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DE19828689A1 - Spiegelgalvanometereinheit - Google Patents

Spiegelgalvanometereinheit

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Publication number
DE19828689A1
DE19828689A1 DE19828689A DE19828689A DE19828689A1 DE 19828689 A1 DE19828689 A1 DE 19828689A1 DE 19828689 A DE19828689 A DE 19828689A DE 19828689 A DE19828689 A DE 19828689A DE 19828689 A1 DE19828689 A1 DE 19828689A1
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DE
Germany
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unit according
bearing
galvanometer unit
mirror galvanometer
mirror
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE19828689A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshio Nakagishi
Suguru Takishima
Hiroshi Yamamoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pentax Corp
Original Assignee
Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP17206197A external-priority patent/JP3500043B2/ja
Priority claimed from JP17206297A external-priority patent/JP3500044B2/ja
Priority claimed from JP17205997A external-priority patent/JPH1116182A/ja
Priority claimed from JP31433697A external-priority patent/JP3563940B2/ja
Priority claimed from JP31608197A external-priority patent/JPH11133342A/ja
Priority claimed from JP31608297A external-priority patent/JPH11133343A/ja
Priority claimed from JP32212797A external-priority patent/JP3477354B2/ja
Priority claimed from JP32212697A external-priority patent/JPH11142772A/ja
Priority claimed from JP32693897A external-priority patent/JP3477355B2/ja
Priority claimed from JP32693997A external-priority patent/JP3510775B2/ja
Priority claimed from JP12012398A external-priority patent/JP3477365B2/ja
Priority claimed from JP12012298A external-priority patent/JP3510789B2/ja
Application filed by Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd filed Critical Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Publication of DE19828689A1 publication Critical patent/DE19828689A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Description

Die Erfindung betrifft eine Spiegelgalvanometereinheit, bei der ein Rotor mit einem Galvanospiegel drehbar an einem Stator angeordnet ist.
Ein Laufwerk für optische Speicherplatten schreibt und liest mit einem Laserstrahl Daten auf und von einer optischen Speicherplatte. Das Laufwerk für optische Speicherplatten hat eine Lichtquelleneinheit, die einen Laserstrahl erzeugt, und einen optischen Kopf mit einem Objektiv, das den Laserstrahl auf einen kleinen Lichtpunkt auf der optischen Speicherplatte bündelt.
Die Spureinstellung eines Laufwerkes für optische Speicherplatten hat (1) eine grobe Spureinstellung und (2) eine feine Spureinstellung. Die grobe Spur­ einstellung wird durch eine Bewegung des optischen Kopfes quer zu den Spuren der optischen Speicherplatte erzeugt. Die feine Spureinstellung wird durch eine präzise Bewegung des Lichtpunktes auf der optischen Speicherplatte erzeugt. Zu diesem Zweck ist ein Galvanospiegel in dem Strahlengang zwischen der Licht­ quelleneinheit und dem Objektiv angeordnet. Durch eine Drehung des Galva­ nospiegels wird der Einfallswinkel des Laserstrahles auf das Objektiv so verändert, daß der Lichtpunkt auf der optischen Speicherplatte bewegt wird.
Fig. 1 zeigt eine perspektivische Ansicht einer bekannten Spiegelgalvanometer­ einheit, wie sie in dem Japanischen Patent Nr. 64-2105 offenbart wird. Ein Galva­ nospiegel 41 ist an einem Paar langgestreckter Blattfedern 42 gelagert. Die Blattfedern 42 sind ausgehend von dem Galvanospiegel 41 so angeordnet, daß die Längsmittelachsen der Blattfedern 42 aufeinander liegen. Die äußeren Enden der Blattfedern 42 sind an dem Halter 43 befestigt. Die Blattfedern 42 sind dehn­ bar, so daß sie um eine Achse 42A verdrillt werden können, die durch die Längs­ mittelachsen der Blattfedern 42 definiert ist. Durch das Verdrillen (elastische Ver­ formung) der Blattfedern 42 wird eine Drehung des Galvanospiegels 41 um die Achse 42A ermöglicht.
Zum Betätigen des Galvanospiegels 41 sind Spulen 45 und 46 an dem Galva­ nospiegel 41 befestigt. An dem Halter 43 ist ein Joch 44 mit einem Paar Magneten (nicht gezeigt) angeordnet, die ein magnetisches Feld erzeugen, in dem die Spulen 45 und 46 ausgerichtet werden. Der Galvanospiegel 41 wird durch die elektromagnetische Induktion gedreht, die durch den Stromfluß durch die Spulen 45 und 46 und das magnetische Feld der Magneten des Jochs 44 erzeugt wird.
Weil die Drehung des Galvanospiegels 41 durch die elastische Deformation der Blattfedern 42 ermöglicht wird, gibt es eine primäre Resonanzfrequenz, die eine ungleichmäßige Drehung des Galvanospiegels 41 verursacht.
Um diese primäre Resonanzfrequenz abzusenken ist es notwendig, die Ver­ formbarkeit der Blattfedern 42 zu vergrößern. Zu diesem Zweck ist es nötig, die axiale Länge der Blattfedern 42 zu vergrößern, wodurch die Gesamtgröße der Spiegelgalvanometereinheit anwachsen kann.
Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, eine Spiegelgalvanometereinheit anzu­ geben, die in ihren Abmessungen kompakt ist und die eine gleichmäßige und stabile Spureinstellung ermöglicht.
Die Aufgabe wird bei einer Spiegelgalvanometereinheit der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß der Rotor mit einer Lageranordnung mit mindestens einem Spitzenlager drehbar an dem Stator angeordnet ist.
Weil der Rotor mit mindestens einem Spitzenlager drehbar an dem Stator gelagert ist, gibt es anders als bei einer bekannten Spiegelgalvanometereinheit keine primäre Resonanzfrequenz, die eine unstabile Drehung des Galvano­ spiegels bewirkt. Dadurch wird eine stabile Spureinstellung ermöglicht.
Damit die primäre Resonanzfrequenz bei einer bekannten federgelagerten Spiegelgalvanometereinheit verringert werden kann, müssen die Federglieder verlängert werden. Weil bei einer Spiegelgalvanometereinheit nach der Erfindung keine primäre Resonanzfrequenz auftritt, ist eine Vergrößerung unnötig. Deshalb können die Abmessungen der Spiegelgalvanometereinheit kompakt sein.
Eine Weiterbildung der Erfindung hat einen Galvanospiegelblock mit einer Spiegelfläche und mit zwei Lagerbereichen. Die Lagerbereiche nehmen dabei die Lagerzapfen auf.
Weil hierbei zur Aufnahme des Galvanospiegels kein Spiegelhalter oder ähnliches vorgesehen ist, und weil der Galvanospiegelblock Lagerbereiche hat, die Bestandteile der Spitzenlager sind, kann der Aufbau der Spiegelgalvano­ metereinheit vereinfacht werden.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung hat die Spiegelgalvanometereinheit zwei Antriebsspulen, die an dem Rotor oder an dem Stator angeordnet sind, und zwei Antriebsmagnete, die den Antriebsspulen gegenüberliegend an dem Stator oder an dem Rotor angeordnet sind. Läßt man einen Strom durch die Antriebsspulen fließen, dann kann der Rotor um die Drehachse gedreht werden.
Dabei ist es von Vorteil, wenn die Antriebsmagnete an den einander abge­ wandten Enden des Rotors angeordnet sind, wobei die Antriebsspulen den Antriebsmagneten gegenüberliegend an dem Stator angeordnet sind. Weil bei dieser Anordnung die Antriebsspulen nicht an dem Rotor sondern an dem Stator angeordnet sind, wird die Anordnung für die elektrische Verbindung (zur elektrischen Versorgung der Antriebsspulen) besonders einfach.
Bei einer anderen Weiterbildung einer Spiegelgalvanometereinheit nach der Erfindung hat der Rotor als Antriebsmagnete eine erste und eine zweite den Antriebsspulen gegenüberliegende magnetisierte Seite. Weil dadurch keine zusätzlichen Antriebsmagnete an dem Rotor angeordnet werden müssen, wird der Aufbau des Spiegelhalters vereinfacht.
Es ist von Vorteil, wenn die Lagerzapfen abgerundete Lagerspitzen haben, besonders dann, wenn die Lagersenkungen der Lagersteine konisch sind. Die abgerundeten Lagerspitzen der Lagerzapfen berühren die konischen Lagersenkungen der Lagersteine. Dadurch wird der Galvanospiegel bei einer Drehbewegung präzise geführt, und es tritt nur ein geringer Reibungswiderstand auf.
Bei einer Weiterbildung hat die Spiegelgalvanometereinheit ein Vorspannglied an dem Stator, wobei das Vorspannglied die Lageranordnung in axialer Richtung so vorspannt, daß kein axiales Lagerspiel auftritt. Weil sich so die Lageranordnung spielfrei gestalten läßt, ist eine präzise Drehbewegung des Galvanospiegels möglich.
Das Vorspannglied kann mindestens einen Vorspannmagneten haben, der an dem Stator den ersten Zentrierstift umgebend angeordnet ist, und der auf ein Magnetplättchen in einem vorbestimmten Bereich des Lagerzapfens einwirkt. Wegen der Magnetkraft durch den Vorspannmagneten und das Magnetplättchen wird die Lageranordnung vorgespannt.
Weil hierbei die Vorspannkraft durch den Vorspannmagneten und das Magnet­ plättchen erzeugt werden kann, wird kein zusätzliches Federglied zum Vor­ spannen der Lageranordnung benötigt. Das vereinfacht den Aufbau der Spiegel­ galvanometereinheit.
Wenn als Vorspannglied eine Blattfeder verwendet wird, ist es von Vorteil, wenn der Lagerzapfen an der Blattfeder befestigt ist. Weil der Lagerzapfen an der Blattfeder befestigt ist, der Lagerzapfen mit der Blattfeder also mechanisch verbunden ist, wird ein Verkippen des Lagerzapfens und damit eine Verkippung der Drehachse des Rotors vermieden. Auf diese Weise wird die Drehung des Galvanospiegels stabilisiert.
Das Vorspannglied kann auch mindestens eine Vorspannspule haben, die an dem Stator angeordnet ist, und ein Magnetblättchen in einem vorbestimmten Bereich des Lagerzapfens, wobei die Vorspannspule den Lagerzapfen umgebend angeordnet ist. Wenn ein Strom durch die Vorspannspule fließt, dann wird die Lageranordnung vorgespannt.
Weil dadurch die Vorspannkraft mit der Vorspannspule und dem Lagerzapfen erzeugt werden kann, wird kein zusätzliches Federglied zum Vorspannen der Lageranordnung benötigt. Das vereinfacht den Aufbau der Spiegelgalvanometer­ einheit.
Weil die magnetische Kraft zum Vorspannen der Lageranordnung durch eine Veränderung des Stromes durch die Vorspannspule eingestellt werden kann, läßt sich die Reibung justieren, die bei einer Drehung des Spiegelhalters erzeugt wird.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung, bei der ein Lagerzapfen beweglich in der Richtung der Drehachse in einer Bohrung des Stators angeordnet ist, hat die Spiegelgalvanometereinheit ein Abzugsglied, das an dem Stator so angeordnet ist, daß der Lagerzapfen in einer vorbestimmten Richtung in der Bohrung geneigt ist.
Weil dadurch der Lagerzapfen in einer vorbestimmten Richtung geneigt ist, wird eine Veränderung der Neigung des Lagerzapfens verhindert. Dadurch wird die Drehung des Galvanospiegels stabilisiert.
Wenn der Lagerzapfen magnetisierbar und beweglich in der Richtung der Drehachse in einer Bohrung des Stators angeordnet ist kann ein Abzugsmagnet an dem Stator angeordnet sein, der den Lagerzapfen in eine vorbestimmte Richtung anzieht.
Weil der Lagerzapfen damit aus einem magnetisierten Bauteil bestehen kann und weil der Abzugsmagnet den Lagerzapfen in eine vorbestimmte Richtung zieht, wird eine Veränderung der Neigung des Lagerzapfens in der Bohrung vermieden. Dadurch wird die Drehung des Galvanospiegels stabilisiert.
Bei einer Weiterbildung hat die Spiegelgalvanometereinheit an dem Rotor und an dem Stator jeweils mindestens einen Stellmagneten mindestens einem N-Pol- Bereich und mit mindestens einem S-Pol-Bereich. Eine neutrale Position des Ro­ tors wird durch die Anziehung des Stellmagneten erzeugt.
Dadurch wird der Galvanospiegel in seine neutrale Drehposition gestellt, ohne daß ein zusätzliches Federglied vorgesehen ist.
Als Stellmagnet kann auch ein Lagerzapfen mit mindestens einem N-Pol-Bereich und mit mindestens einem S-Pol-Bereich an dem Rotor angeordnet sein. Eine neutrale Position des Rotors wird dann durch die Anziehung des Lagerzapfens und des Stellmagneten erzeugt.
