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DE2263614A1 - Sekundaerelektronenvervielfacher - Google Patents

Sekundaerelektronenvervielfacher

Info

Publication number
DE2263614A1
DE2263614A1 DE19722263614 DE2263614A DE2263614A1 DE 2263614 A1 DE2263614 A1 DE 2263614A1 DE 19722263614 DE19722263614 DE 19722263614 DE 2263614 A DE2263614 A DE 2263614A DE 2263614 A1 DE2263614 A1 DE 2263614A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
multiplier
plates
limiter
electrodes
secondary electron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19722263614
Other languages
English (en)
Inventor
Hans-Dietrich Dipl Polaschegg
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold Heraeus GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Heraeus GmbH filed Critical Leybold Heraeus GmbH
Priority to DE19722263614 priority Critical patent/DE2263614A1/de
Publication of DE2263614A1 publication Critical patent/DE2263614A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J43/00Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
    • H01J43/04Electron multipliers
    • H01J43/06Electrode arrangements
    • H01J43/18Electrode arrangements using essentially more than one dynode
    • H01J43/20Dynodes consisting of sheet material, e.g. plane, bent

Landscapes

  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)

Description

  • Sekundärelektronenvervielfacher Die Erfindung bezieht sich auf einen Sekundärelektronenvervielfacher, bestehend aus mehreren, etwa parallel zueinander angeordneten Platten, zwischen denen die Vervielfachung der Elektronen stattfindet.
  • Vervielfacher dieser Gattung sind z.B. aus "Nuclear Instruments & Methode", Volume 84, 1970, Nr. 2, Seiten 301 bis 306 bekannt. In dieser Literaturstelle wird auch auf eine unerwünschte Eigenschaft derartiger Elektronenvervielfacher hingewiesen, nämlich auf das seitliche Übersprechen von Elektronen. Zu diesem Übersprechen kommt es, wenn ein oder mehrere Elektronen aus einem Kanal seitlich austreten und in einen benachbarten Kanal eintreten, um dort eine die Messungen verfälschende neue Eiektronenlawine auszulösen. Um dieses Übersprechen zu verhindern, wurde in der genannten Literaturstelle vorgeschlagen, den Raum zwischen den Platten seitlich mit einer Kunststofffüllung abzuschließen.
  • Bei der Verwendung derartig ausgebildeter Sekundärelektronenvervielfacher im Hochvakuum,was z.B. bei der Elektronen-Spektroskopie für chemische Analysen (ESCA) notwendig ist, haben sich jedoch einige Nachteile herausgestellt. Der Sekundärelektronenvervielfacher ist an den Seiten gasdicht verschlossen. Außerdem ist er anodenseitig durch den Elektronen-Auffänger verschlossen, so daß zum Auspumpen des Vervielfachers nur die EintrittsOffnung zur Verfügung steht. Weiterhin lassen sich wegen der bei der Ultrahochvakuum-Anwendung notwendigen Temperaturfestigkeit sowie wegen(der geforderten niedrigen Abgasrate nur Quarzglas, Keramik oder ähnliche Materialien als Füllstoff zum seitlichen Verschluß der Vervielfacher verwenden. Diese Materialien sind handelsüblich nicht in jeder beliebigen Form erhältlich, so daß der Aufbau der Vervielfacher kompliziert und kostspielig ist.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Sekundär-Elektronenvervielfacher, bestehend aus mehreren, etwa parallel zueinander angeordneten Platten, zwischen denen die Vervielfachung der Elektronen stattfindet, zu schaffen, welcher die oben beschriebenen Nachteile nicht mehr aufweist.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Vervielfacher-Platten seitlich offen sind und daß in einem Abstand von diesen seitlichen Öffnungen Begrenzerelektroden angeordnet sind, deren Potential an jedem Punkt negativer ist als das Potential der diesem Punkt gegenüberliegenden Stelle der Vervielfacherplatten. Bei einem in dieser Weise ausgebildeten Sekundär-Elektronenvervielfacher stehen zum Auspumpen auch die seitlichen Öffnungen der Platten zur Verfügung. Die seitlichen Begrenzerelektroden verhindern durch ihr elektrisches Feld ein Austreten oder Übersprechen von Elektronen. Die Elektroden können aus temperaturfestem Material, z.B. Metall, bestehen, so daß das für die UHV-Anwendung notwendige Ausheizen nicht mehr problematisch ist.
  • Bei einer besonders einfachen Ausbildung eines Sekundär-Elektronenvervielfachers nach der Erfindung liegen die Begrenzerelektroden auf Kathodenpotential.
  • Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung können die Begrenzerelektroden aus Widerstandsmaterial bestehen oder mit Widerstandsmaterial beschichtet sein. Das erfindungsgemäße Potential der Begrenzerelektroden wird dadurch erzeugt, daß an ihnen die auch für die Vervielfacherplatten benötigte Spannung abfällt.
  • Die beschriebenen Lösungen sind unabhängig davon verwendbar, ob der Spannungsabfall von Kathode zu Anode im Bereich der Kanäle kontinuierlich oder diskontinuierlich erfolgt.
  • Bestehen die Vervielfacherplatten des Sekundär-Elektronenvervielfachers aus Widerstandsmaterial, dann sind zweckmäßig auch die Begrenzerelektroden aus Widerstandsmaterial ausgebildet; ihre Enden liegen den Vervielfacherplatten entsprechend auf KathodeR-bzw. Anodenpotential. Damit die Bedingung, daß jeder Punkt der Begrenzerelektroden negativer ist als das Potential der diesem Punkt gegenüberliegenden Stelle der Vervielfacherplatten, erfüllt ist, sind die Begrenzerelektronen bei dieser Anordnung gegenüber den Vervielfacherplatten um einen Betrag in Richtung Anode verschoben.
  • Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren 1 und 2 schematisch dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen: Figur .1 einen erfindungsgemäß ausgebildeten Sekundärelektronenvervielfacher, bei dem die Begrenzerelektroden auf Kathodenpotential liegen, und Figur 2 einen Vervielfacher, bei dem die Begrenzerelektroden aus Widerstandsmaterial bestehen.
  • Bei dem in der Figur 1 dargestellten Sekundärelektronenvervielfacher 1 sind die Vervielfacherplatten mit 2 bezeichnet, die z,B. aus Widerstandsmaterial bestehen oder mit einem aus einer oder mehreren Schichten bestehenden hochohmigen Belag -versehen sind, der einen Sekundär-Emissionskoeffizienten größer 1 besitzt. Durch eine an die Enden der Platten angelegte Spannung (Spannungsquelle 3) entsteht zwischen den Platten das für die Funktion des Vervielfachers notwendige elektrische Feld. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel liegt die Eintrittsöffnung oben, während unten zwischen den Platten die Auffänger 4 für den verstärkten Elektronenstrom angeordnet sind. Die zur Erzeugung eines elektrischen Registriersignals notwendigen Arbeitswiderstände sind mit 5 bezeichnet.
  • In einem Abstand von den seitlichen oeffnungen der Vervielfacherplatten2 sind die Begrenzerelektroden 6 angeordnet, deren flächenmäßige Ausdehnung etwa der Gesamtheit der seitlichen öffnungen der von den Platten 2 gebildeten Kanäle entspricht. Die Elektroden 6 liegen auf Kathodenpotential, so daß das dadurch erzeugte elektrische Feld ein seitliches Austreten oder Übersprechen von Elektronen verhindert.
  • Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 2 bestehen die Begrenzerelektroden 6 aus Widerstandsmaterial. Sie weisen an ihren Enden Kontaktstreifen 7 auf, über die sie entsprechend den Vervielfacherplatten 2 mit dem positivem bzw. negativem Pol der Spannungsquelle 3 verbunden sind. Damit die Bedingung, daß das Potential an jedem Punkt der Begrenzerelektrode 6 negativer ist als das Potential der diesem Punkt gegenüberliegenden Stelle auf einer Vervielfacherplatte erfüllt ist, sind die Begrenzerelektroden 6 bezüglich der Vervielfacherplatten 2 um einen bestimmten Betrag in Richtung Anodenpotential (in Richtung der nicht dargestellten Auffänger 4 für den Elektronenstrom) verschoben.

