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DE20106909U1 - Transportbox für optische Masken - Google Patents

Transportbox für optische Masken

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DE20106909U1 DE20106909U DE20106909U DE20106909U1 DE 20106909 U1 DE20106909 U1 DE 20106909U1 DE 20106909 U DE20106909 U DE 20106909U DE 20106909 U DE20106909 U DE 20106909U DE 20106909 U1 DE20106909 U1 DE 20106909U1
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Schott AG
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ACR Automation in Cleanroom GmbH
Schott Glaswerke AG
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Description

F:\IJBDHF\DHFANM\ALL32O7
Anmelder:
ACR Automation in Cleanroom GmbH Villinger Straße 2-4 78078 Niedereschach
Titel:
0117042
Transportbox für optische Masken
20.04.2001 fuh/lbe-emz
Beschreibung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Transportbox für bei der Herstellung von Halbleitersubstraten verwendeten optischen Masken nach dem Oberbegriff des Anspruchs
Derartige Transportboxen werden bei der Herstellung, d.h. Beschichtung von optischen Masken verwendet, um diese von einem zum anderen Verfahrensgang transportieren und zwischenlagern zu können.
Bekannte Transportboxen sind im Oberteil mit einer Haltevorrichtung inform von im Deckel des Oberteils vorgesehenen Anformungen versehen, die den Nachteil besitzen, dass ein nur labiles Positionieren der Masken innerhalb der Transportbox gegeben ist.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, eine Transportbox der eingangs genannten Art zu schaffen, die ein erschütterungsfreies Positionieren der Masken ermöglicht.
Zur Lösung dieser Aufgabe sind bei einer Transportbox der genannten Art die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale vorgesehen.
Durch die erfindungsgemäßen Maßnahmen ist erreicht, dass die Haltevorrichtung nicht nur ein geführtes und ausgerichtetes Niederhalten der Masken sondern auch eine seitliche Ausrichtung der Masken innerhalb der Transportbox ermöglicht. Da die Seitenführungen beim Aufsetzen des Oberteils auf das Unterteil die Masken in seitlicher Richtung ausrichten, sind danach die so ausgerichteten Masken auch in einer Richtung quer und senkrecht hierzu von den Zungen geordnet gehalten.
Bevorzugt sind die Zungen mit den Merkmalen nach Anspruch ausgestaltet, was zu einem federnden Andrücken unabhängig von Abmessungstoleranzen führt. Dabei sind zweckmäßiger Weise die Merkmale nach Anspruch 3 und/oder 4 vorgesehen, wobei im letzteren Fall erreicht, dass die optische Fläche der Masken sowenig wie möglich von der Haltevorrichtung berührt wird.
Mit den Merkmalen nach Anspruch 5 und/oder 6 ist eine bevorzugte Ausgestaltung der Seitenführungen gegeben und erreicht, dass die optischen Flächen der Masken nicht berührt werden.
Mit den Merkmalen gemäß Anspruch 6 ist eine verrastende Verbindung des auf das Unterteil aufgesetzten Oberteils erreichbar. Dies erfolgt in einfacher Weise durch den verrastend überschiebbaren Verbindungsschieber, der Oberteil und Unterteil zusammenhält und der damit nicht unbeabsichtigt lösbar ist.
Eine zweckmäßige Ausgestaltung dieser Rastverbindung ergibt sich nach den Merkmalen des Anspruch 7. Sind dabei die Merkmale nach Anspruch 8 vorgesehen, ist eine einfache und federnde Ausgestaltung der Rastnoppe gegeben.
Weitere Einzelheiten der Erfindung sind der folgenden Beschreibung zu entnehmen, in der die Erfindung anhand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles näher beschrieben und erläutert ist. Es zeigen:
Figur 1 in schematischer längsgeschnittener Darstellung eine Transportbox für optische Masken, gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung,
Figur 2 in schematischer quergeschnittener Darstellung, die Transportbox nach Figur 1 in einem Schnitt senkrecht dazu,
Figur 3 in perspektivischer Darstellung eine bei der Transportbox verwendete Haltevorrichtung,
Figur 4 in vergrößerter Darstellung eine Einzelheit gemäß Kreisausschnitt IV der Figur 2,
Figuren
5Au. 5B eine ausschnittsweise perspektivische Ansicht gemäß Pfeil V der Figur 1 der Verbindungsvorrichtung von Boxenunterteil und Oberteil in geöffnetem bzw. geschlossenem Zustand und
Figur 6 in perspektivischer Innansicht den Verbindungsschieber nach Figuren 5A bzw. 5B.
Die in der Zeichnung dargestellte Transportbox 10 dient zum Aufnehmen von mehreren bei der Herstellung von Halbleitersubstraten verwendeten optischen Masken 11, die im wesentlichen rechteckförmiger Grundform sind und aus einem Quarzglas von beispielsweise 6 bis 8 mm Dicke bestehen.
Die Transportbox 10 besitzt ein Unterteil 12 und ein Oberteil 13, die in einer Trennebene 14 aufeinander setzbar sind. Die Grundfläche der Transportbox 10 bzw. von Unterteil 12 und Oberteil 13 ist etwa rechteckförmig. Unterteil 12 und Oberteil 13 besitzen jeweils einen Boden 16 bzw. 18 und umlaufende trapezförmige Wände 17 bzw. 19, die an ihren freien offenen Enden aufeinander setzbar sind.
In das Unterteil 12 ist gemäß den Figuren 1 und 2 ein Einsatz 21 mit seiner Grundplatte 22 unverrückbar eingesetzt. Die Grundplatte 22 besitzt zwei hohe parallele Seitenwände 23, zwischen denen niedrige parallele Stege 24 vorgesehen sind, die untereinander und mit den Seitenwänden 23 Aufnahmenuten 26 bilden, in denen untere Längsrandbereiche der Masken 11 aufgenommen sind. In die Aufnahmenuten 26 des Einsatzes 21 im Unterteil 12 werden
