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DE202017102678U1 - Transport roller, transport device and substrate treatment plant - Google Patents

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Abstract

Transportrolle (9, 18) zum Transportieren eines Substrats (2), welche an ihrer Oberfläche (10) angeordnete Erhebungen (11) aufweist.Transport roller (9, 18) for transporting a substrate (2) having on its surface (10) arranged elevations (11).

Description

Die Erfindung betrifft eine Transportrolle zum Transportieren eines Substrats sowie eine Transportvorrichtung für eine Substratbehandlungsanlage. Außerdem betrifft die Erfindung eine Substratbehandlungsanlage mit einer Transportvorrichtung. The invention relates to a transport roller for transporting a substrate and a transport device for a substrate treatment plant. Moreover, the invention relates to a substrate treatment plant with a transport device.

In einigen technischen Gebieten, wie zum Beispiel in der Solarzellenherstellung, ist es erforderlich, ein Substrat (auch Wafer genannt) von nur einer Seite zu behandeln, während die gegenüberliegende Seite des Substrats von der Behandlung nicht betroffen sein soll. In some technical fields, such as in solar cell manufacturing, it is necessary to treat a substrate (also called a wafer) from one side only, while the opposite side of the substrate should not be affected by the treatment.

Im Bereich von Nassprozessen sind hierbei zum Beispiel die nasschemische Kantenisolation (einseitiges Abätzen eines per Diffusion rückseitig aufgebrachten parasitären Emitters), Politur (chemische Glättung einer Substratseite, insbesondere einer texturierten Substratrückseite), galvanische Prozesse (insbesondere elektrochemisches Abscheiden einer Metallisierung) oder nachfolgenden Behandlungen vorausgehende einseitige Vorkonditionierungsschritte (wie eine Hydrophobierung von Substratkanten) zu nennen. In the field of wet processes, for example, the wet-chemical edge insulation (one-side etching of a parasitic emitter applied on the back by diffusion), polishing (chemical smoothing of a substrate side, in particular a textured substrate back), galvanic processes (in particular electrochemical deposition of a metallization) or subsequent one-sided treatments To name preconditioning steps (such as a hydrophobization of substrate edges).

Im Gegensatz zu vielen Batch-Verfahren, die systembedingt beide Seiten eines Substrats betreffen, sind bei Inline-Verfahren einseitige Behandlungen von Substraten realisierbar. In contrast to many batch processes, which affect both sides of a substrate due to the system, one-sided treatments of substrates are possible with inline processes.

Ein bekanntes Inline-Verfahren, bei dem ein Substrat einseitig behandelt wird, ist die in der WO 2005/093788 A1 beschriebene Methode eines unterseitigen Vollkontakts eines zu behandelnden Substrats mit einer Behandlungsflüssigkeit unter Ausbildung eines Meniskus. Wird ein Substrat derart einseitig behandelt, so können, nachdem das Substrat ein die Behandlungsflüssigkeit enthaltendes Behandlungsbecken verlassen hat, an der Substratunterseite noch Tropfen der Behandlungsflüssigkeit haften. A well-known in-line process, in which a substrate is treated on one side, is in the WO 2005/093788 A1 described method of underside full contact of a substrate to be treated with a treatment liquid to form a meniscus. If a substrate is treated on one side, then, after the substrate has left a treatment tank containing the treatment liquid, drops of the treatment liquid can still adhere to the underside of the substrate.

Die Tropfen der Behandlungsflüssigkeit können bei einem Kontakt des Substrats mit einer hinter dem Behandlungsbecken angeordneten Transportrolle, die zum Transportieren des Substrats verwendet wird, auf die Transportrolle übertragen werden. Kommt ein nachfolgendes Substrat mit der Transportrolle in Kontakt, so kann das nachfolgende Substrat auch mit den auf der Transportrolle verbliebenen Tropfen in Kontakt kommen. Dies ist im Allgemeinen unkritisch, da auch das nachfolgende Substrat an seiner Unterseite Reste der Behandlungsflüssigkeit mit sich trägt und die auf der Transportrolle verbliebenen Tropfen der Behandlungsflüssigkeit somit keinen zusätzlichen negativen Effekt auf das nachfolgende Substrat haben. The droplets of the treatment liquid may be transferred to the transport roller upon contact of the substrate with a transport roller disposed behind the treatment basin used to transport the substrate. If a subsequent substrate comes into contact with the transport roller, then the following substrate can also come into contact with the drops remaining on the transport roller. This is generally not critical since the subsequent substrate also carries residues of the treatment liquid on its underside and thus the drops of the treatment liquid remaining on the transport roll have no additional negative effect on the subsequent substrate.

Es besteht jedoch die Gefahr, dass ein an der Transportrolle haftender Tropfen der Behandlungsflüssigkeit nicht mit der Unterseite des nachfolgenden Substrats, sondern mit dessen Rand in Kontakt kommt. Da ein an der Transportrolle haftender Tropfen der Behandlungsflüssigkeit eine Abmessung in Bereich von Millimetern aufweisen kann, während die Dicke zu behandelnder Substrate üblicherweise im Bereich von zweizehntel Millimetern liegt, kann solch ein Randkontakt dazu führen, dass die Behandlungsflüssigkeit von der Transportrolle auf die Oberseite des nachfolgenden Substrats übertragen wird. Insbesondere an einer Substrathinterkante ist dies ein häufig beobachteter Effekt. Die Kontamination der Oberseite eines Substrats mit Behandlungsflüssigkeit kann zu unerwünschten Effekten an der Substratoberseite führen, wie zum Beispiel zu einer Ätzung der Substratoberseite. However, there is a risk that a drop of the treatment liquid adhering to the transport roller does not come into contact with the underside of the following substrate but with its edge. Since a drop of the treatment liquid adhering to the transport roller may have a dimension in the range of millimeters, while the thickness of substrates to be treated is usually in the range of two tenths of a millimeter, such edge contact may cause the treatment liquid from the transport roller to the top of the following Substrate is transferred. Especially at a substrate trailing edge, this is a frequently observed effect. Contamination of the top of a substrate with treatment liquid can lead to undesirable effects on the substrate top, such as substrate top etching.

In der Vergangenheit waren diese Effekte von untergeordneter Bedeutung, da bei bisherigen Substratbehandlungsanlagen in der Regel auf ein Behandlungsbecken eine Spülvorrichtung folgt, in welcher das Substrat kurz nach dem Verlassen des Behandlungsbeckens beidseitig gespült wird, sodass die Behandlungsflüssigkeit an der Substratoberseite nur kurz einwirken kann. In the past, these effects were of secondary importance, since in previous substrate treatment plants usually followed by a rinsing device to a treatment tank in which the substrate is rinsed on both sides shortly after leaving the treatment tank, so that the treatment liquid can act on the substrate top only briefly.

