wavelengths A and A ₂ together

Erfindung; überlagert werden; 135 ist ein glockenartiges Gefäß;Invention; be superimposed; 135 is a bell-shaped vessel;

Fig. 10 zeigt eine Stoppplatte, die in der Einrich- 136 stellt eine zu behandelnde Unterlage dar; 137 ist10 shows a stop plate which, in the device 136, is a base to be treated; 137 is

tung nach F i g. 9 Anwendung findet; eine Verdampfungsquelle; 138 und 139 sind Fensteraccording to Fig. 9 applies; an evaporation source; 138 and 139 are windows

Fig. 11 zeigt eine Darstellung, die zur Erläuterung aus transparentem Material; 142 ist ein Verstärker;Fig. 11 is an explanatory diagram made of transparent material; 142 is an amplifier;

der in Fig. 10 veranschaulichten Stoppplatte dient; ao 143 stellt einen Phasendetektor dar, der dazu dient,the stop plate illustrated in Fig. 10 serves; ao 143 represents a phase detector which is used to

Fig. 12 zeigt eine Ansicht einer Variation der die Phase des Eingangssignals mit Bezug auf daisFig. 12 is a view showing a variation of the phase of the input signal with respect to dais

Einrichtung nach Fig.9; Ausgangssignal einer lichtempfindlichen Röhre 144Device according to Figure 9; Output of a photosensitive tube 144

Fig. 13 zeigt einen Verschluß, wie er in der Ein- zu bestimmen, wobei letztere den Lichtstrahl vomFig. 13 shows a shutter, as it is to be determined in the in-, the latter the light beam from

richtung nach Fig. 12 verwendet wird; optischen Zerhacker 126 auffängt, und 145 ist eindirection of Figure 12 is used; optical chopper 126 and 145 is a

Fig. 14 zeigt eine dritte Ausführungsform der Er- 25 Anzeigeinstrument. Der Verstärker 142, der Phasen-14 shows a third embodiment of the display instrument. The amplifier 142, the phase

findung; detektor 143 und das Anzeigeinstrument 145 bildenfinding; detector 143 and the display instrument 145 form

Fig. 15 zeigt eine perspektivische Ansicht, welche den Detektor.Fig. 15 is a perspective view showing the detector.

die Einrichtung des dritten Ausführungsbeispiels der Das Verdampfungsmaterial wird so weit erhitzt,the device of the third embodiment of the The evaporation material is heated so far,

Erfindung veranschaulicht, deren zugrunde liegendes daß es verdampft und auf der Unterlage 136 abgela-Invention illustrated, its underlying that it evaporates and deposited on the base 136-

Prinzip in Fig. 14 erläutert bzw. dargestellt ist; 30 gert wird. An Stelle der lichtempfindlichen RöhrePrinciple is explained or shown in Fig. 14; 30 device. Instead of the light-sensitive tube

Fig. 16 zeigt eine perspektivische Ansicht der 141 kann ein Phototransistor oder irgendein anderesFigure 16 shows a perspective view of 141 may be a phototransistor or some other

prinzipiellen Komponententeile dieser Einrichtung; lichtelektrisches Element angewandt werden.principal component parts of this facility; photoelectric element can be applied.

F i g. 17 zeigt eine perspektivische Aufsicht auf Wenn kein dünner Film auf der Unterlage ausge-F i g. 17 shows a perspective top view of when no thin film is formed on the substrate.

diese Einrichtung; bildet worden ist, d. h., wenn die Dicke eines dünnenthis facility; has been formed, d. i.e. if the thickness of a thin

Fig. 18 zeigt eine perspektivische Ansicht einer 35 Films0 ist, dann besteht keine Differenz in derFig. 18 shows a perspective view of a 35 film, then there is no difference in that

Lichtquelle der Einrichtung, wobei Teile herausge- Durchlässigkeit der auf die Unterlage auffallendenLight source of the device, with parts out- permeability of the incident on the base

brachen sind; Lichtbündel der Wellenlängen A₁ und A₂, so daß dasare fallow; Light bundle of wavelengths A ₁ and A ₂ , so that the

Fig. 19 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Ausgangssignal der lichtempfindlichen Röhre 141 ein19 is a perspective view showing an output of the photosensitive tube 141

Photoröhre bzw. eines Photoelements der Einrich- konstantes Gleichstromniveau besitzt, wie bei a inPhototube or a photo element of the device has a constant direct current level, as in a in

tung im Querschnitt; 40 F i g. 4 dargestellt ist. Infolgedessen wird die AbIe-direction in cross section; 40 Fig. 4 is shown. As a result, the AbI-

Fig.20 und 21 zeigen eine perspektivische sowie sung am Anzeigeinslrument 145 Null. Jedoch weist20 and 21 show a perspective and solution on the display instrument 145 zero. However, points

eine Schnittansicht eines Probenhalters der Einrich- das Ausgangssignal der photoelektrischen Röhre 1411a sectional view of a sample holder of the device the output of the photoelectric tube 1411

tung, und eine pulsierende Komponente auf, wie in F i g. 4 ver-tion, and a pulsating component as shown in FIG. 4 ver

F i g. 22 zeigt ein Schaltbild der Einrichtungen anschaulicht ist, und zwar auf Grund der Strahlungsbzw. Instrumente, die in den Fig. 1,9 und 12 darge- 45 charakteristik der Lampe 120, der Empfindlichkeit stellt sind. der lichtempfindlichen Röhre 141 und der optischenF i g. 22 shows a circuit diagram of the devices due to the radiation or Instruments shown in FIGS. 1, 9 and 12 are characteristic of lamp 120, which represents sensitivity. the photosensitive tube 141 and the optical

Nachstehend wird nunmehr ein erstes Ausfüh- Eigenschaften der Filter 124 und 125 sowie der halb-The following is a first embodiment of the properties of the filters 124 and 125 and the half

rungsbeispiel an Hand der F i g. 1 bis 8 näher erläu- durchlässigen Spiegel 132 und 134. Deshalb gibt dasexample on the basis of FIG. Mirrors 132 and 134 explain in more detail 1 to 8. That is why there is

tert: Anzeigeinstrument 145 eine Anzeige, als ob ein dün-tert: display instrument 145 a display as if a thinner

In der F i g. 1 ist mit dem Bezugszeichen 120 eine 50 ner Film mit einer gewissen Dicke bereits auf der Lichtquelle bezeichnet, während das Bezugszeichen Unterlage abgelagert worden sei.
121 einer Kondensorlinse zugeordnet ist; mit 122 ist Der Motor 132 wird angetrieben, so daß der Öffein halbdurchlässiger Spiegel bezeichnet, 123 ist ein nungsflügel 131 verschoben wird, wie in F i g. 5 verreflektierender Spiegel; 124 und 125 sind Filter, die anschaulicht ist, derart, daß die optischen Filter 124 Lichtbändel der Wellenlängen A₁ and A₂ den Durch- 55 und 125 teilweise abgeschirmt weiden. Das wird gegang ermöglichen; 126 ist ein optischer Zerhacker, tan, um die pulsierende Komponente des Ausgangs der eine Zerhackerplatte 129 umfaßt, die einen halb- signals der photoelektrischen Röhre 141 auszuschalkreisförmigen lichtdurchlässigen Abschnitt 127 und ten. Danach wird das zu verdampfende Material 137 einen halbkreisförmigen lichtabschinnenden Ab- erhitzt, damit es verdampft and auf der Unterlage schnitt 128 aufweist, weiterhin umfaßt der optische 60 136 abgelagert wird. Zwei Lkhtbfindel der Wellen-Zerhacker einen Motor 130 zum Rotieren der Zer- länge A, und A₂ werden abwechselnd durch die Zerhackerplatte 129; die Lichtbündel, die durch die op- hackerplatte 129 auf die Unterlage zum Einfall getischen Filter 124 und 125 hindurchgegangen sind, bracht, und das Ausgangssigna] der photoelektriwerden mittels der rotierenden Zerhackerplatte 129 sehen Röhre 141 wird durch den Verstärker 142 verabwechselnd zerhackt; 131 ist ein Öffnungsflügel 65 stärkt und vom Phasendetektor 143 festgestellt bzw. zum Steuern bzw. Kontrollieren der lichtintensität, ermittelt, so daß das Signal, welches ηώ der Rotation und 132 ist ein Motor zum Antrieb des Ofrnungsfiü- der Zerhackerplatte 129 in Phase ist, abgeleitet und gels 131. auf das Anzeigeinstnmrent 145 zum Zwecke der Ab-In FIG. 1, the reference number 120 denotes a 50 ner film with a certain thickness already on the light source, while the reference number base has been deposited.
121 is associated with a condenser lens; at 122 is the motor 132 is driven so that the opening denotes a semi-transparent mirror, 123 is a wing 131 is moved, as in FIG. 5 reflecting mirror; 124 and 125 are filters, which is illustrated, in such a way that the optical filters 124 light bundles of the wavelengths A ₁ and A _{2 are} partially shielded through the passage 55 and 125. That will make it possible; 126 is an optical chopper, tan, to the pulsating component of the output which comprises a chopper plate 129 , which excludes a half-signal of the photoelectric tube 141 , circular light-transmissive portion 127 and th. so that it evaporates and has cut 128 on the base, further comprising the optical 60 136 is deposited. Two Lkhtbfindel the shaft chopper a motor 130 for rotating the chopping length A, and A ₂ are alternately by the chopper plate 129; the light beams which have passed through the chopper plate 129 onto the base for the incidence filters 124 and 125, and the output of the photoelectr are seen by means of the rotary chopper plate 129 tube 141 is alternately chopped by the amplifier 142; 131 an opening wing 65 is strengthened and determined by the phase detector 143 or for controlling or checking the light intensity, so that the signal, which ηώ of the rotation and 132 is a motor for driving the opening filter of the chopper plate 129 in phase, is derived and gels 131. to the display device 145 for the purpose of sending

lesung gegeben wird. Bis ein dünner Film, der auf ist das Verhältnis der Intensität zwischen den beiden der Unterlage abgelagert ist, eine vorbestimmte Lichtbündeln der Wellenlänge A₁ und A₂ so groß, daß Dicke annimmt, werden die Ausgangssignal-Wellen- es nicht erforderlich ist, den Öffnungsflügel 131, der formen, wie sie bei b und c in Fig.4 dargestellt sind, gemäß der Darstellung nach Fig. 5 symmetrisch ist, an das Anzeigeinstrument 145 angelegt. Wenn eine 5 zu verwenden; jedoch ist die Verwendung des symgewünschte Dicke erreicht worden ist, besteht keine metrischen Öffnungsflügels zu bevorzugen, da in Differenz zwischen den Ausgangssignalen, die von einem Fall das Lichtbündel der Wellenlänge A₁ abgeder lichtelektrischen Röhre in Ansprechung auf die schirmt ist, während im anderen Falle das Lichtbün-Lichtbündel der Wellenlänge A₁ und A₂ erhalten wer- del der Wellenlänge A₂ abgeschirmt ist, was von den den, so daß der Ablesewert des Anzeigeinstruments io Wellenlängen A₁ und A₂ abhängt. In einer Abwand- 145 konstant wird. Daraus kann man ersehen, daß lung, die in F i g. 6 veranschaulicht ist, wird ein rechtder auf der Unterlage 136 abgelagerte dünne Film eckiger Flügel 156 benutzt, der in den beiden, durch eine gewünschte Dicke erreicht hat. Daraufhin wird den Doppelpfeil A angedeuteten Richtungen, hin und die Verdampfung gestoppt, so daß auf der Unterlage her bewegt wird, wenn eine Gewindestange 147, die 136 der dünne Film mit der gewünschten Dicke nun- 15 mit einem mit Innengewinde versehenen Trieb 158 mehr abgelagert ist. kämmt, durch einen Motor in Umdrehung versetztreading is given. Until a thin film, which is deposited on the ratio of the intensity between the two of the substrate _{, assumes a predetermined light bundle of wavelengths A 1} and A ₂ so large that it becomes thick, the output signal waves - it is not necessary to use the opening wing 131, the shape as shown at b and c in FIG. 4, symmetrical in accordance with the illustration according to FIG. 5, applied to the display instrument 145 . When to use a 5; However, if the use of the desired thickness has been achieved, there is no metric aperture wing to be preferred, since in the difference between the output _{signals, the light beam of wavelength A 1 from the} photoelectric tube is in response to the screen in one case, while in the other case the Lichtbün light bundles of wavelengths A ₁ and A ₂ are obtained, the wavelength A _{2 is} shielded, so that the reading of the display instrument depends on the _{wavelengths A 1} and A _2. In a wall 145 becomes constant. From this it can be seen that the development shown in FIG. As illustrated in Fig. 6, a right of the thin film of angular wings 156 deposited on the backing 136 is used which, in the two, has reached a desired thickness. Thereupon the double arrow A indicated directions, back and forth, the evaporation is stopped, so that it is moved on the base when a threaded rod 147, the 136 the thin film with the desired thickness is now 15 with an internally threaded pin 158 more deposited . combs, rotated by a motor

Nachstehend wird auf die Abwandlung der Ein- wiru (nicht dargestellt), wodurch entweder die Lichtrichtung gemäß F i g. 7 näher eingegangen: bündel der Wellenlänge A₁ oder der Wellenlänge A₂ In the following, the modification of the influence (not shown), whereby either the direction of light according to FIG. 7 discussed in more detail: bundles of wavelength A ₁ or wavelength A ₂

Wenn die photoempfindliche Röhre über einen wahlweise abgeschirmt (worunter auch teilweise Abweiten Wellenlängenbereich empfindlich ist, so daß 20 schirmung verstanden werden soll) werden, und zwar sie zwei Lichtbündel unterschiedlicher Wellenlänge je nach den Erfordernissen.If the photosensitive tube is optionally shielded (including partial widening Wavelength range is sensitive, so that 20 shielding should be understood), namely they two light beams of different wavelengths depending on the requirements.

auffangen kann, ist der Betriebspunkt der Röhre in- Nachstehend wird an Hand der F i g. 9 bis 13 eincan catch, the operating point of the tube is in the following with reference to the F i g. 9 to 13 a

folge des sogenannten Streulichts, das von der Licht- zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung beschriequelle ausgeht, beträchtlichen Abweichungen ausge- ben:follow the so-called scattered light, which is described by the light source second embodiment of the invention assumes considerable deviations:

setzt, so daß ein Rauschen erzeugt wird. Diese 25 Das zweite Ausführungsbeispiel, das in näheren Schwierigkeit kann durch die Anordnung nach Einzelheiten nachstehend unter besonderer Bezug-F i g. 7 überwunden werden. Das von dem glocken- nähme auf die F i g. 9 erläutert wird, unterscheidet förmigen Gefäß durch das Fenster 139 ausgehende sich von dem oben unter Bezug auf F i g. 1 beschrie-Lichtbündel wird durch einen halbdurchlässigen benen Ausführungsbeispiel vor allem darin, daß an Spiegel 146 und einen reflektierenden Spiegel 147 30 Stelle der Messung der durch den dünnen Film und aufgespalten, und optische Filter 148 und 149, die Unterlage hindurchgehenden Lichtbündel nunweiche die Lichtbündel der Wellenlänge A₁ bzw. A₂ mehr die Lichtbündel, welche vom Film und der Unhindurchgehen lassen, werden je eines in je einen der terlage reflektiert worden sind, von der photoelektridurch die Aufteilung entstandenen beiden optischen sehen Röhre aufgenommen werden. In den F i g. 1 Wege eingefügt, wie Fig. 7 zeigt. Die aufgeteilten 35 und 9 werden zur Bezeichnung gleicher bzw. entspre-Lichtbündel werden durch einen halbdurchlässigen chender Komponententeile die gleichen Bezugszei-Spiegel 151 und einen reflektierenden Spiegel 150 chen verwendet.is set so that noise is generated. These 25 The second embodiment, which can be described in greater difficulty by the arrangement according to details below with particular reference-F i g. 7 to be overcome. That of the bell would take on the F i g. 9, the shaped vessel emanating from the window 139 differs from that described above with reference to FIG. 1-light bundle is described by a semitransparent embodiment especially in that at mirror 146 and a reflecting mirror 147 30 place of measurement of the light bundles passing through the thin film and split, and optical filters 148 and 149, the light bundles now soften the light bundles Wavelength A ₁ or A ₂ longer, the light bundles that allow the film and the monster to pass through will each have been reflected one in each of the support, from which the two optical tubes created by the photoelectrode will be picked up. In the F i g. 1 paths inserted, as shown in Fig. 7. The split 35 and 9 are used to denote the same or corresponding light bundles, the same reference number mirror 151 and a reflecting mirror 150 are used by a semitransparent component parts.

