DE2028603A1

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Publication number: DE2028603A1
Application number: DE19702028603
Authority: DE
Priority date: 1969-06-12
Filing date: 1970-06-10
Publication date: 1970-12-23
Also published as: FR2051122A5; US3707339A; GB1303430A

Description

FATBIITAWWAt¹I Dipl. ing. B. HOIiZEB

89 AUQSBUHG

K. 343

Augsburg, den 9« Juni 1970

Edwards High Vacuum International Limited, Manor Royal, Crawley, Sussex, England,

Zwei- oder mehrstufige mechanische Vakuumpumpe mit ölabdichtung

Die Erfindung betrifft zwei- oder mehrstufige mechanische Vakuumpumpen mit ölabdichtung.

Mechanische Vakuumpumpen mit ölabdichtung herkömmlicher Bauart werden fortgesetzt mit öl gespeist, welches in die

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betreffende Pumpe über ölkanäle gelangt, welche von einem ölbehälter wegführen, und welches, nachdem es die Pumpe durchlaufen hat, über das Pumpen-Hauptauslaßventil in den ölbehälter zurückgeführt wird. Innerhalb der Pumpe erfüllt das Öl drei Hauptfunktionen: Die erste Hauptfunktion ist die Schmierung der "relativ zueinander beweglichen Teile; die zweite Hauptfunktion ist die Abdichtung der kleinen Zwischenräume zwischen diesen.Teilen, so daß das in der Pumpe verdichtete Gas daran gehindert wird, über diese Zwischenräume in den Hochvakuumteil bzw. zur Einlaßseite der Pumpe zurückzuströmen; und die dritte Hauptfunktion ist die Schaffung eines sogenannten "flüssigen Kolbens". Etwas öl sammelt sich vorderhalb des beweglichen Kompressionsgliede3 der Pumpe und wird durch dasselbe zum Auslaßkanal der Pumpe mitgenommen, wenn die Pumpe umläuft und die Kompression sich vollzieht. Wenn das Kompressionsglied das Ende des Auslaßkanals erreicht, wird das öl in den Auslaßkanal hineinverdrängt und strömt in Richtung des Hauptauslaßventils, wobei es mit sich Gas mitführt, welches in der Kompressionskammer der Pumpe verdichtet wurde. Wenn die Pumpe am oder in der Nähe des äußersten Vakuumpunktes arbeitet, kann die Gasmenge sehr klein sein und der Umstand, daß diese geringe Gasmenge zum Auslaßventil gelangt und die zur

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Öffnung des Auslaßventils erforderliche Kraft aufbringt, um ausgestoßen zu werden, beruht nur noch auf der Wirkung des zum Auslaßkanal strömenden Öles, welches die betreffende kleine Gasmenge mitnimmt.

Die jeweilige relative Wichtigkeit der von dem Öl

auszuführenden Punktionen ändert sich mit den jeweiligen ι

Pumpbedingungen, wie sich auch die für die Ausführung dieser Funktionen jeweils erforderliche ölmenge mit den Pumpbedingungen ändert. Die für die Schmierung erforderliche ülströmung ist klein und normalerweise geringer als diejenige Ölströmunf, die für Abdichtungszwecke erforderlich ist, wobei vielleicht die Hochvakuumstufe zweistufiger umlaufender Vakuumpumpen hierbei eine Ausnahme bildet. Die für die Abdichtung erforderliche Öströmung hängt jeweils von der mittleren Druckdifferenz zwischen dem Pumpeneinlaß und dem Pumpenauslaß ab, d.h. von der jeweils ™ zwischen der Vakuumkammer und der Druckkammer der Pumpe herrschenden Druckdifferenz, so daß also diese Ölströmungsmenge dann groß ist, wenn die betreffende Druckdifferenz ebenfalls groß ist.