Neuere Prozesse erfordern jedoch eine größere Bandbreite an Prozesssequenzen, zum Beispiel mehrere aufeinanderfolgende einseitige Behandlungen eines Substrats, insbesondere mit Trockenstrecken zwischen den Behandlungsbecken, wobei ein Zwischenspülen des Substrats zwischen den einzelnen Behandlungsbecken nicht möglich ist oder die Komplexität der Behandlungsanlage stark erhöhen würde. Auch werden mittlerweile Behandlungsflüssigkeiten mit einer hohen Reaktivität verwendet, die auch bei einer kurzen Einwirkzeit bis zum Abspülen einen negativen Effekt auf die Substratoberseite haben können. However, newer processes require a wider range of process sequences, for example several consecutive one-sided treatments of a substrate, especially with dry runs between the treatment basins, whereby intermediate washing of the substrate between the individual treatment basins would not be possible or would greatly increase the complexity of the treatment plant. In the meantime, treatment liquids having a high reactivity are also used which, even with a short reaction time until rinsing off, can have a negative effect on the substrate top side.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer unterseitigen Behandlung eines Substrats mit einer Behandlungsflüssigkeit eine Übertragung der Behandlungsflüssigkeit von einer Transportrolle auf die Oberseite eines nachfolgenden Substrats zu verringern, vorzugsweise zu verhindern. The object of the invention is to reduce, preferably prevent, transmission of the treatment liquid from a transport roller to the upper side of a following substrate when treating a substrate with a treatment liquid on the underside.

Bislang wurde versucht, diese Aufgabe durch ein Abspülen behandelter Substrate nach dem Verlassen eines Behandlungsbeckens und/oder durch Verwendung von Behandlungsflüssigkeiten mit geringer Reaktivität zu lösen. Dies kann allerdings folgende Nachteile mit sich bringen:

  • – Einschränkungen bei Prozesssequenzen,
  • – Einschränkungen bei der Reaktivität von Prozessbädern,
  • – Höhere Anforderungen an eventuell vorhandene oberseitige Schutzschichten des Substrats.
Attempts have been made to solve this problem by rinsing treated substrates after leaving a treatment tank and / or by using low reactivity treatment liquids. However, this can have the following disadvantages:
  • - restrictions on process sequences,
  • - restrictions on the reactivity of process baths,
  • - Higher demands on any upper protective layers of the substrate.

Die oben genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Transportrolle nach Anspruch 1, durch eine Transportvorrichtung nach Anspruch 16 sowie durch eine Substratbehandlungsanlage nach Anspruch 17. The above object is achieved by a transport roller according to claim 1, by a transport device according to claim 16 and by a substrate treatment system according to claim 17.

Mit der Erfindung können ein oder mehrere der folgenden Vorteile realisiert werden:

  • – Erweiterung möglicher Prozesssequenzen, insbesondere die Möglichkeit zur Durchführung eines einseitigen Vorkonditionierungsschritts vor einer nachfolgenden weiteren einseitigen Behandlung,
  • – Verbesserung bestehender Anlagenkonzepte, insbesondere im Hinblick auf die Vermeidung von Angriffen auf die Oberseite eines Substrats nach einer Behandlung mit einer Behandlungsflüssigkeit hoher Reaktivität,
  • – Verringerung der Anzahl notwendiger Spülvorrichtungen zum Abspülen der zu behandelnden Substrate.
With the invention, one or more of the following advantages can be realized:
  • Expansion of possible process sequences, in particular the possibility of carrying out a one-sided preconditioning step before a subsequent further unilateral treatment,
  • Improvement of existing plant concepts, in particular with regard to avoiding attacks on the upper side of a substrate after treatment with a treatment liquid of high reactivity,
  • - Reduction of the number of necessary rinsing devices for rinsing the substrates to be treated.

Die erfindungsgemäße Transportrolle zum Transportieren eines Substrats weist an ihrer Oberfläche angeordnete Erhebungen auf. The transport roller according to the invention for transporting a substrate has elevations arranged on its surface.

Die Erhebungen der Transportrolle bilden Auflagestellen, auf welchen das zu transportierende Substrat bei seinem Transport aufliegen kann. Wird ein an der behandelten Unterseite des zu transportierenden Substrats haftender Tropfen der Behandlungsflüssigkeit von der Transportrolle an einer ihrer Erhebungen abgestreift, kann der Tropfen von dieser Erhebung zu einem achsnäheren Bereich der Transportrolle abfließen. Unter einem achsnäheren Bereich der Transportrolle ist dabei ein Oberflächenbereich der Transportrolle zu verstehen, der sich näher an deren Längsachse befindet als die Oberfläche einer Erhebung. In solch einem achsnäheren Bereich der Transportrolle ist vorteilhafterweise kein Kontakt des Tropfens mit einem nachfolgenden Substrat möglich, wodurch vermieden werden kann, dass der Tropfen auf das nachfolgende Substrat übertragen wird. The elevations of the transport roller form support points on which the substrate to be transported can rest during its transport. If a drop of the treatment liquid adhering to the treated underside of the substrate to be transported is stripped off the transport roller at one of its elevations, the drop can flow away from this elevation to a region of the transport roller closer to the axis. An axially nearer region of the transport roller is to be understood as meaning a surface region of the transport roller which is closer to its longitudinal axis than the surface of an elevation. In such a nearer region of the transport roller advantageously no contact of the drop with a subsequent substrate is possible, whereby it can be avoided that the drop is transferred to the subsequent substrate.

Mit anderen Worten, durch die Erhebungen der Transportrolle lässt sich vermeiden, dass an denjenigen Stellen der Transportrolle, an welchen die Transportrolle mit einem zu transportierenden Substrat in Kontakt kommt, Behandlungsflüssigkeit von zuvor transportierten Substraten zurückbleibt, welche die Oberseite des zu transportierenden Substrats kontaminieren könnte. In other words, it can be avoided by the projections of the transport roller that at those points of the transport roller, at which the transport roller comes into contact with a substrate to be transported, treatment liquid remains from previously transported substrates, which could contaminate the top of the substrate to be transported.

Ein unerwünschter Kontakt der Oberseite des zu transportierenden Substrats mit an der Transportrolle verbliebener Behandlungsflüssigkeit von zuvor transportierten Substraten sowie eine eventuell daraus resultierende Einwirkung der Behandlungsflüssigkeit auf die Substratoberseite, wie zum Beispiel eine Ätzung der Substratoberseite, kann dadurch vermieden werden. An undesired contact of the upper side of the substrate to be transported with remaining on the transport roller treatment liquid previously transported substrates and any resulting effect of the treatment liquid on the substrate top, such as an etching of the substrate top, can be avoided.

Vorteilhafterweise umfasst die Transportrolle mindestens zwei Erhebungen, die derart an der Oberfläche der Transportrolle angeordnet sind, dass das zu transportierende Substrat auf den Erhebungen aufliegend, ohne zur Seite zu kippen, transportiert werden kann. In bevorzugter Weise sind mindestens zwei der Erhebungen in Längsrichtung der Transportrolle hintereinander angeordnet, besonders bevorzugt beabstandet voneinander. Advantageously, the transport roller comprises at least two elevations which are arranged on the surface of the transport roller such that the substrate to be transported can be transported lying on the elevations without tilting to the side. Preferably, at least two of the elevations in the longitudinal direction of the transport roller are arranged one behind the other, more preferably spaced from each other.

In einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung sind die Erhebungen plateaulos ausgeführt. Anders ausgedrückt, die jeweilige Erhebung ist vorteilhafterweise derart ausgebildet, ein auf der Erhebung aufliegendes Substrat die Erhebung in nur einem Punkt berührt. Dies ermöglicht es, die Übertragung von auf der Transportrolle befindlicher Behandlungsflüssigkeit auf das zu transportierende Substrat besonders effektiv zu vermeiden. In an advantageous embodiment of the invention, the surveys are designed plateaulos. In other words, the respective survey is advantageously designed such that a resting on the survey substrate touches the survey in only one point. This makes it possible to particularly effectively avoid the transfer of treatment liquid present on the transport roller to the substrate to be transported.