miteinander überlagert, so daß sie von der lichtemp- Das Lichtbündel von dem halbdurchlässigen Spie-superimposed on each other, so that they are exposed to the light em- The light beam from the semi-transparent mirror

findlichen Röhre 141 aufgefangen v/erden. gel 134 wird durch einen Spiegel 159 umgelenkt, sosensitive tube 141 . gel 134 is deflected by a mirror 159, see above

Nunmehr wird die Abwandlung nach F i g. 8 näher 40 daß es auf die Unterlage 136 auftrifft, und das von erläutert: der Unterlage 136 reflektierte Lichtbündel wird wie-The modification according to FIG. 8 in more detail 40 that it impinges on the base 136 , and that explained by: the base 136 reflected light beam is again

Alternativ kann, wie in Fig.8 gezeigt ist, ein derum durch einen Spiegel 160 umgelenkt, so daß es Prisma oder ein Beugungsgitter 152 vor der licht- auf die photoelektrische Röhre 141 auftrifft. Die empfindlichen Röhre 141 in der Weise angeordnet Werte des Reflexionsvermögens für die Lichtbündel sein, daß die abgebeugten Lichtstrahlen der Wellen- 45 der Wellenlänge A₁ und A₂ werden auch in der Weise länge A₁ und A₂ durch Fenster 153 und 154 einer Ab- geändert, wie sie an Hand von Fig. 2 veranschauschirmungsplatte 155 auf die lichtelektrische Röhre licht ist, so daß die Dicke eines auf der Unterlage 141 auffallen. 136 abgelagerten dünnen Films in einer Weise ge-Alternatively, as shown in Figure 8, a derum deflected by a mirror 160 so that it impinges prism or a diffraction grating 152 before the light on the photoelectric tube 141st The sensitive tube 141 should be arranged in such a way that the reflectance values for the light bundle are such that the diffracted light rays of the wavelengths A ₁ and A ₂ are also length A ₁ and A ₂ through windows 153 and 154 of a distance. changed as it is on the basis of Fig. 2 veranschirmungsplatte 155 on the photoelectric tube light so that the thickness of a on the base 141 is noticeable. 136 deposited thin film in a way

Wie bereits näher erläutert worden ist, kann das messen werden kann, die im wesentlichen gleich der-Dickenmeßinstrument gemäß der Erfindung einen 50 jenigen des ersten Ausführungsbeispiels ist. außerordentlich einfachen Aufbau erhalten, obwohl Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel wird zuir As has already been explained in more detail, the can be measured, which is essentially the same as the thickness measuring instrument according to the invention, one of the first embodiment. extremely simple structure is obtained, although in the second embodiment, zuir

zwei Lichtbündel unterschiedlicher Wellenlänge ver- Zwecke der Verbesserung der Meßgenauigkeit eine wendet werden, und zwar deswegen, weil nur ein Öffnungs- oder Stoppplatte 161 der in Fig. 10 unc photoelektrischer Wandler wie auch nur ein Verstär- 11 veranschaulichten Art benutzt. Wenn ein öff ker benutzt werden. Daher kann die Veränderung im 55 nungsflügel der in Fig.5 oder 6 gezeigten Art \er Verstärkungsfaktor vernachlässigbar gemacht wer- wendet wird, dann wird dadurch die Intensität de! den, und die Messung kann bei einem höheren Ge- von dem optischen Filter 124 oder 125 herkommen· nauigkeitsgrad stabilisiert werden. Weiterhin dient den Lichtbündels linear verändert. Das bedeutet, da£ die Voreinstellung durch den Öffnungsflügel 131 die Veränderung oder die Zunahme oder Abnahme dazu, ein Ausgangssignal konstanten Niveaus zu er- 60 der Intensität des Lichtbündels, die durch den öff halten, das keine pulsierende Komponente enthält, nungsflügel gesteuert wird, proportional dem Drehwenn ein dünner Film zu einer gewünschten Dicke winkel des Motors ist. Daher ist die Änderung dei abgelagert wird, so daß die Messung mit einem höhe- Intensität des Lichtbündels pro Winkeleinheit dei ren Genauigkeitsgrad möglich wird. Drehung (d. h. die Änderung der Intensität deitwo light bundles of different wavelengths are used for the purpose of improving the measurement accuracy are turned, namely because only one opening or stop plate 161 of the in Fig. 10 unc photoelectric converter such as only one amplifier 11 illustrated type is used. If an open can be used. Therefore the change in the wing can be of the kind shown in Fig. 5 or 6 Gain factor is made negligible, then the intensity de! den, and the measurement can come from the optical filter 124 or 125 at a higher Ge · degree of accuracy can be stabilized. Furthermore, the light beam is used changed linearly. That means that £ the presetting by the opening wing 131, the change or the increase or decrease to produce an output signal of constant level hold that does not contain a pulsating component, vane is controlled, proportional to the rotation when a thin film to a desired thickness angle of the motor. Hence the change is dei is deposited, so that the measurement is dei with a high intensity of the light beam per unit angle higher degree of accuracy becomes possible. Rotation (i.e. the change in the intensity of the

Nachstehend wird die Abwandlung nach Fig.6 65 Lichtbündels bei einer Winkelverdrehung des Öff näher erläutert: nungsflügels um ΑΘ geteilt durch die Intensität deThe modification according to Fig. 6 65 light bundle with an angular rotation of the Publ is explained in more detail below: opening wing by ΑΘ divided by the intensity de

Im ersten Ausführungsbeispiel und in dessen Ab- Lichtbündels vom optischen Filter 124 oder 125 Wandlungen, die vorstehend erläutert worden sind, welches überhaupt nicht vom öffnungsflügel abgeIn the first embodiment and in its output light beam from the optical filter 124 or 125 Changes that have been explained above, which not at all from the opening wing

schirmt ist) dann, wenn das optische Filter 124 oder F i g. 13) angetrieben wird, in den optischen Weg des 125 im wesentlichen (d.h. fast vollständig) abge- Filters 124 eingefügt, so daß das in Fig 9 veranschirmt ist betrachtlich höher als dann, wenn das schaulichte Dickenmeßinstrument dazu benutzt weroptische Filter 124 oder 125 nur über einen schma- den kann, die Dicke eines dünnen Films unter Verlen Bereich abgeschirmt ist. Das bedeutet, daß die 5 wendung nur eines Lichtbündels zu messen Wenn Änderung der Intensität des Lichtbündels mit Be- der Motor 134 angetrieben wird, so daß der Verzug auf die Verschiebung bzw. Verdrehung des öff- schluß 163 versetzt und dadurch die gesamte Obernungsflugels nicht konstant ist, so daß keine gleich- fläche des Filters 124 abgeschirmt wird, fällt nur das formigcE.nstelh.ng der Lichtintensität erzielt werden Lichtbündel der Wellenlänge A₀ von der Lichtquelle kann. Um das Verhältnis der Änderung der Licht.n- io 120 auf die Unterlage Das absolute Reflexionsver-SfLi ^ht\ ^Vh^rdt^rein^{n des} _T ^Offnun^^e'^s ™ -ögen des dünnen ^LnlTorö^dTZ- is shielded) when the optical filter 124 or F i g. 13 is driven) in the optical path of the 125 is substantially (almost completely) off filter 124 that is inserted, so that which is shown shields in Figure 9 is considerably higher than when the illustrated thickness gauge used to weroptische filter 124 or 125 only a thin, the thickness of a thin film is shielded under the Verlen area. This means that the turning of only one light beam can be measured. If the intensity of the light beam changes with Be the motor 134 is driven, so that the delay shifts to the displacement or rotation of the opening 163 and thus the entire surface wing is not constant so that no surface area of the filter 124 is shielded, only the formigcE.nstelh.ng the light intensity can be achieved light bundle of wavelength A ₀ from the light source. In order to determine the ratio of the change in the light.n- io 120 on the base Das absolute Reflexionsver-SfLi ^h t \ ^V h ^rd t ^re in ^{n des} _T ^Offnun ^ ^e ' ^s ™ -archs of the thin ^ LnlTorö ^ dTZ-

«;^eh™S ί ? ^{ZUr In}T^tenu^ltat ?^{S d}u^{rch lenkung des Zei}S^{ers des} Anzeigeinstruments gemes-«; ^eh ™ S ί? ^{Zu In} T ^ten u ^ltat ? ^{S d} u ^{rch steering of Zei} S ^{ers of the} display instrument measured

das optische Filter übertragenen Lichtes, das abge- sen werdenthe optical filter of transmitted light that is emitted

schirmt wird gleichförmig zu machen muß folgende Im allgemeinen kann die Dicke eines dünnenshields will have to make uniform the following In general, the thickness of a thin

Gleichung erfüllt sein, in der K gleich konstant ist: ₁₅ Films bei Benutzung der beiden Lichtbündel genauerEquation be fulfilled, in which K is constant: ₁₅ film more precisely when using the two light bundles

-dx/x = Icάθ Cn gemessen werden als in dem Fall, in dem nur ein -dx / x = Icάθ Cn can be measured as in the case where only one

W Lichtbundel benutzt wird; jedoch ist es in Abhängig-W light bundle is used; however, it is dependent

. Eine „-ta. Lösung der G.eie„„„g (1) kann S ^" ξ£££ ^TS. A "-ta. Solution of G.eie """g (1) can S ^" ξ £££ ^ TS

in der folgenden Weise erhallen werden. Es sei ange- _ verwenden. Wenn zweibe obtained in the following way. It should be used. If two

nungsflügels abgeschirmt wird), r_„ sei. Dann ist der 30 2. ' ^aufeinander abgegl.chen wordenwing is shielded), r_ "is. Then the 30 2nd 'has been matched to ^{each other}

Radius/· vom Zentrum 0 zu / - 1 unter der Voraus-Radius / · from the center 0 to / - 1 below the

r = 'ma* - (r_mi - r₀) e--* (2) „ , ¹V^f-¹⁴' ^{die ein dritte}s Ausführungsbeispiel r = 'ma * - (r _mi - r ₀ ) e - * (2) ", ¹ V ^ f- ¹⁴ ' ^{which is a third} embodiment

wobei ⁵ ?__ ^Erfindun.g veranschaulicht, ist das Bezugszeichenwhere ⁵ illustrates? __ ^invention .g is reference numeral

165 einer Lichtquelle für weißes Licht zugeordnet; 165 associated with a light source for white light;

_ 1 , I'max-rA ¹T* ¹^ ^eme Kollimatorlinse; 167 ist ein dichroiti-_ 1, I'max-rA ¹ T * ¹ ^ ^eme collimator lens; 167 is a dichroic

^α ~ θ Tr ~"-r Γ Λ^Γ ί,'Τ¹' ^{der das Licht}bündel der Wellenlänge ^α ~ θ Tr ~ "-r Γ Λ ^Γ ί, 'Τ ¹ ' ^{which bundles the light of} the wavelength

^V ^{max rJ} A durchlaßt und das Lichtbündel der Wellenlänge λ. ^V ^{max rJ} A and the light beam of wavelength λ.

SiK lV £1 *F ^^^d SihSiK lV £ 1 * F ^^^ d Sih

Lichtbündel der Wellenlänge λ. Eine Konfiguration, die durch die Gleichung (2) ⁴° SiK luVem £1 *F J^^^ende SpiegehLight bundle of wavelength λ. A configuration given by the equation (2) ⁴ ° SiK luVem £ 1 * F J ^^^ ende Spiegeh

L^dSÄ^n^Ä^ ₄₅ ÄpSleSIir?~fL ^ dSÄ ^ n ^ Ä ^ ₄₅ ÄpSleSIir? ~ F

streckenden Winkel <p übertragen wird, durch eine oder d S nflü?nl Z\ Γ ⁶^ °?^PP jstretching angle <p is transmitted by one or d S nflü? nl Z \ Γ ⁶ ^ °? ^PP j

Abschirmungsplatte 161 abgeschirmt wird, sie ergibt Spiegel 176 ^?ϊTSn 21' ν κ ''c ^refle^kt'erenderShield plate 161 is shielded, it results in mirror 176 ^? ϊTSn 21 ' ν κ''c ^refl e ^kt ' erender

jedoch keine Lösung, wenn das Lichtbündel durch Lichfbündel der WelfeSl ;h ^PÄ *"Λ but no solution, if the light bundle through light bundles of the WelfeSl; h ^P Ä * "Λ

die kreisförmige öffnung 0 der Filter 124 oder 125 das Lidrtbudd dA⁸I' f^mch]^ ^]ed?% the circular opening 0 of the filter 124 or 125 the Lidrtbudd d A ⁸ I 'f ^mch ] ^ ^{] ed} ?%

jh keine Lösung, wenn das Lichtbündel durch Lichfbündel der WelfeSl ;
die kreisförmige öffnung 0 der Filter 124 oder 125 das Lidrtbundd de-A⁸Ir '
abgeschirmt wird. Jedoch kann die Gleichung (2) in 50 und 179 iS J J ΐ"⁸ jh no solution if the bundle of light through bundles of light from the WelfeSl;
the circular opening 0 of the filters 124 or 125 the Lidrtbundd de -A ⁸ I r '
is shielded. However, the equation (2) in FIGS. 50 and 179 may be ^"8

Vendtaß M₁ der durch ._» _i _1M ,, Vendtaß M ₁ of through ._ »_i _1M ,,

des zweiten Aus- Α*ΑΖ?ί Tiof the second exit Α * ΑΖ? ί Ti

eine gleichmäßige Ablagerung des dünnen Films auf den Linsen sichergestellt ist. Die Probe 188, die eine Glasplatte umfaßt, ist am unteren Teil einer durchgehenden Bohrung angeordnet, weiche im Zentrum des Drehtisches 189 ausgebildet ist.uniform deposition of the thin film on the lenses is ensured. The sample 188, which comprises a glass plate, is arranged at the lower part of a through hole which is formed in the center of the rotary table 189 .