Beginnt eine Pumpe ausgehend vom Atmosphärendruck zu arbeiten, so ist zunächst die an der Pumpe herrschende

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Druckdifferenz niedrig und die benötigte ölmenge folglich gering. In dem Maße, wie der Druck am Pumpeneinlaß abnimmt, steigt die an der Pumpe anstehende Druckdifferenz und in gleichem Maße steigt der Abdichtungsölbedarf der Pumpe an. Es ist üblich, mechanischen, ölabgedichteten Vakuumpumpen das jeweils erforderliche öl in dem Maße zuzuführen, in welchem sich die Druckdifferenz zwischen einem ölbehälter und dem mittleren Pumpendruck ändert. Folglich steigt die ölströmung in dem Maße an, in welchem der mittlere Pumpendruck abzunehmen beginnt. Dies hat jedoch den Nachteil, daß, wenn die Pumpe an oder in der Nähe ihres äußersten Vakuumpunktes arbeitet, dann die ölzufuhr ihren Höchstgrad erreicht hat und folglich größer sein kann als der tatsächliche ölbedarf der Pumpe. Das Vorhandensein solchen Überschußöls verschlimmert das, was in Fachkreisen unter der Bezeichnung "hydraulischer Schlag" bekannt ist.

Arbeitet die Pumpe nahe ihres äußersten Vakuumpunktes, so ist die Gasmenge außerordentlich gering, so daß nur eine sehr geringe Gasmenge in der Verdichtungskammer der

Pumpe vorhanden ist. In dem Maße, in welchem sich das Kompressionsglied der Pumpe dem Ende des Kompressionshubes nähert, füllt öl den Zwischenraum zwischen dem

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Korapressionsglied und dem Hauptauslaßventil der Pumpe aus und dadurch wird ein sogenannter "flüssiger Kolben" gebildet. Da die in dem öl befindliche Gasmenge sehr gering ist, hat sie nur eine vernachlässigbar kleine Puffer- oder Dämpfungswirkung, so daß der flüssige Kolben als tatsächlich inkompressibel angesehen werden kann. In dem Maße, in welchem sich das Kompressionsglied dem Ende seines Kompressionshubes nähert, bewirkt diese Inkompressibilitat des flüssigen Kolbens zusammen mit der Trägheit des Schließgliedes des Ventils und dem dahinter anstehenden öl, daß der Öldruck des flüssigen Kolbens sehr hohe Werte erreicht, bevor das Hauptauslaßventil Zeit hat, sich zu öffnen und die Ausstoßung einer bestimmten ölmenge aus der Pumpe zuzulassen. Diese hohen und plötzlichen Druckanstiege und die sich daraus ergebende Pulsation des Auslaßventils geben Anlaß zu dem charakteristischen und störenden Schlag, der bei ölabgedichteten . " mechanischen Hochvakuumpumpen normalerweise beobachtet wird.

Durch die vorliegende Erfindung soll die Aufgabe gelöst werden, bei ölabgedichteten mechanischen Vakuumpumpen jeweils unabhängig von dem Vakuumgrad, unter welchem die betreffende Pumpe arbeitet, den bewußten hydraulischen

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Schlag zu vermindern bzw. ganz zu vermeiden.

Im Sinne der Lösung dieser Aufgabe i-dt eine zwei- oder mehrstufige mechanische Vakuumpumpe mit ölabdichtunß gemäß der Erfindung durch eine Einrichtung zur ölzufuhr zur Pumpe in Abhängigkeit von dem am Einlaß einer beliebigen Pumpenstufe mit Ausnahme der ersten Stufe herrschenden mittleren Druck gekennzeichnet.

Die Erfindung wird nunmehr unter Bezug auf die anliegenden Zeichnungen in ihren Einzelheiten beispielsweise beschrieben, in den Zeichnungen stellen dar:

Fig. 1 ein Querschnittsschema einer

Vakuumpumpe mit Gleitschiebern," auf welche die vorliegende Er-P findung Anwendung findet,

Fig. 2 einten schematischen Querschnitt

durch eine erfindungsgemäße

Vakuumpumpe mit einer Gaspumpstufe, einer Spülstufe und einem öl-

regelgeFät, und

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die Fig. 3 bis 5 jeweils abgewandelte Ausführungsformen von ölzufuhr-Regelgeräten.

Obwohl in den anliegenden Zeichnungen Pumpen mit Gleitschiebern dargestellt sind, versteht sich von selbst, daß die vorliegende Erfindung auf jegliche Bauart von olabgedichteten mehrstufigen mechanischen Vakuumpumpen anwendbar ist, welche einen Einlaß aufweisen, der an ein zu evakuierendes Gerät anschließbar ist, und einen Auslaß aufweisen, über welchen das zu pumpende Gas ausgestoßen wird.