Bei einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist die Transportrolle einen Basiskörper, insbesondere einen zylindrischen Basiskörper, auf. Vorzugsweise sind die Erhebungen einstückig mit dem Basiskörper ausgebildet. In an advantageous embodiment of the invention, the transport roller on a base body, in particular a cylindrical base body on. Preferably, the elevations are formed integrally with the base body.

Eine oder mehrere der Erhebungen können sich zumindest abschnittsweise in Umfangsrichtung der Transportrolle erstrecken. Weiterhin ist es möglich, dass sich eine oder mehrere der Erhebungen zumindest abschnittsweise schräg zur Umfangsrichtung der Transportrolle erstrecken. One or more of the elevations may extend at least in sections in the circumferential direction of the transport roller. Furthermore, it is possible for one or more of the elevations to extend at least in sections at an angle to the circumferential direction of the transport roller.

Vorzugsweise hat die Transportrolle eine Symmetrieachse. Eine oder mehrere der Erhebungen können bezüglich der Symmetrieachse der Transportrolle axialsymmetrisch ausgebildet sein. Preferably, the transport roller has an axis of symmetry. One or more of the elevations may be axially symmetrical with respect to the axis of symmetry of the transport roller.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist zumindest eine der Erhebungen als geschlossene Ringstruktur ausgeführt. Unter einer Erhebung, die als geschlossene Ringstruktur ausgeführt ist, ist eine Erhebung zu verstehen, welche eine ringförmige, in Umfangsrichtung der Transportrolle nicht unterbrochene Struktur aufweist. In an advantageous embodiment of the invention, at least one of the elevations is designed as a closed ring structure. Under a survey, which is designed as a closed ring structure, a survey is to be understood, which has an annular, not interrupted in the circumferential direction of the transport roller structure.

Mindestens eine der Erhebungen kann zwei Seitenwände aufweisen, die in einem spitzen Winkel, also in einem Winkel von weniger als 90°, aufeinandertreffen. Vorzugsweise treffen die Seitenwände in einem Winkel von höchstens 75° aufeinander. Dies ermöglicht ein schnelles Abfließen der Behandlungsflüssigkeit von den Seitenwänden einer solchen Erhebung. At least one of the elevations may have two side walls which meet at an acute angle, ie at an angle of less than 90 °. Preferably, the side walls meet at an angle of at most 75 ° to each other. This allows a quick drainage of the treatment liquid from the side walls of such a survey.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn mindestens eine der Erhebungen zwei Seitenwände aufweist, die gewölbt, insbesondere konkav gewölbt, sind. Zusätzlich können diese gewölbten Seitenwände in einem spitzen Winkel aufeinander treffen. Furthermore, it is advantageous if at least one of the elevations has two side walls, the arched, in particular concave, are. In addition, these curved side walls can meet at an acute angle.

In Längsrichtung der Transportrolle weisen benachbarte Erhebungen vorteilhafterweise einen Abstand zueinander auf, der groß gegenüber den Abmessungen der Tropfen der Behandlungsflüssigkeit ist, welche beim Transport des Substrats auf die Transportrolle übertragen werden können. Hierdurch kann eine Kapillarwirkung der Erhebungen vermieden werden. In the longitudinal direction of the transport roller, adjacent elevations advantageously have a distance from each other which is large compared to the dimensions of the drops of the treatment liquid, which can be transferred to the transport roller during transport of the substrate. As a result, a capillary effect of the surveys can be avoided.

Ist besagter Abstand hingegen gering, können die Erhebungen gegenüber der Behandlungsflüssigkeit eine Kapillarwirkung haben, was eine Übertragung der Behandlungsflüssigkeit von der Transportrolle auf das nachfolgende Substrat begünstigen kann. Eine Transportrolle, bei der in Längsrichtung der Transportrolle benachbarte Erhebungen einen geringen Abstand zueinander aufweisen, kann zum Beispiel dazu genutzt werden, um eine Flüssigkeit aktiv an ein zu transportierendes Substrat heranzuführen. If said distance is small, however, the elevations may have a capillary action with respect to the treatment liquid, which may favor a transfer of the treatment liquid from the transport roller to the subsequent substrate. A transport roller, in which adjacent elevations in the longitudinal direction of the transport roller have a small distance from each other, can be used, for example, to actively convey a liquid to a substrate to be transported.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass in Längsrichtung der Transportrolle benachbarte Erhebungen einen Abstand von mindestens 5 mm, vorzugsweise mindestens 10 mm, zueinander aufweisen. In a preferred embodiment of the invention it is provided that in the longitudinal direction of the transport roller adjacent elevations have a distance of at least 5 mm, preferably at least 10 mm to each other.

Mindestens eine der Erhebungen der Transportrolle kann als kegelförmige Spitze ausgeführt sein. Die kegelförmige Spitze kann insbesondere einen Kegelöffnungswinkel von weniger als 90°, vorzugsweise höchstens 75°, aufweisen. At least one of the elevations of the transport roller can be designed as a conical tip. In particular, the conical tip may have a cone opening angle of less than 90 °, preferably at most 75 °.

Des Weiteren können mindestens zwei der Erhebungen in Umfangsrichtung der Transportrolle hintereinander angeordnet sein. Diese in Umfangsrichtung der Transportrolle hintereinander angeordneten Erhebungen können insbesondere jeweils als kegelförmige Spitze ausgeführt sein. Furthermore, at least two of the elevations may be arranged one behind the other in the circumferential direction of the transport roller. These elevations, which are arranged one behind the other in the circumferential direction of the transport roller, can in particular be designed in each case as a conical tip.

In Umfangsrichtung der Transportrolle weisen benachbarte Erhebungen vorteilhafterweise einen Abstand zueinander auf, der groß gegenüber den Abmessungen der Tropfen der Behandlungsflüssigkeit ist, welche beim Transport des Substrats auf die Transportrolle übertragen werden können, insbesondere um eine Kapillarwirkung der Erhebungen zu vermeiden. In the circumferential direction of the transport roller adjacent elevations advantageously at a distance from each other, which is large compared to the dimensions of the drops of the treatment liquid, which can be transferred to the transport roller during transport of the substrate, in particular to avoid capillary action of the surveys.

Ferner weisen die Erhebungen vorteilhafterweise eine Höhe von mindestens 2 mm, vorzugsweise mindestens 3 mm, besonders bevorzugt mindestens 4 mm, auf. Furthermore, the elevations advantageously have a height of at least 2 mm, preferably at least 3 mm, particularly preferably at least 4 mm.

Weiter kann vorgesehen sein, dass die Oberfläche der Transportrolle zumindest bereichsweise hydrophob ausgeführt ist. Dadurch wird insbesondere im Falle einer wässrigen Behandlungsflüssigkeit ein Abfließen von Tropfen der Behandlungsflüssigkeit von den Erhebungen begünstigt. Im Sinne der Erfindung ist ein Bereich der Oberfläche dann als hydrophob aufzufassen, wenn ein Wassertropfen bei Normalbedingungen (20 °C Lufttemperatur, 1013 mbar Luftdruck) einen Kontaktwinkel (auch Benetzungswinkel genannt) von mehr als 90° mit diesem Bereich Oberfläche der Transportrolle ausbildet. It can further be provided that the surface of the transport roller is at least partially hydrophobic. As a result, in particular in the case of an aqueous treatment liquid, a drainage of drops of the treatment liquid from the elevations is favored. For the purposes of the invention, a region of the surface is considered to be hydrophobic if a water droplet under normal conditions (20 ° C air temperature, 1013 mbar air pressure) forms a contact angle (also called wetting angle) of more than 90 ° with this area surface of the transport roller.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung weist die Transportrolle zumindest in einem Teilbereich ihrer Oberfläche ein Kunststoffmaterial auf. Denn Kunststoffmaterialien weisen oftmals eine hohe Hydrophobizität auf. In an advantageous embodiment of the invention, the transport roller has a plastic material at least in a partial area of its surface. Because plastic materials often have a high hydrophobicity.