Das von der Lichtquelle 165 ausgehende weiße Licht wird durch den dichroitischen Spiegel 167 in die Lichtbündel der Wellenlänge A₁ und A₂ aufgespalten, die durch den optischen Zerhacker 171 abwechselnd zerhackt werden, bevor sie auf den dichroitisehen Spiegel 170 auffallen, wo sie zu einem Bündel vereinigt werden. Infolgedessen ist das durch den dichroitischen Spiegel 170 vereinigte Lichtbündel zeitlich in das Lichtbündel der Wellenlänge X₁ und das Lichtbündel der Wellenlänge A₂ unterteilt. Das Licht vom Spiegel 170 wird durch den Spiegel 175 umgelenkt, so daß es auf die Probe 188 innerhalb des glockenförmigen Gefäßes 187 auftrifft. Das durch die Probe 188 reflektierte Licht fällt über den Spiegel 175 und die Linse 182 auf den dichroitischen Spiegel 176 auf.The white light emanating from the light source 165 is split by the dichroic mirror 167 into the light bundles of wavelengths A ₁ and A ₂ , which are alternately chopped up by the optical chopper 171 before they strike the dichroic mirror 170 , where they form a bundle be united. As a result, the light bundle united by the dichroic mirror 170 is temporally divided into the light bundle of wavelength X ₁ and the light bundle of wavelength A ₂ . The light from mirror 170 is redirected by mirror 175 so that it strikes sample 188 within bell-shaped vessel 187. The light reflected by sample 188 is incident on dichroic mirror 176 via mirror 175 and lens 182 .

Auf jeder der Linsen /., bis L_n, die auf dem Drehtisch 189 in dem glockenförmigen Gefäß 187 angeordnet sind, wird ein dünner Film abgelagert. In diesem Falle wird ebenfalls ein Film auf der Probe 188 abgelagert, so daß die Dicke des auf jeder Linse abgelagerten dünnen Films durch Messung de. Dicke des auf der Probe 188 abgelagerten Films gemessen werden kann, und zwar in einer Weise, die im wesentlichen gleich der vorstehenden bzw. der nachfolgend beschriebenen Weise ist.A thin film is deposited on each of the lenses /., To L _{n placed} on the turntable 189 in the bell-shaped vessel 187. In this case, too, a film is deposited on the sample 188 so that the thickness of the thin film deposited on each lens can be determined by measuring de. The thickness of the film deposited on the sample 188 can be measured in a manner substantially similar to that described above and described below, respectively.

Das Lichtbündel wird durch den Spiegel 179 in zwei Lichtbündel aufgeteilt. Das Lichtbündel der Wellenlänge X₁ wird umgelenkt und durch ein optisches Filter 190 hindurchgeschickt, wobei dieses FiI-ter nur das Lichtbündel der Wellenlänge A₁ hindurchläßt, wonach dieses Lichtbündel auf den dichroitischen Spiegel 180 auf trifft. Das Lichtbündel der Wellenlänge X₂ wird durch das optische Filter 191, welches nur das Lichtbündel der Wellenlänge X₁ hindurchläßt, geschickt und dann durch den reflektierenden Spiegel 179 umgelenkt, so daß es auf den dichroitischen Spiegel 180 auffällt, wo die beiden Lichtbündel der Wellenlänge X₁ und X₂ zu einem Lichtbündel vereinet werden, welches auf die Schlitzplatte 183 auffällt. Das auf die Schlitzplatte 183 fokussierte Lichtbündel wird durch die Diffusions- bzw. Lichtstreuungsplatte 184 zerstreut und mittels der photoelektrischen Röhre 185 in ein elektrisches Signal umgewandelt.The light beam is split into two light beams by the mirror 179. The light bundle of wavelength X ₁ is deflected and sent through an optical filter 190 , this filter only allowing the light bundle of wavelength A _{1 to} pass through, after which this light bundle strikes dichroic mirror 180. The light bundle of wavelength X ₂ is sent through the optical filter 191, which only lets through the light bundle of wavelength X ₁ , and then deflected by the reflecting mirror 179 so that it is incident on the dichroic mirror 180 , where the two light bundles of wavelength X ₁ and X _{2 are combined} to form a light beam which is incident on the slit plate 183 . The light beam focused on the slit plate 183 is diffused by the diffusion plate 184 and converted into an electrical signal by the photoelectric tube 185.

Wenn die Dicke eines auf der Probe 188 abgelagerten dünnen Films X₁JA erreicht, werden die Ausgangssignale der lichtempfindlichen Röhre, die in Ansprechung auf die Lichtbündel der Wellenlänge A, und X₂ auftreten, einander gleich, so daß man dadurch feststellt, daß die auf den Linsen abgelagerten dünnen Filme A₀/4 erreicht haben. When the thickness of a thin film deposited on the sample 188 becomes X ₁ YES , the outputs of the photosensitive tube in response to the beams of the wavelengths A and X _{2 become} equal to each other, thereby confirming that the the lenses deposited thin films A ₀ have reached 4 /.

Da die dichroitischen Spiegel 167 und 170 für die Zeit-Teilung des auf die Probe 188 auffallenden Lichtbündels benutzt werden, sind die Lichtströme LX₁ und LX₂ der Lichtbündel der Wellenlänge I₁ und X₂ gegeben durchSince the dichroic mirrors 167 and 170 are used for the time division of the light beam incident on the sample 188, the luminous fluxes LX ₁ and LX _{2 of} the light beams of wavelengths I ₁ and X _{2 are} given by

unterbricht, wobei R₁ das Reflexionsvermögen de Spiegels 167 und T₁, die Durchlässigkeit des Spiegel 170 bedeutet.interrupts, where R _{1 is} the reflectivity of the mirror 167 and T ₁ , the transparency of the mirror 170 means.

Im nächsten Zeitintervall t₂ giltThe following applies in the next time interval t ₂

LX₁ = T₁X₁- A₂A₁= 0,5%,
LX₂ = T₁X₂- R₂X., = 84,5 »/0. LX ₁ = T ₁ X ₁ - A ₂ A ₁ = 0.5%,
LX ₂ = T ₁ X ₂ - R ₂ X., = 84.5 »/ 0.

Daher werden die Lichtströme, die von der licht- elektrischen Röhre 185 aufgenommen werden, durcl die folgenden Gleichungen gegeben:Therefore, the luminous fluxes are received by the light-electric tube 185, are given the following equations durcl:

ßA, = (R₁X₁ ■ T₂X₁)* =■-62Va, QX₂ = (T₁X₂ R₂X₂) =71%, ßA, = (R ₁ X ₁ ■ T ₂ X ₁ ) * = ■ -62Va, QX ₂ = (T ₁ X ₂ R ₂ X ₂ ) = 71%,

LX₁ - R₁K₁ · T₂X₁ = 78,9«/o,
= R₁X₂ T₂X₂= O3°/o, LX ₁ - R ₁ K ₁ · T ₂ X ₁ = 78.9 «/ o,
= R ₁ X ₂ T ₂ X ₂ = O3 ° / o,

und zwar während eines Zeitintervalls t_v wenn der Zerhacker 171 den optischen Weg des Spiegels 167 worin QA₁ und QX₂ die Lichtstromausbeuten dei Lichtbündel der Wellenlänge A₁ bzw. A₂ sind. during a time interval t _v when the chopper 171 takes the optical path of the mirror 167 where QA ₁ and _{QX 2 are} the luminous flux efficiencies of the light bundles of wavelengths A ₁ and A ₂ , respectively.

Im zweiten Ausführungsbeispiel, in denen die halbdurchlässigen Spiegel verwendet werden (s. Fig. 12) sind die Lichtstromausbeuten wie folgt:In the second embodiment, in which the semitransparent mirrors are used (see Sect. Fig. 12) the luminous flux efficiencies are as follows:

Q¹X₁ = R₁X₁ ■ T₂X₂= 10%»,
Q' X., = T₁ A., ■ R.t A., = 13 %, Q ¹ X ₁ = R ₁ X ₁ ■ T ₂ X ₂ = 10% »,
Q 'X., = T ₁ A., ■ Rt A., = 13%,

Daraus läßt sich ersehen, daß im dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung die Lichtstromausbeute um etwa das Sechsfache gesteigert werden konnte.It can be seen from this that in the third embodiment of the invention, the luminous flux efficiency could be increased by about six times.

Da das zu verdampfende Material innerhalb des glockenartigen Gefäßes erhitzt wird, wird Streulicht erzeugt und auf den Spiegel 175 geworfen, von dem es umgelenkt wird, so daß es auf die lichtelektrische Röhre 185 auffällt. Um diese Schwierigkeit zu überwinden, wird die Schlitzplatte 183 zwischengefügt. Darüber hinaus kann die Helligkeitsverteilung über die Oberfläche der Lichtquelle 185 dadurch gleichmäßig gemacht werden, daß man die Diffusionsbzw. Lichtzerstreuungsplatte 184 hinter der Schlitzplatte 183 anordnet sowie im Abstand von der lichtempfindlichen Röhre 185, wodurch die durch die ungleichmäßige Stromdichte im Faden der Lichtquelle 165 hervorgerufene nachteilige Wirkung ausgeschaltet werden kann. Außerdem ermöglicht es die obige Anordnung, die Änderung der Empfindlichkeit der lichtaufnehmenden Oberfläche der lichtelektrischen Röhre zu kompensieren, so daß die Abweichung des optischen Weges keine Empfindlichkeitsänderung zur Folge hat. Since the material to be evaporated is heated within the bell-shaped vessel, scattered light is generated and thrown onto the mirror 175 , by which it is deflected so that it falls onto the photoelectric tube 185 . To overcome this difficulty, the slotted plate 183 is interposed. In addition, the brightness distribution over the surface of the light source 185 can be made uniform by the fact that the diffusion or. Arranged light diffusion plate 184 behind the slit plate 183 and at a distance from the photosensitive tube 185, whereby the adverse effect caused by the uneven current density in the filament of the light source 165 can be eliminated. In addition, the above arrangement makes it possible to compensate for the change in the sensitivity of the light receiving surface of the photoelectric tube, so that the deviation of the optical path does not cause the sensitivity change .

Es sei nun auf Fig. 15 Bezug genommen, in der eine perspektivische Ansicht des vorstehend unter Bezugnahme auf Fig. 14 erläuterten Dickenmeßinstruments veranschaulicht ist, wobei das allgemein mit dem Bezugszeichen 186 versehene optische System oben auf einem Gerät 187 zur Ablagerung durch Vakuumverdampfung angebracht ist. Mit dem Bezugszeichen 192 ist ein Lampengehäuse bezeichnet, in dem eine Lichtquelle 165 vorgesehen ist; 193 ist ein Linsenrohr, in dem die Kollimatorlinse 166 untergebracht ist; 194 ist ein Gehäuse, das eine photoelektrische Elektronenmultiplizierröhre beherbergt, welche der in F i g. 14 gezeigten photoelektrischen Röhre 185 entspricht; 195 ist eine elektronische Schaltungseinheit, welcher das Ausgangssigna] der lichtelektrischen Röhre eingegeben wird; und 199 ist ein Pro- Referring now to Fig. 15, there is illustrated a perspective view of the thickness gauge discussed above with reference to Fig. 14 with the optical system generally designated 186 mounted on top of a vacuum evaporation deposition device 187. Reference numeral 192 denotes a lamp housing in which a light source 165 is provided; 193 is a lens tube in which the collimator lens 166 is housed; 194 is a case that houses an electron photoelectric multiplying tube which is the same as shown in FIG. 14 corresponds to photoelectric tube 185; 195 is an electronic circuit unit to which the output of the photoelectric tube is input; and 199 is a pro

13 1413 14

benhalter, der von der unteren Oberfläche des opti- und 170 durch Anziehen oder Lockern der Einstellschen Systems 186 mittels dreier Gewindestangen schrauben 204 bzw. 205, woraufhin die Feineinstel-197 bis 199 in das glockenartige Gefäß 187 hmeinge- lung durch Anziehen oder Lockern der Einstellhängt ist. Der Probenhalter 196 besitzt einen Hebel schrauben 221 und 222 vorgenommen werden kann. 188, der sich aus dem glockenartigen Gefäß heraus 5 Außerdem sind auf dem Gestell 203 Halter 223 erstreckt. und 224 für optische Filter angebracht, so daß dieholder, which can be removed from the lower surface of the opti- and 170 by tightening or loosening the adjusting small System 186 by means of three threaded rods 204 or 205, whereupon the Feineinstel-197 to 199 in the bell-like vessel 187 hinge by tightening or loosening the setting is. The sample holder 196 has a lever screw 221 and 222 can be made. 188, which emerges from the bell-like vessel 5 In addition, holders 223 are on the frame 203 extends. and 224 for optical filters attached so that the

Das Gehäuse des optischen Systems 186 besitzt optischen Filter eingefügt werden können, wenn derThe housing of the optical system 186 has optical filters that can be inserted if the

einen Zylinder, der auf dem Boden vorgesehen ist, Aus- bzw. Abgleich zwischen den Lichtbündeln dera cylinder, which is provided on the floor, balancing or balancing between the light beams of the

und zwar so, daß er luftdicht über die obere Öffnung Wellenlänge A₁ und )., unmöglich ist. Der Aus- bzw.so that it is airtight through the upper opening wavelength A ₁ and )., impossible. The training or

des glockenartigen Gefäßes aufgesetzt ist. Der Pro- io Abgleich zwischen den zwei Lichtbündeln kannof the bell-shaped vessel is placed. The pro-io balance between the two bundles of light can

benhalter 196 ist im Zentrum des glockenartigen Ge- durch die optischen Filter und den Stoppflügel 172Benholder 196 is in the center of the bell-like ge through the optical filters and stop wing 172

fäßes 186 angeordnet, und eine Mehrzahl von Pro- erreicht werden.vessel 186 arranged, and a plurality of pro-can be achieved.

ben 188, die auf dem Probenhalter 196 angebracht Ein Rohrhalter 225 für eine Fokussierungslinseben 188 attached to the sample holder 196. A tube holder 225 for a focusing lens

sind, werden eine nach der anderen zu einer zentra- 181 ist auf dem Gestell 203 angebracht, und ein Stiftare, one by one, to a center- 181 is attached to the rack 203, and a pin

len Öffnung 201 des Probenhalters bewegt, wenn der 15 227, der sich von dem Rohr für die Fokussierungs-len opening 201 of the sample holder is moved when the 15 227, which extends from the tube for the focusing

Hebel 200 in den Richtungen hin- und herbewegt linse aus erstreckt, ist in eine Nut 226 eingefügt, dieLever 200 in the directions reciprocating lens extends is inserted into a groove 226, the

wird, die durch die Pfeile A und B angedeutet sind. in dem Halter 225 ausgebildet ist, so daß die Fokus-which are indicated by the arrows A and B. is formed in the holder 225 so that the focus

Das verdampfte Material wird auf der in der Öff- sie.rungslinse 181 in deren optischer Richtung ver-The vaporized material is deposited on the opening lens 181 in its optical direction.

nung 201 des Probenhalter 196 angeordneten Probe schoben werden kann.tion 201 of the sample holder 196 arranged sample can be pushed.