Mit dieser Anordnung wird das Spiegelgalvanometer in seine neutrale Dreh­ position zurückgestellt ohne den Einsatz eines zusätzlichen Federgliedes.
Die Erfindung wird nachfolgend an Hand der Zeichnungen näher erläutert. Darin zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer konventionellen Spiegelgalvanome­ tereinheit,
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht eines Ausführungsbeispieles eines Lauf­ werkes für optische Speicherplatten,
Fig. 3 eine vergrößerte Ansicht des Schwebekopfes des Laufwerkes aus
Fig. 2,
Fig. 4 eine vergrößerte Ansicht der Spitze des Dreharmes des Laufwerkes nach Fig. 2,
Fig. 5 eine Aufsicht des Dreharmes des Laufwerkes nach Fig. 2,
Fig. 6 eine längsgeschnittene Ansicht des Dreharmes des Laufwerkes nach Fig. 2,
Fig. 7 eine perspektivische Explosionszeichnung der Spiegelgalvanometer­ einheit des ersten Ausführungsbeispieles,
Fig. 8 eine Schnittansicht des ersten Ausführungsbeispieles längs eines Schnittes senkrecht zur Drehachse der Spiegelgalvanometereinheit,
Fig. 9 eine Schnittansicht des ersten Ausführungsbeispieles aus Fig. 7 ent­ lang der Drehachse und senkrecht zum Spiegel der Spiegelgalvanome­ tereinheit,
Fig. 10 eine vergrößerte Ansicht von einem Zentrierstift und einem Aufnah­ meglied des ersten Ausführungsbeispieles,
Fig. 11a und 11b ein Bode-Diagramm, in dem beispielhaft der Verlauf der Amplitude ab­ hängig von der Frequenz und der Verlauf der Phase abhängig von der Frequenz der Spiegelgalvanometereinheit gemäß des ersten Ausfüh­ rungsbeispieles aufgetragen sind,
Fig. 12 eine perspektivische Ansicht eines zweiten Ausführungsbeispieles ei­ ner Spiegelgalvanometereinheit,
Fig. 13 eine Schnittansicht eines Schnittes durch die Drehachse und senkrecht zum Spiegel der Spiegelgalvanometereinheit aus Fig. 12,
Fig. 14 eine vergrößerte Ansicht eines Zentrierstiftes und eines Aufnahmeglie­ des des zweiten Ausführungsbeispieles,
Fig. 15 eine Aufsicht auf eine Blattfeder,
Fig. 16 eine Schnittansicht ähnlich Fig. 13 einer Spiegelgalvanometereinheit gemäß einer ersten Modifikation des zweiten Ausführungsbeispieles,
Fig. 17 eine Schnittansicht einer Spiegelgalvanometereinheit gemäß einer zweiten Modifikation des dritten Ausführungsbeispieles.
Fig. 18 eine Schnittansicht ähnlich Fig. 13 eines dritten Ausführungsbeispieles einer Spiegelgalvanometereinheit,
Fig. 19 eine vergrößerte Ansicht eines Zentrierstiftes und eines Aufnahmeglie­ des der Spiegelgalvanometereinheit aus Fig. 18,
Fig. 20 eine Aufsicht der Blattfeder der Spiegelgalvanometereinheit aus Fig. 18,
Fig. 21 eine Schnittansicht der ersten Modifikation des dritten Ausführungsbei­ spieles eines Schnittes durch die Drehachse und senkrecht zum Spie­ gel einer Spiegelgalvanometereinheit,
Fig. 22 eine vergrößerte Ansicht eines Zentrierstiftes und einer Blattfeder der zweiten Modifikation des dritten Ausführungsbeispieles,
Fig. 23 eine Schnittansicht ähnlich Fig. 21 eines vierten Ausführungsbeispieles einer Spiegelgalvanometereinheit,
Fig. 24 eine Schnittansicht ähnlich Fig. 23 einer Modifikation des vierten Aus­ führungsbeispieles einer Spiegelgalvanometereinheit
Fig. 25 eine perspektivische Ansicht eines fünften Ausführungsbeispieles einer Spiegelgalvanometereinheit,
Fig. 26 eine Schnittansicht für einen Schnitt längs der Drehachse und senk­ recht zum Spiegel der Spiegelgalvanometereinheit aus Fig. 25,
Fig. 27 eine perspektivische Explosionszeichnung einer Spiegelgalvanomete­ reinheit gemäß eines sechsten Ausführungsbeispieles,
Fig. 28 eine Schnittansicht eines Schnittes senkrecht zur Drehachse der Spie­ gelgalvanometereinheit aus Fig. 27,
Fig. 29 eine perspektivische Explosionszeichnung einer Modifikation des sechsten Ausführungsbeispieles,
Fig. 30 eine perspektivische Explosionszeichnung einer Spiegelgalvanomete­ reinheit gemäß eines siebten Ausführungsbeispieles,
Fig. 31 eine Schnittansicht eines Schnittes senkrecht zur Drehachse der Spie­ gelgalvanometereinheit aus Fig. 30,
Fig. 32 eine perspektivische Explosionszeichnung einer Spiegelgalvanomete­ reinheit gemäß eines achten Ausführungsbeispieles,
Fig. 33 eine Schnittansicht ähnlich Fig. 26 der Spiegelgalvanometereinheit aus Fig. 32,
Fig. 34 eine perspektivische Ansicht des Drehspiegels aus Fig. 32,
Fig. 35 eine perspektivische Explosionszeichnung einer Spiegelgalvanomete­ reinheit nach einer Modifikation des achten Ausführungsbeispieles,
Fig. 36 eine Schnittansicht ähnlich Fig. 26 eines neunten Ausführungsbeispie­ les einer Spiegelgalvanometereinheit,
Fig. 37 eine perspektivische Ansicht eines Zentrierstiftes und eines Magnetrin­ ges der Spiegelgalvanometereinheit aus Fig. 36,
Fig. 38 eine Schnittansicht eines Schnittes entlang der Mittelachse des Zen­ trierstiftes und des Magnetringes aus Fig. 37,
Fig. 39 eine Schnittansicht ähnlich Fig. 26 einer Modifikation einer Spiegelgal­ vanometereinheit nach dem neunten Ausführungsbeispiel,
Fig. 40 eine perspektivische Ansicht eines Zentrierstiftes und zweier Magnet­ ringe der Spiegelgalvanometereinheit aus Fig. 39,
Fig. 41 einen Schnitt durch die Mittelachse des Zentrierstiftes und der Magnet­ ringe aus Fig. 40,
Fig. 42 einen Schnitt ähnlich dem in Fig. 26 durch ein zehntes Ausführungs­ beispiel einer Spiegelgalvanometereinheit,
Fig. 43 und 44 eine perspektivische Ansicht und einen Schnitt durch die Mittelachse eines Zentrierstiftes und einer Wicklung der Spiegelgalvanometerein­ heit aus Fig. 42,
Fig. 45 in einer Schnittansicht ähnlich der in Fig. 26 die Modifikation einer Spiegelgalvanometereinheit gemäß des zehnten Ausführungsbeispie­ les,
Fig. 46 in einer perspektivischen Ansicht die Zentrierstifte und die Wicklungen der Spiegelgalvanometereinheit aus Fig. 45,
Fig. 47 einen Schnitt durch die Mittelachse des Zentrierstiftes und der Wick­ lungen aus Fig. 46,
Fig. 48 einen Schnitt entlang der Drehachse und senkrecht zum Spiegel eines elften Ausführungsbeispieles einer Spiegelgalvanometereinheit,
Fig. 49 eine perspektivische Ansicht eines Zentrierstiftes und eines Magneten der Spiegelgalvanometereinheit aus Fig. 48,
Fig. 50 einen Schnitt längs der Mittelachse des Zentrierstiftes und des Magne­ ten aus Fig. 49,
Fig. 51 in einer Schnittansicht ähnlich der in Fig. 48 eine Modifikation einer Spiegelgalvanometereinheit nach dem elften Ausführungsbeispiel,
Fig. 52 eine perspektivische Ansicht zweier Magneten und eines Zentrierstiftes der Spiegelgalvanometereinheit aus Fig. 51,
Fig. 53 einen Schnitt in Längsrichtung durch den Zentrierstift und die Magne­ ten aus Fig. 52,
Fig. 54 in einer perspektivischen Ansicht eine Spiegelgalvanometereinheit nach einem zwölften Ausführungsbeispiel,
Fig. 55 einen Schnitt ähnlich dem in Fig. 48 durch die Spiegelgalvanometer­ einheit aus Fig. 54,
Fig. 56 eine perspektivische Ansicht der Magnetringe aus Fig. 55,
Fig. 57 in einer Schnittansicht ähnlich der von Fig. 48 ein dreizehntes Ausfüh­ rungsbeispiel einer Spiegelgalvanometereinheit,
Fig. 58 eine perspektivische Ansicht eines Zentrierstiftes und eines Magnetrin­ ges der Spiegelgalvanometereinheit aus Fig. 57,
Fig. 59a und 59b eine Aufsicht und eine Schnittansicht durch die Mittelachse des Zen­ trierstiftes und des Magnetringes aus Fig. 58,
Fig. 60 in einer perspektivischen Ansicht einen Zentrierstift und einen Magnet­ ring einer Modifikation des dreizehnten Ausführungsbeispieles, und
Fig. 61a und 61b eine Aufsicht und eine Schnittansicht durch die Mittelachse des Zen­ trierstiftes und des Magnetringes aus Fig. 60.
Als erstes wird ein Laufwerk für optische Speicherplatten nach einem ersten von vierzehn Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung beschrieben.
Fig. 2 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Laufwerkes für optische Speicher­ platten (im folgenden das Laufwerk 1). Das Laufwerk 1 ist dafür vorgesehen, durch Anwendung einer sogenannten Nahfeldaufnahme(NFR)-Technologie Daten auf eine optische Speicherplatte 2 zu schreiben und von der Speicherplatte 2 zu lesen.
In dem Laufwerk 1 ist eine optische Speicherplatte 2 auf einer drehbaren Achse 2A eines nicht gezeigten Spindelmotors gelagert. Das Laufwerk 1 hat einen Dreh­ arm 3, der parallel zur Oberfläche der optischen Speicherplatte 2 angeordnet ist und der drehbar an einer Achse 5 befestigt ist. An der Spitze des Dreharmes 3 ist ein Schwebekopf 6 mit einer optischen Linse angeordnet, die später noch be­ schrieben wird. Bei einer Drehung des Dreharmes 3 bewegt sich der Schwebe­ kopf 6 über Spuren der optischen Speicherplatte 2. Der Dreharm 3 hat außerdem eine Beleuchtungseinheit 7, die nahe der Achse 5 angeordnet ist.
Fig. 3 zeigt den Schwebekopf 6 in einer vergrößerten Ansicht. Fig. 4 zeigt eine vergrößerte Darstellung der Spitze des Dreharmes 3. Der Schwebekopf 6 ist mit einem Federstreifen 8 an dem Dreharm 3 angeordnet. Ein Ende des Federstrei­ fens 8 ist auf der Unterseite des Dreharmes 3 befestigt. An dem anderen Ende des Federstreifens ist der Schwebekopf 6 angebracht. Wenn die optische Spei­ cherplatte 2 rotiert, wird der Schwebekopf 6 durch den Luftstrom angehoben, der zwischen der optischen Speicher 2 und dem Schwebekopf 6 erzeugt wird. Wenn der Schwebekopf 6 angehoben wird, dann wird der Federstreifen 8 ela­ stisch verformt, wodurch der Schwebekopf 6 heruntergedrückt wird. Durch das Gleichgewicht der aufwärtsgerichteten Kraft (verursacht durch den Luftstrom)und der abwärtsgerichteten Kraft (verursacht durch die Verformung des Federstreifens 8) wird der Schwebekopf 6 auf zumindest annähernd gleicher Höhe gehalten.
Wie in Fig. 3 zu sehen ist, hat der Schwebekopf 6 ein Objektiv 10 und eine in ei­ nen Feststoff eingebettete Immersionslinse (SIL) 11. An dem Dreharm 3 ist ein Spiegel 31 angeordnet. Der Spiegel 31 reflektiert den Laserstrahl 13, der von der Beleuchtungseinheit 7 ausgesandt wird, auf das Objektiv 10 (Fig. 4). Das Objektiv 10 bündelt den Laserstrahl 13. Die feste Immersionslinse 11 ist eine halbsphäri­ sche Linse, deren ebene Oberfläche 11A der optischen Speicherplatte 2 gegen­ überliegend angeordnet ist. Der Fokus des Objektives 10 liegt auf der ebenen Oberfläche 11A der festen Immersionslinse 11. Dadurch wird der Laserstrahl 13 auf die ebene Oberfläche 11A der festen Immersionslinse 11 gebündelt. Da der Zwischenraum zwischen der optischen Speicherplatte 2 und der ebenen Oberflä­ che 11A der festen Immersionslinse 11 kleiner als 1 µm ist, wird der gebündelte Laserstrahl in einen sogenannten evaneszenten Strahl (der sich über einen klei­ nen Zwischenraum zwischen dicht gegenüberliegenden Oberflächen ausbreitet) umgewandelt und erreicht als solcher die optische Speicherplatte 2. Weil der Strahldurchmesser des evaneszenten Stahles kleiner ist als der Durchmesser des gebündelten Laserstrahles, läßt sich die Speicherdichte deutlich erhöhen.