Der Begriff "mehrstufig" bezeichnet im Zuge der nachstehenden Beschreibung zwei oder mehr Stufen.

Bei der in Fig. 1 dargestellten Pumpe weist ein Rotor 2 zwei Gleitschieber 4 auf, welche mit der zylindrischen Wandung eines Gehäuses 6 zusammenwirken. Das Gehäuse weist einen Einlaßkanal·8 und einen Auslaßkanal 10 auf, deren letzterer durch ein Hauptauslaßventil 12 verschließbar ist, welches als der Klappenbauart angehörend dargestellt ist, jedoch auch jede geeignete andere Konstruktion haben kann. Die Kanäle, durch welche öl in

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das Innere der Pumpe zugeführt wird, sind nicht dargestellt.

* Im Betrieb der Pumpe hat das öl das Bestreben, von

den Schiebern 4 mitgenommen zu werden, wie dies bei l4 angedeutet ist. In dem Maße, in welchem der Kompressionshub sich fortsetzt, vermindert sich die in der Kompressionskammer 16 der Pumpe befindliche Gasmenge, nicht jedoch die darin befindliche ölmenge, so daß ein bei 18 angedeuteter Zustand erreicht wird, in welchem das vorhandene öl vollkommen den Raum vor dem Schieber k und dem Auslaßkanal 10 ausfüllt und das ursprünglich in der Kompressionskammer befindliche Gas entweder völlig in dem öl aufgelöst ist oder von diesem mitgenommen worden ist. Dies gilt nur dann, wenn die Pumpe am oder in der Nähe ihres äußersten Vakuumpunktes arbeitet. Bei geringeren Vakuumgraden befindet sich im Raum 18 noch ein beträchtlicher Gasanteil.

Wenn der Schieber k weiter umläuft, wird die davor und in dem Auslaßkanal 10 befindliche Flüssigkeitssäule rasch unter Druck gesetzt und hebt das Klappenventil 12 an, um einem Teil des Öles und damit einem Teil des von ihm mitgenommenen Gases den Austritt in den darüberliegenden Ölbehälter zu gestatten. Das Gas kann sich sodann von dem

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Öl trennen, welch letzteres wieder der Pumpe zugeführt wird. ·

In i'ig. 2 der Zeichnungen sind zur Fig. i gleiche Teile jeweils mit gleichen,Bezugsziffern bezeichnet.

Die Kompressionskammer 16 der Pumpe steht über ein Rückschlagventil 56 in Verbindung mit einer Kammer Die Kammer 54 ist über einen Kanal 20 mit dem Inneren eines Ölzufuhr-Regelgerätes 22 verbunden, welches einen an einer Seite offenen Zylinder 24 aufweist, dessen offenes Ende durch eine Membran 26 abgedeckt ist, welche am Kopf 28 eines Tauchkolbens 30 anliegt. Der Kopf 28 wird durch eine Druckfeder 32, welche den Tauchkolben umgreift, in Berührung mit der Membran 26 gehalten.

. Der Tauchkolben 30 ist mit Gleitsitz in dieSfcirnwandung des Zylinders 24 eingesetzt und sein äußeres Ende 3¹* ist so gestaltet, daß es als Ventilglied wirksam ist, welches mit einem Sitz 36 zusammenwirkt, der an einem Ende eines Kanals 38 gebildet ist, über welchen öl unter Druck einer Kammer 40 zugeführt wird, wobei dieser Druck gleich dem Atmosphärendruck sein kann. Das in die Kammer 40 über einen Ringraum zwischen dem Ventil-

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glied 34 und dem Ventilsitz 36 eintretende öl gelangt über einen Kanal 42 nach außen, von welchem aus es über die üblichen, nicht dargestellten Ölkanäle in das Gehäuse 6 gelangt.

Die Anordnung ist folgendermaßen wirksam:

Wenn der Druck in dem Einlaß 8 hoch ist, ist auch der Druck in der Kammer 54 hoch und folglich ist auch der Druck im Inneren des Zylinders 24 hoch. Der Kanal kann mit Bezug auf das in ihm strömende Medium einen merklichen Widerstandswert haben, wodurch vorübergehende Schwankungen des in der Kammer 54 herrschenden Druckes in gewissem Maße gedämpft werden. Der in dem Zylinder herrschende Druck kommt folglich dem Durchschnittswert des Druckes merklich nahe.