Die Transportrolle kann vorteilhaft bei der Durchführung nasschemischer Behandlungsverfahren, insbesondere einseitiger nasschemischer Behandlungsverfahren, verwendet werden. Allerdings ist die Transportrolle nicht auf die Verwendung bei solchen Verfahren bzw. bei diesbezüglichen Anlagen beschränkt. The transport roller can advantageously be used in the performance of wet-chemical treatment processes, in particular on one-side wet-chemical treatment processes. However, the transport roller is not limited to use in such methods or related equipment.

Wie eingangs erwähnt, betrifft die Erfindung eine Transportvorrichtung für eine Substratbehandlungsanlage. As mentioned above, the invention relates to a transport device for a substrate treatment plant.

Die erfindungsgemäße Transportvorrichtung für eine Substratbehandlungsanlage weist mindestens eine Transportrolle der zuvor beschriebenen Art, sprich mindestens eine erfindungsgemäße Transportrolle, auf. The transport device according to the invention for a substrate treatment plant has at least one transport roller of the type described above, that is to say at least one transport roller according to the invention.

Vorteilhafterweise ist die Transportvorrichtung mit mehreren solchen Transportrollen ausgestattet, wobei die Transportrollen insbesondere parallel zueinander angeordnet sein können. Im Falle mehrerer Transportrollen können diese insbesondere identisch zueinander ausgebildet sein. Advantageously, the transport device is equipped with a plurality of such transport rollers, wherein the transport rollers may be arranged in particular parallel to each other. In the case of a plurality of transport rollers, these may in particular be designed identically to one another.

Außerdem betrifft die Erfindung, wie eingangs erwähnt, eine Substratbehandlungsanlage. Moreover, the invention relates, as mentioned above, a substrate treatment plant.

Die erfindungsgemäße Substratbehandlungsanlage umfasst eine Transportvorrichtung der zuvor beschriebenen Art, also eine erfindungsgemäße Transportvorrichtung, sowie ein Behandlungsbecken mit einer Behandlungsflüssigkeit. The substrate treatment system according to the invention comprises a transport device of the type described above, that is to say a transport device according to the invention, and a treatment basin with a treatment liquid.

In bevorzugter Weise wird die Substratbehandlungsanlage zum einseitigen nasschemischen Behandeln eines Substrats, insbesondere eines Solarzellensubstrats, verwendet. Ferner ist die Substratbehandlungsanlage vorzugsweise als Inline-Behandlungsanlage ausgebildet. The substrate treatment system is preferably used for the one-sided wet-chemical treatment of a substrate, in particular of a solar cell substrate. Furthermore, the substrate treatment plant is preferably designed as an inline treatment plant.

Die Transportrichtung kann, bezogen auf ihre Transportvorrichtung, beispielsweise hinter besagtem Behandlungsbecken angeordnet sein. The transport direction can, based on their transport device, be arranged, for example, behind said treatment tank.

Vorzugsweise ist die Transportrolle der Transportvorrichtung, bzw. sind die Transportrollen der Transportvorrichtung, bei der Substratbehandlungsanlage horizontal ausgerichtet. Preferably, the transport roller of the transport device, or the transport rollers of the transport device are aligned horizontally in the substrate treatment plant.

Die Erhebungen sind vorteilhafterweise derart geformt, dass an sich in vertikaler Richtung nach oben verjüngenden Abschnitten der Erhebungen eine auf die Behandlungsflüssigkeit wirkende Gewichtskraft größer ist als zwischen der Behandlungsflüssigkeit und der Oberfläche der Transportrolle wirkende Adhäsionskräfte. Auf diese Weise kann erreicht werden, dass, falls die Behandlungsflüssigkeit mit einem sich in vertikaler Richtung nach oben verjüngenden Abschnitt einer Erhebung in Kontakt kommt, die Behandlungsflüssigkeit von der Erhebung in einen achsnäheren Bereich der Transportrolle abfließt, da die zwischen der Behandlungsflüssigkeit und der Oberfläche der Transportrolle wirkenden Adhäsionskräfte nicht groß genug sind, um die Behandlungsflüssigkeit entgegen der Einwirkung der Gewichtskraft an der Erhebung zu halten. The elevations are advantageously shaped in such a way that a weight force acting on the treatment liquid is greater in the vertically upwardly tapering portions of the elevations than adhesion forces acting between the treatment liquid and the surface of the transport roller. In this way it can be achieved that, if the treatment liquid comes into contact with a vertically upwardly tapering portion of a survey, the treatment liquid flows from the survey in an achsnäheren region of the transport roller, since the between the treatment liquid and the surface of the Actuator acting adhesion forces are not large enough to hold the treatment liquid against the action of gravity on the survey.

Weiter ist es vorteilhaft, wenn benachbarte Erhebungen der jeweiligen Transportrolle der Transportvorrichtung so weit voneinander entfernt sind, dass die Ausbildung von Kapillarkräften, welche einen Verbleib der Behandlungsflüssigkeit zwischen den Erhebungen bewirken, vermieden wird. Further, it is advantageous if adjacent elevations of the respective transport roller of the transport device are so far away from each other that the formation of capillary forces which cause the treatment liquid to remain between the elevations is avoided.

Bei einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung weist die jeweilige Transportrolle der Transportvorrichtung zumindest in einem Teilbereich ihrer Oberfläche ein Material auf, welches von der Behandlungsflüssigkeit nicht benetzbar ist. Dies begünstigt ein Abfließen der Behandlungsflüssigkeit von den Erhebungen. Im Sinne der Erfindung ist ein Material dann als von der Behandlungsflüssigkeit nicht benetzbar zu verstehen, wenn ein Tropfen der Behandlungsflüssigkeit bei Normalbedingungen (20 °C Lufttemperatur, 1013 mbar Luftdruck) einen Kontaktwinkel von mehr als 90° mit diesem Material ausbildet. In a preferred embodiment of the invention, the respective transport roller of the transport device, at least in a partial region of its surface on a material which is not wetted by the treatment liquid. This promotes drainage of the treatment liquid from the bumps. For the purposes of the invention, a material is to be understood as not wettable by the treatment liquid when a drop of the treatment liquid under normal conditions (20 ° C air temperature, 1013 mbar air pressure) forms a contact angle of more than 90 ° with this material.

Die vorstehend beschriebenen Adhäsionskräfte und Kapillarkräfte sind von den Materialeigenschaften der an der Transportrollenoberfläche vorliegenden Materialien und der Materialeigenschaften der Behandlungsflüssigkeit abhängig. Unter anderem sind daher die Formgebung der Erhebungen, der Abstand benachbarter Erhebungen sowie die Materialwahl für die Oberfläche der Transportrolle auf den jeweiligen Anwendungsfall abzustimmen. The adhesion forces and capillary forces described above are dependent on the material properties of the materials present on the transport roller surface and the material properties of the treatment liquid. Among other things, therefore, the shape of the surveys, the distance between adjacent surveys and the choice of material for the surface of the transport roller to the particular application to vote.