Eine Spule 12 ist um die feste Immersionslinse 11 angeordnet, damit ein magneti­ sches Feld auf der Oberfläche der optischen Speicherplatte 2 erzeugt werden kann. Ein Strom durch die Spule 12 erzeugt ein magnetisches Feld, in dem sich die optische Speicherplatte 2 befindet. Durch den evaneszenten Strahl der festen Immersionslinse 11 und durch das magnetische Feld der Spule 12 werden Daten auf die optische Speicherplatte 2 geschrieben.
Fig. 5 und 6 zeigen eine Aufsicht auf den Dreharm 3 und eine längsgeschnittene Ansicht des Dreharmes 3. Der Dreharm 3 hat eine Antriebsspule 16 an dem dem Schwebekopf abgewandten Ende. Die Antriebsspule 16 ist in einem nicht gezeig­ ten Anordnung zur Erzeugung eines Magnetfeldes angeordnet. Die Antriebsspule 16 und das Magnetfeld bilden einen Stellmotor 4. Der Dreharm 3 ist mit Lagern 17 an der Achse 5 gelagert. Der Dreharm 3 dreht sich durch elektromagnetische In­ duktion um die Achse 5, wenn ein Strom durch die Antriebsspule 16 fließt.
Die Beleuchtungseinheit 7 hat einen Halbleiterlaser 18, eine elektrische Versor­ gung 19, eine Kollimatorlinse 20 und eine zusammengesetzte Prismenanordnung 21. Außerdem hat die Beleuchtungseinheit 7 einen Laserkontrollsensor 22 zur Kontrolle der Laserleistung, ein Reflexionsprisma 23, einen Datensensor 24 und einen Spursensor 25. Ein divergenter Laserstrahl des Halbleiterlasers 18 wird von der Kollimatorlinse 20 in einen parallelen Laserstrahl umgewandelt. Wegen der Charakteristik des Halbleiterlasers 18 hat der Laserstrahl einen länglichen Strahl­ querschnitt. Um den Stahlquerschnitt des Laserstrahles zu korrigieren, ist eine Eintrittsfläche 21A der zusammengesetzten Prismenanordnung 21 gegen den einfallenden Laserstrahl geneigt angeordnet. Wenn der Laserstrahl durch die Eintrittsfläche 21A der zusammengesetzten Prismenanordnung 21 gebrochen wird, ergibt sich ein kreisförmiger Strahlquerschnitt des Laserstrahles. Der Laser­ strahl gelangt auf eine erste teildurchlässige Spiegelfläche 21B. Von der ersten teildurchlässigen Spiegelfläche 21B wird ein Teil des Laserstrahles auf den La­ serkontrollsensor 22 ausgekoppelt. Der Laserkontrollsensor 22 mißt die Intensität des einfallenden Laserstrahles. Das Ausgangssignal des Laserkontrollsensors 22 wird an eine Kontrolleinheit für die Versorgungsspannung des Lasers (nicht ein­ gezeichnet) weitergeleitet, um die Leistung des Halbleiterlasers 18 zu stabilisie­ ren.
Die Spureinstellung beinhaltet zwei Schritte: (1) eine grobe Spureinstellung und (2) eine feine Spureinstellung. Die grobe Spureinstellung erfolgt durch eine Dre­ hung des Dreharmes 3. Die feine Spureinstellung wird durch eine sehr empfindli­ che Bewegung des Lichtpunktes auf der optischen Speicherplatte 2 erreicht. Für diesen Zweck ist ein Galvanospiegel 26 im Strahlengang zwischen der Beleuch­ tungseinheit 7 und dem Objektiv 10 angeordnet. Der Galvanospiegel 26 ist so an­ geordnet, daß der Laserstrahl 13, der von der Beleuchtungseinheit 7 ausgesandt wird, direkt auftrifft. Der Laserstrahl 13 wird von dem Galvanospiegel 26 reflektiert und gelangt von dort zu dem Spiegel 31. Der Spiegel 31 reflektiert den Laser­ strahl 13 auf den Schwebekopf 6. Anschließend wird der Laserstrahl 13 gebündelt und fällt auf die optische Speicherplatte 2. Durch eine Drehung des Galvanospie­ gels 26 ändert sich der Einfallswinkel des Laserstrahles 13 beim Einfall auf das Objektiv 10. Auf diese Weise wird der Lichtpunkt auf der optischen Speicherplatte 2 bewegt. Der Drehwinkel des Galvanospiegels 26 wird von einem Galvanospie­ gel-Stellsensor 28 gemessen, der in der Nähe des Galvanospiegels angeordnet ist.
Bei einer Drehung des Galvanospiegels 26, um den Einfallswinkel des Laser­ strahles 13 auf das Objektiv 10 zu verändern, kann es vorkommen, daß ein Teil des Laserstrahles 13 nicht auf das Objektiv 10 trifft. Zur Lösung dieses Problems sind eine erste und eine zweite Zwischenabbildungslinse 29 und 30 zwischen dem Galvanospiegel 26 und dem Spiegel 31 angeordnet. Dadurch wird eine Be­ ziehung zwischen einer Hauptebene des Objektivs 10 und der Mitte der Spiegel­ fläche des Galvanospiegels 26 (in der Nähe von dessen Drehachse) hergestellt. Auf diese Weise wird sichergestellt, daß der vom Galvanospiegel 26 reflektierte Laserstrahl 13 das Objektiv 10 unabhängig von einer Drehung des Galvanospie­ gels 26 erreicht.
Nachdem der Laserstrahl 13 von der Oberfläche der optischen Speicherplatte 2 zurückgekehrt ist, gelangt er über den Schwebekopf 6 und die Zwischenabbil­ dungslinsen 30 und 29 auf den Galvanospiegel 26. Danach trifft der Laserstrahl 13 auf die zusammengesetzte Prismenanordnung 21 und wird von der ersten teil­ durchlässigen Spiegelfläche 21B auf eine zweite teildurchlässige Spiegelfläche 21C reflektiert. Der Teil des Laserstrahles, der durch die zweite teildurchlässige Spiegelfläche 21C durchtritt, wird auf den Spursensor 25 gelenkt. Der Spursensor 25 gibt abhängig vom einfallenden Laserstrahl ein Spurfehlersignal aus. Der Teil des Laserstrahles, der von der zweiten teildurchlässigen Spiegelfläche 21C re­ flektiert wird, trifft auf ein Wollaston-Polarisationsprisma 32, das zwei polarisierte Strahlen erzeugt. Die polarisierten Strahlen werden von einer Sammellinse 33 auf den Datensensor 24 gebündelt. Der Datensensor 24 hat zwei lichtempfindliche Bereiche, die die zwei polarisierten Strahlen jeweils empfangen. Auf diese Weise liest der Datensensor 24 Daten, die auf der optischen Speicherplatte 2 gespei­ chert sind. Die Datensignale von dem Spursensor 25 und dem Datensensor 24 werden von einer nicht gezeigten Verstärkereinheit aufbereitet und an eine nicht gezeigte Kontrolleinheit weitergeleitet.
Fig. 7 zeigt in einer perspektivischen Explosionszeichnung ein erstes Ausfüh­ rungsbeispiel einer Spiegelgalvanometereinheit mit einem Galvanospiegel 26.
Der Galvanospiegel 26 ist an einem Spiegelhalter (Rotor) 50 befestigt, der dreh­ bar um eine Drehachse Z an einem nicht gezeichneten Stator angeordnet ist. Im folgenden wird die Richtung parallel zur Drehachse Z als vertikale Richtung be­ zeichnet. Weiter wird eine Ebene, die senkrecht zu der Drehachse Z ist, als hori­ zontale Ebene bezeichnet. Außerdem wird die Seite des Spiegelhalters 50 mit dem Galvanospiegel 26 als vorne bezeichnet, wohingegen die davon abgewandte Seite des Spiegelhalters 50 als hinten bezeichnet wird.
Fig. 8 und 9 zeigen eine Schnittansicht senkrecht zur Drehachse Z der Spiegel­ galvanometereinheit bzw. eine Schnittansicht durch die Drehachse Z und senk­ recht zum Galvanospiegel 26 der Spiegelgalvanometereinheit von Fig. 7. Der Galvanospiegel 26 ist rechteckig und hat eine bestimmte Breite W und eine Höhe H. Die Drehachse Z des Galvanospiegels 26 ist parallel zu der Höhe H des Gal­ vanospiegels. Außerdem verläuft die Drehachse Z im mittleren Bereich der Breite W des Galvanospiegels 26.
Wie in Fig. 8 zu sehen ist, sind ein Paar Antriebsspulen 58 und 59 an den seitli­ chen Enden des Spiegelhalters 50 angeordnet. Ferner ist ein Paar Antriebsma­ gnete 63 und 64 an einem Stator 60 (Fig. 9) derart angeordnet, daß die Antriebs­ magnete 63 und 64 den Antriebsspulen 58 und 59 gegenüberliegen. Die An­ triebsmagnete 63 und 64 erzeugen ein magnetisches Feld, in dem sich die An­ triebsspulen 58 und 59 befinden. Die Antriebsspulen 58 und 59 sind zur Strom­ versorgung mit nicht gezeigten Zuleitungen verbunden. Wenn ein Strom durch die Antriebsspulen 58 und 59 fließt, dann dreht sich der Spiegelhalter 50 aufgrund elektromagnetischer Induktion durch den Strom und das magnetische Feld um die Drehachse Z. Mit dieser Anordnung läßt sich der Galvanospiegel drehen und da­ durch läßt sich die Richtung ändern, in der der Laserstrahl von dem Galvanospie­ gel 26 reflektiert wird.
Wie in Fig. 9 gezeigt, ist der Spiegelhalter 50 mit einem Paar Zentrierstifte 51 und 52 drehbar an dem Stator 60 gelagert. Der Spiegelhalter 50 wird so von den Zen­ trierstiften 51 und 52 in vertikaler Richtung festgeklemmt. Die Zentrierstifte 51 und 52 sind längs einer Achse angeordnet, die die Drehachse des Spiegelhalters 50 bestimmt. Ein Paar Lagerschalen 53 und 54 sind am oberen und am unteren En­ de des Spiegelhalters 50 angeordnet. Die Zentrierstifte 51 und 52 sind in den La­ gerschalen 53 und 54 gelagert.
Fig. 10 zeigt in einer vergrößerten Darstellung den oberen Zentrierstift 51 und die obere Lagerschale 53. Der obere Zentrierstift 51 ist im oberen Bereich abgerun­ det und hat auf der der Lagerschale 53 zugewandten Seite einen konischen Be­ reich 51A. Der Scheitelpunkt 51B des konischen Bereiches 51A ist abgerundet. Die Lagerschale 53 hat eine Einbuchtung 53A mit einer konischen Oberfläche. Der abgerundete Scheitelpunkt 51B des oberen Zentrierstiftes 51 liegt auf der konischen Oberfläche der Einbuchtung 53A. Dadurch wird der obere Zentrierstift 51 in der Lagerschale 53 so gelagert, daß die Lagerschale 53 gegen den oberen Zentrierstift 51 drehbar ist. Vorzugsweise ist der Öffnungswinkel der konischen Oberfläche der Einbuchtung 53A von 80° bis 115°. Der untere Zentrierstift 52 und die untere Lagerschale 54 berühren sich in ähnlicher Weise wie der obere Zen­ trierstift 51 und die obere Lagerschale 53. Wie in Fig. 9 zu sehen ist, sind die Zentrierstifte 51 und 52 in Aussparungen 61 und 62 des Stators 60 angeordnet. Der untere Zentrierstift 52 hat einen flanschähnlichen Bereich 52A, der die axiale Position des unteren Zentrierstiftes festlegt, wenn der untere Zentrierstift 52 in die Aussparung 62 gesteckt wird.
Vorzugsweise bestehen die Lagerschalen 53 und 54 aus Rubin oder Saphir. Weil Rubin und Saphir einen geringen Reibungskoeffizienten haben, ist die benötigte Kraft für ein Drehen des Spiegelhalters 50 verhältnismäßig klein. Außerdem ist die Drehbarkeit des Spiegelhalters 50 wegen der hohen Verschleißfestigkeit von Rubin und Saphir auf lange Zeit gleichbleibend gewährleistet.