Da der Druck im Zylinder 24 verhältnismäßig hoch ist, unterstützt er die Feder 32 darin, das Ventilglied in Abstand von dem Ventilsitz 36 zu halten, so daß das Öl frei durch die Pumpe hindurchströmen kann.

Wenn der am Einlaß 8 der Pumpe herrschende Druck dem äußersten Vakuum nahekommt, wird der in der Kammer

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herrschende Durchschnittsdruck wesentlich niedriger als zuvor sein. Dies führt zu einer Erhöhung des an der Membran 26 wirksamen Druckunterschiedes, der endlich einen solchen Wert erreicht, daß er in der Lage ist, die Vorspannwirkung der Feder 32 zu überwinden und das Ventilglied 34 in Richtung auf den Ventilsitz zu drängen, bis dieses den Kanal 38 zumindestens teilweise blockiert.

Ist die Anordnung so getroffen, daß das Ventilglied 34 (

den Kanal vollständig blockiert, dann ist eine nicht dargestellte Lecköffnung vorgesehen, welche sicherstellt, daß immer eine gewisse Öl-Mindestströmung stattfindet.

Die charakteristischen Werte der verschiedenen Teile des Gerätes 22 sind so gewählt, daß die ölströmung zur Pumpe gedrosselt wird, wenn die Pumpe sich ihrem äußersten Vakuum nähert. Diese Zufuhrdrosselung vermindert die ölmenge in der Pumpe auf einen Wert, der sicherstellt, daß der hydraulische Schlag in der Pumpe zumindestens verringert wird, wenn nicht sogar ganz unterdrückt wird.

Die ölzufuhr zur Pumpe kann weitgehend verringert werden, weil die Spülstufe den mit Bezug auf Pig. I der Zeichnungen erörterten "flüssigen Kolben" als Mittel zur Abführung des abfließenden Öls zusammen mit noch

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BAD ORfGIMAL

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verbliebenen Gasspuren vom Auslaß der Hauptstufe ersetzt und diese auch zwecks Ausstoß in den ölbehälter unter Atmosphärendruck unter Druck setzt. Die* mit dem öl in die Pumpe hineingerissene Luftmenge ist proportional zur jeweiligen ölzufuhr, so daß eine Verminderung der ölmenge auch eine Verbesserung des durch die betreffende Pumpe erzielbaren Endvakuums herbeiführt. Da die beim Ausstoß des Öles und des darin enthaltenen Gases zurück in den Ölbehälter geleistete Arbeit vermindert ist, wird auch der Leistungsbedarf der Pumpe vermindert und die Pumpe läuft im Vergleich zu bisher üblichen Pumpen gleicher Leistung kühler.

Sollte von der zu evakuierenden Einrichtung her neues Gas in den Einlaß 8 eintreten, so steigt der in der Kammer 5^ herrschende mittlere Druck an und die strömende ölmenge wird dementsprechend vergrößert.

Ein in den Zeichnungen nicht dargestellter Kanal ist mit der Kompressionskammer der Pumpe und mit einem ebenfalls nicht dargestellten Ventil verbunden, mit dessen Hilfe eine gesteuerte Leckgasmenge in die Kompressionskammer 16 eingelassen werden kann, um die

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Gasmenge der Pumpe auaballasten zu können. Wenn eine solche Gasballastung stattfindet, steigt der mittlere Druck in der Kammer 54 an und die ölzufuhr wird folglich erhöht.

Die Kammer 54 wirkt als Einlaßkammer zur Auslaßstufe 50 der Pumpe. Die Auslaßstufe soll in erster ' Linie als ölspülpumpe arbeiten, dient aber außerdem offensichtlich auch zum Pumpen von Gas. Der Auslaß der Stufe 50 mündet über ein Auslaßventil 60 in einen darüberliegenden ölbehälter 58, der als mit dem Auslaßventil der Kammer 54 zusammenhängend dargestellt ist.

Das Leistungsverhältnis der beiden Stufen ist gcoß und beträgt etwa 20 : 1. Dies stellt sicher, daß außer dann, wenn die Gasmenge sehr gering ist, ein merklicher ä Zwischenstufendruck vorhanden ist.