die Masken bei abgenommenen Oberteil 13 hintereinander bzw. nebeneinander eingesetzt. Die Aufnahmenuten 26 sind gemäß Figur 1 an ihren Enden von einem niedrigen Wandsteg 27 verschlossen.
Das Oberteil 13 ist mit einer die Masken 11 ausrichtetenden und fixierenden Haltevorrichtung 30 bestückt, die im wesentlichen aus zwei im Abstand und parallel zueinander angeordneten Winkelleisten 31 und 32 besteht, die an der Innenseite des Bodens 18 des Oberteils 13 in symmetrisch spiegelbildlichen Anordnung befestigt und identisch ausgebildet sind.
Die Winkelleiste 31, 32 besitzt in Figur 3 einen ununterbrochenen Schenkel 33, der in Abständen entsprechend der Anordnung der Masken 11 mit Seitenführungen 34 inform von quer zur Längserstreckung des Schenkels 33 verlaufenden Noppen gebildet ist. Jede Noppe 34 ist der freien Kante des Schenkels 33 zugewandt mit einer Einführungsschräge 36 (Figur 1) versehen.
Der zum undurchbrochenen Schenkel 33 im wesentlichen etwa rechtwinklig angeordnete durchbrochene Schenkel 37 ist mit federnden Zungen 38 versehen, zwischen denen jeweils ein Schlitz 3 9 vorgesehen ist, wodurch die Zungen 3 8 der insgesamt aus einem Kunststoff hergestellten Winkelleiste
31, 32 federnd beweglich ist. Jede Zunge 38 ist über einen Arm 41 an einem durchgehenden Steg 42, der mit dem undurchbrochenen Schenkel 3 3 einstückig ist, gehalten. Das vordere freie Ende der Zungen 3 8 ist nach Art einer Rinne 43 ausgebildet, die mit konisch aufeinander zulaufenden und im Abstand angeordneten Schrägflächen 44 versehen ist. Die Zuordnung der Führungsnoppen 34 zu den Zungen 3 8 ist derart, dass die Führungsnoppen 34 etwa in der Längsmittelebene der Zungen 3 8 bzw. deren Rinne 43 angeordnet sind.
Wie eingangs erwähnt, werden die Masken 11 bei abgenommenem Oberteil 13 in den Einsatz 21 des Unterteils 12 eingesetzt. Mit dem Aufsetzen des Oberteils 13 gelangen zunächst die Seitenführungsnoppen 34 der Winkelleisten 31 und 32 an die aufrechten Querränder 51 und 52 der Eckbereiche der Masken 11, so dass die Masken 11 in Längsrichtung ausgerichtet werden.Die Führungsnoppen 34 liegen dabei an den ebenen Stirnflächen 53 der Querränder 51, 52 an. Bei weiterem Aufsetzen des Oberteils 13 auf das Unterteil 12 gelangen die Zungen 38 auf die oberen Längsränder 56 in den Eckbereichen der Masken 11 und drücken die Masken 11 aufgrund der federnden Ausgestaltung der Zungen 3 8 mit ihren unteren Längsrändern 57 nach unten in den Einsatz Die Zungen 3 8 überdecken die oberen Längsränder 56 derart, dass die Schrägflächen 44, 45 der Rinne 43 auf Randfasen
und 55, die zwischen der ebenen Stirnfläche der oberen Längsränder 56 und den flächigen optischen Oberflächen 58, 59 angeordnet sind, gelangen, mit anderen Worten, die Masken 11 werden von der Haltevorrichtung 3 0 bzw. den Zungen 38 in einem Bereich, nämlich den Randfasen 54 und 55, der außerhalb des Bereichs der optischen Flächen 58, liegt, gehalten und zentriert.
Die Transportbox 10 ist ferner mit einer Rastverschlussvorrichtung 61 im Bereich der Trennungsebene 14 zum verrastenden Verbinden und Zusammenhalten des Oberteils 13 auf dem Unterteil 12 versehen. Wie den Figuren 5A und 5B zu entnehmen ist, sind Unterteil 12 und Oberteil 13 im Bereich der Trennungsebene 14 mit einer umlaufenden Verdickung 62 bzw. 63 versehen, die gemäß Figur 1 an den beiden Querseiten mit einer hinterschnittenen Verbreiterung 64 bzw. 65 versehen sind. Die Hinterschneidungen sind nach Art eines Schwalbenschwanzes ausgebildet. Der dazu passende Schwalbenschwanz ist an der Innenseite eines Verbindungsschiebers 66 (Figur 6) vorgesehen. Die Schwalbenschwanznut 61 befindet sich an seitlichen Schieberleisten 68. Gemäß den Figuren 5A und 5B dient der Verbindungsschieber 66 zum überschiebenden Zusammenhalten von Oberteil 13 und Unterteil 12 im Bereich der hinterschnittenen Verdickungsverbreiterungen 64 und 65.
fr · ·
Zur Verrastung der Rastverschlussvorrichtung 61 sind die Verdickungen 62 und 63 in Höhe der hinterschnittenen Verbreiterungen 64 und 65 jeweils der Trennebene 14 benachbart mit einer Profilleiste 71 versehen, die an beiden Enden eine Auflauf- bzw. Ablauffläche 72, 73 und zwischen diesen beiden Schrägflächen 72 und 73 eine Rastmulde 74 besitzt. Zum Einrasten in die Rastmulde 74 besitzt der Verbindungsschieber 66 an seiner Innenseite mittig einen stegförmigen Rastnoppen 76, der quer zur Bewegungsrichtung des Doppelpfeils A des Verbindungsschiebers 66 verläuft. Dem leistenförmigen Rastnoppen 76 ist an dessen beiden Enden jeweils ein Schlitz 77 in der Deckwand 78 des Verbindungsschiebers benachbart, so dass der mit dem Rastnoppen 76 versehen Bereich des Vebindungsschiebers 66 elastisch in Richtung senkrecht zur Deckwandfläche ausgebildet ist. Auf diese Weise kann der Verbindungsschieber 66 beim Zusammenhalten von Unterteil und Oberteil 12, 13 mit seinem Rastnoppen in die Rastmulde 74 verrastend geschoben werden.
Das Überscheiben des Verbindungsschiebers 66 erfolgt gegen den federnden Widerstand der auf den Masken 11 aufliegenden Zungen 3 8 und führt zum fugenfreien Verschluss zwischen Oberteil 13 und Unterteil 12 an der Trennebene 14 der Transportbos 10.