188 abgelagert, und die Lichtbündel der Wellenlän- 20 Ein Zylinder 288, in dem der reflektierende Spiegen /., und /.., treffen auf die Probe auf, so daß die re- gel 175 untergebracht ist und der eine Verlängerung flektierten Lichtbündel von der lichtelektrischen besitzt, die über das Rohr der Fokussierungslinse geRöhre 194 aufgefangen werden, deren Ausgangssi- fügt ist, wie man am besten aus Fig. 17 sieht, ist in gnal in der nachstehenden Weise in die elektronische das obere Ende des glockenartigen Gefäßes einge-Einheit 195 eingegeben wird. 25 setzt und mit nicht dargestellten Schrauben daran be-188 is deposited, and the light bundles of wavelengths 20 A cylinder 288 in which the reflecting mirrors /., And / .., impinge on the sample, so that the rule 175 is accommodated and the light bundle is an extension of the deflected light bundle photoelectric, which are picked up via the tube of the focusing lens tube 194, the output of which is inserted, as can best be seen from FIG is entered. 25 sets and attached to it with screws (not shown)

Wie man aus Fig. 14 sieht, ist innerhalb der glok- festigt. Der Zylinder 228 ist mit einem transparenten kenartigen Gefäßes der Drehtisch vorgesehen, auf Abdichtungsteil 229 versehen, das dazu dient, das dem die Linsen angeordnet sind. Wenn der dünne Vakuum in dem glockenartigen Gefäß aufrechtzuer-FiIm mit einer gewünschten Dicke auf den Linsen halten, sowie mit einem Staubschutzglas 230. Spieabgelagert worden ist, wird die Probe, auf der das 30 gelhalter 235 und 236 sind durch Führungsstifte 231 verdampfte Material ebenfalls abgelagert worden ist, bis 234 aufgehangen, und zwar von einer oberen Abaus dem Lichtweg herausgeschoben, so daß sie auf deckung 237 des Zylinders 228; und Einstellschrauden Boden des glockenartigen Gefäßes herabfallen ben 238 und 239, die drehbar an den Spiegelhaltern kann. Wenn der Hebel 200 in der durch den Fall B 23* bzw. 236 befestigt sind, sind in Innengewindelöangedeuteten Richtung zurückgeführt wird, wird eine 35 eher eingeschraubt, welche ihrerseits durch die obere neue Probe 188 für die nächste Ablagerung eines Abdeckung 237 verlaufen, so daß die reflektierenden dünnen Films in die öffnung 201 gebracht. Spiegel 175 durch Anziehen oder Lockern der Ein-As can be seen from FIG. 14, the gloc is solidified within the. The cylinder 228 is provided with a transparent ken-like vessel of the turntable, provided on sealing part 229, which is used to arrange the lenses. When the thin vacuum to be maintained in the bell-shaped vessel has been deposited with a desired thickness on the lenses, as well as with a dust-proof glass 230. The sample on which the gel holder 235 and 236 are material evaporated by guide pins 231 is also deposited has been suspended until 234, from an upper Abaus the light path pushed out so that they cover 237 of the cylinder 228; and adjusting screws from the bottom of the bell-shaped vessel fall ben 238 and 239, which can be rotated on the mirror holders. When the lever 200 is attached in the direction indicated by the case B 23 * or 236, a 35 is screwed in, which in turn will run through the upper new sample 188 for the next deposition of a cover 237, so that The reflective thin film is brought into the opening 201. Mirror 175 by tightening or loosening the

Es sei nunmehr auf die Fig. 16 und 17 Bezug ge- Stellschrauben 238 bzw. 239 unabhängig voneinander nommen, wonach die dichroitischen Spiegel 167 und in vertikaler Richtung verschoben werden kann, wo-170, die reflektierenden Spiegel 168 und 169 und die 40 durch die optische Weglänge eingestellt wird.
Motoren 173 und 177 für den Antrieb des Zerhak- Die reflektierenden Spiegel 178 und 179 sind in kers sowie des Stoppflügels auf einer Befestigungs- einer Weise befestigt, die im wesentlichen gleich oder platte, einem Gestell, einem Träger od. dgl. 203 an- ähnlich der Weise ist, in der die reflektierenden Spiegebracht sind, die bzw. der an der Seitenwand des gel 168 und 169 angebracht sind; außerdem werden Gehäuses 186 in einer solchen Weise befestigt ist, 45 die Spiegel 178 und 179 parallel zueinander längs daß sie bzw. er vertikal bewegt werden kann, wozu der Führungsstifte 240, 241, 242 und 243 verscho-Einstellschrauben 204 und 205, die in Innengewinde- ben, und zwar dadurch, daß man die Einstellschraulöcher eingeschraubt sind, welche sich in der Seiten- ben 244 bzw. 245 anzieht oder lockert, so daß auf wand des Gehäuses 186 befinden, wie man am be- diese Weise die optische Weglänge eingestellt werden sten aus Fig. 17 ersieht, angezogen oder gelockert 5° kann. Die optischen Filter 190 und 191 sowie die werden. Fokussierungslinse 182 s.ind auf dem gleichen GestellReference is now made to FIGS. 16 and 17, independently of one another, adjusting screws 238 and 239, respectively, after which the dichroic mirrors 167 and 167 can be displaced in the vertical direction, where-170, the reflecting mirrors 168 and 169 and the 40 by the optical path length is set.
Motors 173 and 177 for driving the hook The reflecting mirrors 178 and 179 are fixed in the core as well as the stop wing in a mounting manner that is essentially the same or plate, a frame, a carrier or the like 203 similar is the manner in which the reflective mirrors are attached to the side wall of gel 168 and 169; In addition, housing 186 is attached in such a way that mirrors 178 and 179 are parallel to each other along such that they can be moved vertically, for which purpose the guide pins 240, 241, 242 and 243 are displaced adjusting screws 204 and 205 which are internally threaded - by screwing in the adjusting screw holes, which tighten or loosen in the side benches 244 or 245, so that the optical path length can be set on the wall of the housing 186, as can be done in this way Most of Fig. 17 can be seen tightened or loosened 5 °. Optical filters 190 and 191 as well as will. Focusing lens 182 are on the same frame

Jeder der reflektierenden Spiegel 168 und 196 ist bzw. Träger befestigt, auf welchem auch die reflekan einem Spiegeliialter 219 bzw. 220 befestigt, der tie 1 enden Spiegel 178 und 179 angebracht sind,
normalerweise so vorgespannt ist, daß er sich nach Das Gehäuse 194, in dem die lichtempfindliche vorwärts zu bewegt, was mittels Federn 214 und 215 55 Röhre untergebracht ist, wird am besten durch sowie 216 und 218 erreicht wird, die über Führungs- Fig. 19 veranschaulicht. Die Diffusions- bzw. Lichtstifte 208 bis 210 (der Führungsstift 210 ist nicht zerstreuungsplatte 184 1st zwischen die lichtelektridargestellt) oder 211 bis 213 gesteckt sind, wobei sehe Röhre 185 und die Schlitzplatte 183, in deren diese Führungsstifte an einem aufrechten Spiegelhal- Zentrum ein Schlitz 248 ausgebildet ist, eingefügt, tcr 206 bzw. 207 befestigt sind, welcher seinerseits 60 Die lichtaufnehmende Oberfläche der lichtelektrian dem Gestell 203 befestigt ist. Die Spiegelhalter sehen Röhre 185 ist im Abstand von 10 mm von derEach of the reflecting mirrors 168 and 196 is fastened or a carrier on which the reflector is also fastened to a mirror 219 or 220, to which the mirror 178 and 179 are fastened,
The housing 194, in which the photosensitive tube moves forward to what is housed by means of springs 214 and 215 55 tube, is best achieved by, as well as 216 and 218, via guide Fig. 19 illustrated. The diffusion or light pins 208 to 210 (the guide pin 210 is not diffusion plate 184 is shown between the light electrics) or 211 to 213 are inserted, see tube 185 and the slit plate 183, in which these guide pins at an upright Spiegelhal- center a slot 248 is formed, inserted, tcr 206 or 207 are attached, which in turn 60 The light-receiving surface of the photoelectric is attached to the frame 203. The mirror holder see tube 185 is spaced 10 mm from the

219 und 220 sind mit Einstellschrauben 221 und 222 Diffusions- bzw. Lichtzerstreuungsplatte angeordnet, versehen, die drehbar an den Spiegelhaltern 219 und Das eine Ende des Gehäuses 194 ist an einem Halter219 and 220 are arranged with adjusting screws 221 and 222 diffusion or light diffusion plate, provided rotatably on the mirror holders 219 and one end of the housing 194 is on a holder

220 befestigt und in Innengewindelöcher einge- 249 (s. Fi g. 16) in einer derartigen Weise befestigt, schraubt sind, wobei letztere durch die Spiegelstän- 65 daß die Brennebene der Fokussierungslinse 182 mit der 206 und 207 verlaufen, so daß die Position der dem Schlitz 248 der Schlitzplatte 183 zusammenfällt. Spiegel 168 und 169 eingestellt werden kann. Im ein- Wie am besten aus Fig. 18 ersichtlich ist, ist ein zelncn erfolgt die Grobeinstellung der Spiegel 167 Befestigungsteil 250, an dem eine Schraube 251 an-220 fastened and inserted into internally threaded holes 249 (see Fig. 16) fastened in such a way that are screwed, the latter by the Spiegelstän- 65 that the focal plane of the focusing lens 182 with The 206 and 207 extend so that the position of the slot 248 of the slot plate 183 coincides. Mirrors 168 and 169 can be adjusted. As best seen in FIG. 18, there is a Individual coarse adjustment of the mirrors 167, fastening part 250, to which a screw 251 is attached, takes place.

geschraubt ist, an einem Ende des Linsenrohres 192 eingesetzt. Das Lampengehäuse 192 ist mit einer Hülse 252 vorgesehen, dn mit dem Befestigungsteil 250 des Linsenrohres 129 in Eingriff tritt; and wenn die Hülse 252 und das Befestigungsteil 250 miteinander im Eingriff sind, wird die Schraube 251 angezogen, wodurch das Linsengehäuse 194 sicher am Lampengehäuse 192 befestigt werden kann. Um den Umfang der Hülse 252 herum ist ein Vorsprung oder Flansch 253 ausgebildet, der mit der Schraube 251 zusammen dahin wirkt, daß das Befestigungsteil 250 nicht von der Hülse 252 abfallen kann. Mit dem Bezugszeichen 254 ist ein Grundkörper der Lichtquelle bezeichnet, der eine äußere schraubenförmige Fläche bildet, die mit der inneren schraubenförmigen Fläche der Hülse 252 in Eingriff treten kann; 255 ist ein Zwischenteil, das mit zwei Schlitzen versehen ist, in die zwei Führungsstifte 256 und 257 eingesetzt sind, welche sich vom Grundkörper 254 aus erstrecken; und 258 ist ein Lampenhalter, der mit Schlitzen ausgerüstet ist, die rechtwinklig zu den Schlitzen des Zwischenteils255 verlaufen, und der weiterhin ortsfeste Elektroden 260 aufweist, mit denen die Lichtquelle oder Lampe 165 in Eingriff gebracht werden kann.is screwed, inserted at one end of the lens tube 192. The lamp housing 192 is provided with a sleeve 252 which engages with the attachment part 250 of the lens tube 129; and when the sleeve 252 and the fixing member 250 are engaged with each other, the screw 251 is tightened, whereby the lens housing 194 can be securely attached to the lamp housing 192. A projection or flange 253 is formed around the circumference of the sleeve 252 and cooperates with the screw 251 in such a way that the fastening part 250 cannot fall off the sleeve 252. Reference numeral 254 denotes a base body of the light source which forms an outer helical surface which can engage with the inner helical surface of the sleeve 252; 255 is an intermediate part provided with two slots into which two guide pins 256 and 257 are inserted, which extend from the main body 254; and 258 is a lamp holder equipped with slots which are perpendicular to the slots in the intermediate part 255 and which further has fixed electrodes 260 with which the light source or lamp 165 can be engaged.

Wenn das Lampengehäuse 192 auf dem Befestigungsteil 250 angebracht ist, muß der Abstand zwischen dem Faden der Lampe und dem Befestigungsteil auf einem vorbestimmten Abstandswert gehalten werden, und die Mitte des Fadens muß in Überein-Stimmung mit derjenigen des Befestigungsteils 250 gebracht werden, wozu einige Anschläge, Einspannvorrichtungen, Kaliber, Schablonen od. dgl. verwendet werden.When the lamp housing 192 is mounted on the mounting part 250, the distance between the filament of the lamp and the fastening part held at a predetermined distance and the center of the thread must coincide with that of the fastener 250 be brought, including some stops, jigs, calibers, templates od. The like. Used will.

Nachdem die Lichtquelle 165, wie beispielsweise eine Jodlampe, befestigt ist, werden die Führungsschrauben oder -stifte 256, 257 und 259 gelockert, so daß das Zwischenteil 255 und der Halter 258 in der X- und y-Richtung verschoben werden können, damit man die Mitte des Fadens mit derjenigen des Befestigungsteils in Übereinstimmung bringen kann. Danach werden die Führungsschrauben angezogen, so daß sie die Teile 255 und 258 in der eingestellten Position sicher halten, und die Hülse 253 wird gedreht, um danach deren aufrechte Endoberfläche 253' in der Z-Richtung zu bewegen, so daß auf diese Weise ein vorbestimmter Abstand zwischen dem Faden und dem Befestigungsteil 250 aufrechterhalten wird. Daraufhin werden die Schrauben 261' des Grundteils 254 angezogen, damit sie die Hülse 253 in stationärer Position halten.After the light source 165, such as an iodine lamp, is attached, the guide screws or pins 256, 257 and 259 are loosened so that the intermediate part 255 and the holder 258 can be shifted in the X and Y directions to allow the Can bring the center of the thread with that of the fastening part in agreement. Thereafter, the lead screws are tightened so that they hold the parts 255 and 258 securely in the set position, and the sleeve 253 is rotated to thereafter move its upright end surface 253 'in the Z direction, so that a predetermined Distance between the thread and the fastener 250 is maintained. The screws 261 'of the base 254 are then tightened to hold the sleeve 253 in a stationary position.

Danach wird die Hülse 253 in das Befestigungsteil 250 eingefügt und durch Anziehen der Schraube 251 sicher in ihrer Lage gehalten. Auf diese Weise wird die Lampe 165 im Zentrum des Befestigungsteils angeordnet, d. h. im Brennpunkt der Kollimatorlinse 166.Thereafter, the sleeve 253 is inserted into the fastening part 250 and tightened by the screw 251 held securely in place. In this way, the lamp 165 becomes in the center of the mounting part arranged, d. H. at the focus of the collimator lens 166.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 20 und 21 wird nun der Probenhalter nachstehend in näheren Einzelheiten erläutert. Das Bezugszeichen 262 ist einem Grundteil zugeordnet, das an den vorderen Enden der Gewindestangen 197, 198 und 199 befestigt ist; 263 ist ein Probenstückdurchgang, der im Zentrum des Grundteils 262 ausgebildet ist; 264 und 265 sind Rahmen zum Speichern von Proben bzw. Probestükken, wie beispielsweise Glasplatten g_v g.₂, g₃ usw.; 266 ist ein Winkelhebel, der mit seinem einen Ende am unteren Ende des Hebels 200 befestigt ist, während er mit seinem anderen Ende dreh- bzw. schwenkbar am Grundteil 262 angelenkt ist; 267 ist eine Druckplatte, die mit ihrem einen Ende an einem Gleit- bzw. Verschiebeteil 268 befestigt ist, während ihr vorderes Ende in Eingriff mit dem untersten Probenteil g treten kann, um dieses in Richtung auf Hie mittige Öffnung 201 zu be*· -jen; die Seitenkanten des Gleit- bzw. Verschiebete· - 168 sind verschiebbar in Führungen 269 eingefügt, und das Gleit- bzw. Verschiebeteil besitzt weiterhin einen Stift 271, der in einen Schlitz eingefügt ist, welcher in dem Hebel 270 ausgebildet ist; schließlich ist 272 eine Führung, die unter dem Grundteil 262 angeordnet ist, so daß das benutzte Probenteil g' über die Führung 272 gleiten und auf eine vorbestimmte Stelle innerhalb des glockenartigen Gefäßes herabfallen kann.Referring to Figs. 20 and 21, the specimen holder will now be explained in more detail below. The reference numeral 262 is assigned to a base which is attached to the front ends of the threaded rods 197, 198 and 199; 263 is a specimen passage formed in the center of the base 262; 264 and 265 are frames for storing samples or specimen pieces, such as glass plates g _v g. ₂ , g _3, etc .; 266 is an angle lever which is attached at its one end to the lower end of the lever 200, while it is pivotably or pivotably articulated to the base part 262 at its other end; 267 is a pressure plate, one end of which is fastened to a sliding or sliding part 268, while its front end can come into engagement with the lowermost sample part g in order to move this in the direction of the central opening 201 ; the side edges of the slide 168 are slidably inserted in guides 269, and the slide further has a pin 271 inserted into a slot formed in the lever 270; Finally, 272 is a guide which is arranged under the base part 262 so that the used sample part g 'can slide over the guide 272 and fall onto a predetermined point within the bell-shaped vessel.