Des Weiteren kann die Substratbehandlungsanlage eine oder mehrere Trockenstrecken aufweisen. Unter einer Trockenstrecke der Substratbehandlungsanlage ist ein Bereich der Substratbehandlungsanlage zu verstehen, in dem das zu behandelnde Substrat nicht absichtlich mit einer Behandlungsflüssigkeit in Kontakt gebracht wird. Vorteilhafterweise ist die Transportvorrichtung in einer solchen Trockenstrecke der Substratbehandlungsanlage angeordnet. Furthermore, the substrate treatment plant may have one or more drying sections. A drying section of the substrate treatment system is to be understood as meaning an area of the substrate treatment system in which the substrate to be treated is not deliberately brought into contact with a treatment liquid. Advantageously, the transport device is arranged in such a drying section of the substrate treatment plant.

Außerdem kann die Substratbehandlungsanlage ein weiteres Behandlungsbecken mit einer Behandlungsflüssigkeit aufweisen. Bei der im zweiten Behandlungsbecken enthaltenen Behandlungsflüssigkeit kann es sich um dieselbe Behandlungsflüssigkeit wie im erstgenannten Behandlungsbecken oder um eine andere Behandlungsflüssigkeit handeln. Die Transportvorrichtung kann zum Beispiel zwischen dem erstgenannten und dem weiteren Behandlungsbecken angeordnet sein. In addition, the substrate treatment plant may have a further treatment tank with a treatment liquid. The treatment liquid contained in the second treatment tank may be the same treatment liquid as in the first-mentioned treatment tank or another treatment liquid. The transport device can be arranged, for example, between the former and the further treatment tank.

Um eine Übertragung von Behandlungsflüssigkeit von einer herkömmlichen, keine Erhebungen aufweisenden Transportrolle auf ein zu transportierendes Substrat zu vermeiden, wäre es grundsätzlich denkbar, eine Abstreifvorrichtung vorzusehen, welche Tropfen der Behandlungsflüssigkeit von einer solchen herkömmlichen Transportrolle abstreift und nach unten abtropfen lässt. In order to avoid a transfer of treatment liquid from a conventional, non-protruding transport roller to a substrate to be transported, it would in principle be conceivable to provide a stripping device, which strips off the treatment liquid from such a conventional transport roller and drips it down.

Eine solche Abstreifvorrichtung müsste zwei Voraussetzungen erfüllen:

  • – einerseits müsste die Abstreifvorrichtung fein einstellbar und flexibel sein, um sicher zu stellen, dass sie sich optimal an die Oberfläche einer solchen herkömmlichen Transportrolle anpasst und die Flüssigkeitsabstreifung ausreichend effektiv ist,
  • – gleichzeitig müsste die Abstreifvorrichtung robust genug sein, um unter den Bedingungen einer Massenproduktion (grobes Handling der Substratbehandlungsanlage, Verschmutzung, große Wartungszyklen und geringe Disziplin bei der Einhaltung der Wartungszyklen) zuverlässig funktionieren kann.
Such a stripping device would have to meet two requirements:
  • On the one hand, the stripper device would have to be finely adjustable and flexible in order to ensure that it adapts optimally to the surface of such a conventional transport roller and that the liquid stripping is sufficiently effective,
  • At the same time, the stripper would have to be robust enough to function reliably under the conditions of mass production (rough handling of the substrate processing equipment, contamination, large maintenance cycles and low maintenance maintenance cycles).

Eine Vereinigung der Eigenschaften „flexibel“ und „robust“, unter gleichzeitiger Beachtung weiterer obligatorischer Randbedingungen in einer chemischen Substratbehandlungsanlage (zum Beispiel Resistenz gegenüber Chemikalien, mechanische Transporteigenschaften), ist – wenn überhaupt möglich – sehr aufwändig. Aus diesem Grund ist es günstiger, die erfindungsgemäße Transportrolle zu verwenden, die es ermöglicht, auf eine solche Abstreifvorrichtung zu verzichten. A combination of the properties "flexible" and "robust", while at the same time observing further obligatory boundary conditions in a chemical substrate treatment plant (for example resistance to chemicals, mechanical transport properties), is very expensive if at all possible. For this reason, it is better to use the transport roller according to the invention, which makes it possible to dispense with such a stripping device.

Im Weiteren wird die Erfindung anhand von Figuren näher erläutert. Soweit zweckdienlich, sind hierbei gleiche oder gleichwirkende Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen. Die Erfindung ist nicht auf die in den Figuren dargestellten Ausführungen beschränkt – auch nicht in Bezug auf funktionale Merkmale. Die bisherige Beschreibung und die nachfolgende Figurenbeschreibung enthalten zahlreiche Merkmale, die in den abhängigen Ansprüchen teilweise zu mehreren zusammengefasst wiedergegeben sind. Diese Merkmale wird der Fachmann jedoch auch einzeln betrachten und zu sinnvollen weiteren Kombinationen zusammenfügen. Insbesondere sind diese Merkmale jeweils einzeln und in beliebiger geeigneter Kombination mit der erfindungsgemäßen Transportrolle, der erfindungsgemäßen Transportvorrichtung und/oder der erfindungsgemäßen Substratbehandlungsanlage kombinierbar. Furthermore, the invention will be explained in more detail with reference to figures. As far as appropriate, the same or equivalent elements are provided with the same reference numerals. The invention is not limited to those shown in the figures Limited versions - not even in terms of functional features. The previous description and the following description of the figures contain numerous features, which are given in the dependent claims partially summarized in several. However, those skilled in the art will also consider these features individually and assemble them into meaningful further combinations. In particular, these features can be combined individually and in any suitable combination with the transport roller according to the invention, the transport device according to the invention and / or the substrate treatment system according to the invention.

Es zeigen: Show it:

1 ein Ausführungsbeispiel einer Substratbehandlungsanlage mit mehreren erfindungsgemäßen Transportrollen in einer schematischen Darstellung; 1 an embodiment of a substrate treatment plant with a plurality of transport rollers according to the invention in a schematic representation;

2 eine Teilabschnitt einer erfindungsgemäßen Transportrolle der Substratbehandlungsanlage aus 1 sowie einen Teilabschnitt eines Substrats in einer Vorderansicht; 2 a subsection of a transport roller according to the invention of the substrate treatment plant 1 and a subsection of a substrate in a front view;

3 eine Schnittdarstellung der Transportrolle aus 2; 3 a sectional view of the transport roller 2 ;

4 eine Schnittdarstellung einer anderen erfindungsgemäßen Transportrolle. 4 a sectional view of another transport roller according to the invention.

1 zeigt in einer schematischen Darstellung eine Substratbehandlungsanlage 1 zum einseitigen nasschemischen Behandeln von Substraten 2. 1 shows a schematic representation of a substrate treatment plant 1 for the one-sided wet-chemical treatment of substrates 2 ,

Die Substratbehandlungsanlage 1 ist als Inline-Substratbehandlungsanlage ausgeführt und umfasst ein erstes Behandlungsbecken 3, in welchem sich eine erste Behandlungsflüssigkeit 4 befindet, sowie ein zweites Behandlungsbecken 5, in welchem sich eine zweite Behandlungsflüssigkeit 6 befindet. The substrate treatment plant 1 is designed as an inline substrate treatment plant and includes a first treatment tank 3 , in which there is a first treatment liquid 4 and a second treatment basin 5 in which there is a second treatment liquid 6 located.