Fig. 11A und 11B sind ein Bode-Diagramm und zeigen den Verlauf der Amplitude abhängig von der Frequenz bzw. den Verlauf der Phase abhängig von der Fre­ quenz für die Spiegelgalvanometereinheit nach dem ersten Ausführungsbeispiel. Die Fig. 11A und 11B ergeben sich aus Messungen des Verhaltens des Galva­ nospiegels 26 mit einem Laser-Doppler-Schwingungsmeßgerät unter Berücksich­ tigung der Frequenz des Stromes durch die Antriebsspulen 58 und 59. Wie aus den Fig. 11A und 11B zu ersehen ist, gibt es keine primäre Resonanzfrequenz, die eine ungleichmäßige Drehbewegung des Galvanospiegels bewirkt.
Der Galvanospiegel 26 ist, wie oben beschrieben, gemäß des ersten Ausfüh­ rungsbeispieles mit den Zentrierstiften 51 und 52 und den Lagerschalen 53 und 54 drehbar gelagert. Damit gibt es, anders als bei einem konventionellen Spie­ gelgalvanometer, bei dem ein Galvanospiegel mit einem Federmechanismus ge­ lagert ist (Fig. 1) keine primäre Resonanzfrequenz, die eine ungleichmäßige Dre­ hung des Galvanospiegels 26 verursacht. Auf diese Weise kann eine zuverläs­ sige Spureinstellung gewährleistet werden.
Außerdem ist es bei einem konventionellen federgelagerten Spiegelgalvanometer (Fig. 1) notwendig, das Federglied zu verlängern, um die primäre Resonanzfre­ quenz zu erniedrigen. Dadurch kann eine solche Spiegelgalvanometereinheit größer werden. Dagegen ist es bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel nicht nötig, das Spiegelgalvanometer zu vergrößern, weil es keine primäre Resonanz­ frequenz gibt.
Fig. 12 und 13 zeigen eine perspektivische Ansicht und eine Schnittansicht einer Spiegelgalvanometereinheit gemäß eines zweiten Ausführungsbeispieles. Der Galvanospiegel 26 ist an einem Spiegelhalter 70 angeordnet, der drehbar an ei­ nem Stator 80 gelagert ist, wie in Fig. 12 und 13 gezeigt.
Ein Paar Zentrierstifte 71 und 72 sind an dem Stator 80 angeordnet und schließen den Spiegelhalter 70 vertikal ein, wie in Fig 13 gezeigt. Dadurch wird der Spie­ gelhalter 70 drehbar gelagert. Die Zentrierstifte 71 und 72 sind längs einer Achse angeordnet, die die Drehachse Z des Spiegelhalters 70 definiert. Ein Paar Lager­ schalen 73 und 74, in denen die Zentrierstifte 71 und 72 gelagert sind, sind oben und unten an dem Spiegelhalter 70 angeordnet.
Fig. 14 zeigt eine vergrößerte Darstellung des oberen Zentrierstiftes 71 und der oberen Lagerschale 73. Die Verbindungsstelle des Zentrierstiftes 71(72) mit der Lagerschale 73 (74) ist ähnlich ausgebildet wie die Verbindungsstelle des Zen­ trierstiftes 51 (52) mit der Lagerschale 53 (54) des ersten Ausführungsbeispieles (Fig. 10).
Wie in Fig. 13 zu sehen ist, ist der untere Zentrierstift 72 in einer Aussparung 80B im Boden des Stators 80 angeordnet. Der untere Zentrierstift 72 hat einen flan­ schähnlichen Bereich 72A, der die axiale Position des unteren Zentrierstiftes 72 bestimmt. Der obere Zentrierstift 71 ist in einer Aussparung 80A im oberen Be­ reich des Stators 80 mit einem Futter 75 angeordnet. Das Futter 75 hat eine zen­ trale Bohrung 75A, in der der obere Zentrierstift 71 angeordnet ist. Der äußere Durchmesser des oberen Zentrierstiftes 71 ist kleiner als der innere Durchmesser der Bohrung 75A des Futters 75, so daß der obere Zentrierstift 71 in dem Futter 75 in axialer Richtung beweglich ist.
Auf der Oberseite des Stators 80 ist eine Blattfeder 82 angeordnet, die den obe­ ren Zentrierstift 71 niederdrückt. Ein Ende der Blattfeder 82 ist an dem Stator 80 mit einer Schraube 83 befestigt, wohingegen das andere Ende der Blattfeder 82 auf dem oberen Zentrierstift 71 angeordnet ist. Durch die Vorspannung der Blatt­ feder 82 kann das Spiel zwischen dem Zentrierstift 71 (72) und der Lagerschale 73 (74) eliminiert werden. Wie Fig. 15 zeigt, hat die Blattfeder 82 eine erste Ein­ griffsbohrung 82A, in der die Schraube 83 angeordnet ist, und eine zweite Ein­ griffsbohrung 82B, die weiter unten beschrieben wird.
Der obere Zentrierstift 71 hat an seinem oberen Ende einen Vorsprung 71C, damit ein Verkippen vermieden werden kann. Der Vorsprung 71C greift in die zweite Eingriffsbohrung 82B. Durch die Verbindung des Vorsprungs 71C und der zweiten Eingriffsbohrung 82B wird ein Verkippen des oberen Zentrierstiftes 71 (in der Bohrung 75A des Futters 75) vermieden.
Eine Anordnung (Antriebsspulen und Antriebsmagnete) zum Betätigen des Gal­ vanospiegels 26 des zweiten Ausführungsbeispieles ist ähnlich wie beim ersten Ausführungsbeispiel angeordnet (Fig. 7).
Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel kann durch die Vorspannung der Blattfeder 82 das Spiel zwischen dem Zentrierstift 71 (72) und der Lagerschale 73 (74) eli­ miniert werden. Da der Vorsprung 71C des oberen Zentrierstiftes 71 außerdem in die zweite Eingriffsbohrung 82B der Blattfeder 82 eingreift, wird ein Verkippen des oberen Zentrierstiftes 71 (in der Bohrung 75A des Futters 75) verhindert. Dadurch wird die Drehung des Galvanospiegels 26 stabilisiert.
Fig. 16 zeigt eine Schnittansicht einer Spiegelgalvanometereinheit gemäß einer ersten Modifikation eines zweiten Ausführungsbeispieles. Bei dieser Modifikation wird der Zentrierstift 71 durch ein Paar Blattfedern 84 und 85 vorgespannt, die einander gegenüberliegen. Ein Ende des Paares Blattfedern 84 und 85 ist am oberen Bereich des Stators 80 mit einer Schraube 83 befestigt, wohingegen das andere Ende auf dem oberen Zentrierstift 71 angeordnet ist. Distanzscheiben 86 und 87 sind zwischen den Blattfedern 84 und 85 so angeordnet, daß diese paral­ lel zueinander verlaufen. Die Distanzscheiben 86 und 87 sind auf die Blattfedern 84 und 85 aufgeklebt. Die untere Blattfeder 84 ist ähnlich der Blattfeder 82 des zweiten Ausführungsbeispieles (Fig. 15) ausgebildet und hat eine Eingriffsboh­ rung, in die der Vorsprung 71C des oberen Zentrierstiftes 71 eingreift. Die obere Blattfeder 85 unterscheidet sich von der Blattfeder 82 dadurch, daß die obere Blattfeder 85 keine Eingriffsbohrung hat, in die der Vorsprung 71C des oberen Zentrierstiftes 71 eingreift. Dadurch wirken die Blattfedern 84 und 85 wie ein ein­ heitliches Federglied.
Weil zwei Blattfedern 84 und 85 gemäß der ersten Modifikation des zweiten Aus­ führungsbeispieles als Vorspannglied zum Vorspannen des oberen Zentrierstiftes 71 dienen, ist das Vorspannglied verhältnismäßig starr. Es können auch drei oder mehr Blattfedern verwendet werden.
Fig. 17 zeigt eine Schnittansicht einer Spiegelgalvanometereinheit gemäß einer zweiten Modifikation des zweiten Ausführungsbeispieles. Darin hat ein oberer Zentrierstift 76 einen konischen unteren Bereich 71A und eine abgerundete obere Oberfläche. Ein unterer Zentrierstift 72 und Lagerschalen 73 und 74 sind ähnlich wie bei dem zweiten Ausführungsbeispiel (Fig. 13).
Eine Blattfeder 88 ist am oberen Bereich des Stators 80 mit einer Schraube 83 so angeordnet, daß die Blattfeder 88 gegen die Drehachse Z des Galvanospiegels 26 geneigt ist. Ein Klebstoff ist in einem Zwischenraum 89 zwischen der abgerun­ deten oberen Oberfläche des oberen Zentrierstiftes 76 und der Blattfeder 88 so angeordnet, daß der obere Zentrierstift 76 mit der Blattfeder 88 verklebt ist.
Anstatt der Blattfeder 88 kann auch die Blattfeder 82 des zweiten Ausführungs­ beispieles (Fig. 15) verwendet werden. In diesem Fall kann der Klebstoff in der Eingriffsbohrung 82A der Blattfeder 82 angeordnet sein.
Weil der obere Zentrierstift 76 mit der Blattfeder 88 gemäß der zweiten Modifika­ tion des zweiten Ausführungsbeispieles verklebt ist, wird eine Abweichung der Neigung des oberen Zentrierstiftes 76 (in dem Futter 75) verhindert. Dadurch wird die Drehung des Galvanospiegels 26 stabilisiert.
Fig. 18 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel einer Spiegelgalvanometereinheit in einer Schnittansicht. Fig. 19 ist eine vergrößerte Darstellung eines oberen Zen­ trierstiftes 78 des dritten Ausführungsbeispieles. Wie aus Fig. 19 ersichtlich, hat der obere Zentrierstift 78 einen abgerundeten oberen Bereich 78C und einen ko­ nischen unteren Bereich 78A. Der Scheitel 78B des konischen unteren Bereiches 78A ist abgerundet. Der obere Zentrierstift 78 ist, wie in Fig. 18 gezeigt, in dem Futter 75 angeordnet, das an dem Stator 80 befestigt ist. Das Futter 75 ist ähnlich dem des zweiten Ausführungsbeispieles (Fig. 13) und hat eine Bohrung, in der der obere Zentrierstift 78 beweglich angeordnet ist. Der Zentrierstift 78 (72) ist in der Lagerschale 73 (74) in ähnlicher Weise angeordnet wie der Zentrierstift 51 (52) in der Lagerschale 53 (54) gemäß des ersten Ausführungsbeispieles (Fig. 10).
Im oberen Bereich des Stators 80 ist eine Blattfeder 90 so angeordnet, daß sie den oberen Zentrierstift 78 nach unten hin vorspannt. Ein Ende der Blattfeder 90 ist an dem Stator 80 mit einer Schraube 83 befestigt. Das andere Ende der Blatt­ feder 90 ist aufwärts gebogen, wodurch eine gebogener Bereich 91 ausgebildet wird. Der gebogene Bereich 91 berührt den abgerundeten oberen Bereich 78C des oberen Zentrierstiftes 78 an dessen Rand. Dadurch drückt die Blattfeder 90 den oberen Zentrierstift 78 diagonal abwärts, wie in Fig. 19 durch einen Pfeil an­ gedeutet ist. Weil die Kraft auf den oberen Zentrierstift 78 diagonal abwärts ge­ richtet ist, ist der Zentrierstift 78 in die Richtung geneigt, in die der abgerundete obere Bereich des oberen Zentrierstiftes 78 in Richtung auf die Rückseite des Spiegelgalvanometers verschoben ist.
Fig. 20 ist eine Aufsicht auf die Blattfeder 90. An einem Ende der Blattfeder 90 ist eine Bohrung 90A zur Aufnahme der Schraube 83 angeordnet. An dem anderen Ende der Blattfeder 90 ist der gebogene Bereich 91 ausgebildet.
Das dritte Ausführungsbeispiel hat eine ähnliche Anordnung (Antriebsspulen und Antriebsmagnete) zum Antrieb des Galvanospiegels 26 wie das erste Ausfüh­ rungsbeispiel (Fig. 7).
Bei diesem dritten Ausführungsbeispiel wird ein Spiel zwischen dem Zentrierstift 78 (72) und der Lagerschale 73 (74) durch die Vorspannung der Blattfeder 90 vermieden. Außerdem ist der obere Zentrierstift 78 in einer festen Richtung ge­ neigt, weil die Blattfeder 90 den oberen Zentrierstift 78 diagonal abwärts drückt. Dadurch ist die Richtung, in der der obere Zentrierstift 78 in dem Futter 75 ge­ neigt ist, vorbestimmt. Eine Abweichung der Neigung des oberen Zentrierstiftes 78 wird somit vermieden. Auf diese Weise wird die Drehung des Galvanospiegels 26 stabilisiert.