Nachstehend wird nunmehr die Betriebsweise näher erläutert:The operating mode is now explained in more detail below:

Das Gehäuse 186 des optischen Systems wird auf dem glockenartigen Gefäß befestigt, und dann wird der Hebel 200 in der Richtung betätigt, die durch den Pfeil A angedeutet ist, so daß der Hebel 270 (s. F i g. 20) im Gegenuhrzeigersinn verdreht wird und dadurch bewirkt, daß die Druckplatte das unterste Probenteil g fördert bzw. vorstößt; letzteres wird längs der Führungen 263 zur öffnung 201 bewegt. Die Lichtquelle 165 im Lampengehäuse 192 wird in der X-. Y und Z-Richtung eingestellt, so daß der Faden im Zentrum der Kollimatorlinse 166 angeordnet wird. Wenn die Lichtquelle 165 eingeschaltet und der Motor 173 angetrieben wird, treffen die Lichtbündel der Wellenlänge X₁ und λ₂ in einer Zeitteilungsart auf das Probenteil in der öffnung 201, und zwar durch das optische System, das die Spiegel 167, 170, 181 und 175 umfaßt. Das reflektierte Licht trifft auf das optische System, das den Spiegel 175, die Fokussierungslinse 182 und die Spiegel 176, 178, 179 und 180 umfaßt, auf die Schutzplatte 183 auf.The optical system housing 186 is mounted on the bell-shaped vessel and then the lever 200 is operated in the direction indicated by arrow A to rotate the lever 270 (see Fig. 20) counterclockwise and thereby causes the pressure plate to convey the lowermost sample part g ; the latter is moved along the guides 263 to the opening 201. The light source 165 in the lamp housing 192 is shown in the X-. Y and Z directions adjusted so that the thread is placed in the center of the collimator lens 166. When the light source 165 is switched on and the motor 173 is driven, the light bundles of wavelengths X ₁ and λ ₂ impinge in a time-division manner on the sample part in the opening 201, through the optical system that includes the mirrors 167, 170, 181 and 175 includes. The reflected light strikes the protective plate 183 on the optical system, which includes the mirror 175, the focusing lens 182, and the mirrors 176, 178, 179 and 180.

Wenn jedoch die Spiegel 167 und 170 nicht richtig eingestellt sind oder wenn die Lampe 175 nicht in die richtige Lage gebracht worden ist, dann wird das von dem Probenstück reflektierte Licht nicht auf den Schlitz fokussiert, sondern es wird in jeder Richtung abgelenkt.However, if the mirrors 167 and 170 are not properly adjusted or if the lamp 175 is not in has been brought into the correct position, then the light reflected from the specimen is not on the Slit focuses but it gets deflected in every direction.

Da viele Spiegel verwendet werden, ist es fast unmöglich, diese unabhängig voneinander einzustellen, so daß das reflektierte Licht auf den Schlitz fokussiert werden kann. Um diese Schwierigkeit zu überwinden, wird gemäß der Erfindung das Befestigungsteil bzw. -gestell 203 durch Anziehen oder Lockern der Einstellschrauben 204 und 205 verschoben, wodurch die Position der Spiegel 167 und 170 eingestellt und damit bewirkt wird, daß das reflektierte Licht an einer Stelle in der Nähe der Schlitzplatte 183 fokussiert wird. Danach wird eine Feineinstellung bzw. -justierung durch Einstellen der Positionen der Spiegel 168, 169, 175, 178 und 179 unabhängig voneinander vorgenommen, so daß das reflektierte Licht genau auf dem Schlitz fokussiert wird. Daraufhin erfolgt eine Voreinstellung durch Antrieb des Stoppflügels 172 derart, daß der Zeiger des Anzeigeinstruments der Elektronikeinheit 195 den Wert 0 anzeigt.Since many mirrors are used, it is almost impossible to adjust them independently, so that the reflected light can be focused on the slot. To overcome this difficulty According to the invention, the fastening part or frame 203 is tightened or loosened of adjusting screws 204 and 205 displaced, whereby the position of mirrors 167 and 170 is adjusted and thereby causing the reflected light to be at a location near the slit plate 183 is focused. Then fine adjustment is made by adjusting the positions the mirrors 168, 169, 175, 178 and 179 made independently of each other so that the reflected Light is focused exactly on the slit. A presetting is then carried out by driving the Stop wing 172 in such a way that the pointer of the display instrument of the electronic unit 195 has the value 0 indicates.

Daraufhin wird mit der Schichtablagerung durch Vakuumverdampfung begonnen und ein dünner Film auch auf dem Probenstück ausgebildet. Wenn der dünne Film bis zu einer gewünschten Dicke abeela-The layer deposition by vacuum evaporation is then started and a thin film is formed also formed on the specimen. When the thin film is removed to a desired thickness

23 33 32β23 33 32β

17 1817 18

gert worden ist, zeigt der Zeiger des Meßinstruments ter 285 zwangsweise gekoppelt sind; 286, 287, 288gert, the pointer of the meter indicates ter 285 are forcibly coupled; 286, 287, 288

auf 0, wie vorstehend erläutert wurde. und 289 sind Dioden und Zenerdioden, die in einento 0 as explained above. and 289 are diodes and zener diodes integrated into one

Wenn eine Mehrzahl dünner Filmschichten auf Rückkopplungskreis des Verstärkers 278 eingefügt unterschiedlichen Materialien abgelagert werden soll, sind; und 290 ist ein Detektor zum Ermitteln der wird die Ablagerung eines Materials gestoppt, sobald 5 Gleichstromkomponente des Ausgangssignals des der Zeiger den Wert 0 anzeigt, und dann wird das Verstärkers 275 oberhalb eines vorbestimmten Ninächste Verdampfungsmaterial im glockenförmigen veaus. Wie in Fig. 4 gezeigt ist, umfaßt das Ausgangs-Gefäß in die entsprechende Stellung gebracht. Der signal des Verstärkers 275 eine hohe Gleichstrom-Hebel 200 wird betätigt, so daß das benutzte Proben- komponente selbst dann, wenn das Differenzsignal stück, d. h. das Probenstück, auf dem ein dünner io (sA, — s/..,) klein ist. Daher muß die Gleichstrom-Film abgelagert ist, nach der Führung 272 hinge- komponente im Ausgangssignal der lichtelektrischen bracht wird, um es auf eine vorbestimmte Stelle in Röhre ermittelt werden, so daß der Vorverstärker dem glockenförmigen Gefäß herabfallen zu lassen. 275 vor einer Sättigung oder Deaktivierung durch die Als nächstes wird der Hebel 2^0 in der Richtung des Gleichstromkomponente geschützt werden kann. Pfeils B bewegt, und dann in der Richtung des Pfeils 15 Wenn die das vorbestimmte Niveau übersteigende A, so daß ein neues Probenstückg in der Öffnung Gleichstromkomponente ermittelt worden ist, wird 201 angeordnet wird. das Ausgangssignal des Detektors einer zentralenIf a plurality of thin film layers are to be deposited on the feedback circuit of amplifier 278, different materials are inserted; and 290 is a detector for detecting that the deposition of a material is stopped as soon as the DC component of the output signal of the pointer indicates the value 0, and then the amplifier 275 is above a predetermined level of evaporation material in the bell-shaped level. As shown in Fig. 4, the output vessel is placed in the appropriate position. The signal of the amplifier 275 a high direct current lever 200 is operated so that the sample component used even if the difference signal piece, ie the sample piece on which a thin io (sA, - s / ..,) is small . Therefore, the direct current film must be deposited after the guide 272 is added to the output of the photoelectric to be detected at a predetermined location in the tube so that the preamplifier can drop the bell-shaped vessel. 275 from saturation or deactivation by the next, the lever 2 ^ 0 can be protected in the direction of the direct current component. Has been moved arrow B, then the said predetermined level in excess of A, so that a new specimen g determined in the direct current component and opening in the direction of arrow 15, is arranged in the two hundred and first the output of the detector of a central

Dann kann mit der nächsten Schichtablagerung Steuerschaltungsanordnung 291 eingegeben, die wei-Then, with the next layer deposition, control circuitry 291 can be entered which further

begonnen werden, so daß das nächste Verdamp- ter unten näher erläutert wird. Das Bezugszeichencan be started so that the next evaporator is explained in more detail below. The reference number

fungsmaterial auf dem dünnen Film abgelagert wird, 20 292 ist einem Detektor zugeordnet, der sein Ein-Fung material is deposited on the thin film, 20 292 is assigned to a detector that has its input

der bereits auf den Linsen ausgebildet worden ist. gangssignal ermittelt, soweit es ein vorherbestimmteswhich has already been formed on the lenses. output signal determined to the extent that it is a predetermined one

Wie bereits erläutert wurde, werden gemäß der Niveau überschreitet; 293 ist eine Halteschaltung,As already explained, according to the level are exceeded; 293 is a hold circuit,

vorliegenden Erfindung die Groß- und Feineinsiel- der das Ausgangssignal des Detektors während einerpresent invention the large and fine insiders the output signal of the detector during a

lungen der optischen Elemente oder Spiegel so vorbestimmten Zeitdauer hält und das Steuersignallungs of the optical elements or mirrors so a predetermined period of time and the control signal

durchgeführt, daß die Einstellung der Relativpositio- ss an die zentrale Steuerschaltung 291 anlegt, wobei diecarried out that the setting of the Relativpositio- ss is applied to the central control circuit 291, the

nen der Spiegel sehr vereinfacht werden kann. Dar- Halteschaltung von irgendeiner konventionellen Artnen the mirror can be very simplified. Dar-hold circuit of any conventional type

über hinaus ist die Lichtquelle als eine Einheit an- sein und Kondensatoren, Widerstände und eineIn addition, the light source is to be seen as a unit and capacitors, resistors and a

geordnet, die mit einem Mechanismus zur Lageein- Diode umfassen kann; das Ausgangssignal des De-ordered, which may include a mechanism for layering diode; the output signal of the

stellung der Lampe in die korrekte Position vorgese- tektors 290 wird auf dem Rückstell-Eingangsan-setting of the lamp in the correct position provided by detector 290 is indicated on the reset input terminal.

hen ist, so daß der Austausch einer Lampe sehr er- 30 schluß einer Steuerschaltung294, beispielsweise einesso that the replacement of a lamp very much involves a control circuit294, for example one

leichtert wird. Der Austausch der Probenstücke kann Flip-Flops, in der zentralen Steuerschaltung 291 ge-is made easier. The exchange of the sample pieces can be done by flip-flops in the central control circuit 291.

allein dadurch erfolgen, daß man den Betätigungshe- geben. Die Steuerschaltung 294 wird eingestellt,take place solely by the fact that one has to use the lever. The control circuit 294 is set

bei hin- und herbewegt, so daß die Ausbildung einer wenn ein die Hochspannungsquelle betätigenderwhen moved back and forth, so that the formation of a when a high voltage source is actuated

Mehrfachschicht auf einer Linse sehr vereinfacht Schalter 295 geschlossen wird, so daß das Signal anMulti-layer on a lens very simplified switch 295 is closed so that the signal is on

wird. 35 die Hochspannungsquelle 293 angelegt wird, die ih-will. 35 the high voltage source 293 is applied, the ih-

Das Streulicht von dem glockenförmigen Gefäß rerseits eine Hochspannung an die lichtelektrische wird vollständig ausgeschaltet, da die Schlitzplatte Röhre 273 abgibt, jedoch wird die Steuerschaltung und die Diffusions- bzw. Lichtzerstreuungsplatte ver- 294 in Ansprechung auf das Ausgangssignal des Dewendet werden, und insbesondere deswegen, weil die tektors DT₁ zurückgestellt, wodurch bewirkt wird, lichtaufnehmende Oberfläche oder die Photokathode 40 daß die Hochspannungsquelle 274 eine niedrige der lichielektrischen Röhre im Abstand von der Dif- Spannung an die photoelektrische Röhre 273 abgibt, fusions- bzw. Lichtzerstreuungnlatte angeordnet ist. Das Ausgangssignal der Halteschaltung 243 wird auf Weiterhin kann die Änderung der Empfindlichkeit den Eingang der Steuerschaltung 296 in der zentraüber die lichtaufnehmende Oberfläche oder Photoka- len Steuerschaltung gegeben, so daß eine den Zuthode der lichtelektrischen Röhre, die eine für diese 45 stand »Über« anzeigende Lampe 297, die mit der inhärente Erscheinung ist, ebenfalls ausgeschaltet Steuerschaltung 296 verbunden ist, eingeschaltet werden, und zwar deswegen, weil die Diffusions- wird. In Ansprechung auf die Ausgangssignale von bzw. Lichtzerstreuungsplatte im Abstand von der der Steuerschaltung 294 werde die anzeigenden Lamlichtelektrischen Röhre vorgesehen ist. pen 298 und 299 ein- oder ausgeschaltet, wodurchThe scattered light from the bell-shaped vessel on the other hand, a high voltage to the photoelectric, is completely switched off because the slit plate emits tube 273, however the control circuit and the diffusion or light scattering plate are switched off in response to the output of the Dewer, and in particular because of because the tektors DT ₁ reset, causing the light receiving surface or the photocathode 40 that the high voltage source 274 emits a low one of the dielectric tube at a distance from the Dif voltage to the photoelectric tube 273, fusion or light diffusion bar is arranged. The output signal of the holding circuit 243 is furthermore given to the input of the control circuit 296 in the control circuit 296 in the center of the light-receiving surface or photocall control circuit, so that the access of the photoelectric tube, which stands for this 45 "over", can be given Lamp 297, which is associated with the inherent phenomenon, also switched off, control circuit 296, must be switched on because the diffusion becomes. In response to the output signals from the light diffusion plate at a distance from which the control circuit 294 will provide the indicating light-electric tube. pen 298 and 299 switched on or off, whereby

Als nächstes wird auf die Fig.22 Bezug genom- 50 sie anzeigen, ob das, ein vorbestimmtes Niveau übermen, die aus den F i g. 22 A und 22 B besteht und schreitende Ausgangssignal vom Verstärker 275 abeine elektronische Schaltungsanordnung zeigt, die in geleitet wird oder nicht, und wodurch außerdem die Verbindung mit dem ersten, dem zweiten und dem Ausgangsspannung der Hochspannungsquelle angedritten Ausführungsbeispiel der Erfindung, die weiter zeigt wird.Next, reference is made to Fig. 22, they indicate whether this is overcoming a predetermined level. those from FIGS. 22 A and 22 B consists of a stepping output from amplifier 275 shows electronic circuitry which is routed in or not, and what also makes the Connection to the first, the second and the output voltage of the high voltage source started Embodiment of the invention to be further shown.

oben unter Bezugnahme auf die Fig. 1, 9, 12 und 14 55 Wenn der Verstärker 278 durch ein das vorbe-above with reference to Figs. 1, 9, 12 and 14 55 When the amplifier 278 is through a

beschrieben worden sind, benutzt werden kann. Das stimmte Niveau überschreitende Wechselstromein-can be used. AC power exceeding the correct level