Claims (4)

  1. ANSPRÜCHE
    Sekundärelektronenvervielfacher, bestehend aus mehreren etwa parallel zueinander angeordneten Platten,zwischen denen die Vervielfachung der Elektronen stattfindet, dadurch gekennzeichnet, daß die Vervielfacherplatten seitlich offen sind und daß in einem Abstand von diesen seitlichen Öffnungen Begrenzerelektroden (6) angeordnet sind, deren Potential an jedem Punkt negativer ist als das Potential der diesem Punkt gegenüberliegenden Stelle der Vervielfacherplatten (2).
  2. 2. Sekundärelektronenvervielfacher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Begrenzerelektroden (6) auf Kathodenpotential liegen.
  3. 3. Sekundärelektronenvervielfacher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Begrenzerelektroden (6) aus Widerstandsmaterial bestehen oder mit Widerstandsmaterial beschichtet sind.
  4. 4. Sekundär-Elektronenvervielfacher nach Anspruch 1, dessen Vervielfacherplatten aus Widerstandsmaterial bestehen oder mit einer Schicht aus Widerstandsmaterial belegt sind, dadurch gekennzeichnet, daß auch die Begrenzerelektroden(6) aus Widerstandsmaterial bestehen, daß nie entsprechend den Vervielfacherplatten (2) mit dem positivem bzw. negativem Pol der Spannungsquelle (3) verbunden sind und daß sie bezüglich der Vervielfacherplatten (2) in Richtung zum Auffänger (4) für den verstärkten Elektrodenstrom verschoben sind.
    Leerseite
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4028575A (en) * 1975-11-28 1977-06-07 Rca Corporation Electron multiplier image display device
FR2333343A1 (fr) * 1975-11-28 1977-06-24 Rca Corp Perfectionnements apportes aux dispositifs de visualisation cathodoluminescents
FR2346920A1 (fr) * 1976-03-31 1977-10-28 Rca Corp Dispositif d'affichage, notamment a cathodoluminescence

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