Fig. 21 zeigt einen Schnitt durch eine Spiegelgalvanometereinheit gemäß einer ersten Modifikation des dritten Ausführungsbeispieles. Anders als die Blattfeder 90 des dritten Ausführungsbeispieles hat eine Blattfeder 92 der ersten Modifika­ tion keinen gebogenen Bereich. Der obere Zentrierstift 78 wird dadurch geneigt, daß die Blattfeder 92 auf den Rand des abgerundeten oberen Bereiches 78C des Zentrierstiftes 78 drückt.
Somit ist die Richtung vorbestimmt, in die sich der obere Zentrierstift 78 neigt. Ei­ ne Abweichung der Neigung des oberen Zentrierstiftes 78 wird dadurch vermie­ den. Die Drehung des Galvanospiegels 26 ist stabilisiert.
Fig. 22 zeigt den oberen Zentrierstift 78 und die Blattfeder 92 einer zweiten Modi­ fikation des dritten Ausführungsbeispieles. Bei dieser zweiten Modifikation hat der obere Zentrierstift 78 einen ebenen Bereich 79 an seinem abgerundeten oberen Bereich. Die Blattfeder 92 liegt an dem ebenen Bereich 79 des oberen Zentrier­ stiftes 78 fest an.
Weil die Blattfeder 92 fest an dem ebenen Bereich 79 anliegt, wird der obere Zentrierstift 78 mit dieser Anordnung sicher geneigt. Der Kontakt der Blattfeder 92 mit dem oberen Zentrierstift 78 ist folglich stabilisiert.
Fig. 23 zeigt eine Schnittansicht einer Spiegelgalvanometereinheit nach einem vierten Ausführungsbeispiel. Der Galvanospiegel 26 ist an einem Spiegelhalter 100 befestigt, der drehbar um eine Drehachse Z an einem Stator 110 gelagert ist. Ein Paar Zentrierstifte 101 und 102, zwischen denen der Spiegelhalter 100 in ver­ tikaler Richtung eingeklemmt ist, ist so an dem Stator 110 angeordnet, daß der Spiegelhalter 100 drehbar gelagert ist. Die Zentrierstifte 101 und 102 sind längs einer Achse angeordnet, die die Drehachse Z des Spiegelhalters 100 definiert. Zwei Lagerschalen 103 und 104 zur Aufnahme der Zentrierstifte 101 und 102 sind oben und unten an dem Spiegelhalter 100 angeordnet.
Der untere Zentrierstift 102 mit einem konischen oberen Bereich, dessen Scheitel abgerundet ist, steckt fest in einer Bohrung im unteren Bereich des Stators 110. Die untere Lagerschale 104 hat eine konische Einbuchtung zur Aufnahme des abgerundeten Scheitels des unteren Zentrierstiftes 102. Der obere Zentrierstift 101 ist als Teil einer Blattfeder 112 an deren einem Ende ausgebildet. Die Blatt­ feder 112 ist mit einer Schraube 113 an dem dem Zentrierstift 101 abgewandten Ende im oberen Bereich des Stators 110 befestigt.
Der obere Zentrierstift 101 hat die Form eines Zylinders mit einem abgerundeten unteren Bereich. Der abgerundete untere Bereich des Zentrierstiftes 101 greift in die konische Oberfläche der oberen Lagerschale 103. Dadurch ist der Spiegelhal­ ter 100 mit den Zentrierstiften 101 und 102 und den Lagerschalen 103 und 104 drehbar gelagert.
Die Anordnung (Antriebsspulen und Antriebsmagnete) zur Betätigung des Galva­ nospiegels 26 gemäß des vierten Ausführungsbeispieles ist ähnlich wie die des ersten Ausführungsbeispieles (Fig. 7).
Bei dem vierten Ausführungsbeispiel wird ein Spiel zwischen den Zentrierstiften 101, 102 und den Lagerschalen 103, 104 durch die Vorspannung der Blattfeder 112 eliminiert. Die Anzahl der Bauteile läßt sich dadurch reduzieren, daß der obere Zentrierstift 101 aus einem Teil der Blattfeder 112 besteht. Außerdem kann der obere Zentrierstift 101 nicht verkippen, weil er nur in axialer Richtung beweg­ lich ist. Auf diese Weise wird die Drehung des Galvanospiegels 26 stabilisiert.
Fig. 24 zeigt in einer Schnittansicht eine Modifikation des vierten Ausführungsbei­ spieles einer Spiegelgalvanometereinheit, bei der ein oberer Zentrierstift 105 aufwärts gerichtet an der Oberseite des Spiegelhalters 100 angeordnet ist. Der obere Bereich des oberen Zentrierstiftes 105 ist abgerundet. Eine Blattfeder 114 mit einer Einbuchtung 115, die den oberen Bereich des oberen Zentrierstiftes 105 aufnimmt, ist an der Oberseite des Stators 110 angeordnet. Die Einbuchtung 115 hat eine konische Oberfläche, in die der abgerundete obere Bereich des oberen Zentrierstiftes 105 eingreift. Der untere Zentrierstift 103 und die untere Lager­ schale 104 sind ähnlich denen des vierten Ausführungsbeispieles. Dadurch ist der Spiegelhalter 100 drehbar mit den Zentrierstiften 105 und 102, der Einbuch­ tung 115 (der Blattfeder 114) und der Lagerschale 104 gelagert.
Weil der obere Zentrierstift 105 von der Einbuchtung 115 der Blattfeder 114 auf­ genommen wird, ist es bei dieser Anordnung nicht notwendig, eine weitere Lager­ schale zur Aufnahme des oberen Zentrierstiftes 105 anzuordnen. Dadurch läßt sich die Anzahl der Bauteile reduzieren. Außerdem wird ein Verkippen des Spie­ gelhalters 100 verhindert.
Fig. 25 und 26 zeigen eine perspektivische Ansicht und eine Schnittansicht einer Spiegelgalvanometereinheit nach einem fünften Ausführungsbeispiel. An einem Stator 130 ist ein Spiegelhalter 120 mit einem daran befestigten Galvanospiegel 26 drehbar um eine Drehachse Z gelagert. Um den Spiegelhalter 120 drehbar zu lagern, ist ein Paar Zentrierstifte 121 und 122 an der Oberseite und an der Unter­ seite des Spiegelhalters 120 angeordnet. Die Zentrierstifte 121 und 122 sind in einer Achse angeordnet, die die Drehachse Z definiert. An der Oberseite und an der Unterseite des Stators 130 sind Lagerschalen 123 und 124 zur Aufnahme der Zentrierstifte 121 und 122 angeordnet. Die untere Lagerschale 124 steckt fest in einer Bohrung im Boden des Stators 130, wohingegen die obere Lagerschale 123 an einer Blattfeder 132 befestigt ist, die an der Oberseite des Stators 130 ange­ ordnet ist. Jeder der Zentrierstifte 121 und 122 hat einen konischen Bereich mit einem abgerundeten Scheitel. Jede der Lagerschalen 123 und 124 hat eine Ein­ buchtung mit einer konischen Oberfläche. Der abgerundete Scheitel des oberen Zentrierstiftes 121 faßt in die konische Oberfläche der Lagerschale 123 und der abgerundete Scheitel des unteren Zentrierstiftes faßt in die konische Oberfläche der Lagerschale 124. Dadurch sind die Zentrierstifte 121 und 122 in den Lager­ schalen 123 und 124 gelagert. Das Spiel zwischen den Zentrierstiften 121 und 122 und den Lagerschalen 123, 124 kann durch die Federkraft der Blattfeder 132 eliminiert werden.
Bei dem fünften Ausführungsbeispiel ist eine Anordnung (Antriebsspulen und An­ triebsmagnete) zum Betätigen des Galvanospiegels 26 ähnlich wie bei dem er­ sten Ausführungsbeispiel (Fig. 7).
Ein Verkippen des Spiegelhalters 120 wird bei dem fünften Ausführungsbeispiel dadurch verhindert, daß die obere Lagerschale 123 an der Blattfeder 132 ange­ ordnet ist. Die Drehung des Galvanospiegels 26 wird so stabilisiert.
Fig. 27 zeigt ein sechstes Ausführungsbeispiel einer Spiegelgalvanometereinheit in einer perspektivischen Explosionsansicht. Ein Galvanospiegel 26 ist an einem Spiegelhalter 140 angeordnet, der drehbar um eine Drehachse Z ist. Der Spiegel­ halter 140 ist in ähnlicher Weise wie bei dem zweiten Ausführungsbeispiel (Fig. 13) mit Zentrierstiften 141 und 142 und Lagerschalen 143 und 144 (Lagerschale 144 ist nicht eingezeichnet) drehbar gelagert. Der Aufbau des Stators entspricht dem des Stators 80 des zweiten Ausführungsbeispieles (Fig. 13). Bei dem sech­ sten Ausführungsbeispiel sind Antriebsspulen 146 und 147 an dem Stator (nicht eingezeichnet) angeordnet, und Antriebsmagnete 148 und 149 sind an dem Spie­ gelhalter 140 angeordnet.
Fig. 28 zeigt eine Ansicht eines Schnittes senkrecht zur Drehachse Z durch eine Spiegelgalvanometereinheit. Der Antriebsmagnet 148 hat ein vorderes und ein hinteres Segment 148A und 148B. Die Segmente 148A und 148B des Antriebs­ magneten 148 sind mit entgegengesetzter Polarität zueinander polarisiert. Im ein­ zelnen ist der N-Pol des vorderen Segmentes 148A und der S-Pol des hinteren Segmentes 148B der Antriebsspule 148 gegenüberliegend angeordnet. Ähnlich hat der Antriebsmagnet 149 ein vorderes und ein hinteres Segment 149A und 149B. Der S-Pol des vorderen Segmentes 149A und der N-Pol des hinteren Seg­ mentes 149B sind der Antriebsspule 147 gegenüberliegend angeordnet.
Weil bei dem sechsten Ausführungsbeispiel die Antriebsspulen 146 und 147 nicht an dem Spiegelhalter 140 angeordnet sind sondern an dem Stator (nicht einge­ zeichnet), ergibt sich eine einfache Anordnung der elektrischen Verbindungen (zur elektrischen Versorgung der Antriebsspulen 146 und 147).
Fig. 29 zeigt eine Modifikation des sechsten Ausführungsbeispieles einer Spie­ gelgalvanometereinheit. Bei dieser Modifikation ist ein Galvanospiegel 26 an ei­ nem Spiegelhalter 140 angeordnet, der drehbar um eine Drehachse Z ist. Der Spiegelhalter 140 ist in ähnlicher Weise wie bei dem fünften Ausführungsbeispiel (Fig. 25) mit Zentrierstiften 151 und 152 (Zentrierstift 152 ist nicht eingezeichnet) und Lagerschalen 153 und 154 drehbar gelagert. Der Aufbau des Stators ist ähn­ lich wie bei dem Stator 130 (Fig. 26) des fünften Ausführungsbeispieles. Die Zen­ trierstifte 151 und 152 sind an der Oberseite und an der Unterseite des Spiegel­ halters 140 angeordnet, wohingegen die Lagerschalen 153 und 154 an dem nicht gezeigten Stator angeordnet sind. Die Zentrierstifte 151, 152 greifen in ähnlicher Weise in die Lagerschalen 153, 154 wie bei dem fünften Ausführungsbeispiel (Fig. 26).
Gemäß dem sechsten Ausführungsbeispiel ergibt sich eine einfache Anordnung der elektrischen Verbindungen (zur elektrischen Versorgung der Antriebsspulen 146 und 147).
Fig. 30 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Spiegelgalvanometereinheit nach einem siebten Ausführungsbeispiel. Ein Galvanospiegel 26 ist an einem Spiegel­ halter 155 aus einem Kunststoffmagneten angeordnet, der drehbar um eine Dreh­ achse Z ist. Der Spiegelhalter 155 ist mit Zentrierstiften 141 und 142 und Lager­ schalen 143 und 144 (Lagerschale 144 ist nicht eingezeichnet) in ähnlicher Weise wie beim zweiten Ausführungsbeispiel (Fig. 13) drehbar gelagert. Der Auf­ bau des Stators ist ähnlich dem des zweiten Ausführungsbeispieles (Fig. 13). Ein Paar Antriebsspulen 158 und 159 sind so an dem Stator angeordnet, daß die An­ triebsspulen 158 und 159 den seitlichen Enden des Spiegelhalters 155 gegen­ überliegen.
Fig. 31 zeigt eine Ansicht eines Schnittes senkrecht zur Drehachse Z durch eine Spiegelgalvanometereinheit. Der Spiegelhalter 155 hat einen vorderen und einen hinteren Bereich 156 und 157, die in zueinander entgegengesetzter Richtung ma­ gnetisiert sind. Der N-Pol des vorderen Bereiches 156 und der S-Pol des hinteren Bereiches 157 sind der Antriebsspule 158 gegenüberliegend angeordnet, wohin­ gegen der S-Pol des vorderen Bereiches 156 und der N-Pol des hinteren Berei­ ches 157 der Antriebsspule 159 gegenüberliegend angeordnet sind. Wenn ein Strom durch die Antriebsspulen 158 und 159 fließt, dreht sich der Spiegelhalter 155 durch elektromagnetische Induktion, die von einem Magnetfeld (verursacht von dem Spiegelhalter 155) und einem Stromfluß durch die Antriebsspulen 158 und 159 erzeugt wird.