Claims (9)

1. Transportbox (10) für bei der Herstellung von Halbleitersubstraten verwendeten optischen Masken (11), mit einem verschließbaren Gehäuse, das aus einem Oberteil (13) und einem Unterteil (12) zusammensetzbar ist, zwischen denen die Masken (11), in paralleler Anordnung gehalten sind, wobei im Unterteil (12) eine mit Fächern (26) versehene und einen Längsrand (57) der Maske (11) abstützende Aufnahme (21) und im Oberteil (13) eine Haltevorrichtung (30) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltevorrichtung (30) durch zwei parallele an den Eckbereichen der Masken (11) ansetzende Winkelleisten (31, 32) gebildet ist und dass der eine Schenkel (37) jeder Winkelleiste (31, 32) hintereinanderliegende Niederhaltezungen (38) besitzt, in deren Nuten (43) ein Maskenlängsrandbereich (56) aufgenommen ist, und dass der andere Schenkel (33) jeder Winkelleiste (31, 32) hintereinanderliegende Seitenführungen (34) aufweist.
2. Transportbox nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Zungen (38) des einen Schenkels (37) der Winkelleiste (31, 32) federnd ausgebildet sind.
3. Transportbox nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Zungen (38) Aufnahmerinnen (43) für die Masken (11) bilden.
4. Transportbox nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Zungen (38) längsseitige Schrägflächen (44), besitzen, deren Neigung und Abstand voneinander derart sind, dass sie den Masken (11) mit ihren beidseitigen Randfaden (54, 55) als Auflage dienen.
5. Transportbox nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Seitenführungen (34) des anderen Schenkels (33) der Winkelleisten (31, 32) mit Einführungsschrägen (36) versehen sind.
6. Transportbox nach Anspruch 1 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Seitenführungen (34) durch Stege gebildet sind, die den Stirnflächen (51, 52) der Masken (11) zugewandt sind.
7. Transportbox nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass durch veschließbaren Ausgestaltung der Transportbox (10) das Oberteil (13) und das Unterteil (12) an zwei gegenüberliegenden Bereichen und an Bereichen der aneinanderliegenden Ränder längshinterschnittene Verdickungen (62, 63) vorgesehen sind, über die ein Verbindungsschieber (66) verrastend schiebbar ist.
8. Transportbox nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdickungen (62, 63) mit einem Rastprofil (71) versehen sind, über das eine zur Bewegungsrichtung quer verlaufende Rastnoppe (76) an der Innenseite des Verbindungsschiebers (66) ver- und entrastend bewegbar ist.
9. Transportbox nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der mit der Rastnoppe (76) versehen Bereich des Verbindungsschiebers (66) mit Längsschlitzen (77) versehen ist.
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