Zwischen diesen beiden Behandlungsbecken 3, 5 weist die Substratbehandlungsanlage 1 eine Trockenstrecke 7 auf. Between these two treatment tanks 3 . 5 indicates the substrate treatment plant 1 a dry stretch 7 on.

Ferner weist die Substratbehandlungsanlage 1 eine Transportvorrichtung 8 auf, welche in besagter Trockenstrecke 7 angeordnet ist. Diese Transportvorrichtung 8 umfasst mehrere nebeneinander angeordnete Transportrollen 9, die horizontal sowie parallel zueinander ausgerichtet sind. In 1 sind exemplarisch fünf Transportrollen 9 dieser Transportvorrichtung 8 dargestellt. Die Transportrollen 9 besagter Transportvorrichtung 8 weisen an ihrer Oberfläche 10 jeweils mehrere Erhebungen 11 auf (vgl. 2). Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind alle Transportrollen 9 der Transportvorrichtung 8 identisch zueinander ausgebildet. Furthermore, the substrate treatment plant 1 a transport device 8th on which in this drying section 7 is arranged. This transport device 8th includes several juxtaposed transport rollers 9 which are aligned horizontally and parallel to each other. In 1 are exemplary five transport roles 9 this transport device 8th shown. The transport wheels 9 said transport device 8th exhibit on their surface 10 several surveys each 11 on (cf. 2 ). In the present embodiment, all transport roles 9 the transport device 8th formed identical to each other.

Darüber hinaus umfasst die Substratbehandlungsanlage 1 zwei weitere Transportvorrichtungen 12 mit mehreren nebeneinander angeordneten, parallel zueinander ausgerichteten Transportrollen 13. Eine dieser beiden weiteren Transportvorrichtungen 12 ist im ersten Behandlungsbecken 3 angeordnet, wohingegen die andere dieser beiden weiteren Transportvorrichtungen 12 im zweiten Behandlungsbecken 5 angeordnet ist. In addition, the substrate treatment plant includes 1 two more transport devices 12 with a plurality of juxtaposed, parallel to each other transport rollers 13 , One of these two other transport devices 12 is in the first treatment tank 3 whereas the other of these two other transport devices 12 in the second treatment basin 5 is arranged.

Die Transportrollen 13 der beiden weiteren Transportvorrichtungen 12 können beispielsweise als Vollrollen ohne Erhebungen oder als Rollen mit Erhebungen ausgebildet sein. Insbesondere ist es möglich, dass die Transportrollen 13 der beiden weiteren Transportvorrichtungen 12 wie die Transportrollen 9 der in der Trockenstrecke 7 angeordneten Transportvorrichtung 8 ausgebildet sind. The transport wheels 13 the two other transport devices 12 For example, they can be designed as full rolls without elevations or as rolls with elevations. In particular, it is possible that the transport rollers 13 the two other transport devices 12 like the transport wheels 9 in the drying section 7 arranged transport device 8th are formed.

Mit Hilfe der zuvor erwähnten Transportvorrichtungen 8, 12 werden die zu behandelnden Substrate 2 entlang einer Transportrichtung T durch die Substratbehandlungsanlage 1 befördert. With the help of the aforementioned transport devices 8th . 12 become the substrates to be treated 2 along a transport direction T through the substrate treatment plant 1 promoted.

Beim Durchlaufen der Behandlungsbecken 3, 5 werden die Substrate 2 an ihrer Unterseite mit der jeweiligen Behandlungsflüssigkeit 4, 6 in Kontakt gebracht. Auf seiner Oberseite kann das jeweilige Substrat 2 gegebenenfalls eine Schutzschicht aufweisen, welche die Oberseite vor einer Einwirkung der Behandlungsflüssigkeiten 4, 6 schützen soll. When passing through the treatment tanks 3 . 5 become the substrates 2 on its underside with the respective treatment liquid 4 . 6 brought into contact. On its upper side, the respective substrate 2 optionally have a protective layer, which the top of an exposure to the treatment liquids 4 . 6 should protect.

Hinter dem zweiten Behandlungsbecken 5 kann die Substratbehandlungsanlage 1 gegebenenfalls eine figürlich nicht dargestellte Spülvorrichtung zum Abspülen der Substrate aufweisen. Behind the second treatment basin 5 can the substrate treatment plant 1 optionally have a figuratively not shown flushing device for rinsing the substrates.

2 zeigt exemplarisch einen Teilabschnitt einer der Transportrollen 9 der in der Trockenstrecke 7 angeordneten Transportvorrichtung 8 sowie einen Teilabschnitt eines von dieser Transportrolle 9 transportierten Substrats 2. 2 shows an example of a section of one of the transport rollers 9 in the drying section 7 arranged transport device 8th and a portion of one of this transport roller 9 transported substrate 2 ,

In 2 ist die Transportrolle 9 in einer Ansicht dargestellt, in welcher ihre Längsrichtung L parallel zur Zeichenebene verläuft. In 2 is the transport role 9 represented in a view in which its longitudinal direction L is parallel to the plane of the drawing.

Die Transportrolle 9 weist an ihrer Oberfläche 10 mehrere Erhebungen 11 auf, welche einstückig mit einem zylindrischen Basiskörper 14 der Transportrolle 9 ausgebildet sind. Das von der Transportrolle 9 transportierte Substrat 2 berührt die Transportrolle 9 lediglich an diesen Erhebungen 11. The transport role 9 points to its surface 10 several surveys 11 on, which integral with a cylindrical base body 14 the transport role 9 are formed. That of the transport role 9 transported substrate 2 touches the transport roller 9 only at these surveys 11 ,

Ferner weist die Transportrolle 9 eine Längsachse 15 auf, bezüglich welcher die Erhebungen 11 axialsymmetrisch ausgebildet sind. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Erhebungen 11 jeweils als geschlossene Ringstruktur ausgebildet und erstrecken sich in Umfangsrichtung U der Transportrolle 9 (vgl. 3). Furthermore, the transport roller 9 a longitudinal axis 15 with respect to which the surveys 11 are formed axially symmetrical. In the present embodiment, the surveys 11 each formed as a closed ring structure and extend in the circumferential direction U of the transport roller 9 (see. 3 ).

Die Erhebungen 11 sind plateaulos ausgeführt. Jede der Erhebungen 11 weist zwei konkav gewölbte Seitenwände 16 auf, die in einem spitzen Winkel aufeinandertreffen. The surveys 11 are executed plateaulos. Each of the surveys 11 has two concave side walls 16 on, which meet at a sharp angle.

Des Weiteren sind die Erhebungen 11 in Längsrichtung L der Transportrolle 9 hintereinander angeordnet. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel weisen in Längsrichtung L der Transportrolle 9 benachbarte Erhebungen 11 zueinander einen Abstand d von 23 mm auf, gemessen zwischen deren Mittelebenen. Ferner weisen die Erhebungen 11 im vorliegenden Ausführungsbeispiel eine Höhe h von 4 mm auf. Furthermore, the surveys 11 in the longitudinal direction L of the transport roller 9 arranged one behind the other. In the present embodiment have in the longitudinal direction L of the transport roller 9 adjacent surveys 11 to each other a distance d of 23 mm, measured between the center planes. Furthermore, the surveys show 11 in the present embodiment, a height h of 4 mm.