Der Aufbau des Spiegelhalters 155 kann entsprechend des siebten Ausführungs­ beispieles dadurch vereinfacht werden, daß es nicht notwendig ist, separate Ma­ gnete an dem Spiegelhalter 155 anzuordnen.
Fig. 32 und 33 zeigen eine perspektivische Ansicht und eine Schnittansicht einer Spiegelgalvanometereinheit gemäß eines achten Ausführungsbeispieles. Fig. 34 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Galvanospiegels 160 des achten Ausfüh­ rungsbeispieles. Der würfelförmige Galvanospiegel 160 hat eine Spiegelfläche 160A, wie in Fig. 34 gezeigt. Zentrierstifte 161 und 162 sind gemäß Fig. 33 an ei­ nem Stator 170 so angeordnet, daß der Galvanospiegel 160 zwischen den Zen­ trierstiften 161 und 162 eingeklemmt ist. Die Zentrierstifte 161 und 162 sind längs einer Achse angeordnet, die die Drehachse Z bestimmt. Wie in Fig. 33 zu sehen ist, sind die Zentrierstifte 161 und 162 in konischen Einbuchtungen 163 und 164 im oberen und unteren Bereich des Galvanospiegels 160 gelagert. Jeder der Zentrierstifte 161 und 162 hat einen konischen Bereich mit einem abgerundeten Scheitel. Die abgerundeten Scheitel der Zentrierstifte 161 und 162 sind in den konischen Einbuchtungen 163 und 164 angeordnet.
Antriebsmagnete 176 und 177 sind gemäß Fig. 32 an dem Stator 170 (Fig. 33) angeordnet. Antriebsspulen 166 und 167 sind an den seitlichen Enden der Gal­ vanospiegels 160 den Antriebsmagneten 176 und 177 gegenüberliegend ange­ ordnet. Wenn Strom durch die Antriebsspulen 166 und 167 fließt, dreht sich der Galvanospiegel 160 durch elektromagnetische Induktion, die von einem Magnet­ feld der Antriebsmagnete 176 und 177 und dem Stromfluß durch die Antriebsspu­ len 166 und 167 verursacht wird.
Da nach dem achten Ausführungsbeispiel kein Spiegelhalter benötigt wird, um den Galvanospiegel zu halten, kann der Aufbau der Spiegelgalvanometereinheit vereinfacht werden.
Fig. 35 zeigt eine Modifikation des achten Ausführungsbeispieles einer Spiegel­ galvanometereinheit, bei der Antriebsmagnete 168 und 169 an den seitlichen En­ den des Galvanospiegels 160 angeordnet sind. Antriebsspulen 178 und 179 sind den Antriebsmagneten 168 und 169 gegenüberliegend an einem nicht gezeigten Stator angeordnet.
Weil bei dieser Anordnung die Antriebsspulen 178 und 179 nicht an dem Galva­ nospiegel 160, sondern an dem Stator angeordnet sind, wird die Anordnung der elektrischen Verbindungen (zur elektrischen Versorgung der Antriebsspulen 178 und 179) vereinfacht. Das führt zu einer weiteren Vereinfachung des Aufbaus der Spiegelgalvanometereinheit.
Fig. 36 zeigt eine Schnittansicht einer Spiegelgalvanometereinheit gemäß des neunten Ausführungsbeispieles. Der Galvanospiegel 26 ist an einem Spiegelhal­ ter 200 angeordnet, der drehbar an einem Stator 210 gelagert ist. Zentrierstifte 201 und 202 sind so angeordnet, daß der Spiegelhalter 200 zwischen den Zen­ trierstiften 201 und 202 eingeklemmt ist. Die Zentrierstifte 201 und 202 sind längs einer Achse angeordnet, die die Drehachse Z definiert. Die Zentrierstifte 201 und 202 sind in Lagerschalen 203 und 204 an dem Spiegelhalter 200 gelagert. Der obere Zentrierstift 201 ist in einem Futter 205 im oberen Bereich des Stators 210 so angeordnet, daß der obere Zentrierstift 201 in axialer Richtung beweglich in dem Futter 205 ist. Das Futter 205 hat an seiner Innenseite einen Vorspannma­ gnet 206.
Fig. 37 und 38 zeigen eine perspektivische Ansicht und eine Schnittansicht des oberen Zentrierstiftes 201 und des Vorspannmagneten 206. Der Vorspannmagnet 206 ist ringförmig. Der obere Zentrierstift 201 besteht aus einem nichtmagneti­ schen Material, wie z. B. nichtmagnetischer Edelstahl oder nichtmagnetische Ke­ ramik. Der obere Zentrierstift 201 hat in seinem oberen Bereich ein Magnet­ plättchen 207. Das Magnetplättchen 207 ist so magnetisiert, daß die Oberseite der N-Pol und die Unterseite der S-Pol ist. Der Vorspannmagnet 206 hat zwei Halbringe 206A und 206B. Die Halbringe 206A und 206B sind so magnetisiert, daß deren innere Oberfläche der N-Pol und deren äußere Oberfläche der S-Pol ist. Wie Fig. 38 zeigt, wird der S-Pol des Magnetplättchens 207 von dem N-Pol der inneren Oberfläche des Vorspannmagneten 206 angezogen. Auf diese Weise wird der obere Zentrierstift 201 abwärts gedrückt. Dadurch wird ein Spiel zwi­ schen den Zentrierstiften 201, 202 und den Lagerschalen 203, 204 ausgeschlos­ sen.
Bei dem neunten Ausführungsbeispiel ist die Anordnung (Antriebsspulen und An­ triebsmagnete) zur Betätigung des Galvanospiegels 26 ähnlich wie beim ersten Ausführungsbeispiel (Fig. 7).
Weil die Vorspannkraft durch den Vorspannmagnet 206 und das Magnetplättchen 207 erzeugt wird, ist ein separates Federglied zum Vorspannen des oberen Zen­ trierstiftes 201 beim neunten Ausführungsbeispiel nicht notwendig. Dadurch wird der Aufbau der Spiegelgalvanometereinheit vereinfacht. Das Magnetplättchen 207 kann auch aus einem ferromagnetischen Material bestehen.
Fig. 39 zeigt eine Weiterbildung des neunten Ausführungsbeispieles, bei dem ein oberer Zentrierstift 221 ein Magnetplättchen 222 in seinem in axialer Richtung mittleren Bereich hat. Zwei Vorspannmagnete 223 und 224 sind so an dem Futter 205 angeordnet, daß das Magnetplättchen 222 zwischen den Vorspannmagneten 223 und 224 angeordnet ist.
Fig. 40 und 41 zeigen eine perspektivische Ansicht und eine Schnittansicht des oberen Zentrierstiftes 221 und der Vorspannmagnete 223 und 224. Gemäß Fig. 40 ist der obere Vorspannmagnet 223 ringförmig und hat zwei Halbringe 223A und 223B. Die Halbringe 223A und 223B sind so magnetisiert, daß deren innere Fläche deren N-Pol und deren äußere Fläche der S-Pol ist. Der Aufbau des unte­ ren Vorspannmagneten 224 ist ähnlich dem des oberen Vorspannmagneten 223. Wie in Fig. 41 gezeigt, ist das Magnetplättchen 222 so magnetisiert, daß seine Oberseite der N-Pol und seine Unterseite der S-Pol ist. Dadurch wird das Ma­ gnetplättchen 222 von dem oberen Vorspannmagneten 223 abgestoßen und von dem unteren Vorspannmagneten 224 angezogen. Somit wird der obere Zentrier­ stift 221 abwärts gedrückt. Auf diese Weise wird das Spiel zwischen den Zen­ trierstiften 221, 202 und den Lagerschalen 203, 204 eliminiert.
Weil die Rückstellkraft bei einer solchen Anordnung durch die Vorspannmagnete 223 und 224 und das scheibenförmige Magnetplättchen 222 erzeugt werden kann, läßt sich eine verhältnismäßig große Vorspannkraft erzielen. Das Magnet­ plättchen 222 kann auch aus einem ferromagnetischen Material bestehen.
Fig. 42 zeigt ein zehntes Ausführungsbeispiel einer Spiegelgalvanometereinheit in einer Schnittansicht. Bei diesem zehnten Ausführungsbeispiel gibt es eine Vor­ spannspule 235, die anstelle des Vorspannmagneten 206 des neunten Ausfüh­ rungsbeispieles einen oberen Zentrierstift 231 nach unten hin vorspannt. Ein Spiegelhalter 200 und ein Stator 210 sind ähnlich wie die des neunten Ausfüh­ rungsbeispieles (Fig. 36). Der Spiegelhalter 200 ist mit den Zentrierstiften 231 und 202 und den Lagerschalen 203 und 204 drehbar an dem Stator 210 gelagert. Der obere Zentrierstift 231 ist mit einem Futter 205 so an der Oberseite des Sta­ tors 210 angeordnet, daß der obere Zentrierstift 231 in axialer Richtung in dem Futter 205 beweglich ist.
Fig. 43 und 44 zeigen den oberen Zentrierstift 231 und die Vorspannspule 235 in einer perspektivischen Ansicht und in einer Schnittansicht. Der obere Zentrierstift 231 besteht aus einem nichtmagnetischen Material wie z. B. nichtmagnetischer Edelstahl oder nichtmagnetische Keramik. Der obere Zentrierstift 231 hat an sei­ ner Oberseite ein Magnetplättchen 232. Das Magnetplättchen 232 ist so magne­ tisiert, daß an seiner Oberseite der N-Pol und an seiner Unterseite der S-Pol ist. Die Vorspannspule 235 ist in dem Futter 205 (Fig. 42) so angeordnet, daß die Vorspannspule 235 den oberen Zentrierstift 231 umgibt. Die Vorspannspule ist mit Zuleitungen 235A und 235B elektrisch mit einer nicht gezeigten Schaltung verbunden. Wie in Fig. 44 gezeigt ist, erzeugt ein Stromfluß durch die Vorspann­ spule 235 ein Magnetfeld (abwärtsgerichtet) in dem oberen Zentrierstift 231. Weil dieses Magnetfeld abwärts gerichtet ist, wird der S-Pol des Magnetplättchens 232 nach unten hin angezogen. Dadurch wird der obere Zentrierstift 231 nach unten hin vorgespannt, und das Spiel zwischen den Zentrierstiften 231, 202 und den Lagerschalen 203, 204 kann somit eliminiert werden.
Das zehnte Ausführungsbeispiel hat eine ähnliche Anordnung (Antriebsspulen und Antriebsmagnete) zur Betätigung des Galvanospiegels 26 wie das erste Ausführungsbeispiel (Fig. 7).
Bei dem zehnten Ausführungsbeispiel ist es nicht nötig, ein zusätzliches Feder­ glied zur Vorspannung des oberen Zentrierstiftes vorzusehen, weil die Vorspann­ kraft von der Vorspannspule 235 und dem oberen Zentrierstift 231 erzeugt wird. Das vereinfacht den Aufbau der Spiegelgalvanometereinheit. Weil sich die Vor­ spannkraft durch eine Änderung des Stromflusses durch die Vorspannspule 235 einstellen läßt, kann die Reibung, die bei einer Drehung des Spiegelhalters 200 entsteht, verändert werden, auch nachdem die Spiegelgalvanometereinheit mon­ tiert ist.
Fig. 45 zeigt eine Weiterbildung des zehnten Ausführungsbeispieles. Ein oberer Zentrierstift 241 hat bei dieser Weiterbildung ein Magnetplättchen 242, das in ei­ nem in axialer Richtung mittleren Bereich des Zentrierstiftes 241 angeordnet ist. Außerdem sind zwei Vorspannspulen 245 und 246 an dem Futter 205 so ange­ ordnet, daß das Magnetplättchen 242 zwischen den Vorspannspulen 245 und 246 liegt. Das Magnetplättchen 242 ist derart magnetisiert, daß es an seiner Oberseite einen N-Pol und an seiner Unterseite einen S-Pol hat.