Bezugszeichen 273 ist einer lichtelektrischen Röhre gangssignal gesättigt wird, wird der Kondensator 277Numeral 273 is a photoelectric tube output signal is saturated, the capacitor 277 is

zugeordnet, die der lichtelektrischen Röhre 141 oder geladen, so daß eine lange Zeit erforderlich ist, bevorassigned to the photoelectric tube 141 or charged so that a long time is required before

185 entspricht und an die eine Hochspannung von die normale Betriebsweise des Verstärkers 278 wie-185 and to which a high voltage of the normal operation of the amplifier 278 again.

einer Hochspannungsquelle 274 her angelegt ist; 275 60 der hergestellt ist, und zwar selbst dann, wenn dasa high voltage source 274 is applied; 275 60 that is manufactured, even if that

ist ein Vorverstärker; 276 ist ein Bandpaßfilter, das ein vorbestimmtes Niveau überschreitende (nachste-is a preamplifier; 276 is a band pass filter that exceeds a predetermined level (next

nur die Grundkomponente überträgt, d.h. die Um- hend auch als »überschüssiges« Signal bezeichnet)only the basic component transmits, i.e. the immediately referred to as the "excess" signal)

drehungsfrequenz des Zerhackers, jedoch die Über- Signal entfernt worden ist. In diesem Falle wird derfrequency of rotation of the chopper, but the over-signal has been removed. In this case the

tragung des Rauschens verhindert; 277 ist ein Kopp- Rückkopplungswiderstand im Verstärker 278 inprevents noise from being carried; 277 is a coupling feedback resistor in amplifier 278 in FIG

lungskondensator; 279, 280, 281 und 282 sind 6₅ einer solchen Weise kurzgeschlossen, daß jeder derventilation capacitor; 279, 280, 281 and 282 are _{short-circuited 6 5 in} such a way that each of the

Widerstände, die für die Einstellung der Verstärkung Widerstände 279 und 280 in Reihe an den Konden-Resistors, which are used for setting the gain, resistors 279 and 280 in series on the condensers

eines Wechselstromverstärkers 278 verwendet wer- sator 277 angeschlossen ist. Da die Impedanz desan alternating current amplifier 278 is connected to the 277. Since the impedance of the

den; 283 und 284 sind Schalter, die mit einem Schal- Kondensators 277 im Falle der Wechselstromknmnn-the; 283 and 284 are switches that use a switching capacitor 277 in the case of AC power

19 2019 20

nente vernachlässigbar sein möge, wird der Verstär- die photoelektrische Röhre 273 abgegebene Spannent may be negligible, the amplification of the photoelectric tube 273 emitted chip

kungsfaktor - R-^₀ZRv₉T Da der Kondensator 277 nung ab. Wenn die Wechseispannungskornponentefactor - R- ^ ₀ ZRv ₉ T Since the capacitor 277 voltage decreases. If the alternating stress component

eingefügt ist, ist der Verstärkungsfaktor des Verstär- im Ausgangssignal der lichtelektrischen Röhre 27is inserted, the gain of the amplification is in the output signal of the photoelectric tube 27

kers 278 für die Gleichstromkomponente 0, so daß ein vorbestimmtes Niveau überschreitet, wird diekers 278 for the DC component 0 so that exceeds a predetermined level, the

nicht zu befürchten ist, daß der Betriebspunkt des 5 Anzeigelampe 297 eingeschaltet, wodurch angezeigithere is no fear that the operating point of the 5 indicator lamp 297 is switched on, thereby indicating

Verstärkers auf Grund der Abweichung des Verstär- wird, daß der Verstärker 278 gesättigt ist, so daß dieAmplifier due to the deviation of the amplifier, the amplifier 278 is saturated, so that the

kers 278 verschoben wird. Wenn das überschüssige normale Messung nicht durchgeführt bzw. vollendekers 278 is moved. If the excess normal measurement is not carried out or complete

Eingangssignal an den Verstärker 278 angelegt wird, werden kann.Input signal applied to amplifier 278 can be.

wird dessen Ausgangssignal, beispielsweise in der po- Das Bezugszeichen 301 1st einem synchronen sitiven ( + ) Richtung, über die Spannung hinaus an- io Gleichrichter zugeordnet, der mit dem Ausgang des gehoben, bei der die Diode 288 in den leitfähigen Verstärkers verbunden ist; 302 ist eine Impulssignal-Zustand übergeht, so daß der Eingang und Ausgang wellenform-Formungsschaitung, welche die Synchrcdes Verstärkers 273 kurzgeschlossen ist. In diesem nisaiionssignale, die von einer in der Öffnung des Falle ergibt sich keine Schwierigkeit, da die Vor- Zerhackers 129 vorgesehenen Photozelle 303 erzeugi wärtsspannung an die Zenerdiode 289 angelegt ist. 15 werden, zu Impulsen formt, wobei die Schaltung 302 Wenn das Eingangssignal nicht über ein vorbestimm- mit dem Synchrongleichrichter 301 verbunden ist, so tes Niveau hinausgeht, gelangt die Dir>de 288 nicht in daß die Sychronisierungssignale an diesen angelegt den leitfähigen Zustand. Wenn das überschüssige werden; 304 ist ein Verstärker, der mit dem Ausgang Ausgangssignal des Verstärkers 278 in der negativen des Synchrongleichrichters 301 über einen Schalter (-) Richtung liegt, gelangt die Diode 289 in den 20 285 und einen Widerstand 305 verbunden ist; 306 leitfähigen Zustand, so daß der Eingang und Aus- und 307 sind Widerstände, die in den Rückkoppgang des Verstärkers 278 ebenfalls kurzgeschlossen Iungskreis des Verstärkers 204 eingefügt ist, so daß wird. dessen Verstärkungsfaktor verändert werden kannits output signal, for example in the po- The reference numeral 301 is a synchronous positive (+) direction, beyond the voltage associated with an- io rectifier connected to the output of the lifted with diode 288 connected in the conductive amplifier; 302 is a pulse signal state transitions so that the input and output waveform shaping circuits which synchronize Amplifier 273 is short-circuited. In this nisaiionssigns emitted from one in the opening of the No problem arises since the pre-chopper 129 generates the photocell 303 provided reverse voltage is applied to the zener diode 289. 15 are formed into pulses, the circuit 302 If the input signal is not connected to the synchronous rectifier 301 via a predetermined one, then so tes level goes beyond, the Dir> de 288 does not get the synchronization signals applied to it the conductive state. When that become excess; 304 is an amplifier that works with the output Output of amplifier 278 in the negative of synchronous rectifier 301 through a switch (-) direction, the diode 289 enters the 20 285 and a resistor 305 is connected; 306 conductive state so that the input and output and 307 are resistors that are in the feedback path of the amplifier 278 is also short-circuited Iungskreis the amplifier 204 is inserted, so that will. whose gain factor can be changed

Wenn der Verstärker 278 unter normaler Bedin- 308 ist ein elektronisches Schalterelement, das einen gung betrieben wird, wenn kein überschüssiges Ein- 25 FET umfaßt, der in Reihe mit einem Widerstand 307 gangssignal anliegt, dann erscheint ein Spannungsab- geschaltet ist, so daß der Widerstand 307 wahlweise fall über dem Widerstand 300 auf Grund eines klei- mit dem Rückkopplungskreis des Verstärkers 304 nen Leckstroms der Zenerdioden 288 und 289. Der verbunden werden kann, wobei die Beziehung
Wert des V/iderstands 300 ist so ausgewählt, daß die R = \0 R R
Dioden 286 und 287 nicht leiten, und zwar auch 30 ^m ³⁰⁷ ^a0B
nicht in der Vorwärtsrichtung durch den vorerwäha- (wo J die Parallelschaltung bezeichnet) gilt, so ten Spannungsabfall. Wenn die Dioden 288 und 289 daß dann, wenn das elektronische Schalterelemen' leitend werden, wenn das überschüssige Eingangssi- 308 geschlossen ist, der Widerstand auf ein Zehnte gnal an den Verstärker 278 angelegt wird, fließt ein desjenigen Widerstandes eingestellt wird, der vorhangenügend hoher Strom durch den Widerstand 300, so 35 den ist, wenn das elektronische Schalterelement offen daß die ausreichende Vorwärtsspannung durch den ist (d.h. ΑΊ, A^-IO); und 309 ist ein Anzcigeinstru-Spannungsabfall über dem Widerstand 300 an die ment, das mit dem Ausgang des Verstärkers 304 verDioden 286 und 287 angelegt wird. Infolgedessen ge- bunden ist.
langen die Dioden 286 und 287 in den leitenden Zu- Das Bezugszeichen 310 ist einem Schalter zur Anstand, so daß der Rückkopplungswiderstand 281 40 derung des Meßbereichs des Anzeigeinstruments 309 kurzgeschlossen wird. Als Folge hiervon wird der zugeordnet. Wenn der Schalter 310 geschlossen ist Kondensator 277 schnell entladen. dann ist der Meßbereich ΑΊ, während bei geöffnetemIf the amplifier 278 is under normal 308 an electronic switch element which is operated when there is no excess input 25 FET present in series with a resistor 307, then a voltage appears to be switched off so that the Resistor 307 optionally drops across resistor 300 due to a small leakage current of Zener diodes 288 and 289 in the feedback circuit of amplifier 304. Which can be connected, where the relationship
The value of the resistor 300 is selected so that the R = \ 0 RR
Diodes 286 and 287 do not conduct, even 30 ^m ³⁰⁷ ^a0B
does not apply in the forward direction due to the aforementioned (where J denotes the parallel connection), so th voltage drop. If the diodes 288 and 289 that, when the electronic switch elements become conductive when the excess input 308 is closed, the resistance is applied to a tenth signal to the amplifier 278, one of the resistance is set which is the prevailing sufficiently high current through resistor 300 so 35 den is when the electronic switch element is open that the sufficient forward voltage is through the (ie ΑΊ, A ^- IO); and 309 is an indication of the voltage drop across resistor 300 applied to the output of amplifier 304 across diodes 286 and 287. As a result, it is bound.
long the diodes 286 and 287 in the conductive supply. As a result, the is assigned. When switch 310 is closed, capacitor 277 discharges quickly. then the measuring range is ΑΊ, while when the

Da jedoch das überschüssige Eingangssignal an Schalter 310 der Meßbereich X10 ist.However, since the excess input signal to switch 310 is the measuring range X 10.

den Verstärker 278 angelegt wird, geht die Linearität Mit 311 ist ein Steuersignalgeneralor bezeichnetthe amplifier 278 is applied, the linearity. 311 denotes a control signal generalor

des Verstärkers 278 verloren, so daß keine Propor- 45 mit dem ein »Ein«-Signal an das Schalterelement 308of amplifier 278 is lost, so that no proportional 45 with the an "on" signal to switch element 308

tionalität zwischen dem Eingangs- und dem Aus- angelegt werden kann; und 312 ist eine Steuerschal-functionality can be created between the input and output; and 312 is a control switch

gangssignal besteht. tung zum Einstellen des Stoppflügels 172, wenn deroutput signal exists. device for adjusting the stop vane 172 when the

Das überschüssige Eingangssignal kann durch Zeiger des Anzeigeinstruments 309 nicht 0 anzeiger Überwachen des Spannungsabfalls über dem Wider- will, und zwar auf Grund der Herstellungsvariation stand 300 in der oben beschriebenen Ws'se ermittelt 50 bzw. -toleranzen der Lichtquelle, der dichroitischen werden. Wenn der Spannungsabfall über dem Wider- Spiegel und der halbdurchlässigen Spiegel, d. h. stand 300 in Ansprechung auf das überschüssige Ein- wenn der Ausschlag auf Grund des Lichtbündels der gangssignal schnell ansteigt, ermittelt der Detektor Wellenlänge A₁ nicht mit dem übereinstimmt, der auf 292 diesen Spannungsabfall, und das Ausgangssignal Grund des Lichtbündels der Wellenlänge I₂ auftritt des Detektors 292 wird durch die Halteschaltung 293 55 Die Steuerschaltung 312 ist mit dem Schalter 310 während einer vorbestimmten Zeitdauer gehalten. und einer Steuerschaltung 313, die ein Flip-Flop um· Das Niveau des Ausgangssignals der Halteschaltung faßt, verbunden. Das Bezugszeichen 314 ist einem 243 wird in einer Gleichstromweise verändert, und FET-Schalterelement zugeordnet, dessen Torelekdie Anzeigelampe 297 wird in Ansprechung auf das trode zum Setzausgangsanschluß der Steuerschaltung Ausgangssignal der Steuerschaltung 296 eingeschal- 60 313, die das Flip-Flop umfaßt, geführt ist; 314, 315 tet, wodurch angezeigt wird, daß der Verstärker 278 316 und 317 sind FET-Schalterelemente, die mil durch das überschüssige Eingangssignal gesättigt dem Ausgang der Steuerschaltung 313, welche das worden ist, so daß die normale Messung nicht durch- Flip-Flop umfaßt, verbunden sind; 318 ist ein Vergeführt bzw. vollendet werden kann. stärker, der mit dem Ausgang des Synchrongleich-The excess input signal can not be monitored by the pointer of the display instrument 309. On the basis of the manufacturing variation status 300 in the Ws'se described above, tolerances of the light source, the dichroic, are determined. If the voltage drop across the reflector mirror and the semi-transparent mirror, i.e. 300 was in response to the excess input, if the deflection increases rapidly due to the light beam of the output signal, the detector determines wavelength A ₁ does not match the one on 292 this Voltage drop, and the output signal due to the light beam of the wavelength I ₂ occurring from the detector 292 is held by the holding circuit 293 55. The control circuit 312 is held by the switch 310 for a predetermined period of time. and a control circuit 313 which detects a flip-flop by · the level of the output of the hold circuit. The reference numeral 314 is a 243 is changed in a direct current manner, and FET switch element assigned, the gate of which the indicator lamp 297 is turned on in response to the trode to the set output terminal of the control circuit, the output of the control circuit 296, which includes the flip-flop, is led ; 314, 315 tet, indicating that the amplifier 278, 316 and 317 are FET switch elements which are saturated by the excess input signal at the output of the control circuit 313, which has been so that normal measurement is not carried out by flip-flop includes, are connected; 318 is a seduced or can be perfected. stronger, which corresponds to the output of the synchronous

Wie bereits oben erläutert wurde, fällt, wenn die 65 richters 301 über ein Schalterelement 37.9 verbundenAs already explained above, when the 65 judge 301 is connected via a switch element 37.9

Gleichstromkomponente im Ausgangssignal der pho- ist; und 320 ist ein Rückkopplungswiderstand. EinDC component in the output signal that is pho-; and 320 is a feedback resistor. A

toelektrischen Röhre 273 ein vorbestimmtes Niveau Detektor 321 ist mit dem Ausgang des VerstärkersToelectric tube 273 a predetermined level detector 321 is connected to the output of the amplifier

übersteigt, die von der Hochspannungsquelle 274 an 318 verbunden, so daß dann, wenn der Auseane desexceeds that of the high voltage source 274 connected to 318, so that when the Auseane des

21 2221 22

Verstärkers 318 niedriger als ein vorbestimmtes Ni- wird, davon ab, ob das Schalterelement 314 oder 31*Amplifier 318 becomes lower than a predetermined Ni, depending on whether the switch element 314 or 31 *

veau ist, die Steuerschaltung, die das Flip-Flop um- eingeschaltet ist.veau is, the control circuit that switches the flip-flop is switched on.