Die Transportrolle 9 besteht an ihrer Oberfläche 10 aus einem hydrophoben Kunststoffmaterial, sodass ein Wassertropfen bei Normalbedingungen (20 °C Lufttemperatur, 1013 mbar Luftdruck) einen Kontaktwinkel mehr als 90° mit der Oberfläche 10 ausbildet. The transport role 9 exists on its surface 10 from a hydrophobic plastic material so that a drop of water under normal conditions (20 ° C air temperature, 1013 mbar air pressure) has a contact angle more than 90 ° with the surface 10 formed.

Wird ein an der Unterseite des transportierten Substrats 2 haftender Tropfen 17 der ersten Behandlungsflüssigkeit 4 von der Transportrolle abgestreift, so fließt der Tropfen 17, bedingt durch seine Oberflächenspannung sowie unter Einfluss der Schwerkraft, von einer der Erhebungen 11 in einen achsnäheren Bereich der Transportrolle 9, sprich zwischen zwei Erhebungen 11 der Transportrolle 9. Dadurch kann der Tropfen 17 nicht mit einem nachfolgenden Substrat 2 in Kontakt kommen und folglich auch nicht auf das nachfolgende Substrat 2 übertragen werden. Is one at the bottom of the transported substrate 2 sticky drop 17 the first treatment liquid 4 stripped off the transport roller, the drop flows 17 , due to its surface tension and under the influence of gravity, of one of the elevations 11 in an achsnäheren area of the transport roller 9 , between two surveys 11 the transport role 9 , This can make the drop 17 not with a subsequent substrate 2 come into contact and consequently not on the subsequent substrate 2 be transmitted.

3 zeigt einem Schnitt durch die Transportrolle 9 aus 2 entlang der in 2 eingezeichneten Schnittebene A-A. 3 shows a section through the transport roller 9 out 2 along the in 2 Plotted sectional plane AA.

In dieser Schnittdarstellung ist eine der Erhebungen 11 der Transportrolle 9, genauer gesagt, eine der beiden Seitenwände 16 dieser Erhebung 11, sichtbar. In this sectional view is one of the surveys 11 the transport role 9 more precisely, one of the two side walls 16 this survey 11 , visible, noticeable.

4 zeigt einen Schnitt durch eine andere Transportrolle 18 senkrecht zu deren Längsrichtung. 4 shows a section through another transport role 18 perpendicular to its longitudinal direction.

Diese Transportrolle 18 weist ebenfalls mehrere Erhebungen 11 auf, welche einstückig mit einem zylindrischen Basiskörper 14 der Transportrolle 18 ausgebildet sind. Die Erhebungen 11 dieser Transportrolle 18 sind jeweils als kegelförmige Spitze mit einem Kegelöffnungswinkel von weniger als 90° ausgeführt. This transport role 18 also has several surveys 11 on, which integral with a cylindrical base body 14 the transport role 18 are formed. The surveys 11 this transport role 18 are each designed as a conical tip with a cone angle of less than 90 °.

In 4 sind acht der Erhebungen 11 sichtbar, welche in Umfangsrichtung U der Transportrolle 18 hintereinander angeordnet sind. Zusätzlich zu diesen acht sichtbaren Erhebungen 11 weist die Transportrolle 18 weitere, in 4 nicht sichtbare Erhebungen 11 auf, von denen jeweils acht Stück in Umfangsrichtung U der Transportrolle 18 hintereinander angeordnet sind. Diese weiteren Erhebungen 11 sind in Längsrichtung der Transportrolle 18, das heißt senkrecht zur Zeichenebene der 4, versetzt zu den sichtbaren Erhebungen 11 positioniert. In 4 are eight of the surveys 11 visible, which in the circumferential direction U of the transport roller 18 arranged one behind the other. In addition to these eight visible surveys 11 has the transport role 18 more, in 4 invisible elevations 11 on, of which in each case eight pieces in the circumferential direction U of the transport roller 18 arranged one behind the other. These further surveys 11 are in the longitudinal direction of the transport roller 18 that is perpendicular to the plane of the 4 , offset to the visible elevations 11 positioned.

Die Transportrolle 18 aus 4 kann bei der Substratbehandlungsanlage 1 aus 1 alternativ oder zusätzlich zu der im Zusammenhang mit 2 und 3 beschriebenen Transportrolle 9 verwendet werden. Insbesondere können alle Transportrollen 9 der in der Trockenstrecke 7 angeordneten Transportvorrichtung 8 durch die Transportrolle 18 aus 4 ersetzt werden. The transport role 18 out 4 can at the substrate treatment plant 1 out 1 alternatively or in addition to that associated with 2 and 3 described transport role 9 be used. In particular, all transport roles 9 in the drying section 7 arranged transport device 8th through the transport roller 18 out 4 be replaced.

Die Erfindung wurde anhand der dargestellten Ausführungsbeispiele detailliert beschrieben. Dennoch ist die Erfindung nicht auf oder durch die offenbarten Beispiele beschränkt. Andere Varianten können vom Fachmann aus diesen Ausführungsbeispielen abgeleitet werden, ohne von den der Erfindung zugrunde liegenden Gedanken abzuweichen. The invention has been described in detail with reference to the illustrated embodiments. However, the invention is not limited to or by the disclosed examples. Other variants can be derived by those skilled in these embodiments, without departing from the underlying idea of the invention.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1 1
Substratbehandlungsanlage Substrate treatment plant
2 2
Substrat substratum
3 3
Behandlungsbecken treatment tank
4 4
Behandlungsflüssigkeit treatment liquid
5 5
Behandlungsbecken treatment tank
6 6
Behandlungsflüssigkeit treatment liquid
7 7
Trockenstrecke drying section
8 8th
Transportvorrichtung transport device
9 9
Transportrolle transport roller
10 10
Oberfläche surface
11 11
Erhebung survey
12 12
Transportvorrichtung transport device
13 13
Transportrolle transport roller
14 14
Basiskörper base body
15 15
Längsachse longitudinal axis
16 16
Seitenwand Side wall
17 17
Tropfen drops
18 18
Transportrolle transport roller
d d
Abstand distance
h H
Höhe height
L L
Längsrichtung longitudinal direction
T T
Transportrichtung transport direction
U U
Umfangsrichtung circumferential direction

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • WO 2005/093788 A1 [0005] WO 2005/093788 A1 [0005]

Claims (22)