Fig. 46 und 47 zeigen eine perspektivische Ansicht und eine Schnittansicht des oberen Zentrierstiftes 241 und der Vorspannspulen 245 und 246. Die Vorspann­ spulen 245 und 246 sind mit Zuleitungen 245A und 246A elektrisch mit einer nicht gezeigten Schaltung verbunden. Wenn ein Strom durch die Vorspannspulen 245 und 246 in derselben Richtung fließt, wird ein Magnetfeld (nach unten gerichtet) in dem oberen Zentrierstift 241 erzeugt. Wegen des abwärts gerichteten Magnet­ feldes wird der S-Pol des Magnetplättchens 242 von dem oberen Magnetfeld ab­ gestoßen, das der Strom durch die Vorspannspule 245 erzeugt, und der S-Pol wird von dem unteren Magnetfeld angezogen, das der Strom durch die Vorspann­ spule 246 erzeugt. Dadurch wird der obere Zentrierstift 241 nach unten gedrückt. Somit tritt zwischen den Zentrierstiften 241, 202 und den Lagerschalen 203, 204 kein Spiel auf.
Weil die Vorspannkraft durch die Vorspannspulen 245 und 246 und den oberen Zentrierstift 241 erzeugt werden kann, wird kein zusätzliches Federglied benötigt. Das vereinfacht den Aufbau der Spiegelgalvanometereinheit. Außerdem läßt sich die Reibung des Spiegelhalters 200 beim Drehen auch nach der Montage der Galvanomotoreinheit einstellen.
Fig. 48 zeigt einen Schnitt durch ein elftes Ausführungsbeispiel einer Spiegelgal­ vanometereinheit. Ein Galvanospiegel 26 ist an einem Spiegelhalter 250 befe­ stigt, der drehbar an einem Stator 260 angeordnet ist. An dem Stator 260 sind Zentrierstifte 251 und 252 so angeordnet, daß sie den Spiegelhalter 250 in verti­ kaler Richtung einklemmen. Die Zentrierstifte 251 und 252 sind längs einer Achse angeordnet, die die Drehachse Z bestimmt. Die Zentrierstifte 251 und 252 sind in Lagerschalen 253 und 254 gelagert, die an der Oberseite und an der Unterseite des Spiegelhalters 250 angeordnet sind. Der obere Zentrierstift 251 ist in einem Futter 255 an der Oberseite des Stators 250 so angeordnet, daß der obere Zen­ trierstift 251 in axialer Richtung beweglich in dem Futter 255 ist. An dem Stator 260 ist eine Blattfeder 262 angeordnet, die den oberen Zentrierstift 251 abwärts drückt. Ein Ende der Blattfeder 262 ist am vorderen Bereich des Stators 260 be­ festigt, wohingegen das andere Ende der Blattfeder 262 den oberen Bereich des oberen Zentrierstiftes 251 berührt. Dadurch ist der Spiegelhalter 250 mit den Zentrierstiften 251 und 252 und den Lagerschalen 253 und 254 drehbar an dem Stator 260 gelagert.
Zur Vermeidung einer Neigungsänderung des oberen Zentrierstiftes 251 (in dem Futter 255) ist ein Abzugsmagnet 256 an der Rückseite des Futters 255 angeord­ net. Fig. 49 und 50 zeigen den oberen Zentrierstift 251 und den Abzugsmagneten 256 in einer perspektivischen Ansicht und in einer Schnittansicht. Der Abzugsma­ gnet 256 hat eine gebogene Gestalt. Der obere Zentrierstift 251 besteht aus ei­ nem ferromagnetischen Material (z. B. ferromagnetischer Edelstahl). Der obere Zentrierstift 251 wird durch den Abzugsmagneten 256 nach hinten hin angezogen. Mit dieser Anordnung kann das Spiel zwischen den Zentrierstiften 251, 252 und den Lagerschalen 253, 254 dadurch eliminiert werden, daß der Zentrierstift 251 durch die Blattfeder 262 nach unten hin vorgespannt ist. Die Richtung der Nei­ gung des oberen Zentrierstiftes 251 (in dem Futter 255) ist dadurch bestimmt, daß der obere Zentrierstift 251 von dem Abzugsmagneten 256 nach hinten hin ge­ drückt wird.
Bei dem elften Ausführungsbeispiel ist die Anordnung (Antriebsspulen und An­ triebsmagnete) zur Betätigung des Galvanospiegels ähnlich wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel (Fig. 7).
Weil bei dem elften Ausführungsbeispiel der obere Zentrierstift 251 durch den Abzugsmagneten 256 und die Blattfeder 262 nach hinten hin gedrückt wird, wird eine Verkippung des oberen Zentrierstiftes 251 verhindert. Dadurch wird die Dre­ hung des Galvanospiegels 26 stabilisiert.
Fig. 51 zeigt eine Weiterbildung des elften Ausführungsbeispieles einer Spiegel­ galvanometereinheit in einer Schnittansicht. In dieser Weiterbildung besteht ein oberer Zentrierstift 265 aus einem Magneten. An der Vorder- und an der Rück­ seite des Futters 255 sind ein vorderer und ein hinterer Abzugsmagnet 266 und 267 angeordnet.
Fig. 52 und 53 zeigen eine perspektivische Ansicht und eine Schnittansicht des oberen Zentrierstiftes 265 und der Abzugsmagnete 266 und 267. Der obere Zen­ trierstift 265 hat einen vorderen und einen hinteren Bereich 265A und 265B, die durch eine die Achse des oberen Zentrierstiftes 265 enthaltende Ebene 265C ge­ trennt sind. Der vordere und der hintere Bereich 265A und 265B sind der S-Pol und der N-Pol. Der vordere und der hintere Abzugsmagnet 266 und 267 haben eine gebogene Struktur. Außerdem sind der vordere und der hintere Abzugsma­ gnet 266 und 267 so magnetisiert, daß deren innere Fläche der S-Pol und deren äußere Fläche der N-Pol ist. Wie Fig. 53 zeigt, ist der N-Pol des oberen Zen­ trierstiftes 265 dem S-Pol des hinteren Abzugsmagneten 267 gegenüberliegend angeordnet, wohingegen der S-Pol des oberen Zentrierstiftes 265 dem S-Pol des vorderen Abzugsmagneten 266 gegenüberliegend angeordnet ist. Dadurch wird der obere Zentrierstift 265 von dem vorderen Abzugsmagneten 266 abgestoßen und von dem hinteren Abzugsmagneten 267 angezogen, so daß der obere Zen­ trierstift 265 nach hinten hin gedrückt wird. Dadurch kann sich die Neigung des Spiegelhalters 250 nicht ändern, wodurch die Drehung des Galvanospiegels 26 stabilisiert wird.
Fig. 54 und 55 zeigen ein zwölftes Ausführungsbeispiel einer Spiegelgalvanome­ tereinheit in einer perspektivischen Ansicht und in einer Schnittansicht. Dabei ist der Galvanospiegel 26 an einem Spiegelhalter 250 befestigt. Der Spiegelhalter 250 ist mit Zentrierstiften 251 und 252 und Lagerschalen 253 und 254 ähnlich wie bei dem elften Ausführungsbeispiel (Fig. 48) an einem Stator 260 drehbar gela­ gert.
Damit der Spiegelhalter 250 in seine neutrale Position zurückgestellt wird, sind zwei Stellmagnete 271 und 272 um die untere Lagerschale 254 und den unteren Zentrierstift 252 angeordnet. Jeder der Stellmagnete 271 und 272 hat die Form eines Ringes. Der obere Stellmagnet 271 ist an dem Spiegelhalter 250 angeord­ net, und der untere Stellmagnet 272 ist an dem Stator 260 dem oberen Stellma­ gnet 271 gegenüberliegend angeordnet.
Fig. 56 zeigt die Stellmagneten 271 und 272 in einer perspektivischen Ansicht. Der obere Stellmagnet 271 hat einen vorderen Bereich 271A und einen hinteren Bereich 271B, die dessen S-Pol und N-Pol sind. Der untere Stellmagnet 272 hat ebenfalls einen vorderen Bereich 272A und einen hinteren Bereich 272B, die dessen N-Pol und S-Pol sind.
Auf diese Weise ist die neutrale Position der Drehung des Spiegelhalters 250 er­ reicht, wenn der N-Pol des oberen Stellmagneten 271 dem S-Pol des unteren Stellmagneten 272 gegenüberliegt, oder entsprechend der S-Pol des oberen Stellmagneten liegt dem N-Pol des unteren Stellmagneten 272 gegenüber. Dreht sich der Spiegelhalter 250 aus seiner neutralen Position, liegt der N-Pol des obe­ ren Stellmagneten 271 teilweise dem N-Pol des unteren Stellmagneten 272 ge­ genüber, oder entsprechend der S-Pol des oberen Stellmagneten 271 liegt teil­ weise dem S-Pol des unteren Stellmagneten 272 gegenüber. Das erzeugt eine abstoßende Kraft, die den Spiegelhalter 250 in seine neutrale Position zurück­ stellt. Die Anordnung (Antriebsspu 06120 00070 552 001000280000000200012000285910600900040 0002019828689 00004 06001len und Antriebsmagnete) zur Betätigung des Galvanospiegels ist bei dem zwölften Ausführungsbeispiel ähnlich wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel (Fig. 7).
Bei dem zwölften Ausführungsbeispiel wird der Galvanospiegel 26 in seine neu­ trale Drehposition zurückgestellt, ohne das ein zusätzliches Federglied benötigt wird.
Fig. 57 und 58 zeigen eine Spiegelgalvanometereinheit gemäß des dreizehnten Ausführungsbeispieles in einer perspektivischen Ansicht und in einer Schnittan­ sicht. Ein Galvanospiegel 26 ist an einem Spiegelhalter 300 befestigt, der an ei­ nem Stator 310 gelagert ist. Der Spiegelhalter 300 ist mit einem Paar Zentrierstif­ te 301 und 302 drehbar gelagert, die an der Oberseite und an der Unterseite des Spiegelhalters 300 angeordnet sind. Die Zentrierstifte 301 und 302 sind in Lager­ schalen 303 und 304 gelagert, die an der Oberseite und an der Unterseite des Stators 310 angeordnet sind. Die untere Lagerschale 304 ist in einer Bohrung des Stators 310 befestigt, wohingegen die obere Lagerschale 303 an einer Blattfeder 312 befestigt ist, die an der Oberseite des Stators 310 angeordnet ist. Um den Spiegelhalter 300 in seine Neutralstellung zurückzustellen, ist ein Stellmagnet 305 um den unteren Zentrierstift 302 herum angeordnet.
Fig. 58 zeigt in einer perspektivischen Ansicht den unteren Zentrierstift 302 und den unteren Stellmagnet 305. Fig. 59A und 59B zeigen eine Aufsicht und eine Schnittansicht des unteren Zentrierstiftes 302 und des Stellmagneten 305. Der untere Zentrierstift 302 hat einen vorderen Bereich 302A und einen hinteren Be­ reich 302B, die durch eine die Mittelachse des unteren Zentrierstiftes 302 enthal­ tende Ebene 302C getrennt sind. Der vordere Bereich 302A und der hintere Be­ reich 302B sind der S-Pol und der N-Pol. Der Stellmagnet 305 in Form eines Rin­ ges hat einen vorderen Halbring 305A und einen hinteren Halbring 305B. Der vordere Halbring 305A ist so magnetisiert, daß seine innere Fläche der N-Pol ist und daß seine äußere Fläche der S-Pol ist, wohingegen der hintere Halbring so magnetisiert ist, daß seine innere Fläche der S-Pol und seine äußere Fläche der N-Pol ist.
Auf diese Weise ist der Spiegelhalter 300 in seiner neutralen Drehposition, wenn der N-Pol des unteren Zentrierstiftes 302 dem S-Pol des Stellmagneten 305 ge­ genüberliegt, oder wenn der S-Pol des unteren Zentrierstiftes 302 dem N-Pol des Stellmagneten 305 gegenüberliegt. Wenn sich der Spiegelhalter 300 aus seiner neutralen Position herausdreht, liegt der N-Pol des unteren Zentrierstiftes 302 teilweise dem N-Pol des Stellmagneten 305 gegenüber, oder der S-Pol des unte­ ren Zentrierstiftes 302 liegt teilweise dem S-Pol des Stellmagneten 305 gegen­ über. Das verursacht eine Rückstellkraft, die den Spiegelhalter 300 in seine neu­ trale Position zurückdrückt. Das dreizehnte Ausführungsbeispiel hat eine ähnliche Anordnung (Antriebsspulen und Antriebsmagnete) zum Betätigen des Galva­ nospiegels 26 wie das erste Ausführungsbeispiel (Fig. 7).
Bei dem dreizehnten Ausführungsbeispiel wird der Galvanospiegel 26 in seine neutrale Drehposition zurückgestellt, ohne das ein separates Federglied benötigt wird.
Fig. 60 zeigt eine Weiterbildung des dreizehnten Ausführungsbeispieles. Bei die­ ser Weiterbildung hat ein unterer Zentrierstift 306 vier Bereiche, die durch zwei Ebenen geteilt werden, die einander senkrecht in der Längsachse des unteren Zentrierstiftes 306 schneiden. Die vier Bereiche sind ein S-Pol, ein N-Pol, ein S- Pol und ein N-Pol (entlang des Umfangs des unteren Zentrierstiftes 306). Ein ringförmiger Stellmagnet 307 hat vier bogenförmige Bereiche 307A, 307B, 307C und 307D, die jeweils einen Winkel von 90° beschreiben.