Wenn die Pumpe drei oder mehr Stufen hat, dann wird dafür Sorge getragen, daß das ölzufuhr-Regelgerät auf den Druck am Einlaß der letzten bzw. der Auslaßstufe anspricht.

Indem sichergestellt wird, daß der Regeldruck der

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BAD ORIÖINÄL

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am Einlaß der Auslaßstufe herrschende Druck ist, der dem in der Kompressionskammer oder im Auslaßkanal der ersten Stufe herrschenden Druck entgegenwirkt, wird das ölzufuhrgerät von den dort erzeugten vorübergehenden Druckschwankungen abgepuffert, so daß seine Betriebseigenschaften den jeweils gewünschten Werten näherkommen, als dies sonst der Fall wäre.

Bei den drei verschiedenen Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Ölzufuhr-Regelgerätes 22 gemäß den Fig. 3 bis 5 der Zeichnungen sind jeweils solche Teile, die bereits in Verbindung mit Fig. 2 beschrieben worden sind, jeweils mit gleichen Bezugsziffern bezeichnet.

Der Hauptunterschied der in Fig. 3 gezeigten Ausführungsform besteht darin, daß der Kopf 28 des Tauchkolbens 30 unmittelbar dem Bezugsdruck ausgesetzt ist und daß der Tauchkolben in unmittelbarer strömungsdichter Anlage an einer Ringdichtung öl steht. Die Dichtung kann in gleitender Anlage an dem Kopf 28 anliegen oder sie kann axial nachgiebig oder als Stülpmanschette ausgebildet sein. Abgesehen von diesem Unterschied ist das Gerät 22 hinsichtlich seiner Wirkungsweise genauso wie das oben beschriebene Gerät,

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Bei dem in Pig. ¹J dargestellten Gerät hält eine nachgiebige Membran 62 einen Schaft 6¹J, welcher mit einem Ventilglied 66 verbunden ist, welch letzteres mit einem Durchlaß 68 in einer Trennwandung eines Gehäuses 70 zusammenwirkt. In einer Kammer 72» zu welcher ein Drucküberführungskanal 20 führt, ist eine Druckfeder Ik unter- ' gebracht, welche das Ventilglied 66 außer Anlage mit dem durch den Durchlaß 6δ gebildeten Ventilsitz drängt.

Im Betrieb wirkt ein in der Kammer 72 herrschender hoher Druck mit der Feder 7¹* in dem Sinne zusammen, daß der Durchlaß offengehalten wird, so daß das öl frei zwischen den Kanälen 38 und 42 strömen kann. Nähert sich die zugehörige ölgedichtete mechanische Vakuumpumpe ihrem äußersten Vakuum, so gestattet die Verminderung des in der Kammer 72 herrschenden Druckes dem auf dar stromauf gelegenen Seite der Trennwandung 69 herrschenden f dldruck, die Membran 62 so durchzubiegen, daß das Ventilglied 66 in dichtende Anlage an dem am Durchlaß 58 gebildeten Sitz kommt, so daß die Ölströmung in der gewünschten Weise vermindert wird.

Bei der in Fig. 5 dargestellten Ausführungsform des Gerätes wird der Bezugsdruck durch eine abgedichtete

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Aneroiddose 80 geliefert, deren eine Wandung an einer festen Wandung eines Gehäuses 82 anliegt und deren andere Wandung am Kopf 28 des Tauchkolbens 3Ö anliegt. Wenn der Druck im Inneren des Gehäuses 82 ansteigt, wird das von der Aneroiddose 80 eingenommene Volumen kleiner und die Dicke der Dose 80 vermindert sich und gestattet dem Ventilglied 3¹J, sich von dem Sitz 36 wegzubewegen. Wenn der Druck kleiner wird, was dann der Fall ist, wenn die Pumpe sich ihrem äußersten Vakuum nähert, dann dehnt sich die Aneroiddose 80 aus und bewegt den Tauchkolben 30 in einer Richtung, in welcher er den öldurchtritt zur Pumpe auf ein Minimum abdrosselt.

Es wurden vier verschiedene Bauarten von ölzufuhr-Regelgeräten 22 anhand der Zeichnungen beschrieben. Diese Bauarten sind nur beispielsweise gegeben und es sind zahlreiche äquivalente Bauarten möglich.