Transportrolle (9, 18) zum Transportieren eines Substrats (2), welche an ihrer Oberfläche (10) angeordnete Erhebungen (11) aufweist. Transport roller ( 9 . 18 ) for transporting a substrate ( 2 ), which on their surface ( 10 ) surveys ( 11 ) having. Transportrolle (9, 18) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei der Erhebungen (11) in Längsrichtung (L) der Transportrolle (9, 18) hintereinander angeordnet sind. Transport roller ( 9 . 18 ) according to claim 1, characterized in that at least two of the elevations ( 11 ) in the longitudinal direction (L) of the transport roller ( 9 . 18 ) are arranged one behind the other. Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Erhebungen (11) plateaulos ausgeführt sind. Transport roller ( 9 . 18 ) according to any one of the preceding claims, characterized in that the surveys ( 11 ) are executed plateaulos. Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, gekennzeichnet durch einen Basiskörper (14), mit welchem die Erhebungen (11) einstückig ausgebildet sind. Transport roller ( 9 . 18 ) according to one of the preceding claims, characterized by a base body ( 14 ), with which the surveys ( 11 ) are integrally formed. Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich mindestens eine der Erhebungen (11) zumindest abschnittsweise in Umfangsrichtung (U) der Transportrolle (9, 18) erstreckt. Transport roller ( 9 . 18 ) According to one of the preceding claims, characterized in that at least one of the elevations ( 11 ) at least in sections in the circumferential direction (U) of the transport roller ( 9 . 18 ). Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Längsachse (15), bezüglich welcher mindestens eine der Erhebungen (11) axialsymmetrisch ausgebildet ist. Transport roller ( 9 . 18 ) according to one of the preceding claims, characterized by a longitudinal axis ( 15 ) with regard to which at least one of the surveys ( 11 ) is formed axially symmetrical. Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Erhebungen (11) als geschlossene Ringstruktur ausgeführt ist. Transport roller ( 9 . 18 ) according to one of the preceding claims, characterized in that at least one of the surveys ( 11 ) is designed as a closed ring structure. Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Erhebungen (11) zwei in einem spitzen Winkel aufeinander treffende Seitenwände (16) aufweist. Transport roller ( 9 . 18 ) according to one of the preceding claims, characterized in that at least one of the surveys ( 11 ) two side walls meeting at an acute angle ( 16 ) having. Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Erhebungen (11) zwei Seitenwände (16) aufweist, die gewölbt, insbesondere konkav gewölbt, sind. Transport roller ( 9 . 18 ) According to one of the preceding claims, characterized in that at least one of the elevations ( 11 ) two side walls ( 16 ), which are curved, in particular concave, are. Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in Längsrichtung (L) der Transportrolle (9, 18) benachbarte Erhebungen (11) zueinander einen Abstand (d) von mindestens 5 mm, vorzugsweise mindestens 10 mm, aufweisen. Transport roller ( 9 . 18 ) according to one of the preceding claims, characterized in that in the longitudinal direction (L) of the transport roller ( 9 . 18 ) adjacent surveys ( 11 ) to each other at a distance (d) of at least 5 mm, preferably at least 10 mm. Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Erhebungen (11) als kegelförmige Spitze, insbesondere als kegelförmige Spitze mit einem Kegelöffnungswinkel von weniger als 90°, ausgeführt ist. Transport roller ( 9 . 18 ) according to one of the preceding claims, characterized in that at least one of the surveys ( 11 ) is designed as a conical tip, in particular as a conical tip with a cone angle of less than 90 °. Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei der Erhebungen (11) in Umfangsrichtung (U) der Transportrolle (9, 18) hintereinander angeordnet sind. Transport roller ( 9 . 18 ) according to one of the preceding claims, characterized in that at least two of the elevations ( 11 ) in the circumferential direction (U) of the transport roller ( 9 . 18 ) are arranged one behind the other. Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Erhebungen (11) eine Höhe (h) von mindestens 2 mm, vorzugsweise mindestens 3 mm, besonders bevorzugt mindestens 4 mm, aufweisen. Transport roller ( 9 . 18 ) according to any one of the preceding claims, characterized in that the surveys ( 11 ) have a height (h) of at least 2 mm, preferably at least 3 mm, particularly preferably at least 4 mm. Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ihre Oberfläche (10) zumindest bereichsweise hydrophob ausgeführt ist. Transport roller ( 9 . 18 ) according to one of the preceding claims, characterized in that its surface ( 10 ) is at least partially hydrophobic. Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportrolle (9, 18) zumindest in einem Teilbereich ihrer Oberfläche (10) ein Kunststoffmaterial aufweist. Transport roller ( 9 . 18 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the transport roller ( 9 . 18 ) at least in a partial area of its surface ( 10 ) comprises a plastic material. Transportvorrichtung (8) für eine Substratbehandlungsanlage (1), aufweisend mindestens eine Transportrolle (9, 18) nach einem der vorangegangenen Ansprüche. Transport device ( 8th ) for a substrate treatment plant ( 1 ), comprising at least one transport roller ( 9 . 18 ) according to any one of the preceding claims. Substratbehandlungsanlage (1), insbesondere zum einseitigen nasschemischen Behandeln eines Substrats (2), aufweisend eine Transportvorrichtung (8) nach Anspruch 16 sowie ein Behandlungsbecken (3, 5) mit einer Behandlungsflüssigkeit (4, 6). Substrate treatment plant ( 1 ), in particular for the one-sided wet-chemical treatment of a substrate ( 2 ), comprising a transport device ( 8th ) according to claim 16 and a treatment basin ( 3 . 5 ) with a treatment liquid ( 4 . 6 ). Substratbehandlungsanlage (1) nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Erhebungen (11) der Transportrolle (9, 18) derart geformt sind, an sich in vertikaler Richtung nach oben verjüngenden Abschnitten der Erhebungen (11) eine auf die Behandlungsflüssigkeit (4, 6) wirkende Gewichtskraft größer ist als zwischen der Behandlungsflüssigkeit (4, 6) und der Oberfläche (10) der Transportrolle (9, 18) wirkende Adhäsionskräfte. Substrate treatment plant ( 1 ) according to claim 17, characterized in that the elevations ( 11 ) of the transport roller ( 9 . 18 ) are formed in such a way in vertically upwardly tapering portions of the elevations ( 11 ) one on the treatment liquid ( 4 . 6 ) acting weight force is greater than between the treatment liquid ( 4 . 6 ) and the surface ( 10 ) of the transport roller ( 9 . 18 ) acting adhesion forces. Substratbehandlungsanlage (1) nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass benachbarte Erhebungen (11) der Transportrolle (9, 18) so weit voneinander entfernt sind, dass die Ausbildung von Kapillarkräften, welche einen Verbleib der Behandlungsflüssigkeit (4, 6) zwischen den Erhebungen (11) bewirken, vermieden wird. Substrate treatment plant ( 1 ) according to claim 17 or 18, characterized in that adjacent elevations ( 11 ) of the transport roller ( 9 . 18 ) are so far away from each other that the formation of capillary forces, which a whereabouts of the treatment liquid ( 4 . 6 ) between the surveys ( 11 ), is avoided. Substratbehandlungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportrolle (9, 18) zumindest in einem Teilbereich ihrer Oberfläche (10) ein Material aufweist, welches von der Behandlungsflüssigkeit (4, 6) nicht benetzbar ist. Substrate treatment plant ( 1 ) according to one of claims 17 to 19, characterized in that the transport roller ( 9 . 18 ) at least in a partial area of its surface ( 10 ) a material which of the treatment liquid ( 4 . 6 ) is not wettable. Substratbehandlungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 17 bis 20, gekennzeichnet durch eine Trockenstrecke (7), wobei die Transportvorrichtung (8) in der Trockenstrecke (7) angeordnet ist. Substrate treatment plant ( 1 ) according to one of claims 17 to 20, characterized by a drying section ( 7 ), wherein the transport device ( 8th ) in the drying section ( 7 ) is arranged. Substratbehandlungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 17 bis 21, gekennzeichnet durch ein weiteres Behandlungsbecken (3, 5) mit einer Behandlungsflüssigkeit (4, 6), wobei die Transportvorrichtung (8) zwischen dem erstgenannten und dem weiteren Behandlungsbecken (3, 5) angeordnet ist. Substrate treatment plant ( 1 ) according to one of claims 17 to 21, characterized by a further treatment basin ( 3 . 5 ) with a treatment liquid ( 4 . 6 ), wherein the transport device ( 8th ) between the former and the further treatment tank ( 3 . 5 ) is arranged.
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