faßt, zurückgestellt wird. Das Bezugszeichen 330 ist einem Umschalter zugrasps, is postponed. The reference numeral 330 is a changeover switch

Wenn die Dickenmessung mittels des dichromali- geordnet, mit dem ausgewählt werden kann, ob die sehen Verfahrens ausgeführt wird, wird der Schal- 5 Dickenmessung nach dem dichromatischen Verfallter 310 niedergedrückt, so daß das Flip-Flop in An- ren oder nach dem monochromatischen Verfahrer sprechnung auf das Ausgangssignal der Steuerschal- erfolgen soll; 331 ist eine Antriebsschaltung zum tung 312 eingestellt wird. Dann wird das Schalter- wahlweisen Antrieb eines Drehsolenoids 332 odei element 319 eingeschaltet, wohingegen die Elemente 333 bei Betätigung des Schalters 330. Wenn die DiIc-314, 315, 316 und 317 ausgeschaltet werden. Wenn io kenmessung nach einem monochromatischen Verfahdas Ausgangssignal des Synchrongleichrichters 301, ren vor sich gehen soll, wird ein Kontakt α (Wellend. h. die Differenz zwischen den Ausgangssignalen in längeA₁) oder ein Kontakte (Wellenlänge A₂) ge-Ansprechung auf die Lichtbündel der Wellenlänge A₁ schlossen, so daß das Drehsolenoid 332 oder 333 se- und X₂, entwickelt wird, dann wird der Motor 174 lektiv angetrieben wird. Das Solenoid 332 entspricht zum Antrieb des Stoppflügels bzw. der Stoppplatte in 15 der elektromagnetischen Komponente, die in Fig. 12 Ansprechung auf das Ausgangssignal des Verstärkers durch 164 bezeichnet ist, und wenn das Solenoid 332 318 angetrieben, so daß der Stoppflügel bzw. die erregt wird, dann wird der Lichtbündel der Wellen-Stoppplatte in den optischen Weg des Lichtbündels länge X_x unterbrochen, so daß die Dickenmessung der Wellenlänge X₁ oder X₂ verschoben wird, wodurch nur mit dem Lichtbündel der Wellenlänge X₂ ausgedie Intensität des Lichts "gesteuert wird. Infolgedes- 20 führt wird. Das Drehsolenoid 333 dient dazu, einen sen nähert sich das Ausgangssignal des Verstärkers nicht dargestellten Verschluß anzutreiben, der in den 318 allmählich dem Wert 0, so daß der Motor 174 optischen Weg des Lichtbündels der Wellenlänge X₂ gestoppt wird. Wenn das Ausgangssignal des Ver- eingefügt ist. Mit dem Bezugszeichen 334 ist eine stärkers 318 niedriger als ein vorbestimmtes Niveau Steuerschaltung bezeichnet, mit der FET-Schaltereleist, dann wird die Steuerschaltung 313, die das 25 mente 336 und 337 in Ansprechung auf die Aus-Flip-Flop umfaßt, durch den Detektor 321 zurückge- gangssignale der Steuerschaltungen 331 und 335 stellt, und das Schalterelement 319 wird ausgeschal- wahlweise zum Leiten gebracht werden können, tet, und die Schalterelemente 314 und 315 werden Mit 338 ist eine Schaltung bezeichnet, die das eingeschaltet, wohingegen die Elemente 316 und 317 Ausgangssignal eines Verstärkers 339 verstärkt und ausgeschaltet bleiben. Wenn die Steuerschaltung 313, 30 umgekehrt. Wenn das Schalterelement 337 eingedie das Flip-Flop umfaßt, so eingestellt wird, daß der schaltet wird, fließt der Korrektionsstrom durch Motor 174 angetrieben wird, dann wird die Lampe einen Widerstand 340 zum Verstärker 304, wenn je-322 angeschaltet, weil der Setzausgang bzw. der ein- doch das Schalterelement 336 eingeschaltet ist, begestellte Ausgang des Flip-Flops 313 mit der Anzei- sitzt der Strom die entgegengesetzte Polarität gegengelampe 322 verbunden ist, so daß durch die Ein- 35 über derjenigen des durch einen Widerstand 341 in schaltung der Lampe 322 angezeigt wird, daß die den Verstärker 304 fließenden Stromes. Stoppeinstellung durchgeführt wird. Mit 342 ist ein Spannungsteiler bezeichnet, der dieIf the thickness measurement is ordered by means of the dichromic, with which it can be selected whether the process is carried out, the sound is depressed after the dichromatic decay 310, so that the flip-flop in anren or after the monochromatic process response to the output signal of the control switch should take place; 331 is a drive circuit for device 312 is set. Then the switch - optional drive of a rotary solenoid 332 or element 319 is switched on, whereas the elements 333 when the switch 330 is actuated. When the DiIc-314, 315, 316 and 317 are switched off. If the output signal of the synchronous rectifier 301, ren is supposed to take place according to a monochromatic method, a contact α (wave end, i.e. the difference between the output signals in length A ₁ ) or a contact (wavelength A ₂ ) will respond to the light bundle of the wavelength A ₁ closed so that the rotary solenoid 332 or 333 se- and X ₂ , is developed, then the motor 174 is selectively driven. The solenoid 332 corresponds to driving the stop vane or plate in Fig. 15 of the electromagnetic component indicated by 164 in Fig. 12 in response to the output of the amplifier and when the solenoid 332 is 318 driven so that the stop vane or the are energized then the light beam of the wave stop plate is interrupted in the optical path of the light beam length X _x , so that the thickness measurement of the wavelength X ₁ or X _{2 is} shifted, whereby only the light beam of the wavelength X ₂ controls the intensity of the light As a result, the rotary solenoid 333 is used to drive a shutter which approaches the output signal of the amplifier, not shown, which gradually approaches the value 0 in 318, so that the motor 174 stops the optical path of the light beam of wavelength X ₂ When the output of the Ver is inserted, numeral 334, an amplifier 318 is lower than a predetermined level u control circuit designated with the FET switch power, then the control circuit 313, which includes the 25 elements 336 and 337 in response to the off flip-flop, through the detector 321 returns signals of the control circuits 331 and 335, and that Switch element 319 is switched off optionally can be brought to conduct, and the switch elements 314 and 315 are denoted by 338 a circuit which is switched on, whereas elements 316 and 317 output signal of an amplifier 339 are amplified and remain switched off. When the control circuit 313, 30 reversed. If the switch element 337, which includes the flip-flop, is set so that it is switched, the correction current flows through motor 174 driven, then the lamp is a resistor 340 to the amplifier 304, if -322 is turned on, because the set output or the one but the switch element 336 is switched on, the output of the flip-flop 313 is connected to the display, the current of the opposite polarity is counter-lit 322, so that through the on 35 over that of the through a resistor 341 in the circuit Lamp 322 indicates that the current flowing through amplifier 304. Stop setting is being performed. With a voltage divider 342 is referred to, the

Der Stoppflügel bzw. die Stoppplatte 172 ist an- Referenzspannung ER, die an seinen Anschluß angetriebsmäßig mit dem Motor 174 gekoppelt, und eine legt wird, in Spannungen von 0, 10, 20, ... und 9O°/o Steuerkurve bzw. eine Nocke323 ist auf der Welle 4" der Referenzspannung unterteilt; 343 ist ein verder Stoppscheibe bzw. des Stoppflügels 372 befestigt. änderbarer Widerstand zur Feineinstellung, der par-Die Bezugszeichen 324 und 325 sind Begrenzungs- alle] zum Spannungsteiler 342 geschaltet ist; und schalter zugeordnet, die an den Enden der Steuer- 344, 345 und 346 sind Widerstände des Verstärkers kurve bzw. Nocke 323 angebracht sind; weiterhin ist 339. Der Wert des Widerstands 345 ist das Zehn-326 ein Schalter zum Ermitteln der Position der 45 fache des Werts des Widerstands 344. Stoppplatte bzw. des Stoppflügels 172. Die Schaltung, welche die Verstärker 339 und 338The stop vane or the stop plate 172 is connected to the reference voltage ER, which is operatively coupled to the motor 174 at its connection and which is applied in voltages of 0, 10, 20,... And 90 ° / o control curve or one Cam 323 is divided on shaft 4 ″ of the reference voltage; 343 is attached to a verder stop disk or stop vane 372. Changeable resistor for fine adjustment, which is connected to voltage divider 342 and associated with a switch Which are attached to the ends of the control 344, 345 and 346 resistors of the amplifier cam 323; furthermore is 339. The value of the resistor 345 is ten-326 a switch for detecting the position 45 times the value of resistor 344. Stop plate and stop wing 172, respectively. The circuit that drives amplifiers 339 and 338

Mit 327 ist eine Steuerschaltung bezeichnet, sowie den Spannungsteiler 342 umfaßt, ist deswegenA control circuit is denoted by 327, and the voltage divider 342 is therefore included

welche die Steuersignale in Ansprechung auf die Si- vorgesehen, um die Genauigkeit der Messung mitwhich the control signals in response to the Si provided in order to ensure the accuracy of the measurement with

gnale von den Begrenzungsschaltern 324 und 325 zur dem Anzeigeinstrumeni 309 im Falle der Messung mitsignals from the limit switches 324 and 325 to the display instrument 309 in the case of measurement

Steuerschaltung 312 überträgt und in der Lage ist, 50 dem monochromatischen Verfahren zu vergrößern,Control circuit 312 transmits and is able to enlarge 50 the monochromatic method,

den Zustand der das Flip-Flop umfassenden Steuer- Im Falle des monochromatischen Verfahrensthe state of the control comprising the flip-flop. In the case of the monochromatic method

schaltung 313 umzukehren, wodurch nur die Schal- schlägt der Zeiger des Anzeigeinstruments 309 imcircuit 313 to reverse, whereby only the scarf beats the pointer of the indicating instrument 309 in the

terelemente 314 und 315 eingeschaltet werden. Gegen Uhrzeigersinn oder im Uhrzeigersinn aus, wasterelements 314 and 315 are switched on. Counterclockwise or clockwise from what

Infolgedessen wird der Stoppflügel bzw. die Stopp- davon abhängt, ob das Lichtbündel der WellenlängeAs a result, the stop wing or the stop depends on whether the light beam of the wavelength

platte nor in einer Richtung gedreht. Wenn der als 55 A₁ oder der Wellenlänge A₂ benutzt wird. Ob daherplate nor rotated in one direction. When used as 55 A ₁ or A ₂ wavelength. Whether therefore

Detektor wirkende Schalter 326 geöffnet wird, wird das Lichtbändel der Wellenlänge A₁ oder A₂ verwen-Detector-acting switch 326 is opened, the light bundle _{of wavelength A 1} or A _{2 is used.}

emes der Elemente 315 oder 314 eingeschaltet, was det wird, läßt sich deshalb in einfacher Weise aus davon abhängt, ob der Begrenzungsschalter 324 oder der Auslenkung des Zeigers des AnzeigeinstrumentsOne of the elements 315 or 314 which is switched on can therefore be easily omitted depends on whether the limit switch 324 or the deflection of the pointer of the gauge

325 geschlossen wird, so daß der Rückkopplungs- 309 feststellen. Im Falle der Dickenmessung nach dem kreis des Verstärkers 318 kurzgeschlossen wird. Als 60 monochromatischen Verfahren wird die Dicke eines325 is closed so that the feedback 309 will determine. In the case of thickness measurement after circuit of amplifier 318 is shorted. As a 60 monochromatic process, the thickness is one

Ergebnis dieses Vorgangs wird der Eingang des Ser- dünnen Films von der Durchlässigkeit oder dem Re-Result of this process is the entrance of the ser- thin film from the permeability or the re-

vomotors 174 unterbrochen, so daß dieser Motor ge- flexionsvennögen eines Probenstückes für das Lichtstoppt wird, wodurch ein überschüssiges Weiterlau- bündel der Wellenlänge: A₁ oder A₂ gemessen. Infolgefen der Stoppplatte bzw. des Stoppflügels verhindert dessen muß eine Dickenänderung eines dünnenfrom the motor 174 interrupted, so that this motor flexionsvennögen a sample piece is stopped for the light, whereby an excess further beam of the wavelength: A ₁ or A _{2 is} measured. As a result of the stop plate or the stop wing prevents a change in thickness of a thin one

wird. Da die Dioden 328 und 329 in entgegengesetz- 65 Films, die in der Größenordnung von 4 % liegt, unter Richtung zueinander and in Reihe zn den EIe- ter der Bedingung von 90^β/β auffallendem Liebt ermenten 315 und 314 geschaltet sind, hängt die PoIa- mittelt werden. In diesem Falle ist es vorteilhaft, den rität des Ausgangs, der an den Motor 174 angelegt Wert, der gleich der Ablesung des Anzeigeinstro-will. Since the diodes 328 and 329 are connected in opposite film, which is in the order of 4%, facing each other and in series with the ^{element 315 and 314 of the condition of 90 β} / β striking love, the depends PoIa be averaged. In this case it is advantageous to check the rate of the output applied to the motor 174, which is equal to the reading of the display inflow.

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ments minus 9O°/o ist, anzuzeigen, und die Empfind- Anzeigeinstruments 309 durch den Synchronverstär-ments minus 90 ° / o is to be displayed, and the sensitivity display instruments 309 by the synchronous amplifier

lichkeit der Anzeigeeinrichtung um das Zehnfache zu ker 301 und den Verstärker 304 ausgelenkt wird,possibility of the display device is deflected ten times to ker 301 and amplifier 304,

erhöhen. Es ist auf diese Weise möglich, nur die An- Wie weiter oben erläutert worden ist, muß das EIe-raise. It is possible in this way, only the

j derung in einem empfindlicheren Meßbereich anzu- ment 310 vor der Vakuumverdampfung eingeschaltetIn a more sensitive measuring range, the an- mement 310 is switched on before the vacuum evaporation

zeigen. Zu diesem Zwecke wird das Element 308 5 werden, so daß der Zeiger des Anzeigeinstrumentsdemonstrate. For this purpose the element 308 will be 5, so that the pointer of the indicating instrument

\ ausgeschaltet, wie oben näher erläutert wurde, so 309 den Wert 0 anzeigt. Das Ausgangssignal des \ turned off, as explained in more detail above, so 309 displays the value 0. The output signal of the

! daß die Empfindlichkeit der Anzeigeeinrichtung bzw. Synchrongleichrichters 301 repräsentiert das Abso-! that the sensitivity of the display device or synchronous rectifier 301 represents the abso-

j des Anzeigeinstruments 309 um das Zehnfache er- lutsignal der Grund-Zerhackerkomponente der licht-j of the display instrument 309 by ten times the explanatory signal of the basic chopper component of the light

] höht wird, und das Element 336 oder 337 wird ein- elektrischen Röhre 273, so daß dann, wenn das] is increased, and the element 336 or 337 becomes an electric tube 273, so that when the

geschaltet, damit der Korrektionsstrom an den Ver- io Ausgangssignal 0 ist, der die Stoppplatte bzw. denswitched so that the correction current to the Ver io output signal is 0, which the stop plate or the

] stärker 304 angelegt wird. Es sei z.B. angenommen, Stoppflügel antreibende Motor 174 durch das Aus-] stronger 304 is applied. Let us assume, for example, that motor 174 driving the stop wing is caused by the

daß der Korrektionsstrom von 9O^e/o von der Able- gangssignal des Verstärkers 318 angetrieben wird, sothat the correction current of 90 ^e / o is driven by the output signal of the amplifier 318 , so

f sung des Anzeigeinstruments 309 abgezogen werde. daß die Lichtbündel der Wellenlänge A₁ und A₂ teil-f solution of the display instrument 309 will be deducted. that the light bundles of wavelengths A ₁ and A _{2 are} partially