Der Spiegelhalter 300 befindet sich damit in seiner neutralen Drehposition, wenn die N-Pole des unteren Zentrierstiftes 306 den S-Polen des Stellmagneten 307 gegenüberliegen, bzw. wenn die S-Pole des unteren Zentrierstiftes 306 den N- Polen des Stellmagneten 307 gegenüberliegen. Wenn sich der Spiegelhalter 300 aus seiner neutralen Drehposition herausdreht, dann liegen die N-Pole des unte­ ren Zentrierstiftes 306 teilweise den N-Polen des Stellmagneten 307 gegenüber, bzw. die S-Pole des unteren Zentrierstiftes 306 liegen teilweise den S-Polen des Stellmagneten 307 gegenüber. Das bewirkt eine abstoßende Kraft, die den Spie­ gelhalter 300 in seine neutrale Drehposition zurückdrängt.
Mit einer solchen Anordnung wird der Galvanospiegel in seine neutrale Drehposi­ tion zurückgestellt, ohne daß ein zusätzliches Federglied benötigt wird.
In diesem Text sind Aufbau und Wirkungsweise von bevorzugten Ausführungs­ beispielen einer Spiegelgalvanometereinheit beschrieben worden. Weiterbildun­ gen und Abänderungen dieser Ausführungsbeispiele folgen ebenfalls dem Grundgedanken und gehören mit zum Umfang der Erfindung. Insbesondere kön­ nen die Ausführungsbeispiele in jeder Art Laufwerk für optische Speicherplatten angeordnet sein. Der Einsatz der Ausführungsbeispiele beschränkt sich nicht auf Laufwerke für optische Speicherplatten, die die Nahfeldaufnahme-Technologie benutzen.

Claims (51)

1. Spiegelgalvanometereinheit, bei der ein Rotor mit einem Galvanospiegel (26) drehbar an einem Stator (60, 80, 110, 130, 170, 210, 260, 310) ange­ ordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Rotor mit einer Lageranord­ nung mit mindestens einem Spitzenlager drehbar an dem Stator (60, 80, 110, 130, 170,210,260, 310) angeordnet ist.
2. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß der Rotor einen Spiegelhalter (50, 70, 100, 120, 140, 155, 200, 250, 300) hat, an dem der Galvanospiegel (26) befestigt ist.
3. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß der Rotor einen Galvanospiegelblock (160) mit einer Spiegelfläche (160A) hat.
4. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet daß der Galvanospiegelblock (160) einen ersten und einen zweiten Lager­ bereich (163, 164) hat.
5. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet daß die Lagerbereiche (163, 164) mit Lagersenkungen an einander abge­ wandten Seiten des Galvanospiegelblockes (160) angeordnet sind.
6. Spiegelgalvanometereinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Antriebsspulen (58, 59, 146, 147, 158, 159, 166, 167, 178, 179) an dem Rotor oder an dem Stator (60, 80, 110, 130, 170, 210, 260, 310) angeordnet sind, und daß den Antriebsspulen (58, 59, 146, 147, 158, 159, 166, 167, 178, 179) gegenüberliegend zwei An­ triebsmagnete (63, 64, 148, 149, 176, 177, 168, 169) an dem Stator (60, 80, 110, 130, 170, 210, 260, 310) oder an dem Rotor angeordnet sind.
7. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet daß die Antriebsmagnete eine erste und eine zweite den Antriebsspulen (158, 159) gegenüberliegende magnetisierte Seite des Rotors sind.
8. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Antriebsmagnete (148, 149) Bereiche mit N-Pol und S-Pol haben.
9. Spiegelgalvanometereinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Spitzenlager einen Lagerzapfen (51, 52, 71, 72, 101, 105, 141, 142, 201, 202, 221, 231, 241, 251, 252, 265, 301, 302, 306) mit einer runden Lagerspitze hat.
10. Spiegelgalvanometereinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Spitzenlager einen Lagerzapfen (51, 52, 71, 72, 76, 78, 102, 121, 122, 141, 142, 151, 152, 161, 162, 201, 202, 221, 231, 241, 251, 252, 265, 301, 302, 306) mit einer konischen Lagerspitze (51A, 71A, 78A) mit einem abgerundeten Scheitel (51B, 71B, 78B) hat.
11. Spiegelgalvanometereinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Spitzenlager einen Lagerzapfen (71, 76, 78, 101, 141, 201, 221, 231, 241, 251, 252, 265) hat, der in axialer Richtung beweglich in einer Bohrung (80A) des Stators (80, 210, 260) angeordnet ist.
12. Spiegelgalvanometereinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Spitzenlager einen Lagerstein (53, 54, 73, 74, 103, 104, 123, 124, 143, 144, 153, 154, 203, 204, 253, 254, 303, 304) mit einer Lagersenkung (53A, 73B, 115) hat.
13. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet daß der Lagerstein (53, 54, 73, 74, 123, 124, 143, 144, 153, 154, 203, 204, 253, 254, 303, 304) aus einem Material mit einem niedrigen Reibungskoef­ fizienten besteht.
14. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Lagerstein (53, 54, 73, 74, 123, 124, 143, 144, 153, 154, 203, 204, 253, 254, 303, 304) aus Rubin oder Saphir besteht.
15. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet daß die Lagersenkung in dem Rotor ausgebildet ist.
16. Spiegelgalvanometereinheit nach einem der Ansprüche 5 oder 12 bis 15 dadurch gekennzeichnet, daß die Lagersenkung (53A, 73B, 115) konisch ist.
17. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet daß die konische Lagersenkung (53A, 73B, 115) einen Scheitelwinkel von 80° bis 115° hat.
18. Spiegelgalvanometereinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Vorspannglied an dem Stator (80, 110, 130, 210, 260, 310) angeordnet ist, wobei das Vorspannglied die Lageran­ ordnung in axialer Richtung so vorspannt, daß kein axiales Lagerspiel auf­ tritt.
19. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet daß das Vorspannglied zusätzlich eine Änderung der Neigung des Lager­ zapfens (71, 76, 78, 101) verhindert.
20. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekenn­ zeichnet, daß mindestens ein Abschnitt des Lagerzapfens (201, 221, 231, 241) magnetisierbar ist, und daß das Vorspannglied mit einer magnetischen Kraft auf diesen Abschnitt einwirkt und dadurch die Lageranordnung vor­ spannt.
21. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet daß das Vorspannglied mindestens einen Vorspannmagneten (206, 223, 224) hat, und daß der magnetisierbare Abschnitt ein Magnetplättchen (207, 222) ist, das in einem vorbestimmten Bereich des Lagerzapfens (201, 221) angeordnet ist.
22. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet daß der Vorspannmagnet (206, 223, 224) ringförmig ist.
23. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Vorspannmagnet (206) zwischen dem Magnetplättchen (207) und dem Lagerstein (203) angeordnet ist, wobei der Vorspannmagnet (206) zum Vorspannen der Lageranordnung das Magnetplättchen (207) an­ zieht.
24. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet daß zwei ringförmige Vorspannmagneten (223, 224) vorgesehen sind, die zumindest annähernd senkrecht zur Drehachse angeordnet sind.
25. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet daß das Magnetplättchen (222) zwischen den beiden ringförmigen Vor­ spannmagneten (223, 224) angeordnet ist.
26. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet daß das Magnetplättchen (222) den einen ringförmigen Vorspannmagneten (224) anzieht und den anderen ringförmigen Vorspannmagneten (223) ab­ stößt.
27. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet daß das Vorspannglied mindestens eine Vorspannspule (235, 245, 246) hat, und daß der magnetisierbare Abschnitt ein Magnetplättchen (232, 242) ist, das in einem vorbestimmten Bereich des Lagerzapfens (231, 241) angeord­ net ist, wobei die Vorspannspule (235, 245, 246) den Lagerzapfen (231, 241) umgebend an dem Stator (210) angeordnet ist, und wobei die Lageran­ ordnung vorgespannt wird, wenn ein Strom durch die Vorspannspule (235, 245, 246) fließt.
28. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet daß die Vorspannspule (235) zwischen dem Magnetplättchen (232) und dem Lagerstein (203) angeordnet ist.
29. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet daß das Magnetplättchen (242) zwischen zwei Vorspannspulen (245, 246) angeordnet ist.
30. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 27, 28 oder 29, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die magnetische Kraft zum Vorspannen der Lageranord­ nung durch eine Veränderung des Stromes durch die Vorspannspule (235, 245, 246) eingestellt werden kann.
31. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Vorspannglied mindestens eine Blattfeder (82, 84, 85, 88, 90, 92, 112, 114, 132, 262, 312) hat.
32. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet daß die Blattfeder (82, 84) eine Eingriffsbohrung (82B) hat, und daß der La­ gerzapfen einen Vorsprung (71C) hat, der in die Eingriffsbohrung (82B) greift.
33. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet daß der Lagerzapfen an der Blattfeder befestigt ist.
34. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet daß der Lagerzapfen (71, 76) mit der Blattfeder (82, 88) verklebt ist.
35. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet daß der Lagerzapfen (101) als Teil der Blattfeder (112) ausgebildet ist.
36. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet daß der Lagerstein (123, 303) an der Blattfeder (132, 312) befestigt ist.
37. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet daß der Lagerstein als Teil der Blattfeder ausgebildet ist.
38. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet daß eine Lagersenkung (115) in der Blattfeder (114) ausgebildet ist.
39. Spiegelgalvanometereinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Abzugsglied an dem Stator (80, 260) so angeordnet ist, daß der Lagerzapfen (78, 251, 265) durch das Abzugsglied in einer vorbestimmten Richtung geneigt ist.
40. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet daß eine Blattfeder (90, 92) als Abzugsglied an einem äußeren Bereich des Lagerzapfens (78) angreift.
41. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet daß die Blattfeder (90) ein ebenes Plättchen mit einem gebogenen Bereich (91) an einem Längsende ist, wobei der gebogene Bereich (91) den Lager­ zapfen (78) berührt.
42. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet daß der Lagerzapfen (78) eine gegen seine Achse geneigte Kontaktfläche (79) hat, an der die Blattfeder (92) angreift.
43. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet daß der Lagerzapfen (251, 265) magnetisierbar ist, und daß das Abzugs­ glied mindestens einen Abzugsmagneten (256, 266, 267) hat, der den La­ gerzapfen (251, 265) in eine vorbestimmte Richtung hin anzieht.
44. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 43, dadurch gekennzeichnet daß zwei Abzugsmagnete (266, 267) vorgesehen sind, wobei der erste Ab­ zugsmagnet (266) einer ersten Seite des Lagerzapfens (265) gegenüberlie­ gend angeordnet ist, und wobei der zweite Abzugsmagnet (267) einer zwei­ ten Seite des Lagerzapfens (265) gegenüberliegend angeordnet ist.
45. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 43 oder 44, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Abzugsmagnet (256, 266, 267) bogenförmig ist, und daß der bogenförmige Abzugsmagnet (256, 266, 267) einer Seite des Lagerzap­ fens (251, 265) gegenüberliegend angeordnet ist.
46. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 43, 44 oder 45, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Lagerzapfen (265) zwei Bereiche (265A, 265B) hat, die durch eine eine Achse des Lagerzapfens (265) enthaltende Ebene ge­ trennt werden können, wobei die beiden Bereiche (265A, 2658) umgekehrte Polarität haben.
47. Spiegelgalvanometereinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an dem Rotor und an dem Stator (260, 310) jeweils mindestens ein Stellmagnet (271, 272, 305, 307) mit mindestens ei­ nem N-Pol-Bereich (271B, 272A) und mit mindestens einem S-Pol-Bereich (271A, 272B) angeordnet ist, wobei eine neutrale Position des Rotors von den Stellmagneten (271, 272, 305, 307) erzeugt wird.
48. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 47, dadurch gekennzeichnet, daß ein erster Stellmagnet (272, 305, 307) ringförmig ist, wobei der ringför­ mige Stellmagnet (272, 305, 307) den Lagerzapfen (252, 302, 306) umgibt.
49. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 47 oder 48, dadurch gekenn­ zeichnet, daß ein zweiter Stellmagnet (271) ringförmig ist, wobei der ring­ förmige Stellmagnet (271) den erste Lagerstein (254) umgibt.
50. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 49, dadurch gekennzeichnet daß der erste und der zweite Stellmagnet (271, 272) einander gegenüberlie­ gend angeordnet sind.
51. Spiegelgalvanometereinheit nach Anspruch 47 oder 48, dadurch gekenn­ zeichnet, daß als Stellmagnet ein Lagerzapfen (302, 306) mit mindestens einem N-Pol-Bereich (302B) und mit mindestens einem S-Pol-Bereich (302A) an dem Rotor angeordnet ist.
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