Das erfindungsgemäße Gerät ist insbesondere in Verbindung mit einer mehrstufigen Pumpe beschrieben worden, welche eine Spül-Endstufe aufweist. Es kann selbstverständlich auch in Verbindung mit einer mehrstufigen Pumpe Anwendung finden, welche keine ölspülstufe aufweist. Ein Beispiel für eine solche Anwendung ist die

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Verwendung des Gerätes zur Steuerung der ölzufuhr zur Einlaßstufe einer mehrstufigen Pumpe in Abhängigkeit von dem Einlaßdruck einer jeweils sich anschließenden Stufe. Der in diesem Falle angestrebte Vorteil ist eine reichliche Schmierölzufuhr zur Einlaßstufe unter rauhen Betriebsbedingungen, wenn eine große Gasmenge gepumpt werden muß und eine verminderte ölzufuhr dann, wenn die Pumpe unter hohem Vakuum arbeiten muß, so daß die Abgabe der in einer übergroßen zugeführten ölmenge gelösten Luft das Vakuum beeinträchtigen würde.

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Claims

Patentansprüche

Γΐ.)Zwei- oder mehrstufige mechanische Vakuumpumpe mit Ölabdichtung, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (22) zur Ölzufuhr zur Pumpe (16, 50) in Abhängigkeit von dem am Einlaß (54) einer beliebigen Pumpenstufe (50) mit Ausnahme der ersten Stufe herrschenden mittleren Druck.
2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (22) zur ölzufuhr zur Pumpe in Abhängigkeit von dem am Einlaß (5¹J) zur Auslaßstufe (50) der Pumpe herrschenden mittleren Druck arbeitet.
3. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Einlaß einer ölzufuhr-Regelstufe (22) über ein Rückschlagventil (12) mit dem Auslaß (5*0 der jeweils unmittelbar vorhergehenden Pumpenstufe (16) verbunden ist.
4. Vakuumpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Leistung der Ölzufuhr-Regelstufe (22)

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merklich kleiner als diejenige der jeweils unmittelbar vorhergehenden Pumpenstufe (16) ist.
5. Vakuumpumpe nach Anspruch ¹I, dadurch gekennzeichnet, daß die Leistung der Auslaßstufe (50) in der urößenordnung von einem Zwanzigstel der Leistung der jeweils unmittelbar vorhergehenden Pumpenstufe (l6) liegt.
6. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 3 bis 5* dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (22) zur ölzufuhr zur Pumpe ein Ventilglied (30) aufweist, das durch Federmittel (32) von einem Sitz abgedrängt wird, der in einem Kanal (33) gebildet oder mit einem solchen verbunden ist, dem bei arbeitender Pumpe fortlaufend öl zugeführt wird, wobei die Auslaßseite dieses Sitzes mit einem Behälter für das durch den Zwischenraum (36) zwischen dem Sitz und dem Ventilglied durchströmende öl verbunden ist und wobei das Ventilglied durch eine Regelkraft in Abhängigkeit von dem im Einlaß zur ölzufuhr-Regelstufe herrschenden Druck auf seinen Sitz gedrängt wird.
7· Vakuumpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,

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daß das Ventilglied (30) mittels einer flexiblen Membran (26) bewegbar ist, deren eine Seite einem Bezugsdruck ausgesetzt ist und deren andere Seite vom Regeldruck beaufschlagt wird.
8. Vakuumpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Ventilglied mittels eines Tauchkolbens (30) bewegbar ist j der eine bewegliche Wandung einer Kammer bildet, deren Inneres mit dem Einlaß (20) der Auslaßstufe (50) der Pumpe Verbindung hat, wobei der mit Bezug auf diese Kammer gasdicht eingepaßte Tauchkolben an seiner Außenfläche einem Bezugsdruck ausgesetzt ist (Fig. 3).
9· Vakuumpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Ventilglied (30) mittels einer flexiblen Membran (26) bewegbar ist, deren eine Seite mit dem Ol-Einlaßdruck beaufschlagt ist und deren andere Seite mit dem Regeldruck beaufschlagt ist (Pig. 2)„
10. Vakuumpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Ventilglied (30) in Berührung mit einer Aneroiddose (30) steht, deren Außenfläche dem Regeldruck ausgesetzt ist (Fig. 5).

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