' Dann wird der Eingang des Verstärkers 339 über weise unterbrochen werden, bis die Ablesung des'Then the input of amplifier 339 will be interrupted wisely until the reading of the

einen Widerstand 344 mit einem Anschluß des Span- 15 Anzeigeinstruments 309 0 wird. Sobald der Motora resistor 344 to one terminal of the span gauge 309 0 becomes. Once the engine

nungsteilers 342 verbunden, von dem die Spannung 174 gestoppt worden ist, wird das Flip-Flop 313 involtage divider 342, from which the voltage 174 has been stopped, the flip-flop 313 in

abgegeben wird, die gleich 90 °/o der Referenzspan- Ansprechung auf das Ausgangssignal vom Detektorwhich is equal to 90% of the reference voltage response to the output signal from the detector

nung ER ist. Die Feineinstellung der Spannungstei- 321 eingestellt bzw. gesetzt, so daß es die Lampe 322tion ER is. The fine adjustment of the voltage divider 321 is set or set so that the lamp 322

lung durch den Spannungsteiler 242 kann mittels einschaltet, wodurch angezeigt wird, daß die anfäng-by the voltage divider 242 can be switched on by means of which indicates that the initial

eines veränderbaren Widerstands 343 durchgeführt 20 liehe Stoppeinstellung ausgeführt worden ist.of a variable resistor 343 carried out 20 loan stop setting has been carried out.

werden. Jedoch ist die Spannung im Verstärker 339, Wenn die Ablesung des Anzeigeinstruments selbstwill. However, the voltage in amplifier 339 is when reading the meter itself

welche verstärkt und umgekehrt wird (der Verstär- beim Drehen der Stoppplatte bzw. des Stoppflügelswhich is amplified and vice versa (the amplification when turning the stop plate or the stop wing

kungsfaktor hängt von dem Verhältnis zwischen den 172 nicht 0 werden will, d. h., wenn die Ablesung desThe factor depends on the relationship between the 172 does not want to be 0, i.e. i.e. when the reading of the

Widerständen 344, 345 und 346 ab), derart, daß die Anzeigeinstruments wegen einer Fehleinstellung desResistors 344, 345 and 346 from), so that the display instrument because of an incorrect setting of the

Elemente 336 und 337 selektiv eingeschaltet werden, 25 optischen Systems trotz dem Drehen der StoppplatteElements 336 and 337 are selectively turned on, 25 optical system in spite of the rotation of the stop plate

wenn die Kontakte α und c des Schalters 330 ge- bzw. des Stoppflügels 172 nicht 0 wird, dann wirdif the contacts α and c of the switch 330 and the stop vane 172 does not become 0, then becomes

schlossen werden. Wenn das Element 336 einge- die Stoppplatte bzw. der Stoppflügel bis zum Endebe closed. When the element 336 is in, the stop plate or stop wing to the end

schaltet wird, dann fließt der Korrektionsstrom ihres bzw. seines Hubs verschoben, so daß einer deris switched, then the correction current flows her or his stroke shifted, so that one of the

durch den Widerstand 341 in den Eingang des Ver- Endschalter 324 oder 325 geöffnet wird. Einer derthrough the resistor 341 in the input of the limit switch 324 or 325 is opened. One of

stärkers 304, wohingegen dann, wenn das Element 30 Schalter 324 oder 325 wird durch die Steuerkurveamplifier 304, whereas when element 30 is switch 324 or 325 through the control curve

337 eingeschaltet wird, der Korrektionsstrom mit oder den Nocken 323 geschlossen, das Signal wird337 is switched on, the correction current with or the cam 323 is closed, the signal is

entgegengesetzter Polarität durch den Widerstand durch die Steuerschaltungen 327, 312 und 313 anopposite polarity through the resistance by the control circuits 327, 312 and 313

340 in den Verstärker 304 fließt. Das bedeutet, daß das Element 315 oder 314 angelegt, so daß der Motor 340 flows into amplifier 304 . That means that the element 315 or 314 is applied so that the motor

in Abhängigkeit davon, ob das Lichtbündel der WeI- 174 gestoppt wird. Auf diese Weise wird ein »Über-depending on whether the light beam of the shaft 174 is stopped. In this way, a »transfer

lenlänge A₁ oder A₂ angewandt wird, die Additions- 35 laufen« der Stoppplatte bzw. des Stoppflügels 172If length A ₁ or A ₂ is used, the addition runs of the stop plate or stop wing 172

und Substraktionsströme angelegt werden, so daß die verhindert.and subtraction currents are applied so that the prevented.

W/o-Gleichspannungs-Vorspannungs-Anzeigekom- Wenn die Filmablagerung begonnen wird, nachponente subtrahiert wird. dem die obige Einstellung ausgeführt worden ist, ver-Im Falle der Dickenmessung nach dem dichroma- ändert sich das Ausgangssignal der lichtelektrischen tischen Verfahren ist die obige Korrektur nicht erfor- 40 Röhre 273 in Ansprechung auf die Dicke eines auf derlich, so daß dann, wenn der Kontakt b des Schal- einem Probestück abgelagerten dünnen Films, und ters 330 geschlossen ist, das »Ein«-Signal nicht von die gewünschte Dicke ist erreicht, wenn die Ablesung der Steuerschaltung 334 zu den Elementen 336 und des Anzeigeinstruments 309 Null ist.
337 übertragen wird. Wenn das Ausgangssignal der lichtelektrischen Mit 347 ist ein Schalter bezeichnet, der geöffnet 45 Röhre 273 über einem vorbestimmten Niveau liegt, wird, wenn der Anschluß, von dem 0 °/o geteilter wird seine Gleichstromkomponente durch den DeSpannung abgenommen werden kann, gewählt wor- tektor 290 ermittelt, so daß die Steuerschaltung 294 den ist, während dieser Schalter geöffnet wird, wenn die Hochspannungsschaltung 274 steuert, derart, daß die anderen Anschlüsse des Spannungsteilers 342 ge- die Niederspannung an die lichtelektrische Röhre wählt werden. Wenn der Schalter 347 geschlossen ist, 50 273 angelegt wird. Die Wechselspannungskompowird die Antriebsschaltung 335 betätigt, so daß sie nente der lichtelektrischen Röhre 273 wird durch den die Lampe 348 einschaltet und das Betriebsartsignal Detektor 292 ermittelt, und die Lampe 297 wird einzur Steuerschaltung 334 überträgt. geschaltet. Der Rückkopplungskreis des Verstärkers Als nächstes wird die Betriebsweise der Dicken- 273 wird zum Zwecke der Herabsetzung des Verstärmessung mit dem dichromatischen Verfahren nach- 55 kungsfaktors kurzgeschlossen, wodurch der nichtlistehend näher erläutert: neare Fehler verhindert wird.W / o DC voltage bias display com- When film deposition is started, post-component is subtracted. In the case of the thickness measurement according to the dichromatic method, the above correction is not required in the case of the thickness measurement according to the dichromatic method, the above correction is not required, so that if the contact b of the circuit- a specimen deposited thin film, and ters 330 is closed, the "on" signal not of the desired thickness is reached when the reading of the control circuit 334 to the elements 336 and the indicator 309 is zero.
337 is transmitted. If the output signal of the photoelectric with 347 is a switch, the opened 45 tube 273 is above a predetermined level, if the connection from which is 0% divided its direct current component by the voltage can be taken off, selected wor- tector 290 is determined so that the control circuit 294 is the while this switch is opened when the high voltage circuit 274 controls so that the other terminals of the voltage divider 342 are selected to the low voltage to the photoelectric tube. When switch 347 is closed, 50 273 is applied. The AC voltage component is actuated by the drive circuit 335 so that it is part of the photoelectric tube 273 , through which the lamp 348 is turned on and the mode signal detector 292 is detected, and the lamp 297 is transmitted to a control circuit 334 . switched. The feedback circuit of the amplifier Next, the mode of operation of the thickness 273 is short-circuited with the dichromatic method for the purpose of reducing the gain measurement, which prevents the non-listed error.

Der Kontakt b des Schalter 330 wird geschlossen, Wenn die Dickenmessung nach dem monochroma- und die Schalter 295 und 349 werden geschlossen. tischen Verfahren mit geschlossenem Kontakt b des Dann wird der Zerhacker durch eine nicht darge- Schalters 330 ausgeführt wird, dann wird die Steuerstellte Schaltung in Umdrehung versetzt, und das 60 schaltung 313, die das Flip-Flop umfaßt, eingestellt, Licht, das von einem Probenstück, auf dem kein und die Elemente 315, 314 und 319 werden ausgedünner Film abgelagert ist, reflektiert oder durch schaltet. Eines der Elemente 316 oder 317 wird eindieses Probenstück durchgelassen wird, wird durch geschaltet, und zwar in Abhängigkeit davon, ob dei die lichtelektrische Röhre 273 aufgefangen. Begrenzungsschalter 324 oder 325 durch die Steuer-Das Ausgangssignal der lichtelektrischen Röhre 65 kurve oder den Nocken 323 geschlossen wird, und 273 wird über den Verstärker 275, das Filter 276, die positive oder negative Spannung wird von dei den Kondensator 277 und den Widerstand 279 an Stromquelle an den Verstärker 318 angelegt, so dafi den Verstärker 278 angeilegt, so daß der Zeiger des der Servomotor im Uhrzeigersinn oder hn Gegenuhr-The contact b of the switch 330 is closed when the thickness measurement after the monochrome and the switches 295 and 349 are closed. table method with closed contact b of the then the chopper is carried out by a switch 330, then the control station circuit is set in rotation, and the 60 circuit 313, which comprises the flip-flop, is set, light emitted by a Sample piece on which no and the elements 315, 314 and 319 are deposited thin film is reflected or switched through. One of the elements 316 or 317 will let through this specimen is switched through, depending on whether the photoelectric tube 273 is caught. Limit switch 324 or 325 by the control-The output signal of the photoelectric tube 65 curve or the cam 323 is closed, and 273 is via the amplifier 275, the filter 276, the positive or negative voltage is applied by the capacitor 277 and the resistor 279 Current source is applied to amplifier 318 so that amplifier 278 is applied so that the pointer of the servomotor clockwise or counterclockwise

zeigersinn gedreht wird. Die Stoppplatte bzw. der Stoppflügel 172 wird in die neutrale Position bewegt, d. h. in die Position, in der keiner der Begrenzungsschalter 324 und 325 durch die Steuerkurve oder den Nocken 323 geschlossen wird. Im Falle der Dickenmessung mit dem monochromatischen Verfahren können beide der optischen Wege mit maximaleris rotated clockwise. The stop plate or stop wing 172 is moved to the neutral position, d. H. to the position in which none of the limit switches 324 and 325 are affected by the control cam or the Cam 323 is closed. In the case of thickness measurement with the monochromatic method can use both of the optical paths with maximum

Leistungsfähigkeit bzw. Empfindlichkeit benutzt werden, und die Differenz in der Leistungsfähigkeit bzw. Empfindlichkeit zwischen den beiden optischen Wegen kann bestimmt werden.Performance or sensitivity are used, and the difference in performance or Sensitivity between the two optical paths can be determined.

Es wird darauf hingewiesen, daß unter der vorstehenden Abkürzung »FET« jeweils der Begriff »Feldeffekttransistor« zu verstehen ist.It should be noted that under the abbreviation "FET" above, the term "field effect transistor" is to be understood.

Hierzu 11 Blatt ZeichnungenIn addition 11 sheets of drawings

Claims

for switching off the direct current component Claims: the output signal of the means (141) for converting the intensity of the light into electric

1. Means for measuring the thickness of an on see signals.

a base deposited thin film, where- 5 8. Device according to one of the claims by a projection device two light to 7, characterized by a device bundles of different wavelengths X ₁ and (264) for holding a plurality of Unterla I ₂ alternately and successively on the gene in which the thickness of a material to be measured is projected and this is to be measured as a function of the thin film, and a <the thickness of the material to be measured and of the support device (220, 267) with which one of the bases be transmitted or reflected, as well as a gene that is in the device for holding dei measuring device, which is the intensities of the plurality of documents, movable in a vorbeder base after its passage through the correct position and with the remotely reflected or transmitted material to be measured Light- the bundles located in the predetermined position are interlinked after they have 15 underlay can be removed from the latter. have been converted into electrical signals by a photoelectric converter, thereby
characterized in that the two wavelengths (A ₁ and X ₂ ) used for the measurement

Light bundle from a predetermined, the ge ao
desired thickness of the material to be measured (136) corresponding wavelength (X ₀ ) out to both sides

approximately the same wavelength within a range The invention relates to a device for measuring

ches are shifted from;. „/ 4 and that a measurement of the thickness of a device (141 to 143) deposited on a substrate during the deposition of thin film, whereby by a projection device of the film on the substrate the minimum device is two light beams of different waves of the difference in the intensities of the two from the length;., and I ₂ alternately and successively reflected or transmitted light projected onto the test material and this determined as a function of bundles. absorbed by the thickness of the material to be measured and by the

2. Device according to claim 1, marked 30 pad transmitted or reflected, sonet by a shutter (163) to interrupt like a measuring device, the intensities of the from one of the two light bundles. of the document after it has passed through the

3. Device according to claim 1 or 2, light beam marks reflected or transmitted through the material to be measured by a device (131, 161, del compares with each other after being processed by a 172), to convert the intensity of one of the 35 photoelectric converters into electrical signals Light bundle. have been set.

4. Device according to claim 1, 2 or 3, in particular, with this device, the thickness characterized by a device (122, 167) of a thin layer deposited by vacuum evaporation Splitting of the film to be measured by a light source (120, new.

165) emitted light in two light bundles 40 When measuring a thin film on a and by a chopper plate (129, 171) which is vacuum sealed in a base such as a lens Because of the two bundles of light arranged evaporation has been deposited, one goes after and one formed as part of the prior art so that the optical has transparent area through which each properties of the thin film continuously gestets one of the two light bundles will be measured in operation of the 45, and it is assumed that Chopper plate can be passed through a desired thickness when the so that the two light bundles alternate in optical properties under predetermined conditions Sequences are projected. suffice. There are two methods of measuring the

5. Device according to claim 4, characterized in that it has optical properties. A procedure is identified as that the device (122, 167) 50 denotes the "monochromatic process" called Splitting the light into two bundles of light net, with the use of a single light is a semitransparent mirror that emits a light bundle of a predetermined wavelength bundle from a light source (120, 165) into which a deposited thin film is incident, passing through both Splitting light bundle. nonchalance or the ability to reflect and thereby

6. Device according to one of claims 1 55, the thickness of the film is measured. The other Verbis5, driving is characterized by a device as a so-called »dichromatic process (144, 163) to determine each of the two driving ", in which two light bundles under light bundles and means (141) for different wavelengths can be used and with Converting the intensity of after passing the the thickness of a thin film with a size by the material to be measured can be measured with a degree of accuracy of 60 ren reflected by the base or transmitted light in electrical si- dem process that only falsify a single beam of light and means (143) for effecting as detailed below synchronous determination of the output is purged.

gnals of the device for converting on the The spectral characteristic curve of the light beam,

Base of the output signal of the device for 65 that at a right angle to a thin detection of the light beam. transparent film (with a refractive index η and

7. Device according to one of claims 1 of a physical or physical thickness d) aufbis6, characterized by a capacitor falls, a periodic curve whose extreme